KR20130027432A - 핸들러 및 부품 검사 장치 - Google Patents

Abstract

핸들러는, 기대 위에서 반송 대상을 반송하는 반송부를 적어도 1개 구비하고, 그 반송부는, 반송 대상을 파지하는 복수의 파지부의 각각을 승강시키는 복수의 제1 승강부와, 이들 복수의 제1 승강부의 전체를 승강시키는 1개의 제2 승강부를 갖는다. 반송 대상의 접속처로의 접속 시에 있어서는, 상기 복수의 제1 승강부 중의 일부는 하강 구동되고, 남은 제1 승강부는 상승 구동된다.

Description

핸들러 및 부품 검사 장치{HANDLER AND PART INSPECTION APPARATUS}

본 발명은, 반송 대상을 반송하는 핸들러 및 그 핸들러를 구비하는 부품 검사 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 전자 부품의 전기적 특성을 검사하는 부품 검사 장치에 있어서는, 소정의 트레이와 검사용 소켓 사이에서 검사 전이나 검사 후의 전자 부품을 반송하는 핸들러가 이용되고 있다. 이와 같은 핸들러로서는, 예를 들면 특허문헌 1에 기재된 바와 같이, 전자 부품을 소정의 위치로부터 검사용 소켓까지 반송한 후에 전자 부품을 검사용 소켓에 감입(insert)하는 반송 유닛을 2개 구비하는 것이 알려져 있다.

상기 특허문헌 1에 기재된 핸들러에서는, 한쪽의 반송 유닛이 검사용 소켓 위에서 전자 부품의 압압(押壓)을 행하여 부품 검사 장치에 구비된 테스터에 의해서 검사가 행해지고 있는 동안에, 다른 쪽의 반송 유닛이 검사 후의 전자 부품의 배출과 검사 전의 전자 부품의 공급을 행하고, 2개의 반송 유닛이 교대로 전자 부품을 검사에 공급하도록 하고 있다. 그러나, 이와 같은 핸들러에서는, 한쪽의 반송 유닛이 전자 부품을 검사에 공급하고 있는 시간보다도 다른 쪽의 반송 유닛이 전자 부품의 배출 및 공급을 행하고 있는 시간의 쪽이 길어지기 때문에, 부품 검사 장치에 의한 전자 부품의 검사를 효율적으로 행할 수 없다고 하는 문제가 있었다.

따라서, 종래부터, 예를 들면 도 18에 도시되는 바와 같은 핸들러가 제안되어 있다. 도 18은, 핸들러의 측면 구조를 도시하는 측면도이고, 테스터에 의해 한번에 처리하는 것이 가능한 전자 부품의 개수에 대해, 그 4배의 개수의 전자 부품이 파지되는 반송 유닛을 도시하는 도면이다.

도 18의 (a)에 도시되는 바와 같이, 반송 유닛(100)에는, 각각이 독립하여 승강 가능한 4개의 승강 기구(100a 내지 100d)가 하나의 방향으로 배열되고, 4개의 승강 기구의 각각의 하단부에는, 테스터에 의해 한번에 처리하는 것이 가능한 개수의 전자 부품(110a 내지 110d)이 파지되어 있다. 그리고, 도 18의 (b)에 도시되는 바와 같이, 우선, 4개의 승강 기구 중, 그 승강 기구의 배열 방향에 있어서의 선단의 승강 기구(100a)가, 그것의 하단부를 하강하여 전자 부품(110a)을 압압에 의해 검사용 소켓(120)에 감입하고, 전자 부품(110a)을 검사에 공급한다. 다음으로, 이 전자 부품(110a)의 검사가 종료되면, 그 전자 부품(110a)을 파지한 승강 기구(100a)가 상승하고, 도 18의 (c)에 도시되는 바와 같이, 선단의 승강 기구(100a)에 인접하는 다른 승강 기구(100b)가, 검사용 소켓(120) 바로 위에 배치되도록, 반송 유닛(100)의 전체가 수평 방향으로 이동한다. 계속해서, 승강 기구(100b)의 하강에 의해 전자 부품(110b)이 검사에 공급되고, 이후 다른 승강 기구(100c, 100d)에 대해서도 마찬가지의 동작이 반복된다. 이에 의해, 반송 유닛에 있어서의 전자 부품의 배출이나 공급이 도중에 개입되는 일 없이, 서로 다른 복수의 검사 단위의 전자 부품을 1개의 반송 유닛에 의해서 검사에 공급하는 것이 가능해진다. 그리고, 이와 같은 반송 유닛을 복수 구비하는 핸들러가 부품 검사 장치에 이용됨으로써, 그 부품 검사 장치에 있어서의 검사 효율이 높아지는 것으로도 된다.

일본 특허 출원 공개 제2002-148307호 공보

그런데, 도 18에 도시되는 핸들러에 있어서는, 승강 기구에 있어서의 하단부가 소정의 범위에서 승강되는 기구를, 4개의 승강 기구의 각각에 설치하는 것이 필요해진다. 나아가서는, 승강 기구에 파지된 전자 부품이 검사용 소켓에 감입되는 정도가 큰 압압력으로, 그 전자 부품이 압압되는 기구를, 4개의 승강 기구의 각각에 설치하는 것이 필요해진다. 그 때문에, 승강 기구의 구성이 승강 방향의 전체에 걸쳐 복잡해지는 것은 물론이고, 반송 유닛의 크기나 중량의 증대를 피할 수 없는 결과, 전자 부품의 반송 시에서는, 반송 유닛의 이동 속도의 저하, 나아가서는 반송 효율의 저하를 초래하는 것으로 되어 있다. 또한, 이러한 문제는, 도 18에 도시되는 바와 같은 반송 유닛을 구비하는 핸들러에 있어서는, 그 반송 유닛의 수에 상관없이 공통된 것으로 되어 있다.

본 발명은, 이와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 간이한 구성으로 효율적으로 반송 대상을 반송할 수 있는 핸들러 및 그 핸들러를 구비하는 부품 검사 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 양태 중 하나는, 기대(基臺) 위에서 반송 대상을 반송하는 반송부를 적어도 1개 구비하는 핸들러에 있어서, 상기 반송부는, 반송 대상을 파지하는 복수의 파지부의 각각에 연결되어 그 복수의 파지부의 각각을 상기 기대에 대하여 승강시키는 복수의 제1 승강부와, 상기 복수의 제1 승강부 모두에 연결되어 그 복수의 제1 승강부의 전체를 상기 기대에 대하여 승강시키는 1개의 제2 승강부를 갖는다.

본 발명의 양태 중 하나에 따르면, 복수의 제1 승강부에 대하여, 그들을 승강시키는 제2 승강부가 1개이므로, 반송 대상이 승강하는 범위가 유지된다고 하는 전제에서는, 반송부로서의 구성이 간이한 것으로 된다. 또한, 반송부의 크기나 중량을 저감할 수 있기 때문에, 반송 대상의 반송 시의 반송부의 이동 속도를 향상시키는 것이 가능해져, 효율적으로 반송 대상을 반송할 수 있게 된다.

본 발명의 양태 중 하나는, 상기 반송부의 반송을 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 복수의 제1 승강부 중의 일부를 하강 구동하고, 남은 상기 제1 승강부를 상승 구동한다.

본 발명의 양태 중 하나에 따르면, 남은 제1 승강부가 하강 구동되거나, 남은 제1 승강부가 구동되지 않거나 하는 승강의 양태와 비교하여, 복수의 제1 승강부의 각각의 위치가, 승강 방향으로 서로 분리되게 된다. 그 때문에, 하나의 파지부가 하강하는 방향으로, 그 하강의 장해가 되는 부위가 기대 위에 있는 경우라도, 이러한 부위와의 간섭을 피할 수 있도록, 그 파지부만이 상승 구동되고, 또한 다른 파지부가 하강 구동되는 것이 가능하게도 된다. 따라서, 상술한 바와 같은 간섭이 일어날 수 있는 부위에도 반송 대상을 반송하는 것이 가능해지기 때문에, 반송 대상을 반송할 수 있는 범위를 기대 위에서 확대하는 것이 가능하게도 된다.

본 발명의 양태 중 하나는, 상기 반송부의 반송을 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 반송부는, 4개 이상의 상기 제1 승강부를 구비하고, 상기 제어부는, 서로 인접하는 상기 제1 승강부의 승강 상태가 서로 다르도록, 상기 복수의 제1 승강부를 구동한다.

본 발명의 양태 중 하나에 따르면, 반송 대상의 하강처가 되는 기대 위의 복수의 부위가, 서로 간격을 두고 배치되어 있는 경우라도, 이와 같은 간격이 하나의 제1 승강부의 폭에 상당하는 것이면, 이러한 하강처가 되는 복수의 부위로 한번에 반송 대상을 하강시키는 것이 가능하게도 된다. 그 때문에, 효율적으로 반송 대상을 반송할 수 있게 된다.

본 발명의 양태 중 하나는, 상기 제1 승강부 및 상기 제2 승강부는 각 다른 모터에 의해 구동된다.

본 발명의 양태 중 하나에 따르면, 제1 승강부 및 제2 승강부를 모터에 의해 전동 구동함으로써, 반송부의 각 부의 구동에 대해서, 고속 구동이나 아치 구동을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 효율적으로 반송 대상을 반송할 수 있게 된다.

본 발명의 양태 중 하나는, 상기 반송부의 반송을 제어하는 제어부와, 2개의 상기 반송부를 구비하고, 상기 제어부는, 한쪽의 상기 반송부에 의한 반송 대상의 그 반송 대상의 접속처로의 접속 동작이 종료될 때까지, 다른 쪽의 상기 반송부를 상기 한쪽의 반송부에 인접하여 대기시킨다.

본 발명의 양태 중 하나에 따르면, 2개의 반송부가 연속해서 접속처로 반송 대상을 접속시킬 수 있게 되고, 효율적으로 반송 대상을 반송할 수 있게 된다.

본 발명의 양태 중 하나는, 기대의 개구부에 부착된 검사용 소켓을 갖는 테스터와, 상기 기대 위에서 전자 부품을 상기 검사용 소켓으로 반송하는 적어도 1개의 반송부를 구비하는 부품 검사 장치에 있어서, 상기 반송부는, 전자 부품을 파지하는 복수의 파지부의 각각에 연결되어 그 복수의 파지부의 각각을 상기 검사용 소켓에 대하여 승강시키는 복수의 제1 승강부와, 상기 복수의 제1 승강부 모두에 연결되어 그 복수의 제1 승강부의 전체를 상기 검사용 소켓에 대하여 승강시키는 1개의 제2 승강부를 갖는다.

본 발명의 양태 중 하나에 따르면, 부품 검사 장치가 구비하는 반송부에 관한 것으로, 복수의 제1 승강부에 대하여, 그들을 승강시키는 제2 승강부가 1개이므로, 전자 부품이 승강하는 범위가 유지된다고 하는 전제에서는, 반송부로서의 구성이 간이한 것으로 된다. 또한, 반송부의 크기나 중량을 저감할 수 있기 때문에, 전자 부품의 반송 시의 반송부의 이동 속도를 향상시키는 것이 가능해진다. 따라서, 효율적으로 전자 부품을 반송할 수 있게 되고, 나아가서는 부품 검사 장치로서의 검사 효율을 높이는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명에 있어서의 제1 실시 형태의 핸들러가 탑재된 부품 검사 장치의 전체 구성을 도시하는 구성도.
도 2는 제1 실시 형태의 핸들러의 단면 구조를 모식적으로 도시하는 단면도.
도 3은 제1 실시 형태의 핸들러의 전기적 구성을 도시하는 블록도.
도 4는 제1 실시 형태의 핸들러에 있어서의 작동 양태에 대해서, (a)는 반송 유닛의 Y 방향의 위치의 추이, (b)는 제1 승강 기구의 Z 방향의 위치의 추이, (c)와 (d)는 파지부의 Z 방향의 위치의 추이를 나타내는 타이밍차트.
도 5는 제1 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 6은 제1 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 7은 제1 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 8은 제1 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 9는 제1 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 10은 제1 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 11은 제1 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 12는 제1 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 13은 제1 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 14는 본 발명에 있어서의 제2 실시 형태의 핸들러의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 15는 제2 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 16은 제2 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 17은 제2 실시 형태의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 18의 (a) 내지 (c)는 종래의 핸들러의 작동 양태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.

(제1 실시 형태)

이하, 본 발명의 핸들러 및 부품 검사 장치를 구체화한 제1 실시 형태에 대해서, 도 1 내지 도 13을 참조하여 설명한다. 우선, 핸들러 및 그 핸들러를 구비하는 부품 검사 장치의 구성에 대해서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.

[핸들러 및 부품 검사 장치의 구성]

도 1에 도시되는 바와 같이, 핸들러(10)의 기대(11)에는, 각종 로봇이 탑재되는 탑재면(11a)이 상면으로서 설치되고, 그 탑재면(11a)의 대부분이, 커버 부재(12)에 의해 덮여져 있다. 이들 커버 부재(12)와 탑재면(11a)에 의해 둘러싸여진 공간인 반송 공간은, 외부로부터 공급되는 드라이 에어(dry air)에 의해 습도와 온도가 소정의 값으로 유지되어 있다.

기대(11)의 탑재면(11a)에는, 하나의 방향으로 연장되는 4개의 컨베이어가, 그 컨베이어의 반송 방향과 직교하는 방향으로 배열되어 있다. 4개의 컨베이어 중, 컨베이어의 배열 방향인 X 방향의 한쪽측에는, 1개의 공급용 컨베이어(C1)가 부설되고, X 방향의 다른 쪽측에는, 3개의 회수용 컨베이어(C2, C3, C4)가 부설되어 있다. 그리고, 공급용 컨베이어(C1)에서는, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)가, 커버 부재(12)의 외측으로부터 내측을 향하여 운반된다. 또한, 회수용 컨베이어(C2, C3, C4)에서는, 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)가, 커버 부재(12)의 내측으로부터 외측을 향하여 운반된다. 또한, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)에는, 반송 대상인 검사 전의 복수의 전자 부품(T)이 수용되고, 또한 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)에는, 검사 후의 복수의 전자 부품(T)이 수용되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 공급용 컨베이어 트레이(C1a) 및 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)에는, X 방향으로 3열, Y 방향으로 2열의 전자 부품(T)이 매트릭스 형상으로 수용된다.

상기 기대(11)의 탑재면(11a) 위에는, X 방향에 있어서 서로 마주보는 공급 로봇(20)과 회수 로봇(40)이 탑재되어 있다. 공급 로봇(20)은 공급용 컨베이어(C1)의 Y 방향에 배치되고, 또한 회수 로봇(40)은 회수용 컨베이어(C2, C3, C4)의 Y 방향에 배치되어 있다.

공급 로봇(20)은 Y 방향으로 연장되는 고정축인 공급측 고정 가이드(21)와, 공급측 고정 가이드(21)에 연결된 가동축인 공급측 가동 가이드(22)와, 공급측 가동 가이드(22)에 연결되고, 또한 공급측 가동 가이드(22)를 따라서 이동하는 공급용 핸드 유닛(23)을 갖고 있다.

공급측 가동 가이드(22)는 공급측 고정 가이드(21)로부터 회수 로봇(40)측으로 연장되는 가동축이며, 공급측 고정 가이드(21)에 대해, Y 방향으로 왕동(往動) 및 복동(復動) 가능하게 연결되어 있다. 공급용 핸드 유닛(23)은 공급측 가동 가이드(22)의 탑재면(11a)측에 배치된 엔드 이펙터(end effector)이며, 공급측 가동 가이드(22)에 대해, X 방향으로 왕동 및 복동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 공급용 핸드 유닛(23)은 공급측 가동 가이드(22)로부터 탑재면(11a)을 향한 하강과, 탑재면(11a)측으로부터 공급측 가동 가이드(22)를 향한 상승이 가능하게, 공급측 가동 가이드(22)에 연결되어 있다.

그리고, 공급측 가동 가이드(22)가, 공급측 고정 가이드(21)를 따라서 공급용 컨베이어(C1)측으로 이동함과 함께, 공급용 핸드 유닛(23)이, 공급측 가동 가이드(22)를 따라서 공급용 컨베이어 트레이(C1a)의 상방으로까지 이동한다. 이에 의해, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)에 재치된 전자 부품(T)이, 공급용 핸드 유닛(23)의 흡착 패드에 흡착되고, 그 후 공급용 컨베이어 트레이(C1a)로부터 들어 올려진다. 또한, 이 상태로부터, 공급측 가동 가이드(22)가, 공급측 고정 가이드(21)를 따라서 공급용 컨베이어(C1) 위로부터 분리됨으로써, 공급용 핸드 유닛(23)에 흡착된 전자 부품(T)이, 상술한 반송 공간 내의 소정의 위치로 공급된다. 또한, 본 실시 형태의 공급용 핸드 유닛(23)은, 복수의 전자 부품을 동시에 흡착 유지한다.

회수 로봇(40)은 공급 로봇(20)과 동일하고, Y 방향으로 연장되는 고정축인 회수측 고정 가이드(41)와, 회수측 고정 가이드(41)에 연결된 가동축인 회수측 가동 가이드(42)와, 회수측 가동 가이드(42)에 연결되고, 또한 회수측 가동 가이드(42)를 따라서 X 방향으로 이동하는 회수용 핸드 유닛(43)을 갖고 있다.

회수측 가동 가이드(42)는 회수측 고정 가이드(41)로부터 공급 로봇(20)측으로 연장되는 가동축이며, 회수측 고정 가이드(41)에 대해, Y 방향으로 왕동 및 복동 가능하게 연결되어 있다. 회수용 핸드 유닛(43)은 회수측 가동 가이드(42)의 탑재면(11a)측에 배치된 엔드 이펙터이며, 회수측 가동 가이드(42)에 대해, X 방향으로 왕동 및 복동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 회수용 핸드 유닛(43)은 회수측 가동 가이드(42)로부터 탑재면(11a)을 향한 하강과 탑재면(11a)측으로부터 회수측 가동 가이드(42)를 향한 상승이 가능하게, 회수측 가동 가이드(42)에 연결되어 있다.

그리고, 회수측 가동 가이드(42)가, 회수측 고정 가이드(41)를 따라서 회수용 컨베이어(C2, C3, C4)측으로 이동함과 함께, 회수용 핸드 유닛(43)이, 회수측 가동 가이드(42)를 따라서, 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)의 상방으로까지 이동한다. 이에 의해, 회수용 핸드 유닛(43)의 흡착 패드에 흡착된 전자 부품(T)이, 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)에 재치된다. 또한, 본 실시 형태의 회수용 핸드 유닛(43)은 공급용 핸드 유닛(23)과 마찬가지로, 복수의 전자 부품을 동시에 흡착 유지한다.

또한, 커버 부재(12)의 내측면에는, Y 방향으로 연장되는 반송 가이드(31)가, 그 내측면에 있어서의 X 방향의 대략 중앙에 고정되어 있다. 이 반송 가이드(31)에 있어서의 양단부의 하방에는, X 방향으로 연장되는 제1 셔틀(32)과, 동일하게 X 방향으로 연장되는 제2 셔틀(35)이 배설되어 있다.

제1 셔틀(32)은, 탑재면(11a)에 고정 설치된 X 방향으로 연장되는 제1 셔틀 가이드(32c)에 연결되어 X 방향을 따라서 왕동 및 복동한다. 제1 셔틀(32)에 있어서의 상기 공급 로봇(20)측에는, 제1 공급 트레이로서의 공급용 셔틀 트레이(32a)가 고정되고, 또한 제1 셔틀(32)에 있어서의 상기 회수 로봇(40)측에는, 제1 회수 트레이로서의 회수용 셔틀 트레이(32b)가 고정되어 있다. 공급용 셔틀 트레이(32a)에는, 반송 대상인 검사 전의 복수의 전자 부품(T)이 수용되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(32b)에는, 검사 후의 복수의 전자 부품(T)이 수용된다.

그리고, 제1 셔틀(32)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)가 공급측 가동 가이드(22) 아래에 배치되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(32b)가 반송 가이드(31) 아래에 배치되는 위치인 공급 위치에 배치된다. 또한, 제1 셔틀(32)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)가 반송 가이드(31) 아래에 배치되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(32b)가 회수측 가동 가이드(42) 아래에 배치되는 위치인 회수 위치에도 배치된다. 그리고, 제1 셔틀(32)은, 공급 위치와 회수 위치 사이를 X 방향을 따라서 왕동 및 복동한다. 즉, 제1 셔틀(32)은, 공급용 핸드 유닛(23)에 의해 공급용 셔틀 트레이(32a)에 전자 부품(T)의 공급이 가능한 공급 위치와, 회수용 핸드 유닛(43)에 의해 회수용 셔틀 트레이(32b)로부터 전자 부품의 회수가 가능한 회수 위치 사이를 왕복한다.

제2 셔틀(35)은, 이것도 또한, 탑재면(11a)에 고정 설치된 X 방향으로 연장되는 제2 셔틀 가이드(35c)에 연결되어 X 방향을 따라서 왕동 및 복동한다. 제2 셔틀(35)에 있어서의 상기 공급 로봇(20)측에는, 제2 공급 트레이로서의 공급용 셔틀 트레이(35a)가 고정되고, 또한 제2 셔틀(35)에 있어서의 상기 회수 로봇(40)측에는, 제2 회수 트레이로서의 회수용 셔틀 트레이(35b)가 고정되어 있다. 공급용 셔틀 트레이(35a)에는, 반송 대상인 검사 전의 복수의 전자 부품(T)이 수용되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(35b)에는, 검사 후의 복수의 전자 부품(T)이 수용된다.

그리고, 제2 셔틀(35)은, 공급용 셔틀 트레이(35a)가 공급측 가동 가이드(22) 아래에 배치되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(35b)가 반송 가이드(31) 아래에 배치되는 위치인 공급 위치에 배치된다. 또한, 제2 셔틀(35)은, 공급용 셔틀 트레이(35a)가 반송 가이드(31) 아래에 배치되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(35b)가 회수측 가동 가이드(42) 아래에 배치되는 위치인 회수 위치에도 배치된다. 그리고, 제2 셔틀(35)은, 공급 위치와 회수 위치 사이를 X 방향을 따라서 왕동 및 복동한다. 즉, 제2 셔틀(35)은, 공급용 핸드 유닛(23)에 의해 공급용 셔틀 트레이(35a)에 전자 부품(T)의 공급이 가능한 공급 위치와, 회수용 핸드 유닛(43)에 의해 회수용 셔틀 트레이(35b)로부터 전자 부품(T)의 회수가 가능한 회수 위치 사이를 왕복한다.

또한, 본 실시 형태의 공급용 셔틀 트레이(32a, 35a) 및 회수용 셔틀 트레이(32b, 35b)에는, X 방향으로 3열, Y 방향으로 2열의 전자 부품(T)이 매트릭스 형상으로 수용된다. 즉, 공급용 셔틀 트레이(32a, 35a)는, 공급용 핸드 유닛(23)에 의한 전자 부품(T)의 공급을 각각 1회씩 받음으로써 전자 부품(T)으로 만재(滿載)된다. 또한 회수용 셔틀 트레이(32b, 35b)는, 회수용 핸드 유닛(43)에 의한 전자 부품(T)의 회수를 각각 1회씩 받음으로써 모든 전자 부품(T)이 회수된다.

또한, 탑재면(11a) 중, 반송 공간의 대략 중앙에는, 탑재면(11a)을 관통하는 직사각 형상의 개구부(45)가 형성되어 있다. 이 개구부(45)에는, 부품 검사 장치에 구비되는 테스터의 테스트 헤드(33)가 부착되어 있다. 테스트 헤드(33)는, 그 상면에 전자 부품(T)이 감입되는 검사용 소켓을 갖고 있고, 그 전자 부품(T)을 검사하기 위한 테스터 내의 검사 회로에 전기적으로 접속되어 있다.

테스트 헤드(33)의 상면에 부착된 검사용 소켓에는, X 방향으로 3열, Y 방향으로 1열의 전자 부품(T)을 동시에 수용하는 것이 가능한 검사용 포켓(33a)이 오목하게 설치되고, 또한 검사용 포켓(33a)의 저면에는, 전자 부품(T)의 수단자와 끼워 맞춤 가능한 복수의 암단자가 오목하게 설치되어 있다. 그리고, 전자 부품(T)이 갖는 수단자가 검사용 포켓(33a)의 암단자에 감입됨으로써, 전자 부품(T)의 전기적 특성이 테스터에 의해 검사 가능해진다. 테스터는, 핸들러(10)로부터 검사 개시를 나타내는 전기적인 신호를 받아서 전자 부품(T)의 검사를 개시하고, 그 검사 결과를 핸들러(10)에 출력한다.

또한, 상기 반송 가이드(31)에는, 반송부로서의 제1 반송 유닛(34)과, 반송부로서의 제2 반송 유닛(36)이 연결되어 있다.

이들 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 구성에 대해서, 도 2를 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 제1 반송 유닛(34)과 제2 반송 유닛(36)은, 반송 가이드(31)에 있어서의 연결 위치나 이동처가 되는 셔틀이 서로 다르지만, 서로 다른 2 종류의 승강부를 갖고 전자 부품(T)을 승강시키는 양태는 마찬가지이므로, 이하에서는, 제1 반송 유닛(34)의 구성에 대해서 주로 설명하고, 제2 반송 유닛(36) 중, 제1 반송 유닛(34)의 구성과 중복되는 점에 관해서는, 그 설명을 생략한다. 또한, 도 2는, 제1 반송 유닛(34)의 주변 구조를 공급 로봇(20)측에서 본 단면도이고, 제1 셔틀(32) 바로 위에 제1 반송 유닛(34)이 배치된 상태를 도시하고 있다.

도 2에 도시되는 바와 같이, 반송 가이드(31)에는, 그 반송 가이드(31)를 따라서 왕동 및 복동 가능하게, 제2 승강 기구(51)가 연결되어 있다. 이 제2 승강 기구(51)의 하단부에는, 탑재면(11a)을 따라서 확대되는 판 형상의 연결부가 형성되고, 그 연결부에 있어서의 탑재면(11a)측에는, 2개의 제1 승강 기구(52, 53)가 공통적으로 연결되어 있다.

제2 승강 기구(51)의 하단부인 연결부에는, 2개의 제1 승강 기구(52, 53)의 각각의 구동원인 제1 승강 모터(52M, 53M)가 내장되어 있다. 그리고, 제1 승강 모터(52M)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 제1 승강 기구(52)의 하단부가 기대(11)에 대하여 상승 혹은 하강하고, 제1 승강 모터(53M)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 제1 승강 기구(53)의 하단부가 기대(11)에 대하여 상승 혹은 하강한다.

제2 승강 기구(51)의 상부에는, 제2 승강 기구(51)의 구동원인 제2 승강 모터(51M)가 내장되어 있다. 그리고, 제2 승강 모터(51M)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 제2 승강 기구(51)의 하단부가 기대(11)에 대하여 상승 혹은 하강한다. 즉, 제2 승강 모터(51M)가 구동됨으로써, 2개의 제1 승강 모터(52M, 53M), 2개의 제1 승강 기구(52, 53)의 전체가 상승 혹은 하강한다.

2개의 제1 승강 기구(52, 53)의 하단부에는, 예를 들면 진공 흡착에 의해 전자 부품(T)을 흡착하여 파지하는 것이 가능한 엔드 이펙터인 파지부(52a, 53a)가 각각 연결되어 있다. 또한, 파지부(52a, 53a)는, 예를 들면 노즐, 그 노즐에 접속된 흡인 펌프, 그 노즐에 압축 공기를 공급하는 리크 밸브 등에 접속되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 각 파지부(52a, 53a)는, 각각이 X 방향으로 3열, Y 방향으로 1열의 전자 부품(T)을 동시에 파지 가능하게 구성되어 있다. 즉, 제1 반송 유닛(34)은, 2개의 파지부(52a, 53a)를 가짐으로써, 테스터가 1회에 검사 가능한 전자 부품의 2배의 개수의 전자 부품(T)을 파지 가능하게 되어 있다.

또한, 이들 제2 승강 기구(51), 제2 승강 모터(51M), 제1 승강 기구(52, 53) 및 제1 승강 모터(52M, 53M)에 의해 제1 반송부가 구성되어 있다. 또한, 제2 승강 기구(51) 및 제2 승강 모터(51M)에 의해 제1 반송부에 있어서의 제2 승강부가 구성되고, 제1 승강 기구(52, 53) 및 제1 승강 모터(52M, 53M)에 의해 제1 반송부에 있어서의 제1 승강부가 구성되어 있다.

또한, 제2 반송 유닛에 있어서의 제2 승강 기구, 제2 승강 모터, 제1 승강 기구 및 제1 승강 모터에 의해 제2 반송부가 구성되어 있다. 또한, 제2 반송 유닛에 있어서의 제2 승강 기구 및 제2 승강 모터에 의해 제2 반송부에 있어서의 제2 승강부가 구성되고, 제2 반송 유닛에 있어서의 제1 승강 기구 및 제1 승강 모터에 의해 제2 반송부에 있어서의 제1 승강부가 구성되어 있다.

[핸들러 및 부품 검사 장치의 전기적 구성]

다음으로, 핸들러 및 부품 검사 장치의 전기적 구성에 대해서, 핸들러(10)의 전기적 구성을 중심으로 도 3을 참조하여 설명한다. 상기 핸들러(10)에 구비된 제어부를 구성하는 제어 장치(60)는, 중앙 처리 장치(CPU), 불휘발성 메모리(ROM) 및 휘발성 메모리(RAM)를 갖는 마이크로컴퓨터를 중심으로 구성되어 있다. 제어 장치(60)는, 상기 ROM 및 RAM에 저장된 각종 데이터 및 프로그램에 기초하여, 핸들러(10)의 동작에 관계되는 각종 제어를 행한다.

제어 장치(60)에는, 컨베이어 모터(MC)를 회전 구동시키는 컨베이어 구동부(61)가 전기적으로 접속되어 있다. 컨베이어 구동부(61)에는, 컨베이어 모터(MC)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMC)가 접속되어 있다. 컨베이어 구동부(61)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMC)로부터 입력된 컨베이어 모터(MC)의 회전 위치에 기초하여, 컨베이어 모터(MC)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 컨베이어 모터(MC)에 출력한다. 컨베이어 모터(MC)는, 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 컨베이어(C1 내지 C4)를 구동한다. 또한, 상기 컨베이어 구동부(61) 및 컨베이어 모터(MC)는, 컨베이어(C1 내지 C4)마다 설치되고, 또한 인코더(EMC)는 각 컨베이어 모터(MC)에 대하여 설치되어 있다. 즉, 제어 장치(60)는, 각 컨베이어(C1 내지 C4)의 동작을 서로 독립시킨 양태로 제어한다.

또한, 제어 장치(60)에는, X축 모터(MX)를 회전 구동시키는 X축 가이드 구동부(62)가 전기적으로 접속되어 있다. X축 가이드 구동부(62)에는, X축 모터(MX)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMX)가 접속되어 있다. X축 가이드 구동부(62)는 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMX)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, X축 모터(MX)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 X축 모터(MX)에 출력한다. X축 모터(MX)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 핸드 유닛(23, 43)을 가동 가이드(22, 42)를 따라서 왕동 및 복동시킨다. 또한, 상기 X축 가이드 구동부(62) 및 X축 모터(MX)는, 공급용 핸드 유닛(23) 및 회수용 핸드 유닛(43)의 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더(EMX)는 각 X축 모터(MX)에 대하여 설치되어 있다.

제어 장치(60)에는, Y축 모터(MY)를 회전 구동시키는 Y축 가이드 구동부(63)가 접속되어 있다. Y축 가이드 구동부(63)에는, Y축 모터(MY)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMY)가 접속되어 있다. Y축 가이드 구동부(63)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMY)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, Y축 모터(MY)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 Y축 모터(MY)에 출력한다. Y축 모터(MY)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 가동 가이드(22, 42)를 고정 가이드(21, 41)를 따라서 왕동 및 복동시킨다. 또한, 상기 Y축 가이드 구동부(63) 및 Y축 모터(MY)는, 공급측 가동 가이드(22) 및 회수측 가동 가이드(42)의 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더(EMY)는 각 Y축 모터(MY)에 대하여 설치되어 있다.

제어 장치(60)에는 핸드 모터 구동부(64a)와 밸브 구동부(64b)를 갖는 핸드 유닛 구동부(64)가 접속되어 있다. 이 중, 핸드 모터 구동부(64a)에는 핸드 모터(MZ)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMZ)가 접속되어 있다. 핸드 모터 구동부(64a)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMZ)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 핸드 모터(MZ)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 핸드 모터(MZ)에 출력한다. 핸드 모터(MZ)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 핸드 유닛(23, 43)을 상승 및 하강시킨다.

밸브 구동부(64b)에는, 핸드 유닛(23, 43)의 선단에 설치된 흡인 밸브(SV1)와 리크 밸브(DV1)가 접속되어 있다. 밸브 구동부(64b)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 흡인 밸브(SV1)의 개폐 명령에 기초하여, 흡인 밸브(SV1)의 구동 신호를 생성함과 함께, 그 구동 신호를 흡인 밸브(SV1)에 출력한다. 흡인 밸브(SV1)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 소정의 흡인력에 의해 상기 전자 부품(T)을 흡인한다. 또한, 밸브 구동부(64b)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 리크 밸브(DV1)의 개폐 명령에 기초하여, 리크 밸브(DV1)의 구동 신호를 생성함과 함께, 그 구동 신호를 리크 밸브(DV1)에 출력한다. 리크 밸브(DV1)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 흡착 패드로부터 압축 공기를 보낸다. 또한, 상기 핸드 유닛 구동부(64), 핸드 모터(MZ), 흡인 밸브(SV1) 및 리크 밸브(DV1)는 공급용 핸드 유닛(23) 및 회수용 핸드 유닛(43)의 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더(EMZ)는 핸드 모터(MZ)의 각각에 대하여 설치되어 있다. 즉, 제어 장치(60)는 공급용 핸드 유닛(23)의 동작과 회수용 핸드 유닛(43)의 동작을 서로 독립시킨 양태로 제어한다.

또한, 제어 장치(60)에는, 셔틀 모터(MS)를 회전 구동시키는 셔틀 구동부(65)가 접속되어 있다. 셔틀 구동부(65)에는, 셔틀 모터(MS)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMS)가 접속되어 있다. 셔틀 구동부(65)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMS)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 셔틀 모터(MS)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 셔틀 모터(MS)에 출력한다. 셔틀 모터(MS)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 가이드(32c, 35c)를 따라서 셔틀(32, 35)을 슬라이드시킨다. 또한, 상기 셔틀 구동부(65) 및 셔틀 모터(MS)는, 제1 셔틀(32) 및 제2 셔틀(35)의 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더(EMS)는 각 셔틀 모터(MS)에 대하여 설치되어 있다. 즉, 제어 장치(60)는, 제1 셔틀(32)의 동작과 제2 셔틀(35)의 동작을 서로 독립시킨 양태로 제어한다.

또한, 제어 장치(60)에는, 반송 모터 구동부(66a), 2개의 제1 승강 모터 구동부(66b, 66c), 제2 승강 모터 구동부(66d) 및 2개의 밸브 구동부(66e, 66f)를 가진 반송 유닛 구동부(66)가 접속되어 있다.

반송 모터 구동부(66a)에는, 반송 모터(MA)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMA)가 접속되어 있다. 반송 모터 구동부(66a)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMA)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 반송 모터(MA)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 반송 모터(MA)에 출력한다. 반송 모터(MA)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 제2 승강 기구(51) 그 자체를 상기 반송 가이드(31)를 따라서 왕동 및 복동시킨다. 또한, 상기 반송 모터 구동부(66a)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더(EMA)도 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되어 있다.

제1 승강 모터 구동부(66b)에는, 제1 승강 모터(52M)의 회전 위치를 검출하는 인코더(E52M)가 접속되어 있다. 제1 승강 모터 구동부(66b)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(E52M)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 제1 승강 모터(52M)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 제1 승강 모터(52M)에 출력한다. 제1 승강 모터(52M)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 제1 승강 기구(52)의 하단부를 기대(11)에 대하여 상승 및 하강시킨다. 또한, 상기 제1 승강 모터 구동부(66b)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더(E52M)도 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되어 있다.

제1 승강 모터 구동부(66c)에는, 제1 승강 모터(53M)의 회전 위치를 검출하는 인코더(E53M)가 접속되어 있다. 제1 승강 모터 구동부(66c)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(E53M)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 제1 승강 모터(53M)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 제1 승강 모터(53M)에 출력한다. 제1 승강 모터(53M)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 제1 승강 기구(53)의 하단부를 기대(11)에 대하여 상승 및 하강시킨다. 또한, 상기 제1 승강 모터 구동부(66c)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더(E53M)도 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되어 있다.

이와 같이, 제어 장치(60)는, 제1 승강 모터(52M)의 구동과 제1 승강 모터(53M)의 구동을 서로 독립시킨 양태로 제어한다.

제2 승강 모터 구동부(66d)에는, 제2 승강 모터(51M)의 회전 위치를 검출하는 인코더(E51M)가 접속되어 있다. 제2 승강 모터 구동부(66d)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(E51M)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 제2 승강 모터(51M)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 제2 승강 모터(51M)에 출력한다. 제2 승강 모터(51M)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 제2 승강 기구(51)의 하단부를 기대(11)에 대하여 상승 및 하강시킨다. 또한, 상기 제2 승강 모터 구동부(66d)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더(E51M)도 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되어 있다.

밸브 구동부(66e)에는, 제1 승강 기구(52)의 파지부(52a)에 설치된 흡인 밸브(SV2)와 리크 밸브(DV2)가 접속되어 있다. 밸브 구동부(66e)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 흡인 밸브(SV2)의 개폐 명령에 기초하여, 흡인 밸브(SV2)의 구동 신호를 생성함과 함께, 그 구동 신호를 흡인 밸브(SV2)에 출력한다. 그리고, 흡인 밸브(SV2)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 소정의 흡인력에 의해 상기 전자 부품(T)을 흡인한다. 또한, 밸브 구동부(66e)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 리크 밸브(DV2)의 개폐 명령에 기초하여, 리크 밸브(DV2)의 구동 신호를 생성함과 함께, 그 구동 신호를 리크 밸브(DV2)에 출력한다. 그리고, 리크 밸브(DV2)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 제1 승강 기구(52)의 파지부(52a)로부터 압축 공기를 보낸다. 또한, 흡인 밸브(SV2) 및 리크 밸브(DV2)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되어 있고, 또한 밸브 구동부(66e)도 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되어 있다.

밸브 구동부(66f)에는, 제1 승강 기구(53)의 파지부(53a)에 설치된 흡인 밸브(SV3)와 리크 밸브(DV3)가 접속되어 있다. 밸브 구동부(66f)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 흡인 밸브(SV3)의 개폐 명령에 기초하여, 흡인 밸브(SV3)의 구동 신호를 생성함과 함께, 그 구동 신호를 흡인 밸브(SV3)에 출력한다. 그리고, 흡인 밸브(SV3)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 소정의 흡인력에 의해 상기 전자 부품(T)을 흡인한다. 또한, 밸브 구동부(66f)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 리크 밸브(DV3)의 개폐 명령에 기초하여, 리크 밸브(DV3)의 구동 신호를 생성함과 함께, 그 구동 신호를 리크 밸브(DV3)에 출력한다. 그리고, 리크 밸브(DV3)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 제1 승강 기구(53)의 파지부(53a)로부터 압축 공기를 보낸다. 또한, 흡인 밸브(SV3) 및 리크 밸브(DV3)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되어 있고, 또한 밸브 구동부(66f)도 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 각각에 대하여 설치되어 있다.

즉, 제어 장치(60)는, 제1 반송 유닛(34)의 동작과 제2 반송 유닛(36)의 동작을 서로 독립시킨 양태로 제어한다.

또한, 제어 장치(60)에는, 테스터(69)가 전기적으로 접속된다. 제어 장치(60)는, 제1 반송 유닛(34) 혹은 제2 반송 유닛(36)에 의해 전자 부품(T)이 테스트 헤드(33)의 검사 위치에 배치되었을 때에, 테스터(69)에 대하여 검사를 개시하는 것을 나타내는 신호를 출력한다. 테스터(69)는 검사 개시 신호를 받음으로써 전자 부품(T)의 검사를 개시하고, 검사가 종료되면 그 검사 결과와 함께 검사의 종료를 나타내는 신호를 제어 장치(60)에 출력한다.

[핸들러의 작동 양태]

다음으로, 상술한 구성의 핸들러(10)의 작동 양태에 대해서, 제1 반송 유닛(34)의 작동 양태를 중심으로 도 4 내지 도 13을 참조하여 설명한다. 이하에 설명하는 동작은 모두 제어 장치(60)로부터의 각종 명령에 기초하여 각 구동부에 의해 행해진다.

또한, 제1 반송 유닛(34)의 작동 양태에 대해서, 도 4의 (a)에는 제1 반송 유닛(34)의 기대(11)에 대한 Y 방향의 위치의 추이가, 도 4의 (b)에는 제2 승강 모터(51M)의 구동에 의한 제1 승강 기구(52, 53)의 기대(11)에 대한 Z 방향의 위치의 추이가 모식적으로 도시되어 있다. 마찬가지로, 도 4의 (c)에는, 제1 승강 모터(52M)의 구동에 의한 파지부(52a)의 기대(11)에 대한 Z 방향의 위치의 추이가, 도 4의 (d)에는, 제1 승강 모터(53M)의 구동에 의한 파지부(53a)의 기대(11)에 대한 Z 방향의 위치의 추이가 모식적으로 도시되어 있다. 또한, 도 5 내지 도 13에는, 도 4에 도시되는 각 타이밍에 있어서의 제1 반송 유닛(34)의 배치가 도시되어 있다.

우선, 제1 반송 유닛(34)은, 제1 셔틀(32) 위에서 공급용 셔틀 트레이(32a)에 있는 검사 전의 전자 부품(T)을 일괄적으로 파지부(52a, 53a)의 각각에 파지한 후, 타이밍 T1에서 Y 방향으로 제1 검사 위치까지 이동한다. 이 제1 검사 위치는, 제1 승강 기구(52)의 파지부(52a)에 파지되는 전자 부품(Ta)이, 테스트 헤드(33)의 검사용 포켓(33a) 바로 위에 배치되는 위치이다(도 5 참조). 이 타이밍 T1에서, 제2 승강 기구(51)의 하단부, 즉 그 하단부에 내장된 제1 승강 모터(52M, 53M)는, Z 방향에 있어서의 그것의 가동 범위의 최상 위치에 배치되어 있다. 또한, 제1 승강 기구(52, 53)의 하단부, 즉 그 하단부에 연결된 파지부(52a, 53a)는, Z 방향에 있어서의 그것의 가동 범위의 중간 위치에 배치되어 있다.

다음으로, 타이밍 T2에서는, 제1 승강 모터(52M)가 구동됨으로써, 그 제1 승강 모터(52M)의 구동에 의한 파지부(52a)의 가동 범위 중, 파지부(52a)는 최하 위치까지 하강한다. 또한, 이 때, 제1 승강 모터(53M)가 구동됨으로써, 그 제1 승강 모터(53M)의 구동에 의한 파지부(53a)의 가동 범위 중, 파지부(53a)는 최상 위치까지 상승한다(도 6 참조).

계속해서, 타이밍 T3에서는, 제2 승강 모터(51M)가 구동됨으로써, 제2 승강 기구(51)의 하단부, 즉 그 하단부에 내장된 제1 승강 모터(52M, 53M)가 그 가동 범위의 최하 위치까지 하강한다. 이에 수반하여, 파지부(52a, 53a)도 함께 하강하게 되고, 파지부(52a)에 파지된 전자 부품(Ta)만이 테스트 헤드(33)의 검사용 포켓(33a)에 감입된다(도 7 참조). 그리고, 제1 승강 모터(52M) 및 제2 승강 모터(51M)의 구동에 의해 전자 부품(Ta)이 압압되고, 전자 부품(Ta)이 테스터(69)에 의한 검사에 공급된다. 이 때, 파지부(53a)가 파지부(52a)보다도 상방에 배치되기 때문에, 파지부(53a)에 파지된 전자 부품(Tb)이 테스트 헤드(33)나 그 주변의 각종 부품과 간섭하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.

테스터(69)에 의한 전자 부품(Ta)의 검사가 종료되면, 타이밍 T4에서는, 제2 승강 모터(51M)가 구동됨으로써, 제2 승강 기구(51)의 하단부, 즉 그 하단부에 내장된 제1 승강 모터(52M, 53M)가 상승한다(도 8 참조). 이 때, 제2 승강 기구(51)의 하단부는 그 가동 범위의 최상 위치까지는 상승하지 않고, 제2 승강 기구(51)의 하단부의 상승과 함께 상승하는 전자 부품(Ta)이, 검사용 포켓(33a)으로부터 추출되고, 또한 테스트 헤드(33)나 그 주변의 각종 부품에 간섭하지 않는 정도의 위치가 될 때까지 상승하도록 하고 있다. 이에 의해, 제2 승강 기구(51)의 하단부가 이동하는 거리 및 제2 승강 기구(51)의 하단부가 이동하는 시간을 단축할 수 있다.

다음으로, 타이밍 T5에서는, 제1 반송 유닛(34)은 Y 방향으로 제2 검사 위치까지 이동한다. 이 제2 검사 위치는, 제1 승강 기구(53)의 파지부(53a)에 파지되는 전자 부품(Tb)이, 테스트 헤드(33)의 검사용 포켓(33a) 바로 위에 배치되는 위치이다(도 9 참조).

계속해서, 타이밍 T6에서는, 제1 승강 모터(52M)가 구동됨으로써, 제1 승강 모터(52M)의 구동에 의한 파지부(52a)의 가동 범위 중, 파지부(52a)는 최상 위치까지 상승한다. 이 때, 제1 승강 모터(53M)가 구동됨으로써, 제1 승강 모터(53M)의 구동에 의한 파지부(53a)의 가동 범위 중, 파지부(53a)는 최하 위치까지 하강한다(도 10 참조).

다음으로, 타이밍 T7에서는, 제2 승강 모터(51M)가 구동됨으로써, 제2 승강 기구(51)의 하단부, 즉 그 하단부에 내장된 제1 승강 모터(52M, 53M)가 그 가동 범위의 최하 위치까지 하강한다. 이에 수반하여, 파지부(52a, 53a)도 함께 하강하게 되고, 파지부(53a)에 파지된 전자 부품(Tb)만이 테스트 헤드(33)의 검사용 포켓(33a)에 감입된다(도 11 참조). 그리고, 제1 승강 모터(53M) 및 제2 승강 모터(51M)의 구동에 의해 전자 부품(Tb)이 압압되고, 전자 부품(Tb)이 테스터(69)에 의한 검사에 공급된다. 이 때, 파지부(52a)가 파지부(53a)보다도 상방에 배치되기 때문에, 파지부(52a)에 파지된 전자 부품(Ta)이 테스트 헤드(33)나 그 주변의 각종 부품에 간섭하는 것을 억제하는 것이 가능해진다.

이와 같이 하여, 제1 반송 유닛(34)에 파지되는 전자 부품(Ta, Tb)이 순서대로 부품 검사 장치에 의한 검사에 공급되게 된다.

여기서, 상술한 바와 같이 제1 반송 유닛(34)에 의해 전자 부품(T)이 검사에 공급되고 있는 동안의 제2 반송 유닛(36)의 작동 양태에 대해서 설명한다.

제1 반송 유닛(34)에 의해 전자 부품(T)이 검사에 공급되고 있는 동안에, 제2 반송 유닛(36)은, 회수용 셔틀 트레이(35b)에 검사 후의 전자 부품(T)을 배출하고, 공급용 셔틀 트레이(35a)로부터 검사 전의 전자 부품(T)을 공급한다(도 5 내지 도 11에서는 편의상 그 상세한 도시를 생략하고 있다). 전자 부품(T)의 공급이 완료되면, 도 12에 도시되는 바와 같이, 제2 반송 유닛(36)은, 제1 반송 유닛(34)에 접근한 후, 제2 반송 유닛(36)의 Y 방향에 있어서의 가동 범위 중, 제1 반송 유닛(34)에 가장 가까운 위치에서 대기한다.

계속해서, 제1 반송 유닛(34)에 파지되는 전자 부품(Ta, Tb)의 검사가 전부 종료된 후의 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36)의 작동 양태에 대해서 설명한다.

테스터(69)에 의한 전자 부품(Tb)의 검사가 종료되면, 앞서 도 4에 도시되는 바와 같이, 제1 반송 유닛(34)에서는, 제2 승강 모터(51M)가 구동됨으로써, 제2 승강 기구(51)의 하단부, 즉 그 하단부에 내장된 제1 승강 모터(52M, 53M)가 그 가동 범위의 최상 위치까지 상승한다. 또한, 제1 승강 모터(52M)가 구동됨으로써, 파지부(52a)가 이전의 중간 위치까지 하강함과 함께, 제1 승강 모터(53M)가 구동됨으로써, 파지부(53a)가 이전의 중간 위치까지 상승한다. 그리고, 타이밍 T8에서는, 제1 반송 유닛(34)은, Y 방향으로 제1 셔틀(32) 위까지 이동한다. 이 때, 제1 반송 유닛(34)에 인접하여 대기하고 있었던 제2 반송 유닛(36)은, 제1 반송 유닛(34)의 이동과 동기하여 이동한다. 그리고, 제2 반송 유닛(36)은, Y 방향에 있어서의 소정의 위치, 즉 제2 반송 유닛(36)이 파지하는 전자 부품(T) 중, 최초로 검사 대상으로 되는 전자 부품(T)이 테스트 헤드(33)의 검사용 포켓(33a) 바로 위가 되는 위치까지 이동한다(도 13 참조).

계속해서, 상술한 제1 반송 유닛(34)의 경우와 마찬가지로, 제2 반송 유닛(36)에 의해 전자 부품(T)을 검사에 공급하기 위한 동작이 행해짐과 함께, 제1 반송 유닛(34)에서는, 검사 후의 전자 부품(T)의 배출과 검사 전의 전자 부품(T)의 공급이 행해진다. 이렇게 하여, 한쪽의 반송 유닛이 전자 부품을 검사에 공급하고 있는 동안에, 다른 쪽의 반송 유닛에서는 전자 부품(T)의 배출과 공급이 행해지는 것이 반복되게 된다.

이와 같이, 반송 유닛(34, 36)에서는, 각각이 파지부(52a, 53a)를 갖는 2개의 제1 승강 기구(52, 53) 및 그 각각에 대응하는 2개의 제1 승강 모터(52M, 53M)에 대하여, 그들 전체가 1개의 제2 승강 모터(51M)의 구동에 의해 승강된다. 그 때문에, 제1 승강 기구(52, 53)의 전체를 승강시키는 승강 기구가, 1개의 제2 승강 기구(51)에 의해 공통화되어 있는 만큼, 반송 유닛(34, 36)의 구성이 간이한 것으로 되고, 또한 반송 유닛(34, 36)의 크기나 중량이 저감된다. 그 때문에, 전자 부품(T)의 반송할 때의 반송 유닛(34, 36)의 이동 속도의 향상도 도모되게 된다.

또한, 반송 유닛(34, 36)의 각각이 2개의 파지부(52a, 53a)를 구비하고, 각 파지부(52a, 53a)에 파지된 전자 부품(T)이 검사에 공급될 때에, 검사 대상으로 되는 전자 부품(T)을 파지하는 파지부가 하강하고, 다른 쪽의 파지부가 상승한다. 이에 의해, 반송 유닛(34, 36)의 각각에 의해, 도중에 전자 부품(T)의 배출과 공급을 개입하는 일 없이 전자 부품(T)을 복수회 검사에 공급하는 것이 가능해지기 때문에, 테스트 헤드(33)로의 전자 부품(T)의 반송의 효율화가 도모된다.

또한, 한쪽의 반송 유닛이 전자 부품(T)을 검사에 공급하고 있는 동안에, 다른 쪽의 반송 유닛은 검사 전의 전자 부품(T)을 파지하고, 그 후 동작 중의 반송 유닛에 인접하여 대기하도록 하고 있다. 이에 의해서도, 테스트 헤드(33)로의 전자 부품(T)의 반송의 효율화를 도모할 수 있다. 또한, 이 대기 중의 반송 유닛에 대해서는, 최초의 검사 대상으로 되는 전자 부품(T)을 파지하는 파지부를 하강시키고, 다른 쪽의 파지부를 상승시키는 동작을 완료한 후에 대기하도록 하면, 전자 부품(T)의 반송을 보다 효율적으로 행하는 것이 가능해진다.

또한, 테스터(69)에 의해 합계 4회의 검사가 행해질 때에, 각각이 2개의 파지부(52a, 53a)를 갖는 2개의 반송 유닛(34, 36)이 테스트 헤드(33)의 양측에 배치된다. 그 때문에, 도 18에 도시된 4개의 파지부를 갖는 1개의 반송 유닛을 이용하여 전자 부품(T)을 검사에 공급하는 구성과 비교하여, 검사에 필요하게 되는 반송 유닛 1개당 Y 방향의 반송 거리를 작게 하는 것이 가능하다. 따라서, 도 13에 도시되는 바와 같이, 제1 셔틀(32)과 제2 셔틀(35) 사이의 폭 W1을 작게 하는 것이 가능해져, 핸들러(10) 전체를 소형화할 수 있다.

덧붙여서 말하면, 상기 도 13에 도시되는 바와 같이, 2개의 제1 승강 기구(52, 53) 사이의 간격 d1이 작을수록, 반송 유닛(34, 36)의 소형화가 가능해짐과 함께, 상기 폭 W1을 보다 작게 하는 것도 가능하다. 그 때문에, 반송 유닛(34, 36)의 테스트 헤드(33)로의 전자 부품(T)의 반송 동작에 있어서의 반송 유닛(34, 36)의 반송 거리 및 반송 시간을 단축하는 점에서는, 상기 간격 d1은, 2개의 제1 승강 기구(52, 53)의 각각의 승강에 지장이 없는 범위에서 최소값인 것이 바람직하다.

또한, 상술한 제1 반송 유닛(34)의 작동 양태의 설명에서는, 편의상, 제1 반송 유닛(34)의 Y 방향의 이동, 제2 승강 기구(51)에 있어서의 하단부의 Z 방향의 이동, 제1 승강 기구(52, 53)에 있어서의 하단부의 Z 방향의 이동의 각각에 대해서, 1개의 방향의 이동이 종료되고 나서 다음의 방향의 이동이 개시되는 것으로 하였다. 그러나, 서로 다른 방향의 이동을 동시에 행하도록 하면, 반송 유닛(34, 36)의 반송에 걸리는 시간을 단축하는 것이 가능해진다. 이 경우, 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 파지부(52a, 53a)가 이동하는 궤적은 아치 형상으로 된다.

또한, 2개의 반송 유닛(34, 36)의 각각은, 2개의 파지부(52a, 53a) 및 각각에 대응하는 제1 승강 모터(52M, 53M)를 구비하는 것으로 하였지만, 3개 이상의 파지부 및 각각에 대응하는 제1 승강 모터를 구비하도록 해도 좋다. 이 경우, 각 파지부에 파지한 전자 부품(T)을 검사에 공급할 때에는, 검사 대상으로 되는 전자 부품(T)을 파지하는 1개의 파지부를 하강시키고, 남은 파지부를 상승시키도록, 각각의 파지부에 대응하는 제1 승강 모터를 구동한다. 그리고, 이러한 파지부의 승강을 반송 유닛(34, 36)의 Y 방향으로의 이동에 맞춰서 행함으로써, 전자 부품(T)을 순차적으로 검사에 공급하도록 한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 이하에 열거하는 효과가 얻어지게 된다.

(1) 핸들러(10)의 반송 유닛(34, 36)이, 전자 부품(T)을 파지하는 복수의 파지부(52a, 53a)의 각각을 승강시키는 복수의 제1 승강 모터(52M, 53M)와, 그 복수의 제1 승강 모터(52M, 53M)의 전체를 승강시키는 1개의 제2 승강 모터(51M)를 갖도록 하였다. 따라서, 제1 승강 모터(52M, 53M) 및 제1 승강 기구(52, 53)의 전체에 대하여, 그들을 승강시키는 제2 승강 모터(51M)가 1개이므로, 반송 유닛으로서의 구성이 간이한 것으로 된다. 또한, 반송 유닛의 크기나 중량을 저감할 수 있기 때문에, 전자 부품(T)의 반송할 때의 반송 유닛의 이동 속도의 향상이 가능해져, 효율적으로 전자 부품(T)을 반송할 수 있게 된다.

(2) 제어 장치(60)의 제어에 의해, 복수의 제1 승강 모터(52M, 53M) 중 일부를 하강 구동하고, 남은 제1 승강 모터를 상승 구동하도록 하였다. 이에 따르면, 복수의 파지부를 갖는 1개의 반송 유닛에 의해, 도중에 전자 부품(T)의 배출과 공급을 개입하지 않고, 검사 단위의 전자 부품(T)을 복수회 검사에 공급하는 것이 가능해진다. 따라서, 효율적으로 테스트 헤드(33)에 전자 부품(T)을 반송할 수 있게 되고, 나아가서는 부품 검사 장치에 의한 전자 부품(T)의 검사 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.

(3) 또한, 1개의 제1 승강 기구가 하강 구동될 때에, 다른 제1 승강 기구도 하강 구동되거나, 다른 제1 승강 기구가 구동되지 않거나 하는 승강의 양태와 비교하고, 상술한 승강의 양태이면, 복수의 제1 승강 기구(52, 53)의 각각의 위치가, 승강 방향으로 분리되게 된다. 그 때문에, 하나의 파지부가 하강하는 방향으로, 그 하강의 장해가 되는 부위가 기대(11) 위에 있는 경우라도, 이러한 부위와의 간섭을 피할 수 있도록, 그 파지부만이 상승 구동되고, 또한 다른 파지부가 하강 구동되는 것이 가능하게도 된다.

(4) 반송 모터, 제1 승강 모터(52M, 53M) 및 제2 승강 모터(51M)에 의해, 반송 유닛의 Y 방향의 이동 및 반송 유닛의 각 부의 Z 방향의 이동을 모터에 의해 행하도록 하였다. 이에 의해, 각 부의 구동에 관한 것으로, 고속 구동이나 아치 구동을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 효율적으로 전자 부품(T)을 반송할 수 있게 된다.

(5) 핸들러(10)는, 2개의 반송 유닛(34, 36)을 갖고, 제어 장치(60)의 제어에 의해, 한쪽의 반송 유닛에 의한 전자 부품(T)의 테스트 헤드(33)로의 접속 동작이 종료될 때까지, 다른 쪽의 반송 유닛을 상기 한쪽의 반송 유닛에 인접하여 대기시키도록 하였다. 따라서, 2개의 반송 유닛(34, 36)의 각각이 연속해서 효율적으로 테스트 헤드(33)에 전자 부품(T)을 반송할 수 있게 되고, 나아가서는 부품 검사 장치에 있어서의 전자 부품(T)의 검사 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.

(제2 실시 형태)

이하, 본 발명의 핸들러 및 부품 검사 장치를 구체화한 제2 실시 형태에 대해서, 도 14 내지 도 17을 참조하여 설명한다. 또한, 본 실시 형태의 핸들러 및 부품 검사 장치도, 그 기본적인 구성은 제1 실시 형태와 마찬가지이다. 단, 본 실시 형태에서는, 핸들러의 반송 유닛이 갖는 제1 승강 기구의 개수, 제1 승강 모터의 개수, 파지부의 개수 및 그 작동 양태가 제1 실시 형태와 다르므로, 이하에서는 이 점을 중심으로 설명한다.

[반송 유닛의 구성]

도 14에 도시되는 바와 같이, 반송 가이드(31)에는, 그 반송 가이드(31)를 따라서 왕동 및 복동 가능하게, 제2 승강 기구(71)가 연결되어 있다. 이 제2 승강 기구(71)의 하단부에는, 탑재면(11a)을 따라서 확대되는 판 형상의 연결부가 형성되고, 그 연결부에 있어서의 탑재면(11a)측에는, 4개의 제1 승강 기구(72, 73, 74, 75)가 공통적으로 연결되어 있다.

제1 승강 기구(72 내지 75)의 각각의 하단부에는, 예를 들면 진공 흡착에 의해 전자 부품(T)을 흡착하여 파지하는 것이 가능한 엔드 이펙터인 파지부(72a, 73a, 74a, 75a)가 연결되어 있다. 또한, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 파지부(72a 내지 75a)의 각각은, 예를 들면 노즐, 그 노즐에 접속된 흡인 펌프, 그 노즐에 압축 공기를 공급하는 리크 밸브 등에 접속되어 있다.

제2 승강 기구(71)의 하단부인 연결부에는, 제1 승강 모터(72M, 73M, 74M, 75M)가 내장되어 있다. 그리고, 제1 승강 모터(72M)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 제1 승강 기구(72)의 하단부가 기대(11)에 대하여 상승 혹은 하강하고, 제1 승강 모터(73M)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 제1 승강 기구(73)의 하단부가 기대(11)에 대하여 상승 혹은 하강한다. 마찬가지로, 제1 승강 모터(74M)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 제1 승강 기구(74)의 하단부가 기대(11)에 대하여 상승 혹은 하강하고, 제1 승강 모터(75M)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 제1 승강 기구(75)의 하단부가 기대(11)에 대하여 상승 혹은 하강한다. 이들의 제1 승강 모터(72M 내지 75M)는, 제어 장치(60)에 의해 각각이 독립하여 구동 가능하게 제어된다.

또한, 제2 승강 기구(71)의 상단부에는, 제2 승강 모터(71M)가 내장되어 있고, 제2 승강 모터(71M)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 제2 승강 기구(71)의 하단부가 기대(11)에 대하여 상승 혹은 하강한다. 즉, 제2 승강 모터(71M)가 구동됨으로써, 제1 승강 모터(72M 내지 75M), 제1 승강 기구(72 내지 75) 및 파지부(72a 내지 75a), 이들의 전체가 상승 혹은 하강하게 된다.

또한, 이들 제2 승강 기구(71), 제2 승강 모터(71M), 제1 승강 기구(72 내지 75) 및 제1 승강 모터(72M 내지 75M)에 의해 제1 반송부가 구성되어 있다. 또한, 제2 승강 기구(71), 제2 승강 모터(71M)에 의해 제1 반송부에 있어서의 제2 승강부가 구성되고, 제1 승강 기구(72 내지 75) 및 제1 승강 모터(72M 내지 75M)에 의해 제1 반송부에 있어서의 제1 승강부가 구성되어 있다.

또한, 제2 반송 유닛도 마찬가지인 구성을 갖고 있고, 제2 반송 유닛에 있어서의 제2 승강 기구, 제2 승강 모터, 4개의 제1 승강 기구 및 4개의 제1 승강 모터에 의해 제2 반송부가 구성되어 있다. 또한, 제2 반송 유닛에 있어서의 제2 승강 기구, 제2 승강 모터에 의해 제2 반송부에 있어서의 제2 승강부가 구성되고, 제1 승강 기구 및 제1 승강 모터에 의해 제2 반송부에 있어서의 제1 승강부가 구성되어 있다.

그리고, 본 실시 형태에서는, 테스트 헤드(83)의 상면에 부착된 검사용 소켓에는, X 방향으로 3열, Y 방향으로 2열의 전자 부품(T)을 동시에 수용 가능한 검사용 포켓(83a)이 오목 설치되어 있다. 또한, 공급용 셔틀 트레이(82a, 85a) 및 회수용 셔틀 트레이(82b, 85b)에는, X 방향으로 3열, Y 방향으로 4열의 전자 부품(T)이 매트릭스 형상으로 수용된다. 그리고, 제1 반송 유닛(70)의 각 파지부(72a 내지 75a)는, 각각이 X 방향으로 3열, Y 방향으로 1열의 전자 부품(T)을 동시에 파지 가능하게 구성되어 있다. 즉, 제1 반송 유닛(70)은, 4개의 파지부(72a 내지 75a)를 가짐으로써, 테스터(69)가 1회에 검사 가능한 전자 부품의 2배의 개수의 전자 부품(T)을 파지 가능하게 되어 있다.

[핸들러의 작동 양태]

다음으로, 상술한 구성의 핸들러(10)의 작동 양태에 대해서, 제1 반송 유닛(70)의 작동 양태를 중심으로 도 14 내지 도 17을 참조하여 설명한다. 이하에 설명하는 동작은 모두 제어 장치(60)로부터의 각종 명령에 기초하여 각 구동부에 의해 행해진다.

우선, 제1 반송 유닛(70)은, 제1 셔틀(32)의 공급용 셔틀 트레이(82a)에 재치된 검사 전의 전자 부품(T)을 일괄적으로 파지부(72a 내지 75a)의 각각에 파지한 후, 도 14에 도시되는 바와 같이, Y 방향으로 제1 검사 위치까지 이동한다. 이 제1 검사 위치는, 제1 승강 기구(72)의 파지부(72a)에 파지되는 전자 부품(Ta) 및 제1 승강 기구(74)의 파지부(74a)에 파지되는 전자 부품(Tc)이, 테스트 헤드(83)의 검사용 포켓(83a) 바로 위에 배치되는 위치이다. 또한, 이러한 배치의 양태가 가능해지는 전제로서, 반송 유닛(70) 및 테스트 헤드(83)에 있어서의 Y 방향의 폭은, 이하와 같이 구성되어 있다. 즉, 파지부(72a)에 파지되는 전자 부품(Ta)과 파지부(74a)에 파지되는 전자 부품(Tc) 사이의 간격을 d2로 하고, 파지부(73a)에 파지되는 전자 부품(Tb)과 파지부(75a)에 파지되는 전자 부품(Td) 사이의 간격을 d2로 한다. 그리고, 이들 간격 d2와, 테스트 헤드(83)에 설치되는 검사용 포켓(83a)의 Y 방향의 2열 간의 간격 d3이 서로 동등하게 되도록, 반송 유닛(70) 및 테스트 헤드(83)가 구성되어 있다.

다음으로, 도 15에 도시되는 바와 같이, 2개의 제1 승강 모터(72M, 74M)가 구동됨으로써, 2개의 파지부(72a, 74a)가 제1 승강 모터(72M, 74M)에 의한 가동 범위의 최하 위치까지 하강한다. 이에 대해, 다른 2개의 제1 승강 모터(73M, 75M)가 구동됨으로써, 파지부(73a, 75a)가 제1 승강 모터(73M, 75M)에 의한 가동 범위의 최상 위치까지 상승한다.

계속해서, 도 16에 도시되는 바와 같이, 제2 승강 모터(71M)가 구동됨으로써, 제2 승강 기구(71)의 하단부, 즉 그 하단부에 내장된 제1 승강 모터(72M 내지 75M)가 그 가동 범위의 최하 위치까지 하강한다. 이에 수반하여, 파지부(72a 내지 75a)도 함께 하강하게 되고, 2개의 파지부(72a, 74a)에 파지된 전자 부품(Ta, Tc)만이 테스트 헤드(83)의 검사용 포켓(83a)에 감입된다. 그리고, 전자 부품(Ta, Tc)이 테스터(69)에 의한 검사에 공급된다. 이 때, 다른 2개의 파지부(73a, 75a)는, 앞의 파지부(72a, 74a)보다도 상방에 배치되기 때문에, 파지부(73a, 75a)에 파지된 전자 부품(Tb, Td)이 테스트 헤드(83)나 그 주변의 각종 부품에 간섭하는 것을 억제하는 것이 가능하다.

테스터(69)에 의한 전자 부품(Ta, Tc)의 검사가 종료되면, 제2 승강 모터(71M)가 구동됨으로써, 제2 승강 기구(71)의 하단부, 즉 그 하단부에 내장된 제1 승강 모터(72M 내지 75M)가 상승한다. 또한, 제1 반송 유닛(70)은, Y 방향으로 제2 검사 위치까지 이동한다. 이 제2 검사 위치는, 제1 승강 기구(73)의 파지부(73a)에 파지되는 전자 부품(Tb) 및 제1 승강 기구(75)의 파지부(75a)에 파지되는 전자 부품(Td)이, 테스트 헤드(83)의 검사용 포켓(83a) 바로 위에 배치되는 위치이다.

계속해서, 도 17에 도시되는 바와 같이, 2개의 제1 승강 모터(72M, 74M)가 구동됨으로써, 2개의 파지부(72a, 74a)가 그 가동 범위의 최상 위치까지 상승한다. 이에 대해, 다른 2개의 제1 승강 모터(73M, 75M)가 구동됨으로써, 다른 2개의 파지부(73a, 75a)가 그 가동 범위의 최하 위치까지 하강한다.

그리고, 제2 승강 모터(71M)가 구동됨으로써, 제2 승강 기구(71)의 하단부, 즉 그 하단부에 내장된 제1 승강 모터(72M 내지 75M)가 그 가동 범위의 최하 위치까지 하강하고, 2개의 파지부(73a, 75a)에 파지된 전자 부품(Tb, Td)이 테스터(69)에 의한 검사에 공급된다.

이와 같이, 1개의 반송 유닛(70)이 4개의 파지부(72a 내지 75a)를 구비하고, 각 파지부(72a 내지 75a)에 파지된 전자 부품(T)이 검사에 공급될 때에, 서로 인접하는 파지부의 승강 상태가 서로 다르도록, 검사 대상으로 되는 전자 부품(T)을 파지하는 쪽의 파지부가 하강되고, 다른 쪽의 파지부가 상승되도록 하고 있다. 즉, 서로 인접하는 제1 승강 기구(72 내지 75)의 승강 상태가 서로 다르도록, 각 제1 승강 모터(72M 내지 75M)가 구동되도록 하고 있다. 그 때문에, 전자 부품(T)의 하강처가 되는 기대(11) 위의 부위가 간격을 두고 배치되어 있는 경우라도, 상술한 바와 같이, 이와 같은 간격이 1개의 제1 승강 기구의 폭에 상당하는 것이면, 이러한 하강처가 되는 복수의 부위로 한번에 전자 부품(T)을 하강시키는 것이 가능하게도 된다. 따라서, 검사에 필요하게 되는 반송 유닛 1개당 반송 기회나 반송 거리를 작게 하는 것이 가능해져, 제1 셔틀(32)과 제2 셔틀(35) 사이의 폭 W2를 작게 할 수 있게 된다. 그 때문에, 반송 유닛(70)이 테스트 헤드(83)에 전자 부품(T)을 반송하는 동작에 있어서, 그 동작에 요하는 시간을 단축하는 것이 가능해진다.

또한, 제1 반송 유닛(70)에 의해 전자 부품(T)이 검사에 공급되고 있는 동안에, 제2 반송 유닛은, 검사 후의 전자 부품(T)의 배출과 검사 전의 전자 부품(T)의 공급을 행한 후, 제1 반송 유닛(70)에 접근하고, 그 후 제2 반송 유닛의 Y 방향에 있어서의 가동 범위 중, 제1 반송 유닛(70)에 가장 가까운 위치에서 대기한다. 그리고, 제1 반송 유닛(70)에 파지되는 전자 부품(T)의 검사가 전부 종료되면, 제1 반송 유닛(70)과 제2 반송 유닛은 동기하여 Y 방향으로 이동하고, 계속해서 제2 반송 유닛에 파지되는 전자 부품을 검사에 공급하기 위한 동작이 행해진다.

또한, 본 실시 형태에 있어서도, 반송 유닛의 각 부의 이동에 대해서, 그 이동의 궤적이 아치 형상으로 되도록, 서로 다른 방향의 이동을 반송 유닛의 각 부가 동시에 행하도록 하면, 반송 유닛의 이동에 걸리는 시간을 단축하는 것이 가능해진다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 1개의 반송 유닛(70)이, 4개의 파지부(72a 내지 75a)와, 그 4개의 파지부(72a 내지 75a)의 각각에 연결된 제1 승강 기구(72 내지 75)를 구비하는 것으로 하였지만, 4개 이상의 파지부 및 각각의 파지부에 대응하는 제1 승강 기구를 구비하도록 해도 좋다. 이 경우도, 서로 인접하는 제1 승강 기구의 승강 상태가 서로 다르도록, 각 제1 승강부를 구동하도록 하면, 반송 유닛의 테스트 헤드(83)로의 전자 부품(T)의 반송 동작에 대해서, 반송 거리 및 반송 시간을 단축하는 것이 가능해진다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 상술한 제1 실시 형태의 (1) 내지 (5)의 효과 외에, 이하의 효과가 얻어지게 된다.

(6) 반송 유닛이 4개의 제1 승강 모터(72M 내지 75M)를 구비하고, 제어 장치(60)의 제어에 의해, 서로 인접하는 제1 승강 기구(72 내지 75)의 승강 상태가 서로 다르도록, 제1 승강 모터(72M 내지 75M)를 구동하도록 하였다. 따라서, 테스트 헤드(83)로의 전자 부품(T)의 반송 동작에 대해서, 반송 거리 및 반송 시간을 단축하는 것이 가능해진다. 그 때문에, 효율적으로 테스트 헤드(83)에 전자 부품(T)을 반송할 수 있게 되고, 나아가서는 부품 검사 장치에 의한 전자 부품(T)의 검사 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.

또한, 상기의 각 실시 형태는, 이하와 같이 적절히 변경하여 실시할 수도 있다.

ㆍ 테스트 헤드(33, 83)에 있어서의 검사용 포켓의 개수나 배열의 양태, 공급용 셔틀 트레이(32a, 82a) 및 회수용 셔틀 트레이(35b, 85b)에 수용되는 전자 부품(T)의 개수나 배열의 양태는, 상기의 각 실시 형태의 경우에 한정되는 것은 아니고, 임의이다.

ㆍ 반송 유닛의 파지부가 파지 가능한 전자 부품(T)의 개수는, 1개이거나 복수여도 좋다. 또한, 복수의 전자 부품을 파지부가 파지하는 경우, 파지부에 파지되는 복수의 전자 부품의 배치의 양태는, 복수의 전자 부품이 1열로 배열되는 양태 외에, 복수의 전자 부품이 매트릭스 형상으로 배열되는 양태여도 좋다.

ㆍ 또한, 파지부에 파지되는 전자 부품(T)의 개수나 그 배열의 양태는, 테스트 헤드(33, 83)에 있어서의 검사용 포켓의 개수나 그 배열의 양태, 공급용 셔틀 트레이(32a, 82a) 및 회수용 셔틀 트레이(35b, 85b)에 수용되는 전자 부품(T)의 개수나 그 배열의 양태에 제약을 받는 일은 없다. 요컨대, 복수의 파지부의 각각에 대응하는 복수의 제1 승강 모터의 각각에 의해, 그 파지부가 독립하여 승강되는 구성이면, 파지부에 파지되는 전자 부품(T)의 개수나 그 배열의 양태는 임의이다.

ㆍ 제1 승강 모터, 제1 승강 기구 및 파지부는, 교환 가능한 1개의 유닛이어도 좋다. 이에 따르면, 파지부가 파지하는 전자 부품(T)의 개수나 간격 등을 용이하게 조정하는 것이 가능해지기 때문에, 핸들러로서의 범용성을 높일 수 있다.

ㆍ 상기의 각 실시 형태에서는, 제1 승강 기구의 파지부의 위치 제어가, 그 가동 범위의 최상 위치, 중간 위치, 최하 위치의 3 위치에서 행해지도록 하였지만, 최상 위치와 최하 위치의 2 위치에서 행해지도록 해도 좋다. 이 경우, 전자 부품(T)의 공급 및 배출은, 반송 유닛에 있어서의 모든 파지부의 위치를 최상 위치 혹은 최하 위치로 하여 행하도록 하면 된다. 또한, 이와 같이 파지부의 위치 제어가 2 위치에서 행해지는 경우에는, 반송 유닛에 있어서의 각 부의 Z 방향의 이동이 공기 압력 실린더 등에 의해 행해지도록 해도 좋다.

ㆍ 상기의 각 실시 형태에서는, 서로 다른 반송 유닛을 2개 구비하도록 하였지만, 반송 유닛의 개수는 1개여도 좋고, 또한 3개 이상이어도 좋다.

ㆍ 상기의 각 실시 형태에서는, 핸들러를 부품 검사 장치에 구비하는 것으로 하였지만, 이에 한정되지 않고, 기대 위에서 반송 대상을 반송하는 동작을 필요로 하는 각종의 장치 등에 구비하도록 해도 좋다.

T, Ta, Tb, Tc, Td : 전자 부품
C1 : 공급용 컨베이어
C2, C3, C4 : 회수용 컨베이어
C1a : 공급용 컨베이어 트레이
C2a, C3a, C4a : 회수용 컨베이어 트레이
MA : 반송 모터
MC : 컨베이어 모터
MS : 셔틀 모터
MX : X축 모터
MY : Y축 모터
MZ : 핸드 모터
EMA, EMC, EMS, EMX, EMY, EMZ, E51M, E52M, E53M : 인코더
SV1, SV2, SV3 : 흡인 밸브
DV1, DV2, DV3 : 리크 밸브
10 : 핸들러
11 : 기대
11a : 탑재면
12 : 커버 부재
20 : 공급 로봇
21 : 공급측 고정 가이드
22 : 공급측 가동 가이드
23 : 공급용 핸드 유닛
31 : 반송 가이드
32 : 제1 셔틀
32a, 35a, 82a, 85a : 공급용 셔틀 트레이
32b, 35b, 82b, 85b : 회수용 셔틀 트레이
32c : 제1 셔틀 가이드
33, 83 : 테스트 헤드
33a, 83a : 검사용 포켓
34 : 제1 반송 유닛
35 : 제2 셔틀
35c : 제2 셔틀 가이드
36 : 제2 반송 유닛
40 : 회수 로봇
41 : 회수측 고정 가이드
42 : 회수측 가동 가이드
43 : 회수용 핸드 유닛
45 : 개구부
51, 71 : 제2 승강 기구
51M, 71M : 제2 승강 모터
52, 53, 72, 73, 74, 75 : 제1 승강 기구
52a, 53a, 72a, 73a, 74a, 75a : 파지부
52M, 53M, 72M, 73M, 74M, 75M : 제2 승강 모터
60 : 제어 장치
61 : 컨베이어 구동부
62 : X축 가이드 구동부
63 : Y축 가이드 구동부
64 : 핸드 유닛 구동부
64a : 핸드 모터 구동부
64b : 밸브 구동부
65 : 셔틀 구동부
66 : 반송 유닛 구동부
66a : 반송 모터 구동부
66b, 66c : 제1 승강 모터 구동부
66d : 제2 승강 모터 구동부
66e, 66f : 밸브 구동부
69 : 테스터

Claims (10)

1. 기대(基臺) 위에서 반송 대상을 반송하는 반송부를 구비하는 핸들러로서,
   상기 반송부는,
   반송 대상을 파지하는 파지부에 연결되어 그 파지부를 상기 기대에 대하여 승강시키는 복수의 제1 승강부와,
   연결된 상기 복수의 제1 승강부를 한번에 상기 기대에 대하여 승강시키는 제2 승강부
   를 갖는 것을 특징으로 하는 핸들러.
2. 제1항에 있어서,
   상기 반송부의 반송을 제어하는 제어부를 구비하고,
   상기 제어부는, 동일 시간에 있어서,
   상기 복수의 제1 승강부 중의 일부를 하강 구동하고,
   상기 복수의 제1 승강부 중의 상기 일부를 제외한 남은 제1 승강부를 상승 구동하는 핸들러.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 반송부의 반송을 제어하는 제어부를 구비하고,
   상기 반송부는, 4개 이상의 상기 제1 승강부를 구비하고,
   상기 제어부는, 서로 인접하는 상기 제1 승강부의 승강 방향이 서로 다르도록, 상기 복수의 제1 승강부를 구동하는 핸들러.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 승강부에 설치된 제1 승강 모터를 구동함으로써 상기 제1 승강부를 이동시키는 타이밍과, 상기 제2 승강부에 설치된 제2 승강 모터를 구동함으로써 상기 제2 승강부를 이동시키는 타이밍을 다르게 할 수 있는 핸들러.
5. 제3항에 있어서,
   상기 제1 승강부에 설치된 제1 승강 모터를 구동함으로써 상기 제1 승강부를 이동시키는 타이밍과, 상기 제2 승강부에 설치된 제2 승강 모터를 구동함으로써 상기 제2 승강부를 이동시키는 타이밍을 다르게 할 수 있는 핸들러.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 반송부의 반송을 제어하는 제어부와,
   2개의 상기 반송부
   를 구비하고,
   상기 제어부는, 한쪽의 상기 반송부에 의한 반송 대상의 그 반송 대상의 접속처로의 접속 동작이 종료될 때까지, 다른 쪽의 상기 반송부를 상기 한쪽의 반송부에 인접시킴과 함께 대기시키는 핸들러.
7. 제3항에 있어서,
   상기 반송부의 반송을 제어하는 제어부와,
   2개의 상기 반송부
   를 구비하고,
   상기 제어부는, 한쪽의 상기 반송부에 의한 반송 대상의 그 반송 대상의 접속처로의 접속 동작이 종료될 때까지, 다른 쪽의 상기 반송부를 상기 한쪽의 반송부에 인접하여 대기시키는 핸들러.
8. 제4항에 있어서,
   상기 반송부의 반송을 제어하는 제어부와,
   2개의 상기 반송부
   를 구비하고,
   상기 제어부는, 한쪽의 상기 반송부에 의한 반송 대상의 그 반송 대상의 접속처로의 접속 동작이 종료될 때까지, 다른 쪽의 상기 반송부를 상기 한쪽의 반송부에 인접하여 대기시키는 핸들러.
9. 제5항에 있어서,
   상기 반송부의 반송을 제어하는 제어부와,
   2개의 상기 반송부
   를 구비하고,
   상기 제어부는, 한쪽의 상기 반송부에 의한 반송 대상의 그 반송 대상의 접속처로의 접속 동작이 종료될 때까지, 다른 쪽의 상기 반송부를 상기 한쪽의 반송부에 인접하여 대기시키는 핸들러.
10. 기대의 개구부에 부착된 검사용 소켓을 갖는 테스터와,
    상기 기대 위에서 전자 부품을 상기 검사용 소켓으로 반송하는 적어도 1개의 반송부를 구비하는 부품 검사 장치로서,
    상기 반송부는,
    전자 부품을 파지하는 복수의 파지부의 각각에 연결되어 그 복수의 파지부의 각각을 상기 검사용 소켓에 대하여 승강시키는 복수의 제1 승강부와,
    상기 복수의 제1 승강부의 모두에 연결되어 그 복수의 제1 승강부의 전체를 상기 검사용 소켓에 대하여 승강시키는 1개의 제2 승강부
    를 갖는 것을 특징으로 하는 부품 검사 장치.

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