KR101189666B1 - unit for probing flat panel display - Google Patents
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Abstract
본 발명은 테스터의 전기적 신호를 디스플레이패널에 인가하기 위한 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛에 관한 것으로, 경사면과 수평면이 형성된 바닥면을 갖는 메인 바디; 바닥면의 경사면에 경사지게 장착되는 고정단 부분과, 바닥면의 수평면으로부터 이격되고 고정단 부분으로부터 경사면과 동일한 기울기로 연장되는 자유단 부분을 포함하는 프로브 시트; 및 바닥면의 수평면에 프로브 시트의 길이방향인 제1방향과 직교하는 제2방향으로 설치되고, 프로브 시트의 자유단 부분의 일부를 탄력적으로 받쳐서 자유단 부분의 휘어짐을 완화하는 시트 지지부재를 포함한다. The present invention relates to a probe unit for inspecting a display panel for applying an electrical signal of a tester to a display panel, the main body having a bottom surface having an inclined surface and a horizontal surface; A probe sheet including a fixed end portion inclinedly mounted on an inclined surface of the bottom surface and a free end portion spaced apart from a horizontal surface of the bottom surface and extending from the fixed end portion at the same slope as the inclined surface; And a sheet support member installed on a horizontal surface of the bottom surface in a second direction orthogonal to a first direction, which is a longitudinal direction of the probe sheet, to elastically support a portion of the free end portion of the probe sheet to reduce bending of the free end portion. do.
Description
본 발명은 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a probe unit for inspecting flat panel display.
TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)는 평판 디스플레이의 일종으로써, 다수의 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극이 배열되어 소정의 크기를 갖는 하판과, 색상을 나타내기 위한 컬러 필터 및 공통전극이 순차적으로 형성되어 있는 상판과, 상기 상판과 하판 사이의 이격공간에 채워져 있는 액정을 가지고 있다. TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display) is a kind of flat panel display. A plurality of thin film transistors (TFTs) and pixel electrodes are arranged to form a lower plate having a predetermined size, and a color filter and a common electrode to express colors. It has a liquid crystal that is filled in the space between the upper plate and the lower plate formed sequentially.
이와 같은 TFT-LCD는 검사공정에서는 프로브 장치를 이용하여 회로패턴에 전기적인 테스트 신호를 인가함으로써 불량여부를 판별한다. In the TFT-LCD, an inspection process is used to determine whether there is a defect by applying an electrical test signal to a circuit pattern using a probe device.
평판 디스플레이의 불량여부 판별을 위한 프로브 장치에는, 니들 타입(needle type), 블레이드 타입(blade type) 등이 있으며, 이러한 종래 프로브 장치는 프로브를 일일이 수작업을 통해 배열하기 때문에 조립 시간 및 제조 단가가 상승되고, 프로브간의 폭을 일정하게 유지해야하기 때문에 미세 피치 구현이 어려운 문제점이 있다. 또한 프로브와 평판 디스플레이의 접촉시 압력에 의해 프로브의 변형이 손쉽게 발생하고, 변형으로 인해 검사 반복 신뢰성이 낮아지는 문제점이 있다.Probe devices for determining whether a flat panel display is defective include a needle type, a blade type, and the like, and the conventional probe device arranges the probes manually by hand, thereby increasing assembly time and manufacturing cost. In addition, since the width between the probes must be kept constant, it is difficult to implement fine pitch. In addition, the deformation of the probe is easily generated by the pressure at the contact of the probe and the flat panel display, there is a problem that the repeatability of the test is lowered due to the deformation.
본 발명의 목적은 디스플레이 패널의 전극 패드와 프로브 시트의 범프 상호간의 접촉성을 향상시킬 수 있는 평판디스플레이 검사용 프로브 장치를 제공하는데 있다.Disclosure of Invention An object of the present invention is to provide a probe for inspecting a flat panel display which can improve the contact between the electrode pad of the display panel and the bumps of the probe sheet.
본 발명의 목적은 프로브 시트의 손상 및 변형을 최소화하여 검사 반복 신뢰성을 높일 수 있는 평판디스플레이 검사용 프로브 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a flat panel display probe device that can increase the inspection repeat reliability by minimizing damage and deformation of the probe sheet.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 디스플레이 패널을 검사하기 위한 프로브 유닛은 경사면과 수평면이 형성된 바닥면을 갖는 메인 바디; 상기 바닥면의 경사면에 경사지게 장착되는 고정단 부분과, 상기 바닥면의 수평면으로부터 이격되고 상기 고정단 부분으로부터 상기 경사면과 동일한 기울기로 연장되는 자유단 부분을 포함하는 프로브 시트; 및 상기 바닥면의 수평면에 상기 프로브 시트의 길이방향인 제1방향과 직교하는 제2방향으로 설치되고, 상기 프로브 시트의 상기 자유단 부분의 일부를 탄력적으로 받쳐서 상기 자유단 부분의 휘어짐을 완화하고 프로빙 하중시 압력보완을 하는 시트 지지부재를 포함한다. Probe unit for inspecting the display panel of the present invention for achieving the above object is a main body having a bottom surface formed with an inclined surface and a horizontal surface; A probe sheet including a fixed end portion inclined to the inclined surface of the bottom surface and a free end portion spaced from the horizontal surface of the bottom surface and extending from the fixed end portion at the same inclination as the inclined surface; And a second direction orthogonal to a first direction, which is a longitudinal direction of the probe sheet, on a horizontal surface of the bottom surface, and elastically supports a portion of the free end portion of the probe sheet to relieve bending of the free end portion. It includes a seat support member for pressure supplement during the probing load.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 프로브 시트는 디스플레이 패널의 접속단자들과 접촉되는 제1범프들을 갖는 패턴시트; 및 상기 패턴시트에 겹쳐지게 부착되어 상기 패턴 시트를 지지하는 베이스 플레이트로 이루어진다.According to an embodiment of the present invention, the probe sheet may include a pattern sheet having first bumps in contact with connection terminals of a display panel; And a base plate attached to the pattern sheet to support the pattern sheet.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 패턴 시트의 상기 제1범프들은 상기 시트 지지부재에 의해 받쳐지는 위치로부터 벗어난 위치에서 상기 베이스 플레이트와 겹쳐지는 끝단에 제공된다.According to one embodiment of the invention, the first bumps of the pattern sheet are provided at an end overlapping with the base plate at a position away from the position supported by the sheet support member.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 패턴 시트는 정렬용 마크들을 갖으며, 상기 베이스 플레이트의 끝단으로부터 돌출되게 형성된 연장부분을 더 포함하고, 상기 패턴 시트는 상기 연장부분에 형성된 정렬용 마크들과 상기 디스플레이 패널에 형성된 정렬용 마크의 얼라인 작업이 가능하도록 투명 또는 반투명 소재로 이루어진다.According to an embodiment of the present invention, the pattern sheet has alignment marks, and further includes an extension portion formed to protrude from an end of the base plate, wherein the pattern sheet includes alignment marks formed on the extension portion; It is made of a transparent or translucent material to enable the alignment of the alignment marks formed on the display panel.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 시트 지지부재는 탄성력을 갖는 기둥 형상이다.According to an embodiment of the present invention, the sheet support member has a columnar shape having elastic force.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 시트 지지부재는 그 단면이 원형, 삼각형, 사각형 중에 어느 하나이다.According to an embodiment of the present invention, the sheet support member is any one of a cross section of a circle, a triangle, a square.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 시트 지지부재는 상기 바닥면의 수평면에 형성된 장착홈에 장착된다.According to one embodiment of the invention, the sheet support member is mounted in a mounting groove formed in the horizontal surface of the bottom surface.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 시트 지지부재는 상기 바닥면과 마주하는 상기 프로브 시트의 자유단의 일면에 부착된다.According to one embodiment of the invention, the sheet support member is attached to one side of the free end of the probe sheet facing the bottom surface.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛은According to an embodiment of the present invention, the flat panel display probe unit for inspection
상기 프로브 시트의 패턴시트와 연결되고, 탭IC를 구비한 COF(Chip On Film) 타입의 구동 필름 및; 상기 구동필름과 상기 패턴 시트의 연결부분을 압박하기 위해 메인바디에 볼트 체결되는 가압 커버를 더 포함한다.A driving film of a chip on film (COF) type connected to the pattern sheet of the probe sheet and having a tab IC; It further includes a pressure cover that is bolted to the main body to press the connection portion of the drive film and the pattern sheet.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가압 커버는 상기 구동필름과 상기 패턴 시트의 연결부분을 안정적으로 가압하기 위한 탄성 패드를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the pressure cover further includes an elastic pad for stably pressing the connection portion of the driving film and the pattern sheet.
본 발명에 의하면, 디스플레이 패널의 접속 단자와 프로브 시트의 범프 상호간의 접촉성을 향상시킬 수 있는 각별한 효과를 갖는다.According to the present invention, there is a special effect that can improve the contact between the connection terminal of the display panel and the bump of the probe sheet.
본 발명에 의하면, 프로브 시트의 범프들이 인위적인 구조물이 아닌 시트 지지부재의 복원력 및 베이스 플레이트의 복원력으로 접속 단자들과 접촉됨으로써, 범프들 및 접속단자들에 무리한 힘이 가해지지 않음으로 제1범프들 및 접속단자의 손상 및 변형을 방지할 수 있다. According to the present invention, the bumps of the probe sheet are in contact with the connection terminals by the restoring force of the sheet support member and the restoring force of the base plate, rather than the artificial structure, so that the first bumps are not applied to the bumps and the connection terminals. And damage and deformation of the connection terminal can be prevented.
본 발명에 의하면, 검사 반복 신뢰성을 높이고, 범프의 배열 자유도가 높고, 고밀도 직접회로 검사가 가능하다.According to the present invention, inspection repeatability can be improved, bump arrangement freedom is high, and high density integrated circuit inspection is possible.
본 발명에 의하면, 패턴 시트의 정렬용 마크들과 디스플레이 패널에 형성된 정렬용 마크의 얼라인 작업이 용이하다.According to the present invention, it is easy to align the alignment marks of the pattern sheet with the alignment marks formed on the display panel.
본 발명에 의하면, 유닛 전체의 구조가 단순하여 작업의 간편성 및 신속성은 물론 작업의 효율성 증대에 따른 생산성 향상을 기대할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, since the structure of the entire unit is simple, the productivity can be expected to be increased by increasing the efficiency of the work as well as the simplicity and speed of the work.
도 1은 본 발명에 따른 평판 표시패널 검사장치의 구성을 개략적으로 보여주는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시패널 검사기용 프로브 어셈블리를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 프로브 유닛의 분해 사시도이다.
도 4는 프로브 유닛의 단면도이다.
도 5는 도 4에 표시된 A 부분의 확대도이다.
도 6은 프로브 시트의 범프가 디스플레이 패널의 전극 패드에 접촉된 상태를 보여주는 요부 확대도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 변형예를 보여주는 도면이다.
도 8a 내지 도 8c는 시트 지지부재의 다양한 변형예를 보여주는 도면들이다.
도 8d는 시트 지지부재가 장착되는 장착홈의 다른예를 보여주는 도면이다.1 is a configuration diagram schematically showing the configuration of a flat panel display inspection apparatus according to the present invention.
2 is a perspective view illustrating a probe assembly for a flat panel display inspector according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view of the probe unit shown in FIG. 2.
4 is a cross-sectional view of the probe unit.
FIG. 5 is an enlarged view of a portion A shown in FIG. 4.
6 is an enlarged view illustrating main parts of a bump of a probe sheet to be in contact with an electrode pad of a display panel.
7 is a view showing a modification of the probe unit according to an embodiment of the present invention.
8A to 8C are views illustrating various modifications of the sheet support member.
8D is a view showing another example of the mounting groove in which the seat support member is mounted.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 유닛을 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, a probe unit according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
( 실시 예 )(Example)
도 1은 본 발명에 따른 평판 표시패널 검사장치의 구성을 개략적으로 보여주는 구성도이다. 1 is a configuration diagram schematically showing the configuration of a flat panel display inspection apparatus according to the present invention.
도 1에서와 같이, 본 발명의 평판 표시패널 검사장치(10)는 평판 표시패널(D)을 테스트하기 위한 소정의 신호를 발생시키는 테스터(2), 테스터(2)로부터 각각 평판 표시패널(D)로 신호를 분리 전달하는 소스/게이트 인쇄회로기판(3a)을 갖는 인터페이스 유닛(3), 인터페이스 유닛(3)의 소스/게이트 인쇄회로기판(3a)과 프로브 어셈블리(100)의 연성회로필름(119)을 직접 연결시키는 체결용 커넥터(7), 연성회로필름(119)을 통해 인터페이스 유닛(3)으로부터 소정의 신호를 제공받아 평판 표시패널(D)의 접속단자(P)와 접촉하여 전기적 신호를 인가하는 패턴시트(도 2에 도시됨)을 갖는 프로브 어셈블리(100)를 포함한다. As shown in FIG. 1, the flat panel display
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시패널 검사기용 프로브 어셈블리를 보여주는 사시도이다. 2 is a perspective view illustrating a probe assembly for a flat panel display inspector according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 프로브 어셈블리(100)는 프로브 유닛(200)과, 프로브 유닛(200)을 지지하는 매니퓰레이터(110,manipulator)를 포함한다. 메니퓰레이터(110)는 베이스 플레이트(미도시됨)에 고정 배치되는 아암(112)과, 아암(112)의 선단에 고정볼트에 의해 서로 체결되는 헤드(114), 헤드(114)의 저면에 착탈 가능하게 설치되고 프로브 유닛(200)이 설치되는 고정 플레이트(116) 그리고 헤드(114)와 아암(112) 사이에 설치되는 리니어 가이드(118)를 포함한다.
Referring to FIG. 2, the
도 3은 도 2에 도시된 프로브 유닛의 분해 사시도이다. 도 4는 프로브 유닛의 단면도이다. 도 5는 도 4에 표시된 A 부분의 확대도이다. 3 is an exploded perspective view of the probe unit shown in FIG. 2. 4 is a cross-sectional view of the probe unit. FIG. 5 is an enlarged view of a portion A shown in FIG. 4.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 프로브 유닛(200)은 메인바디(300), 시트 지지부재(400), 프로브 시트(500), 구동 필름(600), 가압 커버(700)를 포함한다. 3 to 5, the
(메인 바디)(Main body)
메인 바디(300)는 볼트에 의해 매니퓰레이터(110)에 고정 설치된다. 메인 바디(300)는 전면(302), 후면(303), 상면(304), 바닥면(305) 그리고 양측면(309)을 포함하는 육면체 형상을 갖는다. 메인 바디(200)의 바닥면(305)은 경사면(305a)과 수평면(305b)을 갖는다. 경사면(305a)에는 프로브 시트(500)의 일부(고정단 부분)가 부착되며, 프로브 시트(500)는 경사면과 동일한 기울기로 경사지게 위치된다. 프로브 시트(500)의 고정은 접착제 또는 양면테이프 등에 의해 이루어진다. 바닥면의(305) 수평면(305b)에는 프로브 시트(500)의 길이방향(제1방향)과 직교하는 제2방향으로 장착홈(310)이 형성된다. 장착홈(310)에는 시트 지지부재(400)가 수평면(305b)로부터 돌출되도록 설치되며, 시트 지지부재(400)의 최하단은 프로브 시트(500)의 자유단부분의 일부분과 접하게 된다. The
(시트 지지부재)(Sheet support member)
시트 지지부재(400)는 프로브 시트(500)의 자유단 부분(504)의 일부를 탄력적으로 받쳐주어 패턴 시트(520)의 제1범프(522)와 평판 표시패널(D)의 접속단자(P)의 접촉 압력을 균일하게 그리고 자유단 부분의 휘어짐을 완화시켜 준다. 시트 지지부재(400)는 원형 단면을 갖는 길이가 긴 원기둥 형상을 갖는다. 시트 지지부재(400)는 고무, 실리콘, 플라스틱 등과 같은 탄성력을 갖는 소재로 이루어지는 것이 바람직하다. 시트 지지부재(400)는 메인 바디(300) 바닥면(305)의 수평면(305b)에 형성된 장착홈(310)에 접착제 등으로 장착된다. The
(프로브 시트)(Probe sheet)
프로브 시트(500)는 베이스 플레이트(510)와 패턴 시트(520)가 2겹으로 겹쳐진 구조를 갖는다. 베이스 플레이트(510)와 패턴 시트(520)는 접착제에 의해 상호 부착된다. 프로브 시트(500)는 메인 바디(300)의 경사면(305a)에 고정되는 고정단 부분(502)과, 메인 바디(300)의 수평면(305b)으로부터 이격되고 경사면(305a)과 동일한 경사각을 갖는 자유단 부분(504)으로 구분된다. The
베이스 플레이트(510)는 탄성력을 갖는 소재로 패턴 시트(520)를 전체적으로 지지하는 역할을 한다. 베이스 플레이트(510)는 스테인리스 소재와 같은 평탄도가 우수한 금속 소재의 플레이트를 사용하는 것이 바람직하다. 베이스 플레이트(510)의 일단은 접착제에 의해 메인 바디의 경사면(305a)에 부착된다. The
패턴 시트(520)는 베이스 플레이트(510)의 일단으로부터 돌출된 연장부분(506;도 4 및 도 5에 표시됨)을 갖는다. 패턴 시트(520)는 반투명 소재의 절연 필름으로써 디스플레이 패널(D)의 접속단자(P)들과 접촉되는 제1범프(522)들과, 탭IC(610)를 구비한 구동필름(600)과 접촉되는 제2범프(524)들을 갖는다. 제1범프(522)들은 시트 지지부재(400)에 의해 지지되는 위치로부터 벗어난 위치에서 베이스 플레이트(510)와 겹쳐지는 끝단에 위치된다. 참고도, 도 5, 및 도 6에 표시된 X는 탄성변형구간으로, 시트 지지부재(400)과 프로브 시트(500)의 접촉 위치부터 프로브 시트(5000의 자유단 부분(504) 끝단까지의 거리에 해당된다. The
패턴 시트(520)의 연장부분(506)(베이스 플레이트로부터 돌출된 선단)에는 정렬용 마크(526)들이 형성된다. 패턴 시트(520)는 반투명(또는 투명)이기 때문에 패턴 시트(520)의 정렬용 마크(526)들과 디스플레이 패널(D)에 형성된 정렬용 마크(미도시됨)의 얼라인 작업이 용이하다. The
도 6은 패턴 시트의 제1범프들이 평판 표시패널의 접속단자들과 접촉된 상태를 보여주는 도면이다.6 is a view illustrating a state in which first bumps of a pattern sheet are in contact with connection terminals of a flat panel display panel.
도 6에서와 같이, 패턴 시트(520)의 제1범프(522)들이 평판 표시패널(D)의 접속단자(P)와 접촉하기 위해 프로브 유닛(200)이 디스플레이 패널(D)을 향해 오버드라이브될 때, 프로브 시트(500)는 끝단이 디스플레이 패널(D)과 접촉되어 휘어지면서 시트 지지부재(400)를 압축하게 되고 그로 인해 그 경사각이 감소된다. 그리고 프로브 시트(500)는 자유단 부분(504)의 탄성변형구간(X)이 거의 수평에 가까운 상태로 탄성변형되면서 제1범프(522)들이 접속단자(P)들에 접촉된다. As illustrated in FIG. 6, the
프로브 시트(500)는 시트 지지부재(400)의 복원력 및 베이스 플레이트(510)의 복원력으로 제1범프(522)들과 접속단자(P)들의 접촉 압력을 얻을 수 있고, 제1범프(522)들과 접속단자(P)들은 확실하게 전기적으로 접속될 수 있다. 특히, 접속단자들이 접촉되는 제1범프(522)들이 인위적인 구조물에 의해 가압되는 것이 아니라 시트 지지부재(400)의 복원력 및 베이스 플레이트(510)의 복원력으로 자연스럽게 접속단자(P)들과 접촉된다. 따라서, 제1범프(522)들 및 접속단자(P)들에 무리한 힘이 가해지지 않음으로 제1범프들 및 접속단자의 손상(박리, 뭉개짐)을 방지할 수 있다. The
참고로, 프로브 시트(500)를 전체적으로 보았을 때, 자유단 부분(504)도 탄성변형 되지만 시트 지지부재(400)에 의해 지지되는 위치부터의 탄성변형이 가장 큰 것을 알 수 있다.
For reference, when the
(구동필름)(Driving film)
구동필름(600)는 탭IC(610)를 구비한 COF(Chip On Film) 타입의 필름으로 이루어진다. 구동 필름(600)은 패턴 시트(520)와 연결되기 위해 메인 바디(300)의 경사면(305a)에 위치된다. 구동 필름(600)과 패턴 시트(520)의 연결은 테이프 등에 의해 이루어진다.
The driving
(가압 커버)(Pressure cover)
가압 커버(700)는 구동 필름(600)과 패턴 시트(520)의 연결부분을 압박하기 위해 메인바디(300)의 경사면(205a)에 볼트 체결된다. 가압 커버(700)의 내측면에는 구동 필름(600)과 패턴 시트(520)의 연결부분을 안정적으로 가압하기 위한 탄성 패드(710)가 설치된다.
The
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 변형예를 보여주는 도면이다.7 is a view showing a modification of the probe unit according to an embodiment of the present invention.
도 7에서와 같이, 프로브 유닛(200a)은 앞서 설명한 프로브 유닛(200)과 거의 동일한 구성과 기능을 갖으며, 다만 구동필름(600)과 가압커버(700a)의 위치가 변경되었다. 이러한 변경은 구동필름(600)의 탭IC 및 패턴 시트의 제2범프들과의 접속 패턴들이 저면에 설치되어 있기 때문이다. As shown in FIG. 7, the probe unit 200a has substantially the same configuration and function as the
도 8a 내지 도 8c는 시트 지지부재의 다양한 변형예를 보여주는 도면들이며, 도 8d는 시트 지지부재가 장착되는 장착홈의 다른예를 보여주는 도면이다.8A to 8C are views showing various modifications of the sheet support member, and FIG. 8D is a view showing another example of a mounting groove in which the sheet support member is mounted.
도 8a 내지 도 8c에 도시된 바와 같이, 시트 지지부재는 탄성력을 갖는 기둥 형상으로, 사각형 단면구조의 시트 지지부재(400a), 삼각형 단면구조의 시트 지지부재(400b), 반구형 단면구조의 시트 지지부재(400c)와 같이 다양한 단면 구조를 가질 수 있다. 특히 사각형 단면구조의 시트 지지부재(400a)는 면접촉으로 프로브 시트(500)를 지지하게 된다. 도 8c에 도시된 반구형 단면구조의 시트 지지부재(400c)는 메인 바디(300)에 부착되지 않고 프로브 시트(500)의 베이스 플레이트(510) 상면에 부착 설치될 수 있다. As shown in Figures 8a to 8c, the sheet support member has a column shape having an elastic force, the
도 8d에서와 같이 시트 지지부재가 장착되는 장착홈은 V자 홈으로도 변경 가능하며, 도 8a와 같이 평평한 바닥면에 접착재 등으로 부착 고정될 수도 있다. As shown in FIG. 8D, the mounting groove in which the sheet support member is mounted may be changed to a V-shaped groove, and may be attached and fixed to a flat bottom surface as shown in FIG. 8A.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
200 : 프로브 유닛
300 : 메인 바디
400 : 시트 지지부재
500 : 프로브 시트
600 : 구동 필름
700 : 가압 커버 200: probe unit
300: main body
400: sheet support member
500: Probe Sheet
600: driving film
700 pressurized cover
Claims (10)
경사면과 수평면이 형성된 바닥면을 갖는 메인 바디;
상기 바닥면의 경사면에 경사지게 장착되는 고정단 부분과, 상기 바닥면의 수평면으로부터 이격되고 상기 고정단 부분으로부터 상기 경사면과 동일한 기울기로 연장되는 자유단 부분을 포함하는 프로브 시트; 및
상기 바닥면의 수평면에 상기 프로브 시트의 길이방향인 제1방향과 직교하는 제2방향으로 설치되고, 상기 프로브 시트의 상기 자유단 부분의 일부를 탄력적으로 받쳐서 상기 자유단 부분의 휘어짐을 완화하고 프로빙 하중시 압력보완을 하는 시트 지지부재를 포함하되;
상기 프로브 시트는
디스플레이 패널의 접속단자들과 접촉되는 제1범프들을 갖는 패턴시트; 및
상기 패턴시트에 겹쳐지게 부착되어 상기 패턴 시트를 지지하는 베이스 플레이트를 포함하고,
상기 패턴 시트는 정렬용 마크들을 갖으며, 상기 베이스 플레이트의 끝단으로부터 돌출되게 형성된 연장부분을 더 포함하며,
상기 패턴 시트는 상기 연장부분에 형성된 정렬용 마크들과 상기 디스플레이 패널에 형성된 정렬용 마크의 얼라인 작업이 가능하도록 반투명 또는 투명 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛.In the probe unit for inspecting the display panel:
A main body having a bottom surface having an inclined surface and a horizontal surface formed thereon;
A probe sheet including a fixed end portion inclined to the inclined surface of the bottom surface and a free end portion spaced from the horizontal surface of the bottom surface and extending from the fixed end portion at the same inclination as the inclined surface; And
It is installed in a second direction orthogonal to a first direction, which is a longitudinal direction of the probe sheet, on a horizontal surface of the bottom surface, and elastically supports a part of the free end portion of the probe sheet to alleviate the bending of the free end portion and probing. It includes a sheet support member for compensating pressure during the load;
The probe sheet is
A pattern sheet having first bumps in contact with connection terminals of the display panel; And
A base plate attached to the pattern sheet to support the pattern sheet,
The pattern sheet further includes an extension portion having alignment marks and protruding from an end of the base plate,
And the pattern sheet is made of a translucent or transparent material to align the alignment marks formed on the extension portion and the alignment marks formed on the display panel.
경사면과 수평면이 형성된 바닥면을 갖는 메인 바디; 및
상기 바닥면의 경사면에 경사지게 장착되는 고정단 부분과, 상기 바닥면의 수평면으로부터 이격되고 상기 고정단 부분으로부터 상기 경사면과 동일한 기울기로 연장되는 자유단 부분을 포함하는 프로브 시트를 포함하되;
상기 프로브 시트는
디스플레이 패널의 접속단자들과 접촉되는 제1범프들을 갖는 패턴시트; 및
상기 패턴시트에 겹쳐지게 부착되어 상기 패턴 시트를 지지하는 베이스 플레이트를 포함하고,
상기 패턴 시트는 정렬용 마크들을 갖으며, 상기 베이스 플레이트의 끝단으로부터 돌출되게 형성된 연장부분을 더 포함하며,
상기 패턴 시트는 상기 연장부분에 형성된 정렬용 마크들과 상기 디스플레이 패널에 형성된 정렬용 마크의 얼라인 작업이 가능하도록 반투명 또는 투명 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛.In the probe unit for inspecting the display panel:
A main body having a bottom surface having an inclined surface and a horizontal surface formed thereon; And
A probe sheet including a fixed end portion inclined to the inclined surface of the bottom surface and a free end portion spaced from the horizontal surface of the bottom surface and extending at the same inclination as the inclined surface from the fixed end portion;
The probe sheet is
A pattern sheet having first bumps in contact with connection terminals of the display panel; And
A base plate attached to the pattern sheet to support the pattern sheet,
The pattern sheet further includes an extension portion having alignment marks and protruding from an end of the base plate,
And the pattern sheet is made of a translucent or transparent material to align the alignment marks formed on the extension portion and the alignment marks formed on the display panel.
상기 패턴 시트의 상기 제1범프들은 상기 시트 지지부재에 의해 받쳐지는 위치로부터 벗어난 위치에서 상기 베이스 플레이트와 겹쳐지는 끝단에 제공되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛.The method of claim 1,
And the first bumps of the pattern sheet are provided at an end overlapping with the base plate at a position deviating from a position supported by the sheet support member.
상기 시트 지지부재는 탄성력을 갖는 기둥 형상인 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛.The method of claim 1,
The sheet support member is a flat panel display probe unit, characterized in that the columnar shape having an elastic force.
상기 시트 지지부재는 그 단면이 원형, 삼각형, 사각형 중에 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛.The method of claim 5, wherein
The sheet support member is a probe unit for flat panel display, characterized in that the cross section is any one of a circle, a triangle, a square.
상기 시트 지지부재는 상기 바닥면의 수평면에 형성된 장착홈에 장착되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛.The method of claim 1,
And the sheet support member is mounted to a mounting groove formed on a horizontal surface of the bottom surface.
상기 시트 지지부재는 상기 프로브 시트의 자유단 일면에 부착되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛.The method of claim 1,
And the sheet support member is attached to one side of the free end of the probe sheet.
상기 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛은
상기 프로브 시트의 패턴시트와 연결되고, 탭IC를 구비한 COF(Chip On Film) 타입의 구동 필름 및;
상기 구동필름과 상기 패턴 시트의 연결부분을 압박하기 위해 메인바디에 볼트 체결되는 가압 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛.The method of claim 1,
The probe unit for inspecting the flat panel display
A driving film of a chip on film (COF) type connected to the pattern sheet of the probe sheet and having a tab IC;
And a pressurized cover bolted to the main body to press the connecting portion of the driving film and the pattern sheet.
상기 가압 커버는 상기 구동필름과 상기 패턴 시트의 연결부분을 안정적으로 가압하기 위한 탄성 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사용 프로브 유닛.The method of claim 9,
The pressure cover further includes a probe unit for flat panel display inspection, characterized in that it further comprises an elastic pad for stably pressing the connecting portion of the drive film and the pattern sheet.
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