KR20120045309A - 웨이퍼 검사장치 및 이를 구비한 웨이퍼 검사 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼의 테두리 영역에 크랙, 칩핑 등의 결함의 유무와 웨이퍼의 연마 상태를 검사하기 위한 웨이퍼 검사장치 및 이를 구비한 웨이퍼 검사 시스템에 관한 것이다.

Description

웨이퍼 검사장치 및 이를 구비한 웨이퍼 검사 시스템{WAFER INSPECTION DEVICE AND WAFER INSPECTION SYSTEM HAVING THE SAME}

본 발명은 웨이퍼 검사장치 및 이를 구비한 웨이퍼 검사 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게, 본 발명은 웨이퍼의 테두리 영역에 크랙, 칩핑 등의 결함의 유무와 웨이퍼의 연마 상태를 검사하기 위한 웨이퍼 검사장치 및 이를 구비한 웨이퍼 검사 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 회로패턴을 형성하는 공정, 패키징 공정 등을 통해 제조된다. 웨이펴 상에 회로패턴을 형성하기 위해서는 소정의 박막을 형성하는 박막증착공정, 증착된 박막에 포토레지스트를 도포하고 노광 및 현상을 통해 포토레지스터 패턴을 형성하는 포토리소그래피 공정, 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 박막을 패터닝하는 식각 공정, 기판의 소정 영역에 특정 이온을 주입하는 이온주입공정, 불순물을 제거하는 세정공정 등을 거치고, 회로패턴을 형성하는 공정 후 웨이퍼를 소정의 크기로 절단하여 에폭시 수지 등으로 봉지하는 패키징 공정 등을 거치게 된다.

웨이퍼로부터 각각의 반도체 소자로 생산되기 위해서는 전술한 과정 이외에도 많은 세부 공정들을 거치게된다.

만일 웨이퍼가 크랙 등의 하자를 갖는 경우, 전술한 공정을 거치더라도 반도체 소자로서 기능할 수 없다. 또한, 크랙이란 시간이 흐를수록 성장하는 성질을 갖으므로, 많은 비용과 시간이 투여되는 후속공정을 진행하기 전에 크랙과 같은 하자를 갖는 웨이퍼를 선별하여 분리하는 일은 아주 중요하다.

웨이퍼는 웨이퍼의 중심부 보다 웨이퍼의 테두리에 크랙 등이 발생할 가능성이 높으며, 웨이퍼의 테두리에 존재하는 크랙은 웨이퍼 중심부로 성장할 수 있으므로, 웨이퍼 테두리에 크랙이 존재하는 웨이퍼를 조기에 선별하여 분리할 필요가 있다.

또한, 웨이퍼의 테두리에 크랙 등의 유무를 판단하기 위한 검사장치는 웨이퍼의 테두리를 촬영하고, 촬영된 영상을 분석하여 웨이퍼 테두리에 존재하는 크랙 등의 유무를 판단할 수 있다.

웨이퍼의 테두리는 각각 그 상면, 하면 그리고 측면이 존재하며, 크랙의 유무를 판단하기 위해서는 웨이퍼 테두리의 상면, 하면 및 측면을 모두 검사해야 하므로, 정확성이 보장되는 촬영에 의한 검사과정의 효율을 향상시키는 것은 쉽지 않다.

이 경우, 웨이퍼의 크랙 등의 유무를 판단하기 위한 촬영의 전제로서, 촬영을 위한 카메라의 초점이 정확하게 맞아야 한다. 크랙 등의 유무를 판단하기 위한 검사장치의 전제로서, 검사장치를 구성하는 카메라의 초점이 정확하게 유지되어야 하기 때문이다.

카메라의 초점이 정확하게 유지되려면, 촬영되는 피사체인 웨이퍼와 카메라의 영상소자 사이의 거리가 일정하게 유지되어야 한다.

이송장치에 의하여 운반되는 웨이퍼의 위치가 이송장치에 의하여 이송되는 과정에서 흔들리거나, 원래의 위치에서 이탈하는 경우, 검사장치를 구성하는 카메라의 영상소자와 피사체인 웨이퍼 사이의 거리의 편차가 발생될 수 있다.

검사장치를 구성하는 카메라의 영상소자와 피사체인 웨이퍼 사이의 거리의 편차는 초점거리의 불일치로 귀결되어, 웨이퍼 검사과정의 신뢰성을 저하시키는 문제점을 갖는다.

본 발명은 이송되는 웨이퍼의 위치 편차에 의하여 발생되는 오차의 보정기능을 구비하며, 웨이퍼의 테두리 영역에 크랙 등의 하자의 유무를 정밀하고 신속하게검사하기 위한 웨이퍼 검사장치 및 이를 구비한 웨이퍼 검사 시스템을 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상을 웨이퍼의 측면과 수직한 제1 방향으로 반사시키는 적어도 1개 이상의 웨이퍼 반사경, 상기 웨이퍼 반사경에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상 및 웨이퍼의 측면 영상을 함께 촬영하는 카메라, 상기 반사경과 상기 카메라를 상기 제1 방향과 평행한 방향으로 함께 변위시키는 변위장치 및, 상기 카메라에서 촬영된 영상을 통해 웨이퍼 테두리의 결함을 판단하며, 상기 카메라 및 상기 변위장치를 제어하는 제어부를 포함하는 웨이퍼 검사장치를 제공한다.

여기서, 상기 웨이퍼 반사경에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상 및 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 반사시키는 반사부재를 더 포함하고, 상기 카메라는 상기 반사부재에 의해 반사된 영상을 촬영할 수 있다.

또한, 상기 제1방향과 상기 제2방향은 서로 수직할 수 있다.

그리고, 상기 제1방향은 수평방향일 수 있다.

이 경우, 상기 카메라는 웨이퍼 테두리의 측면, 상면 및 하면 영상을 함께 촬영할 수 있다.

이 경우, 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상과 상기 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면 영상의 광경로의 길이 차이를 보상하는 광경로 보상장치가 더 구비될 수 있다.

또한, 상기 광경로 보상장치는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 적어도 2회 이상 반사시키는 적어도2개 이상의 반사미러를 포함할 수 있다.

그리고, 상기 반사미러는 몸체를 구성하는 바디부 및 바디부의 외측면에 구비된 반사면을 구비하며, 상기 반사미러 중 하나의 반사미러는 2개의 반사면을 갖을 수 있다.

여기서, 상기 반사미러의 바디부의 단면 형상은 직각 이등변 삼각형일 수 있다.

또한, 복수 개의 반사미러의 반사면은 서로 평행하거나 수직할 수 있다.

그리고, 상기 반사미러의 반사면은 상기 제1방향에 대하여 45도 기울어질 수 있다.

이 경우, 상기 광경로 보상장치는 상기 웨이퍼 테두리 측면 영상을 상기 제1방향과 수직한 제3방향, 제1방향, 제3방향의 역방향 및 제1방향으로 순차적으로 반사시키는 4개의 반사면을 구비할 수 있다.

이 경우, 상기 반사면 중 2개의 반사면은 하나의 반사미러의 바디부의 외측면에 구비될 수 있다.

이 경우, 하나의 반사미러의 바디부의 외측면에 구비되는 한 쌍의 반사면은 서로 수직할 수 있다.

또한, 4개의 반사면에 의하여 반사되는 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로는 검사 대상 웨이퍼와 동일평면 또는 평행한 평면 상에 존재할 수 있다.

그리고, 수평방향으로 이송되는 검사대상 웨이퍼의 테두리가 통과하는 삽입홈이 구비되고, 상기 삽입홈 상부와 하부에 웨이퍼 반사경이 경사진 상태로 장착되는 검사부를 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 검사부의 삽입홈으로 테두리가 통과되는 웨이퍼는 상기 제1방향과 수직한 제3방향으로 이송되거나, 상기 삽입홈에 테두리가 삽입된 상태로 회전될 수 있다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 이송 또는 회전되는 웨이퍼의 테두리를 촬영하기 위하여 웨이퍼의 테두리가 통과되는 검사부, 상기 검사부를 통과하는 웨이퍼의 테두리를 촬영하는 촬영부, 상기 촬영부에서 촬영된 영상을 통해 웨이퍼 테두리에 존재하는 결함의 유무를 판단하는 제어부 및, 상기 검사부 및 상기 촬영부를 함께 수평방향으로 변위시키기 위한 변위장치를 포함하는 웨이퍼 검사장치를 제공한다.

그리고, 상기 검사부를 통과하는 웨이퍼는 수평방향으로 이송되거나 수평상태로 회전되며, 상기 촬영부는 수직방향으로 웨이퍼의 테두리를 촬영할 수 있다.

여기서, 상기 검사부를 통과하는 웨이퍼 테두리의 영상을 상기 촬영부의 촬영방향으로 반사시키는 반사부를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 촬영부에서 촬영되는 영상은 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 포함할 수 있다.

그리고, 상기 촬영부에 의하여 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상과 함께 웨이퍼 테두리의 상면 영상 또는 웨이퍼 테두리의 하면 영상이 촬영되도록 하기 위하여, 상기 검사부는 웨이퍼 테두리의 상면 영상 또는 웨이퍼 테두리의 하면 영상을 반사시키는 적어도 1개 이상의 반사경을 포함할 수 있다.

이 경우, 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로의 길이를 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상의 광경로의 길이 또는 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상의 광경로의 길이에 대응되도록 상기 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로의 길이를 증가시키기 위하여 상기 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로를 변경시키는 복수 개의 반사미러가 구비될 수 있다.

이 경우, 상기 반사미러에 반사되기 전의 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로는 상기 반사미러에 의하여 반사 후의 복수 개의 상기 반사미러에 반사된 후의 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로와 일치하거나 평행할 수 있다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상을 웨이퍼의 측면과 수직하고 수평한 제1 방향으로 반사시키는 적어도 1개 이상의 웨이퍼 반사경이 경사진 상태로 장착되는 검사부, 상기 검사부를 통과할 웨이퍼의 위치를 판단하기 위한 센싱부, 상기 웨이퍼 반사경에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상 및 웨이퍼의 측면 영상을 함께 촬영하는 카메라를 포함하는 촬영부, 상기 검사부로 진입하는 웨이퍼의 위치에 따라 상기 검사부 및 상기 촬영부를 함께 변위시키는 변위장치;상기 센싱부에서 감지된 웨이퍼 위치에 대응하여 상기 검사부의 위치가 변위되도록 상기 변위장치를 제어하며, 상기 촬영부의 카메라에서 촬영된 영상을 통해 웨이퍼 테두리의 결함을 판단하는 제어부 및, 검사대상 웨이퍼가 상기 검사부를 통과하도록 상기 제1 방향과 수직한 제3 방향으로 이송하거나 회전시키는 이송장치를 포함하는 웨이퍼 검사 시스템을 제공한다.

그리고, 상기 이송장치는 웨이퍼가 안착되는 한쌍의 컨베이어 벨트 및 상기 컨베이어 벨트를 이송하는 복수 개의 구동축을 포함할 수 있다.

여기서, 상기 이송장치는 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 안착부 및 상기 웨이퍼 안착부를 회전시키는 회전축을 포함할 수 있다.

또한, 상기 웨이퍼 반사경에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상 및 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 반사시키는 반사부재를 더 포함하고, 상기 카메라는 상기 반사부재에 의해 반사된 영상을 촬영할 수 있다.

그리고, 상기 카메라는 웨이퍼 테두리의 측면, 상면 및 하면 영상을 함께 촬영할 수 있다.

이 경우, 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상과 상기 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면 영상의 광경로의 길이 차이를 보상하기 위하여, 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 적어도 2회 이상 반사시키는 적어도 2개 이상의 반사미러를 구비하는 광경로 보상장치를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 반사미러의 반사면은 상기 제1방향에 대하여 45도 기울어진 상태로 구비되고, 복수 개의 반사미러의 반사면은 서로 평행하거나 수직할 수 있다.

여기서, 상기 광경로 보상장치는 상기 웨이퍼 테두리 측면 영상을 상기 제1방향과 수직한 제3방향, 제1방향, 제3방향의 역방향 및 제1방향으로 순차적으로 반사시키는 4개의 반사면을 구비할 수 있다.

여기서, 상기 검사부와 상기 반사부는 인접한 상태로 수평방향으로 배치되며, 상기 반사부와 상기 카메라 장착부는 수직방향으로 이격되어 배치될 수 있다.

또한, 상기 반사부와 상기 카메라 장착부를 수직방향으로 이격된 상태로 작착시키는 지지부를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 변위장치는 상기 지지부의 하단, 상기 반사부 및 상기 검사부 중 적어도 하나에 수평방향 구동력을 제공할 수 있다.

또한, 상기 변위장치는 장착된 가이드 블록과 상기 가이드 블록을 슬라이드 가능하게 지지하는 슬라이드 가이드를 포함할 수 있다.

그리고, 상기 제어부는 상기 변위장치를 제어하며, 상기 제어부는 상기 삽입홈에 삽입되는 웨이퍼의 삽입깊이의 편차에 따라 웨이퍼의 삽입깊이가 일정해지도록 상기 변위장치를 제어할 수 있다.

또한, 상기 제어부는 상기 삽입홈에 삽입된 웨이퍼의 삽입깊이에 비례하여, 상기 웨이퍼의 삽입방향과 동일한 방향으로 상기 검사부가 변위되도록 상기 변위장치를 제어할 수 있다.

상기 변위장치는 장착된 가이드 블록과 상기 가이드 블록을 슬라이드 가능하게 지지하는 슬라이드 가이드를 포함할 수 있다.

그리고, 상기 제어부는 상기 변위장치를 제어하며, 상기 제어부는 상기 삽입홈에 삽입되는 웨이퍼의 삽입깊이의 편차에 따라 웨이퍼의 삽입깊이가 일정해지도록 상기 변위장치를 제어할 수 있다.

상기 제어부는 상기 삽입홈에 삽입된 웨이퍼의 삽입깊이에 비례하여, 상기 웨이퍼의 삽입방향과 동일한 방향으로 상기 검사부가 변위되도록 상기 변위장치를 제어할 수 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치 및 웨이퍼 검사 시스템에 의하면, 테두리 영역에 크랙이 존재하는 웨이퍼가 후속 공정에 투입되기 전에 조기에 식별해 낼 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치 및 웨이퍼 검사 시스템에 의하면, 하나의 검사용 카메라를 이용하여, 복수 개의 검사지점을 동시에 촬영하여 크랙의 유무를 판단하는 웨이퍼 검사과정의 효율 및 정확성을 극대화할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치 및 웨이퍼 검사 시스템에 의하면, 테두리 영역에 크랙이 존재하는 웨이퍼를 조기에 식별할 수 있으므로, 불필요한 후공정을 생략하여, 비용의 낭비를 예방할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치 및 웨이퍼 검사 시스템에 의하면, 태양광 웨이퍼 또는 반도체 소자용 웨이퍼 모두를 검사할 수 있으므로, 웨이퍼 검사장치의 적용범위를 확대할 수 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치 및 웨이퍼 검사 시스템 이송되는 웨이퍼의 위치 편차에 의하여 발생되는 오차의 보정기능을 구비하므로, 웨이퍼의 테두리 영역에 크랙 등의 하자의 유무를 검사하는 검사과정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 하나의 실시예를 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예를 도시한다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 하나의 실시예의 평면도를 도시한다.
도 4는 도 3에 도시된 웨이퍼 검사 시스템의 요부의 확대도를 도시한다.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예의 요부의 확대도를 도시한다.
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예를 도시한다.
도 7은 도 6에 도시된 웨이퍼 검사 시스템의 평면도를 도시한다.
도 8은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예의 평면도를 도시한다.
도 9는 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 측면도를 도시한다.
도 10은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예의 측면도를 도시한다.
도 11은 도 9 또는 도 10에 도시된 웨이퍼 검사 시스템의 평면도를 도시한다.
도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예를 도시한다.
도 14는 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예를 도시한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템(2000)의 하나의 실시예를 도시한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템(2000)은 웨이퍼 검사장치(1000) 및 상기 웨이퍼 검사장치(1000)에 의해 검사되는 웨이퍼를 변위시키는 이송장치(700)를 포함할 수 있다.

여기서, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치(1000)는 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상(l1 또는 l3)을 웨이퍼의 측면과 수직한 제1 방향(D1)으로 반사시키는 적어도 1개 이상의 웨이퍼 반사경(510), 상기 웨이퍼 반사경(510)에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상(l1 또는 l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)을 함께 촬영하는 촬영부를 구성하는 카메라, 상기 반사경(510)과 상기 카메라를 상기 제1 방향(D1)과 평행한 방향으로 함께 변위시키는 변위장치(800) 및, 상기 카메라에서 촬영된 영상(l1, l2, l3)을 통해 웨이퍼 테두리의 결함을 판단하며, 상기 카메라 및 상기 변위장치(800)를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.

웨이퍼(w)의 결함이란 웨이퍼에 존재하는 크랙, 칩핑 또는 오염물질일 수 있다. 또한, 웨이퍼 검사장치는 웨이퍼의 연마 상태를 검사할 수도 있다.

도 1에 도시된 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치(1000)는 이송장치(700)에 의하여 일방향으로 이송되는 웨이퍼 테두리에 크랙 또는 오염물질의 유무를 판단할 수 있다.

웨이퍼 테두리 영역에 존재하는 크랙 또는 오염물질의 유무를 판단하는 방법은 웨이퍼 테두리의 영상을 촬영하여 촬영된 영상에 크랙 또는 오염물질이 촬영되었는지 여부에 의하여 크랙 또는 오염물질의 유무를 판단하게 된다.

설명의 편의상 웨이퍼 테두리의 상면 영상을 도면부호 l1으로, 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 도면부호 l2으로, 그리고 웨이퍼 테두리의 하면 영상을 도면부호 l3으로 표시한다. 웨이퍼 테두리의 상면, 하면 또는 측면 영상이란 웨이퍼 테두리의 상면, 하면 또는 측면의 상이 포함된 빛을 의미하는 것으로 도 1 이하에서 도시의 편의를 위하여 각각의 영상을 직선화하여 표시하였다.

따라서, 도시된 도면부호 l1, l2 및 l3는 웨이퍼 테두리의 크랙 또는 오염물질의 유무를 판단하기 위하여 카메라에 의하여 촬영되는 웨이퍼 테두리의 상면, 측면 및 하면의 일정 영역의 이미지가 포함된 영상을 의미하는 것으로 해석되어야 한다.

상기 카메라는 촬영부(100)에 하방을 촬영할 수 있도록 장착될 수 있으며, 상기 촬영부(100)는 카메라 장착부(200)의 하부에 장착될 수 있다.

그리고, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치는 상기 반사경(510)과 상기 카메라를 상기 제1 방향(D1)과 평행한 방향으로 함께 변위시키는 변위장치(800)를 더 포함할 수 있다.

상기 변위장치(800)는 상기 반사경(510)과 상기 카메라를 함께 제1 방향(D1)과 평행한 방향으로 변위시킬 수 있다. 상기 제1 방향(D1)은 수평방향일 수 있다.

즉, 상기 변위장치는 특정 검사대상 웨이퍼의 검사과정에서 상기 검사부를 수평방향으로 전진 또는 후진시킬 수 있다.

상기 변위장치(800)를 구비하는 이유는 상기 이송장치(700)에 의하여 이송되는 웨이퍼(w)가 컨베이어 벨트 등의 안착위치에 따라 상기 카메라까지의 거리가 일정하지 않을 수 있고, 일정하지 않은 거리를 인위적으로 일정하게 변화시켜 상기 카메라의 초점거리를 일정하게 하기 위함이다. 즉, 도 1에 도시된 도면 상에서, 상기 웨이퍼(w)의 이송 위치가 상기 카메라의 초점거리에 대응되는 기준위치보다 좌측으로 쏠린 경우에는 상기 변위장치(800)가 상기 반사경(510)과 상기 카메라를 웨이퍼가 쏠린 만큼 좌측으로 변위시켜, 카메라의 초점거리를 일치시킬 수 있다. 이에 대한 설명은 각각의 실시예에서 보충하도록 한다.

상기 변위장치(800)는 가이드 블록(810) 및 슬라이드 가이드(820)를 포함할 수 있다. 상기 가이드 블록(810)은 상기 슬라이드 가이드(820)에 의하여 안내되는 블록으로, 가이드 블록(810)은 별도의 추진수단(미도시)에 의하여 수평방향으로 왕복 구동될 수 있다.

상기 추진수단은 모터, 래크 피니언 등을 포함하여 구성될 수 있다. 그러나, 상기 가이드 블록(810)을 추진할 수 있는 추진수단이라면 형태의 제한은 없다. 상기 제어부에 의한 상기 카메라 및 상기 변위장치(800)의 제어방법에 대하여 뒤에서 다시 기술한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치(1000)는 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상(l1 또는 l3) 및 웨이퍼의 측면을 함께 촬영하는 카메라와 상기 카메라에서 촬영된 영상(l1, l2, l3)을 통해 웨이퍼 테두리의 결함을 판단하는 제어부(미도시)를 포함할 수 있다.

웨이퍼 검사장치(1000)의 제어부는 웨이퍼를 이송하는 이송장치 제어부와 연동되어 웨이퍼의 위치정보 등을 참조하여 크랙 또는 오염물질의 유무와 함께 그 위치까지 판단하도록 설정될 수 있다.

상기 제어부는 상기 카메라에서 촬영된 영상(l1, l2, l3)을 통해 크랙 등의 유무를 판단하기 위한 알고리즘에 의하여 연산되는 처리장치를 포함할 수 있다. 또한, 연속적으로 촬영된 복수 개의 웨이퍼에 대한 영상 및 검사결과를 저장하기 위한 저장공간을 포함할 수 있다.

상기 카메라는 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상(l1 또는 l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)을 함께 촬영할 수 있다.

일정한 방향에서 입사되는 영상을 촬영하기 위한 카메라가 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상(l1 또는 l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)을 함께 촬영하기 위해서 본 발명은 웨이퍼 반사경(510)을 구비할 수 있다.

도 1에 도시된 실시예에서, 웨이퍼 반사경(510)은 웨이퍼 테두리의 상면 영상을 반사시키기 위한 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 웨이퍼 테두리의 하면 영상을 반사시키기 위한 제2 웨이퍼 반사경(510b)을 포함할 수 있다.

웨이퍼 테두리의 측면과 수직하고, 웨이퍼의 측면이 멀어지는 방향을 제1 방향(D1)이라고 정의하면, 상기 제1 웨이퍼 반사경(510a)은 웨이퍼 테두리의 상면의 영상(l1)을 제1 방향(D1)으로 반사시키며, 상기 제2 웨이퍼 반사경(510b)은 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3)을 제1 방향(D1)으로 반사시킨다. 상기 제1 방향(D1)은 수평방향일 수 있다.

웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)은 별도의 반사과정이 없어도 제1 방향(D1)으로 출사되어 영상이 관찰될 수 있다.

상기 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 제2 웨이퍼 반사경(510b)은 어느 하나만 구비되어도 되고, 모두 구비될 수도 있다.

상기 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 제2 웨이퍼 반사경(510b)이 모두 구비되는 경우, 상기 카메라에 의하여 촬영되는 영상은 웨이퍼 테두리의 상면 및 하면의 영상(l1 및 l3)이 모두 포함되며, 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 제2 웨이퍼 반사경(510b) 중 어느 하나만 구비되는 경우에는 상기 카메라에 의하여 촬영되는 영상은 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상(l1 또는 l3)이다.

웨이퍼 테두리의 상면 영상 및 웨이퍼 테두리의 하면 영상은 각각 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 제2 웨이퍼 반사경(510b)에 의하여 반사되어 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)이 관찰되는 방향인 제1 방향(D1)으로 반사될 수 있다.

도 1에 도시된 실시예에서, 지면과 수직하게 이송되는 웨이퍼(w)는 검사부(500)를 통해 촬영된다.

도 1에 도시된 실시예에서, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치(1000)는 웨이퍼 테두리의 상면과 하면의 영상을 반사시키는 제1 웨이퍼 반사경(510a) 및 제2 웨이퍼 반사경(510b)을 구비할 수 있다.

상기 검사부(500)는 검사부(500) 하우징을 구비할 수 있으며, 상기 검사부(500) 하우징은 웨이퍼의 테두리가 이송되는 과정에서 촬영되기 위하여 웨이퍼의 테두리가 삽입되는 삽입홈(550)이 구비되고, 상기 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 제2 웨이퍼 반사경(510b)은 상기 삽입홈(550)을 사이에 두고 수직방향으로 대칭된 위치에 서로 반대방향 경사를 갖으며 장착될 수 있다.

그리고, 상기 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 제2 웨이퍼 반사경(510b)은 상기 웨이퍼의 테두리의 상면과 하면에 대하여 대략 45도 정도 기울어지도록 대칭된 각도로 장착될 수 있다.

상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 및 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3)을 포함하는 빛은 45도로 기울어진 상기 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 제2 웨이퍼 반사경(510b)에 의하여 반사되어 상기 웨이퍼 테두리의 측면과 수직한 방향으로 반사될 수 있다.

그리고, 상기 제어부는 상기 삽입홈에 삽입되는 웨이퍼의 삽입깊이의 편차에 따라 웨이퍼의 삽입깊이가 일정해지도록 상기 변위장치(800)를 제어할 수 있으며, 구체적으로 상기 삽입홈(550)에 삽입된 웨이퍼의 삽입깊이에 비례하여, 상기 웨이퍼의 삽입방향과 동일한 방향으로 상기 검사부(500)가 변위되도록 상기 변위장치(800)를 제어할 수 있다.

그리고, 상기 제어부는 상기 검사부(500)를 통과하는 웨이퍼의 수평방향 위치에 대응하여 상기 검사부(500) 및 상기 촬영부(100)위 위치가 변위되도록 상기 변위장치를 제어한다. 예를 들어, 상기 웨이퍼의 수평방향 위치가 기준 위치에 비해 검사부 측으로 치우친 경우, 상기 변위장치는 상기 검사부 및 상기 촬영부를 상기 웨이퍼가 치우친 방향으로 변위시킬 수 있다.

여기서, 상기 변위장치(800)는 상기 촬영부(100) 및 상기 검사부(500)를 동일한 방향으로 및 동일한 거리를 변위시킬 수 있다. 상기 촬영부(100) 및 상기 검사부(500)는 상기 지지부(300)를 매개로 장착되어 있기 때문이다.

이 경우, 상기 변위장치는 상기 검사부(500)와 함께 상기 촬영부를 구성하는 카메라를 함께 수평방향으로 변위시킬 수 있다.

따라서, 상기 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 제2 웨이퍼 반사경(510b)을 통해, 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1), 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)은 웨이퍼 테두리의 측면과 수직한 제1 방향(D1)으로 반사될 수 있다.

즉, 서로 다른 방향에서 관찰되어야 하는 상기 웨이퍼 테두리의 상면, 상기 웨이퍼 테두리의 하면 및 웨이퍼 테두리의 측면은 한 방향, 즉 웨이퍼 테두리의 측면과 수직한 제1 방향(D1)에서 관찰될 수 있고, 하나의 카메라에 의하여 촬영될 수 있다.

따라서, 서로 다른 방향에서 관찰되어야 하는 상기 웨이퍼 테두리의 상면 및 상기 웨이퍼 테두리의 하면은 제1 웨이퍼 반사경(510a)과 제2 웨이퍼 반사경(510b)을 통해 웨이퍼 테두리의 측면과 동일한 방향에서 관찰될 수 있다.

따라서, 크랙 등의 유무를 판단하기 위하여 상기 웨이퍼 테두리의 상면, 상기 웨이퍼 테두리의 하면 및 웨이퍼 테두리의 측면을 촬영하는 상기 카메라는 상기 제1 방향(D1)에서 입사되는 빛을 촬영할 수 있도록 설치될 수 있다.

그러나, 제1 방향(D1)으로 입사되는 빛을 제1 방향(D1)과 다른 제2 방향(D2)으로 반사시키는 반사부(400)를 더 포함할 수 있다.

도 1에 도시된 실시예에서, 상기 반사부(400)는 그 내부에 제1 방향(D1)으로 입사되는 빛을 제1 방향(D1)과 다른 제2 방향(D2)으로 반사시키는 반사부재(410)가 구비된다. 상기 반사부재(410)는 반사용 미러일 수 있다.

상기 반사부재(410)는 상기 제1 방향(D1)에서 입사되는 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1), 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)을 동일한 반사각을 갖도록 반사시켜 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1), 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)이 제1 방향(D1)과 다른 제2 방향(D2)으로 반사되도록 한다.

상기 제2 방향(D2)은 제1 방향(D1)과 수직한 방향일 수 있으며, 제1 방향(D1)은 도 1에 도시된 바와 같이 수직방향일 수 있다.

상기 반사부(400)에 구비된 반사부재(410)는 검사부(500)의 반사경과 마찬가지로 45도 경사를 갖으며, 장착될 수 있다.

상기 반사부재(410)에 의하여 상기 카메라의 촬영각도를 필요에 따라 변경시킬 수 있다.

도 1에 도시된 실시예에서, 상기 카메라는 촬영각도가 제2 방향(D2)이 되도록 카메라 장착부(100)에 장착되어 제2 방향(D2)인 수직방향으로 입사되는 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1), 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)을 촬영할 수 있다.

상기 반사부(400)와 상기 카메라 장착부(100)는 동일한 지지부(300)에 고정될 수 있다.

상기 카메라 장착부(100)는 상기 반사부(400)와의 거리, 즉 제2 방향(D2)으로 반사부(400)와의 거리를 조절할 수 있도록 상기 지지부(300)에 승강가능하게 장착될 수도 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치(1000)는 상기 반사부(400)를 구비하여, 카메라의 촬영각도를 변경할 수 있으므로, 웨이퍼 검사장치(1000)가 차지하는 수평방향(또는 제1 방향(D1)) 면적을 줄일 수 있다.

상기 변위장치(800)는 상기 지지부(300)의 하단, 상기 반사부(400) 및 상기 검사부(500) 중 적어도 하나에 수평방향 구동력을 제공할 수 있다.

도 1에 도시된 실시예에서, 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1), 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로를 검토하면 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 및 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3)의 광경로가 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로보다 길다는 것을 알 수 있다.

즉, 이송되는 웨이퍼(w)가 수평상태를 유지하고, 상기 반사부(400)의 반사부재(410) 및 상기 검사부(500)의 웨이퍼 반사경(510)이 모두 45도 각도로 기울어져 설치되어, 제1 방향(D1)과 제2 방향(D2)이 서로 수직하고, 상기 카메라의 촬영방향이 제2 방향(D2)과 일치한다면, 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 및 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3)의 광경로는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로보다 x+y만큼 더 길다는 것을 도 1에 도시된 확대도로부터 확인할 수 있다.

즉, 평행하게 반사되는 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1), 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)은 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면에서 각각의 웨이퍼 반사경(510)까지의 거리(x)와 각각의 웨이퍼 반사경(510)에서 웨이퍼 측면까지의 거리(y)의 합만큼의 광경로의 차이를 갖게 된다.

따라서, 상기 반사부재(410), 웨이퍼 반사경(510)의 설치각도에 오차가 없더라도 상기 카메라에 입사되는 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1), 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)은 광경로의 길이 차이를 갖게 된다.

따라서, 상기 카메라에 의하여 촬영되는 영상(l1, l2, l3)은 초점거리가 일치해야 선명한 영상을 얻을 수 있다.

초점거리란 카메라의 렌즈의 중심, 즉 주점과 초점과의 거리이며, 동일한 렌즈를 통해 입사되는 영상이 웨이퍼 테두리의 상면, 하면 및 측면의 영상을 포함하므로, 각각의 영상의 초점거리가 일치해야 3가지 영상이 하나의 화면에 선명하게 촬영될 수 있다. 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치에서 카메라의 초점거리는 결국 웨이퍼 테두리의 각각의 영상(l1, l2, l3)의 광경로의 길이와 각각 일치해야 카메라에 의하여 촬영되는 웨이퍼 테두리의 각각의 영상(l1, l2, l3)의 초점이 모두 맞게 되어 선명한 영상을 얻을 수 있다.

즉, 상기 카메라의 초점을 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 또는 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l2)을 기준으로 결정하면, 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)은 초점이 맞지 않게 되며, 반대로 상기 카메라의 초점을 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)에 맞추면 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 또는 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l2)은 초점이 맞지 않게 될 수 있다.

따라서, 하나의 카메라로 3개의 분할된 영상이 촬영되는 경우, 광경로의 차이가 있다면, 초점이 모든 영상에 대하여 동시에 초점을 맞출 수 없다.

따라서, 후술하는 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치(1000)는 전술한 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1), 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3) 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로차를 보상하기 위한 광경로 보상장치(600)를 구비할 수 있다.

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템(2000)의 다른 실시예를 도시한다. 도 1을 참조한 설명과 중복된 설명은 생략한다.

도 2에 도시된 실시예에서, 검사대상 웨이퍼가 통과하는 검사부(500) 내부에 광경로 보상장치(600)가 구비된다. 상기 광경로 보상장치(600)는 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 및 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3)은 제외하고 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로를 보상한다.

전술한 바와 같이, 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 및 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3)은 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)보다 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면에서 각각의 웨이퍼 반사경(510)까지의 거리(x)와 각각의 웨이퍼 반사경(510)에서 웨이퍼 측면까지의 거리(y)의 합만큼 더 긴 광경로를 갖으므로, 상기 광경로 보상장치(600)는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로를 인위적으로 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면에서 각각의 웨이퍼 반사경(510)까지의 거리(x)와 각각의 웨이퍼 반사경(510)에서 웨이퍼 측면까지의 거리(y)의 합만큼의 광경로를 증가시키는 역할을 수행한다.

즉, 광경로가 짧은 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로를 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상또는 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상의 광경로의 길이로 증가시켜 광경로의 길이를 보상하게 된다.

상기 광경로 보상장치(600)는 복수 개의 반사미러를 조합하여 구성할 수 있으며, 광경로 보상장치(600)에 관한 설명은 후술한다.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 하나의 실시예의 평면도를 도시한다.

또한, 설명의 편의를 위하여, 카메라 및 카메라 장착부(100)가 제거된 상태를 가정하여 설명한다. 또한, 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 및 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3)은 광경로의 보상이 발생되지 않으므로, 도시를 생략하였다.

도 3에 도시된 실시예에서, 검사대상 웨이퍼는 태양광 웨이퍼일 수 있다.

일반적으로 태양광 웨이퍼는 전체적으로 준사각형 형태를 갖지만, 낭비되는 영역을 최소화하기 위하여 모서리가 라운딩 처리된 준사각형(pseudo-square) 형태를 갖을 수 있다.

따라서, 웨이퍼(w)의 테두리에 크랙이 존재하는지를 검사하기 위해서는 전체적으로 준사각형의 4개의 테두리 영역에 각각 크랙 등의 유무를 검사해야 한다.

따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템(2000)은 준사각형 형태를 갖는 웨이퍼의 평행하는 2개의 긴 테두리를 2개의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)로 검사하고, 웨이퍼를 90도 회전시켜 검사되지 않은 한쌍의 평행한 긴 테두리를 검사하여, 전체 웨이퍼의 테두리 영역의 크랙 등의 유무를 검사할 수 있다.

상기 이송장치(700)는 웨이퍼를 일정한 방향으로 이송시키는 컨베이어 벨트(720)와 구동축(710)으로 구성될 수 있다. 또한, 상기 이송장치는 로봇 암(robot arm)으로 구성될 수도 있다. 상기 로봇 암은 웨이퍼를 공급 또는 반출하거나, 웨이퍼의 검사방향을 변경하기 위하여 웨이퍼를 미리 결정된 각도로 회전시키는 역할을 수행할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템(2000)은 총 4개의 웨이퍼 검사장치(1000)를 적용하여, 웨이퍼(w)가 일방향으로만 진행하며, 크랙 등의 결함의 유무를 검사받도록 할 수 있다.

상기 광경로 보상장치(600)는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로를 보상하기 위하여 복수 개의 반사미러를 사용한다.

상기 광경로 보상장치(600)의 원리는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로를 적어도 2회 이상 반사시키는 방법을 사용한다. 다만, 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로 중 광경로 보상장치(600)에 입사되는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로와 상기 광경로 보상장치(600)에서 출사되는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로는 일치하거나 서로 평행하도록 광경로 보상장치(600)의 반사경을 구성해야 한다.

도 3에 도시된 실시예에서, 검사대상 웨이퍼는 대략 전술한 바와 같이, 준사각형 형태를 갖을 수 있다. 이러한 형태의 웨이퍼는 태양전지 웨이퍼일 수 있다.

이러한 준사각형 형태의 웨이퍼의 테두리는 크게 4개의 긴 테두리를 구비할 수 있다.

따라서, 테두리에 결함이 존재하는지를 판단하기 위해서, 웨이퍼 검사장치는 총 4개의 테두리에 결함이 존재하는지를 검토해야 한다.

본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템은 총 2개의 웨이퍼 검사장치를 포함하도록 구성하고, 하나의 웨이퍼의 대향하고, 평행한 두 테두리를 동시에 검사할 수 있다.

즉, 상기 이송장치(700)에 의하여 이송되는 웨이퍼의 한쌍의 평행한 테두리를 검사한 후 웨이퍼를 회전시켜 다시 검사되지 않은 한쌍의 평행한 테두리를 검사할 수 있다.

이 경우, 웨이퍼를 후퇴시켜 동일한 웨이퍼 검사 시스템을 사용하여 테두리의 결함여부를 검사할 수도 있으나, 이송장치(700)의 이송 경로 상에 다른 웨이퍼 검사 시스템 및 웨이퍼를 회전시키는 로테이터를 구비하여, 이송방향이 일방향이 되도록 구성할 수 있다.

상기 이송장치(700)를 구성하는 컨베이어 벨트(720) 상에 웨이퍼가 안착된 상태로 이송되지만, 이송과정에서 진동 또는 이송속도에 의한 슬립 현상에 의하여, 웨이퍼의 안착방향 또는 이송위치 등에 틀어짐이 발생될 수 있다. 이를 수정하기 위하여 각각의 웨이퍼 검사장치는 전술한 변위장치(800)를 구비하여, 각각의 웨이퍼 검사장치의 검사위치를 제어할 수 있다. 자세한 설명은 뒤로 미룬다.

상기 광경로 보상장치(600)의 자세한 설명은 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.

도 4는 도 3에 도시된 웨이퍼 검사 시스템(2000)의 요부의 확대도를 도시한다.

본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치의 광경로 보상장치는 상기 웨이퍼 테두리 측면 영상을 상기 제1 방향과 수직한 제3 방향(D3), 제1 방향(D1), 제3 방향(D3)의 역방향 및 제1 방향(D1)으로 순차적으로 반사시키는 4개의 반사면을 구비할 수 있다.

도 2를 참조하여 설명한 바와 같이, 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 및 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l3)은 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)보다 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면에서 각각의 웨이퍼 반사경(510a, 510b)까지의 거리(x)와 각각의 웨이퍼 반사경(510)에서 웨이퍼 측면까지의 거리(y)의 합만큼 더 긴 광경로를 갖는다.

따라서, 상기 카메라의 초첨거리는 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면 영상(l1 또는 l2)의 광경로의 길이로 설정될 수 있으므로, 상기 광경로 보상장치(600)는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로의 길이를 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면 영상(l1 또는 l2)의 광경로의 길이로 증가시킨다.

상기 광경로 보상장치(600)는 빛의 직진성 및 반사성을 사용하여, 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로를 인위적으로 증가시킨다.

상기 광경로 보상장치(600)는 복수 개의 반사경을 구비할 수 있다. 도 4에 도시된 실시예에서, 상기 광경로 보상장치(600)는 제1 내지 제3 반사미러(610, 620, 630)을 구비한다.

각각의 반사미러는 적어도 1개의 반사면을 갖을 수 있다. 도 4에 도시된 실시에서, 각각의 반사경은 반사미러의 몸체를 구성하는 바디부(611, 621, 631)의 일측면에 반사면(612, 622, 632a, 632b)이 구비된 형태를 갖을 수 있다.

각각의 반사경의 바디부(611, 621, 631)는 동일한 단면 형상을 갖을 수 있다.

도 4에 도시된 실시예에서, 상기 바디부(611, 621, 631)의 단면 형상은 직각 이등변 삼각형일 수 있다. 또한, 특정 반사미러는 반사면이 2개 구비될 수 있다. 상기 반사면 중 2개의 반사면은 하나의 반사미러의 바디부의 수직한 외측면에 구비될 수 있다.

상기 제3반사경(630)은 서로 다른 2개의 반사면(632a, 632b)을 갖으며, 그 중 하나의 반사면(632a)은 제1 반사경(610)의 반사면(612)과 평행하며, 다른 하나의 반사면은 제2 반사경의 반사면과 평행하게 배치될 수 있다. 그리고, 상기 반사미러의 반사면은 각각 상기 제1 방향(D1)에 대하여 45도 기울어질 수 있다.

도 4에 도시된 제1 내지 제3 반사미러(610, 620, 630)의 반사면(612, 622, 632a, 632b)은 광경로 보상장치(600)로 입사되는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)에 대하여 45도 정도 기울어지도록 배치되어, 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)을 4회 반사시켜 도 1에 도시된 실시예의 광경로에 비해, b+d 거리 만큼을 증가시킬 수 있다.

a+c+e에 해당되는 광경로의 길이는 광경로 보상장치(600)가 없는 경우의 광경로의 길이와 동일하기 때문이다.

따라서, 광경로 보상장치(600)가 없는 경우의, 웨이퍼 테두리의 상면 영상 또는 웨이퍼 테두리의 하면 영상의 광경로와 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로의 길이차(x+y)와 보상거리(b+d)를 동일하게 하여, 웨이퍼 테두리의 상면 영상(l1) 또는 웨이퍼 테두리의 하면 영상(l2)의 광경로와 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로의 길이를 일치시켜, 상기 카메라의 초점거리와 광경로의 길이를 일치시킬 수 있다.

상기 반사미러의 반사면의 각도 또는 위치를 적절히 조절하는 경우, 상기 보상거리(b+d)는 2b(또는 2d)일 수 있다.

그리고, 4개의 반사면에 의하여 반사되는 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로는 검사 대상 웨이퍼와 동일평면 또는 평행한 평면 상에 존재할 수 있다.

도 4에 도시된 실시예에서, 상기 광경로 보상장치(600)는 총 3개의 반사경이 구비되는 경우를 도시하였으나, 웨이퍼 테두리에 존재하는 크랙 등의 하자를 검사하기 위하여, 웨이퍼 테두리의 상면, 웨이퍼 테두리의 하면 및 웨이퍼 테두리의 측면의 관찰지점이 동일 평면 상에 위치되어야 하는 것은 아니다.

즉, 도 2 내지 도 4에 도시된 실시예에서, 웨이퍼 테두리의 상면, 웨이퍼 테두리의 하면 및 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로는 모두 웨이퍼(w) 및 웨이퍼의 이송방향인 제3 방향(D3)과 수직한 가상의 평면상에 존재하지만, 웨이퍼의 크랙 등의 유무를 판단하기 위해서는 웨이퍼 테두리의 상면, 웨이퍼 테두리의 하면 및 웨이퍼 테두리의 측면을 빠짐없이 검사하면 되는 것이므로, 각각의 영상의 광경로가 동일 평면상에 존재하지 않을 수도 있다.

도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템(2000)의 다른 실시예의 요부의 확대도를 도시한다.

도 5에 도시된 광경로 보상장치(600)는 전술한 실시예들과 달리 광경로 보상장치(600)를 구성하는 반사미러가 2개인 경우를 도시한다.

도 5에 도시된 실시예에서, 상기 광경로 보상장치(600)는 반사면(612' ,622')이 평행하도록 2개의 반사미러(610, 620)가 구비된다.

도 5에 도시된 광경로 보상장치(600)를 구성하는 상부 반사미러(610')의 반사면(612')은 광경로 보상장치(600)로 입사되는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로에 대하여 45도 정도 기울어지도록 배치되어, 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)을 하방으로 반사시키고, 상기 상부 반사미러(610')와 이격된 위치에 구비된 하부 반사미러(630')는 상기 상부 반사미러(610')에 의하여 반사된 영상을 광경로 보상장치(600)로 입사되는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로와 평행하게 다시 반사시킨다.

웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)을 2회 반사시켜 도 1에 도시된 실시예의 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로에 비해, b' 거리 만큼 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로를 증가시킬 수 있다.

a+c+e에 해당되는 광경로의 길이는 광경로 보상장치(600)가 없는 경우의 광경로의 길이에 해당되기 때문이다.

도 5에 도시된 실시예에서 광경로 보상장치(600)는 반사미러의 개수가 줄어들었지만, 도 2 내지 도 3에 도시된 광경로 보상장치(600)와 마찬가지로 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)의 광경로의 길이를 증가시켜, 카메라의 초점을 확보하여 웨이퍼의 정밀한 검사를 가능하게 한다.

다만, 도 4에 도시된 실시예와 달리, 도 5에 도시된 실시예의 광경로 보상장치(600)는 광경로 보상장치(600)를 구성하는 반사미러의 개수를 줄이므로, 광경로 보상장치(600)를 통과하는 동안 반사미러에 의한 영상의 반사 횟수를 줄을 수 있으므로, 광경로의 오차 발생가능성을 줄일 수 있고, 광경로 보상장치(600)의 구성을 단순화할 수 있다는 장점을 갖는다.

전술한 바와 같이, 상기 광경로 보상장치(600)로 입사되는 웨이퍼 테두리의 상면, 하면 및 측면 영상(l1, l2, l3)의 광경로가 웨이퍼 및 웨이퍼의 이송방향과 수직한 가상의 동일한 평면 상에 존재할 필요는 없으므로, 광경로 보상장치(600)를 구성하는 반사경의 개수를 줄일 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치(1000)의 제어부는 상기 광경로 보상장치(600)로 입사되는 웨이퍼 테두리의 상면, 하면 및 측면 영상의 광경로가 웨이퍼 및 웨이퍼의 이송방향과 수직한 가상의 동일한 평면 상에 존재하지 않는 경우, 이송되는 웨이퍼의 크랙 유무를 판단하는 경우, 웨이퍼 테두리의 측면 영상(l2)과 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면 영상(l1, l3)의 광경로의 거리차(b')를 감안하여, 발견된 크랙의 위치에 반영할 수 있다.

도 4 및 도 5에서 웨이퍼 테두리의 측면 영상 및 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면 영상의 광경로의 거리차에 관한 논의는 이송되는 웨이퍼가 예정된 이송경로, 거치방향 및 거치상태를 이탈하지 않는 경우를 가정하는 것이다. 이송되는 웨이퍼가 예정된 이송경로, 거치방향 및 거치상태를 이탈하는 경우, 웨이퍼 검사장치 또는 웨이퍼 검사 시스템의 제어부는 웨이퍼 이탈에 따라 발생되는 광경로의 길이차를 보상할 수 있으며, 상기 변위장치(800)가 이를 보상할 수 있다.

도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템(2000)의 다른 실시예를 도시하며, 도 7은 도 6에 도시된 웨이퍼 검사 시스템(2000)의 평면도를 도시한다. 도 1 내지 도 5를 참조한 설명과 중복된 설명은 생략한다.

전술한 실시예들은 웨이퍼 검사장치(1000)에서 검사되는 준사각형 웨이퍼를 특정한 방향으로 이송시키기 위하여 웨이퍼를 일정한 방향으로 이송시키는 컨베이어 벨트와 이를 이송하는 구동축으로 구성될 수 있다.

그러나, 원형의 반도체 웨이퍼 등을 검사하기 위해서는 새로운 이송장치(700)를 필요로 한다.

원형 웨이퍼(w')의 테두리에 존재하는 크랙 등을 발견하기 위하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템(2000)은 웨이퍼 안착부(730) 및 회전축(740)을 구비하는 이송장치(700)를 포함할 수 있다. 상기 회전축(740)은 웨이퍼 안착부(730)를 회전시킬 수 있다.

도 6에 도시된 웨이퍼 검사 시스템(2000)은 원형 웨이퍼(w')를 회전시켜 웨이퍼 테두리에 존재하는 크랙 등의 유무를 판단할 수 있다. 원형 웨이퍼(w')를 한바퀴 회전시키는 방법으로 하나의 웨이퍼 전체 테두리의 크랙 등의 유무를 판단할 수 있다.

도 1 내지 도 7에 도시된 실시예를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치를 구성하는 검사부(500)의 삽입홈(550)으로 테두리가 통과되는 웨이퍼는 상기 제1 방향과 수직한 제3 방향으로 이송되거나, 상기 삽입홈(550)에 테두리가 삽입된 상태로 회전될 수 있다.

도 7에 도시된 실시예는 상기 이송장치(700)를 구성하는 웨이퍼 안착부(730)에 웨이퍼(w')가 안착되는 경우, 웨이퍼(w')의 중심과 웨이퍼 안착부(730)의 중심이 일치하는 것으로 도시되었으나, 웨이퍼(w')의 중심과 웨이퍼 안착부(730)의 중심이 일치되지 않는 경우, 예를 들어 웨이퍼(w')의 중심과 웨이퍼 안착부(730)의 중심이 일치하지 않고 편심된 경우, 카메라에 의하여 촬영되는 영상의 광경로의 길이 차가 존재하게 된다. 다만, 웨이퍼가 원형이므로 광경로의 길이차가 변화되는 패턴이 가변될 수 있다.

따라서, 도 6 및 도 7에 도시된 실시예에서도, 웨이퍼 검사장치의 수평방향 위치를 조절하기 위한 변위장치(800)를 구비하여 이를 보상할 수 있다.

도 8은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템(2000)의 다른 실시예의 평면도를 도시한다. 도 1 내지 도 7을 참조한 설명과 중복된 설명은 생략한다. 도 8에 도시된 실시예도 도 7에 도시된 웨이퍼 검사 시스템(2000)과 마찬가지로, 원형 웨이퍼(w')를 회전시키는 이송장치(700)를 구비하지만, 카메라를 구비하는 웨이퍼 검사장치(1000)의 개수가 2개란 점에서 차이가 있다.

웨이퍼 검사장치(1000)의 개수가 2개이며, 2개의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)가 검사대상 웨이퍼의 지름방향 단부에 배치되는 경우에는 하나의 원형 웨이퍼(w')의 테두리에 존재하는 크랙 등의 유무를 판단하기 위하여 상기 이송장치(700)는 웨이퍼를 1회전 시킬 필요가 없으므로, 웨이퍼 검사 속도가 향상될 수 있다.

웨이퍼 검사과정의 속도를 향상시키기 위해서는 웨이퍼의 회전속도를 증가시켜야 하지만 회전속도를 증가시키면, 웨이퍼(w')의 안착상태가 보장될 수 없으므로, 회전속도에는 한계가 있으므로, 원형 웨이퍼를 검사하는 경우, 웨이퍼 검사장치(1000)를 복수 개 구비하여 검사속도를 증가시킬 수 있다.

도 8에 도시된 실시예에서, 각각의 웨이퍼 검사장치는 그 수평방향 위치를 변화시키기 위한 변위장치(800x, 800y)를 각각 구비할 수 있다.

도 9는 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 측면도를 도시한다. 도 1 내지 도 8을 참조한 설명과 중복된 설명은 생략한다.

도 9에 도시된 웨이퍼 검사 시스템은 한 쌍의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)가 마주보고 구비될 수 있다. 상기 한 쌍의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)는 고정된 하나의 지지대(1100)에 이송장치(700)를 사이에 두고 마주 보고 구비될 수 있다.

각각의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)의 검사부(500x, 500y)에 동일한 웨이퍼의 테두리가 통과되도록 하여 동일한 웨이퍼의 대향하는 테두리를 함께 검사할 수 있다.

상기 지지대(1100)는 고정되지만 각각의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)의 변위장치(800x, 800y)는 각각 독립적으로 각각의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)를 수평방향으로 변위시킬 수 있다.

예를 들어, 이송장치(700)에 의하여 이송되는 웨이퍼가 특정 거리 왼쪽으로 치우친 경우, 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)의 변위장치(800x, 800y)는 각각의 검사부의 위치가 상기 특정 거리 왼쪽으로 변위되도록 구동될 수 있다.

이 경우, 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)의 변위장치(800x, 800y)의 변위거리는 동일할 수 있다.

도 10은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예의 측면도를 도시한다.

도 9를 참조한 설명과 중복된 설명은 생략한다. 도 10에 도시된 실시예에서, 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)가 장착된 지지대(1100) 자체가 수평방향으로 변위되도록 구성됨이 도시된다.

즉, 도 9를 참조한 설명에서, 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)를 동시에 동일한 거리만큼 변위되어야 하는 경우, 각각의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)를 구성하는 변위장치(800x, 800y)를 독립적으로 동일한 거리만큼 변위시키는 방법을 사용할 수도 있으나, 도 10에 도시된 실시예에서와 같이, 변위장치(800x, 800y)를 구동하지 않고, 그 지지대를 수평방향으로 변위시킬 수 있다.

상기 변위장치(800x, 800y)가 설치된 지지대(1100)를 수평방향으로 변위시키기 위하여, 상기 지지대(1100)의 하부에 지지대 블록(910x, 910y)이 구비되고, 상기 지지대 블록(910x, 910y)이 슬라이드되기 위한 슬라이드 가이드(920)가 구비되며, 슬라이드 가이드(920)가 설치되는 설치대(1200)가 구비될 수 있다. 상기 지지대 블록(910x, 910y)은 별도로 구비되는 추진력 제공장치에 의하여 추진력이 제공될 수 있다.

따라서, 상기 설치대(1200)에 대하여 상기 지지대(1100)는 수평 방향으로 변위될 수 있다.

도 11은 도 9 또는 도 10에 도시된 웨이퍼 검사 시스템의 평면도를 도시한다. 설명의 편의를 위하여, 지지대(1100)는 고정된 경우를 설명한다.

도 11에 도시된 바와 같이, 상기 이송장치(700)에 의해 이송되는 웨이퍼(w)가 시계 방향으로 일정 각도 틀어져 있다.

따라서, 각각의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)의 검사부(500x, 500y)로 진입하는 웨이퍼는 좌측으로 치우친 상태이며, 치우친 정도가 웨이퍼가 검사부(500x, 500y)를 통과하는 과정에서 감소하게 된다.

따라서, 각의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)를 구성하는 변위장치(800x, 800y)는 각각의 각의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)를 미리 결정된 거리만큼 변위시킨 뒤, 점진적으로 각각의 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)를 반대방향인 오른쪽 방향으로 변위시킨다.

이와 같은 방법에 의하여, 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)의 검사부(500x, 500y)를 통과하는 웨이퍼 테두리의 측면, 상면 또는 하면과 상기 카메라의 거리를 일정하게 하여 웨이퍼 테두리의 측면, 상면 또는 하면이 초점거리에서 촬영되도록 할 수 있다.

즉, 준사각형 형태의 웨이퍼가 방향이 틀어진 경우, 각각의 변위장치(800x, 800y)는 웨이퍼의 방향이 틀어짐에 의한 최대 거리만큼 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)의 검사부(500x, 500y)를 변위시킨 뒤, 점진적으로 상기 최대 거리만큼 반대방향으로 변위시켜, 웨이퍼 검사장치(1000x, 1000y)의 검사부(500x, 500y)를 통과하는 웨이퍼 테두리의 측면, 상면 또는 하면과 상기 카메라의 거리를 일정하게 하여 웨이퍼 테두리의 측면, 상면 또는 하면이 초점거리에서 촬영되도록 할 수 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템은 적어도 1개 이상의 센싱부를 포함할 수 있다. 상기 센싱부는 상기 검사부 전단에 구비될 수 있다. 그리고, 상기 센싱부는 광학 카메라 또는 레이져 센서를 포함할 수 있다. 상기 센싱부는 상기 검사부를 통과할 웨이퍼의 위치를 판단하기 위하여 구비된다.

도 11에 도시된 실시예에서, 상기 센싱부로서 2개의 카메라가 구비됨이 도시된다. 즉, 양 카메라는 특정 영역을 촬영하여, 특정 영역을 통과하는 웨이퍼의 위치를 정확하게 감지할 수 있다.

여기서, 상기 센싱부(1300)는 검사부 전단에 구비되어, 레이져 센서 또는 카메라를 통해 웨이퍼의 치우친 정도를 센싱할 수 있다.

도 11에 도시된 실시예에서, 상기 센싱부(1300)는 준사각형 형태의 양 테두리의 치우침을 동시에 판단할 수 있도록 각각의 검사부에 대응되는 위치에 구비될 수 있다. 상기 센싱부를 구성하는 광학 카메라는 적어도 2개 이상 이격된 위치에 구비되어 웨이퍼의 대향하는 테두리의 일정 영역을 각각 촬영하도록 설치될 수 있으며, 상기 광학 카메라에 의하여 촬영된 영상은 제어부에 의하여 이송되는 웨이퍼의 위치를 판단하기 위한 자료로 사용된다.

도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예를 도시한다. 도 11에 도시된 실시예에서, 상기 센싱부를 구성하는 레이져 센서 또는 카메라는 2개가 구비됨이 도시되었으나, 도 12에 도시된 실시예에서, 이송되는 웨이퍼의 치우침 등을 판단하기 위한 센싱부(1400)는 이송되는 웨이퍼 전체의 영상을 촬영하여 웨이퍼의 틀어짐 또는 방향 등을 센싱할 수 있다. 즉, 도 12에 도시된 실시예에서, 상기 센싱부를 구성하는 광학 카메라는 검사대상 웨이퍼 전체 영역을 촬영할 수 있다.

그리고, 도 13에 도시된 실시예는 도 11에 도시된 실시예와 달리, 광학 카메라 대신 2개의 레이져 센서를 구비하여, 웨이퍼의 치우침의 정도를 판단할 수 있다. 상기 레이져 센서는 적어도 2개 이상 이격된 위치에 구비되어 웨이퍼의 대향하는 테두리의 이송 위치를 감지한다. 센싱부로서 카메라가 아닌 레이져 센서를 구비하는 경우 센싱 알고리즘을 단순화할 수 있으므로, 센싱 속도를 향상시킬 수 있다.

도 14는 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 시스템의 다른 실시예를 도시한다. 도 14에 도시된 웨이퍼 검사 시스템은 원형 웨이퍼의 테두리를 검사할 수 있다.

상기 웨이퍼 검사 시스템 역시 검사부(500) 전단에 센싱부(1500)를 구비할 수 있다.

도 14에 도시된 바와 같이, 검사대상 웨이퍼(w')의 중심과 웨이퍼 안착부(730)의 중심이 일치하지 않고 편심된 경우, 카메라에 의하여 촬영되는 영상의 광경로의 길이 차가 존재하게 된다.

따라서, 상기 변위장치(800)는 수평방향으로 변위되어 상기 카메라에 의하여 촬영되는 광경로의 길이를 일정하게 할 수 있다.

검사대상 웨이퍼(w')가 1회전 동안 촬영되어 검사되는 경우, 검사대상 웨이퍼(w')의 중심과 웨이퍼 안착부(730)의 중심이 일치되지 않은 경우, 상기 웨이퍼 안착부(730)의 회전시 상기 검사부를 통과하는 웨이퍼의 테두리와 웨이퍼 안착부(730)의 중심 사이의 거리는 증가 후 감소되거나, 감소 후 증가되도록 상기 변위장치(800)를 제어할 수 있다. 즉, 상기 변위장치(800)는 특정 검사대상 웨이퍼의 검사과정에서 상기 검사부를 수평방향으로 전진 후 후진시키거나 후진 후 전진시키는 방법으로 웨이퍼(w') 테두리의 상면, 하면 및 측면 영상의 광경로를 일치시킬 수 있다.

도 14에 도시된 실시예에서, 센싱부로서 레이져 센서가 사용되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 광학 카메라를 채용하여 웨이퍼 검사 시스템을 구성할 수 있다.

본 명세서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.

w : 웨이퍼 100 : 카메라
200 : 카메라 장착부 300 : 지지부
400 : 반사부 500 : 검사부
600 : 광경로 보상장치 700 : 이송장치
800 : 변위장치

Claims (40)

1. 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상을 웨이퍼의 측면과 수직한 제1 방향으로 반사시키는 적어도 1개 이상의 웨이퍼 반사경;
   상기 웨이퍼 반사경에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상 및 웨이퍼의 측면 영상을 함께 촬영하는 카메라;
   상기 반사경과 상기 카메라를 상기 제1 방향과 평행한 방향으로 함께 변위시키는 변위장치; 및,
   상기 카메라에서 촬영된 영상을 통해 웨이퍼 테두리의 결함을 판단하며, 상기 카메라 및 상기 변위장치를 제어하는 제어부;를 포함하는 웨이퍼 검사장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 웨이퍼 반사경에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상 및 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 반사시키는 반사부재를 더 포함하고, 상기 카메라는 상기 반사부재에 의해 반사된 영상을 촬영하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 서로 수직한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 카메라는 웨이퍼 테두리의 측면 영상, 웨이퍼 테두리의 상면 영상및 웨이퍼 테두리의 하면 영상을 함께 촬영하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상과 상기 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면 영상의 광경로의 길이 차이를 보상하는 광경로 보상장치가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 광경로 보상장치는 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로를 증가시키기 위하여 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 적어도 2회 이상 반사시키는 적어도 2개 이상의 반사미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 반사미러는 몸체를 구성하는 바디부 및 바디부의 외측면에 구비된 반사면을 구비하며, 상기 반사미러 중 하나의 반사미러는 2개의 반사면을 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 반사미러의 바디부의 단면 형상은 직각 이등변 삼각형인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
9. 제6항에 있어서,
   복수 개의 반사미러의 반사면은 서로 평행하거나 수직한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
10. 제9항에 있어서,
    상기 반사미러의 반사면은 상기 제1 방향에 대하여 45도 기울어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
11. 제6항에 있어서,
    상기 광경로 보상장치는 상기 웨이퍼 테두리 측면 영상을 상기 제1 방향과 수직한 제3 방향, 제1 방향, 제3 방향의 역방향 및 제1 방향으로 순차적으로 반사시키는 4개의 반사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
12. 제11항에 있어서,
    상기 반사면 중 2개의 반사면은 하나의 반사미러의 바디부의 외측면에 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
13. 제12항에 있어서,
    하나의 반사미러의 바디부의 외측면에 구비되는 한 쌍의 반사면은 서로 수직한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
14. 제11항에 있어서,
    4개의 반사면에 의하여 반사되는 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로는 검사 대상 웨이퍼와 동일평면 또는 평행한 평면 상에 존재하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
15. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 반사경은 수평방향으로 이송되는 검사대상 웨이퍼의 테두리가 통과하는 삽입홈이 구비되는 검사부 내부에 경사진 상태로 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
16. 제15항에 있어서,
    상기 검사부의 삽입홈으로 테두리가 통과되는 웨이퍼는 상기 제1 방향과 수직한 제3 방향으로 이송되거나, 상기 삽입홈에 테두리가 삽입된 상태로 회전되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
17. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 반사경이 내부에 경사진 상태로 장착되며, 수평방향으로 이송되는 검사대상 웨이퍼의 테두리가 통과하는 삽입홈이 구비되는 검사부, 상기 웨이퍼 반사경에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상 및 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 반사시키는 반사부재가 내측에 구비된 반사부 및 상기 카메라가 하부에 장착되는 카메라 장착부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
18. 제17항에 있어서,
    상기 검사부와 상기 반사부는 인접한 상태로 수평방향으로 배치되며, 상기 반사부와 상기 카메라 장착부는 수직방향으로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
19. 제17항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 변위장치를 제어하며, 상기 제어부는 상기 삽입홈에 삽입되는 웨이퍼의 삽입깊이의 편차에 따라 웨이퍼의 삽입깊이가 일정해지도록 상기 변위장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
20. 이송 또는 회전되는 웨이퍼의 테두리를 촬영하기 위하여 웨이퍼의 테두리가 통과되는 검사부;
    상기 검사부를 통과하는 웨이퍼의 테두리를 촬영하는 촬영부;
    상기 촬영부에서 촬영된 영상을 통해 웨이퍼 테두리에 존재하는 결함의 유무를 판단하는 제어부; 및,
    상기 검사부 및 상기 촬영부를 함께 수평방향으로 변위시키기 위한 변위장치;를 포함하며,
    상기 촬영부에 의하여 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상과 함께 웨이퍼 테두리의 상면 영상 또는 웨이퍼 테두리의 하면 영상이 촬영되도록 하기 위하여, 상기 검사부는 웨이퍼 테두리의 상면 영상 또는 웨이퍼 테두리의 하면 영상을 반사시키는 적어도 1개 이상의 반사경는 웨이퍼 검사장치.
21. 제20항에 있어서,
    상기 검사부를 통과하는 웨이퍼는 수평방향으로 이송되거나 수평상태로 회전되며, 상기 촬영부는 수직방향으로 웨이퍼의 테두리를 촬영하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
22. 제20항에 있어서,
    상기 검사부를 통과하는 웨이퍼 테두리의 영상을 상기 촬영부의 촬영방향으로 반사시키는 반사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
23. 제20항에 있어서,
    상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로의 길이를 상기 웨이퍼 테두리의 상면 영상의 광경로의 길이 또는 상기 웨이퍼 테두리의 하면 영상의 광경로의 길이에 대응되도록 상기 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로의 길이를 증가시키기 위하여 상기 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로를 변경시키는 복수 개의 반사미러가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
24. 제20항에 있어서,
    상기 반사미러에 반사되기 전의 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로는 상기 반사미러에 의하여 반사 후의 복수 개의 상기 반사미러에 반사된 후의 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상의 광경로와 일치하거나 평행한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
25. 제20항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 검사부를 통과하는 웨이퍼의 수평방향 위치에 대응하여 상기 검사부 및 상기 촬영부위 위치가 변위되도록 상기 변위장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
26. 제25항에 있어서,
    상기 웨이퍼의 수평방향 위치가 기준 위치에 비해 검사부 측으로 치우친 경우, 상기 변위장치는 상기 검사부 및 상기 촬영부를 상기 웨이퍼가 치우친 방향으로 변위시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
27. 제26항에 있어서,
    상기 변위장치는 상기 촬영부 및 상기 검사부를 동일한 방향으로 및 동일한 거리를 변위시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치.
28. 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상을 웨이퍼의 측면과 수직하고 수평한 제1 방향으로 반사시키는 적어도 1개 이상의 웨이퍼 반사경이 경사진 상태로 장착되는 검사부;
    상기 검사부를 통과할 웨이퍼의 위치를 판단하기 위한 센싱부;
    상기 웨이퍼 반사경에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상 및 웨이퍼의 측면 영상을 함께 촬영하는 카메라를 포함하는 촬영부;
    상기 검사부로 진입하는 웨이퍼의 위치에 따라 상기 검사부 및 상기 촬영부를 함께 변위시키는 변위장치;
    상기 센싱부에서 감지된 웨이퍼 위치에 대응하여 상기 검사부의 위치가 변위되도록 상기 변위장치를 제어하며, 상기 촬영부의 카메라에서 촬영된 영상을 통해 웨이퍼 테두리의 결함을 판단하는 제어부; 및,
    검사대상 웨이퍼가 상기 검사부를 통과하도록 상기 제1 방향과 수직한 제3 방향으로 이송하거나 회전시키는 이송장치를 포함하는 웨이퍼 검사 시스템.
29. 제28항에 있어서,
    상기 이송장치는 웨이퍼가 안착되는 한쌍의 컨베이어 벨트 및 상기 컨베이어 벨트를 이송하는 복수 개의 구동축을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
30. 제29항에 있어서,
    상기 변위장치는 특정 검사대상 웨이퍼의 검사과정에서 상기 검사부를 수평방향으로 전진 또는 후진시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
31. 제28항에 있어서,
    상기 이송장치는 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 안착부 및 상기 웨이퍼 안착부를 회전시키는 회전축을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
32. 제28항에 있어서,
    상기 웨이퍼 반사경에서 반사된 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면의 영상 및 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 반사시키는 반사부재를 더 포함하고, 상기 카메라는 상기 반사부재에 의해 반사된 영상을 촬영하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
33. 제28항에 있어서,
    상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상과 상기 웨이퍼 테두리의 상면 또는 하면 영상의 광경로의 길이 차이를 보상하기 위하여, 상기 웨이퍼 테두리의 측면 영상을 적어도 2회 이상 반사시키는 적어도 2개 이상의 반사미러를 구비하는 광경로 보상장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
34. 제33항에 있어서,
    상기 반사미러의 반사면은 상기 제1 방향에 대하여 45도 기울어진 상태로 구비되고, 복수 개의 반사미러의 반사면은 서로 평행하거나 수직한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
35. 제28항에 있어서,
    상기 광경로 보상장치는 상기 웨이퍼 테두리 측면 영상을 상기 제1 방향과 수직한 제3 방향, 제1 방향, 제3 방향의 역방향 및 제1 방향으로 순차적으로 반사시키는 4개의 반사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
36. 제28항에 있어서,
    상기 센싱부는 상기 검사부 전단에 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
37. 제28항에 있어서,
    상기 센싱부는 광학 카메라 또는 레이져 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
38. 제37항에 있어서,
    상기 센싱부가 광학 카메라를 포함하는 경우, 상기 광학 카메라는 적어도 2개 이상 이격된 위치에 구비되어 웨이퍼의 대향하는 테두리의 일정 영역을 각각 촬영하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
39. 제37항에 있어서,
    상기 센싱부가 광학 카메라를 포함하는 경우, 상기 광학 카메라는 검사대상 웨이퍼 전체 영역을 촬영하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.
40. 제37항에 있어서,
    상기 센싱부가 레이져 센서를 포함하는 경우, 상기 레이져 센서는 적어도 2개 이상 이격된 위치에 구비되어 웨이퍼의 대향하는 테두리의 이송 위치를 감지하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 시스템.

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