KR20130019237A - 발광 소자 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

발광 소자를 검사하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 개방된 하부를 가지며 발광 소자로부터 발생된 광의 특성을 측정하기 위한 적분구와, 상기 적분구 아래에 배치되는 서포트 플레이트 및 상기 서포트 플레이트 상에 배치되며 상기 발광 소자를 지지하기 위한 서포트 블록을 포함하는 척과, 상기 적분구의 개방된 하부에 결합되며 상기 서포트 블록이 삽입되는 개구를 갖고 상기 서포트 블록 상의 발광 소자에 전기적인 신호를 인가하기 위한 프로브 카드를 포함한다. 상기 서포트 블록 상에 지지된 발광 소자가 상기 프로브 카드의 개구 내부로 삽입되므로 상기 발광 소자로부터 발생된 광의 손실이 크게 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 발광 소자에 대한 검사 신뢰도가 크게 향상될 수 있다.

Description

발광 소자 검사 장치{Apparatus for inspecting a light-emitting device}
본 발명의 실시예들은 발광 소자 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 발광 다이오드(light-emitting diode; LED)와 같은 발광 소자에 대하여 광학적인 검사 공정을 수행하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 LED 칩들은 다이싱 공정을 통하여 개별화된 후 다이 본딩 공정 등을 통하여 리드 프레임 등과 같은 기판 상에 부착될 수 있으며 이어서 상기 기판을 절단함으로써 각각의 발광 소자들로 개별화될 수 있다.
한편, 상기 발광 소자들은 전기적인 신호의 인가에 의해 광을 발생시킬 수 있으며, 상기 광의 특성, 예를 들면, 광량, 휘도, 등은 일반적으로 알려진 적분구를 이용하여 측정될 수 있다. 상기와 같이 측정된 광의 특성에 따라 발광 소자들은 양품과 불량품으로 분류될 수 있으며, 또한 양품인 경우 광의 특성에 따라 등급별로 분류될 수 있다.
상기와 같은 발광 소자의 검사 공정에서 상기 발광 소자에는 프로브 카드에 의해 전기적인 신호가 인가될 수 있으며, 이에 의해 발생된 광은 상기 적분구 내부로 제공될 수 있다. 그러나, 상기 프로브 카드와 상기 발광 소자 사이의 간극을 통하여 광 손실이 발생될 수 있으며, 이에 의해 상기 발광 소자의 검사 신뢰도가 저하될 수 있다.
특히, 최근 발광 소자들의 형태가 그 용도에 따라 매우 다양해지고 있으나, 검사 장치의 구조적인 측면에서 이에 충분히 대응하기가 용이하지 않은 문제점이 있다. 예를 들면, 발광 소자의 전극 패드들의 위치가 변화되는 경우 상기 프로브 카드 및 주변 부품들을 교체할 필요가 있으며, 이에 따라 상기 발광 소자의 검사 공정을 준비하는데 소요되는 시간이 증가될 수 있다. 결과적으로, 상기 발광 소자 검사 장치의 가동률이 크게 저하될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발광 소자의 광 손실을 감소시킬 수 있으며 또한 가동률을 증가시킬 수 있는 발광 소자 검사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 발광 소자 검사 장치는, 개방된 하부를 가지며 발광 소자로부터 발생된 광의 특성을 측정하기 위한 적분구와, 상기 적분구 아래에 배치되는 서포트 플레이트 및 상기 서포트 플레이트 상에 배치되며 상기 발광 소자를 지지하기 위한 서포트 블록을 포함하는 척과, 상기 적분구의 개방된 하부에 결합되며 상기 서포트 블록이 삽입되는 개구를 갖고 상기 서포트 블록 상의 발광 소자에 전기적인 신호를 인가하기 위한 프로브 카드를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 프로브 카드의 상부면에는 상기 개구의 내측을 향하여 수평 방향으로 연장하며 상기 발광 소자의 전면 부위에 구비된 전면 전극 패드들과 접촉하도록 구성된 다수의 탐침들이 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 서포트 블록은 상기 발광 소자가 지지되는 서포트 영역을 둘러싸도록 구성되어 상기 발광 소자로부터 발생된 광을 상기 적분구 내부로 안내하며 상기 탐침들이 통과하는 트렌치들을 갖는 링 형태의 안내 부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 척은 상기 발광 소자의 측면 부위에 구비된 측면 전극 패드들과 상기 프로브 카드를 연결하는 측면 전극 연결 회로를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 측면 전극 연결 회로는 상기 안내 부재의 내측면에 배치되어 상기 측면 전극 패드들과 접촉하는 측면 콘택터들과 상기 서포트 플레이트의 상부면에 배치되어 상기 프로브 카드의 하부면 전극 패드들과 접촉하는 카드 콘택터들 및 상기 측면 콘택터들과 카드 콘택터들 사이를 연결하는 배선들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 척은 상기 발광 소자의 후면 부위에 구비된 후면 전극 패드들과 상기 프로브 카드를 연결하는 후면 전극 연결 회로를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 후면 전극 연결 회로는 상기 서포트 블록의 상부면에 배치되어 상기 후면 전극 패드들과 접촉하는 후면 콘택터들과 상기 서포트 플레이트의 상부면에 배치되어 상기 프로브 카드의 하부면 전극 패드들과 접촉하는 카드 콘택터들 및 상기 후면 콘택터들과 카드 콘택터들 사이를 연결하는 배선들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 척에는 상기 발광 소자를 흡착하기 위한 진공홀이 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 발광 소자와 상기 프로브 카드를 전기적으로 연결하기 위하여 상기 척을 수직 방향으로 이동시키는 구동부가 구비될 수 있으며, 상기 척은 적어도 하나의 래치를 이용하여 상기 구동부에 분리 가능하도록 장착될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 발광 소자가 척의 서포트 블록에 의해 지지된 상태에서 프로브 카드의 개구 내부로 삽입되므로 상기 발광 소자로부터 발생된 광의 손실을 크게 감소시킬 수 있으며, 결과적으로 상기 발광 소자의 검사 신뢰도가 크게 향상될 수 있다.
또한, 상기 발광 소자의 전극 패드들이 전면, 측면 및 후면 등 어떠한 곳에 위치되더라도 상기 프로브 카드와 쉽게 연결될 수 있도록 상기 척과 프로브 카드가 구성되므로 상기 발광 소자의 종류에 따라 상기 척 또는 프로브 카드를 교체해야 하는 빈도가 크게 감소될 수 있다. 따라서, 상기 발광 소자 검사 장치의 가동률이 크게 향상될 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 프로브 카드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 발광 소자 검사 장치의 회전체를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 발광 소자 검사 장치의 회전체와 제2 구동부를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 6은 도 1 및 도 2에 도시된 척을 설명하기 위한 개략적인 부분 단면도이다.
도 7은 도 1 및 도 2에 도시된 척을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 8 내지 도 10은 서로 다른 위치들에 전극 패드들이 각각 구비된 발광 소자들과 프로브 카드가 전기적으로 연결된 상태를 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자 검사 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자 검사 장치(100)는 발광 다이오드와 같은 발광 소자(10)의 광 특성을 검사하기 위하여 사용될 수 있다. 상기 발광 소자 검사 장치(100)는 상기 발광 소자(10)의 광 특성을 검사하기 위한 적분구(102)와 상기 발광 소자(10)에 전기적인 신호를 인가하기 위한 프로브 카드(110) 및 상기 발광 소자(10)를 지지하기 위한 척(130)을 포함할 수 있다.
상기 적분구(102)는 개방된 하부를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 적분구(102)는 구형의 본체와 상기 본체의 하부에 연결된 원형 튜브 형태의 수광부(104)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 적분구(102)에는 상기 발광 소자(10)로부터 발생된 광의 특성을 측정하기 위한 측정 부재(106)가 연결될 수 있다. 예를 들면, 상기 측정 부재(106)는 휘도, 파장, 광속, 광도, 조도, 분광분포, 색온도, 색좌표 등을 측정할 수 있으며, 분광계(Spectrometer), 광검출기(Photodetector) 등이 사용될 수 있다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 프로브 카드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 프로브 카드(110)는 상기 적분구(102)의 개방된 하부, 예를 들면, 상기 수광부(104)에 결합될 수 있다. 일 예로서, 상기 프로브 카드(110)는 디스크 형태를 가질 수 있으며 상기 프로브 카드(110)의 상부면에는 수광부(104)의 하단부가 삽입되는 원형 그루브(112)가 형성될 수 있다. 상기 적분구(102)와 상기 프로브 카드(110)는 다수의 세트 스크루들(미도시)을 이용하여 간단하게 결합될 수 있다. 그러나, 이와 다르게 상기 적분구(102)와 프로브 카드(110)는 다수의 래치들(미도시)을 이용하여 결합될 수도 있으며, 상기 결합 방법은 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 척(130)은 상기 적분구(102) 아래에 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 척(130)은 상기 적분구(102) 아래에 배치되는 서포트 플레이트(132)와 상기 서포트 플레이트(132) 상에 배치되는 서포트 블록(134)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 프로브 카드(110)에는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 서포트 블록(134)이 삽입되는 개구(114)가 형성될 수 있으며, 상기 척(130)은 상기 서포트 블록(134)이 상기 개구(114) 내부로 삽입되도록 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
특히, 상기 척(130)은 상기 프로브 카드(110)의 하부면에 상기 서포트 플레이트(132)의 상부면이 밀착되도록 이동될 수 있으며, 이에 따라 상기 서포트 블록(134) 상에 배치된 발광 소자(10)는 상기 수광부(104) 내에 위치될 수 있다. 결과적으로, 상기 발광 소자(10)로부터 발생된 광의 손실이 최소화될 수 있으며, 이에 따라 상기 발광 소자(10)의 검사 신뢰도가 크게 향상될 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 발광 소자 검사 장치의 회전체를 설명하기 위한 개략적인 평면도이며, 도 5는 도 1에 도시된 발광 소자 검사 장치의 회전체와 제2 구동부를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 발광 소자 검사 장치(100)는 상기 척(130)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제1 구동부(150)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 발광 소자 검사 장치(100)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 원형의 회전체(170)와 상기 회전체(170)를 회전시키기 위한 제2 구동부(180)를 더 포함할 수 있다.
상기 회전체(170)는 다수의 척들(110)을 지지하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 회전체(170)는 도 4에 도시된 바와 같이 외측의 림(rim; 172)과 중앙의 허브(hub; 174) 및 상기 림(172)과 허브(174)를 연결하는 다수의 스포크들(spokes; 176)을 포함할 수 있다. 상기 척들(110)은 상기 림(172) 상에서 원주 방향으로 배치될 수 있으며, 상기 회전체(170)는 제2 구동부(180)에 의해 회전될 수 있다.
상기와 같이 회전체(170)와 제2 구동부(180)는 다수의 발광 소자들(10)에 대한 검사 공정을 연속적으로 수행하기 위하여 사용될 수 있다. 즉, 발광 소자(10)가 적재된 척(130)이 상기 회전체(170)의 회전에 의해 상기 적분구(102) 하부에 위치되면, 상기 제1 구동부(150)에 의해 상기 적분구(102)에 결합된 프로브 카드(110)에 밀착되도록 수직 방향으로 상승될 수 있으며, 이어서 상기 프로브 카드(110)로부터 인가되는 전기적인 신호에 의해 상기 발광 소자(10)의 광 특성이 검사될 수 있다.
상기 제1 구동부(150)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상기 회전체(170) 상에 배치되는 상부 플레이트(152), 상기 회전체(170) 아래에 배치되는 하부 플레이트(154), 상기 상부 플레이트(152)와 하부 플레이트(154) 사이를 연결하는 구동축(156)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 구동부(150)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상기 하부 플레이트(154)에 장착된 롤러(158)와 상기 롤러(158)에 밀착된 캠(cam; 160) 및 상기 캠(160)을 회전시키는 모터(162)를 이용하여 상기 척(130)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 캠(160)의 회전에 의해 상기 하부 플레이트(154), 상부 플레이트(152) 및 상기 척(130)이 상승될 수 있다. 이때, 상기 하부 플레이트(154), 상부 플레이트(152) 및 상기 척(130)의 하강을 위하여 상기 회전체(170)와 상기 하부 플레이트(154) 사이에는 도시된 바와 같이 스프링(164)이 장착될 수 있다.
상술한 바에 의하면, 상기 척(130)을 수직 방향으로 이동시키기 위하여 캠(160)과 모터(162)가 사용되고 있으나 이러한 구성은 다양하게 변경될 수 있으므로 상기 제1 구동부(150)의 구성에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
다시 도 3을 참조하면, 상기 프로브 카드(110)의 상부면에는 상기 개구(114)의 내측을 향하여 수평 방향으로 연장하며 상기 발광 소자(10)의 전면 부위에 구비된 전면 전극 패드들(12)과 접촉하도록 구성된 다수의 탐침들(116)을 포함할 수 있다. 상기 탐침들(116)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 테스터(190)와 연결될 수 있으며, 상기 테스터(190)로부터 제공되는 전기적인 신호를 상기 발광 소자(10)에 인가할 수 있다. 또한, 상기 발광 소자(10)로부터 발생된 광의 특성은 상기 적분구(102)에 설치된 측정 부재(106)에 의해 측정될 수 있으며, 측정 신호는 다시 상기 테스터(190)로 전송될 수 있다.
한편, 도 3에 도시된 바에 의하면, 상기 전면 전극 패드들(12)에는 각각 두 개의 탐침들(116)이 접촉되도록 구성될 수 있다. 이 경우, 두 개의 탐침들(116)을 이용하여 상기 발광 소자(10)에 전기적인 신호가 인가될 수 있으며, 또한 나머지 다른 두 개의 탐침들(116)은 상기 전기적인 신호가 인가되는 동안 상기 발광 소자(10)를 통해 흐르는 전류를 측정하거나, 저항 또는 전압 등을 측정하기 위하여 사용될 수 있다.
도 6은 도 1 및 도 2에 도시된 척을 설명하기 위한 개략적인 부분 단면도이며, 도 7은 도 1 및 도 2에 도시된 척을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 척(130)의 서포트 블록(134)은 상기 발광 소자가 지지되는 서포트 영역(134A) 및 상기 서포트 영역(134A)을 둘러싸도록 구성되어 상기 발광 소자(10)로부터 발생된 광을 상기 적분구(102) 내부로 안내하기 위한 링 형태의 안내 부재(134B)를 포함할 수 있다. 즉, 도시된 바와 같이 상기 서포트 영역(134A)은 상기 안내 부재(134B)에 의해 형성되는 오목부 내에 위치될 수 있으며, 상기 서포트 영역(134A) 상에 위치된 발광 소자(10)는 상기 안내 부재(134B)에 의해 둘러싸여질 수 있다. 한편, 상기 안내 부재(134B)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 프로브 카드(110)의 탐침들(116)이 통과하는 트렌치들(134C)을 가질 수 있다.
도 8 내지 도 10은 서로 다른 위치들에 전극 패드들이 각각 구비된 발광 소자들과 프로브 카드가 전기적으로 연결된 상태를 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 8을 참조하면, 상기 발광 소자(10)가 전면 전극 패드들(12)을 갖는 경우, 상기 서포트 블록(134) 상에 위치된 발광 소자(10)의 전면 전극 패드들(12)은 상기 척(130)의 상승에 의하여 상기 프로브 카드(110)의 탐침들(116)과 접촉될 수 있다. 이 경우, 전기적인 신호는 상기 테스터(190)와 연결된 상기 프로브 카드(110)의 단자들(118)로부터 상기 탐침들(116)을 통하여 상기 발광 소자(10)에 인가될 수 있다. 도시된 점선 화살표는 전기적인 신호의 인가 방향을 나타낸다.
도 9를 참조하면, 상기 발광 소자(10)가 측면 전극 패드들(14)을 갖는 경우, 상기 척(130)에는 상기 측면 전극 패드들(14)과 상기 프로브 카드(110)를 연결하기 위한 측면 전극 연결 회로를 구비할 수 있다. 상기 측면 전극 연결 회로는 상기 안내부재(134B)의 내측면에 배치되어 상기 발광 소자(10)가 상기 서포트 블록(134) 상에 로드될 때 상기 측면 전극 패드들(14)과 접촉하기 위한 측면 콘택터들(136)과, 상기 서포트 플레이트(132)의 상부면에 배치되어 상기 프로브 카드(110)와 접촉하기 위한 카드 콘택터들(138)과, 상기 측면 콘택터들(136)과 상기 카드 콘택터들(138) 사이를 연결하는 내부 배선들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 측면 콘택터들(136)은 탄성적으로 상기 발광 소자(10)의 측면 전극 패드들(14)과 접촉할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 탄성을 갖는 스위치 형태의 콘택터들(136)이 사용될 수 있다. 그러나, 상기 측면 콘택터들(136)의 자체 구조는 다양하게 변경될 수 있으므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
또한, 상기 카드 콘택터들(138)은 상기 척(130)이 상승하여 상기 척(130)의 서포트 플레이트(132)가 상기 프로브 카드(110)의 하부면에 밀착될 때 탄성적으로 접촉될 수 있도록 구성될 수 있다. 이때, 상기 프로브 카드(110)의 하부면에는 상기 테스터(190)와 전기적으로 연결되는 하부면 전극 패드들(120)이 구비될 수 있다. 상기 카드 콘택터들(138)로는 스프링 플런저 형태의 콘택터들이 사용될 수 있다.
상기와 같이 발광 소자(10)가 측면 전극 패드들(14)을 갖는 경우, 전기적인 신호는 상기 테스터(190)로부터 상기 프로브 카드(110)의 하부면 전극 패드들(120)과 상기 척(130)의 카드 콘택터들(138) 및 상기 척(130)의 측면 콘택터들(136)을 통하여 상기 발광 소자(10)에 인가될 수 있다.
도 10을 참조하면, 상기 발광 소자(10)가 후면 전극 패드들(16)을 갖는 경우, 상기 척(130)에는 상기 후면 전극 패드들(16)과 상기 프로브 카드(110)를 연결하기 위한 후면 전극 연결 회로를 구비할 수 있다. 상기 후면 전극 연결 회로는 상기 서포트 블록(134)의 상부면 즉 상기 발광 소자의 서포트 영역(134A)에 배치되어 상기 발광 소자(10)가 상기 서포트 블록(134) 상에 로드될 때 상기 후면 전극 패드들(16)과 접촉하기 위한 후면 콘택터들(140)과, 상기 서포트 플레이트(132)의 상부면에 배치되어 상기 프로브 카드(110)의 하부면 전극 패드들(120)과 접촉하기 위한 카드 콘택터들(138)과, 상기 후면 콘택터들(140)과 상기 카드 콘택터들(138) 사이를 연결하는 내부 배선들을 포함할 수 있다.
상기 후면 콘택터들(140)은 상기 발광 소자(10)가 상기 서포트 영역(134A)에 놓여지는 경우 상기 후면 전극 패드들(16)과 탄성적으로 접촉되도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 후면 콘택터들(140)로는 상기 카드 콘택터들(138)과 유사하게 스프링 플런저 형태의 콘택터들이 사용될 수 있다.
상기와 같이 발광 소자(10)가 후면 전극 패드들(16)을 갖는 경우, 전기적인 신호는 상기 테스터(190)로부터 상기 프로브 카드(110)의 하부면 전극 패드들(120)과 상기 척(130)의 카드 콘택터들(138) 및 상기 척(130)의 후면 콘택터들(140)을 통하여 상기 발광 소자(10)에 인가될 수 있다.
한편, 상기에서 설명된 바와 같이, 상기 후면 전극 연결 회로는 상기 측면 전극 연결 회로와 카드 콘택터들(138)과 내부 배선들의 일부를 공유할 수 있다. 그러나, 이와 다르게, 상기 후면 전극 연결 회로는 상기 측면 전극 연결 회로와 완전히 별개로 구비될 수도 있다.
다시 도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 척(130)에는 상기 발광 소자(10)가 상기 서포트 영역(134A) 상에 로드된 경우 상기 발광 소자(10)를 흡착하기 위한 진공홀(142)이 구비될 수 있다. 이는 상기 발광 소자(10)를 검사하는 동안 상기 발광 소자(10)가 움직이지 않도록 하기 위함이며, 또한 상기 발광 소자(10)가 측면 전극 패드들(14) 또는 후면 전극 패드들(16)을 갖는 경우 상기 측면 콘택터들(136) 또는 상기 후면 콘택터들(140)과의 접촉이 용이하게 이루어지도록 하기 위함이다.
또한, 상기 척(130)은 상기 제1 구동부(150)에 분리 가능하도록 장착될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 척(130)은 적어도 하나의 래치, 예를 들면, 도시된 바와 같이 4개의 래치들(144)을 이용하여 상기 제1 구동부(150)의 상부 플레이트(152)에 장착될 수 있다. 이는 상기 발광 소자(10)의 크기 또는 상기 발광 소자(10)의 전극 패드들의 위치가 변화되는 경우 이에 대응하는 척(130)을 용이하게 교체할 수 있도록 하기 위함이다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 발광 소자(10)는 상기 척(130)의 서포트 블록(134)에 의해 지지된 상태에서 제1 구동부(150)에 의해 상기 프로브 카드(110)의 개구(114) 내부로 삽입될 수 있다. 따라서, 상기 발광 소자(10)로부터 발생된 광의 손실을 크게 감소시킬 수 있으며, 결과적으로 상기 발광 소자(10)의 검사 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 발광 소자(10)의 전극 패드들이 전면, 측면 및 후면 등 어떠한 곳에 위치되더라도 상기 프로브 카드(110)와 쉽게 연결될 수 있도록 상기 척(130)과 프로브 카드(110)가 구성되므로 상기 발광 소자(10)의 종류에 따라 상기 척(130) 또는 프로브 카드(110)를 교체해야 하는 빈도가 크게 감소될 수 있다. 또한, 상기 척(130) 또는 프로브 카드(110)를 교체해야 하는 경우에도 래치들(144)과 세트 스크루들을 이용하여 간단하게 상기 척(130)과 프로브 카드(110)를 교체할 수 있으므로 상기 척(130)과 프로브 카드(110)의 교체에 소요되는 시간을 크게 감소시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 발광 소자 12 : 전면 전극 패드
14 : 측면 전극 패드 16 : 후면 전극 패드
100 : 발광 소자 검사 장치 102 : 적분구
104 : 수광부 106 : 측정 부재
110 : 프로브 카드 114 : 개구
116 : 탐침 120 : 하부면 전극 패드
130 : 척 132 : 서포트 플레이트
134 : 서포트 블록 134A : 서포트 영역
134B : 안내 부재 134C : 트렌치
136 : 측면 콘택터 138 : 카드 콘택터
140 : 후면 콘택터 142 : 진공홀
150 : 제1 구동부 170 : 회전체
180 : 제2 구동부 190 : 테스터

Claims (9)

  1. 개방된 하부를 가지며 발광 소자로부터 발생된 광의 특성을 측정하기 위한 적분구;
    상기 적분구 아래에 배치되는 서포트 플레이트 및 상기 서포트 플레이트 상에 배치되며 상기 발광 소자를 지지하기 위한 서포트 블록을 포함하는 척; 및
    상기 적분구의 개방된 하부에 결합되며 상기 서포트 블록이 삽입되는 개구를 갖고 상기 서포트 블록 상의 발광 소자에 전기적인 신호를 인가하기 위한 프로브 카드를 포함하는 발광 소자 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 프로브 카드의 상부면에는 상기 개구의 내측을 향하여 수평 방향으로 연장하며 상기 발광 소자의 전면 부위에 구비된 전면 전극 패드들과 접촉하도록 구성된 다수의 탐침들이 구비되는 것을 특징으로 하는 발광 소자 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 서포트 블록은 상기 발광 소자가 지지되는 서포트 영역을 둘러싸도록 구성되어 상기 발광 소자로부터 발생된 광을 상기 적분구 내부로 안내하며 상기 탐침들이 통과하는 트렌치들을 갖는 링 형태의 안내 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 척은 상기 발광 소자의 측면 부위에 구비된 측면 전극 패드들과 상기 프로브 카드를 연결하는 측면 전극 연결 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 측면 전극 연결 회로는 상기 안내 부재의 내측면에 배치되어 상기 측면 전극 패드들과 접촉하는 측면 콘택터들과 상기 서포트 플레이트의 상부면에 배치되어 상기 프로브 카드의 하부면 전극 패드들과 접촉하는 카드 콘택터들 및 상기 측면 콘택터들과 카드 콘택터들 사이를 연결하는 배선들을 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 검사 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 척은 상기 발광 소자의 후면 부위에 구비된 후면 전극 패드들과 상기 프로브 카드를 연결하는 후면 전극 연결 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 후면 전극 연결 회로는 상기 서포트 블록의 상부면에 배치되어 상기 후면 전극 패드들과 접촉하는 후면 콘택터들과 상기 서포트 플레이트의 상부면에 배치되어 상기 프로브 카드의 하부면 전극 패드들과 접촉하는 카드 콘택터들 및 상기 후면 콘택터들과 카드 콘택터들 사이를 연결하는 배선들을 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 척에는 상기 발광 소자를 흡착하기 위한 진공홀이 구비되는 것을 특징으로 하는 발광 소자 검사 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 발광 소자와 상기 프로브 카드를 전기적으로 연결하기 위하여 상기 척을 수직 방향으로 이동시키는 구동부를 더 포함하며, 상기 척은 적어도 하나의 래치를 이용하여 상기 구동부에 분리 가능하도록 장착되는 것을 특징으로 하는 발광 소자 검사 장치.
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