KR102122401B1 - Organic electro luminescent device and method of fabricating the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 형성된 제 1 전극과; 상기 화소영역의 경계에 제 1 방향으로 연장하며 형성된 제 1 보조배선과; 상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 각 화소영역을 둘러싸는 형태로 형성되며, 상기 제 1 보조배선을 노출시키는 트렌치를 구비한 뱅크와; 상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 제 1 두께를 가지며 형성된 제 2 전극과; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판과; 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 화소영역의 경계에 상기 제 1 방향으로 연장하며 댐 형태를 갖는 돌출패턴과; 상기 돌출패턴 상부 및 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 뱅크에 대응하여 형성된 제 2 보조배선을 포함하며, 상기 제 1 및 2 보조배선과 상기 제 2 전극은 상기 트렌치 내부에서 서로 전기적으로 연결된 구성을 이루는 것이 특징인 유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법을 제공한다.The present invention includes a first substrate in which a display area having a plurality of pixel areas is defined; A first electrode formed for each pixel region on the first substrate; A first auxiliary wiring formed extending in a first direction to a boundary of the pixel region; A bank having a trench overlapping the edge of each first electrode in the display area and surrounding each pixel area, and having a trench exposing the first auxiliary wiring; An organic emission layer formed on each of the first electrodes surrounded by the bank; A second electrode formed over the organic emission layer and having a first thickness on the entire surface of the display area; A second substrate facing the first substrate; A protruding pattern extending in the first direction at a boundary of the pixel region on an inner surface of the second substrate and having a dam shape; A second auxiliary wiring formed corresponding to the bank on the inner surface of the protruding pattern and the second substrate, wherein the first and second auxiliary wirings and the second electrode are electrically connected to each other in the trench. It provides an organic electroluminescent device characterized in that it comprises and a manufacturing method thereof.
Description
본 발명은 유기전계 발광소자(organic electro luminescent device)에 관한 것이며, 특히 상부발광 방식의 구조에서 저저항 특성을 유지하면서도 캐소드 전극의 투과율을 향상시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device capable of improving the transmittance of the cathode electrode while maintaining low resistance characteristics in the structure of the top emission method and a method of manufacturing the same. .
평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display)중 하나인 유기전계 발광소자는 높은 휘도와 낮은 동작 전압 특성을 갖는다. 또한 스스로 빛을 내는 자체발광형이기 때문에 명암대비(contrast ratio)가 크고, 초박형 디스플레이의 구현이 가능하며, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도로 동화상 구현이 쉽고, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 직류 5 내지 15V의 낮은 전압으로 구동하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하다.An organic light emitting device, which is one of flat panel displays (FPDs), has high luminance and low operating voltage characteristics. In addition, because it is a self-emission type that emits light on its own, it has a large contrast ratio, and it is possible to implement an ultra-thin display, and it has a response time of several microseconds. , And is driven with a low voltage of 5 to 15 V DC, making it easy to manufacture and design a driving circuit.
또한, 상기 유기전계 발광소자의 제조공정은 증착(deposition) 및 인캡슐레이션(encapsulation) 장비가 전부라고 할 수 있기 때문에 제조 공정이 매우 단순하다. In addition, the manufacturing process of the organic light emitting device is very simple since the deposition and encapsulation equipment can be said to be all.
따라서, 전술한 바와 같은 장점을 갖는 유기전계 발광소자는 최근에는 TV, 모니터, 핸드폰 등 다양한 IT기기에 이용되고 있다. Therefore, the organic light emitting device having the above-described advantages has been recently used in various IT devices such as TVs, monitors, and mobile phones.
이하, 유기전계 발광 소자의 기본적인 구조에 대해서 조금 더 상세히 설명한다. Hereinafter, the basic structure of the organic light emitting device will be described in more detail.
유기전계 발광소자는 크게 어레이 소자와 유기전계 발광 다이오드로 이루지고 있다. 상기 어레이 소자는 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 유기전계 발광 다이오드와 연결된 구동 박막트랜지스터로 이루어지며, 상기 유기전계 발광 다이오드는 상기 구동 박막트랜지스터와 연결된 제 1 전극과 유기 발광층 및 제 2 전극으로 이루어지고 있다.The organic light emitting device is mainly composed of an array device and an organic light emitting diode. The array element is composed of a switching thin film transistor connected to a gate and a data line, a driving thin film transistor connected to the organic light emitting diode, and the organic light emitting diode comprises a first electrode and an organic light emitting layer and a second connected to the driving thin film transistor. It is made of electrodes.
이러한 구성을 갖는 유기전계 발광소자는 상기 유기 발광층으로부터 발생된 빛은 상기 제 1 전극 또는 제 2 전극을 향해 출사됨으로써 화상을 표시하게 된다. 이러한 유기전계 발광소자는 개구율 등을 고려할 때, 통상 상기 제 2 전극을 향해 출사되는 빛을 이용하여 화상을 표시하는 상부 발광 방식으로 제조되고 있다.In the organic light emitting device having such a configuration, light generated from the organic light emitting layer is emitted toward the first electrode or the second electrode to display an image. When considering the aperture ratio or the like, such an organic electroluminescent device is usually manufactured by an upper emission method in which an image is displayed using light emitted toward the second electrode.
하지만, 유기전계 발광소자 제조 특성 상, 유기 발광층 상부에 위치하는 제 2 전극은 상기 유기 발광층의 손상 방지를 위해 일반적인 금속물질의 증착법인 스퍼터링법에 의해 형성될 수 없으며, 따라서 유기 발광층에 거의 손상을 주지 않는 진공 열 증착에 의해 형성되고 있는 실정이다.However, due to the characteristics of the manufacturing of the organic light emitting device, the second electrode positioned on the organic light emitting layer cannot be formed by sputtering, which is a general metal material deposition method, to prevent damage to the organic light emitting layer. Therefore, the organic light emitting layer is hardly damaged. It is a situation that is formed by vacuum thermal vapor deposition which is not given.
한편, 상기 제 1 전극은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 이루어지고 있으며, 제 2 전극은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 낮은 금속물질로서 이루어지고 있다. On the other hand, the first electrode is made of indium-tin-oxide (ITO), a transparent conductive material having a high work function value to serve as an anode electrode, and the second electrode has a low work function value to serve as a cathode electrode. It is made of metal.
그러나, 캐소드 전극의 역할을 하는 상기 제 2 전극을 이루는 일함수 값이 낮은 금속물질은 불투명한 특성을 가지므로, 이러한 불투명한 금속을 일반적인 전극의 두께를 갖도록 즉, 1000Å 내지 4000Å의 두께로 형성하면 빛이 투과할 수 없다. However, since the metal material having a low work function value constituting the second electrode serving as a cathode electrode has an opaque characteristic, when such an opaque metal is formed to have a thickness of a general electrode, that is, a thickness of 1000 mm to 4000 mm. Light cannot transmit.
따라서, 낮은 일함수 값을 가지며 불투명한 금속물질로 이루어진 제 2 전극은 투명성을 확보하기 위해 불투명한 금속물질로 이루어지는 하부층을 10Å 내지 200Å정도의 두께를 갖도록 형성하고 있다. Therefore, a second electrode made of an opaque metal material having a low work function value is formed to have a thickness of about 10 mm to 200 mm of the lower layer made of the opaque metal material to ensure transparency.
이 경우, 상기 제 2 전극의 빛 투과도는 15% 이상이 되므로 일반적인 표시장치의 휘도 수준이 되고 있다. In this case, since the light transmittance of the second electrode is 15% or more, it is a luminance level of a general display device.
하지만, 상기 제 2 전극을 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 형성하면, 그 면저항이 20Ω/□ 내지 1000Ω/□이 되며, 이 경우 상기 제 2 전극 자체의 면 저항이 높아 위치별 전압 강하 값이 차이가 커 최종적으로는 휘도 불균일 현상이 발생됨으로서 유기전계 발광소자의 표시품질을 저하시키는 문제가 발생되고 있다.However, when the second electrode is formed to have a thickness of about 10 Å to 200 면, the sheet resistance becomes 20 Ω/□ to 1000 ,/□, and in this case, the surface resistance of the second electrode itself is high, so the voltage drop value for each location is different. As a result, luminance unevenness is finally generated, which causes a problem of deteriorating the display quality of the organic EL device.
또한, 상기 제 2 전극의 높은 면적항에 의해 유기전계 발광소자 자체의 구동전압이 상대적으로 커지게 되므로 단위 시간당 소비전력이 증가되며 됨으로써 특히, 개인용 휴대 IT기기에 적용 시 빠른 배터리 소비를 야기시키는 문제가 발생되고 있는 실정이다.
In addition, the driving voltage of the organic light emitting device itself is relatively increased due to the high area term of the second electrode, and thus the power consumption per unit time is increased, which causes a rapid battery consumption, especially when applied to a personal portable IT device. Is the situation that is occurring.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 상부 발광 방식의 유기전계 발광 소자에 있어 유기 발광층 상부에 형성되어 캐소드 전극의 역할을 하는 제 2 전극의 저항을 낮추며 동시에 투과율을 향상시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention has been devised to solve the above problems, and it is formed on the organic light emitting layer of the organic light emitting device of the upper emission method to lower the resistance of the second electrode serving as the cathode electrode and at the same time improve the transmittance of the organic An object of the present invention is to provide an electroluminescent device and a method for manufacturing the same.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자는, 수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 형성된 제 1 전극과; 상기 화소영역의 경계에 제 1 방향으로 연장하며 형성된 제 1 보조배선과; 상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 각 화소영역을 둘러싸는 형태로 형성되며, 상기 제 1 보조배선을 노출시키는 트렌치를 구비한 뱅크와; 상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 제 1 두께를 가지며 형성된 제 2 전극과; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판과; 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 화소영역의 경계에 상기 제 1 방향으로 연장하며 댐 형태를 갖는 돌출패턴과; 상기 돌출패턴 상부 및 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 뱅크에 대응하여 형성된 제 2 보조배선을 포함하며, 상기 제 1 및 2 보조배선과 상기 제 2 전극은 상기 트렌치 내부에서 서로 전기적으로 연결된 구성을 이루는 것이 특징이다.An organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, a first substrate is defined a display area having a number of pixel areas; A first electrode formed for each pixel region on the first substrate; A first auxiliary wiring formed extending in a first direction to a boundary of the pixel region; A bank having a trench overlapping the edge of each first electrode in the display area and surrounding each pixel area, and having a trench exposing the first auxiliary wiring; An organic emission layer formed on each of the first electrodes surrounded by the bank; A second electrode formed over the organic emission layer and having a first thickness on the entire surface of the display area; A second substrate facing the first substrate; A protruding pattern extending in the first direction at a boundary of the pixel region on an inner surface of the second substrate and having a dam shape; A second auxiliary wiring formed corresponding to the bank on the inner surface of the protruding pattern and the second substrate, wherein the first and second auxiliary wirings and the second electrode are electrically connected to each other in the trench. It is characterized by achieving.
이때, 상기 돌출패턴은 상기 트렌치 내부로 삽입되는 것이 특징이다.At this time, the protruding pattern is characterized in that it is inserted into the trench.
그리고 상기 제 1 전극과 상기 유기 발광층 사이에는 제 1 발광보조층이 형성되며, 상기 유기 발광층과 상기 제 2 전극 사이에는 제 2 발광보조층이 형성될 수 있으며, 이때, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층은 각 화소영역별로 분리 형성되며, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선은 상기 제 2 전극과 직접 접촉하는 것이 특징이다.In addition, a first light-emitting auxiliary layer may be formed between the first electrode and the organic light-emitting layer, and a second light-emitting auxiliary layer may be formed between the organic light-emitting layer and the second electrode, wherein the first and second light-emitting layers are formed. The auxiliary layer is formed separately for each pixel region, and the first auxiliary wiring is in direct contact with the second electrode in the trench.
또한, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성되며, 이때, 상기 제 2 보조배선은 상기 돌출패턴 상부에 대응되는 부분은 그 표면이 요철구조를 이루며, 상기 트렌치 내부에서 상기 요철구조의 철부가 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 전극의 표면과 접촉하거나, 또는 상기 트렌치 내부에는 상기 제 1 보조배선 및 상기 2 보조배선의 표면과 각각 접촉하며 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하는 형태의 다수의 도전볼이 구비된 것이 특징이다.In addition, at least one layer of the first and second light-emitting auxiliary layers is formed on the front surface of the display area, and in this case, the second auxiliary wiring has an uneven structure on the surface corresponding to the upper portion of the protrusion pattern. , The concave-convex portion of the concavo-convex structure in the trench penetrates the second electrode and the first and second light-emitting auxiliary layers positioned below and contacts the surface of the first electrode, or the inside of the trench It is characterized in that a plurality of conductive balls in contact with the surfaces of the first auxiliary wiring and the second auxiliary wiring and penetrating the first electrode and the second light-emitting auxiliary layer positioned below the second electrode are provided.
한편, 상기 제 1 보조배선은 상기 제 1 전극과 동일한 물질로 이루어지며, 상기 제 2 보조배선은 저 저항 특성을 갖는 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어지고, 상기 제 2 전극은 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고, 상기 제 1 두께는 10 내지 200Å인 것이 특징이다.Meanwhile, the first auxiliary wiring is made of the same material as the first electrode, and the second auxiliary wiring is a metal material having low resistance properties such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), and copper. Made of any one of alloy, gold (Au), silver (Ag), and the second electrode is aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), which is a metal material having a relatively low work function value. It is made of any one or more materials of magnesium (Mg), gold (Au), aluminum magnesium alloy (AlMg), and the first thickness is characterized by being 10 to 200 mm 2.
나아가 상기 제 1 전극 하부로, 상기 제 1 기판 상에는 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 이들 배선과 나란하게 이격하며 형성된 전원배선과; 상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와; 상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키며 형성된 보호층을 포함하며, 상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 형성된 것이 특징이다.Further, a gate and a data line below the first electrode and crossing each other on the first substrate to define the pixel area; A power wiring formed spaced apart from these wiring in parallel on the same layer on which the gate wiring or data wiring is formed; A switching thin film transistor provided in each pixel region and connected to the gate wiring and the data wiring, and a driving thin film transistor connected to the power supply wiring and the switching thin film transistor; And a protective layer formed by exposing the switching and driving thin film transistors on the front surface of the display area and exposing the drain electrode of the driving thin film transistor, wherein the first electrode is disposed in the pixel region over the protective layer in the pixel region. It is characterized by being formed in contact with the drain electrode.
본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법은, 다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 제 1 전극을 형성하고, 동시에 상기 화소영역의 경계에 제 1 방향으로 연장하는 제 1 보조배선을 형성하는 단계와; 상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 각 화소영역을 둘러싸는 형태를 가지며, 상기 제 1 보조배선을 노출시키는 트렌치를 구비한 뱅크를 형성하는 단계와; 상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 제 1 두께를 갖는 제 2 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판의 내측면에 상기 화소영역의 경계에 상기 제 1 방향으로 연장하며 댐 형태를 갖는 돌출패턴을 형성하는 단계와; 상기 돌출패턴 상부 및 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 뱅크에 대응하여 제 2 보조배선을 형성하는 단계와; 상기 제 2 보조배선과 상기 제 2 전극이 접촉하도록 상기 제 1 기판 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하며, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선과 상기 제 2 전극은 서로 전기적으로 연결된 구성을 이루는 것이 특징이다.In the method of manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention, a first electrode is formed for each pixel area on a first substrate on which a display area having a plurality of pixel areas is defined, and at the same time, a boundary of the pixel area Forming a first auxiliary wiring extending in a first direction in; Forming a bank having a trench overlapping the edge of each first electrode in the display area and surrounding each pixel area, and having a trench exposing the first auxiliary wiring; Forming an organic emission layer on each of the first electrodes surrounded by the bank; Forming a second electrode having a first thickness on the entire surface of the display area over the organic emission layer; Forming a protruding pattern having a dam shape extending in the first direction at a boundary of the pixel region on an inner surface of a second substrate facing the first substrate; Forming a second auxiliary wiring corresponding to the bank on the protruding pattern and the inner surface of the second substrate; And bonding the first substrate and the second substrate so that the second auxiliary wiring and the second electrode contact each other, wherein the first auxiliary wiring and the second electrode are electrically connected to each other in the trench. It is characterized by achieving.
이때, 상기 돌출패턴이 상기 트렌치 내부로 삽입되도록 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 것이 특징이다.At this time, the first and second substrates are bonded so that the protruding pattern is inserted into the trench.
그리고 상기 제 1 전극 위로 상기 유기 발광층을 형성하기 전에 제 1 발광보조층을 형성하고, 상기 유기 발광층 위로 상기 제 2 전극을 형성하기 전에 제 2 발광보조층을 형성하는 것이 특징이다.In addition, a first light-emitting auxiliary layer is formed before the organic light-emitting layer is formed on the first electrode, and a second light-emitting auxiliary layer is formed before the second electrode is formed on the organic light-emitting layer.
이때, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층은 각 화소영역별로 분리되도록 형성함으로서, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선은 상기 제 2 전극과 직접 접촉하도록 형성하는 것이 특징이다.In this case, the first and second light-emitting auxiliary layers are formed to be separated for each pixel region, and the first auxiliary wiring is formed to directly contact the second electrode in the trench.
또한, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성할 수도 있으며, 이때, 상기 제 2 보조배선의 상기 돌출패턴 상부에 대응되는 부분은 그 표면이 요철구조를 이루도록 형성하며, 상기 트렌치 내부에서 상기 요철구조의 철부가 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 전극의 표면과 접촉하도록 하거나, 또는 상기 트렌치 내부에는 상기 제 1 보조배선 및 상기 2 보조배선의 표면과 각각 접촉하며 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하는 형태의 다수의 도전볼이 구비되도록 한 것이 특징이다.
In addition, at least one layer of the first and second light-emitting auxiliary layers may be formed on the entire surface of the display area. At this time, the portion corresponding to the upper portion of the protrusion pattern of the second auxiliary wiring has an uneven surface. Or to make the concave-convex portion of the concavo-convex structure penetrate the second electrode and the first and second light-emitting auxiliary layers positioned below it to contact the surface of the first electrode, or In the trench, a plurality of conductive balls in contact with the surfaces of the first auxiliary wiring and the second auxiliary wiring and penetrating the first electrode and the second light-emitting auxiliary layer positioned below the second electrode are provided. It is characteristic.
이때, 상기 다수의 도전볼은 상기 제 2 전극을 형성한 후, 잉크젯 장치를 이용하는 상기 트렌치 내부에 상기 제 2 전극 위로 제팅하여 형성하며, 상기 제 1 및 제 2 기판의 합착 시 상기 도전볼이 가입되도록 하여 상기 도전볼이 상기 제 2 전극 및 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 파고들어 상기 제 1 보조배선 및 제 2 보조배선의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징이다.In this case, the plurality of conductive balls are formed by forming the second electrode and then jetting the second electrode inside the trench using an inkjet device, and the conductive ball joins when the first and second substrates are bonded together. It is characterized in that the conductive ball penetrates the second electrode and the first and second light-emitting auxiliary layers so as to contact the surfaces of the first auxiliary wiring and the second auxiliary wiring.
한편, 상기 제 2 보조배선은 저 저항 특성을 갖는 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어지며, 상기 제 2 전극은 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고, 상기 제 1 두께는 10 내지 200Å인 것이 특징이다.Meanwhile, the second auxiliary wiring is made of any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, gold (Au), and silver (Ag), which are metal materials having low resistance properties. The second electrode is made of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), or aluminum magnesium alloy (AlMg), which are metal materials having relatively low work function values. It is made of any one or more materials, characterized in that the first thickness is 10 to 200 mm 2.
그리고 상기 제 1 전극을 형성하기 이전에, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 형성된 전원배선과, 상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와, 상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 갖는 보호층을 형성하는 단계를 더욱 포함하며, 상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하도록 형성하는 것이 특징이다.
And before forming the first electrode, a gate and data wiring crossing each other on the first substrate to define the pixel region, a power wiring formed on the same layer on which the gate wiring or data wiring is formed, and each A driving thin film transistor provided in the pixel region, connected to the gate wiring and the data wiring, a driving thin film transistor connected to the power supply wiring and the switching thin film transistor, and the driving thin film covering the switching and driving thin film transistors in front of the display area And forming a protective layer having a drain contact hole exposing the drain electrode of the transistor, wherein the first electrode is a drain electrode of the driving thin film transistor through the drain contact hole in each pixel region over the protective layer. It is characterized in that it is formed to contact with.
본 발명에 따른 유기전계 발광 소자는, 제 1 기판에 있어 상대적으로 낮은 일함수 값을 갖는 저 금속물질로 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 가지며 캐소드 전극의 역할을 하는 제 2 전극을 형성함으로서 투명성을 확보하며, 나아가 표시영역 대응하여 저저항 금속물질로 게이트 배선과 중첩하는 형태로 제 1 보조배선을 형성하고, 제 2 기판에 있어 각 화소영역의 경계에 대응하여 격자형태의 제 2 보조배선을 형성하며, 상기 제 1 및 제 2 보조배선과 상기 제 2 전극이 접촉하는 상태를 이루도록 함으로서 상기 제 2 전극 자체의 저항 특성을 저감시켜 위치 별 전압 강하를 억제시키는 동시에 전압 강하에 따른 휘도 불균일을 억제하여 표시품질을 향상시키는 효과가 있다.
The organic electroluminescent device according to the present invention is a low metal material having a relatively low work function value in the first substrate and has a thickness of about 10 mm 2 to about 200 mm 2 and forms a second electrode serving as a cathode electrode to ensure transparency. Further, the first auxiliary wiring is formed in a form overlapping the gate wiring with a low-resistance metal material in response to the display area, and the second auxiliary wiring in a lattice form is formed in correspondence with the boundary of each pixel area in the second substrate. , By forming a state in which the first and second auxiliary wirings are in contact with the second electrode, thereby reducing the resistance characteristic of the second electrode itself to suppress the voltage drop for each position and suppressing the luminance unevenness due to the voltage drop. It has the effect of improving quality.
도 1은 일반적인 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 1 기판의 표시영역 일부에 대한 개략적인 평면도로서 뱅크와 제 1 보조배선만을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 2 기판의 표시영역 일부에 대한 개략적인 평면도로서 돌출패턴 및 제 2 보조배선만을 도시한 도며.
도 5는 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.
도 6은 도 4의 절단선 Ⅵ-Ⅵ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 특징적인 구성을 포함하는 제 2 기판의 표시영역 일부를 도시한 단면도.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 특징적인 구성을 포함하는 부분에 대한 단면도.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도.
도 11a 내지 도 11h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 제조 단계별 공정 단면도.
도 12a 내지 도 12b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 제조 단계별 공정 단면도.
도 13a 내지 도 13d는 본 발명의 제 2 실시에에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 2 보조배선을 형성하는 단계별 제조 공정 단면도.
도 14a 내지 14b는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 단면도.1 is a circuit diagram of one pixel of a general organic light emitting device.
2 is a cross-sectional view of a portion of a display area of an organic light emitting device according to a first embodiment of the present invention.
3 is a schematic plan view of a portion of a display area of a first substrate in an organic light emitting diode according to a first embodiment of the present invention, showing only the bank and the first auxiliary wiring.
4 is a schematic plan view of a portion of the display area of the second substrate in the organic light emitting device according to the first embodiment of the present invention, showing only the protruding pattern and the second auxiliary wiring.
5 is a cross-sectional view of a portion cut along the cutting line VV of FIG. 3.
6 is a cross-sectional view of a portion cut along the cutting line VI-VI of FIG. 4;
7 is a cross-sectional view of a portion cut along the cutting line VV of FIG. 3 in the organic light emitting device according to the first embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view showing a part of a display area of a second substrate including a characteristic configuration in an organic light emitting device according to a second embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view of a portion including a characteristic configuration of an organic light emitting device according to a second embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view of a portion of a display area of an organic light emitting device according to a third embodiment of the present invention.
11A to 11H are cross-sectional views of manufacturing steps for a portion of a display area of an organic light emitting diode according to a first embodiment of the present invention.
12A to 12B are cross-sectional views of manufacturing steps for a portion cut along the cutting line VV of FIG. 3 in the organic light emitting device according to the first embodiment of the present invention.
13A to 13D are cross-sectional views of a step-by-step manufacturing process of forming a second auxiliary wiring in the organic light emitting device according to the second embodiment of the present invention.
14A to 14B are process cross-sectional views of manufacturing steps of an organic light emitting device according to a third embodiment of the present invention.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
우선, 유기전계 발광소자의 기본적인 구조 및 동작특성에 대해서 도면을 참조하여 상세히 설명한다. First, the basic structure and operation characteristics of the organic light emitting device will be described in detail with reference to the drawings.
도 1은 일반적인 유기전계 발광소자의 하나의 화소영역에 대한 회로도이다. 1 is a circuit diagram of one pixel area of a general organic light emitting device.
도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자는 각 화소영역(P)이 상기 게이트 배선과 데이터 배선 및 전원배선과, 스위칭(switching) 박막트랜지스터(STr) 및 구동(driving) 박막트랜지스터(DTr), 스토리지 커패시터(StgC) 그리고 유기전계 발광 다이오드(E)를 포함하여 구성되고 있다. As illustrated, in the organic light emitting device, each pixel region P includes the gate wiring, data wiring, and power wiring, switching thin film transistor (STr), and driving thin film transistor (DTr), and storage capacitor. (StgC) and an organic light emitting diode (E).
조금 더 상세히 유기전계 발광소자의 구성에 대해 설명하면, 제 1 방향으로 다수의 게이트 배선(GL)이 이격하며 형성되어 있고, 이러한 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 다수의 데이터 배선(DL)이 일정간격 이격하며 형성되어 있으며, 상기 각 데이터 배선(DL)과 이격하며 전원전압을 인가하기 위한 전원배선(PL)이 형성되어 있다. When explaining the configuration of the organic light emitting device in more detail, a plurality of gate lines GL are formed spaced apart in the first direction, and a plurality of data lines DL are formed in a second direction intersecting the first direction. It is formed spaced apart from each other at regular intervals, and is spaced apart from each of the data lines DL to form a power supply line PL for applying a power supply voltage.
이때, 상기 게이트 배선(GL)과 데이터 배선(DL)에 의해 포획되는 영역을 화소영역(P)이라 정의되고 있다.At this time, a region captured by the gate wiring GL and the data wiring DL is defined as a pixel region P.
한편, 각 화소영역(P) 내부에는 상기 데이터 배선(DL)과 게이트 배선(GL)이 교차하는 부분에는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 형성되어 있으며, 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)와 전기적으로 연결된 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있다. Meanwhile, a switching thin film transistor STr is formed in a portion where each of the pixel regions P intersects with the data wiring DL and the gate wiring GL, and is electrically connected to the switching thin film transistor STr. A thin film transistor DTr is formed.
이때, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 일측 단자인 제 1 전극은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극과 연결되고, 타측 단자인 제 2 전극은 전원배선(PL)과 연결되고 있으며, 이에 의해 상기 전원배선(PL)은 전원전압을 상기 유기전계발광 다이오드(E)로 전달하게 된다. At this time, the first electrode, which is one terminal of the organic light emitting diode E, is connected to the drain electrode of the driving thin film transistor DTr, and the second electrode, which is the other terminal, is connected to the power supply wiring PL. Accordingly, the power supply wiring PL transmits a power supply voltage to the organic light emitting diode E.
또한, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극과 소스 전극 사이에는 스토리지 커패시터(StgC)가 형성되고 있다. In addition, a storage capacitor StgC is formed between the gate electrode and the source electrode of the driving thin film transistor DTr.
따라서, 상기 게이트 배선(GL)을 통해 신호가 인가되면 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 온(on) 되고, 상기 데이터 배선(DL)의 신호가 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극에 전달되어 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 되므로 유기전계발광 다이오드(E)를 통해 빛이 출력된다. Therefore, when a signal is applied through the gate wiring GL, the switching thin film transistor STr is turned on, and the signal of the data wiring DL is transmitted to the gate electrode of the driving thin film transistor DTr, Since the driving thin film transistor DTr is turned on, light is output through the organic light emitting diode E.
이때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 상태가 되면, 상기 전원배선(PL)으로부터 유기전계발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 상기 유기전계발광 다이오드(E)는 그레이 스케일(gray scale)을 구현할 수 있게 된다.At this time, when the driving thin film transistor DTr is turned on, the level of the current flowing from the power supply wiring PL to the organic light emitting diode E is determined, and thereby the organic light emitting diode E Will be able to implement a gray scale.
또한, 상기 스토리지 커패시터(StgC)는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 되었을 때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전압을 일정하게 유지시키는 역할을 함으로써 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 상태가 되더라도 다음 프레임(frame)까지 상기 유기전계발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있게 된다.
In addition, when the switching thin film transistor STr is turned off, the storage capacitor StgC serves to keep the gate voltage of the driving thin film transistor DTr constant, thereby turning off the switching thin film transistor STr. Even in the (off) state, it is possible to maintain a constant level of the current flowing through the organic light emitting diode E until the next frame.
이후에는 이러한 구동에 의해 화상을 표시하는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 구성에 대해 설명한다. Hereinafter, a configuration of an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention for displaying an image by such driving will be described.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도이며, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 1 기판의 표시영역 일부에 대한 개략적인 평면도로서 뱅크와 제 1 보조배선만을 도시하였으며, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 2 기판의 표시영역 일부에 대한 개략적인 평면도로서 돌출패턴 및 제 2 보조배선만을 도시한 것이다. 도 5는 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 단면도로서 보호층 상부의 구성요소만을 도시한 도면이며, 도 6은 도 4의 절단선 Ⅵ-Ⅵ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도로서 보호층 상부의 구성요소만을 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위해 각 화소영역(P) 내에 스위칭 박막트랜지스터 및 구동 박막트랜지스터가 형성될 영역을 소자영역(TrA)이라 정의하였으며, 구동 박막트랜지스터(DTr)는 각 화소영역(P) 별로 형성되지만, 도면에 있어서는 하나의 화소영역(P)에 대해서만 나타내었다. 2 is a cross-sectional view of a portion of the display area of the organic light emitting device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a part of the display area of the first substrate in the organic light emitting device according to the first embodiment of the present invention Only the bank and the first auxiliary wiring are shown as a schematic plan view, and FIG. 4 is a schematic plan view of a portion of the display area of the second substrate in the organic light emitting diode according to the first embodiment of the present invention. Only the second auxiliary wiring is shown. FIG. 5 is a cross-sectional view of a portion cut along the cutting line VV of FIG. 3, and shows only the components on the top of the protective layer, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the portion cut along the cutting line VI-VI of FIG. 4 It is a view showing only the components on the top of the protective layer, and FIG. 7 is a cross-sectional view of a portion cut along the cutting line VV of FIG. 3 in the organic light emitting device according to the first embodiment of the present invention. In this case, for convenience of description, a region in which the switching thin film transistor and the driving thin film transistor are to be formed in each pixel region P is defined as an element region TrA, and the driving thin film transistor DTr is formed for each pixel region P. However, only one pixel area P is shown in the drawing.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E)와, 상기 게이트 배선이 연장하는 방향으로 각 화소영역(P)의 경계에 대응하여 저 저항 특성을 갖는 금속물질로 이루어진 제 1 보조배선(148)이 형성된 제 1 기판(110)과, 각 화소영역(P)의 경계에 격자형태의 제 2 보조배선(175)이 구비되며 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 보호 및 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)이 서로 대면하여 합착됨으로서 이루어지고 있다.As illustrated, the organic
우선, 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E)가 구비된 제 1 기판(110)의 구성에 대해 설명한다.First, the configuration of the
상기 제 1 기판(110) 상에는 각 화소영역(P) 내에 순수 폴리실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널이 형성되는 제 1 영역(113a), 그리고 상기 제 1 영역(113a) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 제 2 영역(113b)으로 구성된 반도체층(113)이 형성되어 있다. On the
상기 반도체층(113)과 상기 제 1 기판(110) 사이에는 전면에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)으로 이루어진 버퍼층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. A buffer layer (not shown) made of an inorganic insulating material, for example, silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx), may be further formed between the
상기 버퍼층(미도시)은 상기 반도체층(113)의 결정화시 상기 제 1 기판(110) 내부로부터 나오는 알카리 이온의 방출에 의한 상기 반도체층(113)의 특성 저하를 방지하기 위함이다. The buffer layer (not shown) is to prevent degradation of characteristics of the
또한, 상기 반도체층(113)을 덮으며 전면에 게이트 절연막(116)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(116) 위로는 상기 반도체층(113)의 제 1 영역(113a)에 대응하여 게이트 전극(120)이 형성되어 있다. In addition, a
그리고 상기 게이트 절연막(116) 위로는 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 게이트 전극(미도시)과 연결되며 일 방향으로 연장하며 게이트 배선(미도시)이 형성되어 있다. 이때, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)를 이루는 게이트 전극(120, 미도시)과 게이트 배선(미도시)은 저저항 특성을 갖는 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 몰리브덴(Mo), 몰리브덴합금(MoTi) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어져 단일층 또는 다중층 구조를 이룬다.In addition, the
또한, 상기 게이트 전극(120, 미도시)과 게이트 배선(미도시) 위로 전면에 층간절연막(123)이 형성되어 있다. 이때, 상기 층간절연막(123)과 그 하부의 게이트 절연막(116)은 상기 제 1 영역(113a) 양측면에 위치한 상기 제 2 영역(113b) 각각을 노출시키는 반도체층 콘택홀(125)이 형성되어 있다. In addition, an
다음, 상기 반도체층 콘택홀(125)을 포함하는 층간절연막(123) 상부에는 상기 게이트 배선(미도시)과 교차하여 각 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(130)이 형성되고 있다. Next, on the
또한, 상기 층간절연막(123) 위로 각 구동영역(DA) 및 스위칭 영역(미도시)에는 각각 서로 이격하며 상기 반도체층 콘택홀(125)을 통해 노출된 제 2 영역(113b)과 각각 접촉하며 소스 및 드레인 전극(133, 136)이 형성되어 있다. In addition, the driving region DA and the switching region (not shown) above the
이때, 상기 소스 및 드레인 전극(133, 136)과, 이들 전극(133, 136)과 접촉하는 제 2 영역(113b)을 포함하는 반도체층(113)과, 상기 반도체층(113) 상부에 형성된 게이트 절연막(116) 및 게이트 전극(120)은 각각 구동 박막트랜지스터(DTr) 및 스위칭 박막트랜지스터(미도시)를 이룬다. At this time, a
상기 데이터 배선(130)과 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(133, 136) 또한 저저항 특성을 갖는 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 몰리브덴(Mo), 몰리브덴합금(MoTi) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어져 단일층 또는 다중층 구조를 이룬다.Source and
한편, 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)와 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(130)과 전기적으로 연결되고 있으며, 상기 데이터 배선(130)은 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 소스 전극(미도시)과 연결되며, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)는 상기 전원배선(미도시)과 유기전계 발광 다이오드(E)와 연결되고 있다. Meanwhile, the switching thin film transistor (not shown) is electrically connected to the driving thin film transistor DTr and the gate wiring (not shown) and the data wiring 130, and the data wiring 130 is the switching thin film transistor ( It is connected to the source electrode (not shown) of the (not shown), the driving thin film transistor (DTr) is connected to the power supply wiring (not shown) and the organic light emitting diode (E).
본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)에 있어서는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr) 및 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 폴리실리콘의 반도체층(113)을 가지며 탑 게이트 타입(Top gate type)으로 구성된 것을 일례로 보이고 있지만, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)는 비정질 실리콘의 반도체층(도 3의 220) 또는 산화물 반도체 물질로 이루어진 반도체층(320)을 갖는 보텀 게이트 타입(Bottom gate type)으로 구성될 수도 있다. In the organic
상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터가 보텀 게이트 타입으로 구성되는 경우, 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 순수 비정질 실리콘의 액티브층과 서로 이격하며 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층으로 이루어진 반도체층과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극의 적층구조를 갖거나, 또는 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 산화물 반도체층과, 에치스토퍼와, 상기 에치스토퍼 상에서 서로 이격하며 각각 상기 산화물 반도체층과 접촉하는 소스 및 드레인 전극의 적층구조를 갖는다.When the driving and switching thin film transistor is composed of a bottom gate type, a gate electrode, a gate insulating film, a semiconductor layer made of an ohmic contact layer of impurity amorphous silicon, spaced apart from each other, and a source layer spaced apart from the active layer of pure amorphous silicon And a stacked structure of a drain electrode, or a stacked structure of a source electrode and a drain electrode spaced apart from each other on the gate electrode, the gate insulating film, the oxide semiconductor layer, the etch stopper, and the etch stopper, respectively. Have
이러한 보텀 게이트 타입의 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)가 형성된 제 1 기판(110)의 경우, 상기 게이트 배선은 상기 게이트 전극이 형성된 동일한 층에 상기 스위칭 박막트랜지스터의 게이트 전극과 연결되도록 형성되며, 상기 데이터 배선은 상기 스위칭 박막트랜지스터의 소스 전극이 형성된 동일한 층에 상기 소스 전극과 연결되도록 형성된 구성을 이루게 된다.In the case of the
한편, 도 2를 참조하면, 비록 도면에 나타나지 않았지만, 상기 게이트 배선(미도시)이 형성된 동일한 층 또는 상기 데이터 배선(130)이 형성된 동일한 층에는 전원배선(미도시)이 형성되고 있으며, 이러한 전원배선(미도시)은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 일 전극과 연결되고 있다. On the other hand, referring to FIG. 2, although not shown in the drawing, power wiring (not shown) is formed on the same layer on which the gate wiring (not shown) is formed or on the same layer on which the data wiring 130 is formed. The wiring (not shown) is connected to one electrode of the driving thin film transistor DTr.
또한, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시) 위로는 상기 제 1 기판(110) 전면에 그 표면이 평탄화된 특성을 갖는 보호층(140)이 형성되어 있다. 이때, 상기 보호층(140)에는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)이 형성되어 있다. In addition, a
상기 드레인 콘택홀(143)을 구비한 보호층(140) 위로는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 상기 드레인 콘택홀(143)을 통해 접촉되며, 각 화소영역(P) 별로 제 1 전극(147)이 형성되어 있다. The
이러한 제 1 전극(147)은 이중층 구조로서 상부층(147b)은 애노드 전극의 역할을 하며, 하부층(147a)은 반사판의 역할을 하도록 형성된다. The
즉, 상기 제 1 전극(147)의 상부층(147b)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지고 있으며, 상기 제 1 전극(147)의 하부층(147a)은 반사효율이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로 이루어짐으로써 상기 제 1 전극(147) 상부에 형성되는 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛을 상부로 반사시켜 재활용함으로서 발광효율을 향상시키는 역할을 하게 된다.That is, the
본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 상부발광 방식이 되고 있으며, 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛 중 상기 제 1 기판(110) 쪽으로 출사되는 빛은 실질적으로 사용자가 느끼지 못하며, 사라지게 되므로 이러한 빛을 재활용함으로서 휘도 특성을 향상시키고 나아가 제조공정 단순화를 구현할 수 있도록 상기 제 1 전극(147)을 반사 능력이 우수한 금속물질로 이루어진 하부층(147a)을 포함하여 이중층 구조를 갖도록 형성한 것이다.The organic
이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)에 있어서, 가장 특징적인 구성 중 하나로서 상기 보호층(140) 위로 상기 각 화소영역(P)의 경계 중 상기 게이트 배선(미도시)이 형성된 부분과 더불어 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시. DTr)가 형성된 부분에 대응하여 상기 제 1 전극(110)을 이루는 동일한 금속물질로 이루어진 제 1 보조배선(148)이 형성되고 있다.At this time, in the organic
이러한 제 1 보조배선(148)은 상기 게이트 배선(미도시)과 같이 제 1 방향으로만 연장하는 형태를 이루며 표시영역에 있어서는 서로 이격하며 형성되고 있지만, 표시영역 외측의 비표시영역에 있어서 연결된 구성을 이룸으로서 실질적으로 제 1 기판(110) 상에서는 모두 연결된 형태를 이룬다.The first
이러한 제 1 보조배선(148)은 상기 각 화소영역(P) 내에 형성되는 제 1 전극(147)과 이격하여 형성되는 것이 특징이며, 반드시 이중층 구조를 이룰 필요는 없으며 저저항 금속물질만으로 이루어진 단일층 구조를 이룰 수도 있다.The first
도면에 있어서는 상기 제 1 보조배선(148)은 제 1 전극(147)과 동일하게 이중층 구조를 이루는 것을 일례로 나타내었다. In the drawing, the first
다음, 상기 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147) 및 제 1 보조배선(148) 위로 각 화소영역(P)의 경계에는 각 화소영역(P)을 둘러싸는 형태로 상기 제 1 전극(147)의 테두리부와 중첩하는 동시에 상기 제 1 보조배선(148)과는 완전 중첩하며 상기 제 1 전극(147)의 중앙부를 노출시키며 뱅크(150)가 형성되어 있다. Next, at the boundary of each pixel area P over the
상기 뱅크(150)는 일반적인 투명한 유기절연물질 예를들면 폴리이미드(poly imide), 포토아크릴(Photo Acryl), 벤조사이클로뷰텐(BCB) 중 어느 하나로 이루어질 수도 있으며, 또는 블랙을 나타내는 물질 예를들면 블랙수지로 이루어질 수도 있다. The
이러한 뱅크(150)는 표시영역에 있어서 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자형태를 이루며, 나아가 상기 뱅크(150)에는 상기 제 1 보조배선(148)이 형성된 부분에 대해서는 상기 제 1 보조배선(148)의 노출시키며 트렌치(tch)가 구비되고 있는 것이 특징이다.The
한편, 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 각 화소영역(P)에 있어 상기 제 1 전극(147) 위로는 적, 녹, 청색 중 어느 하나의 색을 발광하는 것을 특징으로 하는 유기 발광층(155)이 형성되고 있다. On the other hand, in each pixel area P surrounded by the
이때, 상기 유기 발광층(155)은 전술한 적, 녹, 청색을 발광하는 발광 물질 이외에 화이트를 발광하는 물질로 이루어진 것을 더욱 포함하여 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하는 구성을 이룰 수도 있다. In this case, the organic
도면에 있어서는 일례로 적, 녹, 청색을 발광하는 유기 발광층(155)이 형성된 것을 도시하였다.In the drawing, for example, an organic
상기 유기 발광층(155) 상부에는 상기 표시영역 전면에는 캐소드 전극의 역할을 하며 투명성을 유지하는 것을 특징으로 하는 제 2 전극(158)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 전극(147, 158)과 그 사이에 형성된 유기 발광층(155)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루게 된다.A
그리고 상기 제 2 전극(158)은 상기 뱅크(150)에 구비된 트렌치(tch)를 통해서 노출된 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하는 구성을 이루는 것이 특징이다.In addition, the
한편, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 제 1 전극(147)과 유기 발광층(155) 사이 및 상기 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158) 사이에는 각각 상기 유기 발광층(155)의 발광 효율 향상을 위해 다층 구조의 제 1 발광보상층(미도시)과 제 2 발광보상층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. On the other hand, although not shown in the drawing, between the
이때, 다층의 상기 제 1 발광보상층(미도시)은 상기 제 1 전극(147)으로부터 순차 적층되며 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)으로 이루어질 수 있으며, 상기 제 2 발광보상층(미도시)은 상기 유기 발광층(155)으로부터 순차 적층되며 전자수송층(electron transporting layer)과 전자주입층(electron injection layer)으로 이루어질 수 있다.At this time, the multilayer first emission compensation layer (not shown) is sequentially stacked from the
이때, 상기 제 1 발광보상층(미도시)과 제 2 발광보상층(미도시)은 이중층 구조를 이루는 것을 일례로 나타내었지만, 반드시 이중층 구조를 이룰 필요는 없다. 즉 상기 제 1 발광보상층(미도시)은 정공주입층 또는 정공수송층이 되어 단일층 구조를 이룰 수도 있고, 상기 제 2 발광보상층(미도시) 또한 전자주입층 또는 전자수송층이 되어 단일층 구조를 이룰 수도 있다.At this time, the first light-emitting compensation layer (not shown) and the second light-emitting compensation layer (not shown) are shown as an example of forming a double-layer structure, but it is not necessary to form a double-layer structure. That is, the first light emitting compensation layer (not shown) may be a hole injection layer or a hole transport layer to form a single layer structure, and the second light emitting compensation layer (not shown) may also be an electron injection layer or electron transport layer to form a single layer structure. You can also achieve
더불어 상기 제 1 발광보상층(미도시)은 전자블록킹층이 더욱 포함될 수도 있으며, 상기 제 2 발광보상층(미도시)은 정공블록킹층이 더욱 포함될 수도 있다. In addition, the first light emitting compensation layer (not shown) may further include an electron blocking layer, and the second light emitting compensation layer (not shown) may further include a hole blocking layer.
한편, 상기 유기 발광층(155) 상부에 형성된 상기 제 2 전극(158)은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고 있다.Meanwhile, the
이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)가 상부발광 방식으로 구동되는 특성 상 상기 제 2 전극(158)은 빛의 투과가 원활하게 이루어져 투광성이 유지되는 두께인 10Å 내지 200Å 정도가 되는 것이 특징이다. At this time, the
한편, 캐소드 전극의 역할을 하는 상기 제 2 전극(158)은 상부발광 방식의 유기전계 발광소자(101) 특성 상 투광성 유지를 위해 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 형성되는 경우, 일반적인 전극으로서의 역할을 하기 위한 충분한 두께가 되지 않으므로 면저항이 증가하여 위치별로 전압 강하량이 틀려 최종적으로는 유기 발광층(155)으로부터의 발광된 빛의 휘도 특성을 다르게 함으로서 위치별 휘도 불균일 현상이 초래된다.On the other hand, the
즉, 상기 제 2 전극(158)은 표시영역 전면에 형성되며 상기 제 2 전극(158)으로의 신호전압은 표시영역 외측의 비표시영역에 구비된 배선을 통해 이루어지게 되므로 신호전압이 최초 인가되는 부분을 기준으로 거리차에 의해 전압 강하량의 차이가 발생되며, 특히 표시영역의 자장자리 부분과 중앙부에서의 전압 강하량이 큰 차이를 갖게 됨으로서 휘도 불균일 현상이 발생된다.That is, since the
따라서 이러한 휘도 불균일 현상 억제를 위해 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 상기 제 2 전극(158)의 접촉하며 저저항 금속물질로 이루어진 제 1 보조배선(148)이 더욱 구비됨으로서 상기 제 2 전극(158) 자체의 큰 면 저항에 기인하는 휘도 불균일 현상을 억제할 수 있는 것이다. Therefore, in order to suppress the luminance non-uniformity phenomenon, the
나아가 이러한 제 2 전극(158)의 큰 면 저항에 기인하는 휘도 불량 현상을 더욱 억제시키고자 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자는 제 2 기판(170)의 내측면에 격자형태의 제 2 보조배선(175)이 더욱 구비되고 있는 것이 또 다른 특징이다. Furthermore, in order to further suppress the luminance defect caused by the large surface resistance of the
이러한 구성을 갖는 제 2 기판(170)의 구성에 대해 설명한다.The configuration of the
본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제 2 기판(170)에는 상기 제 1 기판(110)에 있어 뱅크(150)에 구비된 트렌치(tch)에 대응하여 상기 트렌치(tch) 내부로 삽입될 수 있는 폭을 가지며 상기 제 1 기판(110)과 마주하도록 위치 시 상기 제 1 보조배선(148)에 대응하는 부분에 댐 형태의 돌출패턴(173)이 구비되고 있다.In the
이러한 돌출패턴(173)은 표시영역 전면에 있어서 제 1 방향으로 연장하는 바 형태를 가지며, 일정간격 이격하며 형성되는 것이 특징이다.The protruding
그리고 또 다른 특징적인 구성으로서 상기 돌출패턴(173) 상부를 포함하여 각 화소영역(P)의 경계에 대응하여 저저항 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나로 이루어진 제 2 보조배선(175)이 구비되고 있다.In addition, as another characteristic configuration, a low-resistance metal material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), or copper (Cu) corresponding to the boundary of each pixel region P including the upper portion of the
상기 제 2 보조배선(175)은 표시영역에 대응하여 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자형태를 이루며, 이러한 제 2 보조배선(175)은 일부는 상기 돌출패턴(173) 상부에 형성되고, 일부는 상기 제 2 기판(170)의 내측면 상에 형성되는 것이 특징이다.The second
한편, 전술한 구성을 갖는 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)은 그 가장자리를 따라 실란트 또는 프릿(frit)으로 이루어진 접착제(미도시)가 구비되고 있으며, 이러한 접착제(미도시)에 의해 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)이 합착되어 패널 상태를 유지하고 있다. On the other hand, the
이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 상기 제 1 기판(110)에 구비된 상기 제 2 전극(158)과 상기 제 2 기판(170)에 구비된 상기 제 2 보조배선(175) 중 상기 돌출패턴(173)에 대응하여 형성된 부분이 상기 제 1 기판(110)에 구비된 뱅크(150)의 트렌치(tch) 내부에서 서로 접촉된 상태를 이루며, 나아가 상기 제 2 보조배선(175) 중 상기 제 1 기판(110)에 구비된 뱅크(150)에 대응하는 부분은 상기 뱅크(150)의 상부에 형성된 제 2 전극(158)과 서로 접촉하는 것이 특징이다.In this case, the organic
이러한 구성적 특징에 의해 상기 제 1 기판(110)에 구비되는 제 2 전극(158)은 투광성 유지를 위해 일반 전극을 이루는 얇은 두께를 갖는다 하더라도, 상기 제 1 기판(110) 상에 바 형태로 각 게이트 배선(미도시)에 대응하여 형성된 제 1 보조배선(148)과, 상기 제 2 기판(170) 내측면에 구비된 격자형태의 제 2 보조배선(175)과 각각 라인 형태로 접촉하게 됨으로서 면저항이 큰 제 2 전극(158) 내에서의 전압 강하를 억제할 수 있다.Due to this constitutional feature, the
한편, 서로 이격하는 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170) 사이에는 진공의 상태를 갖거나, 또는 불활성 기체로 채워짐으로써 불활성 가스 분위기를 가질 수 있다. Meanwhile, a vacuum state may be provided between the
한편, 상기 제 2 기판(170)은 유연한 특성을 갖는 플라스틱으로 이루어질 수도 있으며, 또는 유리기판으로 이루어질 수도 있다. Meanwhile, the
이러한 구성을 갖는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 비록 도면에 나타내지 않았지만, 상기 제 1 기판(110)에 있어 상기 표시영역 외측의 비표시영역 구비된 Vss 배선(미도시)과 상기 제 1 보조배선(148)이 연결된 구성을 가지며, 게이트 및 데이터 구동회로(미도시)를 포함하는 인쇄회로기판(미도시)으로부터 인가된 신호전압은 상기 Vss 배선(미도시)을 통해 이와 연결된 상기 제 1 보조배선(148) 및 제 2 보조배선(175)을 매개 수단으로 하여 상기 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158)으로 인가된다.The
이때, 상기 Vss 배선(미도시)으로 인가된 신호전압은 상기 표시영역 전면에 형성된 상기 제 2 전극(158)으로 상기 제 2 전극(158) 자체를 이용하여 전달되지 않고, 단위 면적당 내부 저항값이 낮아 거의 전압 강하가 발생되지 않는 상기 제 1 및 제 2 보조배선(175)을 통해 상기 제 2 전극(158)으로 전달된다.At this time, the signal voltage applied to the Vss wiring (not shown) is not transmitted using the
따라서 상기 제 2 전극(158)이 대면적을 갖는다 하더라도 그 위치별 전압 강하량이 달라 신호 전압의 크기가 달라짐에 기인하는 유기전계 발광소자(101)의 위치별 휘도 불균일 현상을 억제할 수 있는 것이다. Therefore, even if the
즉, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)의 경우 신호전압은 상기 제 1 및 제 2 보조배선(175)을 통해 상기 제 2 전극(158)을 전달되며, 상기 제 1 및 제 2 보조배선(175)을 통해서 이동되는 신호전압은 상기 제 1 및 제 2 보조배선(148, 175)의 낮은 내부 저항에 의해 거의 그 크기가 변하지 않는다.That is, in the case of the organic
따라서 이러한 제 1 및 제 2 보조배선(148, 175)을 통해 상기 제 2 전극(158) 중 표시영역의 가장자리 부분이나, 상기 표시영역의 중앙부에 위치하는 부분에는 거의 유사한 크기를 갖는 신호접압이 인가될 수 있다. Therefore, through the first and second
그리고 이러한 신호전압은 상기 제 2 전극(158)을 통해 이동하는 실질적인 거리는 상기 제 2 전극(158)의 위치별 차이 없이 서로 이웃하는 제 1 보조배선(148) 간의 이격간격인 화소영역(P)의 장축 길이의 폭이 되므로 상기 제 2 전극(158) 자체의 면저항이 큼에 기인하는 전압 강하는 거의 발생되지 않는다. 따라서 상기 제 2 전극(158)의 위치별 휘도 불균일 현상은 원천적으로 억제될 수 있는 것이다.In addition, the signal voltage is a substantial distance moving through the
한편, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)의 경우, 쉐도우 마스크를 통해 각 화소영역(P)별로 유기 발광층(155) 또는 유기 발광층(155) 및 제 1 및 제 2 발광보상층(미도시)이 형성되는 경우를 일례로 보이고 있는 것이며, 상기 유기 발광층(155)을 제외한 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보상층(미도시)은 상기 제 2 전극(158)과 동일하게 상기 표시영역 전면에 형성될 수도 있다.Meanwhile, in the case of the organic
이러한 경우, 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158) 사이에는 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보상층(미도시)이 형성되므로 실질적으로 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158)은 서로 접촉하지 못하므로 통전된 상태를 이루지 못한다.In this case, since the first and/or second emission compensation layer (not shown) is formed between the first
따라서 이러한 문제를 해결하기 위해 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자를 제안한다.Therefore, to solve this problem, an organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention is proposed.
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 특징적인 구성을 포함하는 제 2 기판의 표시영역 일부를 도시한 단면도이며, 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 특징적인 구성을 포함하는 부분에 대한 단면도이다. 이때, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(201)는 도 8 및 도 9에 도시한 부분에 대해서만 제 1 실시예와 차이가 있을 뿐 그 이외의 구성요소는 모두 동일하므로 특징적인 구성에 대해서만 설명한다. 이때, 설명의 편의를 위해 도면에 있어서 제 2 발광보조층(157b)을 이루는 일 요소 중 특히 정공수송층(156c)만이 표시영역 전면에 형성되고, 나머지 제 1 발광보조층(157a) 및 제 2 발광보조층(157b) 중 정공주입층(156c)은 선택적으로 각 화소영역(P)별로 형성된 것을 된 것을 일례로 도시하였지만, 상기 제 1 및 제 2 발광보조층(157a, 157b)이 모두 다 표시영역 단위로 형성될 수도 있으며, 또는 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b) 중 선택적으로 표시영역 단위 또는 각 화소영역(P)단위로 형성될 수도 있다.8 is a cross-sectional view showing a part of a display area of a second substrate including a characteristic configuration in the organic light emitting device according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is an organic according to the second embodiment of the present invention It is a cross-sectional view of a part including a characteristic configuration of the electroluminescent element. At this time, the organic
도시한 바와같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(201)는 특히 제 2 기판(170)에 있어 돌출패턴(173) 상부에 위치하는 제 2 보조배선(175) 부분이 평탄한 형태가 아닌 울퉁불퉁한 요철 즉 요부와 철부로 이루어지는 것이 특징이다.As shown in the drawing, the organic
도면에 있어서는 상기 돌출패턴(173) 상부에 요부를 이루는 부분에 있어서는 상기 제 2 보조배선(175)이 완전 삭제되어 상기 돌출패턴(173) 표면을 노출시키는 형태를 일례로 보이고 있지만, 상기 요부에 있어서도 상기 저저항 금속물질로 이루어진 제 2 보조배선(175)이 남아있도록 형성될 수도 있다.In the drawing, although the second
상기 제 2 보조배선(175)에 있어 상기 돌출패턴(173)의 상부에 위치하는 부분을 전술한 바와같이 요철 형태를 이루도록 한 것은, 상기 제 2 기판(170)과 제 1 기판(110)을 합착 시 상기 제 2 보조배선(175)의 요철 부분 더욱 정확히는 철부가 상기 제 2 전극(158)과 이의 하부에 위치하는 정공수송층(156c)을 파고들어 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하도록 하는 상태를 이루도록 하기 위함이다.In the second
이렇게 제 2 보조배선(175)의 철부가 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하도록 하는 경우, 제 2 전극(158)은 상기 제 2 보조배선(175)의 철부와 측면 접촉한 상태가 되며, 나아가 상기 제 2 보조배선(175)의 철부는 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉한 상태가 됨으로서 상기 제 2 전극(158)은 자연적으로 상기 제 2 보조배선(175)의 철부를 통해 상기 제 1 보조배선(148)과 전기적으로 연결된 상태를 이루게 된다.In this way, when the iron portion of the second
따라서 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158) 사이에 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b) 모두 또는 어느 하나 일례로 정공수송층(156c)이 형성된다 하더라도 제 1 및 제 2 보조배선(148, 175)은 상기 제 2 전극(158)과 전기적으로 연결된 상태를 이루게 됨으로서 상기 제 2 전극(158)의 위치별 휘도 불량을 억제할 수 있다.
Therefore, even if the first and/or second light-emitting
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도이다. 이때, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어서도 제 2 기판(170)의 돌출패턴(173)이 형성된 부분의 구성을 제외하고는 전술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 2의 101)와 동일한 구성을 가지므로 특징적인 구성에 대해서만 설명한다.10 is a cross-sectional view of a portion of a display area of an organic light emitting device according to a third embodiment of the present invention. At this time, in the organic electroluminescent device according to the third embodiment of the present invention, except for the configuration of the portion where the protruding
본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(3041)는 제 1 및 제 2 기판(110, 170)은 제 1 실시예와 동일한 구성을 갖는다. In the organic light emitting device 3041 according to the third embodiment of the present invention, the first and
이때, 제 1 실시예와 차이가 있는 것은 제 2 기판(170)의 돌출패턴(173)이 삽입되는 제 1 기판(110)의 트렌치(tch)가 형성된 부분에 다수의 도전볼(310)이 구비되고 있다는 것이다.At this time, a difference from the first embodiment is that a plurality of
본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자는 이렇게 트렌치(tch) 내부의 상기 제 2 전극(158) 상에 다수의 도전볼(310)이 구비됨에 의해 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)의 합착 시 상기 도전볼(310)이 상기 제 2 전극(158)과 이의 하부에 위치하는 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b) 모두 또는 어느 하나 일례로 정공수송층(156c)을 파고들어 상기 제 1 보조배선(148) 접촉하는 상태를 이루게 된다. The organic light emitting device according to the third embodiment of the present invention is provided with a plurality of
따라서 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 보조배선(175)이 상기 도전볼(310)을 매개로 하여 전기적으로 연결된 상태가 되며, 상기 제 2 전극(158) 또한 상기 도전볼(310)과 측면 접촉하는 상태가 되므로 상기 제 2 전극(158)과 제 1 보조배선(148) 사이에 상기 정공수송층(156c)이 형성되고 있다 하더라도 상기 제 1 및 제 2 보조배선(148, 175)은 상기 제 2 전극(158)과 전기적으로 연결된 상태를 이루게 됨으로서 상기 제 2 전극(158)의 위치별 휘도 불량을 억제할 수 있다.Therefore, the first
이후에는 전술한 구성을 갖는 본 발명의 제 1, 2, 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법에 대해 설명한다. 이때, 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법을 위주로 설명하며, 제 2 및 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법은 제 1 실시예와 차이가 있는 부분에 대해서만 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the organic light emitting device according to the first, second, and third embodiments of the present invention having the above-described configuration will be described. At this time, the method of manufacturing the organic light emitting device according to the first embodiment will be mainly described, and the method of manufacturing the organic light emitting device according to the second and third embodiments will be described only for parts different from the first embodiment. .
도 11a 내지 도 11h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 제조 단계별 공정 단면도이며, 도 12a 내지 도 12b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 도 3의 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 제조 단계별 공정 단면도이다. 이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)에 있어 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)를 형성하기까지의 제조 방법은 일반적인 유기전계 발광소자의 제조 방법과 동일하므로 이들 구성요소를 형성하는 방법에 대해서는 상세한 설명을 생략하며, 보호층(140)을 형성하는 단계를 포함하여 그 이후의 단계에 대해서만 상세히 설명하도록 한다.11A to 11H are cross-sectional views of manufacturing steps of a portion of the display area of the organic light emitting device according to the first embodiment of the present invention, and FIGS. 12A to 12B are organic light emitting devices according to the first embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view of a manufacturing step for a portion cut along the cutting line VV of FIG. 3. At this time, in the organic
우선, 도 11a 및 도 12a에 도시한 바와같이, 투명한 제 1 절연기판(110) 예를들면 유리재질 또는 플렉서블한 특성을 갖는 플라스틱 재질의 기판 상에 서로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(130)과, 전원배선(미도시)을 형성하고, 각 화소영역(P) 내에 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)를 형성한다. First, as illustrated in FIGS. 11A and 12A, a gate defining a pixel region P by crossing each other on a transparent first
이때, 이러한 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)는 본 발명의 제 1 실시예에서와 같이 탑 게이트 구조를 이루는 경우, 순수 폴리실리콘의 제 1 영역(113a)과 이의 양측에 불순물이 도핑된 폴리실리콘의 제 2 영역(113b)으로 이루어진 폴리실리콘의 반도체층(113)과, 게이트 절연막(116)과, 상기 제 1 영역(113a)과 중첩하여 형성된 게이트 전극(120)과, 상기 제 2 영역(113b)을 노출시키는 반도체층 콘택홀(125)을 갖는 층간절연막(123)과, 상기 반도체층 콘택홀(125)을 통해 각각 상기 소스 및 드레인 영역(113b)과 접촉하며 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(133, 136)의 적층 구조를 갖도록 형성하다.At this time, when the driving and switching thin film transistor (DTr, not shown) forms a top gate structure as in the first embodiment of the present invention, impurities are doped in both sides of the
또한, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)가 변형예와 같이 보텀 게이트 구조를 이루는 경우는, 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 순수 비정질 실리콘의 액티브층과 서로 이격하며 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층으로 이루어진 반도체층과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극의 적층구조를 갖도록 형성하거나, 또는 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 산화물 반도체층과, 에치스토퍼와, 상기 에치스토퍼 상에서 서로 이격하며 각각 상기 산화물 반도체층과 접촉하는 소스 및 드레인 전극의 적층구조를 갖도록 형성한다. In addition, although not shown in the drawings, when the driving and switching thin film transistors (DTr, not shown) form a bottom gate structure as in the modified example, the gate electrode, the gate insulating film, and the active layer of pure amorphous silicon are separated from each other. On the etch stopper, a semiconductor layer made of an ohmic contact layer of impurity amorphous silicon, and a stacked structure of source and drain electrodes spaced apart from each other, or formed on a gate electrode, a gate insulating film, an oxide semiconductor layer, an etch stopper, and the etch stopper It is formed to have a stacked structure of source and drain electrodes spaced from each other and in contact with the oxide semiconductor layer, respectively.
다음, 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr) 위로 유기절연물질 예를들면 포토아크릴을 도포하고, 이에 대해 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로서 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)이 구비되며 평탄한 표면을 갖는 보호층(140)을 형성한다.Next, the
다음, 도 11b 및 도 12b에 도시한 바와같이, 상기 보호층(140) 위로 상기 각 화소영역(P)별로 판 형태를 가지며 반사 능률이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로 이루어진 하부층(147a)과 일함수 값이 비교적 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 이루어진 상부층(147b)의 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147)을 형성하고, 동시에 상기 게이트 배선(미도시)이 형성된 영역과 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)가 형성된 영역 대응하여 상기 게이트 배선(미도시)의 일부 또는 전체와 중첩하는 제 1 보조배선(148)을 형성한다. Next, as illustrated in FIGS. 11B and 12B, a metal material having a plate shape for each pixel region P and having excellent reflection efficiency, for example, aluminum (Al) or silver (Ag), over the protective layer 140 A
이 경우 상기 제 1 보조배선(148)은 상기 제 1 전극(147)과 동일하게 하부층(148a) 및 상부층(148b)의 이중층 구조를 이루도록 할 수도 있고, 또는 상기 제 1 전극(147)의 하부층(147a)과 동일한 물질로 이루어진 단일층 구조를 이루도록 할 수도 있다.In this case, the first
상기 제 1 전극(147)과 제 1 보조배선(148)이 모두 이중층 구조를 이루도록 하는 경우, 상기 반사 능률이 우수한 금속물질과 투명 도전성 물질을 연속적으로 증착하여 제 1 금속층(미도시) 및 투명 도전성 물질층(미도시)을 형성하고, 이의 상부에 제 1 포토레지스트층(미도시)을 형성한 후, 투과영역과 차단영역 및 반투과영역을 갖는 노광마스크(미도시)를 이용하여 회절 또는 하프톤 노광을 실시함으로서 제 1 두께를 갖는 제 1 포토레지스트 패턴(미도시)과 상기 제 1 두께 보다 얇은 제 2 두께를 갖는 제 2 포토레지스트 패턴(미도시)을 형성하고, 상기 제 1 및 제 2 포토레지스트 패턴(미도시) 외측으로 노출된 상기 투명 도전성 물질층(미도시) 및 제 1 금속층(미도시)을 제거함으로서 모두 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147) 및 제 1 보조배선(148)을 형성한다.When both the
이후, 애싱을 진행하여 상기 제 2 두께를 갖는 제 2 포토레지스트 패턴(미도시)을 제거한 후, 상기 제 2 포토레지스트 패턴(미도시)이 제거됨으로서 노출된 상기 이중층 구조의 제 1 보조배선(148)의 상부층(148b)을 제거함으로서 단일층 구조의 제 1 보조배선(148)을 형성한 후, 상기 제 1 포토레지스트 패턴(미도시)을 스트립하여 제거함으로서 전술한 바와같은 이중층 구조의 제 1 전극(147) 및 단일층 구조의 제 1 보조배선(148)을 형성할 수 있다. Thereafter, ashing is performed to remove the second photoresist pattern (not shown) having the second thickness, and then the first
상기 제 1 전극(147)과 제 1 보조배선(148)이 모두 이중층 구조를 이루는 경우는 일반적인 투과영역과 차단영역을 갖는 노광마스크(미도시)를 이용한 마스크 공정을 통해 형성할 수 있다.When both the
도면에 있어서는 상기 제 1 보조배선(148)이 이중층 구조를 이루는 것을 일례로 나타내었다.In the drawing, it is shown as an example that the first
다음, 도 11c 및 도 11c에 도시한 바와같이, 상기 제 1 전극(147) 및 제 1 보조배선(148) 위로 유기물질 바람직하게는 감광성 특성과 더불어 소수성 특성을 갖는 고분자 물질 예를들면 불소(F)가 함유된 폴리이미드(poly imide), 스티렌(styrene), 메틸마사크릴레이트(methyl mathacrylate), 폴리테트라플로우틸렌(polytetrafluoroethylene) 중 어느 하나 또는 둘 이상이 혼합된 물질을 코팅하여 수 ㎛ 더욱 정확히는 1 내지 10㎛ 정도의 두께를 갖는 유기 물질층(미도시)을 형성한다.Next, as illustrated in FIGS. 11C and 11C, an organic material, preferably a photosensitive material, and a polymer material having hydrophobic properties, for example, fluorine (F), over the
이때 상기 유기 물질층(미도시)이 감광성 특성을 갖게 됨으로서 이 자체를 노광하여 패터닝이 가능하므로 패터닝을 위해 별도의 포토레지스트층의 도포와 식각 공정을 생략할 수 있다. At this time, since the organic material layer (not shown) has photosensitive characteristics, it is possible to pattern it by exposing itself, so that a separate photoresist layer coating and etching process can be omitted for patterning.
이후, 상기 유기 물질층(미도시)에 대해 노광 마스크를 이용한 노광, 상기 유기 물질층의 현상을 포함하는 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로서 각 화소영역(P)의 경계 즉 상기 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(130)과 중첩하며 상기 각 화소영역(P)에 구비된 제 1 전극(147)의 가장자리 부분과 소정폭 중첩하며, 나아가 상기 제 1 보조배선(148)에 대해서는 이를 노출시키는 트렌치(tch)를 갖는 뱅크(150)를 형성한다.Subsequently, an exposure using an exposure mask for the organic material layer (not shown) and a mask process including the development of the organic material layer are performed and patterned to form a boundary between each pixel region P, that is, the gate wiring (not shown). And a
이러한 뱅크(150)는 상기 보호층(140) 표면으로부터 1 내지 10㎛ 정도의 높이를 가지며, 표시영역 전면에 있어서 격자형태를 가져 각 화소영역(P)에 있어서는 제 1 전극(147)의 중앙부를 노출시키는 형태를 이루는 것이 특징이며, 제 1 방향 즉, 상기 게이트 배선(미도시)이 연장 형성된 방향으로 형성된 부분에 대해서는 상기 제 1 보조배선(148)을 노출시키는 트렌치(tch)가 구비된 것이 특징이다.The
다음, 도 11d 및 도 11d에 도시한 바와같이, 표시영역에 있어 격자형태를 가지며 트렌치(tch)가 구비된 상기 뱅크(150)가 형성된 상기 제 1 기판(110)에 대응하여 잉크젯 장치(미도시) 또는 노즐 코팅장치(미도시)를 이용하여 액상의 유기 발광 물질을 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 영역에 대응하여 분사 또는 드롭핑하거나, 또는 상기 각 화소영역(P) 더욱 정확히는 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 영역에 대해 개구를 갖는 쉐도우 마스크(미도시)를 이용한 열 증착을 실시함으로서 상기 각 화소영역(P) 내의 상기 제 1 전극(147) 상부에 유기 발광층(155)을 형성한다.Next, as illustrated in FIGS. 11D and 11D, an inkjet device (not shown) corresponding to the
한편, 도면에 있어서는 상기 제 1 전극(147) 위로 유기 발광층(155)만이 형성된 것을 일례로 보이고 있지만, 상기 유기 발광층(155)과 상기 제 1 전극(147) 사이에 제 1 발광보조층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있으며, 상기 유기 발광층(155) 위로 제 2 발광보조층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. On the other hand, in the drawing, although only an organic
이때, 상기 제 1 발광보조층(미도시)은 정공주입층(hole injection layer)(미도시), 정공수송층(hole transporting layer)(미도시) 및 전자블록킹층 중 어느 하나 이상이 될 수 있으며, 상기 제 2 발광보조층(미도시)은 전자수송층(electron transporting layer)(미도시)과 전자주입층(electron injection layer) 및 정공블록킹층 중 어느 하나 이상이 될 수 있다. In this case, the first light-emitting auxiliary layer (not shown) may be any one or more of a hole injection layer (not shown), a hole transporting layer (not shown) and an electron blocking layer, The second light emitting auxiliary layer (not shown) may be any one or more of an electron transporting layer (not shown), an electron injection layer, and a hole blocking layer.
그리고 이러한 제 1 및 제 2 발광보조층(미도시)은 상기 유기 발광층(155)과 같이 각 화소영역(P)별로 분리 형성될 수도 있으며, 또는 상기 표시영역 전면에 끊김없이 형성될 수도 있다.In addition, the first and second light-emitting auxiliary layers (not shown) may be formed separately for each pixel area P as in the organic light-emitting
다음, 도 11e 및 도 12e에 도시한 바와같이, 상기 유기 발광층(155) 또는 제 2 발광보조층(미도시) 위로 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상을 혼합하여 진공의 분위기에서 열 증착을 진행함으로서 상기 표시영역 전면에 10 내지 200Å 정도의 두께를 갖는 제 2 전극(158)을 형성함으로서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제 1 기판(110)을 완성한다. Next, as illustrated in FIGS. 11E and 12E, a metal material having a relatively low work function value over the organic
한편, 이러한 열 증착에 의해 형성되는 제 2 전극(158)의 경우, 상기 유기 발광층(155)을 포함하여 상기 뱅크(150)의 상면 및 측면까지 표시영역 전면에 끊김없이 연결된 상태로 형성되는 것이 특징이다.On the other hand, in the case of the
따라서 상기 제 2 전극(158)은 상기 제 1 및 제 2 발광보조층(미도시)이 없거나, 또는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층(미도시)이 각 화소영역(P)별로 분리 형성된 경우 상기 트렌치(tch)를 통해 노출된 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하는 형태를 이루게 된다. Accordingly, when the first and second light-emitting auxiliary layers (not shown) are missing or the first and second light-emitting auxiliary layers (not shown) are separately formed for each pixel area P, the
이때, 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(미도시) 중 이를 이루는 어느 하나 이상의 층이 표시영역 전면에 형성되는 경우, 현 상태에서는 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(미도시)이 상기 트렌치(tch) 내부에서 상기 제 1 보조배선(148)과 접촉하는 상태를 이루게 되며, 상기 제 2 전극(158)은 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(미도시) 상부에 적층된 상태를 이루지만, 이러한 구성의 경우 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제조 방법에 의해 최종적으로 상기 제 2 전극(158)과 제 1 보조배선(148)은 전기적으로 연결된 상태를 이루게 되므로 문제되지 않는다. In this case, when any one or more layers constituting it among the first and/or second light-emitting auxiliary layers (not shown) are formed in front of the display area, in the current state, the first and/or second light-emitting auxiliary layers ( (Not shown) is formed in a state in contact with the first
한편, 각 화소영역(P) 내에 순차 적층된 상기 제 1 전극(147)과 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이룬다.Meanwhile, the
다음, 도 11f와 도 12f에 도시한 바와같이, 투명한 제 2 절연기판(170) 예를들면 유리재질 또는 플렉서블한 특성을 갖는 플라스틱 재질의 기판 상에 상기 제 1 기판(110)에 형성된 뱅크(150)를 이루는 물질 예를들면 유기물질 바람직하게는 감광성 특성과 더불어 소수성 특성을 갖는 고분자 물질 예를들면 불소(F)가 함유된 폴리이미드(poly imide), 스티렌(styrene), 메틸마사크릴레이트(methyl mathacrylate), 폴리테트라플로우틸렌(polytetrafluoroethylene) 중 어느 하나 또는 둘 이상이 혼합된 물질을 코팅하여 유기 물질층(미도시)을 형성한다.Next, as shown in FIGS. 11F and 12F, the
이후 상기 유기 물질층을 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로서 제 1 방향으로 연장하며 일정간격 이격하는 댐 형태의 돌출패턴(173)을 형성한다.Thereafter, the organic material layer is patterned by performing a mask process to form a dam-shaped
이때, 상기 돌출패턴(173)은 상기 제 1 기판(110)에 구비된 트렌치(tch)에 대응하여 상기 각 트렌치(tch)에 삽입될 수 있도록 상기 트렌치(tch)의 폭보다는 작은 폭을 갖도록 형성하는 것이 특징이다. At this time, the protruding
다음, 도 11g와 도 12g에 도시한 바와같이, 돌출패턴(173) 위로 저저항 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나를 증착하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 패턴닝함으로서 상기 돌출패턴(173)과 더불어 상기 제 2 절연기판(170)의 표면에 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자형태를 갖는 제 2 보조배선(175)을 형성한다.Next, as shown in Figures 11g and 12g, a low-resistance metal material over the protruding
이러한 제 2 보조배선(175)은 상기 제 1 기판(110) 상에 형성된 뱅크(150)와 중첩하며 동일한 평면형태를 갖는 것이 특징이며, 나아가 상기 제 2 보조배선(175)은 그 일부는 상기 돌출패턴(173) 상부 및 측면에 위치하며, 일부는 상기 제 2 기판(170)상에 위치하는 것이 특징이다.The second
한편, 제 1 실시예 및 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 2의 101, 도 10의 301)의 경우 상기 제 2 보조배선(175)은 상기 제 2 기판(170) 전면에 대해 그 표면이 매끈하게 형성되지만, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 9의 201)의 경우, 상기 제 2 보조배선(175) 중 상기 돌출패턴(173)의 상면에 형성된 부분은 울퉁불퉁한 요철구조를 이루도록 형성하는 것이 특징이다.On the other hand, in the case of the organic light emitting device according to the first embodiment and the third embodiment (101 in FIG. 2, 301 in FIG. 10), the second
여기서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 9의 201)의 차별점 있는 구성인 제 2 보조배선(175)의 형성방법에 대해 도 13a 내지 도 13d(본 발명의 제 2 실시에에 따른 유기전계 발광소자에 있어 제 2 보조배선(175)을 형성하는 단계별 제조 공정 단면도)를 참조하여 설명한다.Here, a method of forming the second
우선, 도 13a에 도시한 바와같이, 상기 돌출패턴(173)이 형성된 제 2 절연기판(110) 상에 저저항 금속물질을 전면에 증착하여 저저항 금속물질층(174)을 형성한다. First, as shown in FIG. 13A, a low-resistance
이후, 상기 저저항 금속물질층 위로 포토레지스트를 도포하며 제 2 포토레지스트층(181)을 형성하고, 상기 제 2 포토레지스트층(181) 위로 투과영역(TA)과 차단영역(BA)을 갖는 노광마스크(190)를 위치시킨 후, 상기 제 2 포토레지스트층(181)에 대해 상기 노광마스크를 이용한 노광을 실시한다.Subsequently, a photoresist is applied over the low-resistance metal material layer to form a
이때, 상기 돌출패턴(173)의 상부에 형성된 상기 저저항 금속물질층(174) 부분에 대해서는 상기 노광마스크(190)에 있어 투과영역(TA)과 차단영역(BA)이 교대하는 형태를 이루도록 한다.At this time, for the portion of the low-resistance
한편, 도면에 있어서는 상기 돌출패턴(173) 상부에 대해서는 투과영역(TA)과 차단영역(BA)이 교대하도록 형성된 노광마스크(190)가 위치하여 노광을 진행하는 것을 일례로 보이고 있지만, 변형예로서 도면에 나타내지 않았지만, 상기 부분에 대해서는 반투과영역과 투과영역이 교대하는 구성을 갖는 노광마스크를 위치시킨 후 노광을 실시할 수도 있다.On the other hand, in the drawing, it is shown as an example that the
다음, 도 13b에 도시한 바와같이, 노광이 실시한 상기 제 2 포토레지스트층(도 13a의 181)에 대해 현상을 진행하게 되면, 상기 저저항 금속물질층(174) 상부에는 모두 동일한 제 1 높이를 갖는 제 3 포토레지스트 패턴(182)이 구비된다. Next, as shown in FIG. 13B, when developing is performed on the second photoresist layer (181 of FIG. 13A) subjected to exposure, all of the same first height is applied to the upper portion of the low-resistance
이때, 상기 제 3 포토레지스트 패턴(182)은 상기 돌출패턴(173) 상부에 대응해서는 소정폭을 갖고 이격하는 형태로 다수 형성되며, 상기 제 3 포토레지스트 패턴(182) 외측으로는 상기 저저항 금속물질층(174)이 노출된 상태를 이룬다. At this time, the
한편, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 돌출패턴(173) 상부에 대해서 투과영역과 반투과영역이 교대하는 형태 갖는 노광마스크를 이용하여 노광을 진행 한 경우, 상기 제 2 포토레지스트층을 현상하면, 상기 돌출패턴(173) 상부에 대응하는 상기 저저항 금속물질층 상부에는 제 1 높이를 갖는 제 3 포토레지스트 패턴(미도시)과, 상기 제 1 높이보다 작은 제 2 높이를 갖는 제 4 포토레지스트 패턴(미도시)이 교대하며 형성되며, 상기 제 2 절연기판(170) 상부에 형성된 저저항 금속물질층(174) 일부의 상부 즉 추후 제 2 보조배선(도 13d의 175)이 형성될 부분에 대해서는 상기 제 1 높이를 갖는 제 3 포토레지스트 패턴(미도시)이 형성된다.On the other hand, although not shown in the drawing, when the exposure is performed using an exposure mask having an alternating form of a transmissive region and a transmissive region with respect to the upper portion of the
다음, 도 13c에 도시한 바와같이, 상기 제 3 포토레지스트 패턴(182)의 외측으로 노출된 상기 저저항 금속물질층(도 13b의 174)을 식각하여 제거하게 되면, 도시한 바와같이, 상기 돌출패턴(173) 상부에는 소정폭을 가지며 이격하는 형태를 이룸으로서 요철구조를 이루며, 동시에 상기 돌출패턴(173)의 측면과 상기 제 2 절연기판(170)에 대해서는 매끈한 표면을 갖는 제 2 보조배선(175)이 형성된다.Next, as shown in FIG. 13C, when the low-resistance metal material layer (174 in FIG. 13B) exposed outside the
이후, 도 13d에 도시한 바와같이, 스트립을 진행하여 상기 제 3 포토레지스트 패턴(도 13c의 182)을 제거함으로서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 9의 201)의 제 2 기판(170)을 완성할 수 있다.Thereafter, as shown in FIG. 13D, the strip is processed to remove the third photoresist pattern (182 of FIG. 13C) to remove the organic electroluminescent device (201 of FIG. 9) according to the second embodiment of the present invention. 2 The
한편, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 제 1 및 제 2 높이를 갖는 제 3 및 제 4 포토레지스트 패턴이 형성된 경우, 이들 제 3 및 제 4 포토레지스트 패턴 외측으로 노출된 상기 저저항 금속물질층을 식각하여 제거함으로서 상기 돌출패턴의 상부 및 측면과 상기 제 2 기판 상에 매끈한 표면을 갖는 제 2 보조배선이 된다.On the other hand, although not shown in the drawings, when the third and fourth photoresist patterns having the first and second heights are formed, the low-resistance metal material layer exposed outside the third and fourth photoresist patterns is etched. By removing, the second auxiliary wiring has a smooth surface on the second substrate and the upper and side surfaces of the protruding pattern.
이후 애싱을 진행하여 상기 제 2 높이를 갖는 제 4 포토레지스트 패턴을 제거함으로서 상기 돌출패턴 상부에 위치하는 제 2 보조배선의 표면 일부를 노출시킨다. 이 경우, 상기 돌출패턴 상부에 대응하는 제 2 보조배선 상에는 상기 제 3 포토레지스트 패턴이 소정폭 이격하며 다수 구비된 상태가 되며, 이들 다수의 제 3 포토레지스트 패턴 사이로 상기 제 2 보조배선이 노출된 상태를 이루게 된다.Thereafter, ashing is performed to remove the fourth photoresist pattern having the second height, thereby exposing a portion of the surface of the second auxiliary wiring positioned on the protruding pattern. In this case, on the second auxiliary wiring corresponding to the upper portion of the protruding pattern, the third photoresist pattern is spaced a predetermined width and is provided with a large number, and the second auxiliary wiring is exposed between the plurality of third photoresist patterns. State.
이후 상기 제 3 포토레지스트 패턴 외측으로 노출된 상기 제 2 보조배선에 대해 식각을 진행하게 되면 상기 돌출패턴의 상부에 대응해서만 울퉁불퉁한 요철구조를 갖는 제 2 보조배선을 형성할 수 있다.Subsequently, when etching is performed on the second auxiliary wiring exposed outside the third photoresist pattern, a second auxiliary wiring having a rugged uneven structure may be formed only corresponding to an upper portion of the protruding pattern.
이때, 상기 제 3 포토레지스트 패턴 외측으로 노출된 상기 제 2 보조배선의 식각은 상기 제 2 보조배선이 완전히 제거되는 식각시간보다 짧은 시간 진행함으로서 상기 제 2 보조배선이 완전히 제거되도록 하는 것이 아니라 그 두께만이 소정량 줄어들도록 진행함으로서 상기 돌출패턴 상부에 있어서 상기 도출패턴의 상면이 노출되지 않고 요부와 철부의 요철구조를 이루는 제 2 보조배선을 형성할 수 있다. At this time, the etching of the second auxiliary wiring exposed outside the third photoresist pattern proceeds for a shorter time than the etching time at which the second auxiliary wiring is completely removed. By proceeding so that the bay is reduced by a predetermined amount, a second auxiliary wiring constituting the concave-convex structure of the concave and convex portions can be formed without exposing the upper surface of the derivation pattern above the projecting pattern.
한편, 도 11h 및 도 12h에 도시한 바와같이, 전술한 바와같이 완성된 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)을 상기 트렌치(tch)와 상기 돌출패턴(173)이 서로 마주하도록 위치시킨 후, 상기 제 1 기판(110) 또는 제 2 기판(170)의 테두리를 따라서 씰패턴 또는 프릿패턴 등의 접착제(미도시)를 형성한 후, 불활성 기체 분위기 또는 진공의 분위기에서 상기 제 1 및 제 2 기판(110, 170)을 합착함으로서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)를 완성한다.Meanwhile, as illustrated in FIGS. 11H and 12H, the trench tch and the
이때, 상기 합착 진행 시 상기 돌출패턴(173)이 상기 트렌치(tch)에 삽입되도록 함으로서 상기 트렌치(tch) 내부에서 상기 제 2 전극(158)과 상기 제 2 보조배선(175)이 서로 접촉된 상태를 이루도록 하며, 동시에 상기 뱅크(150)상에 형성된 제 2 전극(158)과 상기 제 2 기판(170) 상에 형성된 제 2 보조배선(175)이 서로 접촉된 상태를 이루도록 하는 것이 특징이다.At this time, the
전술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)의 제조 방법에 의해 상기 트렌치(tch) 내부에 있어서는 상기 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158)과 제 2 보조배선(175)이 서로 접촉하는 상태가 되므로 상기 제 2 전극(158)의 큰 면저항에 기인한 휘도 불균일 불량을 억제할 수 있는 유기전계 발광소자를 제공하게 된다.
The first
한편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법의 경우, 도 9를 참조하면, 상기 제 1 기판(110) 및 제 2 기판(170)의 합착 시 가해지는 압력에 의해 상기 돌출패턴(173) 상부에 형성된 상기 제 2 보조배선(175)의 철부가 상기 제 2 전극(158)과 더불어 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b)을 일 구성요소인 정공수송층(156c)까지 파고들어 최종적으로 상기 제 2 보조배선(175)의 철부의 끝단이 상기 제 1 보조배선(148)의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징이다.On the other hand, in the case of the method of manufacturing the organic light emitting device according to the second embodiment of the present invention, referring to FIG. 9, the pressure applied during the bonding of the
따라서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(201)의 제조 방법에 의해서는 상기 트렌치(tch) 내부에서 상기 제 2 전극(158)과 유기 발광층(155) 사이에 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b)이 더욱 구비된다 하더라도 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158) 및 제 2 보조배선(175)이 전기적으로 연결된 구성을 이루게 되는 것이 특징이다.Therefore, by the method of manufacturing the organic
한편, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 10의 301)의 제조 방법은, 도 10을 참조하면, 상기 제 1 기판(110) 및 제 2 기판(170)을 각각 완성하는 단계까지는 제 1 실시예와 동일하게 진행되며, 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)을 합착하는 단계 이전에 한 단계를 추가적으로 진행하는 것이 특징이다.Meanwhile, a method of manufacturing an organic light emitting device (301 of FIG. 10) according to a third embodiment of the present invention, referring to FIG. 10, to complete the
즉, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 단면도인 도 14a 내지 14b를 참조하면, 잉크젯 장치(195)를 이용하여 완성된 제 1 기판(110) 상의 상기 트렌치(tch) 내부의 상기 제 2 전극(158) 위로 다수의 도전볼(310)을 분사하여 도전볼층을 형성한다. That is, referring to FIGS. 14A to 14B, which are process sectional views of a manufacturing step of an organic light emitting device according to a third embodiment of the present invention, the trench (tch) on the
이때 상기 잉크젯 장치를 통해서는 상기 도전볼(310)과 휘발성 용매가 잉크가 선택적으로 분사되며 상기 도전볼(310)이 섞인 잉크를 분사한 후 상기 용매를 휘발시킴으로서 상기 트렌치(tch) 내부의 제 2 전극(158) 위로 도전볼(310)만이 남도록 한다.At this time, through the inkjet device, the
이후, 전술한 바와같이 트렌치(tch) 내부에 도전볼층이 형성된 상태의 제 1 기판(110)에 대해 제 2 기판(170)을 마주하도록 한 후, 상기 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 9의 201)의 제조 방법에 언급된 합착을 진행함으로서 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(301)를 완성할 수 있다.Subsequently, as described above, after facing the
이러한 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(301)의 제조 방법에 있어서도 상기 제 1 및 제 2 기판(110, 170)의 합착 시 가해지는 압력에 의해 상기 도전볼(310)이 상기 제 2 전극(158)과 더불어 상기 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b)의 일 구성요소인 정공수송층(156c)까지 파고들어 최종적으로 상기 제 1 보조배선(148)의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징이다.In the method of manufacturing the organic
따라서 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자(301)의 제조 방법에 의해서도 상기 트렌치(tch) 내부에서 상기 제 2 전극(158)과 유기 발광층(155) 사이에 제 1 및(또는) 제 2 발광보조층(157a, 157b)이 더욱 구비된다 하더라도 제 1 보조배선(148)과 제 2 전극(158) 및 제 2 보조배선(175)이 상기 도전볼(310)을 매개로 하여 전기적으로 연결된 구성을 이루게 되는 것이 특징이다.
Therefore, the first and/or between the
본 발명은 전술한 실시예 및 변형예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, and can be implemented by variously changing within the limits without departing from the spirit of the present invention.
101 : 유기전계 발광소자
110 : 제 1 기판
140 : 보호층
147 : 제 1 전극
147a, 147b : (제1전극의)하부층 및 상부층
148 : 제 1 보조배선
150 : 뱅크
155 : 유기 발광층
158 : 제 2 전극
170 : 제 2 기판
173 : 돌출패턴
175 : 제 2 보조배선
E: 유기전계 발광 다이오드
P : 화소영역101: organic light emitting device
110: first substrate
140: protective layer
147: first electrode
147a, 147b: lower and upper layers (of the first electrode)
148: 1st auxiliary wiring
150: bank
155: organic light emitting layer
158: second electrode
170: second substrate
173: protrusion pattern
175: second auxiliary wiring
E: organic light emitting diode
P: Pixel area
Claims (19)
상기 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 형성된 제 1 전극과;
상기 화소영역의 경계에 배치되고 제 1 방향으로 연장하는 제 1 보조배선과;
상기 표시영역에 배치되어 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하고 각 화소영역을 둘러싸며, 상기 제 1 보조배선을 노출시키는 트렌치를 구비한 뱅크와;
상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 형성된 유기 발광층과;
상기 유기 발광층 상부를 포함한 상기 표시영역 전면에 배치되고 제 1 두께를 가진 제 2 전극과;
상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판과;
상기 제 2 기판의 내측면의 상기 화소영역 경계에 상기 제 1 방향으로 연장하는 돌출패턴과;
상기 돌출패턴 상부 및 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 뱅크에 대응하여 형성된 제 2 보조배선을 포함하며,
상기 제 1 및 2 보조배선과 상기 제 2 전극은 상기 트렌치 내부에서 서로 전기적으로 연결되고 상기 제 2 보조배선은 상기 돌출패턴의 측면 및 상기 제2기판으로 연장되어 상기 제 2 보조배선이 상기 뱅크의 측면과 상면에서 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결되는 것이 특징인 유기전계 발광소자.
A first substrate on which a display area having a plurality of pixel areas is defined;
A first electrode formed for each pixel region on the first substrate;
A first auxiliary wiring disposed at a boundary of the pixel area and extending in a first direction;
A bank disposed in the display area, overlapping an edge of each of the first electrodes, surrounding each pixel area, and having a trench exposing the first auxiliary wiring;
An organic emission layer formed on each of the first electrodes surrounded by the banks;
A second electrode disposed on the entire surface of the display area including the upper portion of the organic emission layer and having a first thickness;
A second substrate facing the first substrate;
A protruding pattern extending in the first direction to a boundary of the pixel region on the inner surface of the second substrate;
A second auxiliary wiring formed corresponding to the bank on the protruding pattern and the inner surface of the second substrate,
The first and second auxiliary wirings and the second electrode are electrically connected to each other in the trench, and the second auxiliary wiring extends to the side of the protruding pattern and the second substrate so that the second auxiliary wiring is the bank of the bank. An organic electroluminescent device characterized in that it is electrically connected to the second electrode from the side surface and the top surface.
상기 돌출패턴은 상기 트렌치 내부로 삽입되는 것이 특징인 유기전계 발광소자.
According to claim 1,
The protrusion pattern is an organic electroluminescent device characterized in that it is inserted into the trench.
상기 제 1 전극과 상기 유기 발광층 사이에는 제 1 발광보조층이 형성되며, 상기 유기 발광층과 상기 제 2 전극 사이에는 제 2 발광보조층이 형성된 것이 특징인 유기전계 발광소자.
According to claim 1,
An organic electroluminescent device characterized in that a first light-emitting auxiliary layer is formed between the first electrode and the organic light-emitting layer, and a second light-emitting auxiliary layer is formed between the organic light-emitting layer and the second electrode.
상기 제 1 및 제 2 발광보조층은 각 화소영역별로 분리 형성되며, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선은 상기 제 2 전극과 직접 접촉하는 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method of claim 3,
The first and second light-emitting auxiliary layers are formed separately for each pixel area, and the first auxiliary wiring in the trench directly contacts the second electrode.
상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성되며,
상기 제 2 보조배선은 상기 돌출패턴 상부에 대응되는 부분은 그 표면이 요철구조를 이루며, 상기 트렌치 내부에서 상기 요철구조의 철부가 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 보조배선의 표면과 접촉하는 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method of claim 3,
At least one of the first and second light-emitting auxiliary layers is formed on the entire surface of the display area,
In the second auxiliary wiring, a portion corresponding to the upper portion of the protruding pattern has a concavo-convex structure, and the first and second light emitting portions in which the concave-convex portion of the concavo-convex structure is located at the bottom of the second electrode and the inside of the trench An organic electroluminescent device characterized in that it penetrates through the auxiliary layer and contacts the surface of the first auxiliary wiring.
상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성되며,
상기 트렌치 내부에는 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 보조배선 및 상기 2 보조배선과 접촉하는 다수의 도전볼이 구비된 것이 특징인 유기전계 발광소자.
The method of claim 3,
At least one of the first and second light-emitting auxiliary layers is formed on the entire surface of the display area,
The trench is provided with a plurality of conductive balls penetrating the first and second auxiliary wirings through the first and second light-emitting auxiliary layers positioned under the second electrode and the second electrode. EL device.
상기 제 1 보조배선은 상기 제 1 전극과 동일한 물질로 이루어지며,
상기 제 2 보조배선은 저 저항 특성을 갖는 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어진 것이 특징인 유기전계 발광소자.
According to claim 1,
The first auxiliary wiring is made of the same material as the first electrode,
The second auxiliary wiring is made of any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, gold (Au), and silver (Ag), which are metal materials having low resistance properties. Characteristic organic electroluminescent device.
상기 제 2 전극은 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고,
상기 제 1 두께는 10 내지 200Å인 것이 특징인 유기전계 발광소자.
According to claim 1,
The second electrode may be any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), and aluminum magnesium alloy (AlMg), which are metal materials having a relatively low work function value, or Made of two or more substances,
The first thickness of the organic electroluminescent device is characterized in that 10 to 200Å.
상기 제 1 기판 상에 서로 교차하게 배치되어 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과;
상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 이들 배선과 나란하게 이격하며 형성된 전원배선과;
상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와;
상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키며 형성된 보호층
을 포함하며, 상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 형성된 것이 특징인 유기전계 발광소자.
According to claim 1,
Gate and data wirings disposed on the first substrate to cross each other to define the pixel region;
A power wiring formed spaced apart from these wiring in parallel on the same layer on which the gate wiring or data wiring is formed;
A switching thin film transistor provided in each pixel region and connected to the gate wiring and the data wiring, and a driving thin film transistor connected to the power supply wiring and the switching thin film transistor;
A protective layer formed by covering the switching and driving thin film transistors on the front surface of the display area and exposing the drain electrode of the driving thin film transistor.
Including, wherein the first electrode is formed in contact with the drain electrode of the driving thin film transistor in each pixel region over the protective layer, characterized in that the organic electroluminescent device.
상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 각 화소영역을 둘러싸며, 상기 제 1 보조배선을 노출시키는 트렌치를 구비한 뱅크를 형성하는 단계와;
상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와;
상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 제 1 두께를 갖는 제 2 전극을 형성하는 단계와;
제 2 기판의 내측면의 상기 화소영역의 경계에 상기 제 1 방향으로 연장하는 돌출패턴을 형성하는 단계와;
상기 돌출패턴 상부 및 상기 제 2 기판의 내측면에 상기 뱅크에 대응하여 제 2 보조배선을 형성하는 단계와;
상기 제 2 보조배선과 상기 제 2 전극이 접촉하도록 상기 제 1 기판 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하며,
상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선과 상기 제 2 전극은 서로 전기적으로 연결되고 상기 제 2 보조배선은 상기 돌출패턴의 측면 및 상기 제2기판으로 연장되어 상기 제 2 보조배선이 상기 뱅크의 측면과 상면에서 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결되는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
Forming a first electrode for each pixel region on a first substrate on which a display region having a plurality of pixel regions is defined, and forming a first auxiliary wiring extending in a first direction at a boundary of the pixel region;
Forming a bank having a trench overlapping the edge of each first electrode in the display area, surrounding each pixel area, and exposing the first auxiliary wiring;
Forming an organic emission layer on each of the first electrodes surrounded by the bank;
Forming a second electrode having a first thickness on the entire surface of the display area over the organic emission layer;
Forming a protruding pattern extending in the first direction at a boundary of the pixel area on the inner surface of the second substrate;
Forming a second auxiliary wiring corresponding to the bank on the protruding pattern and the inner surface of the second substrate;
And bonding the first substrate and the second substrate such that the second auxiliary wiring contacts the second electrode.
In the trench, the first auxiliary wiring and the second electrode are electrically connected to each other, and the second auxiliary wiring extends to the side of the protruding pattern and the second substrate so that the second auxiliary wiring is in contact with the side of the bank. A method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that it is electrically connected to the second electrode from the top surface.
상기 돌출패턴이 상기 트렌치 내부로 삽입되도록 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method of claim 10,
A method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that the first and second substrates are bonded so that the protruding pattern is inserted into the trench.
상기 제 1 전극 위로 상기 유기 발광층을 형성하기 전에 제 1 발광보조층을 형성하고, 상기 유기 발광층 위로 상기 제 2 전극을 형성하기 전에 제 2 발광보조층을 형성하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method of claim 10,
Manufacture of an organic light emitting device characterized in that a first light emitting auxiliary layer is formed before the organic light emitting layer is formed on the first electrode, and a second light emitting auxiliary layer is formed before the second electrode is formed on the organic light emitting layer. Way.
상기 제 1 및 제 2 발광보조층은 각 화소영역별로 분리되도록 형성함으로서, 상기 트렌치 내부에서 상기 제 1 보조배선은 상기 제 2 전극과 직접 접촉하도록 형성하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method of claim 12,
The first and second light-emitting auxiliary layers are formed to be separated for each pixel area, so that the first auxiliary wiring is formed in direct contact with the second electrode in the trench.
상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성하며,
상기 제 2 보조배선의 상기 돌출패턴 상부에 대응되는 부분은 그 표면이 요철구조를 이루도록 형성하며, 상기 트렌치 내부에서 상기 요철구조의 철부가 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 보조배선의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method of claim 12,
At least one of the first and second light-emitting auxiliary layers is formed on the entire surface of the display area,
The portion corresponding to the upper portion of the protruding pattern of the second auxiliary wiring is formed such that its surface forms an uneven structure, and the first and first portions of the uneven structure in the trench are located at the second electrode and the lower portion thereof. 2 A method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that it penetrates through the light-emitting auxiliary layer and makes contact with the surface of the first auxiliary wiring.
상기 제 1 및 제 2 발광보조층 중 적어도 어느 하나의 층은 상기 표시영역 전면에 형성하며,
상기 트렌치 내부에는 상기 제 2 전극 및 이의 하부에 위치하는 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 관통하여 상기 제 1 보조배선 및 상기 2 보조배선과 접촉하는 다수의 도전볼이 구비되도록 한 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method of claim 12,
At least one of the first and second light-emitting auxiliary layers is formed on the entire surface of the display area,
The inside of the trench is characterized in that a plurality of conductive balls penetrating the first and second auxiliary wirings through the first and second light-emitting auxiliary layers positioned under the second electrode and the second electrode are provided. Method of manufacturing an organic light emitting device.
상기 다수의 도전볼은 상기 제 2 전극을 형성한 후, 잉크젯 장치를 이용하는 상기 트렌치 내부에 상기 제 2 전극 위로 제팅하여 형성하며,
상기 제 1 및 제 2 기판의 합착 시 상기 도전볼이 가입되도록 하여 상기 도전볼이 상기 제 2 전극 및 상기 제 1 및 제 2 발광보조층을 파고들어 상기 제 1 보조배선 및 제 2 보조배선의 표면과 접촉하도록 하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method of claim 15,
The plurality of conductive balls are formed by jetting over the second electrode in the trench using an inkjet device after forming the second electrode,
When the first and second substrates are bonded, the conductive balls are joined so that the conductive balls penetrate the second electrode and the first and second light-emitting auxiliary layers, and the surfaces of the first and second auxiliary wirings Method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that to be in contact with.
상기 제 2 보조배선은 저 저항 특성을 갖는 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어지며,
상기 제 2 전극은 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고,
상기 제 1 두께는 10 내지 200Å인 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method of claim 10,
The second auxiliary wiring is made of any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, gold (Au), and silver (Ag), which are metal materials having low resistance properties. ,
The second electrode may be any one of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), and aluminum magnesium alloy (AlMg), which are metal materials having a relatively low work function value, or Made of two or more substances,
The first thickness is a method of manufacturing an organic electroluminescent device characterized in that 10 to 200 Å.
상기 제 1 전극을 형성하기 이전에,
상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 형성된 전원배선과, 상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와, 상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 갖는 보호층을 형성하는 단계를 더욱 포함하며,
상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하도록 형성하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method of claim 10,
Before forming the first electrode,
A gate and data wiring crossing each other on the first substrate to define the pixel region, a power supply wiring formed on the same layer on which the gate wiring or data wiring is formed, and provided in each pixel region, wherein the gate wiring and data A switching thin film transistor connected to a wiring, a driving thin film transistor connected to the power wiring and the switching thin film transistor, and a drain contact hole covering the switching and driving thin film transistor in front of the display area and exposing the drain electrode of the driving thin film transistor. Further comprising the step of forming a protective layer having,
The first electrode is formed on the passivation layer to contact the drain electrode of the driving thin film transistor through the drain contact hole in each pixel region.
The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the protrusion pattern is formed to correspond to the shape of the trench of the bank.
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