KR20150042985A - Organic electro luminescent device and method of fabricating the same - Google Patents

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Abstract

Provided in the present invention are a first substrate having a display area with multiple pixel areas defined; a first electrode formed on each pixel area on the first substrate; a first sub wiring extended on a boundary of the pixel areas in the first direction; a bank formed in a shape of being overlapped with the edge of each first electrode on the display area, and surrounding each pixel area, and including a trench exposing the first sub wiring; an organic light emitting layer formed on the upper part of each first electrode surrounded by the bank; a second electrode formed on the front surface of the display area on the to have a first thickness on the upper part of the organic light emitting layer; a second substrate facing the first substrate; a protruding pattern extended on the boundary of the pixel area on the inner surface of the second substrate in the first direction, and having a dam shape; and a second sub wiring formed to correspond to the bank on the upper part of the protruding pattern and the inner surface of the second substrate, wherein the first and second sub wirings and the second electrode are characterized by being electrically connected to each other inside the trench, and a method of fabricating the same.

Description

유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법{Organic electro luminescent device and method of fabricating the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent device and a method of fabricating the same,

본 발명은 유기전계 발광소자(organic electro luminescent device)에 관한 것이며, 특히 상부발광 방식의 구조에서 저저항 특성을 유지하면서도 캐소드 전극의 투과율을 향상시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device capable of improving the transmittance of a cathode electrode while maintaining a low resistance characteristic in a structure of a top emission type, and a method of manufacturing the same. .

평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display)중 하나인 유기전계 발광소자는 높은 휘도와 낮은 동작 전압 특성을 갖는다. 또한 스스로 빛을 내는 자체발광형이기 때문에 명암대비(contrast ratio)가 크고, 초박형 디스플레이의 구현이 가능하며, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도로 동화상 구현이 쉽고, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 직류 5 내지 15V의 낮은 전압으로 구동하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하다.An organic electroluminescent device, which is one of flat panel displays (FPDs), has high luminance and low operating voltage characteristics. In addition, since it is a self-luminous type that emits light by itself, it has a large contrast ratio, can realize an ultra-thin display, can realize a moving image with a response time of several microseconds (μs), has no viewing angle limit, And it is driven with a low voltage of 5 to 15 V direct current, so that it is easy to manufacture and design a driving circuit.

또한, 상기 유기전계 발광소자의 제조공정은 증착(deposition) 및 인캡슐레이션(encapsulation) 장비가 전부라고 할 수 있기 때문에 제조 공정이 매우 단순하다. In addition, since the manufacturing process of the organic electroluminescent device is all the deposition and encapsulation equipment, the manufacturing process is very simple.

따라서, 전술한 바와 같은 장점을 갖는 유기전계 발광소자는 최근에는 TV, 모니터, 핸드폰 등 다양한 IT기기에 이용되고 있다. Accordingly, the organic electroluminescent device having the above-described advantages has recently been used in various IT devices such as a TV, a monitor, and a mobile phone.

이하, 유기전계 발광 소자의 기본적인 구조에 대해서 조금 더 상세히 설명한다. Hereinafter, the basic structure of the organic electroluminescent device will be described in more detail.

유기전계 발광소자는 크게 어레이 소자와 유기전계 발광 다이오드로 이루지고 있다. 상기 어레이 소자는 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 유기전계 발광 다이오드와 연결된 구동 박막트랜지스터로 이루어지며, 상기 유기전계 발광 다이오드는 상기 구동 박막트랜지스터와 연결된 제 1 전극과 유기 발광층 및 제 2 전극으로 이루어지고 있다.BACKGROUND ART An organic electroluminescent device is largely composed of an array element and an organic electroluminescent diode. The array element includes a switching thin film transistor connected to a gate and a data line, and a driving thin film transistor connected to the organic light emitting diode. The organic light emitting diode includes a first electrode connected to the driving thin film transistor, Electrode.

이러한 구성을 갖는 유기전계 발광소자는 상기 유기 발광층으로부터 발생된 빛은 상기 제 1 전극 또는 제 2 전극을 향해 출사됨으로써 화상을 표시하게 된다. 이러한 유기전계 발광소자는 개구율 등을 고려할 때, 통상 상기 제 2 전극을 향해 출사되는 빛을 이용하여 화상을 표시하는 상부 발광 방식으로 제조되고 있다.In the organic electroluminescent device having such a configuration, light emitted from the organic light emitting layer is emitted toward the first electrode or the second electrode to display an image. Such an organic electroluminescent device is generally manufactured by a top emission type in which an image is displayed using light emitted toward the second electrode in consideration of an aperture ratio and the like.

하지만, 유기전계 발광소자 제조 특성 상, 유기 발광층 상부에 위치하는 제 2 전극은 상기 유기 발광층의 손상 방지를 위해 일반적인 금속물질의 증착법인 스퍼터링법에 의해 형성될 수 없으며, 따라서 유기 발광층에 거의 손상을 주지 않는 진공 열 증착에 의해 형성되고 있는 실정이다.However, due to the manufacturing characteristics of the organic electroluminescent device, the second electrode located above the organic luminescent layer can not be formed by sputtering, which is a general metal material evaporation method, to prevent damage to the organic luminescent layer, Which is formed by vacuum thermal evaporation which does not give a high temperature.

한편, 상기 제 1 전극은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 이루어지고 있으며, 제 2 전극은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 낮은 금속물질로서 이루어지고 있다. The first electrode is made of indium-tin-oxide (ITO), which is a transparent conductive material having a high work function value, to serve as an anode electrode. The second electrode has a low work function value And is made of a metal material.

그러나, 캐소드 전극의 역할을 하는 상기 제 2 전극을 이루는 일함수 값이 낮은 금속물질은 불투명한 특성을 가지므로, 이러한 불투명한 금속을 일반적인 전극의 두께를 갖도록 즉, 1000Å 내지 4000Å의 두께로 형성하면 빛이 투과할 수 없다. However, since the metal material having a low work function value constituting the second electrode serving as the cathode electrode has opaque characteristics, if the opaque metal is formed to have a thickness of about 1000 to 4000 ANGSTROM Light can not penetrate.

따라서, 낮은 일함수 값을 가지며 불투명한 금속물질로 이루어진 제 2 전극은 투명성을 확보하기 위해 불투명한 금속물질로 이루어지는 하부층을 10Å 내지 200Å정도의 두께를 갖도록 형성하고 있다. Therefore, the second electrode made of an opaque metal material having a low work function value is formed to have a thickness of about 10 Å to about 200 Å to form a lower layer made of an opaque metal material in order to ensure transparency.

이 경우, 상기 제 2 전극의 빛 투과도는 15% 이상이 되므로 일반적인 표시장치의 휘도 수준이 되고 있다. In this case, since the light transmittance of the second electrode is 15% or more, the brightness level of a general display device is obtained.

하지만, 상기 제 2 전극을 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 형성하면, 그 면저항이 20Ω/□ 내지 1000Ω/□이 되며, 이 경우 상기 제 2 전극 자체의 면 저항이 높아 위치별 전압 강하 값이 차이가 커 최종적으로는 휘도 불균일 현상이 발생됨으로서 유기전계 발광소자의 표시품질을 저하시키는 문제가 발생되고 있다.However, when the second electrode is formed to have a thickness of about 10 to 200 angstroms, the sheet resistance is 20? /? To 1000? / ?. In this case, the surface resistance of the second electrode itself is high, There is a problem that the display quality of the organic electroluminescent device is deteriorated because the luminance unevenness eventually occurs.

또한, 상기 제 2 전극의 높은 면적항에 의해 유기전계 발광소자 자체의 구동전압이 상대적으로 커지게 되므로 단위 시간당 소비전력이 증가되며 됨으로써 특히, 개인용 휴대 IT기기에 적용 시 빠른 배터리 소비를 야기시키는 문제가 발생되고 있는 실정이다.
In addition, since the driving voltage of the organic electroluminescence device itself is relatively increased due to the high area term of the second electrode, the power consumption per unit time is increased, thereby causing a problem of causing rapid battery consumption And the like.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 상부 발광 방식의 유기전계 발광 소자에 있어 유기 발광층 상부에 형성되어 캐소드 전극의 역할을 하는 제 2 전극의 저항을 낮추며 동시에 투과율을 향상시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide an organic electroluminescent device of the upper emission type, which is formed on the organic light emitting layer, And an object of the present invention is to provide an electroluminescent device and a manufacturing method thereof.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자는, 수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 형성된 제 1 전극과; 상기 화소영역의 경계에 제 1 방향으로 연장하며 형성된 제 1 보조배선과; 상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 각 화소영역을 둘러싸는 형태로 형성되며, 상기 제 1 보조배선을 노출시키는 트렌치를 구비한 뱅크와; 상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 제 1 두께를 가지며 형성된 제 2 전극과; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판과; 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 화소영역의 경계에 상기 제 1 방향으로 연장하며 댐 형태를 갖는 돌출패턴과; 상기 돌출패턴 상부 및 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 뱅크에 대응하여 형성된 제 2 보조배선을 포함하며, 상기 제 1 및 2 보조배선과 상기 제 2 전극은 상기 트렌치 내부에서 서로 전기적으로 연결된 구성을 이루는 것이 특징이다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic electroluminescent device including a first substrate on which a display region having a number of pixel regions is defined; A first electrode formed on each of the pixel regions on the first substrate; A first auxiliary wiring formed in a boundary of the pixel region in a first direction; A bank formed in the display region so as to overlap the edges of the first electrodes and surrounding the pixel regions, the trenches exposing the first sub-lines; An organic light emitting layer formed on each of the first electrodes surrounded by the banks; A second electrode formed on the entire surface of the organic emission layer and having a first thickness; A second substrate facing the first substrate; A protruding pattern extending in the first direction on a boundary of the pixel region on the inner surface of the second substrate and having a dam shape; And a second auxiliary wiring formed on the protruding pattern and on the inner surface of the second substrate to correspond to the bank, wherein the first and second auxiliary wiring and the second electrode are electrically connected to each other within the trench .

이때, 상기 돌출패턴은 상기 트렌치 내부로 삽입되는 것이 특징이다.At this time, the protruding pattern is inserted into the trench.

그리고 상기 제 1 전극과 상기 유기 발광층 사이에는 제 1 발광보조층이 형성되며, 상기 유기 발광층과 상기 제 2 전극 사이에는 제 2 발광보조층이 형성될 수 있으며, 이때, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층은 각 화소영역별로 분리 형성되며, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선은 상기 제 2 전극과 직접 접촉하는 것이 특징이다.A first light emitting auxiliary layer may be formed between the first electrode and the organic light emitting layer and a second light emitting auxiliary layer may be formed between the organic light emitting layer and the second electrode. The auxiliary layer is formed separately for each pixel region, and the first auxiliary wiring directly contacts the second electrode in the trench.

또한, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성되며, 이때, 상기 제 2 보조배선은 상기 돌출패턴 상부에 대응되는 부분은 그 표면이 요철구조를 이루며, 상기 트렌치 내부에서 상기 요철구조의 철부가 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 전극의 표면과 접촉하거나, 또는 상기 트렌치 내부에는 상기 제 1 보조배선 및 상기 2 보조배선의 표면과 각각 접촉하며 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하는 형태의 다수의 도전볼이 구비된 것이 특징이다.At least one of the first and second light-emission-assisting layers may be formed on the entire surface of the display region, and the portion of the second auxiliary wiring corresponding to the upper portion of the protrusion pattern may have a concavo- , The convex portion of the concave-convex structure inside the trench penetrates through the second electrode and the first and second light-emission-assisting layers located under the second electrode, and contacts the surface of the first electrode, A plurality of conductive balls contacting the surfaces of the first auxiliary wiring and the second auxiliary wiring and passing through the second electrode and the first and second light emission auxiliary layers disposed under the second electrode are provided.

한편, 상기 제 1 보조배선은 상기 제 1 전극과 동일한 물질로 이루어지며, 상기 제 2 보조배선은 저 저항 특성을 갖는 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어지고, 상기 제 2 전극은 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고, 상기 제 1 두께는 10 내지 200Å인 것이 특징이다.The first auxiliary wiring is made of the same material as the first electrode, and the second auxiliary wiring is made of a metal material having low resistance characteristics such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu) Wherein the second electrode is made of a material selected from the group consisting of aluminum (Al), an aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), and a metal having relatively low work function, (Mg), gold (Au), aluminum magnesium alloy (AlMg), and the first thickness is 10 to 200 Å.

나아가 상기 제 1 전극 하부로, 상기 제 1 기판 상에는 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 이들 배선과 나란하게 이격하며 형성된 전원배선과; 상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와; 상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키며 형성된 보호층을 포함하며, 상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 형성된 것이 특징이다.A gate and a data line crossing each other on the first substrate to define the pixel region; A power supply wiring formed on the same layer on which the gate wiring or the data wiring is formed so as to be spaced apart from the wiring; A switching thin film transistor provided in each pixel region and connected to the gate wiring and the data wiring; a driving thin film transistor connected to the power wiring and the switching thin film transistor; And a protective layer formed on the entire surface of the display region to cover the switching and driving thin film transistor and expose the drain electrode of the driving thin film transistor, Drain electrode.

본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법은, 다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 제 1 전극을 형성하고, 동시에 상기 화소영역의 경계에 제 1 방향으로 연장하는 제 1 보조배선을 형성하는 단계와; 상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 각 화소영역을 둘러싸는 형태를 가지며, 상기 제 1 보조배선을 노출시키는 트렌치를 구비한 뱅크를 형성하는 단계와; 상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 제 1 두께를 갖는 제 2 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판의 내측면에 상기 화소영역의 경계에 상기 제 1 방향으로 연장하며 댐 형태를 갖는 돌출패턴을 형성하는 단계와; 상기 돌출패턴 상부 및 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 뱅크에 대응하여 제 2 보조배선을 형성하는 단계와; 상기 제 2 보조배선과 상기 제 2 전극이 접촉하도록 상기 제 1 기판 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하며, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선과 상기 제 2 전극은 서로 전기적으로 연결된 구성을 이루는 것이 특징이다.A method for fabricating an organic electroluminescent device according to an exemplary embodiment of the present invention includes forming a first electrode on a first substrate having a plurality of pixel regions and defining a display region thereon, Forming a first auxiliary wiring extending in a first direction on the first substrate; Forming a bank having a trench that exposes the first sub-line, the sub-line overlaps the edge of each first electrode in the display region and surrounds each pixel region; Forming an organic light emitting layer on each of the first electrodes surrounded by the banks; Forming a second electrode having a first thickness on the entire surface of the display region above the organic light emitting layer; Forming a protruding pattern extending in the first direction and having a dam shape on the inner surface of the second substrate facing the first substrate at the boundary of the pixel region; Forming a second auxiliary wiring corresponding to the bank on the protruding pattern and the inner surface of the second substrate; And bonding the first substrate and the second substrate such that the second auxiliary wiring and the second electrode are in contact with each other, wherein in the trench, the first auxiliary wiring and the second electrode are electrically connected to each other .

이때, 상기 돌출패턴이 상기 트렌치 내부로 삽입되도록 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 것이 특징이다.At this time, the first and second substrates are attached together so that the protruding pattern is inserted into the trench.

그리고 상기 제 1 전극 위로 상기 유기 발광층을 형성하기 전에 제 1 발광보조층을 형성하고, 상기 유기 발광층 위로 상기 제 2 전극을 형성하기 전에 제 2 발광보조층을 형성하는 것이 특징이다.A first luminescent auxiliary layer is formed on the first electrode before the organic luminescent layer is formed, and a second luminescent auxiliary layer is formed on the organic luminescent layer before the second electrode is formed.

이때, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층은 각 화소영역별로 분리되도록 형성함으로서, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선은 상기 제 2 전극과 직접 접촉하도록 형성하는 것이 특징이다.At this time, the first and second light-emission-assisting layers are formed so as to be separated for each pixel region, so that the first auxiliary wiring is directly in contact with the second electrode in the trench.

또한, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성할 수도 있으며, 이때, 상기 제 2 보조배선의 상기 돌출패턴 상부에 대응되는 부분은 그 표면이 요철구조를 이루도록 형성하며, 상기 트렌치 내부에서 상기 요철구조의 철부가 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 전극의 표면과 접촉하도록 하거나, 또는 상기 트렌치 내부에는 상기 제 1 보조배선 및 상기 2 보조배선의 표면과 각각 접촉하며 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하는 형태의 다수의 도전볼이 구비되도록 한 것이 특징이다.
At least one of the first and second light-emission-assisting layers may be formed on the entire surface of the display region. The portion of the second auxiliary wiring corresponding to the upper portion of the protrusion pattern may have a concavo- Wherein the convex structure of the concave and convex structure penetrates through the second electrode and the first and second light-emission-assisted layers located under the concave-convex structure, so as to contact the surface of the first electrode, The plurality of conductive balls contacting the surfaces of the first auxiliary wiring and the second auxiliary wiring and passing through the second electrode and the first and second light emission auxiliary layers located below the second electrode are provided in the trench, .

이때, 상기 다수의 도전볼은 상기 제 2 전극을 형성한 후, 잉크젯 장치를 이용하는 상기 트렌치 내부에 상기 제 2 전극 위로 제팅하여 형성하며, 상기 제 1 및 제 2 기판의 합착 시 상기 도전볼이 가입되도록 하여 상기 도전볼이 상기 제 2 전극 및 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 파고들어 상기 제 1 보조배선 및 제 2 보조배선의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징이다.At this time, the plurality of conductive balls are formed by jetting onto the second electrode in the trench using the inkjet apparatus after forming the second electrode, and when the first and second substrates are attached together, So that the conductive balls are made to come into contact with the surfaces of the first auxiliary wiring and the second auxiliary wiring while digging the second electrode and the first and second auxiliary light-emitting layers.

한편, 상기 제 2 보조배선은 저 저항 특성을 갖는 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어지며, 상기 제 2 전극은 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고, 상기 제 1 두께는 10 내지 200Å인 것이 특징이다.On the other hand, the second auxiliary wiring is made of any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, gold (Au), and silver And the second electrode is made of a metal material having a relatively low work function value such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), aluminum magnesium alloy Characterized in that the first thickness is 10 to 200 ANGSTROM.

그리고 상기 제 1 전극을 형성하기 이전에, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 형성된 전원배선과, 상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와, 상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 갖는 보호층을 형성하는 단계를 더욱 포함하며, 상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하도록 형성하는 것이 특징이다.
A gate line and a data line crossing each other on the first substrate to define the pixel region before forming the first electrode, a power line formed in the same layer on which the gate line or the data line is formed, A driving thin film transistor provided in the pixel region and connected to the gate wiring and the data wiring, a driving thin film transistor connected to the power wiring and the switching thin film transistor, and a driving thin film transistor covering the switching thin film transistor, And forming a protective layer having a drain contact hole exposing a drain electrode of the transistor, wherein the first electrode is formed in each of the pixel regions over the protective layer, the drain electrode of the driving thin film transistor Is formed .

본 발명에 따른 유기전계 발광 소자는, 제 1 기판에 있어 상대적으로 낮은 일함수 값을 갖는 저 금속물질로 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 가지며 캐소드 전극의 역할을 하는 제 2 전극을 형성함으로서 투명성을 확보하며, 나아가 표시영역 대응하여 저저항 금속물질로 게이트 배선과 중첩하는 형태로 제 1 보조배선을 형성하고, 제 2 기판에 있어 각 화소영역의 경계에 대응하여 격자형태의 제 2 보조배선을 형성하며, 상기 제 1 및 제 2 보조배선과 상기 제 2 전극이 접촉하는 상태를 이루도록 함으로서 상기 제 2 전극 자체의 저항 특성을 저감시켜 위치 별 전압 강하를 억제시키는 동시에 전압 강하에 따른 휘도 불균일을 억제하여 표시품질을 향상시키는 효과가 있다.
The organic electroluminescent device according to the present invention is a low-metal material having a relatively low work function value in the first substrate and has a thickness of about 10 Å to 200 Å and forms a second electrode serving as a cathode electrode, Further, a first auxiliary wiring is formed so as to overlap the gate wiring with a low resistance metal material corresponding to the display region, and a second auxiliary wiring in the form of a lattice is formed in correspondence with the boundary of each pixel region in the second substrate , The first and second auxiliary wirings and the second electrode are brought into contact with each other, thereby reducing the resistance characteristic of the second electrode itself, suppressing the voltage drop per position, suppressing the luminance unevenness due to the voltage drop, There is an effect of improving the quality.

도 1은 일반적인 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 1 기판의 표시영역 일부에 대한 개략적인 평면도로서 뱅크와 제 1 보조배선만을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 2 기판의 표시영역 일부에 대한 개략적인 평면도로서 돌출패턴 및 제 2 보조배선만을 도시한 도며.
도 5는 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.
도 6은 도 4의 절단선 Ⅵ-Ⅵ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 특징적인 구성을 포함하는 제 2 기판의 표시영역 일부를 도시한 단면도.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 특징적인 구성을 포함하는 부분에 대한 단면도.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도.
도 11a 내지 도 11h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 제조 단계별 공정 단면도.
도 12a 내지 도 12b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 제조 단계별 공정 단면도.
도 13a 내지 도 13d는 본 발명의 제 2 실시에에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 2 보조배선을 형성하는 단계별 제조 공정 단면도.
도 14a 내지 14b는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 단면도.
1 is a circuit diagram of one pixel of a general organic light emitting device.
2 is a cross-sectional view of a portion of a display region of an organic electroluminescent device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a schematic plan view of a portion of a display region of a first substrate in an organic electroluminescent device according to a first embodiment of the present invention, showing only a bank and a first auxiliary wiring. FIG.
FIG. 4 is a schematic plan view of a portion of a display region of a second substrate in an organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention, showing only a protruded pattern and a second auxiliary wiring. FIG.
5 is a cross-sectional view of a portion taken along line VV in Fig. 3;
FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the section line VI-VI of FIG. 4; FIG.
7 is a cross-sectional view of a portion of the organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention cut along the cutting line VV in FIG. 3;
8 is a cross-sectional view illustrating a portion of a display region of a second substrate including a characteristic configuration in an organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view of a portion including a characteristic configuration of an organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view of a portion of a display region of an organic electroluminescent device according to a third embodiment of the present invention.
11A to 11H are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a portion of a display region of an organic electroluminescent device according to a first embodiment of the present invention.
FIGS. 12A to 12B are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing the organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention, taken along the line VV in FIG. 3;
FIGS. 13A to 13D are cross-sectional views of a step-by-step manufacturing process for forming a second auxiliary wiring in an organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention;
FIGS. 14A to 14B are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing an organic electroluminescent device according to a third embodiment of the present invention;

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

우선, 유기전계 발광소자의 기본적인 구조 및 동작특성에 대해서 도면을 참조하여 상세히 설명한다. First, the basic structure and operating characteristics of the organic electroluminescent device will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 일반적인 유기전계 발광소자의 하나의 화소영역에 대한 회로도이다. 1 is a circuit diagram of one pixel region of a general organic light emitting device.

도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자는 각 화소영역(P)이 상기 게이트 배선과 데이터 배선 및 전원배선과, 스위칭(switching) 박막트랜지스터(STr) 및 구동(driving) 박막트랜지스터(DTr), 스토리지 커패시터(StgC) 그리고 유기전계 발광 다이오드(E)를 포함하여 구성되고 있다. As shown in the figure, the organic light emitting device has a structure in which each pixel region P includes a gate wiring, a data wiring, a power supply wiring, a switching thin film transistor STr, a driving thin film transistor DTr, (StgC) and an organic electroluminescent diode (E).

조금 더 상세히 유기전계 발광소자의 구성에 대해 설명하면, 제 1 방향으로 다수의 게이트 배선(GL)이 이격하며 형성되어 있고, 이러한 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 다수의 데이터 배선(DL)이 일정간격 이격하며 형성되어 있으며, 상기 각 데이터 배선(DL)과 이격하며 전원전압을 인가하기 위한 전원배선(PL)이 형성되어 있다. A plurality of gate lines GL are formed spaced apart from each other in a first direction and a plurality of data lines DL are formed in a second direction crossing the first direction. And a power supply line PL for applying a power source voltage is formed at a distance from each data line DL.

이때, 상기 게이트 배선(GL)과 데이터 배선(DL)에 의해 포획되는 영역을 화소영역(P)이라 정의되고 있다.At this time, a region captured by the gate line GL and the data line DL is defined as a pixel region P. [

한편, 각 화소영역(P) 내부에는 상기 데이터 배선(DL)과 게이트 배선(GL)이 교차하는 부분에는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 형성되어 있으며, 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)와 전기적으로 연결된 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있다. In each pixel region P, a switching thin film transistor STr is formed at the intersection of the data line DL and the gate line GL, and a switching transistor STr is electrically connected to the switching thin film transistor STr. And a thin film transistor DTr is formed.

이때, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 일측 단자인 제 1 전극은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극과 연결되고, 타측 단자인 제 2 전극은 전원배선(PL)과 연결되고 있으며, 이에 의해 상기 전원배선(PL)은 전원전압을 상기 유기전계발광 다이오드(E)로 전달하게 된다. At this time, the first electrode, which is one terminal of the organic electroluminescent diode E, is connected to the drain electrode of the driving thin film transistor DTr, the second electrode which is the other terminal is connected to the power supply line PL, The power supply line PL transfers a power supply voltage to the organic light emitting diode E.

또한, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극과 소스 전극 사이에는 스토리지 커패시터(StgC)가 형성되고 있다. A storage capacitor StgC is formed between the gate electrode and the source electrode of the driving thin film transistor DTr.

따라서, 상기 게이트 배선(GL)을 통해 신호가 인가되면 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 온(on) 되고, 상기 데이터 배선(DL)의 신호가 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극에 전달되어 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 되므로 유기전계발광 다이오드(E)를 통해 빛이 출력된다. Therefore, when a signal is applied through the gate line GL, the switching thin film transistor STr is turned on and the signal of the data line DL is transmitted to the gate electrode of the driving thin film transistor DTr, The driving thin film transistor DTr is turned on so that light is output through the organic electroluminescent diode E.

이때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 상태가 되면, 상기 전원배선(PL)으로부터 유기전계발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 상기 유기전계발광 다이오드(E)는 그레이 스케일(gray scale)을 구현할 수 있게 된다.At this time, when the driving thin film transistor DTr is turned on, the level of a current flowing from the power supply line PL to the organic light emitting diode E is determined, It becomes possible to implement a gray scale.

또한, 상기 스토리지 커패시터(StgC)는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 되었을 때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전압을 일정하게 유지시키는 역할을 함으로써 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 상태가 되더라도 다음 프레임(frame)까지 상기 유기전계발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있게 된다.
The storage capacitor StgC maintains a constant gate voltage of the driving thin film transistor DTr when the switching thin film transistor STr is turned off so that the switching thin film transistor STr is turned off the level of the current flowing through the organic electroluminescent diode E can be maintained constant until the next frame even if the off state is established.

이후에는 이러한 구동에 의해 화상을 표시하는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 구성에 대해 설명한다. Hereinafter, the structure of the organic electroluminescent device according to the embodiment of the present invention for displaying an image by such driving will be described.

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도이며, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 1 기판의 표시영역 일부에 대한 개략적인 평면도로서 뱅크와 제 1 보조배선만을 도시하였으며, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 2 기판의 표시영역 일부에 대한 개략적인 평면도로서 돌출패턴 및 제 2 보조배선만을 도시한 것이다. 도 5는 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 단면도로서 보호층 상부의 구성요소만을 도시한 도면이며, 도 6은 도 4의 절단선 Ⅵ-Ⅵ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도로서 보호층 상부의 구성요소만을 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위해 각 화소영역(P) 내에 스위칭 박막트랜지스터 및 구동 박막트랜지스터가 형성될 영역을 소자영역(TrA)이라 정의하였으며, 구동 박막트랜지스터(DTr)는 각 화소영역(P) 별로 형성되지만, 도면에 있어서는 하나의 화소영역(P)에 대해서만 나타내었다. FIG. 2 is a cross-sectional view of a portion of a display region of an organic electroluminescent device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a cross- FIG. 4 is a schematic plan view of a portion of a display region of a second substrate in the organic light emitting device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a plan view schematically showing a protrusion pattern and Only the second auxiliary wiring is shown. FIG. 5 is a cross-sectional view of a portion cut along the cutting line VV in FIG. 3, showing only the components above the protective layer, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VI- FIG. 7 is a cross-sectional view of a portion of the organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention, taken along a line VV in FIG. 3; FIG. In this case, for convenience of description, a region where the switching thin film transistor and the driving thin film transistor are to be formed in each pixel region P is defined as an element region TrA, and a driving thin film transistor DTr is formed for each pixel region P However, in the drawing, only one pixel region P is shown.

도시한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E)와, 상기 게이트 배선이 연장하는 방향으로 각 화소영역(P)의 경계에 대응하여 저 저항 특성을 갖는 금속물질로 이루어진 제 1 보조배선(148)이 형성된 제 1 기판(110)과, 각 화소영역(P)의 경계에 격자형태의 제 2 보조배선(175)이 구비되며 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 보호 및 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)이 서로 대면하여 합착됨으로서 이루어지고 있다.As shown in the drawing, the organic EL device 101 according to the first embodiment of the present invention includes a driving and switching thin film transistor DTr (not shown), an organic light emitting diode E, A first substrate 110 on which a first auxiliary wiring 148 made of a metal material having a low resistance characteristic is formed in correspondence to a boundary of each pixel region P, And a second substrate 170 for protecting and encapsulating the organic electroluminescent diode E are provided facing each other with a second auxiliary wiring 175 formed thereon.

우선, 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E)가 구비된 제 1 기판(110)의 구성에 대해 설명한다.First, the structure of the first substrate 110 including the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) and the organic electroluminescent diode E will be described.

상기 제 1 기판(110) 상에는 각 화소영역(P) 내에 순수 폴리실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널이 형성되는 제 1 영역(113a), 그리고 상기 제 1 영역(113a) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 제 2 영역(113b)으로 구성된 반도체층(113)이 형성되어 있다. On the first substrate 110, a first region 113a in which a channel is formed is formed of pure polysilicon in each pixel region P, and a central portion of the pixel region P is doped with a high concentration of impurities on both sides of the first region 113a. And a second region 113b formed on the semiconductor layer 113. [

상기 반도체층(113)과 상기 제 1 기판(110) 사이에는 전면에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)으로 이루어진 버퍼층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. A buffer layer (not shown) made of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx) may be further formed on the entire surface between the semiconductor layer 113 and the first substrate 110.

상기 버퍼층(미도시)은 상기 반도체층(113)의 결정화시 상기 제 1 기판(110) 내부로부터 나오는 알카리 이온의 방출에 의한 상기 반도체층(113)의 특성 저하를 방지하기 위함이다. The buffer layer (not shown) prevents the deterioration of the characteristics of the semiconductor layer 113 due to the release of alkali ions from the inside of the first substrate 110 when the semiconductor layer 113 is crystallized.

또한, 상기 반도체층(113)을 덮으며 전면에 게이트 절연막(116)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(116) 위로는 상기 반도체층(113)의 제 1 영역(113a)에 대응하여 게이트 전극(120)이 형성되어 있다. A gate insulating layer 116 is formed on the entire surface of the semiconductor layer 113 and a gate electrode 116 corresponding to the first region 113a of the semiconductor layer 113 is formed on the gate insulating layer 116. [ 120 are formed.

그리고 상기 게이트 절연막(116) 위로는 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 게이트 전극(미도시)과 연결되며 일 방향으로 연장하며 게이트 배선(미도시)이 형성되어 있다. 이때, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)를 이루는 게이트 전극(120, 미도시)과 게이트 배선(미도시)은 저저항 특성을 갖는 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 몰리브덴(Mo), 몰리브덴합금(MoTi) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어져 단일층 또는 다중층 구조를 이룬다.The gate insulating layer 116 is connected to a gate electrode (not shown) of a switching thin film transistor (not shown) and extends in one direction to form a gate wiring (not shown). At this time, the gate electrode 120 (not shown) and the gate wiring (not shown) constituting the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) are formed of a metal material having a low resistance property such as aluminum (Al) AlNd), copper (Cu), copper alloy, molybdenum (Mo), molybdenum alloy (MoTi), or a combination of two or more materials.

또한, 상기 게이트 전극(120, 미도시)과 게이트 배선(미도시) 위로 전면에 층간절연막(123)이 형성되어 있다. 이때, 상기 층간절연막(123)과 그 하부의 게이트 절연막(116)은 상기 제 1 영역(113a) 양측면에 위치한 상기 제 2 영역(113b) 각각을 노출시키는 반도체층 콘택홀(125)이 형성되어 있다. An interlayer insulating film 123 is formed on the entire surface of the gate electrode 120 (not shown) and the gate wiring (not shown). The interlayer insulating layer 123 and the gate insulating layer 116 under the semiconductor layer contact hole 125 expose the second regions 113b located on both sides of the first region 113a .

다음, 상기 반도체층 콘택홀(125)을 포함하는 층간절연막(123) 상부에는 상기 게이트 배선(미도시)과 교차하여 각 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(130)이 형성되고 있다. A data line 130 is formed on the interlayer insulating layer 123 including the semiconductor layer contact hole 125 so as to intersect the gate line (not shown) to define the pixel regions P.

또한, 상기 층간절연막(123) 위로 각 구동영역(DA) 및 스위칭 영역(미도시)에는 각각 서로 이격하며 상기 반도체층 콘택홀(125)을 통해 노출된 제 2 영역(113b)과 각각 접촉하며 소스 및 드레인 전극(133, 136)이 형성되어 있다. The first region 113b and the second region 113b are separated from each other in the driving region DA and the switching region (not shown) above the interlayer insulating layer 123 and are exposed through the semiconductor layer contact hole 125, And drain electrodes 133 and 136 are formed.

이때, 상기 소스 및 드레인 전극(133, 136)과, 이들 전극(133, 136)과 접촉하는 제 2 영역(113b)을 포함하는 반도체층(113)과, 상기 반도체층(113) 상부에 형성된 게이트 절연막(116) 및 게이트 전극(120)은 각각 구동 박막트랜지스터(DTr) 및 스위칭 박막트랜지스터(미도시)를 이룬다. A semiconductor layer 113 including the source and drain electrodes 133 and 136 and a second region 113b contacting the electrodes 133 and 136 and a gate electrode The insulating film 116 and the gate electrode 120 constitute a driving thin film transistor DTr and a switching thin film transistor (not shown), respectively.

상기 데이터 배선(130)과 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(133, 136) 또한 저저항 특성을 갖는 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 몰리브덴(Mo), 몰리브덴합금(MoTi) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어져 단일층 또는 다중층 구조를 이룬다.The source and drain electrodes 133 and 136 spaced apart from the data line 130 may also be formed of a metal material having low resistance characteristics such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, molybdenum (Mo), molybdenum alloy (MoTi), or a single layer or a multilayer structure.

한편, 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)와 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(130)과 전기적으로 연결되고 있으며, 상기 데이터 배선(130)은 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 소스 전극(미도시)과 연결되며, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)는 상기 전원배선(미도시)과 유기전계 발광 다이오드(E)와 연결되고 있다. The switching thin film transistor (not shown) is electrically connected to the driving thin film transistor DTr, the gate wiring (not shown) and the data wiring 130, and the data wiring 130 is connected to the switching thin film transistor The driving TFT DTr is connected to the power supply line (not shown) and the organic light emitting diode E (not shown).

본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)에 있어서는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr) 및 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 폴리실리콘의 반도체층(113)을 가지며 탑 게이트 타입(Top gate type)으로 구성된 것을 일례로 보이고 있지만, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)는 비정질 실리콘의 반도체층(도 3의 220) 또는 산화물 반도체 물질로 이루어진 반도체층(320)을 갖는 보텀 게이트 타입(Bottom gate type)으로 구성될 수도 있다. In the organic EL device 101 according to the first embodiment of the present invention, the driving thin film transistor DTr and the switching thin film transistor (not shown) have a polysilicon semiconductor layer 113 and a top gate type The driving and switching thin film transistor DTr may be a bottom gate type TFT having a semiconductor layer 320 made of an amorphous silicon semiconductor layer 220 or an oxide semiconductor material, (Bottom gate type).

상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터가 보텀 게이트 타입으로 구성되는 경우, 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 순수 비정질 실리콘의 액티브층과 서로 이격하며 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층으로 이루어진 반도체층과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극의 적층구조를 갖거나, 또는 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 산화물 반도체층과, 에치스토퍼와, 상기 에치스토퍼 상에서 서로 이격하며 각각 상기 산화물 반도체층과 접촉하는 소스 및 드레인 전극의 적층구조를 갖는다.A gate insulating film, a semiconductor layer made of an amorphous silicon ohmic contact layer spaced apart from the active layer of pure amorphous silicon, and a source electrode spaced apart from the source electrode, And a gate electrode, a gate insulating film, an oxide semiconductor layer, an etch stopper, and a stacked structure of source and drain electrodes spaced from each other on the etch stopper and contacting the oxide semiconductor layer, respectively, .

이러한 보텀 게이트 타입의 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)가 형성된 제 1 기판(110)의 경우, 상기 게이트 배선은 상기 게이트 전극이 형성된 동일한 층에 상기 스위칭 박막트랜지스터의 게이트 전극과 연결되도록 형성되며, 상기 데이터 배선은 상기 스위칭 박막트랜지스터의 소스 전극이 형성된 동일한 층에 상기 소스 전극과 연결되도록 형성된 구성을 이루게 된다.In the case of the first substrate 110 on which the bottom gate type driving and switching thin film transistor DTr (not shown) is formed, the gate wiring is formed to be connected to the gate electrode of the switching thin film transistor in the same layer on which the gate electrode is formed And the data line is connected to the source electrode in the same layer where the source electrode of the switching thin film transistor is formed.

한편, 도 2를 참조하면, 비록 도면에 나타나지 않았지만, 상기 게이트 배선(미도시)이 형성된 동일한 층 또는 상기 데이터 배선(130)이 형성된 동일한 층에는 전원배선(미도시)이 형성되고 있으며, 이러한 전원배선(미도시)은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 일 전극과 연결되고 있다. 2, power wiring (not shown) is formed on the same layer on which the gate wiring (not shown) is formed or the same layer on which the data wiring 130 is formed, although not shown in the drawing. The wiring (not shown) is connected to one electrode of the driving thin film transistor DTr.

또한, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시) 위로는 상기 제 1 기판(110) 전면에 그 표면이 평탄화된 특성을 갖는 보호층(140)이 형성되어 있다. 이때, 상기 보호층(140)에는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)이 형성되어 있다. In addition, a protective layer 140 having a planarized surface is formed on the entire surface of the first substrate 110 over the driving and switching thin film transistor DTr (not shown). A drain contact hole 143 is formed in the passivation layer 140 to expose the drain electrode 136 of the driving TFT DTr.

상기 드레인 콘택홀(143)을 구비한 보호층(140) 위로는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 상기 드레인 콘택홀(143)을 통해 접촉되며, 각 화소영역(P) 별로 제 1 전극(147)이 형성되어 있다. The protective layer 140 having the drain contact hole 143 is in contact with the drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr through the drain contact hole 143, A first electrode 147 is formed.

이러한 제 1 전극(147)은 이중층 구조로서 상부층(147b)은 애노드 전극의 역할을 하며, 하부층(147a)은 반사판의 역할을 하도록 형성된다. The first electrode 147 has a bilayer structure, the upper layer 147b serves as an anode electrode, and the lower layer 147a serves as a reflector.

즉, 상기 제 1 전극(147)의 상부층(147b)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지고 있으며, 상기 제 1 전극(147)의 하부층(147a)은 반사효율이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로 이루어짐으로써 상기 제 1 전극(147) 상부에 형성되는 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛을 상부로 반사시켜 재활용함으로서 발광효율을 향상시키는 역할을 하게 된다.The upper layer 147b of the first electrode 147 may be formed of a transparent conductive material such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) having a relatively large work function value to serve as an anode electrode. And the lower layer 147a of the first electrode 147 is formed of a metal material having excellent reflection efficiency, for example, aluminum (Al) or silver (Ag) The light emitted from the organic light emitting layer 155 is reflected upward and recycled, thereby improving the luminous efficiency.

본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 상부발광 방식이 되고 있으며, 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛 중 상기 제 1 기판(110) 쪽으로 출사되는 빛은 실질적으로 사용자가 느끼지 못하며, 사라지게 되므로 이러한 빛을 재활용함으로서 휘도 특성을 향상시키고 나아가 제조공정 단순화를 구현할 수 있도록 상기 제 1 전극(147)을 반사 능력이 우수한 금속물질로 이루어진 하부층(147a)을 포함하여 이중층 구조를 갖도록 형성한 것이다.The organic electroluminescent device 101 according to the first embodiment of the present invention is a top emission type and light emitted from the organic light emitting layer 155 toward the first substrate 110 is substantially emitted by the user The first electrode 147 is formed to have a double layer structure including a lower layer 147a made of a metal material having a good reflection ability so as to improve the luminance characteristic and further simplify the manufacturing process by recycling such light because it does not feel and disappear. .

이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)에 있어서, 가장 특징적인 구성 중 하나로서 상기 보호층(140) 위로 상기 각 화소영역(P)의 경계 중 상기 게이트 배선(미도시)이 형성된 부분과 더불어 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시. DTr)가 형성된 부분에 대응하여 상기 제 1 전극(110)을 이루는 동일한 금속물질로 이루어진 제 1 보조배선(148)이 형성되고 있다.In the organic electroluminescent device 101 according to the first embodiment of the present invention, one of the most distinctive features is the gate line (not shown) among the boundaries of the pixel regions P above the protective layer 140, A first auxiliary wiring 148 made of the same metal material as the first electrode 110 is formed corresponding to a portion where the switching and driving thin film transistor (not shown) DTr is formed.

이러한 제 1 보조배선(148)은 상기 게이트 배선(미도시)과 같이 제 1 방향으로만 연장하는 형태를 이루며 표시영역에 있어서는 서로 이격하며 형성되고 있지만, 표시영역 외측의 비표시영역에 있어서 연결된 구성을 이룸으로서 실질적으로 제 1 기판(110) 상에서는 모두 연결된 형태를 이룬다.Although the first auxiliary wiring 148 extends in the first direction like the gate wiring (not shown) and is spaced apart from the display region, the first auxiliary wiring 148 is connected to the non-display region outside the display region And are substantially connected to each other on the first substrate 110.

이러한 제 1 보조배선(148)은 상기 각 화소영역(P) 내에 형성되는 제 1 전극(147)과 이격하여 형성되는 것이 특징이며, 반드시 이중층 구조를 이룰 필요는 없으며 저저항 금속물질만으로 이루어진 단일층 구조를 이룰 수도 있다.The first auxiliary wiring 148 is formed apart from the first electrode 147 formed in each pixel region P, and it is not necessarily required to have a double-layer structure, and a single layer Structure.

도면에 있어서는 상기 제 1 보조배선(148)은 제 1 전극(147)과 동일하게 이중층 구조를 이루는 것을 일례로 나타내었다. In the drawing, the first auxiliary wiring 148 has the same double layer structure as the first electrode 147, for example.

다음, 상기 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147) 및 제 1 보조배선(148) 위로 각 화소영역(P)의 경계에는 각 화소영역(P)을 둘러싸는 형태로 상기 제 1 전극(147)의 테두리부와 중첩하는 동시에 상기 제 1 보조배선(148)과는 완전 중첩하며 상기 제 1 전극(147)의 중앙부를 노출시키며 뱅크(150)가 형성되어 있다. Next, the first electrode 147 and the first auxiliary wiring 148 having a bilayer structure are formed on the boundary of each pixel region P in such a manner as to surround each pixel region P, The bank 150 is formed so as to overlap the rim portion and to completely overlap the first auxiliary wiring 148 and to expose the central portion of the first electrode 147. [

상기 뱅크(150)는 일반적인 투명한 유기절연물질 예를들면 폴리이미드(poly imide), 포토아크릴(Photo Acryl), 벤조사이클로뷰텐(BCB) 중 어느 하나로 이루어질 수도 있으며, 또는 블랙을 나타내는 물질 예를들면 블랙수지로 이루어질 수도 있다. The bank 150 may be made of a common transparent organic insulating material, for example, polyimide, photo acryl, benzocyclobutene (BCB), or a black material such as black Resin.

이러한 뱅크(150)는 표시영역에 있어서 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자형태를 이루며, 나아가 상기 뱅크(150)에는 상기 제 1 보조배선(148)이 형성된 부분에 대해서는 상기 제 1 보조배선(148)의 노출시키며 트렌치(tch)가 구비되고 있는 것이 특징이다.The banks 150 are formed in a lattice shape in which the pixel regions P are arranged in the display region and the banks 150 are formed in the bank 150 with respect to the portions of the banks 150 where the first sub- 148 are exposed, and a trench (tch) is provided.

한편, 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 각 화소영역(P)에 있어 상기 제 1 전극(147) 위로는 적, 녹, 청색 중 어느 하나의 색을 발광하는 것을 특징으로 하는 유기 발광층(155)이 형성되고 있다. On the other hand, the organic light emitting layer 155 is formed on the first electrode 147 in each pixel region surrounded by the bank 150, .

이때, 상기 유기 발광층(155)은 전술한 적, 녹, 청색을 발광하는 발광 물질 이외에 화이트를 발광하는 물질로 이루어진 것을 더욱 포함하여 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하는 구성을 이룰 수도 있다. At this time, the organic light emitting layer 155 may include red, green, blue, and white light, as well as a white light emitting material, in addition to the red, green, and blue light emitting materials described above.

도면에 있어서는 일례로 적, 녹, 청색을 발광하는 유기 발광층(155)이 형성된 것을 도시하였다.In the drawing, for example, an organic light emitting layer 155 emitting red, green and blue light is formed.

상기 유기 발광층(155) 상부에는 상기 표시영역 전면에는 캐소드 전극의 역할을 하며 투명성을 유지하는 것을 특징으로 하는 제 2 전극(158)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 전극(147, 158)과 그 사이에 형성된 유기 발광층(155)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루게 된다.A second electrode 158 is formed on the organic light emitting layer 155 to serve as a cathode electrode and maintain transparency on the entire surface of the display region. At this time, the first and second electrodes 147 and 158 and the organic light emitting layer 155 formed therebetween form an organic light emitting diode E.

그리고 상기 제 2 전극(158)은 상기 뱅크(150)에 구비된 트렌치(tch)를 통해서 노출된 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하는 구성을 이루는 것이 특징이다.The second electrode 158 is in contact with the first auxiliary wiring 148 exposed through the trench tch provided in the bank 150.

한편, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 제 1 전극(147)과 유기 발광층(155) 사이 및 상기 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158) 사이에는 각각 상기 유기 발광층(155)의 발광 효율 향상을 위해 다층 구조의 제 1 발광보상층(미도시)과 제 2 발광보상층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. Although not shown in the drawing, the light emitting efficiency of the organic light emitting layer 155 is improved between the first electrode 147 and the organic light emitting layer 155 and between the organic light emitting layer 155 and the second electrode 158, A first luminescence compensation layer (not shown) and a second luminescence compensation layer (not shown) having a multilayer structure may be further formed.

이때, 다층의 상기 제 1 발광보상층(미도시)은 상기 제 1 전극(147)으로부터 순차 적층되며 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)으로 이루어질 수 있으며, 상기 제 2 발광보상층(미도시)은 상기 유기 발광층(155)으로부터 순차 적층되며 전자수송층(electron transporting layer)과 전자주입층(electron injection layer)으로 이루어질 수 있다.At this time, the first emission compensation layer (not shown) of a plurality of layers is sequentially stacked from the first electrode 147, and may be a hole injection layer and a hole transporting layer, The emission compensation layer (not shown) may be sequentially stacked from the organic emission layer 155 and may include an electron transporting layer and an electron injection layer.

이때, 상기 제 1 발광보상층(미도시)과 제 2 발광보상층(미도시)은 이중층 구조를 이루는 것을 일례로 나타내었지만, 반드시 이중층 구조를 이룰 필요는 없다. 즉 상기 제 1 발광보상층(미도시)은 정공주입층 또는 정공수송층이 되어 단일층 구조를 이룰 수도 있고, 상기 제 2 발광보상층(미도시) 또한 전자주입층 또는 전자수송층이 되어 단일층 구조를 이룰 수도 있다.Although the first luminescence compensation layer (not shown) and the second luminescence compensation layer (not shown) have a bilayer structure as an example, the bilayer structure is not necessarily required. That is, the first emission compensation layer (not shown) may be a hole injection layer or a hole transport layer to form a single layer structure, and the second emission compensation layer (not shown) may also be an electron injection layer or an electron transport layer, .

더불어 상기 제 1 발광보상층(미도시)은 전자블록킹층이 더욱 포함될 수도 있으며, 상기 제 2 발광보상층(미도시)은 정공블록킹층이 더욱 포함될 수도 있다. In addition, the first emission compensation layer (not shown) may further include an electron blocking layer, and the second emission compensation layer (not shown) may further include a hole blocking layer.

한편, 상기 유기 발광층(155) 상부에 형성된 상기 제 2 전극(158)은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고 있다.The second electrode 158 formed on the organic light emitting layer 155 may be formed of a metal material having a relatively low work function value such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag ), Magnesium (Mg), gold (Au), and aluminum magnesium alloy (AlMg).

이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)가 상부발광 방식으로 구동되는 특성 상 상기 제 2 전극(158)은 빛의 투과가 원활하게 이루어져 투광성이 유지되는 두께인 10Å 내지 200Å 정도가 되는 것이 특징이다. At this time, the organic electroluminescent device 101 according to the first embodiment of the present invention is driven by the top emission type, and the second electrode 158 has a thickness of 10 Å or more, which allows light to pass therethrough smoothly, And is about 200 ANGSTROM.

한편, 캐소드 전극의 역할을 하는 상기 제 2 전극(158)은 상부발광 방식의 유기전계 발광소자(101) 특성 상 투광성 유지를 위해 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 형성되는 경우, 일반적인 전극으로서의 역할을 하기 위한 충분한 두께가 되지 않으므로 면저항이 증가하여 위치별로 전압 강하량이 틀려 최종적으로는 유기 발광층(155)으로부터의 발광된 빛의 휘도 특성을 다르게 함으로서 위치별 휘도 불균일 현상이 초래된다.Meanwhile, when the second electrode 158 serving as the cathode electrode is formed to have a thickness of about 10 Å to about 200 Å in order to maintain the light-transmitting property on the characteristics of the organic light emitting device 101 of the upper emission type, The thickness of the organic light emitting layer 155 is different from that of the organic light emitting layer 155. Accordingly, the brightness of the light emitted from the organic light emitting layer 155 is different from that of the organic light emitting layer 155,

즉, 상기 제 2 전극(158)은 표시영역 전면에 형성되며 상기 제 2 전극(158)으로의 신호전압은 표시영역 외측의 비표시영역에 구비된 배선을 통해 이루어지게 되므로 신호전압이 최초 인가되는 부분을 기준으로 거리차에 의해 전압 강하량의 차이가 발생되며, 특히 표시영역의 자장자리 부분과 중앙부에서의 전압 강하량이 큰 차이를 갖게 됨으로서 휘도 불균일 현상이 발생된다.That is, since the second electrode 158 is formed on the entire surface of the display region and the signal voltage to the second electrode 158 is formed through the wiring provided in the non-display region outside the display region, A difference in voltage drop due to the difference in distance is generated based on the portion of the display area, and in particular, the voltage drop amount at the center portion and the magnetic field portion of the display region have a large difference, resulting in a luminance non-uniformity phenomenon.

따라서 이러한 휘도 불균일 현상 억제를 위해 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 상기 제 2 전극(158)의 접촉하며 저저항 금속물질로 이루어진 제 1 보조배선(148)이 더욱 구비됨으로서 상기 제 2 전극(158) 자체의 큰 면 저항에 기인하는 휘도 불균일 현상을 억제할 수 있는 것이다. Therefore, in order to suppress such a luminance non-uniformity phenomenon, the organic light emitting diode 101 according to the first embodiment of the present invention may further include a first auxiliary wiring 148 made of a low-resistance metal material contacting the second electrode 158 It is possible to suppress the luminance non-uniformity phenomenon due to the large surface resistance of the second electrode 158 itself.

나아가 이러한 제 2 전극(158)의 큰 면 저항에 기인하는 휘도 불량 현상을 더욱 억제시키고자 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자는 제 2 기판(170)의 내측면에 격자형태의 제 2 보조배선(175)이 더욱 구비되고 있는 것이 또 다른 특징이다. Furthermore, the organic electroluminescent device according to the second embodiment of the present invention further suppresses the luminance deficiency phenomenon due to the large surface resistance of the second electrode 158, The second auxiliary wiring 175 is further provided.

이러한 구성을 갖는 제 2 기판(170)의 구성에 대해 설명한다.The structure of the second substrate 170 having such a structure will be described.

본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제 2 기판(170)에는 상기 제 1 기판(110)에 있어 뱅크(150)에 구비된 트렌치(tch)에 대응하여 상기 트렌치(tch) 내부로 삽입될 수 있는 폭을 가지며 상기 제 1 기판(110)과 마주하도록 위치 시 상기 제 1 보조배선(148)에 대응하는 부분에 댐 형태의 돌출패턴(173)이 구비되고 있다.In the second substrate 170 of the organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention, the trenches (tch) in the first substrate 110 corresponding to the trenches (tch) And a protrusion pattern 173 in the form of a dam is provided at a portion corresponding to the first auxiliary wiring 148 when positioned to face the first substrate 110.

이러한 돌출패턴(173)은 표시영역 전면에 있어서 제 1 방향으로 연장하는 바 형태를 가지며, 일정간격 이격하며 형성되는 것이 특징이다.The protruding patterns 173 are formed in a bar shape extending in the first direction on the entire surface of the display area and are spaced apart from each other by a predetermined distance.

그리고 또 다른 특징적인 구성으로서 상기 돌출패턴(173) 상부를 포함하여 각 화소영역(P)의 경계에 대응하여 저저항 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나로 이루어진 제 2 보조배선(175)이 구비되고 있다.Aluminum (Al), aluminum (AlNd), copper (Cu), and the like are formed corresponding to the boundaries of the pixel regions P including the upper portion of the protruding patterns 173, , A copper alloy, gold (Au), and silver (Ag).

상기 제 2 보조배선(175)은 표시영역에 대응하여 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자형태를 이루며, 이러한 제 2 보조배선(175)은 일부는 상기 돌출패턴(173) 상부에 형성되고, 일부는 상기 제 2 기판(170)의 내측면 상에 형성되는 것이 특징이다.The second auxiliary wiring 175 is formed in a lattice shape to frame each pixel region corresponding to the display area. A part of the second auxiliary wiring 175 is formed on the protruding pattern 173, And a part thereof is formed on the inner surface of the second substrate 170.

한편, 전술한 구성을 갖는 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)은 그 가장자리를 따라 실란트 또는 프릿(frit)으로 이루어진 접착제(미도시)가 구비되고 있으며, 이러한 접착제(미도시)에 의해 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)이 합착되어 패널 상태를 유지하고 있다. The first substrate 110 and the second substrate 170 having the above-described structure are provided with an adhesive (not shown) made of a sealant or a frit along the edges thereof. The first substrate 110 and the second substrate 170 are adhered to each other to maintain a panel state.

이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 상기 제 1 기판(110)에 구비된 상기 제 2 전극(158)과 상기 제 2 기판(170)에 구비된 상기 제 2 보조배선(175) 중 상기 돌출패턴(173)에 대응하여 형성된 부분이 상기 제 1 기판(110)에 구비된 뱅크(150)의 트렌치(tch) 내부에서 서로 접촉된 상태를 이루며, 나아가 상기 제 2 보조배선(175) 중 상기 제 1 기판(110)에 구비된 뱅크(150)에 대응하는 부분은 상기 뱅크(150)의 상부에 형성된 제 2 전극(158)과 서로 접촉하는 것이 특징이다.The organic electroluminescent device 101 according to the first embodiment of the present invention may include the second electrode 158 provided on the first substrate 110 and the second electrode 158 provided on the second substrate 170, Portions of the auxiliary wiring 175 corresponding to the protruding patterns 173 are in contact with each other in the trenches of the banks 150 provided in the first substrate 110. Further, A portion of the auxiliary wiring 175 corresponding to the bank 150 provided on the first substrate 110 is in contact with the second electrode 158 formed on the upper portion of the bank 150. [

이러한 구성적 특징에 의해 상기 제 1 기판(110)에 구비되는 제 2 전극(158)은 투광성 유지를 위해 일반 전극을 이루는 얇은 두께를 갖는다 하더라도, 상기 제 1 기판(110) 상에 바 형태로 각 게이트 배선(미도시)에 대응하여 형성된 제 1 보조배선(148)과, 상기 제 2 기판(170) 내측면에 구비된 격자형태의 제 2 보조배선(175)과 각각 라인 형태로 접촉하게 됨으로서 면저항이 큰 제 2 전극(158) 내에서의 전압 강하를 억제할 수 있다.According to this configuration, even if the second electrode 158 provided on the first substrate 110 has a thin thickness that is a common electrode for maintaining light transmittance, the second electrode 158 may be formed on the first substrate 110 in a bar shape The first auxiliary wiring 148 formed in correspondence to the gate wiring (not shown) and the second auxiliary wiring 175 in the form of a lattice provided on the inner surface of the second substrate 170 are in line contact with each other, The voltage drop in the second electrode 158 having a large size can be suppressed.

한편, 서로 이격하는 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170) 사이에는 진공의 상태를 갖거나, 또는 불활성 기체로 채워짐으로써 불활성 가스 분위기를 가질 수 있다. A vacuum state may be established between the first substrate 110 and the second substrate 170 which are spaced apart from each other, or an inert gas atmosphere may be formed by being filled with an inert gas.

한편, 상기 제 2 기판(170)은 유연한 특성을 갖는 플라스틱으로 이루어질 수도 있으며, 또는 유리기판으로 이루어질 수도 있다. Meanwhile, the second substrate 170 may be made of a flexible plastic, or may be a glass substrate.

이러한 구성을 갖는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 비록 도면에 나타내지 않았지만, 상기 제 1 기판(110)에 있어 상기 표시영역 외측의 비표시영역 구비된 Vss 배선(미도시)과 상기 제 1 보조배선(148)이 연결된 구성을 가지며, 게이트 및 데이터 구동회로(미도시)를 포함하는 인쇄회로기판(미도시)으로부터 인가된 신호전압은 상기 Vss 배선(미도시)을 통해 이와 연결된 상기 제 1 보조배선(148) 및 제 2 보조배선(175)을 매개 수단으로 하여 상기 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158)으로 인가된다.Although not shown in the drawing, the organic light emitting device 101 according to the first embodiment of the present invention having such a structure has a Vss wiring (not shown in the drawing) provided in a non-display area outside the display area of the first substrate 110, A signal voltage applied from a printed circuit board (not shown) including a gate and a data driving circuit (not shown) is connected to the Vss wiring (not shown) To the second electrode (158) formed on the entire surface of the display area by using the first auxiliary wiring (148) and the second auxiliary wiring (175) connected to the first auxiliary wiring (148).

이때, 상기 Vss 배선(미도시)으로 인가된 신호전압은 상기 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158)으로 상기 제 2 전극(158) 자체를 이용하여 전달되지 않고, 단위 면적당 내부 저항값이 낮아 거의 전압 강하가 발생되지 않는 상기 제 1 및 제 2 보조배선(175)을 통해 상기 제 2 전극(158)으로 전달된다.At this time, the signal voltage applied to the Vss wiring (not shown) is not transferred to the second electrode 158 formed on the entire surface of the display region using the second electrode 158 itself, and the internal resistance value per unit area And is transmitted to the second electrode 158 through the first and second auxiliary wirings 175 where a voltage drop is not generated.

따라서 상기 제 2 전극(158)이 대면적을 갖는다 하더라도 그 위치별 전압 강하량이 달라 신호 전압의 크기가 달라짐에 기인하는 유기전계 발광소자(101)의 위치별 휘도 불균일 현상을 억제할 수 있는 것이다. Therefore, even if the second electrode 158 has a large area, it is possible to suppress luminance unevenness depending on the position of the organic electroluminescent device 101 due to a change in the magnitude of the signal voltage due to a voltage drop amount at each position.

즉, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)의 경우 신호전압은 상기 제 1 및 제 2 보조배선(175)을 통해 상기 제 2 전극(158)을 전달되며, 상기 제 1 및 제 2 보조배선(175)을 통해서 이동되는 신호전압은 상기 제 1 및 제 2 보조배선(148, 175)의 낮은 내부 저항에 의해 거의 그 크기가 변하지 않는다.That is, in the case of the organic EL device 101 according to the first embodiment of the present invention, the signal voltage is transmitted through the first and second auxiliary lines 175 to the second electrode 158, And the second auxiliary wiring 175 are not substantially changed in size due to the low internal resistance of the first and second auxiliary wirings 148 and 175.

따라서 이러한 제 1 및 제 2 보조배선(148, 175)을 통해 상기 제 2 전극(158) 중 표시영역의 가장자리 부분이나, 상기 표시영역의 중앙부에 위치하는 부분에는 거의 유사한 크기를 갖는 신호접압이 인가될 수 있다. Therefore, a signal contact having a substantially similar size is applied to the edge portion of the display region of the second electrode 158 via the first and second auxiliary wirings 148 and 175 or the portion located at the center portion of the display region .

그리고 이러한 신호전압은 상기 제 2 전극(158)을 통해 이동하는 실질적인 거리는 상기 제 2 전극(158)의 위치별 차이 없이 서로 이웃하는 제 1 보조배선(148) 간의 이격간격인 화소영역(P)의 장축 길이의 폭이 되므로 상기 제 2 전극(158) 자체의 면저항이 큼에 기인하는 전압 강하는 거의 발생되지 않는다. 따라서 상기 제 2 전극(158)의 위치별 휘도 불균일 현상은 원천적으로 억제될 수 있는 것이다.The substantial distance that the signal voltage is transmitted through the second electrode 158 is the distance between the neighboring first auxiliary wiring lines 148, which is the distance between the neighboring first auxiliary wiring lines 148, The voltage drop due to the large sheet resistance of the second electrode 158 itself is hardly generated. Accordingly, the luminance non-uniformity of the second electrode 158 can be suppressed from its original position.

한편, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)의 경우, 쉐도우 마스크를 통해 각 화소영역(P)별로 유기 발광층(155) 또는 유기 발광층(155) 및 제 1 및 제 2 발광보상층(미도시)이 형성되는 경우를 일례로 보이고 있는 것이며, 상기 유기 발광층(155)을 제외한 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보상층(미도시)은 상기 제 2 전극(158)과 동일하게 상기 표시영역 전면에 형성될 수도 있다.In the case of the organic electroluminescent device 101 according to the first embodiment of the present invention, the organic light emitting layer 155 or the organic light emitting layer 155 and the first and second light emitting layers 155, The first and / or second emission compensation layers (not shown), except for the organic emission layer 155, are formed on the second electrode 158 and the second emission layer Or may be formed on the entire surface of the display region.

이러한 경우, 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158) 사이에는 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보상층(미도시)이 형성되므로 실질적으로 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158)은 서로 접촉하지 못하므로 통전된 상태를 이루지 못한다.In this case, since the first and / or second emission compensation layers (not shown) are formed between the first auxiliary wiring 148 and the second electrode 158, the first auxiliary wiring 148 and / The second electrodes 158 do not contact each other and thus can not be energized.

따라서 이러한 문제를 해결하기 위해 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자를 제안한다.Accordingly, an organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention is proposed to solve such a problem.

도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 특징적인 구성을 포함하는 제 2 기판의 표시영역 일부를 도시한 단면도이며, 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 특징적인 구성을 포함하는 부분에 대한 단면도이다. 이때, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(201)는 도 8 및 도 9에 도시한 부분에 대해서만 제 1 실시예와 차이가 있을 뿐 그 이외의 구성요소는 모두 동일하므로 특징적인 구성에 대해서만 설명한다. 이때, 설명의 편의를 위해 도면에 있어서 제 2 발광보조층(157b)을 이루는 일 요소 중 특히 정공수송층(156c)만이 표시영역 전면에 형성되고, 나머지 제 1 발광보조층(157a) 및 제 2 발광보조층(157b) 중 정공주입층(156c)은 선택적으로 각 화소영역(P)별로 형성된 것을 된 것을 일례로 도시하였지만, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층(157a, 157b)이 모두 다 표시영역 단위로 형성될 수도 있으며, 또는 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b) 중 선택적으로 표시영역 단위 또는 각 화소영역(P)단위로 형성될 수도 있다.FIG. 8 is a cross-sectional view showing a part of a display region of a second substrate including a characteristic configuration in the organic electroluminescent device according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a cross- Sectional view of a portion including a characteristic configuration of an electroluminescent device. Here, the organic electroluminescent device 201 according to the second embodiment of the present invention differs from the first embodiment only in the parts shown in FIGS. 8 and 9, Only the configuration will be described. Here, for convenience of explanation, only the hole transport layer 156c among the elements constituting the second light-emission auxiliary layer 157b is formed on the entire display region, and the remaining first light-emission-assisting layer 157a and the second light- The hole injection layer 156c of the auxiliary layer 157b is selectively formed for each pixel region P as an example. However, the first and second emission auxiliary layers 157a and 157b may be formed in the display region Or the first and / or second light-emission-assisting layers 157a and 157b may be formed in units of a display region or a unit of each pixel region P, respectively.

도시한 바와같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(201)는 특히 제 2 기판(170)에 있어 돌출패턴(173) 상부에 위치하는 제 2 보조배선(175) 부분이 평탄한 형태가 아닌 울퉁불퉁한 요철 즉 요부와 철부로 이루어지는 것이 특징이다.As shown in the drawing, the organic light emitting device 201 according to the second embodiment of the present invention has a structure in which the portion of the second auxiliary wiring 175 located above the protruding pattern 173 in the second substrate 170 is flat It is characterized by rugged concave and convex, that is, a concave and convex.

도면에 있어서는 상기 돌출패턴(173) 상부에 요부를 이루는 부분에 있어서는 상기 제 2 보조배선(175)이 완전 삭제되어 상기 돌출패턴(173) 표면을 노출시키는 형태를 일례로 보이고 있지만, 상기 요부에 있어서도 상기 저저항 금속물질로 이루어진 제 2 보조배선(175)이 남아있도록 형성될 수도 있다.In the drawing, the second auxiliary wiring 175 is completely removed to expose the surface of the protruding pattern 173 in the portion forming the recess in the upper part of the protruding pattern 173. However, in the recess, And the second auxiliary wiring 175 made of the low-resistance metal material may remain.

상기 제 2 보조배선(175)에 있어 상기 돌출패턴(173)의 상부에 위치하는 부분을 전술한 바와같이 요철 형태를 이루도록 한 것은, 상기 제 2 기판(170)과 제 1 기판(110)을 합착 시 상기 제 2 보조배선(175)의 요철 부분 더욱 정확히는 철부가 상기 제 2 전극(158)과 이의 하부에 위치하는 정공수송층(156c)을 파고들어 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하도록 하는 상태를 이루도록 하기 위함이다.The portion of the second auxiliary wiring 175 located above the protrusion pattern 173 is formed in a concavo-convex shape as described above because the second substrate 170 and the first substrate 110 are bonded The convex portion of the second auxiliary wiring 175 more precisely the convex portion makes contact with the second electrode 158 and the hole transport layer 156c located under the second electrode 158 to make contact with the first auxiliary wiring 148 .

이렇게 제 2 보조배선(175)의 철부가 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하도록 하는 경우, 제 2 전극(158)은 상기 제 2 보조배선(175)의 철부와 측면 접촉한 상태가 되며, 나아가 상기 제 2 보조배선(175)의 철부는 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉한 상태가 됨으로서 상기 제 2 전극(158)은 자연적으로 상기 제 2 보조배선(175)의 철부를 통해 상기 제 1 보조배선(148)과 전기적으로 연결된 상태를 이루게 된다.When the convex portion of the second auxiliary wiring 175 is brought into contact with the first auxiliary wiring 148, the second electrode 158 is in side contact with the convex portion of the second auxiliary wiring 175, Further, the convex portion of the second auxiliary wiring 175 is in contact with the first auxiliary wiring 148, so that the second electrode 158 naturally passes through the convex portion of the second auxiliary wiring 175, 1 auxiliary wirings 148, as shown in FIG.

따라서 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158) 사이에 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b) 모두 또는 어느 하나 일례로 정공수송층(156c)이 형성된다 하더라도 제 1 및 제 2 보조배선(148, 175)은 상기 제 2 전극(158)과 전기적으로 연결된 상태를 이루게 됨으로서 상기 제 2 전극(158)의 위치별 휘도 불량을 억제할 수 있다.
Therefore, even if the first and / or second light-emitting auxiliary layers 157a and 157b or any one of the first and second auxiliary wirings 148 and 158 is formed as a hole transport layer 156c, 1 and the second auxiliary wirings 148 and 175 are electrically connected to the second electrode 158 so that the brightness deficiency can be suppressed for each position of the second electrode 158.

도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도이다. 이때, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어서도 제 2 기판(170)의 돌출패턴(173)이 형성된 부분의 구성을 제외하고는 전술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 2의 101)와 동일한 구성을 가지므로 특징적인 구성에 대해서만 설명한다.10 is a cross-sectional view of a portion of a display region of an organic electroluminescent device according to a third embodiment of the present invention. In the organic electroluminescent device according to the third embodiment of the present invention, the organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention described above, except for the configuration of the portion where the protruding pattern 173 of the second substrate 170 is formed, And has the same configuration as that of the electroluminescent element (101 of FIG. 2), so that only the characteristic configuration will be described.

본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(3041)는 제 1 및 제 2 기판(110, 170)은 제 1 실시예와 동일한 구성을 갖는다. The organic electroluminescent device 3041 according to the third embodiment of the present invention has the same structure as that of the first embodiment of the first and second substrates 110 and 170.

이때, 제 1 실시예와 차이가 있는 것은 제 2 기판(170)의 돌출패턴(173)이 삽입되는 제 1 기판(110)의 트렌치(tch)가 형성된 부분에 다수의 도전볼(310)이 구비되고 있다는 것이다.The difference from the first embodiment is that a plurality of conductive balls 310 are provided on the trenches of the first substrate 110 in which the protrusion patterns 173 of the second substrate 170 are inserted .

본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자는 이렇게 트렌치(tch) 내부의 상기 제 2 전극(158) 상에 다수의 도전볼(310)이 구비됨에 의해 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)의 합착 시 상기 도전볼(310)이 상기 제 2 전극(158)과 이의 하부에 위치하는 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b) 모두 또는 어느 하나 일례로 정공수송층(156c)을 파고들어 상기 제 1 보조배선(148) 접촉하는 상태를 이루게 된다. The organic electroluminescent device according to the third embodiment of the present invention may include a plurality of conductive balls 310 on the second electrode 158 inside the trench, The conductive balls 310 may be formed on the second electrode 158 and the first and / or second light-emitting auxiliary layers 157a and 157b located under the second electrode 158 when the two substrates 170 are attached to each other. The hole transport layer 156c is pinched and contacted with the first auxiliary wiring 148.

따라서 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 보조배선(175)이 상기 도전볼(310)을 매개로 하여 전기적으로 연결된 상태가 되며, 상기 제 2 전극(158) 또한 상기 도전볼(310)과 측면 접촉하는 상태가 되므로 상기 제 2 전극(158)과 제 1 보조배선(148) 사이에 상기 정공수송층(156c)이 형성되고 있다 하더라도 상기 제 1 및 제 2 보조배선(148, 175)은 상기 제 2 전극(158)과 전기적으로 연결된 상태를 이루게 됨으로서 상기 제 2 전극(158)의 위치별 휘도 불량을 억제할 수 있다.The first auxiliary wiring 148 and the second auxiliary wiring 175 are electrically connected via the conductive ball 310 and the second electrode 158 is electrically connected to the conductive ball 310 The first and second auxiliary wirings 148 and 175 may be in contact with each other even if the hole transport layer 156c is formed between the second electrode 158 and the first auxiliary wiring 148, The second electrode 158 is electrically connected to the second electrode 158, thereby suppressing the brightness deficiency for each position of the second electrode 158.

이후에는 전술한 구성을 갖는 본 발명의 제 1, 2, 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법에 대해 설명한다. 이때, 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법을 위주로 설명하며, 제 2 및 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법은 제 1 실시예와 차이가 있는 부분에 대해서만 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the organic electroluminescent device according to the first, second, and third embodiments of the present invention will be described. Here, the method of manufacturing the organic electroluminescent device according to the first embodiment will be mainly described, and the method of manufacturing the organic electroluminescent device according to the second and third embodiments will be described only in the part different from the first embodiment .

도 11a 내지 도 11h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 제조 단계별 공정 단면도이며, 도 12a 내지 도 12b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 제조 단계별 공정 단면도이다. 이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)에 있어 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)를 형성하기까지의 제조 방법은 일반적인 유기전계 발광소자의 제조 방법과 동일하므로 이들 구성요소를 형성하는 방법에 대해서는 상세한 설명을 생략하며, 보호층(140)을 형성하는 단계를 포함하여 그 이후의 단계에 대해서만 상세히 설명하도록 한다.FIGS. 11A to 11H are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a part of a display region of the organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention, and FIGS. 12A to 12B are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing the organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention. Sectional view taken along the cutting line VV in Fig. In this case, the manufacturing method of forming the driving and switching thin film transistor (DTr) (not shown) in the organic electroluminescent device 101 according to the first embodiment of the present invention is the same as that of a general organic electroluminescent device The detailed description of the method of forming these components is omitted, and only the subsequent steps including the step of forming the protective layer 140 will be described in detail.

우선, 도 11a 및 도 12a에 도시한 바와같이, 투명한 제 1 절연기판(110) 예를들면 유리재질 또는 플렉서블한 특성을 갖는 플라스틱 재질의 기판 상에 서로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(130)과, 전원배선(미도시)을 형성하고, 각 화소영역(P) 내에 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)를 형성한다. First, as shown in Figs. 11A and 12A, on a transparent first insulating substrate 110, for example, a glass material or a plastic substrate having a flexible characteristic, a gate electrode (Not shown), a data line 130, and a power supply line (not shown) are formed and a switching and driving thin film transistor (not shown) is formed in each pixel region P.

이때, 이러한 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)는 본 발명의 제 1 실시예에서와 같이 탑 게이트 구조를 이루는 경우, 순수 폴리실리콘의 제 1 영역(113a)과 이의 양측에 불순물이 도핑된 폴리실리콘의 제 2 영역(113b)으로 이루어진 폴리실리콘의 반도체층(113)과, 게이트 절연막(116)과, 상기 제 1 영역(113a)과 중첩하여 형성된 게이트 전극(120)과, 상기 제 2 영역(113b)을 노출시키는 반도체층 콘택홀(125)을 갖는 층간절연막(123)과, 상기 반도체층 콘택홀(125)을 통해 각각 상기 소스 및 드레인 영역(113b)과 접촉하며 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(133, 136)의 적층 구조를 갖도록 형성하다.At this time, when the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) forms a top gate structure as in the first embodiment of the present invention, the first region 113a of pure polysilicon and the impurity- A gate electrode 120 formed by overlapping the first region 113a with the semiconductor region 113 of polysilicon composed of the second region 113b of polysilicon, the gate insulating film 116, An interlayer insulating film 123 having a semiconductor layer contact hole 125 exposing the source and drain regions 113a and 113b and an interlayer insulating film 123 having a source and a drain contacted with the source and drain regions 113b through the semiconductor layer contact hole 125, The electrodes 133 and 136 are formed to have a laminated structure.

또한, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)가 변형예와 같이 보텀 게이트 구조를 이루는 경우는, 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 순수 비정질 실리콘의 액티브층과 서로 이격하며 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층으로 이루어진 반도체층과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극의 적층구조를 갖도록 형성하거나, 또는 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 산화물 반도체층과, 에치스토퍼와, 상기 에치스토퍼 상에서 서로 이격하며 각각 상기 산화물 반도체층과 접촉하는 소스 및 드레인 전극의 적층구조를 갖도록 형성한다. Although not shown, when the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) forms a bottom gate structure as in the modified example, the gate electrode, the gate insulating film, and the active layer of pure amorphous silicon are spaced apart from each other A gate electrode, a gate insulating film, an oxide semiconductor layer, an etch stopper, and an etch stopper formed on the etch stopper so as to have a laminated structure of a semiconductor layer composed of an ohmic contact layer of impurity amorphous silicon and source and drain electrodes spaced apart from each other, And a source electrode and a drain electrode which are in contact with the oxide semiconductor layer.

다음, 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr) 위로 유기절연물질 예를들면 포토아크릴을 도포하고, 이에 대해 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로서 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)이 구비되며 평탄한 표면을 갖는 보호층(140)을 형성한다.Next, an organic insulating material such as photo-acryl is applied on the switching and driving thin film transistor (not shown) (DTr), and the masking process is performed to pattern the organic insulating material, and the drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr A drain contact hole 143 is formed to expose the source / drain region 140 and a protective layer 140 having a flat surface is formed.

다음, 도 11b 및 도 12b에 도시한 바와같이, 상기 보호층(140) 위로 상기 각 화소영역(P)별로 판 형태를 가지며 반사 능률이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로 이루어진 하부층(147a)과 일함수 값이 비교적 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 이루어진 상부층(147b)의 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147)을 형성하고, 동시에 상기 게이트 배선(미도시)이 형성된 영역과 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)가 형성된 영역 대응하여 상기 게이트 배선(미도시)의 일부 또는 전체와 중첩하는 제 1 보조배선(148)을 형성한다. Next, as shown in FIGS. 11B and 12B, a metal material (for example, aluminum (Al) or silver (Ag)) having a plate shape and excellent reflection efficiency is formed on the protective layer 140 for each pixel region P, Layer structure of an upper layer 147b made of indium-tin-oxide (ITO), which is a transparent conductive material having a relatively high work function value, is formed on the lower layer 147a, (Not shown) and the first auxiliary wiring 148 overlapping a part or the whole of the gate wiring (not shown) in correspondence with the region in which the driving and switching thin film transistors DTr (not shown) are formed.

이 경우 상기 제 1 보조배선(148)은 상기 제 1 전극(147)과 동일하게 하부층(148a) 및 상부층(148b)의 이중층 구조를 이루도록 할 수도 있고, 또는 상기 제 1 전극(147)의 하부층(147a)과 동일한 물질로 이루어진 단일층 구조를 이루도록 할 수도 있다.In this case, the first auxiliary wiring 148 may have a double layer structure of the lower layer 148a and the upper layer 148b, or may have a double layer structure of the lower electrode 148a, 147a may be formed as a single layer structure.

상기 제 1 전극(147)과 제 1 보조배선(148)이 모두 이중층 구조를 이루도록 하는 경우, 상기 반사 능률이 우수한 금속물질과 투명 도전성 물질을 연속적으로 증착하여 제 1 금속층(미도시) 및 투명 도전성 물질층(미도시)을 형성하고, 이의 상부에 제 1 포토레지스트층(미도시)을 형성한 후, 투과영역과 차단영역 및 반투과영역을 갖는 노광마스크(미도시)를 이용하여 회절 또는 하프톤 노광을 실시함으로서 제 1 두께를 갖는 제 1 포토레지스트 패턴(미도시)과 상기 제 1 두께 보다 얇은 제 2 두께를 갖는 제 2 포토레지스트 패턴(미도시)을 형성하고, 상기 제 1 및 제 2 포토레지스트 패턴(미도시) 외측으로 노출된 상기 투명 도전성 물질층(미도시) 및 제 1 금속층(미도시)을 제거함으로서 모두 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147) 및 제 1 보조배선(148)을 형성한다.When both the first electrode 147 and the first auxiliary wiring 148 have a double layer structure, the first metal layer (not shown) and the transparent conductive material After a first photoresist layer (not shown) is formed on top of the first photoresist layer (not shown), an exposure mask (not shown) having a transmissive region and a blocking region and a transflective region is used to form a diffraction or half A first photoresist pattern (not shown) having a first thickness and a second photoresist pattern (not shown) having a second thickness thinner than the first thickness are formed by performing a tone exposure, and the first and second The first electrode 147 and the first auxiliary wiring 148 having a bilayer structure are formed by removing the transparent conductive material layer (not shown) and the first metal layer (not shown) exposed to the outside of the photoresist pattern (not shown) .

이후, 애싱을 진행하여 상기 제 2 두께를 갖는 제 2 포토레지스트 패턴(미도시)을 제거한 후, 상기 제 2 포토레지스트 패턴(미도시)이 제거됨으로서 노출된 상기 이중층 구조의 제 1 보조배선(148)의 상부층(148b)을 제거함으로서 단일층 구조의 제 1 보조배선(148)을 형성한 후, 상기 제 1 포토레지스트 패턴(미도시)을 스트립하여 제거함으로서 전술한 바와같은 이중층 구조의 제 1 전극(147) 및 단일층 구조의 제 1 보조배선(148)을 형성할 수 있다. Thereafter, ashing is performed to remove the second photoresist pattern (not shown) having the second thickness, and then the second photoresist pattern (not shown) is removed to expose the first auxiliary wiring 148 And then removing the first photoresist pattern (not shown) by stripping the first photoresist pattern (not shown) to form a first auxiliary wiring 148 having a single-layer structure by removing the upper layer 148b of the first photoresist pattern The first auxiliary wiring 147 and the first auxiliary wiring 148 of a single layer structure can be formed.

상기 제 1 전극(147)과 제 1 보조배선(148)이 모두 이중층 구조를 이루는 경우는 일반적인 투과영역과 차단영역을 갖는 노광마스크(미도시)를 이용한 마스크 공정을 통해 형성할 수 있다.When the first electrode 147 and the first auxiliary wiring 148 have a double layer structure, the first electrode 147 and the first auxiliary wiring 148 may be formed through a mask process using an exposure mask (not shown) having a general transmissive region and a blocking region.

도면에 있어서는 상기 제 1 보조배선(148)이 이중층 구조를 이루는 것을 일례로 나타내었다.In the drawing, the first auxiliary wiring 148 has a double layer structure.

다음, 도 11c 및 도 11c에 도시한 바와같이, 상기 제 1 전극(147) 및 제 1 보조배선(148) 위로 유기물질 바람직하게는 감광성 특성과 더불어 소수성 특성을 갖는 고분자 물질 예를들면 불소(F)가 함유된 폴리이미드(poly imide), 스티렌(styrene), 메틸마사크릴레이트(methyl mathacrylate), 폴리테트라플로우틸렌(polytetrafluoroethylene) 중 어느 하나 또는 둘 이상이 혼합된 물질을 코팅하여 수 ㎛ 더욱 정확히는 1 내지 10㎛ 정도의 두께를 갖는 유기 물질층(미도시)을 형성한다.Next, as shown in FIGS. 11C and 11C, an organic material, preferably a polymer material having a hydrophobic property together with a photosensitive property, such as fluorine (F), is formed on the first electrode 147 and the first auxiliary wiring 148, ) Is coated to a thickness of several micrometers, more precisely, 1 占 퐉 or less by coating a mixture of one or more of polyimide, styrene, methyl mathacrylate, and polytetrafluoroethylene, An organic material layer (not shown) having a thickness of about 10 mu m is formed.

이때 상기 유기 물질층(미도시)이 감광성 특성을 갖게 됨으로서 이 자체를 노광하여 패터닝이 가능하므로 패터닝을 위해 별도의 포토레지스트층의 도포와 식각 공정을 생략할 수 있다. At this time, since the organic material layer (not shown) has photosensitive characteristics, the organic material layer can be patterned by exposing itself, so that a separate photoresist layer coating and etching process can be omitted for patterning.

이후, 상기 유기 물질층(미도시)에 대해 노광 마스크를 이용한 노광, 상기 유기 물질층의 현상을 포함하는 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로서 각 화소영역(P)의 경계 즉 상기 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(130)과 중첩하며 상기 각 화소영역(P)에 구비된 제 1 전극(147)의 가장자리 부분과 소정폭 중첩하며, 나아가 상기 제 1 보조배선(148)에 대해서는 이를 노출시키는 트렌치(tch)를 갖는 뱅크(150)를 형성한다.Thereafter, the organic material layer (not shown) is exposed by using an exposure mask, and a mask process including development of the organic material layer is performed to pattern the organic material layer, thereby forming a boundary of each pixel region P, And the data lines 130 and overlaps the edge portions of the first electrodes 147 provided in the respective pixel regions P with a predetermined width and further exposes the first auxiliary lines 148 to the trenches tch) are formed.

이러한 뱅크(150)는 상기 보호층(140) 표면으로부터 1 내지 10㎛ 정도의 높이를 가지며, 표시영역 전면에 있어서 격자형태를 가져 각 화소영역(P)에 있어서는 제 1 전극(147)의 중앙부를 노출시키는 형태를 이루는 것이 특징이며, 제 1 방향 즉, 상기 게이트 배선(미도시)이 연장 형성된 방향으로 형성된 부분에 대해서는 상기 제 1 보조배선(148)을 노출시키는 트렌치(tch)가 구비된 것이 특징이다.The bank 150 has a height of about 1 to 10 mu m from the surface of the protective layer 140 and has a lattice shape on the entire surface of the display region so that the center portion of the first electrode 147 in each pixel region P And a trench tch for exposing the first auxiliary wiring 148 is provided in a portion formed in a first direction, that is, a direction in which the gate wiring (not shown) is extended. to be.

다음, 도 11d 및 도 11d에 도시한 바와같이, 표시영역에 있어 격자형태를 가지며 트렌치(tch)가 구비된 상기 뱅크(150)가 형성된 상기 제 1 기판(110)에 대응하여 잉크젯 장치(미도시) 또는 노즐 코팅장치(미도시)를 이용하여 액상의 유기 발광 물질을 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 영역에 대응하여 분사 또는 드롭핑하거나, 또는 상기 각 화소영역(P) 더욱 정확히는 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 영역에 대해 개구를 갖는 쉐도우 마스크(미도시)를 이용한 열 증착을 실시함으로서 상기 각 화소영역(P) 내의 상기 제 1 전극(147) 상부에 유기 발광층(155)을 형성한다.Next, as shown in FIGS. 11D and 11D, an ink jet apparatus (not shown) corresponding to the first substrate 110 having the banks 150 having a grid shape in the display region and provided with trenches tch ) Or a nozzle coating apparatus (not shown) to eject or drop the liquid organic light emitting material corresponding to the region surrounded by the bank 150, or each pixel region P, more precisely, An organic emission layer 155 is formed on the first electrode 147 in each pixel region P by performing thermal evaporation using a shadow mask (not shown) having an opening with respect to the region surrounded by the first electrode 147.

한편, 도면에 있어서는 상기 제 1 전극(147) 위로 유기 발광층(155)만이 형성된 것을 일례로 보이고 있지만, 상기 유기 발광층(155)과 상기 제 1 전극(147) 사이에 제 1 발광보조층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있으며, 상기 유기 발광층(155) 위로 제 2 발광보조층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. Although only one organic light emitting layer 155 is formed on the first electrode 147 in the drawing, a first light emitting auxiliary layer (not shown) may be interposed between the organic light emitting layer 155 and the first electrode 147, And a second emission auxiliary layer (not shown) may further be formed on the organic emission layer 155.

이때, 상기 제 1 발광보조층(미도시)은 정공주입층(hole injection layer)(미도시), 정공수송층(hole transporting layer)(미도시) 및 전자블록킹층 중 어느 하나 이상이 될 수 있으며, 상기 제 2 발광보조층(미도시)은 전자수송층(electron transporting layer)(미도시)과 전자주입층(electron injection layer) 및 정공블록킹층 중 어느 하나 이상이 될 수 있다. The first light-emitting auxiliary layer (not shown) may be at least one of a hole injection layer (not shown), a hole transporting layer (not shown), and an electron blocking layer. The second light-emitting auxiliary layer (not shown) may be one or more of an electron transporting layer (not shown), an electron injection layer and a hole blocking layer.

그리고 이러한 제 1 및 제 2 발광보조층(미도시)은 상기 유기 발광층(155)과 같이 각 화소영역(P)별로 분리 형성될 수도 있으며, 또는 상기 표시영역 전면에 끊김없이 형성될 수도 있다.The first and second light-emission-assisting layers (not shown) may be formed separately for each pixel region P, such as the organic light-emitting layer 155, or may be formed continuously on the entire surface of the display region.

다음, 도 11e 및 도 12e에 도시한 바와같이, 상기 유기 발광층(155) 또는 제 2 발광보조층(미도시) 위로 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상을 혼합하여 진공의 분위기에서 열 증착을 진행함으로서 상기 표시영역 전면에 10 내지 200Å 정도의 두께를 갖는 제 2 전극(158)을 형성함으로서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제 1 기판(110)을 완성한다. Next, as shown in FIGS. 11E and 12E, a metal material having a relatively low work function value, such as aluminum (Al), an aluminum alloy (AlNd), or the like is formed on the organic light emitting layer 155 or the second light- ), Silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), and aluminum magnesium alloy (AlMg) are mixed and thermal vapor deposition is performed in a vacuum atmosphere, The first electrode 110 of the organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention is completed.

한편, 이러한 열 증착에 의해 형성되는 제 2 전극(158)의 경우, 상기 유기 발광층(155)을 포함하여 상기 뱅크(150)의 상면 및 측면까지 표시영역 전면에 끊김없이 연결된 상태로 형성되는 것이 특징이다.On the other hand, in the case of the second electrode 158 formed by the thermal vapor deposition, the upper surface and the side surface of the bank 150 including the organic light emitting layer 155 are continuously connected to the entire display region to be.

따라서 상기 제 2 전극(158)은 상기 제 1 및 제 2 발광보조층(미도시)이 없거나, 또는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층(미도시)이 각 화소영역(P)별로 분리 형성된 경우 상기 트렌치(tch)를 통해 노출된 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하는 형태를 이루게 된다. Accordingly, when the first and second light-emission-assisting layers (not shown) are not provided or the first and second light-emission-assisting layers (not shown) are separately formed for each pixel region P And is in contact with the first auxiliary wiring 148 exposed through the trench tch.

이때, 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(미도시) 중 이를 이루는 어느 하나 이상의 층이 표시영역 전면에 형성되는 경우, 현 상태에서는 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(미도시)이 상기 트렌치(tch) 내부에서 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하는 상태를 이루게 되며, 상기 제 2 전극(158)은 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(미도시) 상부에 적층된 상태를 이루지만, 이러한 구성의 경우 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제조 방법에 의해 최종적으로 상기 제 2 전극(158)과 제 1 보조배선(148)은 전기적으로 연결된 상태를 이루게 되므로 문제되지 않는다. At this time, if any one or more of the first and / or second light-emission-assisting layer (not shown) is formed on the entire display region, the first and / or second light- The second electrode 158 is in contact with the first auxiliary wiring 148 in the trench tch so that the first and / or second emission assistant layer (not shown) The second electrode 158 and the first auxiliary wiring 148 are finally electrically connected to each other by the manufacturing method according to the second embodiment of the present invention. So it does not matter.

한편, 각 화소영역(P) 내에 순차 적층된 상기 제 1 전극(147)과 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이룬다.The first electrode 147, the organic light emitting layer 155, and the second electrode 158, which are sequentially stacked in each pixel region P, constitute an organic light emitting diode E.

다음, 도 11f와 도 12f에 도시한 바와같이, 투명한 제 2 절연기판(170) 예를들면 유리재질 또는 플렉서블한 특성을 갖는 플라스틱 재질의 기판 상에 상기 제 1 기판(110)에 형성된 뱅크(150)를 이루는 물질 예를들면 유기물질 바람직하게는 감광성 특성과 더불어 소수성 특성을 갖는 고분자 물질 예를들면 불소(F)가 함유된 폴리이미드(poly imide), 스티렌(styrene), 메틸마사크릴레이트(methyl mathacrylate), 폴리테트라플로우틸렌(polytetrafluoroethylene) 중 어느 하나 또는 둘 이상이 혼합된 물질을 코팅하여 유기 물질층(미도시)을 형성한다.Next, as shown in FIGS. 11F and 12F, a transparent second insulating substrate 170, for example, a bank 150 (not shown) formed on the first substrate 110 on a glass substrate or a plastic substrate having a flexible characteristic For example, polyimide containing fluorine (F), styrene, methylmethacrylate (methylmethacrylate), or the like, which has a hydrophobic property together with an organic material, mathacrylate, and polytetrafluoroethylene are coated to form an organic material layer (not shown).

이후 상기 유기 물질층을 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로서 제 1 방향으로 연장하며 일정간격 이격하는 댐 형태의 돌출패턴(173)을 형성한다.Thereafter, the organic material layer is patterned by a masking process to form a dam-shaped protrusion pattern 173 extending in the first direction and spaced apart by a predetermined distance.

이때, 상기 돌출패턴(173)은 상기 제 1 기판(110)에 구비된 트렌치(tch)에 대응하여 상기 각 트렌치(tch)에 삽입될 수 있도록 상기 트렌치(tch)의 폭보다는 작은 폭을 갖도록 형성하는 것이 특징이다. The protrusion pattern 173 is formed to have a width smaller than the width of the trench tch so as to be inserted into each of the trenches tch corresponding to the trench tch provided in the first substrate 110. [ .

다음, 도 11g와 도 12g에 도시한 바와같이, 돌출패턴(173) 위로 저저항 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나를 증착하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 패턴닝함으로서 상기 돌출패턴(173)과 더불어 상기 제 2 절연기판(170)의 표면에 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자형태를 갖는 제 2 보조배선(175)을 형성한다.11G and 12G, a low resistance metal material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, gold (Au) The first insulating substrate 170 and the second insulating substrate 170 are patterned to form a grid pattern in which each pixel region P is formed on the surface of the second insulating substrate 170 in addition to the protruding pattern 173, The second auxiliary wiring 175 is formed.

이러한 제 2 보조배선(175)은 상기 제 1 기판(110) 상에 형성된 뱅크(150)와 중첩하며 동일한 평면형태를 갖는 것이 특징이며, 나아가 상기 제 2 보조배선(175)은 그 일부는 상기 돌출패턴(173) 상부 및 측면에 위치하며, 일부는 상기 제 2 기판(170)상에 위치하는 것이 특징이다.The second auxiliary wiring 175 overlaps with the bank 150 formed on the first substrate 110 and has the same planar shape. Further, the second auxiliary wiring 175 has a part The second substrate 170 and the second substrate 170. The second substrate 170 is formed on the upper surface and the side surface of the pattern 173,

한편, 제 1 실시예 및 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 2의 101, 도 10의 301)의 경우 상기 제 2 보조배선(175)은 상기 제 2 기판(170) 전면에 대해 그 표면이 매끈하게 형성되지만, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 9의 201)의 경우, 상기 제 2 보조배선(175) 중 상기 돌출패턴(173)의 상면에 형성된 부분은 울퉁불퉁한 요철구조를 이루도록 형성하는 것이 특징이다.In the case of the organic electroluminescent device according to the first and third embodiments (101 in FIG. 2 and 301 in FIG. 10), the second auxiliary wiring 175 is formed on the entire surface of the second substrate 170 The portion of the second auxiliary wiring 175 formed on the upper surface of the protruding pattern 173 may be formed to have a smooth surface. However, in the case of the organic electroluminescent device 201 according to the second embodiment of the present invention And is formed to have a rugged concavo-convex structure.

여기서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 9의 201)의 차별점 있는 구성인 제 2 보조배선(175)의 형성방법에 대해 도 13a 내지 도 13d(본 발명의 제 2 실시에에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 2 보조배선(175)을 형성하는 단계별 제조 공정 단면도)를 참조하여 설명한다.Here, a method of forming the second auxiliary wiring 175, which is a differentiating structure of the organic electroluminescent device 201 (FIG. 9) according to the second embodiment of the present invention, is described with reference to FIGS. 13A to 13D Sectional view illustrating a step of forming a second auxiliary wiring 175 in an organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention.

우선, 도 13a에 도시한 바와같이, 상기 돌출패턴(173)이 형성된 제 2 절연기판(110) 상에 저저항 금속물질을 전면에 증착하여 저저항 금속물질층(174)을 형성한다. First, as shown in FIG. 13A, a low-resistance metal material layer 174 is formed on the entire surface of the second insulating substrate 110 on which the protrusion patterns 173 are formed.

이후, 상기 저저항 금속물질층 위로 포토레지스트를 도포하며 제 2 포토레지스트층(181)을 형성하고, 상기 제 2 포토레지스트층(181) 위로 투과영역(TA)과 차단영역(BA)을 갖는 노광마스크(190)를 위치시킨 후, 상기 제 2 포토레지스트층(181)에 대해 상기 노광마스크를 이용한 노광을 실시한다.Thereafter, a photoresist is coated on the low-resistance metal material layer to form a second photoresist layer 181, and an exposure having a transmissive area TA and a blocking area BA on the second photoresist layer 181 After the mask 190 is positioned, the second photoresist layer 181 is exposed using the exposure mask.

이때, 상기 돌출패턴(173)의 상부에 형성된 상기 저저항 금속물질층(174) 부분에 대해서는 상기 노광마스크(190)에 있어 투과영역(TA)과 차단영역(BA)이 교대하는 형태를 이루도록 한다.At this time, the transmissive region TA and the blocking region BA alternate with each other in the exposure mask 190 with respect to the low resistance metal material layer 174 formed on the protruding pattern 173 .

한편, 도면에 있어서는 상기 돌출패턴(173) 상부에 대해서는 투과영역(TA)과 차단영역(BA)이 교대하도록 형성된 노광마스크(190)가 위치하여 노광을 진행하는 것을 일례로 보이고 있지만, 변형예로서 도면에 나타내지 않았지만, 상기 부분에 대해서는 반투과영역과 투과영역이 교대하는 구성을 갖는 노광마스크를 위치시킨 후 노광을 실시할 수도 있다.Meanwhile, in the drawing, the exposure mask 190 having the transmissive area TA and the blocking area BA alternately disposed thereon is disposed above the protruding pattern 173, Although not shown in the drawing, the exposure may be performed after positioning an exposure mask having a configuration in which the semi-transmission region and the transmission region alternate with each other.

다음, 도 13b에 도시한 바와같이, 노광이 실시한 상기 제 2 포토레지스트층(도 13a의 181)에 대해 현상을 진행하게 되면, 상기 저저항 금속물질층(174) 상부에는 모두 동일한 제 1 높이를 갖는 제 3 포토레지스트 패턴(182)이 구비된다. Next, as shown in FIG. 13B, when development is performed on the exposed second photoresist layer (181 in FIG. 13A), the same first height is formed on the low resistance metal material layer 174 A third photoresist pattern 182 is formed.

이때, 상기 제 3 포토레지스트 패턴(182)은 상기 돌출패턴(173) 상부에 대응해서는 소정폭을 갖고 이격하는 형태로 다수 형성되며, 상기 제 3 포토레지스트 패턴(182) 외측으로는 상기 저저항 금속물질층(174)이 노출된 상태를 이룬다. At this time, the third photoresist patterns 182 are formed in such a manner that they are spaced apart from each other with a predetermined width corresponding to the upper portions of the protruding patterns 173, and on the outside of the third photoresist patterns 182, The material layer 174 is exposed.

한편, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 돌출패턴(173) 상부에 대해서 투과영역과 반투과영역이 교대하는 형태 갖는 노광마스크를 이용하여 노광을 진행 한 경우, 상기 제 2 포토레지스트층을 현상하면, 상기 돌출패턴(173) 상부에 대응하는 상기 저저항 금속물질층 상부에는 제 1 높이를 갖는 제 3 포토레지스트 패턴(미도시)과, 상기 제 1 높이보다 작은 제 2 높이를 갖는 제 4 포토레지스트 패턴(미도시)이 교대하며 형성되며, 상기 제 2 절연기판(170) 상부에 형성된 저저항 금속물질층(174) 일부의 상부 즉 추후 제 2 보조배선(도 13d의 175)이 형성될 부분에 대해서는 상기 제 1 높이를 갖는 제 3 포토레지스트 패턴(미도시)이 형성된다.On the other hand, when exposure is performed using an exposure mask in which the transmissive region and the transflective region alternate with the upper portion of the protruding pattern 173, although not shown in the drawing, when the second photoresist layer is developed, A third photoresist pattern (not shown) having a first height is formed on the low resistance metal layer above the pattern 173, and a fourth photoresist pattern (not shown) having a second height Resistance metal material layer 174 formed on the second insulating substrate 170, that is, a portion where the second auxiliary wiring (175 of FIG. 13D) is to be formed later, A third photoresist pattern (not shown) having a height of 1 is formed.

다음, 도 13c에 도시한 바와같이, 상기 제 3 포토레지스트 패턴(182)의 외측으로 노출된 상기 저저항 금속물질층(도 13b의 174)을 식각하여 제거하게 되면, 도시한 바와같이, 상기 돌출패턴(173) 상부에는 소정폭을 가지며 이격하는 형태를 이룸으로서 요철구조를 이루며, 동시에 상기 돌출패턴(173)의 측면과 상기 제 2 절연기판(170)에 대해서는 매끈한 표면을 갖는 제 2 보조배선(175)이 형성된다.Next, as shown in FIG. 13C, when the low resistance metal material layer (174 in FIG. 13B) exposed to the outside of the third photoresist pattern 182 is etched and removed, as shown in the figure, The second auxiliary wiring 170 has a smooth surface with respect to the side surface of the protruding pattern 173 and the second insulating substrate 170. The second auxiliary wiring 170 has a surface having a predetermined width and spaced apart from the upper surface of the pattern 173, 175 are formed.

이후, 도 13d에 도시한 바와같이, 스트립을 진행하여 상기 제 3 포토레지스트 패턴(도 13c의 182)을 제거함으로서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 9의 201)의 제 2 기판(170)을 완성할 수 있다.Thereafter, as shown in FIG. 13D, the strip is moved to remove the third photoresist pattern (182 in FIG. 13C) to form the organic electroluminescent element (201 in FIG. 9) according to the second embodiment of the present invention 2 substrate 170 can be completed.

한편, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 제 1 및 제 2 높이를 갖는 제 3 및 제 4 포토레지스트 패턴이 형성된 경우, 이들 제 3 및 제 4 포토레지스트 패턴 외측으로 노출된 상기 저저항 금속물질층을 식각하여 제거함으로서 상기 돌출패턴의 상부 및 측면과 상기 제 2 기판 상에 매끈한 표면을 갖는 제 2 보조배선이 된다.On the other hand, when the third and fourth photoresist patterns having the first and second heights are formed, the low resistance metal material layer exposed outside the third and fourth photoresist patterns is etched The second auxiliary wiring having upper and side surfaces of the protruding patterns and a smooth surface on the second substrate.

이후 애싱을 진행하여 상기 제 2 높이를 갖는 제 4 포토레지스트 패턴을 제거함으로서 상기 돌출패턴 상부에 위치하는 제 2 보조배선의 표면 일부를 노출시킨다. 이 경우, 상기 돌출패턴 상부에 대응하는 제 2 보조배선 상에는 상기 제 3 포토레지스트 패턴이 소정폭 이격하며 다수 구비된 상태가 되며, 이들 다수의 제 3 포토레지스트 패턴 사이로 상기 제 2 보조배선이 노출된 상태를 이루게 된다.Then, the ashing is performed to remove the fourth photoresist pattern having the second height, thereby exposing a part of the surface of the second auxiliary wiring located above the protruding pattern. In this case, on the second auxiliary wiring corresponding to the upper portion of the protruding pattern, the third photoresist patterns are formed in a state of being spaced apart by a predetermined width, and the second auxiliary wiring is exposed between the plurality of third photoresist patterns State.

이후 상기 제 3 포토레지스트 패턴 외측으로 노출된 상기 제 2 보조배선에 대해 식각을 진행하게 되면 상기 돌출패턴의 상부에 대응해서만 울퉁불퉁한 요철구조를 갖는 제 2 보조배선을 형성할 수 있다.Then, when the etching is performed on the second auxiliary wiring exposed to the outside of the third photoresist pattern, a second auxiliary wiring having a rugged concavo-convex structure can be formed only in correspondence to the upper portion of the protruding pattern.

이때, 상기 제 3 포토레지스트 패턴 외측으로 노출된 상기 제 2 보조배선의 식각은 상기 제 2 보조배선이 완전히 제거되는 식각시간보다 짧은 시간 진행함으로서 상기 제 2 보조배선이 완전히 제거되도록 하는 것이 아니라 그 두께만이 소정량 줄어들도록 진행함으로서 상기 돌출패턴 상부에 있어서 상기 도출패턴의 상면이 노출되지 않고 요부와 철부의 요철구조를 이루는 제 2 보조배선을 형성할 수 있다. At this time, the etching of the second auxiliary wiring exposed to the outside of the third photoresist pattern proceeds for a time shorter than the etching time at which the second auxiliary wiring is completely removed, so that the second auxiliary wiring is not completely removed, The second auxiliary wiring can be formed on the protruding pattern so that the top surface of the derived pattern is not exposed and the concave-convex structure of the concave and convex portions is formed.

한편, 도 11h 및 도 12h에 도시한 바와같이, 전술한 바와같이 완성된 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)을 상기 트렌치(tch)와 상기 돌출패턴(173)이 서로 마주하도록 위치시킨 후, 상기 제 1 기판(110) 또는 제 2 기판(170)의 테두리를 따라서 씰패턴 또는 프릿패턴 등의 접착제(미도시)를 형성한 후, 불활성 기체 분위기 또는 진공의 분위기에서 상기 제 1 및 제 2 기판(110, 170)을 합착함으로서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)를 완성한다.11H and 12H, the first substrate 110 and the second substrate 170, which have been completed as described above, are positioned so that the trench tch and the protrusion pattern 173 face each other (Not shown) such as a seal pattern or a frit pattern along the rim of the first substrate 110 or the second substrate 170 is formed on the first substrate 110 or the second substrate 170, And the second substrates 110 and 170 are joined together to complete the organic EL device 101 according to the first embodiment of the present invention.

이때, 상기 합착 진행 시 상기 돌출패턴(173)이 상기 트렌치(tch)에 삽입되도록 함으로서 상기 트렌치(tch) 내부에서 상기 제 2 전극(158)과 상기 제 2 보조배선(175)이 서로 접촉된 상태를 이루도록 하며, 동시에 상기 뱅크(150)상에 형성된 제 2 전극(158)과 상기 제 2 기판(170) 상에 형성된 제 2 보조배선(175)이 서로 접촉된 상태를 이루도록 하는 것이 특징이다.At this time, the projecting pattern 173 is inserted into the trench tch so that the second electrode 158 and the second auxiliary wiring 175 are in contact with each other in the trench tch And the second electrode 158 formed on the bank 150 and the second auxiliary wiring 175 formed on the second substrate 170 are in contact with each other.

전술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)의 제조 방법에 의해 상기 트렌치(tch) 내부에 있어서는 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158)과 제 2 보조배선(175)이 서로 접촉하는 상태가 되므로 상기 제 2 전극(158)의 큰 면저항에 기인한 휘도 불균일 불량을 억제할 수 있는 유기전계 발광소자를 제공하게 된다.
The first auxiliary wiring 148 and the second electrode 158 are formed in the trench tch by the method of manufacturing the organic electroluminescent device 101 according to the first embodiment of the present invention, It is possible to provide an organic electroluminescent device capable of suppressing a luminance nonuniformity defect due to a large sheet resistance of the second electrode 158 because the wiring 175 is brought into contact with each other.

한편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법의 경우, 도 9를 참조하면, 상기 제 1 기판(110) 및 제 2 기판(170)의 합착 시 가해지는 압력에 의해 상기 돌출패턴(173) 상부에 형성된 상기 제 2 보조배선(175)의 철부가 상기 제 2 전극(158)과 더불어 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b)을 일 구성요소인 정공수송층(156c)까지 파고들어 최종적으로 상기 제 2 보조배선(175)의 철부의 끝단이 상기 제 1 보조배선(148)의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징이다.Referring to FIG. 9, in the method of manufacturing an organic electroluminescent device according to the second embodiment of the present invention, the first substrate 110 and the second substrate 170 are bonded together, The convex portion of the second auxiliary wiring 175 formed on the protruding pattern 173 is electrically connected to the second electrode 158 and the first and second light emitting auxiliary layers 157a and 157b as one component And finally the end of the convex portion of the second auxiliary wiring 175 is brought into contact with the surface of the first auxiliary wiring 148.

따라서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(201)의 제조 방법에 의해서는 상기 트렌치(tch) 내부에서 상기 제 2 전극(158)과 유기 발광층(155) 사이에 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b)이 더욱 구비된다 하더라도 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158) 및 제 2 보조배선(175)이 전기적으로 연결된 구성을 이루게 되는 것이 특징이다.Therefore, according to the method of manufacturing the organic electroluminescent device 201 according to the second embodiment of the present invention, the first and / or the second organic electroluminescent layer 155 is formed between the second electrode 158 and the organic light emitting layer 155 in the trench tch. The first auxiliary wiring 148 and the second electrode 158 and the second auxiliary wiring 175 are electrically connected to each other even if the first and second auxiliary light emission layers 157a and 157b are further provided.

한편, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 10의 301)의 제조 방법은, 도 10을 참조하면, 상기 제 1 기판(110) 및 제 2 기판(170)을 각각 완성하는 단계까지는 제 1 실시예와 동일하게 진행되며, 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)을 합착하는 단계 이전에 한 단계를 추가적으로 진행하는 것이 특징이다.10, the first substrate 110 and the second substrate 170 are completed, respectively. Referring to FIG. 10, the method of manufacturing the organic electroluminescent device according to the third embodiment of the present invention The process is the same as that of the first embodiment, and one step is further performed before the step of attaching the first substrate 110 and the second substrate 170.

즉, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 단면도인 도 14a 내지 14b를 참조하면, 잉크젯 장치(195)를 이용하여 완성된 제 1 기판(110) 상의 상기 트렌치(tch) 내부의 상기 제 2 전극(158) 위로 다수의 도전볼(310)을 분사하여 도전볼층을 형성한다. Referring to FIGS. 14A to 14B, which are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an organic electroluminescence device according to a third embodiment of the present invention, the trench tch on the completed first substrate 110 using the inkjet apparatus 195 A plurality of conductive balls 310 are sprayed onto the second electrode 158 inside the conductive ball layer to form a conductive ball layer.

이때 상기 잉크젯 장치를 통해서는 상기 도전볼(310)과 휘발성 용매가 잉크가 선택적으로 분사되며 상기 도전볼(310)이 섞인 잉크를 분사한 후 상기 용매를 휘발시킴으로서 상기 트렌치(tch) 내부의 제 2 전극(158) 위로 도전볼(310)만이 남도록 한다.At this time, the conductive ball 310 and the volatile solvent inject ink selectively through the inkjet apparatus, and the ink mixed with the conductive ball 310 is sprayed, and then the solvent is volatilized, So that only the conductive ball 310 remains on the electrode 158.

이후, 전술한 바와같이 트렌치(tch) 내부에 도전볼층이 형성된 상태의 제 1 기판(110)에 대해 제 2 기판(170)을 마주하도록 한 후, 상기 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 9의 201)의 제조 방법에 언급된 합착을 진행함으로서 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(301)를 완성할 수 있다.Thereafter, the second substrate 170 is made to face the first substrate 110 in which the conductive ball layer is formed in the trench as described above, and then the organic electroluminescent device according to the second embodiment The organic light emitting device 301 according to the third embodiment of the present invention can be completed by proceeding the adhesion process mentioned in the manufacturing method of FIG.

이러한 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(301)의 제조 방법에 있어서도 상기 제 1 및 제 2 기판(110, 170)의 합착 시 가해지는 압력에 의해 상기 도전볼(310)이 상기 제 2 전극(158)과 더불어 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b)의 일 구성요소인 정공수송층(156c)까지 파고들어 최종적으로 상기 제 1 보조배선(148)의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징이다.Also in the method of manufacturing the organic electroluminescent device 301 according to the third embodiment of the present invention, the conductive balls 310 may be formed by the pressure applied when the first and second substrates 110 and 170 are attached together, The second electrode 158 and the hole transport layer 156c which are one of the components of the first and / or second emission assist layers 157a and 157b are finally squeezed and finally the surface of the first auxiliary wiring 148 As shown in Fig.

따라서 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(301)의 제조 방법에 의해서도 상기 트렌치(tch) 내부에서 상기 제 2 전극(158)과 유기 발광층(155) 사이에 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b)이 더욱 구비된다 하더라도 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158) 및 제 2 보조배선(175)이 상기 도전볼(310)을 매개로 하여 전기적으로 연결된 구성을 이루게 되는 것이 특징이다.
Therefore, even in the method of manufacturing the organic electroluminescent device 301 according to the third embodiment of the present invention, the first and / or the second organic electroluminescent layer 155 is formed between the second electrode 158 and the organic light emitting layer 155 in the trench tch, The first auxiliary wiring 148, the second electrode 158 and the second auxiliary wiring 175 are electrically connected to each other via the conductive balls 310 even if the second emission auxiliary layers 157a and 157b are further provided. So that a connected configuration is achieved.

본 발명은 전술한 실시예 및 변형예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.

101 : 유기전계 발광소자
110 : 제 1 기판
140 : 보호층
147 : 제 1 전극
147a, 147b : (제1전극의)하부층 및 상부층
148 : 제 1 보조배선
150 : 뱅크
155 : 유기 발광층
158 : 제 2 전극
170 : 제 2 기판
173 : 돌출패턴
175 : 제 2 보조배선
E: 유기전계 발광 다이오드
P : 화소영역
101: Organic electroluminescent device
110: first substrate
140: Protective layer
147: first electrode
147a, 147b: a lower layer (of the first electrode)
148: First auxiliary wiring
150: Bank
155: organic light emitting layer
158: Second electrode
170: second substrate
173: protrusion pattern
175: Second auxiliary wiring
E: Organic light emitting diode
P: pixel area

Claims (18)

다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판과;
상기 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 형성된 제 1 전극과;
상기 화소영역의 경계에 제 1 방향으로 연장하며 형성된 제 1 보조배선과;
상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 각 화소영역을 둘러싸는 형태로 형성되며, 상기 제 1 보조배선을 노출시키는 트렌치를 구비한 뱅크와;
상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 형성된 유기 발광층과;
상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 제 1 두께를 가지며 형성된 제 2 전극과;
상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판과;
상기 제 2 기판의 내측면에 상기 화소영역의 경계에 상기 제 1 방향으로 연장하며 댐 형태를 갖는 돌출패턴과;
상기 돌출패턴 상부 및 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 뱅크에 대응하여 형성된 제 2 보조배선
을 포함하며, 상기 제 1 및 2 보조배선과 상기 제 2 전극은 상기 트렌치 내부에서 서로 전기적으로 연결된 구성을 이루는 것이 특징인 유기전계 발광소자.
A first substrate on which a display region having a plurality of pixel regions is defined;
A first electrode formed on each of the pixel regions on the first substrate;
A first auxiliary wiring formed in a boundary of the pixel region in a first direction;
A bank formed in the display region so as to overlap the edges of the first electrodes and surrounding the pixel regions, the trenches exposing the first sub-lines;
An organic light emitting layer formed on each of the first electrodes surrounded by the banks;
A second electrode formed on the entire surface of the organic emission layer and having a first thickness;
A second substrate facing the first substrate;
A protruding pattern extending in the first direction on a boundary of the pixel region on the inner surface of the second substrate and having a dam shape;
And a second auxiliary wiring formed on the protruded pattern and on the inner surface of the second substrate,
Wherein the first and second auxiliary wirings and the second electrode are electrically connected to each other within the trench.
제 1 항에 있어서,
상기 돌출패턴은 상기 트렌치 내부로 삽입되는 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method according to claim 1,
And the protruding pattern is inserted into the trench.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 전극과 상기 유기 발광층 사이에는 제 1 발광보조층이 형성되며, 상기 유기 발광층과 상기 제 2 전극 사이에는 제 2 발광보조층이 형성된 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein a first light emitting auxiliary layer is formed between the first electrode and the organic light emitting layer and a second light emitting auxiliary layer is formed between the organic light emitting layer and the second electrode.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 발광보조층은 각 화소영역별로 분리 형성되며, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선은 상기 제 2 전극과 직접 접촉하는 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method of claim 3,
Wherein the first and second light-emitting auxiliary layers are formed separately for each pixel region, and the first auxiliary wiring is in direct contact with the second electrode in the trench.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성되며,
상기 제 2 보조배선은 상기 돌출패턴 상부에 대응되는 부분은 그 표면이 요철구조를 이루며, 상기 트렌치 내부에서 상기 요철구조의 철부가 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 전극의 표면과 접촉하는 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method of claim 3,
At least one of the first and second light-emission-assisting layers is formed on the entire surface of the display region,
Wherein a portion of the second auxiliary wiring corresponding to an upper portion of the protruding pattern has a concavo-convex structure on the surface thereof, and the convex portion of the concavoconvex structure inside the trench forms the second electrode and the first and second light- And contact with the surface of the first electrode through the auxiliary layer.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성되며,
상기 트렌치 내부에는 상기 제 1 보조배선 및 상기 2 보조배선의 표면과 각각 접촉하며 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하는 형태의 다수의 도전볼이 구비된 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method of claim 3,
At least one of the first and second light-emission-assisting layers is formed on the entire surface of the display region,
A plurality of conductive balls contacting the surfaces of the first auxiliary wiring and the second auxiliary wiring and penetrating the first electrode and the second auxiliary light-emitting layer located under the second electrode, The organic electroluminescent device comprising:
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 보조배선은 상기 제 1 전극과 동일한 물질로 이루어지며,
상기 제 2 보조배선은 저 저항 특성을 갖는 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어진 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein the first auxiliary wiring is made of the same material as the first electrode,
The second auxiliary wiring is made of any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, gold (Au), and silver Organic electroluminescent device.
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 전극은 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고,
상기 제 1 두께는 10 내지 200Å인 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method according to claim 1,
The second electrode may be formed of any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), and aluminum magnesium alloy And is made of two or more materials,
Wherein the first thickness is 10 to 200 ANGSTROM.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 전극 하부로,
상기 제 1 기판 상에는 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과;
상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 이들 배선과 나란하게 이격하며 형성된 전원배선과;
상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와;
상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키며 형성된 보호층
을 포함하며, 상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 형성된 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method according to claim 1,
The first electrode,
A gate and a data line crossing each other on the first substrate to define the pixel region;
A power supply wiring formed on the same layer on which the gate wiring or the data wiring is formed so as to be spaced apart from the wiring;
A switching thin film transistor provided in each pixel region and connected to the gate wiring and the data wiring; a driving thin film transistor connected to the power wiring and the switching thin film transistor;
A protective layer formed on the entire surface of the display region to cover the switching and driving thin film transistor and expose a drain electrode of the driving thin film transistor,
Wherein the first electrode is formed in contact with the drain electrode of the driving thin film transistor in the pixel region over the protective layer.
다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 제 1 전극을 형성하고, 동시에 상기 화소영역의 경계에 제 1 방향으로 연장하는 제 1 보조배선을 형성하는 단계와;
상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 각 화소영역을 둘러싸는 형태를 가지며, 상기 제 1 보조배선을 노출시키는 트렌치를 구비한 뱅크를 형성하는 단계와;
상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와;
상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 제 1 두께를 갖는 제 2 전극을 형성하는 단계와;
상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판의 내측면에 상기 화소영역의 경계에 상기 제 1 방향으로 연장하며 댐 형태를 갖는 돌출패턴을 형성하는 단계와;
상기 돌출패턴 상부 및 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 뱅크에 대응하여 제 2 보조배선을 형성하는 단계와;
상기 제 2 보조배선과 상기 제 2 전극이 접촉하도록 상기 제 1 기판 및 제 2 기판을 합착하는 단계
를 포함하며, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선과 상기 제 2 전극은 서로 전기적으로 연결된 구성을 이루는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
Forming a first electrode for each pixel region on a first substrate on which a display region having a plurality of pixel regions is defined and forming a first auxiliary wiring extending in a first direction at a boundary of the pixel region at the same time ;
Forming a bank having a trench that exposes the first sub-line, the sub-line overlaps the edge of each first electrode in the display region and surrounds each pixel region;
Forming an organic light emitting layer on each of the first electrodes surrounded by the banks;
Forming a second electrode having a first thickness on the entire surface of the display region above the organic light emitting layer;
Forming a protruding pattern extending in the first direction and having a dam shape on the inner surface of the second substrate facing the first substrate at the boundary of the pixel region;
Forming a second auxiliary wiring corresponding to the bank on the protruding pattern and the inner surface of the second substrate;
Attaching the first substrate and the second substrate so that the second auxiliary wiring and the second electrode are in contact with each other;
Wherein the first auxiliary wiring and the second electrode are electrically connected to each other within the trench.
제 10 항에 있어서,
상기 돌출패턴이 상기 트렌치 내부로 삽입되도록 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the first and second substrates are bonded together so that the protruding pattern is inserted into the trench.
제 10 항에 있어서,
상기 제 1 전극 위로 상기 유기 발광층을 형성하기 전에 제 1 발광보조층을 형성하고, 상기 유기 발광층 위로 상기 제 2 전극을 형성하기 전에 제 2 발광보조층을 형성하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the first light-emitting auxiliary layer is formed on the first electrode before the organic light-emitting layer is formed, and the second light-emitting auxiliary layer is formed on the organic light-emitting layer before the second electrode is formed on the first electrode. Way.
제 12 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 발광보조층은 각 화소영역별로 분리되도록 형성함으로서, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선은 상기 제 2 전극과 직접 접촉하도록 형성하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
13. The method of claim 12,
Wherein the first and second light-emitting auxiliary layers are formed so as to be separated from each other in each pixel region, so that the first auxiliary wiring is directly in contact with the second electrode in the trench.
제 12 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성하며,
상기 제 2 보조배선의 상기 돌출패턴 상부에 대응되는 부분은 그 표면이 요철구조를 이루도록 형성하며, 상기 트렌치 내부에서 상기 요철구조의 철부가 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 전극의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
13. The method of claim 12,
At least one of the first and second light-emission-assisting layers is formed on the entire surface of the display region,
Wherein a portion of the second auxiliary wiring corresponding to an upper portion of the protruding pattern is formed so as to have a concave-convex structure on its surface, and a convex portion of the concave- convex structure inside the trench is formed in the second electrode and the first and second 2 light-emission-assisting layer and is brought into contact with the surface of the first electrode.
제 12 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성하며,
상기 트렌치 내부에는 상기 제 1 보조배선 및 상기 2 보조배선의 표면과 각각 접촉하며 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하는 형태의 다수의 도전볼이 구비되도록 한 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
13. The method of claim 12,
At least one of the first and second light-emission-assisting layers is formed on the entire surface of the display region,
A plurality of conductive balls contacting the surfaces of the first auxiliary wiring and the second auxiliary wiring and penetrating the first electrode and the second auxiliary light-emitting layer located under the second electrode, Wherein the organic light emitting layer is formed on the substrate.
제 15 항에 있어서,
상기 다수의 도전볼은 상기 제 2 전극을 형성한 후, 잉크젯 장치를 이용하는 상기 트렌치 내부에 상기 제 2 전극 위로 제팅하여 형성하며,
상기 제 1 및 제 2 기판의 합착 시 상기 도전볼이 가입되도록 하여 상기 도전볼이 상기 제 2 전극 및 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 파고들어 상기 제 1 보조배선 및 제 2 보조배선의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the plurality of conductive balls are formed by jetting onto the second electrode in the trench using the inkjet apparatus after forming the second electrode,
The conductive balls may join the first and second substrates so that the conductive balls may penetrate the second electrode and the first and second light emission supporting layers to form the surface of the first and second auxiliary wirings And the second electrode is in contact with the first electrode.
제 10 항에 있어서,
상기 제 2 보조배선은 저 저항 특성을 갖는 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어지며,
상기 제 2 전극은 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고,
상기 제 1 두께는 10 내지 200Å인 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
11. The method of claim 10,
The second auxiliary wiring is made of any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, gold (Au), and silver ,
The second electrode may be formed of any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), and aluminum magnesium alloy And is made of two or more materials,
Wherein the first thickness is 10 to 200 ANGSTROM.
제 10 항에 있어서,

상기 제 1 전극을 형성하기 이전에,
상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 형성된 전원배선과, 상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와, 상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 갖는 보호층을 형성하는 단계를 더욱 포함하며,
상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하도록 형성하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
11. The method of claim 10,

Before forming the first electrode,
A gate line and a data line which are formed in the same layer on which the gate line or the data line is formed; And a drain contact hole covering the switching and driving thin film transistor and exposing a drain electrode of the driving thin film transistor on the entire surface of the display region. The switching thin film transistor is connected to the switching thin film transistor, And forming a protective layer having a first protective layer,
Wherein the first electrode is formed in the pixel region so as to be in contact with the drain electrode of the driving thin film transistor through the drain contact hole over the protective layer.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190037603A (en) * 2017-09-29 2019-04-08 엘지디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode lighting apparatus
CN110364553A (en) * 2018-04-09 2019-10-22 三星显示有限公司 Organic LED display device
KR20200042063A (en) * 2018-10-12 2020-04-23 삼성디스플레이 주식회사 Display device and manufacturing method for the display device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230089624A (en) * 2021-12-13 2023-06-21 삼성디스플레이 주식회사 Display device and method for manufacturing the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005149800A (en) * 2003-11-12 2005-06-09 Sony Corp Display device and manufacturing method of the same
JP2006278212A (en) * 2005-03-30 2006-10-12 Seiko Epson Corp Light-emitting device and manufacturing method thereof, and electronic equipment
JP2007103098A (en) * 2005-09-30 2007-04-19 Seiko Epson Corp Method of manufacturing organic electroluminescent device, organic electroluminescent device, and electronic apparatus
JP2012216522A (en) * 2011-03-30 2012-11-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light-emitting device, and method of manufacturing the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005149800A (en) * 2003-11-12 2005-06-09 Sony Corp Display device and manufacturing method of the same
JP2006278212A (en) * 2005-03-30 2006-10-12 Seiko Epson Corp Light-emitting device and manufacturing method thereof, and electronic equipment
JP2007103098A (en) * 2005-09-30 2007-04-19 Seiko Epson Corp Method of manufacturing organic electroluminescent device, organic electroluminescent device, and electronic apparatus
JP2012216522A (en) * 2011-03-30 2012-11-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light-emitting device, and method of manufacturing the same

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190037603A (en) * 2017-09-29 2019-04-08 엘지디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode lighting apparatus
CN110364553A (en) * 2018-04-09 2019-10-22 三星显示有限公司 Organic LED display device
CN110364553B (en) * 2018-04-09 2024-02-23 三星显示有限公司 Organic light emitting diode display device
KR20200042063A (en) * 2018-10-12 2020-04-23 삼성디스플레이 주식회사 Display device and manufacturing method for the display device
US11877469B2 (en) 2018-10-12 2024-01-16 Samsung Display Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof

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