KR20120040484A - 블레이드타입 프로브블록 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 블레이드타입 프로브블록에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 블레이드의 팁이 피검사체의 전극에 접촉할 때, 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있는 블레이드타입 프로브블록에 관한 것이다.
본 발명에 의한 2열 전극을 갖는 피검사체를 검사하는 블레이드타입 프로브블록에 있어서, 몸체; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된 제1고정부; 상기 제1고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제1열블레이드; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되는 제2고정부; 및 상기 제2고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제2열블레이드;를 포함하며, 상기 제1열블레이드에 돌출부가 형성되고, 상기 제1고정부에는 상기 돌출부의 변위를 제한하는 스토퍼가 더 형성된다.

Description

블레이드타입 프로브블록{BLADE TYPE PROBE BLOCK}
본 발명은 블레이드타입 프로브블록에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 블레이드의 팁이 피검사체의 전극에 접촉할 때, 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있는 블레이드타입 프로브블록에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시소자나 반도체 등의 제조공정에서는 수차례의 전기적 검사를 한다.
이 중 평판표시소자는 TFT기판과 칼라필터기판 사이에 액정을 주입하는 셀공정과, 셀에 구동IC를 부착하는 모듈공정과, 모듈에 프레임을 장착하는 세트공정으로 이루어지는데, 예를 들어 모듈공정 전에 셀의 전기적 검사를 수행하게 된다.
보다 구체적으로 설명하면, 셀의 자장자리 부분에는 전기적 신호(영상신호, 동기신호, 색상신호 등)가 인가되도록 하는 수십 내지 수 백개의 전극들이 고밀도로 배치되는 패드가 복수개 형성되는데, 이러한 셀의 패드에 구동IC를 부착하기 전에 셀의 전기적 검사를 수행하는 것이다.
도 1은 일반적인 액정패널의 셀(100)을 나타낸 것이다. 셀(100)은 TFT기판(110)과 칼라필터기판(120)이 합착되어 구성되며, 상기 TFT기판(110)의 양측 단부에는 구동IC가 부착되는 복수개의 패드(130)가 형성된다.
도 2는 액정패널의 패드(130)를 개략적으로 나타낸 것으로서, 도시된 바와 같이, 패드(130)는 복수개의 전극(131)들이 형성된다.
도 3 및 도 4는 액정패널 등의 피검사체를 전기적으로 검사하는 프로브블록(200)을 도시한 것이다. 도시된 바와 같이, 베이스에 장착되는 매니퓰레이터(210)와, 상기 매니퓰레이터의 선단 하부에 구비되는 몸체(220)와, 상기 몸체(220)의 하부에 구비되는 블레이드(230)와, 상기 블레이드(230)의 일단에 전기적으로 연결되는 구동IC(240)와 FPC(250)를 포함한다.
상기 메니퓰레이터(210)는 몸체(220)를 지지하고 정렬하며, 몸체에 가해지는 구동압력을 조절한다.
상기 구동IC(240)는 PCB(미도시)에서 인가받은 신호를 피검사체를 구동하는 구동신호로 바꾸는 역할을 한다.
상기 블레이드(230)의 양단에는 각각 팁(231,232)이 형성되는데, 선단에 형성된 팁(231)은 피검사체의 패드에 형성된 전극에 일대일 접촉한다. 또한 후단에 형성된 팁(232)은 구동IC(240)의 배선에 일대일 접촉한다. 이 상태에서 구동IC(240)를 통해 검사신호를 인가하여 피검사체의 정상작동 여부를 검사하는 것이다.
한편, 근래에는 도 5에 도시된 바와 같이, 패드(140)의 전극을 미세피치로 형성하기 위하여 2열로 형성하는 경우가 있다. 이 경우, 제1열전극(141)과 제2열전극(142)은 지그재그로 배치된다.
도 6은 도 5에 도시된 2열 전극을 갖는 피검사체를 검사하는 종래의 프로브블록(300)을 나타낸 것이다. 이를 참조하면, 몸체(310)와, 상기 몸체의 선단에 구비되는 제1열블레이드(330)와, 제2열블레이드(350)와, 제1열블레이드(330)를 소정간격으로 배치하는 제1고정부(320)와, 제2열블레이드(350)를 소정간격으로 배치하는 제2고정부(340)를 포함한다.
상기 제1열블레이드(330)와 제2열블레이드(350)는 수평상태로 평행하게 배치된다.
상기 제1열블레이드(330)의 선단측 팁(331)은 피검사체의 제2열전극(도 5의 142)에 접촉하고, 상기 제2열블레이드(350)의 선단측 팁(351)은 피검사체의 제1열전극(도 5의 141)에 접촉한다. 또한 제1열블레이드(330) 및 제2열블레이드(350)의 후단측 팁(332,352)은 각각 구동IC의 배선부에 전기적으로 연결된다.
또한 상기 제1고정부(320)에는 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되어 상기 제1열블레이드(330)가 각 슬릿에 끼워져 정렬된다. 마찬가지로 상기 제2고정부(340)에는 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되어 상기 제2열블레이드(350)가 각 슬릿에 끼워져 정렬된다.
도 7을 참조하여 도 6에 도시된 프로브블록의 사용상태를 설명한다. 도시된 바와 같이, 피검사체(P)에 형성된 제1열전극에 제2열블레이드(350)를 접촉하고, 피검사체(P)에 형성된 제2열전극에 제1열블레이드(330)를 접촉한 상태에서 검사신호를 인가하여 피검사체를 검사한다.
한편, 블레이드를 전극에 접촉할 때, 접촉성능을 향상시키기 위하여 OD(over drive)를 적용하게 되는데, OD를 가할 때 블레이드의 팁은 피검사체의 전극을 따라 슬라이딩을 하게 된다. 특히, 제1열블레이드(330)가 제2열블레이드(350)보다 큰 압력이 가해지기 때문에 제1열블레이드의 팁(331)이 제2열블레이드의 팁(351)보다 상대적으로 많이 슬라이딩된다(도 7의 점선 참조). 이와 같이 블레이드의 팁(331,351)이 피검사체(P)의 전극을 따라 슬라이딩하게 되면, 피검사체(P)의 전극에 스크래치가 발생하는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 블레이드의 팁이 피검사체의 전극에 접촉할 때, 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있는 블레이드타입 프로브블록을 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 2열 전극을 갖는 피검사체를 검사하는 블레이드타입 프로브블록에 있어서, 몸체; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된 제1고정부; 상기 제1고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제1열블레이드; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되는 제2고정부; 및 상기 제2고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제2열블레이드;를 포함하며, 상기 제1열블레이드에 돌출부가 형성되고, 상기 제1고정부에는 상기 돌출부의 변위를 제한하는 스토퍼가 더 형성된다.
또한 상기 스토퍼는 상기 돌출부의 전방에 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1열블레이드는 선단이 하향하도록 경사지게 설치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제2열블레이드는 상기 제1열블레이드와 평행하도록 경사지게 설치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제2열블레이드의 팁은 상기 제1열블레이드의 팁보다 후방에 위치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 제1고정부는 상기 제2고정부의 상부에 위치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 블레이드타입 프로브블록은 몸체; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된 고정부; 및 상기 고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 블레이드;를 포함하며, 상기 블레이드에 돌출부가 형성되고, 상기 고정부에는 상기 돌출부의 변위를 제한하는 스토퍼가 더 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 스토퍼는 상기 돌출부의 전방에 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 블레이드는 선단이 하향하도록 경사지게 설치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 블레이드의 팁이 피검사체의 전극에 접촉할 때, 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
따라서 피검사체의 전극을 보호할 수 있게 된다.
도 1은 종래 프로브장치를 나타낸 것이다.
도 2 및 도 4는 종래 필름타입 프로브유닛을 나타낸 것이다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 의한 필름타입 프로브유닛을 나타낸 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작동을 설명한다.
도 8을 참조하면, 본 실시예(400)는 2열전극을 갖는 피검사체를 검사하는 블레이드타입 프로브블록으로서, 몸체(410)와, 제1고정부(420)와, 제1열블레이드(430)와, 제2고정부(440)와, 제2열블레이드(450)를 포함한다.
상기 제1고정부(420)는 상기 몸체(410)의 선단에 구비되는데, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된다. 상기 슬릿에는 제1열블레이드(430)가 각각 끼워져 정렬한다.
또한 상기 제2고정부(440)는 상기 몸체(410)의 선단에 구비되는데, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된다. 상기 슬릿에는 제2열블레이드(450)가 각각 끼워져 정렬한다.
상기 제2고정부(440)는 상기 제1고정부(420)의 하부에 위치되고, 상기 제2고정부(440)의 슬릿에 끼워져 정렬된 제2열블레이드(450)는 피검사체의 제1열전극(도 5의 141 참조)에 일대일 접촉한다. 또한 상기 제1고정부(420)의 슬릿에 끼워져 정렬된 제1열블레이드(430)는 피검사체의 제2열전극(도 5의 142 참조)에 일대일 접촉한다. 즉, 제1열블레이드의 선단측 팁(431)이 제2열블레이드(450)의 선단측 팁(451)보다 전방에 위치되는 것이다. 또한 제1열블레이드(430)의 후단측 팁(432)과 제2열블레이드(450)의 후단측 팁(452)은 각각 구동IC의 배선부에 전기적으로 연결된다.
특히, 상기 제1열블레이드(430)에는 하방으로 돌출형성된 돌출부(433)가 형성되고, 상기 제1고정부(420)의 상부면을 단차지게 형성하여 이루어진 스토퍼(421)가 구비된다. 상기 돌출부(433)는 상기 제1고정부에 형성된 스토퍼(421)에 의해 유동이 제한된다. 이는 결과적으로 제1열블레이드(430)의 선단측 팁(431)의 변위를 제한하게 되는 것이다. 특히, 상기 스토퍼(421)는 상기 돌출부(433)의 전방에 형성되어 제1열블레이드(430)의 선단측 팁(431)의 전방으로의 변위를 제한하게 된다. 그러나 상기 스토퍼(421)와 돌출부(433) 사이에는 어느 정도 갭이 있어 제1열블레이드(430)의 OD적용은 어느 정도 가능하다.
또한 상기 제1열블레이드(430)는 선단이 하향하도록 경사지게 설치되어 있는 것을 알 수 있다. 도 6에 도시된 종래의 제1열블레이드(430)와 대비하면 OD적용시 변위가 발생할 수 있는 길이 자체가 짧기 때문에(도6의ℓ1>도8의ℓ2) 제1열블레이드(430)의 선단측 팁(431)의 변위가 작게 발생되는 것이다.
또한 상기 제2열블레이드(450)도 제1열블레이드(430)와 마찬가지로 선단이 하향하도록 경사지게 설치되어 결과적으로 제1열블레이드(430)와 제2열블레이드(450)는 평행하게 설치된다.
본 실시예는 제1열블레이드의 변위를 제한하도록 구성되었으나, 제2열블레이드의 변위도 제한하도록 구성할 수 있다. 즉, 제2열블레이드에 돌출부가 형성되고, 제2고정부에 스토퍼가 형성되는 것이다.
또한 본 실시예는 2열전극을 갖는 피검사체를 검사하는 프로브블록에 관해 설명하였으나, 이에 국한되지 않고 본 발명에 의한 기술사상을 1열전극을 갖는 피검사체를 검사하는 프로브블록에 대하여도 적용가능한 것은 당연하다. 이 경우에도 OD적용에 의한 팁의 변위량을 적절하게 제한할 수 있고, 이로 인해 피검사체의 전극에 스크래치가 발생하는 것을 방지할 수 있는 것이다.
400: 프로브블록 410: 몸체
420: 제1고정부 430: 제1열블레이드
440: 제2고정부 450: 제2열블레이드

Claims (9)

  1. 2열 전극을 갖는 피검사체를 검사하는 블레이드타입 프로브블록에 있어서,
    몸체;
    상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된 제1고정부;
    상기 제1고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제1열블레이드;
    상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되는 제2고정부; 및
    상기 제2고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제2열블레이드;를 포함하며,
    상기 제1열블레이드에 돌출부가 형성되고, 상기 제1고정부에는 상기 돌출부의 변위를 제한하는 스토퍼가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 돌출부의 전방에 형성되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1열블레이드는 선단이 하향하도록 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2열블레이드는 상기 제1열블레이드와 평행하도록 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2열블레이드의 팁은 상기 제1열블레이드의 팁보다 후방에 위치되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1고정부는 상기 제2고정부의 상부에 위치되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
  7. 몸체;
    상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된 고정부; 및
    상기 고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 블레이드;를 포함하며,
    상기 블레이드에 돌출부가 형성되고, 상기 고정부에는 상기 돌출부의 변위를 제한하는 스토퍼가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 돌출부의 전방에 형성되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 블레이드는 선단이 하향하도록 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
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