KR20110125545A - 금속증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 금속증착장치(100)는, 박스 형상의 증착챔버(110)와, 상기 증착챔버(110)의 하방에서 지지기능을 하는 레그(117)와, 상기 증착챔버(110)의 내부에서 피증착판(P)을 이송시키도록 롤러(135)가 장착된 구동부(130)가 구성되고, 상기 증착챔버(110)의 상부에 캐소드(120)가 장착되도록 형성된 통공(115)과, 상기 증착챔버(110)의 일측에 상기 피증착판(P)이 인입되는 슬롯인 입구(111)와, 상기 증착챔버(110)의 상대측에 상기 피증착판(P)이 배출되는 슬롯인 출구(113)와, 상기 증착챔버(110)의 상부에 장착되어 상기 통공(115)을 통해 내측 하방을 향하는 캐소드(120)로 구성되는 금속증착장치(100)에 있어서; 상기 구동부(130)는 롤러(135)가 스텝모터에 의해 정역으로 회전하도록 구성되고, 상기 롤러(135)에 로딩되고 상기 피증착판(P)이 수용되는 관통구(153)가 형성된 마스크(150)와, 상기 증착챔버(110)의 하방을 관통하여 상하 이송되는 로드(141)가 구성되어 상기 피증착판(P)을 상하 이송시키는 업다운유니트(140)로 구성됨으로써, 단일 개의 마스크(150)를 다수의 피증착판(P)에 사용함으로써, 피증착판(P)마다 캐리어를 구비해야 하는 번거로움이 없을 뿐만 아니라, 고가의 캐리어를 구비하는 자재비를 절감할 수 있는 효과가 있다. 또한, 캐리어가 필요 없기 때문에 캐리어에 도포된 금속 박막을 일일이 제거할 필요가 없으므로, 시간과 인력이 절감되어 생산성이 상향되며, 캐리어를 다시 리턴시키는 이송장치를 필요로 하지 않기 때문에 장치의 제작단가가 저렴해지는 효과도 있다.

Description

금속증착장치{Deposite apparatus of metal}
본 발명은 금속증착장치에 관한 것으로서, 더욱 상세히는 캐리어 없이 피증착판만 이송되도록 하여 금속이 증착되도록 구성한, 금속증착장치에 관한 것이다.
이하, 첨부되는 도면과 관련하여 종래기술을 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 종래의 기술에 의한 금속증착장치를 도시한 단면도, 도 2는 종래의 금속증착장치에 로딩되는 캐리어에 피증착판이 수용되는 과정을 도시한 단면도로서 함께 설명한다.
금속증착장치(1)는 글라스 등의 판 형상의 피증착판(P)에 플라즈마를 조사(照射)하여 금속이 증착되도록 하는 기계로서, 다음과 같이 구성된다.
박스 형상의 증착챔버(10)가 구성되고, 상기 증착챔버(10)를 받치는 레그(20)가 구성되며, 상기 증착챔버(10)의 상부에는 캐소드(30)가 장착되어 증착챔버(10) 내측으로 관통되어 하방을 향하도록 구성된다. 그리고, 상기 증착챔버(10)에서 피증착판(P)이 투입되는 일측에는 상기 피증착판(P)이 인입되는 슬롯인 입구(11)가 형성되고, 피증착판(P)이 배출되는 상대측에는 상기 피증착판(P)이 배출되는 슬롯인 출구(13)가 형성된다. 그리고, 상기 증착챔버(10)의 내측에는 상기 피증착판(P)이 이송되는 방향으로 회동하도록 구동롤러(40)가 양측에 일렬로 장착되어 구성되며, 상기 구동롤러(40)는 모터(미도시)에 연계되어 자발로 회전이 가능하도록 구성된다. 또한, 상기 구동롤러(40)에 로딩되어 이송되는 캐리어(50)가 구성된다. 상기 캐리어(50)는 판 형상으로서 상하로 관통되는 관통구(53)가 형성되고, 상기 관통구(53)의 하단에는 내측으로 돌출되는 단(55)이 형성되어 상기 피증착판(P)을 받치도록 구성된다.
상기 구성에 의한 종래기술의 작동을 살펴보면 다음과 같다.
상기 증착챔버(10)의 주위는 진공상태가 되도록 하여 금속증착이 가능하도록 한다.
그리고, 상기 캐리어(50)의 관통구(53)에 피증착판(P)을 수용한 후, 증착챔버(10)의 입구(11)로 진입하도록 한다. 이때, 증착챔버(10)에 장착된 구동롤러(40)가 회전하도록 하여 캐리어(50)가 캐소드(30)의 하방에 위치하면, 상기 구동롤러(40)를 멈추고, 캐소드(30)를 통해 피증착판(P)에 금속이 증착되어 금속 박막이 형성되도록 한다. 금속 박막의 형성이 완료되면, 상기 구동롤러(40)를 작동시켜서 출구(13)를 통해 배출되도록 한다.
이러한 일련의 과정을 통해 피증착판(P)의 금속증착 공정이 완료된다.
상기 종래기술에 의하면 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 공급되는 피증착판마다 캐리어를 필요로 함으로써, 다수의 캐리어를 구비해야 하는 번거로움과 자재비가 많이 소요되는 문제점이 있었다. 특히, 상기 다수의 캐리어는 모두 일정한 치수로 제작되어야 하기에 정밀성을 필요로 하고, 내식성을 구비해야 하므로 제작이 까다롭고 고가인 문제점이 있었다.
둘째, 다수의 캐리어가 금속 증착물로 오염되기 때문에 주기적으로 세정해야 하는 번거로움이 있었다. 즉, 다수의 캐리어에 코팅된 금속 박막을 제거하기 위해 다수의 인력과 시간을 필요로 하게 되어 생산성이 떨어지는 문제점이 있었다.
세째, 상기 캐리어로부터 피증착판을 이탈시킨 후, 다시 리턴시켜야 하는 이송장치를 필요로 함으로써, 장치의 제작단가가 비싸지는 문제점이 있었다.
본 발명에 의한 금속증착장치는, 박스 형상의 증착챔버와, 상기 증착챔버의 하방에서 지지기능을 하는 레그와, 상기 증착챔버의 내부에서 피증착판을 이송시키도록 롤러가 장착된 구동부가 구성되고, 상기 증착챔버의 상부에 캐소드가 장착되도록 형성된 통공과, 상기 증착챔버의 일측에 상기 피증착판이 인입되는 슬롯인 입구와, 상기 증착챔버의 상대측에 상기 피증착판이 배출되는 슬롯인 출구와, 상기 증착챔버의 상부에 장착되어 상기 통공을 통해 내측 하방을 향하는 캐소드로 구성되는 금속증착장치에 있어서; 상기 구동부는 롤러가 스텝모터에 의해 정역으로 회전하도록 구성되고, 상기 롤러에 로딩되고 상기 피증착판이 수용되는 관통구가 형성된 마스크와, 상기 증착챔버의 하방을 관통하여 상하 이송되는 로드가 구성되어 상기 피증착판을 상하 이송시키는 업다운유니트로 구성된다.
또한, 상기 증착챔버의 내측 전방에 피증착판이 정위치에서 멈추도록 하는 포지셔너가 구성되고, 상기 포지셔너는, 로드가 상하 왕복하는 구동체와, 상기 로드의 상단에 부착된 리미트스위치로 구성된다.
또한, 상기 업다운유니트는는 증착챔버의 하방에 위치하는 기어박스와, 상기 기어박스에 장착되어 상하 구동되는 랙기어와, 상기 랙기어의 상단에 고정되어 증착챔버의 바닥을 관통하여 마스크를 받치는 로드로 구성된다.
본 발명에 의한 금속증착장치에 의하면, 단일 개의 마스크를 다수의 피증착판에 사용함으로써, 피증착판마다 캐리어를 구비해야 하는 번거로움이 없을 뿐만 아니라, 고가의 캐리어를 구비하기 위해 소요되는 자재비를 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 캐리어가 필요 없기 때문에 캐리어에 도포된 금속 박막을 일일이 제거할 필요가 없으므로, 시간과 인력이 절감되어 생산성이 향상되며, 캐리어를 다시 리턴시키는 이송장치를 필요로 하지 않기 때문에 장치의 제작단가가 저렴해지는 효과가 있다.
도 1은 종래의 기술에 의한 금속증착장치를 도시한 단면도.
도 2는 종래의 금속증착장치에 로딩되는 캐리어에 피증착판이 수용되는 과정을 도시한 단면도.
도 3은 본 발명에 의한 금속증착장치를 상부에서 본 것을 도시한 평단면도.
도 4는 도 3에서 C-C'선을 따라 취한 단면도로서 마스크가 상향 된 것을 도시한 단면도.
도 5는 도 4의 상태에서 피증착판이 증착챔버 내측으로 이송되어 마스크 하방에 위치하는 과정을 도시한 단면도.
도 6은 도 5의 상태에서 피증착판이 이송되어 포지셔너의 리미트 스위치를 작동시키는 과정을 도시한 단면도.
도 7은 본 발명에 의한 금속증착장치에 구성되는 포지셔너의 작동례를 도시한 것으로서 피증착판의 진입에 의해 리미트스위치가 작동되어 에어실린더의 로드가 하강하여 리미트스위치가 피증착판 하부로 하강하는 예를 도시한 예시도.
도 8은 본 발명에 의한 금속증착장치로서 마스크의 관통구에 금속증착판이 수용된 상태에서 왕복 이송하며 금속이 증착되는 상태를 도시한 단면도.
도 9는 본 발명에 의한 금속증착장치로서 피증착판에 금속 증착이 완료된 후, 마스크는 상승하고, 피증착판은 출구를 통해 배출되는 과정을 도시한 단면도.
이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 구성과 작동례를 살펴보면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 의한 금속증착장치를 상부에서 본 것을 도시한 평단면도, 도 4는 도 3에서 C-C'선을 따라 취한 단면도로서 마스크가 상향 된 것을 도시한 단면도, 도 5는 도 4의 상태에서 피증착판이 증착챔버 내측으로 이송되어 마스크 하방에 위치하는 과정을 도시한 단면도, 도 6은 도 5의 상태에서 피증착판이 이송되어 포지셔너의 리미트 스위치를 작동시키는 과정을 도시한 단면도, 도 7은 본 발명에 의한 금속증착장치에 구성되는 포지셔너의 작동례를 도시한 것으로서 피증착판의 진입에 의해 리미트스위치가 작동되어 에어실린더의 로드가 하강하여 리미트스위치가 피증착판 하부로 하강하는 예를 도시한 예시도, 도 8은 본 발명에 의한 금속증착장치로서 마스크의 관통구에 금속증착판이 수용된 상태에서 왕복 이송하며 금속이 증착되는 상태를 도시한 단면도, 도 9는 본 발명에 의한 금속증착장치로서 피증착판에 금속 증착이 완료된 후, 마스크는 상승하고, 피증착판은 출구를 통해 배출되는 과정을 도시한 단면도로서 함께 설명한다.
일반적으로 금속증착장치(100)는 글라스 등의 판 형상의 피증착판(P)에 플라즈마를 조사(照射)하여 금속이 증착되도록 하는 기계로서, 박스 형상의 증착챔버(110)가 구성되고, 상기 증착챔버(110)의 하방에 지지기능을 하는 레그(117)가 구성된다. 그리고 상기 증착챔버(110)의 내부에는 피증착판(P)을 이송시키는 롤러(135)가 장착된 구동부(130)가 구성된다.
상기 증착챔버(110)의 상부에는 후술하는 캐소드(120)가 장착되도록 통공(115)이 형성되고, 피증착판(P)이 투입되는 일측에는 상기 피증착판(P)이 인입되는 슬롯인 입구(111)가 형성되고, 피증착판(P)이 배출되는 상대측에는 상기 피증착판(P)이 배출되는 슬롯인 출구(113)가 형성된다. 또한, 상기 증착챔버(110)의 상부에 장착되어 상기 통공(115)을 통해 내측 하방을 향하는 캐소드(120)가 구성된다.
본 발명에서는 상기 증착챔버(110) 내부에서 상하 이송하는 마스크(150)가 구성됨으로써, 캐리어(미도시) 없이 피증착판(P)만 이송되도록 구성한 것을 특징으로 한다.
이를 위하여 본 발명에서는 다음과 같이 구성한다.
상기 구동부(130)는 스텝모터(미도시)에 의해 롤러(135)가 정역방향으로 제어되도록 구성된 것으로서 보다 상세한 일실시예를 살펴보면, 상기 증착챔버(110) 내측에 피증착판(P)의 진행 방향에 직각이 되도록 지지되어 나열된 샤프트(131)가 구성되고, 상기 샤프트(131)에, 상기 마스크(150)가 로딩되고 피증착판(P)이 로딩되도록 상기 롤러(135)가 배열되어 구성된다. 상기 샤프트(131)는 일례로 증착챔버(110)의 바닥면에 고정된 유니트 베어링과 같은 지지구(133)에 의해 지지될 수 있다. 그리고 상기 샤프트(131)에는 벨트풀리(136) 내지는 스프로킷(미도시)이 장착되고 벨트(미도시) 또는 체인(미도시)에 의해 연동되어 작동되고, 스텝모터(미도시)에 의해 정역으로 회전하도록 구성된다.
또한, 상기 증착챔버(110)의 하방을 관통하여 상하 이송되는 로드(141)가 구성되어 상기 피증착판(P)을 상하 이송시키는 업다운유니트(140)가 구성된다.
상기 업다운유니트는(140)는 일실시예로서 증착챔버(110)의 하방에 위치하는 기어박스(142)와, 상기 기어박스(142)에 장착되어 상하 구동되는 랙기어(143)와, 상기 랙기어(143)의 상단에 고정되어 증착챔버(110)의 바닥을 관통하는 로드(141)로 구성된다.
상기 기어박스(142)는 일례로 상기 레그(117)에 고정된 판 형상의 지지대(118)에 의해 받쳐질 수 있다.
상기 기어박스(142)는 후방(입구(111) 쪽)에 2개, 전방에 2개 배치하여 마스크(150)의 네 모퉁이 하방에 위치하도록 한다. 그리고, 상기 후방의 기어박스(142)를 연동되도록 연결축(144)으로 연계시키고, 전방의 기어박스(142)도 연동되도록 연결축(144)으로 연계시킨다. 그리고 연결축(144) 사이에 메인기어박스(146)를 배치하고, 상기 메인기어박스(146)에서 연결축(144)으로 연장되는 메인샤프트(145)가 구성된다. 상기 메인샤프트(145)와 연결축(144)은 기어박스(G)에 의해 연동되도록 구성된다.
따라서, 상기 메인기어박스(146)를 회전시키면, 상기 연결축(144)이 회전하게 되어 각 로드(141)를 동시에 상하로 왕복동시킬 수 있다.
상기 마스크(150)가 정위치에 세팅되도록 하기 위해서는 일례로, 상기 마스크(150)를 감지하는 센서(미도시)가 증착챔버(110) 바닥면에 장착되도록 하여 상기 마스크(150)가 정위치에 오도록 할 수 있다. 즉, 마스크(150)의 하방에 어떤 표식이나 자석 내지는 홀 등의 인지수단(미도시)을 구성하고, 상기 구성들을 인지하는 센서가 증착챔버(110)의 바닥면에 부착되는데, 상기 센서가 인지수단을 감지했을 때는 마스크(150)가 정위치에 세팅되도록 인지수단과 센서의 위치를 조정함은 물론이다. 그리고, 중앙처리장치(미도시)가 상기 센서로부터 데이터를 받아서 상기 스텝모터(미도시)의 구동을 정지시킴으로써 마스크(150)의 위치가 세팅될 수 있도록 구성된다.
상기 마스크(150)는 판 형상이고 일측면에서 상대측면으로 관통되는 관통구(153)가 형성되어 피증착판(P)의 수용이 가능하도록 구성된다. 상기 관통구(153)는 피증착판(P) 보다 약 1mm 정도 크게 형성함이 바람직하다.
또한, 상기 피증착판(P)의 하면에는 상기 로드(141)의 상단이 끼워지는 홈(155)이 더 구성될 수도 있다. 상기 홈(155)은 상부에서 하부로 갈수록 확장되는 테이퍼 형상이 되도록 함으로써, 로드(141)의 상단이 홈(155)의 센터에서 어긋나더라도 로드(141)의 상단이 용이하게 홈(155)에 삽입되도록 한다.
상기, 로드(141)가 홈(155)에 삽입됨으로써, 마스크(150)는 정확한 지점에서 상하 이송하게 된다.
또한, 상기 로드(141)는 다른 실시예로서 에어실린더(미도시)에 의해서 상하 이송하도록 구성될 수도 있고, 솔레노이드(미도시)에 의해 상하 작동하도록 구성할 수도 있음은 물론이다.
본 발명은 상기 증착챔버(110)의 내측 전방에 피증착판(P)이 정위치에서 멈추도록 하는 포지셔너(160, positioner)가 더 구성될 수도 있다.
상기 포지셔너(160)는, 로드(163)가 상하 왕복하는 구동체(161)와 상기 로드(163)의 상단에 부착된 리미트스위치(169)로 구성된다. 상기 구동체(161)는 증착챔버(110)에 고정되어 구성되는데, 증착챔버(110)의 하면에 부착되어 로드(163)가 증착챔버(110)를 관통하여 상하방으로 왕복동하도록 구성한다.
상기 구동체(161)는 일례로서 에어실린더, 솔레노이드, 랙기어가 상하구동되는 기어박스 중 하나로 선택되어 사용될 수 있는데, 로드(163)가 상하 구동되는 것이면 가능하다.
상기 포지셔너(160)의 보다 상세한 실시예를 도 7을 통해 살펴보면 다음과 같다.
상기 구동체(161)가 증착챔버(110)의 하면에 부착되고, 로드(163)는 증착챔버(110)의 하면을 관통하여 돌출되고, 상기 로드(163)의 상단에는 레버(165)가 힌지연결되어 회동하도록 구성된다. 그리고 상기 레버는 증착챔버(110)의 내측 바닥면에 고정된 브래킷(167)에 힌지연결되어 구성된다. 또한, 상기 레버(165)에 리미트스위치(169)가 부착되어 구성된다.
따라서, 로드가(163)가 상향하면 상기 레버(165)가 회동하면서 로드(163)의 상향을 제한하여 정확한 위치에 리미트스위치(169)가 위치하도록 한다. 로드(163)가 하강할 때에는 레버(165)가 회동되면서 하강하게 된다.
본 발명은 상기 리미트스위치(169)의 온오프(ON-OFF)에 의해 스텝모터 및 구동체(161)의 작동이 제어되도록 구성된다. 즉, 피증착판(P)이 진입되어 상기 리미트스위치(169)를 온(ON)시키면, 상기 구동체(161)를 작동시켜서 로드(163)가 하강하도록 하며, 상기 스텝모터를 정지시켜서 피증착판(P)의 진입이 정지되도록 구성한다. 이때, 상기 피증착판(P)는 정위치에 배치되어 상기 마스크(150)의 관통구(153)와 일치되는 지점이 되도록 함은 물론이다.
상기 구성에 의한 본 발명의 작동례를 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 상기 구동부(130)에 의해 롤러(135)가 회전되도록 한다. 그리고, 업다운유니트(140)를 구동시켜 로드(141)가 상승하여 마스크(150)를 올린 상태가 된다. 또한, 포지셔너(160)를 구동시켜 로드(163)가 상향하여 리미트스위치(169)가 상승한 상태가 된다.
이 상태에서 입구(111)를 통해 피증착판(P)이 진입되면, 상기 롤러(135)에 의해 전진하게 된다. 이때, 상기 피증착판(P)이 리미트스위치(169)를 푸시하게 되면, 롤러(135)의 구동이 정지되고, 상기 리미트스위치(169)는 하강하게 된다. 이때, 피증착판(P)은 세팅위치에 로딩된 상태가 된다.
이 상태에서 상기 업다운유니트(140)를 작동시켜서 상기 마스크(150)가 하강하도록 하여 롤러(135) 위에 로딩되도록 한다. 그러면, 마스크(150)의 관통구(153)에 피증착판(P)이 수용된 상태가 된다.
이때, 상기 캐소드(120)에 전원을 인가하여 플라즈마가 조사되도록 하면, 금속이 피증착판(P)의 상면에 증착되어 금속 박막이 코팅되도록 하는데, 상기 롤러(135)가 다시 정역으로 회전하도록 함으로써, 피증착판(P)과 마스크(150)는 함께 전후진 왕복하게 된다. 따라서, 피증착판(P)의 상면에는 고르게 금속 증착이 된다. 만약, 상기 피증착판(P)이 위치가 고정된 상태에서 금속이 증착되도록 하면, 두께가 고르게 박막이 형성되지 않게 된다. 또한, 상기 마스크(150)는 피증착판(P)을 수용하여 피증착판(P)의 후면까지 증착되는 현상이 방지되도록 커버의 기능을 하게 된다. 물론, 피증착판(P)과 마스크(150)의 통공 사이에는 간격이 형성되지만, 약 1mm일 경우 플라즈마가 통과되지 않기 때문에 금속이 후면까지 증착되는 현상을 방지할 수 있다.
이렇게 박막 형성이 완성되고 나서, 상기 마스크(150)가 맨처음의 정위치에 오도록 하는데, 일례로 상기 센서(미도시)가 작동되도록 하여 마스크(150)의 인지수단(미도시)을 감지할 때까지 롤러(135)가 전후진하도록 한다. 그러면, 상기 마스크(150)가 전후진 하다가 상기 센서와 인지수단이 대응되면, 그 순간 상기 롤러(135)를 구동시키는 스텝모터의 작동이 중지되어 마스크(150)는 세팅 위치에 로딩된다.
이후에 상기 업다운유니트(140)를 작동시켜서 로드(141)가 상향하면서 상단이 마스크(150)의 홈(155)에 삽입되어 들어가면서 상방으로 들어올려진다.
그리고, 상기 롤러(135)를 구동시켜서 피증착판(P)이 출구로 배출되도록 한다. 그리고, 상기 리미트스위치(169)가 다시 상향하도록 한다.
상기 작동이 반복되면서 다수의 피증착판(P)의 금속 증착이 가능하게 된다.
상기 본 발명에 의하면, 단일 개의 마스크(150)를 다수의 피증착판(P)에 사용함으로써, 피증착판(P)마다 캐리어를 구비해야 하는 번거로움이 없을 뿐만 아니라, 고가의 캐리어를 구비하는 자재비를 절감할 수 있는 이점이 있다.
또한, 캐리어가 필요 없기 때문에 캐리어에 도포된 금속 박막을 일일이 제거할 필요가 없으므로, 시간과 인력이 절감되어 생산성이 상향되며, 캐리어를 다시 리턴시키는 이송장치를 필요로 하지 않기 때문에 장치의 제작단가가 저렴해지는 이점이 있다.
110: 증착챔버 111: 입구
113: 출구 115: 통공
130: 구동부 131: 샤프트
133: 지지구 135: 롤러
140: 업다운유니트 141: 로드
142: 기어박스 143: 랙기어
144: 연결축 145: 메인 샤프트
146: 메인 기어박스 150: 마스크
153: 관통구 155: 홈
160: 포지셔너 161: 구동체
163: 로드 165: 레버
167: 브래킷 169: 리미트스위치
P: 피증착판

Claims (3)

  1. 박스 형상의 증착챔버(110)와,
    상기 증착챔버(110)의 하방에서 지지기능을 하는 레그(117)와,
    상기 증착챔버(110)의 내부에서 피증착판(P)을 이송시키도록 롤러(135)가 장착된 구동부(130)가 구성되고,
    상기 증착챔버(110)의 상부에 캐소드(120)가 장착되도록 형성된 통공(115)과,
    상기 증착챔버(110)의 일측에 상기 피증착판(P)이 인입되는 슬롯인 입구(111)와,
    상기 증착챔버(110)의 상대측에 상기 피증착판(P)이 배출되는 슬롯인 출구(113)와,
    상기 증착챔버(110)의 상부에 장착되어 상기 통공(115)을 통해 내측 하방을 향하는 캐소드(120)로 구성되는 금속증착장치(100)에 있어서;
    상기 구동부(130)는 롤러(135)가 스텝모터에 의해 정역으로 회전하도록 구성되고,
    상기 롤러(135)에 로딩되고 상기 피증착판(P)이 수용되는 관통구(153)가 형성된 마스크(150)와,
    상기 증착챔버(110)의 하방을 관통하여 상하 이송되는 로드(141)가 구성되어 상기 피증착판(P)을 상하 이송시키는 업다운유니트(140)로 구성되는 것을 특징으로 하는 금속증착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 증착챔버(110)의 내측 전방에 피증착판(P)이 정위치에서 멈추도록 하는 포지셔너(160)가 구성되고,
    상기 포지셔너(160)는, 로드(163)가 상하 왕복하는 구동체(161)와,
    상기 로드(163)의 상단에 부착된 리미트스위치(169)로 구성되는 것을 특징으로 하는 금속증착장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 업다운유니트는(140)는 증착챔버(110)의 하방에 위치하는 기어박스(142)와,
    상기 기어박스(142)에 장착되어 상하 구동되는 랙기어(143)와,
    상기 랙기어(143)의 상단에 고정되어 증착챔버(110)의 바닥을 관통하여 마스크(150)를 받치는 로드(141)로 구성되는 것을 특징으로 하는 금속증착장치.
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