KR20110130643A - 센터링 장치 - Google Patents

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KR20110130643A
KR20110130643A KR1020100050075A KR20100050075A KR20110130643A KR 20110130643 A KR20110130643 A KR 20110130643A KR 1020100050075 A KR1020100050075 A KR 1020100050075A KR 20100050075 A KR20100050075 A KR 20100050075A KR 20110130643 A KR20110130643 A KR 20110130643A
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Abstract

본 발명은 서로 다른 크기의 웨이퍼에 따라 날개부를 상하 이동시켜 웨이퍼에 대해 탄력적으로 센터링을 실시할 수 있으며, 각 공정이 일체로 형성되어 공정이 간소화되는 센터링 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 센터링 장치는, 안착된 웨이퍼를 상하 이동시키는 제1구동수단과; 상기 플레이트에 안착된 웨이퍼의 중심을 맞추기 위해 웨이퍼를 좌우 이동시키고, 웨이퍼의 크기에 따라 웨이퍼와 접하는 접촉부의 위치를 조절하기 위해 상하 이동하는 제2구동수단; 을 포함하여 이루어진다.

Description

센터링 장치 { Apparatus For Centering }
본 발명은 센터링 장치에 관한 것으로서, 상세하게는 다른 크기의 웨이퍼가 위치할 경우 센터링을 진행함에 있어 다른 크기의 웨이퍼에 대해 탄력적인 센터링이 가능한 센터링 장치에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼를 가공하기 위한 반도체 제조장비에 있어서 중요한 것은, 각 공정에 해당하는 유닛으로 각각의 웨이퍼가 이동하였을 경우 이들 공정 내에서의 정밀한 작업을 위해 웨이퍼의 중심을 맞추는 것에 있다.
중심이 일치되지 않은 상태에서 공정이 이루어지게 되면, 웨이퍼의 불량발생의 문제가 발생하였는데, 이와 같은 문제를 해결하기 위해 종래에 사용된 웨이퍼의 중심을 맞추는 방법을 보면, 하나의 종류에 대해 중심을 맞추기 위한 장치를 사용하는 것을 볼 수 있다.
이러한 종래의 센터링 장치는 동일한 크기의 웨이퍼에 대한 제한적인 센터링이 가능한 것이었는데, 이로 인해 각각의 크기에 맞는 센터링장치를 각각 별도로 구비함에 따라 추가적인 비용발생 하였다.
또한, 각각의 크기에 맞는 센터링 장치는 각각의 공정상의 유닛과 별도로 제작되어 공정이 추가되는 문제가 있었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 서로 다른 크기의 웨이퍼에 따라 날개부를 상하 이동시켜 웨이퍼에 대해 탄력적으로 센터링을 실시할 수 있으며, 각 공정이 일체로 형성되어 공정이 간소화되는 센터링 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 센터링 장치는, 안착된 웨이퍼를 상하 이동시키는 제1구동수단과; 상기 플레이트에 안착된 웨이퍼의 중심을 맞추기 위해 웨이퍼를 좌우 이동시키고, 웨이퍼의 크기에 따라 웨이퍼와 접하는 접촉부의 위치를 조절하기 위해 상하 이동하는 제2구동수단; 을 포함하여 이루어진다.
상기 제1구동수단은, 일단이 상기 플레이트의 하부에 배치되고, 타단이 상기 플레이트를 관통하여 상기 플레이트의 상부로 돌출되게 배치되는 승강부재와; 상기 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 승강부재의 일단이 고정 장착되는 연결부재와;상기 본체에 장착되며, 상기 연결부재와 연결되어, 상기 연결부재를 통해 상기 승강부재의 타단이 상기 플레이트를 관통하여 상하 방향으로 승강되도록 구동력을 발생시키는 제1실린더; 를 포함하여 이루어진다.
상기 제2구동수단은, 상기 플레이트의 상부에 상기 플레이트를 중심으로 대칭되게 각각 이격 배치되며, 서로 마주보는 방향으로 상기 접촉부가 각각 구비된 제1날개부 및 제2날개부와; 상기 제1날개부 및 상기 제2날개부 사이에 배치되어, 상기 제1날개부 및 상기 제2날개부을 좌우 방향으로 이동시키는 제2실린더와; 상기 베이스에 장착되며, 상부에 상기 제2실린더가 장착되어 상기 제2실린더를 상하 이동시키는 제3실린더; 를 포함하여 이루어진다.
상기 제2실린더는 상기 베이스의 상부에 배치되고, 상기 제3실린더는 상기 베이스의 하부에 배치되며, 상기 베이스에는 상기 제2실린더 삽입 배치되는 스토퍼홈이 형성된다.
상기 접촉부의 웨이퍼 방향의 측면은 다단의 직경을 갖는 원호 형상으로 형성된다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 센터링 장치는 다음과 같은 효과가 있다.
상기 제2구동수단은 웨이퍼의 크기에 따라 상하 이동하여 웨이퍼와 접하는 접촉부의 위치를 조절함으로써, 서로 다른 크기의 웨이퍼에 대해 탄력적으로 센터링을 실시할 수 있으며, 각 공정이 일체로 형성되어 공정이 간소화할 수 있다.
상기 연결부재에 상기 승강부재의 일단이 고정 장착되고, 상기 연결부재를 통해 상기 승강부재의 타단이 상기 플레이트를 관통하여 상하 방향으로 승강됨으로써, 상기 연결부재의 상하 이동시 상기 제1실린더에서 발생하여 상기 승강부재로 전달되는 진동을 감쇄시켜 상기 웨이퍼를 안정적으로 승강시킬 수 있는 효과가 있다.
상기 제3실린더는 상부에 상기 제2실린더가 장착되어 상기 제2실린더를 상하 이동시킴으로써, 상기 제1날개부 및 상기 제2날개부를 상하 이동시켜 웨이퍼의 크기에 따라 선택적으로 상기 접촉부와 웨이퍼의 접촉 위치를 조절할 수 있다.
상기 베이스에 상기 제2실린더가 삽입 배치되는 스토퍼홈이 형성됨으로써, 상기 제2구동수단의 하강시 상기 제2실린더가 상기 베이스의 하부로 이동하는 것을 저지하고, 센터링장치의 전체적인 높이를 줄이는 효과가 있다.
상기 접촉부는 웨이퍼 방향의 측면이 다단의 직경을 갖는 원호 형상으로 형성됨으로써, 상기 접촉부가 웨이퍼와 접할 때 좌우 방향뿐만 아니라 웨이퍼를 사방으로 이동가능하게 하여 웨이퍼의 센터링을 용이하게 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 센터링장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 센터링장치의 분해사시도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 접촉부의 평면도,
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 센터링장치의 작동 과정도,
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 센터링장치의 사시도, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 센터링장치의 분해사시도, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 접촉부의 평면도, 도 4 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 센터링장치의 작동 과정도이다.
도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 센터링 장치는 베이스(100), 플레이트(200), 제1구동수단(300) 및 제2구동수단(400)으로 이루어진다.
상기 베이스(100)는 사각형 형상의 넓은 판 형상으로 형성되며, 상부에는 상기 플레이트(200)를 지지하기 위한 지지대(110)가 다수개 형성된다.
상기 지지대(110)는 원통형 형상으로 형성되며, 4개로 이루어져 각각 이격 배치된다.
그리고 상기 베이스(100)에는 상기 지지대(110) 사이에 제1관통공(120)이 형성된다.
상기 제1관통공(120)은 직사각형 형상으로 전후 방향으로 길게 형성되며, 상하 방향으로 관통 형성된다.
상기 제1관통공(120)에는 상기 제1구동수단(300)이 상하 이동되게 삽입 배치된다.
또한 상기 베이스(100)에는 사각형 형상의 제2관통공(130)이 형성된다.
상기 제2관통공(130)은 상기 베이스(100)의 전방에 형성되며, 내부에 상기 제2구동수단(400)이 상하 이동되게 삽입 배치된다.
그리고 상기 베이스(100)에는 상기 제2관통공(130)의 둘레를 따라 스토퍼홈(140)이 형성된다.
상기 스토퍼홈(140)은 깊이가 상기 제2관통공(130)의 깊이보다 낮게 형성되며, 상 방향으로 개방 형성되고, 좌우 방향으로 긴 직사각형 형상으로 이루어진다.
이러한 상기 스토퍼홈(140)에는 후술하는 바와 같이 상기 제2구동수단(400)의 제2실린더(440)가 삽입 배치되어 센터링장치의 전체적인 높이를 줄일 수 있다.
이와 같이 상기 베이스(100)에 상기 제2실린더(440)가 삽입 배치되는 스토퍼홈(140)이 형성됨으로써, 상기 제2구동수단(400)의 하강시 상기 제2실린더(440)가 상기 베이스(100)의 하부로 이동하는 것을 저지하고, 상기 스토퍼홈(140)의 높이만큼 상기 제2실린더(440)가 하방향으로 더 이동할 수 있도록 하여 센터링장치의 전체적인 높이를 줄이는 효과가 있다.
상기 플레이트(200)는 납작한 원통형 형상으로 형성되며, 상기 베이스(100)의 상기 지지대(110)의 상부에 배치된다.
그리고 상기 플레이트(200)의 중심부에는 제3관통공(210)이 형성된다.
상기 제3관통공(210)은 원형 형상으로 상하 관통 형성되며, 3개로 이루어져 각각 의 연장선이 삼각형을 이루도록 이격 배치된다.
이러한 상기 제3관통공(210)에는 후술하는 바와 같이 상기 제1구동수단(300)의 승강부재(310)가 상하 이동되게 삽입 배치된다.
그리고 상기 플레이트(200)의 상부에는 콘부재(220)가 장착된다.
상기 콘부재(220)는 단면이 사다리꼴 형상인 원통형으로 이루어지며, 상기 제3관통공(210)의 외측에 배치되고, 다수개로 이루어져 상기 플레이트(200)의 원주방향으로 일정간격 이격 배치된다.
이러한 상기 콘부재(220)는 도 5(c)에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼(10)의 외주면과 접하여 상기 웨이퍼(10)의 가공시 상기 웨이퍼(10)가 이동하지 않도록 고정한다.
또한 상기 콘부재(220)는 상기 플레이트(200)의 상부에 탈부착이 용이하게 장착되며, 상기 웨이퍼(10)의 크기에 따라 위치를 이동시켜 다양한 크기에 선택적으로 구조 변경이 가능하다.
한편 상기 제1구동수단(300)은 상기 플레이트(200)에 안착된 상기 웨이퍼(10)를 상하 이동시킨다.
구체적으로 상기 제1구동수단(300)은 승강부재(310), 연결부재(320) 및 제1실린더(330)로 이루어진다.
상기 승강부재(310)는 상하 방향으로 긴 원형의 핀 형상으로 형성되며, 일단이 상기 플레이트(200)의 하부에 배치되고, 타단이 상기 플레이트(200)를 관통하여 상기 플레이트(200)의 상부로 돌출되게 배치된다.
즉 상기 승강부재(310)는 상기 제3관통공(210)에 삽입 배치되며, 일단, 즉 하단이 상기 제3관통공(210)의 하부로 돌출되고, 타단, 즉 상단이 상기 제3관통공(210)의 상부로 돌출되게 배치된다.
또한 상기 승강부재(310)의 하단은 상기 연결부재(320)에 고정 장착된다.
이러한 상기 승강부재(310)는 3개로 이루어지며, 각각의 연장선이 삼각형을 이루도록 이격 배치된다.
상기 연결부재(320)는 전후 방향으로 긴 직사각형의 판 형상으로 형성되며, 상기 플레이트(200)의 하부에 배치되어 상기 제1실린더(330)에 장착된다.
그리고 상기 연결부재(320)의 상부에는 상기 승강부재(310)의 일단이 고정 장착된다.
또한 상기 연결부재(320)는 상기 제1실린더(330)에 의해 하강시 상기 제1관통공(120)에 삽입 배치된다.
이러한 상기 연결부재(320)는 상기 제1실린더(330)에 의해 상하 이동하여 상기 승강부재(310)에 상하 구동력을 전달한다.
상기 제1실린더(330)는 상기 베이스(100)의 상부에 고정 장착되며, 상기 연결부재(320)와 연결된다.
이러한 상기 제1실린더(330)는 상기 연결부재(320)를 통해 상기 승강부재(310)의 타단이 상기 플레이트(200)를 관통하여 상하 방향으로 승강되도록 상하 구동력을 발생시킨다.
이와 같이 상기 연결부재(320)에 상기 승강부재(310)의 일단이 고정 장착되고, 상기 연결부재(320)를 통해 상기 승강부재(310)의 타단이 상기 플레이트(200)를 관통하여 상하 방향으로 승강됨으로써, 상기 연결부재(320)의 상하 이동시 상기 제1실린더(330)에서 발생하여 상기 승강부재(310)로 전달되는 진동을 감쇄시켜 상기 웨이퍼(10)를 안정적으로 승강시킬 수 있는 효과가 있다.
한편 상기 제2구동수단(400)은 상기 플레이트(200)에 장착된 웨이퍼(10)의 중심을 맞추기 위해 웨이퍼(10)를 좌우 이동시키고, 웨이퍼(10)의 크기에 따라 웨이퍼(10)와 접하는 접촉부(430)의 위치를 조절하기 위해 상하 이동한다.
좀더 구체적으로 상기 제2구동수단(400)은 제1날개부(410), 제2날개부(420), 제2실린더(440) 및 제3실린더(450)로 이루어진다.
상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)는 각각 사각형의 막대 형상으로 형성되며, 상단이 상기 플레이트(200)의 상부로 각각 절곡 형성되어 'ㄱ'자 형상을 이룬다.
이러한 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)는 상기 플레이트(200)를 중심으로 좌우 대칭되게 각각 이격 배치된다.
그리고 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)에는 서로 마주보는 방향으로 상기 접촉부(430)가 돌출 형성된다.
상기 접촉부(430)는 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)에 서로 마주보는 방향으로 각각 돌출 형성되며, 상기 웨이퍼(10) 방향의 측면은 다단의 직경을 갖는 원호 형상으로 형성된다.
좀더 구체적으로 도 2 및 도3에 도시된 바와 같이 상기 접촉부(430)는 제1접촉면(431) 및 제2접촉면(432)으로 이루어진다.
상기 제1접촉면(431)은 서로 멀어지는 방향으로 오목한 원호 형상으로 형성된다.
상기 제2접촉면(432)은 상기 제1접촉면(431)의 상부에 형성되며, 서로 멀어지는 방향으로 오목한 원호 형상으로 형성된다.
또한 상기 제1접촉면(431)과 상기 제2접촉면(432)은 상호 동심되게 배치되고, 상기 제2접촉면(432)의 지름은 상기 제2접촉면(432)의 지름보다 크게 형성된다.
즉 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)에 각각 형성된 상기 제2접촉면(432) 사이의 간격은 상기 제2날개부(420) 및 상기 제2날개부(420)에 각각 형성된 상기 제1접촉면(431) 사이의 간격보다 크다.
이와 같이 상기 접촉부(430)는 웨이퍼(10) 방향의 측면이 다단의 직경을 갖는 원호 형상으로 형성됨으로써, 상기 접촉부(430)가 웨이퍼(10)와 접할 때 좌우 방향뿐만 아니라 상기 웨이퍼(10)를 사방으로 이동가능하게 하여 상기 웨이퍼(10)의 센터링 작업을 용이하게 하는 효과가 있다.
상기 제2실린더(440)는 상기 베이스(100)의 상부에 상기 제1날개부(410)와 상기 제2날개부(420) 사이에 배치되며, 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)를 좌우 방향으로 이동시키다.
그리고 상기 제2실린더(440)는 상기 플레이트(200)와 동심되게 배치되며, 상기 제1날개부(410)와 상기 제2날개부(420)가 상기 플레이트(200)의 상부에 좌우 대칭되도록 간격을 유지시키면서 이동시킨다.
이러한 상기 제2실린더(440)는 이동부재(460)에 의해 상기 제3실린더(450)와 연결된다.
상기 이동부재(460)는 좌우 방향으로 긴 직사각형 형상으로 형성되며, 상부에 상기 제2실린더(440)가 장착되고 하부는 상기 제3실린더(450)와 연결된다.
그리고 상기 이동부재(460)는 좌우 너비가 상기 제2관통공(130) 보다 크고 상기 스토퍼홈(140)보다 작게 형성된다.
이러한 상기 이동부재(460)는 상기 제3실린더(450)에 의해 상하 이동하며, 상기 제3실린더(450)에 의해 하부로 이동할 때 상기 스토퍼홈(140)에 삽입 배치되고, 상기 스토퍼홈(140)을 이루는 상기 베이스의 상면과 접하여 상기 제2실린더(440)가 상기 베이스(100)의 하부로 이동하는 것을 저지한다.
상기 제3실린더(450)는 상기 베이스(100)의 하부에 장착되며, 상부에 상기 제2실린더(440)가 장착되어 상기 제2실린더(440)를 상하 이동시킨다.
좀더 구체적으로 상기 제3실린더(450)는 상기 제2관통공(130)을 관통하여 상기 베이스(100)의 상부로 이동 가능하게 장착되며, 상기 이동부재(460)에 의해 상기 제2실린더(440)와 연결된다.
이러한 상기 제3실린더(450)는 상부에 상기 제2실린더(440)가 장착되어 상기 제2실린더(440)를 상하 이동시킴으로써, 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)를 상하 이동시켜 상기 웨이퍼(10)의 크기에 따라 선택적으로 상기 접촉부(430)와 상기 웨이퍼(10)의 접촉 위치를 조절할 수 있다.
위 구성으로 이루어진 본 발명의 실시예에 따른 센터링장치의 동작과정을 설명한다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 센터링장치의 작동 과정도이다.
도 4 내지 도 6은 작동 과정의 설명을 편리하게 하기 위해 제1구동수단(300)과 제2구동수단(400)을 모두 도시하여 표현하였다.
도 4(a)는 본 발명의 실시예에 따른 센터링장치의 초기 상태를 나타낸 것이다.
도 4(a)에 도시된 바와 같이 상기 플레이트(200)에 상기 웨이퍼(10)를 안착하기 전에는, 상기 승강부재(310)의 상단이 상기 플레이트(200)의 상부로 돌출되지 않게 상기 제3삽입공에 삽입 배치된다.
그리고 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)는 상기 플레이트(200)의 상부에 배치되며, 상기 제1날개부(410)와 상기 제2날개부(420) 사이의 간격은 상기 콘부재(220) 사이의 간격보다 더 넓게 이격 된다.
도 4(b)에 도시된 바와 같이 상기 플레이트(200)의 상부에 웨이퍼(10)를 안착시키기 전에 먼저 상기 제1실린더(330)를 작동시켜 상기 승강부재(310)의 상단이 상기 플레이트(200)의 상부로 돌출되게 이동시킨다.
이때 상기 승강부재(310)의 상단 높이는 상기 접촉부(430)의 제1접촉면(431)과 일치되게 한다.
그리고 도 4(c)에 도시된 바와 같이 상기 승강부재(310)의 상부에 상기 웨이퍼(10)를 안착시킨다.
이때 작업자는 상기 웨이퍼(10)의 크기를 센서로 인식하여 상기 제3실린더(450)의 동작 여부를 판단한다.
즉 도4(c)에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼(10)의 크기가 상기 제1접촉면(431)의 지름과 같으면 상기 제3실린더(450)는 작동하지 않는다.
이 후 도 5(a)에 도시된 바와 같이 상기 제2실린더(440)에 의해 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)는 서로 가까워지는 방향으로 이동하여 상기 웨이퍼(10)의 중심을 맞춘다.
도 5(b)에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼(10)의 센터링 작업이 끝나면 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)는 서로 멀어지는 방향으로 이동한다.
그리고 도 5(c)에 도시된 바와 같이 상기 제1실린더(330)에 의해 상기 승강부재(310)는 하강하고, 상기 웨이퍼(10)는 상기 콘부재(220) 사이에 안착 되어 고정된다.
이 후 상기 웨이퍼(10)는 여러 가공 공정을 거친 후, 상기 승강부재(310)에 의해 다시 상승되며, 다시 도 5(a) 및 도 5(b) 공정을 거쳐 중심을 맞추고, 이 후 다른 장치로 이동된다.
만약 도 4(c) 공정 이후 도 6에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼(10)의 크기가 상기 제2접촉면(432)의 지름과 같으면, 상기 제3실린더(450)는 상기 제2실린더(440)를 하강시켜 상기 제2접촉면(432)의 높이가 상기 승강부재(310)의 상단 높이와 일치되게 한다.
이때 상기 이동부재(460)는 상기 스토퍼홈(140)에 삽입 배치된다.
이 후 과정은 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)를 상기 웨이퍼(10) 방향으로 이동시켜 상기 웨이퍼(10)의 중심을 맞추고, 이 후 상기 제1날개부(410) 및 상기 제2날개부(420)를 서로 멀어지는 방향으로 이동시켜 상기 웨이퍼(10)와 이격되게 한 후, 상기 승강부재(310)를 하강시켜 상기 웨이퍼(10)가 상기 콘부재(220)에 안착되도록 한다.
이와 같이 상기 제2구동수단(400)은 웨이퍼(10)의 크기에 따라 상하 이동하여 웨이퍼(10)와 접하는 접촉부(430)의 위치를 조절함으로써, 서로 다른 크기의 웨이퍼(10)에 대해 탄력적으로 센터링을 실시할 수 있으며, 각 공정이 일체로 형성되어 공정이 간소화할 수 있다.
경우에 따라 본 발명의 센터링 장치는, 초기 상태에서 상기 제3실린더(450)가 하강되어 상기 이동부재(460)가 상기 스토퍼홈(140)에 삽입된 상태로 놓여 큰사이즈의 상기 웨이퍼(10)를 센터링하다가, 작은 사이즈의 상기 웨이퍼(10)를 배치하고자 할 때에는 상기 제3실린더(450)가 상기 제1날개부(420) 및 상기 제2날개부(430)을 상승시킨 후 상기 웨이퍼(10)를 센터링하도록 할 수 있다.
본 발명인 센터링 장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
10 : 웨이퍼, 100 : 베이스, 110 : 지지대, 120 : 제1관통공, 130 : 제2관통공, 140 : 스토퍼홈, 200 : 플레이트, 210 : 제3관통공, 220 : 콘부재, 300 : 제1구동수단, 310 : 승강부재, 320 : 제1실린더, 320 : 연결부재, 400 : 제2구동수단, 410 : 제1날개부, 420 : 제2날개부, 430 : 접촉부, 431 : 제1접촉면, 432 : 제2접촉면, 440 : 제2실린더, 450 : 제3실린더, 460 : 이동부재,

Claims (5)

  1. 베이스와;
    상기 베이스의 상부에 구비되며, 상부에 웨이퍼가 안착되는 플레이트와;
    상기 플레이트에 안착된 웨이퍼를 상하 이동시키는 제1구동수단과;
    상기 플레이트에 안착된 웨이퍼의 중심을 맞추기 위해 웨이퍼를 좌우 이동시키고, 웨이퍼의 크기에 따라 웨이퍼와 접하는 접촉부의 위치를 조절하기 위해 상하 이동하는 제2구동수단; 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 센터링장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1구동수단은,
    일단이 상기 플레이트의 하부에 배치되고, 타단이 상기 플레이트를 관통하여 상기 플레이트의 상부로 돌출되게 배치되는 승강부재와;
    상기 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 승강부재의 일단이 고정 장착되는 연결부재와;
    상기 본체에 장착되며, 상기 연결부재와 연결되어, 상기 연결부재를 통해 상기 승강부재의 타단이 상기 플레이트를 관통하여 상하 방향으로 승강되도록 구동력을 발생시키는 제1실린더; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 센터링 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제2구동수단은,
    상기 플레이트의 상부에 상기 플레이트를 중심으로 대칭되게 각각 이격 배치되며, 서로 마주보는 방향으로 상기 접촉부가 각각 구비된 제1날개부 및 제2날개부와;
    상기 제1날개부 및 상기 제2날개부 사이에 배치되어, 상기 제1날개부 및 상기 제2날개부를 좌우 방향으로 이동시키는 제2실린더와;
    상기 베이스에 장착되며, 상부에 상기 제2실린더가 장착되어 상기 제2실린더를 상하 이동시키는 제3실린더; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 센터링장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2실린더는 상기 베이스의 상부에 배치되고,
    상기 제3실린더는 상기 베이스의 하부에 배치되며,
    상기 베이스에는 상기 제2실린더가 삽입 배치되는 스토퍼홈이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 센터링장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 접촉부의 웨이퍼 방향의 측면은 다단의 직경을 갖는 원호 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 센터링장치.
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