KR20120134592A - 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치 - Google Patents

반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에서 수평 방향으로 연장하는 제1 가이드 레일과, 상기 제1 가이드 레일에 수직하는 방향으로 연장하며 상기 제1 가이드 레일에 이동 가능하도록 결합되고 각각 반도체 소자들을 픽업하기 위한 다수의 피커들과, 상기 피커들 사이를 서로 연결하는 다수의 링크들과, 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위한 간격 조절부를 포함한다. 상기 피커들에는 길이 방향으로 연장하는 가이드 홈이 각각 구비되고, 각 링크의 일측은 상기 피커들에 회전 가능하도록 힌지 결합되며 타측에는 상기 가이드 홈 내에 배치되어 상기 가이드 홈의 내측면을 따라 수직 방향으로 이동 가능하도록 롤러가 구비된다. 상기 간격 조절부는 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 링크들의 회전각을 조절할 수 있다.

Description

반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치{APPARATUS FOR PICKING UP SEMICONDUCTOR DEVICES}
본 발명의 실시예들은 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 소자들을 테스트 핸들러 등과 같은 반도체 장치 제조 설비의 트레이들 사이에서 이송하기 위하여 상기 반도체 소자들을 픽업하는 장치에 관한 것이다.
집적 회로 소자들과 같은 반도체 소자들은 일반적으로 실리콘웨이퍼와 같은 기판 상에 일련의 반복적인 미세 처리 공정들에 의해 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판 상에 막을 형성하는 증착 공정, 상기 막을 특정 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 패턴들에 전기적인 특성들을 부여하기 위한 이온 주입 공정 또는 확산 공정, 상기 패턴들이 형성된 기판으로부터 불순물들을 제거하기 위한 세정 및 린스 공정 등을 반복적으로 수행함으로써 다양한 형태의 반도체 소자들이 기판 상에 형성될 수 있다.
상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다양한 테스트 과정들을 통해 동작 특성들이 검사된 후 출하된다. 테스트 핸들러는 상기 반도체 소자들을 검사하기 위하여 상기 반도체 소자들을 테스트 챔버로 이송한다. 특히, 상기 반도체 소자들은 커스터머 트레이로부터 버퍼 트레이를 경유하여 테스트 트레이로 이송되며, 상기 테스트 챔버에서 검사된 반도체 소자들은 테스트 트레이로부터 버퍼 트레이를 경유하여 커스터머 트레이로 이송된다.
테스트 핸들러는 상기 트레이들 사이에서 반도체 소자들을 이송하기 위한 픽업 장치를 구비할 수 있다. 상기 픽업 장치는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 다수의 피커들을 포함할 수 있으며, 상기 커스터머 트레이와 테스트 트레이 사이에서 상기 반도체 소자들을 이송하기 위하여 사용될 수 있다.
한편, 상기 커스터머 트레이와 테스트 트레이의 피치가 서로 다르기 때문에 상기 픽업 장치는 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위한 메커니즘을 포함할 수 있다. 일 예로서, 본 출원인에 의해 2007년 5월 22일자로 출원되고 2008년 11월 26일자로 공개된 한국공개특허 제10-2008-0102746호에는 간격안내홈이 형성된 캠 플레이트 형태의 간격조절부재를 사용하여 다수의 피커들 사이의 간격을 조절하는 픽업장치가 개시되어 있다.
상기와 같은 픽업 장치의 경우 상기 피커들 사이의 간격을 자유롭게 조절할 수 없는 단점이 있다. 즉, 상기 피커들 사이의 간격은 상기 캠 플레이트의 최고점에서의 간격과 최저점에서 간격으로만 조절될 수 있다. 따라서, 다양한 반도체 소자들에 대응하기가 어려운 단점이 있다.
본 발명의 실시예들은 반도체 소자들을 픽업하기 위한 피커들 사이의 간격을 자유롭게 조절할 수 있는 반도체 소자 픽업 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 반도체 소자 픽업 장치는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에서 수평 방향으로 연장하는 제1 가이드 레일과, 상기 제1 가이드 레일에 수직하는 방향으로 연장하며 상기 제1 가이드 레일에 이동 가능하도록 결합되고 각각 반도체 소자들을 픽업하기 위한 다수의 피커들과, 상기 피커들 사이를 서로 연결하는 다수의 링크들과, 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위한 간격 조절부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 피커들의 길이 방향으로 연장하는 가이드 홈이 각 피커에 구비될 수 있으며, 각 링크의 일측은 상기 피커들에 회전 가능하도록 힌지 결합되며 타측에는 상기 가이드 홈 내에 배치되어 상기 가이드 홈의 내측면을 따라 수직 방향으로 이동 가능하도록 롤러가 구비될 수 있다. 상기 간격 조절부는 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 링크들의 회전각을 조절할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 제1항에 있어서, 상기 간격 조절부는 상기 피커들 사이의 간격이 감소되는 방향으로 상기 링크들에 힘을 가하는 제1 구동부와, 상기 피커들 사이의 간격이 증가되는 방향으로 상기 링크들에 힘을 가하는 제2 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 구동부는 상기 피커들 중 첫 번째 피커와 마지막 피커에 각각 연결되어 상기 피커들 사이의 간격이 감소되는 방향으로 힘을 가하는 공압 실린더를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 구동부는 상기 공압 실린더 내부의 압력을 항상 일정하게 유지시키는 레귤레이터를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 구동부는 상기 피커들과 상기 힌지 결합된 링크들 사이를 각각 연결하는 토션 스프링들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 구동부는 상기 피커들 중 첫 번째 피커와 마지막 피커에 각각 연결되어 상기 피커들 사이의 간격이 감소되는 방향으로 힘이 인가되는 공압 단동 실린더를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 링크들의 상기 타측에는 제2 롤러들이 각각 구비될 수 있으며, 상기 제2 구동부는 상기 제1 구동부에 의한 상기 링크들의 회전을 저지하도록 상기 제2 롤러들을 지지하는 수평 바(bar) 및 상기 수평 바를 수직 방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동 유닛은 회전력을 제공하는 모터와, 상기 모터에 의해 회전 가능하도록 상기 모터에 연결된 볼 스크루와, 상기 수평 바에 연결되며 상기 볼 스크루에 의해 상기 수평 바가 수직 방향으로 이동되도록 상기 볼 스크루에 결합된 볼 너트를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 링크들 중 중앙의 링크에는 제3 롤러가 장착될 수 있으며, 상기 제3 롤러가 삽입되며 상기 제3 롤러를 수평 방향으로는 고정시키고 수직 방향으로만 안내하기 위한 가이드 슬롯이 형성된 가이드 부재가 더 구비될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 반도체 소자 픽업 장치는 제1 구동부를 이용하여 피커들의 간격을 감소시키는 방향으로 항상 일정한 힘을 인가하며, 제2 구동부를 이용하여 상기 피커들의 간격을 증가시키는 방향으로 힘을 제공하여 상기 피커들 사이의 간격을 자유롭게 조절할 수 있다. 특히, 제2 구동부의 모터 회전수 또는 회전각을 조절함으로써 상기 피커들 사이의 간격을 자유롭게 조절할 수 있다.
따라서, 처리하고자 하는 반도체 소자들의 종류가 바뀌는 경우라도 상기 반도체 소자 픽업 장치의 캠 플레이트 교환이 불필요하며 이에 따라 상기 반도체 소자 픽업 장치를 포함하는 설비의 제조 비용 및 운용 비용이 크게 절감될 수 있으며, 상기 반도체 소자들에 대한 처리 시간이 크게 단축될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 베이스 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 피커를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 링크를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 제1 구동부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 6은 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 7 및 도 8은 도 1에 도시된 제1 구동부의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치(100)는 테스트 핸들러와 같은 반도체 소자 제조 설비에서 사용되는 트레이들 사이에서 반도체 소자들(미도시)을 이송하기 위하여 상기 반도체 소자들을 픽업하는데 사용될 수 있다.
상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 베이스 플레이트(102)와 상기 베이스 플레이트(102) 상에서 수평 방향으로 연장하는 제1 가이드 레일(104)과 상기 제1 가이드 레일(104)에 장착되는 다수의 피커들(110)을 포함할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 베이스 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2를 참조하면, 상기 베이스 플레이트(102)는 도시된 바와 같이 수직 방향으로 세워진 상태로 배치될 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 베이스 플레이트(102)는 프레임(미도시)에 장착될 수 있으며 상기 프레임은 상기 베이스 플레이트(102)를 이송하기 위한 장치(미도시)에 연결될 수 있다.
특히, 상기 베이스 플레이트(102)의 전면 상에는 수평 방향으로 연장하는 한 쌍의 제1 가이드 레일들(104)이 배치될 수 있으며, 상기 피커들(110)은 상기 제1 가이드 레일(104)에 다수의 제1 가이드 블록들(112)을 통하여 수평 방향으로 이동 가능하도록 장착될 수 있다. 즉, 상기 피커들(110)은 한 쌍의 리니어 모션 가이드(Linear Motion Guide; LM Guide)를 이용하여 상기 베이스 플레이트(102)의 전면 상에 수평 방향으로 이동 가능하도록 배치될 수 있다.
도시되지는 않았으나, 상기 피커들(110)은 진공 제공부(미도시)와 연결될 수 있으며, 진공압을 이용하여 상기 반도체 소자들을 흡착 및 픽업할 수 있다. 특히, 상기 피커들(110)은 수직 방향으로 배치될 수 있으며, 각 피커(110)의 전면에는 상기 피커들(110)의 길이 방향 즉 수직 방향으로 연장하는 가이드 홈(114)이 형성될 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 피커를 설명하기 위한 개략적인 정면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 링크를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 피커들(110) 사이는 다수의 링크들(120)에 의해 서로 연결될 수 있다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 짝수개의 피커들(110)이 홀수개의 링크들(120)에 의해 서로 연결될 수 있다. 특히, 각 링크(120)의 일측이 상기 피커들(110)에 회전 가능하도록 힌지 결합될 수 있으며, 각 링크(120)의 타측에는 상기 피커들(110)의 가이드 홈(114) 내에 배치되어 상기 가이드 홈(114)의 내측면을 따라 수직 방향으로 이동 가능하도록 롤러(122)가 장착될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이, 상기 링크들(120)의 상단 부위는 첫 번째 피커(110A)를 제외한 나머지 피커들(110)에 회전 가능하도록 힌지(hinge) 축(124)과 베어링(116)을 통하여 결합될 수 있으며, 상기 링크들(120)의 하단 부위는 상기 롤러들(122)을 통하여 마지막 피커(110N)를 제외한 나머지 피커들(110)의 가이드 홈(114)에 수직 방향으로 이동 가능하도록 결합될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 피커들(110) 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 링크들(120)의 회전각을 조절하는 간격 조절부(130)를 포함할 수 있다.
상기 간격 조절부(130)는 상기 피커들(110) 사이의 간격이 감소되는 방향으로 상기 링크들(120)에 힘을 가하는 제1 구동부(132)와, 상기 피커들(110) 사이의 간격이 증가되는 방향으로 상기 링크들(120)에 힘을 가하는 제2 구동부(140)를 포함할 수 있다.
도 5는 도 1에 도시된 제1 구동부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 5를 참조하면, 상기 제1 구동부(132)는 상기 피커들(110) 중 첫 번째 피커(110A)와 마지막 피커(110N)에 각각 연결되어 상기 피커들(110) 사이의 간격이 감소되는 방향으로 힘을 가하는 공압 실린더(134,136)를 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 구동부(132)는 상기 첫 번째 피커(110A)의 전면 상단 부위와 연결된 제1 공압 실린더(134)와 상기 마지막 피커(110N)의 전면 상단 부위와 연결된 제2 공압 실린더(136)를 포함할 수 있다. 이때, 각각의 공압 실린더(134,136)의 피스톤 전방 영역에 압축 공기가 제공될 수 있으며, 피스톤 후방 영역은 외부와 연통될 수 있다.
특히, 압축 공기가 각각의 공압 실린더(134,136)로 제공됨에 따라 상기 첫 번째 피커(110A)와 마지막 피커(110N)에는 간격이 감소되는 방향으로 힘이 인가될 수 있으며, 상기 피커들(110)이 상기 링크들(120)에 의해 서로 연결되어 있으므로 상기 피커들(110) 사이의 간격은 일정하게 감소될 수 있다. 즉, 도시된 바와 같이 상기 제1 구동부(132)는 상기 제1 및 제2 공압 실린더들(134,136)을 이용하여 상기 링크들(120)에 반시계 방향으로 힘을 인가할 수 있다. 한편, 도시된 바에 의하면, 제1 및 제2 공압 실린더들(134,136)이 하나로 통합된 형태를 갖고 있으나, 상기 제1 및 제2 공압 실린더들(134,136)은 각각 별도로 제공될 수도 있다.
상기 공압 실린더들(134,136)은 상기 압축 공기를 제공하는 압축 공기 탱크(138)와 연결될 수 있으며, 상기 제1 구동부(132)는 상기 공압 실린더들(134,136)과 상기 압축 공기 탱크(138) 사이를 연결하는 배관에 설치되어 상기 공압 실린더들(134,136)의 내부 압력을 항상 일정하게 유지하는 레귤레이터(139)를 더 포함할 수 있다. 상기 레귤레이터(139)는 상기 피커들(110)에 항시 일정한 힘이 인가되도록 하기 위하여 사용될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 제2 구동부(140)는 상기 피커들(110) 사이의 간격이 증가되는 방향으로 상기 링크들(120)에 힘을 인가할 수 있다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 링크들(120)의 전면 하단 부위에는 제2 롤러들(126)이 각각 구비될 수 있으며, 상기 제2 롤러들(126)은 수평 바(bar; 142)에 의해 지지될 수 있다. 상기 수평 바(142)는 상기 제1 가이드 레일(104)에 평행하게 배치될 수 있으며 상기 제1 구동부(132)에 의한 상기 링크들(120)의 반시계 방향 회전을 저지하도록 상기 제2 롤러들(126)을 지지할 수 있다. 즉, 상기 수평 바(142)는 상기 제1 구동부(132)에 의해 상기 링크들(120)에 전달되는 힘의 반력을 제공하기 위하여 사용될 수 있다.
또한, 상기 제2 구동부(140)는 상기 수평 바(142)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 유닛(144)을 포함할 수 있다. 상기 구동 유닛(144)은 회전력을 제공하는 모터(146)와, 상기 모터(146)에 의해 회전 가능하도록 상기 모터(146)에 연결된 볼 스크루(148) 및 상기 수평 바(142)에 연결되며 상기 볼 스크루(148)의 회전에 의해 상기 수평 바(142)가 수직 방향으로 이동되도록 상기 볼 스크루(148)에 결합된 볼 너트(150)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 베이스 플레이트(102)의 전면에는 도 2에 도시된 바와 같이 수직 방향으로 연장하는 제2 가이드 레일(106)이 배치될 수 있으며, 상기 수평 바(142)는 상기 제2 가이드 레일(106)에 결합되는 제2 가이드 블록(152)에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.
한편, 상기 모터(146)와 상기 볼 스크루(148)는 벨트와 풀리들을 이용하여 서로 연결될 수 있다. 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 수평 바(142)의 양측 단부들에는 각각 볼 너트(150)가 장착될 수 있으며, 상기 볼 너트들(150)은 수직 방향으로 연장하는 한 쌍의 볼 스크루(148)에 각각 결합될 수 있다. 상기 볼 스크루들(148)은 피동 풀리들(154)과 각각 결합될 수 있으며, 상기 피동 풀리들(154)은 상기 모터(146)에 연결된 구동 풀리(156)와 벨트(158)로 연결될 수 있다. 이때, 상기 벨트(158)의 장력을 조절하기 위한 아이들 풀리들(160)이 상기 구동 풀리(156)의 양측에 각각 제공될 수 있다.
도 6은 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 6을 참조하면, 상기 구동 유닛(144)은 상기 피커들(110)의 간격을 조절하기 위하여 수직 방향으로 상기 수평 바(142)를 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 구동 유닛(144)에 의해 상기 수평 바(142)가 하방으로 이동하면 상기 피커들(110)의 간격은 상기 제1 구동부(132)에 의해 감소될 수 있다. 즉, 상기 피커들(110)에는 상기 제1 구동부(132)에 의해 일정한 힘이 인가되고 있으므로 상기 수평 바(142)의 하강에 의해 상기 링크들(120)이 반시계 방향으로 회전될 수 있으며 이에 따라 상기 피커들(110) 사이의 간격이 전체적으로 감소될 수 있다. 이때, 상기 롤러들(122)은 상기 피커들(110)의 가이드 홈(114) 내에서 하강할 수 있으며, 상기 제2 롤러들(126)은 상기 수평 바(142)를 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다.
한편, 상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 피커들(110)의 위치를 더욱 정밀하게 제어하기 위하여 상기 링크들(120) 중 하나를 수평 방향으로 고정시킬 수 있다. 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 링크들(120) 중 중앙의 링크(120C)를 수평 방향으로 고정시키는 가이드 부재(170)를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 중앙의 링크(120C) 전면 부위에는 제3 롤러(128)가 구비될 수 있으며, 상기 가이드 부재(170)는 상기 제3 롤러(128)를 수평 방향으로는 고정시키면서 수직 방향으로만 안내하기 위한 가이드 슬롯(172)을 가질 수 있다. 결과적으로, 상기 중앙의 링크(120C)를 중심으로 양측의 피커들(110)은 서로 반대 방향으로 이동될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 피커들(110)에는 상기 제1 구동부(132)에 의해 중앙 지점을 향하여 즉 상기 피커들(110) 사이의 간격을 감소시키는 방향으로 항상 일정한 힘이 인가되고 있으므로 상기 피커들(110)을 이용하여 반도체 소자들을 픽업하고 이송하는 동안 상기 피커들(110)이 흔들리는 현상이 방지될 수 있다. 또한, 상기 피커들(110) 사이의 간격은 상기 구동 유닛(144)의 모터(146) 회전수 또는 회전각을 제어함으로써 자유롭게 조절될 수 있으므로 다양한 종류의 반도체 장치들에 용이하게 대처할 수 있다.
도 7 및 도 8은 도 1에 도시된 제1 구동부의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.
도 7을 참조하면, 상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 피커들(110)의 간격을 좁히는 방향으로 상기 피커들(110)에 힘을 가하는 제1 구동부로서 상기 피커들(110)과 상기 힌지 결합된 링크들(120) 사이를 각각 연결하는 토션 스프링들(180)을 포함할 수 있다. 한편, 상기와 다르게, 상기 토션 스프링(180)과 상기 링크들(120)을 대신하여 각 피커들(110)에 장착되는 토션 바(bar)가 사용될 수도 있다.
도 8을 참조하면, 상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 피커들(110)의 간격을 좁히는 방향으로 상기 피커들(110)에 힘을 가하는 제1 구동부로서 상기 피커들(110) 중 첫 번째 피커(110A)와 마지막 피커(110N)에 각각 연결되어 상기 피커들(110) 사이의 간격이 감소되는 방향으로 힘이 인가되는 공압 단동 실린더(190)를 포함할 수 있다. 상기 공압 단동 실린더(190)는 그 내부에 상기 피커들(110) 사이의 간격을 감소시키는 방향으로 복원력이 작용되는 스프링(192)을 구비할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 반도체 소자 픽업 장치는 제1 구동부를 이용하여 피커들의 간격을 감소시키는 방향으로 항상 일정한 힘을 인가하며, 제2 구동부를 이용하여 상기 피커들의 간격을 증가시키는 방향으로 힘을 제공하여 상기 피커들 사이의 간격을 자유롭게 조절할 수 있다. 특히, 제2 구동부의 모터 회전수 또는 회전각을 조절함으로써 상기 피커들 사이의 간격을 자유롭게 조절할 수 있다.
따라서, 처리하고자 하는 반도체 소자들의 종류가 바뀌는 경우라도 상기 반도체 소자 픽업 장치의 캠 플레이트 교환이 불필요하며 이에 따라 상기 반도체 소자 픽업 장치를 포함하는 설비의 제조 비용 및 운용 비용이 크게 절감될 수 있으며, 상기 반도체 소자들에 대한 처리 시간이 크게 단축될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 반도체 소자 픽업 장치 102 : 베이스 플레이트
104 : 제1 가이드 레일 106 : 제2 가이드 레일
110 : 피커 114 : 가이드 홈
120 : 링크 122 : 롤러
126 : 제2 롤러 128 : 제3 롤러
130 : 간격 조절부 132 : 제1 구동부
140 : 제2 구동부 142 : 수평 바
144 : 구동 유닛 146 : 모터
148 : 볼 스크루 150 : 볼 너트
170 : 가이드 부재 172 : 가이드 슬롯

Claims (9)

  1. 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트 상에서 수평 방향으로 연장하는 제1 가이드 레일;
    상기 제1 가이드 레일에 수직하는 방향으로 연장하며 상기 제1 가이드 레일에 이동 가능하도록 결합되고 각각 반도체 소자들을 픽업하기 위한 다수의 피커들;
    상기 피커들 사이를 서로 연결하는 다수의 링크들; 및
    상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위한 간격 조절부를 포함하되,
    상기 피커들의 길이 방향으로 연장하는 가이드 홈이 각 피커에 구비되고,
    각 링크의 일측이 상기 피커들에 회전 가능하도록 힌지 결합되며 타측에는 상기 가이드 홈 내에 배치되어 상기 가이드 홈의 내측면을 따라 수직 방향으로 이동 가능하도록 롤러가 구비되고,
    상기 간격 조절부는 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 링크들의 회전각을 조절하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 간격 조절부는,
    상기 피커들 사이의 간격이 감소되는 방향으로 상기 링크들에 힘을 가하는 제1 구동부; 및
    상기 피커들 사이의 간격이 증가되는 방향으로 상기 링크들에 힘을 가하는 제2 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 구동부는 상기 피커들 중 첫 번째 피커와 마지막 피커에 각각 연결되어 상기 피커들 사이의 간격이 감소되는 방향으로 힘을 가하는 공압 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 구동부는 상기 공압 실린더 내부의 압력을 항상 일정하게 유지시키는 레귤레이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 제1 구동부는 상기 피커들과 상기 힌지 결합된 링크들 사이를 각각 연결하는 토션 스프링들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업 장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 제1 구동부는 상기 피커들 중 첫 번째 피커와 마지막 피커에 각각 연결되어 상기 피커들 사이의 간격이 감소되는 방향으로 힘이 인가되는 공압 단동 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업 장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 링크들의 상기 타측에는 제2 롤러들이 각각 구비되며,
    상기 제2 구동부는 상기 제1 구동부에 의한 상기 링크들의 회전을 저지하도록 상기 제2 롤러들을 지지하는 수평 바(bar) 및 상기 수평 바를 수직 방향으로 이동시키는 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 구동 유닛은
    회전력을 제공하는 모터;
    상기 모터에 의해 회전 가능하도록 상기 모터에 연결된 볼 스크루; 및
    상기 수평 바에 연결되며 상기 볼 스크루에 의해 상기 수평 바가 수직 방향으로 이동되도록 상기 볼 스크루에 결합된 볼 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 링크들 중 중앙의 링크에는 제3 롤러가 장착되며,
    상기 제3 롤러가 삽입되며 상기 제3 롤러를 수평 방향으로는 고정시키고 수직 방향으로만 안내하기 위한 가이드 슬롯이 형성된 가이드 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 픽업 장치.
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