KR20110126969A - 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템 - Google Patents

Abstract

유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템이 개시된다. 본 발명의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템은 척킹 트레이에 도너 필름을 클랭핑하기 위한 클램핑 유닛과, 클램핑 유닛에 인접하게 배치되어 도너 필름의 양호 및 불량 여부를 검사하기 위한 검사 유닛과, 검사 유닛에 의한 검사 후 양호한 것으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이를 이송시키고 불량으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이를 하강시키는 업다운 리프터; 및 검사 유닛에 의한 검사 후 불량으로 판정된 도너 필름을 척킹 트레이로부터 언클램핑하기 위한 언클램핑 유닛을 포함한다. 본 발명에 의하면 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 도너 필름이 증착 챔버 등에 원활히 공급될 수 있도록 하여 유기전계발광표시장치를 양산할 수 있게 된다.

Description

유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템{DONOR FILM SUPPLY SYSTEM FOR OLED MANUFACTURING}

본 발명은, 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 도너 필름이 증착 챔버 등에 원활히 공급될 수 있도록 하여 양산에 적용될 수 있는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템에 관한 것이다.

유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비전력이 낮고, 자체 발광이므로 넓은 시야각을 제공하여 영상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고 기존의 반도체 공정 기술과 유사한 방식으로 제조되며 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판표시장치로 주목받고 있다.

일반적으로 유기전계발광표시장치를 제조함에 있어서 화소 정의막들을 형성한 후 화소 정의막들 사이에 발광층 등으로 구비되는 유기층이 형성되는데, 이러한 유기층은 새도우 마스크를 이용한 진공증착법 또는 통상적인 광식각법을 이용하여 형성되어질 수 있으나 진공 증착법의 경우에는 유기층을 미세 패턴으로 형성하는데 어려움이 있어 완벽한 풀칼라 디스플레이를 구현하는데 어려움이 있으며, 광식각법인 경우에는 현상액 또는 식각액에 의해 유기층의 손상으로 수명 및 효율 등의 발광 특성이 나빠지는 문제점이 있다.

이에 따라 이런 문제점을 해결하기 위한 방법으로 레이저 열전사법(LITI : Laser Induced Thermal Imaging)을 이용하여 유기층을 패턴하는 방식이 도입되었다.

열전사법을 간략히 설명하자면, 먼저 기재 필름 상에 광-열 변환층 및 전사층을 순차적으로 도포한 도너 필름을 준비한다. 여기서 전사층은 표시부 등을 구성하는 유기막 형성용 물질 등을 코팅한 것을 말한다. 그리고 나서 전사층과 전사층이 도포될 영역이 서로 마주보도록 도너 필름을 유기막 등을 도포할 위치에 배치한 후, 도너 필름을 라미네이팅 시키고 도너 필름에 에너지원을 조사한다. 이 에너지원은 기재필름을 통과하여 광-열 변환층을 활성화시키고 이에 의해 열이 방출되고, 이렇게 방출된 열에 의하여 전사층이 도너필름에서 분리되고, 그 맞은편에 배치된 영역에 도포[전사]된다. 그 후 전사된 물질을 고형화, 고착화시키기 위한 열처리 공정을 거치게 되면, 유기물의 도포가 완료된다.

이와 같은 열전사법에 있어서는, 도너 필름의 증착, 전사 공정이 수행되어야 하므로 도너 필름의 증착 챔버 등에 도너 필름을 공급하는 시스템이 필요하다.

그러나, 양산에 적용될 수 있는 시스템이 현재 개발된 바 없어서 효율적으로 도너 필름을 증착 챔버 등에 공급할 수 있는 시스템 개발이 필요한 실정이다.

본 발명의 목적은, 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 도너 필름이 증착 챔버 등에 원활히 공급될 수 있도록 하여 양산에 적용될 수 있는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템을 제공하는 것이다.

상기의 목적은, 본 발명에 따라, 척킹 트레이에 도너 필름을 클랭핑하기 위한 클램핑 유닛; 상기 클램핑 유닛에 인접하게 배치되어 도너 필름의 양호 및 불량 여부를 검사하기 위한 검사 유닛; 상기 검사 유닛에 의한 검사 후 양호한 것으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이를 이송시키고 불량으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이를 하강시키는 업다운리프트; 및 상기 검사 유닛에 의한 검사 후 불량으로 판정된 도너 필름을 척킹 트레이로부터 언클램핑하기 위한 언클램핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템에 의해 달성된다.

여기서, 상기 클램핑 유닛과 상기 검사 유닛 사이에 배치되어 도너 필름을 세정하기 위한 세정 유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 세정 유닛은, 정전기를 제거하기 위한 이오나이저(ionizer); 및 상기 이오나이저에 이격 배치되는 블로우어(blower)를 포함할 수 있다.

도너 필름이 공급되는 필름 매거진; 필름을 클램핑 유닛으로 이동시켜주는 필름 트랜스퍼; 척킹 트레이가 공급되는 트레이 카세트; 매거진 유닛과 클램핑 유닛 사이에 배치되어 척킹 트레이를 이송시키는 다이버 리프터를 더 포함할 수 있다.

상기 필름 트랜스퍼는, 필름 트랜스퍼를 지지하는 필름 트랜스퍼 본체; 필름 표면을 진공으로 흡착하여 필름을 이송시키는 이동본체; 및 상기 이동본체가 필름을 상기 클램핑 유닛으로 이송시킬 수 있도록 이동축이 되는 필름 트랜스퍼 LM가이드를 포함할 수 있다.

상기 검사 유닛에 의한 검사 후 양호한 것으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이가 상기 업다운 리프터에 의하여 이송되는 트레이 로더를 더 포함할 수 있다.

상기 클램핑 유닛은, 필름을 척킹하기 위한 척킹 트레이를 지지하는 장치본체; 척킹 트레이의 하부에서 척킹 트레이의 텐션유닛을 가압하는 하부푸셔; 상기 하부푸셔에 동력을 제공하는 하부푸셔동력부; 척킹 트레이의 상부에서 척킹 트레이의 클램핑유닛을 가압하는 상부푸셔; 및 상기 상부푸셔에 동력을 제공하는 상부푸셔동력부를 포함할 수 있다.

상기 하부푸셔동력부와 상기 상부푸셔동력부는 공압실린더로 마련될 수 있다.

상기 장치본체는, 필름을 파지하는 필름 홀더; 및 척킹 트레이를 파지하는 트레이 홀더를 포함할 수 있다.

상기 클램핑 유닛은 필름을 척킹 트레이에 밀착시켜주는 필름밀착유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 검사 유닛은, 검사유닛본체; 및 필름 표면에 이물이나 왜곡이 있는 지 검사하는 검사부를 포함할 수 있다.

상기 검사유닛본체는, 척킹 트레이를 파지하는 척킹트레이 파지부; 상기 척킹트레이 파지부의 하방에 마련되어 상기 검사부가 X축 방향으로 이동할 수 있도록 이동축이 되는 X축 LM가이드; 및 상기 척킹트레이 파지부의 하방에 마련되어 상기 검사부가 Y축 방향으로 이동할 수 있도록 이동축이 되는 Y축 LM가이드를 포함할 수 있다.

상기 검사부는, 척킹 트레이 안착 후 필름 표면을 스캔하여 이물을 검사하는 라인 스캔 카메라; 및 상기 라인 스캔 카메라로 측정된 이물이 있는 곳의 좌표에 이물이 있는 지 확인하는 리뷰 캠유닛을 포함할 수 있다.

상기 검사부는, 상기 검사부가 상기 X축 LM가이드를 따라 이동할 때 필름 주름 높이 차의 변위를 측정하는 레이저 변위센서; 및 상기 라인 스캔 카메라의 양쪽에 마련되어 상기 라인 스캔 카메라가 필름을 스캔할 수 있도록 조명해주는 조명유닛을 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 도너 필름이 증착 챔버 등에 원활히 공급될 수 있도록 하여 양산에 적용될 수 있는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템이 제공된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템의 사시도이다.
도 2는 도 1의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템의 클램핑 유닛의 사시도이다.
도 3은 도 2의 저면 사시도이다.
도 4는 도 1의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템에 사용되는 척킹 트레이의 사시도이다.
도 5는 도 4의 일부 확대도이다.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도이다.
도 7은 척킹 트레이와 클램핑 유닛의 동작을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 8은 척킹 트레이가 장착된 클램핑 유닛의 사시도이다.
도 9는 도 1의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템의 검사 유닛의 사시도이다.
도 10은 도 9의 검사 유닛에 척킹 트레이를 장착한 경우의 사시도이다.
도 11은 도 9의 검사부와 Y축 LM가이드의 분해 사시도이다.
도 12는 도 9의 검사부를 확대한 사시도이다.
도 13은 도 1의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템의 필름 트랜스퍼의 사시도이다.
도 14는 도 1의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템의 업다운 리프터와 트레이 로더의 사시도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템의 사시도이다.

본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템(100)은 척킹 트레이(200)에 도너 필름을 클랭핑하기 위한 클램핑 유닛(110)과, 클램핑 유닛(110)에 인접하게 배치되어 도너 필름의 양호 및 불량 여부를 검사하기 위한 검사 유닛(120)과, 검사 유닛(120)에 의한 검사 후 양호한 것으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이(200)를 이송시키고 불량으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이(200)를 하강시키는 업다운 리프터(130)와, 검사 유닛(120)에 의한 검사 후 불량으로 판정된 도너 필름을 척킹 트레이(200)로부터 언클램핑하기 위한 언클램핑 유닛(140)을 포함한다.

도 2는 도 1의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템의 클램핑 유닛의 사시도이고, 도 3은 도 2의 저면 사시도이며, 도 4는 도 1의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템에 사용되는 척킹 트레이의 사시도이고, 도 5는 도 4의 일부 확대도이며, 도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도이고, 도 7은 척킹 트레이와 클램핑 유닛의 동작을 설명하기 위한 개략적인 단면도이며, 도 8은 척킹 트레이가 장착된 클램핑 유닛의 사시도이다.

이들 도 2 내지 도 8을 참조하여 살펴보면, 클램핑 유닛(110)은 필름을 척킹하기 위한 척킹 트레이(200)를 지지하는 장치본체(111)와, 척킹 트레이(200)의 하부에서 척킹 트레이(200)의 텐션유닛을 가압하는 상부푸셔(112)와, 상부푸셔(112)에 동력을 제공하는 상부푸셔동력부(113)와, 척킹 트레이(200)의 상부에서 척킹 트레이(200)의 클램핑유닛을 가압하는 하부푸셔(114)와, 상기 하부푸셔(114)에 동력을 제공하는 하부푸셔동력부(115)를 포함한다.

장치본체(111)는 필름을 파지하는 필름홀더(111a)와, 척킹 트레이(200)를 파지하는 트레이홀더(111b)를 포함한다.

장치본체(111)는 필름과 척킹 트레이(200)를 지지할 수 있도록 필름과 척킹 트레이(200)의 형상인 사각형의 형상으로 마련된다. 필름을 파지하는 필름홀더(111a)는 장치본체(111)의 저면부 사각형상의 가장자리에 각각 사각기둥의 형상으로 마련되며, 필름홀더(111a)의 사각형상의 크기는 필름의 각 가장자리가 필름홀더(111a) 위에 안착될 수 있도록 필름의 크기보다는 작은 사각형상으로 마련된다.

트레이홀더(111b)는 필름홀더(111a) 위쪽에 마련되며, 척킹 트레이(200)의 마주보는 프레임이 파지되도록 척킹 트레이(200)의 크기에 맞추어 단층이 형성되어 있고, 또한 각 모서리 부분에도 꺾어진 단층이 형성되어 있어 척킹 트레이(200)가 안정적으로 트레이홀더(111b) 위에 파지될 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에 사용되는 척킹 트레이(200)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 트레이본체(201)와, 필름(film)을 클램핑하는 클램프유닛(210)과, 클램프유닛(210)이 상대회동 가능하게 결합되며, 트레이본체(201)에 결합되어 클램프유닛(210)에 클램핑된 필름을 텐션시키는 텐션유닛(220)을 포함한다.

트레이본체(201)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 대략 사각형의 판면 형상을 가지고 외곽 프레임의 역할을 하는 것으로서, 트레이본체(201)의 중앙 영역 상에 도너 필름을 수용하는 중앙 수용부(202)가 마련된다.

그리고 트레이본체(201)에는 정렬을 위한 정렬부(205)가 마련되어 있는데, 정렬부(205)는, 높낮이 정렬을 위한 높낮이 안내가이드(206)와, 얼라인을 위한 얼라인 안내공(207)을 포함한다. 트레이본체(201)의 정렬부(205)는 본 실시 예의 유기전계발광표시장치 제조용 척킹 트레이(200)가 증착 공정 시 증착 챔버(미도시)의 스테이지에 안착될 때 스테이지에서 용이하게 정렬될 수 있도록 한다. 높낮이 안내가이드(206)는 척킹 트레이(200)가 스테이지 상에서 미리 결정된 높낮이에 배치되도록 안내하며, 얼라인 안내공(207)는 척킹 트레이(200)가 스테이지 상에서 미리 결정된 위치에 얼라인될 수 있도록 안내한다.

트레이본체(201)의 중앙 수용부(202)에 인접한 영역은 전체적으로 편평한 면을 갖는데, 이는 진공 내에서 상대 글라스(glass)와의 갭을 없애 진공 형성 후 차압 시 상대 글라스와 필름(film)간 진공이 원활히 이루어지도록 오링(O-ring) 접촉면(208)을 형성하기 위해서이다. 라미네이팅 공정 시, 스테이지 상에 마련되는 오링 내측의 스테이지 영역에는 글라스가 배치되는데, 진공 형성 후 척킹 트레이(200)를 글라스 상면으로 배치한 후 차압 시 상대 글라스와 필름(film)간 진공이 원활히 이루어지기 위해서는 오링이 스테이지와 척킹 트레이(200) 간의 기밀을 수행해야 하는데, 이를 위해서는 이러한 오링이 접촉되는 트레이본체(201)의 중앙 수용부(202)에 인접한 영역은 전체적으로 편평한 면을 가져야 하기 때문이다.

한편 트레이본체(201)의 상호 대향되는 한 쌍의 측벽에는 상호 회동 가능하게 결합된 다수개의 클램프유닛(210)과 텐션유닛(220)이 마련된다. 본 실시예에서는 트레이본체(201)의 하나의 측벽에 일정한 간격을 두고 9개의 클램프유닛(210)이 마련되나, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것은 아니며 클램프유닛(210)의 개수는 적절히 변경될 수 있다.

클램프유닛(210)은, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 텐션유닛(220)에 상대 회동 가능하게 결합되는 클램프본체(211)와, 클램프본체(211)에 결합되며 텐션유닛(220)과의 사이에 도너 필름을 개재시키어 필름을 파지하는 필름클램프(212)와, 필름클램프(212)가 도너 필름을 파지하는 힘을 제공하기 위하여 클램프본체(211)를 탄성 바이어스 시키는 탄성부재(213)를 포함한다.

클램프본체(211)는 'V'자 형상을 가지고, 클램프본체 회전축(211a)가 텐션유닛(220)과 결합되어 있어서 텐션유닛(220)이 회동하는 경우 텐션유닛(220)과 함께 회동하게 되며, 또한 클램프본체 회전축(211a)은 텐션유닛(220)에 상대 회동 가능하게 결합되어 있기 때문에 클램프유닛(210)이 텐션유닛(220)과는 별도로 독립적인 상대 회동이 가능하다.

한편 클램프본체 회전축(211a)에는 탄성부재(213)가 연결되어 클램프본체(211)를 일측 방향으로 탄성 바이어스 시키는 역할을 한다. 이에 의하여, 탄성부재(213)는 클램프유닛(210)이 외부의 힘을 받아 텐션유닛(220)과 별도로 상대 회동을 하는 경우에 외부의 힘이 제거되면 다시 원래 위치로 회동하게 하는 탄성 복원력을 제공한다. 본 실시예에서는 탄성부재(213)로 토션 스프링(Torsion spring)이 적용된다.

클램프본체(211)의 'V'자 형상의 일측 단부에는 필름클램프(212)가 결합된다. 클램프본체(211)의 일측 단부를 필름클램프(212)의 외측면에 맞추어 절삭한 후 필름클램프(212)를 클램프본체(211)에 볼트 결합시킬 수 있도록 나사삽입홈(212a)을 형성하고 이를 통하여 필름클램프(212)를 클램프본체(211)에 볼트 결합시킨다.

본 실시예에서는 클램프본체(211)와 필름클램프(212)의 결합을 볼트 결합으로 예시하였으나, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며 필름클램프(212)와 클램프본체(211)의 결합력이 유지되는 다른 결합 수단이 사용되어도 무방하다.

필름클램프(212)가 클램프본체(211)와 결합되는 쪽의 반대측 단부는 필름을 클램핑 할 때 필름을 좀 더 견고히 클램핑할 수 있도록 필름이 삽입되는 방향의 역방향으로 경사면(212b)이 형성되어 있다.

한편, 필름클램프(212)의 경사면(212b) 및 필름이 클램핑되면서 접촉되는 하단부에는 필름이 클램핑 될 때 필름이 찢기거나 손상되지 않게 하면서 필름이 견고히 클램핑될 수 있도록 접착력을 향상시켜주는 우레탄 코팅(212c)이 마련된다.

텐션유닛(220)은, 도 4 내지 도 6을 참조하면, 트레이본체(201)에 상대회동 가능하게 결합되는 텐션본체(221)와, 필름을 텐션시키는 방향으로 텐션본체(221)를 가압하는 가압부재(222)를 포함한다.

텐션본체(221)는 텐션유닛 회전축(223)에 의하여 트레이본체(201)에 결합된다. 텐션본체(221)가 텐션유닛 회전축(223)에 의하여 트레이본체(201)에 결함됨으로써 트레이본체(201)에 대하여 상대회동이 가능하다.

텐션본체(221)에는 클램프유닛(210)이 클램프본체 회전축(211a)에 의하여 회전 가능하게 결합되어 있고, 따라서 클램프유닛(210)은 텐션유닛(220)에 상대회동이 가능함은 위에서 설명한 바와 같다. 본 실시예에서는 필름이 클램프유닛(210)에 의하여 견고하게 클램핑될 수 있도록 9개의 클램프유닛(210)이 텐션본체(221)에 결합되어 있다. 클램프유닛(210)의 개수는 필요에 따라 변경될 수 있다.

텐션본체(221)의 상부는 필름클램프(212)의 경사면(212b)이 맞닿아 접촉될 수 있도록 경사면(212b)에 대응되는 형상으로 마련되는데, 이에 의하여 필름클램프(212)의 경사면(212b) 단부와 텐션본체(221)의 상부 사이에 필름이 클램핑된다.

텐션본체(221)와 트레이본체(201) 사이에는 가압부재(222)가 마련된다. 가압부재(222)는 트레이본체(201)의 중앙 수용부(202)로부터 텐션본체(221)가 멀어지는 방향으로 텐션본체(221)에 힘을 가하여 필름이 클램핑되어 있는 경우 필름을 텐션시켜주는 힘을 제공한다.

가압부재(222)의 위치는 텐션유닛 회전축(223)의 위치보다 높게 마련되어 가압부재(222)에 의하여 텐션본체(221)가 힘을 받아서 텐션유닛 회전축(223)을 중심으로 회전력(torque)이 발생하며, 이에 의해 텐션본체(221)가 외부의 힘이 작용하지 않는 경우 텐션본체(221)의 밑면이 아래쪽을 향하도록 회전한 상태가 유지된다.

본 실시예에서는 가압부재(222)로 압축스프링을 사용하고, 압축스프링은 필름이 충분히 텐션될 수 있도록 트레이본체(201)의 한쪽 프레임 내에 44개의 압축스프링을 연결하여 양쪽 프레임 내에 총 88개의 압축스프링을 사용하였다. 그러나 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니라, 압축스프링 외에도 텐션유닛 회전축(223)을 중심으로 필름을 텐션시키는 힘을 제공하는 다른 수단이 사용될 수도 있으며, 또한 필름이 텐션되는 힘을 조정하기 위하여 가압부재(222)의 개수를 변경할 수 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 척킹 트레이(200)는 트레이홀더(111b)에 파지될 때 트레이의 상부가 지면쪽을 향하도록 뒤집어서 장착된다. 필름홀더(111a)가 트레이홀더(111b)의 하방에 있으므로 필름을 척킹 트레이(200)의 상부에 밀착시키기 위해서이다.

상부푸셔(112)는 척킹 트레이(200)가 클램핑 유닛(110) 상에 장착되어 있을 때 상부푸셔동력부(113)에 의하여 힘을 받아서 척킹 트레이(200)의 하부에서 텐션유닛을 가압한다. 이로 인하여 텐션유닛(220)이 트레이본체(201)와 수평을 이루는 상태가 된다.

하부푸셔(114)는 척킹 트레이(200)의 상부에서 클램프유닛(210)을 가압하여 클램프유닛(210)이 클램프본체 회전축(211a)으로 회전하게 되고, 따라서 필름클램프(212)와 텐션본체(221) 사이에 공간이 형성되게 만든다. 하부푸셔동력부(115)는 하부푸셔(114)에 이러한 동력을 제공한다.

본 실시예에서는 상부푸셔동력부(113)와 하부푸셔동력부(115)가 공압실린더로 마련되었으나, 본 발명은 이 실시예에 국한되는 것이 아니며 이와 유사한 다른 동력 공급 수단이 사용될 수도 있다.

본 실시예에서 클램핑 유닛(110)은 필름밀착유닛(116)을 더 포함한다.

필름밀착유닛(116)은 필름밀착본체(116a)와, 필름밀착동력부(116b)를 포함한다.

필름밀착유닛(116)은 필름의 중앙부를 가압하여 필름을 척킹 트레이(200) 상부에 필름이 밀착되게 한다. 필름밀착본체(116a)는 필름의 중앙부가 골고루 힘을 받아 필름의 전면적에 왜곡이 발생하지 않도록 'Ⅱ'형상으로 마련되며, 필름홀더(111a)의 하부에 설치되어 필름이 필름홀더(111a)에 파지된 후 필름을 상부로 가압하여 필름이 척킹 트레이(200)에 밀착되도록 하여준다. 이 때, 필름밀착동력부(116b)는 필름밀착본체(116a)를 상부로 이동시키는 동력을 제공한다. 본 실시예에서는, 필름밀착동력부(116b)로 공압실린더를 사용하였으나 이와 유사한 다른 동력 공급 수단이 사용될 수도 있다.

이러한 구성을 갖는 클램핑 유닛(110)의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.

도 7에 도시된 바와 같이, 텐션본체(221)의 저면부에 상부푸셔(112)가 수직방향으로 힘을 가하면 가압부재(222)에 압력이 작용하고, 텐션유닛(220)이 회동하여 트레이본체(201)와 수평을 이루게된다. 다음으로, 클램프본체(211)의 상단부에 하부푸셔(114)가 수직방향으로 힘을 가하면 클램프본체 회전축(211a)을 중심으로 회전력이 발생하여 클램핑유닛(210)이 텐션유닛(220)에 상대회동하면서 필름클램프(212)가 텐션본체(221)에서 분리되며 필름이 클램핑되는 부분이 열린 상태가 된다.

이 때 필름밀착유닛(116)에 의하여 필름홀더(111a)에 파지되어 있는 필름을 상부로 가압하면, 필름이 트레이본체(201)의 중앙 영역에 밀착되면서 필름의 가장자리가 필름클램프(212)와 텐션본체(221)의 열린 부분에 위치하게 된다.

이 상태에서 필름을 클램핑하기 위하여, 먼저 하부푸셔(114)가 원위치 되면서 수직방향의 힘을 제거하면 클램핑유닛(210)의 탄성부재(213)에 의하여 회전력이 발생하고, 이에 의하여 필름클램프(212)와 텐션본체(221)가 다시 닫힌 상태가 되고 필름클램프(212)와 텐션본체(221) 사이에 필름이 클램핑된다.

다음으로, 필름이 클램핑된 상태에서 상부푸셔(112)를 원위치 시켜 수직방향의 힘을 제거하면 텐션유닛(220)의 가압부재(222)에 의하여 회전력이 발생하고, 이에 의하여 텐션본체(221)가 트레이본체(201)의 저면부에 밀착되면서 필름이 텐션된다.

이상 설명한 바와 같은 클램핑 유닛(110)을 역으로 작동시키면 필름을 척킹 트레이(200)로부터 언클램핑시킬 수 있다. 따라서 언클램핑 유닛(140)은 클램핑 유닛(110)과 동일한 구성을 가지며, 작동방법은 클램핑 유닛(110)의 클램핑 동작을 역으로 작동시켜 필름을 척킹 트레이(200)로부터 분리한다. 그러므로 이하에서는 언클램핑 유닛(140)의 설명을 생략하기로 한다.

도 9는 도 1의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템의 검사 유닛의 사시도이고, 도 10은 도 9의 검사 유닛에 척킹 트레이를 장착한 경우의 사시도이며, 도 11은 도 9의 검사부와 Y축 LM가이드의 분해 사시도이고, 도 12는 도 9의 검사부를 확대한 사시도이다.

이들 도면과 도 1을 참조하여 살펴보면, 검사 유닛(120)은 검사유닛본체(121)와, 필름 표면에 이물이나 왜곡이 있는 지 검사하는 검사부(124)를 포함한다.

검사유닛본체(121)는 척킹 트레이(200)를 파지하는 척킹트레이 파지부(121a)와, 척킹트레이 파지부(121a)의 하방에 마련되어 검사부(124)가 X축 방향으로 이동할 수 있도록 이동축이 되는 X축 LM가이드(122)와, 척킹트레이 파지부(121a)의 하방에 마련되어 검사부(124)가 Y축 방향으로 이동할 수 있도록 이동축이 되는 Y축 LM가이드(123)를 포함한다.

척킹트레이 파지부(121a)는 사각 형상의 모서리에 단층이 형성되어 있어 척킹 트레이(200)가 안착될 수 있도록 한다.

X축 LM가이드(122)는 척킹트레이 파지부(121a)의 하방에 척킹 트레이(200)의 장축의 길이방향으로 마련되고, X축 LM가이드(122)의 위아래에는 이탈방지 돌기부(122a)가 마련되어 Y축 LM가이드(123)의 양 단부가 X축 LM가이드(122)와 맞닿아 결합함으로써, Y축 LM가이드(123)가 척킹 트레이(200)의 장축의 길이방향으로 움직일 수 있게 한다.

Y축 LM가이드(123)는 척킹트레이 파지부(121a)의 하방에 척킹 트레이(200)의 단축의 길이방향으로 마련되고, 그 전면부에는 돌출부(123a)가 마련되어 검사부(124)가 그 돌출부(123a)에 물림 결합됨으로써, 검사부(124)가 Y축 LM가이드(123) 상에서 척킹 트레이(200)의 단축의 길이방향으로 움직일 수 있게 한다.

검사부(124)는 Y축 LM가이드(123)와 물림 결합되어 있으므로 Y축 LM가이드(123)가 X축 LM가이드(122)를 따라 척킹 트레이(200)의 장축의 길이방향으로 이동하는 경우 검사부(124)도 함께 이동하게 된다.

검사부(124)는 척킹 트레이(200)가 안착된 후 필름 표면을 스캔하여 이물을 검사하는 라인 스캔 카메라(124a)와, 라인 스캔 카메라(124a)의 양쪽에 마련되어 라인 스캔 카메라(124a)가 정밀하게 필름을 스캔할 수 있도록 조명하는 조명유닛(124b)과, 라인 스캔 카메라(124a)로 측정된 이물이 있는 곳의 좌표에 실제로 이물이 있는 지 확인하는 리뷰 캠유닛(124d)과, 검사부(124)가 X축 LM가이드(122)를 따라 이동할 때 필름 주름 높이 차의 변위를 측정하는 레이저 변위센서(124c)를 포함한다.

라인 스캔 카메라(124a)는 검사부(124)의 중앙에 위치하여 검사부(124)가 X축 LM가이드(122)와 Y축 LM가이드(123)를 따라 이동할 때 척킹 트레이(200)에 장착된 필름의 표면을 스캔하여 이물이 있는 지 검사한다.

조명유닛(124b)은 LED 조명을 장착하여, 라인 스캔 카메라(124a)가 필름을 스캔할 때 필름에 조명을 비추어 스캔이 잘 되도록 보조한다.

리뷰 캠유닛(124d)은 라인 스캔 카메라(124a)의 인근에 장착되어, 라인 스캔 카메라(124a)로 스캔과 이동을 반복하여 필름 전면을 검사한 후 필름에 이물이 있다고 판단된 곳의 좌표를 입력받아 실제 이물이 있는 지 확인한다.

레이저 변위센서(124c)는 라인 스캔 카메라(124a)와 같은 축 상에 장착되며, 라인 스캔 카메라(124a)의 전단에 위치하여 X축 라이너의 길이방향으로 이동할 때 필름의 주름 높이 차의 변위를 측정한다.

이와 같이 검사 유닛은 척킹 트레이(200)의 하방에서 도너 필름을 검사하여 이물이나 왜곡이 있는 경우에 불량 판정을 내리고, 이상이 없는 경우 공정을 진행한다.

도 14는 도 1의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템의 업다운 리프터와 트레이 로더의 사시도이다.

도 1 및 도 14를 참조하여 살펴보면, 업다운 리프터(130)는 검사 유닛(120) 다음에 위치하고, 업다운 리프터 본체(131)와, 리프트유닛(132)을 포함한다. 리프트유닛(132)은 상하 이동이 가능하도록 마련된다.

업다운 리프터(130)는 검사 유닛(120)에 의해 검사 후 양호한 것으로 판정된 도너 필름이 클램핑된 척킹 트레이(200)를 롤러 콘베이어(roller conveyor)에 의해 트레이 로더(190)로 이송시키고, 불량으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이(200)를 리프트유닛(132)에 의하여 하강시킨다. 하강된 척킹 트레이(200)는 롤러 콘베이어(roller conveyor)에 의하여 언클램핑 유닛(140)으로 이동된다.

언클램핑 유닛(140)의 구성은 상기 설명한 바와 같으며, 언클램핑 유닛(140)은 검사 후 불량으로 판정된 도너 필름을 폐기하기 위하여 도너 필름을 척킹 트레이(200)로부터 언클램핑한다. 도너 필름이 제거된 척킹 트레이(200)는 회수라인(145)의 롤러 콘베이어(roller conveyor)에 의하여 다이버 리프터(180)로 이동된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템(100)은, 클램핑 유닛(110)과 검사 유닛(120) 사이에 배치되어 도너 필름을 세정하기 위한 세정 유닛(150)을 더 포함한다. 이오나이저(ionizer)는 정전기를 제거하기 위하여 사용되며 이오나이저에 이격 배치되는 블로우어(blower)는 이물을 제거하기 위하여 사용된다. 본 실시예에서 세정 유닛(150)은 이오나이저(ionizer)와 블로우어(blower)를 포함하는 건식 세정방법을 사용하나, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없으며 도너 필름을 세정하기 위하여 다른 방식의 세정 장치가 배치될 수 있다.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템(100)은, 도너 필름이 공급되는 필름 매거진(165), 필름을 클램핑 유닛(110)으로 이동시켜주는 필름 트랜스퍼(160), 척킹 트레이(200)가 공급되는 트레이 카세트(170), 트레이 카세트(170)와 클램핑 유닛(110) 사이에 배치되어 척킹 트레이(200)를 이송시키는 다이버 리프터(180), 검사 유닛(120)에 의한 검사 후 양호한 것으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이(200)가 업다운 리프터(130)에 의하여 이송되는 트레이 로더(190)를 더 포함한다.

필름 매거진(165)은 도너 필름의 크기에 맞게 사각의 형상으로 마련되며, 필름을 쌓아놓은 저장 장소로서 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템(100)에 필름을 제공한다.

도 13을 참조하여 살펴보면, 필름 트랜스퍼(160)는 필름 트랜스퍼 본체(161)와, 필름 트랜스퍼 LM가이드(162)와, 이동본체(163)를 포함한다. 필름 트랜스퍼 본체(161)는 필름 트랜스퍼(160)를 지지하고, 필름 트랜스퍼 본체(161)에는 필름 트랜스퍼 LM가이드(162)가 마련된다.

필름 트랜스퍼 LM가이드(162)는 필름이 클램핑 유닛(110)까지 이송될 수 있도록 긴 사각기둥의 형상으로 마련되며, 그 전면부에는 돌출 결합부(162a)가 마련된다. 돌출 결합부(162a)는 이동본체(163)가 맞물림 결합되어 필름 트랜스퍼 LM가이드(162)의 길이방향으로 이동할 수 있게 한다.

이동본체(163)는 상하 운동이 가능하도록 마련되어 필름 트랜스퍼 LM가이드(162)에 맞물림 결합되며, 그 하단부에는 다수의 필름흡착부(163a)이 마련된다. 필름흡착부(163a)은 그 단부에서 공기를 빨아들이는 작동을 하게 됨으로써 필름 매거진(165)의 필름에 밀착된 후 진공상태를 형성함으로써 공기압의 차이에 의하여 한 장의 필름을 들어올릴 수 있다. 필름흡착부(163a)에 의하여 흡착된 도너 필름은 이동본체의 상향 운동에 의하여 들어올려진 뒤 필름 트랜스퍼 LM가이드(162)를 따라 클램핑 유닛(110)으로 이송되게 된다. 클램핑 유닛(110)상에 이송된 필름은 다시 공기압을 제거함으로써 클램핑 유닛(110)의 필름홀더(111a)에 안착된다.

트레이 카세트(170)는 사각기둥의 형상으로 마련되어 척킹 트레이(200)를 담아두는 저장소의 역할을 한다.

다이버 리프터(180)는 상하 이동이 가능하도록 마련되고, 그 가장자리에는 롤러 콘베이어(roller conveyor)가 마련된다. 다이버 리프터(180)는 한쪽 방향으로 트레이 카세트(170)와 연결되고, 다른 방향으로는 클램핑 유닛(110)과 연결되어 트레이 카세트(170)로부터 척킹 트레이(200)를 공급받아 클램핑 유닛(110)으로 이송시키는 역할을 한다.

트레이 로더(190)는 양호한 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이(200)가 이송되어 파지되는 곳으로서 다음 공정으로 이동되기 위한 대기 공간을 제공한다.

이러한 구성을 갖는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템(100)의 작동방법에 대해 설명하면 다음과 같다.

먼저 도너 필름은 필름 매거진(165)으로부터 공급되어 필름 트랜스퍼(160)에 의하여 클램핑 유닛(110)으로 이동 후에 클램핑 유닛(110)의 필름홀더(111a)에 장착된다.

척킹 트레이(200)는 트레이 카세트(170)로부터 공급되어 다이버 리프터(180)로 이동하고, 다이버 리프터(180)는 척킹 트레이(200)를 클램핑 유닛(110)으로 이동시킨다. 클램핑 유닛(110)으로 이동된 척킹 트레이(200)는 클램핑 유닛(110)의 트레이홀더(111b)에 장착된 후 클램핑 유닛(110)의 작용에 의하여 척킹 트레이(200)에 도너 필름이 클램핑된다. 도너 필름이 클램핑된 척킹 트레이(200)는 세정 유닛(150)을 통과하면서 이오나이저와 블로우어에 의하여 세정이 이루어지게 되고, 세정 후 검사 유닛(120)에 의하여 검사가 수행된다. 검사 유닛(120)은 도너 필름에 이물이 있는지, 도너 필름에 주름이나 왜곡이 있는지, 그리고 도너 필름이 적절하게 텐션되었는지를 검사하여 양호한 상태로 판정난 경우에는 업다운 리프터(130)의 롤러 콘베이어(roller conveyor)를 통해 척킹 트레이(200)를 트레이 로더(190)로 이동시킨다. 트레이 로더(190)로 이동된 척킹 트레이(200)는 다음 공정 영역, 예를 들어 증착 공정 챔버로 인입된다.

이와 달리 검사 유닛(120)에 의하여 불량으로 판정난 척킹 트레이(200)는 업다운 리프터(130)에서 하강 이동된 후 언클램핑 유닛(140)으로 이송되어 도너 필름이 척킹 트레이(200)로부터 언클램핑되어 회수되고, 척킹 트레이(200)는 회수라인(145)의 롤러 콘베이어에 의하여 다이버 리프터(180)로 공급되어지며, 다이버 리프터(180)는 상승 이동하여 클램핑 유닛(110)으로 척킹 트레이(200)를 재공급한다.

한편, 양품으로 판정되어 다음 공정, 증착 공정 및 전사 공정으로 이동하여 공정이 완료된 척킹 트레이(200)의 경우, 공정을 마친 척킹 트레이(200)가 다이버 리프터(180)로 이송되고, 다이버 리프터(180)가 하강 이동한 후 회수라인(145)의 롤러 콘베이어에 의하여 척킹 트레이(200)를 언클램핑 유닛(140)으로 이송하여 도너 필름을 언클램핑하며, 롤러 컨베이어가 역회전하여 척킹 트레이(200)가 다시 다이버 리프터(180)로 이송되고, 다이버 리프터(180)가 상승 이동하여 척킹 트레이(200)를 클램핑 유닛(110)으로 공급해 준다.

이와 같이, 본 발명의 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템(100)에 의하면, 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 도너 필름이 증착 챔버 등에 원활히 공급될 수 있도록 하여 유기전계발광표시장치를 양산할 수 있는 자동화 또는 반자동화 시스템을 구축할 수 있다.

본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100 : 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템
110 : 클램핑 유닛 111 : 장치본체
111a : 필름홀더 111b : 트레이홀더
112 : 상부푸셔 113 : 상부푸셔동력부
114 : 하부푸셔 115 : 하부푸셔동력부
116 : 필름밀착유닛 116a : 필름밀착본체
116b : 필름밀착동력부 120 : 검사 유닛
121 : 검사유닛본체 121a : 척킹트레이 파지부
122 : X축 LM가이드 122a : 이탈방지 돌기부
123 : Y축 LM가이드 123a : 돌출부
124 : 검사부 124a : 라인 스캔 카메라
124b : 조명유닛 124c : 레이저 변위센서
124d : 리뷰 캠유닛 130 : 업다운 리프터
140 : 언클램핑 유닛 145 : 회수라인
150 : 세정 유닛 160 : 필름 트랜스퍼
161 : 필름 트랜스퍼 본체 162 : 필름 트랜스퍼 LM가이드
162a : 돌출 결합부 163 : 이동본체
163a : 필름흡착부 165 : 필름 매거진
170 : 트레이 카세트 180 : 다이버 리프터
190 : 트레이 로더
200 : 척킹 트레이 201 : 트레이본체
202 : 중앙 수용부 203 : 상부푸셔삽입공
210 : 클램프유닛 211 : 클램프본체
211a : 클램프본체 회전축 212 : 필름클램프
212a : 나사삽입홈 212b : 경사면
212c : 우레탄 코팅 213 : 탄성부재
220 : 텐션유닛 221 : 텐션본체
222 : 가압부재 223 : 텐션유닛 회전축

Claims (14)

1. 척킹 트레이에 도너 필름을 클랭핑하기 위한 클램핑 유닛;
   상기 클램핑 유닛에 인접하게 배치되어 도너 필름의 양호 및 불량 여부를 검사하기 위한 검사 유닛;
   상기 검사 유닛에 의한 검사 후 양호한 것으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이를 이송시키고 불량으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이를 하강시키는 업다운 리프터; 및
   상기 검사 유닛에 의한 검사 후 불량으로 판정된 도너 필름을 척킹 트레이로부터 언클램핑하기 위한 언클램핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
2. 제1항에 있어서,
   상기 클램핑 유닛과 상기 검사 유닛 사이에 배치되어 도너 필름을 세정하기 위한 세정 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
3. 제2항에 있어서,
   상기 세정 유닛은,
   정전기를 제거하기 위한 이오나이저(ionizer); 및
   상기 이오나이저에 이격 배치되는 블로우어(blower)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
4. 제1항에 있어서,
   도너 필름이 공급되는 필름 매거진;
   필름을 클램핑 유닛으로 이동시켜주는 필름 트랜스퍼;
   척킹 트레이가 공급되는 트레이 카세트; 및
   매거진 유닛과 클램핑 유닛 사이에 배치되어 척킹 트레이를 이송시키는 다이버 리프터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
5. 제4항에 있어서,
   상기 필름 트랜스퍼는,
   필름 트랜스퍼를 지지하는 필름 트랜스퍼 본체;
   필름 표면을 진공으로 흡착하여 필름을 이송시키는 이동본체; 및
   상기 이동본체가 필름을 상기 클램핑 유닛으로 이송시킬 수 있도록 이동축이 되는 필름 트랜스퍼 LM가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
6. 제1항에 있어서,
   상기 검사 유닛에 의한 검사 후 양호한 것으로 판정된 도너 필름이 척킹된 척킹 트레이가 상기 업다운 리프터를 통해 이송되는 트레이 로더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
7. 제1항에 있어서,
   상기 클램핑 유닛은,
   필름을 척킹하기 위한 척킹 트레이를 지지하는 장치본체;
   척킹 트레이의 하부에서 척킹 트레이의 텐션유닛을 가압하는 하부푸셔;
   상기 하부푸셔에 동력을 제공하는 하부푸셔동력부;
   척킹 트레이의 상부에서 척킹 트레이의 클램핑유닛을 가압하는 상부푸셔; 및
   상기 상부푸셔에 동력을 제공하는 상부푸셔동력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
8. 제7항에 있어서,
   상기 하부푸셔동력부와 상기 상부푸셔동력부는 공압실린더로 마련되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
9. 제7항에 있어서,
   상기 장치본체는,
   필름을 파지하는 필름 홀더; 및
   척킹 트레이를 파지하는 트레이 홀더를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
10. 제7항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은 필름을 척킹 트레이에 밀착시켜주는 필름밀착유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
11. 제1항에 있어서,
    상기 검사 유닛은,
    검사유닛본체; 및
    필름 표면에 이물이나 왜곡이 있는 지 검사하는 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
12. 제11항에 있어서,
    상기 검사유닛본체는,
    척킹 트레이를 파지하는 척킹트레이 파지부;
    상기 척킹트레이 파지부의 하방에 마련되어 상기 검사부가 X축 방향으로 이동할 수 있도록 이동축이 되는 X축 LM가이드; 및
    상기 척킹트레이 파지부의 하방에 마련되어 상기 검사부가 Y축 방향으로 이동할 수 있도록 이동축이 되는 Y축 LM가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
13. 제11항에 있어서,
    상기 검사부는,
    척킹 트레이 안착 후 필름 표면을 스캔하여 이물을 검사하는 라인 스캔 카메라; 및
    상기 라인 스캔 카메라로 측정된 이물이 있는 곳의 좌표에 이물이 있는 지 확인하는 리뷰 캠유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
14. 제11항에 있어서,
    상기 검사부는,
    상기 검사부가 상기 X축 LM가이드를 따라 이동할 때 필름 주름 높이 차의 변위를 측정하는 레이저 변위센서; 및
    상기 라인 스캔 카메라의 양쪽에 마련되어 상기 라인 스캔 카메라가 필름을 스캔할 수 있도록 조명해주는 조명유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 도너 공급시스템.
    

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