KR20110138541A - 내구성이 우수한 내지문 박막 구조물 및 그 형성 방법 - Google Patents

Abstract

내구성이 우수한 내지문 박막 구조물 및 그 형성 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 다른 내지문 박막 구조물은 기판; 상기 기판 상에 2차원 평면상으로 형성되며, 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 그레인 박막층; 및 상기 그레인 박막층 상부에 내지문 코팅 물질에 의해 형성되는 내지문 코팅층을 포함하고, 내지문 특성의 내구성을 향상시키기 위해, 상기 내지문 코팅 물질이 상기 다수의 그레인 바운더리들에 침투되도록 형성하며, 상기 그레인 박막층의 접착력을 향상시키기 위해 상기 기판과 상기 그레인 박막층 사이에 형성되는 하도층을 더 포함함으로써, 내지문 코팅층의 표면 조도를 높이고, 이를 통해 내지문 코팅층이 마모에 의해 쉽게 없어지는 것을 방지하여 내지문 특성에 대한 내구성을 향상시킬 수 있다.

Description

내구성이 우수한 내지문 박막 구조물 및 그 형성 방법{ANTI-FINGER PRINT THINFILM STRUCTURE OF ENHANCED DURABILITY AND METHOD FOR FORMING THEREOF}

본 발명은 내지문 박막 구조물에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 그레인 박막층 상부에 내지문 코팅층을 내지문 코팅 물질이 다수의 그레인 바운더리들로 침투되도록 형성하여 표면조도(surface roughness)를 높이고, 이를 통해 내지문 특성에 대한 내구성을 향상시킬 수 있는 내구성이 우수한 내지문 박막 구조물 및 그 형성 방법에 관한 것이다.

많은 가전 중에 외관에 노출되는 부분 즉, 휴대폰, DVD 등의 가전제품 케이스나 윈도우의 경우, 사람 손에 노출이 되는 부분이 존재하게 되며, 깨끗한 표면에 손자국(Finger Print)이 잘 남게 되며, 표면이 경면처리가 된 곳이 더욱 잘 남게 된다.

특히, 윈도우 영역은 주로 Non-glare 처리된 PET(Poly ethylene terephthalate), PC(Poly-carbonate)와 같은 플라스틱이 있기는 하지만, 최근들어 휴대폰 등의 모바일 제품의 디스플레이의 해상도가 높아지면서 윈도우 표면이 Non-glare 처리된 표면보다는 경면 상태의 표면(예를 들면, 윈도에에 적용되는 터치스크린의 경우 Non-glare PET 필름을 사용할 수도 있지만 Clear PET 필름을 사용) 채택이 두드러지고 있고, 윈도우 표면을 강화글라스로 채용한 경우는 외부에 노출된 부분이 경면처리가 되어 있는 실정이다.

이러한 투명 기판에 전기적 특성을 위해 TCO(Transparent conducting oxide) 증착 및 에칭을 통한 패터닝, 기타 반거울(Half-Mirror) 박막 증착 등이 이루어 질 수 있으며, 이러한 기판에 내지문 특성을 추가하기 위해 마지막으로 내지문(Anti-Finger Print) 코팅을 하게된다.

도 1은 종래 일 실시예 기술에 따른 내지문 박막 구조물에 대한 단면도를 나타내 것으로, 도시된 바와 같이 종래 내지문 박막 구조물은 사용자가 접촉하는 기판(110) 일면 상에 내지문 특성을 추가하기 위한 내지문 코팅층(120)만이 형성된 형태를 가지고 있다.

여기서, 기판(110)은 PMMA(Polymethyl Methacrylate), PC, PET 등의 기판 자체일 수도 있지만, 반거울 증착 코팅을 하거나 투명도료나 칼라 도료 등이 코팅된 기판, 휴대폰 케이스와 같은 사출물 기판, 터치 기능 등을 위해 ITO 등과 같은 투명 전도막이 전기적 특성에 맞게 국부적으로 코팅된 기판이 될 수도 있다.

하지만, 종래 내지문 박막 구조물은 경면 상태의 기판(110) 상에 내지문 코팅층(120)만이 형성된 구조이기 때문에 내지문 코팅층의 표면 조도가 낮고, 이로 인해 내지문 코팅층의 마모가 잘 이루어져 내지문 특성에 대한 내구성이 떨어지는 문제점이 있다.

따라서, 표면 조도를 높여 내지문 특성에 대한 내구성을 향상시킬 수 있는 방법의 필요성이 대두된다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 본 발명의 실시예에 따른 목적은, 기판과 내지문 코팅층 사이에 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 층을 추가하고, 내지문 코팅 물질이 그레인 바운더리들로 침투되도록 함으로써, 내지문 코팅층의 표면 조도를 높이고, 내지문 코팅층이 마모에 의해 쉽게 없어지는 것을 방지하여 내지문 특성에 대한 내구성을 향상시킬 수 있는 내구성이 우수한 내지문 박막 구조물 및 그 형성 방법을 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 한 관점에 따른 내지문 박막 구조물은 기판; 상기 기판 상에 2차원 평면상으로 형성되며, 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 그레인 박막층; 및 상기 그레인 박막층 상부에 내지문 코팅 물질에 의해 형성되는 내지문 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 내지문 코팅층은 내지문 특성의 내구성을 향상시키기 위해, 상기 내지문 코팅 물질이 상기 다수의 그레인 바운더리들에 침투되도록 형성될 수 있다.

바람직하게, 상기 그레인 박막층은 금속, 금속 산화물 및 질화물 중 적어도 하나의 물질로 이루어질 수 있고, 상기 금속은 녹는점이 350[℃] 이하의 금속일 수 있다.

나아가, 상기 기판은 상기 그레인 박막층이 형성되는 일면이 일정 모양으로 샌딩 처리될 수 있다.

바람직하게, 상기 그레인 박막층의 접착력을 향상시키기 위해 상기 기판과 상기 그레인 박막층 사이에 형성되는 하도층을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 한 관점에 따른 내지문 박막 구조물은 일면이 일정 모양으로 샌딩 처리된 기판; 및 상기 기판의 일면 상부에 내지문 코팅 물질에 의해 형성되는 내지문 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 한 관점에 따른 내지문 박막 구조물 형성 방법은 기판 상에 2차원 평면상으로 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 그레인 박막층을 형성하는 단계; 및 상기 그레인 박막층 상부에 내지문 코팅 물질을 코팅하여 내지문 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 불소 화합물과 같은 내지문 특성을 내는 내지문 코팅 물질을 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 층 상부에 형성하여 내지문 코팅 물질이 다수의 그레인 바운더리들로 침투되게 함으로써, 내지문 코팅층의 표면 조도를 높일 수 있고, 이를 통해 피부나 의류, 기타 환경적 접촉에 의해 발생될 수 있는 마모를 줄여 내지문 특성에 대한 내구성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 종래 일 실시예 기술에 따른 내지문 박막 구조물에 대한 단면도를 나타내 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 내지문 박막 구조물에 대한 단면도를 나타낸 것이다.
도 3은 도 2에 도시된 그레인 박막층에 대한 사시도를 나타낸 것이다.
도 4는 도 2에 도시된 그레인 박막층의 그레인 바운더리로 침투된 내지문 코팅 물질을 나타낸 것이다.
도 5는 실제 형성된 그레인 박막층에 대한 SEM 사진의 일 예를 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 내지문 박막 구조물에 대한 단면도를 나타낸 것이다.
도 7은 현재 상용화되어 있는 휴대폰 등의 사출물에 본 발명을 적용한 일 예를 나타낸 것이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 내지문 박막 구조물에 대한 단면도를 나타낸 것이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 내지문 박막 구조물 형성 방법에 대한 동작 흐름도를 나타낸 것이다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부 도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백히 드러나게 될 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

이하에서는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 내구성이 우수한 내지문 박막 구조물 및 그 형성 방법을 첨부된 도 2 내지 도 9를 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 내지문 박막 구조물에 대한 단면도를 나타낸 것이다.

도 2를 참조하면, 내지문 박막 구조물은 기판(210), 그레인 박막층(220) 및 내지문 코팅층(230)을 포함한다.

기판(210)은 내지문 특성을 부여하기 위한 기판으로, 플라스틱이나 금속 또는 유리 계열의 기판이 될 수 있다.

또한, 기판(210)은 PMMA, PC, PET 등의 기판 자체일 수도 있지만, 반거울 증착 코팅을 하거나 투명도료나 칼라 도료 등이 코팅된 기판, 휴대폰 케이스와 같은 사출물 기판, 터치 기능 등을 위해 ITO 등과 같은 투명 전도막이 전기적 특성에 맞게 국부적으로 코팅된 기판이 될 수도 있다.

비록, 도 2에서 그레인 박막층(220)이 형성되는 기판(210)의 일면이 평평한 상태로 도시하였지만, 내지문 코팅층의 표면 조도를 높일 수 있도록 기판의 일면을 일정 모양으로 샌딩 처리함으로써, 홈들을 형성하여 사용할 수도 있다.

그레인 박막층(220)은 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 상부에 2차원 평면상으로 형성되며, 다수의 그레인들(221)과 다수의 그레인 바운더리들(222)을 포함한다.

그레인 박막층(220)은 진공 증착장치 안에서 스퍼터링, 진공증착, 이온플레이팅 방법 등으로 기판 상에 형성될 수 있는데, 스퍼터링은 고체 금속 등의 물질 표면에 고에너지의 입자를 충돌시킬 때 방출되는 금속 원자 또는 분자가 기판에 증착되도록 하는 방식이고, 진공증착은 진공 중에서 물질을 가열하고 증발시켜 그 증기를 적당한 기판 위에 부착시키는 방식이다. 스퍼터링법은 진공증착이 불가능하거나 곤란한 저증기압의 원소나 화합물을 코팅할 때 사용될 수 있다.

그레인 박막층(220)은 금속, 금속 산화물(예를 들어, SiO2, TiO2, MgO 등) 및 질화물 중 적어도 하나의 물질로 이루어질 수 있으며, 이때 금속은 녹는점이 350[℃] 이하의 금속인 것이 바람직한데, 예를 들어, 주석(Sn)이나 아연(Zn) 등의 금속이나 이들에 은(Ag)을 첨가한 합금 등이 사용될 수도 있다.

본 발명에서 그레인 박막층을 금속 증착을 이용하여 형성하는 경우 플라즈마 에너지를 작게 함으로써, 증착되는 금속 원자 또는 클러스터들의 에너지를 작게 하여 작은 두께의 박막 상태에서 그레인들이 형성될 수 있게 하였다.

이때, 그레인 박막층(220)을 구성하는 그레인들(221)의 크기(가장 큰 폭)는 평균적으로 500[nm] 이하의 상태를 유지하는 것이 바람직하고, 그레인 박막층(220)의 두께는 금속 박막이 비전도성 특성을 유지하기 위해서는 50[nm] 이하인 것이 바람직하며, 전기적 특성을 무시한다면 200[nm]이하인 것이 바람직하다.

그레인들(221)간의 간격에 해당하는 그레인 바운더리들(222)은 도 4에 도시된 바와 같이, 그레인 박막층(220) 상부에 형성될 내지문 코팅층(230)의 표면 조도 및 내지문 특성에 대한 내구성을 향상시키기 위해, 내지문 코팅 물질 예를 들어, 불소 화합물이 그레인(221)과 그레인(221) 사이 즉, 그레인 바운더리(222)에 침투해들어갈 수 있을 정도의 크기를 갖는 것이 바람직하며, 그 크기는 약 5[nm]에서 거시적인 크기까지 다양할 수 있다.

물론, 그레인 바운더리들(222)은 그레인 박막층(220)의 두께와 내지문 코팅 물질이 침투되는 깊이에 따라 달라질 수 있으며, 이런 그레인 바운더리들은 내지문 특성에 대한 내구성을 고려하여 그 크기 즉, 그레인들간의 간격이 결정될 수 있다.

도 5는 실제 형성된 그레인 박막층에 대한 SEM 사진의 일 예를 나타낸 것으로, 도시된 바와 같이, 다양한 크기의 그레인들과 그레인들간 간격인 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 것을 알 수 있으며, 이런 다양한 크기의 그레인들 개수와 그레인 바운더리들을 조절하여 내지문 박막 구조물의 표면 조도 및 내구성을 조절할 수 있다.

다시 도 2를 참조하여, 내지문 코팅층(230)은 도 5에 도시된 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 그레인 박막층(220) 상부에 내지문 코팅 물질을 코팅시켜 형성한다.

이와 같이, 본 발명에서는 그레인 박막층을 구성하는 다수의 그레인들 개수와 크기 그리고 그레인들간의 간격 즉, 그레인 바운더리들을 조절하고, 그 상부에 내지문 코팅층을 형성함으로써, 내지문 코팅 물질이 그레인 바운더리들로 침투되도록 하고, 이를 통해 내지문 코팅층의 표면 조도를 높임과 동시에 내지문 특성에 대한 내구성을 향상시킬 수 있다.

도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 내지문 박막 구조물에 대한 단면도를 나타낸 것으로, 도 2에 도시된 내지문 박막 구조물에서 기판(610)과 그레인 박막층 사이(630)에 하도층(620)이 추가 형성된 것이다.

하도층(620)은 기판(610)과 그레인 박막층(630)간의 접착력을 향상시키기 위한 층으로, 기판(610)과 그레인 박막층(630) 사이에 형성된다.

이때, 하도층(620)은 반사방지막의 기능을 갖는 폴리머류나 다수의 금속 산화막 층 또는 보호 기능의 폴리머류나 산화 방지제 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.

물론, 기판(610) 상에 하도층(620)을 형성하고, 그 상부에 추가적인 하도 버퍼층(미도시)을 형성한 후 그레인 박막층(630)을 형성할 수 있다.

도 6에 도시된 하도층(620)을 반사방지막의 기능을 갖도록 설계하고자 하는 경우 상부에 형성될 그레인 박막층(630)의 설계값을 고려하여 설계하는 것이 바람직하며, 이를 통해 최적의 반사방지막의 기능을 갖는 하도층을 형성할 수 있다.

도 7은 현재 상용화되어 있는 휴대폰 등의 사출물에 본 발명을 적용한 일 예를 나타낸 것으로, 플라스틱 사출물에 다수의 막 예를 들어, 사출물 상부에 하도코팅, 광택용 금속 코팅, 중도코팅 및 상도코팅을 순차적으로 형성하고, 이런 구조물(710) 상부에 그레인 박막층(720)과 내지문 코팅층(730)을 순차적으로 형성함으로써, 휴대폰 상에 내지문 특성을 부여함과 동시에 표면 조도를 높여 내지문 특성에 대한 내구성을 향상시킬 수도 있다.

물론, 본 발명의 내지문 박막 구조물이 도 7에 도시된 휴대폰 사출물 뿐만 아니라 내지문 특성을 부여할 수 있는 다양한 제품에 적용 될 수 있다는 것은 이 기술 분야에 종사하는 당업자에게 있어서 자명하다.

도 8은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 내지문 박막 구조물에 대한 단면도를 나타낸 것으로, 경면 상태의 기판을 샌딩 처리하여 표면 조도를 높인 후 내지문 코팅층을 형성하는 것이다.

즉, 경면 상태의 기판을 일정 모양으로 샌딩 처리하여 기판의 일면에 홈들을 형성하고, 홈들이 형성된 기판(810)의 일면 상에 내지문 코팅 물질을 코팅하여 내지문 코팅층(820)을 형성함으로써, 샌딩 처리된 기판의 홈에 의해 내지문 코팅층(820)의 표면 조도를 높이고, 이를 통해 내지문 특성에 대한 내구성을 향상시킬 수 있다.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 내지문 박막 구조물 형성 방법에 대한 동작 흐름도를 나타낸 것이다.

도 9를 참조하면, 내지문 박막 구조물 형성 방법은 기판 상에 추후 형성될 그레인 박막층의 접착력을 향상시키기 위한 하도층을 형성한다(S910).

여기서, 기판은 PMMA, PC, PET 등의 기판 자체일 수도 있지만, 반거울 증착 코팅을 하거나 투명도료나 칼라 도료 등이 코팅된 기판, 휴대폰 케이스와 같은 사출물 기판, 터치 기능 등을 위해 ITO 등과 같은 투명 전도막이 전기적 특성에 맞게 국부적으로 코팅된 기판 등을 포함할 수 있는데, 하도층이 형성되는 기판의 일면이 경면 상태일 수도 있지만, 일정 모양으로 샌딩 처리되어 홈들이 형성된 상태일 수도 있다.

하도층 상에 내지문 특성의 내구성을 향상시킬 수 있도록, 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 그레인 박막층을 2차원 평면상으로 형성한다(S920).

이때, 그레인 박막층은 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 형성할 수 있는 다양한 방식에 의해 형성 가능하며, 금속, 금속 산화물(예를 들어, SiO2, TiO2, MgO 등) 및 질화물 중 적어도 하나의 물질을 이용하여 형성할 수 있다.

그레인 박막층은 상부에 형성될 내지문 코팅층의 내지문 코팅 물질이 그레인 바운더리들로 침투될 수 있도록, 그레인들간의 간격 즉, 그레인 바운더리들이 일정 길이 이상 형성되는 것이 바람직하고, 이런 그레인 박막층은 내지문 코팅 물질의 침투 깊이 여부와 이를 통한 내지문 특성의 내구성 향상을 위해, 그레인들의 수와 크기, 그레인 바운더리들의 수를 조절하는 것이 바람직하다.

물론, 이런 그레인 박막층이 하나의 층으로 형성될 수도 있지만 이에 한정되지 않고 다수의 그레인 박막층을 포함하는 복합층으로 형성될 수도 있다.

이렇게 형성된 그레인 박막층 상에 불소 화합물과 같은 내지문 코팅 물질을 코팅하여 내지문 코팅층을 형성하는데(S930), 내지문 코팅 물질이 그레인 바운더리들로 침투되도록 내지문 코팅층을 형성함으로써, 내지문 코팅층의 표면 조도를 높임과 동시에 내지문 특성의 내구성을 향상시킬 수 있다.

본 발명에 의한, 내구성이 우수한 내지문 박막 구조물 및 그 형성 방법은 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 형태로 변형, 응용 가능하며 상기 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 상기 실시 예와 도면은 발명의 내용을 상세히 설명하기 위한 목적일 뿐, 발명의 기술적 사상의 범위를 한정하고자 하는 목적은 아니며, 이상에서 설명한 본 발명은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 상기 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아님은 물론이며, 후술하는 청구범위뿐만이 아니라 청구범위와 균등 범위를 포함하여 판단되어야 한다.

210: 기판
220: 그레인 박막층
221: 그레인
222: 그레인 바운더리
230: 내지문 코팅층

Claims (14)

1. 기판;
   상기 기판 상에 2차원 평면상으로 형성되며, 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 그레인 박막층; 및
   상기 그레인 박막층 상부에 내지문 코팅 물질에 의해 형성되는 내지문 코팅층
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
2. 제1항에 있어서,
   상기 내지문 코팅층은
   내지문 특성의 내구성을 향상시키기 위해, 상기 내지문 코팅 물질이 상기 다수의 그레인 바운더리들에 침투되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 그레인 박막층은
   금속, 금속 산화물 및 질화물 중 적어도 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
4. 제3항에 있어서,
   상기 금속은
   녹는점이 350[℃] 이하의 금속인 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 기판은
   상기 그레인 박막층이 형성되는 일면이 일정 모양으로 샌딩 처리된 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 그레인 박막층의 접착력을 향상시키기 위해 상기 기판과 상기 그레인 박막층 사이에 형성되는 하도층
   을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 그레인들의 크기는
   500[nm] 이하인 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 그레인 박막층은
   200[nm] 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
9. 제6항에 있어서,
   상기 하도층은
   반사방지막의 기능을 갖는 폴리머류나 다수의 금속 산화막 층, 또는 보호기능의 폴리머류나 산화 방지제 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
10. 일면이 일정 모양으로 샌딩 처리된 기판; 및
    상기 기판의 일면 상부에 내지문 코팅 물질에 의해 형성되는 내지문 코팅층
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물.
11. 기판 상에 2차원 평면상으로 다수의 그레인들과 다수의 그레인 바운더리들을 포함하는 그레인 박막층을 형성하는 단계; 및
    상기 그레인 박막층 상부에 내지문 코팅 물질을 코팅하여 내지문 코팅층을 형성하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물 형성 방법.
12. 제11항에 있어서,
    상기 내지문 코팅층을 형성하는 단계는
    상기 내지문 코팅 물질이 상기 다수의 그레인 바운더리들에 침투되도록 상기 내지문 코팅층을 형성하는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물 형성 방법.
13. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 그레인 박막층의 접착력을 향상시키기 위한 하도층을 상기 기판과 상기 그레인 박막층 사이에 형성하는 단계
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물 형성 방법.
14. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 기판의 일면을 일정 모양으로 샌딩 처리하는 단계
    를 더 포함하고,
    상기 그레인 박막층을 형성하는 단계는
    샌딩 처리된 상기 기판의 일면 상에 상기 그레인 박막층을 형성하는 것을 특징으로 하는 내지문 박막 구조물 형성 방법.

Images