KR20120100016A - 기판 지지 핀 및 이를 포함하는 로드 락 챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 기판과 접촉하는 끝 부분이 기판과 점접촉을 하도록 구면으로 구성되므로 접촉에 따른 기판 손상을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라, 기판 측에서 발생되는 정전기가 흐를 수 있도록 전도성 재질로 이루어져 접지로서의 역할을 할 수 있는(즉, 정전기로부터 기판을 보호할 수 있는) 기판 지지 핀 및 이러한 기판 지지 핀을 포함하는 로드 락 챔버(load lock chamber)를 제공한다.

Description

기판 지지 핀 및 이를 포함하는 로드 락 챔버{Substrate Supporting Pin and Load Lock Chamber with the Same}
본 발명은 반도체 또는 평판표시소자 제조 장치에 적용되어 기판을 하측에서 지지하는 기판 지지 핀 및 이를 포함하는 로드 락 챔버(load lock chamber)에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 또는 평판표시소자(flat panel display, FPD) 제조 장비는 웨이퍼(wafer) 또는 글라스(glass)와 같은 기판을 하측에서 받치는 식으로 지지하는 기판 지지 핀을 포함하는데, 이 기판 지지 핀은 구조에 따라 고정식과 승강식으로 구분되고, 후자인 승강식 기판 지지 핀의 경우에는 반도체 또는 평판표시소자 제조 장비의 스테이지(stage) 상에 기판을 로딩(loading), 언로딩(unloading) 하는 역할을 하여 흔히 리프트 핀(lift pin)이라 부른다.
이와 같은 기판 지지 핀은 반도체 제조 장비든 평판표시소자 제조 장비든 모두 유사하게 적용되는 것이므로, 이하에서는 이 기판 지지 핀 및 이와 관련한 사항에 대하여 평판표시소자 제조 장비에 적용된 것을 중심으로 살펴보기로 한다.
도 1은 일반적인 평판표시소자 제조 장비가 도시된 단면도이다.
평판표시소자로는 액정표시소자(liquid crystal display, LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(plasma display panel, PDP), 유기발광소자(organic light emitting diodes, OLED) 등이 있다. 이러한 평판표시소자를 제조하기 위한 장비로는 진공 처리 방식의 것이 주로 이용되는데, 도 1에 도시된 바와 같이, 이 진공 처리 방식 장비는 공정 챔버(process chamber)(100), 로드 락 챔버(load lock chamber)(200) 및 반송 챔버(transfer chamber)(300)를 포함한다.
공정 챔버(100)는 기판 처리를 위한 공정을 고온, 진공 상태에서 행한다. 로드 락 챔버(200)는 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 조성하면서 외부로부터 반입되는 미처리 기판을 보관하거나 공정 챔버(100)에서 처리가 된 기판을 외부로 반출하는 역할을 한다. 반송 챔버(300)는 이들 공정 챔버(100)와 로드 락 챔버(200) 사이에 설치된다. 반송 챔버(300)의 내부에는 반송 로봇(350)이 설치되는데, 이 반송 로봇(350)은 미처리 기판을 로드 락 챔버(200)에서 공정 챔버(100)로, 처리된 기판을 공정 챔버(100)에서 로드 락 챔버(200)로 운반한다.
공정 챔버(100)는 그 챔버 바디(110)의 내부에 상부 전극(120) 및 하부 전극(130)이 배치된다. 상부 전극(120)과 대향하는 하부 전극(130)은 그 상부에 기판이 놓여져 스테이지로서의 역할을 한다. 하부 전극(130)에는 복수의 리프트 핀(140)이 승강 가능하도록 설치된다. 복수의 리프트 핀(140)은 리프트 핀 구동장치(도시되지 않음)에 의하여 승강된다.
로드 락 챔버(200)는 그 챔버 바디(210)의 바닥에 복수의 기판 지지 핀(240)이 세워진다. 로드 락 챔버(200)에 반입된 기판은 기판 지지 핀(240) 위에 놓여서, 기판 지지 핀(240)은 기판을 하측에서 지지한다.
리프트 핀(140)이든 기판 지지 핀(240)이든 모두 기판과 접촉되어 기판을 지지하는 상단이 평평하게 형성되어, 기판은 이들 핀(140)(240)과 면접촉을 한다. 아울러, 리프트 핀(140)이든 기판 지지 핀(240)이든 위에 기판을 놓거나 놓인 기판을 들어 올리는 과정에서, 기판은 이들 핀(140)(240)과 긁히도록 접촉될 수 있다.
이에 따라, 이전까지는 리프트 핀(140)이나 기판 지지 핀(240)과의 부적절한 접촉이나 기타 다른 이유로 인하여 기판이 손상될 우려가 많았다.
[해결하려는 과제]
본 발명의 목적은 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 기판 지지 핀 및 이러한 기판 지지 핀을 포함하는 로드 락 챔버를 제공하는 데 있다.
[과제의 해결 수단]
본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 하측에서 지지하며, 이 지지하는 기판과 접촉되는 끝 부분이 기판과 점접촉을 하는 구조를 가지도록 구성된 기판 지지 핀이 제공된다. 이에 의하면, 기판을 기판 지지 핀 위에 놓거나 기판 지지 핀 위에 놓인 기판을 들어 올리는 과정 중에 기판이 기판 지지 핀과 접촉하여 기판이 손상(특히, 긁히는 식으로 접촉함에 따라 발생되는 스크래치)되는 정도를 획기적으로 감소시킬 수 있다.
이와 같은 기판 지지 핀은 상기 기판과 접촉하는 끝 부분이 구면 구조를 가질 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 기판 지지 핀은 핀 몸체와; 이 핀 몸체의 끝에 구름운동 가능한 것과 동시에, 기판과 접촉할 수 있도록 장착된 볼을 가지는 핀 헤드를 포함하여, 상기 기판과 접촉하는 끝 부분이 구면 구조를 가질 수 있다. 이 볼을 가지는 핀 헤드에 의하면, 기판이 기판 지지 핀과 긁히는 접촉 시 볼이 이 때의 마찰에 의하여 구름 운동을 하므로 접촉에 따른 기판의 손상을 한층 효과적으로 감소시킬 수 있다.
또한, 상기 기판 지지 핀은 상기 끝 부분에 접촉되는 기판 측에서의 발생 정전기가 흐를 수 있도록 구성될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 기판 지지 핀은 전도성 재질로 이루어져, 상기 끝 부분에 접촉되는 기판 측에서의 발생 정전기가 흐를 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 하측에서 지지하여 끝 부분이 기판과 접촉되며, 이 지지하는 기판 측에서의 발생 정전기가 흐를 수 있도록 구성된 기판 지지 핀이 제공된다. 이에 의하면, 기판 지지 핀이 접지로서의 역할을 하게 할 수 있기 때문에, 기판 측에서의 발생 정전기로부터 기판을 보호할 수 있다. 즉, 기판에 정전기를 원인으로 하는 손상이 유발되는 것을 방지할 수 있는 것이다. 이를 위하여, 필요하다면 기판 지지 핀에 접지 라인을 직접 연결할 수도 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 내부에 기판을 보관하기 위한 보관 공간이 마련된 챔버 본체와; 상기 챔버 본체의 보관 공간에 세워져 있도록 설치되어 상기 보관 공간에 반입되는 기판을 하측에서 지지하며, 이 지지하는 기판과 접촉되는 끝 부분이 기판과 점접촉을 하는 구조를 가지는 복수 개의 점접촉 기판 지지 핀을 포함하는 로드 락 챔버가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따른 로드 락 챔버는 상기 보관 공간에 세워져 있도록 설치되어 기판을 상기 점접촉 기판 지지 핀과 함께 하측에서 지지하며, 이 지지하는 기판과 접촉되는 끝 부분이 기판과 면접촉을 하는 구조를 가지는 적어도 하나의 면접촉 기판 지지 핀을 더 포함할 수 있다. 이 면접촉 기판 지지 핀의 부가에 의하면, 점접촉 및 면접촉 기판 지지 핀 위에 놓이는 기판이 이 기판 지지 핀의 위에서 의도하지 않게 유동되는 현상을 방지할 수 있다.
여기서, 상기 점접촉 기판 지지 핀은 기판의 중앙 부분과 주변 부분을 지지하도록 배치되고, 상기 면접촉 기판 지지 핀은 기판의 중앙 부분과 주변 부분 사이인 중간 부분을 지지하도록 배치될 수 있다.
바람직하게는, 상기 점접촉 기판 지지 핀은 상기 면접촉 기판 지지 핀에 비하여 더 많은 개수가 구비된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 내부에 기판을 보관하기 위한 보관 공간이 마련된 챔버 본체와; 상기 챔버 본체의 보관 공간에 세워져 있도록 설치되어 상기 보관 공간에 반입되는 기판을 하측에서 지지하고, 이렇게 지지함에 따라 끝 부분이 기판과 접촉되며, 이 지지하는 기판 측에서의 발생 정전기가 흐를 수 있도록 구성된 복수 개의 기판 지지 핀을 포함하는 로드 락 챔버가 제공된다.
도 1은 일반적인 평판표시소자 제조 장비가 도시된 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드 락 챔버가 도시된 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 로드 락 챔버의 내부를 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 2, 3에 도시된 점접촉 기판 지지 핀을 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 2, 3에 도시된 면접촉 기판 지지 핀을 나타내는 사시도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 로드 락 챔버의 주요부인 점접촉 기판 지지 핀이 도시된 사시도, 분해사시도 및 단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명함에 있어, 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하겠다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드 락 챔버가 도시된 단면도로, 도 2에 도시된 로드 락 챔버(L)는 외부으로부터 반입되는 미처리 기판을 보관하거나 반송 챔버(도 1의 도면 부호 300 참조)를 매개로 연결된 공정 챔버(도 1의 도면 부호 100 참조)로부터의 기판(즉, 공정 챔버에서 처리된 기판)을 외부로 반출한다.(도 1 참조)
도시된 바는 없으나, 로드 락 챔버(L)에는 둘 이상의 공정 챔버가 연결되어, 이를 포함하는 평판표시소자 제조 장비는 클러스터 타입(cluster type)일 수 있다. 도 2에는 로드 락 챔버(L)가 기판 보관 공간(3)을 하나 가지는 것으로 도시되어 있으나, 이 로드 락 챔버(L)는 그 챔버 바디(1)의 내부가 상하 또는 좌우 두 공간 이상으로 구획되어 기판 보관 공간(3)을 둘 이상 가질 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 내부를 기판 보관 공간(3)으로 하는 로드 락 챔버(L)의 챔버 바디(1)는 측벽의 한쪽과 다른 쪽에 게이트 슬릿(gate slit)(5a)(5b)이 서로 마주하도록 각각 마련되는데, 이 두 게이트 슬릿(5a)(5b)은 게이트 밸브(gate valve)(7a)(7b)에 의하여 각각 개폐된다. 두 게이트 슬릿(5a)(5b) 중, 하나는 대기압 영역인 외부에 위치되고, 다른 하나는 진공 영역인 반송 챔버와 연결된다.
로드 락 챔버(L)의 챔버 바디(1)에는 외부로부터의 미처리 기판이 한쪽 게이트 슬릿(5a)을 통하여 반입되는데, 이 반입된 기판 보관 공간(3) 내의 미처리 기판은 다른 쪽 게이트 슬릿(5b)을 통하여 반출, 반송 챔버를 경유하여 공정 챔버에 반입된다. 공정 챔버에서 처리된 기판은 이와 반대 과정으로 외부로 반출된다.
도 3은 도 2에 도시된 로드 락 챔버(L)를 나타내는 사시도로, 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버 바디(1)의 바닥에는 복수 개의 기판 지지 핀(10)이 상하 방향으로 바르게 세워지고, 챔버 바디(1)에 반입된 기판(미처리 기판이나 처리된 기판)은 이 기판 지지 핀(10) 위에 놓인다. 따라서, 기판 지지 핀(10)은 기판을 하측에서 지지한다.
기판 지지 핀(10)은 지지하는 기판과 접촉되는 상단 부분이 기판과 점접촉을 하는 구조를 가지는 복수의 점접촉 기판 지지 핀(20) 및 지지하는 기판과 접촉되는 상단 부분이 기판과 면접촉을 하는 구조를 가지는 복수의 면접촉 기판 지지 핀(30)을 포함한다.
도 4는 도 2, 3에 도시된 점접촉 기판 지지 핀(20)을 나타내는 사시도로, 이 도 4에 도시된 바와 같이, 점접촉 기판 지지 핀(20)은 하단이 챔버 바디(1)의 바닥에 고정되도록 장착된 핀 몸체(21) 및 이 핀 몸체(21)의 상단에 일체형으로 마련되며 끝 부분인 상단이 기판과 접촉을 하는 핀 헤드(pin head)(22)를 포함한다.
여기서, 점접촉 기판 지지 핀(20)의 핀 헤드(22)는 기판과 접촉하는 상단 부분이 구면 구조를 가지도록 대략 반구형으로 형성되어 기판과 점접촉을 한다. 즉, 최소한의 접촉으로 기판을 지지할 수 있는 것이다.
도 5는 도 2, 3에 도시된 면접촉 기판 지지 핀(30)을 나타내는 사시도로, 이 도 5에 도시된 바와 같이, 면접촉 기판 지지 핀(30)은 하단이 챔버 바디(1)의 바닥에 고정되도록 장착된 핀 몸체(31) 및 이 핀 몸체(31)의 상단에 일체 또는 분리 가능하도록 마련되며 끝 부분인 상단이 기판과 접촉을 하는 핀 헤드(32)를 포함한다.
여기서, 면접촉 기판 지지 핀(30)의 핀 헤드(32)는 둘레가 면접촉 기판 지지 핀(30)의 핀 몸체(31)보다 크도록 형성되고 상단이 평편한 플레이트로 구성되어 기판과 면접촉을 한다.
이와 같이 구성되는 제1 실시예의 기판 지지 핀(10)에 따르면, 챔버 바디(1)에 반입되는 기판을 기판 지지 핀(10) 위에 놓거나 이 기판 지지 핀(10) 위에 놓인 기판을 반출하기 위하여 들어 올리는 과정에서 기판이 기판 지지 핀(10)과 접촉(특히, 긁히는 식으로 접촉)하여 기판이 손상(스크래치, 나아가서는 파티클 발생)되는 정도를 점접촉 기판 지지 핀(20)에 의하여 감소시킬 수 있고, 점접촉 기판 지지 핀(20)에 의하여 기판 지지 핀(10)과의 접촉 면적이 감소된 점으로 인하여 기판 지지 핀(10) 위에 놓인 기판이 의도하지 않게 유동되는 현상을 면접촉 기판 지지 핀(30)에 의하여 방지할 수 있다.
면접촉 기판 지지 핀(30)은 점접촉 기판 지지 핀(20)에 비하여 적은 개수(상대적으로 소량)를 구비하는 것이 바람직하다. 면접촉 기판 지지 핀(30)을 상대적으로 많이 구비할 경우 기판과 기판 지지 핀(10) 간 접촉 면적이 크게 증가하기 때문이다. 이렇게 되면, 기판이 기판 지지 핀(10)과 접촉하여 손상되는 정도를 보다 효과적으로 감소시키지 못할 수도 있으므로, 면접촉 기판 지지 핀(30)의 구비 개수는 기판 지지 핀(10) 위에 놓이는 기판의 유동을 방지할 수 있는 수준이면 된다. 이와 관련하여, 위에서는 면접촉 기판 지지 핀(30)이 복수 개 구비되는 것으로 설명하였으나, 극단적으로는 하나의 면접촉 기판 지지 핀(30)을 구비할 수도 있다.
여기에서는 점접촉 및 면접촉 기판 지지 핀(20)(30)을 다음과 같이 배치하였다. 점접촉 기판 지지 핀(20)의 경우에는 기판의 중앙 부분 및 주변 부분을 지지하도록 배치하였고, 면접촉 기판 지지 핀(30)의 경우에는 점접촉 기판 지지 핀(20)에 의하여 지지되는 기판의 중앙 부분과 주변 부분 사이인 기판의 중간 부분을 지지하도록 배치하였다. 이 때, 면접촉 기판 지지 핀(30)은 구체적으로 기판의 중앙 부분을 지지하는 점접촉 기판 지지 핀(20)의 둘레를 따라 서로 이격되도록 배치하였다.
점접촉, 면접촉 기판 지지 핀(20)(30)의 핀 몸체(21)(31)와 핀 헤드(22)(32)는 전도성 재질로 이루어진다. 즉, 전기가 흐를 수 있게 구성한 것이다. 이용 가능한 전도성 재질로는 금속, 금속 가루를 분산시킨 플라스틱 등이 있다.
여기서, 점접촉 및 면접촉 기판 지지 핀(20)(30)을 전도성 재질로 이루는 것은 정전기로부터 기판을 보호하기 위함이다. 정전기가 발생하는 경우, 기판에는 미립자가 부착될 수 있다. 특히, 이 현상은 기판의 반송, 보관 중에 더 심각하고, 나아가서는 픽셀 불량으로 이어질 수 있다.
이 같이 기판의 손상을 일으키는 정전기는 기판이 기판 지지 핀(10) 위에 놓인 때 전도성 재질인 점접촉, 면접촉 기판 지지 핀(20)(30)을 따라 흐르고 이 점접촉, 면접촉 기판 지지 핀(20)(30)이 세워진 챔버 바디(1)의 바닥을 통하여 외부 측과 접지되기 때문에, 기판에 악영향을 끼치지 않게 된다. 이와 달리, 점접촉 및 면접촉 기판 지지 핀(20)(30)에는 접지 라인이 연결될 수도 있다. 이 접지 구조에 의하면, 기판 측에서 발생하는 정전기는 접지 라인을 통하여 외부로 흐른다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 지지 핀의 점접촉 기판 지지 핀을 나타낸다. 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 제2 실시예에 따른 기판 지지 핀은 제1실시예의 그것과 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 그 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 점접촉 기판 지지 핀(20A)의 구성만이 다소 상이하다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 로드 락 챔버의 주요부인 점접촉 기판 지지 핀을 나타낸다. 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 제2 실시예에 따른 로드 락 챔버는 제1실시예의 그것과 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 그 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 점접촉 기판 지지 핀(20A)의 구성만이 다소 상이하다.
제2 실시예의 점접촉 기판 지지 핀(20A)은 직선형 핀 몸체(21A) 및 이 핀 몸체(21A)의 상단 부분에 장착된 핀 헤드(22A)를 포함한다. 그리고, 이 핀 헤드(22A)는 볼(ball)(23A) 및 볼 캡(ball cap)(24A)을 포함한다.
핀 몸체(21A)의 상단에는 볼(23A)을 부분적으로 수용할 수 있는 크기를 가지는 홈 형상의 볼 시트(ball seat)(21A-1)가 마련된다. 이 볼 시트(21A-1)는 구면으로 형성되고 반경이 볼(23A)에 비하여 크도록 형성되어, 볼(23A)은 볼 시트(21A-1)와 점접촉을 하는 한편, 볼 시트(21A-1) 속에서 원활하게 구름 운동을 할 수 있다.
볼 캡(24A)은 핀 몸체(21A)의 상단에 볼 시트(21A-1)에 수용된 볼(23A)을 사이에 두고 탈착 가능하도록 결합되어 볼(23A)을 구름 운동 가능하게 유지한다.
볼 캡(24A)에는 볼 시트(21A-1)에 수용된 볼(23A)의 일부분이 상측으로 돌출 가능하도록 노출 구멍이 마련된다. 이에, 볼(23A)은 그 일부가 이 볼 캡(24A)의 노출 구멍을 통하여 돌출되어 기판과 점접촉을 하고 볼 시트(21A-1) 및 볼 캡(24A)에 의하여 핀 몸체(21A)의 상단 부분에 구름 운동 가능하도록 유지된다.
이와 같이 볼(23A)을 가지는 점접촉 기판 지지 핀(20A)은 챔버 바디(도 2, 3의 도면 부호 1 참조)에 반입되는 기판을 기판 지지 핀(도 2, 3의 도면 부호 10 참조) 위에 올려 놓거나 이 기판 지지 핀 위에 놓인 기판을 반출하기 위하여 들어 올리는 과정 중에 기판이 기판 지지 핀과 긁히듯 접촉하면 볼(23A)이 이 때의 마찰에 의하여 구름 운동을 하므로 접촉에 기인한 기판의 손상을 한층 효과적으로 감소시킨다.
한편, 제2 실시예의 점접촉 기판 지지 핀(20A)은 그 전체 또는 핀 몸체(21A)와 볼(23A)이 전도성 재질로 이루어진다.
이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 당업자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.
예를 들어, 위에서는 기판 지지 핀들이 모두 고정식인 것으로 설명하였으나, 기판 지지 핀은 일부 또는 전체가 승강식일 수 있고 승강 장치에 의하여 승강될 수 있다. 일부 기판 지지 핀을 승강식으로 구성하면, 기판 크기에 따라서는 기판을 지지하지 않게 되는 기판 지지 핀을 하강시켜 둘 수 있다.
또한, 위에서는 기판 지지 핀, 특히 기판과 점접촉을 하는 점접촉 기판 지지 핀(20)(20A)이 로드 락 챔버에 적용되는 것으로 설명하였으나, 기판 지지 핀(특히, 점접촉 기판 지지 핀)은 기판 처리 장치(예를 들어, 공정 챔버), 기판의 이송을 위한 기판 이송 장치와 같이 기판 지지 핀을 필요로 하는 다른 장치에도 얼마든지 적용 가능하다.
1 : 챔버 바디 3 : 기판 보관 공간
20, 20A : 점접촉 기판 지지 핀 21, 21A : 핀 몸체
22, 22A : 핀 헤드 23A : 볼
24A : 볼 캡 30 : 면접촉 기판 지지 핀

Claims (11)

  1. 기판을 하측에서 지지하며 지지하는 기판과 접촉되는 끝 부분이 기판과 점접촉을 하는 구조를 가지는 기판 지지 핀.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판과 접촉하는 끝 부분이 구면 구조를 가지는 기판 지지 핀.
  3. 청구항 2에 있어서,
    핀 몸체와; 이 핀 몸체의 끝에 구름운동 가능한 것과 동시에, 기판과 접촉할 수 있도록 장착된 볼을 가지는 핀 헤드를 포함하여, 상기 기판과 접촉하는 끝 부분이 구면 구조를 가지는 기판 지지 핀.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 끝 부분에 접촉되는 기판 측에서의 발생 정전기가 흐를 수 있도록 구성된 기판 지지 핀.
  5. 청구항 4에 있어서,
    전도성 재질로 이루어져, 상기 끝 부분에 접촉되는 기판 측에서의 발생 정전기가 흐르는 기판 지지 핀.
  6. 기판을 하측에서 지지하여 끝 부분이 기판과 접촉되며 지지하는 기판 측에서의 발생 정전기가 흐를 수 있도록 구성된 기판 지지 핀.
  7. 내부에 기판을 보관하기 위한 보관 공간이 마련된 챔버 본체와;
    상기 챔버 본체의 보관 공간에 세워져 있도록 설치되어 상기 보관 공간에 반입되는 기판을 하측에서 지지하며, 지지하는 기판과 접촉되는 끝 부분이 기판과 점접촉을 하는 구조를 가지는 복수 개의 점접촉 기판 지지 핀을 포함하는 로드 락 챔버.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 보관 공간에 세워져 있도록 설치되어 기판을 상기 점접촉 기판 지지 핀과 함께 하측에서 지지하며, 지지하는 기판과 접촉되는 끝 부분이 기판과 면접촉을 하는 구조를 가지는 적어도 하나의 면접촉 기판 지지 핀을 더 포함하는 로드 락 챔버.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 점접촉 기판 지지 핀은 기판의 중앙 부분과 주변 부분을 지지하도록 배치되고,
    상기 면접촉 기판 지지 핀은 기판의 중앙 부분과 주변 부분 사이인 중간 부분을 지지하도록 배치된 로드 락 챔버.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 점접촉 기판 지지 핀은 상기 면접촉 기판 지지 핀에 비하여 더 많이 구비된 로드 락 챔버.
  11. 내부에 기판을 보관하기 위한 보관 공간이 마련된 챔버 본체와;
    상기 챔버 본체의 보관 공간에 세워져 있도록 설치되어 상기 보관 공간에 반입되는 기판을 하측에서 지지하고, 이렇게 지지함에 따라 끝 부분이 기판과 접촉되며, 지지하는 기판 측에서의 발생 정전기가 흐를 수 있도록 구성된 복수 개의 기판 지지 핀을 포함하는 로드 락 챔버.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140073692A (ko) * 2012-12-06 2014-06-17 한화케미칼 주식회사 폴리실리콘 제조용 화학 기상 증착 반응기 및 그 척
KR20210007824A (ko) * 2019-07-12 2021-01-20 가부시키가이샤 아루박 진공챔버 및 기판 처리장치
KR20220048334A (ko) * 2020-10-12 2022-04-19 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법

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