KR20120013398A - Vacuum pump housing and cooling element set for a vacuum pump housing - Google Patents

Vacuum pump housing and cooling element set for a vacuum pump housing Download PDF

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KR20120013398A
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토마스 드라이페르트
볼프강 기브만스
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욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하
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Abstract

진공 펌프 하우징은 흡입 챔버를 형성하는 펌프 하우징(26)을 갖는다. 펌프 요소들은 흡입 챔버 내에 위치된다. 냉각 요소(10)는 펌프 하우징(26)의 외측면(30) 상에 놓인다. 냉각 요소(10)는 펌프 하우징(26)의 외측면(30)을 향해 개방된 하나 이상의 냉각 채널(12)을 갖는다. 본 발명은 또한 상이한 외부 치수를 갖는 몇몇 냉각 요소(10, 42, 44, 46)를 포함하는 냉각 요소 세트에 관한 것이다.The vacuum pump housing has a pump housing 26 that forms a suction chamber. Pump elements are located in the suction chamber. The cooling element 10 lies on the outer side 30 of the pump housing 26. The cooling element 10 has one or more cooling channels 12 open towards the outer surface 30 of the pump housing 26. The invention also relates to a set of cooling elements comprising several cooling elements 10, 42, 44, 46 with different external dimensions.

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Description

진공 펌프 하우징 및 진공 펌프 하우징용 냉각 요소 세트{VACUUM PUMP HOUSING AND COOLING ELEMENT SET FOR A VACUUM PUMP HOUSING}VACUUM PUMP HOUSING AND COOLING ELEMENT SET FOR A VACUUM PUMP HOUSING}

본 발명은 진공 펌프 하우징 및 진공 펌프 하우징용 냉각 요소 세트에 관한 것이다.
The present invention relates to a vacuum pump housing and a set of cooling elements for a vacuum pump housing.

진공 펌프는 하우징에 의해 형성된 펌핑 챔버 내에 배열된 펌핑 요소들을 포함한다. 진공 펌프는 주로 나사식 펌프, 일단- 또는 다단-루츠 펌프, 회전 진공 펌프 및 클로 펌프(claw pumps)로 구성된다. 진공을 발생시키기 위해, 펌핑 챔버의 내벽과 펌핑 요소들 사이에 가능한 작은 크기의 갭(gap)이 실현되도록 요구된다. 이 때문에, 펌프 요소들과 펌프 하우징의 열팽창의 차이로 인하여 발생할 수 있는 상기 갭의 변화를 방지하기 위해, 가능한 균일한 작동 온도에서 진공 펌프를 작동시키도록 요구된다.
The vacuum pump includes pumping elements arranged in a pumping chamber formed by the housing. Vacuum pumps mainly consist of screw pumps, single- or multi-stage Roots pumps, rotary vacuum pumps and claw pumps. In order to generate a vacuum, a gap as small as possible between the inner wall of the pumping chamber and the pumping elements is required to be realized. For this reason, it is required to operate the vacuum pump at a uniform operating temperature as possible in order to prevent the change in the gap which may occur due to the difference in thermal expansion of the pump elements and the pump housing.

냉각 리브를 갖는 진공 펌프를 제공하고 기류를 사용하여 펌프 하우징을 냉각시키는 것은 공지되어 있다. 그러나 이들 접근법에 대해, 하우징의 균일하고 적절히 지향된(well-aimed) 냉각은 일반적으로 특정한 방법의 도움으로만, 예를 들면 공기가 적절히 지향되어 안내되고 (독립된 구동 유닛에 의해 또는 펌프 샤프트 중 하나에 의해 구동되는) 외부 환기 시스템을 갖는 외부 쉘(outer shell)의 설치에 의해 가능할 것이다. 이러한 장치는 비(specific) 냉각 성능(단위 면적당 열 흐름)이 낮다는 단점을 갖는다. 아울러, 주위로의 열 발산이 종종 바람직하지 않다. 특히 클린룸 환경(clean room environments)에서, 기류들의 발생은 가능한 최대 범위까지 방지되어야 한다. 또한, 환기 유닛은 바람직하지 않은 소음원이다.
It is known to provide a vacuum pump with cooling ribs and to cool the pump housing using airflow. However, for these approaches, uniform and well-aimed cooling of the housing is generally guided only with the aid of a particular method, for example with the air directed properly (by an independent drive unit or one of the pump shafts). By the installation of an outer shell having an external ventilation system (driven by). Such devices have the disadvantage of low specific cooling performance (heat flow per unit area). In addition, heat dissipation to the surroundings is often undesirable. Especially in clean room environments, the generation of airflows should be prevented to the maximum extent possible. In addition, the ventilation unit is an undesirable noise source.

또한, 냉각액 또는 물의 도움으로 진공 펌프 하우징의 냉각을 실행하는 것이 공지되어 있다. 물에 의한 냉각은 특정한 구조적 방법을 필요로 할 것이다. 한편, 가능한 최고의 냉각 효과를 얻기 위해, 물은 냉각되어야 하는 영역에 가능한 가까이 안내되어야 한다. 반면, 대부분의 재료에 대한 물의 부식 효과로 인해서, 특정한 보호 방법 없이 물을 사용하는 것은 불가능할 것이다. 부식을 방지하기 위해, 예를 들면 스테인리스 스틸 또는 특정한 알루미늄 합금과 같은 무-부식 재료를 사용하는 것이 가능할 것이다. 그러나 이러한 재료는 고가이며, 예를 들면 특히 250℃ 초과의 고온에 대한 내성과 같은 진공 펌프 하우징에 대한 다른 전제 조건을 충족시키지 못한다. 또한, 물에 의해 접촉될 이들 표면에 래커(lacquer)를 도포하는 것이 가능하다. 그러나 하우징의 내부에 배열된 대응 채널들에 대한 확실한 래커 도포(lacquering)는 매우 어려울 것이다. 래커 도포 과정은 액체 래커를 살포하기 위한 회전 또는 텀블링(tumbling) 운동에 의하여 또는 침지조(immersion baths)에 의해 실행되어야 할 것이다. 회주철 및 강의 경우, 예를 들면 아연 또는 니켈 코팅, 또는 알루미늄의 경우 경질 양극 처리(hard anodizing)과 같은 갈바니 표면 처리법(galvanic surface treatment methods)이 또한 공지되어 있다. 그러나 이들 방법 또한 매우 복잡하다. 추가로 공지된 접근법들은 소모 가능한 전극들의 사용으로 이루어지지만, 그러나 이 방법 또한 복잡하며, 특히 내부 냉각 채널의 경우 부식이 확실히 방지되도록 하지 않는다.
It is also known to carry out cooling of the vacuum pump housing with the aid of coolant or water. Cooling by water will require certain structural methods. On the other hand, in order to obtain the best possible cooling effect, water should be guided as close as possible to the area to be cooled. On the other hand, due to the corrosive effects of water on most materials, it would be impossible to use water without specific protection measures. To prevent corrosion, it will be possible to use corrosion-free materials such as, for example, stainless steel or certain aluminum alloys. However, these materials are expensive and do not meet other prerequisites for vacuum pump housings, such as, for example, especially resistance to high temperatures above 250 ° C. It is also possible to apply lacquers on these surfaces to be contacted by water. However, certain lacquering of the corresponding channels arranged inside the housing will be very difficult. The lacquer application process will have to be carried out by rotating or tumbling movements to spread the liquid lacquer or by immersion baths. Galvanic surface treatment methods are also known, such as for gray cast iron and steel, for example zinc or nickel coatings, or hard anodizing for aluminum. However, these methods are also very complicated. Further known approaches are made with the use of consumable electrodes, but this method is also complicated and does not ensure that corrosion is particularly prevented, especially in the case of internal cooling channels.

냉각제로서 물을 사용하는 대신, 특정한 냉각액이 사용될 수도 있다. 그러나 이는 증가된 복잡도에 대한 핸디캡으로, 냉각 회로가 기본적으로 폐쇄된 경우에만 가능할 것이다. 특히 추가로 제공되어야 하는 열 교환기에 의해 냉각제를 냉각시키는 것이 요구된다.
Instead of using water as the coolant, certain coolants may be used. However, this is a handicap for increased complexity and will only be possible if the cooling circuit is basically closed. In particular it is required to cool the coolant by means of a heat exchanger which must be further provided.

주철로 제조된 진공 펌프 하우징 내에 냉각 채널을 제공하는 것은 기계 가공에 의해, 특히 밀링 및 드릴링에 의해 이러한 채널을 갖는 하우징을 개장(retrofitting)함으로써 또한 가능하다. 결과적으로 시간이 걸리는 추가의 처리 단계가 필요하기 때문에 이러한 선택이 대단히 복잡해질 것이다. 이미 주조 과정 중에 냉각 채널을 형성하는 것이 또한 가능하다. 이를 위해, 모래 코어가 제공된다. 이 방법 역시 복잡하며, 심지어 냉각수가 모래 잔여물에 의해 장기간 오염을 겪을 수 있는 위험을 수반한다. 추가로 또한, 모래 코어에 의해 성형된 인서트 몰딩된(insert-molded) 채널의 제공은, 비록 가능하지만, 주조 과정중에 충분한 안정성을 갖도록 요구되는 모래 코어의 도움으로 몰딩이 실행되기 때문에, 채널의 코스, 단면 및 형상에 대한 큰 제약을 부과할 것이다. 따라서, 이러한 유형의 냉각 채널의 제공은 예를 들면 안정성, 작동 온도 및 매체 적합성을 포함하는 가능한 작동 조건 및 가능한 형상의 범위를 크게 제한할 것이다.
Providing cooling channels in vacuum pump housings made of cast iron is also possible by retrofitting the housing with such channels by machining, in particular by milling and drilling. As a result, this choice will be very complicated because additional processing steps are required, which take time. It is also possible to form cooling channels already during the casting process. For this purpose, a sand core is provided. This method is also complicated and carries the risk that even the coolant may be prolonged contamination by sand residues. Additionally, the provision of insert-molded channels molded by sand cores is possible, although possible, since the molding is carried out with the aid of the sand cores required to have sufficient stability during the casting process. This will impose large constraints on cross section and shape. Thus, the provision of cooling channels of this type will greatly limit the range of possible operating conditions and possible shapes including, for example, stability, operating temperature and media suitability.

본 발명의 목적은 특히 액체 냉각 매체를 사용하여 단순한 방식으로 냉각될 수 있는 진공 펌프 하우징을 제공하는 것이다. 아울러, 본 발명의 독자적인 목적은 높은 가변성을 갖는 진공 펌프용 냉각 요소 세트를 제공하는 데 있다.
It is an object of the present invention, in particular, to provide a vacuum pump housing which can be cooled in a simple manner using a liquid cooling medium. It is also an object of the present invention to provide a cooling element set for a vacuum pump having high variability.

본 발명에 따르면, 상기 목적들은 각각 청구항 1에 한정된 바와 같은 진공 펌프 하우징 및 청구항 15에 한정된 바와 같은 냉각 요소 세트에 의해 달성된다.
According to the invention, the above objects are achieved by a vacuum pump housing as defined in claim 1 and a cooling element set as defined in claim 15, respectively.

진공 펌프용 하우징은 펌핑 챔버를 형성하는 펌프 하우징을 포함한다. 상기 펌핑 챔버 내에는 예를 들면 나선형 로터와 같은 펌프 요소가 배열된다. 본 발명에 따르면, 상기 펌프 하우징은 하나 이상의 평면형 외측 측부(outer side)를 포함한다. 바람직하게 편평한 상기 평면형 외측 측부는 냉각 요소에 연결된다. 본 발명에 따르면, 상기 냉각 요소는 상기 펌프 하우징의 외측 측부를 향해 개방된 하나 이상의 및 선택적으로 복수의 냉각 채널을 포함한다. 바람직하게 독립된 구성요소로서 형성되는 상기 냉각 요소를 펌프 하우징에 연결함으로써, 그에 따라 상기 냉각 요소의 바람직하게 평면 접합면이 상기 펌프 하우징의 평면형 외측 측부를 향해 대면하며, 폐쇄된 단면 형상의 냉각 채널들이 생성될 것이다. 따라서, 바람직하게 독립된 구성요소로서 형성되는 냉각 요소에 대한 본 발명의 장치에서, 펌프 하우징 자체에 냉각 리브 등을 제공하는 것이 요구되지 않는다. 그에 따라, 상기 펌프 하우징에 보다 단순한 구조가 제공되어, 그에 따라 생산 비용을 낮출 수 있다. 상기 펌프 하우징을 냉각시키기 위해, 본 발명의 냉각 요소는 그 후 평면형 외측 측부에 연결될 것이다. 특히 이는 상기 냉각 요소가 독립된 구성요소로서 제조될 수 있는 이점을 갖는다.
The housing for the vacuum pump includes a pump housing forming a pumping chamber. Within the pumping chamber is arranged a pump element, for example a helical rotor. According to the invention, the pump housing comprises at least one planar outer side. Preferably the planar outer side that is flat is connected to the cooling element. According to the invention, the cooling element comprises one or more and optionally a plurality of cooling channels open towards the outer side of the pump housing. By connecting the cooling element, which is preferably formed as a separate component, to the pump housing, a preferably planar mating surface of the cooling element faces towards the planar outer side of the pump housing, whereby closed cooling channel channels Will be generated. Thus, in the apparatus of the present invention, preferably for cooling elements formed as independent components, it is not required to provide cooling ribs or the like to the pump housing itself. Thus, a simpler structure can be provided in the pump housing, thus lowering the production cost. To cool the pump housing, the cooling element of the present invention will then be connected to the planar outer side. In particular this has the advantage that the cooling element can be manufactured as a separate component.

상기 냉각 요소는 내부에 배열된 냉각 채널을 포함하지 않는 반면, 그 대신 냉각 요소의 냉각 채널이 상기 펌프 하우징의 외측 측부를 향해 개방되기 때문에, 상기 냉각 요소의 제조가 간단하다. 상기 냉각 요소는 주물 구성요소로서 제공될 수 있으며, 바람직하게 상기 냉각 채널은 제조 과정에서 나중에 형성되는 것이 아니라, 이미 대응하는 홈 또는 리세스로서 상기 냉각 요소 내에 미리 제공될 것이다. 본 명세서의 상기 냉각 채널은 냉각 요소가 주조 몰드 내에서 제조되도록 하는데 적합한 구성을 가질 수 있다. 상기 냉각 채널은 바람직하게 이형 경사(mold release slopes)를 포함한다. 결과적으로, 예를 들면 상기 냉각 채널을 밀링함으로써와 같은 상기 냉각 요소의 후속 처리에 의해 상기 냉각 채널을 생성하는 것이 반드시 요구되지는 않는다. 보다 큰 이형 경사를 갖는 편평하고 폭 넓은 냉각 채널의 경우, 냉각 채널을 생성하기 위해 모래 코어 등을 제공하는 것이 또한 요구되지 않을 것이다. 바람직하게, 상기 냉각 요소는 조립된 상태에서 상기 펌프 하우징의 외측 측부를 향해 대면하는 평면 접합면을 포함한다. 조립된 상태에서, 상기 접합면은 그에 따라 바람직하게 상기 펌프 하우징의 외측 측부에 대해 평행하다.
The cooling element is simple to manufacture, since the cooling element does not comprise a cooling channel arranged therein, instead the cooling channel of the cooling element opens toward the outer side of the pump housing. The cooling element may be provided as a casting component, preferably the cooling channel will not be formed later in the manufacturing process but will already be provided in the cooling element as a corresponding groove or recess already. The cooling channel herein may have a configuration suitable for allowing the cooling element to be produced in a casting mold. The cooling channel preferably comprises mold release slopes. As a result, it is not necessary to create the cooling channel by subsequent processing of the cooling element, for example by milling the cooling channel. For flat and wide cooling channels with larger release slopes, it would also not be necessary to provide a sand core or the like to create the cooling channels. Preferably, the cooling element comprises a planar mating surface that faces toward the outer side of the pump housing in the assembled state. In the assembled state, the joining surface is thus preferably parallel to the outer side of the pump housing.

상기 냉각 요소를 예를 들면 나사 또는 다른 체결 수단을 사용하여, 상기 외측 측부상에 직접적으로 체결시키는 것이 가능하다. 바람직하게, 다시 상기 펌프 하우징의 외측 측부를 향해 대면하는 상기 표면상에서, 상기 냉각 요소의 적어도 에지 영역에 실링 요소가 배열된다. 상기 실링 요소는 액체 실링 요소, 밀봉 합성물 등일 수 있다. 본질적으로 폐쇄되고 바람직하게 원형 단면을 갖는 환형 실링 요소가 더 선호되며; 이러한 실링 요소는 바람직하게 O-링이다. 상기 펌프 하우징의 외측 측부에 및/또는 상기 외측 측부를 마주하는 상기 냉각 요소의 일 측에, 즉 - 특히 바람직한 실시예에 따라 - 상기 냉각 요소의 접합면에 밀봉 홈이 제공되는 것이 바람직하다. 이 밀봉 홈 내에는 상기 실링 요소가 배열된다. 바람직하게 서로 마주하여 배열된 2개의 밀봉 홈이 존재하도록, 각각 하나의 밀봉 홈을 갖는 양쪽 표면을 제공하는 것이 가능하다. 이러한 실링 요소 외에 - 또는 이를 대신하여 - 바람직한 실시예에 따라 바람직하게 지면형 유형(areal type)의 실링 요소가 상기 펌프 하우징의 외측 측부상에 배치되도록 제공된다. 상기 실링 요소는 바람직하게 상기 외측 측부를 완전히 덮는다. 그 밀봉 기능 외에도, 상기 실링 요소는 그에 따라 상기 펌프 하우징의 외측 측부를 부식으로부터 보호하는 기능을 나타낼 수도 있다. 이는 상기 펌프 하우징의 평면인, 바람직하게는 처리된 외측 측부상에 예를 들면, 래커와 같은 부식 방지제의 코팅을 도포할 필요를 배제한다.
It is possible to fasten the cooling element directly on the outer side, for example using screws or other fastening means. Preferably, a sealing element is arranged in at least the edge region of the cooling element, on the surface which again faces towards the outer side of the pump housing. The sealing element can be a liquid sealing element, a sealing compound, or the like. Preference is given to an annular sealing element which is essentially closed and preferably has a circular cross section; This sealing element is preferably an O-ring. It is preferred that a sealing groove is provided on the outer side of the pump housing and / or on one side of the cooling element facing the outer side, i.e.-in accordance with a particularly preferred embodiment-at the joining surface of the cooling element. The sealing element is arranged in this sealing groove. It is possible to provide both surfaces with one sealing groove each so that there are preferably two sealing grooves arranged facing each other. In addition to or instead of this sealing element, it is provided according to a preferred embodiment that a sealing element of preferably areal type is arranged on the outer side of the pump housing. The sealing element preferably completely covers the outer side. In addition to its sealing function, the sealing element may thus also serve to protect the outer side of the pump housing from corrosion. This eliminates the need to apply a coating of corrosion inhibitor such as, for example, lacquer on the planar, preferably treated, outer side of the pump housing.

상기 냉각 요소에 제공된 하나 이상의 냉각 채널은 바람직하게 구불구불한 형태(meandering configuration)이다. 선택적으로, 예를 들면 상이한 단면을 갖는 복수의 냉각 채널이 또한 냉각 요소 내에 제공될 수 있다. 이는 하나의 냉각 요소 및 동일한 냉각 요소를 상이한 방식으로 연결하여 상이한 냉각 효과를 얻도록 할 수 있다. 물론, 상이한 냉각 채널들이 함께 연결될 수도 있다.
The one or more cooling channels provided in the cooling element are preferably in meandering configuration. Optionally, for example, a plurality of cooling channels having different cross sections can also be provided in the cooling element. This may allow one cooling element and the same cooling element to be connected in different ways to achieve different cooling effects. Of course, different cooling channels may be connected together.

각각의 냉각 채널은 하나 이상의 입구 및 하나 이상의 출구를 포함한다. 바람직하게, 복수의 입구 및/또는 출구, 보다 바람직하게 각각 2개의 입구 및/또는 출구가 제공된다. 이는 유리하게 예를 들면, 보다 더 접근가능하거나 용이한 장착을 허용하는 이러한 연결을 선택할 수 있게 하는 복수의 연결 선택성을 제공한다.
Each cooling channel includes one or more inlets and one or more outlets. Preferably, a plurality of inlets and / or outlets, more preferably two inlets and / or outlets, respectively, are provided. This advantageously provides a plurality of connection selectivities which enable, for example, to select such a connection allowing for more accessible or easier mounting.

상기 하나 이상의 입구 및/또는 출구는 바람직하게 상기 냉각 요소의 측방향 표면에 배열된다. 상기 측방향 표면은 상기 냉각 요소의 접합면에 대해, 즉 상기 외측 측부를 향해 대면하는 상기 냉각 요소의 측면에 대해 각을 이루어 배향된 일 측면이다. 실질적으로 평행 육면체(parallelepipedic) 냉각 요소에서, 예를 들면 상기 측방향 표면은 상기 접합면에 대해 수직하게 연장한다. 대안적으로, 입구 및/또는 출구는 외측 측부상에, 즉 특히 상기 접합면의 측면에 대해 마주하여 배열되는 냉각 요소의 측면 상에 배열될 수 있다.
The at least one inlet and / or outlet is preferably arranged at the lateral surface of the cooling element. The lateral surface is one side oriented at an angle to the joining surface of the cooling element, ie with respect to the side of the cooling element facing towards the outer side. In a substantially parallelepipedic cooling element, for example, the lateral surface extends perpendicular to the joining surface. Alternatively, the inlet and / or outlet may be arranged on the outer side, ie on the side of the cooling element, in particular arranged opposite to the side of the joining surface.

특히 바람직한 실시예에 따르면, 상기 입구 및/또는 출구는 상기 펌프 하우징의 외측 측부를 향해 폐쇄되도록 배열된다. 그에 따라, 밀봉이 상당히 용이하게 형성될 것이다. 바람직하게, 상기 입구 및/또는 출구는 보어로서 형성된다. 바람직하게 원통형 개구로서 형성되는 이들 보어는 상기 펌프 하우징의 외측 측부를 향해 개방된 상기 냉각 채널을 연결시킨다. 상기 원통형 개구는 상기 펌프 하우징의 외측 측부를 향해, 즉 상기 냉각 요소의 접합면을 향해 폐쇄된다.
According to a particularly preferred embodiment, the inlet and / or outlet is arranged to close towards the outer side of the pump housing. Thus, the seal will be formed quite easily. Preferably the inlet and / or outlet is formed as a bore. These bores, preferably formed as cylindrical openings, connect the cooling channels open toward the outer side of the pump housing. The cylindrical opening is closed towards the outer side of the pump housing, ie towards the joint surface of the cooling element.

특히 바람직한 실시예에 따르면, 사용된 냉각 매체는 예를 들면 물과 같은 냉각액일 것이기 때문에, 부식의 위험이 존재한다. 이러한 부식을 방지하기 위해, 부식 방지 층을 갖는 냉각 채널의 내부측을 제공할 수 있다. 이를 위해, 예를 들면 대응 표면에 래커를 도포하거나, 갈바니 처리, 예를 들면 아연 도금 또는 니켈 도금되도록 할 수 있다. 아울러, 예를 들면 알루미늄 주조의 경우, 경질 양극 산화 처리가 적용될 수 있다. 또한, 부식으로부터의 보호를 위한 소모 가능한 전극이 제공될 수 있다. 바람직하게, 상기 냉각 요소는 소모 가능한 전극의 역할을 하는 재료로 제조된다. 아울러, 상기 냉각 요소는 소모 가능한 전극을 포함할 수 있으며, 전체적으로 또는 부분적으로 대응하는 재료로 제조될 수 있다.
According to a particularly preferred embodiment, there is a risk of corrosion since the cooling medium used will be a cooling liquid, for example water. To prevent this corrosion, it is possible to provide the inner side of the cooling channel with a corrosion protection layer. For this purpose, for example, lacquer can be applied to the corresponding surface, or galvanized, for example galvanized or nickel plated. In addition, for example, in the case of aluminum casting, a hard anodizing treatment may be applied. In addition, consumable electrodes may be provided for protection from corrosion. Preferably, the cooling element is made of a material that serves as a consumable electrode. In addition, the cooling element may comprise consumable electrodes and may be made in whole or in part of corresponding materials.

특히 바람직한 실시예에 따르면, 상기 냉각 요소는 그레이-캐스팅(grey-casting) 또는 구상-주조(spheroidal-casting) 구성요소로 또는 내식성 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 주물 합금으로부터도 제조된다. 최종 주물 표면은 물에 노출될 때 부식되기 쉽지 않을 것이다. 그레이-캐스팅, 구상-주조 또는 알루미늄 주조에 의해 이러한 구성 부분을 제조하는 것은 또한 저가일 것이다. 추가의 가능성이 구리, 황동, 또는 청동 합금으로부터 냉각 요소를 제조하는데 존재한다.
According to a particularly preferred embodiment, the cooling element is made of a grey-casting or spheroidal-casting component or from a corrosion resistant aluminum or stainless steel casting alloy. The final casting surface will not be susceptible to corrosion when exposed to water. It would also be inexpensive to manufacture such components by grey-casting, nodular-casting or aluminum casting. Further possibilities exist for making cooling elements from copper, brass, or bronze alloys.

본 발명은 또한 진공 펌프용 냉각 요소 세트에 관한 것이다. 상기 냉각 요소 세트는 상이한 외부 치수를 갖는 복수의 냉각 요소를 포함한다. 각각의 상기 냉각 요소는 상기 냉각 요소의 접합면을 향해 개방된 하나 이상의 냉각 채널을 구비한다. 조립된 상태에서, 상기 냉각 요소의 접합면은 상기 진공 펌프 하우징의 외측 측부를 향해 대면하며, 상기 외측 측부와 함께, 폐쇄된 단면을 갖는 냉각 채널을 형성한다. 상이한 냉각 요소를 포함하는 냉각 요소 세트를 설계함으로써, 매우 가변적인 방식으로 각각의 적합한 냉각 요소를 갖는 상이한 펌프 유형을 제공할 수 있다.
The invention also relates to a set of cooling elements for a vacuum pump. The set of cooling elements includes a plurality of cooling elements with different external dimensions. Each said cooling element has one or more cooling channels open toward the joining surface of said cooling element. In the assembled state, the joining surface of the cooling element faces toward the outer side of the vacuum pump housing and, together with the outer side, forms a cooling channel having a closed cross section. By designing a set of cooling elements comprising different cooling elements, it is possible to provide different pump types with each suitable cooling element in a highly variable manner.

상기 냉각 요소 세트의 냉각 요소들은 예를 들면 상이하게 큰, 바람직하게는 직사각형의 접합면을 포함한다. 상기 진공 펌프 하우징을 설계할 때, 하나 또는 복수의 냉각 요소의 크기에 대응하는 외부 표면을 생성하도록 단지 주의할 필요가 있다. 따라서, 상이한 진공 펌프 하우징에 대해 상이한 냉각 요소를 설계하도록 요구되지 않을 것이다.
The cooling elements of the set of cooling elements comprise, for example, differently large, preferably rectangular joint surfaces. When designing the vacuum pump housing, it is only necessary to be careful to create an outer surface corresponding to the size of one or a plurality of cooling elements. Thus, it would not be required to design different cooling elements for different vacuum pump housings.

예를 들면, 냉각 요소 세트는 상이하게 큰 접합면 및/또는 상이한 기하학적 구성의 접합면을 갖는 냉각 요소뿐 아니라, 상이한 단면 형상의 냉각 채널을 갖는 냉각 요소를 포함할 수 있다. 따라서, 정해진 진공 펌프 및 진공 펌프의 정해진 사용을 위해, 편의상 상이한 냉각 성능을 갖는 상이한 냉각 요소를 제공할 수 있다. 바람직한 실시예에 따르면, 개별적인 냉각 요소들은 진공 펌프 하우징에 관하여 전술된 방식으로 설계된다. 특히, 바람직하게 평행 육면체 형상이거나 평행 육면체형 기본체를 포함하는 냉각 요소는 하나 이상의 입구 및 하나 이상의 출구를 갖는다. 이들은, 이미 전술된 바와 같이, 바람직하게 상기 냉각 요소의 외측 측부상에 또는 측방향 표면에 위치된다. 결과적으로, 냉각 도관을 통해 냉각 시스템에 냉각 채널을 연결하는 것이 보다 용이한 방식으로 가능하다.
For example, the set of cooling elements may comprise cooling elements having cooling channels of different cross-sectional shapes, as well as cooling elements having different large bonding surfaces and / or bonding surfaces of different geometries. Thus, for a given vacuum pump and a given use of the vacuum pump, it is possible for convenience to provide different cooling elements with different cooling performance. According to a preferred embodiment, the individual cooling elements are designed in the manner described above with respect to the vacuum pump housing. In particular, the cooling element preferably having a parallelepiped shape or a parallelepiped base has at least one inlet and at least one outlet. These are preferably located on the lateral surface or on the outer side of the cooling element, as already described above. As a result, it is possible in an easier way to connect the cooling channels to the cooling system via the cooling conduits.

이하, 첨부 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 의해 본 발명이 보다 상세히 설명될 것이다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도면에서 다음이 도시된다:
도 1은 냉각 요소의 제 1 실시예에 대한 개략적 사시도이고;
도 2는 도 1의 II-II 선을 따라 취한 개략적 단면도이며;
도 3은 도 2에 도시된 냉각 요소와 유사한 냉각 요소의 부분도이며;
도 4는 도 1의 III-III 선을 따라 취한 개략적 단면도이며;
도 5는 냉각 요소 세트의 일례에 대한 도면이다.In the drawings the following is shown:
1 is a schematic perspective view of a first embodiment of a cooling element;
2 is a schematic cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1;
3 is a partial view of a cooling element similar to the cooling element shown in FIG. 2;
4 is a schematic cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 1;
5 is a diagram of an example of a cooling element set.

도시된 실시예(도 1)에서 평행 육면체형 주물 구성요소로 형성되는 냉각 요소(10)는 구불구불한 모양의 냉각 채널(12)을 포함한다. 냉각 채널(12)은 접합면(14)을 향해 개방된 홈으로서 형성된다. 상기 홈은 대응하는 주조 몰드를 사용함으로써 이미 주조 과정중에 제조될 수 있다. 대안적으로, 냉각 채널(12)을 형성하기 위한 홈은, 예를 들면 밀링과 같은, 예를 들어 기계 가공 과정에 의해 제조될 수 있다. 냉각 채널(12)은 냉각 요소가 그 외측 면(16) 상에서 폐쇄되도록, U자형 단면(도 2)을 갖는다. 도시된 실시예에서, 냉각 도관에 냉각 채널을 연결하기 위한 입구(20) 및 출구(22)가 외측 면(18) 상에 제공된다. 상기 입구(20) 및 출구(22)는 교차 보어(transverse bores)(도 4)들로 형성된다. 접합면(14)은 그에 따라 이들 교차 보어(20, 22)의 부근에서 폐쇄된다. 이는 밀봉이 보다 단순한 방식으로 제공될 수 있는 이점을 갖는다.
In the illustrated embodiment (FIG. 1), the cooling element 10 formed of parallelepiped casting components comprises a cooling channel 12 of serpentine shape. The cooling channel 12 is formed as a groove open toward the joining surface 14. The groove can already be made during the casting process by using the corresponding casting mold. Alternatively, the grooves for forming the cooling channel 12 can be made, for example by milling, such as milling. The cooling channel 12 has a U-shaped cross section (FIG. 2) such that the cooling element is closed on its outer face 16. In the embodiment shown, an inlet 20 and an outlet 22 for connecting cooling channels to the cooling conduits are provided on the outer face 18. The inlet 20 and outlet 22 are formed of transverse bores (FIG. 4). The abutment surface 14 is thus closed in the vicinity of these cross bores 20, 22. This has the advantage that the seal can be provided in a simpler way.

도시된 실시예에는 2개의 입구(20) 및 2개의 출구(22)가 제공된다. 이들은 매 코너 영역에서의 상이하고 상호 수직한 외측 면(18)들에 각각 배열된다. 이러한 장치는 냉각 채널의 연결이 2개의 입구 개구(20) 중 하나 및 출구 개구(22) 중 각자를 통해 실현될 수 있으며, 이 연결이 각각의 요구조건에 따라 자유롭게 선택 가능한 이점을 갖는다. 이는 냉각 요소(10)가 사용되는 펌프 유형에 따라, 상이한 공간 조건이 존재할 것이기 때문이 유리하다.
In the illustrated embodiment, two inlets 20 and two outlets 22 are provided. They are each arranged on different and mutually perpendicular outer faces 18 in every corner region. This arrangement allows the connection of the cooling channels to be realized via one of the two inlet openings 20 and the outlet opening 22 respectively, which has the advantage of being freely selectable according to the respective requirements. This is advantageous because there will be different space conditions, depending on the type of pump in which the cooling element 10 is used.

또한, 펌프 요소(10)는 부착을 위한 복수의 관통 보어(24)를 구비하며, 상기 보어는 외측 면(16)으로부터 접합면(14)까지 연장한다. 그에 따라, 상기 냉각 요소(10)는 예를 들면 나사에 의해 펌프 하우징(26)에 용이하게 체결될 수 있다(도 2). 이는 도 2에서 쇄선(28)에 의해 개략적으로 설명된다.
The pump element 10 also has a plurality of through bores 24 for attachment, which extend from the outer side 16 to the joint surface 14. The cooling element 10 can thus be easily fastened to the pump housing 26 by, for example, a screw (FIG. 2). This is schematically illustrated by the dashed line 28 in FIG. 2.

도시된 실시예에서, 접합면(14)은 펌프 하우징(26)의 평면의 처리된 외측 면(30) 상에 바로 접하지 않는다. 그 대신, 두 구성요소 사이에 지면형 실링(areal sealing; 32)이 제공된다. 상기 실링(32)은 접합면(14)뿐 아니라 외측 면(30)을 완전히 덮는다. 따라서, 실링(32)은 하우징 상에 냉각 요소(10)의 밀봉된 배열을 얻도록 도울 뿐 아니라, 서로에 대해 냉각 채널(12)의 개별적인 부분을 밀봉하는데 사용된다(도 2). 아울러, 이러한 지면형 실링(32)을 제공함으로써, 펌프 하우징(26)의 처리된 외측 면(30)이 부식에 대해 보호된다. 추가로 또한 지면형 실링(32)은 도 2에 도시된 실시예에서 전체 표면 처리가 또한 제공된 접합면(14)에 대한 부식 방지 보호를 또한 돕는다. 냉각 채널(12)의 내측 면(34)은 예를 들면 래커와 같은 부식 방지 보호 코팅을 구비할 수 있다. 그러나 바람직하게, 상기 내측 면(34)은 미처리된 주물 표면이며, 냉각 요소(10)는 바람직하게 그레이-캐스팅 또는 구상-주조 과정에 의해 생산되거나, 내식성 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 주물 합금으로 제조되어서, 최종 주물 표면은 냉각제, 즉 특히 물에 대해 부식이 방지된다.
In the embodiment shown, the mating surface 14 is not directly in contact with the planar treated outer side 30 of the pump housing 26. Instead, a real sealing 32 is provided between the two components. The seal 32 completely covers the outer surface 30 as well as the joint surface 14. Thus, the seal 32 is used not only to help obtain a sealed arrangement of the cooling elements 10 on the housing, but also to seal the individual parts of the cooling channels 12 against each other (FIG. 2). In addition, by providing such a ground seal 32, the treated outer surface 30 of the pump housing 26 is protected against corrosion. In addition, the ground seal 32 also aids in anti-corrosion protection for the joint surface 14, which is also provided with the entire surface treatment in the embodiment shown in FIG. The inner side 34 of the cooling channel 12 may have a corrosion protection protective coating such as, for example, lacquer. Preferably, however, the inner face 34 is an untreated casting surface, and the cooling element 10 is preferably produced by a gray-casting or nodular-casting process, or made of a corrosion resistant aluminum or stainless steel casting alloy, so that The casting surface is protected from corrosion against coolants, in particular water.

추가의 실시예(도 3)에서, 냉각 요소(10)는 도 2에 도시된 바와 유사한 구성을 갖는다. 유일한 차이점은 냉각 채널(12)의 인접 부분들 사이에 배열된 웨브 부분(36)이 접합면(14) 영역(38)에서 처리되지 않고 남아 있는 데 있다. 대응하게 두꺼운 지면형 실링 요소(32)를 제공하면, 실링 요소(32)가 상기 영역(38)에서 압축되고, 그에 따라 실링 요소(32)가 냉각 채널(12)의 측방향 면(34)으로 부분적으로 돌출할 것이며, 그에 따라 서로에 대해 냉각 채널(12)의 인접 부분들을 밀봉할 것이기 때문에 상기 부분들의 처리가 요구되지 않는다.
In a further embodiment (FIG. 3), the cooling element 10 has a configuration similar to that shown in FIG. 2. The only difference is that the web portion 36 arranged between the adjacent portions of the cooling channel 12 remains untreated in the joint surface 14 region 38. Providing a correspondingly thick ground sealing element 32, the sealing element 32 is compressed in the region 38, thus sealing element 32 to the lateral face 34 of the cooling channel 12. The processing of these parts is not required because they will partially protrude and will therefore seal adjacent parts of the cooling channel 12 against each other.

도 2에 도시된 실시예에서 대응하게 두꺼운 실링 요소(32)를 제공하면, 부식으로부터 접합면(14)을 보호하기 위한 부식 방지제의 사용이 또한 전혀 요구되지 않는다. 부식 방지제의 사용은, 적합한 두께를 갖는 실링(32)이 사용되면, 실링이 측방향 면(34)으로 돌출할 것이며, 그에 따라 냉각제가 접합면(14)에 도달하는 것을 방지할 것이기 때문에, 요구되지 않는다.
Providing a correspondingly thick sealing element 32 in the embodiment shown in FIG. 2, the use of a corrosion inhibitor to protect the joint surface 14 from corrosion is also not required at all. The use of a corrosion inhibitor is required because, if a seal 32 having a suitable thickness is used, the seal will protrude to the lateral face 34 and thus prevent the coolant from reaching the joint surface 14. It doesn't work.

지면형 실링 요소(32)를 포함하지 않는 실시예에서, 예를 들면 O-링으로서 형성된 실링 요소를 수용하기 위한 접합면(14)의 외부 에지 영역(40)(도 2)에 밀봉 홈을 제공하는 것이 또한 가능하다. 선택적으로, 해당 밀봉 홈은 펌프 하우징(26)의 외측(30)과 마주하는 대응 영역에 배열될 수도 있다.
In embodiments that do not include a grounded sealing element 32, for example, a sealing groove is provided in the outer edge region 40 (FIG. 2) of the joining surface 14 for receiving a sealing element formed as an O-ring. It is also possible. Alternatively, the sealing groove may be arranged in a corresponding area facing the outer side 30 of the pump housing 26.

도 5는 예로서 복수의 냉각 요소(42, 44, 46)를 포함하는 냉각 요소 세트를 도시한다. 상기 냉각 요소(42, 44, 46)는 실질적으로 냉각 요소(10)의 방식으로 설계된다.
5 shows a cooling element set comprising a plurality of cooling elements 42, 44, 46 as an example. The cooling elements 42, 44, 46 are designed substantially in the manner of the cooling element 10.

따라서, 2개의 냉각 요소(42, 44)는 구불구불한 모양의 냉각 채널(12)을 각각 포함하며, 이 냉각 채널은 전술된 냉각 요소(10)에 대응하여 접합면(14)을 향해 개방된다. 냉각 요소(42)는 그 측방향 면(18)에 입구(20) 및 출구(22)를 구비하며, 또한 여기에서 2개의 입구 및 각각의 출구는 연결 선택성에 대해 높은 가변성을 보장하도록 에지 영역에 제공된다.
Thus, the two cooling elements 42, 44 each comprise a tortuous cooling channel 12, which is opened towards the joint surface 14 in correspondence with the cooling element 10 described above. . The cooling element 42 has an inlet 20 and an outlet 22 at its lateral face 18, where the two inlets and each outlet are at the edge region to ensure high variability for connection selectivity. Is provided.

냉각 요소(44)는 냉각 요소(10)와 대응하는 디자인이며, 평행 육면체 냉각 요소는 정사각형이 아니라 직사각형의 접합면(14)을 포함한다. 도 5에 도시된 추가의 냉각 요소(46)는 서로에 대해 실질적으로 평행하게 연장하는 2개의 냉각 채널을 포함한다. 2개의 냉각 채널(12) 각각은 입구(20) 및 출구(22)를 갖는다. 2개의 냉각 채널(12)은, 예를 들면 상이한 방향으로의 유동을 실행할 수 있다. 아울러, 냉각 채널(12) 중 하나만을 연결하는 것이 가능하며, 이는 진공 펌프의 냉각에 대해 제기된 요구 조건에 좌우될 것이다.
The cooling element 44 is of a design corresponding to the cooling element 10, and the parallelepiped cooling element comprises a rectangular joint surface 14 rather than a square. The further cooling element 46 shown in FIG. 5 comprises two cooling channels extending substantially parallel to each other. Each of the two cooling channels 12 has an inlet 20 and an outlet 22. The two cooling channels 12 can, for example, carry out flow in different directions. In addition, it is possible to connect only one of the cooling channels 12, which will depend on the requirements raised for the cooling of the vacuum pump.

도 5 내지 7에 예로서 도시된 바와 같은 복수의 냉각 요소를 포함하는 상기 냉각 요소 세트에 의해, 상이한 진공 펌프용 냉각 요소를 생성하는 것이 가능해진다. 이들 냉각 요소는 냉각 요소 세트의 개별적인 냉각 요소가 상이한 진공 펌프에 대해 사용될 수 있도록, 모듈형 구조 키트 방식으로 설계된다. 이는 상이한 진공 펌프가 단지 대응하게 설계된 외측 측부(30)를 가져야 하며, 크기 및 요구 조건에 따라, 대응하는 냉각 요소 세트의 냉각 요소가 사용될 수 있는 이점을 갖는다. 이에 따라, 매우 높은 유연성이 획득된다. With this set of cooling elements comprising a plurality of cooling elements as shown by way of example in FIGS. 5 to 7, it is possible to create different cooling elements for vacuum pumps. These cooling elements are designed in a modular structure kit manner so that the individual cooling elements of a set of cooling elements can be used for different vacuum pumps. This has the advantage that different vacuum pumps only have a correspondingly designed outer side 30 and, depending on the size and requirements, the cooling elements of the corresponding set of cooling elements can be used. Thus, very high flexibility is obtained.

Claims (18)

진공 펌프 하우징으로서,
펌핑 챔버를 형성하는 펌프 하우징(26), 및
상기 펌프 하우징(26)의 평면형 외측 측부(30) 상에 배열된 냉각 요소(10, 42, 44, 46)를 포함하며,
상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)는 상기 펌프 하우징(26)의 외측 측부(30)를 향해 개방된 하나 이상의 냉각 채널(12)을 포함하는
진공 펌프 하우징.
Vacuum pump housing,
A pump housing 26 forming a pumping chamber, and
Cooling elements 10, 42, 44, 46 arranged on the planar outer side 30 of the pump housing 26,
The cooling elements 10, 42, 44, 46 comprise one or more cooling channels 12 open towards the outer side 30 of the pump housing 26.
Vacuum pump housing.
제 1 항에 있어서,
상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)는 독립된 구성요소로서 제공되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method of claim 1,
The cooling elements 10, 42, 44, 46 are characterized in that they are provided as independent components.
Vacuum pump housing.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)는 상기 펌프 하우징(26)의 외측 측부(30)를 향해 대면하며 조립된 상태에서 바람직하게 상기 펌프 하우징(26)의 외측 측부(30)에 대해 평행한 평면 접합면(14)을 포함하는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to claim 1 or 2,
The cooling elements 10, 42, 44, 46 face toward the outer side 30 of the pump housing 26 and are preferably parallel to the outer side 30 of the pump housing 26 in an assembled state. Characterized in that it comprises one planar joint surface 14
Vacuum pump housing.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 펌프 하우징(26)의 외측 측부(30) 상에 바람직하게 지면형 실링 요소(32)가 제공되면서 바람직하게 상기 외측 측부(30)를 완전히 덮으며, 상기 외측 측부(30)는 바람직하게 처리된 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to any one of claims 1 to 3,
A ground sealing element 32 is preferably provided on the outer side 30 of the pump housing 26 and preferably completely covers the outer side 30, and the outer side 30 is preferably treated. Characterized by
Vacuum pump housing.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 펌프 하우징(26)의 외측 측부(30)에 및/또는 상기 외측 측부에 마주하는 상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)의 일 측에, 바람직하게는 상기 접합면(14)에 예를 들면 O-링과 같은 실링 요소를 수용하기 위한 밀봉 홈이 제공되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to any one of claims 1 to 4,
On one side of the cooling element 10, 42, 44, 46 facing the outer side 30 and / or on the outer side of the pump housing 26, preferably yes on the joining surface 14. Characterized in that a sealing groove is provided for receiving a sealing element, for example an O-ring.
Vacuum pump housing.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 하나 이상의 냉각 채널(12)은 구불구불한 모양인 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The at least one cooling channel 12 is characterized by a tortuous shape.
Vacuum pump housing.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
각각의 상기 냉각 채널(12)은 하나 이상의 입구(20) 및 하나 이상의 출구(22)를 갖는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to any one of claims 1 to 6,
Each said cooling channel 12 is characterized by having one or more inlets 20 and one or more outlets 22.
Vacuum pump housing.
제 7 항에 있어서,
상기 입구(20) 및 출구(22) 중 하나 이상은 상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)의 측방향 면(18) 및 외측 면(16) 중 하나 이상에 배열되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method of claim 7, wherein
At least one of the inlet 20 and the outlet 22 is characterized in that it is arranged on at least one of the lateral face 18 and the outer face 16 of the cooling element 10, 42, 44, 46.
Vacuum pump housing.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 입구(20) 및 상기 출구(22) 중 하나 이상은 상기 펌프 하우징(26)의 외측 측부(30)를 향해 폐쇄되며, 바람직하게 보어로서 형성되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to claim 7 or 8,
At least one of the inlet 20 and the outlet 22 is closed towards the outer side 30 of the pump housing 26 and is preferably formed as a bore.
Vacuum pump housing.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)에 의해 형성된 상기 하나 이상의 냉각 채널(12)의 내측(34)들은 미처리된 주물 표면으로서 제공되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to any one of claims 1 to 9,
Characterized in that the inner sides 34 of the one or more cooling channels 12 formed by the cooling elements 10, 42, 44, 46 are provided as untreated casting surfaces.
Vacuum pump housing.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)는 소모 가능한 전극으로서 적어도 부분적으로 형성되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to any one of claims 1 to 10,
Said cooling element 10, 42, 44, 46 is at least partly formed as a consumable electrode.
Vacuum pump housing.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 냉각 채널(12)의 내측(34) 및/또는 외면(14, 40) 및/또는 상기 펌프 하우징(26)의 외측 측부(30)는 부식 방지 보호층(anti-corrosion protctive layer)을 구비하는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to any one of claims 1 to 11,
The inner side 34 and / or outer side 14, 40 of the cooling channel 12 and / or the outer side 30 of the pump housing 26 are provided with an anti-corrosion protctive layer. Characterized by
Vacuum pump housing.
제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)는 평행 육면체이거나, 평행 육면체형 기본체를 포함하는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to any one of claims 1 to 12,
The cooling elements 10, 42, 44, 46 are characterized in that they are parallelepipeds or comprise parallelepiped primitives.
Vacuum pump housing.
제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)의 접합면(14)은 특히 상기 하나 이상의 냉각 채널(12)의 인접 부분들 사이의 영역에 미처리된 주물 표면(38)을 부분적으로 포함하는 것을 특징으로 하는
진공 펌프 하우징.
The method according to any one of claims 1 to 13,
The joining surface 14 of the cooling elements 10, 42, 44, 46 is in particular characterized in part by an untreated casting surface 38 in the region between adjacent portions of the one or more cooling channels 12. By
Vacuum pump housing.
진공 펌프용 냉각 요소 세트로서,
상이한 외부 치수를 갖는 복수의 냉각 요소(10, 42, 44, 46)를 포함하고,
각각의 상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)는 하나 이상의 냉각 채널(12)을 포함하며, 상기 냉각 채널(12)은 조립된 상태에서 진공 펌프 하우징(26)의 외측 측부에 마주하여 배열되는 접합면(14)을 향해 개방되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프용 냉각 요소 세트.
A set of cooling elements for a vacuum pump,
A plurality of cooling elements 10, 42, 44, 46 having different external dimensions,
Each of the cooling elements 10, 42, 44, 46 comprises one or more cooling channels 12, which are arranged opposite to the outer side of the vacuum pump housing 26 in an assembled state. Characterized in that it is open toward the joining surface 14
Set of cooling elements for vacuum pumps.
제 15 항에 있어서,
상기 냉각 요소 세트 중 둘 이상의 상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)의 접합면(14)은 상이한 크기의, 바람직하게는 직사각형의 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는
진공 펌프용 냉각 요소 세트.
The method of claim 15,
The joining surfaces 14 of two or more of the cooling elements 10, 42, 44, 46 of the set of cooling elements are characterized in that they comprise differently sized, preferably rectangular, surfaces.
Set of cooling elements for vacuum pumps.
제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
둘 이상의 냉각 요소(10, 42, 44, 46)는 상이한 단면을 갖는 냉각 채널(12)을 포함하는 것을 특징으로 하는
진공 펌프용 냉각 요소 세트.
The method according to claim 15 or 16,
Two or more cooling elements 10, 42, 44, 46 are characterized in that they comprise cooling channels 12 with different cross sections.
Set of cooling elements for vacuum pumps.
제 15 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
제 2 항 내지 제 14 항 중 하나 이상에 따른 상기 냉각 요소(10, 42, 44, 46)가 제공되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프용 냉각 요소 세트.The method according to any one of claims 15 to 17,
The cooling element (10, 42, 44, 46) according to at least one of claims 2 to 14 is provided.
Set of cooling elements for vacuum pumps.
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