KR20110119382A - Removal apparatus of residual material from the substrate for display device - Google Patents

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KR20110119382A KR1020100039058A KR20100039058A KR20110119382A KR 20110119382 A KR20110119382 A KR 20110119382A KR 1020100039058 A KR1020100039058 A KR 1020100039058A KR 20100039058 A KR20100039058 A KR 20100039058A KR 20110119382 A KR20110119382 A KR 20110119382A
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유동희
이경훈
양중환
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A device for removing a byproduct of a substrate for a display device is provided to implement a substrate with a large area for a display device by installing a suction hole which suctions materials removed from the substrate. CONSTITUTION: A head unit(130) is installed in a body unit(110). A cleaning unit(140) is installed in the heat unit and removes byproduct on the loaded substrate by spraying the chemical and gas. A suction unit(150) suctions materials removed from a substrate(160) by the cleaning unit. The suction unit is installed in the head unit or body unit.

Description

표시장치용 기판의 부산물 제거장치{removal apparatus of residual material from the substrate for display device}Removal apparatus of residual material from the substrate for display device}

본 발명의 실시예는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to an apparatus for removing by-products of a substrate for a display device.

최근, 평판표시장치(FPD: Flat Panel Display)는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 액정표시장치, 플라즈마표시장치, 유기전계발광표시장치 등과 같은 여러 가지의 평면형 표시장치가 실용화되고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, the importance of flat panel displays (FPDs) has been increasing with the development of multimedia. In response to this, various flat panel display devices such as liquid crystal display devices, plasma display devices, organic light emitting display devices, and the like have been put into practical use.

이들 중 일부의 표시장치 예컨대, 액정표시장치나 유기전계발광표시장치는 증착 방법 및 식각 방법 등을 통해 기판 상에 소자들과 배선들을 박막 형태로 형성한다. 위와 같은 형태의 표시장치를 제조할 때에는 통상 커다란 기판 상에 표시소자가 되는 셀을 단위별로 복수개 형성하고 이들을 각각 셀별로 절단하는 절단 공정을 실시한다.Some of these display devices, such as a liquid crystal display or an organic light emitting display device, form elements and wires in a thin film form on a substrate through a deposition method and an etching method. In the manufacture of the display device of the above type, a cutting process of forming a plurality of cells serving as display elements on a large substrate in units of units and cutting them in units of cells is performed.

위와 같은 방법으로 표시장치를 제작할 때 사용되는 포토레지스트(photo resist; PR), 유기 절연막 및 유기 발광층(HIL/HTL/EML 등)과 같은 유기물은 전면 코팅 방법에 의해 기판 상에 형성된다. 그런데, 코팅 방법으로 유기물을 형성하면 유기물층이 기판의 외곽에 몰림에 따라 형성되는 부산물 이른바 에지비드(Edge Bead)가 형성된다. 따라서, 위와 같은 표시장치를 기판 상에 제작하기 위해서는 에지비드를 효율적으로 제거하기 위한 방안이 마련되어야 할 것이다.
Organic materials such as a photo resist (PR), an organic insulating layer, and an organic light emitting layer (HIL / HTL / EML, etc.) used when manufacturing a display device by the above method are formed on a substrate by a front coating method. However, when the organic material is formed by the coating method, by-products, so-called edge beads, are formed as the organic material layer is pushed to the outside of the substrate. Accordingly, in order to fabricate the display device on the substrate, a method for efficiently removing edge beads should be prepared.

상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 실시예는, 유기물 공정시 기판의 외곽에 형성되는 부산물 이른바 에지비드(Edge Bead)를 용이하게 제거하고 대면적 표시장치용 기판 및 다면 취 표시장치용 기판 제작 공정에 용이한 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 제공하는 것이다.
Embodiments of the present invention to solve the above-described problems of the background, the by-product so-called edge beads formed on the outside of the substrate during the organic material process is easily removed and the substrate and the multi-faceted display device for a large area display device The present invention provides an apparatus for removing by-products of a substrate for a display device which is easy for a manufacturing process for a substrate.

상술한 과제 해결 수단으로 본 발명의 실시예는, 몸체부; 몸체부에 설치되는 헤드부; 헤드부에 설치되며 약액과 기체를 분사하여 로딩된 기판 상에 형성된 부산물을 제거하는 세정부; 및 세정부에 의해 기판으로부터 제거되어 나오는 물질을 흡입하는 흡입부를 포함하는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 제공한다.Embodiment of the present invention as a means for solving the above problems, the body portion; A head portion installed in the body portion; A cleaning unit installed in the head unit to remove by-products formed on the loaded substrate by spraying chemicals and gases; And a suction part for sucking a substance removed from the substrate by the cleaning part.

세정부는, 기판 상에 약액을 분사하는 약액분사부와, 기판 상에 기체를 분사하는 기체분사부를 포함할 수 있다.The cleaning unit may include a chemical liquid injection unit for injecting a chemical liquid onto the substrate and a gas injection unit for injecting gas onto the substrate.

흡입부는, 헤드부에 설치되거나 몸체부에 설치될 수 있다.The suction part may be installed in the head part or in the body part.

흡입부는, 슬롯 형상, 원형 형상 및 다각형 형상의 흡입구 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.The suction part may be formed of at least one of a suction hole of a slot shape, a circular shape, and a polygonal shape.

약액분사부 및 기체분사부는, 슬롯 형상, 원형 형상 및 다각형 형상의 분사구 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.The chemical liquid injection unit and the gas injection unit may be formed of at least one of a slot, a circular shape, and a polygonal injection hole.

약액분사부, 기체분사부 및 흡입부는 복수로 설치되며, 로딩된 기판에 형성된 표시영역의 외곽에 대응되어 정렬되도록 이동될 수 있다.The chemical liquid spraying unit, the gas spraying unit and the suction unit may be provided in plural, and may be moved to be aligned to correspond to the outside of the display area formed on the loaded substrate.

약액분사부 및 기체분사부는, 분사각이 제어될 수 있다.The chemical liquid injection unit and the gas injection unit may control the injection angle.

몸체부는, 세정부의 유량을 제어하는 유량 제어부를 더 포함할 수 있다.The body portion may further include a flow rate control unit for controlling the flow rate of the cleaning unit.

약액분사부, 기체분사부 및 흡입부 중 적어도 하나는, 제1축 또는 제2축 방향으로 왕복 이동 되도록 제어될 수 있다.
At least one of the chemical liquid injection unit, the gas injection unit, and the suction unit may be controlled to reciprocate in the first or second axis direction.

본 발명의 실시예는, 유기물 공정시 기판의 외곽에 형성되는 부산물 이른바 에지비드(Edge Bead)를 용이하게 제거하고 대면적 표시장치용 기판 및 다면 취 표시장치용 기판 제작 공정에 용이한 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 제공하는 효과가 있다.Embodiments of the present invention are easy to remove by-products, so-called edge beads formed on the outer periphery of the substrate during the organic material processing, and to facilitate the large-area display device substrate and the multi-side display device substrate manufacturing process It is effective to provide an apparatus for removing by-products of a substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 헤드부에 설치된 세정부 및 흡입부를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따라 헤드부에 설치된 세정부 및 흡입부를 나타낸 도면.
도 5는 싱글 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용한 부산물 제거를 설명하기 위한 도면.
도 6은 듀얼 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용한 부산물 제거를 설명하기 위한 도면.
도 7은 멀티 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용한 부산물 제거를 설명하기 위한 도면.1 is a view showing a by-product removing apparatus of a substrate for a display device according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a by-product removing apparatus of a substrate for a display device according to another embodiment of the present invention.
3 is a view showing a cleaning unit and a suction unit installed in the head portion according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a cleaning unit and a suction unit installed in the head according to another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a view illustrating a by-product removal using a by-product removing apparatus of a single type display substrate. FIG.
FIG. 6 is a view illustrating a by-product removal using a by-product removing apparatus of a dual type display device substrate; FIG.
FIG. 7 is a view illustrating a by-product removal using a by-product removing apparatus of a multi-form display substrate. FIG.

이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the specific content for the practice of the present invention will be described.

통상 액정표시장치나 유기전계발광표시장치는 증착 방법 및 식각 방법 등을 통해 기판 상에 소자들과 배선들을 박막 형태로 형성한다. 이와 같은 방법으로 표시장치를 제작할 때 사용되는 포토레지스트(photo resist; PR), 유기 절연막 및 유기 발광층(HIL/HTL/EML 등)을 포함하는 유기물은 전면 코팅 방법 등에 의해 기판 상에 형성된다. 그런데, 코팅 방법으로 유기물을 형성하면 유기물층이 기판의 외곽에 몰림에 따라 형성되는 부산물 이른바 에지비드(Edge Bead)가 형성된다.In general, a liquid crystal display or an organic light emitting display device forms elements and wires in a thin film form on a substrate through a deposition method and an etching method. An organic material including a photoresist (PR), an organic insulating layer, and an organic light emitting layer (HIL / HTL / EML, etc.) used to fabricate a display device in this manner is formed on a substrate by a front coating method or the like. However, when the organic material is formed by the coating method, by-products, so-called edge beads, are formed as the organic material layer is pushed to the outside of the substrate.

실시예의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치는 이와 같이 이른바 에지비드(Edge Bead)라 불리는 부산물이나 기판의 외곽에 형성된 각종 이물 등을 제거하기 위한 장치이다.The by-product removing apparatus of the substrate for a display device according to the embodiment is a device for removing various by-products or the like formed on the periphery of the substrate such as so-called edge beads.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a by-product removing apparatus of a substrate for a display device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing a by-product removing apparatus of a substrate for a display device according to another embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치용 기판의 부산물 제거장치는 몸체부(110), 헤드부(130), 세정부(140) 및 흡입부(150)를 포함한다.Referring to FIG. 1, an apparatus for removing by-products of a substrate for a display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes a body part 110, a head part 130, a cleaning part 140, and a suction part 150.

헤드부(130)는 몸체부(110)에 설치되며, 헤드부(130)에는 세정부(140) 및 흡입부(150)가 설치된다. 세정부(140)는 기판(160) 상에 약액을 분사하는 약액분사부(141)와, 기판(160) 상에 기체를 분사하는 기체분사부(142)를 포함한다. 이와 같은 구성으로 세정부(140)는 약액과 기체를 분사하여 로딩된 기판(160) 상에 형성된 부산물을 제거한다. 그리고 흡입부(150)는 세정부(140)에 의해 기판(160)으로부터 제거되어 나오는 물질을 흡입한다.The head part 130 is installed in the body part 110, and the head part 130 is provided with a cleaning part 140 and a suction part 150. The cleaning unit 140 includes a chemical liquid injection unit 141 for injecting a chemical liquid onto the substrate 160 and a gas injection unit 142 for injecting gas onto the substrate 160. In this configuration, the cleaning unit 140 removes by-products formed on the loaded substrate 160 by spraying chemicals and gases. In addition, the suction unit 150 sucks the material removed from the substrate 160 by the cleaning unit 140.

도 2를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 기판의 부산물 제거장치는 몸체부(110), 기저부(120), 헤드부(130), 세정부(140) 및 흡입부(150)를 포함한다.Referring to FIG. 2, a by-product removing apparatus of a substrate for a display device according to another exemplary embodiment of the present invention may include a body part 110, a base part 120, a head part 130, a cleaning part 140, and a suction part 150. ).

헤드부(130)는 몸체부(110)에 설치되며, 헤드부(130)에는 세정부(140)가 설치된다. 그리고 흡입부(150)는 몸체부(110)에 설치된다. 세정부(140)는 기판(160) 상에 약액을 분사하는 약액분사부(141)와, 기판(160) 상에 기체를 분사하는 기체분사부(142)를 포함한다. 이와 같은 구성으로 세정부(140)는 약액과 기체를 분사하여 로딩된 기판(160) 상에 형성된 부산물을 제거한다. 그리고 흡입부(150)는 세정부(140)에 의해 기판(160)으로부터 제거되어 나오는 물질을 흡입한다.The head part 130 is installed in the body part 110, and the cleaning part 140 is installed in the head part 130. And the suction unit 150 is installed in the body portion (110). The cleaning unit 140 includes a chemical liquid injection unit 141 for injecting a chemical liquid onto the substrate 160 and a gas injection unit 142 for injecting gas onto the substrate 160. In this configuration, the cleaning unit 140 removes by-products formed on the loaded substrate 160 by spraying chemicals and gases. In addition, the suction unit 150 sucks the material removed from the substrate 160 by the cleaning unit 140.

도 1 및 도 2에 도시된 표시장치용 기판의 부산물 제거장치에는 약액분사부(141) 및 기체분사부(142)의 분사각이 제어된다. 일례로, 약액분사부(141) 및 기체분사부(142)의 분사각 제어는 몸체부(110)에 형성된 장치 제어부(118)에 의해 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 또한, 도시된 표시장치용 기판의 부산물 제거장치에는 세정부(140)의 유량이 제어된다. 일례로, 세정부(140)의 유량 제어는 몸체부(110)에 형성된 유량 제어부(115)에 의해 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 여기서, 장치 제어부(118) 및 유량 제어부(115)는 하나의 제어부로 단일화 되도록 구성될 수 있다. 또한, 도시된 표시장치용 기판의 부산물 제거장치에는 기판(160)을 로딩하기 위한 로봇 암이나 스테이지 등이 설치될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
In the apparatus for removing by-products of the substrate for a display device illustrated in FIGS. 1 and 2, the spray angles of the chemical liquid spraying unit 141 and the gas spraying unit 142 are controlled. For example, the injection angle control of the chemical liquid injection unit 141 and the gas injection unit 142 may be performed by the device control unit 118 formed in the body portion 110, but is not limited thereto. In addition, the flow rate of the cleaning unit 140 is controlled in the by-product removing apparatus of the display device substrate shown. For example, the flow rate control of the cleaning unit 140 may be made by the flow control unit 115 formed in the body portion 110, but is not limited thereto. Here, the device control unit 118 and the flow control unit 115 may be configured to be unified into one control unit. In addition, a robot arm or a stage for loading the substrate 160 may be installed in the by-product removing apparatus of the substrate for the display device, but is not limited thereto.

실시예에서, 약액분사부(141)로는 유기물을 제거할 수 있는 약액으로 시너나 아세톤 등과 같은 액체가 분사될 수 있고, 기체분사부(142)로는 고압의 청정공기나 질소 등과 같은 가스가 분사될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.In an embodiment, a liquid such as thinner or acetone may be injected into the chemical liquid spraying unit 141 to remove the organic matter, and a gas such as high pressure clean air or nitrogen may be injected into the gas spraying unit 142. But it is not limited thereto.

한편, 실시예의 설명에서는 흡입부(150)가 헤드부(130)나 몸체부(110)에 다른 형상을 가지고 설치될 수 있음을 일례로 도시한 것일 뿐 흡입부(150)의 형상 및 배치는 이에 한정되지 않는다. 또한, 실시예의 설명에서는 세정부(140) 및 흡입부(150) 중 적어도 하나가 헤드부(130)나 몸체부(110)에 설치된 것을 일례로 하였으나 이는 기저부(120)에 설치될 수도 있다. 이와 더불어, 세정부(140) 및 흡입부(150)는 헤드부(130)와 기저부(120)의 양쪽에 설치될 수도 있다.
On the other hand, in the description of the embodiment is shown as an example that the suction unit 150 may be installed in a different shape to the head portion 130 or the body portion 110, the shape and arrangement of the suction portion 150 is It is not limited. In addition, in the description of the exemplary embodiment, at least one of the cleaning unit 140 and the suction unit 150 is installed in the head unit 130 or the body unit 110, but it may be installed in the base unit 120. In addition, the cleaning part 140 and the suction part 150 may be installed at both the head part 130 and the base part 120.

이하, 세정부(140) 및 흡입부(150)가 헤드부(130)에 설치된 것을 일례로 이들의 구조에 대해 더욱 자세히 설명한다.Hereinafter, the structures of the cleaning unit 140 and the suction unit 150 are installed in the head unit 130 by way of example.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 헤드부에 설치된 세정부 및 흡입부를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따라 헤드부에 설치된 세정부 및 흡입부를 나타낸 도면이다.3 is a view showing a washing unit and a suction unit installed in the head according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a view showing a washing unit and the suction unit installed in the head according to another embodiment of the present invention.

실시예의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치에 포함된 약액분사부(141), 기체분사부(142) 및 흡입부(150)는 이들이 하나의 영역에 형성된 무산물을 제거하도록 하나의 그룹으로 구성된 싱글 형태로 형성될 수 있다. 또한, 표시장치용 기판의 부산물 제거장치에 포함된 약액분사부(141), 기체분사부(142) 및 흡입부(150)는 이들이 둘 이상의 영역에 형성된 무산물을 제거하도록 두 개의 그룹으로 구성된 듀얼 형태나 두 개 이상의 그룹으로 구성된 멀티 형태로 형성될 수 있다. 따라서, 도 3은 싱글 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치의 헤드부(130)를 도시한 것이고, 도 4는 듀얼 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치의 헤드부(130)를 도시한 것이다.The chemical liquid spraying unit 141, the gas spraying unit 142, and the suction unit 150 included in the by-product removing device of the substrate for a display device according to the embodiment are formed in a single group so that they can remove the analytes formed in one region. It may be formed in the form. In addition, the chemical liquid spraying unit 141, the gas spraying unit 142, and the suction unit 150 included in the by-product removing device of the display device substrate may be formed in two groups to remove analytes formed in two or more regions. It may be formed in the form or multi-shape consisting of two or more groups. Accordingly, FIG. 3 shows the head portion 130 of the by-product removing device of the substrate for display device of the single type, and FIG. 4 shows the head portion 130 of the by-product removing device of the substrate for display device of the dual type. will be.

도 3의 (a)를 참조하면, 헤드부(130)에는 하나의 세정부(140) 및 흡입부(150)가 설치된다. 세정부(140)에 설치된 하나의 약액분사부(141)는 사각형 형상의 분사구를 갖고 세정부(140)에 설치된 하나의 기체분사부(142)는 원형 형상의 분사구를 갖는다. 그리고 세정부(140)에 설치된 하나의 흡입부(150)는 슬롯 형상의 분사구를 갖는다.Referring to FIG. 3 (a), the head part 130 is provided with one cleaning part 140 and a suction part 150. One chemical liquid injection unit 141 installed in the cleaning unit 140 has a jet nozzle of a rectangular shape and one gas injection unit 142 installed in the cleaning unit 140 has a circular injection hole. And one suction unit 150 installed in the cleaning unit 140 has a slot-shaped injection port.

도 3의 (b)를 참조하면, 헤드부(130)에는 하나의 세정부(140) 및 흡입부(150)가 설치된다. 세정부(140)에 설치된 하나의 약액분사부(141)는 원형 형상의 분사구를 갖고 세정부(140)에 설치된 하나의 기체분사부(142)는 슬롯 형상의 분사구를 갖는다. 그리고 세정부(140)에 설치된 하나의 흡입부(150)는 슬롯 형상의 분사구를 갖는다.Referring to FIG. 3 (b), the head part 130 is provided with one cleaning part 140 and a suction part 150. One chemical liquid injection unit 141 installed in the cleaning unit 140 has a circular injection port, and one gas injection unit 142 installed in the cleaning unit 140 has a slot injection port. And one suction unit 150 installed in the cleaning unit 140 has a slot-shaped injection port.

도 3에 도시된 약액분사부(141), 기체분사부(142) 및 흡입부(150) 중 적어도 하나는 제1축(x) 또는 제2축(y) 방향으로 왕복 이동 되도록 제어부에 의해 제어된다.At least one of the chemical liquid spraying unit 141, the gas spraying unit 142, and the suction unit 150 shown in FIG. 3 is controlled by the controller to reciprocate in the direction of the first axis x or the second axis y. do.

도 4를 참조하면, 헤드부(130)에는 두 개의 세정부(140L, 140R) 및 두 개의 흡입부(150L, 150R)가 설치된다. 세정부(140)에 상호 대향 하여 설치된 두 개의 약액분사부(141L, 141R)는 사각형 형상의 분사구를 갖고 세정부(140)에 설치된 두 개의 기체분사부(142L, 142R)는 슬롯 형상의 분사구를 갖는다. 그리고 세정부(140)에 설치된 두 개의 흡입부(150L, 150R)는 슬롯 형상의 분사구를 갖는다.Referring to FIG. 4, the head part 130 is provided with two cleaning parts 140L and 140R and two suction parts 150L and 150R. The two chemical liquid injection units 141L and 141R installed to face each other with the cleaning unit 140 have a square injection hole, and the two gas injection units 142L and 142R installed at the cleaning unit 140 have a slot injection hole. Have In addition, the two suction parts 150L and 150R installed in the cleaning part 140 have a slot-shaped injection hole.

도 4에 도시된 약액분사부(141L, 141R), 기체분사부(142L, 142R) 및 흡입부150L, 150R) 또한 이들 중 적어도 하나는 제1축(x) 또는 제2축(y) 방향으로 왕복 이동 되도록 제어부에 의해 제어된다.The chemical liquid injection parts 141L and 141R, the gas injection parts 142L and 142R, and the suction parts 150L and 150R shown in FIG. 4 may also have at least one of them in the direction of the first axis (x) or the second axis (y). It is controlled by the control unit to reciprocate.

실시예에서는 분사구 및 흡입구에 대한 예시를 나타내었을 뿐 이들은 슬롯 형상, 원형 형상 및 다각형 형상 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 그리고 분사구의 경우 적어도 하나는 미세 튜부(tube)로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
In the embodiment, only an example of the injection port and the suction port is shown, and they may be formed in at least one of a slot shape, a circular shape, and a polygonal shape. In the case of the injection hole, at least one may be formed as a fine tube, but is not limited thereto.

이하, 실시예의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용한 부산물 제거에 대해 더욱 자세히 설명한다.Hereinafter, the by-product removal using the by-product removing apparatus of the display device substrate of the embodiment will be described in more detail.

도 5는 싱글 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용한 부산물 제거를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 5 is a diagram illustrating a by-product removal using a by-product removing apparatus of a single type display substrate.

도 5의 (a)는 부산물 제거가 미실시된 기판(160)의 예시도 이고, 도 5의 (b)는 부산물의 일부가 제거된 기판(160)의 예시도 이다.FIG. 5A illustrates an example of the substrate 160 in which by-products have not been removed, and FIG. 5B illustrates an example of the substrate 160 in which a portion of the by-products has been removed.

도 5의 (a)를 참조하면, 하나의 표시영역(AA)이 형성된 단일 셀 기판(160)이 도시된다. 단일 셀 기판(160)에는 유기물 공정을 진행함에 따라 외곽에 부산물인 에지비드(EB)가 형성되어 있다.Referring to FIG. 5A, a single cell substrate 160 having one display area AA is illustrated. As the organic material process is performed on the single cell substrate 160, an edge bead EB is formed on the outer side.

싱글 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용하여 단일 셀 기판(160)의 에지비드(EB)를 제2축(y)의 일면 방향에 대해 "EBR진행"을 실시하면, 도 5의 (b)와 같이 해당 영역에 형성된 에지비드(EB)가 제거된다. 단일 셀 기판(160)에 형성된 에지비드(EB)는 제2축(y)의 일면 방향만 제거된다. 따라서, 이후 제2축(y)의 타면 방향은 물론 제1축(x)의 양면 방향 또한 "EBR진행"을 실시한다.When the edge bead EB of the single cell substrate 160 is "EBRed" with respect to one surface direction of the second axis y by using the by-product removing device of the single type display device substrate, FIG. As shown in b), the edge bead EB formed in the region is removed. The edge bead EB formed on the single cell substrate 160 is removed only in one surface direction of the second axis y. Therefore, the other surface direction of the second axis y as well as the double-sided direction of the first axis x are also subjected to "EBR progress".

도 6은 듀얼 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용한 부산물 제거를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 6 is a view illustrating a by-product removal using a by-product removing device of a dual type display substrate.

도 6의 (a)를 참조하면, 하나의 표시영역(AA)이 형성된 단일 셀 기판(160)이 도시된다. 단일 셀 기판(160)에는 유기물 공정을 진행함에 따라 외곽에 부산물인 에지비드(EB)가 형성되어 있다.Referring to FIG. 6A, a single cell substrate 160 having one display area AA is illustrated. As the organic material process is performed on the single cell substrate 160, an edge bead EB is formed on the outer side.

듀얼 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용하여 단일 셀 기판(160)의 에지비드(EB)를 제2축(y)의 일면 및 타면 방향에 대해 "EBR진행"을 실시하면, 도 6의 (b)와 같이 해당 영역에 형성된 에지비드(EB)가 제거된다. 단일 셀 기판(160)에 형성된 에지비드(EB)는 제2축(y)의 일면 및 타면 방향만 제거된다. 따라서, 이후 제1축(x) 방향 또한 "EBR진행"을 실시한다.When the edge bead EB of the single cell substrate 160 is "EBR" with respect to one surface and the other surface direction of the second axis y by using the by-product removing apparatus of the dual type display device, FIG. 6 As shown in (b), the edge bead EB formed in the region is removed. The edge bead EB formed on the single cell substrate 160 is removed only in one surface and the other surface direction of the second axis y. Therefore, the first axis (x) direction also performs "EBR progress".

도 7은 멀티 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용한 부산물 제거를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 7 is a view for explaining a by-product removal using a by-product removing apparatus of a multi type display substrate.

도 7의 (a)를 참조하면, 네 개의 표시영역(AA)이 형성된 멀티 셀 기판(160)이 도시된다. 멀티 셀 기판(160)에는 유기물 공정을 진행함에 따라 표시영역(AA)의 외곽마다 부산물인 에지비드(EB)가 형성되어 있다.Referring to FIG. 7A, a multi-cell substrate 160 having four display areas AA is illustrated. As the organic material process is performed on the multi-cell substrate 160, edge beads EB, which are byproducts, are formed at the periphery of the display area AA.

멀티 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용하여 멀티 셀 기판(160)의 에지비드(EB)를 제2축(y)의 일면, 중심면 및 타면 방향에 대해 "EBR진행"을 실시하면, 도 7의 (b)와 같이 해당 영역에 형성된 에지비드(EB)가 제거된다. 멀티 셀 기판(160)에 형성된 에지비드(EB)는 제2축(y)의 일면, 중심면 및 타면 방향만 제거된다. 따라서, 이후 제1축(x) 방향 또한 "EBR진행"을 실시한다.When the edge bead EB of the multi-cell substrate 160 is subjected to one side, the center plane, and the other surface direction of the second axis y by using the by-product removing device of the multi-type display device substrate, As shown in FIG. 7B, the edge bead EB formed in the corresponding region is removed. The edge bead EB formed on the multi-cell substrate 160 is removed only in one surface, the center surface, and the other surface direction of the second axis y. Therefore, the first axis (x) direction also performs "EBR progress".

멀티 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치에 포함된 약액분사부, 기체분사부 및 흡입부의 경우, 로딩된 멀티 셀 기판(160)에 형성된 표시영역(AA)의 외곽에 대응되어 정렬되도록 이동될 수 있다. 이때, 약액분사부, 기체분사부 및 흡입부의 정렬은 비젼 시스템, 센서 시스템 또는 사용자에 의한 설정에 의해 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 실시예의 멀티 형태의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치는 약액분사부, 기체분사부 및 흡입부가 복수로 형성되어 있어 대면적 표시장치용 기판 및 다면 취 표시장치용 기판에 적용에 유용하다.
In the case of the chemical liquid spraying unit, the gas spraying unit, and the suction unit included in the by-product removing device of the multi-type display device substrate, the chemical liquid spraying unit may be moved to be aligned with the outside of the display area AA formed on the loaded multi-cell substrate 160. Can be. At this time, the alignment of the chemical liquid injection unit, the gas injection unit and the suction unit may be made by a vision system, a sensor system or a setting by a user, but is not limited thereto. The by-product removing device of the multi-form display substrate of the embodiment is formed of a plurality of chemical liquid spraying units, gas spraying portions and suction portions, which is useful for application to large area display substrates and multi-sided display device substrates.

한편, 유기전계발광표시장치의 유기물 공정 진행 시, 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용하여 "EBR진행"을 실시하는 예에 대해 간략히 설명하면 다음과 같다.On the other hand, when the organic material process of the organic light emitting display device, an example of performing "EBR progress" using the by-product removal device of the substrate for display device briefly described as follows.

먼저, 기판 상에 트랜지스터 어레이를 형성하고 트랜지스터 어레이에 포함된 소오스/드레인 전극에 연결되도록 애노드 전극을 형성한다. 다음, 애노드 전극 상에 정공주입층(HIL)인 컨덕팅 폴리머(conducting polymer)를 스핀 코팅(spin-coating) 또는 슬롯 코팅(slot-coating) 방법으로 형성한다. 다음, 정공주입층에 의해 발생한 부산물이 제거되도록 캐소드 전극 콘택영역 이후부터 기판의 외곽까지 "EBR진행"을 실시하고 베이킹(baking) 공정을 실시한다. 다음, 정공주입층 상에 정공수송층(HTL)을 정공주입층과 동일한 방식으로 형성한 후 "EBR진행"을 실시하고 베이킹 공정을 실시한다. 다음, 정공수송층 상에 발광층(EML)을 노즐(Nozzle) 방식, 잉크젯(ink jet) 방식 또는 기타 솔러블(soluble) 방식으로 형성한 후 정공수송층과 동일한 방식으로 형성한 후 "EBR진행"을 실시하고 베이킹 공정을 실시한다. 다음, 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL) 및 캐소드 전극을 각각 열 증착(thermal evaporating) 방식으로 형성하고 캐소드 전극과 캐소드 전극 콘택영역에 형성된 전극이 전기적으로 연결되도록 한다.First, a transistor array is formed on a substrate and an anode electrode is formed to be connected to a source / drain electrode included in the transistor array. Next, a conducting polymer, which is a hole injection layer (HIL), is formed on the anode electrode by spin-coating or slot-coating. Next, an "EBR process" is performed from the cathode electrode contact region to the outer periphery of the substrate so as to remove by-products generated by the hole injection layer, and a baking process is performed. Next, a hole transport layer (HTL) is formed on the hole injection layer in the same manner as the hole injection layer, and then "EBR progress" is performed and a baking process is performed. Next, the light emitting layer (EML) is formed on the hole transport layer by a nozzle method, an ink jet method, or other soluble method, and then formed in the same manner as the hole transport layer, and then "EBR progress" is performed. And baking process. Next, the electron transport layer ETL, the electron injection layer EIL, and the cathode are respectively formed by thermal evaporating, and the electrodes formed on the cathode electrode and the cathode electrode contact region are electrically connected to each other.

앞서 개략적으로 설명한 바와 같이 유기전계발광표시장치 제작시 본 발명의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 이용하면, 기판의 외곽에 유기물에 의해 형성된 부산물 이른바 에지비드(Edge Bead)를 용이하게 제거할 수 있게 된다. 또한, 본 발명의 표시장치용 기판의 부산물 제거장치의 경우 기판으로부터 제거되어 나오는 물질을 흡입하는 흡입구가 설치되어 있어 대면적 표시장치용 기판 및 다면 취 표시장치용 기판(솔러블 유기전계발광표시장치; soluble OLED) 제작 공정에 적용이 가능하다.
As outlined above, when the by-product removal apparatus of the substrate for a display device of the present invention is used when fabricating an organic light emitting display device, it is possible to easily remove the by-product so-called edge beads formed by the organic material on the outside of the substrate. Will be. In addition, the by-product removing device of the substrate for display device of the present invention is provided with a suction port for suctioning the material removed from the substrate, a large area display device substrate and a multi-faceted display device substrate (solar organic light emitting display device) It is applicable to the manufacturing process of soluble OLED).

이상 본 발명은 유기물 공정시 기판의 외곽에 형성되는 부산물 이른바 에지비드(Edge Bead)를 용이하게 제거하고 대면적 표시장치용 기판 및 다면 취 표시장치용 기판 제작 공정에 용이한 표시장치용 기판의 부산물 제거장치를 제공하는 효과가 있다.The present invention is a by-product of a display device substrate that is easy to remove by-products, so-called edge beads formed on the outer surface of the substrate during the organic material processing, and to facilitate the manufacturing process of a large-area display device and a substrate for a multi-sided display device. It is effective to provide a removal device.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the technical configuration of the present invention described above may be modified in other specific forms by those skilled in the art to which the present invention pertains without changing its technical spirit or essential features. It will be appreciated that it may be practiced. Therefore, the embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all aspects. In addition, the scope of the present invention is shown by the claims below, rather than the above detailed description. Also, it is to be construed that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention.

110: 몸체부 120: 기저부
130: 헤드부 140: 세정부
141: 약액분사부 142: 기체분사부
150: 흡입부 160: 기판110: body portion 120: base portion
130: head portion 140: washing portion
141: chemical liquid injection unit 142: gas injection unit
150: suction unit 160: substrate

Claims (9)

몸체부;
상기 몸체부에 설치되는 헤드부;
상기 헤드부에 설치되며 약액과 기체를 분사하여 로딩된 기판 상에 형성된 부산물을 제거하는 세정부; 및
상기 세정부에 의해 상기 기판으로부터 제거되어 나오는 물질을 흡입하는 흡입부를 포함하는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치.A body portion;
A head part installed on the body part;
A cleaning unit installed in the head unit to remove by-products formed on the loaded substrate by injecting a chemical solution and a gas; And
And a suction part for sucking a material removed from the substrate by the cleaning part. 제1항에 있어서,
상기 세정부는,
상기 기판 상에 약액을 분사하는 약액분사부와,
상기 기판 상에 기체를 분사하는 기체분사부를 포함하는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치.The method of claim 1,
The cleaning unit,
A chemical liquid spraying unit spraying the chemical liquid on the substrate;
An apparatus for removing by-products of a substrate for a display device including a gas injection part for injecting gas onto the substrate. 제1항에 있어서,
상기 흡입부는,
상기 헤드부에 설치되거나 상기 몸체부에 설치되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치.The method of claim 1,
The suction unit,
The by-product removal device of the substrate for a display device, characterized in that installed in the head portion or the body portion. 제1항에 있어서,
상기 흡입부는,
슬롯 형상, 원형 형상 및 다각형 형상의 흡입구 중 적어도 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치.The method of claim 1,
The suction unit,
The by-product removing device of the substrate for a display device, characterized in that formed in at least one of the inlet of the slot shape, circular shape and polygonal shape. 제2항에 있어서,
상기 약액분사부 및 상기 기체분사부는,
슬롯 형상, 원형 형상 및 다각형 형상의 분사구 중 적어도 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치.The method of claim 2,
The chemical liquid injection unit and the gas injection unit,
An apparatus for removing by-products of a substrate for a display device, characterized in that formed in at least one of a slot shape, a circular shape, and a polygonal injection hole. 제2항에 있어서,
상기 약액분사부, 상기 기체분사부 및 상기 흡입부는 복수로 설치되며,
상기 로딩된 기판에 형성된 표시영역의 외곽에 대응되어 정렬되도록 이동되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치.The method of claim 2,
The chemical liquid injection unit, the gas injection unit and the suction unit is provided in plurality,
The by-product removing apparatus of the display device substrate, characterized in that moved so as to be aligned to correspond to the outside of the display area formed on the loaded substrate. 제2항에 있어서,
상기 약액분사부 및 상기 기체분사부는,
분사각이 제어되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치.The method of claim 2,
The chemical liquid injection unit and the gas injection unit,
The by-product removal device of the substrate for a display device, characterized in that the injection angle is controlled. 제1항에 있어서,
상기 몸체부는,
상기 세정부의 유량을 제어하는 유량 제어부를 더 포함하는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치.The method of claim 1,
The body portion
The by-product removing apparatus of the substrate for a display device further comprises a flow control unit for controlling the flow rate of the cleaning unit. 제1항에 있어서,
상기 약액분사부, 상기 기체분사부 및 상기 흡입부 중 적어도 하나는,
제1축 또는 제2축 방향으로 왕복 이동 되도록 제어되는 표시장치용 기판의 부산물 제거장치.The method of claim 1,
At least one of the chemical liquid injection unit, the gas injection unit and the suction unit,
An apparatus for removing by-products of a substrate for a display device which is controlled to reciprocate in a first axis direction or a second axis direction.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20180114807A (en) * 2017-04-11 2018-10-19 비스에라 테크놀러지스 컴퍼니 리미티드 Apparatus and method for removing photoresist layer from alignment mark
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