KR101087828B1 - 표면 저항 측정기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스페이서 플레이트, 출력전극 플레이트, 접촉전극 플레이트 및 플렉시블 플레이트를 포함하는 측정 세트에 장착된 측정 대상물(예컨대, 전도성 박막 또는 가요성 박막)을 표면 손상없이 표면 저항 및 표면 저항 분포를 측정할 수 있고, 측정 대상물의 미세구간에 대한 표면 저항 및 표면 저항 분포를 측정할 수 있을 뿐만 아니라 대면적의 측정 대상물의 표면 저항 및 표면 저항 분포를 측정할 수 있는 장치를 제공한다.

Description

표면 저항 측정기{Apparatus of measuring surface resistance}

본 발명은 표면저항 측정기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 도전성 박막 또는 가요성 박막의 저항 분포를 측정할 수 있는 표면 저항 측정기에 관한 것이다.

일반적으로 전도성 박막의 표면저항을 측정하는 방법은 크게 4-포인트 프로브(point probe)법과 반데르포우(Van der Pauw)법이 있다.

상기 두 방법 모두 4개의 프로브 팁(probe tip)을 필요로 하며, 2개의 프로브로 전도성 박막에 정전류를 인가하고 나머지 2개의 프로브로 전도성 박막의 전위를 측정하고, 그 측정값을 보정하여 표면저항을 측정한다.

이때, 상기 4-포인트 프로브법은 프로브 팁의 간격과 동일선상의 배치가 측정 결과의 신뢰성에 영향을 미치며 실제 측정 재료의 크기와 두께가 유한함을 고려하여 보정계수가 반드시 필요하다.

또한, 상기 4-포인트 프로브법은 프로브 팁이 전도성 박막에 직접적으로 접촉하여 측정하기 때문에, 프로브 팁에 의한 전도성 박막 손상으로 인하여 발생하는 재료의 평판도와 비저항의 불안정성이 문제가 된다. 4-포인트 프로브법은 원리적으로 재료가 완전 평판이고 측정간격 내에서 비저항이 동일하다고 가정하기 때문에 프로브 팁에 의한 측정 대상 박막 손상은 측정 신뢰성의 저하를 가져온다. 또한 4-포인트 프로브법은 4개의 프로브 팁 사이의 표면저항을 측정하는 방법으로 전도성 박막의 특성 분포를 확인하고자 할 때에는 프로브 팁 간 거리를 고려하여야 하고 이는 미세 구간에 대한 측정을 제한하는 요소가 된다. 이를 해결하기 위하여 프로브 팁 간 거리를 최소화한다 하더라도 가공오차와 반복동작에 의한 프로브 팁 간 거리에 변형이 생길 수 있으며 이는 측정 신뢰도의 저하를 가져오게 되는 문제점이 있다.

상기 반데르포우법도 상기 4-포인트 프로브법과 유사한 방법으로 전도성 박막의 표면저항을 측정할 수 있다. 다른 점은 프로브 팁으로 직접 접촉하여 측정하는 방식이 아닌 전도성 박막의 최외각에 4개의 전극을 배치하고 이를 통하여 정전류를 인가하고 전압을 측정하는 방식에서 차이가 있다.

상기 4-포인트 프로브법은 대면적을 가지는 전도성 박막에 대하여 높은 정확도를 가지는 반면, 상기 반데르포우법은 소면적의 전도성 박막에 대해 비교적 높은 정확도를 가진다. 따라서, 측정되는 전도성 박막의 면적에 따라 적절한 측정법이 사용될 수 있다. 그러나, 측정의 신뢰도를 확보하기 위해서는 다양한 요소가 감안되어야 하는바, 전도성 박막의 형태와 전극의 배치에 대한 기하학적 대칭성이 매우 중요하고 이를 만족하지 않을 시 측정 신뢰도가 저하된다. 또한, 전극 위치에 대한 제한으로 인하여 이론상 전도성 박막의 표면저항 분포를 확인하는 것이 불가능하다는 문제점이 있다.

본 발명의 제1 목적은 대면적의 전도성 박막의 표면저항 분포를 표면 손상 없이 측정할 수 있고, 미세구간에서도 높은 측정 정밀도를 가지는 표면 저항 측정기를 제공하는 것이다.

본 발명의 제2 목적은 압력에 대한 도전성 박막의 전기적 특성 변화와 그 분포 및 기계적 변형에 따른 전기적 특성 변화와 그 분포를 측정할 수 있는 표면 저항 측정기를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 측정 대상물 상에 위치되며, 상기 측정 대상물의 일부 표면을 노출시키는 제1개구부를 갖는 절연성 재질의 스페이서 플레이트; 상기 스페이서 플레이트 상에 위치되고, 상기 제1개구부에 대응하는 제2개구부를 갖는 출력전극 플레이트; 상기 출력전극 플레이트 상에 위치하며, 적어도 상기 제2개구부를 덮는 접촉전극 플레이트; 및 상기 접촉전극 플레이트 상에 위치하는 플렉시블 플레이트를 포함하는 표면 저항 측정기가 제공된다.

상기 표면 저항 측정기는 상기 플렉시블 플레이트 상에 위치하는 압력팁을 더 포함할 수 있다.

상기 압력팁은 상기 플렉시블 플레이트에 대해 상하로 이동하도록 구비되며, 상기 압력팁의 하강 시 상기 압력팁의 끝단은 상기 플렉시블 플레이트의 특정 지점을 누르고, 상기 플렉시블 플레이트의 특정 지점에 대응하는 상기 접촉전극 플레이트의 특정 지점은 상기 측정 대상물의 일 표면 상의 특정 지점에 접촉할 수 있다.

상기 표면 저항 측정기는 상기 측정 대상물을 지지하는 베이스; 상기 압력팁을 포함하는 압력 파트; 및 상기 압력 파트와 연결되며 상기 압력 파트를 이동시키는 이동 수단을 더 포함할 수 있다.

상기 이송 수단:은 동력을 발생시키는 모터; 상기 모터의 회전축에 연결된 동력전달 축; 상기 동력전달 축에 연결되며, 상기 동력전달 축과 상호작용하여 상기 동력전달 축의 회전 운동을 직선운동으로 변환시키는 운동변환부; 상기 운동변환부와 연결되며, 상기 압력 파트와 체결되는 슬라이드; 상기 슬라이드의 하부에 위치하며, 상기 슬라이드의 직선운동을 가이드하는 가이드 레일; 및 상기 동력전달 축을 지지하며, 상기 가이드 레일을 고정하는 지지대를 포함할 수 있다.

상기 출력전극 플레이트는 그 표면의 일부가 노출되도록 상기 측정 대상물에 의해 형성된 표면으로부터 측면 또는 신장된 면을 향해 돌출될 수 있다.

상기 스페이서 플레이트는 상기 측정 대상물에 의해 형성된 표면으로부터 측면 또는 신장된 면을 향해 돌출되어 구비되며, 상기 스페이서 플레이트의 하부에는 더미 플레이트를 더 포함할 수 있다.

상기 접촉전극 플레이트는 상기 측정 대상물의 일 표면과 대향하는 표면 상에 적어도 하나의 전극 패턴을 구비할 수 있다.

상기 전극 패턴은 라인 패턴이며, 상기 접촉전극 플레이트의 표면 상에 일정 간격으로 반복하여 구비될 수 있다.

상기 출력전극 플레이트는 도전성 물질을 포함할 수 있다.

상기 표면 저항 측정기는 상기 측정 대상물의 일 표면 상의 양측 끝단에는 제1단자 및 제2단자를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 도전성 물질을 포함하는 접촉 플레이트; 상기 접촉 플레이트의 일 표면 상에 위치하되, 서로 이격되어 위치하며, 상기 접촉 플레이트의 일부는 노출되도록 구비된 스페이서 플레이트들; 및 상기 각각의 스페이서 플레이트들의 상부에 위치하며, 그 상부에 측정 대상물이 위치되는 전극 플레이트들을 포함하는 표면 저항 측정기가 제공된다.

상기 스페이서 플레이트들은 제1스페이서 플레이트와 상기 제1스페이서 플레이트에 대향하는 제2스페이서 플레이트를 포함하며, 상기 전극 플레이트들은 상기 제1스페이서 플레이트 상에 위치한 제1전극 플레이트와 상기 제2스페이서 플레이트 상에 위치한 제2전극 플레이트를 포함하며, 상기 표면 저항 측정기는 상기 제1스페이서 플레이트와 제1전극 플레이트 사이에 구비된 제1연결 플레이트 및 상기 제2스페이서 플레이트와 제2전극 플레이트 사이에 구비된 제2연결 플레이트를 더 포함할 수 있다.

상기 측정 대상물은 플렉시블 기판 및 상기 플렉시블 기판 상에 형성된 도전성 박막을 포함하며, 상기 측정 대상물은 상기 도전성 박막이 상기 접촉 플레이트에 대향하도록 위치할 수 있다.

본 발명의 구성을 따르면 앞서서 기재한 본 발명의 목적을 모두 달성할 수 있다. 구체적으로는 본 발명에 의하면, 대면적의 전도성 박막을 스페이서 플레이트, 출력전극 플레이트, 접촉전극 플레이트 및 플렉시블 플레이트를 포함하는 측정 세트에 장착하여 압력팁으로 상기 플렉시블 플레이트를 눌러 상기 접촉전극 플레이트와 전도성 박막의 접촉으로 상기 전도성 박막의 표면저항 분포를 측정하는 표면 저항 측정기를 제공하여 대면적의 전도성 박막의 표면저항 분포를 표면 손상 없이 측정할 수 있는 장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 압력팁을 미세 간격으로 이동시키면서 상기 대면적의 전도성 박막의 표면 저항을 측정할 수 있는 표면 저항 측정기를 제공하여 상기 대면적의 전도성 박막의 표면 저항 분포를 측정할 수 있는 장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 압력팁으로 도전성 박막을 기계적으로 변형시키고, 기계적으로 변형된 도전성 박막의 전기적 특성 변화와 그 분포을 측정할 수 있는 표면 저항 측정기를 제공하여 도전성 박막의 기계적 변형에 따른 전기적 특성 변화 및 그 분포를 측정할 수 있는 장치를 제공하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기의 전체적인 모식도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기의 일 구성 중 측정 대상물이 장착된 측정 세트를 도시한 모식도 및 분해도이다.
도 3은 상기 측정 세트 중 접촉전극 플레이트의 일 실시 예를 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기의 일 구성 중 압력 파트의 내부 구조를 알 수 있도록 하는 단면도이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기를 이용한 측정 방법을 보여주기 위한 사시도, 단면도, 개념도 및 회로도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기를 이용하여 ITO의 박막의 전압 분포 및 표면저항 분포를 측정한 결과를 보여주는 그래프들이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 표면 저항 측정기를 도시한 사시도이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 표면 저항 측정기의 일 구성인 측정 세트를 도시한 사시도 및 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기의 전체적인 모식도이고, 도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기의 일 구성 중 측정 대상물이 장착된 측정 세트를 도시한 모식도 및 분해도이고, 도 3은 상기 측정 세트 중 제4전극 플레이트의 일 실시 예를 보여주는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기의 일 구성 중 압력 파트의 내부 구조를 알 수 있도록 하는 단면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하여 설명하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기(1000)는 베이스(100), 측정 세트(200), 압력 파트(300) 및 이동수단(400)을 포함할 수 있다.

상기 베이스(100)는 상기 측정 세트(200), 압력 파트(300) 및 이동수단(400)을 지지하는 역할을 한다.

상기 측정 세트(200)는 상기 베이스(100) 상에 위치할 수 있으며, 상기 베이스(100)로부터 자유롭게 분리되거나 체결될 수 있다.

상기 측정 세트(200)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기(100)로 표면 저항을 측정하고자하는 측정 대상물(210)을 장착할 수 있는 구조이다.

도 2a 및 도 2b를 참조하여 상기 측정 세트(200)를 더욱 자세히 설명하면, 상기 측정 세트(200)는 스페이서 플레이트(220), 출력전극 플레이트(230), 접촉 전극 플레이트(240) 및 플렉시블 플레이트(250)를 포함할 수 있다.

상기 측정 세트(200)는 더미 플레이트(260)를 더 포함할 수 있다.

상기 측정 대상물(210)은 그 자체가 측정 대상이 될 수 있다. 즉, 상기 측정 대상물(210) 자체가 전도성 박막일 수 있다. 또한, 상기 측정 대상물(210)은 기판(212) 및 상기 기판(212) 상에 형성된 도전성 박막(214)을 포함하며, 상기 측정 대상물(210) 중 상기 기판(212) 상에 구비된 상기 도전성 박막(214)이 측정 대상이 될 수도 있다.

한편, 상기 측정 대상물(210)의 표면 양측 끝단에는 상기 측정 대상물(210)에 정전압 또는 정전류를 연결하기 위한 단자들(272, 274)이 구비될 수 있다. 예컨대, 소오스 전원을 공급하기 위한 제1단자(272) 및 접지하기 위한 제2단자(274)가 구비될 수 있다. 또한 상기 단자들(272, 274)은 생략될 수 있으며, 상기 단자들(272, 274)이 생략된 경우에는 상기 측정 대상물(210)의 일 표면에 직접 정전압 또는 정전류가 연결될 수 있다.

상기 스페이서 플레이트(220)는 상기 측정 대상물(210)의 일 표면상에 위치한다. 상기 스페이서 플레이트(220)에는 제1 개구부(222)가 구비되는데, 상기 제1 개구부는 도 2b에 도시된 바와 같이 상기 측정 대상물(210)의 일 표면의 일정 영역을 노출시킨다.

상기 스페이서 플레이트(220)는 상기 측정 대상물(210)에 의해 형성된 표면으로부터 측면 또는 신장된 면을 향해 돌출될 수 있다. 도 2a에서 도시하고 있는 바와 같이 상기 스페이서 플레이트(220)는 상기 측정 대상물(210)의 측면 방향으로 연장되어 구비될 수 있으며, 바람직하게는 상기 측정 대상물(210)의 길이 방향에 대해 수직하게 연장되어 구비될 수 있다. 즉, 상기 스페이서 플레이트(220)의 길이 방향과 상기 측정 대상물(210)의 길이 방향은 서로 수직하게 교차되도록 상기 스페이서 플레이트(220)가 상기 측정 대상물(210)의 일 표면 상에 구비될 수 있다.

상기 스페이서 플레이트(220)는 절연성 물질로 이루어질 수 있다. 상기 스페이서 플레이트(220)는 이후 설명되는 출력전극 플레이트(230)와 상기 측정 대상물(210) 사이를 절연시키는 역할을 한다. 이외에도, 상기 스페이서 플레이트(220) 상에 위치하는 구성들, 예컨대, 출력전극 플레이트(230), 접촉전극 플레이트(240) 및 플렉시블 플레이트(250) 등을 상기 측정 대상물(210)로부터 일정 간격으로 이격시키는 역할을 한다.

상기 출력전극 플레이트(230)는 상기 스페이서 플레이트(220) 상에 위치한다. 상기 출력전극 플레이트(230)는 도 2b에 도시된 바와 같이 상기 측정 대상물(210)의 일 표면의 일정 영역을 노출시키는 제2개구부(232)를 구비한다. 특히, 상기 출력전극 플레이트(230)의 제2개구부(232)는 상기 스페이서 플레이트(220)의 제1개구부(222)와 대응되도록 구비될 수 있다.

상기 출력전극 플레이트(230)는 상기 측정 대상물(210)에 의해 형성된 표면으로부터 측면 또는 신장된 면을 향해 돌출될 수 있다.

또한, 상기 출력전극 플레이트(230)는 그 표면의 일부가 노출되도록 상기 접촉전극 플레이트(240)와 플렉시블 플레이트(250)로부터 돌출될 수 있다. 상기 출력전극 플레이트(230)는 상기 스페이서 플레이트(220)와 동일한 형태로 연장되어 상기 스페이서 플레이트(220)와 동일한 형상을 가질 수 있다.

상기 출력전극 플레이트(230)는 도전성 물질을 포함할 수 있으며, 상기 측정 세트(200)의 측정전압을 출력하는 단자로 이용될 수 있다.

상기 접촉전극 플레이트(240)는 상기 출력전극 플레이트(230) 상에 위치한다. 또한, 상기 접촉전극 플레이트(240)는 상기 제2개구부(232)를 덮도록 구비될 수 있다.

상기 접촉전극 플레이트(240)는 도전성 물질을 포함하며, 상기 출력전극 플레이트(230)와 전기적으로 연결된다. 상기 접촉전극 플레이트(240)는 그 전체가 도전성 물질로 이루어져 있을 수 있고, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 측정 대상물(210)의 일 표면과 대향하는 표면 상에 도전성 물질로 이루어진 전극 패턴(242)을 적어도 하나 구비할 수 있다. 상기 전극 패턴(242)은 라인 패턴일 수 있으며, 상기 접촉전극 플레이트(240) 상에 일정 간격으로 반복하여 구비될 수 있다.

상기 접촉전극 플레이트(240)가 적어도 하나의 전극 패턴(242)을 구비하고 있는 경우, 상기 전극 패턴(242)을 제외한 플레이트는 절연성 물질로 이루어진다. 이는 상기 전극 패턴(242)이 복수 개로 이루어져 있을 경우, 상기 전극 패턴(242)들 사이가 절연되도록 하고, 상기 전극 패턴(242)들 중 어느 하나 또는 수 개가 상기 측정 대상물(210)의 일 표면과 접촉하도록 하기 위해서이다. 상기 접촉전극 플레이트(240)가 적어도 하나의 전극 패턴(242)을 구비하는 경우, 상기 접촉전극 플레이트(240)는 상기 측정 대상물(210)과 접촉이 제한적으로 이루어져 보다 정확한 측정이 이루질 수 있다.

상기 플렉시블 플레이트(250)는 상기 접촉전극 플레이트(240) 상에 위치한다. 상기 플렉시블 플레이트(250)는 상기 접촉전극 플레이트(240)와 동일한 크기로 구비될 수 있다. 상기 플렉시블 플레이트(250)는 유연한 물질로 이루어질 수 있다. 상기 플렉시블 플레이트(250)는 유연한 폴리머 기판으로 이루어질 수 있다.

이때, 상기 접촉전극 플레이트(240)는 상기 플렉시블 플레이트(250)와 일체형으로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 접촉전극 플레이트(240)는 상기 측정 대상물(210)의 일 표면과 대향하는 상기 플렉시블 플레이트(250)의 일 표면 상에 형성된 박막 형태로 구비될 수 있다.

한편, 상기 스페이서 플레이트(220), 출력전극 플레이트(230), 접촉전극 플레이트(240) 및 플렉시블 플레이트(250)는 일체형으로 구비될 수 있다. 즉, 상기 스페이서 플레이트(220), 출력전극 플레이트(230), 접촉전극 플레이트(240) 및 플렉시블 플레이트(250)는 유연한 기판 상에 도전층 및 절연층들을 형성한 후 이를 패터닝하여 형성하거나, 절연 기판 상에 도전층 및 절연층들을 형성한 후 이를 패터닝하여 형성하는 방법으로 형성할 수 있다.

일체화된 상기 스페이서 플레이트(220), 출력전극 플레이트(230), 접촉전극 플레이트(240) 및 플렉시블 플레이트(250)는 다양한 방법으로 이루어질 수 있으며, 일반적인 반도체 제조 공정을 이용하여 형성할 수 있다.

상기 더미 플레이트(260)는 상기 스페이서 플레이트(220) 하부에 구비된다.

상기 더미 플레이트(260)는 상기 접촉전극 플레이트(240)와 측정 대상물(210)이 서로 평행하도록 위치 보정 동작을 수행한다. 즉, 더미 플레이트(260)의 개재에 의해 상기 측정 대상물(210)의 일 표면과 대향하는 상기 접촉전극 플레이트(240)의 일 표면과 상기 측정 대상물(210)의 일 표면은 서로 평행하도록 설정된다. 즉, 상기 더미 플레이트(260)는 상기 스페이서 플레이트(220)와 베이스(100) 사이에 배치됨을 통해 상기 스페이서 플레이트(220) 또는 출력전극 플레이트(230)를 지지하는 역할을 하며, 상기 스페이서 플레이트(220), 출력전극 플레이트(230) 또는 접촉전극 플레이트(240)가 상기 측정 대상물(210)의 일 표면에 대해 수평을 이루도록 하는 역할을 한다.

한편, 상기 측정 세트(200)에 장착되는 상기 측정 대상물(210)의 면적이 매우 큰 경우, 상기 스페이서 플레이트(220), 출력전극 플레이트(230), 접촉전극 플레이트(240) 또는 플렉시블 플레이트(250)의 크기 역시 커지게 된다. 이로 인해, 상기 스페이서 플레이트(220)의 제1개구부(222) 및 출력전극 플레이트(230)의 제2개구부(232)가 크기가 커지게 되며, 이로 인해 상기 접촉전극 플레이트(240) 또는 플렉시블 플레이트(250)의 자체 무게 등에 의해 상기 압력팁(310)이 누르지 않아도 상기 접촉전극 플레이트(240)가 상기 측정 대상물(210)의 일 표면에 접촉하는 보잉(bowing) 현상이 발생될 수 있다. 이러한 보잉 현상을 방지하기 위해 상기 스페이서 플레이트(220), 출력전극 플레이트(230), 접촉전극 플레이트(240) 및 플렉시블 플레이트(250)의 측면들을 밀봉하고, 스페이서 플레이트(220), 출력전극 플레이트(230) 및 접촉전극 플레이트(240)와 측정 대상물(210)의 일 표면 사이의 빈 공간 내에 기체 또는 액체를 넣어 상기 보잉 현상을 방지할 수도 있다.

상기 압력 파트(300)는 상기 측정 세트(200) 상에 구비될 수 있다. 또한 상기 압력 파트(300)는 이후 설명될 이송 수단(400)과 연결되어 있다.

상기 압력 파트(300)는 압력팁(310), 몸통(320), 압력 조절 나사(330), 제1탄성부재(340) 및 제2탄성부재(350)를 포함할 수 있다.

상기 압력 파트(300)는 상기 압력팁(310)이 상기 플렉시블 플레이트(250) 상부에서 상하로 이동하도록 구비될 수 있으며, 상기 압력팁(310)의 하강 시, 상기 압력팁(310)의 끝단(상기 끝단은 이후 설명될 팁부(316)와 동일한 영역임)은 상기 플렉시블 플레이트(250)의 특정 지점을 누르고, 상기 플렉시블 플레이트(250)의 특정 지점에 대응하는 상기 접촉전극 플레이트(240)의 특정 지점은 상기 측정 대상물(210)의 일 표면 상의 특정 지점에 접촉하도록 하는 역할을 한다.

상기 압력팁(310)은 머리부(312), 몸체부(314) 및 팁부(316)를 포함할 수 있다. 상기 압력팁(310)의 머리부(312)는 일정 크기의 직경을 갖도록 이루어질 수 있으며, 상기 압력팁(310)의 몸체부(314)는 상기 머리부(312)로부터 연장되어 구비될 수 있으며, 상기 머리부(312)에 비해 작은 직경을 갖을 수 있다. 상기 압력팁(310)의 몸통부(314)의 끝단에는 팁부(316)를 구비하고 있으며, 상기 팁부(316)는 끝단에 가까워질수록 뾰족해지도록 구비된다.

상기 몸통(320)은 상기 압력 파트(300)가 이후 설명될 이송 수단(400)과 연결된다. 또한 상기 몸통(320)은 상기 압력팁(310)이 상하로 이동될 수 있도록 하는 가이드홀(322) 및 상기 압력팁(310)이 인출입할 수 있는 인출입홀(324)을 구비할 수 있다. 상기 가이드홀(322)은 상기 압력팁(310)의 머리부(312)가 상하로 이동될 수 있도록 상기 머리부(312)와 직경이 동일한 것이 바람직하며, 상기 인출입홀(324)은 상기 압력팁(310)의 몸체부(314)와 직경이 동일한 것이 바람직하다.

상기 압력 조절 나사(330)는 상기 압력팁(310)이 상기 플렉시블 플레이트(250)를 누르는 압력을 조절하는 역할을 한다. 즉, 상기 압력 조절 나사(330)를 조절함으로써, 이후 설명될 제1탄성부재(340) 및 제2탄성부재(350)와의 상호 작용에 의해 상기 압력팁(310)이 상기 플렉시블 플레이트(250)의 특정 지점을 누르는 압력을 조절하는 역할을 한다.

상기 압력 조절 나사(330)는 몸체부(332)와 머리부(334)를 포함할 수 있으며, 상기 압력 조절 나사(330)의 몸체부(332)는 그 일부가 상기 몸통(320)의 가이드홀(322) 내로 삽입되는 형태로 구비될 수 있다. 상기 가이드홀(322)의 일정 영역에는 나사선이 형성되어 있고, 상기 압력 조절 나사(330)의 몸체부(332)에도 상기 가이드홀(322)의 나사선에 대응하는 나사선이 형성되어 있을 수 있다. 상기 압력 조절 나사(330)의 나사선과 상기 가이드홀(322)의 나사선은 상기 압력 조절 나사(330)가 상기 가이드홀(322)에 삽입되는 깊이를 조절하고, 상기 압력 조절 나사(330)의 삽입되는 깊이에 의해 상기 압력팁(310)이 누르는 힘이 결정되는 역할을 한다.

상기 제1탄성부재(340)는 탄성력을 갖는 스프링과 같은 탄성부재로 구비될 수 있다. 상기 제1탄성부재(340)는 상기 가이드홀(322) 내부, 바람직하게는 상기 압력 조절 나사(330)의 몸체부(332)와 상기 압력팁(310)의 머리부(312) 사이에 구비될 수 있다.

상기 제2탄성부재(350)는 탄성력을 갖는 스프링과 같은 탄성부재로 구비될 수 있으며, 상기 압력팁(310)의 몸체부(314)를 감싸도록 구비되며, 상기 가이드홀(322) 내부, 바람직하게는 상기 압력팁(310)의 머리부(312)와 입출입홀(324) 사이에 구비될 수 있다.

상기 제1탄성부재(340)과 제2탄성부재(350)는 상기 압력팁(310)이 상기 플렉시블 플레이트(250)의 특정 지점을 누르는 힘, 즉, 압력을 결정하고 일정하게 유지하는 역할을 한다. 즉, 상기 압력 조절 나사(330)를 상기 가이드홀(322) 내부로 삽입 또는 인출됨에 따라 발생되는 압력을 상호 작용을 통해 상기 압력팁(310)에 전달하고, 전달된 압력을 일정하게 유지하는 역할을 한다. 이를 통해, 상기 압력팁(310)이 상기 플렉시블 플레이트(250)의 특정 지점을 일정한 힘으로 안정적으로 누르게 하는 역할을 한다.

상기 이동 수단(400)은 상기 압력 파트(300)를 이동시키는 역할을 할 수 있다. 상기 이동 수단(400)은 상기 압력 파트(300), 특히 상기 압력팁(310)의 팁부(316)를 상기 측정 세트(200), 특히 상기 플렉시블 플레이트(250)의 표면 상에서 수평상으로 이동시키는 역할을 한다. 예컨대, 상기 이동 수단(400)은 상기 압력 파트(300)를 X-X' 축을 따라 이동시키는 역할을 한다. 상기 이동 수단(400)은 상기 압력 파트(300)를 Y-Y' 축을 따라 이동시키는 구성을 구비할 수도 있으나, 그러한 구성은 본 발명의 상세한 설명에서는 생략한다.

상기 이동 수단(400)은 모터(410), 동력전달 축(420), 운동변환부(430), 슬라이드(440), 가이드 레일(450) 및 지지대(460)를 포함할 수 있다.

상기 모터(410)는 상기 이동 수단(400)의 동력을 생성하는 구성일 수 있다. 상기 모터(410)에서 발생된 동력, 예컨대, 회전력은 상기 모터(410)의 회전축에 연결된 동력전달 축(420)으로 전달된다. 상기 모터(410)는 200 펄스(pulse)에 한 바퀴가 구동되는 모터일 수 있으며, 상기 모터(410)는 32분할 모터 컨트롤러를 구비할 수 있다.

상기 동력전달 축(420)은 상기 모터(410)로부터 발생된 동력을 전달하는 역할을 한다. 상기 동력전달 축(420)은 10mm의 피치를 갖는 볼스크류를 사용할 수 있다. 따라서 상기 이동 수단(400)은 상기 모터(410) 및 동력전달 축(420)의 조합에 의해 상기 압력 파트(300)를 312.5㎚ 단위로 이동 가능하게 한다. 물론 상기 모터(410)와 동력전달 축(420)의 성능이 우수하다면, 상기 압력 파트(300)는 더 정교한 단위로 이동 가능하며 공차 역시 줄일 수 있다.

상기 운동변환부(430)는 상기 동력전달 축(420)과 슬라이드(440) 사이에 위치하며, 상기 동력전달 축(420)과 상호작용하여 상기 동력전달 축(420)의 동력, 회전력을 직선 운동을 변환시키는 역할을 할 수 있다. 즉, 상기 운동변환부(430)는 상기 동력전달 축(420)의 회전을 변환하여 상기 슬라이드(440)가 상기 가이드 레일(450)을 따라 직선운동을 하도록 하는 역할을 한다.

상기 슬라이드(440)는 상기 운동변환부(430)와 연결되어 있으며, 상기 압력 파트(300)와 연결되어 있다. 상기 슬라이드(440)는 상기 압력 파트(300), 정확하게는 상기 압력 파트(300)의 몸통(320)과 연결되어 있고, 상기 압력 파트(300)를 실질적으로 이동시키는 역할을 한다.

상기 슬라이드(440)는 상기 압력 파트(300)와 연결된 몸체부(442)와 상기 몸체부(442)의 하부에 위치하며, 상기 가이드 레일(450)과 접촉하는 슬라이딩부(444)를 구비할 수 있다.

상기 가이드 레일(450)은 상기 슬라이드(440)의 하부에 위치하며, 상기 슬라이드(400)가 직선 운동하는 것을 가이드하는 역할을 한다. 도 1에서는 상기 가이드 레일(450)이 두 개 있는 것으로 도시하고 있으나, 필요하면 하나만 구비될 수 있고 또한 셋 이상을 구비할 수도 있다. 이때, 상기 슬라이딩부(444)는 상기 가이드 레일(450)의 갯수에 따라 적절히 구비될 수 있다.

상기 지지대(460)은 상기 동력전달 축(420)을 지지하는 역할을 할 뿐만 아니라 상기 가이드 레일(450)과 연결되어 상기 가이드 레일(450)을 고정하는 역할도 할 수 있다. 또한 상기 지지대(460)는 상기 모터(410)와 연결되어 상기 모터(410)를 고정하는 역할도 할 수 있다.

도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면저항 분포 측정기를 이용한 측정 방법을 보여주기 위한 사시도, 단면도, 개념도 및 회로도이다. 이때, 도 5a는 측정 세트를 보여주는 사시도이고, 도 5b는 상기 도 5a의 A-A'선을 따라 절취한 단면도를 보여주는 단면도이고, 도 5c 및 도 5d는 측정 세트에 장착되는 측정 대상물의 표면저항을 측정하는 원리를 보여주는 개념도 및 회로도이다.

도 5a 내지 도 5d를 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기를 이용하여 표면저항 분포를 측정하는 방법을 설명하면, 우선, 측정 대상물(210)이 장착된 측정 세트(200)를 준비하고, 측정 세트(200)를 압력팁(310)의 하부에 위치하도록 위치시킨다.

그리고, 제1단자(272) 및 제2단자(274) 사이에는 정전압 또는 정전류를 인가한다. 그리고 출력전극 플레이트(230)를 통해 측정 전압을 측정할 준비를 한다.

압력팁(310)을 제1단자(272) 또는 제2단자(274)와 일정 간격 이격된 위치의 어느 한 지점, 예컨대, 제1특정 지점(P1)에 위치시키고, 압력 파트(300)의 압력 조절 나사(330)를 조절하여 일정한 압력으로 플렉시블 플레이트(250)의 특정 지점(P1)을 누르고, 플렉시블 플레이트(250) 하부의 접촉전극 플레이트(240)의 제1특정 지점(P1)이 측정 대상물(210)의 제1특정 지점(P1)에 접촉하도록 한다. 그리고 출력전극 플레이트(230)을 통해 제1특정 지점(P1)에서의 측정 전압을 측정한다.

제1특정 지점(P1)에서 측정된 측정 전압 Vout1은 도 5d의 (a)에 도시된 바와 같이 저항분배 법칙에 따라 제1특정 지점(P1)을 기준으로 저항비에 따라

를 나타내게 된다. 이때 V는 정전압에서 인가된 전압을 나타내며, 정전류에서는 정전류를 인가하여 측정된 전체 전압을 나타낸다.

이어서, 도 5c에 도시된 바와 같이 만큼 압력팁(310)을 k 거리만큼 이동하여 제2특정 지점(P2)에서 상기에서 상술한 바와 같은 방법으로 측정 전압 Vout2을 측정한다. 제2특정 지점(P2)에서 측정된 측정 전압 Vout2은 도 5d의 (b)에 도시된 바와 같이 저항분배 법칙에 따라 제2특정 지점(P2)을 기준으로 저항비에 따라

를 나타내게 된다.

제1특정 지점(P1)과 제2특정 지점(P2)에서 측정된 측정 전압 차는

이며, R2-R4는 제1특정 지점(P1)과 제2특정 지점(P2) 사이의 저항을 의미하고, R_total은 측정 대상물(210) 전체에 정전류 또는 정전압을 인가하여 측정된 전압 또는 전류를 통해 측정할 수 있다.

이때, 제1특정 지점(P1)과 제2특정 지점(P2) 사이의 비저항과 폭이 동일하고, 전계가 양 단자(272,274)와 평행하게 형성된다고 가정하면, 폭이 W이고 길이가 k인 직각형 형태의 저항체로 볼 수 있다. 그러므로 제1특정 지점(P1)과 제2특정 지점(P2) 사이의 저항은

으로, 해당 구간의 표면저항(Rs), 폭(W) 및 길이(k)로 나타낼 수 있다. 이를 표면저항(Rs)에 대해 정리하고, R2-R4를 측정 가능한 Vout1-Vout2의 표현으로 바꾼다면, 제1특정 지점(P1)과 제2특정 지점(P2)의 표면저항은

로 나타낼 수 있다. 이때,

은 단위 k 구간에 대한 전압 미분값으로 나타내며 결국 전체 측정 대상물(210)에서 k 단위만큼 이동하면서 측정 전압을 측정함을 통해 표면저항의 분포를 알 수 있다. 또한 측정 대상물(210)의 두께를 알고 있다면 비저항으로 표현할 수 있다. 표면저항과 비저항의 분포를 확인하기 위하여 %표준편차를 이용하여 균일도를 확인할 수 있다. 이는 평균 표면저항이 측정 대상물에 대해서도 서로 비교가 가능한 기준으로 사용될 수 있다.

측정 예 1

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기를 이용하여 ITO의 박막의 전압 분포 및 표면저항 분포를 측정한 결과를 보여주는 그래프들이다.

본 측정 예는 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기(1000)를 이용하여 도 5a 내지 도 5d를 참조하여 설명한 측정 방법으로 ITO의 박막의 전압 분포 및 표면저항 분포를 측정한 결과이다.

이때, 도 6a 및 도 6b에 도시된 그래프들은 압력팁(310)을 6.25㎛ 단위로 이동, 즉, k 단위는 6.25㎛로 하여 측정한 결과들로, 각각 ITO 박막에 대한 측정 전압 분포를 두 번 측정한 결과 및 4~6mm 구간에 대한 표면 저항 분포를 측정한 결과이다. 이때, 4~6mm 구간은 제1단자(272)에 대해 4mm 에서 6mm으로 이격된 구간을 의미할 수 있다.

도 6a에 도시된 그래프는 제1단자(272)에 대한 이격 거리(position)에 따라 측정 전압(voltage)가 선형적으로 증가하는 것을 보여주고 있고, 도 6b에 도시된 그래프는 도 6a에 도시된 그래프 중 이격 거리(poition)이 4~6mm인 구간에서의 표면저항을 측정한 결과를 표시하여 미세구간에 대한 표면저항 분포를 확인할 수 있게 하는 그래프이다. 이때, 각각의 그래프는 각각 두 번씩 측정하여 본 측정 방법의 신뢰도를 확인하였으며, 측정 결과 그 차이가 거의 없는 것으로 보아 본 측정 방법의 신뢰도가 높은 것을 확인할 수 있었다.

하기 표 1은 상기에서 상술한 방법으로 ITO 박막에 대한 평균 표면저항, 표면저항 표준편차 및 표면저항 %표준편차를 정리하였다.

	평균 표면저항	표면저항 표준편차	표면저항 %표준편차
ITO 박막	444.08 Ω/□	225.09 Ω/□	50.8 %

상기와 같은 결과를 통해 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 저항 측정기(1000)는 종래의 4-포인트 프로브법에서는 측정할 수 없는 미세 구간에 대한 표면저항 분포를 측정할 수 있을 뿐만 아니라 측정 값에 대한 신뢰도도 높다는 것을 알 수 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 표면 저항 측정기를 도시한 사시도이다.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 표면 저항 측정기의 일 구성인 측정 세트를 도시한 사시도 및 단면도이다. 이때, 도 8b는 도 8a의 B-B'선을 따라 절취한 단면도이다.

도 7 내지 도 8b를 참조하여 설명하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 표면 저항 측정기(2000)는 전도성 박막, 즉, 측정 대상물(510)의 압력 대비 전기적 특성 변화와 측정 대상물(520)의 기계적 변형에 따른 전기적 특성 변화를 측정하기 위한 장치이다. 이때, 상기 표면 저항 측정기(2000)는 상기 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한 표면 저항 측정기(1000)의 변형으로, 상기 표면 저항 측정기(100)에 비해 측정 세트(500)에서 차이가 있을 뿐 다른 구성에서는 차이가 없음으로 상기 측정 세트(500)에 대해서만 설명한다. 즉, 상기 표면 저항 측정기(1000)의 베이스(100), 압력 파트(300) 및 이동 수단(400)과 전기 특성 변화 분포 측정기(2000)의 베이스(100), 압력 파트(300) 및 이동 수단(400)은 동일하므로 자세한 설명은 생략한다.

또한, 상기 표면 저항 측정기(1000)와 동일한 방법을 이용하여 출력 전압을 측정함으로 측정 방법에 관한 설명 또한 생략한다.

상기 측정 세트(500)는 압력에 대한 전기적 특성 변화 및 기계적 변형에 대한 전기적 특성 변화를 측정하고자 하는 측정 대상물(510)을 장착할 수 있다. 상기 측정 대상물(510)은 그 자체가 도전성 박막으로 측정대상일 수도 있으나, 도 7 내지 도 8b에 도시된 바와 같이 플렉시블 기판(512)과 상기 플렉시블 기판(512) 상에 형성된 도전성 박막(514)을 포함하며, 상기 측정 대상물(510) 중 상기 플렉시블 기판(512) 상에 구비된 상기 도전성 박막(514)이 측정 대상이 될 수 있다.

상기 측정 세트(500)는 접촉 플레이트(520), 제1스페이서 플레이트(530), 제2스페이서 플레이트(540), 제1전극 플레이트(550), 제2전극 플레이트(560) 및 제1연결 플레이트(570) 및 제2연결 플레이트(580)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1연결 플레이트(570) 및 제2연결 플레이트(580)는 생략될 수 있다.

상기 접촉 플레이트(520)는 상기 표면 저항 측정기(2000)의 베이스(100) 상에 위치할 수 있다. 상기 접촉 플레이트(520)는 그 자체가 도전성 물질로 이루어져 그 자체가 전극 역할을 할 수 있으나, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이 기판(522) 및 상기 기판(522) 상에 형성된 도전 박막(524)으로 이루어져 있을 수 있다. 이때, 상기 기판(522)은 절연성 기판인 것이 바람직하다.

상기 제1스페이서 플레이트(530) 및 제2스페이서 플레이트(540)는 상기 접촉 플레이트(520)의 일 표면 상에 위치하며, 서로 이격되어 위치한다. 이때, 상기 제1스페이서 플레이트(530) 및 제2스페이서 플레이트(540)는 상기 접촉 플레이트(520)의 일 표면 상의 일부가 노출되도록 위치한다. 노출된 상기 접촉 플레이트(520)의 일부는 도 8a에 도시된 바와 같이 출력 전원을 인출하는 단자 역할을 할 수 있다.

상기 제1스페이서 플레이트(530) 및 제2스페이서 플레이트(540)는 절연 물질로 이루어지며, 상기 접촉 플레이트(520)와 상기 측정 대상물(510) 간의 이격 간격을 조절하는 역할을 한다.

상기 제1스페이서 플레이트(530) 및 제2스페이서 플레이트(540) 각각의 상부에 제1전극 플레이트(550) 및 제2전극 플레이트(560)가 위치할 수 있다. 상기 제1전극 플레이트(550) 및 제2전극 플레이트(560)는 도전성 물질을 포함하여 이루어진다. 상기 제1전극 플레이트(550) 및 제2전극 플레이트(560)는 정전압 또는 정전류를 인가하기 위해 구비될 수 있다. 예컨대, 상기 제1전극 플레이트(550)는 소오스 전원을 연결하기 위해 구비될 수 있으며, 상기 제2전극 플레이트(560)는 접지와 연결하기 위해 구비될 수 있다.

상기 제1연결 플레이트(570)는 상기 제1전극 플레이트(550) 상에 구비되되, 상기 제1전극 플레이트(550)에 소오스 전원을 연결할 수 있도록 상기 제1전극 플레이트(550)의 일부가 노출되도록 구비되며, 상기 제2연결 플레이트(580)는 상기 제2전극 플레이트(550) 상에 구비되되, 상기 제2전극 플레이트(560)를 전지와 연결할 수 있도록 상기 제2전극 플레이트(560)의 일부가 노출되도록 구비될 수 있다. 이때, 상기 측정 대상물(510)을 상기 제1전극 플레이트(550) 및 제2전극 플레이트(560)와 직접 연결될 수 있거나, 상기 측정 대상물(510)과 접촉 플레이트(520) 사이의 간격이 충분하다면 상기 제1연결 플레이트(570)와 제2연결 플레이트(580)는 생략될 수 있다.

한편, 상기 측정 대상물(510)은 상기 측정 세트(500)에 장착될 때, 상기 도전성 박막(514)이 상기 제1연결 플레이트(570) 및 제2연결 플레이트(580) 또는 제1전극 플레이트(550) 및 제2전극 플레이트(560)에 연결되도록 상기 도전성 박막(514)이 하부 방향으로 향하도록 장착된다. 즉, 상기 측정 대상물(510)은 상기 도전성 박막(514)이 상기 접촉 플레이트(520)의 일 표면에 대향하도록 장착된다.

상기 측정 세트(500)는 상기 측정 대상물(510)이 상기 압력팁(310)의 하부에 위치하도록 상기 베이스(100)에 장착될 수 있다.

따라서 상기 표면 저항 측정기(2000)는 상기 압력팁(310)으로 누르는 압력에 대해 상기 측정 대상물(510)의 도전성 박막(514)의 전기적 특성 변화 및 그 분포를 측정할 수 있고, 또한 상기 압력팁(310)에 의한 기계적 변형에 따른 전기적 특성 변화 및 그 분포를 측정할 수 있다.

이상 본 발명을 상기 실시 예들을 들어 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것이 아니다. 당업자라면, 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정, 변경을 할 수 있으며 이러한 수정과 변경 또한 본 발명에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.

1000 : 표면 저항 측정기 100 : 베이스
200 : 측정 세트 300 : 압력 파트
400 : 이송 수단

Claims (14)

1. 측정 대상물 상에 위치되며, 상기 측정 대상물의 일부 표면을 노출시키는 제1개구부를 갖는 절연성 재질의 스페이서 플레이트;
   상기 스페이서 플레이트 상에 위치되고, 상기 제1개구부에 대응하는 제2개구부를 갖는 출력전극 플레이트;
   상기 출력전극 플레이트 상에 위치하며, 적어도 상기 제2개구부를 덮는 접촉전극 플레이트; 및
   상기 접촉전극 플레이트 상에 위치하는 플렉시블 플레이트를 포함하는 표면 저항 측정기.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 플렉시블 플레이트 상에 위치하는 압력팁을 더 포함하는 표면 저항 측정기.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 압력팁은 상기 플렉시블 플레이트에 대해 상하로 이동하도록 구비되며,
   상기 압력팁의 하강 시 상기 압력팁의 끝단은 상기 플렉시블 플레이트의 특정 지점을 누르고, 상기 플렉시블 플레이트의 특정 지점에 대응하는 상기 접촉전극 플레이트의 특정 지점은 상기 측정 대상물의 일 표면 상의 특정 지점에 접촉하는 표면 저항 측정기.
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 측정 대상물을 지지하는 베이스;
   상기 압력팁을 포함하는 압력 파트; 및
   상기 압력 파트와 연결되며 상기 압력 파트를 이동시키는 이동 수단을 더 포함하는 표면 저항 측정기.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 이송 수단:은
   동력을 발생시키는 모터;
   상기 모터의 회전축에 연결된 동력전달 축;
   상기 동력전달 축에 연결되며, 상기 동력전달 축과 상호작용하여 상기 동력전달 축의 회전 운동을 직선운동으로 변환시키는 운동변환부;
   상기 운동변환부와 연결되며, 상기 압력 파트와 체결되는 슬라이드;
   상기 슬라이드의 하부에 위치하며, 상기 슬라이드의 직선운동을 가이드하는 가이드 레일; 및
   상기 동력전달 축을 지지하며, 상기 가이드 레일을 고정하는 지지대를 포함하는 표면 저항 측정기.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 출력전극 플레이트는 그 표면의 일부가 노출되도록 상기 측정 대상물에 의해 형성된 표면으로부터 측면 또는 신장된 면을 향해 돌출된 표면 저항 측정기.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 스페이서 플레이트는 상기 측정 대상물에 의해 형성된 표면으로부터 측면 또는 신장된 면을 향해 돌출되어 구비되며, 상기 스페이서 플레이트의 하부에는 더미 플레이트를 더 포함하는 표면 저항 측정기.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 접촉전극 플레이트는 상기 측정 대상물의 일 표면과 대향하는 표면 상에 적어도 하나의 전극 패턴을 구비하는 표면 저항 측정기.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 전극 패턴은 라인 패턴이며, 상기 접촉전극 플레이트의 표면 상에 일정 간격으로 반복하여 구비되어 있는 표면 저항 측정기.
10. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력전극 플레이트는 도전성 물질을 포함하는 표면 저항 측정기.
11. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 대상물의 일 표면 상의 양측 끝단에는 제1단자 및 제2단자를 더 포함하는 표면 저항 측정기.
12. 도전성 물질을 포함하는 접촉 플레이트;
    상기 접촉 플레이트의 일 표면 상에 위치하되, 서로 이격되어 위치하며, 상기 접촉 플레이트의 일부는 노출되도록 구비된 스페이서 플레이트들; 및
    상기 각각의 스페이서 플레이트들의 상부에 위치하며, 그 상부에 측정 대상물이 위치되는 전극 플레이트들을 포함하는 표면 저항 측정기.
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 스페이서 플레이트들은 제1스페이서 플레이트와 상기 제1스페이서 플레이트에 대향하는 제2스페이서 플레이트를 포함하며,
    상기 전극 플레이트들은 상기 제1스페이서 플레이트 상에 위치한 제1전극 플레이트와 상기 제2스페이서 플레이트 상에 위치한 제2전극 플레이트를 포함하며,
    상기 제1스페이서 플레이트와 제1전극 플레이트 사이에 구비된 제1연결 플레이트 및 상기 제2스페이서 플레이트와 제2전극 플레이트 사이에 구비된 제2연결 플레이트를 더 포함하는 표면 저항 측정기.
14. 제 12 항에 있어서,
    상기 측정 대상물은 플렉시블 기판 및 상기 플렉시블 기판 상에 형성된 도전성 박막을 포함하며, 상기 측정 대상물은 상기 도전성 박막이 상기 접촉 플레이트에 대향하도록 위치하는 표면 저항 측정기.

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