KR20110133196A

KR20110133196A - Probe assembly for inspected the flat panel display device

Info

Publication number: KR20110133196A
Application number: KR1020100052795A
Authority: KR
Inventors: 장동준; 강태용
Original assignee: 티에스씨멤시스(주)
Priority date: 2010-06-04
Filing date: 2010-06-04
Publication date: 2011-12-12

Abstract

PURPOSE: A probe assembly for flat display device inspection is provided to easily perform alignment and maintenance processes. CONSTITUTION: A probe assembly(200) for flat display device inspection comprises a base block(25), an electric signal transmission part(35), a first elastic part, and a second elastic part(41). The base block comprises a front end part arranged toward an electrode pad position direction of an inspection target object. The electric signal transmission part includes wiring which is electrically connected to a contact pattern and places an insulating layer opposite surface to the lower surface side of the base block. The first elastic part is arranged on the insulating layer opposite surface. The first elastic part provides first elastic force on the contact pattern when the contact pattern is touched with an electrode pad.

Description

Probe assembly for inspected the Flat Panel Display Device

본 발명은 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 평판 표시 소자 등과 같은 검사 대상물에 대한 전기적 신뢰성의 검사를 수행할 때 검사 대상물의 전극 패드와 전기적으로 접촉하는 콘택 패턴을 구비하는 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe assembly for inspecting a flat panel display element, and more particularly, includes a contact pattern that is in electrical contact with an electrode pad of the inspected object when the electrical reliability of the inspected object such as the flat panel display element is performed. It relates to a probe assembly for inspecting a flat panel display device.

검사 대상물로서의 평판 표시 소자의 예로서는 액정 표시 패널(liquid crystal display), 플라즈마 표시 패널(plasma display panel), 능동형 유기발광 다이오드 표시 패널(active matrix organic light emitting diode display panel) 등을 들 수 있다. 언급한 평판 표시 패널의 경우에는 그 가장자리 부위에 전기적인 신호를 인가하기 위한 전극 패드가 구비된다.As an example of a flat panel display element as an inspection object, a liquid crystal display panel, a plasma display panel, an active matrix organic light emitting diode display panel, etc. are mentioned. In the case of the aforementioned flat panel display panel, an electrode pad for applying an electrical signal to an edge portion thereof is provided.

그리고 평판 표시 소자의 전기적 신뢰성에 대한 검사에서는 주로 평판 표시 패널의 전극 패드와 전기적으로 접촉하는 마이크로 팁을 구비하는 프로브 조립체를 사용한다. 언급한 프로브 조립체는 베이스 블록, 베이스 블록의 하부면에 배치되는 인쇄회로기판(PCB), 인쇄회로기판과 전기적으로 연결되고, 평판 표시 패널의 전극 패드와 전기적으로 접촉하는 마이크로 팁 등을 구비한다.In addition, the inspection of the electrical reliability of the flat panel display device mainly uses a probe assembly having a micro tip in electrical contact with the electrode pad of the flat panel display panel. The probe assembly mentioned above includes a base block, a printed circuit board (PCB) disposed on a bottom surface of the base block, a micro tip electrically connected to the printed circuit board and in electrical contact with an electrode pad of the flat panel display panel.

그리고 최근에는 미세 피치를 갖는 평판 표시 패널의 전극 패드에 대응하기 위하여 새로운 구조를 갖는 프로브 조립체의 개발이 요구되고 있고, 이에 본 출원인은 출원번호 제10-2009-98638호의 특허를 대한민국 특허청에 출원한 바 있다. 언급한 특허 출원에서는 마이크로 팁 대신에 콘택 패턴을 구비하는 프로브 조립체가 개시되어 있다. 즉, 마이크로 팁 대신에 연성인쇄회로기판(FPCB)에 평판 표시 패널의 전극 패드와 전기적으로 접촉하는 콘택 패턴을 형성하는 것이다.In recent years, development of a probe assembly having a new structure is required to cope with electrode pads of a flat display panel having a fine pitch. Accordingly, the present applicant has filed a patent of Korean Patent Application No. 10-2009-98638 with the Korean Patent Office. There is a bar. The patent application mentioned discloses a probe assembly having a contact pattern instead of a micro tip. That is, instead of the micro tip, a contact pattern in electrical contact with the electrode pad of the flat panel display panel is formed on the flexible printed circuit board (FPCB).

언급한 바와 같이 최근에는 연성인쇄회로기판 등을 구비하는 프로브 조립체가 개발되고 있고, 더불어 연성회로기판 등을 구비하는 프로브 조립체에 대해서 계속적으로 문제점을 보완하고 있는 추세이다.As mentioned above, a probe assembly having a flexible printed circuit board and the like has been recently developed, and a problem has been continuously compensated for a probe assembly having a flexible printed circuit board and the like.

본 발명의 목적은 검사 대상물의 전극 패드와 전기적으로 충분한 접촉이 가능하고, 얼라인을 보다 용이하게 수행하고, 더불어 유지 보수가 용이한 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a probe assembly for inspecting a flat panel display device which is capable of sufficient electrical contact with an electrode pad of an object to be inspected, performs alignment more easily, and is easier to maintain.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체는 검사 대상물의 전극 패드가 위치하는 방향으로 향하는 전단부(front end)를 구비하는 베이스 블록과, 절연층, 그리고 상기 절연층 일면에 형성되고, 상기 검사 대상물의 전극 패드에 전기적으로 접촉하는 콘택 패턴, 및 상기 콘택 패턴과 전기적으로 연결되는 배선을 구비하고, 상기 절연층 반대면은 상기 베이스 블록의 하부면 쪽으로 위치하는 전기 신호 전달부; 및 상기 절연층 반대면 상에 형성되고, 상기 콘택 패턴이 상기 전극 패드와 접촉할 때 상기 콘택 패턴에 제1 탄성력을 제공하는 제1 탄성부를 포함하고, 상기 전기 신호 전달부 중에서 적어도 상기 콘택 패턴이 위치하는 상기 베이스 블록의 전단부로 향하는 부분에서는 상기 전기 신호 전달부의 절연층이 상기 제1 탄성부를 감싸는(folding) 구조로 형성될 수 있다.According to one or more exemplary embodiments, a probe assembly for inspecting a flat panel display device includes: a base block having a front end facing in a direction in which an electrode pad of an object to be inspected is disposed, an insulating layer, And a contact pattern formed on one surface of the insulating layer, the contact pattern electrically contacting the electrode pad of the inspection object, and the wire electrically connected to the contact pattern, and the opposite surface of the insulating layer is toward the lower surface of the base block. Located electrical signal transmission unit; And a first elastic part formed on an opposite surface of the insulating layer, the first elastic part providing a first elastic force to the contact pattern when the contact pattern contacts the electrode pad, wherein the contact pattern is at least one of the electrical signal transmission parts. The insulating layer of the electrical signal transmission unit may be formed to have a structure of folding the first elastic unit at a portion facing the front end of the base block.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 베이스 블록은 상기 전기 신호 전달부가 위치하는 하부면 및 요(凹)부를 갖는 상부면을 구비하는 제1 베이스 블록; 및 상기 요부에 삽입되는 철(凸)부 및 상기 철부로부터 연장되는 연장부를 구비하는 제2 베이스 블록을 포함하고, 상기 제1 베이스 블록과 제2 베이스 블록은 상기 요부로부터 상기 철부로 체결이 이루어지는 체결부에 의해 결합되는 구조를 갖고, 상기 체결부를 이용하여 상기 제1 베이스 블록의 위치를 조절할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the base block may include a first base block having a lower surface on which the electrical signal transmission unit is located and an upper surface having a yaw portion; And a second base block having an iron portion inserted into the recess portion and an extension portion extending from the iron portion, wherein the first base block and the second base block are fastened to the iron portion from the recess portion. It has a structure coupled by the portion, it is possible to adjust the position of the first base block using the fastening portion.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전기 신호 전달부는 상기 절연층 및 상기 콘택 패턴을 구비하는 연성 필름; 및 상기 절연층 및 상기 배선을 구비하는 연성인쇄회로기판을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the electrical signal transmission unit includes a flexible film having the insulating layer and the contact pattern; And it may include a flexible printed circuit board having the insulating layer and the wiring.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전기 신호 전달부 중에서 상기 제1 탄성부를 감싸는 부분은 상기 베이스 블록의 전단부로부터 돌출될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a portion of the electrical signal transmission unit surrounding the first elastic portion may protrude from a front end of the base block.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 탄성부는 상기 전기 신호 전달부 중에서 적어도 상기 콘택 패턴이 형성되는 부분과 동일한 부분을 차지하는 평판 구조로 형성될 수 있고, 상기 제1 탄성부는 철, 탄소강, 니켈, 텅스텐 또는 이들의 혼합물을 포함할 수도 있다.According to an embodiment of the present invention, the first elastic portion may be formed in a flat plate structure that occupies at least the same portion as the portion of the electrical signal transmission portion in which the contact pattern is formed, wherein the first elastic portion is iron, carbon steel, Nickel, tungsten or mixtures thereof.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 베이스 블록의 하부면과 상기 전기 신호 전달부의 절연층 반대면 사이에 상기 콘택 패턴이 상기 전극 패드와 접촉할 때 상기 콘택 패턴에 제2 탄성력을 제공하는 제2 탄성부를 더 구비할 수 있고, 상기 제2 탄성부는 고무(rubber)일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a second elastic force is provided to the contact pattern when the contact pattern contacts the electrode pad between the lower surface of the base block and the opposite surface of the insulating layer of the electrical signal transmission unit. An elastic part may be further provided, and the second elastic part may be rubber.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전기 신호 전달부의 절연층 일면에 형성되는 상기 콘택 패턴 및 상기 배선을 외부로부터 보호하는 커버를 더 구비할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a cover for protecting the contact pattern and the wiring formed on one surface of the insulating layer of the electrical signal transmission unit from the outside may be further provided.

언급한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, 콘택 패턴이 검사 대상물의 전극 패드와 접촉할 때 탄성력을 제공하는 제1 탄성부와 제2 탄성부를 포함한다. 그러므로 검사 대상물의 전극 패드와 전기적으로 충분한 접촉이 가능하다. 특히, 콘택 패턴과 전극 패드가 다수개로 구비될 때 콘택 패턴 및/또는 전극 패드의 높이에 다소 편차가 있어도 제1 탄성부와 제2 탄성부에 의해 스크러빙(scrubbing)이 가능하기 때문에 콘택 패턴과 전극 패드는 충분한 접촉이 가능하다. 그리고 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 탄성부를 감싸는 부분을 베이스 블록의 전단부로부터 돌출되게 형성한다. 즉, 제1 탄성부를 감싸는 부분의 전기 신호 전달부에 형성되는 콘택 패턴을 베이스 블록의 전단부로부터 돌출되게 형성하는 것이다. 이에, 검사 대상물의 전극 패드와 접촉하는 콘택 패턴에 대한 시야를 보다 용이하게 확보할 수 있기 때문에 콘택 패턴의 얼라인(align)을 보다 용이하게 수행할 수 있다. 또한 베이스 블록의 경우에도 체결부를 이용한 위치 조절이 가능하기 때문에 미스-얼라인이 발생하여도 즉각적인 조치가 가능하다.As mentioned, according to one embodiment of the present invention, the contact pattern includes a first elastic portion and a second elastic portion that provide an elastic force when contacting the electrode pad of the inspection object. Therefore, sufficient electrical contact with the electrode pad of the inspection object is possible. In particular, when a plurality of contact patterns and electrode pads are provided, even if there is a slight variation in the height of the contact pattern and / or the electrode pad, the contact pattern and the electrode may be scrubbed by the first elastic part and the second elastic part. The pad is capable of sufficient contact. And according to one embodiment of the invention, the portion surrounding the first elastic portion is formed to protrude from the front end of the base block. That is, the contact pattern is formed to protrude from the front end of the base block formed in the electrical signal transmission portion of the portion surrounding the first elastic portion. Thus, since the field of view of the contact pattern in contact with the electrode pad of the inspection object may be more easily secured, alignment of the contact pattern may be more easily performed. In addition, even in the case of the base block, it is possible to adjust the position by using the fastening portion, so even if a misalignment occurs, immediate action is possible.

그러므로 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체를 평판 표시 패널 등과 같은 검사 대상물의 전기적 신뢰성에 대한 검사에 적용할 경우에는 검사 결과에 대한 신뢰도의 향상을 기대할 수 있다.Therefore, when the probe assembly for inspecting a flat panel display device according to an embodiment of the present invention is applied to a test for electrical reliability of an inspection object such as a flat panel display panel, an improvement in reliability of the test result can be expected.

아울러 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체는, 언급한 바와 같이, 콘택 패턴을 베이스 블록의 전단부로부터 돌출되게 형성함으로써 계속적으로 사용하여도 돌출된 부분만 소모되기 때문에 프로브 조립체의 유지 보수가 용이한 이점이 있다.In addition, the probe assembly for inspecting a flat panel display device according to an embodiment of the present invention, as mentioned above, is formed by protruding the contact pattern from the front end of the base block, so that only the protruding portion is consumed even if it is continuously used. There is an advantage of easy maintenance.

따라서 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체는 유지 보수가 용이하기 때문에 프로브 조립체의 사용에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 경제적인 이득까지도 기대할 수 있다.Therefore, the probe assembly for inspecting the flat panel display device according to the exemplary embodiment of the present invention can be expected to improve productivity due to the use of the probe assembly as well as economical benefits.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1의 정면도이다.
도 3은 도 1의 프로브 조립체에 구비되는 전기 신호 전달부와 제1 탄성부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4는 도 1의 프로브 조립체가 구비되는 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic side view illustrating a probe assembly according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view of FIG. 1.
3 is a schematic diagram illustrating an electrical signal transmitting unit and a first elastic unit provided in the probe assembly of FIG. 1.
4 is a schematic diagram illustrating an electrical test apparatus including the probe assembly of FIG. 1.

이하, 본 발명은 본 발명의 실시예를 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the present invention. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.When an element is described as being disposed or connected on another element or layer, the element may be placed or connected directly on the other element, and other elements or layers may be placed therebetween. It may be. Alternatively, where one element is described as being directly disposed or connected on another element, there may be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예를 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Also, unless stated otherwise, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as would be understood by one of ordinary skill in the art having ordinary skill in the art. Such terms, such as those defined in conventional dictionaries, will be construed as having meanings consistent with their meanings in the context of the related art and description of the invention, and ideally or excessively intuitional unless otherwise specified. It will not be interpreted.

본 발명의 실시예는 본 발명의 이상적인 실시예의 개략적인 도해들인 단면 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화들은 예상될 수 있는 것들이다. 따라서 본 발명의 실시예는 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차들을 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상들은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the invention are described with reference to cross-sectional illustrations that are schematic illustrations of an ideal embodiment of the invention. Accordingly, changes from the shapes of the illustrations, such as changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be expected. Thus, embodiments of the present invention are not intended to be described as limited to the particular shapes of the areas described as illustrations, but include deviations in the shapes, the areas described in the figures being entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the region nor is it intended to limit the scope of the invention.

실시예Example

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1의 정면도이고, 도 3은 도 1의 프로브 조립체에 구비되는 전기 신호 전달부와 제1 탄성부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.1 is a schematic side view illustrating a probe assembly according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of FIG. 1, and FIG. 3 illustrates an electrical signal transmitting unit and a first elastic unit provided in the probe assembly of FIG. 1. It is a schematic diagram for that.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체(200)는 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 전기적으로 접촉하여 검사 대상물(10)의 전기적 신뢰성을 검사하기 위하여 사용된다. 언급한 검사 대상물(10)의 예로서는 액정 표시 패널, 플라즈마 표시 패널, 능동형 유기발광 다이오드 표시 패널 등과 같은 평판 표시 소자의 패널을 들 수 있다.1 to 3, the probe assembly 200 for inspecting the flat panel display element is used to inspect the electrical reliability of the test object 10 by being in electrical contact with the electrode pad 12 of the test object 10. . Examples of the inspection object 10 mentioned above include a panel of a flat panel display element such as a liquid crystal display panel, a plasma display panel, an active organic light emitting diode display panel, and the like.

평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체(200)는 베이스 블록(25), 전기 신호 전달부(35), 제1 탄성부(61), 제2 탄성부(41), 커버(51) 등을 구비한다.The probe assembly 200 for inspecting the flat panel display device includes a base block 25, an electrical signal transmission unit 35, a first elastic unit 61, a second elastic unit 41, a cover 51, and the like.

베이스 블록(25)은 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)가 위치하는 방향으로 향하는 전단부(front end)(25a)를 구비한다. 즉, 베이스 블록(25)은 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)가 배열되는 방향으로 연장되는 전단부(25a)를 구비하는 것이다. 그리고 베이스 블록(25)은 제1 베이스 블록(21)과 제2 베이스 블록(23)을 구비하는데, 구체적인 설명은 후술하기로 한다.The base block 25 has a front end 25a facing in the direction in which the electrode pad 12 of the test object 10 is located. That is, the base block 25 is provided with the front end part 25a extended in the direction in which the electrode pad 12 of the test object 10 is arranged. The base block 25 includes a first base block 21 and a second base block 23, which will be described later.

전기 신호 전달부(35)는, 도 3에서와 같이, 절연층(39) 및 콘택 패턴(37)을 구비한다. 아울러, 전기 신호 전달부(35)는 배선(도시되지 않음)을 구비한다. 구체적으로, 콘택 패턴(37)은 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 전기적으로 접촉하는 부재로써, 절연층(39)의 일면에 형성된다. 즉, 콘택 패턴(37)은 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 전기적 신호를 교환할 수 있는 종래의 마이크로 팁과 동일한 기능을 수행할 수 있다. 그리고 배선은 콘택 패턴(37)과 전기적으로 연결되는 부재로써, 콘택 패턴(37)과 마찬가지로 절연층(39)의 일면에 형성된다. 아울러 배선은 베이스 블록(25)의 후단부(25b)에 주로 위치한다. 이와 같이, 전기 신호 전달부(35)에서 콘택 패턴(37)과 배선이 절연층(39)의 일면에 형성되기 때문에 절연층(39)의 반대면이 베이스 블록(25)의 하부면 쪽으로 향한다. 즉, 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면을 베이스 블록(25)의 하부면 쪽으로 향하게 위치시킬 수 있는 것이다.As illustrated in FIG. 3, the electrical signal transmission unit 35 includes an insulating layer 39 and a contact pattern 37. In addition, the electrical signal transmission unit 35 includes a wiring (not shown). Specifically, the contact pattern 37 is a member that is in electrical contact with the electrode pad 12 of the inspection object 10 and is formed on one surface of the insulating layer 39. That is, the contact pattern 37 may perform the same function as the conventional micro tip which may exchange electrical signals with the electrode pad 12 of the test object 10. The wiring is a member electrically connected to the contact pattern 37, and is formed on one surface of the insulating layer 39 like the contact pattern 37. In addition, the wiring is mainly located at the rear end 25b of the base block 25. As described above, since the contact pattern 37 and the wiring are formed on one surface of the insulating layer 39 in the electrical signal transmitting unit 35, the opposite surface of the insulating layer 39 faces toward the lower surface of the base block 25. That is, the opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 may be positioned to face toward the lower surface of the base block 25.

또한, 전기 신호 전달부(35)는 연성 필름(31)과 연성인쇄회로기판(33)으로 구비될 수 있다. 이에, 연성 필름(31)은 절연층(39) 및 콘택 패턴(37)을 구비할 수 있고, 연성인쇄회로기판(33)은 절연층(39) 및 배선을 구비할 수 있다. 여기서 절연층(39) 및 콘택 패턴(37)의 연성 필름(31)과, 절연층(39) 및 배선의 연성인쇄회로기판(33)은 주로 열압착에 의해 연결될 수 있다. 즉, 콘택 패턴(37)의 후단부와 배선의 전단부를 열압착에 의해 연결하는 것이다. 이에, 콘택 패턴(37)과 배선이 전기적으로 연결될 수 있다. 그리고 전기 신호 전달부(35)를 연성 필름(31)과 연성인쇄회로기판(33)으로 구분하여 설명하고 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 즉, 연성인쇄회로기판(33) 자체를 전기 신호 전달부(35)로 사용할 수도 있기 때문이다. 다시 말해, 전기 신호 전달부(35)로써 연성인쇄회로기판(35)에 콘택 패턴(37)과 배선을 함께 형성시켜 사용하는 것도 가능하기 때문이다.In addition, the electrical signal transmission unit 35 may be provided with the flexible film 31 and the flexible printed circuit board 33. Accordingly, the flexible film 31 may include the insulating layer 39 and the contact pattern 37, and the flexible printed circuit board 33 may include the insulating layer 39 and the wiring. The flexible film 31 of the insulating layer 39 and the contact pattern 37 and the flexible printed circuit board 33 of the insulating layer 39 and the wiring may be mainly connected by thermocompression bonding. That is, the rear end of the contact pattern 37 and the front end of the wiring are connected by thermocompression bonding. Thus, the contact pattern 37 and the wiring may be electrically connected. In addition, the electric signal transmission unit 35 is described as being divided into the flexible film 31 and the flexible printed circuit board 33, but is not limited thereto. That is, the flexible printed circuit board 33 itself can be used as the electrical signal transfer unit 35. In other words, the contact pattern 37 and the wiring may be formed together on the flexible printed circuit board 35 as the electrical signal transfer unit 35.

전기 신호 전달부(35)에서 언급한 연성인쇄회로기판(33)은 검사 대상물로 영상 신호를 제공하는 외부 테스터(tester)(도시되지 않음)와 전기적으로 연결될 수 있다. 그리고 도시하지는 않았지만, 전기 신호 전달부(35)의 연성인쇄회로기판(33) 상에는 언급한 영상 신호를 수신하고 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)로 테스터 신호인 구동 신호를 제공하기 위한 TAP IC, 구동 IC 등과 같은 소자가 배치될 수도 있다.The flexible printed circuit board 33 mentioned in the electrical signal transmission unit 35 may be electrically connected to an external tester (not shown) that provides an image signal to an inspection object. Although not shown, a TAP for receiving the image signal mentioned on the flexible printed circuit board 33 of the electrical signal transmission unit 35 and providing a driving signal, which is a tester signal, to the electrode pad 12 of the inspection object 10. Elements such as an IC, a driving IC, and the like may be disposed.

그리고 콘택 패턴(37)은 다수개로 이루어질 수 있다. 즉, 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)가 다수개로 이루어질 경우 콘택 패턴(37) 또한 동일한 개수로 이루어지는 것이다. 따라서 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)가 다수개로 이루어지고, 미세 피치를 가질 경우 언급한 전극 패드(12)에 대응하기 위하여 종래의 마이크로 팁이 아닌 콘택 패턴(37)을 구비하는 프로브 조립체(200)를 마련하는 것이다. 다시 말해, 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)가 미세 피치를 갖고, 다수개로 구비되기 때문에 프로브 조립체(200)의 콘택 패턴(37) 또한 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 마찬가지로 동일한 피치를 갖고, 동일한 개수로 구비하는 것이다.The contact pattern 37 may be formed in plurality. That is, when a plurality of electrode pads 12 of the test object 10 is formed, the contact patterns 37 are also made of the same number. Therefore, a probe assembly having a plurality of electrode pads 12 of the inspection object 10 and having a contact pattern 37 instead of a conventional micro tip to correspond to the electrode pad 12 mentioned above when having a fine pitch. To provide 200. In other words, since the electrode pads 12 of the test object 10 have a fine pitch and are provided in plural numbers, the contact pattern 37 of the probe assembly 200 is also similar to the electrode pads 12 of the test object 10. It has the same pitch and is provided in the same number.

언급한 전기 신호 전달부(35)에서 콘택 패턴(37)과 배선은 전기적 신호를 교환하기 때문에 도전성 물질로 이루어질 수 있고, 절연층(39)의 경우에는 전기적 신호를 차단해야 하기 때문에 절연성 물질로 이루어질 수 있다. 다만, 절연층(39)의 경우에는 연성을 갖는 절연성 물질을 선택할 수 있는데, 그 예로서는 폴리에스테르(polyester), 폴리이미드(polyimide) 등을 들 수 있다.In the electrical signal transmission unit 35 mentioned above, the contact pattern 37 and the wiring may be made of a conductive material because they exchange electrical signals, and the insulating layer 39 may be made of an insulating material because the electrical signal must be blocked. Can be. However, in the case of the insulating layer 39, an insulating material having ductility can be selected, and examples thereof include polyester, polyimide, and the like.

그리고 전기 신호 전달부(35)의 제조 방법에 대해서는 앞서도 밝힌 대한민국 특허출원 제2009-98638호에 자세하게 개시되어 있어 그 구체적인 설명에 대해서는 생략하기로 한다.In addition, the manufacturing method of the electrical signal transmission unit 35 is disclosed in detail in Korean Patent Application No. 2009-98638, which has been described above, and a detailed description thereof will be omitted.

프로브 조립체(200)는, 도 3에서와 같이, 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 상에 형성되는 제1 탄성부(61)를 구비한다. 즉, 제1 탄성부(61)는 베이스 블록(25)의 하부면 쪽으로 향하는 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 상에 형성되는 것이다. 특히, 제1 탄성부(61)는 접착제, 내열성 양면 테이프 등을 사용하여 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 상에 형성되게 부착한다. 이에, 제1 탄성부(61)는 전기 신호 전달부(35)와 일체적 구조를 가질 수 있다. 특히, 제1 탄성부(61)는 전기 신호 전달부(35) 중에서도 연성 필름(31)과 일체적 구조를 가질 수 있다. 그리고 접착제의 경우에는 주로 실리콘 접착제를 사용하고, 내열성 양면 테이프의 경우에는 주로 200㎛ 이하의 두께를 갖는 것을 사용한다. 특히, 내열성 양면 테이프의 경우에는 150㎛ 이하의 두께를 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이는, 내열성 양면 테이프가 차지하는 두께를 줄이기 위함이다.As shown in FIG. 3, the probe assembly 200 includes a first elastic portion 61 formed on an opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transfer unit 35. That is, the first elastic portion 61 is formed on the opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission portion 35 toward the lower surface of the base block 25. In particular, the first elastic part 61 is attached to be formed on the opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission part 35 using an adhesive, a heat resistant double-sided tape, or the like. Thus, the first elastic part 61 may have an integrated structure with the electrical signal transmission part 35. In particular, the first elastic part 61 may have an integral structure with the flexible film 31 among the electrical signal transmission parts 35. In the case of the adhesive, a silicone adhesive is mainly used, and in the case of a heat resistant double-sided tape, one having a thickness of 200 μm or less is mainly used. In particular, in the case of a heat resistant double-sided tape, it is preferable to use one having a thickness of 150 µm or less. This is to reduce the thickness occupied by the heat resistant double-sided tape.

또한, 콘택 패턴(37)이 다수개로 구비될 경우에는 콘택 패턴(37)이 베이스 블록(25)의 전단부(25a)를 따라 연속적으로 배열되는 구조를 갖는다. 그러므로 제1 탄성부(61)의 경우에는 연속적으로 배열되는 콘택 패턴(37) 모두에 탄성력을 제공해야 하기 때문에 제1 탄성부(61)는 콘택 패턴(37) 모두에 형성되는 평판 구조를 갖는다. 즉, 제1 탄성부(61)는 전기 신호 전달부(35) 중에서 적어도 콘택 패턴(37)이 형성되는 부분과 동일한 부분을 차지하는 평판 구조로 형성되는 것이다.In addition, when a plurality of contact patterns 37 are provided, the contact patterns 37 are continuously arranged along the front end portion 25a of the base block 25. Therefore, in the case of the first elastic portion 61, since the elastic force must be provided to all of the contact patterns 37 continuously arranged, the first elastic portion 61 has a flat plate structure formed on all of the contact patterns 37. That is, the first elastic part 61 is formed in a flat plate structure that occupies at least the same part of the electrical signal transmission part 35 in which the contact pattern 37 is formed.

이와 같이, 제1 탄성부(61)를 마련함으로써 콘택 패턴(37)이 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉할 때 콘택 패턴(37)에 충분한 탄성력을 제공할 수 있다. 특히, 제1 탄성부(61)를 전기 신호 전달부(35)에 일체적 구조를 갖도록 마련함으로써 콘택 패턴(37)에 보다 효율적으로 탄성력을 제공할 수 있다. 즉, 제1 탄성부(61)를 마련함으로써 전기 신호 전달부(35)의 연성 필름이 갖지 못하는 탄성력을 보강하는 것이다. 그러므로 언급한 콘택 패턴(37)을 사용할 경우에는 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 충분한 접촉이 가능하고, 아울러 콘택 패턴(37)과 전극 패드(12)가 다수개로 구비될 때 콘택 패턴(37) 및/또는 전극 패드(12)의 높이에 다소 편차가 있어도 제1 탄성부(61)에 의해 제공되는 탄성력으로 인하여 콘택 패턴(37)과 전극 패드(12)가 충분하게 접촉할 수 있다.As such, by providing the first elastic portion 61, a sufficient elastic force may be provided to the contact pattern 37 when the contact pattern 37 contacts the electrode pad 12 of the test object 10. In particular, by providing the first elastic portion 61 to have an integral structure in the electrical signal transmission unit 35, it is possible to provide the elastic force to the contact pattern 37 more efficiently. That is, by providing the first elastic portion 61 to reinforce the elastic force that the flexible film of the electrical signal transmission unit 35 does not have. Therefore, in the case of using the aforementioned contact pattern 37, sufficient contact with the electrode pad 12 of the inspection object 10 is possible, and when the contact pattern 37 and the electrode pad 12 are provided in plural, the contact pattern is provided. Even if there is a slight variation in the height of the 37 and / or the electrode pad 12, the contact pattern 37 and the electrode pad 12 may be sufficiently in contact with each other due to the elastic force provided by the first elastic portion 61. .

또한, 언급한 바와 같이, 콘택 패턴(37)이 다수개로 구비될 경우에는 콘택 패턴(37)의 배열되는 균일도에도 관심을 가져야 한다. 이는, 콘택 패턴(37)이 다수개로 구비될 때 균일도가 양호하지 않으면 콘택 패턴(37)이 배열되는 높이에 편차가 나타나서 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와의 접촉에 나쁜 영향을 끼치지 때문이다. 따라서 제1 탄성부(61)를 적어도 콘택 패턴(37)이 형성되는 부분, 특히 적어도 콘택 패턴(37)이 형성되는 부분과 동일한 부분을 차지하게 형성함으로써 콘택 패턴(37)이 배열되는 균일도를 양호하게 확보할 수 있다. 즉, 제1 탄성부(61)의 평판 구조가 콘택 패턴(37)에 균일도를 제공할 수 있기 때문이다.In addition, as mentioned, when a plurality of contact patterns 37 are provided, attention should also be paid to the uniformity of arrangement of the contact patterns 37. If the uniformity is not good when a plurality of contact patterns 37 are provided, a deviation may occur in the height at which the contact patterns 37 are arranged, which may adversely affect the contact of the test object 10 with the electrode pad 12. Because. Therefore, the uniformity in which the contact pattern 37 is arranged by forming the first elastic portion 61 to occupy at least a portion where the contact pattern 37 is formed, particularly at least the same portion as the portion where the contact pattern 37 is formed. Can be secured. That is, the flat structure of the first elastic portion 61 can provide uniformity to the contact pattern 37.

그러므로 제1 탄성부(61)를 마련하여 탄성력의 제공과 함께 균일도를 확보한다. 이에, 언급한 전기 신호 전달부(35)를 검사 대상물(10)의 전기적 신뢰성에 대한 검사에 사용할 경우에는 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 충분한 접촉이 가능하고, 그 결과 검사 결과에 대한 신뢰도를 극대화시킬 수 있다.Therefore, the first elastic portion 61 is provided to secure uniformity with the provision of the elastic force. Therefore, when the electrical signal transmission unit 35 mentioned above is used for the inspection of the electrical reliability of the inspection object 10, sufficient contact with the electrode pad 12 of the inspection object 10 is possible, and as a result, Reliability can be maximized.

제1 탄성부(61)의 경우에는 언급한 바와 같이 탄성력의 제공과 균일도의 확보를 동시에 달성해야 하기 때문에 금속으로 마련할 수 있다. 제1 탄성부(61)로 마련할 수 있는 금속의 예로서는 철, 탄소강, 니켈, 텅스텐 등을 들 수 있고, 이들은 단독으로 사용하거나 또는 둘 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 그리고 탄소강의 경우에는 연강, 주강, 경강 등을 예로 들 수 있다.In the case of the first elastic portion 61, as described above, since the provision of the elastic force and the securing of the uniformity must be simultaneously achieved, the first elastic portion 61 may be made of metal. Examples of the metal that can be provided with the first elastic portion 61 include iron, carbon steel, nickel, tungsten, and the like, and these may be used alone or in combination of two or more thereof. In the case of carbon steel, for example, mild steel, cast steel, hard steel.

그리고 전기 신호 전달부(35)와 제1 탄성부(61)의 경우에는 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는(folding) 구조로 형성된다. 구체적으로, 도 3에서와 같이, 베이스 블록(25)의 전단부(25a)로 향하는 부분에서 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조로 형성되는 것이다. 즉, 전기 신호 전달부(35) 중에서 적어도 콘택 패턴(37)이 위치하는 베이스 블록(25)의 전단부(25a)로 향하는 부분에서는 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조로 형성한다. 다시 말해, 전기 신호 전달부(35) 중에서 적어도 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉하는 부분에서는 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조로 형성하는 것이다.In addition, in the case of the electrical signal transmission unit 35 and the first elastic unit 61, the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 is formed to have a structure in which the first elastic unit 61 is folded. Specifically, as shown in FIG. 3, the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 surrounds the first elastic portion 61 at a portion facing the front end portion 25a of the base block 25. Will be. That is, the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 is formed in the first portion of the electrical signal transmission unit 35 toward at least the front end portion 25a of the base block 25 where the contact pattern 37 is located. It is formed in a structure surrounding the elastic portion (61). In other words, the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 may contact the first elastic portion 61 at a portion of the electrical signal transmission unit 35 that contacts at least the electrode pad 12 of the test object 10. It is to form a wrapping structure.

전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조는 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 상에 제1 탄성부(61)를 부착되게 형성한 후, 적어도 콘택 패턴(37)이 위치하는 베이스 블록(25)의 전단부(25a)로 향하는 부분의 전기 신호 전달부(35)를 접음으로써 형성할 수 있다.The structure in which the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 surrounds the first elastic unit 61 may be configured to cover the first elastic unit 61 on the opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35. After being formed to be attached, it can be formed by folding the electrical signal transmission part 35 of at least the portion facing the front end portion 25a of the base block 25 where the contact pattern 37 is located.

구체적으로, 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 상에 제1 탄성부(61)를 부착되게 형성할 때 적어도 콘택 패턴(37)이 위치하는 베이스 블록(25)의 전단부(25a), 즉 적어도 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉하는 부분에서는 제1 탄성부(61)는 부착되지 않고, 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)은 노출되게 형성한 후, 제1 탄성부(61)는 부착되지 않고, 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)은 노출되는 부분을 접음으로써 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조로 형성하는 것이다.Specifically, the front end portion of the base block 25 at which the contact pattern 37 is located at least when the first elastic portion 61 is formed to be attached on the opposite side of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission portion 35. The first elastic portion 61 is not attached to the portion 25a, that is, at least the portion in contact with the electrode pad 12 of the test object 10, and the insulating layer 39 of the electrical signal transmission portion 35 is exposed. After formation, the first elastic portion 61 is not attached, and the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 is folded to expose the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35. It is formed in a structure surrounding the first elastic portion 61.

언급한 바와는 달리, 제1 탄성부(61)를 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 노출되지 않게 형성한 후, 제1 탄성부(61)와 전기 신호 전달부(35)를 함께 접을 경우에도 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조로 형성할 수 있다. 즉, 제1 탄성부(61)를 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 상에 단부 부분까지 부착되게 형성한 후, 제1 탄성부(61)와 전기 신호 전달부(35)를 함께 접음으로써 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조로 형성할 수 있는 것이다.Unlike the above, the first elastic part 61 is formed so that the insulating layer 39 of the electrical signal transmission part 35 is not exposed, and then the first elastic part 61 and the electrical signal transmission part 35 are formed. When folded together, the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 may be formed in a structure surrounding the first elastic portion 61. That is, after forming the first elastic portion 61 to be attached to the end portion on the opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission portion 35, the first elastic portion 61 and the electrical signal transmission portion 35 By folding together), the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 can be formed in a structure surrounding the first elastic portion 61.

이에, 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉하는 전기 신호 전달부(35)의 단부의 경우에는 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조로 형성되기 때문에 언급한 전기 신호 전달부(35)의 단부에서는 제1 탄성부(61)가 노출되지 않는다. 아울러, 전기 신호 전달부(35)에 의해 제1 탄성부(61)가 감싸는 구조를 갖는 부분인 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉하는 전기 신호 전달부(35)의 단부에서는 콘택 패턴(37)만 노출된다.Thus, in the case of the end of the electrical signal transmission unit 35 in contact with the electrode pad 12 of the inspection object 10, the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 may be connected to the first elastic unit 61. Since it is formed in a wrapping structure, the first elastic portion 61 is not exposed at the end of the electrical signal transmission unit 35 mentioned above. In addition, at the end of the electrical signal transmission unit 35 in contact with the electrode pad 12 of the test object 10, which is a portion having a structure in which the first elastic unit 61 is wrapped by the electrical signal transmission unit 35. Only the pattern 37 is exposed.

이와 같이, 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉하는 전기 신호 전달부(35)의 단부에서 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)이 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조로 형성하는 것은 제1 탄성부(61)가 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)에 접촉하면 검사 대상물(10) 자체에 심각한 영향을 끼치기 때문으로 검사 대상물(10)의 전기적 신뢰성에 대한 검사를 수행할 때 제1 탄성부(61)가 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)에 접촉하는 것을 방지하기 위함이다.As such, the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35 surrounds the first elastic portion 61 at the end of the electrical signal transmission unit 35 in contact with the electrode pad 12 of the test object 10. Forming the structure is because when the first elastic portion 61 is in contact with the electrode pad 12 of the inspection object 10 has a serious effect on the inspection object 10 itself, the electrical reliability of the inspection object 10 This is to prevent the first elastic part 61 from contacting the electrode pad 12 of the test object 10 when the test is performed.

그리고 전기 신호 전달부(35)에 의해 감싸는 부분에 형성되는 제1 탄성부(61), 즉 제1 탄성부(61)의 단부는 다소 라운딩(rounding) 구조를 갖는 것이 유리하다. 이는, 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39)으로 제1 탄성부(61)를 감싸는 구조로 형성할 때 전기 신호 전달부(35)를 접어야 하는데, 만약 제1 탄성부(61)의 단부가 다소 뽀족한 구조를 가지면 전기 신호 전달부(35)가 양호하게 접혀지지 않고, 끊어질 수 있기 때문이다.In addition, it is advantageous that the end portion of the first elastic portion 61, that is, the end of the first elastic portion 61, formed at a portion wrapped by the electrical signal transmission unit 35 has a somewhat rounding structure. This, when forming the structure surrounding the first elastic portion 61 with the insulating layer 39 of the electrical signal transmission portion 35, the electrical signal transmission portion 35 should be folded, if the first elastic portion 61 This is because the electrical signal transmission unit 35 is not folded well and can be broken if the end portion has a slightly pointed structure.

또한, 제1 탄성부(61)의 단부를 다소 라운딩(rounding) 구조를 갖도록 형성하는 것 이외에도 제1 탄성부(61)의 단부에 라운딩 구조를 갖는 부재 등을 부착시킬 경우에도 언급한 바와 같이 전기 신호 전달부(35)를 양호하게 접을 수 있을 것이다.Further, in addition to forming the end portion of the first elastic portion 61 to have a somewhat rounding structure, as described above, when attaching a member having a rounding structure or the like to the end portion of the first elastic portion 61, The signal transmitter 35 may be folded well.

아울러, 도 1에서와 같이, 전기 신호 전달부(35) 중에서 언급한 제1 탄성부(61)를 감싸는 부분에서의 전기 신호 전달부(35)는 베이스 블록(25)의 전단부(25a)로부터 돌출되게 형성한다. 즉, 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉하는 부분의 콘택 패턴(37)을 베이스 블록(25)의 전단부(25a)로부터 돌출되게 형성하는 것이다. 이에, 전기 신호 전달부(35) 중에서 제1 탄성부(61)를 감싸는 부분은 베이스 블록(25)의 전단부(25a)로부터 돌출되는 구조를 갖는다.In addition, as shown in FIG. 1, the electrical signal transmission unit 35 at the portion surrounding the first elastic unit 61 mentioned in the electrical signal transmission unit 35 is formed from the front end portion 25a of the base block 25. Form to protrude. That is, the contact pattern 37 of the portion in contact with the electrode pad 12 of the inspection object 10 is formed to protrude from the front end portion 25a of the base block 25. Thus, the portion of the electrical signal transmission unit 35 surrounding the first elastic portion 61 has a structure protruding from the front end portion 25a of the base block 25.

이와 같이, 제1 탄성부(61)를 감싸는 부분에 위치하는 콘택 패턴(37)을 베이스 블록(25)의 전단부(25a)로부터 돌출되는 구조로 형성하는 것은 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 충분한 접촉을 도모하기 위함일 뿐만 아니라 콘택 패턴(37)의 얼라인(align)을 보다 용이하게 수행하기 위함이다. 즉, 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉하는 콘택 패턴(37)에 대한 시야를 보다 용이하게 확보할 수 있기 때문에 콘택 패턴(37)의 얼라인을 보다 용이하게 수행할 수 있는 것이다. 또한, 프로브 조립체(200)의 계속인 사용에도 돌출된 부분의 콘택 패턴(37)만 소모되기 때문에 프로브 조립체(200)의 유지 보수가 용이한 이점도 있다. 즉, 언급한 돌출된 부분의 콘택 패턴(37)만 소모되기 때문에 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체(200)의 사용에 따른 수명의 연장을 기대할 수 있고, 그 결과 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체(200)의 유지 보수가 용이한 것이다.As such, forming the contact pattern 37 positioned at the portion surrounding the first elastic portion 61 to have a structure protruding from the front end portion 25a of the base block 25 may include the electrode pads of the inspection object 10. Not only to achieve sufficient contact with 12) but also to more easily align the contact pattern 37. That is, since the field of view of the contact pattern 37 in contact with the electrode pad 12 of the inspection object 10 can be more easily secured, alignment of the contact pattern 37 can be performed more easily. . In addition, there is an advantage that the maintenance of the probe assembly 200 is easy because only the contact pattern 37 of the protruding portion is consumed even in the continuous use of the probe assembly 200. That is, since only the contact patterns 37 of the protruding portions mentioned above are consumed, it is possible to expect the extension of the service life according to the use of the flat panel display device inspection probe assembly 200, and as a result, the flat panel display device inspection probe assembly 200. ) Is easy to maintain.

그리고 언급한 베이스 블록(25)은 제1 베이스 블록(21) 및 제2 베이스 블록(23)을 구비한다. 구체적으로, 제1 베이스 블록(21)은 전기 신호 전달부(35)가 위치하는 하부면 및 요(凹)부를 갖는 상부면을 구비하고, 제2 베이스 블록(23)은 제1 베이스 블록(21)의 요부에 삽입되는 철(凸)부 및 철부로부터 연장되는 연장부를 구비한다. 제1 베이스 블록(21)의 경우에는 그 하부면 쪽으로 콘택 패턴(37)이 형성되는 전기 신호 전달부(35)가 위치할 수 있고, 제2 베이스 블록(23)의 경우에는 그 연장부가 전기 검사 장치의 플레이트(도시되지 않음)에 위치할 수 있다. 아울러, 제1 베이스 블록(21)과 제2 베이스 블록(23)은 제1 베이스 블록(21)의 요부로부터 제2 베이스 블록(23)의 철부로 체결이 이루어지는 체결부(27)에 의해 결합되는 구조를 갖는다. 이때, 제1 베이스 블록(21)과 제2 베이스 블록(23)을 결합시키는 체결부(27)의 경우에는 주로 대가리가 없는 무두 나사를 이용한다. 이는, 프로브 조립체(200) 전체 부분에서 체결부(27)에 의해 돌출되는 부분이 형성되는 것을 방지하기 위함이다.The base block 25 mentioned above includes a first base block 21 and a second base block 23. Specifically, the first base block 21 has a lower surface on which the electrical signal transmission unit 35 is located and an upper surface having a yaw portion, and the second base block 23 has a first base block 21. And an extension part extending from the convex part. In the case of the first base block 21, an electrical signal transmission unit 35 in which the contact pattern 37 is formed may be positioned toward the lower surface thereof, and in the case of the second base block 23, the extension thereof may be electrically inspected. It may be located on a plate (not shown) of the device. In addition, the first base block 21 and the second base block 23 are coupled by a fastening portion 27 which is fastened from the recessed portion of the first base block 21 to the convex portion of the second base block 23. Has a structure. In this case, in the case of the fastening portion 27 to which the first base block 21 and the second base block 23 are coupled, a tannery screw without a head is mainly used. This is to prevent the formation of a portion protruding by the fastening portion 27 from the entire portion of the probe assembly 200.

이와 같이, 베이스 블록(25)을 제1 베이스 블록(21) 및 제2 베이스 블록(23)으로 마련하고, 체결부(27)를 사용하여 제1 베이스 블록(21) 및 제2 베이스 블록(23)을 결합하는 것은 베이스 블록(21)의 위치를 용이하게 조절하기 위함이다. 즉, 체결부(27)를 사용하여 체결 구조를 조정할 경우 제1 베이스 블록(21)이 체결 구조의 조정에 따라 움직임으로써 제1 베이스 블록(21)의 위치를 조절할 수 있는 것이다.In this way, the base block 25 is provided as the first base block 21 and the second base block 23, and the first base block 21 and the second base block 23 are formed using the fastening portion 27. ) Is to easily adjust the position of the base block 21. That is, when adjusting the fastening structure by using the fastening portion 27, the first base block 21 can adjust the position of the first base block 21 by moving in accordance with the adjustment of the fastening structure.

따라서 베이스 블록(25)의 경우에는 제1 베이스 블록(21)의 위치를 조절할 수 있기 때문에 제1 베이스 블록(21)의 하부면 쪽에 형성되는 전기 신호 전달부(35)의 콘택 패턴(37)의 위치를 조절할 수 있다. 이에, 콘택 패턴(37)에 미스-얼라인이 발생하여도 베이스 블록(25)의 체결부(27)를 사용함으로써 미스-얼라인에 대한 즉각적인 조치가 가능하다. 아울러, 언급한 바와 같이 콘택 패턴(37)에 대한 시야를 보다 용이하게 확보할 수 있고, 전기 신호 전달부(35)의 콘택 패턴(37)의 위치 조절이 가능하기 때문에 콘택 패턴(37)에 대한 얼라인을 보다 용이하고, 보다 적극적으로 수행할 수 있다.Therefore, in the case of the base block 25, since the position of the first base block 21 can be adjusted, the contact pattern 37 of the electrical signal transmission unit 35 formed on the lower surface side of the first base block 21 is formed. You can adjust the position. Thus, even if a misalignment occurs in the contact pattern 37, the fastening portion 27 of the base block 25 may be used for immediate action on the misalignment. In addition, as mentioned above, the field of view of the contact pattern 37 may be more easily secured, and the position of the contact pattern 37 of the electrical signal transmission unit 35 may be adjusted. Alignment can be performed more easily and more actively.

제2 탄성부(41)는 베이스 블록(25)의 하부면과 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 사이에 형성된다. 즉, 제2 탄성부(41)는 베이스 블록(25)의 하부면과 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 사이에 개재되는 것이다. 그리고 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 상에 제1 탄성부(61)가 부착 형성될 경우에는 베이스 블록(25)의 하부면과 제1 탄성부(61) 사이에 제2 탄성부(41)가 형성될 수 있다. 여기서 제2 탄성부(41)는 고무(rubber)로 형성할 수 있고, 특히 우레탄 재질의 고무로 형성할 수 있다. 아울러, 제2 탄성부(41)의 경우에도 제1 탄성부(61)와 마찬가지로 평판 구조를 가질 수 있다. 또한, 제2 탄성부(41)는 내열성 양면 테이프 등을 사용하여 베이스 블록(25)의 하부면과 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 반대면 사이에 부착되게 형성할 수 있다.The second elastic part 41 is formed between the bottom surface of the base block 25 and the opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission part 35. That is, the second elastic part 41 is interposed between the lower surface of the base block 25 and the opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission part 35. When the first elastic part 61 is attached to the opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission part 35, the first elastic part 61 may be formed between the lower surface of the base block 25 and the first elastic part 61. 2 elastic portion 41 may be formed. Here, the second elastic part 41 may be formed of rubber, and in particular, may be formed of rubber of urethane material. In addition, the second elastic portion 41 may have a flat plate structure similarly to the first elastic portion 61. In addition, the second elastic part 41 may be formed to be attached between the lower surface of the base block 25 and the opposite surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission part 35 using a heat resistant double-sided tape or the like.

이와 같이, 제2 탄성부(41)를 마련함으로써 전기 신호 전달부(35)의 콘택 패턴(37)이 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉할 때 콘택 패턴(37)에 탄성력을 제공한다. 이에, 제1 탄성부(61)와 함께 제2 탄성부(41)를 사용함으로써 전기 신호 전달부(35)의 콘택 패턴(37)이 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)와 접촉할 때 콘택 패턴(37)에 보다 효율적이고, 보다 강력한 탄성력의 제공이 가능하다. 따라서 제2 탄성부(41)는 제1 탄성부(61)를 사용함에 의해 얻을 수 있는 이점을 보다 증강시킬 수 있다. 즉, 콘택 패턴(37)이 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)에 접촉할 때 제1 탄성부(61)와 제2 탄성부(41)에 의해 보다 효율적인 스크러빙이 가능하기 때문에 콘택 패턴(37)과 전극 패드(12)는 충분한 접촉이 가능하다.As such, by providing the second elastic part 41, when the contact pattern 37 of the electrical signal transmission part 35 contacts the electrode pad 12 of the test object 10, the elastic force is applied to the contact pattern 37. to provide. Therefore, when the contact pattern 37 of the electrical signal transmission unit 35 is in contact with the electrode pad 12 of the inspection object 10 by using the second elastic portion 41 together with the first elastic portion 61. It is possible to provide the contact pattern 37 with a more efficient and stronger elastic force. Therefore, the second elastic portion 41 can further enhance the advantages obtained by using the first elastic portion 61. That is, when the contact pattern 37 contacts the electrode pad 12 of the inspection object 10, the contact pattern 37 may be more efficiently scrubbed by the first elastic portion 61 and the second elastic portion 41. 37 and the electrode pad 12 are capable of sufficient contact.

따라서 언급한 평판 표시 소자 검사용 프로브 조립체(200)를 사용한 검사 대상물(10)의 전기적 신뢰성에 대한 검사에서는 검사 결과에 대한 신뢰도의 향상을 기대할 수 있다.Therefore, in the inspection of the electrical reliability of the inspection object 10 using the flat panel display element inspection probe assembly can be expected to improve the reliability of the inspection results.

커버(51)는 전기 신호 전달부(35)의 절연층(39) 일면에 형성되는 콘택 패턴(37) 및 배선 아래쪽에 형성된다. 즉, 커버(51)는 외부로 노출되는 전기 신호 전달부(35)의 콘택 패턴(37) 및 배선을 외부로부터 보호하게 형성된다. 이때, 커버(51)는 내열성 양면 테이프 등을 사용하여 콘택 패턴(37) 및 배선에 부착되게 형성된다.The cover 51 is formed under the contact pattern 37 and the wiring formed on one surface of the insulating layer 39 of the electrical signal transmission unit 35. That is, the cover 51 is formed to protect the contact pattern 37 and the wiring of the electrical signal transmission unit 35 exposed to the outside from the outside. In this case, the cover 51 is formed to be attached to the contact pattern 37 and the wiring using a heat resistant double-sided tape or the like.

이와 같이, 커버(51)를 마련하여 외부로 노출되는 전기 신호 전달부(35)의 콘택 패턴(37) 및 배선을 외부로부터 보호함으로써 파티클 등과 같은 이물질이 전기 신호 전달부(35)의 콘택 패턴(37) 및 배선에 흡착되는 것을 방지할 수 있다. 만약, 전기 신호 전달부(35)의 콘택 패턴(37) 및 배선의 노출된 부분에 파티클 등과 같은 이물질이 흡착될 경우에는 콘택 패턴(37) 및 배선에 전기적으로 영향을 끼칠 수 있고, 그 결과 프로브 조립체(200)를 사용한 검사 대상물(10)의 전기적 신뢰성에 대한 검사 결과에 영향을 끼칠 수 있다. 따라서 언급한 커버(51)를 마련함으로써 프로브 조립체(200)를 사용한 검사 대상물(10)의 전기적 신뢰성에 대한 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.As such, by providing the cover 51 to protect the contact pattern 37 and the wiring of the electrical signal transmission unit 35 exposed to the outside from the outside, foreign matters such as particles may contact the contact pattern of the electrical signal transmission unit 35 ( 37) and can be prevented from adsorbing on the wiring. If foreign substances such as particles are adsorbed to the contact pattern 37 of the electrical signal transmission unit 35 and the exposed portion of the wiring, the contact pattern 37 and the wiring may be electrically affected, and as a result, the probe The assembly 200 may affect the test result for the electrical reliability of the test object 10. Therefore, by providing the cover 51 mentioned above, it is possible to improve the reliability of the test results for the electrical reliability of the test object 10 using the probe assembly 200.

도 4는 도 1의 프로브 조립체가 구비되는 전기 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.4 is a schematic diagram illustrating an electrical test apparatus including the probe assembly of FIG. 1.

도 4를 참조하면, 검사 장치(400)로써 언급한 프로브 조립체(200)가 플레이트(410)에 설치된다. 이때, 플레이트(410)는 테두리를 갖는 구조로 구비된다. 이에, 평판 표시 패널 등과 같은 검사 대상물(10)을 검사할 때 검사 대상물(10)의 플레이트(410)의 테두리 주변에 위치하게 된다. 따라서 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)는 검사 대상물(10)의 가장자리 부분에 위치할 수 있다.Referring to FIG. 4, a probe assembly 200, referred to as inspection device 400, is installed on plate 410. At this time, the plate 410 is provided with a structure having a border. Thus, when inspecting the inspection object 10, such as a flat panel display panel, it is positioned around the edge of the plate 410 of the inspection object 10. Therefore, the electrode pad 12 of the test object 10 may be located at an edge portion of the test object 10.

이에, 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)가 프로브 조립체(200)가 설치된 플레이트(410)의 테두리 부분에 위치하게 이동시킨 후, 플레이트(410)에 설치된 프로브 조립체(200)를 사용하여 검사 대상물의 전기적 신뢰성에 대한 검사를 수행한다. 이때, 프로브 조립체(200)의 콘택 패턴(37)이 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)에 전기적으로 접촉한다.Thus, the electrode pad 12 of the test object 10 is moved to the edge of the plate 410 in which the probe assembly 200 is installed, and then inspected using the probe assembly 200 installed in the plate 410. Inspect the electrical reliability of the object. In this case, the contact pattern 37 of the probe assembly 200 is in electrical contact with the electrode pad 12 of the test object 10.

언급한 프로브 조립체(200)는 제1 탄성부(61)와 제2 탄성부(41)를 갖기 때문에 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)에 접촉하는 콘택 패턴(37)에 충분한 탄성력을 제공할 수 있다. 이에, 검사 대상물(10)의 전극 패드(12)에 접촉하는 콘택 패턴(37)은 콘택 패턴(37) 및/또는 전극 패드(12)의 높이가 균일하지 않아도 충분한 스크러빙이 가능하기 때문에 검사 결과에 대한 신뢰도의 향상을 꾀할 수 있다.The probe assembly 200 mentioned above has a first elastic portion 61 and a second elastic portion 41 to provide sufficient elastic force to the contact pattern 37 in contact with the electrode pad 12 of the inspection object 10. can do. Accordingly, the contact pattern 37 in contact with the electrode pad 12 of the test object 10 may be sufficiently scrubbed even if the height of the contact pattern 37 and / or the electrode pad 12 is not uniform. The reliability can be improved.

그리고 프로브 조립체(200)는 콘택 패턴(37)을 시야 확보가 용이하도록 베이스 블록(25)의 전단부(25a)로부터 돌출되게 형성함으로써 콘택 패턴(37)의 얼라인(align)을 보다 용이하게 수행할 수 있고, 더불어 체결부(27)를 이용하여 베이스 블록(25)의 위치 조절이 가능하기 때문에 미스-얼라인에 대한 즉각적인 조치가 가능하다.In addition, the probe assembly 200 may more easily align the contact pattern 37 by forming the contact pattern 37 protruding from the front end portion 25a of the base block 25 so as to easily secure a view. In addition, since the position of the base block 25 can be adjusted by using the fastening portion 27, immediate action on miss-alignment is possible.

이에, 언급한 프로브 조립체(200)를 평판 표시 패널 등과 같은 검사 대상물(10)의 전기적 신뢰성에 대한 검사에 적용할 경우에는 검사 결과에 대한 신뢰도의 향상을 기대할 수 있다.Therefore, when the probe assembly 200 mentioned above is applied to the inspection of the electrical reliability of the inspection object 10 such as a flat panel display panel, the reliability of the inspection result may be expected.

또한, 프로브 조립체(200)는 계속적인 사용에도 불구하고 언급한 콘택 패턴(37)의 돌출된 부분만 소모되기 때문에 유지 보수가 용이하고, 그 결과 프로브 조립체(200)의 사용에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 경제적인 이득까지도 기대할 수 있다.In addition, the probe assembly 200 is easy to maintain because only the protruding portions of the contact pattern 37 mentioned above are consumed despite the continuous use, and as a result, the productivity of the probe assembly 200 can be improved. Not only can you expect it, you can also expect economic benefits.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims It can be understood that

10 : 검사 대상물 12 : 전극 패드
25 : 베이스 블록 35 : 전기 신호 전달부
41, 61 : 탄성부 51 : 커버
200 : 프로브 조립체 400 : 검사 장치
410 : 플레이트10: test object 12: electrode pad
25: base block 35: electrical signal transmission unit
41, 61: elastic portion 51: cover
200: probe assembly 400: inspection device
410: plate

Claims

A base block having a front end facing in the direction in which the electrode pad of the inspection object is located;
An insulating layer and a contact pattern formed on one surface of the insulating layer, the contact pattern electrically contacting the electrode pad of the inspection object, and the wires electrically connected to the contact pattern; An electrical signal transmitter located toward the lower surface; And
A first elastic part formed on an opposite surface of the insulating layer and providing a first elastic force to the contact pattern when the contact pattern contacts the electrode pad,
A probe assembly for inspecting a flat panel display device, wherein an insulating layer of the electrical signal transmission part is formed to have a structure of folding the first elastic part in at least a portion of the electrical signal transmission part toward the front end of the base block where the contact pattern is located. .

The method of claim 1, wherein the base block is
A first base block having a lower surface on which the electrical signal transmission portion is located and an upper surface having a yaw portion; And
A second base block having an iron portion inserted into the recess portion and an extension portion extending from the iron portion,
The first base block and the second base block has a structure that is coupled by a fastening portion that is fastened to the convex portion from the recess, and using the fastening portion to adjust the position of the first base block Probe assembly for display device inspection.

The method of claim 1, wherein the electrical signal transmission unit
A flexible film including the insulating layer and the contact pattern; And
And a flexible printed circuit board having the insulating layer and the wiring.

The probe assembly of claim 1, wherein a portion of the electrical signal transmission part surrounding the first elastic part protrudes from a front end of the base block.

The probe assembly of claim 1, wherein the first elastic part is formed in a flat structure that occupies at least the same part of the electrical signal transmission part as the contact pattern is formed.

The probe assembly of claim 1, wherein the first elastic part is at least one selected from the group consisting of iron, carbon steel, nickel, and tungsten.

The display device of claim 1, further comprising a second elastic part configured to provide a second elastic force to the contact pattern when the contact pattern contacts the electrode pad between a lower surface of the base block and an opposite surface of the insulating layer of the electrical signal transmission part. Probe assembly for inspection of flat panel display element, characterized in that it comprises.

The probe assembly of claim 7, wherein the second elastic part is a rubber.

The probe assembly of claim 1, further comprising a cover for protecting the contact pattern and the wiring formed on one surface of the insulating layer of the electrical signal transmission unit from the outside.