KR20120015882A - Light emitting device package - Google Patents
Light emitting device package Download PDFInfo
- Publication number
- KR20120015882A KR20120015882A KR1020100078385A KR20100078385A KR20120015882A KR 20120015882 A KR20120015882 A KR 20120015882A KR 1020100078385 A KR1020100078385 A KR 1020100078385A KR 20100078385 A KR20100078385 A KR 20100078385A KR 20120015882 A KR20120015882 A KR 20120015882A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- light emitting
- emitting device
- package body
- package
- semiconductor layer
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 61
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 38
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 56
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 25
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 22
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 13
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 6
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 6
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- VRIVJOXICYMTAG-IYEMJOQQSA-L iron(ii) gluconate Chemical compound [Fe+2].OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O.OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O VRIVJOXICYMTAG-IYEMJOQQSA-L 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910019897 RuOx Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N stibanylidynetin;hydrate Chemical compound O.[Sn].[Sb] SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910018229 Al—Ga Inorganic materials 0.000 description 1
- OMKCMEGHMLKVPM-UHFFFAOYSA-N CC=CC=C[Mg] Chemical compound CC=CC=C[Mg] OMKCMEGHMLKVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101001045744 Sus scrofa Hepatocyte nuclear factor 1-beta Proteins 0.000 description 1
- DZLPZFLXRVRDAE-UHFFFAOYSA-N [O--].[O--].[O--].[O--].[Al+3].[Zn++].[In+3] Chemical compound [O--].[O--].[O--].[O--].[Al+3].[Zn++].[In+3] DZLPZFLXRVRDAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- QHMGJGNTMQDRQA-UHFFFAOYSA-N dotriacontane Chemical group CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC QHMGJGNTMQDRQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N indium;oxozinc;tin Chemical compound [In].[Sn].[Zn]=O HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N nickel(II) oxide Inorganic materials [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/50—Wavelength conversion elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
Description
실시예는 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 관한 것이다.Embodiments relate to a light emitting device package, a method for manufacturing the same, and an illumination system.
발광소자(Light Emitting Device)는 전기에너지가 빛에너지로 변환되는 특성의 p-n 접합 다이오드를 주기율표상에서 Ⅲ족과 Ⅴ족의 원소가 화합하여 생성될 수 있다. LED는 화합물 반도체의 조성비를 조절함으로써 다양한 색상구현이 가능하다. A light emitting device may be generated by combining elements of group III and group V on a periodic table of a p-n junction diode having a characteristic in which electrical energy is converted into light energy. LED can realize various colors by adjusting the composition ratio of compound semiconductors.
발광소자는 순방향전압 인가 시 n층의 전자와 p층의 정공(hole)이 결합하여 전도대(Conduction band)와 가전대(Valance band)의 에너지 갭에 해당하는 만큼의 에너지를 발산하는데, 이 에너지는 주로 열이나 빛의 형태로 방출되며, 빛의 형태로 발산되면 발광소자가 되는 것이다.When the forward voltage is applied, the n-layer electrons and the p-layer holes combine to emit energy corresponding to the energy gap of the conduction band and the valence band. It is mainly emitted in the form of heat or light, and when it is emitted in the form of light, it becomes a light emitting device.
예를 들어, 질화물 반도체는 높은 열적 안정성과 폭넓은 밴드갭 에너지에 의해 광소자 및 고출력 전자소자 개발 분야에서 큰 관심을 받고 있다. 특히, 질화물 반도체를 이용한 청색(Blue) 발광소자, 녹색(Green) 발광소자, 자외선(UV) 발광소자 등은 상용화되어 널리 사용되고 있다.For example, nitride semiconductors are receiving great attention in the field of optical devices and high power electronic devices due to their high thermal stability and wide bandgap energy. In particular, blue light emitting devices, green light emitting devices, and ultraviolet light emitting devices using nitride semiconductors are commercially used and widely used.
종래 발광소자는 전극층의 위치에 따라 래터럴 타입(Lateral Type)과 버티컬 타입(Vertical type)으로 구분할 수 있고, 버티컬 타입 발광소자는 외부에서 전류를 주입하기 위해 n 전극을 와이어 본딩(wire bonding)을 통해, p 전극은 유테틱 본딩(eutectic bonding) 등을 이용하였다.Conventional light emitting devices can be classified into a lateral type and a vertical type according to the position of the electrode layer, and the vertical type light emitting devices are wire-bonded to the n electrode to inject current from the outside. For the p electrode, eutectic bonding was used.
그런데, 종래기술에 의한 발광소자 패키지의 경우 n 전극에 대한 와이어 본딩 패드가 발광구조물의 상부에 위치함에 따라 발광되는 빛의 외부 광추출 효율을 저해할 수 있고, 상기 와이어 본딩 패드가 존재함에 따라 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅(conformal coating)을 진행함에 어려움이 있었다.However, in the light emitting device package according to the related art, as the wire bonding pad for the n electrode is positioned on the upper portion of the light emitting structure, external light extraction efficiency of the emitted light may be inhibited, and the light emitting pad may exist to emit light. There was a difficulty in carrying out a conformal coating on the device chip.
실시예는 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공하고자 한다.The embodiment can improve the light extraction efficiency of the light emitting device, and to provide a light emitting device package, a manufacturing method and an illumination system of which a conformal coating is useful on the light emitting device chip.
실시예에 따른 발광소자 패키지는 패키지 몸체; 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제1 도전형 반도체층 사이에 활성층을 포함하며 상기 패키지 몸체 상면에 발광구조물; 상기 패키지 몸체 하면에 제2 전극 패드; 상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되면서 상기 패키지 몸체 하면 상에 제1 전극 패드; 및 상기 패키지 몸체 및 상기 발광구조물과 상기 제1 전극 패드 사이에 개재된 패시베이션;을 포함한다.The light emitting device package according to the embodiment includes a package body; A light emitting structure on a top surface of the package body, the first conductive semiconductor layer, the second conductive semiconductor layer, an active layer between the first conductive semiconductor layer and the first conductive semiconductor layer; A second electrode pad on the bottom surface of the package body; A first electrode pad on the bottom surface of the package body while being electrically connected to the first conductive semiconductor layer; And a passivation interposed between the package body and the light emitting structure and the first electrode pad.
또한, 실시예에 따른 발광소자 패키지의 제조방법은 패키지 몸체를 준비하는 단계; 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제1 도전형 반도체층 사이에 활성층을 포함하는 발광구조물을 형성하는 단계; 상기 발광구조물의 제2 도전형 반도체층과 상기 패키지 몸체 상면이 접하도록 붙이는 단계; 상기 패키지 몸체와 상기 발광구조물을 칩단위로 분리하는 단계; 상기 패키지 몸체 하면에 제2 전극 패드를 형성하는 단계; 및 상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 전극 패드를 상기 패키지 몸체 하면 상에 패시베이션을 개재하여 형성하는 단계;를 포함한다.In addition, the method of manufacturing a light emitting device package according to the embodiment comprises the steps of preparing a package body; Forming a light emitting structure including an active layer between a first conductivity type semiconductor layer, a second conductivity type semiconductor layer, and the first conductivity type semiconductor layer and the first conductivity type semiconductor layer; Attaching the second conductive semiconductor layer of the light emitting structure to the upper surface of the package body; Separating the package body and the light emitting structure in units of chips; Forming a second electrode pad on a bottom surface of the package body; And forming a first electrode pad electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer through passivation on the bottom surface of the package body.
또한, 실시예에 따른 조명시스템은 상기 발광소자 패키지를 구비하는 발광유닛을 포함한다.In addition, the lighting system according to the embodiment includes a light emitting unit having the light emitting device package.
실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking by the pad. Also, since the pad electrode is not on the light emitting device, conformal coating is performed on the light emitting device chip. This useful light emitting device package, its manufacturing method and lighting system can be provided.
또한, 실시예는 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다.In addition, the embodiment uses a silicon (silicone) having a three-dimensional (3D) structure as a substrate and the n-electrode and p-electrode (p-electrode) are both located at the bottom of the substrate (wire bonding) Without the need for (wire bonding), the SMT process and the eutectic (eutectic bonding) process can supply the current from the outside, it is possible to implement a package-integrated vertical light emitting device (LED).
또한, 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다. In addition, according to the embodiment, a light emitting device capable of minimizing the epi-layer loss area when performing wafer-to-wafer bonding between the epi-layer and the silicon substrate of the light emitting structure. It is possible to provide a method for manufacturing a package.
도 1은 실시예에 따른 제1 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면 예시도.
도 2는 실시예에 따른 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면 예시도.
도 3 내지 도 8은 실시예에 따른 발광소자 패키지의 공정단면 예시도.
도 9는 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 상부 사시도.
도 10은 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 하부 사시도.
도 11은 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면도.
도 12는 실시예에 따른 조명 유닛의 사시도.
도 13은 실시예에 따른 백라이트 유닛의 사시도.1 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to a first embodiment according to the embodiment.
2 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to a second embodiment according to the embodiment.
3 to 8 illustrate a process cross-sectional view of a light emitting device package according to the embodiment.
9 is a top perspective view of a light emitting device package according to the second embodiment;
10 is a bottom perspective view of a light emitting device package according to the second embodiment;
11 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to the embodiment.
12 is a perspective view of a lighting unit according to an embodiment.
13 is a perspective view of a backlight unit according to an embodiment.
실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on/over)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on/over)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), area, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under" the substrate, each layer Quot; on "and" under "are intended to include both" directly "or" indirectly " do. Also, the criteria for top, bottom, or bottom of each layer will be described with reference to the drawings.
도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.In the drawings, the thickness or size of each layer is exaggerated, omitted, or schematically illustrated for convenience and clarity of description. In addition, the size of each component does not necessarily reflect the actual size.
(실시예)(Example)
도 1은 실시예에 따른 제1 실시예에 따른 발광소자 패키지(200a)의 단면 예시도이며, 도 2는 실시예에 따른 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지(200b)의 단면 예시도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a light
실시예는 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공하고자 한다.The embodiment can improve the light extraction efficiency of the light emitting device, and to provide a light emitting device package, a manufacturing method and an illumination system of which a conformal coating is useful on the light emitting device chip.
이를 해결하고자, 실시예에 따른 발광소자 패키지는 패키지 몸체(120b)와, 제1 도전형 반도체층(112), 제2 도전형 반도체층(116), 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 상기 제1 도전형 반도체층(112) 사이에 활성층(114)을 포함하며 상기 패키지 몸체(120b) 상면에 구비되는 발광구조물(110)과, 상기 패키지 몸체(120b) 하면에 구비되는 제2 전극 패드(152)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 연결되면서 상기 패키지 몸체(120b) 하면 상에 구비되는 제1 전극 패드(151), 및 상기 패키지 몸체(120b), 상기 발광구조물(110)과 상기 제1 전극 패드(151) 사이에 개재된 패시베이션(130)을 포함할 수 있다.To solve this problem, the light emitting device package according to the embodiment includes a
실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다. 상기 패키지 몸체(120b)는 실리콘 기판일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.According to the light emitting device package according to the embodiment, a manufacturing method and an illumination system thereof, a silicon having a three-dimensional (3D) structure is used as a substrate and an n-electrode and a p-electrode are formed. All of them are located at the bottom of the substrate so that they can be supplied from the outside through SMT process and eutectic bonding process without the need for wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) ) Can be implemented. The
또한, 실시예에서 상기 패키지 몸체는 상부와 하부에 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있다. 상기 패키지 몸체는 3차원(3D) 구조를 형성하기 위해 습식식각, 예를 들어, KOH 계열 습식식각(wet etching)을 채용할 수 있으며, 3D 구조는 측면단면이 상하 대칭 또는 비대칭 구조를 가질 수 있다.In addition, in the embodiment, the package body may have a predetermined slope on the side at the top and bottom. The package body may employ a wet etching, for example, KOH-based wet etching to form a three-dimensional (3D) structure, the side surface of the 3D structure may have a vertically symmetrical or asymmetrical structure. .
예를 들어, 제1 실시예의 상기 패키지 몸체(120a)는 경사진 상부의 상하 폭(a)이 경사진 하부 상하 폭(b)과 동등할 수 있다. For example, the
반면, 제2 실시예에서 패키지 몸체(120b)는 경사진 상부의 상하 폭(a')이 경사진 하부 상하(b') 폭 미만일 수 있다. 또한, 제2 실시예에서 상기 패키지 몸체(120b)는 하부에만 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.On the other hand, in the second embodiment, the
제2 실시예에 의하면 실리콘 기판(Silicon substrate)을 습식식각(wet etching)하여 3D 구조로 제작할 경우 식각 빗변의 각도(θ)가 약 55°~57°로 제어 되기 때문에 실시예 1과 같이 a와 b의 길이가 대칭이면 c의 길이가 길어질 수 있으며, 그 결과 발광구조물의 에피층(Epi-layer)과 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 그만큼 손실되는 에피층(epi-layer) 영역이 넓어질 수 있다. 이를 해결하기 위해 제2 실시예와 같이 a'와 b'를 비대칭으로 하여, a'을 짧게 형성시켜 c'와 같이 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있다.According to the second embodiment, when the silicon substrate is wet-etched and manufactured in a 3D structure, the angle θ of the etch hypotenuse is controlled to about 55 ° to 57 °, and thus, as in Example 1, If the length of b is symmetrical, the length of c may be longer, resulting in loss of the epi-layer and silicon substrate of the light emitting structure when wafer to wafer bonding is performed. The epi-layer region may be widened. To solve this problem, a 'and b' are asymmetrical as in the second embodiment, and a 'is shortened to minimize the epi-layer loss region as in c'.
제2 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.According to the second embodiment, a light emitting device capable of minimizing an epi-layer loss area when wafer-to-wafer bonding of an epi-layer and a silicon substrate of a light emitting structure is performed. It is possible to provide a method for manufacturing a package.
실시예는 상기 발광구조물(110) 상면 상에 컨퍼멀 코팅된 형광체층(230)(도 11 참조)을 더 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The embodiment may further include a phosphor layer 230 (see FIG. 11) coated on the upper surface of the
실시예에 의하면 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없는 구조로 컨포멀 코팅(conformal coating) 기술의 접목이 가능하다.According to the embodiment, it is possible to combine the conformal coating technology with a structure that does not require wire bonding.
실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking by the pad. Also, since the pad electrode is not on the light emitting device, conformal coating is performed on the light emitting device chip. This useful light emitting device package, its manufacturing method and lighting system can be provided.
또한, 실시예에 의하면 기존 수직형 발광소자 칩(chip) 구조와 동일한 형태로 기존 수직형 칩(chip)의 장점을 그대로 수용 가능하다.In addition, according to the embodiment it is possible to accept the advantages of the conventional vertical chip in the same form as the conventional vertical light emitting device chip (chip) structure.
또한, 실시예에 의하면 MEMS 기술을 기반으로 한 특정 구조의 실리콘 기판(silicon substrate) 적용으로 멀티칩 모듈(multi chip module) 구성이 가능하다.In addition, according to the embodiment, it is possible to configure a multi chip module by applying a silicon substrate having a specific structure based on MEMS technology.
또한, 실시예에 의하면 패키지 몸체 하부에 형성되는 패드에 대해 유테틱 본딩(Eutectic bonding) 또는 SMT 공정이 가능하여 칩 레벨 패키지(chip level package) 및 고집적 모듈(module) 구성이 가능하여 초박형으로 발광소자 패키지를 구현할 수 있다.In addition, according to the embodiment, the pad formed on the lower part of the package body can be subjected to eutectic bonding (Eutectic bonding) or SMT process, so that a chip level package and a highly integrated module can be configured, thereby making the ultra-light emitting device You can implement a package.
실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다.According to the light emitting device package according to the embodiment, a manufacturing method and an illumination system thereof, a silicon having a three-dimensional (3D) structure is used as a substrate and an n-electrode and a p-electrode are formed. All of them are located at the bottom of the substrate so that they can be supplied from the outside through SMT process and eutectic bonding process without the need for wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) ) Can be implemented.
또한, 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiment, a light emitting device capable of minimizing the epi-layer loss area when performing wafer-to-wafer bonding between the epi-layer and the silicon substrate of the light emitting structure. It is possible to provide a method for manufacturing a package.
이하, 도 3 내지 도 8을 참조하여 실시예에 따른 발광소자 패키지의 제조방법을 설명한다. 이하에서는 제2 실시예를 기준으로 설명하나 이에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, a method of manufacturing a light emitting device package according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 3 to 8. Hereinafter, description will be given based on the second embodiment, but is not limited thereto.
우선, 도 3과 같이 패키지 몸체(120b)를 준비한다.First, the
상기 패키지 몸체(120b)를 준비하는 단계에서 상기 패키지 몸체(120b)는 칩 단위로 경계가 설정된 상태일 수 있다. 또는, 상기 패키지 몸체는 칩 단위로 경계가 분리된 상태일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.In the preparing of the
예를 들어, 패키지 몸체(120b) 상면과 하면에 각각 제1 마스크 패턴(310)과 제2 마스크 패턴(320)을 형성하고, 이를 식각 마스크로 하여 칩 단위의 경계 설정 공정 또는 칩 단위의 경계 분리공정이 진행될 수 있다. For example, the
상기 패키지 몸체(120b)는 실리콘 기판일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 패키지 몸체(120b)는 실리콘(Si), 실리콘 카바이드(SiC), GaAs, GaN, GaP, InP, Ge 등 전도성 기판 중 어느 하나일 수 있다.The
실시예에서 상기 패키지 몸체(120b)는 상부와 하부에 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있다. 상기 패키지 몸체는 3차원(3D) 구조를 형성하기 위해 습식식각, 예를 들어, KOH 계열 습식식각(wet etching)을 채용할 수 있으며, 3D 구조는 측면단면이 상하 대칭 또는 비대칭 구조를 가질 수 있다.In an embodiment, the
예를 들어, 제1 실시예의 상기 패키지 몸체(120a)는 경사진 상부의 상하 폭(a)이 경사진 하부 상하 폭(b)과 동등할 수 있다. For example, the
반면, 제2 실시예에서 패키지 몸체(120b)는 경사진 상부의 상하 폭(a')이 경사진 하부 상하(b') 폭 미만일 수 있다. 또한, 제2 실시예에서 상기 패키지 몸체(120b)는 하부에만 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.On the other hand, in the second embodiment, the
제2 실시예에 의하면 실리콘 기판(Silicon substrate)을 습식식각(wet etching)하여 3D 구조로 제작할 경우 식각 빗변의 각도(θ)가 약 55°~57°로 제어 되기 때문에 실시예 1과 같이 a와 b의 길이가 대칭이면 c의 길이가 길어질 수 있으며, 그 결과 발광구조물의 에피층(Epi-layer)과 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 그만큼 손실되는 에피층(epi-layer) 영역이 넓어질 수 있다. According to the second embodiment, when the silicon substrate is wet-etched and manufactured in a 3D structure, the angle θ of the etch hypotenuse is controlled to about 55 ° to 57 °, and thus, as in Example 1, If the length of b is symmetrical, the length of c may be longer, resulting in loss of the epi-layer and silicon substrate of the light emitting structure when wafer to wafer bonding is performed. The epi-layer region may be widened.
이를 해결하기 위해 제2 실시예는 도 2와 같이 a'와 b'를 비대칭으로 하여, a'을 짧게 형성시켜 c'와 같이 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있다.In order to solve this problem, in the second embodiment, a 'and b' are asymmetrical as shown in FIG. 2, and a 'is shortened to minimize the epi-layer loss region as shown in c'.
이에 제2 실시예는 패키지 몸체(120b)의 상부 측면과 하부 측면의 폭의 비대칭을 구현하기 위해 제1 마스크 패턴(310)이 노출하는 영역보다 제2 마스크 패턴(320)이 노출하는 영역을 더 좁게 할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Accordingly, the second embodiment further includes an area exposed by the
제2 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.According to the second embodiment, a light emitting device capable of minimizing an epi-layer loss area when wafer-to-wafer bonding of an epi-layer and a silicon substrate of a light emitting structure is performed. It is possible to provide a method for manufacturing a package.
다음으로, 도 4와 같이 소정의 제1 기판(105) 상에 발광구조물(110)을 형성하고, 도 5와 같이 상기 발광구조물(110)과 상기 패키지 몸체(120b)를 본딩한다.Next, as shown in FIG. 4, the
한편, 도 4는 상기 발광구조물(110)의 제2 도전형 반도체층과 상기 패키지 몸체(120b) 상면이 접하도록 붙이는 단계로서, 상기 발광구조물(110)은 칩 단위로 경계가 분리되지 않은 상태로 도시 하였으나 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 발광구조물(110)은 칩 단위로 경계가 분리된 상태로 본딩 공정이 진행될 수도 있다.Meanwhile, FIG. 4 is a step of attaching the second conductive semiconductor layer of the
상기 제1 기판(105)은 절연성 기판 또는 전도성 기판을 포함하며, 예컨대 상기 제1 기판(105)은 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga203. 중 적어도 하나를 사용할 수 있다. 상기 제1 기판(105)에 대해 습식세척을 하여 표면의 불순물을 제거할 수 있다.The
이후, 상기 제1 기판(105) 상에 제1 도전형 반도체층(112), 활성층(114) 및 제2 도전형 반도체층(116)을 포함하는 발광구조물(110)을 형성할 수 있다.Thereafter, the
상기 제1 기판(105)과 상기 발광구조물(110) 사이에는 버퍼층(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 버퍼층(미도시)은 상기 발광구조물(110)의 재료와 제1 기판(105)의 격자 부정합을 완화시켜 줄 수 있으며, 버퍼층의 재료는 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 상기 버퍼층과 상기 발광구조물(110) 사이에는 언도프드(undoped) 반도체층이 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. A buffer layer (not shown) may be formed between the
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 제1 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 상기 제1 도전형 반도체층(112)이 N형 반도체층인 경우, 상기 제1 도전형 도펀트는 N형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductivity
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. A semiconductor material having the compositional formula of the first
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 N형 GaN층을 형성할 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n 형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The first
상기 활성층(114)은 제1 도전형 반도체층(112)을 통해서 주입되는 전자와 이후 형성되는 제2 도전형 반도체층(116)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(발광층) 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다. The
상기 활성층(114)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 활성층(114)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The
상기 활성층(114)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN , GaAs(InGaAs),/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층은 상기 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer / barrier layer of the
상기 활성층(114)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층이 형성될 수 있다. 상기 도전형 클래드층은 AlGaN계 반도체로 형성될 수 있으며, 상기 활성층(114)의 밴드 갭보다는 높은 밴드 갭을 갖을 수 있다.A conductive cladding layer may be formed on or under the
상기 제2 도전형 반도체층(116)은 제2 도전형 도펀트가 도핑된 3-족-5족 화합물 반도체 예컨대, InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(116)이 P형 반도체층인 경우, 상기 제2도전형 도펀트는 P형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.The second conductive
상기 제2 도전형 반도체층(116)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 마그네슘(Mg)과 같은 p 형 불순물을 포함하는 비세틸 사이클로 펜타디에닐 마그네슘(EtCp2Mg){Mg(C2H5C5H4)2}가 주입되어 p형 GaN층이 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second conductivity
실시예에서 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 N형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 P형 반도체층으로 구현할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 또한 상기 제2 도전형 반도체층(116) 위에는 상기 제2 도전형과 반대의 극성을 갖는 갖는 반도체 예컨대 N형 반도체층(미도시)을 형성할 수 있다. 이에 따라 발광구조물(110)은 N-P 접합 구조, P-N 접합 구조, N-P-N 접합 구조, P-N-P 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다.In an exemplary embodiment, the first
이후, 상기 발광구조물(110)의 제2 도전형 반도체층(116)과 상기 패키지 몸체(120b) 상면이 접하도록 붙이는 단계를 진행할 수 있다. 상기 발광구조물(110)과 상기 패키지 몸체(120b)는 유테틱 본딩 등에 의해 상호 결합될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 또는, 상기 패키지 몸체(120b) 상에 니켈(Ni), 금(Au) 등을 이용하여 결합층을 형성하여 본딩이 진행될 수도 있다.Thereafter, the step of attaching the second
실시예는 상기 발광구조물(110)과 접하는 상기 패키지 몸체(120b) 상면에 오믹층(미도시), 반사층(미도시) 등을 형성할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.An embodiment may form an ohmic layer (not shown), a reflective layer (not shown), etc. on the upper surface of the
예를 들어, 오믹층이 형성되는 경우 캐리어 주입을 효율적으로 할 수 있도록 단일 금속 혹은 금속합금, 금속산화물 등을 다중으로 적층하여 오믹층을 형성할 수 있다. 예를 들어, 상기 오믹층은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며, 이러한 재료에 한정되는 않는다.For example, when the ohmic layer is formed, the ohmic layer may be formed by stacking a single metal, a metal alloy, a metal oxide, or the like in multiple layers so as to efficiently inject the carrier. For example, the ohmic layer may be indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), or indium gallium (IGTO). tin oxide), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), IZO (IZO Nitride), AGZO (Al-Ga ZnO), IGZO (In-Ga ZnO), ZnO, IrOx , RuOx, NiO, RuOx / ITO, Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, It may be formed including at least one of Hf, but is not limited to such materials.
또한, 반사층(미도시)이 형성되는 경우, Al, Ag, 혹은 Al이나 Ag를 포함하는 합금을 포함하는 금속층으로 반사층이 이루어질 수 있다. In addition, when a reflective layer (not shown) is formed, the reflective layer may be made of Al, Ag, or a metal layer including an alloy containing Al or Ag.
또한, 실시예는 상기 패키지 몸체(120b) 내에 제너 다이오드(미도시)를 구비할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, the embodiment may include a zener diode (not shown) in the
이후, 상기 발광구조물(110)에서 기판(105)을 제거하는 공정이 진행될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 기판(105)을 제거하는 방법은 고출력의 레이저를 이용하여 제1 기판을 분리하거나 화학적 식각 방법을 사용할 수 있다. 또한, 상기 제1 기판(105)은 물리적으로 갈아냄으로써 제거할 수도 있다. 이때, 레이저 리프트 오프 방법(LLO)은 상온에서 소정의 에너지를 가해주게 되면 상기 제1 기판(105)과 발광구조물(110)의 계면에서 에너지가 흡수되어 발광구조물의 접합표면이 열분해 되어 제1 기판(105)과 발광구조물(110)을 분리할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Thereafter, a process of removing the
다음으로, 도 6 및 도 7과 같이 상기 패키지 몸체(120b)와 상기 발광구조물(110)을 칩단위로 분리할 수 있다.Next, as illustrated in FIGS. 6 and 7, the
예를 들어, 제3 마스크 패턴(330)을 발광구조물(110) 상에 형성하고, 이를 식각 마스크로 하여 상기 패키지 몸체(120b)와 상기 발광구조물(110)을 칩단위로 분리할 수 있다.For example, the
다음으로, 도 8과 같이 상기 패키지 몸체(120b) 하면에 제2 전극 패드(152)을 형성하고, 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 연결되는 제1 전극 패드(151)을 상기 패키지 몸체 하면 상에 패시베이션(130)을 개재하여 형성한다.Next, as shown in FIG. 8, a
상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에는 제1 전극(141)이 형성되며, 이는 발광구조물(110) 및 패키지 몸체(120b)의 측면에 형성되어 상기 제1 전극 패드(151)에 전기적으로 연결될 수 있다.A
도 9는 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 상부 사시도이며, 도 10은 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 하부 사시도이다.9 is a top perspective view of the light emitting device package according to the second embodiment, and FIG. 10 is a bottom perspective view of the light emitting device package according to the second embodiment.
실시예에 따른 발광소자 패키지에 의하면 제1 전극(141)을 통해, 제1 전극 패드(151)가 패키지 몸체(120b)의 하부에 형성될 수 있다. According to the light emitting device package according to the embodiment, the
도 9 및 도 10에서 E영역은 제2 실시예와 같이 패키지 몸체(120b)가 비대칭 모양으로 식각되어 3D 구조가 형성된 상태를 도시한 것이나 이에 한정되는 것은 아니다.9 and 10 illustrate the state in which the 3D structure is formed by etching the
실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다. 상기 패키지 몸체(120b)는 실리콘 기판일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.According to the light emitting device package according to the embodiment, a manufacturing method and an illumination system thereof, a silicon having a three-dimensional (3D) structure is used as a substrate and an n-electrode and a p-electrode are formed. All of them are located at the bottom of the substrate so that they can be supplied from the outside through SMT process and eutectic bonding process without the need for wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) ) Can be implemented. The
또한, 실시예에서 상기 패키지 몸체는 상부와 하부에 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있다. 상기 패키지 몸체는 3차원(3D) 구조를 형성하기 위해 습식식각, 예를 들어, KOH 계열 습식식각(wet etching)을 채용할 수 있으며, 3D 구조는 측면단면이 상하 대칭 또는 비대칭 구조를 가질 수 있다.In addition, in the embodiment, the package body may have a predetermined slope on the side at the top and bottom. The package body may employ a wet etching, for example, KOH-based wet etching to form a three-dimensional (3D) structure, the side surface of the 3D structure may have a vertically symmetrical or asymmetrical structure. .
제2 실시예에서 패키지 몸체(120b)는 경사진 상부의 상하 폭(a')이 경사진 하부 상하(b') 폭 미만일 수 있다. 또한, 제2 실시예에서 상기 패키지 몸체(120b)는 하부에만 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.In the second embodiment, the
제2 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.According to the second embodiment, a light emitting device capable of minimizing an epi-layer loss area when wafer-to-wafer bonding of an epi-layer and a silicon substrate of a light emitting structure is performed. It is possible to provide a method for manufacturing a package.
실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking by the pad. Also, since the pad electrode is not on the light emitting device, conformal coating is performed on the light emitting device chip. This useful light emitting device package, its manufacturing method and lighting system can be provided.
또한, 실시예에 의하면 기존 수직형 발광소자 칩(chip) 구조와 동일한 형태로 기존 수직형 칩(chip)의 장점을 그대로 수용 가능하다.In addition, according to the embodiment it is possible to accept the advantages of the conventional vertical chip in the same form as the conventional vertical light emitting device chip (chip) structure.
또한, 실시예에 의하면 MEMS 기술을 기반으로 한 특정 구조의 실리콘 기판(silicon substrate) 적용으로 멀티칩 모듈(multi chip module) 구성이 가능하다.In addition, according to the embodiment, it is possible to configure a multi chip module by applying a silicon substrate having a specific structure based on MEMS technology.
또한, 실시예에 의하면 패키지 몸체 하부에 형성되는 패드에 대해 유테틱 본딩(Eutectic bonding) 또는 SMT 공정이 가능하여 칩 레벨 패키지(chip level package) 및 고집적 모듈(module) 구성이 가능하여 초박형으로 발광소자 패키지를 구현할 수 있다.In addition, according to the embodiment, the pad formed on the lower part of the package body can be subjected to eutectic bonding (Eutectic bonding) or SMT process, so that a chip level package and a highly integrated module can be configured, thereby making the ultra-light emitting device You can implement a package.
도 11은 실시예에 따른 발광소자 패키지(200)의 단면도이다.11 is a cross-sectional view of a light emitting
실시예는 상기 발광구조물(110) 상면 상에 컨퍼멀 코팅된 형광체층(230)을 형성할 수 있다. 실시예에 의하면 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없는 구조로 컨포멀 코팅(conformal coating) 기술의 접목이 가능하다.In an embodiment, the
실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking by the pad. Also, since the pad electrode is not on the light emitting device, conformal coating is performed on the light emitting device chip. This useful light emitting device package, its manufacturing method and lighting system can be provided.
또한, 실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다.In addition, according to the light emitting device package, the manufacturing method and the illumination system according to the embodiment, using a silicon (silicone) having a three-dimensional (3D) structure as a substrate, n-electrode and p-electrode (p-electrode) ) Are all located at the bottom of the substrate, so that current can be supplied externally by SMT process and eutectic bonding process without wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) can be implemented.
또한, 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiment, a light emitting device capable of minimizing the epi-layer loss area when performing wafer-to-wafer bonding between the epi-layer and the silicon substrate of the light emitting structure. It is possible to provide a method for manufacturing a package.
실시예에 따른 발광소자 패키지는 조명시스템에 적용될 수 있다. 상기 조명시스템은 도 12에 도시된 조명유닛, 도 13에 도시된 백라이드 유닛을 포함하고, 신호등, 차량 전조등, 간판 등이 포함될 수 있다.The light emitting device package according to the embodiment may be applied to an illumination system. The lighting system includes a lighting unit shown in FIG. 12 and a backlight unit shown in FIG. 13, and may include a traffic light, a vehicle headlight, a signboard, and the like.
도 12는 실시예에 따른 조명 유닛의 사시도(1100)이다.12 is a
도 12를 참조하면, 상기 조명 유닛(1100)은 케이스몸체(1110)와, 상기 케이스몸체(1110)에 설치된 발광모듈부(1130)과, 상기 케이스몸체(1110)에 설치되며 외부 전원으로부터 전원을 제공받는 연결 단자(1120)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 12, the
상기 케이스몸체(1110)는 방열 특성이 양호한 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 예를 들어 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있다.The
상기 발광모듈부(1130)은 기판(1132)과, 상기 기판(1132)에 탑재되는 적어도 하나의 발광소자 패키지(200)를 포함할 수 있다.The light emitting
상기 기판(1132)은 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있으며, 예를 들어, 일반 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board), 메탈 코아(Metal Core) PCB, 연성(Flexible) PCB, 세라믹 PCB 등을 포함할 수 있다. The
또한, 상기 기판(1132)은 빛을 효율적으로 반사하는 재질로 형성되거나, 표면이 빛이 효율적으로 반사되는 컬러, 예를 들어 백색, 은색 등으로 형성될 수 있다.In addition, the
상기 기판(1132) 상에는 상기 적어도 하나의 발광소자 패키지(200)가 탑재될 수 있다. 상기 발광소자 패키지(200)는 상기 제1 실시예에 따른 발광소자 패키지(120a) 또는 상기 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지(120b)를 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The at least one light emitting
상기 발광소자 패키지(200) 각각은 적어도 하나의 발광 다이오드(LED: Light Emitting Diode)(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 발광 다이오드는 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 유색 빛을 각각 발광하는 유색 발광 다이오드 및 자외선(UV, UltraViolet)을 발광하는 UV 발광 다이오드를 포함할 수 있다.Each of the light emitting device packages 200 may include at least one light emitting diode (LED). The light emitting diodes may include colored light emitting diodes emitting red, green, blue, or white colored light, and UV light emitting diodes emitting ultraviolet (UV) light.
상기 발광모듈부(1130)는 색감 및 휘도를 얻기 위해 다양한 발광소자 패키지(200)의 조합을 가지도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 고 연색성(CRI)을 확보하기 위해 백색 발광 다이오드, 적색 발광 다이오드 및 녹색 발광 다이오드를 조합하여 배치할 수 있다.The light emitting
상기 연결 단자(1120)는 상기 발광모듈부(1130)와 전기적으로 연결되어 전원을 공급할 수 있다. 도 12에 도시된 것에 따르면, 상기 연결 단자(1120)는 소켓 방식으로 외부 전원에 돌려 끼워져 결합되지만, 이에 대해 한정하지는 않는다. 예를 들어, 상기 연결 단자(1120)는 핀(pin) 형태로 형성되어 외부 전원에 삽입되거나, 배선에 의해 외부 전원에 연결될 수도 있는 것이다.The
도 13은 실시예에 따른 백라이트 유닛의 분해 사시도(1200)이다.13 is an exploded
실시예에 따른 백라이트 유닛(1200)은 도광판(1210)과, 상기 도광판(1210)에 빛을 제공하는 발광모듈부(1240)와, 상기 도광판(1210) 아래에 반사 부재(1220)와, 상기 도광판(1210), 발광모듈부(1240) 및 반사 부재(1220)를 수납하는 바텀 커버(1230)를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The
상기 도광판(1210)은 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1210)은 투명한 재질로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나를 포함할 수 있다. The
상기 발광모듈부(1240)은 상기 도광판(1210)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 상기 백라이트 유닛이 설치되는 디스플레이 장치의 광원으로써 작용하게 된다.The light emitting
상기 발광모듈부(1240)은 상기 도광판(1210)과 접할 수 있으나 이에 한정되지 않는). 구체적으로는, 상기 발광모듈부(1240)은 기판(1242)과, 상기 기판(1242)에 탑재된 다수의 발광소자 패키지(200)를 포함하는데, 상기 기판(1242)이 상기 도광판(1210)과 접할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The light emitting
상기 기판(1242)은 회로패턴(미도시)을 포함하는 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)일 수 있다. 다만, 상기 기판(1242)은 일반 PCB 뿐 아니라, 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 등을 포함할 수도 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
그리고, 상기 다수의 발광소자 패키지(200)는 상기 기판(1242) 상에 빛이 방출되는 발광면이 상기 도광판(1210)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있다.The plurality of light emitting device packages 200 may be mounted on the
상기 도광판(1210) 아래에는 상기 반사 부재(1220)가 형성될 수 있다. 상기 반사 부재(1220)는 상기 도광판(1210)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 위로 향하게 함으로써, 상기 백라이트 유닛의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1220)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 바텀 커버(1230)는 상기 도광판(1210), 발광모듈부(1240) 및 반사 부재(1220) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1230)는 상면이 개구된 박스(box) 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The
상기 바텀 커버(1230)는 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다.The
실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다.According to the light emitting device package according to the embodiment, a manufacturing method and an illumination system thereof, a silicon having a three-dimensional (3D) structure is used as a substrate and an n-electrode and a p-electrode are formed. All of them are located at the bottom of the substrate so that they can be supplied from the outside through SMT process and eutectic bonding process without the need for wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) ) Can be implemented.
또한, 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiment, a light emitting device capable of minimizing the epi-layer loss area when performing wafer-to-wafer bonding between the epi-layer and the silicon substrate of the light emitting structure. It is possible to provide a method for manufacturing a package.
또한, 실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking caused by the pad, and since the pad electrode is not on the light emitting device, The formal coating can provide a useful light emitting device package, a method of manufacturing the same, and an illumination system.
이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments may be combined or modified with respect to other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents of such combinations and modifications should be construed as being included in the scope of the embodiments.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It can be seen that the modification and application of branches are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.
Claims (9)
제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제1 도전형 반도체층 사이에 활성층을 포함하며 상기 패키지 몸체 상면에 발광구조물;
상기 제2 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되면서 상기 패키지 몸체 하면에 제2 전극 패드;
상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되면서 상기 패키지 몸체 측면으로 연장되어 상기 패키지 몸체 하면 상에 형성된 제1 전극 패드; 및
상기 패키지 몸체 및 상기 발광구조물과 상기 제1 전극 패드 사이에 개재된 패시베이션;을 포함하는 발광소자 패키지.Package body;
A light emitting structure on a top surface of the package body, the first conductive semiconductor layer, the second conductive semiconductor layer, an active layer between the first conductive semiconductor layer and the first conductive semiconductor layer;
A second electrode pad on the bottom surface of the package body while being electrically connected to the second conductive semiconductor layer;
A first electrode pad electrically connected to the first conductive semiconductor layer and extending toward a side of the package body and formed on a bottom surface of the package body; And
And a passivation interposed between the package body and the light emitting structure and the first electrode pad.
상기 패키지 몸체는,
상부와 하부에 측면에 소정의 경사를 구비하는 발광소자 패키지.The method according to claim 1,
The package body,
A light emitting device package having a predetermined slope on the upper side and the lower side.
상기 패키지 몸체는,
경사진 상부의 상하 폭이 경사진 하부 상하 폭과 동등한 발광소자 패키지.The method of claim 2,
The package body,
A light emitting device package in which the upper and lower widths of the inclined upper portion are equal to the inclined lower upper and lower widths.
상기 패키지 몸체는,
경사진 상부의 상하 폭이 경사진 하부 상하 폭과 다른 발광소자 패키지.The method of claim 2,
The package body,
A light emitting device package in which the upper and lower widths of the inclined upper part are different from the inclined lower upper and lower widths.
상기 패키지 몸체는,
경사진 상부의 상하 폭이 경사진 하부 상하 폭 미만인 발광소자 패키지.The method of claim 4, wherein
The package body,
A light emitting device package, wherein the upper and lower widths of the inclined upper portion are less than the inclined lower upper and lower widths.
상기 패키지 몸체는,
하부에만 측면에 소정의 경사를 구비하는 발광소자 패키지.The method according to claim 1,
The package body,
A light emitting device package having a predetermined slope on the side only at the bottom.
상기 발광구조물 상면 상에 컨퍼멀 코팅된 형광체층을 더 포함하는 발광소자 패키지.The method according to claim 1,
The light emitting device package further comprises a phosphor layer coated on the upper surface of the light emitting structure.
상기 발광구조물 상면에 패드전극이 형성되지 않는 발광소자 패키지.The method according to claim 1,
A light emitting device package in which no pad electrode is formed on an upper surface of the light emitting structure.
상기 발광구조물과 상기 패키지 몸체는 접하는 발광소자 패키지.The method according to any one of claims 1 to 8,
The light emitting device package is in contact with the light emitting structure and the package body.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100078385A KR101734544B1 (en) | 2010-08-13 | 2010-08-13 | Light emitting device package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100078385A KR101734544B1 (en) | 2010-08-13 | 2010-08-13 | Light emitting device package |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120015882A true KR20120015882A (en) | 2012-02-22 |
KR101734544B1 KR101734544B1 (en) | 2017-05-11 |
Family
ID=45838458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100078385A KR101734544B1 (en) | 2010-08-13 | 2010-08-13 | Light emitting device package |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101734544B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10836609B2 (en) | 2015-03-05 | 2020-11-17 | Otis Elevator Company | Elevator car |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004289047A (en) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Toyoda Gosei Co Ltd | Semiconductor light emitting element and its manufacturing method |
-
2010
- 2010-08-13 KR KR1020100078385A patent/KR101734544B1/en active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10836609B2 (en) | 2015-03-05 | 2020-11-17 | Otis Elevator Company | Elevator car |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101734544B1 (en) | 2017-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8071973B2 (en) | Light emitting device having a lateral passivation layer | |
KR101114191B1 (en) | Light emitting device, method for fabricating the light emitting device | |
US9287460B2 (en) | Light emitting device, light emitting device package and lighting system including the same | |
EP2482343B1 (en) | Semiconductor based light emitting diode | |
US10374124B2 (en) | Light emitting device, method for manufacturing light emitting device and lighting system having same | |
EP2355183B1 (en) | Light emitting diode | |
US8421106B2 (en) | Light emitting device, system and package | |
KR20130069215A (en) | Light emitting device | |
KR20120005756A (en) | Light emitting device | |
EP2383806A1 (en) | Light emitting device, light emitting device package, and lighting system | |
EP2315272B1 (en) | Light emitting diode, light emitting diode package, and lighting system | |
KR20120138275A (en) | Light emitting device | |
KR20110115384A (en) | Light emitting device and method for manufacturing the same, light emitting device package and lighting system | |
US9444016B2 (en) | Light emitting device | |
KR101734544B1 (en) | Light emitting device package | |
KR101231477B1 (en) | Light emitting device | |
KR101871498B1 (en) | Light emitting device | |
KR20150089816A (en) | Light emitting device and lighting system having the same | |
KR101842177B1 (en) | Light emitting device | |
US8692278B2 (en) | Light emitting device | |
KR20130016945A (en) | Light emitting device and method for fabricating the same | |
KR20130079867A (en) | Light emitting device | |
KR20130006845A (en) | Light emitting device and method for fabricating the same | |
KR20130019277A (en) | Light emitting device | |
KR20130011484A (en) | Light emitting device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |