KR20110114256A - 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비 - Google Patents

플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비 Download PDF

Info

Publication number
KR20110114256A
KR20110114256A KR1020100033801A KR20100033801A KR20110114256A KR 20110114256 A KR20110114256 A KR 20110114256A KR 1020100033801 A KR1020100033801 A KR 1020100033801A KR 20100033801 A KR20100033801 A KR 20100033801A KR 20110114256 A KR20110114256 A KR 20110114256A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
horizontal direction
flexible element
carrier
motor
Prior art date
Application number
KR1020100033801A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101295887B1 (ko
Inventor
김용해
김기현
강승열
Original Assignee
한국전자통신연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국전자통신연구원 filed Critical 한국전자통신연구원
Priority to KR1020100033801A priority Critical patent/KR101295887B1/ko
Priority to US12/856,127 priority patent/US8461860B2/en
Publication of KR20110114256A publication Critical patent/KR20110114256A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101295887B1 publication Critical patent/KR101295887B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • G01M99/007—Subject matter not provided for in other groups of this subclass by applying a load, e.g. for resistance or wear testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M5/00—Investigating the elasticity of structures, e.g. deflection of bridges or air-craft wings
    • G01M5/0041—Investigating the elasticity of structures, e.g. deflection of bridges or air-craft wings by determining deflection or stress
    • G01M5/005—Investigating the elasticity of structures, e.g. deflection of bridges or air-craft wings by determining deflection or stress by means of external apparatus, e.g. test benches or portable test systems
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N3/20—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress by applying steady bending forces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N2203/003—Generation of the force
    • G01N2203/0032—Generation of the force using mechanical means
    • G01N2203/0037—Generation of the force using mechanical means involving a rotating movement, e.g. gearing, cam, eccentric, or centrifuge effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
    • G01N2203/04—Chucks, fixtures, jaws, holders or anvils
    • G01N2203/0405—Features allowing alignment between specimen and chucks

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

본 발명은 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비에 관한 것으로, 수평 방향으로 배치되어 플렉서블 소자를 수평 방향으로 로딩하는 제1 및 제2 전극부를 포함할 수 있다. 상기 제1 전극부는 상기 수평 방향으로 이동 가능하고 상기 제2 전극부는 고정되어, 상기 플렉서블 소자에 수평 방향의 기계적 스트레스가 인가되도록 상기 제1 전극부가 상기 제2 전극부쪽으로 수평 이동할 수 있다. 본 발명에 의하면, 플렉서블 소자에 균일한 기계적 스트레스가 인가되어 플렉서블 소자가 균일한 곡률 반경으로 휘어지게 되고, 이에 따라 플렉서블 소자의 벤딩 테스트의 신뢰성을 담보할 수 있다.

Description

플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비{BENDING TEST APPARATUS FOR FLEXIBLE DEVICES}
본 발명은 반도체 소자의 테스트 설비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 전기적 및 기계적 스트레스 테스트의 신뢰성을 확보할 수 있는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비에 관한 것이다.
유리 기판 위에 제작되는 디스플레이 소자는 휘어지지 않기 때문에 전기적 스트레스에 의한 신뢰성 조사가 주로 이루어진다. 그러나, 플렉서블한 기판 위에 제작되는 디스플레이 소자와 같은 플렉서블 소자는 휘어지는 특성을 가지기 때문에 전기적 스트레스 외에 기계적인 스트레스를 받게 된다. 그러므로, 플라스틱 기판 위에 증착되는 박막 및 플렉서블 소자의 기계적인 스트레스에 대한 신뢰성 측정이 필요하다.
본 발명은 플렉서블 소자에 대한 기계적 스트레스 테스트에 있어서 신뢰성을 확보할 수 있는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비는 수평 방향으로 기계적 스트레스를 인가하는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 플렉서블 소자를 일정한 곡률 반경으로 휘게하므로써 일정한 기계적 스트레스를 인가할 수 있는 것을 다른 특징으로 한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비는, 수평 방향으로 배치되어 플렉서블 소자를 수평하게 로딩하는 제1 및 제2 전극부를 포함하고, 상기 제1 전극부는 상기 수평 방향으로 이동 가능하고 상기 제2 전극부는 고정되어, 상기 플렉서블 소자에 수평 방향의 기계적 스트레스가 인가되도록 상기 제1 전극부가 상기 제2 전극부쪽으로 수평 이동할 수 있다.
본 실시예의 설비에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극부 중 적어도 어느 하나는 상기 수평 방향과 수직한 회전축을 중심으로 회전 가능하게 설계될 수 있다.
본 실시예의 설비에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극부 사이에 배치되어 상기 수평 방향의 기계적 스트레스가 인가된 상기 플렉서블 소자가 중력 방향으로 휘어지는 것을 제한하는 지지대를 더 포함할 수 있다.
본 실시예의 설비에 있어서, 상기 플렉서블 소자에 전기적 스트레스가 인가되도록 상기 제1 및 제2 전극부에 전기적 신호를 제공하는 전기 장치를 더 포함할 수 있다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 변형 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비는, 회전력을 발생시키는 모터; 상기 모터에 연결되어 상기 회전력을 전달받아 편심 회전하는 캠; 상기 캠의 편심 회전에 의해 수평 방향으로 직선 이동하는 캐리어; 상기 캐리어에 고정되어 상기 캐리어의 직선 이동에 의존하여 상기 수평 방향으로 이동하는 회전 가능한 제1 전극부; 및 상기 제1 전극부와 상기 수평 방향으로 이격 고정된 회전 가능한 제2 전극부를 포함할 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 모터는 상기 수평 방향으로 위치 이동이 가능하게 설계될 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 캠과 상기 캐리어는 상기 수평 방향으로 배치될 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 수평 방향은 서로 반대 방향인 제1 및 제2 수평 방향을 포함하고, 상기 캐리어의 상기 제2 수평 방향으로의 이동에 의존하여 상기 제1 전극부는 상기 제2 전극부쪽으로 이동되고, 상기 제1 전극부의 이동에 의해 상기 제1 및 제2 전극부 사이의 거리가 축소되어 상기 플렉서블 소자에 수평 방향의 기계적 스트레스를 인가할 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 캐리어에 결합되어 상기 캐리어를 상기 제1 수평 방향으로 복원 이동시키는 용수철을 더 포함할 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 캐리어와 상기 캠 사이에 배치되어 상기 캐리어의 복원 위치를 넘는 상기 제1 수평 방향으로의 과도한 이동을 저지하는 스톱퍼를 더 포함할 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 스톱퍼는 상기 수평 방향으로의 위치 이동이 가능하게 설계될 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극부 중 적어도 어느 하나는, 상기 플렉서블 소자가 끼워지는 홈을 포함하는 롤러; 상기 롤러 내에 배치되어 상기 홈에 끼워진 상기 플렉서블 소자와 접촉하는 적어도 하나의 전극; 및 상기 롤러가 회전 가능하게 설치되는 전극 바디를 포함할 수 있다. 상기 롤러는 상기 플렉서블 소자가 휘어질 때 회전되어 상기 플렉서블 소자에 일정한 기계적 스트레스가 인가될 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극에 전기적 신호를 인가하여 상기 플렉서블 소자에 전기적 스트레스를 인가하는 단자 연결 구조의 프로브를 더 포함할 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극부 사이에 상기 롤러의 반경과 동일하거나 보다 큰 높이를 가지며, 상기 플렉서블 소자가 중력 방향으로 휘어지는 것을 방해하는 지지대를 더 포함할 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 모터의 위치를 가늠할 수 있는 제1 눈금자와 상기 제1 및 제2 전극부 사이의 거리를 가늠할 수 있는 제2 눈금자 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 캠은 그 회전축이 상기 모터의 회전축과 오프셋될 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극부와 상기 캐리어가 설치되는 장소를 제공하는 프레임을 더 포함하고, 상기 프레임은 상기 캐리어의 상기 수평 방향으로의 이동을 안내하는 제1 이동홈을 포함할 수 있다.
본 변형 실시예의 설비에 있어서, 상기 프레임은 상기 모터의 위치를 변경시키는 제2 이동홈과 상기 스톱퍼의 위치를 변경시키는 제3 이동홈을 더 포함할 수 있다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 다른 변형 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비는, 회전 운동이 직선 왕복 운동으로 변환되는 장치와; 상기 장치와 결합되어 상기 장치와 함께 직선 왕복 운동하는 제1 전극부와; 그리고 상기 제1 전극부와는 수평 방향으로 이격 배치되어, 상기 제1 전극부와의 사이에 플렉서블 소자를 수평 상태로 로딩하는 고정된 제2 전극부를 포함할 수 있다. 상기 제1 전극부는 상기 제2 전극부쪽으로 직선 이동하여 상기 플렉서블 소자를 수직 방향으로 휘어지게 할 수 있다.
본 다른 변형 실시예에 있어서, 상기 장치는 상기 회전 운동을 발생시키는 모터와; 상기 제1 전극부와 결합되고, 상기 회전 운동을 전달받아 상기 직선 왕복 운동하는 캐리어와; 그리고 상기 모터와 결합되어 상기 회전 운동에 의해 편심 회전하고, 상기 편심 회전에 따라 상기 캐리어를 상기 제2 전극부쪽으로 직선 운동시키는 캠을 포함할 수 있다. 상기 캠은 상기 모터의 회전 운동을 상기 캐리어의 직선 왕복 운동으로 변환시킬 수 있다.
본 발명에 의하면, 플렉서블 소자를 로딩하는 전극부가 수평 방향으로 설치되어 수평 방향의 기계적 스트레스를 인가하므로써 수직 방향의 기계적 스트레스를 인가하는 것에 비해 보다 균일한 기계적 스트레스를 인가할 수 있게 된다. 또한 전극부가 회전 가능하게 설계되므로써 보다 균일한 기계적 스트레스를 인가하므로써 균일한 곡률 반경으로 플렉서블 소자를 휘어지게 할 수 있다. 이에 따라 벤딩 테스트시 플렉서블 소자에 변곡점이 생기지 않아 테스트 신뢰성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
도 1a는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비를 도시한 단면도.
도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비를 도시한 평면도.
도 1c는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비에 있어서 전극부를 확대 도시한 평면도.
도 1d는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비에 있어서 전극부를 확대 도시한 단면도.
도 2a 및 3a는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 방법을 도시한 평면도.
도 2b 및 3b는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 방법에 있어서 전극부를 확대 도시한 단면도.
도 4a 및 4b는 본 발명의 변형 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비를 도시한 평면도.
이하, 본 발명에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1a는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비를 도시한 단면도이고, 도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비를 도시한 평면도이다.
도 1a 및 1b를 참조하면, 본 실시예의 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비(100)는 하우징(114) 내에 플렉서블 소자(101)의 신뢰성을 테스트할 수 있는 테스트부(102)를 포함할 수 있다. 본 실시예에 의하면, 테스트부(102)는 전기적 스트레스 및 기계적 스트레스에 의한 플렉서블 소자(101)의 신뢰성을 테스트할 수 있도록 설계될 수 있다. 예컨대, 벤딩 테스트 설비(100)는 하우징(114) 내부에 프레임(112)이 설치되고, 테스트부(102)는 그 프레임(12)에 제공되도록 설계될 수 있다.
테스트부(102)는 회전 운동을 발생시키는 모터(120), 그 회전 운동을 전달받아 편심 회전할 수 있는 캠(130), 캠(130)의 편심 회전에 의해 직선 왕복 운동할 수 있는 캐리어(140), 캐리어(140)에 연결되어 직선 왕복 운동이 가능한 제1 전극부(150), 제1 전극부(150)와 함께 플렉서블 소자(101)를 로딩할 수 있는 제2 전극부(160), 그리고 제2 전극부(160)를 일정 위치에 고정시킬 수 있는 고정부(170)를 포함할 수 있다. 본 실시예에 의하면, 제1 및 제2 전극부(150,160)는 수평 방향으로 배치될 수 있다. 아울러, 제1 및 제2 전극부(150,160)는 플렉서블 소자(101)의 벤딩 테스트시 회전 가능하게 설계되므로써, 플렉서블 소자(101)는 균일한 기계적 스트레스를 인가받을 수 있다. 캠(130)은 모터(120)의 회전 운동을 캐리어(140)의 직선 왕복 운동으로 변환시킬 수 있다.
제1 및 제2 전극부(150,160)는 전기 장치(190)와 전기적으로 연결되어, 플렉서블 소자(101)에 전기적 신호를 인가할 수 있다. 전기 장치(190)는 4단자 연결 구조를 가지는 프로브일 수 있다. 예컨대, 제1 전극부(150)는 전기전 신호의 전달 경로를 제공하는 제1 전기배선(192a)과 제2 전기배선(192b)을 통해 전기 장치(190)와 전기적으로 연결될 수 있고, 제2 전극부(160)는 전기적 신호의 전달 경로를 제공하는 제3 전기배선(194a)과 제4 전기배선(194b)을 통해 전기 장치(190)와 전기적으로 연결될 수 있다.
제1 전극부(150) 및 제2 전극부(160)는 플렉서블 소자(101)에 기계적 스트레스를 인가하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제1 전극부(150)와 제2 전극부(160) 중 적어도 어느 하나가 이동 가능하게 설계되어 플렉서블 소자(101)를 휘게할 수 있다. 본 실시예에 의하면, 제2 전극부(160)는 고정되고, 제1 전극부(150)는 제2 전극부(160)와의 간격이 변경되도록 직선 왕복 이동될 수 있다. 예컨대, 제1 전극부(150)는 좌측 방향(A1) 및 우측 방향(A2)으로 직선 왕복 운동할 수 있는 캐리어(140)에 고정되어 캐리어(140)의 직선 왕복 이동에 의존하여 좌우측으로 직선 왕복 이동될 수 있다. 반면에, 제2 전극부(160)는 프레임(112)에 고정 설치된 고정부(170)에 의해 고정될 수 있다. 제1 전극부(150)는 나사(111)에 의해 캐리어(140)와 나사 결합될 수 있고, 제2 전극부(160)는 나사(113)에 의해 고정부(170)와 나사 결합될 수 있다. 고정부(170)는 나사(115)에 의해 프레임(112)에 나사 결합될 수 있다.
캐리어(140)의 우측 방향(A2)으로의 직선 운동은 모터(120)와, 모터(120)의 샤프트(122)에 연결된 캠(130)에 의해 구현될 수 있다. 캐리어(140)는 제1 이동홈(141)을 따라 직선 이동할 수 있다. 제1 이동홈(141)은 프레임(112) 상에 혹은 프레임(112) 내에 마련될 수 있다. 캠(130)은 가령 원판 구조를 가질 수 있고 편심 회전할 수 있도록 모터(120)와 결합될 수 있다. 예컨대, 캠(130)은 그 회전축이 모터(120)의 회전축(I-I')과 오프셋되도록 모터(120)와 결합될 수 있다. 모터(120)의 작동에 의해 회전축(I-I')을 중심으로 샤프트(122)가 회전 운동하면 캠(130)이 편심 회전(eccentric rotation)하게 된다. 이러한 캠(130)의 편심 회전으로 캐리어(140)를 우측 방향(A2)으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제1 전극부(150)가 제2 전극부(160)쪽으로 이동되어 플렉서블 소자(101)가 휘어질 수 있다. 플렉서블 소자(101)는 상방, 하방 혹은 상하방 양쪽으로 휘어질 수 있다. 본 실시예에 의하면, 플렉서블 소자(101)를 상하 방향중 어느 하나, 가령 상방(B)으로 휘게 하기 위한 지지대(180)가 포함될 수 있다. 지지대(180)는 플렉서블 소자(101)를 아래에서 지지하여 플렉서블 소자(101)가 휘어질 때 그 초기 방향을 위로 향하게 할 수 있다. 이에 따라, 플렉서블 소자(101)는 중력 방향으로 휘어지는 것이 방해될 수 있다.
캐리어(140)의 좌측 방향(A1)으로의 직선 운동은 용수철(142)에 의해 구현될 수 있다. 용수철(142)은 양단 중 어느 하나는 고정되고 다른 하나는 캐리어(140)에 연결되어 캐리어(140)가 우측 방향(A2)으로의 이동시 늘어날 수 있도록 설계될 수 있다. 따라서, 캠(130)이 편심 회전하여 캐리어(140)로부터 멀어지게 되면 용수철(142)의 복원력에 의해 캐리어(140)가 좌측 방향(A1)으로 직선 이동되어 초기 위치로 복원될 수 있다. 이에 따라, 제1 전극부(150)는 제2 전극부(160)로부터 멀어지게 된다. 캐리어(140)가 복원 위치, 즉 초기 위치를 벗어나 좌측 방향(A1)으로 과도하게 직선 이동되는 것은 스톱퍼(144)에 의해 저지될 수 있다. 용수철(142)은 그 좌측 일단은 프레임(112)에 고정되고 그 우측 일단은 캐리어(140)에 연결될 수 있다. 예컨대, 도 1b에 도시된 바와 같이, 프레임(112)에 홈(143)이 마련될 수 있고, 그 홈(143) 내에 용수철(142)이 설치될 수 있다.
모터(120)는 그 위치가 좌우측 변동 가능하게 설계될 수 있다. 예컨대, 모터(122)는 좌측 방향(A1) 및 우측 방향(A2)으로 이동 가능한 이동판(124)에 결합될 수 있다. 모터(120)가 우측 방향(A2)으로 이동하면 캐리어(140)가 우측 방향(A2)으로 더 이동될 수 있으므로 플렉서블 소자(101)에 가해지는 기계적 스트레스가 커질 수 있다. 본 실시예에 의하면, 모터(120)의 위치를 변경시키므로써 플렉서블 소자(101)에 가해지는 기계적 스트레스의 양을 조절할 수 있다.
본 실시예의 벤딩 테스트 설비(100)는 상술한 바와 같이 기계적 스트레스의 양을 조절 가능하게 설계될 수 있다. 예컨대, 도 1b에 도시된 바와 같이, 모터(120)는 고정핀(126)에 의해 고정홈(125)에 결합되고, 이동판(124)은 제2 이동홈(127)을 따라 좌측 방향(A1) 및 우측 방향(A2)으로 자유롭게 이동 가능하게 설계될 수 있다. 이에 따라 모터(120)는 제2 이동홈(127)을 따라 좌우측 방향(A1,A2)을 따라 이동 가능할 수 있다. 고정홈(125)은 가령 이동판(124) 내에 혹은 이동판(124) 상에 마련될 수 있고, 제2 이동홈(127)은 가령 프레임(112) 내에 혹은 프레임(112) 상에 마련될 수 있다.
캐리어(140)의 최대 이동 거리(D)는 캠(130)이 그리는 최대 편심 회전 궤적(131)의 우측단과 스톱퍼(144)와의 거리로 정의될 수 있다. 모터(120)가 제2 이동홈(127)을 따라 우측 방향(A2)으로 이동하면 그 궤적(131)은 우측 방향(A2)으로 이동되므로 캐리어(140)의 최대 이동 거리(D)가 커질 수 있다. 이에 따라, 플렉서블 소자(101)에 가해지는 기계적 스트레스의 양이 커질 수 있다. 반대로, 모터(120)가 제2 이동홈(127)을 따라 좌측 방향(A1)으로 이동되면 캐리어(140)의 최대 이동 거리(D)가 작아져 기계적 스트레스 양이 작아질 수 있다.
본 실시예의 벤딩 테스트 설비(100)는 스톱퍼(144)의 위치를 좌측 방향(A1) 및 우측 방향(A2)으로 이동 가능하게 설계될 수 있다. 예컨대, 도 1b에 도시된 바와 같이 스톱퍼(144)는 제3 이동홈(145)을 따라 좌측 방향(A1) 및 우측 방향(A2)으로 이동 가능하게 설계될 수 있다. 제3 이동홈(145)은 프레임(112) 내에 혹은 프레임(112) 상에 마련될 수 있다.
상술한 바와 같이, 벤딩 테스트 설비(100)에 있어서 모터(120) 및/또는 스톱퍼(144)는 좌측 방향(A1) 및 우측 방향(A2)으로 이동 가능하므로 플렉서블 소자(101)에 가해지는 기계적 스트레스 양을 조절할 수 있고 또한 최대 스트레스 값을 임의대로 설정할 수 있다.
도 1c는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비에 있어서 전극부를 확대 도시한 평면도이고, 도 1d는 그 단면도이다.
도 1c 및 1d를 참조하면, 제1 전극부(150)는 제1 전극 바디(152)와, 제1 전극 바디(152)에 회전 가능하게 결합된 제1 롤러(154)와, 제1 롤러(154) 내부에 삽입된 제1 및 제2 금속 전극들(153a,153b)을 포함할 수 있다. 제1 롤러(154)는 플렉서블 소자(101)가 끼워질 수 있는 원통형 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 롤러(154)에는 플렉서블 소자(101)가 끼워질 수 있는 공간을 제공하는 제1 홈(156)이 마련될 수 있다. 플렉서블 소자(101)의 좌측단은 제1 홈(156)에 끼워져 제1 및 제2 금속 전극들(153a,153b)과 오믹 접촉을 이룰 수 있다. 제1 전극 바디(152)에는 제1 롤러(154)가 원할하게 회전할 수 있도록 마찰을 줄여줄 수 있는 제1 베어링(155)이 제공될 수 있다. 제1 롤러(154)는 회전축(Ⅱ-Ⅱ')을 중심으로 회전할 수 있다. 제1 롤러(154)의 회전축(Ⅱ-Ⅱ')은 수평 방향(A1,A2)과 수직할 수 있다. 제1 롤러(154)의 상단부에는 제1 전기배선(192a)과 연결되는 제1 금속 전극(153a)이 내장되고, 제1 롤러(154)의 하단부에는 제2 전기배선(192b)과 연결되는 제2 금속 전극(153b)이 내장될 수 있다. 제1 및 제2 금속 전극들(153a,153b)은 일례로서 알루미늄(Al)이나 구리(Cu)로 구성될 수 있다.
제2 전극부(160)는 제1 전극부(150)와 좌우 대칭 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 제2 전극부(160)는 제2 전극 바디(162)와, 제2 전극 바디(162)에 회전축(Ⅲ-Ⅲ')을 중심으로 회전할 수 있게 결합된 원통형의 제2 롤러(164)와, 제2 롤러(164) 내부에 삽입된 제3 및 제4 금속 전극들(163a,163b)을 포함할 수 있다. 제2 롤러(164)의 회전축(Ⅲ-Ⅲ')은 제1 롤러(154)의 회전축(Ⅱ-Ⅱ')과는 평행하고 수평 방향(A1,A2)과는 수직할 수 있다. 제2 롤러(164)는 플렉서블 소자(101)가 끼워질 수 있는 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 롤러(164)에는 플렉서블 소자(101)가 끼워질 수 있는 공간을 제공하는 제2 홈(166)이 마련될 수 있다. 플렉서블 소자(101)의 우측단은 제2 홈(166)에 끼워져 제3 및 제4 금속 전극들(163a,163b)과 오믹 접촉을 이룰 수 있다. 제2 전극 바디(162)에는 제2 롤러(164)가 원할하게 회전할 수 있도록 마찰을 줄여줄 수 있는 제2 베어링(165)이 제공될 수 있다. 제2 롤러(164)의 상단부에는 제3 전기배선(194a)과 연결되는 제3 금속 전극(163a)이 내장되고, 제2 롤러(164)의 하단부에는 제4 전기배선(194b)과 연결되는 제4 금속 전극(163b)이 내장될 수 있다. 제3 및 제4 금속 전극들(163a,163b)은 일례로서 알루미늄(Al)이나 구리(Cu)로 구성될 수 있다.
다른 예로, 제1 롤러(154)에는 제1 및 제2 금속 전극(153a,154b) 중 어느 하나만이 내장되고, 제2 롤러(164)에는 제3 및 제4 금속 전극(163a,164b) 중 어느 하나만이 내장될 수 있다. 이 경우 도 1a에 도시된 전기 장치(190)는 2단자를 갖는 프로브일 수 있다.
이미 언급한 바와 같이 플렉서블 소자(101)의 아래 방향, 즉 중력 방향으로의 휘어짐을 저지할 수 있는 지지대(180)는 제1 전극부(150)와 제2 전극부(160) 사이에 배치될 수 있다. 지지대(180)는 제1 롤러(154) 혹은 제2 롤러(164)의 반경과 동일하거나 혹은 그 보다 더 큰 높이를 가질 수 있다.
도 2a 및 3a는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 방법을 도시한 평면도이고, 도 2b 및 3b는 전극부를 확대 도시한 단면도이다.
도 2a 및 2b를 참조하면, 제1 전극부(150)와 제2 전극부(160) 사이에 플렉서블 소자(101)가 로딩될 수 있다. 플렉서블 소자(101)는 수평 상태로 지지될 수 있다. 제1 전극부(150)와 제2 전극부(160)는 제1 거리(L1)로 이격될 수 있다. 플렉서블 소자(101)는, 본 발명을 이에 한정하지는 않지만, 가령 휘어질 수 있는 폴리이미드와 같은 플라스틱 기판에 박막 필름 등이 형성된 전자 종이, 혹은 액정이나 유기 발광 디스플레이 소자를 포함할 수 있다. 본 단계는 플렉서블 소자(101)에 기계적 스트레스를 아직 가하지 아니하여, 플렉서블 소자(101)는 평평한 상태로 있을 수 있다. 선택적으로, 본 단계에서 제1 및 제2 전기배선들(192a,192b)을 통해 제1 전극부(150)에 전기적 스트레스 혹은 전기적 신호를 인가하고 제3 및 제4 전기배선들(194a,194b)을 통해 제2 전극부(160)에 전기적 스트레스 혹은 전기적 신호를 인가하여 플렉서블 소자(101)를 전기적으로 테스트할 수 있다.
도 3a 및 3b를 참조하면, 플렉서블 소자(101)에 기계적 스트레스를 인가하여 벤딩 테스트(bending test)할 수 있다. 예컨대, 모터(120)가 회전력을 발생시키면 캠(130)은 그 회전력을 전달받아 편심 회전할 수 있다. 편심 회전하는 캠(130)은 캐리어(140)를 우측 방향(A2)으로 직선 이동시켜 제1 전극부(150)는 제2 전극부(160)쪽으로 이동될 수 있다. 이에 따라 제1 전극부(150)와 제2 전극부(160) 사이는 제1 거리(L1)보다 작은 제2 거리(L2)로 좁아져, 결국 플렉서블 소자(101)는 휘어질 수 있다. 기계적 스트레스가 인가된 플렉서블 소자(101)는 지지대(180)에 의해 하방으로 휘어지지 아니하고 상방(B)으로 휘어질 수 있다. 상기와 같이 휘어진 상태에 있는 플렉서블 소자(101)에 전기적 스트레스 내지 신호를 인가하여 저항이나 출력 전류 등을 측정할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 제1 롤러(154) 및 제2 롤러(164)는 회전 가능하므로 벤딩 테스트시 플렉서블 소자(101)는 일정한 곡률 반경으로 휘어질 수 있다. 예를 들어, 도 3b에 도시된 바와 같이 제1 전극부(150)가 제2 전극부(160)쪽으로 이동할 때 플렉서블 소자(101)에 기계적 스트레스가 인가될 수 있다. 이때, 제1 롤러(154)는 우회전하고 제2 롤러(164)는 좌회전하므로써 플렉서블 소자(101)에 일정한 기계적 스트레스가 인가될 수 있다. 만일 플렉서블 소자(101)가 불균일한 곡률 반경으로 휘어져 변곡점이 생긴 경우, 그 변곡점 주위에서 기계적 스트레스의 방향이 변경될 수 있다. 이 경우 플렉서블 소자(101)에 걸리는 기계적 스트레스가 일정치 않아 벤딩 테스트의 신뢰성을 확보할 수 없을 수 있다. 그러나, 본 실시예에 의하면 플렉서블 소자(101)는 일정한 곡률 반경으로 휘어질 수 있어 기계적 스트레스 역시 일정하게 유지될 수 있다. 따라서, 플렉서블 소자(101)에 대한 벤딩 테스트는 그 신뢰성을 확보할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 플렉서블 소자(101)에 수평 방향의 기계적 스트레스가 인가될 수 있어서 중력 효과가 배제될 수 있다. 만일, 플렉서블 소자(101)에 인가되는 기계적 스트레스가 중력 방향 혹은 그 반대 방향인 경우 중력이 더해질 수 있다. 플렉서블 소자(101)에 더해진 중력에 의해 기계적 스트레스가 일정치 않아 벤딩 테스트의 신뢰성을 확보하기가 어려워질 수 있다. 그러나, 본 실시예는 플렉서블 소자(101)에 수평 방향, 가령 우측 방향(A2)의 기계적 스트레스가 인가되므로 중력에 의한 기계적 스트레스의 불균일 현상이 일어나지 않는다.
도 4a 및 4b는 본 발명의 변형 실시예에 따른 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비를 도시한 평면도이다. 본 변형 실시예는 상술한 실시예와 동일 유사하므로 이하에선 상이한 점에 대해 상세히 설명하고, 동일한 점에 대해서는 생략하기로 한다.
도 4a를 참조하면, 벤딩 테스트 설비(200)는 모터(120)의 위치를 가늠할 수 있는 제1 눈금자(210), 제1 및 제2 전극부(150,160) 사이의 거리(L)를 가늠할 수 있는 제2 눈금자(220) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 눈금자(210)는 프레임(112)의 상면에 배치되거나 혹은 프레임(112)의 상면에 그려질 수 있다. 제1 눈금자(210)는 가령 이동판(124)의 측면에 인접 배치될 수 있다. 제2 눈금자(220)는 프레임(112)의 일측면에 배치될 수 있다. 제2 눈금자(220)는 제1 및 제2 전극부(150,160)의 측면에 인접 배치될 수 있다.
도 4b를 참조하면, 벤딩 테스트 설비(202)는 제1 눈금자(210), 제2 눈금자(220), 및 타원판 형태의 캠(230)을 포함할 수 있다. 캠(230)은 타원판에 한정되지 아니하며 임의의 형태를 가질 수 있다. 제2 눈금자(220)는 제1 및 제2 전극부(150,160)의 아래의 프레임(112) 상면에 설치되거나 혹은 그려질 수 있다.
이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (20)

  1. 수평 방향으로 배치되어 플렉서블 소자를 수평하게 로딩하는 제1 및 제2 전극부를 포함하고,
    상기 제1 전극부는 상기 수평 방향으로 이동 가능하고 상기 제2 전극부는 고정되어, 상기 플렉서블 소자에 수평 방향의 기계적 스트레스가 인가되도록 상기 제1 전극부가 상기 제2 전극부쪽으로 수평 이동하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 전극부 중 적어도 어느 하나는 상기 수평 방향과 수직한 회전축을 중심으로 회전 가능한 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 전극부 사이에 배치되어, 상기 수평 방향의 기계적 스트레스가 인가된 상기 플렉서블 소자가 중력 방향으로 휘어지는 것을 제한하는 지지대를 더 포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블 소자에 전기적 스트레스가 인가되도록 상기 제1 및 제2 전극부에 전기적 신호를 제공하는 전기 장치를 더 포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  5. 회전력을 발생시키는 모터;
    상기 모터에 연결되어 상기 회전력을 전달받아 편심 회전하는 캠;
    상기 캠의 편심 회전에 의해 수평 방향으로 직선 이동하는 캐리어;
    상기 캐리어에 고정되어 상기 캐리어의 직선 이동에 의존하여 상기 수평 방향으로 이동하는 회전 가능한 제1 전극부; 및
    상기 제1 전극부와 상기 수평 방향으로 이격 고정된 회전 가능한 제2 전극부를;
    포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 모터는 상기 수평 방향으로 위치 이동이 가능한 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 캠과 상기 캐리어는 상기 수평 방향으로 배치된 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 수평 방향은 서로 반대 방향인 제1 및 제2 수평 방향을 포함하고,
    상기 캐리어의 상기 제2 수평 방향으로의 이동에 의존하여 상기 제1 전극부는 상기 제2 전극부쪽으로 이동되고, 상기 제1 전극부의 이동에 의해 상기 제1 및 제2 전극부 사이의 거리가 축소되어 상기 플렉서블 소자에 수평 방향의 기계적 스트레스를 인가하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 캐리어에 결합되어 상기 캐리어를 상기 제1 수평 방향으로 복원 이동시키는 용수철을 더 포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 캐리어와 상기 캠 사이에 배치되어, 상기 캐리어의 복원 위치를 넘는 상기 제1 수평 방향으로의 과도한 이동을 저지하는 스톱퍼를 더 포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 스톱퍼는 상기 수평 방향으로의 위치 이동이 가능한 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  12. 제5항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 전극부 중 적어도 어느 하나는:
    상기 플렉서블 소자가 끼워지는 홈을 포함하는 롤러;
    상기 롤러 내에 배치되어 상기 홈에 끼워진 상기 플렉서블 소자와 접촉하는 적어도 하나의 전극; 및
    상기 롤러가 회전 가능하게 설치되는 전극 바디를 포함하고,
    상기 롤러는 상기 플렉서블 소자가 휘어질 때 회전되어 상기 플렉서블 소자에 일정한 기계적 스트레스가 인가되는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 전극에 전기적 신호를 인가하여 상기 플렉서블 소자에 전기적 스트레스를 인가하는 단자 연결 구조의 프로브를 더 포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 전극부 사이에 상기 롤러의 반경과 동일하거나 보다 큰 높이를 가지며, 상기 플렉서블 소자가 중력 방향으로 휘어지는 것을 방해하는 지지대를 더 포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  15. 제5항에 있어서,
    상기 모터의 위치를 가늠할 수 있는 제1 눈금자와 상기 제1 및 제2 전극부 사이의 거리를 가늠할 수 있는 제2 눈금자 중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  16. 제5항에 있어서,
    상기 캠은 그 회전축이 상기 모터의 회전축과 오프셋된 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  17. 제5항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 전극부와 상기 캐리어가 설치되는 장소를 제공하는 프레임을 더 포함하고, 상기 프레임은 상기 캐리어의 상기 수평 방향으로의 이동을 안내하는 제1 이동홈을 포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 모터의 위치를 변경시키는 제2 이동홈과 상기 스톱퍼의 위치를 변경시키는 제3 이동홈을 더 포함하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  19. 회전 운동이 직선 왕복 운동으로 변환되는 장치와;
    상기 장치와 결합되어 상기 장치와 함께 직선 왕복 운동하는 제1 전극부와; 그리고
    상기 제1 전극부와는 수평 방향으로 이격 배치되어, 상기 제1 전극부와의 사이에 플렉서블 소자를 수평 상태로 로딩하는 고정된 제2 전극부를 포함하고,
    상기 제1 전극부가 상기 제2 전극부쪽으로 직선 이동하여 상기 플렉서블 소자를 수직 방향으로 휘어지게 하는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 장치는:
    상기 회전 운동을 발생시키는 모터와;
    상기 제1 전극부와 결합되고, 상기 회전 운동을 전달받아 상기 직선 왕복 운동하는 캐리어와; 그리고
    상기 모터와 결합되어 상기 회전 운동에 의해 편심 회전하고, 상기 편심 회전에 따라 상기 캐리어를 상기 제2 전극부쪽으로 직선 운동시키는 캠을 포함하고,
    상기 캠이 상기 모터의 회전 운동을 상기 캐리어의 직선 왕복 운동으로 변환시키는 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비.
KR1020100033801A 2010-04-13 2010-04-13 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비 KR101295887B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100033801A KR101295887B1 (ko) 2010-04-13 2010-04-13 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비
US12/856,127 US8461860B2 (en) 2010-04-13 2010-08-13 Bending test apparatus for flexible devices

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100033801A KR101295887B1 (ko) 2010-04-13 2010-04-13 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110114256A true KR20110114256A (ko) 2011-10-19
KR101295887B1 KR101295887B1 (ko) 2013-08-12

Family

ID=44760475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100033801A KR101295887B1 (ko) 2010-04-13 2010-04-13 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8461860B2 (ko)
KR (1) KR101295887B1 (ko)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101422104B1 (ko) * 2012-10-24 2014-07-22 서울과학기술대학교 산학협력단 플렉시블 전자소자 장치의 인장 측정장치
US8806953B2 (en) 2011-05-13 2014-08-19 Electronics And Telecommunications Research Institute Bending test apparatus for flexible device
KR101446590B1 (ko) * 2013-06-28 2014-10-06 대원강업주식회사 스프링 횡강성 측정용 지그
KR20140122932A (ko) * 2013-04-11 2014-10-21 삼성디스플레이 주식회사 벤딩 장치 및 이를 이용한 벤딩 방법
KR20140132585A (ko) * 2013-05-08 2014-11-18 삼성디스플레이 주식회사 기판 평가 장치, 및 이를 이용한 기판 평가 방법
KR20150016013A (ko) * 2013-08-02 2015-02-11 삼성디스플레이 주식회사 플렉서블 디바이스의 테스트 장치
CN104634450A (zh) * 2015-02-21 2015-05-20 桂林理工大学 石墨电极水平移动器
KR101527815B1 (ko) * 2015-01-15 2015-06-10 주식회사 지엔티시스템즈 폴더블 디스플레이 접힘검사장치 및 이를 이용한 접힘검사방법
KR20170011311A (ko) * 2015-07-22 2017-02-02 한국기계연구원 다목적 기계적 변형 시험기
US9940859B2 (en) 2014-09-18 2018-04-10 Samsung Display Co., Ltd. Testing apparatus for testing display apparatus and method of testing the same
KR20190029032A (ko) * 2017-09-11 2019-03-20 명지대학교 산학협력단 플렉서블 필름용 폴딩테스트 장치
KR20190080230A (ko) * 2017-12-28 2019-07-08 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 디바이스의 벤딩 테스트장치
KR20190083805A (ko) * 2018-01-05 2019-07-15 주식회사 코보텍 수동 변환형 굽힘 신뢰성 검사 장치
KR102224598B1 (ko) * 2020-07-10 2021-03-08 에이티시스템 주식회사 폴딩 시험 장치
KR20210116037A (ko) * 2020-03-17 2021-09-27 (주)플렉시고 플렉시블 소재의 내구성 평가용 슬라이딩장치 및 평가시스템
CN113567275A (zh) * 2021-09-23 2021-10-29 深圳荣耀智能机器有限公司 一种柔性电路板测试设备

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010027346A1 (de) * 2010-07-16 2012-01-19 Forschungszentrum Jülich GmbH Sensoranordnung
US8618827B2 (en) * 2010-10-13 2013-12-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Measurement of electrical and mechanical characteristics of low-K dielectric in a semiconductor device
KR20120114729A (ko) * 2011-04-08 2012-10-17 한국전자통신연구원 대역통과 필터 및 전자 장치
US8794079B2 (en) * 2011-11-04 2014-08-05 International Business Machines Corporation Determining magnitude of compressive loading
CN104729833B (zh) * 2013-12-18 2018-02-13 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 柔性屏体弯曲测试方法和系统
CN104729929B (zh) * 2013-12-18 2017-12-05 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 柔性屏幕弯曲方法及系统
GB2524479B (en) * 2014-03-21 2016-02-17 Rolls Royce Plc Testing rig
KR102242519B1 (ko) * 2014-06-02 2021-04-22 삼성디스플레이 주식회사 플렉서블 디바이스의 테스트 장치
KR102250769B1 (ko) * 2014-08-11 2021-05-12 삼성디스플레이 주식회사 플렉서블 디바이스의 테스트 장치
US10094752B2 (en) * 2014-10-11 2018-10-09 Yuasa System Co., Ltd. Folding test machine
TW201614210A (en) * 2014-10-11 2016-04-16 Yuasa System Kiki Co Ltd Folding Test Machine
US9772268B2 (en) 2015-03-30 2017-09-26 International Business Machines Corporation Predicting semiconductor package warpage
KR102182860B1 (ko) 2015-07-20 2020-11-26 한국전자통신연구원 무선 주파수 프로브 장치
CN106918733B (zh) * 2015-12-24 2019-10-11 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 柔性信赖性测试治具及柔性信赖性在线测试设备
DE102017205362A1 (de) * 2017-03-29 2018-10-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur Durchführung von Biegeversuchen an plattenförmigen Proben
CN107631861A (zh) * 2017-08-28 2018-01-26 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性显示装置弯折测试设备及系统
KR102088612B1 (ko) 2018-06-07 2020-03-12 주식회사 코보텍 플렉서블 소재에 대한 신뢰성 검사 장치
CN109827847B (zh) * 2019-02-12 2022-05-03 合肥炭素有限责任公司 一种石墨电极接头抗折强度检测装置及其检测方法
CN111678801A (zh) * 2020-06-19 2020-09-18 中国电子科技集团公司第二十四研究所 柔性电子弯曲加载装置
CN111678789A (zh) * 2020-06-19 2020-09-18 中国电子科技集团公司第二十四研究所 柔性电子多轴应力加载装置
CN113916701A (zh) * 2021-10-13 2022-01-11 中国电子科技集团公司第二十四研究所 一种柔性电子复合应变测试装置
CN114112648B (zh) * 2021-12-14 2024-03-26 惠州华星光电显示有限公司 测试装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001272320A (ja) * 2000-03-27 2001-10-05 Sumitomo Wiring Syst Ltd ワイヤーハーネスの屈曲試験装置
US6776050B2 (en) * 2001-09-28 2004-08-17 Osrano Opto Semiconductors Gmbh Support for bending test of flexible substrates
KR200281592Y1 (ko) 2002-03-12 2002-07-13 메카텍스 (주) 액정표시장치 검사용 테스트 지그의 니들 벤딩장치
US7464606B2 (en) * 2006-04-18 2008-12-16 Agency For Science, Technology And Research Bend testing apparatus and method of carrying out the same
KR100973976B1 (ko) 2008-08-05 2010-08-05 연세대학교 산학협력단 플렉서블 기판에 형성된 코팅 박막의 벤딩 시험 장치
KR101774302B1 (ko) * 2011-05-13 2017-09-05 한국전자통신연구원 유연 기판의 벤딩 테스트 장치

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8806953B2 (en) 2011-05-13 2014-08-19 Electronics And Telecommunications Research Institute Bending test apparatus for flexible device
KR101422104B1 (ko) * 2012-10-24 2014-07-22 서울과학기술대학교 산학협력단 플렉시블 전자소자 장치의 인장 측정장치
KR20140122932A (ko) * 2013-04-11 2014-10-21 삼성디스플레이 주식회사 벤딩 장치 및 이를 이용한 벤딩 방법
KR20140132585A (ko) * 2013-05-08 2014-11-18 삼성디스플레이 주식회사 기판 평가 장치, 및 이를 이용한 기판 평가 방법
KR101446590B1 (ko) * 2013-06-28 2014-10-06 대원강업주식회사 스프링 횡강성 측정용 지그
US9354150B2 (en) 2013-08-02 2016-05-31 Samsung Display Co., Ltd. Test apparatus for a flexible device
KR20150016013A (ko) * 2013-08-02 2015-02-11 삼성디스플레이 주식회사 플렉서블 디바이스의 테스트 장치
US9940859B2 (en) 2014-09-18 2018-04-10 Samsung Display Co., Ltd. Testing apparatus for testing display apparatus and method of testing the same
KR101527815B1 (ko) * 2015-01-15 2015-06-10 주식회사 지엔티시스템즈 폴더블 디스플레이 접힘검사장치 및 이를 이용한 접힘검사방법
CN104634450A (zh) * 2015-02-21 2015-05-20 桂林理工大学 石墨电极水平移动器
KR20170011311A (ko) * 2015-07-22 2017-02-02 한국기계연구원 다목적 기계적 변형 시험기
KR101722733B1 (ko) * 2015-07-22 2017-04-05 한국기계연구원 다목적 기계적 변형 시험기
KR20190029032A (ko) * 2017-09-11 2019-03-20 명지대학교 산학협력단 플렉서블 필름용 폴딩테스트 장치
KR20190080230A (ko) * 2017-12-28 2019-07-08 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 디바이스의 벤딩 테스트장치
KR20190083805A (ko) * 2018-01-05 2019-07-15 주식회사 코보텍 수동 변환형 굽힘 신뢰성 검사 장치
KR20210116037A (ko) * 2020-03-17 2021-09-27 (주)플렉시고 플렉시블 소재의 내구성 평가용 슬라이딩장치 및 평가시스템
KR102224598B1 (ko) * 2020-07-10 2021-03-08 에이티시스템 주식회사 폴딩 시험 장치
CN113567275A (zh) * 2021-09-23 2021-10-29 深圳荣耀智能机器有限公司 一种柔性电路板测试设备

Also Published As

Publication number Publication date
KR101295887B1 (ko) 2013-08-12
US8461860B2 (en) 2013-06-11
US20110248739A1 (en) 2011-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101295887B1 (ko) 플렉서블 소자의 벤딩 테스트 설비
US8806953B2 (en) Bending test apparatus for flexible device
JP5219383B2 (ja) 電子装置のテストセット
US7808261B2 (en) Contact with plural beams
JP6147369B2 (ja) 半導体素子テスト用ソケット装置
CN107003335B (zh) 接触测试装置
JP6255914B2 (ja) 検査治具
KR101662937B1 (ko) 공간변형기능을 가진 검사접촉장치
WO2011115074A1 (ja) コンタクトプローブおよびプローブユニット
TW200508629A (en) Anisotropic conductive connector and wafer inspection device
KR101489585B1 (ko) 전도성 유연 기판의 저항변화 측정장치
CN106253740B (zh) 容易进行导电性检查的振动致动器
JP2008008742A (ja) 回路劣化試験装置および回路劣化試験方法
KR101087828B1 (ko) 표면 저항 측정기
US11434881B2 (en) Camera sweeper
US7119556B2 (en) Probe for surface-resistivity measurement and method for measuring surface resistivity
KR101043023B1 (ko) 적층 세라믹 커패시터용 검사 소켓
JP2008241346A (ja) 探針及びそれを用いた測定装置
CN113916701A (zh) 一种柔性电子复合应变测试装置
US11486771B2 (en) Sensor having a pressing resilience
JP2020128944A (ja) 圧電定数測定装置
WO2017107915A1 (zh) 传感器装置
KR20200110012A (ko) 테스트 소켓
JP2013161553A (ja) 導電性シートおよび基板検査装置
JP2006107977A (ja) Ｉｃソケット

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170727

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee