JP3051515B2 - Multistage vacuum pump cooling system - Google Patents
Multistage vacuum pump cooling systemInfo
- Publication number
- JP3051515B2 JP3051515B2 JP3254688A JP25468891A JP3051515B2 JP 3051515 B2 JP3051515 B2 JP 3051515B2 JP 3254688 A JP3254688 A JP 3254688A JP 25468891 A JP25468891 A JP 25468891A JP 3051515 B2 JP3051515 B2 JP 3051515B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- casing
- stage
- cooler
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は多段真空ポンプの冷却装
置に係り、特に昇華性または凝縮性のガスを排気する多
段真空ポンプに好適な冷却装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cooling device for a multistage vacuum pump, and more particularly to a cooling device suitable for a multistage vacuum pump for exhausting sublimable or condensable gas.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、回転軸に沿って複数のロータ
を備えた回転体を相隣接して設け、相対向したロータが
互いに逆方向に回転して吸入排気を行う多段真空ポンプ
が知られている。多段真空ポンプ用ロータは、相対向す
るロータ同士及びロータとケーシングとの間に僅かの隙
間を保って、接触することなく回転する。2. Description of the Related Art Conventionally, a multistage vacuum pump has been known in which a plurality of rotors having a plurality of rotors are provided adjacent to each other along a rotation axis, and the opposed rotors rotate in opposite directions to perform suction and exhaust. ing. The rotor for a multi-stage vacuum pump rotates without contact, with a small gap between the rotors facing each other and between the rotor and the casing.
【0003】上述の多段真空ポンプにおいては、排気す
るガスの圧縮工程で発生した圧縮熱を除去するために冷
却装置が設けられている。従来の多段真空ポンプの冷却
装置は、図3に示されるように多段真空ポンプのケーシ
ング31と離間した位置に設置された冷却器32を備
え、ケーシング31と冷却器32とを導管33によって
接続していた。この冷却器32は、真空ポンプの冷却の
必要な各段毎に設置されている。この図3に示す方式を
インタークーラタイプと称する。In the above-described multi-stage vacuum pump, a cooling device is provided for removing compression heat generated in a compression process of a gas to be exhausted. As shown in FIG. 3, the conventional cooling device for a multi-stage vacuum pump includes a cooler 32 installed at a position separated from a casing 31 of the multi-stage vacuum pump, and connects the casing 31 and the cooler 32 by a conduit 33. I was The cooler 32 is provided for each stage of the vacuum pump requiring cooling. The system shown in FIG. 3 is called an intercooler type.
【0004】次に、従来の多段真空ポンプにおける他の
冷却装置を図4を参照して説明する。本冷却装置は、い
わゆるジャケットタイプと称されるものであり、多段真
空ポンプのケーシング31の両外側に水冷室41,41
を備えている。これによって各段で発生した圧縮熱はポ
ンプケーシング壁を通して冷却されるようになってい
る。Next, another cooling device in a conventional multi-stage vacuum pump will be described with reference to FIG. This cooling device is what is called a jacket type, and water cooling chambers 41, 41 are provided on both outer sides of a casing 31 of a multi-stage vacuum pump.
It has. Thereby, the compression heat generated in each stage is cooled through the pump casing wall.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た図3に示す多段真空ポンプの冷却装置にあっては、冷
却器を各段毎にケーシングと離れた所に設置していたた
め、大きな設置空間が必要となり、結果として多段真空
ポンプの装置全体が大きくなるという問題点があった。
また、このように冷却装置を真空ポンプと離間した位置
に別途設置していたため、装置全体が高価になるという
問題点があった。However, in the cooling device of the multi-stage vacuum pump shown in FIG. 3 described above, a large installation space is required because the cooling device is installed at each stage apart from the casing. This necessitates a problem that the size of the entire multi-stage vacuum pump becomes large as a result.
Further, since the cooling device is separately provided at a position separated from the vacuum pump, there is a problem that the entire device becomes expensive.
【0006】一方、図4に示すジャケットタイプの冷却
装置にあっては、ケーシング本体を冷却材によって直接
冷却していたため、冷却部で昇華または凝縮した物質が
ロータとケーシング間に付着して溜まり、この凝縮物に
よってポンプが過負荷になったり停止することがあると
いう問題点があった。On the other hand, in the jacket-type cooling device shown in FIG. 4, since the casing body is directly cooled by the coolant, the substance sublimated or condensed in the cooling section adheres and accumulates between the rotor and the casing. There is a problem that the pump may be overloaded or stopped due to the condensate.
【0007】本発明は前述した点に鑑みなされたもの
で、その目的とする処は、ポンプケーシング下部に冷却
器を取付けることにより、インタークーラを不要とし、
コンパクト化を図ることができるとともに、ケーシング
本体を冷却しないことにより昇華性または凝縮性のガス
の排気に適した多段真空ポンプの冷却装置を提供するこ
とにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and its object is to provide a cooler at a lower portion of a pump casing so that an intercooler becomes unnecessary.
An object of the present invention is to provide a cooling device for a multi-stage vacuum pump that can be made compact and that is suitable for exhausting sublimable or condensable gas by not cooling the casing body.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため、本発明の多段真空ポンプの冷却装置は、排気する
ガスの圧縮工程で発生した圧縮熱を除去するための多段
真空ポンプの冷却装置において、ポンプケーシングの下
部に設けられた壁体に冷却水を通水する単一の冷却器を
設け、この冷却器によって、ポンプケーシングの下部に
設けられた壁体を通して前記多段真空ポンプの各段から
排気されるガスを冷却するようにしたことを特徴とする
ものである。In order to achieve the above-mentioned object, a cooling device for a multi-stage vacuum pump according to the present invention is provided with a cooling device for a multi-stage vacuum pump for removing compression heat generated in a compression process of exhaust gas. In the above, a single cooler for passing cooling water through a wall provided at a lower portion of the pump casing is provided, and this cooler allows each stage of the multistage vacuum pump to pass through a wall provided at a lower portion of the pump casing. The gas exhausted from the air is cooled.
【0009】[0009]
【作用】前述した構成からなる本発明の多段真空ポンプ
の冷却装置によれば、ポンプケーシング下部に別部品と
して冷却器を取付け、この冷却器に冷却水を通水し、ポ
ンプケーシングの下部に設けられた壁体を通して排気さ
れたガスを各段毎に冷却することによって、インターク
ーラが不要となり、真空ポンプのコンパクト化を図るこ
とができるとともに、ケーシング本体を冷却しないこと
により、昇華性または凝縮性のガスがケーシング内で凝
縮することを避けることができる。According to the cooling device for a multi-stage vacuum pump of the present invention having the above-described structure, a cooler is attached as a separate component to the lower part of the pump casing, cooling water is passed through the cooler, and provided at the lower part of the pump casing. By cooling the gas exhausted through the wall provided for each stage, an intercooler is not required, and the vacuum pump can be made compact. Is prevented from condensing in the casing.
【0010】[0010]
【実施例】以下、本発明に係る多段真空ポンプの冷却装
置を図1及び図2を参照して説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A cooling device for a multistage vacuum pump according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
【0011】図1は本発明に係る冷却装置を組み込んだ
真空ポンプの全体構成を示す図であり、図2は図1のII
−II線に沿った断面図である。FIG. 1 is a diagram showing the overall structure of a vacuum pump incorporating a cooling device according to the present invention, and FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view along the line II.
【0012】図1及び図2において、符号1はケーシン
グであり、このケーシング1内に一対の回転体2,2が
配設されている。回転体2は、回転軸3とこの回転軸の
軸方向に沿って配置された複数のロータ4とを備えてい
る。回転体2はその一端において軸受5によって回転支
承されるとともに、その他端において軸受6によって回
転支承されており、一方の回転体2はモータ7に接続さ
れている。そして、一方の回転体2から他方の回転体2
へは、回転軸3の軸端に固定された歯車8(図1におい
ては、一方の歯車のみ示す)によって動力が伝達され、
一対の回転体2,2は互いに逆方向に回転し、僅かな隙
間を持って相対向するロータ4,4が互いに逆方向へ回
転して、吸入排気が行われるようになっている。1 and 2, reference numeral 1 denotes a casing, in which a pair of rotating bodies 2 and 2 are disposed. The rotating body 2 includes a rotating shaft 3 and a plurality of rotors 4 arranged along the axial direction of the rotating shaft. The rotating body 2 is rotatably supported at one end by a bearing 5 and at the other end by a bearing 6. One rotating body 2 is connected to a motor 7. Then, from one rotating body 2 to the other rotating body 2
Is transmitted by a gear 8 (only one of the gears is shown in FIG. 1) fixed to the shaft end of the rotating shaft 3.
The pair of rotating bodies 2 and 2 rotate in directions opposite to each other, and the rotors 4 and 4 opposed to each other with a small gap rotate in directions opposite to each other, so that suction and exhaust are performed.
【0013】また、前記軸受5は軸受ケース10内に収
容され、軸受6及び歯車8は軸受ケース11内に収容さ
れている。そして各軸受5,6及び歯車8は軸受ケース
10,11内の潤滑油によって油潤滑がされるようにな
っている。The bearing 5 is accommodated in a bearing case 10, and the bearing 6 and the gear 8 are accommodated in a bearing case 11. The bearings 5 and 6 and the gear 8 are lubricated with the lubricating oil in the bearing cases 10 and 11.
【0014】ポンプケーシング1の下部には、下部壁体
15がポンプケーシングの開口部1aを閉塞するように
設けられている。そして、この下部壁体15には、冷却
器16が取付けられている。この冷却器16内には、冷
却水が通水されるようになっている。この冷却器16は
各段から排気されるガスの圧縮熱を取り去るようになっ
ている。すなわち、各段から排出された排気ガスは、図
2の矢印A及びBによって示されるように、一旦、下部
壁体15に接触した後上昇し次段のロータ室に導かれる
ようになっている。そして、排気ガスは下部壁体15に
接触した際に、冷却器16内を通水している冷却水によ
って壁体を通して冷却されるようになっている。このよ
うに、本実施例においては、冷却器16はポンプケーシ
ング1の下部に設置されているために、昇華性または凝
縮性の排気ガスが、冷却器16によって冷やされ凝縮し
たとしても、凝縮物はポンプケーシング1の下方にある
下部壁体15の上面に溜まることになり、ロータ4とポ
ンプケーシング1間に溜まる恐れがない。A lower wall 15 is provided below the pump casing 1 so as to close the opening 1a of the pump casing. A cooler 16 is attached to the lower wall 15. Cooling water is passed through the cooler 16. This cooler 16 removes the heat of compression of the gas exhausted from each stage. That is, as shown by arrows A and B in FIG. 2, the exhaust gas discharged from each stage once comes into contact with the lower wall 15 and then rises and is guided to the rotor chamber of the next stage. . Then, when the exhaust gas contacts the lower wall 15, the exhaust gas is cooled through the wall by the cooling water flowing in the cooler 16. As described above, in the present embodiment, since the cooler 16 is provided at the lower portion of the pump casing 1, even if the sublimable or condensable exhaust gas is cooled and condensed by the cooler 16, the condensate Will accumulate on the upper surface of the lower wall 15 below the pump casing 1, and there is no danger of accumulating between the rotor 4 and the pump casing 1.
【0015】次に、真空ポンプによって排気されるガス
の流路について簡単に説明すると、ポンプ吸込み口12
よりケーシング内に流入したガスは各段毎にロータ4に
より上から下へと移動される。この時ガスは圧縮される
ため、圧縮熱により温度上昇する。その後、ガスはポン
プケーシング1の下部に配置した冷却水を通水している
冷却器16を有した下部壁体15に接触し、この接触時
に熱交換が行われ、排気されるガスは冷却される。この
際、昇華性または凝縮性のガスの場合には、凝縮して下
部壁体15上に凝縮物等となって溜まる可能性があるけ
れども、この下部壁体15はポンプケーシング1とはや
や離間した位置に設置されているため、ロータ4とケー
シング1間に凝縮された凝縮物が溜まる恐れが全くな
い。このように、昇華性または凝縮性のガスに対して、
冷却器がケーシング本体に隣接していないで、ポンプケ
ーシング下部にあることにより、ポンプ本体は冷却器に
よって昇華、凝縮した物質に影響されないでガスを排気
することができる。Next, the flow path of the gas exhausted by the vacuum pump will be briefly described.
The gas that has flowed into the casing is moved from top to bottom by the rotor 4 for each stage. At this time, since the gas is compressed, the temperature rises due to the heat of compression. Thereafter, the gas comes into contact with the lower wall body 15 having the cooler 16 through which the cooling water disposed in the lower part of the pump casing 1 flows, and at this time, heat exchange is performed, and the exhaust gas is cooled. You. At this time, in the case of a sublimable or condensable gas, there is a possibility that the gas will condense and accumulate as condensate on the lower wall 15, but the lower wall 15 is slightly separated from the pump casing 1. Since there is no danger of condensate condensed between the rotor 4 and the casing 1, there is no possibility that the condensed matter will collect between the rotor 4 and the casing 1. Thus, for sublimable or condensable gases,
Since the cooler is not adjacent to the casing main body but located at the lower part of the pump casing, the pump main body can exhaust gas without being affected by sublimated and condensed substances by the cooler.
【0016】また昇華性、凝縮性でないガスの排気の場
合には、ポンプ上部の入口板等に対しても冷却器を取付
けることが可能である。In the case of exhausting a gas that is not sublimable or condensable, a cooler can be attached to an inlet plate or the like above the pump.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上説明したように本発明の多段真空ポ
ンプの冷却装置によれば、ポンプケーシング下部に別部
品として冷却器を取付け、この冷却器に冷却水を通水
し、ポンプケーシングの下部に設けられた壁体を通して
排気されたガスを各段毎に冷却することによって、イン
タークーラが不要となり、真空ポンプ全体のコンパクト
化を図ることができる。As described above, according to the cooling device for a multi-stage vacuum pump of the present invention, a cooler is attached as a separate component to the lower part of the pump casing, and the cooling water is passed through the cooler, thereby lowering the pump casing. By cooling the gas exhausted through the wall provided at each stage, an intercooler becomes unnecessary, and the entire vacuum pump can be made compact.
【0018】また本発明によれば、ケーシング本体を冷
却しないため、昇華性または凝縮性のガスがケーシング
内で凝縮することを避けることができ、昇華性または凝
縮性の排気に極めて適する。Further, according to the present invention, since the casing body is not cooled, the sublimable or condensable gas can be prevented from condensing in the casing, which is very suitable for sublimable or condensable exhaust.
【図1】本発明に係る冷却装置を備えた多段真空ポンプ
の全体構成を示す断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view showing the overall configuration of a multi-stage vacuum pump provided with a cooling device according to the present invention.
【図2】図1のII−II線に沿った断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II of FIG.
【図3】従来の多段真空ポンプの冷却装置を示す断面
図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a conventional cooling device for a multi-stage vacuum pump.
【図4】従来の多段真空ポンプの他の冷却装置を示す断
面図。FIG. 4 is a sectional view showing another cooling device of the conventional multi-stage vacuum pump.
1 ケーシング 2 回転体 3 回転軸 4 ロータ 5,6 軸受 7 モータ 8 歯車 10,11 軸受ケース 15 下部壁体 16 冷却器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Casing 2 Rotating body 3 Rotating shaft 4 Rotor 5, 6 Bearing 7 Motor 8 Gear 10, 11 Bearing case 15 Lower wall 16 Cooler
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 臼井 克明 神奈川県藤沢市本藤沢4丁目2番1号 株式会社 荏原総合研究所内 (56)参考文献 特開 平2−70990(JP,A) 特開 平2−95792(JP,A) 特開 平4−19385(JP,A) 実公 昭52−27681(JP,Y2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F04C 23/00 - 29/10 331 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Katsuaki Usui 4-2-1, Motofujisawa, Fujisawa-shi, Kanagawa Prefecture Ebara Research Institute, Inc. (56) References JP-A-2-70990 (JP, A) JP-A JP-A-2-95792 (JP, A) JP-A-4-19385 (JP, A) JP-A-52-27681 (JP, Y2) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) F04C 23 / 00-29/10 331
Claims (1)
熱を除去するための多段真空ポンプの冷却装置におい
て、ポンプケーシングの下部に設けられた壁体に冷却水
を通水する単一の冷却器を設け、この冷却器によって、
ポンプケーシングの下部に設けられた壁体を通して前記
多段真空ポンプの各段から排気されるガスを冷却するよ
うにしたことを特徴とする多段真空ポンプの冷却装置。1. A cooling apparatus of a multi-stage vacuum pump for removing the compression heat generated in the compression process of the exhaust gases, single cooling which allows cooling water to pass therethrough wall member provided in the lower portion of the pump casing Vessel, and this cooler
A cooling device for a multi-stage vacuum pump, wherein gas exhausted from each stage of the multi-stage vacuum pump is cooled through a wall provided at a lower portion of a pump casing.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3254688A JP3051515B2 (en) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | Multistage vacuum pump cooling system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3254688A JP3051515B2 (en) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | Multistage vacuum pump cooling system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05118290A JPH05118290A (en) | 1993-05-14 |
JP3051515B2 true JP3051515B2 (en) | 2000-06-12 |
Family
ID=17268488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3254688A Expired - Lifetime JP3051515B2 (en) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | Multistage vacuum pump cooling system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3051515B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6776586B2 (en) | 2001-10-24 | 2004-08-17 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Multi-stage vacuum pump |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4692861B2 (en) * | 1999-06-14 | 2011-06-01 | 聖 丘野 | Swing seal type rotary compressor |
JP2001271777A (en) | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Toyota Autom Loom Works Ltd | Cooling device in vacuum pump |
JP4062001B2 (en) * | 2001-10-19 | 2008-03-19 | 株式会社デンソー | Gas compression device |
DE102009018212A1 (en) * | 2009-04-21 | 2010-10-28 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vacuum pump housing and cooling element set for a vacuum pump housing |
GB2498807A (en) * | 2012-01-30 | 2013-07-31 | Edwards Ltd | Multi-stage vacuum pump with solid stator |
CN106996373A (en) * | 2017-05-19 | 2017-08-01 | 广州广涡压缩机有限公司 | A kind of integration-in-one scroll air compressor |
-
1991
- 1991-09-05 JP JP3254688A patent/JP3051515B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6776586B2 (en) | 2001-10-24 | 2004-08-17 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Multi-stage vacuum pump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05118290A (en) | 1993-05-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2361352B1 (en) | Scroll-type fluid displacement apparatus with improved cooling system | |
JP4692820B2 (en) | Supercharger with electric motor | |
US5855473A (en) | High displacement rate,scroll-type, fluid handling apparatus | |
JP3758550B2 (en) | Multistage vacuum pump | |
EP1146232B1 (en) | Scroll fluid machine | |
KR101286187B1 (en) | Multistage dry vaccum pump | |
EP0359423B1 (en) | Multi-section roots vacuum pump of reverse flow cooling type | |
JP3051515B2 (en) | Multistage vacuum pump cooling system | |
US20030129053A1 (en) | Vacuum pump | |
JPH066950B2 (en) | Multi-stage roots type vacuum pump | |
KR970010510B1 (en) | Turbo vacuum pump | |
EP0917279B1 (en) | Motor cooling | |
KR100892530B1 (en) | Cooled screw-type vacuum pump | |
JP2741863B2 (en) | Turbo vacuum pump | |
JPS60125795A (en) | Composite vacuum pump | |
JP3941484B2 (en) | Multistage vacuum pump | |
JPH01237397A (en) | Vacuum pump | |
EP0477924B1 (en) | Turbo vacuum pump | |
JP2006520873A (en) | Positive displacement vacuum pump | |
JPS60247075A (en) | Vacuum pump | |
JPH0689756B2 (en) | Dry vacuum pump | |
JP2574810B2 (en) | Vacuum pump | |
JPH04232309A (en) | Steam condensing plant for turbine | |
JPH0717978U (en) | Dry vacuum pump | |
JPH08296557A (en) | Vacuum pump |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100331 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110331 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110331 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120331 Year of fee payment: 12 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120331 Year of fee payment: 12 |