KR20120015882A - Light emitting device package - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A light emitting device package is provided to improve the optical extraction efficiency of a light emitting device by forming a pad electrode in the lower side of a package body and minimizing light suspension due to a pad. CONSTITUTION: A light emitting structure(110) is on the upper side of a package body(120b). The light emitting structure comprises a first electrical conductive semiconductor layer, an active layer, a second electrical conductive semiconductor layer. A second electrode pad(152) is included in the lower side of the package body. A first electrode pad(151) is electrically connected to the first electrical conductive semiconductor layer. Passivation(130) is placed in the package body and between the light emitting structure and the first electrode pad.

Description

발광소자 패키지{LIGHT EMITTING DEVICE PACKAGE}Light emitting device package {LIGHT EMITTING DEVICE PACKAGE}

실시예는 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 관한 것이다.Embodiments relate to a light emitting device package, a method for manufacturing the same, and an illumination system.

발광소자(Light Emitting Device)는 전기에너지가 빛에너지로 변환되는 특성의 p-n 접합 다이오드를 주기율표상에서 Ⅲ족과 Ⅴ족의 원소가 화합하여 생성될 수 있다. LED는 화합물 반도체의 조성비를 조절함으로써 다양한 색상구현이 가능하다. A light emitting device may be generated by combining elements of group III and group V on a periodic table of a p-n junction diode having a characteristic in which electrical energy is converted into light energy. LED can realize various colors by adjusting the composition ratio of compound semiconductors.

발광소자는 순방향전압 인가 시 n층의 전자와 p층의 정공(hole)이 결합하여 전도대(Conduction band)와 가전대(Valance band)의 에너지 갭에 해당하는 만큼의 에너지를 발산하는데, 이 에너지는 주로 열이나 빛의 형태로 방출되며, 빛의 형태로 발산되면 발광소자가 되는 것이다.When the forward voltage is applied, the n-layer electrons and the p-layer holes combine to emit energy corresponding to the energy gap of the conduction band and the valence band. It is mainly emitted in the form of heat or light, and when it is emitted in the form of light, it becomes a light emitting device.

예를 들어, 질화물 반도체는 높은 열적 안정성과 폭넓은 밴드갭 에너지에 의해 광소자 및 고출력 전자소자 개발 분야에서 큰 관심을 받고 있다. 특히, 질화물 반도체를 이용한 청색(Blue) 발광소자, 녹색(Green) 발광소자, 자외선(UV) 발광소자 등은 상용화되어 널리 사용되고 있다.For example, nitride semiconductors are receiving great attention in the field of optical devices and high power electronic devices due to their high thermal stability and wide bandgap energy. In particular, blue light emitting devices, green light emitting devices, and ultraviolet light emitting devices using nitride semiconductors are commercially used and widely used.

종래 발광소자는 전극층의 위치에 따라 래터럴 타입(Lateral Type)과 버티컬 타입(Vertical type)으로 구분할 수 있고, 버티컬 타입 발광소자는 외부에서 전류를 주입하기 위해 n 전극을 와이어 본딩(wire bonding)을 통해, p 전극은 유테틱 본딩(eutectic bonding) 등을 이용하였다.Conventional light emitting devices can be classified into a lateral type and a vertical type according to the position of the electrode layer, and the vertical type light emitting devices are wire-bonded to the n electrode to inject current from the outside. For the p electrode, eutectic bonding was used.

그런데, 종래기술에 의한 발광소자 패키지의 경우 n 전극에 대한 와이어 본딩 패드가 발광구조물의 상부에 위치함에 따라 발광되는 빛의 외부 광추출 효율을 저해할 수 있고, 상기 와이어 본딩 패드가 존재함에 따라 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅(conformal coating)을 진행함에 어려움이 있었다.However, in the light emitting device package according to the related art, as the wire bonding pad for the n electrode is positioned on the upper portion of the light emitting structure, external light extraction efficiency of the emitted light may be inhibited, and the light emitting pad may exist to emit light. There was a difficulty in carrying out a conformal coating on the device chip.

실시예는 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공하고자 한다.The embodiment can improve the light extraction efficiency of the light emitting device, and to provide a light emitting device package, a manufacturing method and an illumination system of which a conformal coating is useful on the light emitting device chip.

실시예에 따른 발광소자 패키지는 패키지 몸체; 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제1 도전형 반도체층 사이에 활성층을 포함하며 상기 패키지 몸체 상면에 발광구조물; 상기 패키지 몸체 하면에 제2 전극 패드; 상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되면서 상기 패키지 몸체 하면 상에 제1 전극 패드; 및 상기 패키지 몸체 및 상기 발광구조물과 상기 제1 전극 패드 사이에 개재된 패시베이션;을 포함한다.The light emitting device package according to the embodiment includes a package body; A light emitting structure on a top surface of the package body, the first conductive semiconductor layer, the second conductive semiconductor layer, an active layer between the first conductive semiconductor layer and the first conductive semiconductor layer; A second electrode pad on the bottom surface of the package body; A first electrode pad on the bottom surface of the package body while being electrically connected to the first conductive semiconductor layer; And a passivation interposed between the package body and the light emitting structure and the first electrode pad.

또한, 실시예에 따른 발광소자 패키지의 제조방법은 패키지 몸체를 준비하는 단계; 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제1 도전형 반도체층 사이에 활성층을 포함하는 발광구조물을 형성하는 단계; 상기 발광구조물의 제2 도전형 반도체층과 상기 패키지 몸체 상면이 접하도록 붙이는 단계; 상기 패키지 몸체와 상기 발광구조물을 칩단위로 분리하는 단계; 상기 패키지 몸체 하면에 제2 전극 패드를 형성하는 단계; 및 상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 전극 패드를 상기 패키지 몸체 하면 상에 패시베이션을 개재하여 형성하는 단계;를 포함한다.In addition, the method of manufacturing a light emitting device package according to the embodiment comprises the steps of preparing a package body; Forming a light emitting structure including an active layer between a first conductivity type semiconductor layer, a second conductivity type semiconductor layer, and the first conductivity type semiconductor layer and the first conductivity type semiconductor layer; Attaching the second conductive semiconductor layer of the light emitting structure to the upper surface of the package body; Separating the package body and the light emitting structure in units of chips; Forming a second electrode pad on a bottom surface of the package body; And forming a first electrode pad electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer through passivation on the bottom surface of the package body.

또한, 실시예에 따른 조명시스템은 상기 발광소자 패키지를 구비하는 발광유닛을 포함한다.In addition, the lighting system according to the embodiment includes a light emitting unit having the light emitting device package.

실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking by the pad. Also, since the pad electrode is not on the light emitting device, conformal coating is performed on the light emitting device chip. This useful light emitting device package, its manufacturing method and lighting system can be provided.

또한, 실시예는 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다.In addition, the embodiment uses a silicon (silicone) having a three-dimensional (3D) structure as a substrate and the n-electrode and p-electrode (p-electrode) are both located at the bottom of the substrate (wire bonding) Without the need for (wire bonding), the SMT process and the eutectic (eutectic bonding) process can supply the current from the outside, it is possible to implement a package-integrated vertical light emitting device (LED).

또한, 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다. In addition, according to the embodiment, a light emitting device capable of minimizing the epi-layer loss area when performing wafer-to-wafer bonding between the epi-layer and the silicon substrate of the light emitting structure. It is possible to provide a method for manufacturing a package.

도 1은 실시예에 따른 제1 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면 예시도.
도 2는 실시예에 따른 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면 예시도.
도 3 내지 도 8은 실시예에 따른 발광소자 패키지의 공정단면 예시도.
도 9는 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 상부 사시도.
도 10은 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 하부 사시도.
도 11은 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면도.
도 12는 실시예에 따른 조명 유닛의 사시도.
도 13은 실시예에 따른 백라이트 유닛의 사시도.
1 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to a first embodiment according to the embodiment.
2 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to a second embodiment according to the embodiment.
3 to 8 illustrate a process cross-sectional view of a light emitting device package according to the embodiment.
9 is a top perspective view of a light emitting device package according to the second embodiment;
10 is a bottom perspective view of a light emitting device package according to the second embodiment;
11 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to the embodiment.
12 is a perspective view of a lighting unit according to an embodiment.
13 is a perspective view of a backlight unit according to an embodiment.

실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on/over)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on/over)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), area, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under" the substrate, each layer Quot; on "and" under "are intended to include both" directly "or" indirectly " do. Also, the criteria for top, bottom, or bottom of each layer will be described with reference to the drawings.

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.In the drawings, the thickness or size of each layer is exaggerated, omitted, or schematically illustrated for convenience and clarity of description. In addition, the size of each component does not necessarily reflect the actual size.

(실시예)(Example)

도 1은 실시예에 따른 제1 실시예에 따른 발광소자 패키지(200a)의 단면 예시도이며, 도 2는 실시예에 따른 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지(200b)의 단면 예시도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device package 200a according to a first embodiment according to an embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device package 200b according to a second embodiment according to an embodiment.

실시예는 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공하고자 한다.The embodiment can improve the light extraction efficiency of the light emitting device, and to provide a light emitting device package, a manufacturing method and an illumination system of which a conformal coating is useful on the light emitting device chip.

이를 해결하고자, 실시예에 따른 발광소자 패키지는 패키지 몸체(120b)와, 제1 도전형 반도체층(112), 제2 도전형 반도체층(116), 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 상기 제1 도전형 반도체층(112) 사이에 활성층(114)을 포함하며 상기 패키지 몸체(120b) 상면에 구비되는 발광구조물(110)과, 상기 패키지 몸체(120b) 하면에 구비되는 제2 전극 패드(152)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 연결되면서 상기 패키지 몸체(120b) 하면 상에 구비되는 제1 전극 패드(151), 및 상기 패키지 몸체(120b), 상기 발광구조물(110)과 상기 제1 전극 패드(151) 사이에 개재된 패시베이션(130)을 포함할 수 있다.To solve this problem, the light emitting device package according to the embodiment includes a package body 120b, a first conductivity type semiconductor layer 112, a second conductivity type semiconductor layer 116, and the first conductivity type semiconductor layer 112; An active layer 114 between the first conductive semiconductor layer 112 and a light emitting structure 110 provided on an upper surface of the package body 120b and a second electrode pad provided on a lower surface of the package body 120b. 152, a first electrode pad 151 provided on a bottom surface of the package body 120b while being electrically connected to the first conductive semiconductor layer 112, the package body 120b, and the light emitting structure. Passivation 130 interposed between the 110 and the first electrode pad 151 may be included.

실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다. 상기 패키지 몸체(120b)는 실리콘 기판일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.According to the light emitting device package according to the embodiment, a manufacturing method and an illumination system thereof, a silicon having a three-dimensional (3D) structure is used as a substrate and an n-electrode and a p-electrode are formed. All of them are located at the bottom of the substrate so that they can be supplied from the outside through SMT process and eutectic bonding process without the need for wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) ) Can be implemented. The package body 120b may be a silicon substrate, but is not limited thereto.

또한, 실시예에서 상기 패키지 몸체는 상부와 하부에 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있다. 상기 패키지 몸체는 3차원(3D) 구조를 형성하기 위해 습식식각, 예를 들어, KOH 계열 습식식각(wet etching)을 채용할 수 있으며, 3D 구조는 측면단면이 상하 대칭 또는 비대칭 구조를 가질 수 있다.In addition, in the embodiment, the package body may have a predetermined slope on the side at the top and bottom. The package body may employ a wet etching, for example, KOH-based wet etching to form a three-dimensional (3D) structure, the side surface of the 3D structure may have a vertically symmetrical or asymmetrical structure. .

예를 들어, 제1 실시예의 상기 패키지 몸체(120a)는 경사진 상부의 상하 폭(a)이 경사진 하부 상하 폭(b)과 동등할 수 있다. For example, the package body 120a of the first embodiment may have an upper and lower width a of an inclined upper portion equal to an inclined lower upper and lower width b.

반면, 제2 실시예에서 패키지 몸체(120b)는 경사진 상부의 상하 폭(a')이 경사진 하부 상하(b') 폭 미만일 수 있다. 또한, 제2 실시예에서 상기 패키지 몸체(120b)는 하부에만 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.On the other hand, in the second embodiment, the package body 120b may have an inclined upper and lower width a 'less than an inclined lower upper and lower b' width. In addition, in the second embodiment, the package body 120b may have a predetermined inclination on the side surface only at the bottom thereof, but is not limited thereto.

제2 실시예에 의하면 실리콘 기판(Silicon substrate)을 습식식각(wet etching)하여 3D 구조로 제작할 경우 식각 빗변의 각도(θ)가 약 55°~57°로 제어 되기 때문에 실시예 1과 같이 a와 b의 길이가 대칭이면 c의 길이가 길어질 수 있으며, 그 결과 발광구조물의 에피층(Epi-layer)과 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 그만큼 손실되는 에피층(epi-layer) 영역이 넓어질 수 있다. 이를 해결하기 위해 제2 실시예와 같이 a'와 b'를 비대칭으로 하여, a'을 짧게 형성시켜 c'와 같이 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있다.According to the second embodiment, when the silicon substrate is wet-etched and manufactured in a 3D structure, the angle θ of the etch hypotenuse is controlled to about 55 ° to 57 °, and thus, as in Example 1, If the length of b is symmetrical, the length of c may be longer, resulting in loss of the epi-layer and silicon substrate of the light emitting structure when wafer to wafer bonding is performed. The epi-layer region may be widened. To solve this problem, a 'and b' are asymmetrical as in the second embodiment, and a 'is shortened to minimize the epi-layer loss region as in c'.

제2 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.According to the second embodiment, a light emitting device capable of minimizing an epi-layer loss area when wafer-to-wafer bonding of an epi-layer and a silicon substrate of a light emitting structure is performed. It is possible to provide a method for manufacturing a package.

실시예는 상기 발광구조물(110) 상면 상에 컨퍼멀 코팅된 형광체층(230)(도 11 참조)을 더 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The embodiment may further include a phosphor layer 230 (see FIG. 11) coated on the upper surface of the light emitting structure 110, but is not limited thereto.

실시예에 의하면 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없는 구조로 컨포멀 코팅(conformal coating) 기술의 접목이 가능하다.According to the embodiment, it is possible to combine the conformal coating technology with a structure that does not require wire bonding.

실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking by the pad. Also, since the pad electrode is not on the light emitting device, conformal coating is performed on the light emitting device chip. This useful light emitting device package, its manufacturing method and lighting system can be provided.

또한, 실시예에 의하면 기존 수직형 발광소자 칩(chip) 구조와 동일한 형태로 기존 수직형 칩(chip)의 장점을 그대로 수용 가능하다.In addition, according to the embodiment it is possible to accept the advantages of the conventional vertical chip in the same form as the conventional vertical light emitting device chip (chip) structure.

또한, 실시예에 의하면 MEMS 기술을 기반으로 한 특정 구조의 실리콘 기판(silicon substrate) 적용으로 멀티칩 모듈(multi chip module) 구성이 가능하다.In addition, according to the embodiment, it is possible to configure a multi chip module by applying a silicon substrate having a specific structure based on MEMS technology.

또한, 실시예에 의하면 패키지 몸체 하부에 형성되는 패드에 대해 유테틱 본딩(Eutectic bonding) 또는 SMT 공정이 가능하여 칩 레벨 패키지(chip level package) 및 고집적 모듈(module) 구성이 가능하여 초박형으로 발광소자 패키지를 구현할 수 있다.In addition, according to the embodiment, the pad formed on the lower part of the package body can be subjected to eutectic bonding (Eutectic bonding) or SMT process, so that a chip level package and a highly integrated module can be configured, thereby making the ultra-light emitting device You can implement a package.

실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다.According to the light emitting device package according to the embodiment, a manufacturing method and an illumination system thereof, a silicon having a three-dimensional (3D) structure is used as a substrate and an n-electrode and a p-electrode are formed. All of them are located at the bottom of the substrate so that they can be supplied from the outside through SMT process and eutectic bonding process without the need for wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) ) Can be implemented.

또한, 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiment, a light emitting device capable of minimizing the epi-layer loss area when performing wafer-to-wafer bonding between the epi-layer and the silicon substrate of the light emitting structure. It is possible to provide a method for manufacturing a package.

이하, 도 3 내지 도 8을 참조하여 실시예에 따른 발광소자 패키지의 제조방법을 설명한다. 이하에서는 제2 실시예를 기준으로 설명하나 이에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, a method of manufacturing a light emitting device package according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 3 to 8. Hereinafter, description will be given based on the second embodiment, but is not limited thereto.

우선, 도 3과 같이 패키지 몸체(120b)를 준비한다.First, the package body 120b is prepared as shown in FIG. 3.

상기 패키지 몸체(120b)를 준비하는 단계에서 상기 패키지 몸체(120b)는 칩 단위로 경계가 설정된 상태일 수 있다. 또는, 상기 패키지 몸체는 칩 단위로 경계가 분리된 상태일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.In the preparing of the package body 120b, the package body 120b may be in a boundary state in units of chips. Alternatively, the package body may be in a state where boundaries are separated by a chip unit, but is not limited thereto.

예를 들어, 패키지 몸체(120b) 상면과 하면에 각각 제1 마스크 패턴(310)과 제2 마스크 패턴(320)을 형성하고, 이를 식각 마스크로 하여 칩 단위의 경계 설정 공정 또는 칩 단위의 경계 분리공정이 진행될 수 있다. For example, the first mask pattern 310 and the second mask pattern 320 are formed on the upper and lower surfaces of the package body 120b, respectively, and are used as an etch mask to establish the boundary of a chip unit or to separate the boundaries of a chip unit. The process can proceed.

상기 패키지 몸체(120b)는 실리콘 기판일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 패키지 몸체(120b)는 실리콘(Si), 실리콘 카바이드(SiC), GaAs, GaN, GaP, InP, Ge 등 전도성 기판 중 어느 하나일 수 있다.The package body 120b may be a silicon substrate, but is not limited thereto. For example, the package body 120b may be any one of a conductive substrate such as silicon (Si), silicon carbide (SiC), GaAs, GaN, GaP, InP, Ge, and the like.

실시예에서 상기 패키지 몸체(120b)는 상부와 하부에 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있다. 상기 패키지 몸체는 3차원(3D) 구조를 형성하기 위해 습식식각, 예를 들어, KOH 계열 습식식각(wet etching)을 채용할 수 있으며, 3D 구조는 측면단면이 상하 대칭 또는 비대칭 구조를 가질 수 있다.In an embodiment, the package body 120b may have a predetermined inclination on the side at the top and the bottom thereof. The package body may employ a wet etching, for example, KOH-based wet etching to form a three-dimensional (3D) structure, the side surface of the 3D structure may have a vertically symmetrical or asymmetrical structure. .

예를 들어, 제1 실시예의 상기 패키지 몸체(120a)는 경사진 상부의 상하 폭(a)이 경사진 하부 상하 폭(b)과 동등할 수 있다. For example, the package body 120a of the first embodiment may have an upper and lower width a of an inclined upper portion equal to an inclined lower upper and lower width b.

반면, 제2 실시예에서 패키지 몸체(120b)는 경사진 상부의 상하 폭(a')이 경사진 하부 상하(b') 폭 미만일 수 있다. 또한, 제2 실시예에서 상기 패키지 몸체(120b)는 하부에만 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.On the other hand, in the second embodiment, the package body 120b may have an inclined upper and lower width a 'less than an inclined lower upper and lower b' width. In addition, in the second embodiment, the package body 120b may have a predetermined inclination on the side surface only at the bottom thereof, but is not limited thereto.

제2 실시예에 의하면 실리콘 기판(Silicon substrate)을 습식식각(wet etching)하여 3D 구조로 제작할 경우 식각 빗변의 각도(θ)가 약 55°~57°로 제어 되기 때문에 실시예 1과 같이 a와 b의 길이가 대칭이면 c의 길이가 길어질 수 있으며, 그 결과 발광구조물의 에피층(Epi-layer)과 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 그만큼 손실되는 에피층(epi-layer) 영역이 넓어질 수 있다. According to the second embodiment, when the silicon substrate is wet-etched and manufactured in a 3D structure, the angle θ of the etch hypotenuse is controlled to about 55 ° to 57 °, and thus, as in Example 1, If the length of b is symmetrical, the length of c may be longer, resulting in loss of the epi-layer and silicon substrate of the light emitting structure when wafer to wafer bonding is performed. The epi-layer region may be widened.

이를 해결하기 위해 제2 실시예는 도 2와 같이 a'와 b'를 비대칭으로 하여, a'을 짧게 형성시켜 c'와 같이 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있다.In order to solve this problem, in the second embodiment, a 'and b' are asymmetrical as shown in FIG. 2, and a 'is shortened to minimize the epi-layer loss region as shown in c'.

이에 제2 실시예는 패키지 몸체(120b)의 상부 측면과 하부 측면의 폭의 비대칭을 구현하기 위해 제1 마스크 패턴(310)이 노출하는 영역보다 제2 마스크 패턴(320)이 노출하는 영역을 더 좁게 할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Accordingly, the second embodiment further includes an area exposed by the second mask pattern 320 rather than an area exposed by the first mask pattern 310 in order to realize asymmetry of the width of the upper and lower sides of the package body 120b. It may be narrowed, but is not limited thereto.

제2 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.According to the second embodiment, a light emitting device capable of minimizing an epi-layer loss area when wafer-to-wafer bonding of an epi-layer and a silicon substrate of a light emitting structure is performed. It is possible to provide a method for manufacturing a package.

다음으로, 도 4와 같이 소정의 제1 기판(105) 상에 발광구조물(110)을 형성하고, 도 5와 같이 상기 발광구조물(110)과 상기 패키지 몸체(120b)를 본딩한다.Next, as shown in FIG. 4, the light emitting structure 110 is formed on the first substrate 105, and the light emitting structure 110 and the package body 120b are bonded as shown in FIG. 5.

한편, 도 4는 상기 발광구조물(110)의 제2 도전형 반도체층과 상기 패키지 몸체(120b) 상면이 접하도록 붙이는 단계로서, 상기 발광구조물(110)은 칩 단위로 경계가 분리되지 않은 상태로 도시 하였으나 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 발광구조물(110)은 칩 단위로 경계가 분리된 상태로 본딩 공정이 진행될 수도 있다.Meanwhile, FIG. 4 is a step of attaching the second conductive semiconductor layer of the light emitting structure 110 to the upper surface of the package body 120b so that the light emitting structure 110 is not separated by a chip unit. Although not shown, the light emitting structure 110 may be bonded in a state where boundaries are separated on a chip basis.

상기 제1 기판(105)은 절연성 기판 또는 전도성 기판을 포함하며, 예컨대 상기 제1 기판(105)은 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga203. 중 적어도 하나를 사용할 수 있다. 상기 제1 기판(105)에 대해 습식세척을 하여 표면의 불순물을 제거할 수 있다.The first substrate 105 may include an insulating substrate or a conductive substrate. For example, the first substrate 105 may include sapphire (Al 2 O 3 ), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga 2 0 3 . At least one of may be used. Impurities on the surface may be removed by wet cleaning the first substrate 105.

이후, 상기 제1 기판(105) 상에 제1 도전형 반도체층(112), 활성층(114) 및 제2 도전형 반도체층(116)을 포함하는 발광구조물(110)을 형성할 수 있다.Thereafter, the light emitting structure 110 including the first conductive semiconductor layer 112, the active layer 114, and the second conductive semiconductor layer 116 may be formed on the first substrate 105.

상기 제1 기판(105)과 상기 발광구조물(110) 사이에는 버퍼층(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 버퍼층(미도시)은 상기 발광구조물(110)의 재료와 제1 기판(105)의 격자 부정합을 완화시켜 줄 수 있으며, 버퍼층의 재료는 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 상기 버퍼층과 상기 발광구조물(110) 사이에는 언도프드(undoped) 반도체층이 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. A buffer layer (not shown) may be formed between the first substrate 105 and the light emitting structure 110. The buffer layer (not shown) may mitigate lattice mismatch between the material of the light emitting structure 110 and the first substrate 105, and the material of the buffer layer may be a Group III-V compound semiconductor such as GaN, InN, or AlN. , InGaN, AlGaN, InAlGaN, or AlInN. An undoped semiconductor layer may be formed between the buffer layer and the light emitting structure 110, but is not limited thereto.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 제1 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 상기 제1 도전형 반도체층(112)이 N형 반도체층인 경우, 상기 제1 도전형 도펀트는 N형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductivity type semiconductor layer 112 may be implemented as a group III-V compound semiconductor doped with a first conductivity type dopant, and when the first conductivity type semiconductor layer 112 is an N-type semiconductor layer, The first conductivity type dopant may be an N type dopant and may include Si, Ge, Sn, Se, Te, but is not limited thereto.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. A semiconductor material having the compositional formula of the first conductive semiconductor layer 112 may be In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1) It may include.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 112 may be formed of any one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 N형 GaN층을 형성할 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n 형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 112 may form an N-type GaN layer using a chemical vapor deposition method (CVD), molecular beam epitaxy (MBE), or sputtering or hydroxide vapor phase epitaxy (HVPE). . In addition, the first conductive semiconductor layer 112 may include a silane containing n-type impurities such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and silicon (Si). The gas SiH 4 may be injected and formed.

상기 활성층(114)은 제1 도전형 반도체층(112)을 통해서 주입되는 전자와 이후 형성되는 제2 도전형 반도체층(116)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(발광층) 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다. The active layer 114 has an energy band inherent in the active layer (light emitting layer) material because electrons injected through the first conductive semiconductor layer 112 and holes injected through the second conductive semiconductor layer 116 formed thereafter meet each other. It is a layer that emits light with energy determined by.

상기 활성층(114)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 활성층(114)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The active layer 114 may be formed of at least one of a single quantum well structure, a multi quantum well structure (MQW), a quantum-wire structure, or a quantum dot structure. For example, the active layer 114 may be formed by injecting trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) to form a multi-quantum well structure. It is not limited to this.

상기 활성층(114)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN , GaAs(InGaAs),/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층은 상기 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer / barrier layer of the active layer 114 is formed of one or more pair structures of InGaN / GaN, InGaN / InGaN, GaN / AlGaN, InAlGaN / GaN, GaAs (InGaAs), / AlGaAs, GaP (InGaP) / AlGaP. It may be, but is not limited to such. The well layer may be formed of a material having a lower band gap than the band gap of the barrier layer.

상기 활성층(114)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층이 형성될 수 있다. 상기 도전형 클래드층은 AlGaN계 반도체로 형성될 수 있으며, 상기 활성층(114)의 밴드 갭보다는 높은 밴드 갭을 갖을 수 있다.A conductive cladding layer may be formed on or under the active layer 114. The conductive clad layer may be formed of an AlGaN-based semiconductor, and may have a higher band gap than the band gap of the active layer 114.

상기 제2 도전형 반도체층(116)은 제2 도전형 도펀트가 도핑된 3-족-5족 화합물 반도체 예컨대, InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(116)이 P형 반도체층인 경우, 상기 제2도전형 도펀트는 P형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.The second conductive type semiconductor layer 116 is a second conductive type dopant is doped -5-group three-V compound semiconductor, for example, In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y And a semiconductor material having a composition formula of ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1). When the second conductive semiconductor layer 116 is a P-type semiconductor layer, the second conductive dopant may include Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, or the like as a P-type dopant.

상기 제2 도전형 반도체층(116)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 마그네슘(Mg)과 같은 p 형 불순물을 포함하는 비세틸 사이클로 펜타디에닐 마그네슘(EtCp2Mg){Mg(C2H5C5H4)2}가 주입되어 p형 GaN층이 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second conductivity type semiconductor layer 116 is a bicetyl cyclone containing p-type impurities such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and magnesium (Mg) in the chamber. Pentadienyl magnesium (EtCp 2 Mg) {Mg (C 2 H 5 C 5 H 4 ) 2 } may be injected to form a p-type GaN layer, but is not limited thereto.

실시예에서 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 N형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 P형 반도체층으로 구현할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 또한 상기 제2 도전형 반도체층(116) 위에는 상기 제2 도전형과 반대의 극성을 갖는 갖는 반도체 예컨대 N형 반도체층(미도시)을 형성할 수 있다. 이에 따라 발광구조물(110)은 N-P 접합 구조, P-N 접합 구조, N-P-N 접합 구조, P-N-P 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다.In an exemplary embodiment, the first conductive semiconductor layer 112 may be an N-type semiconductor layer, and the second conductive semiconductor layer 116 may be a P-type semiconductor layer, but is not limited thereto. In addition, a semiconductor, for example, an N-type semiconductor layer (not shown) having a polarity opposite to that of the second conductivity type may be formed on the second conductivity type semiconductor layer 116. Accordingly, the light emitting structure 110 may be implemented as any one of an N-P junction structure, a P-N junction structure, an N-P-N junction structure, and a P-N-P junction structure.

이후, 상기 발광구조물(110)의 제2 도전형 반도체층(116)과 상기 패키지 몸체(120b) 상면이 접하도록 붙이는 단계를 진행할 수 있다. 상기 발광구조물(110)과 상기 패키지 몸체(120b)는 유테틱 본딩 등에 의해 상호 결합될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 또는, 상기 패키지 몸체(120b) 상에 니켈(Ni), 금(Au) 등을 이용하여 결합층을 형성하여 본딩이 진행될 수도 있다.Thereafter, the step of attaching the second conductive semiconductor layer 116 of the light emitting structure 110 to the upper surface of the package body 120b may be performed. The light emitting structure 110 and the package body 120b may be coupled to each other by eutectic bonding, but are not limited thereto. Alternatively, bonding may be performed by forming a bonding layer on the package body 120b using nickel (Ni), gold (Au), or the like.

실시예는 상기 발광구조물(110)과 접하는 상기 패키지 몸체(120b) 상면에 오믹층(미도시), 반사층(미도시) 등을 형성할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.An embodiment may form an ohmic layer (not shown), a reflective layer (not shown), etc. on the upper surface of the package body 120b in contact with the light emitting structure 110, but is not limited thereto.

예를 들어, 오믹층이 형성되는 경우 캐리어 주입을 효율적으로 할 수 있도록 단일 금속 혹은 금속합금, 금속산화물 등을 다중으로 적층하여 오믹층을 형성할 수 있다. 예를 들어, 상기 오믹층은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며, 이러한 재료에 한정되는 않는다.For example, when the ohmic layer is formed, the ohmic layer may be formed by stacking a single metal, a metal alloy, a metal oxide, or the like in multiple layers so as to efficiently inject the carrier. For example, the ohmic layer may be indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), or indium gallium (IGTO). tin oxide), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), IZO (IZO Nitride), AGZO (Al-Ga ZnO), IGZO (In-Ga ZnO), ZnO, IrOx , RuOx, NiO, RuOx / ITO, Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, It may be formed including at least one of Hf, but is not limited to such materials.

또한, 반사층(미도시)이 형성되는 경우, Al, Ag, 혹은 Al이나 Ag를 포함하는 합금을 포함하는 금속층으로 반사층이 이루어질 수 있다. In addition, when a reflective layer (not shown) is formed, the reflective layer may be made of Al, Ag, or a metal layer including an alloy containing Al or Ag.

또한, 실시예는 상기 패키지 몸체(120b) 내에 제너 다이오드(미도시)를 구비할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, the embodiment may include a zener diode (not shown) in the package body 120b, but is not limited thereto.

이후, 상기 발광구조물(110)에서 기판(105)을 제거하는 공정이 진행될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 기판(105)을 제거하는 방법은 고출력의 레이저를 이용하여 제1 기판을 분리하거나 화학적 식각 방법을 사용할 수 있다. 또한, 상기 제1 기판(105)은 물리적으로 갈아냄으로써 제거할 수도 있다. 이때, 레이저 리프트 오프 방법(LLO)은 상온에서 소정의 에너지를 가해주게 되면 상기 제1 기판(105)과 발광구조물(110)의 계면에서 에너지가 흡수되어 발광구조물의 접합표면이 열분해 되어 제1 기판(105)과 발광구조물(110)을 분리할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Thereafter, a process of removing the substrate 105 from the light emitting structure 110 may be performed. For example, the method of removing the first substrate 105 may use a high power laser to separate the first substrate or use a chemical etching method. In addition, the first substrate 105 may be removed by physically grinding. In this case, when the laser lift-off method LLO is applied with a predetermined energy at room temperature, energy is absorbed at the interface between the first substrate 105 and the light emitting structure 110, and the bonding surface of the light emitting structure is thermally decomposed so that the first substrate is thermally decomposed. 105 and the light emitting structure 110 may be separated, but is not limited thereto.

다음으로, 도 6 및 도 7과 같이 상기 패키지 몸체(120b)와 상기 발광구조물(110)을 칩단위로 분리할 수 있다.Next, as illustrated in FIGS. 6 and 7, the package body 120b and the light emitting structure 110 may be separated in units of chips.

예를 들어, 제3 마스크 패턴(330)을 발광구조물(110) 상에 형성하고, 이를 식각 마스크로 하여 상기 패키지 몸체(120b)와 상기 발광구조물(110)을 칩단위로 분리할 수 있다.For example, the third mask pattern 330 may be formed on the light emitting structure 110, and the package body 120b and the light emitting structure 110 may be separated in units of chips using the etching mask as an etching mask.

다음으로, 도 8과 같이 상기 패키지 몸체(120b) 하면에 제2 전극 패드(152)을 형성하고, 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 연결되는 제1 전극 패드(151)을 상기 패키지 몸체 하면 상에 패시베이션(130)을 개재하여 형성한다.Next, as shown in FIG. 8, a second electrode pad 152 is formed on the bottom surface of the package body 120b and the first electrode pad 151 electrically connected to the first conductive semiconductor layer 112 is formed. The passivation 130 is formed on the bottom surface of the package body.

상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에는 제1 전극(141)이 형성되며, 이는 발광구조물(110) 및 패키지 몸체(120b)의 측면에 형성되어 상기 제1 전극 패드(151)에 전기적으로 연결될 수 있다.A first electrode 141 is formed on the first conductive semiconductor layer 112, which is formed on the side of the light emitting structure 110 and the package body 120b to be electrically connected to the first electrode pad 151. Can be.

도 9는 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 상부 사시도이며, 도 10은 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지의 하부 사시도이다.9 is a top perspective view of the light emitting device package according to the second embodiment, and FIG. 10 is a bottom perspective view of the light emitting device package according to the second embodiment.

실시예에 따른 발광소자 패키지에 의하면 제1 전극(141)을 통해, 제1 전극 패드(151)가 패키지 몸체(120b)의 하부에 형성될 수 있다. According to the light emitting device package according to the embodiment, the first electrode pad 151 may be formed under the package body 120b through the first electrode 141.

도 9 및 도 10에서 E영역은 제2 실시예와 같이 패키지 몸체(120b)가 비대칭 모양으로 식각되어 3D 구조가 형성된 상태를 도시한 것이나 이에 한정되는 것은 아니다.9 and 10 illustrate the state in which the 3D structure is formed by etching the package body 120b into an asymmetric shape as in the second embodiment, but is not limited thereto.

실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다. 상기 패키지 몸체(120b)는 실리콘 기판일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.According to the light emitting device package according to the embodiment, a manufacturing method and an illumination system thereof, a silicon having a three-dimensional (3D) structure is used as a substrate and an n-electrode and a p-electrode are formed. All of them are located at the bottom of the substrate so that they can be supplied from the outside through SMT process and eutectic bonding process without the need for wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) ) Can be implemented. The package body 120b may be a silicon substrate, but is not limited thereto.

또한, 실시예에서 상기 패키지 몸체는 상부와 하부에 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있다. 상기 패키지 몸체는 3차원(3D) 구조를 형성하기 위해 습식식각, 예를 들어, KOH 계열 습식식각(wet etching)을 채용할 수 있으며, 3D 구조는 측면단면이 상하 대칭 또는 비대칭 구조를 가질 수 있다.In addition, in the embodiment, the package body may have a predetermined slope on the side at the top and bottom. The package body may employ a wet etching, for example, KOH-based wet etching to form a three-dimensional (3D) structure, the side surface of the 3D structure may have a vertically symmetrical or asymmetrical structure. .

제2 실시예에서 패키지 몸체(120b)는 경사진 상부의 상하 폭(a')이 경사진 하부 상하(b') 폭 미만일 수 있다. 또한, 제2 실시예에서 상기 패키지 몸체(120b)는 하부에만 측면에 소정의 경사를 구비할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.In the second embodiment, the package body 120b may have an inclined upper and lower width a 'less than an inclined lower upper and lower b' width. In addition, in the second embodiment, the package body 120b may have a predetermined inclination on the side surface only at the bottom thereof, but is not limited thereto.

제2 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.According to the second embodiment, a light emitting device capable of minimizing an epi-layer loss area when wafer-to-wafer bonding of an epi-layer and a silicon substrate of a light emitting structure is performed. It is possible to provide a method for manufacturing a package.

실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking by the pad. Also, since the pad electrode is not on the light emitting device, conformal coating is performed on the light emitting device chip. This useful light emitting device package, its manufacturing method and lighting system can be provided.

또한, 실시예에 의하면 기존 수직형 발광소자 칩(chip) 구조와 동일한 형태로 기존 수직형 칩(chip)의 장점을 그대로 수용 가능하다.In addition, according to the embodiment it is possible to accept the advantages of the conventional vertical chip in the same form as the conventional vertical light emitting device chip (chip) structure.

또한, 실시예에 의하면 MEMS 기술을 기반으로 한 특정 구조의 실리콘 기판(silicon substrate) 적용으로 멀티칩 모듈(multi chip module) 구성이 가능하다.In addition, according to the embodiment, it is possible to configure a multi chip module by applying a silicon substrate having a specific structure based on MEMS technology.

또한, 실시예에 의하면 패키지 몸체 하부에 형성되는 패드에 대해 유테틱 본딩(Eutectic bonding) 또는 SMT 공정이 가능하여 칩 레벨 패키지(chip level package) 및 고집적 모듈(module) 구성이 가능하여 초박형으로 발광소자 패키지를 구현할 수 있다.In addition, according to the embodiment, the pad formed on the lower part of the package body can be subjected to eutectic bonding (Eutectic bonding) or SMT process, so that a chip level package and a highly integrated module can be configured, thereby making the ultra-light emitting device You can implement a package.

도 11은 실시예에 따른 발광소자 패키지(200)의 단면도이다.11 is a cross-sectional view of a light emitting device package 200 according to the embodiment.

실시예는 상기 발광구조물(110) 상면 상에 컨퍼멀 코팅된 형광체층(230)을 형성할 수 있다. 실시예에 의하면 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없는 구조로 컨포멀 코팅(conformal coating) 기술의 접목이 가능하다.In an embodiment, the phosphor layer 230 coated on the upper surface of the light emitting structure 110 may be formed. According to the embodiment, it is possible to combine the conformal coating technology with a structure that does not require wire bonding.

실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking by the pad. Also, since the pad electrode is not on the light emitting device, conformal coating is performed on the light emitting device chip. This useful light emitting device package, its manufacturing method and lighting system can be provided.

또한, 실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다.In addition, according to the light emitting device package, the manufacturing method and the illumination system according to the embodiment, using a silicon (silicone) having a three-dimensional (3D) structure as a substrate, n-electrode and p-electrode (p-electrode) ) Are all located at the bottom of the substrate, so that current can be supplied externally by SMT process and eutectic bonding process without wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) can be implemented.

또한, 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiment, a light emitting device capable of minimizing the epi-layer loss area when performing wafer-to-wafer bonding between the epi-layer and the silicon substrate of the light emitting structure. It is possible to provide a method for manufacturing a package.

실시예에 따른 발광소자 패키지는 조명시스템에 적용될 수 있다. 상기 조명시스템은 도 12에 도시된 조명유닛, 도 13에 도시된 백라이드 유닛을 포함하고, 신호등, 차량 전조등, 간판 등이 포함될 수 있다.The light emitting device package according to the embodiment may be applied to an illumination system. The lighting system includes a lighting unit shown in FIG. 12 and a backlight unit shown in FIG. 13, and may include a traffic light, a vehicle headlight, a signboard, and the like.

도 12는 실시예에 따른 조명 유닛의 사시도(1100)이다.12 is a perspective view 1100 of a lighting unit according to an embodiment.

도 12를 참조하면, 상기 조명 유닛(1100)은 케이스몸체(1110)와, 상기 케이스몸체(1110)에 설치된 발광모듈부(1130)과, 상기 케이스몸체(1110)에 설치되며 외부 전원으로부터 전원을 제공받는 연결 단자(1120)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 12, the lighting unit 1100 is installed in the case body 1110, the light emitting module unit 1130 installed in the case body 1110, and the case body 1110 and supplies power from an external power source. It may include a connection terminal 1120 provided.

상기 케이스몸체(1110)는 방열 특성이 양호한 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 예를 들어 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있다.The case body 1110 may be formed of a material having good heat dissipation characteristics. For example, the case body 1110 may be formed of a metal material or a resin material.

상기 발광모듈부(1130)은 기판(1132)과, 상기 기판(1132)에 탑재되는 적어도 하나의 발광소자 패키지(200)를 포함할 수 있다.The light emitting module unit 1130 may include a substrate 1132 and at least one light emitting device package 200 mounted on the substrate 1132.

상기 기판(1132)은 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있으며, 예를 들어, 일반 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board), 메탈 코아(Metal Core) PCB, 연성(Flexible) PCB, 세라믹 PCB 등을 포함할 수 있다. The substrate 1132 may be a circuit pattern printed on an insulator, and for example, a general printed circuit board (PCB), a metal core PCB, a flexible PCB, a ceramic PCB, and the like. It may include.

또한, 상기 기판(1132)은 빛을 효율적으로 반사하는 재질로 형성되거나, 표면이 빛이 효율적으로 반사되는 컬러, 예를 들어 백색, 은색 등으로 형성될 수 있다.In addition, the substrate 1132 may be formed of a material that reflects light efficiently, or the surface may be formed of a color that reflects light efficiently, for example, white, silver, or the like.

상기 기판(1132) 상에는 상기 적어도 하나의 발광소자 패키지(200)가 탑재될 수 있다. 상기 발광소자 패키지(200)는 상기 제1 실시예에 따른 발광소자 패키지(120a) 또는 상기 제2 실시예에 따른 발광소자 패키지(120b)를 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The at least one light emitting device package 200 may be mounted on the substrate 1132. The light emitting device package 200 may include, but is not limited to, a light emitting device package 120a according to the first embodiment or a light emitting device package 120b according to the second embodiment.

상기 발광소자 패키지(200) 각각은 적어도 하나의 발광 다이오드(LED: Light Emitting Diode)(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 발광 다이오드는 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 유색 빛을 각각 발광하는 유색 발광 다이오드 및 자외선(UV, UltraViolet)을 발광하는 UV 발광 다이오드를 포함할 수 있다.Each of the light emitting device packages 200 may include at least one light emitting diode (LED). The light emitting diodes may include colored light emitting diodes emitting red, green, blue, or white colored light, and UV light emitting diodes emitting ultraviolet (UV) light.

상기 발광모듈부(1130)는 색감 및 휘도를 얻기 위해 다양한 발광소자 패키지(200)의 조합을 가지도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 고 연색성(CRI)을 확보하기 위해 백색 발광 다이오드, 적색 발광 다이오드 및 녹색 발광 다이오드를 조합하여 배치할 수 있다.The light emitting module unit 1130 may be disposed to have a combination of various light emitting device packages 200 to obtain color and luminance. For example, a white light emitting diode, a red light emitting diode, and a green light emitting diode may be combined to secure high color rendering (CRI).

상기 연결 단자(1120)는 상기 발광모듈부(1130)와 전기적으로 연결되어 전원을 공급할 수 있다. 도 12에 도시된 것에 따르면, 상기 연결 단자(1120)는 소켓 방식으로 외부 전원에 돌려 끼워져 결합되지만, 이에 대해 한정하지는 않는다. 예를 들어, 상기 연결 단자(1120)는 핀(pin) 형태로 형성되어 외부 전원에 삽입되거나, 배선에 의해 외부 전원에 연결될 수도 있는 것이다.The connection terminal 1120 may be electrically connected to the light emitting module unit 1130 to supply power. According to FIG. 12, the connection terminal 1120 is coupled to the external power source by being connected to the socket in a socket manner, but is not limited thereto. For example, the connection terminal 1120 may be formed in a pin shape and inserted into an external power source, or may be connected to the external power source by a wire.

도 13은 실시예에 따른 백라이트 유닛의 분해 사시도(1200)이다.13 is an exploded perspective view 1200 of a backlight unit according to an embodiment.

실시예에 따른 백라이트 유닛(1200)은 도광판(1210)과, 상기 도광판(1210)에 빛을 제공하는 발광모듈부(1240)와, 상기 도광판(1210) 아래에 반사 부재(1220)와, 상기 도광판(1210), 발광모듈부(1240) 및 반사 부재(1220)를 수납하는 바텀 커버(1230)를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The backlight unit 1200 according to the embodiment includes a light guide plate 1210, a light emitting module unit 1240 that provides light to the light guide plate 1210, a reflective member 1220 under the light guide plate 1210, and the light guide plate. 1210, a bottom cover 1230 for accommodating the light emitting module unit 1240 and the reflective member 1220, but is not limited thereto.

상기 도광판(1210)은 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1210)은 투명한 재질로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나를 포함할 수 있다. The light guide plate 1210 serves to surface light by diffusing light. The light guide plate 1210 is made of a transparent material, for example, an acrylic resin series such as polymethyl metaacrylate (PMMA), polyethylene terephthlate (PET), polycarbonate (PC), cycloolefin copolymer (COC), and polyethylene naphthalate (PEN). It may include one of the resins.

상기 발광모듈부(1240)은 상기 도광판(1210)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 상기 백라이트 유닛이 설치되는 디스플레이 장치의 광원으로써 작용하게 된다.The light emitting module unit 1240 provides light to at least one side of the light guide plate 1210 and ultimately serves as a light source of a display device in which the backlight unit is installed.

상기 발광모듈부(1240)은 상기 도광판(1210)과 접할 수 있으나 이에 한정되지 않는). 구체적으로는, 상기 발광모듈부(1240)은 기판(1242)과, 상기 기판(1242)에 탑재된 다수의 발광소자 패키지(200)를 포함하는데, 상기 기판(1242)이 상기 도광판(1210)과 접할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The light emitting module unit 1240 may be in contact with the light guide plate 1210, but is not limited thereto. Specifically, the light emitting module unit 1240 includes a substrate 1242 and a plurality of light emitting device packages 200 mounted on the substrate 1242, wherein the substrate 1242 is connected to the light guide plate 1210. It may be encountered, but is not limited thereto.

상기 기판(1242)은 회로패턴(미도시)을 포함하는 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)일 수 있다. 다만, 상기 기판(1242)은 일반 PCB 뿐 아니라, 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 등을 포함할 수도 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The substrate 1242 may be a printed circuit board (PCB) including a circuit pattern (not shown). However, the substrate 1242 may include not only a general PCB but also a metal core PCB (MCPCB, Metal Core PCB), a flexible PCB (FPCB, Flexible PCB), and the like, but is not limited thereto.

그리고, 상기 다수의 발광소자 패키지(200)는 상기 기판(1242) 상에 빛이 방출되는 발광면이 상기 도광판(1210)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있다.The plurality of light emitting device packages 200 may be mounted on the substrate 1242 such that a light emitting surface on which light is emitted is spaced apart from the light guide plate 1210 by a predetermined distance.

상기 도광판(1210) 아래에는 상기 반사 부재(1220)가 형성될 수 있다. 상기 반사 부재(1220)는 상기 도광판(1210)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 위로 향하게 함으로써, 상기 백라이트 유닛의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1220)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The reflective member 1220 may be formed under the light guide plate 1210. The reflective member 1220 may improve the luminance of the backlight unit by reflecting the light incident on the lower surface of the light guide plate 1210 upward. The reflective member 1220 may be formed of, for example, PET, PC, or PVC resin, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1230)는 상기 도광판(1210), 발광모듈부(1240) 및 반사 부재(1220) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1230)는 상면이 개구된 박스(box) 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1230 may accommodate the light guide plate 1210, the light emitting module unit 1240, the reflective member 1220, and the like. To this end, the bottom cover 1230 may be formed in a box shape having an upper surface opened, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1230)는 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다.The bottom cover 1230 may be formed of a metal material or a resin material, and may be manufactured using a process such as press molding or extrusion molding.

실시예에 따른 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템에 의하면, 3 차원(3D) 구조가 형성된 실리콘(silicone)을 기판으로 사용하고 n 전극(n-electrode)과 p 전극(p-electrode)이 모두 기판(substrate)의 하단에 위치하고 있어 와이어 본딩(Wire bonding)이 필요없이, SMT 공정 및 유테틱(eutectic bonding) 공정으로 외부에서 전류를 공급할 수 있고, 패키지(Package) 일체형 수직형 발광소자(LED)를 구현할 수 있다.According to the light emitting device package according to the embodiment, a manufacturing method and an illumination system thereof, a silicon having a three-dimensional (3D) structure is used as a substrate and an n-electrode and a p-electrode are formed. All of them are located at the bottom of the substrate so that they can be supplied from the outside through SMT process and eutectic bonding process without the need for wire bonding, and package integrated vertical light emitting device (LED) ) Can be implemented.

또한, 실시예에 의하면 발광구조물의 Epi-layer와 실리콘 기판(Silicone substrate)을 웨이퍼 대 웨이퍼 본딩(wafer to wafer bonding)을 실시할 경우 에피층(epi-layer) 손실 영역을 최소화할 수 있는 발광소자 패키지의 제조방법을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiment, a light emitting device capable of minimizing the epi-layer loss area when performing wafer-to-wafer bonding between the epi-layer and the silicon substrate of the light emitting structure. It is possible to provide a method for manufacturing a package.

또한, 실시예에 의하면 패드 전극을 패키지 몸체 하부에 형성함으로써 패드에 의한 광차단을 최소화함으로써 발광소자의 광추출 효율을 높일 수 있고, 또한, 패드 전극이 발광소자 상에 없으므로 발광소자 칩 상에 컨포멀 코팅이 유용한 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiment, by forming the pad electrode under the package body, light blocking efficiency of the light emitting device can be improved by minimizing light blocking caused by the pad, and since the pad electrode is not on the light emitting device, The formal coating can provide a useful light emitting device package, a method of manufacturing the same, and an illumination system.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments may be combined or modified with respect to other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents of such combinations and modifications should be construed as being included in the scope of the embodiments.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It can be seen that the modification and application of branches are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

Claims (9)

패키지 몸체;
제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제1 도전형 반도체층 사이에 활성층을 포함하며 상기 패키지 몸체 상면에 발광구조물;
상기 제2 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되면서 상기 패키지 몸체 하면에 제2 전극 패드;
상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되면서 상기 패키지 몸체 측면으로 연장되어 상기 패키지 몸체 하면 상에 형성된 제1 전극 패드; 및
상기 패키지 몸체 및 상기 발광구조물과 상기 제1 전극 패드 사이에 개재된 패시베이션;을 포함하는 발광소자 패키지.
Package body;
A light emitting structure on a top surface of the package body, the first conductive semiconductor layer, the second conductive semiconductor layer, an active layer between the first conductive semiconductor layer and the first conductive semiconductor layer;
A second electrode pad on the bottom surface of the package body while being electrically connected to the second conductive semiconductor layer;
A first electrode pad electrically connected to the first conductive semiconductor layer and extending toward a side of the package body and formed on a bottom surface of the package body; And
And a passivation interposed between the package body and the light emitting structure and the first electrode pad.
제1 항에 있어서,
상기 패키지 몸체는,
상부와 하부에 측면에 소정의 경사를 구비하는 발광소자 패키지.
The method according to claim 1,
The package body,
A light emitting device package having a predetermined slope on the upper side and the lower side.
제2 항에 있어서,
상기 패키지 몸체는,
경사진 상부의 상하 폭이 경사진 하부 상하 폭과 동등한 발광소자 패키지.
The method of claim 2,
The package body,
A light emitting device package in which the upper and lower widths of the inclined upper portion are equal to the inclined lower upper and lower widths.
제2 항에 있어서,
상기 패키지 몸체는,
경사진 상부의 상하 폭이 경사진 하부 상하 폭과 다른 발광소자 패키지.
The method of claim 2,
The package body,
A light emitting device package in which the upper and lower widths of the inclined upper part are different from the inclined lower upper and lower widths.
제4 항에 있어서,
상기 패키지 몸체는,
경사진 상부의 상하 폭이 경사진 하부 상하 폭 미만인 발광소자 패키지.
The method of claim 4, wherein
The package body,
A light emitting device package, wherein the upper and lower widths of the inclined upper portion are less than the inclined lower upper and lower widths.
제1 항에 있어서,
상기 패키지 몸체는,
하부에만 측면에 소정의 경사를 구비하는 발광소자 패키지.
The method according to claim 1,
The package body,
A light emitting device package having a predetermined slope on the side only at the bottom.
제1 항에 있어서,
상기 발광구조물 상면 상에 컨퍼멀 코팅된 형광체층을 더 포함하는 발광소자 패키지.
The method according to claim 1,
The light emitting device package further comprises a phosphor layer coated on the upper surface of the light emitting structure.
제1 항에 있어서,
상기 발광구조물 상면에 패드전극이 형성되지 않는 발광소자 패키지.
The method according to claim 1,
A light emitting device package in which no pad electrode is formed on an upper surface of the light emitting structure.
제1 항 내지 제8 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 발광구조물과 상기 패키지 몸체는 접하는 발광소자 패키지.
The method according to any one of claims 1 to 8,
The light emitting device package is in contact with the light emitting structure and the package body.
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