KR20110114281A - 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치 - Google Patents

테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 캐리어보드를 이송시키기 위한 이송축과 캐리어보드의 자세(위치)를 유지시키기 위한 유지축이 동일한 파지동력원에 의해 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 함으로써 장치의 설계가 용이하고 생산단가를 절감할 수 있도록 하는 기술이 개시된다.

Description

테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치{CARRIER BOARD TRANSFER APPARATUS FOR TEST HANDLER}
본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 관한 것이다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재시키는 기기로서 대한민국 등록특허공보 등록번호 10-0553992호(발명의 명칭 : 테스트 핸들러) 등과 같은 다수의 공개문서들을 통해 이미 공개되어 있다.
일반적으로, 생산된 반도체소자는 고객트레이에 적재된 상태에서 테스트핸들러로 공급된다. 테스트핸들러로 공급된 반도체소자는 로딩위치에 있는 캐리어보드로 로딩된 후 캐리어보드에 적재된 상태로 로딩위치에서 소크챔버, 테스트챔버 및 디소크챔버를 거쳐 언로딩위치로 이동한다. 그리고 캐리어보드가 테스트챔버 상에 위치할 때 테스터에 의해 캐리어보드에 적재된 반도체소자들의 테스트가 이루어지며, 캐리어보드가 언로딩위치에 위치할 때 캐리어보드에 적재된 반도체소자들이 고객트레이로 언로딩된다. 여기서 캐리어보드라 함은 다수의 반도체소자들이 한꺼번에 테스트될 수 있도록 지원하기 위해 다수의 반도체소자들을 적재시킬 수 있도록 한 적재요소인데, 이러한 캐리어보드에는 종래 개념의 테스트트레이와 근자에 새로이 제안된 신개념의 테스트보드가 있다.
한편, 소크챔버에서는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들에 열적인 스트레스를 가하여 반도체소자들을 테스트 온도 조건으로 가열시키거나 냉각시키고, 디소크챔버에서는 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 상온에 가깝게 회귀시키게 된다.
따라서 소크챔버에서는 캐리어보드를 테스트챔버로 보내기에 앞서 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 테스트하기에 적당한 온도로 충분히 가열시키거나 냉각시켜야 하고, 디소크챔버에서는 캐리어보드를 언로딩위치로 보내기에 앞서 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 언로딩하기에 적합한 온도로 회귀시켜야 한다.
대개의 경우 소크챔버에는 다수의 캐리어보드가 함께 순차적으로 수용되기 때문에, 다수의 캐리어보드가 함께 테스트챔버 측으로 이송되어야 하고, 소크챔버로 새로이 수용되는 캐리어보드들도 먼저 수용된 캐리어보드를 따라서 함께 테스트챔버 측으로 원활히 이송되어야 한다. 그리고 소크챔버에 수용된 다수의 캐리어보드에 적재된 반도체소자들이 테스트 시에 요구되는 온도로 가열되거나 냉각될 충분한 물리적 시간이 확보되어야 한다. 이러한 필요들에 의해 소크챔버에서는 캐리어보드들을 캐리어보드의 적재면에 수직한 방향으로 동시에 이송시키거나 동시에 정지시키는 동작을 반복하면서 먼저 수용된 캐리어보드 순으로 순차적으로 테스트챔버 측으로 병진 이송시키도록 하는 기술이 필요하다. 즉, 소크챔버 내부에서 캐리어보드들을 단계적으로 병진 이송시키기 위한 이송장치가 필요하며, 그러한 이송장치에 대한 필요는 디소크챔버에서도 마찬가지로 요구된다.
위에서 설명한 바와 같은 요구들을 만족할 수 있는 이송장치는 다수의 캐리어보드를 테스트챔버 측으로 단계적으로 병진 이송시킬 수 있는 구성과 캐리어보드가 정지하고 있을 시에 캐리어보드의 위치를 유지시킬 수 있는 구성을 필요로 한다. 이러한 예들로서, 대한민국 특허 공개공보 공개번호 특2002-0076442호(발명의 명칭 : 핸들러의 트레이 이송장치, 출원인 : 미래산업 주식회사)에서 제안된 기술(이하 '종래기술1'이라 함)과 공개번호 10-2006-0118824호(발명의 명칭 : 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 이송장치, 출원인 : 미래산업 주식회사)에서 제안된 기술(이하 '종래기술2'라 함) 등이 있다.
종래기술1은 캐리어보드(종래기술1에는 '트레이'로 정의 됨)를 병진 이송시키기 위한 이송축과 캐리어보드의 정지 시에 캐리어보드의 위치를 유지시키기 위한 유지축(종래기술1에는 '홀더축'으로 정의 됨)을 구비하고 있고, 이송축과 유지축을 구동하기 위한 각각의 구동장치를 구비하고 있으며, 최종 이송축과 최종 유지축을 추가로 구비할 뿐더러 이들을 구동하기 위한 별도의 구동장치도 구비하고 있다. 따라서 구비되어야 할 장치가 많아 설계가 복잡하고, 생산단가가 상승하는 문제점을 가진다.
종래기술2는 종래기술1을 보완 개략한 기술이지만, 이 역시 이송축(종래기술2에는 '이송부재'로 정의 됨)과 홀더부재를 구비하고 있고, 이송축과 홀더부재를 구동하기 위한 각각의 구동장치를 구비하고 있으며, 측면 지지부재와 최종 홀더부재 및 이들을 구동하기 위한 구동장치도 별도로 구비하고 있다. 따라서 여전히 구비되어야 할 장치가 많아 설계가 복잡하고 생산단가가 상승하는 문제점을 가진다.
본 발명은 이송축과 유지축이 동일한 동력원에 의해서 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치는, 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 캐리어보드를 파지한 상태로 캐리어보드를 병진 이송시키기 위해 마련되는 이송축; 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 상기 이송축에 의해 캐리어보드가 파지된 상태로 병진 이송될 때에는 캐리어보드의 파지를 해제하고, 상기 이송축으로부터 캐리어보드의 파지가 해제된 상태에서는 캐리어보드를 파지함으로써 캐리어보드의 위치를 유지시키기 위해 마련되는 유지축; 상기 이송축에 의한 캐리어보드의 병진 이송에 필요한 동력을 제공하는 이송동력원; 및 상기 이송축과 유지축이 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하는 파지동력원; 을 포함한다.
상기 이송축은 캐리어보드를 파지하기 위한 다수의 파지돌기를 가지고 있고, 상기 유지축은 캐리어보드를 파지하기 위한 복수의 파지돌기를 가지고 있으며, 상기 파지동력원은 상기 이송축과 유지축을 함께 회전시킴으로써 상기 다수의 파지돌기들 사이 또는 상기 복수의 파지돌기들 사이에 캐리어보드를 삽입시키거나 탈거시켜 상기 이송축 및 유지축에 의해 캐리어보드를 파지시키거나 파지를 해제시키도록 구현된다.
상기 이송축이 가지는 파지돌기의 개수는 상기 유지축이 가지는 파지돌기의개수보다 적어도 1개 이상 더 많은 것이 바람직하다.
상기 파지동력원은 상기 이송축에 회전력을 제공하며, 상기 이송축은 상기 파지동력원으로부터 제공받은 회전력을 상기 유지축에 전달함으로써 상기 이송축과 유지축이 함께 회전한다.
상기 유지축은 그 내부가 축 방향으로 관통되어 있고, 축 방향으로 길게 형성된 노출홈을 가지며, 상기 이송축은 상기 유지축의 내부에 축 방향으로 삽입되어 있고, 상기 다수의 파지돌기는 상기 노출홈을 통해 상기 유지축의 외측으로 돌출된다.
위와 같은 본 발명에 따르면 하나의 동력원에 의해서 이송축과 유지축이 함께 회전하면서 이송축이 캐리어보드를 파지할 때에는 유지축이 캐리어보드의 파지를 해제하여 캐리어보드의 이송이 가능하도록 하고, 이송축이 캐리어보드의 파지를 해제할 때에는 유지축이 캐리어보드를 파지하여 캐리어보드의 위치를 유지시킬 수 있도록 함으로써 장치가 간소해져 설계가 용이하고 그 생산단가도 절감할 수 있는 효과가 있다.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 사시도이다.
도2는 도1의 이송장치에서 이송축과 유지축을 별개로 발췌하여 분리시켜 놓은 사시도이다.
도3은 이송축의 회전과 그에 따른 캐리어보드의 파지 및 파지 해제 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도4는 유지축의 회전과 그에 따른 캐리어보드의 파지 및 파지 해제 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도5a 내지 도5g는 도1의 이송장치의 작동을 설명하기 위한 작동 상태도이다.
도6은 이송축과 유지축이 가지는 파지돌기들 간의 다른 예를 보여주기 위한 참조도이다.
도7은 본 발명의 다른 실시에에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 사시도이다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
<제1 실시예>
도1은 본 발명의 실시예에 따른 이송장치(100)에 대한 사시도이고, 도2는 이송축(110)과 유지축(120)을 서로 분리시켜 놓은 분해 사시도이다.
도1 및 2에서 참조되는 바와 같이, 이송장치(100)는 이송축(110), 유지축(120), 이송동력원(130), 파지동력원(140) 및 안착장치(150) 등을 포함하여 구성된다. 여기서 이송축(110), 유지축(120), 파지동력원(140) 등은 캐리어보드(CB)의 네 귀퉁이를 파지하기 위해 4개씩 구비되어지나, 본 설명이나 도면 부호 등에서는 설명의 간결함을 위해 하나의 이송축(110), 유지축(120) 및 파지동력원(140)을 참조로 설명한다.
이송축(110)은, 전후 방향으로 이동 가능하고 전후 방향의 축(Y)을 회전축으로 하여 화살표(도1의 화살표 a 참조) 방향으로 회전 가능하게 구비되며, 캐리어보드(CB)를 파지하기 위한 13개의 파지돌기(110a 내지 110m)를 축 방향으로 나란히 일렬로 가진다. 따라서 도3의 참조도에서 참조되는 바와 같이 그 회전 상태에 따라 캐리어보드(CB)를 파지하거나 파지 해제할 수 있게 된다.
유지축(120)도 캐리어보드(CB)를 파지하기 위한 12개의 파지돌기(120a 내지 120l)를 축 방향으로 나란히 일렬로 가지며, 도4의 참조도에서 참조되는 바와 같이 그 회전 상태에 따라 캐리어보드(CB)를 파지하거나 파지 해제할 수 있게 된다. 또한 유지축(120)은 그 내부가 축 방향으로 관통되어 있으며, 축 방향으로 길게 형성된 노출홈(121)을 가진다. 이러한 유지축(120)은 이송축(110)의 회전축과 동 축인 전후 방향의 축(Y)을 회전축으로 하여 화살표(도1의 화살표 b 참조) 방향으로 회전 가능하나 전후 방향으로의 이동은 이루어지지 않도록 고정되게 구비된다.
위와 같은 구성의 이송축(110)과 유지축(120)은 이송축(110)이 유지축(120)의 내부에 축 방향으로 삽입된 상태로 상호 결합되어지며, 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)들은 유지축(120)의 노출홈(121)을 통해 유지축(120)의 외측으로 돌출되어진다. 따라서 이송축(110)이 회전하게 되면 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)들이 이송축(110)의 회전력을 유지축(120)에 전달하는 구조가 구현된다.
위와 같은 구성은 이송축(110)을 파지돌기(110a 내지 110m)가 없는 상태에서 유지축(120)에 삽입시킨 후, 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)를 이송축(110)에 결합시킴으로써 완성된다.
이송동력원(130)은, 이송축(110)을 캐리어보드(CB)의 적재면에 수직한 방향인 전후 방향으로 왕복 운동시킴으로써 캐리어보드(CB)의 적재면에 수직한 방향으로 캐리어보드(CB)를 병진 이송시키기 위한 동력을 제공하기 위해 마련되는 것으로, 본 실시예에서는 실린더(131)와 실린더(131)로부터 제공되는 동력을 4개의 이송축(110) 각각으로 분산하여 전달하기 위한 전달부재(132)로 구성되어 있다.
파지동력원(140)은, 이송축(110)과 유지축(120)이 캐리어보드(CB)를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하기 위해 마련되는 것으로, 본 실시예에서는 모터로 구성되어 있다.
안착장치(150)는, 유지축(120)과 분리되어 있으며, 이송축(110)에 의해 병진 이송되어 온 캐리어보드(CB)를 테스트챔버(미도시) 또는 언로딩위치(미도시)와 같은 다른 곳으로 이송시킬 수 있도록 캐리어보드(CB)를 임시적으로 안착시키기 위해 마련된다. 즉, 테스트챔버나 언로딩위치의 상황(테스트챔버나 언로딩위치에 앞선 캐리어보드가 위치하고 있는 경우 등)에 따라서 캐리어보드(CB)를 테스트챔버나 언로딩위치로 이송시키지 못하고 대기시킬 필요가 있는데, 유지축(120)은 이송축(110)의 정역 회전에 연동하여 정역 회전하기 때문에 유지축(120)에 파지된 상태로 캐리어보드(CB)를 대기시키기에는 부적합하다. 따라서 유지축(120)과는 다른 별도의 안착장치(150)를 통해 캐리어보드(CB)를 이송 대기시키도록 하고 있다. 그리고 이송축(110)에 의해 캐리어보드(CB)를 안착장치(150)에 안착시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하기 때문에, 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)의 개수를 유지축(120)의 파지돌기(120a 내지 120l)의 개수보다 한 개 더 많게 구성한다. 물론, 안착장치가 2개 이상의 캐리어보드를 대기시킬 수 있도록 구현된 경우에는, 그에 비례하는 만큼 이송축의 파지돌기의 개수를 유지축의 파지돌기의 개수보다 더 많게 구성시키는 것이 바람직하다. 이러한 안착장치(150)는 캐리어보드(CB)를 파지할 수 있는 상하 한 쌍의 파지대(151a, 151b)와 한 쌍의 파지대(151a, 151b) 각각을 상하 방향으로 일정 간격 이동시키기 위한 구동원(152)으로 구성된다. 본 실시예에서는 구동원(152)이, 모터(152a), 벨트(152b), 구동풀리(152c), 피동풀리(152d) 및 한 쌍의 파지대(151a, 151b)를 벨트(152b)에 결합시키기 위한 결합대(152e, 152f) 등으로 구성된다. 물론, 실시하기에 따라서는 2개의 구동원에 의해 한 쌍의 파지대가 각각 별개로 작동되도록 구성하는 것도 얼마든지 고려될 수 있으며, 모터(152a) 대신에 실린더와 같은 다른 동력원을 이용할 수도 있다.
계속하여 상기한 바와 같은 캐리어보드 이송장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 도5a에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)가 화살표(c) 방향으로 진입해 오면서 이송축(120)의 제1 파지돌기(110a)와 제2 파지돌기(110b) 사이에 삽입된다. 그러나 경우에 따라서는 장비의 구조상 캐리어 보드(CB)가 위에서 아래로 진입해 오면서 이송축의 제1 파지돌기와 제2 파지돌기 사이에 삽입된다. 이러한 경우, 윗 쪽에 위치한 2개의 이송축의 파지돌기의 방향은 캐리어보드의 이동 방향(위에서 아래)의 수직한 방향 혹은 수직한 방향보다 캐리어보드 이동 방향 쪽으로 치우진 방향으로 있다가 캐리어보드가 하부 이송축의 파지돌기에 삽입이 완료된 후 회전함으로써 후 캐리어보드를 지지하는 구성으로 할 수 도 있다. 즉 4개의 이송축의 파지돌기의 방향은 장비의 구조에 따라 초기에는 모두 동일한 방향으로 정지되어 있지 않으며, 작동 시에도 모두 동일한 방향으로 회전되지 않을 수 도 있다.
도5a의 상태에서 이송동력원(130)이 작동하여, 도5b에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)을 후방으로 밀어 이동시킴으로써 캐리어보드(CB)를 1 스텝(step) 후방으로 이동시킨다.
도5b의 상태에서 파지동력원(140)이 작동하여 이송축(110)을 정회전시키면, 도5c에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)이 정회전함과 동시에 유지축(120)도 정회전하면서 캐리어보드(CB)는 이송축(110)의 제1 파지돌기(110a)와 제2 파지돌기(110b) 사이에서 탈거되면서 유지축(120)의 제1 파지돌기(120a)와 제2 파지돌기(120b) 사이에 삽입된다. 이 때, 파지동력원(140)의 작동에 따라 유지축(120)의 파지돌기(120a 내지 120l)들에 의해 캐리어보드(CB)가 파지되는 시점과 이송축(110)의 파지돌기(110a 내지 110m)들에 의해 캐리어보드(CB)의 파지가 해제되는 시점이 다를 수 있으며, 이러한 경우 순간적으로 캐리어보드(CB)의 자세가 불안정(쓰러지거나 위치를 이탈하는 등)해질 수 있다. 따라서 4개의 파지동력원(140)이 시간차를 두고 순차적으로 작동되게 구현하거나 4개의 파지동력원(140) 중 2개씩 시간차를 두고 쌍으로 작동되게 구현하는 것이 바람직하다.
물론 유지축의 파지돌기들과 이송축의 파지돌기들 간의 각도(θ, 0˚ < θ < 90˚)를 조정하여, 도6에서 참조되는 바와 같이, 유지축(120A)의 파지돌기(120A-1)들에 의한 캐리어보드(CB)의 파지가 해제되기 전에 이송축(110A)에 의한 파지돌기(110A-1)들에 의한 캐리어보드(CB)의 파지가 이루어지도록 하는 것도 바람직하게 고려될 수 있다.
도5c와 같은 상태에서 이송동력원(130)이 작동하여, 도5d에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)을 전방으로 당김으로써 이송축(110)을 도5a와 같은 원래의 상태로 복귀시킨다.
이어서 파지동력원(140)이 작동하여 이송축(110)을 역회전시키면, 도5e에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)이 역회전함과 동시에 유지축(120)도 역회전하면서 캐리어보드(CB)는 유지축(120)의 제1 파지돌기(120a)와 제2 파지돌기(120b) 사이에서 탈거되면서 이송축(110)의 제2 파지돌기(110b)와 제3 파지돌기(110c) 사이에 삽입된다. 그리고 이송축(110)의 제1 파지돌기(110a)와 제2 파지돌기(110b) 사이에는 새로운 캐리어보드가 삽입될 수 있게 된다.
즉, 이송축(110)에 의해 캐리어보드(CB)가 파지된 상태로 병진 이송되어야 할 때에는 유지축(120)이 캐리어보드(CB)의 파지를 해제시킨 상태로 되게 하고, 이송축(110)으로부터 캐리어보드(CB)의 파지가 해제된 상태에서는 유지축(120)이 캐리어보드(CB)를 파지하여 캐리어보드(CB)의 자세(또는 위치) 등을 유지시키는 상태로 되게 함으로써 이송축(110)과 유지축(120)에 의한 캐리어보드(CB)의 단계적 이송을 실현시킨다.
그리고 계속하여 도5a 내지 도5e의 동작을 반복함으로써 캐리어보드(CB)를 전방에서 후방으로 1 스텝씩 병진 이송시키게 된다.
차후 이송축(110)의 후단 부근까지 이송된 캐리어보드(CB)는, 도5f에서 참조되는 바와 같이, 이송축(110)의 제12 파지돌기(110l)와 제13 파지돌기(110m) 사이에 삽입된 채로 더 후방으로 이송되어진다. 이 때, 안착장치(150)의 구동원(152)은 캐리어보드(CB)의 진입을 허락하기 위하여 양 파지대(151a, 151b) 사이의 간격을 벌려 놓는다. 캐리어보드(CB)가 양 파지대(151a, 151b)와 수직선상에서 일치된 상태로 진입을 완료하게 되면, 도5g에서 참조되는 바와 같이, 구동원(152)이 작동하여 양 파지대(151a, 151b) 간의 간격을 좁힘으로써 캐리어보드(CB)의 상측 변과 하측 변이 양 파지대(151a, 151b)에 의해 파지될 수 있게 한다.
한편, 위에서 설명된 작동에 대한 설명에서는 캐리어보드(CB)가 이송축(110)에 파지되면서 병진 이송이 시작되고 있지만, 실시하기에 따라서는 캐리어보드가 유지축에 먼저 파지되면서 병진 이송이 시작되도록 하는 것도 가능하다.
<제2 실시예>
도7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송장치(700)에 대한 사시도이다.
본 실시예에 따른 이송장치(700)는, 파지동력원(740)을 2개 구비시키고, 1개의 실린더(741)가 2개의 회전부재(742a, 742b) 및 링크부재(743)를 통해 2개의 이송축(710A, 710B)에 회전력을 제공하는 구조로 되어 있다. 이러한 예의 경우에도 2개의 파지동력원(740)이 동시에 작동되도록 하거나 순차적으로 작동되도록 할 수 있으며, 실시하기에 따라서는 링크구조를 개량하여 하나의 파지동력원에 의해 4개의 이송축에 회전력이 제공되도록 하는 구조도 얼마든지 고려될 수 있다.
위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 이송장치
110 : 이송축
110a 내지 110m : 파지돌기
120 : 유지축
121 : 노출홈
120a 내지 120l : 파지돌기
130 : 이송동력원
140 : 파지동력원
150 : 안착장치

Claims (5)

  1. 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 캐리어보드를 파지한 상태로 캐리어보드를 병진 이송시키기 위해 마련되는 이송축;
    캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 상기 이송축에 의해 캐리어보드가 파지된 상태로 병진 이송될 때에는 캐리어보드의 파지를 해제하고, 상기 이송축으로부터 캐리어보드의 파지가 해제된 상태에서는 캐리어보드를 파지함으로써 캐리어보드의 위치를 유지시키기 위해 마련되는 유지축;
    상기 이송축에 의한 캐리어보드의 병진 이송에 필요한 동력을 제공하는 이송동력원; 및
    상기 이송축과 유지축이 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하는 파지동력원; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송축은 캐리어보드를 파지하기 위한 다수의 파지돌기를 가지고 있고,
    상기 유지축은 캐리어보드를 파지하기 위한 복수의 파지돌기를 가지고 있으며,
    상기 파지동력원은 상기 이송축과 유지축을 함께 회전시킴으로써 상기 다수의 파지돌기들 사이 또는 상기 복수의 파지돌기들 사이에 캐리어보드를 삽입시키거나 탈거시켜 상기 이송축 및 유지축에 의해 캐리어보드를 파지시키거나 파지를 해제시키는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이송축이 가지는 파지돌기의 개수는 상기 유지축이 가지는 파지돌기의개수보다 적어도 1개 이상 더 많은 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 파지동력원은 상기 이송축에 회전력을 제공하며,
    상기 이송축은 상기 파지동력원으로부터 제공받은 회전력을 상기 유지축에 전달함으로써 상기 이송축과 유지축이 함께 회전하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치
  5. 제4항에 있어서,
    상기 유지축은 그 내부가 축 방향으로 관통되어 있고, 축 방향으로 길게 형성된 노출홈을 가지며,
    상기 이송축은 상기 유지축의 내부에 축 방향으로 삽입되어 있고, 상기 다수의 파지돌기는 상기 노출홈을 통해 상기 유지축의 외측으로 돌출되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
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