KR20130016770A - 가변테이블장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가변테이블장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 최소의 구동원을 구비하여 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 이동하여 다양한 면적의 기판에 대응할 수 있는 가변테이블장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 가변테이블장치는 베이스; 상기 베이스상에 나란히 설치되는 제1 및 제2 안내부; 상기 제1 및 제2안내부상에 나란히 설치되며, 상기 제1 및 제2 안내부와 직교하는 제3 및 제4 안내부; 상기 제3 안내부상에 각각 설치된 제1 및 제2테이블; 상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제2테이블과 이웃하는 제3테이블; 상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제1테이블과 이웃하는 제4테이블; 상기 제1테이블과 제2테이블, 상기 제3테이블과 제4테이블이 각각 상기 제3 및 제4 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제1구동수단; 및 상기 제3 및 제4 안내부가 상기 제1 및 제2 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제2 구동수단;을 포함한다.

Description

가변테이블장치{VARIABLE TABLE APPARATUS}

본 발명은 가변테이블장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 최소의 구동원을 구비하여 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 이동하여 다양한 면적의 기판에 대응할 수 있는 가변테이블장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이 기판은 원판유리에서 필요로 크기로 절단하여 사용한다. 이와 같이 절단하게 되면 날카롭기 때문에 깨지기 쉬워 에지를 둥글게 면취하여 깨짐이나 크랙을 방지한다. 또는 외곽형상을 소정의 디자인에 따라 가공을 하는 경우도 있다.

특히, 네 코너를 둥글게 또는 임의의 형상으로 가공하는 경우가 있다. 도 1은 기판(S)의 코너를 직선으로 가공하는 경우((a)참조)와 둥굴게 가공하는 경우((b)참조)를 나타낸 것이다. 도면부호 '10'은 연마지석을 나타낸 것이다.

도 2는 종래 기판의 코너를 가공하는 장치를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 기판(S)을 테이블(121)에 견고히 고정시킨 상태에서, 스핀들(111)을 이용하여 연마지석(110)을 회전시켜 기판의 코너를 가공한다. 한편, 기판을 견고히 고정하기 위하여 주로 진공으로 기판을 흡착하는 흡착테이블을 많이 이용한다.

또한 기판의 네 코너를 가공하기 위하여 최소한 네 코너를 지지하는 4개의 흡착테이블이 요구되며, 기판의 처짐, 변형 또는 파손을 방지하기 위하여 3×3과 같이 복수개의 흡착테이블을 구비하기도 한다.

한편, 코너 가공장치는 다양한 면적의 기판들을 가공하기 위하여 가변테이블장치를 구비한다. 도 3을 참조하면, 가변테이블장치(120)는 소면적 기판(S1)을 가공할 때는 흡착테이블들이 밀집하고, 대면적 기판(S2)을 가공할 때는 흡착테이블들이 이격된다. 이를 위해 각 흡착테이블들은 X방향, Y방향으로 수평운동이 가능해야 하고, 특히, 네 코너를 지지하는 흡착테이블들은 θ방향으로 이동이 가능하도록 구성된다. 따라서 각 흡착테이블들을 X방향, Y방향 및 θ방향으로 구동하기 위한 구동원들이 구비되어야 하기 때문에 구성이 매우 복잡하다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 최소의 구동원을 구비하여 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 이동하여 다양한 면적의 기판에 대응할 수 있는 가변테이블장치를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 가변테이블장치는 베이스; 상기 베이스상에 나란히 설치되는 제1 및 제2 안내부; 상기 제1 및 제2안내부상에 나란히 설치되며, 상기 제1 및 제2 안내부와 직교하는 제3 및 제4 안내부; 상기 제3 안내부상에 각각 설치된 제1 및 제2테이블; 상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제2테이블과 이웃하는 제3테이블; 상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제1테이블과 이웃하는 제4테이블; 상기 제1테이블과 제2테이블, 상기 제3테이블과 제4테이블이 각각 상기 제3 및 제4 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제1구동수단; 및 상기 제3 및 제4 안내부가 상기 제1 및 제2 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제2 구동수단;을 포함한다.

또한 상기 제1구동수단에 의해 상기 제1테이블과 제4테이블, 상기 제2테이블과 제3테이블이 각각 연동되도록 연결하는 제1 및 제2연결수단이 더 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 제1 및 제2연결수단은 상기 제1테이블과 제4테이블, 또는 상기 제2테이블과 제3테이블을 연결하는 연결바인 것이 바람직하다.

또한 상기 제1구동수단은, 상기 제1연결수단에 연결된 제1너트부재가 체결되는 우나사형 볼스크류와, 상기 제2연결수단에 연결된 제2너트부재가 체결되는 좌나사형 볼스크류와, 상기 우나사형 볼스크류와 좌나사형 볼스크류를 연결하는 연결커플링과, 상기 볼스크류를 회전시키는 구동원을 포함하는 것이 바람직하다.

또한 상기 제2구동수단은, 상기 제3안내부에 연결된 제3너트부재가 체결되는 우나사형 볼스크류와, 상기 제4안내부에 연결된 제4너트부재가 체결되는 좌나사형 볼스크류와, 상기 우나사형 볼스크류와 좌나사형 볼스크류를 연결하는 연결커플링과, 상기 볼스크류를 회전시키는 구동원을 포함하는 것이 바람직하다.

또한 상기 제1테이블, 제2테이블, 제3테이블 및 제4테이블의 중심에 테이블이 더 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 제1테이블과 제2테이블 사이, 상기 제3테이블과 제4테이블 사이, 상기 제1테이블과 제4테이블 사이 및 상기 제2테이블과 제3테이블 사이에 테이블이 더 구비되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 이동하여 다양한 면적의 기판에 대응할 수 있는 효과가 있다.

특히, 단지 2개의 구동축만으로 복수의 테이블의 위치를 가변시킬 수 있게 된다.

도 1 내지 도 3은 종래 기판의 코너가공장치를 나타낸 것이다.
도 4 내지 도 8은 본 발명에 의한 가변테이블장치를 나타낸 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 설명한다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 가변테이블장치(1)의 실시예는 베이스(10)와, 제1 내지 제4 안내부(11~14)와, 제1 및 제2 구동수단(21,31)과, 3×3개의 테이블(40)과, 제1 및 제2 연결바(51,52)를 포함한다.

상기 제1 및 제2안내부(11,12)는 상기 베이스(10)상에 나란히 설치되고, 상기 제3 및 제4 안내부(13,14)는 상기 제1 및 제2안내부(11,12)상에 나란히 설치되는데, 상기 제1 및 제2 안내부(11,12)와 직교되도록 설치된다.

또한 상기 제3안내부(13)에는 제1테이블(41)과 제2테이블(42)이 설치되고, 제4안내부(14)에는 제3테이블(43)과 제4테이블(44)이 설치된다. 상기 제1 내지 제4테이블(41~44)에는 기판을 진공흡입하기 위하여 진공홀(미도시)이 형성되는 것도 가능하다.

또한 상기 제1테이블(41)과 제4테이블(44)이 연동되도록 연결하는 제1연결수단(51)과, 상기 제2테이블(42)과 제3테이블(43)이 연동되도록 연결하는 제2연결수단(52)이 구비된다. 따라서 상기 제1테이블(41)과 제4테이블(44)은 X축방향으로 연동되고, 상기 제2테이블(42)과 제3테이블(43)도 X축방향으로 연동된다. 본 실시예에서 상기 제1 및 제2연결수단(51,52)은 제1테이블(41)과 제4테이블(44)의 하부 또는 제2테이블(42)과 제3테이블(43)의 하부를 관통하는 연결바이다. 또한 상기 연결바가 관통하는 면에는 슬라이딩이 용이하도록 부시가 구비된다.

또한 상기 제1연결수단(51)과 제2연결수단(52)을 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제1구동수단이 구비된다. 상기 제1구동수단은 제1연결수단(51)에 연결된 제1너트부재(23)가 체결되는 우나사형 볼스크류(22)와, 제2연결수단(52)에 연결된 제2너트부재(25)가 체결되는 좌나사형 볼스크류(24)와, 상기 우나사형 볼스크류(22)와 좌나사형 볼스크류(24)를 연결하는 연결커플링과 상기 좌나사형 볼스크류와 우나사형 볼스크류를 회전시키는 구동원(21)을 포함한다. 상기 연결커플링은 도 6에 도시된 제2구동수단의 연결커플링(36)과 구조 및 작용이 동일하므로 중복설명을 피하고 하기에서 설명한다. 따라서 상기 구동원(21)이 구동되면 상기 우나사형 볼스크류(22)와 좌나사형 볼스크류(24)가 회전을 하게 되고, 따라서 각각의 제1너트부재(23)와 제2너트부재(25)는 접근 또는 이격되도록 구동된다. 이와 더불어 상기 제1연결수단(51)과 제2연결수단(52)도 접근 또는 이격되는 것이며, 그에 따라 제1테이블(41)과 제4테이블(44), 제2테이블(42)과 제3테이블(43)은 접근 또는 이격되도록 구동된다.

도 6을 참조하면, 제3 및 제4안내부(13,14)가 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제2구동수단이 구비된다. 상기 제2구동수단은 제3안내부(13)에 연결된 제3너트부재(도 4의 33참조)가 체결되는 우나사형 볼스크류(32)와, 제4안내부(14)에 연결된 제4너트부재(미도시)가 체결되는 좌나사형 볼스크류(34)와, 상기 우나사형 볼스크류(32)와 좌나사형 볼스크류(34)를 연결하는 연결커플링(36)과 상기 볼스크류를 회전시키는 구동원(31)을 포함한다. 따라서 상기 구동원(31)이 구동되면 상기 우나사형 볼스크류(32)와 좌나사형 볼스크류(34)가 회전을 하게 되고, 따라서 각각의 제3너트부재(33)와 제4너트부재는 접근 또는 이격되도록 구동된다. 이와 더불어 상기 제3안내부(13)와 제4안내부(14)도 접근 또는 이격되는 것이며, 그에 따라 제1테이블(41)과 제2테이블(42), 제3테이블(43)과 제4테이블(44)은 접근 또는 이격되도록 구동된다.

이하에서는 본 실시예에 의한 가변테이블장치의 작동상태를 설명한다.

도 7은 소면적 기판을 지지하기 위하여 제1 내지 제4테이블(41~44)이 중심을 향해 최대한 접근된 상태를 나타낸 것이다. 이 상태에서 소면적 기판을 지지 또는 흡착하여 도 1과 같은 코너가공 등의 공정을 수행하는 것이다.

다음으로, 대면적 기판을 지지 또는 흡착하기 위하여는 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제4테이블(41~44)을 X방향 및 Y방향으로 이격시킨다. 보다 구체적으로 설명하면, 제1구동수단의 구동원(21)을 구동하면 제1연결수단(51)과 제2연결수단(52)이 바깥쪽 방향으로 이동한다. 따라서 그에 연동되어 제1테이블(41)과 제4테이블(44)은 도면상 좌측으로 이동하고, 제2테이블(42)과 제3테이블(43)은 도면상 우측으로 이동하게 된다. 물론 이 때 제1 및 제2테이블(41,42)은 제3안내부(13)를 따라 반대방향으로 이격되도록 이동하고, 제3 및 제4테이블(43,44)은 제4안내부(14)를 따라 반대방향으로 이격되도록 이동한다.

또한 제2구동수단의 구동원(31)을 구동하게 되면 제3안내부(13)와 제4안내부(14)는 상호 이격되도록 이동한다. 따라서 제3안내부(13)상에 구비되는 제1테이블(41)과 제2테이블(42)은 도면상 하측으로 이동하고, 제4안내부(13)상에 구비되는 제3테이블(43)과 제4테이블(44)은 도면상 상측으로 이동하게 된다.

즉, 제1 내지 제4테이블(41~44)은 X방향 및 Y방향으로 이격되도록 벌어지게되는 것이다. 이 상태에서 대면적 기판을 지지 또는 흡착하여 코너가공 등의 공정을 수행할 수 있게 된다.

또한 다시 도 7과 같이 소면적 기판을 지지 또는 흡착해야 하는 경우에는 제1구동수단 및 제2구동수단의 구동원(21,31)을 반대방향으로 구동하는 것으로 가능하다.

결과적으로 본 실시예에 의하면 제1 내지 제4테이블(41~44)은 2개의 구동수단만을 구비함으로써 복수의 테이블을 X방향 및 Y방향으로 접근 또는 이격시키는 것이 가능한 것이다.

한편, 도 4를 참조하면, 본 실시예에는 제1 내지 제4 테이블(41~44) 이외에 이들 사이에 테이블(45~47)들이 더 구비되는 것을 알 수 있다. 이것은 기판들을 보다 안정적으로 지지 또는 흡착하기 위한 구성이다. 즉, 제1 내지 제4테이블(41~44)은 기판의 네 모서리를 지지하는 것으로서, 코너가공시 반드시 구비해야 하는 것이지만, 기타 테이블(45~47)들은 필요에 따라 더 설치할 수도 있고 덜 설치할 수도 있는 등 다양한 변경이 있을 수 있는 것이다.

또한 제1 내지 제4테이블(41~44)은 각각 X방향 및 Y방향으로 이동이 되는 것이지만, 기타 테이블(45~47)들은 이 중 어느 하나의 방향으로만 이동되거나 전혀 이동되지 않는 것도 있다. 구체적으로 설명하면, 제1테이블(41)과 제2테이블(42) 사이에 구비되는 테이블(45) 또는 제3테이블(43)과 제4테이블(44) 사이에 구비되는 테이블(45)은 Y방향으로만 접근 또는 이격되도록 구동될 뿐, X방향으로는 이동되지 않는다. 또한 제2테이블(42)과 제3테이블(43) 사이에 구비되는 테이블(46)과, 제1테이블(41)과 제4테이블(44) 사이에 구비되는 테이블(46)은 제1연결수단(51)과 제2연결수단(52) 상에 구비됨으로써 X방향으로만 이동될 뿐 Y방향으로는 이동되지 않는다. 또한 가장 중심에 위치되는 테이블(47)은 X방향뿐 아니라 Y방향으로도 이동되지 않는다.

1: 가변테이블 장치 10: 베이스
11: 제1안내부 12: 제2안내부
13: 제3안내부 14: 제4안내부
21: 구동원 22: 우나사형 볼스크류
23: 제1너트부재 24: 좌나사형 볼스크류
25: 제2너트부재 31: 구동원
32: 우나사형 볼스크류 33: 제3너트부재
34: 좌나사형 볼스크류 36: 연결커플링
40: 테이블 51: 제1연결수단
52: 제2연결수단

Claims (5)

1. 베이스;
   상기 베이스상에 나란히 설치되는 제1 및 제2 안내부;
   상기 제1 및 제2안내부상에 나란히 설치되며, 상기 제1 및 제2 안내부와 직교하는 제3 및 제4 안내부;
   상기 제3 안내부상에 각각 설치된 제1 및 제2테이블;
   상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제2테이블과 이웃하는 제3테이블;
   상기 제4 안내부상에 설치되며 상기 제1테이블과 이웃하는 제4테이블;
   상기 제1테이블과 제2테이블, 상기 제3테이블과 제4테이블이 각각 상기 제3 및 제4 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제1구동수단; 및
   상기 제3 및 제4 안내부가 상기 제1 및 제2 안내부를 따라 상호 접근 또는 이격되도록 구동하는 제2 구동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변테이블장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1구동수단에 의해 상기 제1테이블과 제4테이블, 상기 제2테이블과 제3테이블이 각각 연동되도록 연결하는 제1 및 제2연결수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 가변테이블장치.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 제1 및 제2연결수단은 상기 제1테이블과 제4테이블, 또는 상기 제2테이블과 제3테이블을 연결하는 연결바인 것을 특징으로 하는 가변테이블장치.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 제1구동수단은,
   상기 제1연결수단에 연결된 제1너트부재가 체결되는 우나사형 볼스크류와,
   상기 제2연결수단에 연결된 제2너트부재가 체결되는 좌나사형 볼스크류와,
   상기 우나사형 볼스크류와 좌나사형 볼스크류를 연결하는 연결커플링과,
   상기 볼스크류를 회전시키는 구동원을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변테이블장치.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 제2구동수단은,
   상기 제3안내부에 연결된 제3너트부재가 체결되는 우나사형 볼스크류와,
   상기 제4안내부에 연결된 제4너트부재가 체결되는 좌나사형 볼스크류와,
   상기 우나사형 볼스크류와 좌나사형 볼스크류를 연결하는 연결커플링과,
   상기 볼스크류를 회전시키는 구동원을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변테이블장치.
   

Images