KR20130011673A - Organic light emitting device and manufacturing method the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An OLED(Organic Light Emitting Diode) and a manufacturing method the same are provided to reduce the thickness of the organic light emitting device. CONSTITUTION: A gate line, a data line, a light signal line, a drive voltage line and a standard power line are formed on a back plane substrate(111). A drive TFT(Thin Film Transistor) is formed in the TFT region of the back plane substrate. An OLED is formed in the display region of the back plane substrate. A touch sensor includes a buffer layer formed on the back plane substrate and a touch electrode(131) and a driving electrode(133). [Reference numerals] (AA) TFT area; (BB) Display area

Description

유기 발광장치와 이의 제조방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THE SAME}Organic light emitting device and its manufacturing method {ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THE SAME}

본 발명은 유기 발광장치에 관한 것으로, 구체적으로 두께를 줄이고 제조 비용을 감소시킬 수 있는 정전용량 방식의 터치 센서(Touch Sensor)를 포함하는 유기 발광장치와 이의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting device, and more particularly, to an organic light emitting device including a capacitive touch sensor capable of reducing thickness and reducing manufacturing costs, and a method of manufacturing the same.

최근에 들어 발광효율, 휘도, 시야각이 뛰어나며 응답속도가 빠른 평판 표시장치에 대한 수요가 증가하고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, there is an increasing demand for a flat panel display device having excellent luminous efficiency, luminance, viewing angle, and response speed.

평판 표시장치 중에서 액정 표시장치(Liquid Crystal Display Device)는 별도의 광원으로 백라이트가 필요하고, 밝기, 명암비 및 시야각 등에서 기술적 한계가 있다.Of the flat panel display devices, a liquid crystal display device requires a backlight as a separate light source and has technical limitations in terms of brightness, contrast ratio, and viewing angle.

이에 따라, 자체발광이 가능하여 별도의 광원이 필요하지 않고, 밝기, 명암비 및 시야각 등에서 상대적으로 우수한 유기 발광장치(Organic Light Emitting Device)에 대한 관심이 증대되고 있다.Accordingly, self-light emission is possible, and a separate light source is not required, and interest in organic light emitting devices that are relatively excellent in brightness, contrast ratio, and viewing angle is increasing.

이하에서는, 도면을 참조로 종래 기술에 따른 능동 매트릭스 방식의 유기 발광장치에 대해서 설명하기로 한다. 참고로, 이하 본 명세서에서는 '능동 매트릭스 방식의 유기 발광장치'를 간략하게 '유기 발광장치'로 칭하도록 한다.Hereinafter, an organic light emitting device of an active matrix type according to the prior art will be described with reference to the drawings. For reference, in the present specification, the 'active matrix organic light emitting device' will be referred to simply as an 'organic light emitting device'.

최근에 들어, 마우스나 키보드 등의 입력 장치를 대체하여 사용자가 손가락이나 펜을 이용하여 스크린에 직접 정보를 입력할 수 있는 터치 센서(터치 스크린)가 적용되고 있고, 누구나 쉽게 조작할 수 있는 장점으로 인해 적용이 점차 확대되고 있다.Recently, a touch sensor (touch screen) that allows a user to directly input information on a screen using a finger or a pen has been applied in place of an input device such as a mouse or a keyboard. As a result, the application is gradually expanding.

이러한, 터치 센서는 표시 패널과 결합되는 구조에 따라 표시 패널의 셀 내에 내화되는 인-셀 방식, 표시 패널 상부에 형성되는 온-셀 방식 및 표시 패널의 외부에 터치 스크린이 결합되는 애드-온 방식으로 구분될 수 있다.Such a touch sensor has an in-cell method that is fireproof in a cell of a display panel, an on-cell method formed on the display panel, and an add-on method in which a touch screen is coupled to the outside of the display panel according to a structure that is combined with the display panel. It can be divided into.

도 1은 표시 패널 외부에 터치 센서가 구비된 종래 기술에 따른 유기 발광장치의 구조를 간략히 나타내는 도면이다. 도 1에서는 복수의 픽셀 중 하나의 픽셀을 도시하고 있다.FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a structure of an organic light emitting device according to the related art, in which a touch sensor is disposed outside a display panel. 1 illustrates one pixel among a plurality of pixels.

도 1에서는 터치 센서(30)가 표시 패널(10)의 하부에 배치된 것으로 도시하고 있으나, 표시 패널(10)은 바텀 이미션(bottom emission) 방식으로 화상을 표시하므로 실제로 터치 센서(30)는 표시 패널(10) 상부에 배치되게 된다.In FIG. 1, the touch sensor 30 is disposed below the display panel 10. However, since the display panel 10 displays an image by a bottom emission method, the touch sensor 30 is actually The display panel 10 is disposed above the display panel 10.

도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 유기 발광장치는 입력된 영상 신호에 따라 화상을 표시하는 표시 패널(10)과 상기 표시 패널(10) 상부에 배치되어 사용자의 터치를 감지하는 터치 센서(30, 터치 스크린)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the organic light emitting device according to the related art includes a display panel 10 displaying an image according to an input image signal and a touch sensor 30 disposed on the display panel 10 to sense a user's touch. , Touch screen).

표시 패널(10)에 형성된 복수의 픽셀 각각은 TFT(Thin Film Transistor), OLED(Organic Light Emitting Diode) 및 스토리지 커패시터(미도시)를 포함한다.Each of the pixels formed in the display panel 10 includes a thin film transistor (TFT), an organic light emitting diode (OLED), and a storage capacitor (not shown).

TFT는 백 플랜 글라스(11) 상에 형성된 액티브층(12), 소스(13), 드레인(14), 게이트 절연층(15) 및 게이트(16)로 구성된다.The TFT is composed of an active layer 12, a source 13, a drain 14, a gate insulating layer 15, and a gate 16 formed on the back plan glass 11.

TFT를 덮도록 백 플랜 글라스(11)의 전면에 층간 절연층(17, ILD: inter layer dielectric) 및 보호층(18, PAS)이 순차적으로 형성된다.An interlayer dielectric layer 17 (ILD) and a protective layer 18 (PAS) are sequentially formed on the front surface of the back plan glass 11 to cover the TFT.

층간 절연층(17) 및 보호층(18)의 일부 영역이 식각되어 소스(13)의 상면을 노출시키는 컨택홀 및 드레인(14)의 상면을 노출시키는 컨택홀이 형성되고, 상기 각각의 컨택홀 내에 메탈 컨택이 형성되어 있다.A portion of the interlayer insulating layer 17 and the protective layer 18 is etched to form contact holes for exposing the top surface of the source 13 and contact holes for exposing the top surface of the drain 14, respectively. The metal contact is formed in the inside.

보호층(18)의 상면에는 화상이 표시되는 표시 영역 즉, 개구부를 정의하는 뱅크(19)가 형성되어 있다.On the upper surface of the protective layer 18, a bank 19 defining a display area in which an image is displayed, that is, an opening, is formed.

보호층(18)의 상면 중에서 TFT가 형성된 영역을 제외한 표시 영역 상에 인듐틴옥사이드(ITO)와 같은 투명 전도성 물질로 애노드(anode) 전극(21)이 형성되고, 상기 애노드 전극(21)은 드레인(14)과 접속된 메탈 컨택과 접속된다.An anode electrode 21 is formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) on the display area of the upper surface of the protective layer 18 except for the region where the TFT is formed, and the anode electrode 21 is drained. It is connected with the metal contact connected with 14.

애노드 전극(21) 상에는 인가된 전류에 의해 발광하는 발광층(22)이 형성되고, 상기 발광층(22) 상에 캐소드(cathode) 전극(23)이 형성되어 있다.The light emitting layer 22 which emits light by the applied current is formed on the anode electrode 21, and a cathode electrode 23 is formed on the light emitting layer 22.

상기 애노드 전극(21), 발광층(22) 및 캐소드 전극(23)으로 OLED가 구성되고, TFT의 스위칭에 의해 OLED에 전류가 공급됨으로써 발광하게 된다. 복수의 픽셀에 형성된 OLED의 발광에 의해 화상을 표시하게 된다.The OLED is composed of the anode electrode 21, the light emitting layer 22, and the cathode electrode 23, and light is emitted by supplying a current to the OLED by switching the TFT. An image is displayed by light emission of OLED formed in the some pixel.

이러한, TFT 및 OLED 상부에는 봉지 글라스(24)가 형성되어 OLED를 습기와 같은 외부 요인으로부터 봉지하게 된다.The encapsulation glass 24 is formed on the TFT and the OLED to encapsulate the OLED from external factors such as moisture.

한편, 터치 센서(30, 터치 스크린)는 터치 글라스(31)와, 상기 터치 글라스(31)의 일면에 형성된 센싱 전극(32) 및 상기 터치 글라스(31)의 타면에 형성된 구동 전극(33)을 포함한다.Meanwhile, the touch sensor 30 (touch screen) includes a touch glass 31, a sensing electrode 32 formed on one surface of the touch glass 31, and a driving electrode 33 formed on the other surface of the touch glass 31. Include.

이러한, 터치 센서(30)는 제1 접착층(25)에 의해 표시 패널(10)과 합착된다. 또한, 터치 센서(30)의 상측(도 1에서는 하측에 도시 됨)에는 제2 접착층(35)이 형성되고, 제2 접착층(35)에 의해 커버 글라스(34)가 터치 센서(30) 합착되게 된다.The touch sensor 30 is bonded to the display panel 10 by the first adhesive layer 25. In addition, a second adhesive layer 35 is formed on the upper side (shown below in FIG. 1) of the touch sensor 30, and the cover glass 34 is bonded to the touch sensor 30 by the second adhesive layer 35. do.

상술한 표시 패널(10) 및 터치 센서(30)를 포함하는 종래 기술에 따른 유기 발광장치는 표시 패널(10)과 터치 센서(30)를 각각 별도로 형성한 후, 제1 접착층(25)을 이용하여 표시 패널(10)과 터치 센서(30)를 합착함으로 인해 두께 및 무게가 증가하고, 제조 효율이 낮은 단점이 있다.In the organic light emitting device according to the related art including the display panel 10 and the touch sensor 30 described above, the display panel 10 and the touch sensor 30 are separately formed, and then the first adhesive layer 25 is used. The thickness and weight of the display panel 10 and the touch sensor 30 are increased, and manufacturing efficiency is low.

또한, 터치 글라스(31)를 사이에 두고 센싱 전극(32)과 구동 전극(33)을 형성하여야 하고, 터치 센서(30)를 보호하기 위한 커버 글라스(34)를 제2 접착층(35)을 이용하여 합착시켜야 한다. 이로 인해, 제조 공정이 복잡하고, 제조 비용이 증가하는 문제점이 있다.In addition, the sensing electrode 32 and the driving electrode 33 should be formed with the touch glass 31 interposed therebetween, and the cover glass 34 for protecting the touch sensor 30 using the second adhesive layer 35. Should be bonded together. For this reason, there exists a problem that a manufacturing process is complicated and manufacturing cost increases.

본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 정전 용량 방식의 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치의 제조 효율을 향상시키는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a technical problem is to improve the manufacturing efficiency of an organic light emitting device including a capacitive touch sensor.

본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 정전 용량 방식의 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치의 두께를 줄이는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and a technical problem is to reduce the thickness of an organic light emitting device including a capacitive touch sensor.

본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 정전 용량 방식의 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치의 무게를 줄이는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and it is an object of the present invention to reduce the weight of an organic light emitting device including a capacitive touch sensor.

본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 정전 용량 방식의 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치의 제조 비용을 절감시키는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and to reduce the manufacturing cost of the organic light emitting device including the capacitive touch sensor as a technical problem.

위에서 언급된 본 발명의 기술적 과제 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Other features and advantages of the invention will be set forth in the description which follows, or may be obvious to those skilled in the art from the description and the claims.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치는 인가되는 구동 전류에 따라 발광하는 OLED(organic light emitting diode) 및 사용자의 터치를 검출하기 위한 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치에 있어서, 게이트 라인, 데이터 라인, 발광 신호 라인, 구동 전원 라인, 기준 전원 라인이 형성된 백 플랜 기판; 상기 백 플랜 기판 상부 중 TFT(thin film transistor) 영역에 형성된 구동 TFT; 상기 백 플랜 기판 상부 중 표시 영역에 형성된 OLED; 및 상기 백 플랜 기판 상에 형성된 버퍼층과, 상기 버퍼층을 사이에 두고 상호 교차하도록 형성된 터치 전극 및 구동 전극으로 구성된 터치 센서;를 포함하는 것을 특징으로 한다.An organic light emitting device according to an embodiment of the present invention includes an organic light emitting diode (OLED) emitting light according to an applied driving current and a touch sensor for detecting a user's touch, the gate line and the data line A back plan substrate on which light emission signal lines, driving power lines, and reference power lines are formed; A driving TFT formed in a thin film transistor (TFT) region of the back plan substrate; An OLED formed in a display area on the back plan substrate; And a touch sensor including a buffer layer formed on the back plan substrate, a touch electrode and a driving electrode formed to cross each other with the buffer layer interposed therebetween.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치는 상기 터치 전극이 상기 OLED의 발광에 의해 화상이 표시되는 개구부들 사이에 제1 방향으로 형성되고, 상기 구동 전극이 상기 개구부들과 중첩되도록 제2 방향으로 형성된 것을 특징으로 한다.In the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention, the touch electrode is formed in the first direction between the openings in which the image is displayed by the emission of the OLED, and the driving electrode is in the second direction so as to overlap the openings. Characterized in that formed.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치는 상기 터치 전극과 중첩되도록 상기 버퍼층 상부에 형성된 커패시터 메탈층;을 더 포함하고, 상기 터치 전극, 상기 버퍼층 및 상기 커패시터 메탈층으로 스토리지 커패시터가 구성된 것을 특징으로 한다.The organic light emitting device according to the embodiment of the present invention further comprises a capacitor metal layer formed on the buffer layer so as to overlap the touch electrode, characterized in that the storage capacitor is composed of the touch electrode, the buffer layer and the capacitor metal layer. do.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치의 제조방법은 인가되는 구동 전류에 따라 발광하는 OLED(organic light emitting diode) 및 사용자의 터치를 검출하기 위한 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치의 제조방법에 있어서, 게이트 라인, 데이터 라인, 발광 신호 라인, 구동 전원 라인, 기준 전원 라인이 형성된 백 플랜 기판을 마련하는 단계; 상기 백 플랜 기판 상부 중 TFT 영역에 터치 전극을 형성하는 단계; 상기 터치 전극을 덮도록 상기 백 플랜 기판 상에 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 버퍼층 상부 중 표시 영역에 상기 터치 전극과 교차하도록 구동 전극을 형성하는 단계; 상기 버퍼층 상에 액티브, 소스, 드레인, 게이트 절연층을 형성하고, 상기 게이트 절연층 상에 액티브와 중첩되도록 게이트를 형성하여 구동 TFT를 구성하는 단계; 및 상기 백 플랜 기판 상부 중 표시 영역에 애노드 전극 및 발광층을 순차적으로 형성하고, 상기 발광층의 상부 및 상기 백 플랜 기판의 전면에 캐소드 전극을 형성하여 OLED를 구성하는 단계;를 포함하고, 상기 버퍼층을 사이에 두고 상호 교차하도록 형성된 터치 전극 및 구동 전극으로 상기 터치 센서를 형성하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting device including an organic light emitting diode (OLED) emitting light according to an applied driving current, and a touch sensor for detecting a user's touch. Providing a back plan substrate on which a gate line, a data line, a light emission signal line, a driving power line, and a reference power line are formed; Forming a touch electrode in a TFT region on the back plan substrate; Forming a buffer layer on the back plan substrate to cover the touch electrode; Forming a driving electrode on the display area of the buffer layer so as to cross the touch electrode; Forming a driving TFT by forming an active, source, drain, and gate insulating layer on the buffer layer, and forming a gate to overlap the active on the gate insulating layer; And sequentially forming an anode electrode and a light emitting layer in a display area of the top of the back plan substrate, and forming a cathode electrode on the top of the light emitting layer and the front of the back plan substrate to configure the OLED. The touch sensor may be formed of a touch electrode and a driving electrode formed to intersect with each other.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치와 이의 제조방법은 정전 용량 방식의 터치 센서를 표시 패널의 셀에 내재화시켜 유기 발광장치의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.The organic light emitting device and the method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention may improve the manufacturing efficiency of the organic light emitting device by internalizing the capacitive touch sensor in the cell of the display panel.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치와 이의 제조방법은 정전 용량 방식의 터치 센서를 표시 패널의 셀에 내재화시켜 유기 발광장치의 두께를 줄일 수 있다.The organic light emitting device and the method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention can reduce the thickness of the organic light emitting device by internalizing the capacitive touch sensor in the cell of the display panel.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치와 이의 제조방법은 정전 용량 방식의 터치 센서를 표시 패널의 셀에 내재화시켜 유기 발광장치의 무게를 줄일 수 있다.The organic light emitting device and the method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention can reduce the weight of the organic light emitting device by internalizing the capacitive touch sensor in the cell of the display panel.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치와 이의 제조방법은 정전 용량 방식의 터치 센서를 표시 패널의 셀에 내재화시켜 유기 발광장치의 제조 비용을 절감시킬 수 있다.The organic light emitting device and the method of manufacturing the same according to an exemplary embodiment of the present invention may reduce the manufacturing cost of the organic light emitting device by internalizing the capacitive touch sensor in the cell of the display panel.

위에서 언급된 본 발명의 특징 및 효과들 이외에도 본 발명의 실시 예들을 통해 본 발명의 또 다른 특징 및 효과들이 새롭게 파악 될 수도 있을 것이다.Other features and effects of the present invention may be newly understood through the embodiments of the present invention in addition to the features and effects of the present invention mentioned above.

도 1은 표시 패널 상부에 터치 센서가 구비된 종래 기술에 따른 유기 발광장치의 구조를 간략히 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치의 터치 센서 구조를 나타내는 도면.
도 4 내지 도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치의 제조방법을 나타내는 도면.1 is a view schematically illustrating a structure of an organic light emitting device according to the related art having a touch sensor provided on an upper portion of a display panel.
2 is a diagram illustrating an organic light emitting device according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a diagram illustrating a touch sensor structure of an organic light emitting device according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 to 12 are views showing a method of manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예를 설명함에 있어서 어떤 구조물이 다른 구조물 '상에 또는 상부에' 및 '아래에 또는 하부에' 형성된다고 기재된 경우, 이러한 기재는 이 구조물들이 서로 접촉되어 있는 경우는 물론이고 이들 구조물들 사이에 제3의 구조물이 개재되어 있는 경우까지 포함하는 것으로 해석되어야 한다.In describing embodiments of the present invention, when a structure is described as being formed 'on or on top' and 'under or under' another structure, these descriptions may be used to describe these structures as well as when the structures are in contact with each other. It should be interpreted as including even if a third structure is interposed between them.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치와 이의 제조방법을 설명함에 있어서, 구조물들 간의 상/하 관계는 제조과정과 제조가 완료된 이후 서로 상이할 수 있다.Hereinafter, in describing an organic light emitting device and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention with reference to the drawings, the vertical relationship between the structures may be different from each other after the manufacturing process and the manufacturing is completed.

도면에 도시되지 않았지만, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치는 픽셀에 형성된 OLED를 발광시키기 위한 구동회로부 및 터치 센서를 구동시키기 위한 터치 구동부를 포함한다.Although not shown in the drawings, the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention includes a driving circuit unit for emitting the OLED formed in the pixel and a touch driver for driving the touch sensor.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치의 터치 센서 구조를 나타내는 도면이다.2 is a view showing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view showing a touch sensor structure of an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치는 광을 하부로 방출하는 바텀 이미션(Bottom emission) 방식이며, 도 2에서는 본 발명의 유기 발광장치의 전체 픽셀 중에서 하나의 픽셀을 예로서 도시하고 있다.The organic light emitting device according to the embodiment of the present invention is a bottom emission method that emits light downward, and FIG. 2 illustrates one pixel among all pixels of the organic light emitting device of the present invention as an example.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치(100)는 백 플랜 기판(111) 상에 복수의 픽셀이 형성되고, 사용자의 터치 위치를 검출하는 터치 센서가 셀 내에 내장된다.Referring to FIG. 2, in the organic light emitting device 100 according to an exemplary embodiment, a plurality of pixels are formed on the back plan substrate 111, and a touch sensor for detecting a touch position of a user is embedded in a cell.

상기 복수의 픽셀 각각은 영상 신호에 따라 인가된 전류에 의해 발광하는 OLED; 상기 OLED에 전류를 공급하기 위한 복수의 TFT; 및 스토리지 커패시터(Ctc)를 포함한다.Each of the plurality of pixels includes: an OLED emitting light by a current applied according to an image signal; A plurality of TFTs for supplying current to the OLED; And a storage capacitor Ctc.

상기 도 2에서는 복수의 TFT 중에서 스위칭 TFT들은 도시하고 있지 않으며, OLED에 공급되는 전류를 스위칭 하는 구동 TFT만을 도시하고 있다. 여기서, 구동 TFT는 백 플랜 기판(111) 상에서 TFT 영역에 형성되고, OLED는 표시 영역 즉, 개구부에 형성된다.In FIG. 2, switching TFTs are not shown among the plurality of TFTs, and only driving TFTs for switching a current supplied to the OLED are shown. Here, the driving TFT is formed in the TFT region on the back plan substrate 111, and the OLED is formed in the display region, that is, the opening.

백 플랜 기판(111)은 투명 재질의 유기 기판 또는 플렉서블 한 플라스틱 기판이 적용될 수 있다. 도 2에 도시되어 있지 않지만, 백 플랜 기판(111)에는 게이트 라인, EM 라인(발광 신호 라인), 데이터 라인, 구동 전원 라인(VDD), 기준 전원 라인이 형성되어 있다.The back plan substrate 111 may be an organic substrate made of a transparent material or a flexible plastic substrate. Although not shown in FIG. 2, a gate line, an EM line (light emitting signal line), a data line, a driving power line VDD, and a reference power line are formed on the back plan substrate 111.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치의 터치 센서는 정전 용량 방식의 터치 센서로써, 버퍼층(132)을 사이에 두고 형성된 터치 전극(131)과 구동 전극(133)으로 구성된다.The touch sensor of the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention is a capacitive touch sensor, and includes a touch electrode 131 and a driving electrode 133 formed with a buffer layer 132 interposed therebetween.

터치 전극(131)은 백 플랜 기판(111) 상의 TFT 영역에 형성되고, 상기 터치 전극(131)을 덮도록 버퍼층(132)이 형성되어 있다. 이때, 버퍼층(132)은 무기물, 일 예로서 SiO2, 또는 SiNx로 형성될 수 있으며, 2,000Å ~ 3,000Å의 두께를 가질 수 있다.The touch electrode 131 is formed in the TFT region on the back plan substrate 111, and the buffer layer 132 is formed to cover the touch electrode 131. In this case, the buffer layer 132 may be formed of an inorganic material, for example, SiO 2 , or SiNx, and may have a thickness of 2,000 μs to 3,000 μs.

여기서, 터치 전극(131)은 인듐틴옥사이드(ITO: Indium Tin Oxide)와 같은 투명 전도성 물질 또는 불투명 메탈 물질로 형성될 수 있다.Here, the touch electrode 131 may be formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or an opaque metal material.

구동 전극(133)은 버퍼층(132) 상의 표시 영역에 형성된다. 이때, 구동 전극(133)은 OLED에서 발생된 광이 출사되는 면에 위치하게 되므로, 인듐틴옥사이드(ITO)와 같은 투명 전도성 물질로 형성된다.The driving electrode 133 is formed in the display area on the buffer layer 132. In this case, since the driving electrode 133 is positioned on the surface from which the light emitted from the OLED is emitted, the driving electrode 133 is formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO).

도 3을 참조하면, 터치 전극(131)과 구동 전극(133)은 버퍼층(132)을 사이에 두고 상호 교차하도록 형성된다. 터치 전극(131)은 개구부들 사이에서 Y축 방향으로 형성되고, 구동 전극(133)은 개구부와 중첩되도록 X축 방향으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, the touch electrode 131 and the driving electrode 133 are formed to cross each other with the buffer layer 132 interposed therebetween. The touch electrode 131 may be formed in the Y-axis direction between the openings, and the driving electrode 133 may be formed in the X-axis direction so as to overlap the opening.

이러한, 터치 전극(131)은 버퍼층(132)을 관통하도록 형성된 패드 컨택(134)을 통해 표시 패널외부에 형성된 터치 패드부(미도시)와 연결된다. 또한, 구동 전극(133)도 미 도시된 패드 컨택을 통해 표시 패널외부에 형성된 터치 패드부(미도시)와 연결된다.The touch electrode 131 is connected to a touch pad part (not shown) formed outside the display panel through a pad contact 134 formed to penetrate the buffer layer 132. In addition, the driving electrode 133 is also connected to the touch pad part (not shown) formed outside the display panel through a pad contact (not shown).

한편, 터치 전극(131) Y축 방향으로 형성되면 구동 전극(133)은 X축 방향으로 형성되고, 반대로 터치 전극(131)이 X축 방향으로 형성되는 경우에는 구동 전극(133)은 Y축 방향으로 형성될 수 있다. 이러한, 터치 전극(131) 및 구동 전극(133)은 표시 패널의 끝단에서 소정 개수씩 공통으로 연결되어 터치 패드부(미도시)와 접속되게 된다.On the other hand, when the touch electrode 131 is formed in the Y-axis direction, the driving electrode 133 is formed in the X-axis direction. On the contrary, when the touch electrode 131 is formed in the X-axis direction, the driving electrode 133 is in the Y-axis direction. It can be formed as. The touch electrodes 131 and the driving electrodes 133 are commonly connected in predetermined numbers at ends of the display panel to be connected to the touch pad unit (not shown).

도 2에서는 터치 전극(131)이 화상이 표시되는 화면에 가까운 쪽에 형성되고, 구동 전극(133)이 터치 전극(131)의 상부 쪽에 형성된 것으로 도시하고 있으나 이는 본 발명의 일 예를 나타낸 것이다. 본 발명의 다른 실시 예에서, 터치 전극(131)과 구동 전극(133)이 형성되는 위치는 서로 바뀔 수도 있다.In FIG. 2, the touch electrode 131 is formed near the screen on which the image is displayed, and the driving electrode 133 is formed on the upper side of the touch electrode 131, but this is an example of the present invention. In another embodiment of the present disclosure, the positions at which the touch electrode 131 and the driving electrode 133 are formed may be interchanged.

한편, 구동 TFT는 액티브(112), 소스(113), 드레인(114), 게이트 절연층(115) 및 게이트(116)를 포함하여 구성된다.On the other hand, the driving TFT includes the active 112, the source 113, the drain 114, the gate insulating layer 115, and the gate 116.

버퍼층(132) 상의 TFT 영역에 액티브(112), 소스(113), 드레인(114)이 형성된다. 이때, 소스(113) 드레인(114)은 액티브(112)의 반도체층에 P형 또는 N형의 불순물이 도핑되어 형성된다.An active 112, a source 113, and a drain 114 are formed in the TFT region on the buffer layer 132. In this case, the source 113 and drain 114 are formed by doping P-type or N-type impurities into the semiconductor layer of the active 112.

한편, 버퍼층(132) 상에서 구동 TFT의 드레인(114)과 터치 센서의 구동 전극(133) 사이에는 커패시터 메탈층(120)이 형성되어 있다.The capacitor metal layer 120 is formed between the drain 114 of the driving TFT and the driving electrode 133 of the touch sensor on the buffer layer 132.

이때, 커패시터 메탈층(120)은 구동 TFT를 형성하는 공정 중에 액티브 (112)와 같이 형성되며, 반도체층에 P형 또는 N형의 불순물을 1014 ~ 1015[㎤] 농도로 도핑하여 형성된다.At this time, the capacitor metal layer 120 is formed as the active 112 during the process of forming the driving TFT, and is formed by doping the P-type or N-type impurities to a concentration of 10 14 to 10 15 [cm 3] in the semiconductor layer. .

상기 커패시터 메탈층(120)은 버퍼층(132)을 사이에 두고 터치 전극(131)과 중첩되도록 형성된다. 이와 같은, 버퍼층(132)을 사이에 두고 커패시터 메탈층(120)과 터치 전극(131)이 형성되어 스토리지 커패시터(Ctc)가 구성되게 된다.The capacitor metal layer 120 is formed to overlap the touch electrode 131 with the buffer layer 132 interposed therebetween. As such, the capacitor metal layer 120 and the touch electrode 131 are formed with the buffer layer 132 interposed therebetween to form the storage capacitor Ctc.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치(100)에서는 스토리지 커패시터를 형성함에 있어서, 터치 센서를 형성하기 위한 터치 전극(131)과 버퍼층(132)을 이용한다. 또한, 커패시터 메탈층(120)은 구동 TFT의 액티브(122)와 동일 레이어 상에 함께 형성함으로 스토리지 커패시터의 형성에 따른 두께를 줄이고 제조 효율도 높일 수 있는 장점이 있다.In the organic light emitting device 100 according to the exemplary embodiment of the present invention, in forming the storage capacitor, the touch electrode 131 and the buffer layer 132 for forming the touch sensor are used. In addition, since the capacitor metal layer 120 is formed on the same layer as the active layer 122 of the driving TFT, the capacitor metal layer 120 may reduce the thickness due to the formation of the storage capacitor and increase manufacturing efficiency.

구동 TFT의 액티브(112), 소스(113), 드레인(114)과, 커패시터 메탈층(120) 및 터치 센서의 구동 전극(133)을 덮도록 게이트 절연층(115)이 형성된다.The gate insulating layer 115 is formed to cover the active 112, the source 113, the drain 114 of the driving TFT, the capacitor metal layer 120, and the driving electrode 133 of the touch sensor.

게이트 절연층(115) 상에는 액티브(112)와 중첩되도록 구동 TFT의 게이트(116)가 형성되고, 게이트(116) 및 게이트 절연층(115)을 덮도록 층간 절연층(117, ILD: inter layer dielectric) 및 보호층(118, PAS)이 순차적으로 형성된다.The gate 116 of the driving TFT is formed on the gate insulating layer 115 so as to overlap the active 112, and the interlayer insulating layer 117 (interlayer dielectric) to cover the gate 116 and the gate insulating layer 115. ) And the protective layer 118 (PAS) are sequentially formed.

여기서, 상기 보호층(118, 또는 평탄막)은 백 플랜 기판(111) 상에 형성된 복수의 TFT들 및 컨택들을 덮도록 3um 내외의 두께로 형성되어 백 플랜 기판(111)을 평탄화 시킨다.Here, the protective layer 118 or the flat layer is formed to a thickness of about 3um to cover the plurality of TFTs and contacts formed on the back plan substrate 111 to planarize the back plan substrate 111.

층간 절연층(117) 중에서 소스(113)와 중첩되는 영역이 식각되어 소스(113)의 상면을 노출시키는 제1 컨택 홀이 형성된다. 제1 컨택 홀 내에 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)와 같은 메탈 물질이 매립되어 소스(113)를 데이터 라인과 연결시키는 제1 컨택(contact)이 형성된다.An area overlapping the source 113 is etched in the interlayer insulating layer 117 to form a first contact hole exposing the top surface of the source 113. Metal materials such as molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu) are embedded in the first contact hole. To form a first contact connecting the source 113 to the data line.

또한, 층간 절연층(117) 중에서 드레인(114)과 중첩되는 영역이 식각되어 드레인(114)의 상면을 노출시키는 제2 컨택 홀이 형성된다. 제2 컨택 홀 내에 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)와 같은 메탈 물질이 매립되어 드레인(114)을 OLED의 애노드 전극(121)과 연결시키는 제2 컨택이 형성된다.In addition, a region of the interlayer insulating layer 117 overlapping the drain 114 is etched to form a second contact hole exposing the top surface of the drain 114. Metal materials such as molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu) are embedded in the second contact hole. The second contact is formed to connect the drain 114 with the anode electrode 121 of the OLED.

제1 컨택을 통해 구동 TFT의 소스(113)에 OLED의 구동전류가 공급되게 된다. 구동 TFT의 게이트(116)에 전압이 인가되어 구동 TFT가 턴-온되면, 구동전류가 드레인(114)으로 인가되고, 제2 컨택을 경유하여 구동전류가 OLED의 애노드 전극(121)에 공급되게 된다.The driving current of the OLED is supplied to the source 113 of the driving TFT through the first contact. When a voltage is applied to the gate 116 of the driving TFT and the driving TFT is turned on, the driving current is applied to the drain 114 and the driving current is supplied to the anode electrode 121 of the OLED via the second contact. do.

보호층(118) 상에는 표시 영역을 정의하는 뱅크(119)가 형성된다.The bank 119 defining the display area is formed on the protective layer 118.

여기서, 상기 뱅크(119)는 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene, BCB)계 수지, 아크릴계 수지 또는 폴리이미드 수지로 형성될 수 있다.The bank 119 may be formed of a benzocyclobutene (BCB) -based resin, an acrylic resin, or a polyimide resin.

상기 뱅크(119)에 의해 정의된 표시 영역 내에는 구동 TFT를 통해 인가된 구동 전류에 의해 발광하는 OLED가 형성된다.In the display area defined by the bank 119, an OLED is formed which emits light by a driving current applied through the driving TFT.

보호층(118) 중에서 제2 컨택과 중첩되는 영역이 식각되어 제2 컨택의 상면을 노출시키는 제3 컨택 홀이 형성된다.An area overlapping the second contact is etched in the passivation layer 118 to form a third contact hole exposing the top surface of the second contact.

보호층(118)의 상부면 중에서 표시 영역 및 제3 컨택 홀 내에 투명 전도성 물질로 애노드 전극(121)이 형성된다. 이때, 애노드 전극(121)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide) 또는 ITZO(indium tin zinc oxide) 물질로 형성될 수 있다.The anode electrode 121 is formed of a transparent conductive material in the display area and the third contact hole among the upper surface of the protective layer 118. In this case, the anode electrode 121 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), or indium tin zinc oxide (ITZO) material.

애노드 전극(121) 상에는 유기 물질이 도포되어 발광층(122)이 형성되고, 백 플랜 기판(111)의 전면에 캐소드 전극(123)이 형성된다. 이와 같이, 애노드 전극(121), 발광층(122) 및 캐소드 전극(123)이 순차적으로 형성되어 OLED를 구성하게 된다.The organic material is coated on the anode electrode 121 to form the emission layer 122, and the cathode electrode 123 is formed on the entire surface of the back plan substrate 111. As such, the anode electrode 121, the light emitting layer 122, and the cathode electrode 123 are sequentially formed to form an OLED.

여기서, OLED는 복수의 픽셀 각각에 형성되며, 풀 컬러 영상을 표시하기 위해 레드(red), 그린(green) 또는 블루(blue)의 색광을 발광하거나, 자외선(UV) 또는 백색광을 발광할 수 있다.Here, the OLED is formed in each of the plurality of pixels, and may emit red, green, or blue color light, or emit ultraviolet light or UV light to display a full color image. .

한편, 도 2에 구체적으로 도시되어 있지 않지만, OLED는 애노드 전극(121), 발광층(122) 및 캐소드 전극(123) 이외에 정공 주입층 및 전자 주입층을 포함한다.Although not specifically illustrated in FIG. 2, the OLED includes a hole injection layer and an electron injection layer in addition to the anode electrode 121, the light emitting layer 122, and the cathode electrode 123.

캐소드 전극(123)에서 발생된 전자 및 애노드 전극(121)에서 발생된 정공이 발광층(122) 내부로 주입되면, 주입된 전자 및 정공이 결합하여 액시톤(exciton)이 생성된다. 생성된 액시톤이 여기상태(excited state)에서 기저상태(ground state)로 떨어지면서 고유의 색광을 발생시킴으로써 컬러 화상을 표시하게 된다.When electrons and holes generated in the cathode electrode 123 and holes generated in the anode electrode 121 are injected into the light emitting layer 122, the injected electrons and holes are combined to generate an exciton. The generated axtone falls from the excited state to the ground state and generates a unique color light to display a color image.

뱅크(119) 및 OLED 상부에는 봉지 글라스(124)가 형성되어 OLED를 습기와 같은 외부 요인으로부터 봉지하게 된다.An encapsulation glass 124 is formed on the bank 119 and the OLED to encapsulate the OLED from external factors such as moisture.

여기서, 봉지 글라스(124)는 OLED를 외부 습기 및 이물질로부터 보호하기 위한 것으로, 글라스 재질뿐만 아니라 박막 필름 봉지제(TFE: Thin Film Encapsulation)로도 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, OLED를 보호할 수 있는 물질이면 봉지 글라스(124)의 역할을 대체할 수 있다.Here, the encapsulation glass 124 is to protect the OLED from external moisture and foreign matter, and may be formed of a thin film encapsulation (TFE) as well as a glass material. However, the present invention is not limited thereto, and a material capable of protecting the OLED may replace the role of the encapsulation glass 124.

상술한 구성을 포함하는 본 발명의 유기 발광장치는 바텀 이미션(Bottom Emission) 방식의 AMOLED 패널(Panel)에 정전용량 방식의 터치 센서(Touch Sensor)를 내재화 시켰다.The organic light emitting device of the present invention including the above-described configuration has a capacitive touch sensor embedded in a bottom emission AMOLED panel.

이를 통해, 터치 센서를 형성하기 위한 별도의 터치 글라스를 제거하여 종래 기술 대비 두께가 감소된 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치를 제공할 수 있다.Through this, an organic light emitting device including a touch sensor having a reduced thickness compared to the prior art may be provided by removing a separate touch glass for forming a touch sensor.

또한, 본 발명의 유기 발광장치는 터치 센서를 표시 패널의 셀 내에 내재화시켜 터치 센서의 형성에 따른 제조 비용을 절감시킬 수 있다.In addition, the organic light emitting device of the present invention may reduce the manufacturing cost according to the formation of the touch sensor by internalizing the touch sensor in the cell of the display panel.

본 발명의 터치 센서는 OLED의 구조와 상관없이 모든 바텀 이미션 방식의 유기 발광장치에 적용할 수 있는 장점이 있다.The touch sensor of the present invention has an advantage that it can be applied to all bottom emission type organic light emitting devices regardless of the structure of the OLED.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치(100)에서는 터치 센서를 형성하기 위한 터치 전극(131)과 버퍼층(132)을 이용하여 스토리지 커패시터의 제1 전극 및 절연층을 형성하고, TFT의 액티브(122)와 함께 형성된 커패시터 메탈층(120)을 이용하여 스토리지 커패시터의 제2 전극을 형성한다. 이를 통해, 스토리지 커패시터를 형성하기 위한 별도의 레이어 및 제조공정을 생략시켜 유기 발광장치의 두께를 줄이고 제조 비용을 절감시킬 수 있다.Further, in the organic light emitting device 100 according to the exemplary embodiment of the present invention, the first electrode and the insulating layer of the storage capacitor are formed using the touch electrode 131 and the buffer layer 132 to form the touch sensor, and the TFT The second electrode of the storage capacitor is formed by using the capacitor metal layer 120 formed with the active 122. Through this, a separate layer and a manufacturing process for forming the storage capacitor may be omitted, thereby reducing the thickness of the organic light emitting device and reducing the manufacturing cost.

도 4 내지 도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치의 제조방법을 나타내는 도면이다.4 to 12 are views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 백 플랜 기판(111) 상에 터치 전극(131)을 형성한다. 이때, 터치 전극(131)은 백 플랜 기판(111)의 전체 면적 중에서 개구부 이외의 영역 일 예로서, TFT 영역에 형성된다.Referring to FIG. 4, the touch electrode 131 is formed on the back plan substrate 111. In this case, the touch electrode 131 is formed in the TFT region as an example of a region other than the opening of the entire area of the back plan substrate 111.

이러한, 터치 전극(131)은 인듐틴옥사이드(ITO: Indium Tin Oxide)와 같은 투명 전도성 물질 또는 불투명 메탈 물질로 형성될 수 있다.The touch electrode 131 may be formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or an opaque metal material.

여기서, 백 플랜 기판(111)은 투명 재질의 유기 기판 또는 플렉서블 한 플라스틱 기판이 적용될 수 있다. 도 4에 도시되어 있지 않지만, 백 플랜 기판(111)에는 게이트 라인, EM 라인, 데이터 라인, 구동 전원 라인(VDD), 기준 전원 라인이 형성되어 있다.Here, the back plan substrate 111 may be an organic substrate or a flexible plastic substrate made of a transparent material. Although not shown in FIG. 4, a gate line, an EM line, a data line, a driving power line VDD, and a reference power line are formed on the back plan substrate 111.

이후, 터치 전극(131)을 덮도록 백 플랜 기판(111) 상부에 버퍼층(132)을 형성한다.Thereafter, a buffer layer 132 is formed on the back plan substrate 111 to cover the touch electrode 131.

이때, 버퍼층(132)은 무기물, 일 예로서 SiO2, 또는 SiNx로 형성될 수 있으며, 2,000Å ~ 3,000Å의 두께로 형성된다.In this case, the buffer layer 132 may be formed of an inorganic material, for example, SiO 2 , or SiNx, and may be formed to a thickness of 2,000 kPa to 3,000 kPa.

이후, 터치 전극(131)과 중첩되는 버퍼층(132)의 일부 영역을 식각하여 터치 전극(131)을 표시 패널 외부에 형성된 터치 패드와 연결하기 위한 패드 컨택 홀(a)을 형성한다.Subsequently, a portion of the buffer layer 132 overlapping the touch electrode 131 is etched to form a pad contact hole a for connecting the touch electrode 131 to a touch pad formed outside the display panel.

이어서, 도 5를 참조하면, 버퍼층(132) 상에 구동 전극(133)을 형성한다. 이때, 구동 전극(133)은 버퍼층(132) 상의 표시 영역에 형성된다. 구동 전극(133)은 OLED에서 발생된 광이 출사되는 면에 위치하게 되므로, 인듐틴옥사이드(ITO)와 같은 투명 전도성 물질로 형성된다.5, the driving electrode 133 is formed on the buffer layer 132. In this case, the driving electrode 133 is formed in the display area on the buffer layer 132. Since the driving electrode 133 is positioned on the surface where the light emitted from the OLED is emitted, the driving electrode 133 is formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO).

상기, 터치 전극(131), 버퍼층(132) 및 구동 전극(133)을 형성하여 사용자의 터치 검출을 위한 정전 용량 방식의 터치 센서를 구성하게 된다.The touch electrode 131, the buffer layer 132, and the driving electrode 133 are formed to form a capacitive touch sensor for detecting a user's touch.

한편, 상기 패드 컨택 홀(a) 내부 및 버퍼층(132) 상에 전도성 물질로 패드 컨택(134)을 형성한다. 터치 전극(131)은 버퍼층(132)을 관통하도록 형성된 패드 컨택(134)을 통해 표시 패널외부에 형성된 터치 패드부(미도시)와 연결된다. 또한, 구동 전극(133)도 미 도시된 패드 컨택을 통해 표시 패널외부에 형성된 터치 패드부(미도시)와 연결된다.Meanwhile, a pad contact 134 is formed of a conductive material in the pad contact hole a and the buffer layer 132. The touch electrode 131 is connected to a touch pad part (not shown) formed outside the display panel through a pad contact 134 formed to penetrate the buffer layer 132. In addition, the driving electrode 133 is also connected to the touch pad part (not shown) formed outside the display panel through a pad contact (not shown).

터치 전극(131)과 구동 전극(133)은 버퍼층(132)을 사이에 두고 상호 교차하도록 형성된다. 터치 전극(131)은 개구부들 사이에서 Y축 방향으로 형성되고, 구동 전극(133)은 개구부와 중첩되도록 X축 방향으로 형성될 수 있다.The touch electrode 131 and the driving electrode 133 are formed to cross each other with the buffer layer 132 interposed therebetween. The touch electrode 131 may be formed in the Y-axis direction between the openings, and the driving electrode 133 may be formed in the X-axis direction so as to overlap the opening.

터치 전극(131) Y축 방향으로 형성되면 구동 전극(133)은 X축 방향으로 형성되고, 반대로 터치 전극(131)이 X축 방향으로 형성되는 경우에는 구동 전극(133)은 Y축 방향으로 형성될 수 있다. 이러한, 터치 전극(131) 및 구동 전극(133)은 표시 패널의 끝단에서 소정 개수씩 공통으로 연결되어 터치 패드부(미도시)와 접속되게 된다.When the touch electrode 131 is formed in the Y-axis direction, the driving electrode 133 is formed in the X-axis direction. On the contrary, when the touch electrode 131 is formed in the X-axis direction, the driving electrode 133 is formed in the Y-axis direction. Can be. The touch electrodes 131 and the driving electrodes 133 are commonly connected in predetermined numbers at ends of the display panel to be connected to the touch pad unit (not shown).

이어서, 도 6을 참조하면, 버퍼층(132) 상의 TFT 영역에 액티브(112), 소스(113), 드레인(114)을 형성한다. 이때, 소스(113) 드레인(114)은 액티브(112)의 반도체층에 P형 또는 N형의 불순물이 도핑되어 형성된다.6, an active 112, a source 113, and a drain 114 are formed in the TFT region on the buffer layer 132. In this case, the source 113 and drain 114 are formed by doping P-type or N-type impurities into the semiconductor layer of the active 112.

한편, 버퍼층(132) 상에서 구동 TFT의 드레인(114)과 터치 센서의 구동 전극(133) 사이에는 커패시터 메탈층(120)이 형성된다.Meanwhile, the capacitor metal layer 120 is formed between the drain 114 of the driving TFT and the driving electrode 133 of the touch sensor on the buffer layer 132.

이때, 커패시터 메탈층(120)은 구동 TFT를 형성하는 공정 중에 액티브 (112)와 같이 형성되며, 반도체층에 P형 또는 N형의 불순물을 1014 ~ 1015[㎤] 농도로 도핑하여 형성된다.At this time, the capacitor metal layer 120 is formed as the active 112 during the process of forming the driving TFT, and is formed by doping the P-type or N-type impurities to a concentration of 10 14 to 10 15 [cm 3] in the semiconductor layer. .

상기 커패시터 메탈층(120)은 버퍼층(132)을 사이에 두고 터치 전극(131)과 중첩되도록 형성된다. 이와 같은, 버퍼층(132)을 사이에 두고 커패시터 메탈층(120)과 터치 전극(131)이 형성되어 스토리지 커패시터(Ctc)가 구성되게 된다.The capacitor metal layer 120 is formed to overlap the touch electrode 131 with the buffer layer 132 interposed therebetween. As such, the capacitor metal layer 120 and the touch electrode 131 are formed with the buffer layer 132 interposed therebetween to form the storage capacitor Ctc.

이어서, 도 7을 참조하면, 구동 TFT의 액티브(112), 소스(113), 드레인(114)과, 커패시터 메탈층(120) 및 터치 센서의 구동 전극(133)을 덮도록 게이트 절연층(115)을 형성한다.Subsequently, referring to FIG. 7, the gate insulating layer 115 covers the active 112, the source 113, and the drain 114 of the driving TFT, the capacitor metal layer 120, and the driving electrode 133 of the touch sensor. ).

이후, 게이트 절연층(115) 상에 메탈 물질을 도포한 후, 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정을 수행하여 액티브(112)와 중첩되는 영역에 구동 TFT의 게이트(116)를 형성한다.Subsequently, after the metal material is coated on the gate insulating layer 115, a photolithography process and an etching process using a mask are performed to form the gate 116 of the driving TFT in a region overlapping with the active 112.

이어서, 도 8을 참조하면, 게이트(116) 및 게이트 절연층(115)을 덮도록 층간 절연층(117, ILD: inter layer dielectric) 및 보호층(118, PAS)을 순차적으로 형성한다.Subsequently, referring to FIG. 8, an interlayer insulating layer 117 (ILD) and a protective layer 118 (PAS) are sequentially formed to cover the gate 116 and the gate insulating layer 115.

여기서, 상기 보호층(118, 또는 평탄막)은 백 플랜 기판(111) 상에 형성된 복수의 TFT들 및 컨택들을 덮도록 3um 내외의 두께로 형성되어 백 플랜 기판(111)을 평탄화 시킨다.Here, the protective layer 118 or the flat layer is formed to a thickness of about 3um to cover the plurality of TFTs and contacts formed on the back plan substrate 111 to planarize the back plan substrate 111.

한편, 층간 절연층(117) 중에서 소스(113)와 중첩되는 영역을 식각하여 소스(113)의 상면을 노출시키는 제1 컨택 홀을 형성한다.Meanwhile, a region of the interlayer insulating layer 117 overlapping the source 113 is etched to form a first contact hole exposing the top surface of the source 113.

이후, 제1 컨택 홀 내에 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)와 같은 메탈 물질을 매립하여 소스(113)를 데이터 라인과 연결시키는 제1 컨택(contact)을 형성한다.Then, a metal material such as molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu) in the first contact hole. Is embedded to form a first contact connecting the source 113 to the data line.

그리고, 층간 절연층(117) 중에서 드레인(114)과 중첩되는 영역을 식각하여 드레인(114)의 상면을 노출시키는 제2 컨택 홀을 형성한다.A region of the interlayer insulating layer 117 overlapping the drain 114 is etched to form a second contact hole exposing the top surface of the drain 114.

이후, 제2 컨택 홀 내에 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)와 같은 메탈 물질을 매립하여 드레인(114)을 OLED의 애노드 전극(121)과 연결시키는 제2 컨택을 형성한다.Then, metal materials such as molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd) and copper (Cu) in the second contact hole. Is embedded to form a second contact connecting the drain 114 to the anode electrode 121 of the OLED.

이러한, 제1 컨택을 통해 구동 TFT의 소스(113)에 OLED의 구동전류가 공급되게 된다. 구동 TFT의 게이트(116)에 전압이 인가되어 구동 TFT가 턴-온되면, 구동전류가 드레인(114)으로 인가되고, 제2 컨택을 경유하여 구동전류가 OLED의 애노드 전극(121)에 공급되게 된다.The driving current of the OLED is supplied to the source 113 of the driving TFT through the first contact. When a voltage is applied to the gate 116 of the driving TFT and the driving TFT is turned on, the driving current is applied to the drain 114 and the driving current is supplied to the anode electrode 121 of the OLED via the second contact. do.

이어서, 도 9를 참조하면, 보호층(118) 중에서 제2 컨택과 중첩되는 영역을 식각하여 제2 컨택의 상면을 노출시키는 제3 컨택 홀을 형성한다.9, a region of the protective layer 118 overlapping the second contact is etched to form a third contact hole exposing the top surface of the second contact.

이후, 보호층(118)의 상부면 중에서 표시 영역 및 제3 컨택 홀 내에 투명 전도성 물질로 애노드 전극(121)을 형성한다. 이때, 애노드 전극(121)은 화상이 표시되는 면에 위치함으로, ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide) 또는 ITZO(indium tin zinc oxide) 물질로 형성한다.Thereafter, the anode electrode 121 is formed of a transparent conductive material in the display area and the third contact hole among the upper surface of the protective layer 118. In this case, the anode electrode 121 is positioned on the surface where the image is displayed, and is formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), or indium tin zinc oxide (ITZO) material.

이어서, 도 10을 참조하면, 보호층(118) 상에는 표시 영역을 정의하는 뱅크(119)를 형성한다.Next, referring to FIG. 10, a bank 119 defining a display area is formed on the protective layer 118.

여기서, 상기 뱅크(119)는 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene, BCB)계 수지, 아크릴계 수지 또는 폴리이미드 수지로 형성할 수 있다.The bank 119 may be formed of a benzocyclobutene (BCB) resin, an acrylic resin, or a polyimide resin.

상기 뱅크(119)에 의해 정의된 표시 영역 내에는 구동 TFT를 통해 인가된 구동 전류에 의해 발광하는 OLED가 형성되게 된다.In the display area defined by the bank 119, an OLED that emits light by a driving current applied through the driving TFT is formed.

이어서, 도 11을 참조하면, 애노드 전극(121) 상에 유기 물질을 도포하여 OLED의 발광층(122)을 형성한다.Subsequently, referring to FIG. 11, an organic material is coated on the anode electrode 121 to form an emission layer 122 of the OLED.

이후, 백 플랜 기판(111)의 전면에 캐소드 전극(123)을 형성한다.Thereafter, the cathode electrode 123 is formed on the front surface of the back plan substrate 111.

이와 같이, 애노드 전극(121), 발광층(122) 및 캐소드 전극(123)을 순차적으로 형성하여 OLED를 구성하게 된다.As such, the anode electrode 121, the light emitting layer 122, and the cathode electrode 123 are sequentially formed to form an OLED.

여기서, OLED는 복수의 픽셀 각각에 형성되며, 풀 컬러 영상을 표시하기 위해 레드(red), 그린(green) 또는 블루(blue)의 색광을 발광하거나, 자외선(UV) 또는 백색광을 발광할 수 있다.Here, the OLED is formed in each of the plurality of pixels, and may emit red, green, or blue color light, or emit ultraviolet light or UV light to display a full color image. .

한편, 도 11에 구체적으로 도시되어 있지 않지만, OLED는 애노드 전극(121), 발광층(122) 및 캐소드 전극(123) 이외에 정공 주입층 및 전자 주입층을 포함하며, 정공 주입층 및 전자 주입층을 형성하는 제조 공정을 수행할 수 있다.Although not specifically illustrated in FIG. 11, the OLED includes a hole injection layer and an electron injection layer in addition to the anode electrode 121, the light emitting layer 122, and the cathode electrode 123, and includes a hole injection layer and an electron injection layer. The manufacturing process to form can be performed.

이어서, 도 12를 참조하면, 뱅크(119) 및 OLED 상부에는 봉지 글라스(124)를 합착하여 OLED를 습기와 같은 외부 요인으로부터 봉지한다.Next, referring to FIG. 12, the sealing glass 124 is bonded to the bank 119 and the upper portion of the OLED to encapsulate the OLED from an external factor such as moisture.

여기서, 봉지 글라스(124)는 OLED를 외부 습기 및 이물질로부터 보호하기 위한 것으로, 글라스 재질뿐만 아니라 박막 필름 봉지제(TFE: Thin Film Encapsulation)로도 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, OLED를 보호할 수 있는 물질이면 봉지 글라스(124)의 역할을 대체할 수 있다.Here, the encapsulation glass 124 is to protect the OLED from external moisture and foreign matter, and may be formed of a thin film encapsulation (TFE) as well as a glass material. However, the present invention is not limited thereto, and a material capable of protecting the OLED may replace the role of the encapsulation glass 124.

도 4 내지 도 12의 제조 공정을 포함하는 본 발명의 유기 발광장치의 제조방법은 바텀 이미션(Bottom Emission) 방식의 AMOLED 패널(Panel)에 정전용량 방식의 터치 센서(Touch Sensor)를 내재화 시킬 수 있다.The method of manufacturing the organic light emitting device of the present invention including the manufacturing process of FIGS. 4 to 12 may internalize a capacitive touch sensor in a bottom emission type AMOLED panel. have.

이를 통해, 터치 센서를 형성하기 위한 별도의 터치 글라스를 제거하여 종래 기술 대비 두께가 감소된 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치를 제조할 수 있다.Through this, an organic light emitting device including a touch sensor having a reduced thickness compared to the related art may be manufactured by removing a separate touch glass for forming a touch sensor.

또한, 본 발명의 유기 발광장치의 제조방법은 터치 센서를 표시 패널의 셀 내에 내재화시켜 터치 센서의 형성에 따른 제조 비용을 절감시킬 수 있다.In addition, the manufacturing method of the organic light emitting device of the present invention can reduce the manufacturing cost according to the formation of the touch sensor by internalizing the touch sensor in the cell of the display panel.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치의 제조방법을 통해 형성된 터치 센서는 OLED의 구조와 상관없이 모든 바텀 이미션 방식의 유기 발광장치에 적용할 수 있는 장점이 있다.The touch sensor formed through the method of manufacturing the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention has an advantage that it can be applied to all bottom emission type organic light emitting devices regardless of the structure of the OLED.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치의 제조방법은 터치 센서를 형성하기 위한 터치 전극(131)과 버퍼층(132)을 이용하여 스토리지 커패시터의 제1 전극 및 절연층을 형성하고, TFT의 액티브(122)와 함께 형성된 커패시터 메탈층(120)을 이용하여 스토리지 커패시터의 제2 전극을 형성한다. 이를 통해, 스토리지 커패시터를 형성하기 위한 별도의 레이어 및 제조공정을 생략시켜 유기 발광장치의 두께를 줄이고 제조 비용을 절감시킬 수 있다.In addition, in the method of manufacturing the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention, the first electrode and the insulating layer of the storage capacitor are formed by using the touch electrode 131 and the buffer layer 132 to form the touch sensor, The second electrode of the storage capacitor is formed by using the capacitor metal layer 120 formed with the active 122. Through this, a separate layer and a manufacturing process for forming the storage capacitor may be omitted, thereby reducing the thickness of the organic light emitting device and reducing the manufacturing cost.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광장치의 제조방법은 터치 센서를 표시 패널의 셀 내에 내재화시켜 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치의 제조 효율을 높일 수 있는 장점이 있다.In addition, the manufacturing method of the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention has an advantage of increasing the manufacturing efficiency of the organic light emitting device including the touch sensor by internalizing the touch sensor in a cell of the display panel.

본 발명이 속하는 기술분야의 당 업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

100: 유기 발광장치 111: 백 플랜 기판
112: 액티브 113: 소스
114: 드레인 115: 게이트 절연층
116: 게이트 117: 층간 절연층
118: 보호층 119: 뱅크
120: 커패시터 메탈층 121: 애노드 전극
122: 발광층 123: 캐소드 전극
124: 봉지 글라스 131: 터치 전극
132: 버퍼층 133: 구동 전극100: organic light emitting device 111: back plan substrate
112: active 113: source
114: drain 115: gate insulating layer
116: gate 117: interlayer insulating layer
118: protective layer 119: bank
120: capacitor metal layer 121: anode electrode
122: light emitting layer 123: cathode electrode
124: sealing glass 131: touch electrode
132: buffer layer 133: driving electrode

Claims (17)

인가되는 구동 전류에 따라 발광하는 OLED(organic light emitting diode) 및 사용자의 터치를 검출하기 위한 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치에 있어서,
게이트 라인, 데이터 라인, 발광 신호 라인, 구동 전원 라인, 기준 전원 라인이 형성된 백 플랜 기판;
상기 백 플랜 기판 상부 중 TFT(thin film transistor) 영역에 형성된 구동 TFT;
상기 백 플랜 기판 상부 중 표시 영역에 형성된 OLED; 및
상기 백 플랜 기판 상에 형성된 버퍼층과, 상기 버퍼층을 사이에 두고 상호 교차하도록 형성된 터치 전극 및 구동 전극으로 구성된 터치 센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치.An organic light emitting device including an organic light emitting diode (OLED) emitting a light according to an applied driving current, and a touch sensor for detecting a touch of a user.
A back plan substrate having a gate line, a data line, a light emission signal line, a driving power line, and a reference power line;
A driving TFT formed in a thin film transistor (TFT) region of the back plan substrate;
An OLED formed in a display area on the back plan substrate; And
And a touch sensor comprising a buffer layer formed on the back plan substrate and a touch electrode and a driving electrode formed to cross each other with the buffer layer interposed therebetween. 제 1 항에 있어서,
상기 터치 전극은 상기 버퍼층의 제1 면에 접하도록 형성되고,
상기 구동 전극은 상기 버퍼층의 제2 면에 접하도록 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광장치.The method of claim 1,
The touch electrode is formed to contact the first surface of the buffer layer,
And the driving electrode is in contact with the second surface of the buffer layer. 제 1 항에 있어서,
상기 터치 전극은 상기 OLED의 발광에 의해 화상이 표시되는 개구부들 사이에 제1 방향으로 형성되고,
상기 구동 전극은 상기 개구부들과 중첩되도록 제2 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광장치.The method of claim 1,
The touch electrode is formed in a first direction between openings in which an image is displayed by light emission of the OLED,
And the driving electrode is formed in a second direction to overlap the openings. 제 1 항에 있어서,
상기 버퍼층을 관통하도록 형성되어 상기 터치 전극을 터치 패드와 연결시키는 패드 컨택을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치.The method of claim 1,
And a pad contact formed through the buffer layer to connect the touch electrode to the touch pad. 제 1 항에 있어서,
상기 터치 전극과 중첩되도록 상기 버퍼층 상부에 형성된 커패시터 메탈층;을 더 포함하고,
상기 터치 전극, 상기 버퍼층 및 상기 커패시터 메탈층으로 스토리지 커패시터가 구성된 것을 특징으로 하는 유기 발광장치.The method of claim 1,
And a capacitor metal layer formed on the buffer layer so as to overlap the touch electrode.
And a storage capacitor comprising the touch electrode, the buffer layer, and the capacitor metal layer. 제 1 항에 있어서,
상기 터치 전극은 상기 구동 TFT와 중첩되도록 형성되고,
상기 구동 전극은 상기 OLED와 중첩되도록 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광장치.The method of claim 1,
The touch electrode is formed to overlap the driving TFT,
And the driving electrode is formed to overlap the OLED. 제 1 항에 있어서,
상기 커패시터 메탈층은 반도체층에 P 타입 또는 N 타입의 불순물이 도핑되어 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광장치.The method of claim 1,
The capacitor metal layer is an organic light emitting device, characterized in that the semiconductor layer is doped with an impurity of P type or N type. 제 1 항에 있어서,
상기 OLED 상에 형성되어 상기 OLED를 봉지하는 봉지 글라스;를 포함하는 것을 특징으로 유기 발광장치.The method of claim 1,
And an encapsulation glass formed on the OLED to encapsulate the OLED. 인가되는 구동 전류에 따라 발광하는 OLED(organic light emitting diode) 및 사용자의 터치를 검출하기 위한 터치 센서를 포함하는 유기 발광장치의 제조방법에 있어서,
게이트 라인, 데이터 라인, 발광 신호 라인, 구동 전원 라인, 기준 전원 라인이 형성된 백 플랜 기판을 마련하는 단계;
상기 백 플랜 기판 상부 중 TFT 영역에 터치 전극을 형성하는 단계;
상기 터치 전극을 덮도록 상기 백 플랜 기판 상에 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 버퍼층 상부 중 표시 영역에 상기 터치 전극과 교차하도록 구동 전극을 형성하는 단계;
상기 버퍼층 상에 액티브, 소스, 드레인, 게이트 절연층을 형성하고, 상기 게이트 절연층 상에 액티브와 중첩되도록 게이트를 형성하여 구동 TFT를 구성하는 단계; 및
상기 백 플랜 기판 상부 중 표시 영역에 애노드 전극 및 발광층을 순차적으로 형성하고, 상기 발광층의 상부 및 상기 백 플랜 기판의 전면에 캐소드 전극을 형성하여 OLED를 구성하는 단계;를 포함하고,
상기 버퍼층을 사이에 두고 상호 교차하도록 형성된 터치 전극 및 구동 전극으로 상기 터치 센서를 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치의 제조방법.In the method of manufacturing an organic light emitting device comprising an organic light emitting diode (OLED) emitting a light according to the applied driving current and a touch sensor for detecting a user's touch,
Providing a back plan substrate on which a gate line, a data line, a light emission signal line, a driving power line, and a reference power line are formed;
Forming a touch electrode in a TFT region on the back plan substrate;
Forming a buffer layer on the back plan substrate to cover the touch electrode;
Forming a driving electrode on the display area of the buffer layer so as to cross the touch electrode;
Forming a driving TFT by forming an active, source, drain, and gate insulating layer on the buffer layer, and forming a gate to overlap the active on the gate insulating layer; And
And sequentially forming an anode electrode and a light emitting layer in a display area of the upper part of the back plan substrate, and forming a cathode electrode on the upper part of the light emitting layer and the front of the back plan substrate;
And the touch sensor is formed of a touch electrode and a driving electrode formed to cross each other with the buffer layer interposed therebetween. 제 9 항에 있어서,
상기 터치 전극은 상기 버퍼층의 제1 면에 접하도록 형성되고,
상기 구동 전극은 상기 버퍼층의 제2 면에 접하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치의 제조방법.The method of claim 9,
The touch electrode is formed to contact the first surface of the buffer layer,
And the driving electrode is formed to contact the second surface of the buffer layer. 제 9 항에 있어서,
상기 터치 전극은 상기 OLED의 발광에 의해 화상이 표시되는 개구부들 사이에 제1 방향으로 형성되고,
상기 구동 전극은 상기 개구부들과 중첩되도록 제2 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치의 제조방법.The method of claim 9,
The touch electrode is formed in a first direction between openings in which an image is displayed by light emission of the OLED,
And the driving electrode is formed in a second direction to overlap the openings. 제 9 항에 있어서,
상기 버퍼층을 관통하여 상기 터치 전극을 터치 패드와 연결시키는 패드 컨택을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치의 제조방법.The method of claim 9,
And forming a pad contact penetrating the buffer layer to connect the touch electrode to the touch pad. 제 9 항에 있어서,
상기 버퍼층은 SiO2, 또는 SiNx 물질로, 2,000Å ~ 3,000Å의 두께를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치의 제조방법.The method of claim 9,
The buffer layer is made of SiO 2 , or SiNx material, characterized in that formed to have a thickness of 2,000 ~ 3,000 Å. 제 9 항에 있어서,
상기 터치 전극은 상기 구동 TFT와 중첩되도록 형성되고,
상기 구동 전극은 상기 OLED와 중첩되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치의 제조방법.The method of claim 9,
The touch electrode is formed to overlap the driving TFT,
And the driving electrode is formed to overlap with the OLED. 제 9 항에 있어서,
상기 터치 전극과 중첩되도록 상기 버퍼층 상부에 커패시터 메탈층;을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 터치 전극, 상기 버퍼층 및 상기 커패시터 메탈층으로 스토리지 커패시터를 구성시키는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치의 제조방법.The method of claim 9,
And forming a capacitor metal layer on the buffer layer to overlap the touch electrode.
And a storage capacitor comprising the touch electrode, the buffer layer, and the capacitor metal layer. 제 15 항에 있어서,
상기 커패시터 메탈층은 상기 액티브를 형성 시 상기 버퍼층 상에 형성된 반도체층에 P 타입 또는 N 타입의 불순물을 1014 ~ 1015[㎤] 농도로 도핑하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치의 제조방법.The method of claim 15,
The capacitor metal layer may be formed by doping a P-type or N-type impurity to a concentration of 10 14 to 10 15 [cm 3] in the semiconductor layer formed on the buffer layer when the active is formed. . 제 15 항에 있어서,
상기 커패시터 메탈층은 상기 버퍼층 상에서 상기 드레인과 상기 구동 전극 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광장치의 제조방법.The method of claim 15,
And the capacitor metal layer is formed between the drain and the driving electrode on the buffer layer.
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