KR20120108722A - Ir dryer, and the method for psr(photo solder resist) of printed circuit boards using the same - Google Patents

Ir dryer, and the method for psr(photo solder resist) of printed circuit boards using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20120108722A
KR20120108722A KR1020110026949A KR20110026949A KR20120108722A KR 20120108722 A KR20120108722 A KR 20120108722A KR 1020110026949 A KR1020110026949 A KR 1020110026949A KR 20110026949 A KR20110026949 A KR 20110026949A KR 20120108722 A KR20120108722 A KR 20120108722A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
dryer
unit
drying
psr
Prior art date
Application number
KR1020110026949A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101353247B1 (en
Inventor
전기주
김규남
이봉규
정인호
김동원
최민욱
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020110026949A priority Critical patent/KR101353247B1/en
Publication of KR20120108722A publication Critical patent/KR20120108722A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101353247B1 publication Critical patent/KR101353247B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3452Solder masks
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/227Drying of printed circuits
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/28Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun
    • F26B3/30Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun from infrared-emitting elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

PURPOSE: An IR(Infrared Ray) dryer and a PSR(Photo Solder Resist) process method of a printed circuit board using the same are provided to increase the productivity of expensive devices more than twice because the exposure degree of the previous process is reduced less than 50%. CONSTITUTION: An IR dryer(10) comprises a substrate conveyor(100), a chamber unit, a drying unit(300), a vertical operating unit, and a substrate transferring unit(500). The substrate conveyor inserts substrates(20) and discharges the dried substrates from the IR dryer. The chamber unit dries the substrates. The drying unit dries the substrate with infrared rays at the front and rear sides of the chamber unit. The vertical operating unit sets the substrates up on the substrate conveyor and lays the erected substrates on the substrate conveyor. The substrate transferring unit transfers the substrates between the chamber unit and the vertical operating unit. [Reference numerals] (20) Substrate; (210) Chamber #1; (220) Chamber #2

Description

IR 건조기 및 이를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법{IR dryer, and the method for PSR(Photo Solder Resist) of printed circuit boards using the same}IR dryer, and the method for PSR (Photo Solder Resist) of printed circuit boards using the same}

본 발명은 IR 건조기 및 이를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 수직으로 세워서 챔버 내로 진입시킨 후 비접촉식으로 원적외선(IR) 건조를 하는 IR 건조기 및 이을 이용하여 노광 후에 원적외선(IR) 건조 과정을 거치는 인쇄회로기판의 PSR 공정방법에 관한 것이다.The present invention relates to an IR dryer and a PSR process method of a printed circuit board using the same, and more particularly, an IR dryer for non-contact IR drying after exposure of a substrate standing vertically and entering into a chamber, and after exposure using the same. The present invention relates to a PSR process method of a printed circuit board that undergoes a far infrared ray (IR) drying process.

PSR(Photo Solder Resist) 공정은 기판 표면과 잉크와의 밀착성에 악영향을 주는 산화피막, 방청제, 기름 등을 제거함과 동시에 동표면에 적당한 조도를 주기 위한 공정으로, 기판의 전처리, 인쇄 및 건조, UV 노광, 현상 및 최종 건조 과정을 거친다. 도 1은 기존 PSR 공정방법의 흐름도를 도시한 것이다. PSR (Photo Solder Resist) process is to remove oxide film, rust preventive agent, oil, etc. which adversely affect the adhesion between substrate surface and ink, and to give proper roughness to copper surface. Exposure, development and final drying. 1 shows a flowchart of a conventional PSR process method.

한편, 최근의 휴대용 전자기기를 포함한 전자제품에 있어서 소비자의 다양한 욕구가 증대되고 있다. 특히 소형 경량화, 박판화의 요구가 급격히 증가되는 추세이다. 그런데, PCB(Printed Circuit Board, 인쇄회로기판)가 박판화되면서 PSR 공정에서의 잉크 잔사 불량이 문제가 되고 있다. On the other hand, in recent years in electronic products including portable electronic devices, various needs of consumers are increasing. In particular, the demand for small size, light weight, thin film is increasing rapidly. However, as PCBs (Printed Circuit Boards) are thinned, ink residue defects in the PSR process become a problem.

도 2는 PSR 공정에서 잉크 잔사 불량의 실시예를 도시한 것으로, 잉크 잔사 문제는 PSR 공정에 있어서, 잉크가 Bond finger, Solder ball pad 에 잔존함에 따라 Bond finger, Solder ball pad의 금도금을 방해하게 되어 발생하는 외관 불량을 말한다.FIG. 2 illustrates an embodiment of poor ink residue in the PSR process, and the ink residue problem prevents gold plating of the bond finger and solder ball pads as the ink remains in the bond finger and solder ball pads in the PSR process. Refers to appearance defects that occur.

잉크 잔사 불량 문제는 오래전부터 PCB를 생산하는 모든 업체의 외관 불량의 문제의 1 순위였으며, PCB의 박판화로 진행되면서 더욱 악화되고 있는 실정이다. The problem of ink residue defects has long been the number one problem of appearance defects of all companies producing PCBs, and it is getting worse as the thickness of PCBs progresses.

그런데, 이러한 잉크 잔사 불량의 원인 중 하나는 PSR 현상시 PSR 표면의 경화도가 부족해서 현상시 현상하는 롤(roll)에 의해 오염되는 것으로, 도 3은 PSR 잉크에 의한 롤(roll)의 오염의 실시예를 도시한 것이다. However, one of the causes of the ink residue defect is contamination by a roll that develops when developing due to a lack of hardening of the surface of the PSR during PSR development, and FIG. 3 shows contamination of a roll by PSR ink. An example is shown.

따라서, 잉크 잔사 문제를 개선하기 위해 지금의 PSR 제조 공정(PSR 전처리 - PSR 인쇄 - PSR 노광 - PSR 현상 및 건조)에서 벗어나 SR 표면의 경화도를 향상시킬 수 있는 공정이 필요한 실정이다. 그에 따라, PSR 노광 후 PSR 현상 전에 열 건조시키는 과정을 추가한 공정이 고려되었다. 도 4는 노광 후 열건조하는 PSR 공정방법의 흐름도를 도시한 것으로, SR 표면의 경화도를 향상시키기 위해 기존의 노광 후 열 건조기를 사용하여 열건조를 하는 작업을 추가한 것이다. Therefore, there is a need for a process that can improve the degree of curing of the SR surface from the current PSR manufacturing process (PSR pretreatment-PSR printing-PSR exposure-PSR development and drying) to improve the ink residue problem. Accordingly, a process in which a process of heat drying after PSR exposure and before PSR development was added was considered. FIG. 4 is a flowchart illustrating a PSR process method of thermally drying after exposure, in which an operation of thermally drying using an existing post-exposure heat dryer is added to improve the degree of curing of the SR surface.

그러나 열 건조기를 이용하는 경우에, 열로 건조하기 위하여 기판 공정 라인에서 열 건조기로 기판을 수작업으로 옮겨야하고, 열 건조기에서 기판 공정 라인으로 제품을 수작업으로 수취해야 한다. 따라서, 제품의 최종 완성 시간까지 시간이 지연되는 문제점이 있다.However, when using a heat dryer, the substrate must be manually moved from the substrate processing line to the heat dryer in order to dry with heat, and the product must be manually received from the heat dryer to the substrate processing line. Therefore, there is a problem that the time is delayed until the final completion time of the product.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 원적외선(IR) 건조 과정을 현상 투입단에서 인라인(In-Line)화하여 제품의 최종 완성 시간을 줄이고, SR 표면의 경화도를 향상시켜 잉크 잔사 문제를 해결하는 IR 건조기 및 이를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법을 제공하는 데 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, by in-line the far-infrared (IR) drying process at the development stage to reduce the final completion time of the product, improve the degree of hardening of the SR surface ink residue An object of the present invention is to provide an IR dryer and a PSR process method of a printed circuit board using the same.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 IR 건조기는, 기판을 IR 건조기로 투입시키고, 건조된 상기 기판을 상기 IR 건조기에서 배출시키는 기판컨베어와, 상기 기판을 건조하기 위한 챔버부와, 상기 챔버부의 앞뒤에서 원적외선(IR)으로 상기 기판을 건조시키는 건조부와, 상기 기판컨베어 위의 기판을 수직으로 세우거나, 수직으로 세워진 상기 기판을 상기 기판컨베어 위로 눕히는 수직조작부 및 상기 챔버부와 상기 수직조작부 간에 상기 기판을 이송하는 기판이송부를 포함한다.An IR dryer according to the present invention for achieving the above object comprises a substrate conveyor for introducing a substrate into an IR dryer and discharging the dried substrate from the IR dryer, a chamber portion for drying the substrate, and the chamber. Drying unit for drying the substrate in the far infrared (IR) in the front and rear of the unit, the vertical operation unit to vertically erect the substrate on the substrate conveyor, or to vertically lay the substrate on the substrate conveyor and the chamber and the vertical operation unit It includes a substrate transfer unit for transferring the substrate between.

이때, 상기 챔버부는 적어도 두 개의 챔버를 포함할 수 있다. In this case, the chamber part may include at least two chambers.

또한, 상기 건조부는 상기 기판을 비접촉으로 건조할 수 있다. In addition, the drying unit may dry the substrate in a non-contact manner.

또한, 상기 수직조작부는 수직으로 세워진 상기 기판을 상기 기판컨베어 위로 눕히는 경우에 상기 기판이 상기 기판컨베어에 닿기 이전에 상기 기판을 냉각시키는 냉각부를 더 포함할 수 있다. The vertical manipulation unit may further include a cooling unit for cooling the substrate before the substrate contacts the substrate conveyor when the vertically placed substrate is laid down on the substrate conveyor.

또한, 상기 기판이송부는 수직으로 세워진 상기 기판의 더미(dummy)부를 클램핑하여 상기 기판을 이송할 수 있다. The substrate transfer part may transfer the substrate by clamping a dummy part of the substrate standing vertically.

한편, 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 PSR(Photo Solder Resist) 공정방법에 있어서, 기판을 전처리하는 단계와, 상기 기판을 인쇄하는 단계와, 상기 기판을 노광하는 단계와, IR 건조기를 이용하여 상기 기판을 건조하는 단계 및 상기 기판을 현상 및 건조하는 단계를 포함한다. On the other hand, in the PSR (Photo Solder Resist) processing method of the printed circuit board according to the present invention for achieving the above object, the step of pre-processing, printing the substrate, exposing the substrate and And drying the substrate using an IR dryer and developing and drying the substrate.

이때, 상기 IR 건조기는 기판을 IR 건조기로 투입하고, 건조된 상기 기판을 상기 IR 건조기에서 배출시키는 기판컨베어와, 상기 기판을 건조하기 위한 챔버부와, 상기 챔버부의 앞뒤에서 원적외선(IR)으로 상기 기판을 건조시키는 건조부와, 상기 기판컨베어 위의 기판을 수직으로 세우거나, 수직으로 세워진 상기 기판을 상기 기판컨베어 위로 눕히는 수직조작부 및 상기 챔버부와 상기 수직조작부 간에 상기 기판을 이송하는 기판이송부를 포함하여 기판을 건조시킬 수 있다. In this case, the IR dryer is a substrate conveyor for injecting a substrate into the IR dryer, and discharges the dried substrate from the IR dryer, a chamber unit for drying the substrate, and the far-infrared (IR) in front of and behind the chamber unit. A drying unit for drying the substrate, a vertical operation unit for vertically standing the substrate on the substrate conveyor, or a substrate operation unit for transferring the substrate between the chamber unit and the vertical operation unit to vertically lay the substrate on the substrate conveyor. It may include drying the substrate.

이때, 상기 챔버부는 적어도 두 개의 챔버를 포함할 수 있고, 상기 건조부는 상기 기판을 비접촉으로 건조할 수 있다. In this case, the chamber part may include at least two chambers, and the drying part may dry the substrate in a non-contact manner.

또한, 상기 수직조작부는 냉각부를 더 포함하여, 수직으로 세워진 상기 기판을 상기 기판컨베어 위로 눕히는 경우에, 상기 기판이 상기 기판컨베어에 닿기 이전에 상기 기판을 냉각시킬 수 있다. The vertical manipulation unit may further include a cooling unit to cool the substrate before the substrate contacts the substrate conveyor when the vertically placed substrate is laid down on the substrate conveyor.

또한, 상기 기판이송부는 수직으로 세워진 상기 기판의 더미(dummy)부를 클램핑하여 상기 기판을 이송할 수 있다. The substrate transfer part may transfer the substrate by clamping a dummy part of the substrate standing vertically.

본 발명에 따른 IR 건조기 및 이를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법에 의하면,According to the IR dryer of the present invention and a PSR process method of a printed circuit board using the same,

첫째, 잉크 잔사 불량율이 감소한다. First, the ink residue defect rate decreases.

둘째, PSR(Photo Solder Resist)공정에서 현상하는 롤(roll)의 세정주기가 감소한다. Second, the cleaning cycle of the roll developed in the PSR (Photo Solder Resist) process is reduced.

셋째, SR(Solder Resist)의 노광 후 IR건조기를 사용함으로써, 앞 공정의 노광량을 50% 이하로 줄여서 고가의 장비의 생산성을 2배 이상 높일 수 있다. Third, by using an IR dryer after exposure of SR (Solder Resist), the productivity of expensive equipment can be increased more than twice by reducing the exposure amount of the previous process to 50% or less.

넷째, 기판을 수취하여 건조될 때까지 대기하는 시간인 줄어들어 제품 생산성이 향상된다. Fourth, the time to wait for the substrate to be received and dried, thereby reducing product productivity.

다섯째, 인력 소모가 없어서 많은 양을 생산할 수 있다. Fifth, there is no manpower consumption, so a large quantity can be produced.

도 1은 기존 PSR 공정방법의 흐름도를 도시한 것이다.
도 2는 PSR 공정에서 잉크잔사 불량의 실시예를 도시한 것이다.
도 3은 PSR 잉크에 의한 Roll의 오염의 실시예를 도시한 것이다.
도 4는 노광 후 열건조하는 PSR 공정방법의 흐름도를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 IR 건조기를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법의 흐름도를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 IR 건조기의 평면도를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 IR 건조기의 측면도를 도시한 것이다.
도 8은 원적외선(IR)의 가열 원리를 도시한 것이다.
도 9는 열 건조기와 본 발명에 따른 IR 건조기를 비교한 표이다.
도 10은 본 발명의 수직조작부에 따른 기판의 이동 방향을 표시한 것이다.
도 11a는 본 발명에 따라 PSR 노광 후 IR 건조 전의 PSR 표면의 실시예를 도시한 것이다.
도 11b는 본 발명에 따라 PSR 노광 후 IR 건조 후의 PSR 표면의 실시예를 도시한 것이다.
도 12는 본 발명에 따라 PSR노광 후 IR 건조 적용 전,후에 PSR 잉크잔사 불량 추이도를 도시한 것이다.
도 13은 본 발명에 따라 PSR노광 후 IR 건조 적용에 대한 효과를 현상기 롤(roll) 오염 정도로 비교한 것이다.
1 shows a flowchart of a conventional PSR process method.
2 illustrates an embodiment of a defective ink residue in a PSR process.
3 shows an embodiment of contamination of a roll by PSR ink.
4 illustrates a flowchart of a PSR process method of thermal drying after exposure.
5 is a flowchart illustrating a PSR process method of a printed circuit board using an IR dryer according to the present invention.
6 shows a plan view of an IR dryer according to the present invention.
Figure 7 shows a side view of an IR dryer according to the present invention.
8 shows the principle of heating of far-infrared (IR).
9 is a table comparing the thermal dryer and the IR dryer according to the present invention.
10 is a view illustrating a moving direction of the substrate according to the vertical manipulation unit of the present invention.
11A shows an embodiment of a PSR surface after PSR exposure and before IR drying in accordance with the present invention.
11B illustrates an embodiment of a PSR surface after IR drying after PSR exposure in accordance with the present invention.
12 illustrates a PSR ink residue defect trend before and after IR drying application after PSR exposure according to the present invention.
FIG. 13 compares the effect on developer roll contamination after PSR exposure according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately The present invention should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

본 발명은 IR 건조기 및 이를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법에 관한 것으로, 기판을 수직으로 세워서 챔버 내로 진입시킨 후 비접촉식으로 원적외선(IR) 건조를 하는 IR 건조기 및 이을 이용하여 노광 후에 원적외선(IR) 건조 과정을 거치는 인쇄회로기판의 PSR 공정방법에 관한 것이다.The present invention relates to an IR dryer and a PSR process method of a printed circuit board using the same, wherein the substrate is placed vertically, enters into a chamber, and is irradiated with an infrared dryer (IR) in a non-contact manner. The present invention relates to a PSR process method of a printed circuit board undergoing a drying process.

도 5는 본 발명에 따른 IR 건조기를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법의 흐름도로, 도 5를 참조하여 IR 건조기를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법을 설명한다. FIG. 5 is a flowchart illustrating a PSR process method of a printed circuit board using an IR dryer according to the present invention. Referring to FIG. 5, a PSR process method of a printed circuit board using an IR dryer will be described.

기판에 도포된 잉크의 용제를 제거해 접착성을 없애는 등의 작업을 통해 기판을 전처리하고, 상기 전처리가 완료된 기판 표면을 S/R잉크로 코팅하는 인쇄과정을 거쳐, 건조시킨 후 UV(자외선)광을 조사하여 노광을 한다. 상기 노광 과정 후에 IR 건조기를 이용하여 상기 기판을 원적외선(IR)으로 건조하고, 상기 건조된 기판에 대해서 UV광에 노출되지 않은 미경화 부분을 현상액을 이용하여 제거시키는 현상 과정을 거쳐, 최종 건조시키는 과정을 포함한다. 즉, PSR 공정에 있어서 노광 후 현상 과정 전에 원적외선(IR)을 통하여 건조시키는 과정을 포함하는 것이 본 발명의 특징이다.UV (ultraviolet) light after drying after removing the solvent from the ink applied to the substrate to remove the adhesive, and pre-processing the substrate, and coating the surface of the substrate after the pre-treatment with S / R ink Irradiate to expose. After the exposure process, the substrate is dried with far infrared rays (IR) using an IR dryer, and after the developing process of removing uncured portions not exposed to UV light with respect to the dried substrate using a developer, the final drying is performed. Process. That is, it is a feature of the present invention to include a process of drying through far-infrared (IR) before the post-exposure developing process in the PSR process.

도 6은 본 발명에 따른 IR 건조기의 평면도를, 도 7은 본 발명에 따른 IR 건조기의 측면도를 도시한 것으로, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 IR 건조기(10)는 기판컨베어(100), 챔버부(200), 건조부(300), 수직조작부(400), 기판이송부(500) 및 냉각부(410)를 포함할 수 있다. 이하에서는 본 발명에 따른 IR 건조기(10)를 자세히 설명한다. 6 is a plan view of the IR dryer according to the present invention, Figure 7 is a side view of the IR dryer according to the present invention, as shown in Figures 6 and 7 IR dryer 10 according to the present invention is a substrate The conveyor 100, the chamber part 200, the drying part 300, the vertical manipulation part 400, the substrate transfer part 500, and the cooling part 410 may be included. Hereinafter, the IR dryer 10 according to the present invention will be described in detail.

상기 기판컨베어(100)는 IR 건조기(10)로 투입된 기판(20)을 컨베이어를 이용하여 IR 건조기(10)로부터 배출시킨다. 상기 기판(20)은 투입되어 배출되는 과정에서 원적외선(IR)을 통하여 건조된다. The substrate conveyor 100 discharges the substrate 20 introduced into the IR dryer 10 from the IR dryer 10 using a conveyor. The substrate 20 is dried through the far infrared (IR) in the process of being injected and discharged.

상기 기판(20)은 상기 챔버부(200)에서 건조되는데, 상기 챔버부(200)의 앞뒤에서 원적외선(IR)으로 상기 기판(20)을 건조시키는 건조부(300)가 구비되어 있다. 다만, 이때 상기 기판(20)은 수직으로 세워진 상태에서 비접촉식으로 건조되며, 건조를 위해 이송되는 과정에서도 비접촉식으로 이송되어 이송 장비 등에 접촉되지 않아 접촉으로 인한 불량률을 감소시킬 수 있다.  The substrate 20 is dried in the chamber part 200, and a drying part 300 is provided to dry the substrate 20 in far-infrared rays (IR) at the front and rear of the chamber part 200. However, in this case, the substrate 20 may be dried in a non-contact manner in a vertically erect state, and may be transferred in a non-contact manner in the process of being transported for drying, thereby reducing the defective rate due to contact.

이와 같이, 상기 기판(20)을 수직으로 세워 비접촉식으로 건조시키기 위하여 상기 수직조작부(400) 상기 기판컨베어(100) 위의 기판(10)을 수직으로 세우거나, 수직으로 세워진 상기 기판(10)을 상기 기판컨베어(100) 위로 눕힌다. 또한, 상기 기판이송부(500)는 상기 수직조작부(400)에 의해 수직으로 세워진 기판(20)을 상기 챔버부(200)와 상기 수직조작부(400) 간에 이송한다. 이때, 상기 기판이송부(500)는 상기 수직으로 세워진 기판(20)의 더미(dummy)부, 예를 들어 가장자리부를 클램핑(clamping)하여 상기 기판을 상기 챔버부(200)로 이송함으로써 비접촉식으로 이송 및 건조가 가능하도록 한다.As such, in order to vertically dry the substrate 20 vertically, the vertical manipulation unit 400 vertically aligns the substrate 10 on the substrate conveyor 100 or vertically aligns the substrate 10. Lie down on the substrate conveyor 100. In addition, the substrate transfer part 500 transfers the substrate 20 standing vertically by the vertical operation part 400 between the chamber part 200 and the vertical operation part 400. At this time, the substrate transfer part 500 is a non-contact transfer by transferring the substrate to the chamber part 200 by clamping a dummy part, for example, an edge of the vertically placed substrate 20. And to allow drying.

또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 챔버부(200)가 기판컨베어(100)의 위쪽에 있는 경우, 상기 기판이송부(500)는 수직 윗 방향으로 상기 기판(20)을 이송시킨다. 상기 챔버부(200)로 기판(20)이 이송되면 상기 건조부(300)에서 상기 기판(20)을 비접촉식으로 원적외선(IR)을 이용하여 건조하고, 상기 기판이송부(500)를 통해 수직 아래 방향으로 기판(20)이 이송된다. In addition, as shown in FIG. 7, when the chamber part 200 is located above the substrate conveyor 100, the substrate transfer part 500 transfers the substrate 20 in the vertical upward direction. When the substrate 20 is transferred to the chamber 200, the drying unit 300 may dry the substrate 20 in a non-contact manner using far infrared rays (IR), and may be vertically downward through the substrate transfer unit 500. The substrate 20 is transferred in the direction.

이처럼, 상기 챔버부(200) 및 상기 건조부(300)를 기판컨베어(100)의 위쪽에 위치시킴으로써, 기존 IR 건조기에서 구조 변경이 용이하고 필요에 따라 투입에서 배출까지 기판컨베어(100)를 이용하여 원적외선(IR) 건조과정 없이 그냥 통과시킬 수 있어 효율적으로 사용가능하다. As such, by placing the chamber 200 and the drying unit 300 above the substrate conveyor 100, it is easy to change the structure in the existing IR dryer, using the substrate conveyor 100 from input to discharge as needed It can be used efficiently because it can pass just without the IR drying process.

한편, 상기 챔버부(200)부는 도 6에 도시된 바와 같이 적어도 두 개의 챔버를 포함할 수 있다. 기판(20)이 제1챔버(210)에 들어와서 건조되어 나가는 동안에 제2챔버(220)에 그 다음 기판(20)이 들어와서 건조됨으로써, 하나의 기판이 들어와서 건조되어 나가는 간격을 줄여 제품의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 제1챔버(210)로 들어가는 기판과 제2챔버(220)로 들어가는 기판을 도 6의 화살표로 구분하여 도시하였다. 또한, 도 6에는 두 개의 챔버를 포함하는 IR 건조기(10)를 도시하였지만, 제품의 생상성을 향상시키는 적절한 범위 내에서 여러 개의 챔버를 포함할 수 있음은 물론이다.Meanwhile, the chamber part 200 may include at least two chambers as shown in FIG. 6. While the substrate 20 enters into the first chamber 210 and is dried out, the next substrate 20 enters into the second chamber 220 and is dried, thereby reducing the interval at which one substrate enters and dries out. This has the effect of improving the productivity. The substrate entering the first chamber 210 and the substrate entering the second chamber 220 are illustrated by the arrows of FIG. 6. In addition, although the IR dryer 10 including two chambers is illustrated in FIG. 6, it is a matter of course that the chambers may include several chambers within an appropriate range for improving product productivity.

또한, 상기 건조부(300)는 원적외선(IR)을 이용하여 상기 기판(20)을 건조시킨다. 도 8은 원적외선(IR)의 가열 원리를 도시한 것으로, 대상물에 원적외선(IR)을 방사하면 대상물의 분자가 각각 고유의 파장에 의해 충돌하게 되고, 이때 전자파에너지에 의해 분자가 진동한다. 이러한 분자 진동이 열에너지로 변환되어 진동에 의해 열이 발생한다. 따라서, 건조부(300)에서 기판(20)에 원적외선(IR)을 방사하면, 기판(20)의 분자 진동이 열에너지로 변환되어 건조되게 된다. In addition, the drying unit 300 to dry the substrate 20 using far-infrared (IR). FIG. 8 illustrates a principle of heating of far infrared rays (IR). When the far infrared rays (IR) are radiated onto an object, the molecules of the object collide with their own wavelengths, and the molecules vibrate by the electromagnetic wave energy. These molecular vibrations are converted into thermal energy and heat is generated by the vibrations. Accordingly, when the drying unit 300 emits far infrared rays IR to the substrate 20, the molecular vibration of the substrate 20 is converted into thermal energy and dried.

또한, 도 9는 열 건조기와 본 발명에 따른 IR 건조기를 비교한 표로서, 열 건조기는 기판 공정 라인에서 열 건조기로 이동하여 건조해야 하므로 별도의 수작업이 필요하다. 또한, 수취하여 건조하는데 시간이 오래 걸려 투입되어 완성되어 나올 때까지 시간인 Lead Time이 길다. 반면에, IR 건조기의 경우 현상 과정을 위하여 투입되는 기판 공정 라인 상에서 수직조작부(400) 및 기판이송부(500)를 통해 챔버부(200)에 잠시 머물러 원적외선(IR) 건조만 거친 후 다시 라인으로 돌아갈 수 있으므로 Lead Time이 짧아질 뿐만 아니라 별도의 수작업이 필요없어 인력 소모가 없다. 따라서, 건조부(300)를 통해 원적외선(IR) 건조를 함으로써 Lead Time을 줄이고, 인력 소모가 없어 효율적인 생산이 가능하다. In addition, Figure 9 is a table comparing the heat dryer and the IR dryer according to the present invention, the heat dryer needs to be moved by the heat dryer in the substrate processing line to dry the separate manual work. In addition, it takes a long time to receive and dry, and the lead time, which is the time until the finished product is long, is long. On the other hand, in the case of the IR dryer, it stays in the chamber part 200 for a while through the vertical operation part 400 and the substrate transfer part 500 on the substrate processing line, which is introduced for the development process, and then goes through only the far infrared (IR) drying and then goes back to the line. As it can go back, the lead time is not only shortened and no manual labor is required, thus eliminating manpower consumption. Thus, by drying the infrared (IR) through the drying unit 300, the lead time is reduced, there is no manpower consumption and efficient production is possible.

또한, 상기 건조부(300)는 효율적인 건조를 위하여 제어부를 포함하여 건조시키는 온도 및 시간 등을 조절함이 바람직하다. 예를 들어, 기판(20)의 두께에 따라 표면온도의 영향도가 크게 달라지고, 건조되는 조건별 표면 온도에 따라 냉각시키는 시간의 영향도 또는 광택 효과가 달라지기 때문이다.In addition, the drying unit 300 preferably controls the drying temperature and time, including a control unit for efficient drying. For example, the influence of the surface temperature is greatly changed according to the thickness of the substrate 20, and the influence of the cooling time or the gloss effect is changed according to the surface temperature of each drying condition.

도 10은 본 발명의 수직조작부에 따른 기판의 이동 방향을 표시한 것으로, 도 10을 참조하여 수직조작부를 더 상세히 설명한다. FIG. 10 is a view illustrating a moving direction of a substrate according to the vertical manipulation unit of the present invention, with reference to FIG. 10.

상기 기판컨베어(100)를 통해 기판(20)이 투입되면, 상기 기판(20)은 상기 기판컨베어(100)에 수평으로 놓여진 상태가 된다. 따라서, 상기 수직조작부(400)가 상기 기판컨베어(100) 위의 기판(20)을 수직으로 세우면 상기 기판이송부(500)가 상기 챔버부(200)로 옮긴다. 이때, 수직조작부(400)가 상기 기판(20)을 수직으로 세우는 과정이 도 10에 화살표로 표시되었다. When the substrate 20 is inserted through the substrate conveyor 100, the substrate 20 is placed horizontally on the substrate conveyor 100. Therefore, when the vertical manipulation unit 400 erects the substrate 20 on the substrate conveyor 100 vertically, the substrate transfer part 500 moves to the chamber part 200. At this time, the vertical operation unit 400 is vertically oriented the substrate 20 is shown by the arrow in FIG.

한편, 상기 챔버부(200)에서 상기 건조부(300)에 의해 건조된 기판(20)은 다시 기판이송부(500)에 의해 기판컨베어(100)로 내려온다. 이때 기판(20)과 기판컨베어(100)는 수직관계에 있으므로, 상기 수직조작부(400)에 의해 기판(20)은 다시 기판컨베어(100) 위로 수평으로 눕혀진다. 그런데, 이때 상기 건조부(300)에 의해 건조된 기판(20)은 표면온도가 140℃ 이상으로 아주 높은 상태이다. 이런 상태에서 바로 기판컨베어(100)와 기판(20)이 밀착되면 기판(20) 표면이 눌러붙는 sticky 현상이 일어난다. 따라서, 상기 수직조작부(400)는 수직으로 세워진 상기 기판(20)을 상기 기판컨베어 위로 눕히는 경우에, 상기 기판(20)이 상기 기판컨베어(100)에 닿기 이전에 상기 기판을 냉각시키는 냉각부(410)를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 냉각부(410)는 기판(20)이 기판컨베어(100)를 기준으로 45°정도 눕혀졌을 때 기판의 하부, 즉 기판(20)과 기판컨베어(100)가 접촉되는 아랫부분에서 blowing 형태로 찬 바람을 내보내서 냉각시키는 것이 바람직하다. On the other hand, the substrate 20 dried by the drying unit 300 in the chamber 200 is lowered back to the substrate conveyor 100 by the substrate transfer unit 500. At this time, since the substrate 20 and the substrate conveyor 100 are in a vertical relationship, the substrate 20 is laid horizontally on the substrate conveyor 100 again by the vertical manipulation unit 400. However, at this time, the substrate 20 dried by the drying unit 300 has a very high surface temperature of 140 ° C or higher. In this state, when the substrate conveyor 100 and the substrate 20 are in close contact with each other, a sticky phenomenon occurs in which the surface of the substrate 20 is pressed. Accordingly, the vertical manipulation unit 400 cools the substrate before the substrate 20 touches the substrate conveyor 100 when the substrate 20 vertically lies on the substrate conveyor. 410 may be further included. In this case, the cooling unit 410 is a blowing form in the lower portion of the substrate, that is, the lower portion where the substrate 20 and the substrate conveyor 100 is in contact when the substrate 20 is laid down by 45 ° with respect to the substrate conveyor 100. It is desirable to cool by blowing cold wind.

상기 냉각부(410)에서 냉각시키는 시간은 상기 기판(20)의 두께, 표면 온도 등에 따라 달라지므로, 상기 냉각부(410)는 별도의 제어부를 포함하는 것이 바람직하며, 일반적으로 16초 내지 20초 정도 냉각시키게 된다. Since the cooling time in the cooling unit 410 depends on the thickness, surface temperature, etc. of the substrate 20, the cooling unit 410 preferably includes a separate control unit, and generally 16 seconds to 20 seconds. It will cool down.

이와 같이, 본 발명에 따라 SR의 노광 후 원적외선(IR)을 이용하여 건조함으로써, SR 표면의 경화도를 향상시켜 잉크 잔사 불량율을 감소시킬 수 있고, PSR 현상시 현상하는 롤(roll)의 세정주기를 감소시킬 수 있는 효과가 있다. As described above, according to the present invention, by drying by using infrared rays (IR) after exposure of the SR, it is possible to improve the degree of curing of the surface of the SR to reduce the ink residue defect rate, and to reduce the cleaning cycle of the developing roll during PSR development. There is an effect that can be reduced.

도 11a는 본 발명에 따라 PSR 노광 후 IR 건조 전의 PSR 표면의 실시예를 도시한 것이고, 도 11b는 본 발명에 따라 PSR 노광 후 IR 건조 후의 PSR 표면의 실시예를 도시한 것으로, 도 11a와 도 11b에 도시된 바와 같이 IR 건조 전후의 PSR 표면을 비교해보면 IR 건조를 할 경우 잉크 잔사 불량이 개선된 것을 확인할 수 있다. FIG. 11A shows an embodiment of a PSR surface after IR drying after PSR exposure according to the present invention, and FIG. 11B shows an embodiment of a PSR surface after IR drying after PSR exposure according to the present invention, FIGS. 11A and FIG. Comparing the PSR surfaces before and after IR drying, as shown in 11b, it can be seen that ink residue defects are improved when IR drying is performed.

또한, 도 12는 본 발명에 따라 PSR노광 후 IR 건조 적용 전,후에 PSR 잉크 잔사 불량 추이도를 도시한 것으로, IR 건조를 적용하여 잉크 잔사 불량률이 75% 감소했음을 알 수 있다. In addition, Figure 12 shows the PSR ink residue defect trend before and after the PSR exposure, before and after the IR drying application, it can be seen that the ink residue defect rate is reduced by 75% by applying IR drying.

또한, 도 13은 본 발명에 따라 PSR노광 후 IR 건조 적용에 대한 효과를 현상기 롤(roll) 오염 정도로 비교한 것으로, IR 건조 전에는 2 LOT 후부터 롤(roll)이 오염되었음에도 불구하고, IR 건조 후에는 20 LOT 후에도 롤(roll)의 오염되지 않았음을 알 수 있다. 그에 따라, 이전에는 현상하는 롤(roll)의 세정주기가 10회/일이었다면, IR 건조 후에는 0회/일로서 세정주기가 감소하게 된다. In addition, FIG. 13 compares the effect on the application of IR drying after PSR exposure according to the present invention to a degree of contamination of the developer roll. After IR drying, although the roll is contaminated after 2 LOT before IR drying, It can be seen that the roll is not contaminated even after 20 LOT. Thus, if the cleaning cycle of the developing roll was 10 times / day, the cleaning cycle is reduced to 0 times / day after IR drying.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and is intended by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims to be described.

10 IR 건조기 100 기판컨베어
200 챔버부 210 제1챔버
220 제2챔버 300 건조부
400 수직조작부 410 냉각부
500 기판이송부
20 기판
10 IR Dryer 100 Substrate Conveyor
200 Chamber 210 First Chamber
220 Second Chamber 300 Drying Unit
400 Vertical Control Unit 410 Cooling Unit
500 Board Transfer Unit
20 substrate

Claims (11)

기판을 IR 건조기로 투입시키고, 건조된 상기 기판을 상기 IR 건조기에서 배출시키는 기판컨베어;
상기 기판을 건조하기 위한 챔버부;
상기 챔버부의 앞뒤에서 원적외선(IR)으로 상기 기판을 건조시키는 건조부;
상기 기판컨베어 위의 기판을 수직으로 세우거나, 수직으로 세워진 상기 기판을 상기 기판컨베어 위로 눕히는 수직조작부; 및
상기 챔버부와 상기 수직조작부 간에 상기 기판을 이송하는 기판이송부;를 포함하는, IR 건조기.
A substrate conveyor for feeding a substrate into an IR dryer and discharging the dried substrate from the IR dryer;
A chamber unit for drying the substrate;
Drying unit for drying the substrate in the far infrared (IR) in front and rear of the chamber portion;
A vertical manipulation unit which vertically stands the substrate on the substrate conveyor or lays the substrate standing vertically on the substrate conveyor; And
And a substrate transfer unit configured to transfer the substrate between the chamber unit and the vertical manipulation unit.
제 1 항에 있어서,
상기 챔버부는
적어도 두 개의 챔버를 포함하는, IR 건조기.
The method of claim 1,
The chamber portion
An IR dryer comprising at least two chambers.
제 1 항에 있어서,
상기 건조부는,
상기 기판을 비접촉으로 건조하는, IR 건조기.
The method of claim 1,
The drying unit,
An IR dryer for drying the substrate in a non-contact manner.
제 3 항에 있어서,
상기 수직조작부는,
수직으로 세워진 상기 기판을 상기 기판컨베어 위로 눕히는 경우에,
상기 기판이 상기 기판컨베어에 닿기 이전에 상기 기판을 냉각시키는 냉각부;를 더 포함하는, IR 건조기.
The method of claim 3, wherein
The vertical operation unit,
In the case of laying the substrate upright on the substrate conveyor,
And a cooling unit for cooling the substrate before the substrate contacts the substrate conveyor.
제 3 항에 있어서,
상기 기판이송부는,
수직으로 세워진 상기 기판의 더미(dummy)부를 클램핑하여 상기 기판을 이송하는, IR 건조기.
The method of claim 3, wherein
The substrate transfer unit,
An IR dryer for transferring the substrate by clamping a dummy portion of the substrate standing vertically.
인쇄회로기판의 PSR(Photo Solder Resist) 공정방법에 있어서,
기판을 전처리하는 단계;
상기 기판을 인쇄하는 단계;
상기 기판을 노광하는 단계;
IR 건조기를 이용하여 상기 기판을 건조하는 단계; 및
상기 기판을 현상 및 건조하는 단계;를 포함하는 IR 건조기를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법.
In the PSR (Photo Solder Resist) process method of a printed circuit board,
Pretreating the substrate;
Printing the substrate;
Exposing the substrate;
Drying the substrate using an IR dryer; And
Developing and drying the substrate; PSR process method of a printed circuit board using an IR dryer comprising a.
제 6 항에 있어서,
상기 IR 건조기는,
기판을 IR 건조기로 투입하고, 건조된 상기 기판을 상기 IR 건조기에서 배출시키는 기판컨베어;
상기 기판을 건조하기 위한 챔버부;
상기 챔버부의 앞뒤에서 원적외선(IR)으로 상기 기판을 건조시키는 건조부;
상기 기판컨베어 위의 기판을 수직으로 세우거나, 수직으로 세워진 상기 기판을 상기 기판컨베어 위로 눕히는 수직조작부; 및
상기 챔버부와 상기 수직조작부 간에 상기 기판을 이송하는 기판이송부;를 포함하여 상기 기판을 건조하는, IR 건조기를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법.
The method according to claim 6,
The IR dryer,
A substrate conveyor for feeding a substrate into an IR dryer and discharging the dried substrate from the IR dryer;
A chamber unit for drying the substrate;
Drying unit for drying the substrate in the far infrared (IR) in front and rear of the chamber portion;
A vertical manipulation unit which vertically stands the substrate on the substrate conveyor or lays the substrate standing vertically on the substrate conveyor; And
And a substrate transfer part for transferring the substrate between the chamber part and the vertical manipulation part. The method of claim 1, wherein the substrate is dried.
제 7 항에 있어서,
상기 챔버부는,
적어도 두 개의 챔버를 포함하는, IR 건조기를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법.
The method of claim 7, wherein
Wherein the chamber portion includes:
PSR process method of a printed circuit board using an IR dryer, comprising at least two chambers.
제 7 항에 있어서,
상기 건조부는,
상기 기판을 비접촉으로 건조하는, IR 건조기를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법.
The method of claim 7, wherein
The drying unit,
PSR process method of a printed circuit board using an IR dryer, the substrate is dried in a non-contact manner.
제 9 항에 있어서,
상기 수직조작부는,
냉각부를 더 포함하여, 수직으로 세워진 상기 기판을 상기 기판컨베어 위로 눕히는 경우에, 상기 기판이 상기 기판컨베어에 닿기 이전에 상기 기판을 냉각시키는, IR 건조기를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법.
The method of claim 9,
The vertical operation unit,
And a cooling unit, wherein the substrate is cooled before the substrate reaches the substrate conveyor when the substrate is placed vertically on the substrate conveyor.
제 9 항에 있어서,
상기 기판이송부는,
수직으로 세워진 상기 기판의 더미(dummy)부를 클램핑하여 상기 기판을 이송하는, IR 건조기를 이용한 인쇄회로기판의 PSR 공정방법.
The method of claim 9,
The substrate transfer unit,
A method of PSR processing of a printed circuit board using an IR dryer, for transferring the substrate by clamping a dummy part of the substrate standing vertically.
KR1020110026949A 2011-03-25 2011-03-25 IR dryer, and the method for PSR(Photo Solder Resist of printed circuit boards using the same KR101353247B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110026949A KR101353247B1 (en) 2011-03-25 2011-03-25 IR dryer, and the method for PSR(Photo Solder Resist of printed circuit boards using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110026949A KR101353247B1 (en) 2011-03-25 2011-03-25 IR dryer, and the method for PSR(Photo Solder Resist of printed circuit boards using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120108722A true KR20120108722A (en) 2012-10-05
KR101353247B1 KR101353247B1 (en) 2014-01-24

Family

ID=47280292

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110026949A KR101353247B1 (en) 2011-03-25 2011-03-25 IR dryer, and the method for PSR(Photo Solder Resist of printed circuit boards using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101353247B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108495475A (en) * 2018-04-09 2018-09-04 奥士康科技股份有限公司 A kind of pcb board fast-drying device
KR102496213B1 (en) * 2022-05-26 2023-02-07 하나써키트 주식회사 Continuous Far Infrared Drying Method

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09316668A (en) * 1996-05-31 1997-12-09 Mitsui High Tec Inc Etching working method and etching working device
KR20020049218A (en) * 2000-12-19 2002-06-26 구광시 Manufacturing method of printed circuit board using dry-film resist
JP2006100161A (en) * 2004-09-30 2006-04-13 Toppan Printing Co Ltd Manufacturing method of shadow mask
JP5144492B2 (en) * 2008-12-26 2013-02-13 新光電気工業株式会社 Drying equipment

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108495475A (en) * 2018-04-09 2018-09-04 奥士康科技股份有限公司 A kind of pcb board fast-drying device
CN108495475B (en) * 2018-04-09 2023-10-13 奥士康科技股份有限公司 PCB board quick drying device
KR102496213B1 (en) * 2022-05-26 2023-02-07 하나써키트 주식회사 Continuous Far Infrared Drying Method

Also Published As

Publication number Publication date
KR101353247B1 (en) 2014-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107124826A (en) Improve the method for wiring board welding resistance consent bleed
TW200504858A (en) Printing method and printing apparatus
CN103118449B (en) A kind of method and pcb board utilizing anti-welding dry film making pcb board
CN102204419A (en) Method and apparatus for bonding electronic component and flexible film substrate
KR100804734B1 (en) Continuous lithography apparatus and method using ultraviolet roll nanoimprinting
KR20080080925A (en) Substrate processing apparatus
KR20090126568A (en) Substrate treating apparatus for including dual layers bake unit of conveyor type and method of the same
US20130052835A1 (en) Pattern transfer apparatus and method for fabricating semiconductor device
KR101353247B1 (en) IR dryer, and the method for PSR(Photo Solder Resist of printed circuit boards using the same
CN103458619B (en) PCB dual platen production method
CN108243573A (en) The two-sided plate producing process of PCB
KR20200081257A (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
CN111383974A (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
KR102509208B1 (en) Manufacturing method of Printed circuit board
TW202132737A (en) Drying device
TW201218887A (en) Resist coating apparatus for manufacturing printed circuit board
KR101087549B1 (en) Apparatus For Continuos Manufacturing Board For Metal PCB
JP2010222103A (en) Conveying device
KR20100025865A (en) Printed circuit board and method of manufacturing the same
KR20210003369A (en) Method for Package Processing using Carrier Film including UV Curing Adhesive
KR102656671B1 (en) Apparatus for manufacturing of multilayer circuit board and method for manufacturing of multilayer circuit board
KR20190055448A (en) Substrate treating apparatus
CN206506788U (en) A kind of sheet browned tin tool
JPH01282886A (en) Method and device for drying electronic circuit board
WO2024150537A1 (en) Apparatus for producing circuit board and method for producing circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170102

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180102

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190103

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200102

Year of fee payment: 7