KR20130020243A - 얼라인 방법 및 이를 이용하는 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

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KR20130020243A
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Abstract

본 발명은 기판 하부에 얼라인 키가 형성된 투명한 글래스 기판을 부착하여 기판과 마스크를 얼라인 하는 얼라인 방법 및 이를 이용하는 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 얼라인 방법은, 글래스 기판 상에 얼라인 키를 형성하는 단계; 접착 필름을 이용하여 상기 글래스 기판 상에 기판을 부착시키는 단계; 상기 얼라인 키를 노출시키도록 상기 기판과 접착 필름을 선택적으로 제거하는 단계; 상기 기판 상에 얼라인 마크가 형성된 마스크를 정렬하고, 상기 글래스 기판 상부에 카메라를 위치시켜 기판과 마스크를 정렬하는 단계; 및 상기 기판을 상기 글래스 기판에서 분리시키는 단계를 포함한다.

Description

얼라인 방법 및 이를 이용하는 표시 장치의 제조 방법{ALIGN METHOD AND FABRICATING METHOD OF DISPLAY DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 얼라인 방법 및 이를 이용하는 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 특히, 투명한 글래스 기판을 이용하여 플렉서블 기판과 마스크를 얼라인(Align)하는 얼라인 방법 및 이를 이용하는 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 근래에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device: LCD), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel: PDP), 전기발광 표시 장치(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔다. 그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 액정 표시 장치가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
최근에는 평판 표시 장치를 전자종이(Electronic Sheet), 지갑, 노트북 컴퓨터 등의 휴대성 제품에 채용하고자 하는 요구에 따라, 플렉서블(Flexible) 표시 장치의 개발이 진행되고 있다. 이와 같은 전자종이, 지갑, 노트북 컴퓨터, 이-북(E-book) 등과 같이 휴대성 제품에 탑재되는 표시 장치는 외부로부터 가해지는 힘에 순응하여 휘어질 수 있도록 플렉서블한 특성을 가져야 한다.
따라서, 플렉서블 표시 장치는 유연성을 구비한 플렉서블 기판으로 이루어져야 하며, 플렉서블 기판은 투명한 플라스틱, 불투명한 금속 기판이 사용될 수도 있다. 특히, 플렉서블 유기 발광 표시 장치가 많은 사람들의 관심의 대상이 되고 있다.
그런데, 플렉서블 유기 발광 표시 장치의 플렉서블 기판은 포토리소그래피(Photolithography) 공정 및 마스크를 사용하는 증착 공정 등을 진행할 때 마스크와 플렉서블 기판과의 얼라인(Align) 시 콘트라스트 비 저하로 인해 플렉서블 기판 상에 형성된 얼라인 키와 마스크의 얼라인 마크의 인식이 어렵게 되는 문제가 발생하게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 기판과 마스크를 정렬하는 방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적으로 기판과 마스크를 정렬하는 방법을 도시하는 단면도이다.
도 1과 같이, 일반적인 유기 발광 표시 장치의 경우, 기판(1) 외곽부에 얼라인 키(1a)를 구비하고, 기판(1)의 외곽부의 상측에 카메라(5)를 배치한다. 그리고, 기판(1) 하측에 섀도우 마스크(4)를 위치시키고, 섀도우 마스크(4)의 하측에는 유기 발광 물질 공급원(미도시)를 구비한다.
이 때, 섀도우 마스크(4)는 기판(1) 상에 유기 물질을 증착하기 위한 것으로, 카메라(5)를 사용하여 기판(1) 상에 형성된 얼라인 키(1a)와 섀도우 마스크(4) 상에 형성된 얼라인 마크(4a)를 대응시켜 기판(1)과 섀도우 마스크(4a)를 정밀하게 정렬할 수 있다.
그런데, 기판으로 플렉서블 기판을 사용하는 경우, 플렉서블 기판은 불투명하거나 투과도가 낮은 금속으로 형성되어 카메라에 의한 얼라인이 불가능하다. 또한, 플렉서블 기판은 가요성을 가지므로 기판의 중앙부가 처져, 얼라인 공정 시 평평한 상태를 유지할 수 없다. 따라서, 정위치로 얼라인을 한다 하더라도 얼라인 된 위치가 유동하게 되어 얼라인 정밀도가 떨어지는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 플렉서블 기판 하부에 얼라인(Align) 키가 형성된 투명한 글래스 기판을 부착하여 글래스 기판을 통해 마스크의 얼라인 마크를 확인함으로써, 플렉서블 기판과 마스크의 얼라인이 가능한 얼라인 방법 및 이를 이용하는 표시 장치의 제조 방법을 제공하는데, 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 얼라인 방법은, 글래스 기판 상에 얼라인 키를 형성하는 단계; 접착 필름을 이용하여 상기 글래스 기판 상에 기판을 부착시키는 단계; 상기 얼라인 키를 노출시키도록 상기 기판과 접착 필름을 선택적으로 제거하는 단계; 상기 기판 상에 얼라인 마크가 형성된 마스크를 정렬하고, 상기 글래스 기판 상부에 카메라를 위치시켜 기판과 마스크를 정렬하는 단계; 및 상기 기판을 상기 글래스 기판에서 분리시키는 단계를 포함한다.
상기 기판은 플렉서블 기판이다.
상기 마스크를 정렬하는 단계는, 카메라를 이용하여 상기 글래스 기판 상에 형성된 얼라인 키와 상기 마스크의 얼라인 마크가 대응되도록 상기 마스크를 정렬한다.
상기 접착 필름은 탈부착이 가능한 양면 테이프이다.
또한, 동일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 표시 장치의 제조 방법은, 글래스 기판 상에 얼라인 키를 형성하는 단계; 접착 필름을 이용하여 상기 글래스 기판 상에 기판을 부착시키는 단계; 상기 기판 상에 박막 트랜지스터와 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 얼라인 키를 노출시키도록 상기 기판과 접착 필름을 선택적으로 제거하는 단계; 상기 기판 상에 얼라인 마크가 형성된 마스크를 정렬하고, 상기 글래스 기판 상부에 카메라를 위치시켜 기판과 마스크를 정렬하는 단계; 상기 마스크를 이용하여 제 1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 상기 유기 발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계; 및 상기 기판을 상기 글래스 기판에서 분리시키는 단계를 포함한다.
상기 기판은 플렉서블 기판이다.
상기 마스크를 정렬하는 단계는, 카메라를 이용하여 상기 글래스 기판 상에 형성된 얼라인 키와 상기 마스크의 얼라인 마크가 대응되도록 상기 마스크를 정렬한다.
상기 접착 필름은 탈부착이 가능한 양면 테이프이다.
상기와 같은 본 발명의 얼라인(Align) 방법 및 이를 이용하는 표시 장치의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 접착 필름을 이용하여 플렉서블 기판 하부에 투명한 글래스 기판을 부착하여 글래스 기판과 마스크를 얼라인 한 후 글래스 기판을 제거함으로써, 마스크와 얼라인 하기 어려운 플렉서블 기판과 마스크를 쉽게 얼라인 할 수 있다.
둘째, 플렉서블 기판과 마스크를 얼라인 한 후 제거한 글래스 기판은 접착 필름을 제거하고 세정한 후 다시 사용할 수 있으며, 기존 증착 장비를 활용하여 표시 장치를 제조할 수 있으므로 추가적인 제조 비용이 증가하지 않는다.
셋째, 비가요성을 갖는 글래스 기판을 플렉서블 기판을 고정하는 반송 캐리어로 사용할 수 있으므로, 플렉서블 기판을 얼라인 공정 시 평평한 상태로 유지시켜 플렉서블 기판과 마스크의 얼라인 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 1는 일반적으로 기판과 마스크를 정렬하는 방법을 도시하는 단면도.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 얼라인 방법을 나타낸 공정 단면도.
도 3은 카메라를 이용하여 글래스 기판의 얼라인 키와 마스크의 얼라인 마크를 대응시키는 사시도.
도 4a는 플렉서블 기판과 접착 필름을 제거하기 전 카메라로 얼라인 키를 확인한 사진이며, 도 4b는 플렉서블 기판과 접착 필름을 제거한 후 카메라로 얼라인 키를 확인한 사진.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 얼라인 방법을 이용하여 표시 장치를 제조하는 공정 단면도.
본 발명의 플렉서블 기판과 마스크의 얼라인(Align)을 진행하기 위해, 글래스 기판의 얼라인 키와 마스크의 얼라인 마크를 대응시켜 플렉서블 기판과 마스크를 얼라인하는 얼라인 방법 및 이를 이용하는 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 얼라인 방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 얼라인 방법을 나타낸 공정 단면도이며, 도 3은 카메라를 이용하여 글래스 기판의 얼라인 키와 마스크의 얼라인 마크를 대응시키는 사시도이다. 그리고, 도 4a는 플렉서블 기판과 접착 필름을 제거하기 전 카메라로 얼라인 키를 확인한 사진이며, 도 4b는 플렉서블 기판과 접착 필름을 제거한 후 카메라로 얼라인 키를 확인한 사진이다.
먼저, 도 2a와 같이, 글래스 기판(10) 상에 얼라인 키(10a)를 형성하고, 접착 필름(20)을 이용하여 플렉서블 기판(30) 하부에 글래스 기판(10)을 부착한다. 이 때, 얼라인 키(10a)는 글래스 기판(10)의 외곽부에 형성된다.
일반적으로, 플렉서블 기판(30)은 투과도가 낮거나 불투명하여 상술한 바와 같이, 카메라에 의한 얼라인이 불가능하다. 따라서, 본 발명의 얼라인 방법은 플렉서블 기판(30) 하부에 투명한 글래스 기판(10)을 부착하고, 글래스 기판(10)의 외곽부에 형성된 얼라인 키(10a)를 이용하여 후술할 마스크와 플렉서블 기판(30)을 얼라인한다.
더욱이, 가요성을 갖는 플렉서블 기판(30)은 공정 중에 쉽게 휘거나 뒤틀려 기판의 변형이 유발될 수 있으므로, 얼라인 공정 시 평평한 상태를 유지할 수 없다. 이로 인해, 플렉서블 기판(30)이 아래로 처진 상태에서 정위치로 얼라인을 하더라도, 얼라인 된 위치가 유동하게 되어 플렉서블 기판(30)의 얼라인 정밀도가 떨어진다. 따라서, 글래스 기판(10)은 플렉서블 기판(30)을 고정하는 반송 캐리어(Carrier)로 사용할 수 있다.
그리고, 도 2b와 같이, 얼라인 키(10a)를 노출시키도록 접착 필름(20)과 플렉서블 기판(30)을 선택적으로 제거한다. 이는, 후술할 카메라가 글래스 기판(10) 외곽부의 상측에 위치하므로, 접착 필름(20)과 불투명한 플렉서블 기판(30)이 얼라인 키(10a)를 덮고 있으면, 얼라인 키(10a)의 테두리가 명확하지 않을뿐더러 마스크의 얼라인 마크를 인식하기 어렵기 때문이다.
구체적으로, 접착 필름(20)과 플렉서블 기판(30)이 얼라인 키(10a)를 덮고 있는 경우 도 4a에서 40a는 마스크의 얼라인 마크를 지시하고 있으나, 얼라인 마크의 테두리가 명확하지 않아 얼라인 키가 보이지 않는다. 그러나, 접착 필름(20)과 플렉서블 기판(30)을 제거하면, 4b와 같이 선명하게 얼라인 마크(40a)를 확인할 수 있다.
도 2c와 같이, 카메라(50)를 이용하여 글래스 기판(10)과 마스크(40)를 정렬한다. 마스크(40)는 포토리소그래피(Photolithography) 공정 및 증착 공정을 이용하여 플렉서블 기판(30) 상에 패턴을 형성하기 위한 것이다. 이 때, 플렉서블 기판(30)과 마스크(40)의 미스 얼라인(Miss Align)이 발생하면, 노광 불량 및 콘택 불량이 발생할 수 있으므로, 마스크(40)는 플렉서블 기판(30)이 부착된 글래스 기판(10)과 정확하게 얼라인되어야 한다.
구체적으로, 도 3과 같이, 글래스 기판(10)의 외곽부의 상측에 카메라(50), 일 예로써, 비전 카메라(Vision camera)를 위치시키고, 글래스 기판(10) 하측에는 마스크(40)를 위치시킨다. 비전 카메라는 글래스 기판(10)을 투과하여, 얼라인 키(10a)와 얼라인 마크(40a)를 읽어들여 얼라인 키(10a)와 마스크(40)의 정렬 정도를 감지하는 것으로, 비전 카메라를 통해 글래스 기판(10)에 형성된 얼라인 키(10a)와 마스크(40)에 형성된 얼라인 마크(40a)가 대응되도록 마스크(40)를 정렬한다.
그리고, 도 2d와 같이, 글래스 기판(10)과 플렉서블 기판(30)을 분리한다. 이 때, 글래스 기판(10)과 플렉서블 기판(30) 사이의 접착 필름(20)이 탈부착이 가능한 양면 테이프로, 플렉서블 기판(30)의 손상 없이 글래스 기판(10)과 플렉서블 기판(30)을 분리할 수 있다. 그리고, 분리된 글래스 기판(10)은 접착 필름(20)을 제거하고 세정한 후 다시 사용할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 얼라인 방법은, 가요성을 가지며 불투명한 플렉서블 기판(30)과 마스크(40)를 얼라인 하기 위해, 플렉서블 기판(30) 하부에 투명한 글래스 기판(10)을 부착한다. 그리고, 글래스 기판(10)에 형성된 얼라인 키(10a)와 마스크(40)에 형성된 얼라인 마크(40a)를 대응시켜 플렉서블 기판(30)과 마스크(40)를 얼라인 할 수 있다. 더욱이, 비가요성을 갖는 글래스 기판(10)은 플렉서블 기판(30)을 고정하는 반송 캐리어로 사용될 수 있다.
이하, 본 발명의 얼라인 방법을 이용하는 표시 장치의 제조 방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 얼라인 방법을 이용하여 표시 장치를 제조하는 공정 단면도로, 구체적으로는 본 발명의 얼라인 방법을 이용하여 플렉서블 기판을 갖는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 도시하였으나, 본 발명의 얼라인 방법은 모든 표시 장치의 제조 방법에 적용 가능하다.
먼저, 도 5a와 같이, 글래스 기판(100) 상에 얼라인 키(100a)를 형성하고, 접착 필름(200)을 이용하여 플렉서블 기판(300) 하부에 글래스 기판(100)을 부착한다. 이 때, 얼라인 키(100a)는 투명한 글래스 기판(100)의 외곽부에 형성된다.
플렉서블 기판(300)은 가요성을 가지므로, 공정 중에 쉽게 휘거나 뒤틀려 얼라인 공정 시 평평한 상태를 유지할 수 없다. 따라서, 플렉서블 기판(300)하부에 부착된 비가요성을 갖는 글래스 기판(100)은 플렉서블 기판(300)을 고정하는 반송 캐리어로도 사용될 수 있다.
도 5b와 같이, 얼라인 키(100a)를 기준으로 플렉서블 기판(300) 상에 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한다. 구체적으로, 플렉서블 기판(300) 상에는 게이트 라인(미도시)과 데이터 라인(미도시)이 교차하여 복수개의 화소 영역이 정의되어 있으며, 각 화소 영역에 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한다. 도시하지는 않았으나, 박막 트랜지스터(TFT)는 액티브층과 오믹 접촉층이 차례로 적층된 반도체층, 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다.
그리고, 박막 트랜지스터(TFT) 상에 드레인 전극과 접속하는 제 1 전극(500a)을 형성하고, 제 1 전극(500a)의 일부 영역을 노출시키는 뱅크 절연막(500b)을 형성한다. 도시하지는 않았으나, 제 1 전극(500a) 상에 후술할 유기 발광층으로 정공을 잘 주입하기 위한 정공 주입층과 정공 수송층을 차례로 형성한다.
이어, 도 5c와 같이, 얼라인 키(100a)를 노출시키도록 접착 필름(200)과 플렉서블 기판(300)을 선택적으로 제거한다. 후술할 비전 카메라는 글래스 기판(100) 외곽부의 상측에 위치하므로, 접착 필름(200)과 플렉서블 기판(300)이 얼라인 키(100a)를 덮고 있는 경우, 얼라인 키(100a)의 테두리가 명확하지 않을뿐더러 섀도우 마스크의 얼라인 마크를 인식하기 어렵다.
따라서, 접착 필름(200)과 플렉서블 기판(300)을 선택적으로 제거하여 글래스 기판(100)의 얼라인 키(100a)를 노출시킨다. 한편, 접착 필름(200)과 플렉서블 기판(300)을 제거하는 공정은, 박막 트랜지스터(TFT), 제 1 전극, 정공 주입층 및 정공 수송층을 형성하기 전에 수행하여도 무방하다.
그리고, 도 5d와 도 5e와 같이, 글래스 기판(100)의 외곽부의 상측에 비전 카메라(600)를 위치시키고, 플렉서블 기판(300) 상에는 섀도우 마스크(400)를 위치시킨다. 이 때, 섀도우 마스크(400)에는 얼라인 마크(400a)가 형성되어 있으므로, 글래스 기판(100)의 얼라인 키(100a)와 섀도우 마스크(400)의 얼라인 마크(400a)를 대응시켜 플렉서블 기판(300)과 섀도우 마스크(400)를 얼라인할 수 있다.
특히, 비전 카메라(600)는 투명한 글래스 기판(10)을 투과하여, 얼라인 키(10a)와 얼라인 마크(40a)를 읽어들여 글래스 기판(100)과 섀도우 마스크(400)의 정렬 정도(400a)를 감지하는 것으로, 비전 카메라(600)를 통해 얼라인 정도를 관찰할 수 있다. 이 때, 플렉서블 기판(300)과 섀도우 마스크(400)의 미스 얼라인(Miss Align)이 발생하면, 노광 불량 및 콘택 불량이 발생할 수 있으므로, 따라서, 유기 발광층을 형성하기 위한 섀도우 마스크(400)가 글래스 기판(10)과 정확하게 얼라임됨으로써, 플렉서블 기판(300) 상의 정확한 영역에 유기 발광층을 형성할 수 있다.
도시하지는 않았으나, 섀도우 마스크(400)의 하측에 유기 발광 물질 공급원을 구비하여, 섀도우 마스크(400)의 개구부를 통해 유기 발광 물질이 증착되어 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 플렉서블 기판(300) 상에 유기 발광층(700)을 형성할 수 있다.
그리고, 유기 발광층(700) 상에 전자 수송층(미도시), 전자 주입층(미도시) 및 제 2 전극(800)을 형성하여, 제 1 전극, 정공 주입층, 정공 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층 및 제 2 전극이 차례로 적층된 유기 발광 표시 소자를 형성하고, 유기 발광 표시 소자를 보호하기 위해 유기 발광 표시 소자를 덮는 인캡슐레이션층(미도시)을 형성한다.
이어, 도 5f와 같이, 글래스 기판(100)과 플렉서블 기판(300)을 분리한다. 이 때, 글래스 기판(100)과 플렉서블 기판(300) 사이의 접착 필름(200)은 탈부착이 가능한 양면 테이프로, 플렉서블 기판(300)의 손상 없이 글래스 기판(100)과 플렉서블 기판(300)을 분리할 수 있다. 그리고, 분리된 글래스 기판(100)은 접착 필름(200)을 제거하고, 세정한 후 다시 사용할 수 있다. 따라서, 기존 증착 장비를 활용하여 유기 발광 표시 장치를 제조할 수 있으므로 추가적인 제조 비용이 증가하지 않는다.
상기와 같은 본 발명의 표시 장치의 제조 방법은, 접착 필름(200)을 이용하여 플렉서블 기판(300) 하부에 투명한 글래스 기판(100)을 부착하여 글래스 기판(100)과 섀도우 마스크(400)를 얼라인 한 후 글래스 기판(100)을 제거함으로써, 섀도우 마스크(400)와 얼라인 하기 어려운 플렉서블 기판(300)과 섀도우 마스크(400)를 쉽게 얼라인 할 수 있다.
더욱이, 비가요성을 갖는 글래스 기판(100)을 플렉서블 기판(300)을 고정하는 반송 캐리어로 사용할 수 있으므로, 플렉서블 기판(300)을 얼라인 공정 시 평평한 상태로 유지시켜 플렉서블 기판(300)과 섀도우 마스크(400)의 얼라인 정밀도를 향상시킬 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
10, 100: 글래스 기판 10a, 100a: 얼라인 키
20, 200: 접착 필름 30, 300: 플렉서블 기판
40: 마스크 40a, 400a: 얼라인 마크
50, 600: 카메라 400: 섀도우 마스크
500a: 제 1 전극 500b: 뱅크 절연막
700: 유기 발광층 800: 제 2 전극

Claims (8)

  1. 글래스 기판 상에 얼라인 키를 형성하는 단계;
    접착 필름을 이용하여 상기 글래스 기판 상에 기판을 부착시키는 단계;
    상기 얼라인 키를 노출시키도록 상기 기판과 접착 필름을 선택적으로 제거하는 단계;
    상기 기판 상에 얼라인 마크가 형성된 마스크를 정렬하고, 상기 글래스 기판 상부에 카메라를 위치시켜 기판과 마스크를 정렬하는 단계; 및
    상기 기판을 상기 글래스 기판에서 분리시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 플렉서블 기판인 것을 특징으로 하는 얼라인 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크를 정렬하는 단계는, 카메라를 이용하여 상기 글래스 기판 상에 형성된 얼라인 키와 상기 마스크의 얼라인 마크가 대응되도록 상기 마스크를 정렬하는 것을 특징으로 하는 얼라인 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 접착 필름은 탈부착이 가능한 양면 테이프인 것을 특징으로 하는 얼라인 방법.
  5. 글래스 기판 상에 얼라인 키를 형성하는 단계;
    상기 글래스 기판 상에 기판을 부착시키는 단계;
    접착 필름을 이용하여 상기 기판 상에 박막 트랜지스터와 제 1 전극을 형성하는 단계;
    상기 얼라인 키를 노출시키도록 상기 기판과 접착 필름을 선택적으로 제거하는 단계;
    상기 기판 상에 얼라인 마크가 형성된 마스크를 정렬하고, 상기 글래스 기판 상부에 카메라를 위치시켜 기판과 마스크를 정렬하는 단계;
    상기 마스크를 이용하여 제 1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계;
    상기 유기 발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계; 및
    상기 기판을 상기 글래스 기판에서 분리시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 기판은 플렉서블 기판인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 마스크를 정렬하는 단계는, 카메라를 이용하여 상기 글래스 기판 상에 형성된 얼라인 키와 상기 마스크의 얼라인 마크가 대응되도록 상기 마스크를 정렬하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 접착 필름은 탈부착이 가능한 양면 테이프인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
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KR20200052162A (ko) 2018-11-06 2020-05-14 주성엔지니어링(주) 기판 처리 장치 및 방법
WO2024005221A1 (ko) * 2022-06-28 2024-01-04 엘지전자 주식회사 마이크로 엘이디 디스플레이 제조 장치

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