KR20110131837A - 선형 기판이송장치를 갖는 기판처리시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 기판이 적재되는 기판지지대와, 상기 기판지지대 상에 수직하게 승강하게 구비되어 기판을 지지하는 수직리프트핀과, 상기 기판지지대의 일측에 사선방향으로 이동하며 기판을 지지하는 사선리프트핀을 갖는 공정챔버와; 상기 공정챔버의 테두리 영역에 배치되는 적어도 하나의 이송챔버와; 상기 이송챔버 내에 선형적으로 이동가능하게 구비된 기판이송본체와, 상기 기판이송본체에 연장형성되어 상기 수직리프트핀으로부터 기처리된 기판이 언로딩되는 언로딩암과, 상기 언로딩암의 외주연에 상방향으로 돌출형성되어 미처리된 기판을 지지하고 상기 사선리프트핀으로 로딩하는 복수개의 로딩리브를 포함하는 기판이송장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

선형 기판이송장치를 갖는 기판처리시스템{WAFER PROCESSING SYSTEM HAVING LINEAR WAFER TRANSFERING APPARATUS}
본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로, 구체적으로는 선형적으로 이동하며 기처리 기판과 미처리 기판을 한번에 공정챔버로 로딩/언로딩하여 기판반송시간을 절약하고 생산성을 향상 시킬 수 있는 기판처리시스템에 관한 것이다.
최근 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 반도체 장치들의 제조를 위한 기판 처리 시스템들은 복수 매의 기판을 일관해서 처리할 수 있도록 구비된다.
도1은 종래 기판 처리 시스템(1)의 기판 교환 과정을 개략적으로 도시한 개략도이다.
도시된 바와 같이 종래 기판 처리 시스템(1)은 기판이 처리되는 기판지지대(3)가 복수개 구비된 공정챔버(2)와, 공정챔버(2) 내부로 기판을 이송하는 기판 이송 로봇(5)이 구비된 이송챔버(4)를 포함한다. 종래 기판 이송 로봇(5)은 회전축(7)을 중심으로 이송암이 회동하면서 엔드이펙터(6)가 기판을 기판지지대(3)로 로딩/언로딩한다.
그런데, 종래 기판 이송 로봇(5)은 이송암 회전하면서 기판을 이송하므로 공정챔버(2) 내에 기판지지대(3)가 이송암의 회전반경(R)을 따라 원주상으로 배치되어야 하는 설계상의 제약이 있었다.
또한, 이렇게 공정챔버(2) 내부에 기판지지대(3)가 배치될 경우 공정챔버(2)의 전체 크기에 비해 기판지지대(3)가 배치되지 않은 죽은공간(8)이 많아져 공간을 효율적으로 활용할 수 없는 문제가 있었다.
또한, 종래 기판 이송 로봇(5)은 기판지지대(3)에서 처리가 완료된 기처리기판을 언로딩하기 위한 언로딩 로봇과 기판지지대(3)로 미처리 기판을 로딩하기 위한 로딩 로봇이 별도로 구비되었다. 이에 의해 로딩 로봇과 언로딩 로봇이 개별적으로 구비되므로 전체 구성이 복잡하고 이들을 개별적으로 위치제어해야 하므로 제어과정이 복잡한 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 상술한 문제를 해결하기 위한 것으로 기판을 로딩하기 위한 로딩리브와 기판을 언로딩하기 위한 언로딩암이 일체로 구비되어 전체 구성을 줄이고 이송시간을 줄일 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 기판 이송 장치가 이송챔버 내부를 선형적으로 이동하여 기판의 이송시간을 절약하고 동시에 공간 설계상의 제약을 해결할 수 있는 기판처리시스템을 제공하는 것이다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일면은 기판처리시스템 및 이의 기판교환방법에 관한 것이다. 본 발명의 기판처리시스템은 판이 적재되는 기판지지대와, 상기 기판지지대 상에 수직하게 승강하게 구비되어 기판을 지지하는 수직리프트핀과, 상기 기판지지대의 일측에 사선방향으로 이동하며 기판을 지지하는 사선리프트핀을 갖는 공정챔버와; 상기 공정챔버의 테두리 영역에 배치되는 적어도 하나의 이송챔버와; 상기 이송챔버 내에 선형적으로 이동가능하게 구비된 기판이송본체와, 상기 기판이송본체에 연장형성되어 상기 수직리프트핀으로부터 기처리된 기판이 언로딩되는 언로딩암과, 상기 언로딩암의 외주연에 상방향으로 돌출형성되어 미처리된 기판을 지지하고 상기 사선리프트핀으로 로딩하는 복수개의 로딩리브를 포함하는 기판이송장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에 있어서,상기 사선리프트핀은 상기 기판지지대에 상기 수직리프트핀의 승강에 간섭되지 않는 궤적으로 사선방향으로 승강되게 구비된다.
일 실시예에 있어서, 상기 기판이송장치는, 상기 사선리프트핀은 상기 공정챔버의 벽면에 이동가능하게 구비된다.
일 실시예에 있어서, 상기 기판이송장치가 상기 공정챔버 내부로 이동할 때 상기 수직리프트핀과 상기 사선리프트핀의 구동을 제어하는 제어부를 더 포함한다.
한편, 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판교환방법은 언로딩암과, 상기 언로딩암에 일체로 형성된 로딩리브를 갖는 기판이송장치가 로드락챔버와 기판을 교환하는 단계와; 공정챔버의 기처리 기판이 적재된 수직리프트핀이 상승하는 단계와; 상기 기판이송장치가 선형적으로 이동하여 상기 언로딩암과 미처리 기판이 지지된 로딩리브가 상기 공정챔버 내부로 진입하는 단계와; 상기 수직리프트핀이 하강하며 상기 기처리 기판이 상기 언로딩암 상에 적재되는 단계와; 사선리프트핀이 상승하며 상기 로딩리브로부터 미처리 기판을 인계받는 단계와; 상기 기판이송장치가 상기 공정챔버 외부로 이동하는 단계와; 상기 수직리프트핀이 추가 상승하여 상기 사선리프트핀 상이 미처리 기판을 인계받고, 상기 사선리프트핀은 하강하는 단계와; 상기 수직리프트핀이 하강하여 상기 기판지지대 상에 상기 미처리 기판을 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은 기판이송장치가 한 개의 이송본체에 언로딩암과 로딩리브가 일체로 구비되어 한 번의 이동동작으로 기판의 로딩과 언로딩이 동시에 수행될 수 있다. 이에 의해 기판이송장치의 구성이 간단해질 수 있다.
도 1은 종래 기판처리시스템의 구성을 개략적으로 도시한 개략도,
도 2는 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판교환 과정 중 대기위치의 구성을 도시한 개략도,
도 3은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판교환 과정 중 교환위치의 구성을 도시한 개략도,
도 4는 본 발명에 따른 기판처리시스템의 공정챔버와 기판이송장치의 구성을 도시한 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판이송장치의 구성을 도시한 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판이송장치와 대기압 반송로봇의 기판교환과정을 도시한 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판이송장치의 구동부의 구성을 개략적으로 도시한 개략도,
도 8은 본 발명에 따른 기판이송장치가 교환위치에서의 구성을 도시한 사시도,
도 9a 내지 도9g는 기판이송장치와 공정챔버 간의 기판교환과정을 도시한 개략도이다.
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공 되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
도2와 도3은 본 발명에 따른 기판처리시스템(10)의 기판교환과정을 개략적으로 도시한 개략도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판처리시스템(10)은 기판지지대(310)가 설치된 제1공정챔버(300a)와 제2공정챔버(300b)가 좌우로 구비되고, 그 사이에는 이송챔버(400)가 배치된다. 이송챔버(400)에는 선형적으로 이동하며 공정챔버(300a,300b) 내부로 기판을 로딩/언로딩하는 기판이송장치(500)가 구비된다.
기판처리시스템(10)의 전방에는 캐리어(110)가 장착되는 인덱스(100)가 구비되며, 인덱스(100)와 이송챔버(400) 사이에는 로드 락 챔버(200)가 구비된다. 로드락 챔버(200)에는 필요에 따라 처리 후 기판을 냉각하기 위한 냉각 챔버(220)가 구비될 수 있다. 제1,2 공정 챔버(300a,300b)로 진행하는 기판에 대한 예열이 필요한 경우에도 별도의 예열 챔버(미도시됨)를 구비하도록 할 수 있다.
로드 락 챔버(200)는 대기압에서 동작되는 대기압 반송 로봇(210)이 구비된다. 대기압 반송 로봇(210)은 이송챔버(400)와 캐리어(110) 사이에서 기판 이송을 담당한다. 대기압 반송 로봇(210)은 로드락 챔버(200) 내부를 선형적으로 이동하며 기판이송장치(500)와 기판을 교환한다. 대기압 반송 로봇(210)은 기판이송장치(500)로 기판을 로딩하는 로딩 반송 로봇(210)과, 기판을 언로딩하는 언로딩 반송 로봇(220)이 상하로 한 쌍이 구비된다.
제1공정챔버(300a)와 제2공정챔버(300b)는 이송챔버(400)의 좌우에 배치된다. 제1공정챔버(300a)와 제2공정챔버(300b) 각각에는 기판지지대(310)가 배치된다. 기판지지대(310)에는 기판을 지지하기 위한 수직리프트핀(311)과, 사선리프트핀(313)이 복수개 구비된다.
도4는 기판이송장치(500)가 기판교환을 위해 대기위치에 위치한 상태를 도시한 사시도이고, 도8은 교환위치에 위치한 상태를 도시한 사시도이다.
수직리프트핀(311)은 기판지지대(310) 상을 수직한 방향으로 상하로 승강하며 기판이송장치(500)가 공정챔버(300) 내부로 진입했을 때 기처리 기판(W1)을 기판이송장치(500)의 언로딩암(520)에 인계하고, 사선리프트핀(313)으로부터 미처리 기판(W2)을 인수받는다.
수직리프트핀(311)은 기판지지대(310)의 기판처리 공정 중에는 기판지지대(310)의 내부에 은폐되게 위치되고, 기판처리가 완료된 후 기판이송장치(500)와의 기판교환을 위해서 기판지지대(310) 위로 상승하여 노출된다. 수직리프트핀(311)은 수직리프트핀 구동부(320)에 의해 승강이 제어된다.
사선리프트핀(313)은 기판지지대(310)를 중심으로 사선방향으로 이동하며 공정챔버(300) 내부로 진입된 기판이송장치(500)의 로딩리브(530)로부터 미처리 기판(W2)을 인계받아 지지한다.
사선리프트핀(313)은 수직리프트핀(311)의 상승운동과 기판이송장치(500)의 언로딩암(520) 및 로딩리브(530)의 이송궤적에 간섭을 주지 않도록 구비된다. 이를 위해 사선리프트핀(313)은 기판지지대(310)의 모서리 영역에서 상부영역으로 사선방향으로 상승 및 하강 하도록 구비된다. 또한, 사선리프트핀(313)은 공정챔버(300)의 네 모서리 영역에서 사선방향으로 진입 및 후퇴하며 로딩리브(530)에 적재된 미처리 기판(W2)의 테두리를 지지하도록 구비된다.
사선리프트핀(313)은 사선리프트핀 구동부(330)의 의해 승강이 제어된다.
여기서, 제1,2 공정 챔버(300a,300b)는 다양한 기판 프로세싱 작동들을 수행하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 포토레지스트를 제거하는 애싱(ashing) 챔버일 수 있고, 절연막을 증착시키도록 구성된 CVD(Chemical Vapor Deposition) 챔버일 수 있고, 인터커넥트 구조들을 형성하기 위해 절연막에 애퍼쳐(aperture)들이나 개구들을 에치하도록 구성된 에치 챔버일 수 있다. 또는 장벽(barrier) 막을 증착시키도록 구성된 PVD 챔버일 수 있으며, 금속막을 증착시키도록 구성된 PVD 챔버일 수 있다.
본 기판 처리 시스템(10)에서 처리되는 피 처리 기판(W)은 대표적으로 반도체 회로를 제조하기 위한 웨이퍼 기판이거나 액정 디스플레이를 제조하기 위한 유리 기판이다. 본 기판 처리 시스템의 도시된 구성 외에도 집적 회로 또는 칩의 완전한 제조에 요구되는 모든 프로세스를 수행하기 위해 다수의 프로세싱 시스템들이 요구될 수 있다. 그러나 본 발명의 명확한 설명을 위하여 통상적인 구성이나 당업자 수준에서 이해될 수 있는 구성들은 생략하였다.
본 발명에 따른 기판처리시스템(10)의 기판이송장치(500)는 도2와 도3에 도시된 바와 같이 이송챔버(400) 내부를 선형적으로 이동하면서 기판지지대(310)로 기판을 이송한다. 기판이송장치(500)는 도2에 도시된 바와 같이 로드락챔버(200)의 대기압반송로봇(210)과 기판을 교환하는 대기위치와, 도3에 도시된 바와 같이 공정챔버(300) 내부로 진입하여 기판지지대(310)와 기판을 교환하는 교환위치 사이를 선형적으로 이동한다.
또한, 본 발명에 따른 기판이송장치(500)는 기판을 로딩하는 로딩리브(530)와 기판을 언로딩하는 언로딩암(520)이 일체로 구비되어 한번에 기판의 로딩과 언로딩이 동시에 이루어질 수 있다.
도5는 본 발명에 따른 기판이송장치(500)의 구성을 도시한 사시도이다. 도시된 바와 같이 기판이송장치(500)는 이송챔버(400) 내부를 선형적으로 이동하는 기판이송본체(510)와, 기판이송본체(510)에 결합되어 기판지지대(310)로부터 기처리 기판(W1)을 언로딩하는 언로딩암(520)과, 언로딩암(520)의 테두리영역에 돌출 형성되어 기판지지대(310)로 미처리 기판(W2)을 로딩하는 로딩리브(530)와, 기판이송본체(510)를 이동시키는 이송본체구동부(540)를 포함한다.
기판이송본체(510)는 판상의 부재로 구비되며 로딩리브(530)가 일체로 결합된 언로딩암(520)이 대기위치와 교환위치 사이를 이동할 수 있도록 이송본체구동부(540)로부터 구동력을 전달받는다. 기판이송본체(510)의 일단부는 언로딩암(520)과 일체로 결합되고 타단부는 절곡바(511)와 결합된다.
절곡바(511)는 이송챔버(400)의 측벽을 향해 절곡형성되어 이송레일(420)에 이동가능하게 결합된다. 절곡바(511)는 이송본체구동부(540)의 구동력에 의해 이송레일(420) 상을 선형적으로 이동하며 기판이송본체(510)가 대기위치와 교환위치 사이를 이동되도록 한다.
언로딩암(520)은 기판이송본체(510)의 전방에 일체로 결합되며 상면에 미처리 기판(W2)이 적재된다. 언로딩암(520)은 도시된 바와 같이 기판이송본체(510)의 좌우에 연장형성된 한 쌍의 바 형상으로 구비된다.
한 쌍의 언로딩암(520) 사이의 폭과 연장길이는 기판지지대(310)의 수직리프트핀(311) 사이의 간격과, 대기압 반송로봇(210)의 형상에 대응되게 조절된다. 즉, 언로딩암(520) 사이의 폭과 연장길이는 기판지지대(310)로 진입할 때 수직리프트핀(311)의 상승운동에 간섭이 발생되지 않고, 대기압 반송로봇(210)의 진입과 후퇴에 간섭이 발생되지 않도록 구비된다.
이를 위해 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 언로딩암(520)의 폭(l1)은 수직리프트핀(311)의 폭(l2)보다 넓게 구비되어 한 쌍의 언로딩암(520)이 수직리프트핀(311)의 외측으로 진입 및 후퇴하도록 설계된다.
또한, 언로딩암(520)의 판면에는 대기압반송로봇(210)이 삽입될 수 있는 수용홈(521)이 일정 깊이 형성되어 대기압반송로봇(210)과의 간섭도 피할 수 있다. 수용홈(521)은 대기위치에서 기판교환을 할 때, 도6에 도시된 바와 같이 대기압반송로봇(210)의 엔드이펙터(211)가 삽입될 수 있는 공간을 형성한다. 이 때, 수용홈(521)은 삽입된 엔드이펙터(211)가 일정 높이 상승 및 하강하며 기판을 교환할 수 있도록 여유깊이를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
로딩리브(530)는 언로딩암(520)의 양측 단부의 판면으로부터 상측방향으로 돌출 형성되어 미처리 기판(W2)을 사선리프트핀(313)으로 로딩한다. 로딩리브(530)는 언로딩암(520)의 외측방향으로 경사지게 돌출형성된 언로딩암결합리브(531)와, 언로딩암결합리브(531)의 단부영역에 수직한 방향으로 일정 길이 형성된 연결리브(535)와, 연결리브(535)로부터 언로딩암(520)을 향해 내측방향으로 경사지게 돌출형성되어 기판을 지지하는 기판지지리브(533)로 구성된다.
언로딩암결합리브(531)는 언로딩암(520)으로부터 일정각도(α) 외측으로 경사지게 돌출 형성된다. 이러한 언로딩암결합리브(531)의 결합각도(α)는 한 쌍의 언로딩암(520)에 결합된 언로딩암결합리브(531)의 사이로 기처리 기판(W1)이 진입할 수 있는 공간을 확보하기 위함이다. 즉, 도4에 도시된 바와 같이 대기압반송로봇(210)이 교환위치로 이동될 때 언로딩암(520)은 수직리프트핀(311)의 외측으로 진입되고, 한 쌍의 언로딩암결합리브(531)는 수직리프트핀(311)에 적재된 미처리 기판(W2)의 외측으로 진입되어야 한다. 이를 위해 언로딩암결합리브(531)의 최대 이격폭(W2)은 미처리 기판(W2)의 폭(W1) 보다 크게 구비되어야 한다. 따라서, 언로딩암결합리브(531)의 결합각도(α)와 길이는 최대 이격폭(W2)이 미처리 기판(W2)의 폭(W1) 보다 크게 되는 각도 범위로 구비되어야 한다.
연결리브(535)는 언로딩암결합리브(531)와 기판지지리브(533)를 상호 연결하며 전체 로딩리브(530)의 높이를 조절한다.
기판지지리브(533)는 연결리브(535)로부터 언로딩암(520)의 내측방향으로 경사지게 돌출 형성된다. 복수의 기판지지리브(533)는 상부영역의 간격이 이 미처리 기판(W2)의 폭(W2) 보다 좁게 배치되도록 구비되어 미처리 기판(W2)을 지지한다.
도7은 기판이송장치(500)의 이송본체구동부(540)의 구성을 개략적으로 도시한 개략도이다.
이송본체구동부(540)는 기판이송본체(510)가 이송레일(420)을 따라 대기위치와 교환위치 사이를 선형적으로 이동되도록 제어한다. 이송본체구동부(540)는 진공 상태의 이송챔버(400) 내부에서 기판이송본체(510)가 이동하므로 먼지 및 파티클 발생을 최소화하도록 구비된다.
이를 위해 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송본체구동부(540)는 자기기어방식으로 기판이송본체(510)를 구동한다.
자기구동방식을 위해 기판이송본체(510)의 절곡바(511)의 단부영역에는 이동자석(513)이 구비된다. 이송본체구동부(540)는 이송레일(420)과 평행하게 이송챔버(400) 내측에 구비된 구동레일(542)과, 구동레일(542)을 따라 이동하는 구동자석(541)과, 구동자석(541)을 이동시키는 구동모터(543) 및 구동모터(543)의 구동방향을 구동자석(541)으로 전달하는 구동축(545)을 포함한다.
이송본체구동부(540)는 LM 가이드의 형태로 구비되어 구동모터(543)의 구동력에 의해 구동자석(541)이 구동레일(542)을 따라 이동된다. 구동자석(541)의 이동시 자력에 의해 이동자석(513)이 구동자석(541)의 이동방향으로 이동되며 기판이송본체(510)가 이송레일(420)을 따라 이동하게 된다.
제어부(600)는 공정챔버(300)의 수직리프트핀 구동부(320)과 사선리프트핀 구동부(330), 그리고 이송본체구동부(540)를 구동하여 기판의 교환이 원활히 이루어지도록 제어한다.
이러한 구성을 갖는 본 발명에 따른 기판처리시스템(10)의 기판이송과정을 도2 내지 도9g를 참조로 설명한다.
먼저, 기판이송장치(500)는 대기압 반송 로봇(210)과 기판을 교환한다. 도6에 도시된 바와 같이 대기위치에서 기판이송장치(500)의 언로딩암(520)과 로딩리브(530)로 대기압 반송 로봇(210)이 진입하여 기판을 교환한다. 이 때, 대기압 반송 로봇(210)의 언로딩 엔드이펙터(221)는 수용홈(521)을 따라 진입하며 언로딩암(520) 상면에 적재된 기처리 기판(W1)을 언로딩한다.
로딩 엔드이펙터(211)는 로딩리브(530) 사이로 진입하여 로딩리브(530) 상면에 미처리 기판(W2)을 로딩한다.
기판이송장치(500)는 대기압 반송 로봇(210)과 기판 교환이 완료되면 로딩리브(530)에 미처리 기판(W2)이 적재된 상태로 도9a에 도시된 대기위치에서 도9b에 도시된 교환위치로 이동한다. 기판이송장치(500)는 구동자석(541)의 자력에 의해 이송레일(420)을 따라 교환위치로 이동한다.
이 때, 기판지지대(310)의 수직리프트핀(311)은 수직으로 상승하며 기판지지대(310) 상의 기처리 기판(W1)을 일정 높이 상승시킨다.
기판이송장치(500)는 언로딩암(520)이 수직리프트핀(311) 보다 일정 높이 낮게 배치되도록 수직리프트핀(311) 사이로 진입한다. 도8에 도시된 바와 같이 기판이송장치(500)의 언로딩암(520)은 수직리프트핀(311)과 사선리프트핀(313) 사이의 공간으로 진입하므로 이송궤적의 간섭 없이 이동될 수 있다.
기판이송장치(500)가 기판지지대(310) 상에 완전히 진입하고 위치가 고정되면, 도9c에 도시된 바와 같이 수직리프트핀(311)은 하부로 하강하며 상면에 적재된 기처리 기판(W1)을 언로딩암(520)으로 인계한다.
기처리 기판(W1)의 인계가 완료되면 도9d에 도시된 바와 같이 사선리프트핀(313)이 상부로 돌출된다. 이 때, 사선리프트핀(313)의 끝단의 높이는 로딩리브(530) 보다 높게 돌출된다. 이에 의해 로딩리브(530)에 적재된 미처리 기판(W2)은 사선리프트핀(313)으로 인계된다.
사선리프트핀(313)으로 미처리 기판(W2)을 인계한 기판이송장치(500)는 도9e에 도시된 바와 같이 공정챔버(300)로부터 빠져나와 다시 대기위치로 이동한다. 대기위치에서 기판이송장치(500)는 대기압 반송로봇(210)과 기판 교환작업을 진행한다.
한편, 미처리 기판(W2)을 인계받은 사선리프트핀(313)은 위치를 유지하고, 수직리프트핀(311)은 도8e에 도시한 바와 같이 상승하여 사선리프트핀(313)으로부터 미처리 기판(W2)을 인계받는다. 수직리프트핀(311)으로 미처리 기판(W2)을 인계한 사선리프트핀(313)은 도8f에 도시된 바와 같이 초기 위치로 하강하고, 수직리프트핀(311)도 도8g에 도시된 바와 같이 기판지지대(310) 하부로 하강하여 기판지지대(310) 상에 미처리 기판(W2)이 적재된다.
한편, 기판이송장치는 도1에 도시된 바와 같이 상호 적층적으로 한 쌍이 구비되어 제1공정챔버(300a)와 제2공정챔버(300b)로 기판을 동시에 이송할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 기판처리시스템은 기판이송장치가 한 개의 이송본체에 언로딩암과 로딩리브가 일체로 구비되어 한 번의 이동동작으로 기판의 로딩과 언로딩이 동시에 수행될 수 있다. 이에 의해 기판이송장치의 구성이 간단해질 수 있다.
이상에서 설명된 본 발명의 기판처리시스템의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
10 : 기판 처리 시스템 200 : 로드락 챔버
210 : 로딩 반송 로봇 211 : 로딩 엔드이펙터
220 : 언로딩 반송 로봇 221 : 언로딩 엔드이펙터
300a,300b : 공정챔버 310a,310b : 기판지지대
311 : 수직리프트핀 313 : 사선리프트핀
320 : 수직리프트핀 구동부 330 : 사선리프트핀 구동부
400: 이송챔버 410 : 챔버벽
420 : 이송레일 500 : 기판이송장치
510 : 기판이송본체 511 : 절곡바
513 : 이동자석 520 : 언로딩암
521 : 수용홈 530 : 로딩리브
531 : 언로딩암결합리브 533 : 기판지지리브
535 : 연결리브 540 : 이송본체구동부
541 : 구동자석 542 : 구동레일
543 : 구동모터 545 : 구동축
600 : 제어부

Claims (5)

  1. 기판이 적재되는 기판지지대와, 상기 기판지지대 상에 수직하게 승강하게 구비되어 기판을 지지하는 수직리프트핀과, 상기 기판지지대의 일측에 사선방향으로 이동하며 기판을 지지하는 사선리프트핀을 갖는 공정챔버와;
    상기 공정챔버의 테두리 영역에 배치되는 적어도 하나의 이송챔버와;
    상기 이송챔버 내에 선형적으로 이동가능하게 구비된 기판이송본체와, 상기 기판이송본체에 연장형성되어 상기 수직리프트핀으로부터 기처리된 기판이 언로딩되는 언로딩암과, 상기 언로딩암의 외주연에 상방향으로 돌출형성되어 미처리된 기판을 지지하고 상기 사선리프트핀으로 로딩하는 복수개의 로딩리브를 포함하는 기판이송장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 사선리프트핀은 상기 기판지지대에 상기 수직리프트핀의 승강에 간섭되지 않는 궤적으로 사선방향으로 승강되게 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기판이송장치는,
    상기 사선리프트핀은 상기 공정챔버의 벽면에 이동가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판이송장치가 상기 공정챔버 내부로 이동할 때 상기 수직리프트핀과 상기 사선리프트핀의 구동을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  5. 기판처리시스템의 기판교환방법에 있어서,
    언로딩암과, 상기 언로딩암에 일체로 형성된 로딩리브를 갖는 기판이송장치가 로드락챔버와 기판을 교환하는 단계와;
    공정챔버의 기처리 기판이 적재된 수직리프트핀이 상승하는 단계와;
    상기 기판이송장치가 선형적으로 이동하여 상기 언로딩암과 미처리 기판이 지지된 로딩리브가 상기 공정챔버 내부로 진입하는 단계와;
    상기 수직리프트핀이 하강하며 상기 기처리 기판이 상기 언로딩암 상에 적재되는 단계와;
    사선리프트핀이 상승하며 상기 로딩리브로부터 미처리 기판을 인계받는 단계와
    상기 기판이송장치가 상기 공정챔버 외부로 이동하는 단계와;
    상기 수직리프트핀이 추가 상승하여 상기 사선리프트핀 상이 미처리 기판을 인계받고, 상기 사선리프트핀은 하강하는 단계와;
    상기 수직리프트핀이 하강하여 상기 기판지지대 상에 상기 미처리 기판을 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판교환방법.
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