KR20120120785A - apparatus for testing wetting characteristic of the glass - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate wetting property testing device is provided to test a method spraying or spilling a liquid on a substrate or dipping the substrate and to arrange the substrate to be inclined at various angles for verifying a test condition, thereby determining an optimal wetting method for the substrate and a position of the substrate. CONSTITUTION: A substrate wetting property testing device comprises a substrate horizontal and vertical moving member(10), a substrate rotating member(20), a water tank(30), and a liquid spraying member. The substrate horizontal and vertical moving member supports the substrate and moves the glass substrate in vertical or horizontal directions. The substrate rotating member moves the substrate horizontal and vertical moving member in the vertical direction or rotates the same. The water tank is arranged in the lower part of the substrate horizontal and vertical moving member. The liquid spraying member is arranged in the upper part of the substrate horizontal and vertical moving member.

Description

기판 웨팅성 테스트 장치{apparatus for testing wetting characteristic of the glass}Apparatus for testing wetting characteristic of the glass}

본 발명은 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 가장 좋은 웨팅(wetting, 습윤) 방법을 찾기 위하여, 상기 기판을 침지하거나, 상기 기판에 대하여 액을 분사 또는 흘러주는 방법을 모두 테스트할 수 있고, 테스트 조건을 다변화하기 위하여 상기 기판을 다양한 각도로 경사지게 배치할 수 있도록 함으로써, 기판에 대한 최적의 웨팅 방법 및 기판의 위치를 결정할 수 있는 것을 가능하게 하는 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate wettability test apparatus, and in particular, to find the best wetting method, it is possible to test both the method of immersing the substrate, or spraying or flowing liquid onto the substrate, The present invention relates to a substrate wetting test apparatus that enables the substrate to be inclined at various angles in order to diversify test conditions, thereby making it possible to determine an optimal wetting method for the substrate and the position of the substrate.

최근 과학뉴스에서 중요하게 다루어지는 주제는 휴대폰을 포함한 모바일 디스플레이 분야이다. 평소 사이언스올의 오늘의 과학뉴스나 미국 과학잡지인 American Scientist에서 매일 제공하는 E-Newletter에서도 꿈의 디스플레이란 표현으로 삼성 갤럭시나 애플의 아이폰과 같은 새로운 모바일 기기에서 사용되는 디스플레이를 특집으로 다루기도 하였다. An important topic in recent scientific news is the field of mobile displays, including cell phones. In the daily Science News of Science or the daily E-Newletter provided by American Scientist, American Scientist, he also described the display used in new mobile devices such as the Samsung Galaxy and Apple's iPhone. .

디스플레이 분야는 최근에 매우 비약적인 발전을 이루고 있으며 특히 기존의 LCD(Liquid Crystal Display, 액정디스플레이) 방식이 독점하고 있던 디스플레이 분야에 1~2년 전부터 AM-OLED(Active Matrix Organic Light Emitted Diode, 능동형 유기발광다이오드) 방식의 제품이 쏟아져 나오기 시작하였다. AM-OLED는 LCD에 비해 뛰어난 색재현성, 넓은 광시야각, 저소비전력, 높은 화질, 빠른 응답속도 등의 특성으로 휴대폰, 내비게이션, 게임기 등의 중소형 모바일 제품에서부터 노트북, TV 등의 대형 디스플레이 제품에 많이 적용되고 있다. In recent years, the field of display has undergone tremendous progress, especially AM-OLED (Active Matrix Organic Light Emitted Diode) active organic light emitting diode for 1-2 years. Diode-based products began to pour out. AM-OLED is widely applied to small and medium-sized mobile products such as mobile phones, navigation, game consoles, and large-sized display products such as notebooks and TVs due to its excellent color reproduction, wide viewing angle, low power consumption, high image quality, and quick response speed compared to LCD. It is becoming.

AM-OLED의 Panel은 공장에서 제조할 때 그 크기에 따라 구분을 하는데 현재는 4세대 (730*920mm) 사이즈가 주로 생산되고 있으나 한 장의 Panel에서 집적화할 수 있는 셀의 개수가 많으면 많을수록 생산원가가 떨어지므로 점점 Panel의 사이즈가 커져가고 있는 추세에 있으며, 2011년 5월부터 5.5세대(1,300*1,500mm) 사이즈의 Panel이 생산될 계획이다. Panels of AM-OLED are classified according to their size when manufactured at the factory. Currently, the 4th generation (730 * 920mm) size is mainly produced, but the more cells that can be integrated in one panel, the higher the production cost. As the size of the panel decreases, the panel size is gradually increasing, and from May 2011, 5.5 panels (1,300 * 1,500mm) size panels will be produced.

Panel은 0.5mm 두께의 유리 두 장으로 이루어져 있으며 두 장의 유리사이에 TFT(Thin Film Transistor)와 그 위에 전자와 정공(전자가 빠져나간 상태)을 이용하여 디스플레이할 수 있는 유기막층이 형성되어 있다. TFT와 유기막층은 아주 많은 공정을 통해 만들어지는데 그 중 생산공정에서 생기는 자연적으로 발생하는 SiO2를 제거하지 않으면 수많은 공정을 통해 만들어지는 Panel의 휘도가 떨어지는 치명적인 단점을 안고 있다.The panel consists of two sheets of 0.5mm thick glass, and between the two glasses is a thin film transistor (TFT) and an organic film layer that can be displayed using electrons and holes (electrons out). TFT and organic film layers are made through a lot of processes, of which the fatal disadvantage of falling the brightness of panels made through numerous processes unless the naturally occurring SiO 2 generated in the production process is removed.

이러한 SiO2를 제거하기 위해서는 아주 낮은 농도의 산성 용액인 불산(HF)을 이용하는데 실제로는 SiO2 자체가 소수성의 성질을 갖고 있어 넓은 면적의 SiO2층 위에 불산이 닿으면 SiO2층 위에 골고루 불산이 반응하지 않고 부분적으로만 반응하므로 SiO2가 부분적으로만 제거되어 휘도가 현저히 떨어질 수밖에 없다. 따라서 상기 소수성인 SiO2를 친수성으로 변화시켜 Wetting(습윤)을 개선할 수 있는 방법을 찾을 필요성이 있다.In order to remove these SiO 2 in using an acidic solution of very low concentration hydrofluoric acid (HF) actually SiO 2 itself, it has the characteristics of hydrophobicity hydrofluoric touch surface over a large area of the SiO 2 layer evenly hydrofluoric acid over SiO 2 layer Since the reaction is only partially, not the reaction, SiO 2 is only partially removed, and the luminance is inevitably reduced. Therefore, there is a need to find a method of improving the wetting by changing the hydrophobic SiO 2 to hydrophilic.

그러나, 상기와 같이 소수성인 SiO2를 친수성으로 변화시켜 Wetting(습윤)을 개선할 수 있는 방법을 찾기 위한 테스트 장치가 아직 소개되지 못하고 있는 단점을 안고 있다.
However, a test apparatus for finding a method of improving the wetting (wetting) by changing hydrophobic SiO 2 to hydrophilicity as described above has a disadvantage that has not yet been introduced.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 가장 좋은 웨팅(wetting, 습윤) 방법을 찾기 위하여, 상기 기판을 침지하거나, 상기 기판에 대하여 액을 분사 또는 흘러주는 방법을 모두 테스트할 수 있고, 테스트 조건을 다변화하기 위하여 상기 기판을 다양한 각도로 경사지게 배치할 수 있도록 함으로써, 기판에 대한 최적의 웨팅 방법 및 기판의 위치를 결정할 수 있는 것을 가능하게 하는 기판 웨팅성 테스트 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention was devised to solve the above problems of the prior art, in order to find the best wetting (wetting) method, to immerse the substrate, or to spray or flow the liquid to the substrate all Provides a substrate wettability test apparatus that enables testing and allows the substrate to be inclined at various angles in order to diversify test conditions, thereby enabling an optimal wetting method for the substrate and determining the position of the substrate. It is for that purpose.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 기판 웨팅성 테스트 장치를 이루는 구성수단은, 기판을 지지하되, 상기 유리 기판을 상하 수직 이동 또는 수평 이동시키는 기판 수평 및 수직 이동수단, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단을 상하 수직 이동 또는 회전 이동시키는 기판 회전 이동수단, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 하측에 배치되는 수조, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 상측에 배치되는 액 분사 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The construction means constituting the substrate wetting test apparatus of the present invention proposed to solve the above problems, the substrate horizontal and vertical movement means for supporting the substrate, vertical movement or horizontal movement of the glass substrate, the substrate horizontal and A substrate rotation moving means for vertically moving or vertically moving the vertical moving means, a tank disposed below the substrate horizontal and vertical moving means, and a liquid jet means disposed above the substrate horizontal and vertical moving means. It is characterized by.

여기서, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단은, 수평으로 배치되는 수평 레일, 상기 수평 레일을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 수평 이동체, 상기 수평 이동체 각각에 대하여 수직 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 수직바, 상기 수직바 각각에 양단이 회전 가능하게 결합되고, 상기 기판을 지지하는 지지 프레임을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.Here, the substrate horizontal and vertical moving means, a horizontal rail arranged horizontally, a pair of horizontal movable body sliding along the horizontal rail, a pair of vertical bars coupled to each of the horizontal movable body vertically, Both ends are rotatably coupled to each of the vertical bars, characterized in that it comprises a support frame for supporting the substrate.

여기서, 상기 회전 이동수단은, 상기 수평 레일의 양 끝단에 각각 결합되어, 상기 수평 레일을 수직 이동 또는 회전 이동시키는 한 쌍의 수직 이동체 및 상기 한 쌍의 수직 이동체가 상하 슬라이딩되도록 수직 방향으로 배치되는 수직 레일을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.Here, the rotation movement means is coupled to both ends of the horizontal rail, respectively, a pair of vertical movable body for vertically moving or rotating the horizontal rail and the pair of vertical movable body is disposed in the vertical direction so as to vertically slide up and down Characterized in that it comprises a vertical rail.

여기서, 상기 액 분사수단은 상기 수평 레일의 길이 방향으로 이동되도록 배치되고, 액을 분사시키는 노즐 모듈과 액을 흘러내리도록 하는 블레이드 모듈로 구성되는 것을 특징으로 한다.Here, the liquid injection means is disposed to move in the longitudinal direction of the horizontal rail, characterized in that consisting of a nozzle module for injecting the liquid and a blade module for flowing the liquid.

여기서, 상기 노즐 모듈은 상기 기판 수직 및 수평 이동수단의 정면측 또는 후면측에 더 배치되어, 상기 기판에 대하여 측방향으로 액을 분사시키는 것을 특징으로 한다.Here, the nozzle module is further disposed on the front side or the rear side of the substrate vertical and horizontal moving means, it characterized in that to spray the liquid in the lateral direction to the substrate.

여기서, 상기 기판은 상기 수직 이동체의 하강을 통하여 또는 상기 수직 이동체 하강 및 상기 수직바 하강을 통하여 또는 상기 수직바의 하강을 통하여 상기 수조에 수평 또는 경사진 상태로 침지되는 것을 특징으로 한다.Here, the substrate is immersed in the horizontal or inclined state through the lowering of the vertical movable body or through the vertical movable body lowering and the vertical bar lowering or the lowering of the vertical bar.

여기서, 상기 기판이 상기 수평 레일의 회전에 따라 상기 액 분사수단에 대향된 후, 상기 노즐 모듈에 의하여 상기 기판에 대하여 액이 분사되거나 또는 블레이드 모듈에 의하여 상기 기판에 액이 흘러내리도록 하는 것을 특징으로 한다.
Here, after the substrate is opposed to the liquid jetting means according to the rotation of the horizontal rail, the liquid is injected to the substrate by the nozzle module or the liquid flows to the substrate by the blade module It is done.

상기와 같은 과제 및 해결 수단을 가지는 본 발명인 기판 웨팅성 테스트 장치에 의하면, 본 발명은 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 가장 좋은 웨팅(wetting, 습윤) 방법을 찾기 위하여, 상기 기판을 침지하거나, 상기 기판에 대하여 액을 분사 또는 흘러주는 방법을 모두 테스트할 수 있고, 테스트 조건을 다변화하기 위하여 상기 기판을 다양한 각도로 경사지게 배치할 수 있기 때문에, 기판에 대한 최적의 웨팅 방법 및 기판의 위치를 결정할 수 있는 장점이 있다.
According to the substrate wettability test apparatus of the present invention having the above problems and solving means, the present invention relates to a substrate wettability test apparatus, and in particular, to find the best wetting method, the substrate is immersed or In addition, since both the method of spraying or flowing the liquid to the substrate can be tested, and the substrate can be inclined at various angles in order to diversify the test conditions, an optimal wetting method for the substrate and the position of the substrate can be determined. There is an advantage that can be determined.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치의 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 지지 프레임의 상세도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판의 침지 상태를 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 블레이드 모듈에 의한 액 흘러줌 상태를 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시에에 따른 노즐 모듈에 의한 액 분사 상태를 보여주는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 측면 노즐 모듈에 의한 액 분사 상태를 보여주는 사시도이다.1 is a front view of a substrate wettability test apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a substrate wettability test apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a detailed view of a support frame according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing an immersion state of a substrate according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view showing a liquid flow state by the blade module according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view showing a liquid injection state by the nozzle module according to the embodiment of the present invention.
7 is a perspective view showing a liquid injection state by the side nozzle module according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결 수단 및 효과를 가지는 본 발명인 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention the substrate wettability test apparatus having the above problems, solving means and effects.

이하에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야할 것이다.It is to be understood that the terminology or words used herein are not to be construed in an ordinary sense or a dictionary, and that the inventor can properly define the concept of a term to describe its invention in the best possible way And should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치의 정면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치의 사시도이다.1 is a front view of a substrate wettability test apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of a substrate wettability test apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치는 기판을 지지함과 동시에 기판의 위치를 수직 방향 및 수평 방향으로 이동시키는 수평 및 수직 이동수단(10)과 상기 수평 및 수직 이동수단(10)을 회전 또는 수직 방향으로 이동시키는 회전 이동수단(20)과 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)의 하측에 배치되는 수조(30)와 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)의 상측에 배치되는 액 분사 수단(40, 50)을 포함하여 구성된다.As shown in Figure 1 and 2, the substrate wettability test apparatus according to an embodiment of the present invention supports the substrate and at the same time horizontal and vertical moving means for moving the position of the substrate in the vertical direction and the horizontal direction And a rotary movement means 20 for moving the horizontal and vertical movement means 10 in a rotational or vertical direction, and a water tank 30 disposed below the substrate horizontal and vertical movement means 10, and the substrate horizontal and vertical movements. It is configured to include a liquid injection means (40, 50) disposed above the moving means (10).

상기 기판 수평 및 수직 이동 수단(10)은 기판을 지지하면서, 상기 기판을 필요에 따라 수직 방향으로 이동시키거나 또는 수평 방향으로 이동시키는 동작을 수행한다.The substrate horizontal and vertical moving means 10 supports the substrate, and performs the operation of moving the substrate in the vertical direction or the horizontal direction as necessary.

즉, 상기 기판 수평 및 수직 이동 수단(10)은 상기 기판을 상기 수조(30) 안으로 침지시키기 위하여 상기 기판을 하강시키거나, 침지된 후 기판을 수조(30)에서 꺼내기 위하여 상기 기판을 상승시키는 동작을 수행한다. 또한, 상술한 액 분사 수단(40, 50)이 고정된 상태로 액을 분사 또는 흘러내릴 경우, 기판의 전면에 대하여 상기 액이 묻을 수 있도록, 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키는 동작을 수행할 수 있다.That is, the substrate horizontal and vertical moving means 10 lowers the substrate to immerse the substrate into the water tank 30 or raises the substrate to take the substrate out of the water tank 30 after being immersed. Do this. In addition, when the liquid spraying means 40, 50 described above is sprayed or flowed in a fixed state, it is possible to perform the operation of moving the substrate in a horizontal direction so that the liquid can be buried with respect to the entire surface of the substrate have.

상기 기판 수평 및 수직 이동 수단(10)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 수평으로 배치되는 수평 레일(11), 상기 수평 레일(11)을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 수평 이동체(15), 상기 수평 이동체(15) 각각에 대하여 수직 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 수직바(13), 상기 수직바(13)의 양단에 회전 가능하게 결합되고, 상기 기판을 지지하는 지지 프레임(17)을 포함하여 구성된다.As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate horizontal and vertical moving means 10 includes a horizontal rail 11 arranged horizontally, and a pair of horizontal moving bodies 15 sliding along the horizontal rail 11. A pair of vertical bars 13 coupled to the horizontal movable bodies 15 so as to be vertically movable, and a support frame 17 rotatably coupled to both ends of the vertical bars 13 to support the substrate. It is configured to include.

상기 수평 레일(11)은 후술할 회전 이동수단(20)의 수직 이동체(23)에 양 끝단이 결합되어 있다. 그리고, 상기 수평 레일(11)은 상기 기판을 수평 방향으로 이동될 수 있도록 상기 수평 이동체(15)가 슬라이딩되는 구조로 형성되어 있다. 즉, 상기 수평 이동체(15)가 상기 수평 레일(11)을 따라 슬라이딩됨에 따라 상기 기판은 수평 방향으로 이동될 수 있다.Both ends of the horizontal rail 11 are coupled to the vertical moving body 23 of the rotating movement means 20 to be described later. In addition, the horizontal rail 11 is formed in a structure in which the horizontal movable body 15 is slid so that the substrate can be moved in the horizontal direction. That is, as the horizontal movable body 15 slides along the horizontal rail 11, the substrate may move in the horizontal direction.

상기 수평 이동체(15)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 이격된 상태로 상기 수평 레일(11)에 결합되는 한 쌍의 수평 이동체(15)로 구성된다. 상기 수평 이동체(15)는 상기 수평 레일(11)에 슬라이딩될 수 있는 구조를 가짐과 동시에 수평 이동을 위한 구동수단(미도시)을 포함하고 있다. 즉, 상기 수평 이동체(15)는 모터, 기어 및 가이드 등의 기구적 구성요소들을 포함하여 상기 수평 레일(11)에 결합된 상태로 슬라이딩될 수 있도록 구성된다.1 and 2, the horizontal movable body 15 is constituted by a pair of horizontal movable bodies 15 coupled to the horizontal rails 11 while being spaced apart from each other. The horizontal movable body 15 has a structure that can be slid to the horizontal rail 11 and includes a driving means (not shown) for horizontal movement. That is, the horizontal movable body 15 is configured to be slidably coupled to the horizontal rail 11 including mechanical components such as a motor, a gear and a guide.

한편, 상기 수평 이동체(15)는 상기 수평 이동을 위한 기구적 구성요소들 이외에, 상기 수직바(13)를 수직 이동시키기 위한 기구적 구성요소들을 포함하고 있다. 즉, 상기 수평 이동체(15)는 상기 수직바(13)와 결합됨과 동시에, 상기 수직바(13)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있도록, 모터, 기어 및 가이드 등의 구성요소들을 더 포함하고 있다.Meanwhile, the horizontal movable body 15 includes mechanical components for vertically moving the vertical bar 13 in addition to the mechanical components for horizontal movement. That is, the horizontal movable body 15 further includes components such as a motor, a gear, and a guide so as to be coupled to the vertical bar 13 and to move the vertical bar 13 in the vertical direction.

상기 수평 이동체(15)는 상술한 바와 같이, 한 쌍으로 구성되고, 상기 수직바(13)는 상기 한 쌍의 수평 이동체(15)에 각각 결합되어 한 쌍으로 구성된다. 즉, 상기 수직바(13)는 상기 수평 이동체(15) 각각에 대하여 수직 이동 가능하게 결합된다. As described above, the horizontal movable body 15 is constituted by a pair, and the vertical bars 13 are coupled to the pair of horizontal movable bodies 15 and constituted by a pair. That is, the vertical bars 13 are coupled to each other so as to be vertically movable with respect to each of the horizontal movable bodies 15.

아울러, 상기 한 쌍의 수직바(13)는 서로 개별적으로 해당 수평 이동체(15)에 의하여 상하 이동된다. 따라서, 후술하겠지만, 상기 수직바(13)에 양단이 결합되어 있는 상기 지지 프레임(17)은 경사진 상태를 유지할 수 있다. 결국, 상기 지지 프레임(17)에 의하여 지지되는 상기 기판은 경사진 상태로 유지될 수 있다.In addition, the pair of vertical bars 13 are vertically moved by the horizontal movable body 15 separately from each other. Therefore, as will be described later, the support frame 17 coupled to both ends of the vertical bar 13 may maintain an inclined state. As a result, the substrate supported by the support frame 17 may be maintained in an inclined state.

상기 지지 프레임(17)은 상기 수직바 각각에 양단이 회전 가능하게 결합되고, 상기 기판을 지지한다. 상기 지지 프레임(17)은 상기 기판을 경사진 상태로 유지할 수 있는 동작을 수행하기 때문에, 상기 수직바(13)와 회동 가능하게 결합된다. 즉, 상기 수직바(13)는 상기 지지 프레임(17)에 회동 가능하게 결합된다. 상기 회동 가능하게 결합되는 구조는 다양한 방법으로 달성될 수 있다. 예를 들어, 피봇과 힌지 결합 등을 통하여 상기 수직바(13)와 상기 지지 프레임(17)은 회동 가능하게 결합될 수 있다.Both ends of the support frame 17 are rotatably coupled to each of the vertical bars, and support the substrate. Since the support frame 17 performs an operation of maintaining the inclined state of the substrate, the support frame 17 is rotatably coupled to the vertical bar 13. That is, the vertical bar 13 is rotatably coupled to the support frame 17. The rotatably coupled structure can be achieved in a variety of ways. For example, the vertical bar 13 and the support frame 17 may be rotatably coupled through pivot and hinge coupling.

상기 지지 프레임(17)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 수용할 수 있는 구조임과 동시에 상기 기판이 외부에 노출될 수 있도록 중앙 부분이 모두 개방되어 있고, 테두리 부분과 프레임으로 형성된 구조를 가진다. 상기 지지 프레임(17)에 상기 기판을 수용시키기 위하여, 상기 지지 프레임(17)의 한쪽 측면은 개방되어 있어야 한다.As shown in FIG. 3, the support frame 17 has a structure capable of accommodating the substrate, and at the same time, a central portion of the support frame 17 is open to expose the substrate to the outside, and is formed of an edge portion and a frame. Has In order to accommodate the substrate in the support frame 17, one side of the support frame 17 must be open.

한편, 상기 지지 프레임(17)의 구조는 상기 기판을 지지할 수 있고 상기 수직바(13)에 회동 가능하게 결합될 수 있다면 다양하게 변경될 수 있다. 즉, 복수개의 클램프를 가지는 구조로 형성하여, 상기 기판을 복수개의 클램프로 고정시킬 수 있다.On the other hand, the structure of the support frame 17 may be variously changed as long as it can support the substrate and can be rotatably coupled to the vertical bar 13. That is, by forming a structure having a plurality of clamps, the substrate can be fixed with a plurality of clamps.

상술한 기판 수평 및 수직 이동수단(10)은 상기 기판을 수직 방향 또는 수평 방향으로 이동시킨다. 이와 별개로, 상기 기판은 회전이 가능해야 하고, 상기 수조(30) 안으로 충분히 침지될 수 있어야 한다. 따라서, 회전 이동 수단(20)을 본 발명의 구성요소로 채택하였다.The above-described substrate horizontal and vertical moving means 10 moves the substrate in the vertical direction or the horizontal direction. Apart from this, the substrate must be rotatable and sufficiently immersed into the bath 30. Thus, the rotary movement means 20 is adopted as a component of the present invention.

상기 기판 회전 이동 수단(20)은 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)을 상하 수직 이동 또는 회전 운동시키는 동작을 수행한다. 상기 기판 회전 이동 수단(20)이 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)을 하강시키면, 상기 기판을 상기 수조(30)에 충분히 침지시킬 수 있고, 상기 기판 회전 이동 수단(20)이 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)을 회전시키면, 상기 기판에 대하여 상측에서 웨팅 액을 분사 또는 흘러줄 수 있으며, 경사진 상태의 기판에 대하여 액을 분사시킬 수 있다.The substrate rotation movement means 20 performs an operation of vertically moving or rotating the substrate horizontal and vertical movement means 10. When the substrate rotation movement means 20 lowers the substrate horizontal and vertical movement means 10, the substrate can be sufficiently immersed in the water tank 30, and the substrate rotation movement means 20 is horizontal to the substrate. And by rotating the vertical movement means 10, it is possible to spray or flow the wetting liquid from the upper side with respect to the substrate, it is possible to spray the liquid to the inclined substrate.

상기 기판 회전 이동수단(20)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 수직 레일(21)과 수직 이동체(23)로 구성된다. 상기 수직 이동체(23)는 상기 수평 레일(11)의 양 끝단에 각각 결합되어, 상기 수평 레일(11)을 수직 이동 또는 회전 이동시킨다.As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate rotation moving means 20 includes a vertical rail 21 and a vertical moving body 23. The vertical movable bodies 23 are respectively coupled to both ends of the horizontal rails 11 to vertically move or rotate the horizontal rails 11.

따라서, 상기 수직 이동체(23)는 상기 수평 레일(11)을 회전시키기 위한 기구적 구성을 포함하고 있다. 또한, 상기 수평 레일(11)을 수직 이동시키기 위한 기구적 구성도 동시에 포함하고 있다. 상기 수직 이동체(23)가 상기 수평 레일(11)을 회전시키면, 상기 수직바(13)가 회전되고, 결과적으로 지지 프레임(17)에 지지되고 있는 기판이 회전된다. Accordingly, the vertical movable body 23 includes a mechanical configuration for rotating the horizontal rail 11. In addition, a mechanical configuration for vertically moving the horizontal rail 11 is also included. When the vertical movable body 23 rotates the horizontal rail 11, the vertical bar 13 is rotated, and as a result, the substrate supported by the support frame 17 is rotated.

이와 같이, 상기 수직 이동체(23)가 상기 수평 레일(11)을 회전시킴에 따라, 상기 기판은 다양한 각도로 경사진 상태를 유지할 수 있고, 상기 액 분사수단(40, 50)에 분사 또는 흘러내리는 액을 받을 수 있다.As such, as the vertical movable body 23 rotates the horizontal rail 11, the substrate may be maintained at an inclined angle at various angles and may be injected or flowed into the liquid ejecting means 40 and 50. You can receive a sum.

상기 수직 이동체(23)는 상기 수직 레일(21)을 통해 수직 방향으로 이동된다. 결과적으로, 상기 수직 이동체(23)에 결합되어 있는 상기 수평 레일(11)이 수직 방향으로 이동될 수 있다. 따라서, 상기 기판은 상기 수조(30)에 침지될 수 있다.The vertical movable body 23 is moved in the vertical direction through the vertical rail 21. As a result, the horizontal rail 11 coupled to the vertical movable body 23 can be moved in the vertical direction. Thus, the substrate may be immersed in the water tank (30).

상기 수조(30)는 상기 기판의 웨팅성을 테스트하기 위한 방법 중, 디핑(dipping)법을 테스트하기 위하여 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)의 하측에 배치된다. 상기 수조(30) 내부에는 웨팅성을 테스트하기 위한 액이 채워져 있다.The water tank 30 is disposed below the substrate horizontal and vertical moving means 10 to test a dipping method among the methods for testing the wettability of the substrate. The tank 30 is filled with a liquid for testing wettability.

한편, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 상측에는 상기 액 분사수단(40, 50)이 배치된다. 상기 액 분사수단(40)은 수평 방향으로 이동 가능하게 배치된다. 구체적으로, 상기 액 분사수단(40)은 상기 수평 레일(11)의 길이 방향으로 이동되도록 배치된다. On the other hand, the liquid injection means 40, 50 are disposed above the substrate horizontal and vertical movement means. The liquid injection means 40 is arranged to be movable in the horizontal direction. Specifically, the liquid injection means 40 is arranged to move in the longitudinal direction of the horizontal rail (11).

상기와 같이, 상기 액 분사수단(40)이 상기 수평 레일(11)의 길이 방향으로 이동가능하게 배치되는 이유는, 상기 액 분사수단(40) 하측에 대향되도록 위치하는 기판이 고정되어 있는 상태에서 상기 기판의 전면에 대하여 액을 분사 또는 흘러내릴 수 하기 위함이다. As described above, the reason why the liquid ejection means 40 is arranged to be movable in the longitudinal direction of the horizontal rail 11 is that in a state in which a substrate positioned to face the lower side of the liquid ejection means 40 is fixed. This is to allow the liquid to be injected or flowed down the entire surface of the substrate.

상기 액 분사수단(40)은 다양한 방법으로 액을 분사시킬 수 있는 모듈을 포함한다. 본 발명에서는 액을 하방향으로 분사시키는 노즐 모듈(50)과 액을 하방향으로 흘러내리도록 하는 블레이드 모듈(40)을 포함하여 구성한다.The liquid injecting means 40 includes a module capable of injecting liquid in various ways. In the present invention is configured to include a nozzle module 50 for spraying the liquid downward and a blade module 40 for flowing the liquid downward.

상기 블레이드 모듈(40)은 도 2에 도시된 바와 같이, 액을 수용할 수 있는 긴 통 형상을 가지고, 하측에 액을 미세하게 흐르게 하는 유출구가 블레이드 모듈의 길이 방향으로 길게 형성되어 있다. 따라서, 상기 블레이드 모듈(40)은 액을 소정 각도로 분사시키는 것이 아니라, 기판 상에 액을 흘러 내리도록 하는 구성요소이다.As shown in FIG. 2, the blade module 40 has an elongated tubular shape capable of accommodating a liquid, and an outlet for finely flowing the liquid at the lower side thereof is formed long in the longitudinal direction of the blade module. Therefore, the blade module 40 is a component that causes the liquid to flow down the substrate, rather than spraying the liquid at a predetermined angle.

또한 상기 노즐 모듈(50)은 도 2에 도시된 바와 같이, 액을 수용할 수 있는 통 형상을 가지고, 하측에 액을 소정 압력 및 각도로 분사시킬 수 있는 노즐구가 형성되어 있다. 따라서, 상기 노즐 모듈(50)은 기판을 향하여 소정 압력으로 액을 분사시키는 기능을 한다.In addition, the nozzle module 50 has a cylindrical shape for accommodating the liquid, as shown in FIG. 2, and a nozzle hole for discharging the liquid at a predetermined pressure and angle is formed at the lower side. Therefore, the nozzle module 50 functions to spray the liquid at a predetermined pressure toward the substrate.

상기와 같은 블레이드 모듈(40)과 노즐 모듈(50)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 결합되어 있는 구조를 가질 수 있다. 즉, 서로 결합된 상태에서 함께 수평 방향으로 이동되도록 구성할 수 있다. 이 경우, 블레이드 노즐(40)을 통하여 기판에 액을 흘러내리도록 할 때는, 상기 블레이드 모듈(40)에만 액을 공급하고, 노즐 모듈(50)을 통하여 기판에 액을 분사시킬 때는, 상기 노즐 모듈(50)에만 액을 공급한다.The blade module 40 and the nozzle module 50 as described above may have a structure in which they are coupled to each other, as shown in FIGS. 1 and 2. That is, it can be configured to move in the horizontal direction together in a state coupled to each other. In this case, when the liquid flows down to the substrate through the blade nozzle 40, the liquid is supplied only to the blade module 40, and when the liquid is injected onto the substrate through the nozzle module 50, the nozzle module. The liquid is supplied only to (50).

상기와 같이, 블레이드 모듈(40)과 노즐 모듈(50)이 결합된 상태에서 함께 이동되도록 구성할 수도 있지만, 경우에 따라서는 상기 블레이드 모듈(40)과 노즐 모듈(50)을 서로 분리되도록 구성하여, 개별적으로 수평 이동되도록 구성할 수도 있다.As described above, the blade module 40 and the nozzle module 50 may be configured to be moved together in a combined state, but in some cases, by configuring the blade module 40 and the nozzle module 50 to be separated from each other It can also be configured to move horizontally individually.

한편, 상기 블레이드 모듈(40) 및 노즐 모듈(50)은 각각 일측에 액을 공급하기 위한 유입구가 형성되어 있고, 이 유입구와 액 공급관이 연결되어 있고, 상기 액 공급관은 액 공급탱크와 연결되도록 구성한다. On the other hand, the blade module 40 and the nozzle module 50 are each formed with an inlet for supplying a liquid to one side, the inlet and the liquid supply pipe is connected, the liquid supply pipe is configured to be connected to the liquid supply tank do.

상술한 바와 같이, 상기 블레이드 모듈(40) 및 노즐 모듈(50)은 함께 이동될 수 있도록 서로 결합되어 구성될 수도 있고, 서로 분리되어 구성될 수도 있는데, 이와 별개로, 상기 노즐 모듈(50) 및 블레이드 모듈(40)은 측면에 배치될 수도 있다. 도 7은 노즐 모듈(50)만 측면에 배치된 것을 예시한다. 즉, 상기 노즐 모듈(50)은 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 기판 수직 및 수평 이동수단의 정면측 또는 후면측에 더 배치되어 구성될 수도 있다. 이 경우, 상기 노즐 모듈(50)은 상기 기판에 대하여 측방향으로 액을 분사시킨다. 이에 대해서는 후술하겠다.As described above, the blade module 40 and the nozzle module 50 may be configured to be coupled to each other to be moved together, or may be configured to be separated from each other, separately, the nozzle module 50 and The blade module 40 may be disposed on the side. 7 illustrates that only the nozzle module 50 is disposed on the side. That is, the nozzle module 50 may be further disposed on the front side or the rear side of the substrate vertical and horizontal moving means, as shown in FIG. In this case, the nozzle module 50 ejects the liquid laterally with respect to the substrate. This will be described later.

이상에서 설명한 기판 웨팅성 테스트 장치는 기판의 습윤성을 테스트하기 위하여 다양한 방법을 적용시킬 수 있다. 즉, 디핑법(dipping), 블레이드를 이용한 웨팅법, 노즐을 이용한 웨팅법 등을 이용하여 기판의 웨팅성을 테스트할 수 있다.The substrate wettability test apparatus described above may apply various methods to test the wettability of the substrate. That is, the wettability of the substrate may be tested using a dipping method, a wetting method using a blade, a wetting method using a nozzle, and the like.

도 4는 상기 다양한 방법 중, 디핑법을 이용하여 기판의 웨팅성을 테스트하기 위한 상태를 보여준다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판은 수조(30) 내부로 침지된 후, 꺼내서 액마름 현상 등을 체크하여 웨팅성을 테스트할 수 있다.4 shows a state for testing the wettability of the substrate using the dipping method among the various methods. As shown in FIG. 4, the substrate may be immersed in the water tank 30, and then taken out and tested for wetness by checking liquid dryness.

상기 수조(30) 내부로 침지되는 기판은 수평한 상태로 침지될 수도 있고, 일정 각도로 경사진 상태로 침지될 수도 있다. 즉, 웨팅성 테스트의 다양화를 위하여 상기 수조(30)에 침지되는 기판의 경사를 달리하여 침지할 수 있다.The substrate immersed in the water tank 30 may be immersed in a horizontal state, or may be immersed in an inclined state at a predetermined angle. That is, in order to diversify the wettability test, the substrate may be immersed by varying the inclination of the substrate immersed in the water tank 30.

상기 기판을 상기 수조(30) 내부로 침지하기 위해서는 상술한 기판 웨팅성 테스트 장치가 소정 절차로 동작되어야 한다.In order to immerse the substrate into the water tank 30, the above-described substrate wettability test apparatus must be operated in a predetermined procedure.

구체적으로, 상기 기판은 상기 수직 이동체(23)의 하강을 통하여 상기 수조에 수평 또는 경사진 상태로 침지될 수 있다. 즉, 도 1에 도시된 상태에서, 상기 수직 이동체(23)가 상기 기판이 상기 수조(30) 안에 침지될 때까지 하강함으로써, 상기 기판을 수조(30)로 침지할 수 있다. 그리고, 상기 기판이 수조 안으로 침지된 후, 또는 침지되기 전에, 상기 한 쌍의 수평 이동체(15)가 각각의 수직바(13)의 승하강 위치를 달리하도록 구동함으로써, 상기 기판이 경사진 상태에서 상기 수조(30)에 침지시킬 수 있다.Specifically, the substrate may be immersed in the horizontal or inclined state through the lowering of the vertical movable body (23). That is, in the state shown in FIG. 1, the vertical movable body 23 descends until the substrate is immersed in the water tank 30, so that the substrate may be immersed in the water tank 30. Then, after the substrate is immersed in the water tank or before being immersed, the pair of horizontal movable bodies 15 are driven so as to change the rising / lowering position of each vertical bar 13 so that the substrate is in an inclined state. It can be immersed in the water tank (30).

한편, 상기 기판은 상기 수직 이동체(23)의 하강 동작 및 상기 수직바(13)의 하강 동작을 통하여 상기 수조(30)에 침지될 수 있다. 즉, 상기 수직 이동체(23)를 하강시켜, 상기 기판이 수조(30)의 바로 상부에 위치하도록 한 후, 상기 수평 이동체(15)가 상기 수직바(13)를 구동 하강시켜 상기 기판이 상기 수조 내부로 침지되도록 할 수 있다. 이 경우에도 상기 한 쌍의 수평 이동체(15)가 각각의 수직바(13)의 승하강 위치를 달리하도록 구동함으로써, 상기 기판이 경사진 상태에서 상기 수조(30)에 침지시킬 수 있다.On the other hand, the substrate may be immersed in the water tank 30 through the lowering operation of the vertical movable body 23 and the lowering operation of the vertical bar (13). That is, the vertical movable body 23 is lowered so that the substrate is positioned directly above the water tank 30, and then the horizontal movable body 15 drives the vertical bar 13 to lower the substrate. It can be immersed inside. Even in this case, the pair of horizontal movable bodies 15 may be driven so as to change the rising and lowering positions of the respective vertical bars 13, so that the substrate can be immersed in the water tank 30 in an inclined state.

또한, 상기 수직바(13)의 하강만을 통하여 상기 기판을 수조 내부로 침지시킬 수 있다. 이 경우에는 상기 기판이 수조 상부에 가까이 있거나, 상기 수직바(13)의 하강 길이가 길게 형성될 때 가능하다. 한편 이 경에도, 한 쌍의 수평 이동체(15)가 각각의 수직바(13)의 승하강 위치를 달리하도록 구동함으로써, 상기 기판이 경사진 상태에서 상기 수조(30)에 침지시킬 수 있다.In addition, the substrate may be immersed in the water tank only through the lowering of the vertical bar 13. In this case, it is possible when the substrate is near the top of the water tank, or when the falling length of the vertical bar 13 is formed long. On the other hand, even in this mirror, by driving the pair of horizontal moving bodies 15 to differently move up and down positions of the vertical bars 13, the substrate can be immersed in the water tank 30 in an inclined state.

이상에서는 상기 기판이 수조(30)에 침지시키는 동작을 설명하였고, 다음은 상기 기판에 액을 분사 또는 흐르도록 하여 웨팅성을 테스트하는 방법에 대하여 설명한다.In the above, the operation of immersing the substrate in the water tank 30 has been described. Next, a method of testing the wettability by spraying or flowing a liquid on the substrate will be described.

도 5는 블레이드 모듈(40)이 상기 기판에 액을 흘리도록 하는 과정을 보여주고, 도 6은 노즐 모듈(50)이 상기 기판에 액을 분사시키는 과정을 보여준다.FIG. 5 shows a process of letting the blade module 40 flow the liquid onto the substrate, and FIG. 6 shows a process of the nozzle module 50 spraying the liquid onto the substrate.

상기 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 블레이드 모듈(40) 및 노즐 모듈(50)이 상기 기판에 액을 분사 또는 흘리도록 하기 위해서는, 상기 기판은 상기 블레이드 모듈(40) 및 노즐 모듈(50)과 대향되도록 배치되어야 한다.As shown in FIGS. 5 and 6, in order for the blade module 40 and the nozzle module 50 to inject or flow liquid onto the substrate, the substrate may include the blade module 40 and the nozzle module ( It should be arranged to face 50).

즉, 상기 기판은 일단 상기 수평 레일(11)의 회전에 따라 상기 액 분사수단(40, 50)에 대향되도록 배치되어야 한다. 상기 기판이 상기 액 분사수단(40, 50)과 대향되도록 배치되기 위해서는, 먼저 상기 수직 이동체(23)가 상기 수평 레일(11)을 회전시키는 동작을 수행하여, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 기판이 상기 액 분사수단(40, 50)을 향하도록 배치한다. That is, the substrate should be disposed to face the liquid jetting means 40, 50 once the horizontal rail 11 rotates. In order for the substrate to be disposed to face the liquid ejecting means 40, 50, first, the vertical movable body 23 performs an operation of rotating the horizontal rail 11, as shown in FIGS. 5 and 6. Likewise, the substrate is disposed to face the liquid ejecting means 40, 50.

그런 다음, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 블레이드 모듈(40)에 의하여 상기 기판에 액이 흘러내리도록 하거나, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 노즐 모듈(50)에 의하여 상기 기판에 대하여 액이 분사되도록 한다. 그런 다음, 상기 기판에 존재하는 액의 마름 현상 등을 체크하여 기판 웨팅성을 테스트할 수 있다.Then, as shown in FIG. 5, the liquid flows to the substrate by the blade module 40, or as shown in FIG. 6, the liquid is applied to the substrate by the nozzle module 50. To be injected. Then, the substrate wettability may be tested by checking the dryness of the liquid present in the substrate.

한편, 도 5 및 도 6은 상기 기판이 상기 액 분사 모듈(40, 50)에 대향하도록 배치한 후, 상기 액 분사모듈(40, 50)이 수평 방향으로 이동하여 상기 기판 전면에 액을 분사 또는 흘러내리도록 하는 구성이다. 그런데, 이와 달리, 상기 기판은 상기 수평 이동체(15)의 구동에 의하여, 상기 수평 레일(11)의 길이 방향으로 이동될 수 있기 때문에, 상기 액 분사수단(40, 50)이 고정된 상태에서 액을 분사 또는 흘러내리고, 상기 기판이 수평 방향으로 이동되도록 하여 상기 기판의 전면에 액을 분사 또는 흘러내리도록 할 수도 있다.Meanwhile, FIGS. 5 and 6 show that the substrate faces the liquid ejection modules 40 and 50, and then the liquid ejection modules 40 and 50 move in a horizontal direction to inject liquid onto the front surface of the substrate. It is a configuration to make it flow down. By the way, since the substrate can be moved in the longitudinal direction of the horizontal rail 11 by the driving of the horizontal movable body 15, the liquid injecting means (40, 50) is fixed May be sprayed or flowed down, and the substrate is moved in a horizontal direction so that the liquid is sprayed or flowed down the front surface of the substrate.

도 5 및 도 6은 상기 기판이 상부 방향을 향하고, 상기 액 분사수단(40, 50)이 상기 기판을 향하여 액을 분사 또는 흘러내리도록 하는 구성이다. 이와 달리, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 수직하게 세워 놓은 상태에서 상기 기판의 측면에서 액을 분사시켜, 상기 기판에 대한 웨팅성을 테스트할 수도 있다. 이 경우, 상기 액 분사수단(40, 50)은 상기 기판의 상측 측면에 배치되어, 액을 분사 또는 흘러 내려준다. 그러면, 상기 기판의 상측에 묻은 액은 아래로 흘러내리면서 상기 기판 전면에 묻게 된다.5 and 6 are configurations in which the substrate is directed upward, and the liquid jetting means 40, 50 are sprayed or flowed toward the substrate. Alternatively, as shown in FIG. 7, the liquid may be injected from the side of the substrate while the substrate is placed vertically, thereby testing the wettability of the substrate. In this case, the liquid ejecting means 40, 50 are disposed on the upper side of the substrate, to eject or flow the liquid. Then, the liquid buried in the upper side of the substrate flows down and is buried in the front surface of the substrate.

따라서, 상술한 기판 웨팅성 테스트 장치는 상기 기판이 수직 방향으로 세워진 상태를 유지할 수 있도록 동작되어야 한다. 구체적으로, 상기 수직 이동체(23)가 상기 수평 레일(11)을 회전시킴으로써, 상기 기판이 수직하게 세워진 상태가 되도록 한다. 그런 다음, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)의 전면측 또는 후면측에 배치되는 노즐 모듈(50)이 액을 분사시켜 상기 기판에 액이 묻을 수 있도록 한다.Therefore, the above-described substrate wettability test apparatus should be operated so that the substrate can be maintained in the vertical direction. Specifically, the vertical movable body 23 rotates the horizontal rail 11 so that the substrate is in a vertically standing state. Then, the nozzle module 50 disposed on the front side or the rear side of the substrate horizontal and vertical moving means 10 sprays the liquid so that the liquid can be deposited on the substrate.

이와 같이, 상기 기판은 수평 상태가 아닌 수직 상태에서도 액이 묻혀질 수 있고, 경우에 따라서는 수평 및 수직 이외의 소정 각도로 경사진 상태에서 상기 액이 묻혀지게 할 수 있다. As such, the substrate may be buried in a vertical state rather than a horizontal state, and in some cases, the liquid may be buried in an inclined state at a predetermined angle other than horizontal and vertical.

이상에서와 같이 본 발명은 특정의 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정하는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 단순한 설계변경이나 관용수단의 치환 등의 경우에도 본 발명의 보호범위에 속함을 분명히 한다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Is also within the scope of protection of the present invention.

10 : 기판 수평 및 수직 이동수단 11 : 수평 레일
13 : 수직바 15 : 수평 이동체
17 : 지지 프레임 20 : 회전 이동수단
21 : 수직 레일 23 : 수직 이동체
30 : 수조 40 : 블레이드 모듈
50 : 노즐 모듈10: substrate horizontal and vertical moving means 11: horizontal rail
13: vertical bar 15: horizontal moving body
17: support frame 20: rotation moving means
21: vertical rail 23: vertical moving body
30: water tank 40: blade module
50: nozzle module

Claims (7)

기판을 지지하되, 상기 유리 기판을 상하 수직 이동 또는 수평 이동시키는 기판 수평 및 수직 이동수단;
상기 기판 수평 및 수직 이동수단을 상하 수직 이동 또는 회전 이동시키는 기판 회전 이동수단;
상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 하측에 배치되는 수조;
상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 상측에 배치되는 액 분사 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
Substrate horizontal and vertical moving means for supporting a substrate and vertically moving or horizontally moving the glass substrate;
Substrate rotation moving means for vertically moving or rotating the substrate horizontal and vertical moving means;
A water tank disposed below the substrate horizontal and vertical moving means;
And a liquid jet means disposed above the substrate horizontal and vertical movement means.
청구항 1에 있어서, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단은,
수평으로 배치되는 수평 레일, 상기 수평 레일을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 수평 이동체, 상기 수평 이동체 각각에 대하여 수직 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 수직바, 상기 수직바 각각에 양단이 회전 가능하게 결합되고, 상기 기판을 지지하는 지지 프레임을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
The method of claim 1, wherein the substrate horizontal and vertical movement means,
A horizontal rail arranged horizontally, a pair of horizontal movable bodies sliding along the horizontal rail, a pair of vertical bars coupled vertically with respect to each of the horizontal movable bodies, both ends rotatably coupled to each of the vertical bars, And a support frame supporting the substrate.
청구항 2에 있어서, 상기 회전 이동수단은,
상기 수평 레일의 양 끝단에 각각 결합되어, 상기 수평 레일을 수직 이동 또는 회전 이동시키는 한 쌍의 수직 이동체 및 상기 한 쌍의 수직 이동체가 상하 슬라이딩되도록 수직 방향으로 배치되는 수직 레일을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
The method of claim 2, wherein the rotation means,
It is coupled to both ends of the horizontal rail, characterized in that it comprises a pair of vertical movable body for vertically moving or rotating the horizontal rail and the vertical rail disposed in the vertical direction so that the pair of vertical movable body is vertically slid Substrate wettability test apparatus.
청구항 3에 있어서,
상기 액 분사수단은 상기 수평 레일의 길이 방향으로 이동되도록 배치되고, 액을 분사시키는 노즐 모듈과 액을 흘러내리도록 하는 블레이드 모듈로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
The method according to claim 3,
The liquid ejecting means is disposed to move in the longitudinal direction of the horizontal rail, the substrate wettability test apparatus, characterized in that consisting of a nozzle module for ejecting the liquid and a blade module for flowing the liquid.
청구항 4에 있어서,
상기 노즐 모듈은 상기 기판 수직 및 수평 이동수단의 정면측 또는 후면측에 더 배치되어, 상기 기판에 대하여 측방향으로 액을 분사시키는 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치
The method of claim 4,
The nozzle module is further disposed on the front side or the rear side of the substrate vertical and horizontal moving means, the substrate wettability test apparatus, characterized in that to eject the liquid in the lateral direction with respect to the substrate
청구항 5에 있어서,
상기 기판은 상기 수직 이동체의 하강을 통하여 또는 상기 수직 이동체 하강 및 상기 수직바 하강을 통하여 또는 상기 수직바의 하강을 통하여 상기 수조에 수평 또는 경사진 상태로 침지되는 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
The method according to claim 5,
The substrate wetting test apparatus characterized in that the substrate is immersed in the horizontal or inclined state through the lowering of the vertical movable body or through the vertical movable body lowering and the vertical bar lowering or the lowering of the vertical bar. .
청구항 5에 있어서,
상기 기판이 상기 수평 레일의 회전에 따라 상기 액 분사수단에 대향된 후, 상기 노즐 모듈에 의하여 상기 기판에 대하여 액이 분사되거나 또는 블레이드 모듈에 의하여 상기 기판에 액이 흘러내리도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
The method according to claim 5,
After the substrate is opposed to the liquid jetting means according to the rotation of the horizontal rail, the liquid is injected to the substrate by the nozzle module or the liquid flows to the substrate by the blade module, characterized in that Substrate wetting test apparatus.
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