KR20130015122A - 기판 고정 유닛 및 이를 이용한 유기물 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 발광 다이오드 표시장치의 제조시 유기물이 증착되는 기판들을 더욱 단순하면서도 안정적으로 고정함으로써 유기 발광 다이오드 표시장치의 공정 수율 및 품질을 향상시킬 수 있도록 한 기판 고정 유닛 및 이를 이용한 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 기판에 박막 패턴을 형성하기 위해 이용되는 마스크(Mask)가 상기 기판이 안착되는 트레이(Tray)의 적어도 한 개구부에 각각 조립된 마스크 트레이; 및 상기 마스크 트레이에 로딩된 기판상에 배치되어 상기 기판을 상기 마스크 트레이 상에 고정시키는 고정 플레이트를 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

기판 고정 유닛 및 이를 이용한 유기물 증착 장치{FIXING UNIT OF BOARD AND SPUTTERING APPARATUS OF ORGANIC MATTER USING THE SAME}
본 발명은 유기 발광 다이오드 표시장치의 제조시 유기물이 증착되는 기판들을 더욱 단순하면서도 안정적으로 고정함으로써 유기 발광 다이오드 표시장치의 공정 수율 및 품질을 향상시킬 수 있도록 한 기판 고정 유닛 및 이를 이용한 유기물 증착 장치에 관한 것이다.
최근, 퍼스널 컴퓨터, 휴대용 단말기, 및 각종 정보기기의 모니터 등에 사용되는 영상 표시장치로 경량 박형의 평판 표시장치(Flat Panel Display)가 주로 이용되고 있다. 이러한, 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 유기 발광 다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel), 전계방출 표시장치(Field Emission Display) 등이 대두되고 있다.
이 중, 유기 발광 다이오드 표시장치로는 유기 전계 발광소자가 주로 이용되는데, 유기 전계 발광소자는 유기 박막층과, 유기 박막층을 사이에 두고 형성되는 제 1 전극 및 제 2 전극을 포함한다. 여기서, 유기 박막층은 제 1 전극 상에 순차적으로 적층된 정공 관련층, 발광층 및 전자 관련층 등을 포함한다.
상술한 바와 같은 유기 전계 발광소자 외에도 평판 표시장치의 제조공정에 있어서는 기판에 다수의 박막을 형성하는 박막 형성공정이 수행된다. 이때, 상기의 유기 박막층은 진공 증착법(Vacuum Deposition Method), 스퍼터링(sputtering)증착법, 이온빔 증착(Ion-beam Deposition)법, Pulsed-laser 증착법, 분자선 증착법, 화학기상증착법, 스핀코터(spin coater) 등에 의해 형성될 수 있다. 이 중 진공 증착법은 진공 상태를 이루는 챔버들에서 소정의 유기 물질 수용 용기를 가열함으로써 가열된 유기 물질이 기화 또는 승화되어 기판에 박막으로 증착될 수 있도록 하는 공정이다.
상기와 같이 진공 증착법으로 유기 박막층을 형성하는 유기물 증착 장치는 기판을 고정하기 위한 기판 고정 유닛과 상기 기판을 이송하기 위한 이송 유닛 및 유기물 가열 유닛 등으로 구성된다. 여기서, 기판 고정 유닛은 정전 척이나 진공 척을 이용하는 방법 또는 클리핑 방법 등을 이용하여 기판을 고정하게 되는데, 클리핑 방법의 경우 가장 용이하게 적용시켜 기판을 고정할 수 있지만 대면적 기판의 경우 그 무게로 인해 휘는 문제가 있었다. 이에, 종래에는 별도의 점착 척(chuck)이나 점착 물질 등으로 기판이 휘지 않도록 기판을 고정시키기도 하였다. 하지만, 점착 척(chuck)이나 점착 물질을 사용하게 되면 기판의 착탈시 발생했던 파손을 감수해야 했고, 점착 물질의 아웃게싱(Outgassing)에 따른 유기물 수명감소 또한 감수해야했다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기 발광 다이오드 표시장치의 제조시 유기물이 증착되는 기판들을 더욱 단순하면서도 안정적으로 고정함으로써 유기 발광 다이오드 표시장치의 공정 수율 및 품질을 향상시킬 수 있도록 한 기판 고정 유닛 및 이를 이용한 유기물 증착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 고정 유닛은 기판에 박막 패턴을 형성하기 위해 이용되는 마스크(Mask)가 상기 기판이 안착되는 트레이(Tray)의 적어도 한 개구부에 각각 조립된 마스크 트레이; 및 상기 마스크 트레이에 로딩된 기판상에 배치되어 상기 기판을 상기 마스크 트레이 상에 고정시키는 고정 플레이트를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 마스크 트레이는 상기 각 개구부들에 의해 구분되어 상기 각 개구부의 사이에 각각 형성된 적어도 하나의 서포트 빔(Support Beam)을 구비하여 상기 기판이 상기 마스크 트레이의 전면 외곽 안착부를 포함한 상기 적어도 하나의 서포트 빔에 안착되도록 함으로써 상기 기판이 수평하게 유지되도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 고정 플레이트는 상기 마스크 트레이에 로딩된 기판을 덮도록 상기 기판과 대응되는 크기로 형성됨과 아울러, 그 두께가 상기 기판과 동일한 두께로 이루어지고, 적어도 하나의 자석이 내장되어 상기 적어도 하나의 자석과 상기 기판을 사이에 둔 상기 마스크 트레이 간에 자기력이 발생되도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 고정 플레이트에 구비된 각 자석은 상기 마스크 트레이의 각 서포트 빔과 각각 대응하는 위치에 적어도 하나 씩 상기 서포트 빔 형상에 따라 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기 마스크 트레이나 상기 고정 플레이트에는 열 전달 수단이 더 구비되어 별도로 형성된 온도 제어부 및 히팅 수단에 의해 상기 열 전달 수단이 구비된 마스크 트레이나 고정 플레이트를 통해 상기 기판에 열이 인가되도록 한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 고정 유닛을 이용한 유기물 증착 장치는 진공 상태를 유지시킬 수 있는 적어도 하나의 챔버; 상기 적어도 하나의 챔버의 내부에 설치되어 적어도 하나의 기판을 장착 및 고정시키는 기판 고정 유닛; 및 상기 기판 고정 유닛과 마주하는 위치에 설치되어 유기물 가열 용기의 유기물들을 가열 및 승화시키는 유기물 가열 장치를 구비하며, 상기 기판 고정 유닛은 상기 각 기판에 박막 패턴을 형성하기 위해 이용되는 마스크(Mask)가 상기 기판이 안착되는 트레이(Tray)의 적어도 한 개구부에 각각 조립된 마스크 트레이; 및 상기 마스크 트레이에 로딩된 기판상에 배치되어 상기 기판을 상기 마스크 트레이 상에 고정시키는 고정 플레이트를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 마스크 트레이는 상기 각 개구부들에 의해 구분되어 상기 각 개구부의 사이에 각각 형성된 적어도 하나의 서포트 빔(Support Beam)을 구비하여 상기 기판이 상기 마스크 트레이의 전면 외곽 안착부를 포함한 상기 적어도 하나의 서포트 빔에 안착되도록 함으로써 상기 기판이 수평하게 유지되도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 고정 플레이트는 상기 마스크 트레이에 로딩된 기판을 덮도록 상기 기판과 대응되는 크기로 형성됨과 아울러, 그 두께가 상기 기판과 동일한 두께로 이루어지고, 적어도 하나의 자석이 내장되어 상기 적어도 하나의 자석과 상기 기판을 사이에 둔 상기 마스크 트레이 간에 자기력이 발생되도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 고정 플레이트에 구비된 각 자석은 상기 마스크 트레이의 각 서포트 빔과 각각 대응하는 위치에 적어도 하나 씩 상기 서포트 빔 형상에 따라 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기 마스크 트레이나 상기 고정 플레이트에는 열 전달 수단이 더 구비되어 별도로 형성된 온도 제어부 및 히팅 수단에 의해 상기 열 전달 수단이 구비된 마스크 트레이나 고정 플레이트를 통해 상기 기판에 열이 인가되도록 한 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 다양한 특징들을 갖는 본 발명의 기판 고정 유닛 및 이를 이용한 유기물 증착 장치는 유기 발광 다이오드 표시장치의 제조시 유기물이 증착되는 기판들을 더욱 단순하면서도 안정적으로 고정시킬 수 있고, 또한 유기 발광 다이오드 표시장치의 공정 수율 및 품질을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 고정 유닛 및 이를 이용한 유기물 증착 장치를 나타낸 구성 단면도.
도 2는 도 1의 기판 고정 유닛의 마스크 트레이를 구체적으로 나타낸 사시도.
도 3은 도 2의 마스크 트레이 상에 로딩된 기판을 구체적으로 나타낸 사시도.
도 4는 도 3의 마스크 트레이 및 기판상에 배치된 고정 플레이트를 구체적으로 나타낸 사시도.
도 5는 도 4의 I-I'의 절단면을 나타낸 단면도.
이하, 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 고정 유닛 및 이를 이용한 유기물 증착 장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 고정 유닛 및 이를 이용한 유기물 증착 장치를 나타낸 구성 단면도이다.
도 1에 도시된 본 발명의 유기물 증착 장치는 진공 상태를 유지시킬 수 있는 챔버(2); 챔버(2)의 내부에 설치되어 적어도 하나의 기판(6)을 장착 및 고정시키는 기판 고정 유닛(4,8); 및 기판 고정 유닛(4,8)과 마주하는 위치에 설치되어 유기물 가열 용기(10)의 유기물들을 가열 및 승화시키는 유기물 가열 장치(12)를 구비한다.
챔버(2)에는 기판(6)이 수납될 수 있는 기판 투입출구가 형성되며, 기판 투입출구를 통해 기판(6)이 기판 고정 유닛(4,8)에 로딩 또는 언로딩 된다. 이러한 챔버(2)는 그 내/외부에 구비된 진공수단을 통해 그 내부가 진공 상태로 유지되도록 하며, 필요에 따라서는 별도의 내부 온도 조절기를 통해 그 내부가 소정의 온도로 유지되도록 한다. 도 1에는 하나의 챔버(2)를 도시하였지만, 상기의 챔버(2)는 복수개가 선형으로 연결되도록 구성되기도 하며, 이 경우 복수의 기판 고정 유닛(4,8)에 의해 복수의 기판(6)들이 챔버(2) 연결방향을 따라 순차적으로 이송될 수 있다.
기판 고정 유닛(4,8)은 상기 챔버(2)의 내부 어느 한 면에 설치될 수 있는데, 도 1과 같이 기판 고정 유닛(4,8)은 챔버(2) 내부의 상부면에 고정 설치될 수 있다. 이러한 기판 고정 유닛(4,8)은 기판(6)에 박막을 형성하기 위한 마스크(Mask)가 기판(6)을 지지하기 위한 트레이(Tray)의 개구부에 일체로 배치된 형태의 마스크 트레이(4)와 마스크 트레이(4)에 로딩된 기판(6)상에 배치되어 기판(6)을 마스크 트레이(4)에 고정시키는 고정 플레이트(8)를 구비하여 외부로부터 로딩된 기판(6)을 마스크 트레이(4) 상에 장착 및 고정시킨다.
기판 고정 유닛(4,8)을 이루는 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)에는 열 전달 수단이 더 구비되어 기판(6)에 외부로부터 전달되는 열을 인가하기도 한다. 다시 말해, 기판 고정 유닛(4,8)은 외부로부터 마스크 트레이(4) 상에 기판(6)이 로딩되면 고정 플레이트(8)를 통해 기판(6)을 고정시킨 다음, 소정의 열을 기판(6)에 전달하여 유기 박막이 보다 용이하게 형성될 수 있도록 한다.
기판 고정 유닛(4,8)은 별도의 이송수단(5)을 통해 지면에 수평한 방향으로 이송 가능하다. 특히 복수의 챔버(2)가 선형으로 연결 구성된 경우에는 이러한 이송 수단(5)에 의해 순차적으로 다른 챔버(2)들로 이송될 수 있다. 상술한 기판 고정 유닛(4,8)과 유기 박막의 형성방법에 대해서는 이후 첨부된 도면을 참조하여 좀 더 구체적으로 설명하기로 한다.
한편으로, 도시되지 않은 기판(6)의 온도 제어부는 열을 발생할 수 있도록 하는 히팅 수단들을 통해 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)에 열을 인가하게 된다. 이러한 온도 제어부는 기판(6)에 유기물이 증착되는 기간과 증착된 유기물을 평탄화하는 기간별로 기판(6)의 온도가 다르게 유지되도록 열을 발생하여 열선 등의 열 전달 수단을 통해 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)에 인가하게 된다. 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)에 의해 기판(6) 및 증착된 유기물들에 소정의 열이 일정 시간 동안 인가되면, 증착된 유기물의 분자 배열이 열에 의해 재배열될 수 있다.
유기물 가열 장치(12)는 챔버(2) 내부의 하부면, 더욱 구체적으로는 상기 기판 고정 유닛(4,8)에 대응되는 챔버(2)의 하부면에 구비될 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 하향 증착식일 경우에는 상술한 바와 반대의 배열이 될 수도 있다. 이러한 유기물 가열 장치(12)는 원통 형태로 형성되어 복수의 유기물 가열 용기(10)를 수납 및 이동시키는 용기 수납부 및 용기 수납부의 가장자리로 원주방향을 따라 형성되어 복수의 유기물 가열 용기(10)를 장착하는 복수의 장착 홈 등을 구비한다.
유기물 가열 용기(10)가 장착되는 유기물 가열 장치(12)의 각 장착 홈은 원주 방향을 따라 다수개가 설치될 수 있다. 이러한 각 장착 홈들에는 그 내부에 열선 등을 이용한 다양한 히터들이 구비되어 상기 각 장착 홈에 수납된 유기물 가열용기(10)들을 가열할 수 있다. 그리고, 유기물 가열 장치(12)는 각 장착 홈들을 중심으로 회전하도록 하여 수납된 유기물 가열용기(10)들이 순차로 증착을 진행하도록 한다. 즉, 적어도 둘 이상의 유기물 가열용기(10)들이 수납된 유기물 가열 장치(12)는 회전하면서 순차적으로 증착을 진행시키게 된다.
도 2는 도 1의 기판 고정 유닛의 마스크 트레이를 구체적으로 나타낸 사시도이다. 그리고, 도 3은 도 2의 마스크 트레이 상에 로딩된 기판을 구체적으로 나타낸 사시도이며, 도 4는 도 3의 마스크 트레이 및 기판상에 배치된 고정 플레이트를 구체적으로 나타낸 사시도이다.
도 2 내지 도 3에 도시된 기판 고정 유닛(4,8)은 기판(6)에 박막 패턴을 형성하기 위해 이용되는 마스크가 기판(6)이 안착되는 트레이(Tray)의 적어도 한 개구부에 각각 조립된 마스크 트레이(4); 및 마스크 트레이(4)에 로딩된 기판(6)상에 배치되어 기판(6)을 상기 마스크 트레이(4) 상에 고정시키는 고정 플레이트(8)를 구비한다.
상술한 바와 같이, 마스크 트레이(6)에는 기판(6)이 안착되기 이전에 각각의 마스크들이 조립 구성되는 복수의 개구부가 형성되며, 마스크 트레이(4)의 전면에는 상기 마스크들이 조립된 개구부들의 전면을 덮도록 기판(6)이 안착될 수 있도록하는 기판(5) 안착부가 마련된다. 따라서, 기판(6)에 박막 패턴이 형성될 수 있도록 적용되는 적어도 하나의 마스크는 상기 기판(6)이 안착되는 트레이의 적어도 한 개구부에 각각 조립된다. 이에, 적어도 하나의 마스크가 각 개구부에 조립된 마스크 트레이(4)의 두께는 실질적으로 트레이 자체의 두께와 동일하게 유지된다. 이렇게 복수의 개구부들에 마스크들이 각각 조립되는 마스크 트레이(6)는 복수의 기판(6)을 배치하여 동시에 박막 패턴을 형성하거나 대면적의 기판(6)에 박막 패턴을 형성하는데 이용될 수 있다.
외부로부터의 기판(6)은 외부 반송 수단에 의해 마스크들이 조립된 마스크 트레이(4) 상에 로딩되며, 기판(6)이 로딩된 후에는 고정 플레이트(8)가 로딩된 기판(6)을 모두 덮도록 기판(6) 상부면에 안착되어 기판(6)을 마스크 트레이(4) 상에 고정시킨다.
기판(6)은 그 전면에 유기 박막 패턴이 증착되도록 하기 위해 유기물 가열 용기(10)가 배치된 방향으로 전면이 향하도록 마스크 트레이(4) 상에 로딩된다. 유기물 가열 용기(10)가 챔버(2)의 하부면에 배치된 경우, 기판(6)의 전면은 하부면 방향을 향하도록 하여 마스크 트레이(4) 상에 로딩된다. 이 경우 기판(6)의 무게에 의해 기판(6)이 마스크 트레이(4) 상에 안착되긴 하지만 마스크 트레이(4)에 고정되진 않는다. 따라서, 기판(6)이 마스크 트레이(4) 상에 고정되도록 하기 위해 고정 플레이트(8)를 상기 기판(6) 상부면에 안착시킨다. 이에, 기판(6)은 자체 무게를 비롯한 고정 플레이트(6)의 무게 및 마찰력에 의해 마스크 트레이(4) 상에 고정된다.
한편으로, 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)에는 열선 등의 열 전달 수단이 더 구비될 수 있으며, 별도로 형성된 온도 제어부에 의해 상기 열 전달 수단이 구비된 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)를 통해 상기 기판(6)에 소정의 열이 인가될 수 있다. 구체적으로, 외부로부터 마스크 트레이(4) 상에 기판(6)이 로딩되면 고정 플레이트(8)를 기판(6) 상에 배치하여 기판(6)을 고정시킨 다음, 열 전달 수단이 구비된 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)를 통해 기판(6)에 소정의 열을 전달하여 기판(6)에 박막 패턴이 보다 용이하게 형성될 수 있도록 한다. 이때, 온도 제어부는 별도의 히팅 수단을 통해 열을 발생하여 상기 열 전단 수단이 구비된 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)에 열을 인가하게 된다.
이러한 온도 제어부는 기판(6)에 유기물이 증착되는 기간 즉, 박막 패턴이 형성되는 기간과 증착된 박막 패턴을 평탄화 또는 경화시키는 기간별로 기판(6)의 온도가 다르게 유지되도록 열을 발생하여 열선 등의 열 전달 수단을 통해 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)에 인가하게 된다. 예를 들어, 온도 제어부는 기판(6)에 유기물이 증착되는 기간에는 기판(6)이 약 20℃ 내지 50℃ 미만으로 유지되도록 하고, 유기물 증착이 완료되어 유기물을 평탄화하는 기간에는 약 40℃ 내지 90℃ 미만으로 유지되도록 할 수 있다. 이렇게 마스크 트레이(4)나 고정 플레이트(8)에 의해 기판(6) 및 증착된 유기물들에 소정의 열이 일정 시간 동안 인가되면, 증착된 유기물의 분자 배열이 열에 의해 재배열된다.
도 5는 도 4의 I-I'의 절단면을 나타낸 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 마스크 트레이(4)는 각 개구부들에 의해 구분되어 상기 기판(6)의 일부를 지지하도록 상기 각 개구부의 사이에 형성된 적어도 하나의 서포트 빔(Support Beam, 4a)을 포함한다. 이에, 상기의 기판(6)은 마스크 트레이(4)의 전면 외곽 안착부를 포함한 적어도 하나의 서포트 빔(4a)에 안착 되며, 하부 방향의 서포트 빔(4a)에 대응되는 면이 지지되어 하부 방향으로 휘지 않고 수평을 유지하게 된다.
고정 플레이트(8)는 마스크 트레이(4)에 로딩된 기판(6)을 덮도록 기판(6)과 대응되는 크기로 구성됨과 아울러, 그 두께가 기판(6)과 동일한 두께로 이루어질 수 있다. 이러한 고정 플레이트(8)는 그 자체 무게로 기판(6)을 가압하여 그 무게와 마찰력으로 인해 기판(6)에 마스크 트레이(4)에 고정될 수 있도록 한다.
한편으로, 도 5를 참조하면 고정 플레이트(8)에는 적어도 하나의 자석(8a)이 내장되어 적어도 하나의 자석(8a)과 기판(6)을 사이에 둔 마스크 트레이(4) 간에 자기력이 발생될 수 있도록 할 수 있다. 다시 말해, 고정 플레이트(8)에는 적어도 하나의 자석(8a)이 삽입 고정될 수 있도록 하는 적어도 하나의 홈이 형성되어 적어도 하나의 자석(8a)이 내장된 형태로 구비되도록 할 수 있다. 이러한, 고정 플레이트(8)의 자석(8a)들은 상기 기판(6)을 사이에 두고 마스크 트레이(4)의 재질에 따라 마스크 트레이(4)와 자기력을 발생할 수 있다.
마스크 트레이(4)는 금속 재질로 형성될 수 있는바, 고정 플레이트(8)의 자석(8a)들이 기판(6)을 사이에 두고 마스크 트레이(4)와 자기력을 유지함에 따라 그 자기력에 의해 상기 기판(6)이 마스크 트레이(4) 및 고정 플레이트(8)에 고정될 수 있다. 이러한 효과를 더욱 증대시키기 위해서는 도 5와 같이, 고정 플레이트(8)에 구비된 각 자석(8a)은 마스크 트레이(4)의 서포트 빔(4a)에 각각 대응하는 위치에 적어도 하나씩 상기 서포트 빔(4a) 형상에 따라 배치됨이 바람직하다. 이 경우, 각 자석(8a)과 서포트 빔(4a) 간의 간격을 최소화하여 그 자기력에 따라 기판(6) 고정 효과가 증대된다.
이상에서 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 고정 유닛(4,8)은 별도의 점착 척이나 점착 물질들을 이용하지 않고도 보다 단순하고 안정적으로 유기물이 증착되는 기판(6)을 고정시킬 수 있다. 따라서, 본 발명은 유기 발광 다이오드 표시장치의 공정 수율 및 품질을 더욱 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (10)

  1. 기판에 박막 패턴을 형성하기 위해 이용되는 마스크(Mask)가 상기 기판이 안착되는 트레이(Tray)의 적어도 한 개구부에 각각 조립된 마스크 트레이; 및
    상기 마스크 트레이에 로딩된 기판상에 배치되어 상기 기판을 상기 마스크 트레이 상에 고정시키는 고정 플레이트를 구비한 것을 특징으로 기판 고정 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 트레이는
    상기 각 개구부들에 의해 구분되어 상기 각 개구부의 사이에 각각 형성된 적어도 하나의 서포트 빔(Support Beam)을 구비하여 상기 기판이 상기 마스크 트레이의 전면 외곽 안착부를 포함한 상기 적어도 하나의 서포트 빔에 안착되도록 함으로써 상기 기판이 수평하게 유지되도록 한 것을 특징으로 하는 기판 고정 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 고정 플레이트는
    상기 마스크 트레이에 로딩된 기판을 덮도록 상기 기판과 대응되는 크기로 형성됨과 아울러, 그 두께가 상기 기판과 동일한 두께로 이루어지고, 적어도 하나의 자석이 내장되어 상기 적어도 하나의 자석과 상기 기판을 사이에 둔 상기 마스크 트레이 간에 자기력이 발생되도록 한 것을 특징으로 하는 기판 고정 유닛.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 고정 플레이트에 구비된 각 자석은
    상기 마스크 트레이의 각 서포트 빔과 각각 대응하는 위치에 적어도 하나 씩 상기 서포트 빔 형상에 따라 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 고정 유닛.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 트레이나 상기 고정 플레이트에는 열 전달 수단이 더 구비되어 별도로 형성된 온도 제어부 및 히팅 수단에 의해 상기 열 전달 수단이 구비된 마스크 트레이나 고정 플레이트를 통해 상기 기판에 열이 인가되도록 한 것을 특징으로 하는 기판 고정 유닛.
  6. 진공 상태를 유지시킬 수 있는 적어도 하나의 챔버;
    상기 적어도 하나의 챔버의 내부에 설치되어 적어도 하나의 기판을 장착 및 고정시키는 기판 고정 유닛; 및
    상기 기판 고정 유닛과 마주하는 위치에 설치되어 유기물 가열 용기의 유기물들을 가열 및 승화시키는 유기물 가열 장치를 구비하며,
    상기 기판 고정 유닛은
    상기 각 기판에 박막 패턴을 형성하기 위해 이용되는 마스크(Mask)가 상기 기판이 안착되는 트레이(Tray)의 적어도 한 개구부에 각각 조립된 마스크 트레이; 및 상기 마스크 트레이에 로딩된 기판상에 배치되어 상기 기판을 상기 마스크 트레이 상에 고정시키는 고정 플레이트를 구비한 것을 특징으로 유기물 증착 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 마스크 트레이는
    상기 각 개구부들에 의해 구분되어 상기 각 개구부의 사이에 각각 형성된 적어도 하나의 서포트 빔(Support Beam)을 구비하여 상기 기판이 상기 마스크 트레이의 전면 외곽 안착부를 포함한 상기 적어도 하나의 서포트 빔에 안착되도록 함으로써 상기 기판이 수평하게 유지되도록 한 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 고정 플레이트는
    상기 마스크 트레이에 로딩된 기판을 덮도록 상기 기판과 대응되는 크기로 형성됨과 아울러, 그 두께가 상기 기판과 동일한 두께로 이루어지고, 적어도 하나의 자석이 내장되어 상기 적어도 하나의 자석과 상기 기판을 사이에 둔 상기 마스크 트레이 간에 자기력이 발생되도록 한 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 고정 플레이트에 구비된 각 자석은
    상기 마스크 트레이의 각 서포트 빔과 각각 대응하는 위치에 적어도 하나 씩 상기 서포트 빔 형상에 따라 구비되는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 마스크 트레이나 상기 고정 플레이트에는 열 전달 수단이 더 구비되어 별도로 형성된 온도 제어부 및 히팅 수단에 의해 상기 열 전달 수단이 구비된 마스크 트레이나 고정 플레이트를 통해 상기 기판에 열이 인가되도록 한 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160117797A (ko) * 2015-03-31 2016-10-11 삼성디스플레이 주식회사 증착 장치
KR20200009616A (ko) * 2018-07-19 2020-01-30 주식회사 티지오테크 프레임 일체형 마스크의 제조 방법

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