KR20110103131A - Non contact type vacuum pad apparatus - Google Patents

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KR20110103131A
KR20110103131A KR1020100022311A KR20100022311A KR20110103131A KR 20110103131 A KR20110103131 A KR 20110103131A KR 1020100022311 A KR1020100022311 A KR 1020100022311A KR 20100022311 A KR20100022311 A KR 20100022311A KR 20110103131 A KR20110103131 A KR 20110103131A
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조경덕
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조경덕
박병세
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Abstract

본 발명은 가공이 용이하도록 회전기류 형성을 위한 구조를 심플하게 형성하여, 가공성을 향상시키는 것은 물론 제품 단가를 낮출 수 있는 비접촉식 진공패드장치에 관한 것이다.
상기 본 발명은 일측으로 유입된 공기를 저면 일부로 배출하는 공기공급유로를 구비하며, 저면에 원형돌기가 돌출되는 베이스; 및 상기 베이스 저면에 분리 가능하게 결합되고, 상기 공기공급유로를 통해 공급된 공기를 안내하여 상기 원형돌기 주변을 따라 회전하는 회전기류를 형성하도록 분사하는 회전기류형성부재;를 포함하며, 상기 회전기류형성부재는 상기 원형돌기와 간격을 두고 둘러싸면서 상기 원형돌기와 동심으로 위치하는 원형구멍을 구비하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a non-contact vacuum pad device that can simply form a structure for forming a rotary air flow to facilitate processing, as well as to improve workability and lower the cost of products.
The present invention has an air supply passage for discharging the air introduced to one side to a portion of the bottom surface, the base protruding circular projections on the bottom; And a rotary airflow forming member detachably coupled to the bottom surface of the base and injecting the air supplied through the air supply passage to form a rotary airflow rotating around the circular protrusion. Forming member is characterized in that it has a circular hole which is located concentrically with the circular projection while being spaced apart from the circular projection.

Description

비접촉식 진공패드장치{Non contact type vacuum pad apparatus}Non contact vacuum pad apparatus

본 발명은 진공패드장치에 관한 것으로, 특히 박형 또는 초박형 웨이퍼나 PCB를 흡착하기 위한 비접촉식 진공패드장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pad device, and more particularly to a non-contact vacuum pad device for adsorbing a thin or ultra-thin wafer or PCB.

일반적으로 진공을 이용하여 물체를 운반하기 위한 수단으로 진공패드를 사용하며, 이러한 진공패드는 접촉식과 비접촉식으로 나누어진다.Generally, a vacuum pad is used as a means for transporting an object using a vacuum, and the vacuum pad is divided into contact and non-contact type.

접촉식 진공패드는 진공패드와 피운반체 사이에 발생하는 진공압에 의해 변형이 이루어지지 않는 경도가 높고 무거운 물체를 운반하는데 주로 사용되며, 이에 반해 비접촉식 진공패드는 진공압에 의해 쉽게 변형될 수 있는 초박형 및 박형의 가벼운 물체를 운반하는데 사용된다.Contact vacuum pads are mainly used to transport hard and heavy objects that are not deformed by the vacuum pressure generated between the vacuum pad and the carrier. On the other hand, non-contact vacuum pads can be easily deformed by vacuum pressure. Used to carry ultra thin and thin lightweight objects.

이와 같은 종래의 비접촉식 진공패드는 진공패드와 피운반체 사이에 형성되는 회전기류에 의해 발생되는 베르누이 효과를 이용해서 비접촉 흡착하는 구조를 가진다.Such a conventional non-contact vacuum pad has a structure for non-contact adsorption using the Bernoulli effect generated by the rotary airflow formed between the vacuum pad and the carrier body.

그런데, 이와 같은 종래의 비접촉식 진공패드는 회전류를 형성하기 위한 진공패드 내부의 유로 구조가 매우 복잡하므로 가공이 용이하지 못하였고, 이로 인해 제작 기간 및 가공비용이 늘어나 결과적으로 제품의 단가가 상승하게 되는 문제점이 있었다.However, such a conventional non-contact vacuum pad is not easy to process because the flow path structure inside the vacuum pad for forming the rotational flow is very complicated, which increases the production period and processing costs, resulting in a higher unit cost of the product. There was a problem.

상기 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 가공이 용이하도록 회전기류 형성을 위한 구조를 심플하게 형성하여, 가공성을 향상시키는 것은 물론 제품 단가를 낮출 수 있는 비접촉식 진공패드장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a non-contact vacuum pad device that can simply form a structure for forming a rotary air flow to facilitate processing, as well as to improve workability and lower the cost of products. .

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 일측으로 유입된 공기를 저면으로 배출하는 공기공급유로를 구비하며, 저면에 원형돌기가 돌출되는 베이스; 및 상기 베이스 저면에 분리 가능하게 결합되고, 상기 공기공급유로를 통해 공급된 공기를 안내하여 상기 원형돌기 주변을 따라 회전하는 회전기류를 형성하도록 분사하는 회전기류형성부재;를 포함하며, 상기 회전기류형성부재는 상기 원형돌기와 간격을 두고 둘러싸면서 상기 원형돌기와 동심으로 형성된 원형구멍을 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 진공패드장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention has an air supply passage for discharging the air introduced to one side to the bottom, the base protruding from the bottom; And a rotary airflow forming member detachably coupled to the bottom surface of the base and injecting the air supplied through the air supply passage to form a rotary airflow rotating around the circular protrusion. Forming member provides a non-contact vacuum pad device characterized in that it has a circular hole formed concentrically with the circular projection while being spaced apart from the circular projection.

상기 회전기류형성부재는, 상기 공기공급유로와 연통하는 공기이송유로; 및 상기 공기이송유로를 따라 이송되는 공기를 상기 원형구멍 내로 분사할 수 있도록, 일단이 공기이송유로와 연통되고 타단이 상기 원형구멍과 연통되는 적어도 하나의 노즐홈을 포함하며, 상기 노즐홈은 상기 공기이송유로의 폭 보다 좁은 폭으로 이루어지는 것이 바람직하다.The rotary airflow forming member may include an air transfer passage communicating with the air supply passage; And at least one nozzle groove, one end of which is in communication with the air path and the other end of which is in communication with the circular hole, for injecting air transported along the air transfer path into the circular hole. It is preferable that the width is narrower than the width of the air feed passage.

상기 노즐홈은 상기 원형구멍에 대하여 접선을 이루도록 배치되거나, 그 접선에 대하여 89°사이에 배치될 수 있다.The nozzle groove may be arranged to make a tangent with respect to the circular hole, or may be disposed between 89 ° with respect to the tangent.

상기 노즐홈은 다수로 이루어질 수 있으며, 이 경우 다수의 노즐홈은 서로 등간격으로 배치되는 것이 바람직하다.The nozzle grooves may be formed in plural, and in this case, the plurality of nozzle grooves may be disposed at equal intervals from each other.

또한 상기 노즐홈은 직선으로 이루어질 수 있으며, 단면이 V형상인 것이 바람직하다.In addition, the nozzle groove may be made in a straight line, the cross section is preferably V-shaped.

상기 공기이송유로는 상기 회전기류형성부재의 상면을 따라 폐곡선으로 형성될 수 있다.The air flow path may be formed in a closed curve along the upper surface of the rotary airflow forming member.

또한 본 발명은 상기 베이스는 타 구조물에 고정할 수 있도록 상기 베이스 상면에 결합되는 지지로드를 더 포함할 수 있다.In another aspect, the present invention may further include a support rod coupled to the base upper surface to be fixed to the other structure.

상기한 바와 같이 본 발명에 있어서는, 회전기류 형성을 위해 단순한 구조로 이루어진 공기이송유로 및 노즐홈을 구비함으로써, 제품의 가공이 매우 용이하고 이에 따라 생산성 향상 및 제작 비용을 크게 낮춤으로써 가격 경쟁력을 갖출 수 있는 이점이 있다.As described above, in the present invention, by providing the air flow path and the nozzle groove having a simple structure for forming the rotary airflow, the processing of the product is very easy, thereby improving the productivity and significantly lowering the manufacturing cost, thereby achieving a price competitiveness There is an advantage to this.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공패드장치를 나타내는 조립사시도,
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공패드장치를 각각 나타내는 분해사시도,
도 4는 회전기류를 생성하기 위한 회전기류안내부재를 나타내는 평면도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공패드장치를 이용하여 초박형 웨이퍼를 비접촉방식으로 흡착하는 상태를 나타내는 측단면도,
도 6은 도 4에 도시된 Ⅵ-Ⅵ을 따라 나타낸 공기이송유로 및 노즐홈을 나타내는 단면도이다.1 is an assembled perspective view showing a vacuum pad device according to an embodiment of the present invention,
2 and 3 are exploded perspective views respectively showing a vacuum pad device according to an embodiment of the present invention,
4 is a plan view showing a rotary airflow guide member for generating a rotary airflow;
Figure 5 is a side cross-sectional view showing a state in which the ultra-thin wafer is adsorbed in a non-contact manner using a vacuum pad device according to an embodiment of the present invention;
6 is a cross-sectional view illustrating the air flow path and the nozzle groove along the VI-VI shown in FIG. 4.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 진공패드장치의 구성을 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration of a non-contact vacuum pad device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 진공패드장치(1)는 외부로부터 공기가 주입되는 베이스(10)와, 상기 베이스(10)로부터 공기를 전달받아 회전기류를 발생시키기 위한 회전기류형성부재(30)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a non-contact vacuum pad device 1 according to an embodiment of the present invention is a base 10 into which air is injected from the outside, and receives air from the base 10 to generate a rotary airflow. Rotating airflow forming member 30 is included.

베이스(10)는 소정 두께를 가지는 원판형상으로 이루어지며, 외부에서 공급되는 공기를 회전기류형성부재(30)로 이송하기 위해 베이스(10)의 일측면으로부터 저면까지 이어지는 공기공급유로(11) 및 베이스(10) 저면 중앙에 원형돌기(17)를 구비한다.The base 10 is formed in a disc shape having a predetermined thickness, and an air supply passage 11 extending from one side of the base 10 to the bottom in order to transfer air supplied from the outside to the rotary airflow forming member 30 and A circular protrusion 17 is provided at the center of the bottom of the base 10.

공기공급유로(11)는 베이스(10) 측면에 형성된 결합구멍(13)과 베이스(10) 저면에 형성된 배출구멍(15)이 서로 연통되도록 형성된다. 이에 따라 공기공급유로(11)는 대략 직각으로 절곡된 형상으로 이루어진다.The air supply passage 11 is formed such that the coupling hole 13 formed at the side of the base 10 and the discharge hole 15 formed at the bottom of the base 10 communicate with each other. Accordingly, the air supply passage 11 has a shape that is bent at approximately right angles.

결합구멍(13)에는 에어 서플라이용 피팅(미도시)이 착탈 가능하게 결합된다. 배출구멍(15)은 공기공급유로(11)에서 배출되는 공기를 하기의 회전기류형성부재(30)의 공기이송유로(33)로 안내하기위해 공기이송유로(33)의 일부분과 연통된다.An air supply fitting (not shown) is detachably coupled to the coupling hole 13. The discharge hole 15 is in communication with a portion of the air transfer passage 33 to guide the air discharged from the air supply passage 11 to the air transfer passage 33 of the rotary airflow forming member 30.

원형돌기(17)는 베이스(10) 저면으로부터 소정 높이로 돌출 형성된다. 이와 같은 원형돌기(17)는 하기의 회전기류형성부재(30)의 원형구멍(31) 내에서 생성되는 회전기류의 회전을 가이드 함과 동시에, 진공패드장치(1)와 피운반체(W) 사이에서 발생하는 회전기류의 중앙부에 피운반체(W)를 상승시키기 위한 진공영역(A2)이 마련될 수 있도록 회전기류의 생성영역(A1)을 제한한다(도 5 참고).The circular protrusion 17 is formed to protrude to a predetermined height from the bottom surface of the base 10. The circular protrusion 17 guides the rotation of the rotary air stream generated in the circular hole 31 of the rotary airflow forming member 30, and is formed between the vacuum pad device 1 and the carrying body W. The generation region A1 of the rotary airflow is restricted so that the vacuum region A2 for raising the carrier W can be provided at the center of the rotary airflow generated in FIG. 5 (see FIG. 5).

회전기류형성부재(30)는 대략 링 형상으로 이루어지며, 중앙에 상기 원형돌기(17)의 외경보다 큰 지름을 가지는 원형구멍(31)이 형성된다.The rotary airflow forming member 30 has a substantially ring shape, and a circular hole 31 having a diameter larger than the outer diameter of the circular protrusion 17 is formed at the center thereof.

원형구멍(31)은 베이스(10) 저면에 회전기류형성부재(30)를 결합할 경우, 내측에 원형돌기(17)가 위치하며, 원형구멍(31)의 중심은 원형돌기(17)의 중심과 동심(同心)으로 배치된다. 이에 따라 원형구멍(31) 내로 고속 분사되는 기류는 원형구멍 내주면을 따라 일방향으로 회전하면서 회전기류 즉, 사이클론(cyclone)을 형성한다.When the circular hole 31 is coupled to the rotary airflow forming member 30 on the bottom of the base 10, the circular protrusion 17 is located inside, and the center of the circular hole 31 is the center of the circular protrusion 17. And concentrically arranged. Accordingly, the airflow injected at high speed into the circular hole 31 rotates in one direction along the inner circumferential surface of the circular hole to form a rotary airflow, that is, a cyclone.

도 4를 참고하면, 회전기류형성부재(30)는 상면을 따라 폐곡선을 이루는 공기이송유로(33)가 형성되며, 원형구멍(31)과 공기이송유로(33) 사이에는 다수의 노즐홈(35)이 형성된다.Referring to FIG. 4, the air flow passage 33 forming a closed curve is formed along the upper surface of the rotary airflow forming member 30, and a plurality of nozzle grooves 35 are formed between the circular hole 31 and the air transfer passage 33. ) Is formed.

공기이송유로(33)는 공기공급유로(11)의 배출구멍(15)에서 배출된 고압 공기가 다수의 노즐홈(35)으로 이송될 수 있도록 안내한다.The air transfer passage 33 guides the high pressure air discharged from the discharge hole 15 of the air supply passage 11 to be transferred to the plurality of nozzle grooves 35.

다수의 노즐홈(35)은 일측이 공기이송유로(33)와 연통되고 타측이 원형구멍(31)과 연통되어, 공기이송유로(33)에서 다수의 노즐홈(35)으로 유입된 공기를 원형구멍(31) 내로 분사하는 역할을 한다.The plurality of nozzle grooves 35 have one side communicating with the air transfer passage 33 and the other side communicating with the circular hole 31, so that the air flowing into the plurality of nozzle grooves 35 from the air transfer passage 33 is circular. Serves to spray into the hole 31.

이 경우 다수의 노즐홈(35)은 공기이송유로(33)에서 이동하는 공기의 속도보다 더 빠른 속도로 원형구멍(31) 내로 공기를 분사하기 위해 공기이송유로(33)의 폭보다 좁은 폭을 가지도록 형성된다.In this case, the plurality of nozzle grooves 35 have a width narrower than the width of the air conveying passage 33 to inject air into the circular hole 31 at a speed faster than the speed of the air moving in the air conveying passage 33. It is formed to have.

더욱이 다수의 노즐홈(35)은 직선으로 이루어지며 원형구멍(31) 내에서 최적의 회전기류 생성 조건을 만족할 수 있도록 원형구멍(31)에 대하여 접선방향으로 배치된다.Moreover, the plurality of nozzle grooves 35 are formed in a straight line and are arranged in a tangential direction with respect to the circular hole 31 so as to satisfy the optimum rotational air generating condition in the circular hole 31.

이에 따라 노즐홈(35)으로부터 분사되는 공기는 분사된 직후 노즐홈(35)으로부터 가장 인접한 원형구멍(31)의 내벽을 따라 회전하여 회전기류를 형성한다. 이때 상기 다수의 노즐구멍(33)은 서로 등간격으로 배치됨에 따라 어느 일측으로 치우지지 않는 균일한 회전기류를 형성하여 피운반체(W) 흡착 시 피운반체(W)에 가해지는 진공압력이 균일하게 분포하도록 유도할 수 있다.Accordingly, the air injected from the nozzle groove 35 is rotated along the inner wall of the nearest circular hole 31 from the nozzle groove 35 immediately after the injection to form a rotary airflow. At this time, the plurality of nozzle holes 33 are formed at equal intervals from each other to form a uniform rotary air flow that does not move to any one side, so that the vacuum pressure applied to the carrier W when the carrier W is adsorbed is uniform. To be distributed.

한편, 본 실시예에서는 노즐홈(35)이 원형구멍(31)의 접선방향으로 배치된 것으로 예들 들었으나 이에 제한되지 않고, 상기 노즐홈(35)은 도 4와 같이 상기 원형구멍(31)의 접선에 대하여 89°의 범위 내에서 임의 각(θ)으로도 배치할 수 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the nozzle groove 35 is exemplarily disposed in the tangential direction of the circular hole 31, but the present invention is not limited thereto. The nozzle groove 35 may be formed in the circular hole 31 as shown in FIG. 4. It may also be arranged at an arbitrary angle θ within the range of 89 ° with respect to the tangent line.

또한, 본 실시에에서는 노즐홈(35)을 4개로 형성한 것을 예로 들어 설명하지만 노즐홈(35)의 개수는 이에 제한되지 않고, 적어도 하나의 노즐홈(35)을 구비하면 족하다. 다만, 노즐홈(35)을 2개 이상 형성할 경우 상술한 바와 같이 균일한 회전기류를 형성하기 위해 각 노즐홈(35)을 등간격으로 배치하는 것이 바람직하다.In the present embodiment, the nozzle grooves 35 are formed by four, but the number of the nozzle grooves 35 is not limited thereto, and at least one nozzle groove 35 is sufficient. However, when two or more nozzle grooves 35 are formed, it is preferable to arrange the nozzle grooves 35 at equal intervals to form a uniform rotary air flow as described above.

상기 노즐홈(35)은 도 6과 같이 그 단면이 대략 V자 형상으로 이루어진다. 이와 같이 V자 형상으로 노즐홈(35)을 형성함에 따라 단면이 사각형인 경우에 비하여 가공이 용이하다.The nozzle groove 35 has a substantially V-shaped cross section as shown in FIG. 6. As the nozzle grooves 35 are formed in the V-shape as described above, processing is easier than in the case where the cross section is rectangular.

상기 베이스(10) 및 회전기류형성부재(30)는 각각 구비한 체결구멍(18,37)에 다수의 볼트(20)를 체결시켜 상호 분리 가능하게 결합된다.The base 10 and the rotary airflow forming member 30 are coupled to each other by fastening a plurality of bolts 20 to fastening holes 18 and 37, respectively.

더욱이 본 발명은 베이스(10) 상면에 형성된 삽입구멍(19)에 일단이 고정되는 지지로드(50)는 포함한다. 지지로드(50)는 진공패드장치(1)를 각종 프레임 등의 타 구조물(미도시)에 고정시킬 때 사용할 수 있다.Furthermore, the present invention includes a support rod 50 whose one end is fixed to the insertion hole 19 formed on the upper surface of the base 10. The support rod 50 may be used to fix the vacuum pad device 1 to other structures (not shown) such as various frames.

이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 진공패드장치의 작용을 첨부된 도 4 및 도 5를 참고하여 설명한다.The operation of the vacuum pad device according to the embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

피운반체(W), 예를 들면 초박형 웨이퍼를 비접촉방식으로 흡착하기 위해, 먼저 진공패드장치(1)를 피운반체(W)의 상측으로 미리 설정된 소정 간격으로 이동시킨 후, 에어 서플라이용 피팅(미도시)을 통해 베이스(10)의 공기공급유로(11, 도 3 참고)로 고압 공기를 공급한다. In order to adsorb the carrier W, for example, an ultra-thin wafer, in a non-contact manner, the vacuum pad device 1 is first moved at a predetermined interval above the carrier W, and then an air supply fitting The high pressure air is supplied to the air supply passage 11 (refer to FIG. 3) of the base 10 through c).

이에 따라 공기공급유로(11)로 유입된 고압 공기는 회전기류형성부재(30)의 공기이송유로(33)로 빠른 속도로 전달된다.Accordingly, the high pressure air introduced into the air supply passage 11 is transmitted at a high speed to the air transfer passage 33 of the rotary airflow forming member 30.

도 4를 참고하면, 계속해서 고압 공기는 공기이송유로(33)를 따라 이동하다가 다수의 노즐홈(35)을 통해 원형구멍(31) 내부를 향해 매우 빠른 속도로 배출된다. 이때 배출된 공기는 원형구멍(31)의 내벽을 따라 자연스럽게 회전하게 되면서 원형구멍(31) 내에서는 고속의 회전기류가 형성한다.Referring to FIG. 4, the high pressure air continues to move along the air transfer passage 33 and is discharged at a very high speed toward the inside of the circular hole 31 through the plurality of nozzle grooves 35. At this time, the discharged air is naturally rotated along the inner wall of the circular hole 31 to form a high speed rotary airflow in the circular hole 31.

이와 같이 다수의 노즐홈(35)으로부터 지속적으로 분사되는 고압 공기에 의해 진공패드장치(1)와 피운반체(W) 사이에 회전기류 영역(A1)이 유지되면서 동시에, 회전기류 하측으로는 베르누이 효과에 의해 진공영역(A2)이 형성된다.In this way, while the rotary airflow region A1 is maintained between the vacuum pad device 1 and the carrying body W by the high pressure air continuously injected from the plurality of nozzle grooves 35, the Bernoulli effect is below the rotary airflow. The vacuum region A2 is formed by this.

이 경우 진공영역(A2)은 진공패드장치(1)의 하측으로 대면적으로 분포하는데, 이때 회전기류를 이루는 공기가 진공패드장치(1)와 피운반체(W) 사이로 빠져나가면서 진공영역(A2)은 대략 원형돌기(17) 하측으로 그 영역이 다소 제한된다.In this case, the vacuum area A2 is distributed to the lower side of the vacuum pad device 1 in a large area. At this time, the air constituting the rotary air flows out between the vacuum pad device 1 and the carrier W, and the vacuum area A2. ) Is approximately limited to the area below the circular protrusion 17.

이와 같이 진공패드장치(1)와 피운반체(W) 사이에 형성되는 진공영역(A2)에의해 피운반체(W)는 진공패드장치(1) 측으로 이동함과 동시에, 진공패드장치(1)와 피운반체(W) 사이로부터 배출되는 공기에 의해 더 이상 진공패드장치(1) 측으로 이동하지 못하고 진공패드장치(1)와 이격되어 비접촉상태를 유지하게 된다.As described above, the carried body W moves toward the vacuum pad apparatus 1 by the vacuum area A2 formed between the vacuum pad apparatus 1 and the carried body W. The air discharged between the carried bodies W no longer moves toward the vacuum pad apparatus 1, but is spaced apart from the vacuum pad apparatus 1 to maintain a non-contact state.

따라서, 본 발명은 종래와 달리 진공패드장치(1)가 초박형 및 박형 웨이퍼나 PCB에 직접 접촉하지 않으므로 진공패드장치(1)와 피운반체(W) 간의 접촉 시 마찰이나 충격에 의해 피운반체의 형상이 변형되지 않도록 안전하게 흡착하여 이송할 수 있다.Therefore, in the present invention, since the vacuum pad device 1 does not directly contact the ultra-thin and thin wafers or the PCB, the shape of the conveyed body may be caused by friction or impact during contact between the vacuum pad device 1 and the carrier W. It can be safely adsorbed and transported so as not to deform.

더욱이, 본 발명은 가공이 용이한 단순한 구조의 공기이송유로 및 노즐홈을 구비함에 따라 생산성 향상은 물론 가공에 따르는 제작비용을 크게 낮춤으로써 가격 경쟁력을 갖출 수 있다.In addition, the present invention can have a competitive price by improving the productivity as well as significantly lower the production cost according to the process by having a simple structure of the air transfer flow path and the nozzle groove easy to process.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention.

10: 베이스 11: 공기공급유로
13: 결합구멍 15: 배출구멍
17: 원형돌기 18,37: 체결구멍
19: 삽입구멍 20: 체결볼트
30: 회전기류형성부재 31: 원형구멍
33: 공기이송유로 35: 노즐홈
50: 지지로드10: Base 11: Air Supply Euro
13: coupling hole 15: discharge hole
17: circular projection 18,37: fastening hole
19: insertion hole 20: tightening bolt
30: rotating airflow forming member 31: circular hole
33: air transfer path 35: nozzle groove
50: support rod

Claims (8)

일측으로 유입된 공기를 저면으로 배출하는 공기공급유로를 구비하며, 저면에 원형돌기가 돌출되는 베이스; 및
상기 베이스 저면에 분리 가능하게 결합되고, 상기 공기공급유로를 통해 공급된 공기를 안내하여 상기 원형돌기 주변을 따라 회전하는 회전기류를 형성하도록 분사하는 회전기류형성부재;를 포함하며,
상기 회전기류형성부재는 상기 원형돌기와 간격을 두고 둘러싸면서 상기 원형돌기와 동심으로 형성된 원형구멍을 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 진공패드장치.A base having an air supply passage for discharging the air introduced to one side to the bottom, and having a circular protrusion protruding from the bottom; And
And a rotary airflow forming member which is detachably coupled to the bottom surface of the base and injects the air supplied through the air supply passage to form a rotary airflow rotating around the circular protrusion.
And the rotary airflow forming member has a circular hole formed concentrically with the circular protrusion while surrounding the circular protrusion at intervals. 제1항에 있어서, 상기 회전기류형성부재는,
상기 공기공급유로와 연통하는 공기이송유로; 및
상기 공기이송유로를 따라 이송되는 공기를 상기 원형구멍 내로 분사할 수 있도록, 일단이 공기이송유로와 연통되고 타단이 상기 원형구멍과 연통되는 적어도 하나의 노즐홈을 포함하며,
상기 노즐홈은 상기 공기이송유로의 폭 보다 좁은 폭으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉식 진공패드장치.According to claim 1, The rotary airflow forming member,
An air transfer passage communicating with the air supply passage; And
At least one nozzle groove having one end in communication with the air transmission path and the other end in communication with the circular hole so as to inject air transported along the air transfer path into the circular hole,
The nozzle groove is a non-contact vacuum pad device, characterized in that made of a narrower than the width of the air flow path. 제2항에 있어서, 상기 노즐홈은 상기 원형구멍에 대하여 접선을 이루도록 배치되거나, 그 접선에 대하여 89°사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 진공패드장치.3. The non-contact vacuum pad device according to claim 2, wherein the nozzle groove is arranged to make a tangent to the circular hole or is disposed between 89 degrees with respect to the tangent. 제2항에 있어서, 상기 노즐홈은 다수로 이루어지며, 서로 등간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 진공패드장치.3. The non-contact vacuum pad device according to claim 2, wherein the nozzle grooves are formed in plural and are arranged at equal intervals. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 노즐홈은 직선으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉식 진공패드장치.The non-contact vacuum pad device according to claim 3 or 4, wherein the nozzle groove is formed in a straight line. 제2항에 있어서, 상기 노즐홈은 단면이 V형상인 것을 특징으로 하는 비접촉식 진공패드장치.3. The non-contact vacuum pad device according to claim 2, wherein the nozzle groove is V-shaped in cross section. 제2항에 있어서, 상기 공기이송유로는 상기 회전기류형성부재의 상면을 따라 폐곡선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 진공패드장치.The non-contact vacuum pad device as claimed in claim 2, wherein the air transfer passage is formed in a closed curve along an upper surface of the rotary airflow forming member. 제1항에 있어서, 상기 베이스는 타 구조물에 고정할 수 있도록 상기 베이스 상면에 결합되는 지지로드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 진공패드장치.The non-contact vacuum pad device of claim 1, wherein the base further comprises a support rod coupled to an upper surface of the base to be fixed to another structure.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114524270A (en) * 2022-02-24 2022-05-24 南京理工大学 Single-inlet double-vortex non-contact vacuum sucker with needle valve

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