KR20120053467A - Silicone rubber sheet for thermocompression bonding - Google Patents

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KR20120053467A
KR20120053467A KR1020110118778A KR20110118778A KR20120053467A KR 20120053467 A KR20120053467 A KR 20120053467A KR 1020110118778 A KR1020110118778 A KR 1020110118778A KR 20110118778 A KR20110118778 A KR 20110118778A KR 20120053467 A KR20120053467 A KR 20120053467A
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silicone rubber
rubber sheet
thermocompression bonding
less
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마사카츠 홋타
슈이치 아제치
타케시 하시모토
마사히로 모테키
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신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
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Abstract

PURPOSE: A silicon rubber sheet for thermal compression is provided to reduce concavo-convexes on the surface of the sheet in contact with a chip on flex(COF). CONSTITUTION: A silicon rubber sheet for thermal compression includes a thermoconductive silicon rubber layer(12) and flat or opening processed glass cloth(11) which is stacked and integrated with the thermoconductive silicon rubber layer. The porosity of the flat or opening processed glass cloth is less than or equal to 10%. The porosity is represented by an equation, porosity = ((b1×b2) / (a1×a2))×100. In the equation, a1 is the average value of the center length of adjacent warps; a2 is the average value of the center length of adjacent wefts; b1 is the average value of the gap of adjacent warps; and b2 is the average value of the gap of adjacent wefts. The thickness of glass cloth is in a range between 0.02 and 0.1mm.

Description

열압착용 실리콘 고무 시트{SILICONE RUBBER SHEET FOR THERMOCOMPRESSION BONDING}Silicone Rubber Sheet for Thermocompression {SILICONE RUBBER SHEET FOR THERMOCOMPRESSION BONDING}

본 발명은 전기?전자 기기 부품의 배선 접속 공정에서, 열을 전함과 아울러 균일하게 압력을 가할 목적에서 사용되는 열압착용 실리콘 고무 시트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a silicone rubber sheet for thermocompression bonding used for the purpose of uniformly applying pressure while conducting heat in a wiring connection step of an electric / electronic device component.

액정패널의 제조시에는 액정을 구동시키기 위해서 액정패널의 투명 리드 전극과 구동용 LSI가 탑재된 플렉서블 프린트 기판(COF)의 리드 전극을, 이방성 도전 접착제(페이스트상이나 필름상)를 개재하여 열압착하고, 전기적 및 기계적으로 접속하는 것이 행해지고 있다. 이 경우, 열과 함께 균일한 압력을 가할 목적에서, 가압?가열 금속 툴과 C0F 사이에 실리콘 고무 시트를 끼우는 것이 일반적으로 되어 있다.In manufacturing the liquid crystal panel, in order to drive the liquid crystal, the transparent lead electrode of the liquid crystal panel and the lead electrode of the flexible printed circuit board (COF) equipped with the driving LSI are thermo-compressed through an anisotropic conductive adhesive (paste or film). The electrical and mechanical connection is performed. In this case, in order to apply a uniform pressure with heat, it is common to sandwich a silicone rubber sheet between a pressurized and heated metal tool and C0F.

열압착용 실리콘 고무 시트로서는, 예를 들면, 실리콘 고무에 질화붕소와 도전성 물질을 배합하여 유리 크로스로 보강한 것(특허문헌 1 : 일본 특허 공개 평5-198344호 공보)이나, 실리콘 고무에 질화붕소와 도전성 물질을 배합하여 유리 크로스로 보강하고, 대전 방지성을 부여한 것(특허문헌 2 : 일본 특허 공개 평6-36853호 공보), 실리콘 고무에 세라믹, 금속 등의 열전도성이 양호한 물질을 배합한 것(특허문헌 3 : 일본 특허 공개 평6-289352호 공보), 실리콘 고무에 수분을 제외한 휘발분이 0.5% 이하인 카본블랙을 배합하여 내열성을 개량한 것(특허문헌 4 : 일본 특허 공개 평7-11010호 공보) 등이 알려져 있다. 그러나, 이들의 것은 시트 표면의 점착성에 관한 개선이 이루어져 있지 않다.As a silicone rubber sheet for thermocompression bonding, for example, boron nitride and a conductive material are mixed with silicone rubber and reinforced with glass cross (Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-198344) or nitriding to silicone rubber Boron and a conductive material are blended to reinforce with a glass cross to impart antistatic properties (Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 6-36853), and silicone rubber is blended with materials having good thermal conductivity such as ceramics and metals. (Patent Document 3: Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 6-289352), and improved heat resistance by blending carbon rubber having 0.5% or less of volatile matter except moisture (Patent Document 4: Japanese Patent Application Laid-open No. H6-289352). 11010) is known. However, these things do not improve on the adhesiveness of the sheet surface.

그래서, 실리콘 고무에 카본블랙을 배합한 시트와 내열성 수지 필름을 복합화함으로써, 시트 표면의 점착성이 없으며, 강도도 우수한 열압착용 실리콘 고무 복합 시트가 제안되어 있다(특허문헌 5 : 일본 특허 공개 평8-174765호 공보). 그러나, 이 시트는 실리콘 고무가 내열성 수지 필름과 접착하고 있으므로, 고무 단체보다 유연성이 저하된다. 이 경향은 특히 시트의 양면에 내열성 수지 필름을 설치하면 강해진다. 이 때문에 가압시에 균일에 압력을 가하는 것이 곤란하게 되므로, 가압력을 크게 할 필요가 있지만, 이 가압력에는 피압착체의 강도와의 관계로 한계가 있다.Then, by composite | combining the sheet | seat which mix | blended carbon black with silicone rubber, and the heat resistant resin film, the silicone rubber composite sheet | seat for thermocompression bonding which has no adhesiveness on the sheet surface and is excellent also is proposed (patent document 5: Unexamined-Japanese-Patent No. 8). -174765). However, since the silicone rubber is bonded to the heat resistant resin film, the sheet is less flexible than the rubber alone. This tendency becomes especially strong when a heat resistant resin film is provided on both surfaces of a sheet. For this reason, since it becomes difficult to apply a pressure to uniformity at the time of pressurization, it is necessary to enlarge a pressurization force, but this pressurization pressure has a limit with respect to the intensity | strength of a to-be-adhered body.

또, 유리 크로스 또는 유리 크로스 처리 불소 수지 시트와 열전도성 실리콘 고무를 적층하는 것이 제안되어 있다(특허문헌 6 : 일본 특허 제3244187호 공보, 특허문헌 7 : 일본 특허 제4301468호 공보, 특허문헌 8 : 일본 특허 공개 2001-315248호 공보, 특허문헌 9 : 일본 특허 공개 2004-168025호 공보).Moreover, laminating | stacking a glass cross or a glass cross processing fluororesin sheet and a thermally conductive silicone rubber is proposed (patent document 6: Unexamined-Japanese-Patent No. 3244187, patent document 7: Unexamined-Japanese-Patent No. 4301468, patent document 8 :). Japanese Patent Laid-Open No. 2001-315248, Patent Document 9: Japanese Patent Laid-Open No. 2004-168025).

그러나, 최근 더욱 액정패널의 고정밀화가 진행되어, 종래품에 사용되고 있는 유리 크로스의 올 사이에 기인하는 요철이라도, 균일한 압착을 방해하거나, 패널 전극과 C0F 전극의 위치 어긋남을 발생시키거나 하기 때문에, 신규 고정밀 대응 시트의 개발이 요구되고 있다.However, in recent years, the liquid crystal panel has been further refined, and even if the irregularities caused by all of the glass crosses used in conventional products prevent the uniform crimping or cause the position shift between the panel electrode and the C0F electrode, The development of a new high-precision sheet is required.

일본 특허 공개 평5-198344호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 5-198344 일본 특허 공개 평6-36853호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 6-36853 일본 특허 공개 평6-289352호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 6-289352 일본 특허 공개 평7-11010호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 7-11010 일본 특허 공개 평8-174765호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 8-174765 일본 특허 제3244187호 공보Japanese Patent No. 3244187 일본 특허 제4301468호 공보Japanese Patent No. 4301468 일본 특허 공개 2001-315248호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2001-315248 일본 특허 공개 2004-168025호 공보Japanese Patent Publication No. 2004-168025

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 고정밀 액정패널의 제조에 적합한 열압착용 실리콘 고무 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, and an object of this invention is to provide the thermocompression-bonding silicone rubber sheet suitable for manufacture of a high precision liquid crystal panel.

본 발명의 상기한 목적은 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스를 열전도성 실리콘 고무층과 적층 일체화된 열압착용 실리콘 고무 시트에 의해 달성되었다.The above object of the present invention has been achieved by a thermocompression silicone rubber sheet in which a flat or opened glass cross is laminated with a thermally conductive silicone rubber layer.

즉, 본 발명자들이 각종 검토한 결과, 종래의 열압착용 실리콘 고무 시트에 사용되어 온 편평 또는 개섬 가공되어 있지 않은 유리 크로스와 비교하여, 편평 또는 개섬 가공된 요철이 적은 유리 크로스를 기재로서 사용함으로써, 압착시의 압력분포가 더욱 균일하게 되고, COF의 변형이나 어긋남을 억제할 수 있는 것을 알아내어, 본 발명을 이루기에 이르렀다.That is, as a result of various studies by the present inventors, compared to the flat or unopened glass cross used in the conventional silicone rubber sheet for thermocompression bonding, by using the flat or unopened uneven glass cross as a base material The pressure distribution at the time of crimping | compression-bonding became more uniform, and it discovered that the deformation | transformation and the shift | offset | difference of COF can be suppressed, and came to achieve this invention.

따라서, 본 발명은 하기 열압착용 실리콘 고무 시트를 제공한다.Accordingly, the present invention provides the following silicone rubber sheet for thermal compression.

청구항 1 :Claim 1:

열전도성 실리콘 고무층에 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스가 적층 일체화된 것을 특징으로 하는 열압착용 실리콘 고무 시트.A silicone rubber sheet for thermocompression bonding, wherein a glass cross processed flat or open to the heat conductive silicone rubber layer is laminated.

청구항 2 :Claim 2:

상기 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스가, 하기 식(I)으로 표시된 공극율로 10% 이하인 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 열압착용 실리콘 고무 시트.The said flat or open-processed glass cross is 10% or less by the porosity represented by following formula (I), The silicone rubber sheet for thermocompression of Claim 1 characterized by the above-mentioned.

공극율=[(b1×b2)/(a1×a2)]×100 (I)Porosity = [(b 1 × b 2 ) / (a 1 × a 2 )] × 100 (I)

(식 중, a1은 인접하는 경사의 중심간 길이의 평균값(μm)을, a2는 인접하는 위사의 중심간 길이의 평균값(μm)을, b1은 인접하는 경사의 간극의 평균값(μm)을, b2는 인접하는 위사의 간극의 평균값(μm)을 나타낸다.)(Wherein a 1 is the mean value (μm) of the center-to-center length of adjacent warp yarns, a 2 is the mean value (μm) of the center-to-center length of adjacent weft yarns, and b 1 is the mean value (μm) of the gap between adjacent warp yarns. ), B 2 represents an average value (μm) of the gap between the adjacent weft yarns.)

청구항 3 :Claim 3:

상기 유리 크로스가 실리콘 수지로 눈먹임 처리되고, 또한 적어도 그 일방의 면에 열전도성 실리콘 고무층이 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 2에 기재된 열압착용 실리콘 고무 시트.The said glass cross is eye-treated with a silicone resin, and the thermally conductive silicone rubber layer is laminated | stacked on at least one surface, The silicone rubber sheet for thermocompression of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.

청구항 4 :Claim 4:

상기 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스의 두께가 0.02mm 이상 0.1mm 이하인 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 열압착용 실리콘 고무 시트.The thickness of the said flat or open-processed glass cross is 0.02 mm or more and 0.1 mm or less, The silicone rubber sheet for thermocompression bonding in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.

청구항 5 :Claim 5:

상기 열전도성 실리콘 고무층이 열전도율 0.3W/mK 이상 5W/mK 이하이며, 경도 30 이상 90 이하인 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 열압착용 실리콘 고무 시트.The thermally conductive silicone rubber layer has a thermal conductivity of 0.3 W / mK or more and 5 W / mK or less, and has a hardness of 30 to 90 or less, wherein the silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 4.

종래의 유리 크로스에서는 열압착시에 경사와 위사의 교점이 특히 강하게 플렉서블 프린트 기판에 눌린다. 그 때문에, 좁은 피치의 전극 접합에서는 위치 어긋남이 생기는 경우가 있었다. 또, 유리 크로스를 포함하지 않는 단층 열전도성 고무 시트에서는, 유리 크로스 함유품과 비교하여 변형하기 쉽기 때문에, 특히 플렉서블 프린트 기판의 단부에서 위치 어긋남이 일어나기 쉬운 경향이 있었다.In the conventional glass cross, the intersection of the warp and the weft is pressed particularly strongly by the flexible printed circuit board at the time of thermocompression bonding. For this reason, positional deviation may occur in the electrode junction of a narrow pitch. Moreover, in the single-layer heat conductive rubber sheet which does not contain a glass cross, since it is easy to deform | transform compared with a glass cross containing product, there existed a tendency for position shift to occur especially at the edge part of a flexible printed circuit board.

그것에 대해, 본 발명의 열압착용 실리콘 고무 시트는 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스를 적층 일체화함으로써, C0F와 접하는 시트 표면의 요철이 종래품보다 대폭 경감되어 있어, 좁은 피치의 전극 접합에 있어서도 위치 어긋남을 대폭 억제하는 것이 가능하게 되었다.On the other hand, the silicon rubber sheet for thermocompression bonding of this invention laminates and integrates the glass cross processed flat or opened, and the unevenness | corrugation of the sheet surface which contact | connects C0F is reduced significantly compared with the prior art, and the position shift also in the narrow pitch electrode bonding. It became possible to greatly suppress this.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 열압착용 실리콘 고무 시트의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a silicon rubber sheet for thermal compression according to the first embodiment of the present invention.

본 발명의 열압착용 실리콘 고무 시트는 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스에 실리콘 수지를 눈먹임 처리한 기재 크로스에 대하여, 적어도 그 일방의 면에 열전도성 실리콘 고무층을 적층하여 제작한다.The silicone rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention is produced by laminating a thermally conductive silicone rubber layer on at least one surface of a substrate cross on which a silicone resin is treated on a flat or opened glass cross.

도 1은 그 일례를 나타내고, 기재 크로스(11)의 일면에 열전도성 실리콘 고무층(12)을 적층하여 이루어지는 것이다. 또한, 도 중 11a는 유리 섬유, 11b는 실리콘 수지를 나타낸다.FIG. 1 shows an example thereof, and is formed by laminating a thermally conductive silicone rubber layer 12 on one surface of the base cross 11. 11A shows glass fiber and 11b shows a silicone resin.

여기서, 본 발명에 사용되는 유리 크로스로서는, 경사 및 위사를 구성하는 얀의 평균 필라멘트 직경이 4μm 이상 8μm 이하이며, 두께가 0.03mm 이상 0.20mm 이하, 특히 0.10mm 이하, 경사 및 위사의 밀도가 각각 50개/25mm 이상인 것이 바람직하다. 이보다 필라멘트 직경 및 두께가 작아지면 강도가 부족하게 되고, 반대로 커지면 시트 표면의 요철이 커져 균일한 압력 전달을 방해하게 된다. 또, 경사 및 위사의 밀도가 작아져도 시트 표면의 요철이 커진다.Here, as a glass cross used for this invention, the average filament diameter of the yarn which comprises a warp and weft yarn is 4 micrometers or more and 8 micrometers or less, and thickness is 0.03 mm or more and 0.20 mm or less, especially 0.10 mm or less, and the density of a warp and a weft yarn, respectively It is preferable that it is 50 pieces / 25 mm or more. If the filament diameter and thickness is smaller than this, the strength is insufficient. On the contrary, if the filament diameter and thickness are large, the unevenness of the surface of the sheet is increased to prevent uniform pressure transmission. Moreover, even if the density of warp and weft yarn becomes small, the unevenness | corrugation of a sheet surface becomes large.

이 유리 크로스는 편평 또는 개섬 가공되는 것인데, 개섬 처리 방법으로서는 유리 크로스를 초음파 진동시킨 수중 내에서 개섬시키는 초음파법, 유리 크로스를 온수 중에서 상하 회전 통체에 의해 프레스하여 개섬시키는 회전 통체에 의한 압압법, 유리 크로스에 주상류(柱狀流) 고압수를 분사하여 개섬시키는 주상류 고압수 분사 개섬법, 바이브로워셔법, 능선법 등을 적용하면 된다.The glass crosses are flat or open-finished, but the open-loop processing method includes an ultrasonic method for opening the glass cross in the water in which the glass cross is ultrasonically vibrated, a pressing method using a rotating cylinder for pressing and opening the glass cross in the hot water by a vertical rotating cylinder, What is necessary is just to apply the columnar high pressure-pressure injection opening method, the vibro washer method, the ridge method, etc. which inject | pour and open the columnar high pressure water to a glass cross.

이 경우, 상기 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스가, 하기 식(1)으로 표시된 공극율로 10% 이하, 특히 0~5%인 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that the said flat or open-processed glass cross is 10% or less, especially 0-5% by the porosity represented by following formula (1).

공극율=[(b1×b2)/(a1×a2)]×100 (I)Porosity = [(b 1 × b 2 ) / (a 1 × a 2 )] × 100 (I)

(식 중, a1은 인접하는 경사의 중심간 길이의 평균값(μm)을, a2는 인접하는 위사의 중심간 길이의 평균값(μm)을, b1은 인접하는 경사의 간극의 평균값(μm)을, b2는 인접하는 위사의 간극의 평균값(μm)을 나타낸다.)(Wherein a 1 is the mean value (μm) of the center-to-center length of adjacent warp yarns, a 2 is the mean value (μm) of the center-to-center length of adjacent weft yarns, and b 1 is the mean value (μm) of the gap between adjacent warp yarns. ), B 2 represents an average value (μm) of the gap between the adjacent weft yarns.)

상기 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스는 실리콘 수지로 눈먹임 처리하는 것이 바람직하다. 이 경우, 실리콘 수지가 유리 섬유에 강하게 접착하도록, 유리 크로스에는 실란 커플링제 처리를 행하는 것이 바람직하다. 실란 커플링제의 종류로서는 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란 등의 비닐기 함유 실란 커플링제, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란 등의 에폭시기 함유 실란 커플링제, N-2(아미노에틸)3-아미노프로필트리메톡시실란, N-2(아미노에틸)3-아미노프로필메틸디메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란 등의 아미노기 함유 실란 커플링제, 3-메타크릴록시프로필트리메톡시실란 등의 (메타)아크릴기 함유 실란 커플링제 등이 있지만, 특히 비닐기 함유 실란 커플링제를 사용한 경우에 유리 크로스와 실리콘 수지의 접착력이 향상된다.It is preferable that the said flat or open-processed glass cross is eye-treated with a silicone resin. In this case, it is preferable to perform a silane coupling agent process to glass cross so that silicone resin may adhere strongly to glass fiber. Examples of the silane coupling agent include vinyl group-containing silane coupling agents such as vinyltrimethoxysilane and vinyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltri Epoxy group-containing silane coupling agents such as methoxysilane, N-2 (aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2 (aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxy Although there are (meth) acryl group-containing silane coupling agents such as amino group-containing silane coupling agents such as silanes and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, glass cross and silicone resins are particularly used when vinyl group-containing silane coupling agents are used. The adhesive force of the is improved.

또한, 기재 크로스에 사용되는 유리 크로스의 두께는 0.02mm 이상 0.1mm 이하가 바람직하다. 0.02mm보다 얇아지면 기계적 강도가 부족하게 되고, 열압착시 또는 열전도성 실리콘 고무층 적층시에 변형할 우려가 있다. 또, 0.1mm보다 두꺼워지면 열압착용 실리콘 고무 시트에 차지하는 유리 크로스층의 비율이 많아짐으로써 시트 전체의 열전도율이 저하되어버린다.Moreover, as for the thickness of the glass cross used for a base material cross, 0.02 mm or more and 0.1 mm or less are preferable. If it is thinner than 0.02 mm, mechanical strength will become insufficient, and there exists a possibility that it may deform | transform at the time of thermocompression bonding or lamination of a thermally conductive silicone rubber layer. Moreover, when it becomes thicker than 0.1 mm, the thermal conductivity of the whole sheet | seat will fall by increasing the ratio of the glass cross layer to a silicone rubber sheet for thermocompression bonding.

유리 크로스에 대한 실리콘 수지 함침 방법으로서 딥 코트법, 나이프 코트법, 스프레이 코트법 등을 들 수 있지만, 특히 딥 코트법을 사용하면 얇은 코팅층을 양호하게 성형할 수 있다.Although the dip coating method, the knife coating method, the spray coating method, etc. are mentioned as a silicone resin impregnation method with respect to a glass cross, especially when a dip coating method is used, a thin coating layer can be formed favorably.

유리 크로스에 함침시키는 수지로서는, 보강성 실리카 배합 실리콘 고무 조성물이 바람직하다. 보강성 실리카 배합 실리콘 고무 조성물의 폴리머 성분인 오르가노폴리실록산은 다른 합성 고무에 비해 매우 강도가 약하고, 그 자체 단독으로는 사용할 수 있는 레벨의 것이 아니다. 오르가노폴리실록산에 충전제, 특히 보강성 실리카를 첨가함으로써 사용 가능한 강도를 발휘한다.As the resin to be impregnated into the glass cross, a reinforcing silica-containing silicone rubber composition is preferable. The organopolysiloxane, which is a polymer component of the reinforcing silica-containing silicone rubber composition, is very weak in strength compared to other synthetic rubbers, and is not a level that can be used alone. The strength which can be used is exhibited by adding filler, especially reinforcing silica, to organopolysiloxane.

오르가노폴리실록산은 하기 평균 조성식(II)Organopolysiloxane has the following average composition formula (II)

RaSiO(4-a)/2 (II)R a SiO (4-a) / 2 (II)

(식 중, a는 1.95~2.05의 양수이다.)(Wherein a is a positive number between 1.95 and 2.05)

로 표시된 것으로, R은 비치환 또는 치환의 1가 탄화수소기를 나타내고, 구체적으로는 메틸기, 에틸기, 프로필기 등의 알킬기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기 등의 시클로알킬기, 비닐기, 알릴기 등의 알케닐기, 페닐기, 톨릴기 등의 아릴기, 또는 이들 기의 수소 원자가 부분적으로 또는 전부가 염소 원자, 불소 원자 등으로 치환된 할로겐화 탄화수소기 등이 예시되는데, 일반적으로는 오르가노폴리실록산의 주쇄가 디메틸실록산 단위로 이루어지는 것, 또는 이 오르가노폴리실록산의 주쇄에 비닐기, 페닐기, 트리플루오로프로필기 등을 도입한 것이 바람직하다. 또 분자쇄 말단이 트리오르가노실릴기 또는 수산기로 봉쇄된 것으로 하면 되는데, 이 트리오르가노실릴기로서는 트리메틸실릴기, 디메틸비닐실릴기, 트리비닐실릴기 등이 예시된다. 또한, 이 성분의 GPC에 의한 폴리스티렌 환산의 평균 중합도는 200 이상, 회전 점도계에 의한 25℃에 있어서의 점도가 0.3Pa?s 이상인 것이 바람직하고, 평균 중합도가 200 미만에서는 경화후의 기계적 강도가 떨어지고, 물러질 우려가 있다. 또한, 평균 중합도의 상한은 특별히 제한되지 않지만, 10,000 이하인 것이 바람직하다.R represents an unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group, specifically, an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group or a propyl group, a cycloalkyl group such as a cyclopentyl group or a cyclohexyl group, an alke such as a vinyl group or an allyl group Aryl groups, such as a silyl group, a phenyl group, and a tolyl group, or the halogenated hydrocarbon group in which the hydrogen atom of these groups was partially or fully substituted by the chlorine atom, a fluorine atom, etc. are mentioned, Generally, the main chain of organopolysiloxane is dimethylsiloxane. It is preferable that a vinyl group, a phenyl group, a trifluoropropyl group, or the like is introduced into the main chain of the organopolysiloxane. Moreover, what is necessary is just to block the molecular chain terminal into a triorganosilyl group or a hydroxyl group, As this triorgano silyl group, a trimethylsilyl group, a dimethyl vinyl silyl group, a trivinyl silyl group, etc. are illustrated. Moreover, it is preferable that the viscosity of polystyrene conversion by GPC of this component is 200 or more and the viscosity in 25 degreeC by a rotational viscometer is 0.3 Pa * s or more, and when the average polymerization degree is less than 200, the mechanical strength after hardening will fall, There is a risk of falling. The upper limit of the average degree of polymerization is not particularly limited, but is preferably 10,000 or less.

또, 이 오르가노폴리실록산은 1분자중에 적어도 2개의 규소 원자에 결합한 알케닐기를 가지는 것이 바람직하고, R 중 0.001~5몰%, 특히 0.01~1몰%의 비닐기를 함유하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that this organopolysiloxane has an alkenyl group couple | bonded with at least 2 silicon atoms in 1 molecule, and it is preferable to contain 0.001-5 mol%, especially 0.01-1 mol% vinyl group in R.

보강성 실리카는 기계적 강도가 우수한 실리콘 고무를 얻기 위해서 배합되는 것이며, BET법에 의한 비표면적이 50m2/g 이상, 특히 100~400m2/g인 것이 바람직하다. 이 보강성 실리카로서는 연무질 실리카(건식 실리카), 침강 실리카(습식 실리카) 등이 예시된다. 또, 보강성 실리카의 표면을 오르가노폴리실록산, 오르가노실라잔, 클로로실란, 알콕시실란 등으로 소수화 처리를 행해도 된다.Reinforcing silica is mix | blended in order to obtain the silicone rubber excellent in mechanical strength, and it is preferable that the specific surface area by BET method is 50 m <2> / g or more, especially 100-400 m <2> / g. Examples of the reinforcing silica include fumed silica (dry silica), precipitated silica (wet silica), and the like. The surface of the reinforcing silica may be hydrophobized with organopolysiloxane, organosilazane, chlorosilane, alkoxysilane, or the like.

이 보강성 실리카의 첨가량은 특별히 제한되는 것은 아니지만, 오르가노폴리실록산 100질량부에 대하여 5질량부 미만에서는 충분한 보강 효과가 얻어지지 않을 우려가 있고, 100질량부보다 많게 하면 성형 가공성이 나빠지는 경우가 있으므로, 5~100질량부의 범위, 바람직하게는 20~80질량부의 범위이다.Although the addition amount of this reinforcing silica is not restrict | limited, There exists a possibility that sufficient reinforcement effect may not be acquired at less than 5 mass parts with respect to 100 mass parts of organopolysiloxane, and when it is more than 100 mass parts, moldability may worsen. Therefore, it is the range of 5-100 mass parts, Preferably it is the range of 20-80 mass parts.

또한 필요에 따라서, 열전도성 필러, 착색 안료, 내열성 향상제, 난연성 향상제, 수산제 등의 각종 첨가제, 또는 보강성 실리카 분산제로서 각종 알콕시실란, 디페닐실란디올, 카본펑셔널실란, 실라놀기 함유 실록산 등을 첨가해도 된다.Moreover, as needed, various additives, such as a thermally conductive filler, a coloring pigment, a heat resistance improving agent, a flame retardancy improving agent, and a hydroxyl agent, or various alkoxysilanes, diphenylsilanediol, carbon functional silane, silanol-group containing siloxane, etc. as reinforcing silica dispersing agents, etc. You may add.

보강성 실리카 배합 실리콘 고무 조성물은 상기 성분을 2본롤, 반바리 믹서, 니더, 플라네터리 믹서 등의 혼련기를 사용하여 균일하게 혼합하고, 필요에 따라서 100℃ 이상의 온도로 열처리함으로써 얻을 수 있다.The reinforcing silica-containing silicone rubber composition can be obtained by uniformly mixing the above components using a kneader such as two rolls, a half-barrier mixer, a kneader, and a planetary mixer, and heat treatment at a temperature of 100 ° C or higher as necessary.

보강성 실리카 배합 실리콘 고무 조성물을 경화시켜 고무 탄성체로 하는 경화제로서는, 통상 실리콘 고무의 경화에 사용되고 있는 종래 공지의 것이면 되고, 이것은 래디컬 반응에 사용되는 디-t-부틸퍼옥사이드, 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산, 디쿠밀퍼옥사이드 등의 유기 과산화물, 부가 반응 경화제로서 오르가노폴리실록산이 알케닐기를 가지는 경우, 규소 원자에 결합한 수소 원자를 1분자중에 2개 이상 함유하는 오르가노하이드로젠폴리실록산과 백금족 금속계 촉매로 이루어지는 것, 축합 반응 경화제로서 오르가노폴리실록산이 실라놀기를 함유하는 경우, 알콕시기, 아세톡시기, 케토옥심기, 프로페녹시기 등의 가수분해성 기를 2개 이상 가지는 유기 규소 화합물등이 예시되는데, 이 첨가량은 통상의 실리콘 고무와 마찬가지로 하면 된다.As a hardening | curing agent which hardens a reinforcement silica compounding silicone rubber composition and uses it as a rubber elastic body, what is necessary is just the conventionally well-known thing normally used for hardening of silicone rubber, and this is di-t- butyl peroxide used for radical reaction, 2, 5- dimethyl Organic peroxides such as -2,5-di (t-butylperoxy) hexane and dicumylperoxide, and when the organopolysiloxane has an alkenyl group as an addition reaction curing agent, at least two hydrogen atoms bonded to silicon atoms in one molecule Consisting of an organohydrogenpolysiloxane and a platinum group metal catalyst to be contained, and when the organopolysiloxane contains a silanol group as a condensation reaction curing agent, hydrolyzable groups such as alkoxy groups, acetoxy groups, ketooxime groups, propenoxy groups, etc. An organosilicon compound etc. which have two or more are illustrated, What is necessary is just to add this addition amount like a normal silicone rubber.

보강성 실리카 배합 실리콘 고무 조성물로서는 미러블 타입 실리콘 고무 조성물 및 액상 타입 실리콘 고무 조성물의 어느 것을 사용해도 된다. 작업성, 성형 가공성의 점에서 유기 과산화물 경화형 또는 부가 반응 경화형의 보강성 실리카 배합 실리콘 고무 조성물이 바람직하다.As the reinforcing silica-containing silicone rubber composition, any of a mirrorable type silicone rubber composition and a liquid type silicone rubber composition may be used. From the point of workability and moldability, an organic peroxide curable or addition reaction curable silicone rubber composition of reinforcing silica is preferable.

유리 크로스에 함침시키는 실리콘 수지는 유리 크로스에 얇고, 안정적으로 도공할 수 있는 수지를 선택하는 것이 바람직하다. 열전도율이 높은 재료를 선택해도 되지만, 전체적인 열전도율은 실리콘 수지보다 유리 크로스에 의존하고 있고, 또, 열전도성 분말을 많게 하면 유리 크로스가 눈막힘을 일으켜 도공면이 거칠어지거나, 경도가 상승하여 균일한 압력 전달이 저해되거나 할 우려가 있다.The silicone resin impregnated into the glass cross is preferably selected from a thin, stable resin coating glass cross. Although a material having a high thermal conductivity may be selected, the overall thermal conductivity depends on the glass cross rather than the silicone resin, and when the thermal conductive powder is increased, the glass cross may be clogged and the coated surface may be rough or the hardness may rise to uniform pressure. There is a fear that transmission may be impaired.

기재 크로스층에 적층하는 열전도성 실리콘 고무층은 열전도율 0.3W/mK 이상 5W/mK 이하(ASTM E 1530), 특히 0.5~3W/mK인 것이 바람직하다. 열전도율이 0.3W/mK보다 작으면 열압착 온도를 높이거나, 압착 시간을 길게 하거나 할 필요가 있어, 효율적인 면에서 불리한 경우가 생긴다. 3W/mK를 넘어도, 기재 크로스층의 열전도율이 제한되기 때문에, 특별히 유리한 효과는 기대할 수 없다.It is preferable that the thermally conductive silicone rubber layer laminated on the base material cross layer has a thermal conductivity of 0.3 W / mK or more and 5 W / mK or less (ASTM E 1530), in particular 0.5 to 3 W / mK. If the thermal conductivity is less than 0.3 W / mK, it is necessary to increase the thermal compression temperature or lengthen the compression time, which may be disadvantageous in terms of efficiency. Even if it exceeds 3 W / mK, since the thermal conductivity of the base material cross layer is limited, a particularly advantageous effect cannot be expected.

상기 열전도성 실리콘 고무층을 형성하기 위한 열전도성 실리콘 고무 조성물은 유리 크로스에 함침시키는 수지와 마찬가지의 오르가노폴리실록산 100질량부에, 카본, 금속, 금속 산화물, 금속 질화물, 금속 탄화물로부터 선택되는 적어도 1종을 10~1,600질량부 첨가함으로써 얻어지는 것이 바람직하다. 이들의 구체예로서는 금속에서는 은분, 구리분, 철분, 니켈분, 알루미늄분 등, 금속 산화물에서는 아연, 마그네슘, 알루미늄, 규소, 철 등의 산화물, 금속 질화물에서는 붕소, 알루미늄, 규소 등의 질화물, 금속 탄화물에서는 규소, 붕소 등의 탄화물 등이 예시된다.The thermally conductive silicone rubber composition for forming the thermally conductive silicone rubber layer is at least one selected from carbon, metals, metal oxides, metal nitrides and metal carbides in 100 parts by mass of the organopolysiloxane similar to the resin impregnated in the glass cross. What is obtained by adding 10-1,600 mass parts of is preferable. Specific examples thereof include silver powder, copper powder, iron powder, nickel powder and aluminum powder in metals, oxides such as zinc, magnesium, aluminum, silicon and iron in metal oxides, nitrides such as boron, aluminum and silicon in metal nitrides and metal carbides. Examples thereof include carbides such as silicon and boron.

필요에 따라서, 착색 안료, 내열성 향상제, 난연성 향상제, 수산제 등의 각종 첨가제, 또는 분산제로서 각종 알콕시실란, 디페닐실란디올, 카본펑셔널실란, 실라놀기 함유 실록산 등을 첨가해도 된다.As needed, you may add various alkoxysilanes, diphenylsilanediol, carbon functional silane, silanol-group containing siloxane, etc. as various additives, such as a coloring pigment, a heat resistance improving agent, a flame retardancy improving agent, a hydroxyl agent, or a dispersing agent.

열전도성 실리콘 고무 조성물은 상기 성분을 2본롤, 반바리 믹서, 니더, 플라네터리 믹서 등의 혼련기를 사용하여 균일하게 혼합하고, 필요에 따라서 100℃ 이상의 온도로 열처리함으로써 얻을 수 있다.The thermally conductive silicone rubber composition can be obtained by uniformly mixing the above components using a kneader such as a two-roll roll, a half-barrier mixer, a kneader, and a planetary mixer, and heat-treating at a temperature of 100 ° C or higher as necessary.

열전도성 실리콘 고무 조성물을 경화시켜 고무 탄성체로 하는 경화제로서는, 통상 실리콘 고무의 경화에 사용되고 있는 종래 공지의 것이면 되고, 이것은 래디컬 반응에 사용되는 디-t-부틸퍼옥사이드, 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산, 디쿠밀퍼옥사이드 등의 유기 과산화물, 부가 반응 경화제로서 오르가노폴리실록산이 알케닐기를 가지는 경우, 규소 원자에 결합한 수소 원자를 1분자중에 2개 이상 함유하는 오르가노하이드로젠폴리실록산과 백금족 금속계 촉매로 이루어지는 것, 축합 반응 경화제로서 오르가노폴리실록산이 실라놀기를 함유하는 경우, 알콕시기, 아세톡시기, 케토옥심기, 프로페녹시기 등의 가수분해성 기를 2개 이상 가지는 유기 규소 화합물 등이 예시되는데, 이 첨가량은 통상의 실리콘 고무와 마찬가지로 하면 된다.As a hardening | curing agent which hardens a thermally conductive silicone rubber composition and uses it as a rubber elastic body, what is necessary is just the conventionally well-known thing normally used for hardening of silicone rubber, and this is di-t- butyl peroxide used for radical reaction, 2, 5- dimethyl-2. Organic peroxides such as, 5-di (t-butylperoxy) hexane and dicumylperoxide, and when the organopolysiloxane has an alkenyl group as an addition reaction curing agent, it contains two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms in one molecule. 2 or more hydrolyzable groups, such as an alkoxy group, an acetoxy group, a ketooxime group, and a propenoxy group, when organopolysiloxane contains a silanol group as a condensation reaction hardening | curing agent, and a condensation reaction hardening | curing agent. The organosilicon compound etc. which have a branch are illustrated, What is necessary is just to add this addition amount like a normal silicone rubber.

열전도성 실리콘 고무 조성물로서는 미러블 타입 실리콘 고무 조성물 및 액상 타입 실리콘 고무 조성물의 어느 것을 사용해도 된다. 작업성, 성형 가공성의 점에서 유기 과산화물 경화형 또는 부가 반응 경화형의 열전도성 실리콘 고무 조성물이 바람직하다.As the thermally conductive silicone rubber composition, any of a mirrorable type silicone rubber composition and a liquid type silicone rubber composition may be used. From the point of workability and moldability, an organic peroxide curable or addition reaction curable heat conductive silicone rubber composition is preferable.

열전도성 실리콘 고무의 경도에 관해서는, 30 이상 90 이하(JIS K6253에 규정된 타입A 듀로미터)인 것이 바람직하다. 또한 경도 40 이상 60 이하로 했을 때에, COF의 위치 어긋남이 저감되어, 고정밀 액정패널 용도로서는 특히 적합하다.The hardness of the thermally conductive silicone rubber is preferably 30 or more and 90 or less (type A durometer as defined in JIS K6253). Moreover, when the hardness is 40 or more and 60 or less, the position shift of COF is reduced and it is especially suitable as a high precision liquid crystal panel use.

기재 크로스에 대한 열전도 실리콘 수지의 적층 방법으로서는 나이프 코트법, 콤마 코트법, 캘린더 코트법 등을 들 수 있고, 연속적으로 코트와 소성을 행한다. 특히 캘린더 코트법에서는 무용제 코트가 가능하며, 유기 용제의 사용량을 삭감할 수 있다.As a lamination | stacking method of the thermally conductive silicone resin with respect to a base cross, the knife coat method, the comma coat method, the calender coat method, etc. are mentioned, A coating and baking are performed continuously. In particular, in the calender coating method, a solvent-free coating can be performed, and the amount of organic solvent used can be reduced.

열압착용 실리콘 고무 시트 전체의 두께는 0.1mm 이상 1mm 이하인 것이 바람직하다. 구조상 0.1mm 미만인 것을 제작하는 것은 어렵다. 또, 1mm를 넘으면 전체의 열전도율이 저하하기 때문에 압착기의 설정 온도를 높일 필요가 있고, 또 단위 길이당 질량이 무거워지기 때문에 작업성도 나빠져버린다.It is preferable that the thickness of the whole silicone rubber sheet for thermocompression bonding is 0.1 mm or more and 1 mm or less. It is difficult to manufacture a structure less than 0.1 mm. Moreover, when it exceeds 1 mm, since the whole heat conductivity falls, it is necessary to raise the set temperature of a crimping machine, and also the workability also worsens because the mass per unit length becomes heavy.

또한, 균일하게 압력을 전하는 수단으로서 내열 필름(예를 들면 폴리이미드 필름)에 열전도성 실리콘 고무층을 적층하는 것도 생각되는데, 프라이머 도포가 필요한 점, 적은 열압착 횟수로 필름이 변형하기 쉬운 점, 유리 크로스에 실리콘 수지를 눈먹임 처리한 기재 크로스보다 요철 흡수 능력이 떨어지는 점을 결점으로서 들 수 있다.It is also conceivable to laminate a thermally conductive silicone rubber layer on a heat resistant film (e.g., a polyimide film) as a means of uniformly conveying pressure, but it is necessary to apply a primer, the film is easily deformed with a small number of thermocompression bonding, and glass. The drawback is that the unevenness absorbing ability is lower than that of the base cross having a cross-treated silicone resin on the cross.

(실시예)(Example)

이하, 실시예 및 비교예를 들어, 본 발명을 구체적으로 설명하는데, 본 발명은 하기의 실시예에 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, although an Example and a comparative example are given and this invention is demonstrated concretely, this invention is not limited to the following Example.

〔실시예 1~4, 비교예 1~4〕[Examples 1-4, Comparative Examples 1-4]

(유리 크로스)(Glass cross)

표 1 및 2에 나타내는 바와 같이, 주상류 고압수 분사 개섬법에 의해 개섬 처리한 유리 크로스 및 미처리 평직물 유리 크로스를 각 종류 준비하고, 실리콘 눈먹임 처리는 이하의 순서로 실시했다.As shown in Tables 1 and 2, each type of glass crosses and untreated plain-woven glass crosses that were opened by the columnar high-pressure water jetting method were prepared, and the silicon eye treatment was performed in the following procedure.

(눈먹임 처리)(Eye treatment)

폴리메틸비닐실록산(디메틸실록산 단위 100몰에 대하여, 측쇄에 0.15몰의 비닐기를 가지는 것, 평균 중합도는 약5,000) 100질량부, 디메톡시디메틸실란 3질량부, 염산수(pH3.5) 1질량부, 닙실 VN3(니혼실리카코교사제 습식 실리카 상품명) 40질량부를 니더로 180℃, 1시간 가열 혼합했다. 얻어진 고무 컴파운드 100질량부를 크실렌 300질량부에 잘 용해시킨 후에, 1-에티닐-1-시클로헥산올 0.2질량부, 염화백금산의 비닐실록산 착체(백금 함유량 0.5질량%) 0.2질량부, 하기 식(III)으로 표시된 규소 원자에 직접 결합한 수소 원자를 가지는 디메틸폴리실록산 1.0질량부를 순차적으로 가하여 도공액을 얻었다.100 parts by mass of polymethylvinylsiloxane (having 0.15 moles of vinyl groups in the side chain to 100 moles of dimethylsiloxane, average polymerization degree of about 5,000), 3 parts by mass of dimethoxydimethylsilane, 1 part of hydrochloric acid (pH3.5) In addition, 40 mass parts of nipsil VN3 (wet silica brand made by Nippon Silica Co., Ltd.) was heated and mixed at 180 degreeC for 1 hour by kneader. After dissolving 100 mass parts of obtained rubber compounds well to 300 mass parts of xylene, 0.2 mass parts of 1-ethynyl- 1-cyclohexanol, 0.2 mass parts of vinylsiloxane complexes (platinum content 0.5 mass%) of a chloroplatinic acid, and the following formula ( 1.0 parts by mass of dimethylpolysiloxane having a hydrogen atom bonded directly to the silicon atom indicated by III) was sequentially added to obtain a coating liquid.

Figure pat00001
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이 도공액을 비닐트리메톡시실란 처리 유리 크로스에 연속적으로 딥코트하고, 150℃의 가열로 중을 5분간 통과시켜 경화시키고, 기재 크로스를 얻었다.This coating liquid was continuously dip-coated in the vinyl trimethoxysilane-treated glass cross, it was made to harden by passing through the inside of 150 degreeC heating furnace for 5 minutes, and the base material cross was obtained.

(열전도성 실리콘 고무 조성물의 배합)(Combination of Thermally Conductive Silicone Rubber Composition)

3종류의 폴리메틸비닐실록산(디메틸실록산 단위 100몰에 대하여, 말단에 0.025몰의 비닐기를 가지는 것, 측쇄에 0.15몰의 비닐기를 가지는 것, 측쇄에 0.5몰의 비닐기를 가지는 것, 평균 중합도는 모두 약5,000), 아세틸렌 블랙(평균 입경 35nm, BET 비표면적 130m2/g), 소수성 실리카(BET 비표면적 120m2/g), 산화세륨(BET 비표면적 140m2/g)을 2본롤로 배합하고, 혼련하여 고무 컴파운드를 얻었다. 각 성분의 배합량은 마무리 경도가 50, 열전도율은 모두 0.5W/mK가 되도록 조정했다.Three types of polymethylvinylsiloxane (having 0.025 mol of vinyl group at the terminal, 0.15 mol of vinyl group at the side chain, 0.5 mol of vinyl group at the side chain, and average degree of polymerization with respect to 100 mol of dimethylsiloxane units) About 5,000), acetylene black (average particle diameter 35nm, BET specific surface area 130m 2 / g), hydrophobic silica (BET specific surface area 120m 2 / g), cerium oxide (BET specific surface area 140m 2 / g) in combination with two rolls, The mixture was kneaded to obtain a rubber compound. The compounding quantity of each component was adjusted so that finishing hardness might be 50 and all thermal conductivity became 0.5 W / mK.

얻어진 컴파운드 100질량부에 톨루엔 300질량부를 가하여 균일하게 혼련 후에, 1-에티닐-1-시클로헥산올 0.2질량부, 염화백금산의 비닐실록산 착체(백금 함유량 0.5질량%) 0.2질량부, 상기 식(III)으로 표시된 규소 원자에 직접 결합한 수소 원자를 가지는 디메틸폴리실록산 1.0질량부를 순차적으로 가했다.0.2 mass parts of 1-ethynyl-1-cyclohexanol, 0.2 mass parts of vinylsiloxane complexes (platinum content 0.5 mass%) of 1-ethynyl- 1-cyclohexanol, and after mixing kneading | mixing uniformly by adding 300 mass parts of toluene to 100 mass parts of obtained compounds, the said formula ( 1.0 parts by mass of dimethylpolysiloxane having a hydrogen atom bonded directly to the silicon atom represented by III) was added sequentially.

(성형 조건)(Molding conditions)

다음에 나이프 코터를 사용하여, 기재 크로스와 열전도성 실리콘 고무층을 합친 두께가 0.25mm가 되도록 상기 컴파운드를 기재 크로스에 코팅하고, 160℃의 가열로 중을 5분간 통과시켜 경화시켰다(표 1 및 2에 있어서, 고무 적층이라고 기재).Next, using a knife coater, the compound was coated on the base cross such that the thickness of the base cross and the thermally conductive silicone rubber layer was 0.25 mm, and the mixture was cured by passing through a 160 ° C heating furnace for 5 minutes (Tables 1 and 2). In the rubber lamination).

또, 기재 크로스와 겹쳐서 사용하는 단층 실리콘 고무 시트는 동일하게 캘린더 성형기를 사용하여, 상기 컴파운드를 마무리 두께가 0.15mm가 되도록 PET 상에 전사하고, 160℃의 가열로 중을 5분간 통과시켜 경화시킨 후에 PET를 박리하여 얻었다. 이것을 기재 크로스에 접착하지 않고 겹쳤다(표 1 및 2에 있어서, 2매 사용이라고 기재).In addition, the single-layered silicone rubber sheet used to overlap with the base material cross was transferred to PET using a calender molding machine in the same manner so as to have a finish thickness of 0.15 mm, and cured by passing through a 160 ° C heating furnace for 5 minutes. After that, PET was peeled off. This was laminated | stacked without adhere | attaching on the base material cross (in Table 1 and 2, it describes using two sheets).

(감압지에 의한 평가)(Evaluation by pressure-sensitive paper)

가압시에 압력이 균등하게 걸리는지 평가하기 위해서, 평탄한 유리 기판 상에 감압지(후지필름사제 품명 프리스케일 중압용)를 두고, 그 위에 제작한 열압착용 실리콘 고무 시트를 유리 크로스면이 하방을 향하도록 하여 겹치고, 그 위로부터 상온의 가압 툴(단면 3mm×200mm)로 5MPa, 10초 가압했다. 감압지의 변색 상태를 육안에 의해 평가했다. 결과를 표 1 및 2에 나타낸다.In order to evaluate whether pressure is applied evenly at the time of pressurization, a pressure-sensitive paper (for product name Freescale medium pressure manufactured by FUJIFILM Corporation) was placed on a flat glass substrate, and the glass cross surface faced downward on the silicon rubber sheet for thermal compression produced thereon. It piled up so that 5 MPa and 10 second pressurization could be carried out by the pressurization tool (cross section 3mm * 200mm) of normal temperature from it. The discoloration state of the pressure-sensitive paper was evaluated visually. The results are shown in Tables 1 and 2.

(COF 압착에 의한 평가)(Evaluation by COF compression)

25μm 피치의 구리 전극을 설치한 유리 기판과 두께 35μm의 C0F로, 두께 22μm의 이방성 도전 접착 필름을 끼우고, 그 위에 제작한 열압착용 실리콘 고무 시트를 유리 크로스면이 하방을 향하도록 하여 겹치고, 추가로 그 위로부터 가열한 가압 툴(이방성 도전 접착 필름의 도달 온도가 180℃가 되도록 조정)로, 5MPa, 15초 압착하고, COF 말단의 전극이 압착 전후에 어느 정도 어긋나는지를 마이크로스코프에 의해 관찰했다. 압착에 따른 전극 어긋남의 정도를 A(5μm 미만), B(5μm 이상 10μm 미만), C(10μm 이상)로 평가했다.A glass substrate provided with a copper electrode having a 25 μm pitch and a C0F having a thickness of 35 μm are sandwiched with an anisotropic conductive adhesive film having a thickness of 22 μm, and the silicon rubber sheet for thermocompression bonding formed thereon is laminated so that the glass cross face faces downward, Furthermore, it presses by 5 MPa and 15 second by the pressurizing tool (adjusted so that the reaching temperature of an anisotropic conductive adhesive film may be 180 degreeC) heated from above, and observes by the microscope how much the electrode of the COF terminal shifts before and after crimping | compression-bonding. did. The degree of electrode shift along the crimp was evaluated by A (less than 5 µm), B (more than 5 µm and less than 10 µm), and C (more than 10 µm).

두께 50μm, 35μm의 유리 크로스층을 기재로 한 경우, 유리 크로스를 개섬 처리함으로써 COF 압착 테스트의 위치 어긋남이 개선되어, 고정밀 대응에 유효한 것이 나타났다. 결과를 표 1 및 2에 나타낸다.When the glass cross layer of 50 micrometers in thickness and 35 micrometers was used as a base material, the position shift of the COF crimping test was improved by opening the glass cross, and it was shown that it is effective for high precision. The results are shown in Tables 1 and 2.

실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 사용 얀Used yarn ECD450 1/0ECD450 1/0 ECD450 1/0ECD450 1/0 ECD450 1/0ECD450 1/0 ECD450 1/0ECD450 1/0 경사[개/25mm]Tilt [piece / 25mm] 6060 6060 6060 6060 위사[개/25mm]Weft [piece / 25mm] 6060 6060 6060 6060 두께[㎛]Thickness [㎛] 5050 5050 5050 5050 개섬 처리Open island treatment 있음has exist 있음has exist 없음none 없음none 공극도[%]Porosity [%] 33 33 2525 2525 눈먹임 수지Eye candy 실리콘silicon 실리콘silicon 실리콘silicon 실리콘silicon 고무 적층인가
2매 사용인가
With rubber lamination
Is it two pieces use
고무 적층Rubber lamination 2매 사용2 sheets 고무 적층Rubber lamination 2매 사용2 sheets
감압지 평가Pressure-sensitive paper evaluation 양호Good 양호Good 농담
(크로스눈 전사)
joke
(Cross-Eye Warrior)
농담
(크로스눈 전사)
joke
(Cross-Eye Warrior)
COF 압착 테스트COF Crimp Test A
(~5㎛ 미만)
A
(~ 5 μm)
A
(~5㎛ 미만)
A
(~ 5 μm)
B
(5~10㎛ 미만)
B
(Less than 5 ~ 10㎛)
C
(10㎛ 이상)
C
(More than 10㎛)

실시예 3Example 3 실시예 4Example 4 비교예 3Comparative Example 3 비교예 4Comparative Example 4 사용 얀Used yarn ECD900 1/0ECD900 1/0 ECD900 1/0ECD900 1/0 ECD900 1/0ECD900 1/0 ECD900 1/0ECD900 1/0 경사[개/25mm]Tilt [piece / 25mm] 5555 5555 5555 5555 위사[개/25mm]Weft [piece / 25mm] 5555 5555 5555 5555 두께[㎛]Thickness [㎛] 3535 3535 3535 3535 개섬 처리Open island treatment 있음has exist 있음has exist 없음none 없음none 공극도[%]Porosity [%] 1One 1One 2222 2222 눈먹임 수지Eye candy 실리콘silicon 실리콘silicon 실리콘silicon 실리콘silicon 고무 적층인가
2매 사용인가
With rubber lamination
Is it two pieces use
고무 적층Rubber lamination 2매 사용2 sheets 고무 적층Rubber lamination 2매 사용2 sheets
감압지 평가Pressure-sensitive paper evaluation 양호Good 양호Good 농담
(크로스눈 전사)
joke
(Cross-Eye Warrior)
농담
(크로스눈 전사)
joke
(Cross-Eye Warrior)
COF 압착 테스트COF Crimp Test A
(~5㎛ 미만)
A
(~ 5 μm)
A
(~5㎛ 미만)
A
(~ 5 μm)
B
(5~10㎛ 미만)
B
(Less than 5 ~ 10㎛)
B
(5~10㎛ 미만)
B
(Less than 5 ~ 10㎛)

11…기재 크로스
11a…유리 섬유
11b…실리콘 수지
12…열전도성 실리콘 고무층
11 ... Materials cross
11a... glass fiber
11b... Silicone resin
12... Thermally Conductive Silicone Rubber Layer

Claims (5)

열전도성 실리콘 고무층에 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스가 적층 일체화된 것을 특징으로 하는 열압착용 실리콘 고무 시트.A silicone rubber sheet for thermocompression bonding, wherein a glass cross processed flat or open to the heat conductive silicone rubber layer is laminated. 제 1 항에 있어서, 상기 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스가, 하기 식(I)으로 표시된 공극율로 10% 이하인 것을 특징으로 하는 열압착용 실리콘 고무 시트.
공극율=[(b1×b2)/(a1×a2)]×100 (I)
(식 중, a1은 인접하는 경사의 중심간 길이의 평균값(μm)을, a2는 인접하는 위사의 중심간 길이의 평균값(μm)을, b1은 인접하는 경사의 간극의 평균값(μm)을, b2는 인접하는 위사의 간극의 평균값(μm)을 나타낸다.)
The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 1, wherein the flat or opened glass cross is 10% or less at a porosity represented by the following formula (I).
Porosity = [(b 1 × b 2 ) / (a 1 × a 2 )] × 100 (I)
(Wherein a 1 is the mean value (μm) of the center-to-center length of adjacent warp yarns, a 2 is the mean value (μm) of the center-to-center length of adjacent weft yarns, and b 1 is the mean value (μm) of the gap between adjacent warp yarns. ), B 2 represents an average value (μm) of the gap between the adjacent weft yarns.)
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 유리 크로스가 실리콘 수지로 눈먹임 처리되고, 또한 적어도 그 일방의 면에 열전도성 실리콘 고무층이 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 열압착용 실리콘 고무 시트.The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 1 or 2, wherein the glass cross is blinded with a silicone resin, and a thermally conductive silicone rubber layer is laminated on at least one surface thereof. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 편평 또는 개섬 가공된 유리 크로스의 두께가 0.02mm 이상 0.1mm 이하인 것을 특징으로 하는 열압착용 실리콘 고무 시트.The thickness of the said flat or open-processed glass cross is 0.02 mm or more and 0.1 mm or less, The silicone rubber sheet for thermocompression bonding of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 열전도성 실리콘 고무층이 열전도율 0.3W/mK 이상 5W/mK 이하이며, 경도 30 이상 90 이하인 것을 특징으로 하는 열압착용 실리콘 고무 시트.The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 1 or 2, wherein the thermally conductive silicone rubber layer has a thermal conductivity of 0.3 W / mK or more and 5 W / mK or less and a hardness of 30 or more and 90 or less.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210103657A (en) * 2020-02-14 2021-08-24 실리콘밸리(주) silicone pad for hot press

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6136952B2 (en) * 2013-02-28 2017-05-31 信越化学工業株式会社 Thermally conductive composite silicone rubber sheet
CN103113846B (en) * 2013-03-12 2014-12-31 深圳市博恩实业有限公司 Heat-conducting silica gel sheet and manufacturing method thereof
CN104947349B (en) * 2015-06-09 2017-01-18 铜陵华洋特种线材有限责任公司 Manufacturing method for high-strength electronic grade glass fiber cloth
JP6780289B2 (en) * 2016-05-09 2020-11-04 信越化学工業株式会社 How to repair a box culvert
JP6539234B2 (en) * 2016-07-25 2019-07-03 富士高分子工業株式会社 Composite sheet and method for manufacturing the same
CN109844048B (en) * 2016-10-14 2021-10-15 信越化学工业株式会社 Heat-conductive composite silicone rubber sheet and method for producing same
JP6448736B2 (en) * 2017-09-28 2019-01-09 信越化学工業株式会社 Thermally conductive sheet
JP7149229B2 (en) * 2019-06-19 2022-10-06 信越化学工業株式会社 Thermal conductive composite silicone rubber sheet
JP6866916B2 (en) * 2019-11-13 2021-04-28 信越化学工業株式会社 Box culvert construction method and protective sheet
CN112992722B (en) * 2020-07-27 2023-04-25 重庆康佳光电技术研究院有限公司 Adapter plate, mass transfer method and Micro-LED display
CN115195230B (en) * 2022-07-12 2023-05-05 航天特种材料及工艺技术研究所 Broadband wave-absorbing and high-heat-conductivity flexible electromagnetic loss material and preparation method thereof

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3244187B2 (en) * 1992-01-20 2002-01-07 電気化学工業株式会社 Auxiliary sheet for thermocompression bonding
JP3894962B2 (en) * 1994-04-12 2007-03-22 株式会社東芝 Color picture tube
JP2001315248A (en) * 2000-05-01 2001-11-13 Chuko Kasei Kogyo Kk Composite sheet
JP2002249984A (en) * 2001-02-23 2002-09-06 Mitsubishi Rayon Co Ltd Rolled material of reinforcing fiber cloth, method and apparatus for producing the same
TWI228692B (en) * 2002-10-31 2005-03-01 Fuji Polymer Ind Dividing sheet for hot press bonding and manufacturing method thereof
JP3902558B2 (en) * 2003-03-07 2007-04-11 信越化学工業株式会社 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
WO2010103998A1 (en) * 2009-03-11 2010-09-16 信越化学工業株式会社 Connection sheet for solar battery cell electrode, process for manufacturing solar cell module, and solar cell module

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210103657A (en) * 2020-02-14 2021-08-24 실리콘밸리(주) silicone pad for hot press

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