JP6136952B2 - Thermally conductive composite silicone rubber sheet - Google Patents

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Description

本発明は、発熱性電子部品等の放熱用絶縁シートとして好適な、作業性、リワーク性、放熱特性に優れる熱伝導性複合シリコーンゴムシートに関する。   The present invention relates to a thermally conductive composite silicone rubber sheet excellent in workability, reworkability, and heat dissipation characteristics, which is suitable as an insulating sheet for heat dissipation of heat-generating electronic components and the like.

各種電子機器に使用されているパワートランジスタ、サイリスタ等の発熱性電子部品、及びIC,LSI,CPU,MPU等の集積回路素子は、熱の発生により特性が低下すること、また素子の寿命低下を招くことから、放熱を円滑に行うために、電子機器内での配置が考慮されている。その他に、特定の部品又は機器全体を冷却フィンで強制空冷したり、集積回路素子に対しては放熱用シート(以下、放熱シートという)を介して冷却部材や基板、筐体に熱を逃がしたりする等の考慮もなされている。   Heat-generating electronic components such as power transistors and thyristors used in various electronic devices, and integrated circuit elements such as IC, LSI, CPU, and MPU have characteristics that deteriorate due to the generation of heat, and also reduce the life of the elements. Therefore, in order to perform heat dissipation smoothly, arrangement in the electronic device is considered. In addition, specific components or the entire device can be forcibly air-cooled with cooling fins, or heat can be released to the cooling member, board, or housing via a heat dissipation sheet (hereinafter referred to as heat dissipation sheet) for integrated circuit elements. Consideration is also made.

しかし近年、パーソナルコンピュータに代表される電子機器の高集積化が進み、機器内の上記発熱性部品や集積回路素子の発熱量が増加するにつれて、従来の強制空冷方式や放熱シートではこれら部品や素子の冷却又は放熱が不十分な場合がある。特に、携帯可能なラップトップ型又はノートブック型のパーソナルコンピュータの場合は、強制空冷方式以外の冷却方法が必要になっている。また放熱シートについては、素子が形成されるプリント基板の材料には熱伝導性の劣るガラス補強エポキシ樹脂やポリイミド樹脂が使用されているので、従来の放熱シートでは素子で発生した熱を十分に基板に逃がすことができない。そこで素子の近傍に、自然冷却タイプ或いは強制冷却タイプの放熱フィン又はヒートパイプ等の放熱器を設置し、素子の発生熱を、放熱媒体を介して放熱器に伝え、放熱させる方式が採られている。   However, in recent years, as electronic devices typified by personal computers have been highly integrated and the heat generation amount of the heat generating components and integrated circuit elements in the devices has increased, these components and elements have been used in conventional forced air cooling systems and heat dissipation sheets. In some cases, cooling or heat dissipation is insufficient. In particular, in the case of a portable laptop or notebook personal computer, a cooling method other than the forced air cooling method is required. As for the heat dissipation sheet, glass reinforced epoxy resin or polyimide resin with poor thermal conductivity is used as the material of the printed circuit board on which the element is formed. Can't escape. Therefore, a heat sink such as a natural cooling type or forced cooling type heat sink or heat pipe is installed in the vicinity of the element, and the heat generated by the element is transmitted to the heat sink via a heat dissipation medium to dissipate heat. Yes.

この方式の放熱媒体として、素子と放熱器との間の熱伝導を良好にするために、放熱用熱伝導性グリースや厚さ0.2〜10.0mm程度の放熱シートが使用されている。放熱用熱伝導性グリースとしては、例えばシリコーンオイルにシリカファイバー、酸化亜鉛、窒化アルミニウム等の熱伝導性充填材を配合した熱伝導性シリコーングリースが知られている(特許文献1)が、オイルブリードの危険性があること、電子部品の組立作業性を低下させること、熱履歴により空隙が発生して熱伝導性が低下すること等、多くの不具合が発生していた。一方、放熱シートとしては、高充填、高硬度のシリコーンゴム層をガラスクロス等の布状補強材で補強したものが良く知られている(特許文献2)。この種の放熱シートはゴム層の硬度が高く、熱伝導を担うとともに、絶縁性を確保する役割も兼ね備えることができ、非常に重宝される。しかしながら、放熱シートは表面タックを殆ど有していないために、発熱体への実装固定が非常に困難であった。   In order to improve the heat conduction between the element and the radiator, a heat conductive grease for heat radiation or a heat radiating sheet having a thickness of about 0.2 to 10.0 mm is used as the heat radiating medium of this system. As a heat conductive grease for heat dissipation, for example, a heat conductive silicone grease in which a heat conductive filler such as silica fiber, zinc oxide, aluminum nitride or the like is blended with silicone oil is known (Patent Document 1). Many problems have occurred, such as the risk of such problems, the deterioration of the assembly workability of electronic components, the generation of voids due to the thermal history, and the decrease in thermal conductivity. On the other hand, as a heat-dissipating sheet, a well-filled, high-hardness silicone rubber layer reinforced with a cloth-like reinforcing material such as glass cloth is well known (Patent Document 2). This type of heat-dissipating sheet has a high hardness of the rubber layer, and is responsible for heat conduction and also has a role of ensuring insulation, which is very useful. However, since the heat radiating sheet has almost no surface tack, it is very difficult to mount and fix it to the heating element.

実装固定の作業性を向上させるために、高硬度の熱伝導性シリコーンゴムシートの片面又は両面に粘着剤層を設け、更に粘着剤層面を離型紙等の離型性保護シートで保護した放熱シートも市販されているが、これに用いられている粘着剤は熱伝導性がないため、複合品全体としての熱伝導率が低く、多くの場合、所望の放熱性能が得られなかった。更にまた、この複合型の放熱シートの場合は、粘着剤層の粘着力が所望の粘着力より強力であるため、実装の際、位置ずれが発生すると、リワークが困難であったり、リワークの際に粘着剤層が破壊されたりすることがあった。さらに、粘着層面の保護シートに離型剤処理が施す必要があり、コスト増の要因となっていた。   In order to improve the workability of mounting and fixing, a heat-dissipating sheet in which a pressure-sensitive adhesive layer is provided on one or both sides of a high-hardness heat-conductive silicone rubber sheet, and the pressure-sensitive adhesive layer surface is further protected by a releasable protective sheet such as release paper Although the pressure-sensitive adhesive used for this has no thermal conductivity, the composite product as a whole has a low thermal conductivity, and in many cases the desired heat dissipation performance could not be obtained. Furthermore, in the case of this composite heat radiating sheet, the adhesive strength of the adhesive layer is stronger than the desired adhesive strength. In some cases, the pressure-sensitive adhesive layer was destroyed. Furthermore, it was necessary to perform a release agent treatment on the protective sheet on the adhesive layer surface, which was a factor in increasing costs.

更にまた、前述のような補強材で補強された高硬度熱伝導性シリコーンゴムシートに低硬度の熱伝導性シリコーンゴム層を積層した放熱シートも開示されている(特許文献3)。しかしこの複合型の放熱シートの場合は、製造上の問題から全体の厚さが0.45mm未満のものが得られないため、低硬度シリコーンゴム層自体はたとえ良好な高熱伝導率を持っていても複合品全体として薄いものが得られず、熱抵抗が大きくなるという欠点があった。また、従来の複合型放熱シートの場合は、一般的に低硬度シートの作業性改善のために、高硬度シートを積層することを主としており、厚い低硬度層と薄い高硬度層で構成されていた。しかしながらこの構成の場合、低硬度層が圧力により圧縮変形するため、スペースの保証による絶縁保証が困難になる場合があった。   Furthermore, a heat-dissipating sheet in which a low-hardness heat conductive silicone rubber layer is laminated on a high-hardness heat-conductive silicone rubber sheet reinforced with a reinforcing material as described above is also disclosed (Patent Document 3). However, in the case of this composite type heat radiation sheet, since the total thickness is less than 0.45 mm due to manufacturing problems, the low hardness silicone rubber layer itself has good high thermal conductivity. However, the composite product as a whole cannot be thinned, and the thermal resistance is increased. In the case of a conventional composite heat dissipation sheet, generally, a high-hardness sheet is mainly laminated to improve the workability of the low-hardness sheet, and is composed of a thick low-hardness layer and a thin high-hardness layer. It was. However, in this configuration, since the low hardness layer is compressively deformed by pressure, it may be difficult to ensure insulation by ensuring space.

さらに、従来の積層タイプのシートの製造においては、強固な密着を達成し、層間の剥離を防止するため、接着助剤の添加や、プライマーの塗布が必要であった。しかしながら、これらの方法は製造プロセスが煩雑化でコスト上昇を招き、また、得られたシートは、経時反応による物性の経時変化を招いてしまう欠点があった。   Furthermore, in the production of a conventional laminated type sheet, it is necessary to add an adhesion assistant or apply a primer in order to achieve strong adhesion and prevent delamination. However, these methods have the disadvantage that the manufacturing process is complicated and the cost is increased, and the obtained sheet has a change in physical properties due to the reaction with time.

特公昭57-36302号公報Japanese Patent Publication No.57-36302 特開昭56-161140号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 56-161140 特開平06-155517号公報Japanese Patent Laid-Open No. 06-155517

以上のように高硬度の放熱シートは、その強度により、放熱性に加え、絶縁信頼性に優れるが、実装作業性に不利であった。また、実装作業性を向上させるために粘着剤層を設けると、放熱性、リワーク性が低下し、コスト増になるという問題点があった。また、低硬度・高硬度の複合シートにおいては、その構成から、薄膜化が困難であったり、高圧力下でのスペース保証や絶縁保証が困難であったりした。また、製造プロセスが煩雑になり、経時変化が抑制できない欠点があった。
従って本発明の課題は、熱伝導性、強度、絶縁性に優れ、かつ実装作業性、リワーク性、長期安定性にも優れた放熱シートを、低コストかつ簡易な製造プロセスで提供することにある。
As described above, the heat-dissipating sheet having a high hardness is excellent in insulation reliability in addition to heat dissipation due to its strength, but is disadvantageous in mounting workability. Further, when an adhesive layer is provided to improve the mounting workability, there is a problem that heat dissipation and reworkability are lowered and the cost is increased. In addition, the low-hardness / high-hardness composite sheet is difficult to reduce in thickness due to its structure, and it is difficult to guarantee space and insulation under high pressure. In addition, the manufacturing process is complicated, and there is a drawback that the change with time cannot be suppressed.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a heat-dissipating sheet that is excellent in thermal conductivity, strength, and insulation, and excellent in mounting workability, reworkability, and long-term stability by a low-cost and simple manufacturing process. .

斯かる実情に鑑み本発明者は鋭意研究を行った結果、熱伝導性充填材を含有し、デュロメータA硬度が60〜100であり、かつ表面非粘着性である、厚い高硬度・非粘着熱伝導性ゴム層と、熱伝導性充填剤を含有し、アスカーC硬度が2〜40であり、且つ表面微粘着性である、薄い熱伝導性シリコーンゴム層を、熱伝導材料で目止めされた網目状補強材を介して積層することで、作業性、熱伝導性、リワーク性、絶縁保証性、長期信頼性に優れた片面微粘着の熱伝導性シリコーンゴムシートが簡易な製造プロセスで得られることを見出し、本発明に到達した。   In view of such circumstances, the inventor has conducted intensive research. As a result, the present inventors have included a thermally conductive filler, have a durometer A hardness of 60 to 100, and have a non-sticky surface. A thin heat-conductive silicone rubber layer containing a conductive rubber layer and a heat-conductive filler, having an Asker C hardness of 2 to 40, and having a slight surface adhesion, was sealed with a heat-conductive material. By laminating via a mesh reinforcement, a single-sided slightly-adhesive thermally conductive silicone rubber sheet with excellent workability, thermal conductivity, reworkability, insulation assurance, and long-term reliability can be obtained with a simple manufacturing process. The present invention has been found.

すなわち本発明は、
(X)高硬度・非粘着熱伝導性ゴム層
熱伝導性充填材を含有し、デュロメータA硬度が60〜100であり、かつ表面非粘着性である熱伝導性シリコーンゴム層 0.05〜0.9mm
および
(Y)低硬度・微粘着熱伝導性ゴム層
熱伝導性充填剤を含有し、アスカーC硬度が2〜40であり、且つ表面微粘着性である熱伝導性シリコーンゴム層 0.01〜0.2mm

(Z)熱伝導材料で目止めされた網目状補強材 0.015〜0.2mm
を介して積層して成る熱伝導性シリコーンゴムシートであり、ソルダペースト粘着力試験器を用いて定圧侵入方式により測定した粘着力が、(X)層側:10gf未満、(Y)層側:10〜100gfである熱伝導性複合シリコーンゴムシートを提供するものである。
That is, the present invention
(X) High hardness / non-adhesive heat conductive rubber layer A heat conductive silicone rubber layer containing a heat conductive filler, having a durometer A hardness of 60 to 100, and having a non-sticky surface 0.05 to 0 .9mm
And (Y) low-hardness / slightly-adhesive heat conductive rubber layer, a heat-conductive silicone rubber layer containing a heat-conductive filler, having an Asker C hardness of 2 to 40, and having a slightly surface adhesiveness 0.01- 0.2mm
(Z) A mesh-like reinforcing material sealed with a heat conductive material 0.015-0.2 mm
Is a thermally conductive silicone rubber sheet laminated through the adhesive strength measured by a constant pressure penetration method using a solder paste adhesion tester (X) layer side: less than 10 gf, (Y) layer side: The present invention provides a thermally conductive composite silicone rubber sheet that is 10 to 100 gf.

本発明の熱伝導性複合シリコーンゴムシートは、熱伝導材料で目止めされた網目状補強材を有し、かつ高硬度・高強度で非粘着性の熱伝導性シリコーンゴム層を有することで、作業性、絶縁保証性、熱伝導性に優れる。さらに薄膜、低硬度で微粘着性の熱伝導性シリコーンゴム層が積層されることにより、作業性、絶縁保証性が犠牲にされることなく、良好な接触により熱伝導性が向上し、微粘着による作業性、リワーク性が付与されたシートとなる。また、目止めされた網目状補強材を介してゴム層を積層することで、接触面積が顕著に増大し、良好な密着を実現する。そのため、従来の積層シートで必要であった、接着助剤やプライマーを使用することなく、剥離を防止することができ、その結果、低コストかつ簡便な工程での製造が可能となり、製品特性も長期的に安定したものとなる。   The thermally conductive composite silicone rubber sheet of the present invention has a mesh-like reinforcing material sealed with a thermally conductive material, and has a non-adhesive thermally conductive silicone rubber layer with high hardness and high strength, Excellent workability, insulation guarantee, and thermal conductivity. Furthermore, by laminating a thin, low-hardness, low-adhesion, heat-conductive silicone rubber layer, the thermal conductivity is improved by good contact without sacrificing workability and insulation assurance, resulting in fine adhesion. The sheet is provided with workability and reworkability. Further, by laminating the rubber layer via the mesh-like reinforcing material that is sealed, the contact area is remarkably increased and good adhesion is realized. Therefore, it is possible to prevent peeling without using an adhesion aid or primer, which is necessary for conventional laminated sheets, and as a result, it is possible to manufacture at low cost and in a simple process, and product characteristics are also improved. It will be stable over the long term.

以下本発明を詳細に説明する。
本発明において、熱伝導性シリコーンゴム層は、(a)オルガノポリシロキサン、(b)硬化剤、(c)熱伝導性充填剤を含む組成物を硬化させてなるシリコーンゴム層であることが好ましい。
The present invention will be described in detail below.
In the present invention, the thermally conductive silicone rubber layer is preferably a silicone rubber layer obtained by curing a composition containing (a) an organopolysiloxane, (b) a curing agent, and (c) a thermally conductive filler. .

(X)高硬度・非粘着熱伝導性ゴム層
本発明の高硬度・非粘着熱伝導性ゴム層は、(Xa)オルガノポリシロキサン、(Xb)硬化剤、(Xc)熱伝導性充填剤を含む組成物を硬化させてなり、デュロメータA硬度が60〜100であり、かつ表面非粘着性であるシリコーンゴム層である。
(X) High hardness / non-adhesive thermally conductive rubber layer The high hardness / non-adhesive thermally conductive rubber layer of the present invention comprises (Xa) organopolysiloxane, (Xb) curing agent, and (Xc) thermally conductive filler. It is a silicone rubber layer which is obtained by curing a composition containing it, has a durometer A hardness of 60 to 100, and is non-sticky to the surface.

[(Xa)オルガノポリシロキサン]
(Xa)成分のオルガノポリシロキサンは、平均組成式:R1 aSiO(4-a)/2(式中、R1は同一または異なる置換または非置換の炭素原子数1〜10、好ましくは1から8の1価炭化水素基を表わし、aは1.90〜2.05の正数である)で表わされるものである。
上記R1としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、オクタデシル基等のアルキル基; シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基; フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基; ベンジル基、フェネチル基、3−フェニルプロピル基等のアラルキル基; 3,3,3−トリフルオロプロピル基、3−クロロプロピル基等のハロゲン化アルキル基; ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基等のアルケニル基等が挙げられる。
[(Xa) Organopolysiloxane]
The organopolysiloxane of component (Xa) has an average composition formula: R 1 a SiO (4-a) / 2 (wherein R 1 is the same or different substituted or unsubstituted carbon atoms of 1 to 10, preferably 1, To a monovalent hydrocarbon group of 8 and a is a positive number of 1.90 to 2.05).
Examples of R 1 include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, and octadecyl group; cyclopentyl group, cyclohexyl group Cycloalkyl groups such as phenyl groups, tolyl groups, xylyl groups, naphthyl groups, etc .; aralkyl groups such as benzyl groups, phenethyl groups, 3-phenylpropyl groups; 3,3,3-trifluoropropyl groups, 3 -Halogenated alkyl groups such as chloropropyl group; and alkenyl groups such as vinyl group, allyl group, butenyl group, pentenyl group and hexenyl group.

この(Xa)成分のオルガノポリシロキサンとしては、一般的には、主鎖がジメチルシロキサン単位からなるもの、または、前記主鎖のメチル基の一部がビニル基、フェニル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等で置き換えられたものが好ましい。また、その分子鎖末端が、トリオルガノシリル基または水酸基で封鎖されたものが好ましく、前記トリオルガノシリル基としては、トリメチルシリル基、ジメチルビニルシリル基、トリビニルシリル基等が例示される。   As the organopolysiloxane of the component (Xa), generally, the main chain is composed of dimethylsiloxane units, or a part of the methyl groups in the main chain is vinyl group, phenyl group, 3, 3, 3 -Those substituted with a trifluoropropyl group or the like are preferable. Further, those having molecular chain ends blocked with a triorganosilyl group or a hydroxyl group are preferred, and examples of the triorganosilyl group include a trimethylsilyl group, a dimethylvinylsilyl group, and a trivinylsilyl group.

また、(Xa)成分の重合度は、20〜12,000が好ましく、特に50〜10,000の範囲とすることが好ましい。(Xa)成分はオイル状であってもガム状であってもよく、成形方法等にしたがって選択すればよい。   Further, the degree of polymerization of the component (Xa) is preferably 20 to 12,000, and particularly preferably in the range of 50 to 10,000. The component (Xa) may be oily or gum-like, and may be selected according to a molding method or the like.

下記(Xb)成分の硬化剤が、オルガノハイドロジェンポリシロキサンおよび白金系触媒を含む付加反応硬化型のものである場合、(Xa)成分のオルガノポリシロキサンは、ケイ素原子結合アルケニル基を1分子中に2個以上、好ましくは3個以上有するオルガノポリシロキサンである。ケイ素原子結合アルケニル基の含有量が上記範囲の下限未満であると、得られる組成物が十分に硬化しなくなる。また、ケイ素原子に結合する上記アルケニル基としてはビニル基が好ましい。アルケニル基は、分子鎖末端および側鎖のいずれか一方または両方にあればよく、少なくとも1個のアルケニル基が分子鎖末端のケイ素原子に結合していることが好ましい。
この場合の具体例としては、例えば、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルビニルポリシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチルビニルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン等を挙げることができる。これらは1種単独でも2種以上組み合わせても使用することができる。
When the curing agent of the following component (Xb) is an addition reaction curing type containing an organohydrogenpolysiloxane and a platinum catalyst, the organopolysiloxane of the component (Xa) has a silicon atom-bonded alkenyl group in one molecule. 2 or more, preferably 3 or more. When the content of the silicon atom-bonded alkenyl group is less than the lower limit of the above range, the resulting composition will not be sufficiently cured. The alkenyl group bonded to the silicon atom is preferably a vinyl group. The alkenyl group may be at one or both of the molecular chain terminal and the side chain, and it is preferable that at least one alkenyl group is bonded to the silicon atom at the molecular chain terminal.
Specific examples in this case include, for example, a trimethylsiloxy group-capped dimethylsiloxane / methylvinylsiloxane copolymer at both ends of a molecular chain, a trimethylsiloxy group-capped methylvinylpolysiloxane at both ends of a molecular chain, and a trimethylsiloxy group-capped dimethyl at both molecular chains. Siloxane / methylvinylsiloxane / methylphenylsiloxane copolymer, dimethylpolysiloxane blocked with dimethylvinylsiloxy group at both ends of molecular chain, dimethylvinylsiloxy group-blocked methylvinylpolysiloxane with molecular chain at both ends, dimethylvinylsiloxy group-blocked dimethyl with molecular chain at both ends Siloxane / methylvinylsiloxane copolymer, dimethylvinylsiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylvinylsiloxane / methylphenylsiloxane copolymer, both ends of molecular chain Alkoxy group-blocked dimethylpolysiloxane and the like. These can be used singly or in combination of two or more.

下記(Xb)成分の硬化剤が有機過酸化物である場合、(Xa)成分のオルガノポリシロキサンは、特に限定されないが、1分子中に少なくとも2個の上記アルケニル基を有するものが好ましい。
この場合の具体例としては、例えば、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端メチルフェニルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチル(3,3,3-トリフルオロプロピル)ポリシロキサン、分子鎖両末端シラノール基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端シラノール基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体等が挙げられる。これらは1種単独でも2種以上組み合わせても使用することができる。
When the curing agent of the following component (Xb) is an organic peroxide, the organopolysiloxane of the component (Xa) is not particularly limited, but preferably has at least two alkenyl groups in one molecule.
Specific examples of this case include, for example, molecular chain both ends dimethylvinylsiloxy group-capped dimethylpolysiloxane, molecular chain both ends methylphenylvinylsiloxy group-capped dimethylpolysiloxane, molecular chain both ends dimethylvinylsiloxy group-capped dimethylsiloxane and methyl. Phenylsiloxane copolymer, dimethylvinylsiloxy group-blocked dimethylvinylsiloxy group at both ends of the molecular chain, trimethylsiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylvinylsiloxane copolymer at both ends of the molecular chain, dimethylvinylsiloxy at both ends of the molecular chain Blocked methyl (3,3,3-trifluoropropyl) polysiloxane, molecular chain both ends silanol-blocked dimethylsiloxane / methylvinylsiloxane copolymer, molecular chain both ends silanol-blocked dimethylsiloxane Examples thereof include methyl vinyl siloxane / methyl phenyl siloxane copolymer. These can be used singly or in combination of two or more.

[(Xb)硬化剤]
(Xb)成分がヒドロシリル化反応硬化剤である場合、前記硬化剤は、1分子中にケイ素原子結合水素原子を平均2個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンと白金系触媒からなるものである。前記オルガノハイドロジェンポリシロキサンは、アルケニル基を有する(Xa)成分に付加反応する架橋剤として機能するものである。
このオルガノハイドロジェンポリシロキサンの具体例としては、例えば、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖メチルフェニルポリシロキサン等が挙げられる。(Xb)成分は1種単独でも2種以上組み合わせても使用することができる。
[(Xb) curing agent]
When the component (Xb) is a hydrosilylation reaction curing agent, the curing agent is composed of an organohydrogenpolysiloxane having an average of two or more silicon-bonded hydrogen atoms in one molecule and a platinum-based catalyst. The organohydrogenpolysiloxane functions as a crosslinking agent that undergoes an addition reaction with the component (Xa) having an alkenyl group.
Specific examples of the organohydrogenpolysiloxane include, for example, molecular chain both ends trimethylsiloxy group-blocked methylhydrogenpolysiloxane, molecular chain both ends trimethylsiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylhydrogensiloxane copolymer, both molecular chains Terminal trimethylsiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylhydrogensiloxane / methylphenylsiloxane copolymer, molecular chain both ends dimethylhydrogensiloxy group-blocked dimethylpolysiloxane, molecular chain both ends dimethylhydrogensiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylhydrogen Siloxane copolymer, dimethylhydrogensiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylphenylsiloxane copolymer, both ends of molecular chain dimethylhydro Enshirokishi groups at methylphenyl polysiloxane and the like. The component (Xb) can be used alone or in combination of two or more.

本組成の複合シートの外層を構成する組成物において、このオルガノハイドロジェンポリシロキサンの含有量は、通常、(Xa)成分中のケイ素原子結合アルケニル基1モルに対して、本成分中のケイ素原子結合水素原子が、通常、0.1〜4.0モル、好ましくは0.3〜2.0モルとなる量である。本成分の含有量が少なすぎると得られるシリコーンゴム組成物が十分に硬化しなくなることがあり、一方、多すぎると得られるシリコーンゴムが非常に硬質となり、表面に多数のクラックを生じるなどの問題が発生することがある。   In the composition constituting the outer layer of the composite sheet of this composition, the content of this organohydrogenpolysiloxane is usually silicon atoms in this component with respect to 1 mol of silicon atom-bonded alkenyl groups in component (Xa). The amount of bonded hydrogen atoms is usually 0.1 to 4.0 mol, preferably 0.3 to 2.0 mol. If the content of this component is too low, the resulting silicone rubber composition may not be sufficiently cured, while if it is too high, the resulting silicone rubber will be very hard and cause many cracks on the surface. May occur.

オルガノハイドロジェンポリシロキサンとともに用いられる白金系触媒は本組成物の硬化を促進するための触媒であり、例えば、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、白金のオレフィン錯体、白金のアルケニルシロキサン錯体、白金のカルボニル錯体等が挙げられる。本組成物において、白金系触媒の含有量は、特に限定されず、触媒としての有効量でよいが、(Xa)成分に対して本成分中の白金金属が質量単位で、通常、0.01〜1,000ppmとなる量であり、好ましくは、0.1〜500ppmとなる量である。本成分の含有量が少なすぎると得られるシリコーンゴム組成物が十分に硬化しなくなることがあり、一方、多量に使用しても得られるシリコーンゴム組成物の硬化速度は向上せず、経済的に不利となることがある。   The platinum-based catalyst used together with the organohydrogenpolysiloxane is a catalyst for accelerating the curing of the composition. For example, chloroplatinic acid, an alcohol solution of chloroplatinic acid, an olefin complex of platinum, an alkenylsiloxane complex of platinum, Examples include platinum carbonyl complexes. In the present composition, the content of the platinum-based catalyst is not particularly limited and may be an effective amount as a catalyst. However, the platinum metal in this component is in mass units with respect to the component (Xa), usually 0.01. It is the quantity which becomes -1,000 ppm, Preferably, it is the quantity which becomes 0.1-500 ppm. If the content of this component is too small, the resulting silicone rubber composition may not be cured sufficiently, while the curing rate of the resulting silicone rubber composition does not improve even when used in a large amount. It may be disadvantageous.

(Xb)成分の硬化剤が有機過酸化物である場合、前記有機過酸化物としては、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、ジ−t−ブチルパーオキサイド、t−ブチルパーベンゾエート等が挙げられる。これらは1種単独でも2種以上組み合わせても使用することができる。この有機過酸化物の添加量は、上記(Xa)成分のオルガノポリシロキサン100質量部に対して、通常、0.1〜5質量部の範囲内となる量であることが好ましい。   When the curing agent for the component (Xb) is an organic peroxide, examples of the organic peroxide include benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-bis (t-butyl). Peroxy) hexane, di-t-butyl peroxide, t-butyl perbenzoate and the like. These can be used singly or in combination of two or more. The amount of the organic peroxide added is preferably an amount that usually falls within the range of 0.1 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the organopolysiloxane as the component (Xa).

[(Xc)熱伝導性充填剤]
(Xc)成分の熱伝導性充填剤としては、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化ケイ素、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素等の無機粉末が、好適に例示される。(Xc)成分は、1種単独でも2種以上を組み合わせても使用することができる。
この(Xc)成分の平均粒径は、好ましくは50μm以下、より好ましくは20μm以下である。
[(Xc) Thermally conductive filler]
As the thermally conductive filler of the component (Xc), inorganic powders such as aluminum oxide, zinc oxide, silicon oxide, silicon carbide, aluminum nitride, and boron nitride are preferably exemplified. Component (Xc) can be used alone or in combination of two or more.
The average particle diameter of this (Xc) component becomes like this. Preferably it is 50 micrometers or less, More preferably, it is 20 micrometers or less.

また、この(Xc)成分の配合量は、(Xa)成分100質量部に対して、通常、100〜1,800質量部、特に200〜1,600質量部の範囲が好ましい。前記配合量が少なすぎると熱伝導性が不十分なものとなり易く、一方、多すぎると(Xc)成分の組成物中への均一な配合が困難になるとともに成形加工性が悪くなってしまうことがある。   Moreover, the compounding quantity of this (Xc) component is 100-100 mass parts normally with respect to 100 mass parts of (Xa) component, Especially the range of 200-1,600 mass parts is preferable. If the amount is too small, the thermal conductivity tends to be insufficient. On the other hand, if the amount is too large, uniform blending of the component (Xc) into the composition becomes difficult and the molding processability deteriorates. There is.

本ゴム層の硬度は、デュロメータA硬度で60〜100、より好ましくは70〜95である。硬度が60未満であると、強度が低下し、スペース保証が困難になる。硬度が100より高くなると、ゴム層が脆くなり、曲げや折れに対応できない恐れがある。
本ゴム層の厚さは、0.05〜0.9mmの範囲である。0.05mm未満ではシートの表面精度が悪くなる場合がある。一方で、厚さが0.9mm以上では、熱伝導性能が低下する。
The rubber layer has a durometer A hardness of 60 to 100, more preferably 70 to 95. When the hardness is less than 60, the strength is lowered and it is difficult to guarantee the space. If the hardness is higher than 100, the rubber layer becomes brittle and may not be able to cope with bending and bending.
The thickness of the rubber layer is in the range of 0.05 to 0.9 mm. If it is less than 0.05 mm, the surface accuracy of the sheet may deteriorate. On the other hand, when the thickness is 0.9 mm or more, the heat conduction performance is lowered.

本ゴム層の粘着力は、ソルダペースト粘着力試験器を用いて定圧侵入方式により測定した粘着力が、10gf未満、より好ましくは5gf未満である。粘着力が10gf以上になると、実装時にべたつきや貼りつきが発生し、実装作業性が悪くなることがある。
本ゴム層の粘着力を10gf未満とするには、表面タックが発生しないよう、ゴム層の硬度を高くする、粒子径の大きいフィラーを含有させることでフィラーを一部ゴム層から露出させる、表面に打粉処理を行う等の処理を行えばよい。
The adhesive strength of this rubber layer is less than 10 gf, more preferably less than 5 gf, as measured by a constant pressure penetration method using a solder paste adhesive strength tester. If the adhesive strength is 10 gf or more, stickiness or sticking may occur during mounting, and mounting workability may deteriorate.
In order to reduce the adhesive strength of the rubber layer to less than 10 gf, the surface of the rubber layer is partially exposed by increasing the hardness of the rubber layer so as not to cause surface tack, and by containing a filler having a large particle size. For example, a dusting process may be performed.

(Y)低硬度・微粘着熱伝導性ゴム層
本発明の低硬度・微粘着熱伝導性ゴム層は、(Ya)オルガノポリシロキサン、(Yb)硬化剤、(Yc)熱伝導性充填剤を含む組成物を硬化させてなり、アスカーC硬度が2〜40であり、且つ表面微粘着性であるシリコーンゴム層である。
(Y) Low Hardness / Slightly Adhesive Thermally Conductive Rubber Layer The low hardness / slightly adhesive thermally conductive rubber layer of the present invention comprises (Ya) an organopolysiloxane, (Yb) a curing agent, and (Yc) a thermally conductive filler. A silicone rubber layer having a Asker C hardness of 2 to 40 and a slightly sticky surface is obtained by curing the composition.

[(Ya)オルガノポリシロキサン]
(Ya)成分のオルガノポリシロキサンは、平均組成式:R2 bSiO(4-b)/2(式中、R2は同一または異なる置換または非置換の炭素原子数1〜10、好ましくは1から8の1価炭化水素基を表わし、bは1.90〜2.05の正数である)で表わされるものである。
上記R2としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、オクタデシル基等のアルキル基;シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基、3−フェニルプロピル基等のアラルキル基;3,3,3−トリフルオロプロピル基、3−クロロプロピル基等のハロゲン化アルキル基;ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基等のアルケニル基等が挙げられる。
[(Ya) Organopolysiloxane]
The organopolysiloxane of the (Ya) component has an average composition formula: R 2 b SiO (4-b) / 2 (wherein R 2 is the same or different substituted or unsubstituted C 1-10, preferably 1 To 8 monovalent hydrocarbon groups, and b is a positive number of 1.90 to 2.05).
Examples of R 2 include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, octadecyl group; cyclopentyl group, cyclohexyl group Cycloalkyl groups such as phenyl groups, tolyl groups, xylyl groups, naphthyl groups and the like; aralkyl groups such as benzyl groups, phenethyl groups and 3-phenylpropyl groups; 3,3,3-trifluoropropyl groups, 3 -Halogenated alkyl groups such as chloropropyl group; alkenyl groups such as vinyl group, allyl group, butenyl group, pentenyl group, hexenyl group and the like.

この(Ya)成分のオルガノポリシロキサンとしては、一般的には、主鎖がジメチルシロキサン単位からなるもの、または、前記主鎖のメチル基の一部がビニル基、フェニル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等で置き換えられたものが好ましい。また、その分子鎖末端が、トリオルガノシリル基または水酸基で封鎖されたものが好ましく、前記トリオルガノシリル基としては、トリメチルシリル基、ジメチルビニルシリル基、トリビニルシリル基等が例示される。   As the organopolysiloxane of this (Ya) component, generally, the main chain is composed of dimethylsiloxane units, or a part of the methyl group of the main chain is vinyl group, phenyl group, 3, 3, 3 -Those substituted with a trifluoropropyl group or the like are preferable. Further, those having molecular chain ends blocked with a triorganosilyl group or a hydroxyl group are preferred, and examples of the triorganosilyl group include a trimethylsilyl group, a dimethylvinylsilyl group, and a trivinylsilyl group.

また、(Ya)成分の重合度は、10〜1,500が好ましく、特に20〜1,000の範囲が好ましい。重合度が1,500を超えると、組成物の流動性が悪くなる。(Ya)成分は、オイル状であることが好ましい。   Further, the degree of polymerization of the (Ya) component is preferably 10 to 1,500, and particularly preferably 20 to 1,000. When the degree of polymerization exceeds 1,500, the fluidity of the composition becomes poor. The (Ya) component is preferably oily.

(Ya)成分のオルガノポリシロキサンは、ケイ素原子結合アルケニル基を1分子中に平均して0.5個以上、好ましくは2個以上有するオルガノポリシロキサンである。このアルケニル基は硬化時に架橋点となるため、基本的にはアルケニル基を1分子中に2個以上含んでいる分子がないと組成物は硬化しない。したがって、ここでいうアルケニル基の数は、(Ya)成分が1分子中にアルケニル基を0、1、2個またはそれ以上含んでいる分子の混合物である場合の平均的なアルケニル基の数であり、(Ya)成分の分子間のアルケニル基の分布が均一化されている場合には、1分子中にアルケニル基を2個以上含んでいることが必要である。   The organopolysiloxane of the (Ya) component is an organopolysiloxane having an average of 0.5 or more, preferably 2 or more, silicon atom-bonded alkenyl groups in one molecule. Since this alkenyl group becomes a cross-linking point at the time of curing, basically, the composition does not cure unless there is a molecule containing two or more alkenyl groups in one molecule. Therefore, the number of alkenyl groups referred to here is the average number of alkenyl groups when the (Ya) component is a mixture of molecules containing 0, 1, 2, or more alkenyl groups in one molecule. Yes, when the distribution of alkenyl groups between molecules of the (Ya) component is uniform, it is necessary that one molecule contains two or more alkenyl groups.

ケイ素原子結合アルケニル基の含有量が上記範囲の下限未満であると、得られる組成物が十分に硬化しなくなる。また、ケイ素原子に結合する上記アルケニル基としてはビニル基が好ましい。アルケニル基は、分子鎖末端および側鎖のいずれか一方または両方にあればよく、少なくとも1個のアルケニル基が分子鎖末端のケイ素原子に結合していることが好ましい。
この場合の具体例としては、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルビニルポリシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチルビニルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン等を挙げることができる。これらは1種単独でも2種以上組み合わせても使用することができる。
When the content of the silicon atom-bonded alkenyl group is less than the lower limit of the above range, the resulting composition will not be sufficiently cured. The alkenyl group bonded to the silicon atom is preferably a vinyl group. The alkenyl group may be at one or both of the molecular chain terminal and the side chain, and it is preferable that at least one alkenyl group is bonded to the silicon atom at the molecular chain terminal.
Specific examples of this case include a trimethylsiloxy group-capped dimethylsiloxane / methylvinylsiloxane copolymer at both ends of a molecular chain, a trimethylsiloxy group-capped methylvinylpolysiloxane at both ends of a molecular chain, a trimethylsiloxy group-capped dimethylsiloxane at both ends of a molecular chain, Methyl vinyl siloxane / methyl phenyl siloxane copolymer, molecular chain both ends dimethyl vinyl siloxy group blocked dimethyl polysiloxane, molecular chain both ends dimethyl vinyl siloxy group blocked methyl vinyl polysiloxane, molecular chain both ends dimethyl vinyl siloxy group blocked dimethyl siloxane Methyl vinyl siloxane copolymer, both ends of molecular chain dimethyl vinyl siloxy group blocked dimethyl siloxane / methyl vinyl siloxane / methyl phenyl siloxane copolymer, both ends of molecular chain trivinyl siloxy group Chain dimethyl polysiloxane and the like. These can be used singly or in combination of two or more.

[(Yb)硬化剤]
(Yb)硬化剤は、1分子中にケイ素原子結合水素原子を平均2個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンと白金系触媒からなるものである。該オルガノハイドロジェンポリシロキサンは、アルケニル基を有する(Ya)成分に付加反応する架橋剤として機能するものである。
このオルガノハイドロジェンポリシロキサンの具体例としては、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖メチルフェニルポリシロキサン等が挙げられる。(Yb)成分は1種単独でも2種以上組み合わせても使用することができる。
本組成物において、このオルガノハイドロジェンポリシロキサンの含有量は、通常、(Ya)成分中のケイ素原子結合アルケニル基1モルに対して、本成分中のケイ素原子結合水素原子が、通常、0.1〜2.0モル、好ましくは0.3〜1.5モルとなる量である。本成分の含有量が少なすぎると得られるシリコーンゴム組成物が十分に硬化しなくなることがあり、一方、多すぎると得られるシリコーンゴムが非常に硬質となり、表面に多数のクラックを生じたり、表面の粘着性が失われたりするなどの問題が発生することがある。
[(Yb) curing agent]
(Yb) The curing agent is composed of an organohydrogenpolysiloxane having an average of two or more silicon-bonded hydrogen atoms in one molecule and a platinum-based catalyst. The organohydrogenpolysiloxane functions as a crosslinking agent that undergoes an addition reaction with the (Ya) component having an alkenyl group.
Specific examples of this organohydrogenpolysiloxane include molecular chain both ends trimethylsiloxy group-blocked methylhydrogenpolysiloxane, molecular chain both ends trimethylsiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylhydrogensiloxane copolymer, molecular chain both ends trimethyl. Siloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylhydrogensiloxane / methylphenylsiloxane copolymer, both ends of molecular chain dimethylhydrogensiloxy group-blocked dimethylpolysiloxane, both ends of molecular chain dimethylhydrogensiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylhydrogensiloxane Polymer, dimethylhydrogensiloxy group-blocked dimethylsiloxane / methylphenylsiloxane copolymer, dimethylhydrogensiloxane at both ends of molecular chain Carboxymethyl groups at methylphenyl polysiloxane and the like. The component (Yb) can be used alone or in combination of two or more.
In the present composition, the content of the organohydrogenpolysiloxane is usually such that the silicon atom-bonded hydrogen atom in this component is usually 0.1% relative to 1 mol of the silicon atom-bonded alkenyl group in the (Ya) component. The amount is 1 to 2.0 mol, preferably 0.3 to 1.5 mol. If the content of this component is too low, the resulting silicone rubber composition may not be sufficiently cured, while if it is too high, the resulting silicone rubber will be very hard, causing numerous cracks on the surface, Problems such as loss of adhesiveness may occur.

オルガノハイドロジェンポリシロキサンとともに用いられる白金系触媒は本組成物の硬化を促進するための触媒であり、例えば、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、白金のオレフィン錯体、白金のアルケニルシロキサン錯体、白金のカルボニル錯体等が挙げられる。本組成物において、白金系触媒の含有量は、特に限定されず、触媒としての有効量でよいが、(Ya)成分に対して本成分中の白金金属が質量単位で、通常、0.01〜1,000ppmとなる量であり、好ましくは、0.1〜500ppmとなる量である。本成分の含有量が少なすぎると得られるシリコーンゴム組成物が十分に硬化しなくなることがあり、一方、多量に使用しても得られるシリコーンゴム組成物の硬化速度は向上せず、経済的に不利となることがある。   The platinum-based catalyst used together with the organohydrogenpolysiloxane is a catalyst for accelerating the curing of the composition. For example, chloroplatinic acid, an alcohol solution of chloroplatinic acid, an olefin complex of platinum, an alkenylsiloxane complex of platinum, Examples include platinum carbonyl complexes. In the present composition, the content of the platinum-based catalyst is not particularly limited and may be an effective amount as a catalyst, but the platinum metal in this component is in mass units relative to the (Ya) component, and is usually 0.01. It is the quantity which becomes -1,000 ppm, Preferably, it is the quantity which becomes 0.1-500 ppm. If the content of this component is too small, the resulting silicone rubber composition may not be cured sufficiently, while the curing rate of the resulting silicone rubber composition does not improve even when used in a large amount. It may be disadvantageous.

[(Yc)熱伝導性充填剤]
(Yc)成分の熱伝導性充填剤としては、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化ケイ素、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素等の無機粉末が、好適に例示される。(Yc)成分は、1種単独でも2種以上を組み合わせても使用することができる。
この(Yc)成分の平均粒径は、好ましくは30μm以下、より好ましくは15μm以下である。なお、本明細書において「平均粒径」とは、体積基準の累積平均径を意味する。この「平均粒径」は、例えば、粒度分析計(日機装株式会社製、商品名:マイクロトラックMT3300EX)により測定することができる。
[(Yc) Thermally conductive filler]
As the thermally conductive filler of the component (Yc), inorganic powders such as aluminum oxide, zinc oxide, silicon oxide, silicon carbide, aluminum nitride, and boron nitride are preferably exemplified. The component (Yc) can be used alone or in combination of two or more.
The average particle diameter of the component (Yc) is preferably 30 μm or less, more preferably 15 μm or less. In the present specification, “average particle diameter” means a volume-based cumulative average diameter. This “average particle diameter” can be measured by, for example, a particle size analyzer (manufactured by Nikkiso Co., Ltd., trade name: Microtrack MT3300EX).

また、この(Yc)成分の配合量は、(Ya)成分100質量部に対して、通常、100〜1,800質量部、好ましくは200〜1,600質量部の範囲である。前記配合量が少なすぎると熱伝導性が不十分なものとなり、一方、多すぎると(Yc)成分の組成物中への均一な配合が困難になるとともに成形加工性が悪くなってしまう。また、粘着性が失われる場合がある。   Moreover, the compounding quantity of this (Yc) component is 100-1800 mass parts normally with respect to 100 mass parts of (Ya) component, Preferably it is the range of 200-1,600 mass parts. If the blending amount is too small, the thermal conductivity becomes insufficient. On the other hand, if the blending amount is too large, uniform blending of the component (Yc) into the composition becomes difficult and the molding processability deteriorates. Moreover, the adhesiveness may be lost.

本ゴム層の硬度は、アスカーC硬度で2〜40、より好ましくは5〜30である。硬度が2以下であると、粘着性が強く、強度が弱いため、リワーク時にゴム層が破壊される場合があり、リワーク性が低下する。硬度が40より高くなると、表面の粘着性が顕著に低下し、作業性が低下する。   The hardness of the rubber layer is 2 to 40, more preferably 5 to 30 in terms of Asker C hardness. When the hardness is 2 or less, the adhesiveness is strong and the strength is weak, so that the rubber layer may be destroyed at the time of reworking, and the reworkability is lowered. When the hardness is higher than 40, the adhesiveness of the surface is remarkably lowered and workability is lowered.

本ゴム層の厚さは、0.01〜0.2mmの範囲である。0.01mm未満ではシートの表面精度が悪くなる場合がある。一方で、厚さが0.2mmを超えると、スペース保証が困難になる。また、粘着性が上昇し、リワーク性が低下する。   The thickness of the rubber layer is in the range of 0.01 to 0.2 mm. If it is less than 0.01 mm, the surface accuracy of the sheet may deteriorate. On the other hand, if the thickness exceeds 0.2 mm, it is difficult to guarantee space. Moreover, adhesiveness rises and rework property falls.

本ゴム層の粘着力は、ソルダペースト粘着力試験器を用いて定圧侵入方式により測定した粘着力が、10〜100gf、より好ましくは20〜80gfである。粘着力が10gf未満では、粘着力が不足し、所望の実装位置にシートを貼り付けることが困難になる。一方、100gfを超えると、リワークが困難になる。また、保護フィルムに剥離処理が必要になるため、コスト増となる場合がある。
本ゴム層の粘着力を10〜100gfとするには、ゴム層の表面タックを、ゴム層の硬度を調整することでコントロールしたり、表面に適当な粘着力を有する極めて薄い層を設けたりすればよい。
The adhesive strength of the rubber layer is 10 to 100 gf, more preferably 20 to 80 gf, as measured by a constant pressure penetration method using a solder paste adhesive strength tester. If the adhesive strength is less than 10 gf, the adhesive strength is insufficient, and it becomes difficult to attach the sheet to a desired mounting position. On the other hand, if it exceeds 100 gf, rework becomes difficult. Moreover, since a peeling process is required for the protective film, the cost may increase.
In order to set the adhesive strength of the rubber layer to 10 to 100 gf, the surface tack of the rubber layer can be controlled by adjusting the hardness of the rubber layer, or an extremely thin layer having an appropriate adhesive strength can be provided on the surface. That's fine.

(X)層および(Y)層に使用されるシリコーンゴム層の熱伝導率は1.0W/m-K以上、より好ましくは1.2W/m-K以上である。熱伝導率が1.0W/m−K未満では、熱伝導特性が不十分である。   The thermal conductivity of the silicone rubber layer used for the (X) layer and the (Y) layer is 1.0 W / m-K or more, more preferably 1.2 W / m-K or more. When the thermal conductivity is less than 1.0 W / m-K, the thermal conductivity characteristics are insufficient.

(Z)熱伝導材料で目止めされた網目状補強材
ここで用いる網目状補強材としては、ガラスクロス、セラミッククロスあるいはナイロン、ポリエステルなどの有機質繊維布等が挙げられる。目止め材料については、熱伝導材料であれば特に限定されないが、好ましくは熱伝導性シリコーンゴム材料であり、さらにコスト面・密着性を考慮すれば、高硬度・非粘着熱伝導性ゴム層で用いられる材料と同一であることがより好ましい。
本網目状補強材の厚さは、0.015〜0.2mmであり、より好ましくは0.03〜0.15mmである。網目状補強材の厚さが薄すぎると、積層シートの強度が顕著に低下する。一方で、0.2mmを超えると、熱伝導性顕著に低下する場合がある。
(Z) Mesh-like reinforcing material sealed with a heat conductive material Examples of the mesh-like reinforcing material used here include glass cloth, ceramic cloth, or organic fiber cloth such as nylon and polyester. The sealing material is not particularly limited as long as it is a heat conductive material, but is preferably a heat conductive silicone rubber material, and in consideration of cost and adhesion, it is a high hardness / non-adhesive heat conductive rubber layer. More preferably, it is the same as the material used.
The thickness of the mesh reinforcing material is 0.015 to 0.2 mm, and more preferably 0.03 to 0.15 mm. When the thickness of the mesh reinforcing material is too thin, the strength of the laminated sheet is remarkably lowered. On the other hand, if it exceeds 0.2 mm, the thermal conductivity may be significantly reduced.

[熱伝導性複合シリコーンシートの製造]
本発明の熱伝導性複合シリコーンシートの製造方法は、特に制限されないが、プレス法やコーティング法など、一般的にはコーティング法が有効である。
[Production of heat conductive composite silicone sheet]
The method for producing the heat conductive composite silicone sheet of the present invention is not particularly limited, but generally a coating method such as a press method or a coating method is effective.

<コーティング用組成物の調製>
先ず、オルガノポリシロキサンと熱伝導性充填剤とを、ニーダー、バンバリーミキサー、プラネタリーミキサー、品川ミキサー等の混合機を用いて、必要に応じ100℃以上程度の温度に加熱しつつ、混練りする。この混練り工程で、所望により、熱伝導性能を損なわない範囲内で、フュームドシリカ、沈降性シリカ等の補強性シリカ;シリコーンオイル、シリコーンウェッター等;白金、酸化チタン、ベンゾトリアゾール等の難燃剤等を添加・混合してもよい。
混練り工程で得られた均一混合物を、室温に冷却した後、ストレーナー等を通して濾過し、次いで、2本ロール、品川ミキサー等を用いて、前記混合物に所要量の硬化剤を添加して、再度、混練りする。この再度の混練り工程で、所望により、1−エチニル−1−シクロヘキサノール等のアセチレン化合物系付加反応制御剤、有機顔料、無機顔料等の着色剤、酸化鉄、酸化セリウム等の耐熱性向上剤、内添離型剤等を添加・混合してもよい。
この再度の混練り工程で得られた組成物をコーティング材として、直接、次工程に供してもよいが、必要に応じて、更にトルエン等の溶剤を加えて、プラネタリーミキサー、ニーダー等の攪拌機に投入して混合して、コーティング材としても差し支えない。
<Preparation of coating composition>
First, the organopolysiloxane and the thermally conductive filler are kneaded using a kneader, Banbury mixer, planetary mixer, Shinagawa mixer, or the like while being heated to a temperature of about 100 ° C. or higher as necessary. . In this kneading process, reinforcing silica such as fumed silica and precipitated silica; silicone oil, silicone wetter, etc .; platinum, titanium oxide, benzotriazole, etc. A flame retardant etc. may be added and mixed.
The homogeneous mixture obtained in the kneading step is cooled to room temperature, filtered through a strainer, etc., and then a required amount of curing agent is added to the mixture using a two-roll, Shinagawa mixer, etc. Knead. In this re-kneading step, acetylene compound-based addition reaction control agents such as 1-ethynyl-1-cyclohexanol, colorants such as organic pigments and inorganic pigments, and heat resistance improvers such as iron oxide and cerium oxide, if desired. In addition, an internal additive release agent or the like may be added and mixed.
The composition obtained in this re-kneading step may be directly used for the next step as a coating material, but if necessary, a solvent such as toluene is further added to a stirrer such as a planetary mixer or a kneader. It can be used as a coating material.

<目止めされた網目状補強材の作成>
上記工程により得られたコーティング材を、上記網目状補強材に塗布する。逐次、乾燥炉、加熱炉および巻き取り装置を備えたナイフコーター、キスコーター等のコーティング装置を用いて、連続的に網目状補強材に塗布した後、溶剤等を乾燥・蒸散させ、付加反応硬化型の場合は、80〜200℃、好ましくは100〜150℃程度に、また、過酸化物硬化型の場合は、100〜200℃、好ましくは110〜180℃程度に、加熱して、目止めされた網目状補強材を得る。
<Creating a closed mesh reinforcement>
The coating material obtained by the above process is applied to the mesh reinforcement. Sequentially, using a coating device such as a knife coater or kiss coater equipped with a drying furnace, a heating furnace and a winding device, after continuously applying to the mesh reinforcement, the solvent etc. is dried and evaporated, and the addition reaction curing type In the case of the above, it is heated to about 80 to 200 ° C., preferably about 100 to 150 ° C., and in the case of a peroxide curable type, it is heated to about 100 to 200 ° C., preferably about 110 to 180 ° C. A reticulated reinforcement is obtained.

<複合化>
上記工程により得られた、目止めされた網目状補強材の片面に、高硬度・非粘着熱伝導性ゴム層となるコーティング材を塗布する。逐次、乾燥炉、加熱炉および巻き取り装置を備えたナイフコーター、キスコーター等のコーティング装置を用いて、連続的に目止めされた網目状補強材の片面に塗布した後、溶剤等を乾燥・蒸散させ、付加反応硬化型の場合は、80〜200℃、好ましくは100〜150℃程度に、また、過酸化物硬化型の場合は、100〜200℃、好ましくは110〜180℃程度に、加熱して積層する。
<Composite>
A coating material to be a high-hardness, non-adhesive heat conductive rubber layer is applied to one side of the mesh-like reinforcing material obtained by the above process. Sequentially, using a coating device such as a knife coater or kiss coater equipped with a drying furnace, heating furnace and take-up device, it is applied to one side of the continuous mesh reinforcement, and then the solvent is dried and evaporated. In the case of an addition reaction curable type, it is heated to 80 to 200 ° C., preferably about 100 to 150 ° C., and in the case of a peroxide curable type, it is heated to 100 to 200 ° C., preferably about 110 to 180 ° C. And laminate.

さらに、もう片面に、低硬度・微粘着熱伝導性ゴム層となるコーティング材を塗布する。逐次、乾燥炉、加熱炉および巻き取り装置を備えたナイフコーター、キスコーター等のコーティング装置を用いて、連続的に目止めされた網目状補強材の片面に塗布した後、溶剤等を乾燥・蒸散させ、80〜200℃、好ましくは100〜150℃程度で架橋・硬化させることにより、本発明の熱伝導性複合シリコーンゴムシートを得ることができる。   Further, a coating material that becomes a low hardness / low adhesion heat conductive rubber layer is applied to the other surface. Sequentially, using a coating device such as a knife coater or kiss coater equipped with a drying furnace, heating furnace and take-up device, it is applied to one side of the continuous mesh reinforcement, and then the solvent is dried and evaporated. The thermally conductive composite silicone rubber sheet of the present invention can be obtained by crosslinking and curing at 80 to 200 ° C., preferably about 100 to 150 ° C.

得られた熱伝導性複合シリコーンゴムシートを連続成形する場合、シートはロール状に巻き取り保管することが望ましい。その場合、低硬度・微粘着熱伝導性ゴム層の表面が保護シートで被覆されていることが望ましい。保護シートが無いと、ロール形状からシートを巻きだした際の作業性が悪くなり、また、低硬度・微粘着熱伝導性ゴム層への異物・ホコリの付着等の問題が発生する場合がある。   When the obtained heat conductive composite silicone rubber sheet is continuously formed, the sheet is preferably wound and stored in a roll shape. In that case, it is desirable that the surface of the low-hardness / slightly adherent thermally conductive rubber layer is covered with a protective sheet. Without the protective sheet, the workability when the sheet is unwound from the roll shape deteriorates, and problems such as adhesion of foreign matter and dust to the low hardness, low adhesion heat conductive rubber layer may occur. .

以下、実施例および比較例を挙げて、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are given and this invention is demonstrated concretely, this invention is not limited to the following Example.

まず、本発明の熱伝導性複合シリコーンシートを形成する以下の各成分を用意した。   First, the following components for forming the heat conductive composite silicone sheet of the present invention were prepared.

<X層:高硬度・非粘着熱伝導性ゴム層用組成物>
コーティング材X1:
(X1a)平均重合度8,000のジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン100質量部、および(X1c)熱伝導性充填剤として平均粒径4μmの不定形酸化アルミニウム粉末750質量部をバンバリーミキサーにて室温で40分混練りし、次いで100メッシュのストレーナーにて濾過後、2本ロールを用いて、(X1b)有機過酸化物としてジ(2−メチルベンゾイル)パーオキサイド1.9質量部、および着色剤としてKE−カラーR20(商品名:信越化学工業(株)製)0.4質量部を添加・配合して、更に混練りして混合物を作製した。
次いで、上記で得られた混合物100質量部をトルエン47質量部に溶解してコーティング材X1aを作製した。
<X layer: composition for high hardness / non-adhesive thermally conductive rubber layer>
Coating material X1:
(X1a) 100 parts by mass of dimethylpolysiloxane sealed at both ends with dimethylvinylsiloxy groups having an average degree of polymerization of 8,000, and (X1c) 750 masses of amorphous aluminum oxide powder having an average particle size of 4 μm as a thermally conductive filler Parts were kneaded at room temperature for 40 minutes with a Banbury mixer, then filtered with a 100 mesh strainer, and then, using two rolls, (X1b) di (2-methylbenzoyl) peroxide 1. 9 parts by mass and 0.4 part by mass of KE-color R20 (trade name: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a colorant were added and blended, and further kneaded to prepare a mixture.
Next, 100 parts by mass of the mixture obtained above was dissolved in 47 parts by mass of toluene to prepare a coating material X1a.

コーティング材X2:
(X2a)25℃における粘度が600mm2/sのジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン100質量部、(X2c1)熱伝導性充填剤として平均粒径4μmの酸化アルミニウム粉末750質量部、および(X2c2)平均粒径9μmの窒化ホウ素粉末250部を、プラネタリーミキサーにて室温で20分混練りし、100メッシュのストレーナーにて濾過して仕上げた後、(X2b1)塩化白金酸のビニルシロキサン錯体(白金金属含有量:1質量%)0.35質量部を均一に配合し、次いで、付加反応制御剤として1−エチニル−1−シクロヘキサノール0.06質量部、を添加配合し、更に(X2b2)下記構造式で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン1.5質量部を均一に混合してシリコーンゴム組成物を調製した。
Coating material X2:
(X2a) 100 parts by mass of dimethylpolysiloxane sealed at both ends with dimethylvinylsiloxy groups having a viscosity of 600 mm 2 / s at 25 ° C., (X2c1) 750 masses of aluminum oxide powder having an average particle size of 4 μm as a thermally conductive filler Part and (X2c2) 250 parts of boron nitride powder having an average particle size of 9 μm were kneaded at room temperature for 20 minutes with a planetary mixer and filtered with a 100 mesh strainer, and then (X2b1) chloroplatinic acid A vinyl siloxane complex (platinum metal content: 1% by mass) of 0.35 parts by mass is uniformly blended, and then 0.06 parts by mass of 1-ethynyl-1-cyclohexanol is added as an addition reaction control agent. Further, (X2b2) 1.5 parts by mass of methyl hydrogen polysiloxane represented by the following structural formula was uniformly mixed to produce silica The rubber composition was prepared.

次いで、上記で得られた混合物100質量部をトルエン20質量部に溶解してコーティング材を作製した。   Next, 100 parts by mass of the mixture obtained above was dissolved in 20 parts by mass of toluene to prepare a coating material.

コーティング材X3:
(X3a)25℃における粘度が600mm2/sのジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン100質量部、(X3c)熱伝導性充填剤として平均粒径4μmの酸化アルミニウム粉末750質量部をプラネタリーミキサーにて室温で20分混練りし、100メッシュのストレーナーにて濾過して仕上げた後、(X3b1)塩化白金酸のビニルシロキサン錯体(白金金属含有量:1質量%)0.35質量部を均一に配合し、次いで、付加反応制御剤として1−エチニル−1−シクロヘキサノール0.06質量部、を添加配合し、更に(X3b2)下記構造式で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン3.0質量部を均一に混合してシリコーンゴム組成物を調製した。
Coating material X3:
(X3a) 100 parts by mass of dimethylpolysiloxane sealed at both ends with dimethylvinylsiloxy groups having a viscosity of 600 mm 2 / s at 25 ° C., (X3c) 750 masses of aluminum oxide powder having an average particle size of 4 μm as a heat conductive filler Parts were kneaded at room temperature for 20 minutes with a planetary mixer, filtered and finished with a 100 mesh strainer, and then (X3b1) a vinylsiloxane complex of chloroplatinic acid (platinum metal content: 1% by mass). 35 parts by mass is uniformly blended, then 0.06 parts by mass of 1-ethynyl-1-cyclohexanol is added and blended as an addition reaction control agent, and (X3b2) methyl hydrogen poly represented by the following structural formula A silicone rubber composition was prepared by uniformly mixing 3.0 parts by mass of siloxane.

次いで、上記で得られた混合物100質量部をトルエン20質量部に溶解してコーティング材を作製した。 Next, 100 parts by mass of the mixture obtained above was dissolved in 20 parts by mass of toluene to prepare a coating material.

<Y層:低硬度・微粘着熱伝導性ゴム層用組成物>
コーティング材Y1:
(Y1a1)25℃における粘度が600mm2/sのジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン65質量部、(Y1a2)25℃における粘度が30,000mm2/sのジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン35質量部、(Y1c1)熱伝導性充填剤として平均粒径6μmの不定形酸化アルミニウム粉末300質量部、および(Y1c2) 平均粒径1.5μmの不定形酸化アルミニウム粉末300質量部、さらに、ウェッターとして、下記構造式で表される片末端トリメトキシシリル基封鎖ジメチルポリシロキサン12質量部をプラネタリーミキサーにて室温で20分混練りし、100メッシュのストレーナーにて濾過して仕上げた。
<Y layer: composition for low hardness / low adhesion heat conductive rubber layer>
Coating material Y1:
(Y1a1) 65 parts by mass of dimethylpolysiloxane having both ends sealed with dimethylvinylsiloxy groups having a viscosity of 600 mm 2 / s at 25 ° C., (Y1a2) dimethylvinylsiloxy groups having a viscosity of 30,000 mm 2 / s at 25 ° C. 35 parts by weight of dimethylpolysiloxane sealed at both ends with (Y1c1) 300 parts by weight of an amorphous aluminum oxide powder having an average particle diameter of 6 μm as a heat conductive filler, and (Y1c2) an amorphous form having an average particle diameter of 1.5 μm 300 parts by weight of aluminum oxide powder and, as a wetter, 12 parts by weight of a dimethylpolysiloxane having one end-terminated trimethoxysilyl group blocked by the following structural formula were kneaded at room temperature for 20 minutes with a planetary mixer, and a 100 mesh strainer. And filtered through.

その後、(Y1b1)塩化白金酸のビニルシロキサン錯体(白金金属含有量:1質量%)0.6質量部を均一に配合し、次いで、付加反応制御剤として1−エチニル−1−シクロヘキサノール0.2質量部、更にセパレータとの離型を促す内添離型剤として、信越化学製のフェニル変性シリコーンオイルであるKF−54を3質量部添加配合し、更に(Y1b2)下記構造式で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン9.5質量部を均一に混合してシリコーンゴム組成物を調製した。   Thereafter, (Y1b1) 0.6 parts by mass of a vinyl siloxane complex of chloroplatinic acid (platinum metal content: 1% by mass) was uniformly blended, and then 1-ethynyl-1-cyclohexanol as an addition reaction control agent. 2 parts by mass, and as an internally added mold release agent that promotes release from the separator, 3 parts by mass of KF-54, a phenyl-modified silicone oil manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. is added, and (Y1b2) is represented by the following structural formula A silicone rubber composition was prepared by uniformly mixing 9.5 parts by mass of methyl hydrogen polysiloxane.

次いで、上記で得られた混合物100質量部をトルエン25質量部に溶解してコーティング材を作製した。   Next, 100 parts by mass of the mixture obtained above was dissolved in 25 parts by mass of toluene to prepare a coating material.

コーティング材Y2:
(Y2a)25℃における粘度が600mm2/sのジメチルビニルシロキシ基で両末端を封止したジメチルポリシロキサン100質量部、(Y2c1)熱伝導性充填剤として平均粒径10μmの球状酸化アルミニウム粉末1000質量部、および(Y2c2) 平均粒径1.5μmの不定形酸化アルミニウム粉末650質量部、さらに、ウェッターとして、下記構造式で表される片末端トリメトキシシリル基封鎖ジメチルポリシロキサン35質量部をプラネタリーミキサーにて室温で20分混練りし、100メッシュのストレーナーにて濾過して仕上げた。
Coating material Y2:
(Y2a) 100 parts by mass of dimethylpolysiloxane sealed at both ends with a dimethylvinylsiloxy group having a viscosity of 600 mm 2 / s at 25 ° C., (Y2c1) spherical aluminum oxide powder 1000 having an average particle size of 10 μm as a thermally conductive filler And (Y2c2) 650 parts by mass of amorphous aluminum oxide powder having an average particle size of 1.5 μm, and 35 parts by mass of a dimethylpolysiloxane having one terminal trimethoxysilyl group-blocked dimethylpolysiloxane represented by the following structural formula as a wetter The mixture was kneaded at room temperature for 20 minutes with a Lee mixer and filtered with a 100 mesh strainer.

その後、(Y2b1)塩化白金酸のビニルシロキサン錯体(白金金属含有量:1質量%)0.6質量部を均一に配合し、次いで、付加反応制御剤として1−エチニル−1−シクロヘキサノール0.3質量部、更にセパレータとの離型を促す内添離型剤として、信越化学製のフェニル変性シリコーンオイルであるKF−54を5質量部添加配合し、更に(Y2b2)下記構造式で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン11.0質量部を均一に混合してシリコーンゴム組成物を調製した。   Thereafter, (Y2b1) 0.6 parts by mass of a vinylsiloxane complex of chloroplatinic acid (platinum metal content: 1% by mass) was uniformly blended, and then 1-ethynyl-1-cyclohexanol as an addition reaction control agent 3 parts by mass, and 5 parts by mass of KF-54, a phenyl-modified silicone oil manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. as an internal release agent that promotes release from the separator, and (Y2b2) is represented by the following structural formula A silicone rubber composition was prepared by uniformly mixing 11.0 parts by mass of methyl hydrogen polysiloxane.

次いで、上記で得られた混合物100質量部をトルエン25質量部に溶解してコーティング材を作製した。   Next, 100 parts by mass of the mixture obtained above was dissolved in 25 parts by mass of toluene to prepare a coating material.

コーティング材Y3:
コーティング材Y2のメチルハイドロジェンポリシロキサンの添加量を10.3質量部に変更する以外はコーティング材Y2と同様にシリコーンゴム組成物を調製した。
次いで、上記で得られた混合物100質量部をトルエン25質量部に溶解してコーティング材を作製した。
Coating material Y3:
A silicone rubber composition was prepared in the same manner as the coating material Y2, except that the amount of methyl hydrogen polysiloxane added to the coating material Y2 was changed to 10.3 parts by mass.
Next, 100 parts by mass of the mixture obtained above was dissolved in 25 parts by mass of toluene to prepare a coating material.

コーティング材Y4:
コーティング材Y2のメチルハイドロジェンポリシロキサンの添加量を10.0質量部に変更する以外はコーティング材Y2と同様にシリコーンゴム組成物を調製した。
次いで、上記で得られた混合物100質量部をトルエン25質量部に溶解してコーティング材を作製した。
Coating material Y4:
A silicone rubber composition was prepared in the same manner as the coating material Y2, except that the amount of methyl hydrogen polysiloxane added to the coating material Y2 was changed to 10.0 parts by mass.
Next, 100 parts by mass of the mixture obtained above was dissolved in 25 parts by mass of toluene to prepare a coating material.

コーティング材Y5:
コーティング材Y2のメチルハイドロジェンポリシロキサンの添加量を16.0質量部に変更する以外はコーティング材Y2と同様にシリコーンゴム組成物を調製した。
次いで、上記で得られた混合物100質量部をトルエン25質量部に溶解してコーティング材を作製した。
Coating material Y5:
A silicone rubber composition was prepared in the same manner as the coating material Y2, except that the amount of methyl hydrogen polysiloxane added to the coating material Y2 was changed to 16.0 parts by mass.
Next, 100 parts by mass of the mixture obtained above was dissolved in 25 parts by mass of toluene to prepare a coating material.

<目止め網目状補強材>
IPCスペック1080のガラスクロスに、コーティング液X1をディップコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.08mmに成形された目止めガラスクロスを形成させた。
<Sealing mesh reinforcement>
After the dip coating of the coating liquid X1 on the glass cloth of IPC specification 1080, the sealing glass cloth formed into a thickness of 0.08 mm by processing under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. Formed.

<実施例1>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X1をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.15mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液Y1をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.2mmに成形された複合シートを得た。
<Example 1>
After coating the coating liquid X1 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.15 mm. . Further, the other side of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid Y1, and then processed under the conditions of a drying temperature of 80 ° C. and a curing temperature of 150 ° C. to form a composite sheet having a thickness of 0.2 mm. Got.

<実施例2>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X2をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.4mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液Y1をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.45mmに成形された複合シートを得た。
<Example 2>
After coating the coating liquid X2 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.4 mm. . Further, the other side of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid Y1, and then processed under the conditions of a drying temperature of 80 ° C. and a curing temperature of 150 ° C., and is formed to a thickness of 0.45 mm. Got.

<実施例3>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X1をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.15mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液Y2をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.2mmに成形された複合シートを得た。
<Example 3>
After coating the coating liquid X1 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.15 mm. . Further, the other side of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid Y2, and then processed under the conditions of a drying temperature of 80 ° C. and a curing temperature of 150 ° C., and formed into a thickness of 0.2 mm. Got.

<実施例4>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X2をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.4mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液Y2をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.45mmに成形された複合シートを得た。
<Example 4>
After coating the coating liquid X2 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.4 mm. . Further, the other surface of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid Y2, and then processed under the conditions of a drying temperature of 80 ° C. and a curing temperature of 150 ° C., and formed into a thickness of 0.45 mm. Got.

<実施例5>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X2をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.4mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液Y3をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.55mmに成形された複合シートを得た。
<Example 5>
After coating the coating liquid X2 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.4 mm. . Further, the other side of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid Y3, and then processed under the conditions of a drying temperature: 80 ° C. and a curing temperature: 150 ° C., and is formed into a thickness of 0.55 mm. Got.

<実施例6>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X3をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.4mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液Y2をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.45mmに成形された複合シートを得た。
<Example 6>
After coating the coating liquid X3 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.4 mm. . Further, the other surface of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid Y2, and then processed under the conditions of a drying temperature of 80 ° C. and a curing temperature of 150 ° C., and formed into a thickness of 0.45 mm. Got.

<比較例1>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X1をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.15mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、信越化学製のシリコーン粘着剤であるKR−3700をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.17mmに成形された複合シートを得た。
<Comparative Example 1>
After coating the coating liquid X1 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.15 mm. . Furthermore, the other side of the sealing glass cloth was comma-coated with KR-3700, a silicone adhesive made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and then treated under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a thickness. A composite sheet molded to 0.17 mm was obtained.

<比較例2>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X1をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.15mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液X2をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.2mmに成形された複合シートを得た。
<Comparative example 2>
After coating the coating liquid X1 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.15 mm. . Further, the other side of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid X2, and then processed under the conditions of a drying temperature of 80 ° C. and a curing temperature of 150 ° C., and is formed into a thickness of 0.2 mm. Got.

<比較例3>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X1をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.15mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液Y1をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.155mmに成形された複合シートを得た。
<Comparative Example 3>
After coating the coating liquid X1 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.15 mm. . Further, the other surface of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid Y1, and then processed under the conditions of a drying temperature of 80 ° C. and a curing temperature of 150 ° C., and formed into a thickness of 0.155 mm. Got.

<比較例4>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液X2をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.4mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液Y4をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.55mmに成形された複合シートを得た。
<Comparative example 4>
After coating the coating liquid X2 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.4 mm. . Further, the other surface of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid Y4, and then processed under the conditions of a drying temperature of 80 ° C. and a curing temperature of 150 ° C., and is formed to a thickness of 0.55 mm. Got.

<比較例5>
目止めガラスクロスの片面に、コーティング液Y5をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.4mmに成形された複合シートを得た。さらに、目止めガラスクロスのもう片面に、コーティング液Y2をコンマコートした後、乾燥温度:80℃、および硬化温度:150℃の条件で処理して、厚さ0.45mmに成形された複合シートを得た。
<Comparative Example 5>
After coating the coating liquid Y5 on one side of the sealing glass cloth, it was processed under the conditions of drying temperature: 80 ° C. and curing temperature: 150 ° C. to obtain a composite sheet molded to a thickness of 0.4 mm. . Further, the other surface of the sealing glass cloth is comma-coated with the coating liquid Y2, and then processed under the conditions of a drying temperature of 80 ° C. and a curing temperature of 150 ° C., and formed into a thickness of 0.45 mm. Got.

[諸特性の評価手法]
上記実施例1〜6および比較例1〜5で作製した各複合シートについて、下記手法により諸特性を測定した。その測定結果を表1、表2に示す。
[Evaluation methods of various characteristics]
About each composite sheet produced in the said Examples 1-6 and Comparative Examples 1-5, the various characteristics were measured with the following method. The measurement results are shown in Tables 1 and 2.

〔一般特性〕
・X層およびY層の硬度:
各層の組成物を用いて、硬度測定用のサンプルを別途作成し、JIS K 6249に準拠して測定した(測定温度25℃)。
[General characteristics]
-Hardness of X layer and Y layer:
A sample for hardness measurement was separately prepared using the composition of each layer and measured in accordance with JIS K 6249 (measurement temperature 25 ° C.).

・X層およびY層の粘着力:
株式会社マルコム社製、ソルダペースト粘着力試験器「TK−1」を用いて定圧侵入方式により複合シートの各層を測定した。
-Adhesive strength of X layer and Y layer:
Each layer of the composite sheet was measured by a constant pressure penetration method using a solder paste adhesion tester “TK-1” manufactured by Malcolm Corporation.

〔熱特性〕
・X層およびY層の熱伝導率:
各層を構成する組成物を、金型を用いて6mm厚になるようプレス成形し、これを測定サンプルとしてISO22007−2に準拠したホットディスク法により測定した。
(Thermal characteristics)
-Thermal conductivity of X layer and Y layer:
The composition constituting each layer was press-molded so as to have a thickness of 6 mm using a mold, and this was measured as a measurement sample by a hot disk method according to ISO 22007-2.

・熱抵抗(cm2−K/W)
ASTM D 5470に準拠して、100℃における50psi圧力下での複合シートの熱抵抗を測定した。
・ Thermal resistance (cm 2 -K / W)
The thermal resistance of the composite sheet under 50 psi pressure at 100 ° C. was measured according to ASTM D 5470.

〔作業性・リワーク性〕
複合シートの低硬度・微粘着側を垂直に立てたアルミ板に押し付けシートの位置保持性を確認した。また、複合シートが、破損無く容易にアルミ板から剥がれるかを確認した。
[Workability / Reworkability]
The composite sheet was pressed against an aluminum plate that had a low hardness and slightly sticky side vertically, and the position of the sheet was confirmed. Also, it was confirmed that the composite sheet could be easily peeled off from the aluminum plate without breakage.

以上の結果から、本発明品は、何れもシート保持及びリワークが可であり、貼り付け作業が容易であるのに対し、比較例のものは、シート保持又はリワークが不可であるか、貼り付け作業に難があることが判る。   From the above results, the products of the present invention can both hold and rework the sheet, and the pasting work is easy, whereas the comparative example cannot hold or rework the sheet or is pasted. It turns out that there is difficulty in work.

Claims (4)

(X)高硬度・非粘着熱伝導性ゴム層
熱伝導性充填材を含有し、デュロメータA硬度が60〜100であり、かつ表面非粘着性である熱伝導性シリコーンゴム層 0.05〜0.9mm
および
(Y)低硬度・微粘着熱伝導性ゴム層
熱伝導性充填剤を含有し、アスカーC硬度が2〜40であり、且つ表面微粘着性である熱伝導性シリコーンゴム層 0.05〜0.15mm

(Z)熱伝導材料で目止めされた網目状補強材 0.015〜0.2mm
を介して積層して成る熱伝導性シリコーンゴムシートであり、ソルダペースト粘着力試験器を用いて定圧侵入方式により測定した粘着力が、(X)層側:10gf未満、(Y)層側:10〜100gfである熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
(X) High hardness / non-adhesive heat conductive rubber layer A heat conductive silicone rubber layer containing a heat conductive filler, having a durometer A hardness of 60 to 100, and having a non-sticky surface 0.05 to 0 .9mm
And (Y) low-hardness / slightly adherent thermally conductive rubber layer containing a thermally conductive filler, Asker C hardness of 2-40, and thermally conductive silicone rubber layer 0.05- 0.15 mm
(Z) A mesh-like reinforcing material sealed with a heat conductive material 0.015-0.2 mm
Is a thermally conductive silicone rubber sheet laminated through the adhesive strength measured by a constant pressure penetration method using a solder paste adhesion tester (X) layer side: less than 10 gf, (Y) layer side: A thermally conductive composite silicone rubber sheet that is 10 to 100 gf.
熱伝導性シリコーンゴム層は、(a)オルガノポリシロキサン、(b)硬化剤及び(c)熱伝導性充填剤を含む組成物を硬化させてなるシリコーンゴム層であることを特徴とする請求項請1記載の熱伝導性複合シリコーンゴムシート。   The thermally conductive silicone rubber layer is a silicone rubber layer obtained by curing a composition containing (a) an organopolysiloxane, (b) a curing agent, and (c) a thermally conductive filler. The heat conductive composite silicone rubber sheet according to claim 1. (X)層および(Y)層に使用されるシリコーンゴム層の熱伝導率が1.0W/m-K以上であることを特徴とする 請求項1又は2に記載の熱伝導性複合シリコーンゴムシート。   The thermal conductivity of the silicone rubber layer used for the (X) layer and the (Y) layer is 1.0 W / mK or more, The thermally conductive composite silicone rubber according to claim 1 or 2 Sheet. 前記(Y)層の表面のみが保護シートで被覆されており、ロール状に巻かれている請求項1、2又は3記載の熱伝導性複合シリコーンゴムシート。
4. The thermally conductive composite silicone rubber sheet according to claim 1, wherein only the surface of the (Y) layer is covered with a protective sheet and wound in a roll shape.
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