KR20120096669A - 웨이퍼 출하 편집 장치 - Google Patents

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KR20120096669A KR1020110015888A KR20110015888A KR20120096669A KR 20120096669 A KR20120096669 A KR 20120096669A KR 1020110015888 A KR1020110015888 A KR 1020110015888A KR 20110015888 A KR20110015888 A KR 20110015888A KR 20120096669 A KR20120096669 A KR 20120096669A
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Abstract

웨이퍼 출하 편집 장치는 각각이 웨이퍼를 보관하는 복수의 포트들, 로딩된 웨이퍼를 정렬하는 제1 정렬기 및 제2 정렬기, 상기 복수의 포트들 중 제1 포트에 보관된 웨이퍼를 상기 제1 정렬기 또는 상기 제2 정렬기로 이송하는 제1 이송 작업을 수행하는 제1 이송 수단, 및 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기에 로딩된 웨이퍼를 상기 복수의 포트들 중 제2 포트로 이송하는 제2 이송 작업을 수행하는 제2 이송 수단을 포함하는 로딩 로봇, 상기 제1 정렬기 및 제2 정렬기에 로딩된 웨이퍼에 마킹된 웨이퍼 정보를 판독하는 판독부, 및 상기 판독부의 판독 결과에 따라 상기 로딩 로봇을 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

웨이퍼 출하 편집 장치{An apparatus for compiling shipment of a wafer}
본 발명은 반도체 소자의 제조 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 출하 편집 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정에 있어서, 카세트에 적치된 웨이퍼를 소정의 위치로 운반할 경우에는 그 웨이퍼가 반드시 일정한 방향으로 정렬되어 있어야 한다. 이는 웨이퍼의 결정이 일정한 방향으로 성장되어 있으며, 각 제조 공정마다 웨이퍼가 결정 성장 방향에 대해 일정하게 정렬된 것으로 간주하고 작업하기 때문이다.
따라서 웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼를 정렬하는 작업이 필수적으로 이루어지고 있다. 웨이퍼의 정렬 작업은 웨이퍼의 일 측에 형성된 평탄면인 플랫 존(flat zone)이나 쐐기형 홈인 노치(notch)를 감지하여 일정 방향으로 재배열하는 것이며, 정렬이 완료된 웨이퍼에 고유번호판독 작업을 수행하여 웨이퍼에 입력된 고유번호 순으로 카세트에 적재한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼 출하 편집 처리량을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 출하 편집 장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 출하 편집 장치는 각각이 웨이퍼를 보관하는 복수의 포트들, 로딩된 웨이퍼를 정렬하는 제1 정렬기 및 제2 정렬기, 상기 복수의 포트들 중 제1 포트에 보관된 웨이퍼를 상기 제1 정렬기 또는 상기 제2 정렬기로 이송하는 제1 이송 작업을 수행하는 제1 이송 수단, 및 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기에 로딩된 웨이퍼를 상기 복수의 포트들 중 제2 포트로 이송하는 제2 이송 작업을 수행하는 제2 이송 수단을 포함하는 로딩 로봇, 상기 제1 정렬기 및 제2 정렬기에 로딩된 웨이퍼에 마킹된 웨이퍼 정보를 판독하는 판독부, 및 상기 판독부의 판독 결과에 따라 상기 로딩 로봇을 제어하는 제어부를 포함한다.
상기 제1 이송 수단 및 상기 제2 이송 수단은 서로 독립적으로 상기 제1 정렬기 또는 상기 제2 정렬기에 상기 제1 포트에 보관된 웨이퍼를 로딩할 수 있다.
상기 제1 이송 수단이 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기 중 어느 하나에 제1 이송 작업을 수행할 때, 상기 제2 이송 수단은 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기 중 다른 어느 하나에 제2 이송 작업을 수행할 수 있다.
상기 웨이퍼 출하 편집 장치는 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기에 로딩된 웨이퍼를 상기 복수의 포트들 중 제3 포트로 이송하는 언로딩 로봇을 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 판독부의 판독 결과에 따라 상기 언로딩 로봇을 제어할 수 있다.
상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기 각각은 웨이퍼가 로딩되는 로딩부, 일단에 마련되는 제1 출입구, 및 상기 제1 출입구와 마주보도록 타단에 마련되는 제2 출입구를 포함하며, 상기 로딩 로봇에 의하여 이송되는 웨이퍼는 상기 제1 출입구를 통하여 상기 로딩부에 로딩되고, 상기 로딩부에 로딩된 웨이퍼는 상기 로딩 로봇에 의하여 상기 제1 출입구를 통하여 상기 제2 포트로 이송되거나, 상기 언로딩 로봇에 의하여 상기 제2 출입구를 통하여 상기 제3 포트로 이송될 수 있다.
상기 로딩 로봇 및 상기 언로딩 로봇은 제1 방향으로 서로 이격하여 정렬되고, 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기는 상기 로딩 로봇과 상기 언로딩 로봇 사이에 제2 방향으로 정렬되어 배치되며, 상기 제1 방향은 xy좌표에서 x축 방향이고, 상기 제2 방향은 y축 방향일 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 출하 편집 장치는 정렬 시간과 판독 시간을 단축하여 웨이퍼 출하 편집 처리량을 향상시킬 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 웨이퍼 출하 편집 장치의 평면도를 나타낸다.
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 출하 편집 장치의 측면도를 나타낸다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 정렬기 및 제1 판독기의 확대도를 나타낸다.
이하, 본 발명의 기술적 과제 및 특징들은 첨부된 도면 및 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 본 발명이 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시 예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 본 발명을 개시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다. 동일한 참조 번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다.
도 1은 실시예에 따른 웨이퍼 출하 편집 장치(100)의 평면도를 나타내며, 도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 출하 편집 장치(100)의 측면도를 나타낸다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 웨이퍼 출하 편집 장치(100)는 지지부(101), 제1 내지 제8 포트(P1 내지 P8), 로딩 로봇(loading robot, 110), 언로딩 로봇(unloading robot, 120), 제1 정렬기(132), 제2 정렬기(134), 제1 판독기(136)와 제2 판독기(138)를 포함하는 판독부, 및 제어부(140)를 포함한다.
지지부(101)는 제1 내지 제8 포트(P1 내지 P8), 로딩 로봇(loading robot, 110), 언로딩 로봇(unloading robot, 120), 제1 정렬기(132), 제2 정렬기(134), 제1 판독기(136), 및 제2 판독기(138)를 지지한다.
로딩 로봇(loading robot, 110) 및 언로딩 로봇(unloading robot, 120)은 제1 방향으로 정렬되도록 지지부(101) 상에 이격하여 배치된다. 여기서 제1 방향은 xy좌표에서 x축 방향일 수 있다.
제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134)는 로딩 로봇(110)과 언로딩 로봇(132) 사이의 지지부(101) 상에 배치되며, 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134)는 제2 방향으로 정렬된다. 여기서 제2 방향은 제1 방향과 수직이며, 예컨대, xy좌표에서 y축 방향일 수 있다.
로딩 로봇(110)은 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134) 일 측의 지지부(101) 상에 배치되고, 언로딩 로봇(120)은 타측의 지지부(101) 상에 배치될 수 있다.
제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8)는 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134)의 일 측의 지지부(101) 상에 로딩 로봇(110)과 이격하여 배치될 수 있다. 제3 포트(P3), 제4 포트(P4), 제5 포트(P5), 및 제6 포트(P6)는 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134)의 타 측의 지지부(101) 상에 로딩 로봇(110)과 이격하여 배치될 수 있다.
제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8)는 로딩 로봇(110) 주위에 배치되고, 제3 포트(P3), 제4 포트(P4), 제5 포트(P5), 및 제6 포트(P6)는 언로딩 로봇(120) 주위에 배치될 수 있다.
예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 포트(P1)과 제2 포트(P2)가 제2 방향으로 정렬되도록 인접하여 배치되고, 제7 포트(P7)와 제8 포트(P8)가 제2 방향으로 정렬되도록 인접하여 배치되고, 제1 포트(P1)와 제8 포트(P8)는 로딩 로봇(110))을 사이에 두고 서로 이격하여 제1 방향으로 정렬되고, 제2 포트(P2)와 제7 포트(P7)는 로딩 로봇(110)을 사이에 두고 서로 이격하여 제1 방향으로 정렬되도록 배치될 수 있다.
또한 제3 포트(P3)과 제4 포트(P4)는 제2 방향으로 정렬되도록 인접하여 배치되고, 제5 포트(P5)와 제6 포트(P6)는 제2 방향으로 정렬되도록 인접하여 배치되며, 제1 포트(P3)와 제6 포트(P6)는 언로딩 로봇(120)을 사이에 두고 서로 이격하여 제1 방향으로 정렬되고, 제4 포트(P4)와 제5 포트(P5)는 언로딩 로봇(120)을 사이에 두고 서로 이격하여 제1 방향으로 정렬되도록 배치될 수 있다. 그러나 실시예는 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태로 제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8)는 로딩 로봇(110) 주위에 배치되고, 제3 포트(P3), 제4 포트(P4), 제5 포트(P5), 및 제6 포트(P6)는 언로딩 로봇(120) 주위에 배치될 수 있다.
제1 내지 제8 포트들(P1 내지 P8) 각각은 웨이퍼를 저장하는 캐리어(carrier)를 보관한다. 제1 포트(P1)에 저장되는 웨이퍼는 로딩 로봇(110)에 의하여 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134) 중 어느 하나에 로딩될 수 있다. 또한 로딩 로봇(110)에 의하여 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)에 로딩된 웨이퍼는 제2 포트(P2), 제7 포트(P7) 및 제8 포트(P8) 중 어느 하나에 보관된 카세트로 이송될 수 있다.
그리고 언로딩 로봇(120)에 의하여 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134) 중 어느 하나에 로딩된 웨이퍼는 제3 포트(P3), 제4 포트(P4), 제5 포트(P5), 및 제6 포트(P6) 중 어느 하나에 보관되는 카세트로 이송될 수 있다.
즉 제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8)는 편집할 웨이퍼를 저장하기 위한 카세트를 보관하는 포트이고, 제3 포트(P3), 제4 포트(P4), 제5 포트(P5), 및 제6 포트(P6)는 편집된 웨이퍼를 저장하기 위한 카세트를 보관하는 포트일 수 있다.
제1 포트(P1)는 편집될 웨이퍼를 저장하는 제1 캐리어를 보관하는 포트이다.
제2 포트(P2)는 1 로트(lot)에 25장씩 양품 처리한 후 1 로트에 24장 이하로 남은 웨이퍼를 처리하기 위한 제2 캐리어를 보관하는 포트이다.
제7 포트(P7)는 제품 평가를 위한 샘플 웨이퍼를 저장하는 제7 캐리어를 보관하는 포트이다. 제8 포트(P8)는 제품 불량 등의 이유로 거부(reject) 처리할 웨이퍼를 저장하는 제8 캐리어를 보관하는 포트이다.
제3 포트(P3)는 재세정 처리를 해야할 웨이퍼를 저장하는 제3 캐리어를 보관하는 포트이다. 제4 포트(P4)는 재연마 처리를 해야할 웨이퍼를 저장하는 제4 캐리어를 보관하는 포트이다.
제5 포트(P5) 및 제6 포트(P6)는 출하 처리할 양품의 웨이퍼를 저장하는 제5 및 제6 캐리어를 보관하는 포트이다.
제1 포트(P1)의 캐리어에 저장된 웨이퍼는 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)에 로딩된다. 그리고 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)에 로딩된 웨이퍼는 제1 및 제2 정렬기(132,134)에 의해 정렬되고, 제1 및 제2 판독기(136,138)에 의해 판독된 후, 제2 포트 내지 제8 포트들(P1 내지 P6) 중 어느 하나의 포트의 캐리어에 저장된다.
제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8)에 보관되는 캐리어는 FOUP(Front Open Unified Pod) 형태의 카세트일 수 있고, 제3 포트(P3), 제4 포트(P4), 제5 포트(P5), 및 제6 포트(P6)에 보관되는 캐리어는 FIMS(Front opening Interface Mechanical Standard)일 수 있다.
로딩 로봇(110)은 제1 포트(P1)에 보관된 카세트에 저장된 웨이퍼를 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)로 이송하는 제1 이송 작업을 수행하는 제1 이송 수단, 및 제1 정렬기(132)과 제2 정렬기(134)에 로딩된 웨이퍼를 제2 포트(P2),제포트(P7) 및 제8포트(P8) 중 어느 하나로 이송하는 제2 이송 작업을 수행하는 제2 이송 수단을 포함한다.
예컨대, 로딩 로봇(110)은 로봇 아암(112), 제1 핸드(hand, 114-1), 및 제2 핸드(114-2)를 포함할 수 있다. 제1 핸드(114-1) 및 제2 핸드(114-2)는 로봇 아암(112)의 끝단(113)과 연결되며, 웨이퍼를 흡착하거나 웨이퍼를 파지할 수 있다.
로봇 아암(112)은 제1 핸드(114-1) 및 제2 핸드(114-2)가 제1 정렬기(132), 제2 정렬기(134), 및 제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트 각각에 접근시킨다. 예컨대, 로봇 아암(112)은 제1 핸드(114-1) 및 제2 핸드(114-2)가 제1 정렬기(132), 제2 정렬기(134), 및 제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트 각각에 접근할 수 있도록 길이가 늘어나거나 줄어드는 구조일 수 있다.
제1 핸드(114-1)는 제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8) 중 어느 하나에 보관되는 카세트에 저장된 웨이퍼를 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기 중 어느 하나에 로딩한다.
또한 제2 핸드(114-2)는 제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8) 중 어느 하나에 보관되는 카세트에 저장된 웨이퍼를 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134) 중 다른 어느 하나에 로딩한다. 이때 제1 핸드(114-1) 및 제2 핸드(114-2)는 서로 독립적으로 로딩 작업을 수행할 수 있다.
제1 핸드(114-1) 및 제2 핸드(114-2)는 로봇 아암(110)과의 끝단(113)을 중심으로 회전 가능하다. 예컨대, 제1 핸드(114-1) 및 제2 핸드(114-2)는 서로 독립적으로 회전 가능하며, 제1 핸드(114-1) 및 제2 핸드(114-2) 사이의 각도는 조절될 수 있다.
또한 제1 핸드(114-1) 및 제2 핸드(114-2)는 서로 간섭을 방지하도록 상하 일정한 간격을 가질 수 있다. 즉 제2 핸드(114-1)는 제1 핸드(114-1) 아래에 일정한 간격 이격하여 배치될 수 있다. 제1 핸드(114-1) 및 제2 핸드(114-2)는 진공 압력으로 웨이퍼를 흡착하거나, 파지 가능하도록 포크 형상으로 형성될 수 있다.
제1 핸드(114-1)는 제1 포트(P1)에 보관되는 카세트에 저장된 웨이퍼를 파지하여 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)로 이송한다. 즉 제1 핸드(114-1)는 제1 포트(P1) 전용으로 사용될 수 있다.
제2 핸드(114-2)는 후술하는 판정에 따라 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)에 로딩된 웨이퍼를 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8) 중 어느 하나로 이송한다. 즉 제2 핸드(114-2)는 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8) 전용으로 사용될 수 있다.
이와 같이 제1 핸드(114-1)는 제1 포트(P1)로부터 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)로 웨이퍼를 이송하기 위한 작업 전용으로 사용되고, 제2 핸드(114-2)는 판정 작업에 따라 정렬기(132,134)에 로딩된 웨이퍼를 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8) 중 어느 하나로 이송하는 작업 전용으로 사용될 수 있다.
따라서 실시예는 정렬기(132, 또는 134)에 웨이퍼를 로딩하는 작업과 정렬기(132 또는 134)에 로딩된 웨이퍼를 분류하는 작업이 동시에 이루어질 수 있어 웨이퍼 출하 편집 처리량(throughput)을 향상시킬 수 있다.
로봇 아암(112)은 제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8)로 제1 핸드(114-1) 또는 제2 핸드(114-2를 접근하도록 신장 가능한 구조일 수 있다. 또한 로봇 아암(112)은 제1 포트(P1), 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8) 중 어느 하나에 보관되는 캐리어(예컨대, 카세트)의 각 슬롯에 대응되도록 상하 이동할 수 있다.
도 1에 도시된 실시예와 달리 로딩 로봇(110)은 제1 핸드를 갖는 제1 로봇 아암, 및 제2 핸들를 갖는 제2 로봇 아암을 포함할 수 있다. 제1 로봇 아암 및 제2 로봇 아암은 서로 독립적으로 동작할 수 있다.
제1 로봇 아암은 제1 포트(P1)에 보관되는 카세트에 저장된 웨이퍼를 제1 핸드를 이용하여 파지하여 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)로 이송하고, 제2 로봇 아암은 판독된 결과에 따라 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)에 로딩된 웨이퍼를 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8) 중 어느 하나로 이송할 수 있다. 실시에 따른 이송 로봇은 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)로 로딩 또는/및 언로딩이 동시에 수행될 수 있는 듀얼(dual) 이송부를 구비하는 다양한 형태로 구현할 수 있다.
제1 정렬기(132)는 로딩 로봇(110)에 의하여 이송된 웨이퍼에 마킹된 웨이퍼 정보를 제1 판독기(136)에 정렬시킨다. 제2 정렬기(134)는 로딩 로봇(110)에 의하여 이송된 웨이퍼에 마킹된 웨이퍼 정보를 제2 판독기(138)에 정렬시킨다.
제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134) 각각은 양 방향 접근(access)가 가능한 구조일 수 있다. 예컨대, 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134) 각각은 일측으로 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 가능하고, 타측으로 웨이퍼의 언로딩이 가능할 수 있다.
로딩 로봇(110)은 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134)의 일측으로 접근하여 웨이퍼를 로딩하거나, 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134) 상에 로딩된 웨이퍼를 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134)의 일측으로 언로딩할 수 있다.
언로딩 로봇(120)은 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134) 각각의 타측으로부터 접근하여 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134) 상에 로딩된 웨이퍼를 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134)의 타측으로 언로딩할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 정렬기(132) 및 제1 판독기(136)의 확대도를 나타낸다. 도 3을 참조하면, 제1 정렬기(132)는 로딩부(310), 제1 출입구(310), 및 제2 출입구를 구비한다. 제2 정렬기(134) 및 제2 판독기(138)도 아래에 설명한 바와 동일할 수 있다.
제1 출입구(310)는 제1 정렬기(132)의 일단에 마련되고, 로딩 로봇(110)에 의하여 이송된 웨이퍼는 제1 출입구(310)를 통하여 로딩부(310)에 로딩될 수 있다. 또한 제1 정렬기(132)의 일측으로 접근한 이송 로봇(110)에 의하여 로딩부(310)에 로딩된 웨이퍼는 제1 출입구(310)를 통하여 제2 포트(P2), 제7 포트(P7) 및 제8 포트(P8) 중 어느 하나에 보관된 카세트로 이송될 수 있다.
제2 출입구(320)는 제1 출입구(310)와 마주보도록 제1 정렬기(132)의 타단에 마련된다. 제1 정렬기(1320의 타측으로 접근한 언로딩 로봇(120)에 의하여 로딩부(310)에 로딩된 웨이퍼는 제2 출입구(320)를 통하여 제3 내지 제6 포트들(P3 내지 P6) 중 어느 하나에 보관된 카세트로 이송될 수 있다.
제1 정렬기(132)는 로딩부(301)에 로딩된 웨이퍼의 노치(notch)를 찾고, 노치를 기준으로 웨이퍼 상의 일정한 위치에 마킹된 웨이퍼 정보를 제1 판독기(136)가 판독할 수 있도록 웨이퍼를 회전시킨다.
제2 정렬기(134)는 로딩부(301)에 로딩된 웨이퍼의 노치(notch)를 찾고, 노치를 기준으로 웨이퍼 상의 일정한 위치에 마킹된 웨이퍼 정보를 제2 판독기(138)가 판독할 수 있도록 웨이퍼를 회전시킨다.
로봇 아암(112)에 의하여 이송되어 로딩부(301)에 로딩된 웨이퍼는 판독기(136, 138)가 웨이퍼 정보를 판독할 수 있도록 정렬되어 있지 않은 상태이다. 웨이퍼 정보는 노치로부터 일정한 각도만큼 이격한 위치에 마킹되기 때문에, 정렬기(132,134)는 먼저 로딩부(301)에 로딩된 웨이퍼를 회전시켜 노치를 감지한 후 감지된 노치를 기준으로 일정한 각도만큼 웨이퍼를 회전시켜 웨이퍼 정보를 판독기(136,138)에 정렬시킨다.
일반적으로 정렬기에 웨이퍼를 정렬시키고, 웨이퍼 정보를 판독하는 데는 정렬 시간(Align time) 및 판독 시간(marking reading time) 필요하다. 실시예는 2개의 정렬기들(132,134)을 구비함으로써 정렬 시간 및 판독 시간을 줄일 수 있어 웨이퍼 출하 편집 처리량을 향상시킬 수 있다.
제1 판독기(136) 및 제2 판독기(138) 각각은 로딩부(301) 상에 판독 가능하도록 정렬된 웨이퍼에 마킹된 웨이퍼 정보를 판독(reading)한다. 여기서 웨이퍼 정보는 웨이퍼 식별 번호, 카세트 정보, 슬롯 정보, 밸런스 정보, 재세정 정보, 재연마 정보, 제품 양호 정보, 거부(reject) 정보, 및 샘플 정보 등을 포함할 수 있다.
제1 판독기(136) 및 제2 판독기(138)는 웨이퍼의 앞면에 마킹된 웨이퍼 정보를 리딩하는 프론트 사이드 판독기(Front side marking reader) 및 웨이퍼의 뒷면에 마킹된 웨이퍼 정보를 리딩하는 백 사이드 판독기(back side marking reader) 중 적어도 하나를 포함하는 형태일 수 있다.
제1 판독기(136) 및 제2 판독기(138) 각각은 웨이퍼 정보를 판독한 결과에 따른 웨이퍼 정보를 제어부(140)로 전송한다.
제어부(140)는 제1 포트(P1)에 보관되는 제1 카세트에 저장된 출하 편집 대상이 되는 웨이퍼에 대한 웨이퍼 정보(이하 "제1 웨이퍼 정보"라 한다.)를 저장한다. 제어부(140)는 제1 판독기(136) 및 제2 판독기(138)로부터 판독된 결과에 따른 웨이퍼 정보(이하 "제2 웨이퍼 정보"라 한다.)를 수신하여 저장한다.
제어부(140)는 제1 웨이퍼 정보와 제2 웨이퍼 정보를 비교하고, 비교한 결과에 따라 제1 정렬기(132) 및 제2 정렬기(134)에 로딩된 웨이퍼를 제2 포트 내지 제8 포트(P2 내지 P8) 중 어느 하나에 보관되는 카세트로 이송시키도록 로딩 로봇(110) 또는 언로딩 로봇(120)을 조작한다.
제어부(140)는 제1 웨이퍼 정보와 제2 웨이퍼 정보가 동일한 경우, 제1 웨이퍼 정보에 기초하여 판독된 웨이퍼를 로딩 로봇(110)을 이용하여 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)로부터 제2 포트(P2), 제7 포트(P7), 및 제8 포트(P8) 중 어느 하나로 이송시킬 수 있다.
또한 제어부(140)는 제1 웨이퍼 정보와 제2 웨이퍼 정보가 동일한 경우, 판독된 웨이퍼를 언로딩 로봇(120)을 이용하여 제1 정렬기(132) 또는 제2 정렬기(134)로부터 제3 포트(P3), 제4 포트(P4), 제5 포트(P5), 및 제6 포트(P6) 중 어느 하나로 이송시킬 수 있다.
실시예에 따른 웨이퍼 출하 편집 장치(100)는 듀얼 정렬기(132,134)를 구비하여 정렬 시간과 판독 시간을 단축하여 웨이퍼 출하 편집 처리량을 향상시킬 수 있다.
또한 실시예에 따른 웨이퍼 출하 편집 장치(100)는 듀얼 핸드 또는 듀얼 아암을 갖는 로딩 로봇(110)을 구비함으로써 정렬기(132,134)로 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 시간이 단축됨에 따라 웨이퍼 출하 편집 처리향을 향상시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
101: 지지부 P1 내지 P8: 제1 내지 제8 포트
110: 로딩 로봇 112: 로봇 아암
114-1: 제1 핸드 114-2: 제2 핸드
120: 언로딩 로봇 132: 제1 정렬기
134: 제2 정렬기 136: 제1 판독기
138: 제2 판독기 140: 제어부
301: 로딩부 310: 제1 출입구
320: 제2 출입구

Claims (6)

  1. 각각이 웨이퍼를 보관하는 복수의 포트들;
    로딩된 웨이퍼를 정렬하는 제1 정렬기 및 제2 정렬기;
    상기 복수의 포트들 중 제1 포트에 보관된 웨이퍼를 상기 제1 정렬기 또는 상기 제2 정렬기로 이송하는 제1 이송 작업을 수행하는 제1 이송 수단, 및 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기에 로딩된 웨이퍼를 상기 복수의 포트들 중 제2 포트로 이송하는 제2 이송 작업을 수행하는 제2 이송 수단을 포함하는 로딩 로봇;
    상기 제1 정렬기 및 제2 정렬기에 로딩된 웨이퍼에 마킹된 웨이퍼 정보를 판독하는 판독부; 및
    상기 판독부의 판독 결과에 따라 상기 로딩 로봇을 제어하는 제어부를 포함하는 웨이퍼 출하 편집 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 이송 수단 및 상기 제2 이송 수단은 서로 독립적으로 상기 제1 정렬기 또는 상기 제2 정렬기에 상기 제1 포트에 보관된 웨이퍼를 로딩하는 웨이퍼 출하 편집 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 이송 수단이 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기 중 어느 하나에 제1 이송 작업을 수행할 때, 상기 제2 이송 수단은 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기 중 다른 어느 하나에 제2 이송 작업을 수행하는 웨이퍼 출하 편집 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기에 로딩된 웨이퍼를 상기 복수의 포트들 중 제3 포트로 이송하는 언로딩 로봇을 더 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 판독부의 판독 결과에 따라 상기 언로딩 로봇을 제어하는 웨이퍼 출하 편집 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기 각각은,
    웨이퍼가 로딩되는 로딩부;
    일단에 마련되는 제1 출입구; 및
    상기 제1 출입구와 마주보도록 타단에 마련되는 제2 출입구를 포함하며,
    상기 로딩 로봇에 의하여 이송되는 웨이퍼는 상기 제1 출입구를 통하여 상기 로딩부에 로딩되고,
    상기 로딩부에 로딩된 웨이퍼는 상기 로딩 로봇에 의하여 상기 제1 출입구를 통하여 상기 제2 포트로 이송되거나, 상기 언로딩 로봇에 의하여 상기 제2 출입구를 통하여 상기 제3 포트로 이송되는 웨이퍼 출하 편집 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 로딩 로봇 및 상기 언로딩 로봇은 제1 방향으로 서로 이격하여 정렬되고, 상기 제1 정렬기 및 상기 제2 정렬기는 상기 로딩 로봇과 상기 언로딩 로봇 사이에 제2 방향으로 정렬되어 배치되며,
    상기 제1 방향은 xy좌표에서 x축 방향이고, 상기 제2 방향은 y축 방향인 웨이퍼 출하 편집 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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