KR20130007110U - Apparatus for transporting wafer carrier - Google Patents

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Abstract

본 고안은 웨이퍼 캐리어 운반장치에 관한 것 이로서, 본체, 수평 이동 부재, 수직 이동 부재, 지지 부재 및 댐퍼 부재를 포함하며, 본체는 프레임과 복수의 바퀴를 포함하며; 수평 이동 부재는 이동식으로 프레임에 슬라이딩 체결하고; 수직 이동 부재는 이동식으로 수평 이동 부재에 슬라이딩 체결하고, 수직 이동 부재의 이동 방향과 수평 이동 부재의 이동 방향은 서로 수직하며; 지지 부재는 상기 웨이퍼 캐리어를 안치하는 거치대를 포함하며; 거치대는 댐퍼 부재를 통해 프레임에 장착되어 각 거치대와 상기 웨이퍼 캐리어의 적재 무게를 흡수한다. 이와 같이, 웨이퍼 캐리어 내에 웨이퍼로 하여금 운반 과정에서 잘 보호 받도록 함으로서, 웨이퍼의 손상률을 낮출 수 있다.The present invention relates to a wafer carrier carrying apparatus, comprising a body, a horizontal shifting member, a vertically shifting member, a support member and a damper member, the body including a frame and a plurality of wheels; The horizontal moving member is slidingly fastened to the frame in a movable manner; The vertical moving member is slidably coupled to the horizontal moving member such that the moving direction of the vertical moving member and the moving direction of the horizontal moving member are perpendicular to each other; The support member comprising a mount resting the wafer carrier; The cradle is mounted to the frame through a damper member to absorb the weight of each cradle and the wafer carrier. In this manner, by making the wafer well-protected in the wafer carrier during transportation, the damage rate of the wafer can be reduced.

Description

웨이퍼 캐리어 운반장치{APPARATUS FOR TRANSPORTING WAFER CARRIER}[0001] APPARATUS FOR TRANSPORTING WAFER CARRIER [0002]

본 고안은 운반장치에 관한 것이며, 특히 웨이퍼 캐리어 운반장치에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying device, and more particularly to a wafer carrier carrying device.

종래의 웨이퍼 제작 과정에서, 대부분 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에 안치하고, 운송 차량으로 저장 캐비닛과 웨이퍼 로딩 장치 사이로 운송한다. 그러나 웨이퍼의 크기가 점점 더 커짐에 따라, 단지 인력으로 이런 운반작업을 반복하다 보면, 직원들이 피곤해져서 다치기 쉽고, 운반 과정에서 웨이퍼가 손상되는 문제 등도 자주 발생한다.In a conventional wafer fabrication process, most wafers are placed in a wafer carrier and transported as a transport vehicle between the storage cabinet and the wafer loading apparatus. However, as the size of wafers grows larger, repeating these operations with only the workforce often causes employees to become tired and injured, and often damage the wafer during transportation.

종래의 웨이퍼 캐리어 운반장치는, 대만 실용신안공고 제494910호에 개시된 바와 같이, 프레임 본체, 수평 운동 부재, 수직 운동 부재, 지지 부재 및 상호 잠금 부재를 포함하고, 프레임 본체는 복수의 버팀대로 조성된 입체 프레임 구조이며, 프레임 본체 중단에 수평 프레임 틀을 형성하고, 하부에는 복수의 바퀴가 설치되어 있으며; 수평 운동 부재는 수평 프레임 틀에 설치된 수평 슬라이드 레일 세트, 수평 슬라이드 레일에 설치되어 앞뒤로 이동할 수 있는 수평 슬라이더 및 수평 슬라이더에 설치되는 제1 회전축 세트를 포함하며, 제1 회전축에는 수평 조작 스틱이 고정 설치되고; 수직 운동 부재는 수평 슬라이더에 설치된 수직 슬라이드 레일, 수직 슬라이드 레일에 설치된 수직 슬라이더 및 수평 슬라이더에 설치되는 제2회전축 세트를 포함하며, 제2회전축에는 수직 조정 스틱과 캠이 고정 설치되고; 지지 부재는 상단에 수평으로 돌출된 두개의 적재용 암이 있고 하단에는 적재 버팀대로 수직 슬라이더에 고정 설치되게 하여 캠의 의해 상하 이동하게 되며; 상호 잠금 부재는 제1 회전축과 제2 회전축의 상호 잠금을 이용한다.A conventional wafer carrier carrying apparatus includes a frame body, a horizontal moving member, a vertical moving member, a supporting member, and an interlocking member, as disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 494910, A stereoscopic frame structure, wherein a horizontal frame frame is formed at a frame body stop, and a plurality of wheels are provided at a lower portion thereof; The horizontal motion member includes a horizontal slide rail set installed in a horizontal frame, a horizontal slider installed on the horizontal slide rail and movable in the forward and backward directions, and a first rotary shaft set installed on the horizontal slider. Being; The vertical movement member includes a vertical slide rail installed on the horizontal slider, a vertical slider installed on the vertical slide rail, and a second rotary shaft set on the horizontal slider, and the vertical adjustment stick and the cam are fixedly mounted on the second rotary shaft; The supporting member has two loading arms protruding horizontally at the upper end thereof, and is vertically moved by the cam to be fixedly installed on the vertical slider by a loading bracket at the lower end thereof; The mutual locking member utilizes mutual locking of the first rotational axis and the second rotational axis.

그러나, 종래의 웨이퍼 캐리어 운반장치는 운송 과정 중에서 지면이 고르지 않은 탓에, 자주 과도한 진동으로 웨이퍼에 손상을 입히는 상황을 초래하여, 개선할 필요가 있다.However, in the conventional wafer carrier transport apparatus, since the ground surface is uneven in the transportation process, the wafer is often damaged by excessive vibration, and it is necessary to improve.

한국등록특허 제10-0689856호 (공고일: 2007. 3. 8.)Korean Patent No. 10-0689856 (Notification date: Mar. 8, 2007)

본 고안은 목적은 댐퍼 부재를 설치하여 웨이퍼 캐리어 내에 웨이퍼로 하여금 운반 과정에서 잘 보호 받도록 함으로서, 웨이퍼의 손상률을 낮출 수 있는 웨이퍼 캐리어 운반장치를 제공하는 것이다.The object of the present invention is to provide a wafer carrier carrying device capable of lowering the damage rate of a wafer by providing a damper member so that the wafer is well protected in the wafer carrier during transportation.

본 고안이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 고안에서 제공하는 웨이퍼 캐리어 운반 장치는 본체, 수평 이동 부재, 수직 이동 부재, 지지 부재 및 댐퍼 부재를 포함하며, 상기 본체는 프레임과 상기 프레임에 연결된 복수의 바퀴를 포함하며; 상기 수평 이동 부재는 이동식으로 상기 프레임에 슬라이딩 체결하고; 상기 수직 이동 부재는 이동식으로 상기 수평 이동 부재에 슬라이딩 체결하고, 상기 수직 이동 부재의 이동 방향과 상기 수평 이동 부재의 이동 방향은 서로 수직하며; 상기 지지 부재는 상기 웨이퍼 캐리어를 안치하는 거치대를 포함하며; 상기 거치대는 댐퍼 부재를 통해 상기 프레임에 설치되어 상기 거치대의 적재 무게를 흡수한다.To achieve the above object, a wafer carrier carrying apparatus provided in the present invention includes a main body, a horizontal moving member, a vertically moving member, a supporting member and a damper member, and the main body includes a frame and a plurality of wheels connected to the frame ; The horizontal moving member is slidingly fastened to the frame movably; Wherein the vertical moving member is slidably coupled to the horizontal moving member such that the moving direction of the vertical moving member and the moving direction of the horizontal moving member are perpendicular to each other; The support member including a mount resting the wafer carrier; The cradle is installed on the frame through a damper member to absorb the weight of the cradle.

본 고안은 다음의 기능을 더 구비한다. 위치 고정 부재를 프레임 앞측에 설치하여, 저장 캐비닛과 연결할 때, 고정하는 안전성을 증가시킬 수 있다. 설치된 승강 범퍼 부재를 이용하여, 웨이퍼 캐리어 운반 작업에 대해 수동 또는/및 가스식 2단계 모드로 조작할 수 있다.The present invention further includes the following functions. The position fixing member may be provided on the front side of the frame so as to increase the safety of fixing the connection member when connecting to the storage cabinet. The elevated bumper member installed can be operated in a manual and / or gas-operated two-step mode for wafer carrier transport operations.

본 고안의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 운반장치는, 댐퍼 부재를 설치하여 웨이퍼 캐리어 내에 웨이퍼로 하여금 운반 과정에서 잘 보호받도록 함으로써, 웨이퍼의 손상률을 낮출 수 있다.The wafer carrier carrying apparatus according to the embodiment of the present invention can reduce the damage rate of the wafer by providing a damper member to protect the wafer in the wafer carrier during transportation.

도1은 본 고안의 웨이퍼 캐리어 운반장치의 구성 설명도이다.
도2는 도1의 또 다른 사시도이다.
도3은 본 고안을 웨이퍼 캐리어 운반 구성에 적용한 설명도이다.
도4는 본 고안을 웨이퍼 캐리어 운반에 적용한 사용 상태도(1)이다.
도5는 도4의 부품 확대 설명도이다.
도6은 본 고안을 웨이퍼 캐리어 운반에 적용한 사용 상태도(2)이다.
도7은 도4의 부품 확대 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a configuration explanatory view of a wafer carrier carrying apparatus according to the present invention; FIG.
Figure 2 is another perspective view of Figure 1;
Fig. 3 is an explanatory view of applying the present invention to a wafer carrier transport configuration.
4 is a use state diagram (1) in which the present invention is applied to wafer carrier transportation.
5 is an enlarged explanatory view of the parts shown in Fig.
6 is a use state diagram (2) in which the present invention is applied to wafer carrier transportation.
7 is an enlarged explanatory view of the parts of Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 실시예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 고안의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 고안의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention. It is to be understood, however, that the appended drawings illustrate the present invention in order to more readily disclose the contents of the present invention and that the scope of the present invention is not limited to the range of the accompanying drawings, You will know.

또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 하나 이상의 다른 구성요소를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함된다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 '포함'한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 이외의 다른 구성요소를 제외한다는 의미가 아니라 이외의 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.In addition, throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it is not only referred to as being "directly connected" but also "indirectly connected" And the like. In addition, when a part is referred to as including an element, it is not meant to exclude other elements unless specifically stated otherwise, but may include other elements.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 운반장치에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a wafer carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도1 내지 도2에서 제시한 바와 같이, 본 고안은 웨이퍼 캐리어 운반 장치를 제공하며, 상기 웨이퍼 캐리어 운반장치(1)는 본체(10), 수평 이동 부재(20), 수직 이동 부재(30), 지지 부재(40) 및 댐퍼 부재(50)를 포함할 수 있다.1 and 2, the present invention provides a wafer carrier carrying apparatus, which comprises a body 10, a horizontally movable member 20, a vertically movable member 30, A support member 40 and a damper member 50. [

본체(10)는 프레임(11)을 포함하며, 상기 프레임(11)은 4개의 기둥 파이프(111), 5개의 횡간 파이프(112) 및 2개의 대각선 파이프(113)로 조합되고, 각 기둥 파이프(111)는 일정한 간격으로 4모서리 단에 설치하고, 각 횡간 파이프(112)는 서로 이웃 하는 임의의 두 기둥 파이프(111) 사이에 연결하고, 각 대각선 파이프(113)는 교차하여 대각선상에 기둥 파이프(111) 하단에 연결한다; 각 기둥 파이프(111)와 가까운 대각선 파이프(113) 단부에 각각 바퀴(12)를 연결한다. 또한 각 기둥 파이프(111) 상단에 복수 쌍의 손잡이(13)를 연결하고, 각 쌍의 손잡이(13)는 각각 프레임(11)의 서로 다른 측면에 위치하여, 3개의 반향으로 상기 프레임(11)을 이동시킬 수 있다.The body 10 includes a frame 11 which is assembled into four column pipes 111, five transverse pipes 112 and two diagonal pipes 113, 111 are installed at four corners at regular intervals and each transverse pipe 112 is connected between adjacent two column pipes 111. Each diagonal pipe 113 crosses and connects a column pipe Lt; RTI ID = 0.0 > 111 < / RTI > The wheels 12 are connected to the end of the diagonal pipe 113 close to the respective column pipes 111. A plurality of pairs of knobs 13 are connected to the upper ends of the respective column pipes 111 and each pair of knobs 13 are located on different sides of the frame 11, Can be moved.

수평 이동 부재(20)는 이동식으로 상기 프레임(11)에 슬라이딩 체결하고, 한 쌍의 수직판(21), 두 쌍의 제1 가이드 레일(22), 두 쌍의 제1 슬라이더(23) 및 1개의 이동 베이스(24)를 포함하며; 각 수직판(21)은 프레임(11)의 전후측의 횡간 파이프(112)에 고정하되 각 대각선 파이프(113) 위쪽에 위치하고, 제1 가이드 레일(22)과 제1 슬라이더(23)는 한 쌍의 형태로도 설치할 수 있고, 제1 가이드 레일(22)은 서로 대응 평행하게 각 수직판(21) 내측 표면에 고정시킨다. 각각의 제1 슬라이더(23)는 가이드 홈(231)을 구비하고, 가이드 홈(231)과 제1 가이드 레일(22)을 서로 슬라이딩 체결된다. 상기 이동 베이스(24)는 대체로 직육면체이고, 각 제1 슬라이더(23)와 상호 연결하여 이동 베이스(24)가 프레임(11)에서 수평 방향으로 이동할 수 있게 한다.The horizontal shifting member 20 is slidingly coupled to the frame 11 in a movable manner and includes a pair of vertical plates 21, two pairs of first guide rails 22, two pairs of first sliders 23, A plurality of moving bases (24); Each of the vertical plates 21 is fixed to the transverse pipe 112 on the front and rear sides of the frame 11 and is located above each diagonal pipe 113. The first guide rail 22 and the first slider 23 And the first guide rails 22 are fixed to the inner surface of each of the vertical plates 21 in parallel to each other. Each of the first sliders 23 has a guide groove 231 and the guide groove 231 and the first guide rail 22 are slidingly coupled to each other. The movable base 24 is generally rectangular parallelepiped and interconnected with each first slider 23 so that the movable base 24 can move horizontally in the frame 11. [

수직 이동 부재(30)는 이동식으로 상기 수평 이동 부재(20)에 슬라이딩 체결하고, 한 쌍의 제2 가이드 레일(31), 1개의 제2 슬라이더(32) 및 1개의 삽입 지지대 부재(33)를 포함하며, 각 제2 가이드 레일(31)을 상기 이동 베이스(24) 배면에 고정하고, 제2 슬라이더(32)에는 한 쌍의 가이드 홈(321)이 설치되어 있어, 각 가이드 홈(321)은 각각 제2 가이드 레일(31)과 슬라이딩 체결된다. 상기 제2 슬라이더(32)의 이동 방향과 수평 이동 부재(20)의 이동 베이스(24)의 이동 방향은 서로 수직하고, 즉 제2 슬라이더(32)는 이동 베이스(24) 상에서 수직 방향으로 이동할 수 있다. 삽입 지지대 부재(33)는 대략 밑이 평평한 「U」자 형이고, 연결봉(331)과 연결봉(331) 양단부에 고정된 한 쌍의 삽입 지지대(332)를 포함하며, 연결봉(331)은 제2 슬라이더(32) 전단부에 고정 연결되어 제2 슬라이더(32)를 따라 수직 방향으로 이동한다.The vertically movable member 30 is slidably coupled to the horizontally moving member 20 in a movable manner and a pair of second guide rails 31, a second slider 32 and an insert support member 33 And each of the second guide rails 31 is fixed to the back surface of the moving base 24. A pair of guide grooves 321 are provided in the second slider 32, And are respectively engaged with the second guide rails 31 by sliding. The movement direction of the second slider 32 and the movement direction of the movement base 24 of the horizontal movement member 20 are perpendicular to each other, that is, the second slider 32 can move in the vertical direction on the movement base 24 have. The insertion support member 33 includes a substantially U-shaped lower U shape and includes a connecting rod 331 and a pair of insertion supports 332 fixed to both ends of the connecting rod 331, Is fixedly connected to the front end of the slider (32) and moves in the vertical direction along the second slider (32).

지지 부재(40)는 한 쌍의 거치대(41)를 포함하나, 상기 거치대(41)도 단일 형태일 수 도 있으며, 각 거치대(41)는 각각 삽입 지지대 부재(33)의 두 삽입 지지대(332) 내측 위치에 놓인다. 각 거치대(41)는 댐퍼 부재(50)를 통해 프레임(11)에 장착되고, 댐퍼 부재(50)는 한 쌍의 지지판(51) 및 복수의 댐퍼(52)를 포함하고, 각 지지판(51)은 각각 프레임(11)의 횡간 파이프(112)와 수평 이동 부재(20)의 수직판(21) 사이를 걸쳐 연결되어 있고, 각 댐퍼(52)는 각 거치대(41) 설치 위치에 대응하여 지지판(51)에 고정되어 각 거치대(41)의 적재 무게를 흡수한다. The support member 40 may include a pair of mounts 41 but the mount 41 may also be of a single shape and each mount 41 may include two insert supports 332 of the insert support member 33, And is placed in the inner position. Each of the cradles 41 is mounted to the frame 11 via a damper member 50. The damper member 50 includes a pair of support plates 51 and a plurality of dampers 52, Are connected to each other between the transverse pipe 112 of the frame 11 and the vertical plate 21 of the horizontal shifting member 20 and the respective dampers 52 are connected to the supporting plate 51 so as to absorb the weight of each cradle 41.

이외에도, 본 고안의 웨이퍼 캐리어 운반장치(1)는 위치 고정 부재(60)를 더 포함한다. 상기 위치 고정 부재(60)는 본체(10)에 장착되며, 삽입 연결 베이스(61), 조작 페달(62), 폴더(63) 및 연결 샤프트(64)를 포함한다. 삽입 연결 베이스(61)는 프레임(11) 전면 하부의 횡간 파이프(112)에 고정되고, 조작 페달(62)은 복원 장치(도면에 도시하지 않았음)를 구비하여 페달을 밟은 후에 자동으로 복원할 수 있으며, 복원 장치는 각 대각선 파이프(113) 위쪽 위치에 장착되어있다, 폴더(63)는 삽입 연결 베이스(61) 내부에 놓여있고 연결 샤프트(64)를 통해 조작 페달(62)관 연결되어있다; 발로 조작 페달(62)을 밟으면, 연결 샤프트(64)와 폴더(63)를 아래로 이동시키므로, 이와 같이 삽입 연결 베이스(61)가 연결된 캐비닛(도면에 도시하지 않았음)에서 빠져 나올 수 있다.In addition, the wafer carrier transport apparatus 1 of the present invention further includes a position fixing member 60. [ The position fixing member 60 is mounted to the main body 10 and includes an insertion connection base 61, an operation pedal 62, a folder 63 and a connection shaft 64. The insertion connection base 61 is fixed to the transverse pipe 112 under the front surface of the frame 11 and the operation pedal 62 is provided with a restoration device (not shown) to automatically restore the pedal after stepping on the pedal And the restoring device is mounted at a position above each diagonal pipe 113. The folder 63 lies inside the insertion connection base 61 and is connected to the operation pedal 62 through the connection shaft 64 ; When the foot pedal 62 is depressed, the connection shaft 64 and the folder 63 are moved downward, so that the insertion connection base 61 can be pulled out of the cabinet (not shown) connected thereto.

또한, 본 고안의 웨이퍼 캐리어 운반 장치(1)는 승강 범퍼 부재(70)를 더 포함한다. 도5에서 도시한 바와 같이, 상기 승강 범퍼 부재(70)는 회전봉(71), 캠(72), 태핏(73), 공기압 실린더(74) 및 제어기(75)를 포함하며, 회전봉(71)축은 이동 베이스(24) 배면에 연결되고, 캠(72)은 회전봉(71)에 연결되어 같이 회전하고, 상기 캠(72)에는 호형 홈(721)이 개설되어있고, 태핏(73)의 일단은 제2 슬라이더(32)에 고정되고, 다른 일단은 스터드(731)와 연결되어있고, 상기 스터드(731)는 호형 홉(721)에 감입 제한되고, 공기압 실린더(74)는 일단은 이동 베이스(24)에 고정되고 다른 일단은 제2 슬라이더(32)에 연결되고, 제어기(75)는 회전봉(71)에 고정되어 공기압 실린더(74)의 신축 작동을 기동 시키는데 사용한다.In addition, the wafer carrier carrying apparatus 1 of the present invention further includes a lifting bumper member 70. Fig. 5, the elevating bumper member 70 includes a rotation bar 71, a cam 72, a tappet 73, an air pressure cylinder 74, and a controller 75, The cam 72 is connected to the rotation bar 71 and rotates together with the cam 72 and an arc groove 721 is formed in the cam 72. The tappet 73 has one end 2 slider 32 and the other end thereof is connected to the stud 731. The stud 731 is restricted to be caught by the arc horn 721 and the pneumatic cylinder 74 has one end fixed to the moving base 24, And the other end is connected to the second slider 32 and the controller 75 is fixed to the rotating rod 71 and is used to start the stretching operation of the pneumatic cylinder 74. [

또한, 본 고안의 웨이퍼 캐리어 운반장치(1)는 잠금 부재(80)를 더 포함한다. 도5에서 제시한 바와 같이, 상기 잠금 부재(80)는 레버(81), 선체(82) 및 블로킹 부재(83)를 포함하며, 레버(81)는 회전봉(71)에 고정 되어있고, 선체(82)는 레버(81)와 블로킹 부재(83)를 연결하고, 블로킹 부재(83)는 앞에서 서술한 제1 가이드 레일(22)중 하나에 설치하고, 상기 블로킹 부재(83)는 이동 베이스(24)가 전후 이동하는 거리의 극한 위치에서 블로킹 작용을 한다.In addition, the wafer carrier carrying apparatus 1 of the present invention further includes a lock member 80. Fig. 5, the lock member 80 includes a lever 81, a hull 82 and a blocking member 83. The lever 81 is fixed to the swinging rod 71, 82 connects the lever 81 to the blocking member 83 and the blocking member 83 is installed in one of the first guide rails 22 described above and the blocking member 83 is fixed to the moving base 24 ) At the extreme position of the distance in which it moves back and forth.

도3에서 제시한 바와 같이, 상기 각 부재 및 부품의 조합으로, 웨이퍼 캐리어(9) 운반에 사용할 수 있고, 상기 웨이퍼 캐리어(9) 내부에는 다수의 웨이퍼(도면에 도시하지 않았음)가 스택방식으로 놓여있고, 또한 웨이퍼 캐리어(9)의 좌우 양측 각각에 상기 삽입 지지대(332)를 삽입하는 홈이 형성되어 있다. 사용할 때는 삽입 지지대(332)로 웨이퍼 캐리어(9)에 삽입 연결하여 거치대(41)에 안치하고, 각 거치대(41)는 댐퍼 부재(50)의 각 댐퍼(52)를 통해 프레임(11)과 연결되어, 본체(10)가 이동되는 과정에서, 웨이퍼 캐리어(9)내의 각 웨이퍼를 확실하게 보호하여, 지표면이 고르지 않거나 진동으로 인해 각 웨이퍼가 손상되는 상황이 발생하지 않는다.As shown in FIG. 3, a combination of the above members and components can be used to transport the wafer carrier 9, and a plurality of wafers (not shown) are stacked in the wafer carrier 9 And grooves for inserting the insertion support bars 332 are formed on the left and right sides of the wafer carrier 9, respectively. The respective cradle 41 is connected to the frame 11 through the respective dampers 52 of the damper member 50. The cradle 41 is connected to the frame carrier 11 by means of an insertion support 332, Thus, in the process of moving the main body 10, each wafer in the wafer carrier 9 is reliably protected, and there is no occurrence of a situation in which the ground surface is uneven or each wafer is damaged due to vibration.

도4 내지 도7에서 제시한 바와 같이, 웨이퍼 캐리어 운반장치(1)가 저장 캐비닛 또는 작업 장소에 이르렀을 때, 삽입 연결 베이스(61)를 이용하여 저장 캐비닛을 향해 삽입 연결할 수 있고, 이때 폴더(63)는 연결 샤프트(64)와 조작 페달(62)의 연동으로 캐비닛에 안정적으로 연결 고정될 것이다.As shown in Figs. 4 to 7, when the wafer carrier transport apparatus 1 reaches the storage cabinet or work place, it can be inserted and connected to the storage cabinet by using the insertion connection base 61, 63 will be stably connected and fixed to the cabinet by interlocking the connecting shaft 64 and the operating pedal 62. [

본 고안의 승강 범퍼 부재(70)는 수동과 가스식 2단계 모드 조작 기능을 구비하므로, 수동 방식을 선택해 조작할 때, 도5와 도7에서 제시한 바와 같이, 회전봉(71)을 좌측 극한 위치까지 돌려놓으면 캠(72)도 따라 움직여, 태핏(73)의 스터드(731)는 캠(72)의 호형 홈(721)에 제한되어 아래쪽으로 이동하고, 이때 수직 이동 부재(30)는 마침 최저점에 위치한다(도7에 예시). 반대로, 회전봉(71)을 우측 극한 위치까지 돌려놓으면 캠(72)도 따라 움직여, 태핏(73)의 스터드(731)는 캠(72)의 호형 홈(721)에 제한되어 위쪽으로 이동하고, 이때 수직 이동 부재(30)는 최고점에 위치한다(도5에 예시). 이러한 수동 조작 제어는 삽입 지지대 부재(33)와 웨이퍼 캐리어(9)(도면에 제시하지 않았음)에 대해 신속하게 승강동작을 진행하여 시간을 절약한다. 동시에 수직 이동 부재(30)가 최고, 최저 또는 기타 어느 위치에 놓여있어도, 모두 다 가스식 모드를 선택해 조작 제어할 수 있으며, 제어기(75)를 누르면 공기압 실린더(74)를 구동하여 수직 이동 부재(30)는 상, 하 방향으로 이동한다. 이러한 가스식 조작 제어는 완만하게 상승 또는 완만하게 하강하는 작용을 구비하므로, 이와 같이 웨이퍼 캐리어(9) 내에 놓인 각 웨이퍼는 보다 적절한 보호를 보장 받을 수 있다. 그리고, 상기 조작 제어 방식은 동시에 수동 및 가스식 모드로 제어할 필요는 없으며, 단독으로 가스식 모드로 조작할 수도 있고, 그리고 상기 실시방식에 제한되지 않는다.Since the elevating bumper member 70 of the present invention has a manual and gas type two-step mode operation function, when the manual mode is selected and operated, as shown in FIGS. 5 and 7, The stud 721 of the tappet 73 is limited to the arcuate groove 721 of the cam 72 and moves downward while the vertically movable member 30 is moved to the lowest position (Shown in Fig. 7). Conversely, when the rotation bar 71 is turned to the right extreme position, the cam 72 moves along with the stud 731 of the tappet 73 being limited to the arcuate groove 721 of the cam 72, The vertically movable member 30 is located at the highest point (as shown in Fig. 5). This manual operation control rapidly advances the lift operation to the insertion support member 33 and the wafer carrier 9 (not shown in the figure), thereby saving time. At the same time, even if the vertically movable member 30 is placed at the highest, lowest, or any other position, it is possible to select and operate the all-gas mode operation and press the controller 75 to drive the pneumatic cylinder 74, ) Move upward and downward. This gas-like operation control has a function of gently raising or gently lowering, so that each wafer placed in the wafer carrier 9 in this way can be guaranteed more appropriate protection. The operation control method does not need to be controlled in the manual and gas mode at the same time, and can be operated in the gas mode alone, and is not limited to the above-described embodiment.

상기 각 항의 동작을 완성한 후, 조작 페달(62)을 밟아, 연결 샤프트(64)와 폴더(63)를 연동하여 아래쪽으로 이동시키고, 이와 같이 삽입 연결 베이스(61)를 연결된 저장 캐비닛에서 빠져 나오게 하여 사용하는 편리성을 더 한층 증가하였다.After completing the operation of each of the above items, the operation pedal 62 is depressed to move the connection shaft 64 and the folder 63 in a downward direction, thereby allowing the insertion connection base 61 to be removed from the connected storage cabinet The convenience of use is further increased.

전술한 내용을 통해서 알 수 있는 바와 같이, 본 고안의 웨이퍼 캐리어 운반장치는 예상한 사용목적을 확실하게 달성할 수 있고, 종래의 결함을 해결하였으며, 또한 신규성과 진보성을 구비한 것으로서 실용신안등록출원 요건에 완전히 부합하므로 관계 법령에 따라 실용신안등록출원을 하게 된 것이다.As can be seen from the above description, the wafer carrier carrying apparatus of the present invention can reliably achieve the intended use purpose, solves the conventional defects, has novelty and inventive features, It is fully compliant with the requirements, so that the utility model application was filed in accordance with relevant laws and regulations.

이상에서 본 고안의 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 고안을 한정하는 것이 아니며, 본 고안이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 고안의 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 고안의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 고안의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although described above with reference to the embodiments of the present invention, which is merely an example and not intended to limit the present invention, those skilled in the art to which the present invention belongs without departing from the essential characteristics of the embodiments of the present invention It will be appreciated that various modifications and applications are not possible. For example, each component specifically shown in the embodiment of the present invention can be modified. And differences relating to these modifications and applications will have to be construed as being included in the scope of the invention as defined in the appended claims.

1: 웨이퍼 캐리어 운반장치
10: 본체
11: 프레임
111: 기둥 파이프
112: 횡간 파이프
113: 대각선 파이프
12: 바퀴
13: 손잡이
20: 수평 이동 부재
21: 수직판
22: 제1 가이드 레일
23: 제1 가이드 슬라이더
231: 가이드 홈
24: 이동 베이스
30: 수직 이동 부재
31: 제2 가이드 레일
32: 제2 가이드 슬라이더
321: 가이드 홈
33: 삽입 지지대 부재
331: 연결봉
332: 삽입 지지대
40: 지지 부재
41: 거치대
50: 댐퍼 부재
51: 지지판
52: 댐퍼
60: 위치 고정 부재
61: 삽입 연결 베이스
62: 조작 페달
63: 폴더
64: 연결 샤프트
70: 승강 범퍼 부재
71: 회전봉
72: 캠
721: 호형 홈
73: 태핏
731: 스터드
74: 공기압 실린더
75: 제어기
80: 잠금 부재
81: 레버
82: 선체
83: 블로킹 부재
9: 웨이퍼 캐리어
대표도의 주요 부호에 대한 설명:
1: 웨이퍼 캐리어 운반장치 10: 본체
11: 프레임 111: 기둥 파이프
112: 횡간 파이프 113: 대각선 파이프
12: 바퀴 13: 손잡이
20: 수평 이동 부재 21: 수직
22: 제1 가이드 레일 23: 제1 슬라이더
231: 가이드 홈 24: 이동 베이스
33: 삽입 지지대 부재 331: 연결봉
332: 삽입 지지대 40: 지지 부재
41: 거치대 50: 댐퍼 부재
51: 지지판 52: 댐퍼
60: 위치 고정 부재 61: 삽입 연결 베이스
62: 조작 페달 63: 폴더
64: 연결 샤프트 70: 승강 범퍼 부재
71: 회전봉 75: 제어기
80: 잠금 부재 81: 레버
82: 선체1: Wafer carrier carrier
10: Body
11: Frame
111: column pipe
112: transverse pipe
113: diagonal pipe
12: Wheel
13: handle
20: Horizontal moving member
21: Vertical plate
22: first guide rail
23: first guide slider
231: Guide groove
24:
30: vertically movable member
31: second guide rail
32: second guide slider
321: Guide groove
33: insertion support member
331: connecting rod
332: Insertion support
40: Support member
41: Cradle
50: damper member
51: Support plate
52: Damper
60: Position fixing member
61: Insertion connection base
62: Operation pedal
63: Folder
64: connection shaft
70: lifting bumper member
71:
72: Cam
721: arc-shaped groove
73: Tappi
731: Studs
74: Pneumatic cylinder
75:
80:
81: Lever
82: Hull
83: blocking member
9: wafer carrier
Explanation of Major Codes of Representative:
1: wafer carrier carrying device 10:
11: frame 111: column pipe
112: transverse pipe 113: diagonal pipe
12: Wheel 13: Handle
20: horizontal moving member 21: vertical
22: first guide rail 23: first slider
231: guide groove 24: moving base
33: insertion support member 331: connecting rod
332: insertion support 40: support member
41: cradle 50: damper member
51: support plate 52: damper
60: Position fixing member 61: Insertion connection base
62: Operation pedal 63: Folder
64: connecting shaft 70: lifting bumper member
71: rotation rod 75:
80: Locking member 81: Lever
82: Hull

Claims (14)

웨이퍼 캐리어 운반장치에 있어서,
프레임 및 상기 프레임에 연결된 복수의 바퀴를 포함하는 본체;
상기 프레임에 이동식으로 슬라이딩 체결하는 수평 이동 부재;
상기 수평 이동 부재에 이동식으로 슬라이딩 체결하고, 상기 수직 이동 부재의 운동 방향과 수직하는 방향으로 운동하는 수직 이동 부재;
웨이퍼 캐리어를 안치하는 거치대를 포함하는 지지 부재; 및
상기 거치대의 적재 무게를 흡수하는 댐퍼 부재를 포함하고, 상기 거치대는 상기 댐퍼 부재를 통해 상기 프레임에 장착되는 웨이퍼 캐리어 운반장치.In a wafer carrier transport apparatus,
A body including a frame and a plurality of wheels connected to the frame;
A horizontal moving member movably slidingly coupled to the frame;
A vertical moving member slidably fastened to the horizontal moving member and moving in a direction perpendicular to the direction of movement of the vertical moving member;
A support member including a cradle for placing a wafer carrier; And
And a damper member for absorbing the loading weight of the cradle, wherein the cradle is mounted to the frame through the damper member. 제1항에 있어서,
상기 프레임에 장착하는 위치 고정 부재를 더 포함하고, 상기 위치 고정 부재는 삽입 연결 베이스, 조작 페달, 폴더 및 연결 샤프트를 포함하고, 상기 삽입 연결 베이스는 상기 프레임 앞측에 고정하고, 상기 폴더는 상기 삽입 연결 베이스 내부에 놓이고 상기 연결 샤프트를 통해 상기 조작 페달과 연결되는 웨이퍼 캐리어 운반장치.The method of claim 1,
Wherein the position fixing member includes an insertion connection base, an operation pedal, a folder, and a connection shaft, and the insertion connection base is fixed to the front side of the frame, Wherein the carrier pedestal is located within the connection base and is connected to the manipulation pedal through the connection shaft. 제1항에 있어서,
상기 프레임은 복수의 기둥 파이프, 복수의 횡간 파이프 및 복수의 대각선 파이프를 포함하고, 각 상기 기둥 파이프는 일정한 간격으로 4모서리 단에 설치되고, 각 상기 횡간 파이프는 서로 이웃 하는 임의의 두 상기 기둥 파이프 사이에 연결되고, 각 대각선 파이프는 교차하여 대각선상에 기둥 파이프 사이에 연결되는 웨이퍼 캐리어 운반장치.The method of claim 1,
Wherein said frame comprises a plurality of column pipes, a plurality of transverse pipes and a plurality of diagonal pipes, each of said column pipes being provided at four corner edges at regular intervals, each said transverse pipe comprising two adjacent column pipes Wherein each diagonal pipe is crossed and connected between the column pipes on a diagonal line. 제3항에 있어서,
각 상기 바퀴는 각 상기 기둥 파이프와 가까운 각 상기 대각선 파이프 단부에 각각 연결되는 웨이퍼 캐리어 운반장치.The method of claim 3,
Each of said wheels being connected to each said diagonal pipe end near each said column pipe. 제4항에 있어서,
상기 프레임은 복수 쌍의 손잡이를 더 포함하며, 각 쌍의 손잡이는 각각 각 상기 기둥 파이프에 연결하고, 상기 프레임의 서로 다른 측면에 각각 위치하는 웨이퍼 캐리어 운반장치.5. The method of claim 4,
Wherein the frame further comprises a plurality of pairs of knobs, each pair of knobs each connecting to the respective column pipe, and each located on a different side of the frame. 제1항에 있어서,
상기 수평 이동 부재는 상기 프레임에 고정되는 한 쌍의 제1 가이드 레일 및 상기 한 쌍의 제1 가이드 레일에 슬라이딩 체결하는 한 쌍의 제1 슬라이더를 포함하는 웨이퍼 캐리어 운반장치.The method of claim 1,
And the horizontal moving member includes a pair of first guide rails fixed to the frame and a pair of first sliders slidingly fastening to the pair of first guide rails. 제6항에 있어서,
상기 수평 이동 부재는 한 쌍의 수직판 및 1개의 이동 베이스를 더 포함하며, 각 상기 수직판은 각각 상기 프레임에 걸쳐 연결되어 각 상기 제1 가이드 레일을 장착케 하고, 상기 이동 베이스는 각 상기 제1 슬라이더와 상호 연결하여 상기 이동 베이스가 상기 프레임에서 수평 방향으로 이동할 수 있게 하는 웨이퍼 캐리어 운반장치.The method according to claim 6,
The horizontal moving member further includes a pair of vertical plates and a moving base, each vertical plate being connected across the frame to mount each of the first guide rails, and the moving base is formed of each said first base. 1. A wafer carrier transporter interconnected with a slider to enable the moving base to move horizontally in the frame. 제7항에 있어서,
상기 수직 이동 부재는 한 쌍의 제2 가이드 레일 및 상기 한 쌍의 제2가이드 레일에 슬라이딩 체결하는 1개의 제2 슬라이더를 포함하는 웨이퍼 캐리어 운반장치.The method of claim 7, wherein
Wherein the vertically-moving member includes a pair of second guide rails and one second slider for sliding engagement with the pair of second guide rails. 제8항에 있어서,
상기 수직 이동 부재는 삽입 지지대 부재를 더 포함하고, 각 상기 제2 가이드 레일은 각각 상기 이동 베이스에 고정되고, 상기 삽입 지지대 부재는 상기 제2 슬라이더에 고정되어 같이 수직 방향으로 이동하는 웨이퍼 캐리어 운반장치.9. The method of claim 8,
Wherein the vertically-moving member further comprises an insertion support member, each of the second guide rails being fixed to the moving base, and the insertion support member is fixed to the second slider, . 제9항에 있어서,
상기 삽입 지지대 부재는 연결봉과 상기 연결봉 단부에 고정된 한 쌍의 삽입 지지대를 포함하며, 상기 연결봉은 상기 제2 슬라이더에 고정되어 같이 수직 방향으로 이동하는 웨이퍼 캐리어 운반장치.10. The method of claim 9,
Wherein the insertion support member includes a connecting rod and a pair of insertion supports fixed to the connecting rod end, the connecting rod being fixed to the second slider and moving in the same vertical direction. 제8항에 있어서,
승강 범퍼 부재를 더 포함하며, 상기 승강 범퍼 부재는 회전봉, 캠 및 태핏을 포함하며, 상기 회전봉축은 상기 수평 이동 부재에 연결되고, 상기 캠은 상기 회전봉에 연결되어 같이 회전하고, 상기 캠에는 호형 홈이 개설되어있고, 상기 태핏의 일단은 상기 제2 슬라이더에 고정되고, 다른 일단은 스터드와 연결되고, 상기 스터드는 상기 호형 홈에 감입 제한되는 웨이퍼 캐리어 운반장치.9. The method of claim 8,
Wherein the elevating bumper member includes a rotating rod, a cam and a tappet, the rotating rod is connected to the horizontally moving member, the cam is connected to the rotating rod and rotates together, Wherein one end of the tappet is fixed to the second slider and the other end of the tappet is connected to the stud, and the stud is constrained in the arcuate groove. 제11항에 있어서,
상기 승강 범퍼 부재는 공기압 실린더 및 제어기를 더 포함하며, 상기 공기압 실린더의 일단은 상기 이동 베이스에 고정되고 다른 일단은 상기 제2 슬라이더에 연결되고, 상기 제어기는 상기 회전봉에 고정되어 공기압 실린더의 신축 작동을 기동 시키는데 사용하는 웨이퍼 캐리어 운반장치.12. The method of claim 11,
Wherein the elevating bumper member further comprises a pneumatic cylinder and a controller, one end of the pneumatic cylinder is fixed to the moving base, the other end is connected to the second slider, and the controller is fixed to the rotating rod, To the wafer carrier carrier. 제11항에 있어서,
잠금 부재를 더 포함하며, 상기 잠금 부재는 레버, 선체 및 블로킹 부재를 포함하며, 상기 레버는 상기 회전봉에 고정 되어있고, 상기 선체는 상기 레버와 상기 블로킹 부재를 연결하고, 상기 블로킹 부재는 상기 제1 가이드 레일 중 하나에 설치하여 상기 이동 베이스의 이동하는 위치를 제한하는 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 운반장치.12. The method of claim 11,
Wherein the locking member comprises a lever, a hull and a blocking member, the lever being fixed to the rotation bar, the hull connecting the lever and the blocking member, Wherein the movable base is disposed in one of the guide rails to limit the moving position of the movable base. 제1항에 있어서,
상기 댐퍼 부재는 지지판 및 복수의 댐퍼를 포함하고, 상기 지지판은 상기 프레임과 상기 수평 이동 부재 사이를 걸쳐 연결되고, 각 상기 댐퍼는 상기 거치대 연결에 대응하여 상기 지지판에 고정되는 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 운반장치.The method of claim 1,
Wherein the damper member comprises a support plate and a plurality of dampers, the support plate being connected across the frame and the horizontally movable member, and each damper being fixed to the support plate in correspondence with the cradle connection, Device.
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