KR20110122322A - 평판 표시 소자 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 임프린트용 몰드와 기판의 분리 공정이 안정적으로 이루어지는 평판 표시 소자 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 방법은 기판의 외곽 영역에 형성되는 외곽박막패턴과, 외곽박막패턴과 인접되게 형성된 임프린트용 수지를 가지는 기판을 마련하는 단계와; 상기 기판 상부에 임프린트용 몰드를 정렬하는 단계와; 상기 외곽박막패턴을 통해 상기 임프린트용 수지가 상기 외곽 영역으로 이동하는 것을 차단하면서 상기 임프린트용 몰드와 상기 임프린트용 수지를 합착시켜 상기 기판 상에 박막 패턴을 형성하는 단계와; 상기 외곽 박막 패턴을 상기 기판과 상기 임프린트용 몰드의 분리 개시점으로 이용하여 상기 임프린트용 몰드를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

평판 표시 소자 및 그 제조 방법{FLAT DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}
본 발명은 평판 표시 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 임프린트용 몰드와 기판의 분리 공정이 안정적으로 이루어지는 평판 표시 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence) 표시 장치 등이 있다.
이러한 평판 표시 장치는 증착(코팅) 공정, 노광 공정, 현상 공정 및 식각 공정 등을 포함하는 마스크 공정에 의해 형성되는 다수의 박막으로 이루어진다. 그러나, 마스크 공정은 제조 공정이 복잡하여 제조 단가를 상승시키는 문제점이 있다. 이에 따라, 최근에는 임프린트용 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 박막을 형성할 수 있는 연구가 진행되고 있다.
이러한 패터닝 공정은 기판 상에 액상 수지를 도포한 후, 홈과 돌출부를 가지는 임프린트용 몰드와 액상 고분자 전구체가 접촉하게 되면, 임프린트용 몰드의 홈과 돌출부가 액상 고분자 전구체에 반전전사된 다음, 경화 공정을 통해 반전전사된 액상 고분자 전구체를 경화시킴으로써 기판 상에 원하는 박막 패턴이 형성되는 공정이다.
여기서, 임프린트용 몰드와 임프린트용 수지의 접촉시 가해지는 압력에 의해 임프린트용 몰드와 기판 간의 갭이 좁아진다. 이에 따라, 임프린트용 수지(6)는 도 1에 도시된 바와 같이 모세관 현상으로 인해 기판(4)의 끝단까지 퍼져나가 임프린트용 수지(6)가 기판(4)의 측면으로까지 넘치는 불량이 발생된다. 이 경우, 기판의 측면까지 형성된 임프린트용 수지(6)에 의해 임프린트용 몰드(2)와 기판(4) 사이로 분리 개시점(demolding seed)이 제대로 형성되지 않아 임프린트용 몰드(2)와 기판(4)의 분리 공정이 제대로 이루어지지 않는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 임프린트용 몰드와 기판의 분리 공정이 안정적으로 이루어지는 평판 표시 소자 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 소자는 기판 상에 임프린트용 수지를 임프린트용 몰드로 가압하여 형성되는 박막 패턴과; 상기 박막 패턴과 인접되도록 상기 기판 외곽 영역에 형성되어 상기 기판과 상기 임프린트용 몰드의 분리 개시점으로 이용되며, 상기 임프린트용 수지의 이동을 차단하는 외곽박막패턴을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 방법은 기판의 외곽 영역에 형성되는 외곽박막패턴과, 외곽박막패턴과 인접되게 형성된 임프린트용 수지를 가지는 기판을 마련하는 단계와; 상기 기판 상부에 임프린트용 몰드를 정렬하는 단계와; 상기 외곽박막패턴을 통해 상기 임프린트용 수지가 상기 외곽 영역으로 이동하는 것을 차단하면서 상기 임프린트용 몰드와 상기 임프린트용 수지를 합착시켜 상기 기판 상에 박막 패턴을 형성하는 단계와; 상기 외곽 박막 패턴을 상기 기판과 상기 임프린트용 몰드의 분리 개시점으로 이용하여 상기 임프린트용 몰드를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 기판의 외곽 영역에 형성된 외곽박막패턴에 의해 기판과 임프린트용 몰드의 합착시 임프린트용 수지의 이동을 차단함으로써 기판의 측면까지 임프린트용 수지가 퍼지는 것을 방지할 수 있어 기판 및 임프린트용 몰드 각각의 측면 오염을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 외곽박막패턴이 임프린트용 몰드와 합착되지 않으므로 임프린트용 수지와 임프린트용 몰드 간의 접착력이 종래보다 낮아지므로 본 발명의 외곽박막패턴은 기판과 임프린트용 몰드 간의 분리 공정시 분리 개시점으로 이용된다.
이에 따라, 본 발명은 외곽박막패턴에 의해 안정적으로 임프린트용 몰드와 기판을 분리할 수 있다.
도 1은 종래 임프린트용 수지의 넘침 현상을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 평판 표시 소자를 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2에서 선"Ⅰ-Ⅰ'"를 따라 절취한 평판 표시 소자를 나타내는 단면도이다.
도 4은 도 2 및 도 3에 도시된 외곽박막패턴이 액정 표시 소자의 컬러 필터 기판에 적용된 경우를 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 4에서 선"Ⅱ-Ⅱ'"를 따라 절취한 컬러 필터 기판을 나타내는 단면도이다.
도 6a 내지 도 6e는 도 5에 도시된 외곽박막패턴의 제1 내지 제3 실시예를 나타내는 단면도들이다.
도 7a 내지 도 7f는 도 5에 도시된 컬러 필터 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 액정 표시 소자의 컬러 필터 기판을 나타내는 단면도이다.
도 9a 내지 도 9g는 도 8에 도시된 컬러 필터 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 10a 및 도 10b는 도 9c에 도시된 임프린트용 수지를 부분 경화할 수 있는 경화부를 나타내는 단면도들이다.
도 11은 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 공정시 이용된 임프린트용 몰드의 다른 실시 예를 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 액정 표시 소자의 컬러 필터 기판을 나타내는 평면도이며, 도 3은 도 2에서 선"Ⅰ-Ⅰ'"를 따라 절취한 액정 표시 소자의 컬러 필터 기판을 나타내는 단면도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 컬러 필터 기판(100)은 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스(102)와, 컬러 구현을 위한 컬러 필터(104)와, 평탄화를 위한 오버코트층(106)과, 셀갭을 유지하는 컬럼 스페이서(108)와, 기판(101)의 외곽영역에 형성된 외곽박막패턴(120)을 구비한다.
블랙매트릭스(102)는 각 서브 화소 영역을 구분함과 아울러 인접한 서브 화소 영역 간의 광간섭을 방지하도록 기판(101) 상에 형성된다. 또한, 서브 화소 영역으로 이루어진 표시 영역을 둘러싸는 비표시 영역에는 외곽 블랙매트릭스(112)가 형성되어 기판(101)의 외곽으로 빛이 새는 것을 방지한다.
적색(R), 녹색(G), 청색(B) 컬러 필터(104)는 기판(101)의 표시 영역에 형성되어 해당 색을 구현한다.
오버코트층(106)은 컬러 필터(102) 및 블랙 매트릭스(104)의 단차를 보상하므로 컬러 필터 기판(100)의 최상면은 평탄하게 형성된다.
컬럼 스페이서(108)는 오버 코트층(106)과 동일 재질로 일체화되게 형성된다. 이 컬럼 스페이서(108)는 박막 트랜지스터 기판(도시하지 않음)과 접촉하게 형성되어 컬러 필터 기판(100)과 박막 트랜지스터 기판 사이의 셀갭을 유지한다.
외곽박막패턴(120)은 기판(101)의 비표시 영역에 형성된 외곽 블랙매트릭스(112)와 인접하도록 기판(101)의 가장 자리를 둘러싸도록 형성된다.
이러한 외곽박막패턴(120)은 도 4a에 도시된 바와 같이 블랙매트릭스(102)와 동일 재질로 단층구조로 형성되거나 도 4b에 도시된 바와 같이 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 컬러 필터(104) 중 적어도 어느 하나와 동일 재질로 단층 또는 다층구조로 형성되거나 도 4c 내지 도 4e에 도시된 바와 같이 블랙매트릭스(102)와 동일 재질의 제1 외곽박막패턴(120a)과, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 컬러 필터(104) 중 적어도 어느 하나와 동일 재질의 제2 외곽박막패턴(120b)이 적층되어 형성된다.
또한, 외곽박막패턴(120)은 블랙매트릭스(102), 컬러 필터(104), 오버 코트층(106) 및 컬럼 스페이서(110) 각각의 재질인 임프린트용 수지가 도포되기 전에 임프린트용 수지의 도포 높이 이하로 형성된다. 이에 따라, 외곽 박막 패턴(120)은 임프린트용 수지와 임프린트 몰드와의 합착시 임프린트용 수지가 기판(101) 외부로 넘치는 것을 방지한다.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 액정 표시 소자의 컬러 필터 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도들로서, 도 4c에 도시된 외곽 박막 패턴(120)이 적용된 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.
도 5a에 도시된 바와 같이 기판(101) 상에 블랙층이 전면 증착된 후 그 블랙층이 임프린트용 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 패터닝됨으로써 블랙매트릭스(102)와 제1 외곽박막패턴(120a)이 형성된다. 제1 외곽박막패턴(120a)은 기판(101)의 가장 자리를 둘러싸도록 형성된다.
도 5b에 도시된 바와 같이, 블랙매트릭스(102) 및 제1 외곽박막패턴(120a)이 형성된 기판(101) 상에 서브 화소 영역과 대응하는 영역에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 컬러 필터(104)와, 제2 외곽박막패턴(120b)이 형성된다. 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 컬러필터(104)와, 제2 외곽박막패턴(120b)은 해당 컬러층이 전면 증착된 후 그 컬러층이 임프린트용 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 패터닝됨으로써 형성된다.
한편, 블랙매트릭스(102) 및 컬러 필터(104)와 제1 및 제2 외곽박막패턴(120a,120b)는 임프린트용 몰드를 이용한 임프린팅 방식을 통해 패터닝되어 형성되는 것을 예로 들어 설명하였지만 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 패터닝되어 형성될 수도 있다.
도 5c에 도시된 바와 같이 블랙매트릭스(102) 및 컬러 필터(104)가 형성된 기판(101) 상에 임프린트용 수지(130)가 도포된다. 임프린트용 수지(130)는 추후 임프린트용 몰드(132)와 기판(101)의 합착시 가해지는 압력에 의한 퍼짐량을 고려하여 외곽박막패턴(120)과 수 ㎛의 이격거리(D)로 이격되도록 도포된다. 또한, 임프린트용 수지(130)는 외곽박막패턴(120) 이상의 높이로 도포된다. 이에 따라, 추후 임프린트용 몰드(132)와 기판(101)의 합착시 외곽박막패턴(120)에 의한 임프린트용 몰드의 변형 및 들뜸현상을 방지할 수 있다.
그런 다음, 임프린트용 수지(130) 상부에 홈부(132b) 및 돌출부(132a)를 가지는 임프린트용 몰드(132)가 정렬된다. 돌출부(132a)는 오버 코트층이 형성될 영역과 대응되며, 홈부(132b)는 컬럼 스페이서가 형성될 영역과 대응된다.
이러한 임프린트용 몰드(132)는 도 5d에 도시된 바와 같이 임프린트용 수지(130)를 가압한다. 이 때, 외곽박막패턴(120)에 의해 임프린트용 수지(130)는 기판(101)의 끝단까지 퍼져나가는 것이 방지되므로 임프린트용 수지(130)의 넘침 현상이 방지된다.
가압된 임프린트용 수지(130)는 자외선 등과 같은 광 또는 열에 의해 경화된다. 그러면, 임프린트용 수지(130)는 임프린트용 몰드(132)의 홈부(132b) 내로 이동한다. 이에 따라, 임프린트용 몰드(132)의 홈부(132b)와 반전 전사된 형태의 컬럼 스페이서(108)와, 임프린트용 몰드(132)의 돌출부(132a)와 대응되는 영역에 오버 코트층(106)이 형성된다.
이러한 컬럼 스페이서(108) 및 오버 코트층(106)이 동시에 형성된 기판(101)과 합착된 임프린트용 몰드(132)는 도 5e에 도시된 바와 같이 진공흡착패드(122)에 흡착된 상태에서 기판(101)과 반대 방향인 상측으로 상승됨으로써 기판(101)과 분리된다. 이와 동시에 임프린트용 몰드(132)와 기판(101) 사이에는 N2와 같은 기체가 주입됨으로써 임프린트용 몰드(132)와 기판(101)의 분리가 용이해진다.
이와 같이, 컬럼 스페이서(108) 및 오버 코트층(106)이 동시에 형성된 기판(101)이 임프린트용 몰드(132)로부터 분리됨으로써 도 5f에 도시된 바와 같이 컬러 필터 기판(100)이 완성된다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 액정 표시 소자의 컬러 필터 기판을 나타내는 평면도이며, 도 7은 도 6에서 선"Ⅱ-ⅡⅠ'"를 따라 절취한 액정 표시 소자의 컬러 필터 기판을 나타내는 단면도이다.
도 6 및 7에 도시된 컬러 필터 기판은 도 2 및 도 3에 도시된 컬러 필터 기판과 대비하여 외곽박막패턴(120)이 오버 코트층(106)과 동일 재질로 오버 코트층(106)에서 연장되어 형성되는 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
외곽박막패턴(120)은 기판(101)의 비표시 영역에 형성된 외곽 블랙매트릭스(112)와 이격되도록 기판(101)의 외곽 영역에 형성된다. 구체적으로, 외곽박막패턴(120)은 기판(101)의 각 모서리가 만나는 교점 영역에서 사각형 또는 삼각형과 같은 다각형 형태로 형성되거나 외곽 블랙매트릭스(112)와 마주보는 일측면이 곡률을 가지도록 부채꼴 형태로 형성된다. 또는 도 8에 도시된 바와 같이 외곽 박막 패턴(120)은 기판(101)의 표시 영역을 둘러싸도록 형성될 수도 있다. 이 때, 외곽 박막 패턴(120)은 기판(101)의 교점 영역이 나머지 영역보다 넓은 면적으로 형성되어 기판(101)과 임프린트용 몰드의 분리 공정이 용이해지도록 한다.
도 9a 내지 도 9e는 도 8에 도시된 컬러필터 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 9a에 도시된 바와 같이 기판(101) 상에 블랙층이 전면 증착된 후 그 블랙층이 임프린트용 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 패터닝됨으로써 블랙매트릭스(102) 및 외곽 블랙매트릭스(112)가 형성된다.
도 9b에 도시된 바와 같이, 블랙매트릭스(102)가 형성된 기판(101) 상에 서브 화소 영역과 대응하는 영역에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 컬러 필터(104)가 형성된다. 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 컬러필터(104)는 해당 컬러층이 전면 증착된 후 그 컬러층이 임프린트용 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 패터닝됨으로써 형성된다.
한편, 블랙매트릭스(102) 및 컬러 필터(104)는 임프린트용 몰드를 이용한 임프린팅 방식을 통해 패터닝되어 형성되는 것을 예로 들어 설명하였지만 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 패터닝되어 형성될 수도 있다.
도 9c에 도시된 바와 같이 블랙매트릭스(102) 및 컬러 필터(104)가 형성된 기판(101) 상에 임프린트용 수지(130)가 도포된다. 도포된 임프린트용 수지(130) 중 기판의 모서리 영역과 대응하는 영역의 임프린트용 수지(130)가 미리 부분 경화됨으로써 외곽박막패턴(120)이 형성된다. 구체적으로, 도 10a에 도시된 바와 같이 챔버(138) 내에는 하부 스테이지(136)에 안착된 기판(101)과, 상부 스테이지(134)에 안착된 임프린트용 몰드(132)가 위치한다. 이러한 챔버(138) 및 하부 스테이지(136)를 관통하도록 형성된 오픈홀(124)을 통해 광원(128)에서 생성된 광이 입사됨으로써 기판(101) 상에 형성된 임프린트용 수지(130)는 배면 경화됨으로써 외곽박막패턴(120)이 형성된다. 또는 도 10b에 도시된 바와 같이 임프린트용 수지(130)의 측면과 마주보도록 형성된 광원(128)에서 생성된 광에 의해 임프린트용 수지(130)는 측면 경화됨으로써 외곽박막패턴(120)이 형성된다. 이 때, 광원(128)에서 출사되는 광이 임프린트용 수지(130)의 반대측으로 출사되는 것을 방지하도록 챔버(138) 내에 광반사재질로 형성된 광원하우징(126)이 설치됨으로써 광효율이 향상된다. 한편, 도 10a 및 도 10b에 도시된 광원(128) 등과 같은 부분 경화부를 가지는 챔버(138) 내에는 임프린트용 몰드(132)가 위치하여 임프린트용 수지(130)를 부분 경화한 후 곧바로 임프린트용 몰드(132)와 기판(101)이 합착될 수 있다. 또는 광원(128) 등과 같은 부분 경화부를 가지는 챔버(138) 내에는 코팅장비가 위치하여 기판(101) 상에 임프린트용 수지(130)를 도포한 후 곧바로 임프린트용 수지(130)를 부분 경화할 수도 있다. 또는 코팅 장비가 위치하는 코팅부, 임프린트용 수지(130)를 부분 경화하는 챔버를 가지는 경화부 및 임프린트용 몰드(132)가 위치하는 합착부가 개별적으로 인라인 방식으로 배열될 수도 있다.
그런 다음, 임프린트용 수지(130) 상부에는 도 9d에 도시된 바와 같이 홈부(132b) 및 돌출부(132a)를 가지는 임프린트용 몰드(132)가 정렬된다. 돌출부(132a)는 오버 코트층이 형성될 영역과 대응되며, 홈부(132b)는 컬럼 스페이서가 형성될 영역과 대응된다.
이러한 임프린트용 몰드(132)는 도 9e에 도시된 바와 같이 임프린트용 수지(130)를 가압한다. 이 때, 임프린트용 몰드(132)와 접촉하는 임프린트용 수지(130)의 면적은 외곽박막패턴(120)이 이미 경화된 상태이므로 종래보다 줄어들게 된다. 또한, 외곽박막패턴(120)에 의해 임프린트용 수지(130)는 기판(101)의 교점영역까지 퍼져나가는 것이 방지되므로 넘침 현상이 방지된다.
가압된 임프린트용 수지(130)는 자외선 등과 같은 광 또는 열에 의해 경화된다. 그러면, 임프린트용 수지(130)는 임프린트용 몰드(132)의 홈부(132b) 내로 이동한다. 이에 따라, 임프린트용 몰드(132)의 홈부(132b)와 반전 전사된 형태의 컬럼 스페이서(108)와, 임프린트용 몰드(132)의 돌출부(132a)와 대응되는 영역에 오버 코트층(106)이 형성된다.
이러한 컬럼 스페이서(108) 및 오버 코트층(106)이 동시에 형성된 기판(101)과 합착된 임프린트용 몰드(132)는 도 9f에 도시된 바와 같이 진공흡착패드(122)에 고정된 상태에서 기판(101)과 반대 방향인 상측으로 상승됨으로써 기판(101)과 분리된다. 이와 동시에 임프린트용 몰드(132)와 기판(101) 사이에는 N2와 같은 기체가 주입됨으로써 임프린트용 몰드(132)와 기판(101)의 분리가 용이해진다. 이 때, 임프린트용 몰드(132)와 접착되지 않은 외곽박막패턴(120)은 기판(101)과 임프린트용 몰드(132) 간의 분리 공정시 분리 개시점으로 이용됨으로써 진공 흡착 패드(122)를 이용한 분리 공정이 안정적으로 이루어질 뿐만 아니라 임프린트용 몰드(132)와 기판(101) 사이로 N2와 같은 기체의 주입이 용이해진다.
이와 같이, 컬럼 스페이서(108) 및 오버 코트층(106)이 동시에 형성된 기판(101)이 임프린트용 몰드(132)로부터 분리됨으로써 도 9g에 도시된 바와 같이 컬러 필터 기판이 완성된다.
한편, 본 발명에 따른 임프린트용 몰드(132)는 박막 패턴을 형성하기 위한 홈과 돌출부를 가지는 것을 예로 들어 설명하였지만 이외에도 도 11에 도시된 바와 같이 외곽박막패턴(120)의 내측 및 외측 중 적어도 어느 하나와 인접한 영역에 외곽 돌기(114)가 형성될 수도 있다. 이 외곽 돌기(114)는 임프린트용 몰드(132)와 기판의 합착시 임프린트용 수지의 넘침 현상을 방지함과 아울러 임프린트용 몰드(132)와 임프린트용 수지의 접촉 면적을 줄여 분리 개시점(demolding seed) 형성을 용이하게 하는 역할을 한다.
한편, 본 발명에 따른 임프린트용 몰드(132)는 오버 코트층(106) 및 컬럼 스페이서(108)를 동시에 패터닝하는 것으로 예로 들어 설명하였지만 이외에도 액정 표시 패널의 컬러필터(104), 블랙 매트릭스(102) 등과 같은 유기물질로 형성되는 박막 패턴과, 액정 표시 패널의 박막트랜지스터, 게이트 라인, 데이터 라인 및 화소 전극 등과 같은 무기물질로 형성되는 박막을 패터닝하기 위한 마스크로 이용되는 포토레지스트 패턴은 본원 발명에 따른 임프린트용 몰드를 이용한 임프린팅 공정을 통해 형성될 수 있다. 또한, 외곽 박막 패턴 역시 액정 표시 패널의 박막트랜지스터, 게이트 라인, 데이터 라인, 화소 전극 및 게이트 절연막 및 보호막과 동시에 형성될 수 있다.
이외에도 본 발명에 따른 외곽박막패턴(120)은 액정 표시 패널 뿐만 아니라 플라즈마 디스플레이 패널, 전계 발광 표시 패널 및 전계 방출 소자 등과 같은 평판 표시 소자에도 적용 가능하다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
120 : 외곽박막패턴 132 : 임프린트용 몰드

Claims (10)

  1. 기판 상에 임프린트용 수지를 임프린트용 몰드로 가압하여 형성되는 박막 패턴과;
    상기 박막 패턴과 인접되도록 상기 기판 외곽 영역에 형성되어 상기 기판과 상기 임프린트용 몰드의 분리 개시점으로 이용되며, 상기 임프린트용 수지의 이동을 차단하는 외곽박막패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 박막 패턴은 액정 표시 소자의 오버 코트층이며,
    상기 외곽박막패턴은 상기 오버코트층의 하부에 형성되는 상기 액정 표시 소자의 컬러 필터 및 블랙매트릭스 중 적어도 어느 하나와 동일 물질을 이용하여 적어도 1층 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 박막 패턴은 상기 외곽박막패턴과 동일 물질로 상기 외곽 박막 패턴에서 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자.
  4. 기판의 외곽 영역에 형성되는 외곽박막패턴과, 외곽박막패턴과 인접되게 형성된 임프린트용 수지를 가지는 기판을 마련하는 단계와;
    상기 기판 상부에 임프린트용 몰드를 정렬하는 단계와;
    상기 외곽박막패턴을 통해 상기 임프린트용 수지가 상기 외곽 영역으로 이동하는 것을 차단하면서 상기 임프린트용 몰드와 상기 임프린트용 수지를 합착시켜 상기 기판 상에 박막 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 외곽 박막 패턴을 상기 기판과 상기 임프린트용 몰드의 분리 개시점으로 이용하여 상기 임프린트용 몰드를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 기판을 마련하는 단계는
    상기 기판 외곽 영역의 교점영역에 상기 외곽박막패턴을 형성하는 단계와;
    상기 외곽박막패턴과 수 ㎛로 이격되도록 상기 기판에 상기 임프린트 수지를 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 박막 패턴은 액정 표시 소자의 오버 코트층이며,
    상기 외곽박막패턴은 상기 오버코트층의 하부에 형성되는 상기 액정 표시 소자의 컬러 필터 및 블랙매트릭스 중 적어도 어느 하나와 동일 물질을 이용하여 적어도 1층 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조 방법.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 기판을 마련하는 단계는
    상기 기판 상에 임프린트용 수지를 도포하는 단계와;
    상기 기판 외곽 영역에 위치하는 임프린트용 수지를 부분 경화하여 상기 외곽박막패턴을 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 기판 상에 박막 패턴을 형성하는 단계는
    상기 외곽 박막 패턴이 형성된 영역을 제외한 나머지 영역의 상기 임프린트용 수지를 경화하여 상기 박막 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 외곽박막패턴을 형성하는 단계는
    상기 임프린트용 수지가 도포된 기판이 안착되는 스테이지를 가지는 챔버를 마련하는 단계와;
    상기 기판의 배면에 위치하는 챔버 및 스테이지에 형성된 오픈홀을 통해 상기 기판의 외곽 영역과 대응하는 영역에 형성된 임프린트용 수지를 배면 경화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 외곽박막패턴을 형성하는 단계는
    상기 임프린트 수지가 도포된 기판이 안착되는 스테이지를 가지는 챔버를 마련하는 단계와;
    상기 기판의 외곽 영역의 임프린트 수지와 마주보는 영역에 형성된 광원을 이용하여 상기 임프린트 수지를 측면 경화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조 방법.
  10. 제 4 항에 있어서,
    상기 기판 상부에 임프린트용 몰드를 정렬하는 단계는
    상기 기판의 외곽 영역에 형성되는 외곽박막패턴의 외측과 인접하는 영역에 외곽 돌기를 가지는 상기 임프린트 몰드를 상기 기판 상부에 정렬하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조 방법.
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