KR20110093588A - Method of manufacturing pellicle - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판, 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 리소그래피용 펠리클의 제조 방법에 관한 것이고, 특히 펠리클 프레임에의 접착제, 점착제의 도포 공정에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to the manufacturing method of the pellicle for lithography used as a dust shield when manufacturing a semiconductor device, a printed circuit board, a liquid crystal display, etc., and especially the application process of the adhesive agent and adhesive to a pellicle frame.
LSI, 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(이하, 단순히 포토마스크라고 기술한다)에 먼지가 부착되어 있으면 엣지가 울퉁불퉁하게 되는 것 외에 하지(下地)가 검게 오염되거나 하는 등 치수, 품질, 외관 등이 손상된다고 하는 문제가 있었다. In the manufacture of semiconductors such as LSI and ultra-LSI, or in the manufacture of liquid crystal displays, a pattern is produced by irradiating light onto a semiconductor wafer or a liquid crystal display plate, but a photomask or reticle (hereinafter, simply referred to as a photomask) used at this time is used. If dust adheres to the edges, the edges become rugged, and the lower extremities are contaminated, such that the dimensions, quality, and appearance are damaged.
이 때문에, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행하여지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에, 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 관계없게 된다. Therefore, these operations are usually performed in a clean room, but it is still difficult to keep the photomask clean at all times. Therefore, exposure is performed after the pellicle is attached to the surface of the photomask as a dust barrier. In this case, since the foreign matter is not directly attached to the surface of the photomask but adheres to the pellicle, the foreign matter on the pellicle becomes irrelevant to transfer when the focus is set on the pattern of the photomask during lithography.
일반적으로, 펠리클은 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클 막을 알루미늄, 스테인리스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 펠리클 막의 양용매를 도포한 후에 풍건해서 접착하거나(특허문헌 1 참조), 아크릴 수지나 에폭시 수지 등의 접착제로 접착한다(특허문헌 2, 특허문헌 3 참조). 또한, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 접착하기 위한 폴리부텐 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지, 실리콘 수지 등으로 이루어지는 점착제가 형성된다. 또한, 점착제의 표면에는 통상 점착제의 보호를 목적으로 한 이형 시트(세퍼레이터)가 설치된다. In general, a pellicle is air-dried by applying a good pellicle film of a pellicle film to a top surface of a pellicle frame made of aluminum, stainless steel, polyethylene, or the like. (Refer patent document 1), It adhere | attaches with adhesive agents, such as an acrylic resin and an epoxy resin (refer patent document 2, patent document 3). In addition, an adhesive made of a polybutene resin, a polyvinyl acetate resin, an acrylic resin, a silicone resin, or the like for adhering to a photomask is formed at the lower end of the pellicle frame. Moreover, the release sheet (separator) for the purpose of protection of an adhesive is normally provided in the surface of an adhesive.
펠리클 프레임에의 접착제, 점착제의 도포는 브러시 도포, 스프레이 도포, 딥, 튜브나 카트리지로부터의 압출 도포, 자동 도포 장치에 의한 도포 등에 의해 행하여지지만, 정밀하고 정량적으로 도포할 수 있다고 하는 점에서 자동 도포 장치에 의한 도포가 가장 적합하다. 자동 도포 장치로서는 특허문헌 4에 나타내어지는 액체 도포 장치 등이 이용될 수 있다. The application of the adhesive and the adhesive to the pellicle frame is performed by brush coating, spray coating, dip, extrusion coating from a tube or cartridge, application by an automatic application device, etc., but automatic coating is applied in that it can be applied precisely and quantitatively. Application by the device is most suitable. As an automatic coating device, the liquid coating device etc. which are shown by patent document 4 can be used.
통상, 자동 도포 장치의 도포 프로그램에 있어서의 운행 패턴은 펠리클 프레임이 매회 같은 장소에 셋팅되는 것을 전제로 해서 미리 프로그램되어 있다. 그러나, 펠리클 프레임을 매회 정확하게 같은 장소에 셋팅하는 것은 매우 곤란하다. 그 때문에, 펠리클 프레임의 셋팅 위치가 자동 도포 장치가 예정하는 위치와 어긋나 있는 경우에는 자동 도포 장치는 그 위치 어긋남에는 대응할 수 없어, 접착제, 점착제가 펠리클 프레임으로부터 넘쳐 흐르거나, 반대로 미도포 부분이 남거나 하는 경우가 있다. Usually, the running pattern in the application program of the automatic application device is programmed in advance on the assumption that the pellicle frame is set at the same place every time. However, it is very difficult to set the pellicle frame in exactly the same place every time. Therefore, when the setting position of the pellicle frame is shifted from the position scheduled by the automatic application device, the automatic application device cannot cope with the position shift, and the adhesive or the adhesive overflows from the pellicle frame, or the uncoated portion remains on the contrary. There is a case.
그리고, 접착제가 펠리클 프레임으로부터 넘쳐 흐르거나, 미도포 부분이 남거나 하면 펠리클 막과의 접착 불량이나 외관 불량을 일으키고, 또한 이물이 펠리클 내로 혼입되는 원인이 된다. 또한, 점착제의 경우도 마찬가지로 점착제가 펠리클 프레임으로부터 넘쳐 흐르거나, 미도포 부분이 남거나 했을 경우에는 포토마스크와의 점착 불량이나 외관 불량을 일으키고, 또한 이물이 펠리클 내로 혼입되는 원인이 된다. 이들은 모두 펠리클 제조의 수율 저하의 요인이 되어버린다. If the adhesive overflows from the pellicle frame or the uncoated portion remains, it causes a poor adhesion or poor appearance with the pellicle film, and causes foreign matter to enter the pellicle. In the case of the adhesive, likewise, when the adhesive overflows from the pellicle frame or the uncoated portion remains, it causes a poor adhesion or poor appearance with the photomask, and also causes foreign matter to enter the pellicle. These all become a factor of the yield fall of pellicle manufacture.
본 발명은 이러한 불리, 문제점을 해결하는 것을 과제로 한다. An object of the present invention is to solve such disadvantages and problems.
본 발명의 펠리클 제조 방법은 펠리클 프레임의 끝면에 접착제 또는 점착제를 자동 도포 장치를 이용하여 도포하는 공정을 포함하는 펠리클의 제조 방법으로서, The method of manufacturing a pellicle of the present invention is a method of manufacturing a pellicle comprising a step of applying an adhesive or a pressure-sensitive adhesive to the end surface of the pellicle frame using an automatic application device,
상기 접착제 또는 점착제를 도포하는 공정에 있어서, In the process of apply | coating the said adhesive agent or an adhesive,
도포 조작을 받는 펠리클 프레임 끝면의 위치 정보를 취득하고, Acquire position information of the end face of the pellicle frame subjected to the application operation,
취득한 위치 정보에 의해 도포 개시 위치와 도포 방향을 도포 프로그램에 도입하여, The application starting position and application direction are introduced into the application program by the acquired position information.
펠리클 프레임의 끝면에 접착제 또는 점착제를 도포하는 것을 특징으로 한다. It is characterized by applying an adhesive or an adhesive to the end surface of the pellicle frame.
취득한 위치 정보가 3차원의 위치 정보인 것, 상기 화상 정보는 카메라에 의해 취득하는 것, 3차원의 위치 정보 중 평면(XY) 방향의 위치 정보를 화상으로부터 취득하고, 상하(Z) 방향의 위치 정보를 전자파 또는 음파에 의해 취득하는 것, 위치 정보를 화상으로부터 취득하는 것이 바람직하다.The acquired positional information is three-dimensional positional information, the image information is acquired by a camera, and the positional information in the plane (XY) direction of the three-dimensional positional information is obtained from an image, and the position in the up-down (Z) direction is obtained. It is preferable to acquire information by electromagnetic waves or sound waves, and to acquire positional information from an image.
(발명의 효과)(Effects of the Invention)
본 발명에 의하면 펠리클 프레임에 접착제, 점착제를 도포할 때 펠리클 프레임으로부터 접착제, 점착제가 넘쳐 흐르거나, 미도포가 되거나 하지 않고 정확하게 도포할 수 있으므로 펠리클 제조의 수율을 향상시킬 수 있다. According to the present invention, when the adhesive and the adhesive are applied to the pellicle frame, the adhesive and the adhesive can be accurately applied without overflowing or uncoating the pellicle frame, so that the yield of pellicle production can be improved.
도 1은 펠리클의 종단면 설명도이다.
도 2는 접착제, 점착제 도포 장치의 일례를 나타내는 개략 설명도이다.
도 3은 펠리클 프레임 끝면의 위치를 검출하는 장치의 일례를 나타내는 개략 설명도이다. 1 is a longitudinal cross-sectional view of a pellicle.
It is a schematic explanatory drawing which shows an example of an adhesive agent and an adhesive application device.
It is a schematic explanatory drawing which shows an example of the apparatus which detects the position of the pellicle frame end surface.
이하, 도면에 의해 본 발명을 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail by drawing, this invention is not limited to this.
펠리클(1)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 펠리클(1)을 부착하는 기판(포토마스크)의 형상에 대응한 통상 사각 프레임 형상(장방형 프레임 형상 또는 정방형 프레임 형상)의 펠리클 프레임(13)의 상단면에 접착제(12)를 개재해서 펠리클 막(11)이 장설되고, 펠리클 프레임(13)의 하단면에는 펠리클을 기판에 부착하기 위한 점착제(14)가 형성된 것이다. 또한 점착제(14)의 하단면에는 점착제(14)를 보호하기 위한 이형 시트(세퍼레이터)(15)가 박리 가능하게 부착되어 있다. As shown in FIG. 1, the pellicle 1 of the
여기에서, 펠리클 막의 재질에 특별히 제한은 없고, 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스, 또는 불소 수지 등 공지의 것을 사용할 수 있다. 펠리클 프레임의 재질에도 특별히 제한은 없고, 알루미늄, 스테인리스스틸 등의 금속, 폴리에틸렌 등의 합성 수지 등 공지의 것을 사용할 수 있다. There is no restriction | limiting in particular in the material of a pellicle film | membrane, A well-known thing, such as nitrocellulose, cellulose acetate, or a fluororesin which permeate | transmits light well can be used. There is no restriction | limiting in particular also in the material of a pellicle frame, Well-known things, such as metals, such as aluminum and stainless steel, and synthetic resins, such as polyethylene, can be used.
접착제는 펠리클 프레임의 상단면에 소정의 폭(통상, 펠리클 프레임의 프레임 폭과 같거나 또는 그 이하)으로 형성되고, 펠리클 프레임 상단면의 둘레 방향에 걸쳐서 펠리클 막을 펠리클 프레임에 부착할 수 있도록 형성된다.The adhesive is formed on the top surface of the pellicle frame in a predetermined width (typically equal to or less than the frame width of the pellicle frame), and is formed to attach the pellicle film to the pellicle frame over the circumferential direction of the pellicle frame top surface. .
접착제의 재질에 대해서는 특별히 제한은 없고, 폴리부텐계 접착제, 폴리아세트산 비닐계 접착제, 실리콘계 접착제, 아크릴계 접착제 등 공지의 접착제를 사용할 수 있다. There is no restriction | limiting in particular about the material of an adhesive agent, Well-known adhesive agents, such as a polybutene adhesive, a polyvinyl acetate type adhesive agent, a silicone type adhesive agent, an acrylic adhesive agent, can be used.
점착제는 펠리클 프레임의 하단면에 소정의 폭(통상, 펠리클 프레임의 프레임 폭과 같거나 또는 그 이하)으로 형성되고, 펠리클 프레임 하단면의 둘레 방향에 걸쳐서 펠리클을 기판에 부착할 수 있도록 형성되어 있다. The pressure-sensitive adhesive is formed on a lower surface of the pellicle frame at a predetermined width (usually equal to or less than the frame width of the pellicle frame), and is formed to attach the pellicle to the substrate over the circumferential direction of the pellicle frame lower surface. .
점착제의 재질에 대해서도 특별히 제한은 없고, 폴리부텐계 점착제, 폴리아세트산 비닐계 점착제, 실리콘계 점착제, 아크릴계 점착제 등 공지의 점착제를 사용할 수 있다. There is no restriction | limiting in particular also about the material of an adhesive, Well-known adhesives, such as a polybutene type adhesive, a polyvinyl acetate type adhesive, a silicone type adhesive, and an acrylic adhesive, can be used.
이형 시트(세퍼레이터)는 펠리클을 기판에 부착할 때까지 점착제를 보호하기 위한 것이고, 펠리클의 사용시에는 제거된다. 그 때문에, 이형 시트(세퍼레이터)는 점착제를 펠리클의 사용시까지 보호할 필요가 있는 경우에 적당하게 설치된다. 제품 펠리클에서는 일반적으로 이형 시트(세퍼레이터)를 부착한 것으로 유통된다. The release sheet (separator) is for protecting the adhesive until the pellicle is attached to the substrate, and is removed when the pellicle is used. Therefore, a release sheet (separator) is suitably installed when it is necessary to protect an adhesive until use of a pellicle. In product pellicles, it is generally distributed with a release sheet (separator) attached.
이형 시트(세퍼레이터)의 재질에도 특별히 제한은 없고, 공지의 것을 사용할 수 있으며, 또한 이형 시트(세퍼레이터)는 공지의 방법으로 점착제에 부착하면 된다.There is no restriction | limiting in particular also in the material of a release sheet (separator), A well-known thing can be used, Moreover, what is necessary is just to attach a release sheet (separator) to an adhesive by a well-known method.
펠리클 프레임에의 접착제 또는 점착제의 도포는 상법대로 자동 도포 장치로 행하여지는 것을 기본으로 한다. 이하, 접착제를 도포할 경우에 대하여 설명하지만, 점착제를 도포하는 경우도 마찬가지이다. Application | coating of the adhesive agent or adhesive to a pellicle frame is based on what is performed by the automatic application device as usual. Hereinafter, although the case where an adhesive agent is apply | coated is demonstrated, it is the same also when applying an adhesive.
도 2에 자동 도포 장치의 일례를 나타낸다.An example of an automatic application device is shown in FIG.
도 2에 있어서 21은 가대, 22는 문형(門型) XYZ 직교 3축 로봇, 23은 시린지, 24는 펠리클 프레임, 25는 니들이다. 가대(21) 상에 (문형 XYZ 직교)3축 로봇(22)이 장착되어 있고, 그 Z축 선단에는 시린지(23)가 장착되어 있다. 시린지(23)는 디스펜서(도시 생략)에 접속되고, 3축 로봇(22)의 제어부(도시 생략)에 의해 로봇 동작과 도포액 토출 양쪽이 제어된다.In Fig. 2, 21 is a mount, 22 is a XYZ orthogonal triaxial robot, 23 is a syringe, 24 is a pellicle frame, and 25 is a needle. The triaxial robot 22 (moon-shaped XYZ orthogonal) is mounted on the
종래의 이런 종류의 자동 도포 장치에서는 가대(21)의 정위치(定位置)에 펠리클 프레임(24)을 위치시키고, 자동 도포 장치에 설치된 제어 프로그램에 따라서 펠리클 프레임의 끝면(상면)에 접착제(반대의 면인 경우에는 점착제)가 도포된다.In the conventional automatic coating device of this kind, the
그러나, 펠리클 프레임을 정위치에 위치시키는 것은 일반적으로 그다지 쉬운 일은 아니고, 펠리클 프레임의 놓여진 위치가 어긋나 있으면 접착제가 소망의 위치에 소망량 도포되지 않는 일이 일어날 수 있다.However, it is generally not very easy to position the pellicle frame in place, and if the placed position of the pellicle frame is shifted, the adhesive may not be applied to a desired position in a desired amount.
본 발명에서는 펠리클 프레임을 정위치에 특별히 구애받지 않고 위치시키고, 그 적재한 위치를 검출하고, 그 위치 신호를 자동 도포 장치에 설치되어 있는 프로그램에 송출하여 도포 조작의 시점·종점을 자동 인식하도록 하는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the pellicle frame is positioned regardless of the specific position, the loaded position is detected, and the position signal is sent to a program installed in the automatic application device so as to automatically recognize the start point and end point of the application operation. It is characterized by.
그때, 위치 신호가 3차원적으로 판독된다면 펠리클 프레임의 끝면(접착제·점착제의 도포면)이 수평으로부터 일탈되어 있어도 대응이 가능해진다.At that time, if the position signal is read three-dimensionally, even if the end surface (the application surface of the adhesive agent and the adhesive agent) of the pellicle frame deviates from the horizontal, the correspondence is possible.
도 3에 펠리클 프레임 끝면의 위치를 검출하는 장치의 일례를 나타낸다. An example of the apparatus which detects the position of the pellicle frame end surface in FIG. 3 is shown.
끝면 위치의 확인은 카메라와 레이저 변위계 등의 심도계에 의해 행하는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임의 설치에 수평이 담보된다면 카메라만으로도 지장이 없다. The end position is preferably checked by a depth meter such as a camera and a laser displacement meter. If the pellicle frame is secured horizontally, the camera alone will not interfere.
도 3에 있어서, 도 2에 나타내어지는 시린지(23)를 중심으로 해서 카메라(31)와 레이저 변위계(32)를 배치한다. 카메라에 의해 수평면 내의 이차원 위치 정보를, 심도계에 의해 수직 높이(Z축 방향 위치)의 위치 정보를 얻는다. In FIG. 3, the
카메라로서는 CCD 카메라, MOS 카메라, CMOS 카메라 등을 사용할 수 있고, 암소에서도 고화질이라는 점에서 CCD 카메라가 바람직하며, 또한 펠리클 프레임과 간섭하지 않도록 장초점 타입의 CCD 카메라가 보다 바람직하다.As a camera, a CCD camera, a MOS camera, a CMOS camera, etc. can be used, A CCD camera is preferable at the point of high quality in a dark, and a long focal type CCD camera is more preferable so that it may not interfere with a pellicle frame.
Z축 방향 위치의 확인에 사용하는 심도계로서는 전자파로서 레이저, 밀리파의 레이더나, 음파로서 초음파 센서 등을(이하, 대표하여 레이저 변위계라고도 한다) 사용할 수 있고, 단거리를 정확하게 측정할 수 있는 점에서 레이저 변위계에 의한 Z축 방향의 확인이 바람직하다. As a depth meter used to confirm the position in the Z-axis direction, a laser, a millimeter wave radar, or an ultrasonic sensor (hereinafter referred to as a laser displacement meter) can be used as an electromagnetic wave, and the short distance can be measured accurately. In the Z-axis direction by a laser displacement meter is preferable.
위치 확인 수단의 장착 위치는 디스펜서와 동축인 것이 바람직하지만, 디스펜서와의 오프셋값을 알고 있으면 동축에 구애될 필요는 없다.It is preferable that the mounting position of the positioning means is coaxial with the dispenser. However, if the offset value with the dispenser is known, it is not necessary to be coaxial.
본 발명에 의해 접착제 내지 점착제를 펠리클 프레임의 끝면에 도포하는 형태를 설명한다.The aspect which apply | coats an adhesive agent or an adhesive to the end surface of a pellicle frame by this invention is demonstrated.
우선, 도포 위치의 확인 수단에 의해 이미 프로그램되어 있는 도포 프로그램 패턴과 실제로 펠리클 프레임이 셋팅되어 있는 도포 위치의 어긋남을 확인한다.First, the discrepancy between the application program pattern already programmed by the application position confirmation means and the application position where the pellicle frame is actually set is confirmed.
펠리클 프레임의 위치 확인 수단의 이동 동작과 그 동작 제어는 디스펜서의 이동 동작, 동작 제어와 같은 계열이어도 다른 계열이어도 되지만, 기구를 간략화할 수 있는 점에서 같은 계열인 것이 바람직하다. Although the movement operation of the pellicle frame positioning means and its operation control may be a series such as the movement operation of the dispenser or the operation control, or may be a different series, it is preferable that the pellicle frame be the same series in terms of simplifying the mechanism.
그리고 도포 프로그램의 펠리클 프레임의 패턴 위치와, 실제 펠리클 프레임이 셋팅되어 있는 위치의 XYZ축 방향, 또한 회전 방향의 어긋남을 비교하고, 필요하다면 도포 프로그램 내의 도포 개시 위치 정보, 펠리클 프레임에의 도포 방향, 소망에 따라서는 각각의 위치에 있어서의 도포량(도포 물질의 공급량)을 보정해서 접착제의 도포를 행한다.Then, the pattern position of the pellicle frame of the application program and the deviation of the XYZ axis direction and the rotation direction of the position where the actual pellicle frame is set are compared, and if necessary, application start position information in the application program, application direction to the pellicle frame, If desired, the coating amount (supply amount of the coating substance) at each position is corrected to apply the adhesive.
펠리클 프레임의 위치 확인은 XY면 정보는 화상 정보로서 처리되는 것이 바람직하다. 그리고, Z축 방향의 위치 정보를 가미해서 삼차원적인 위치 정보를 얻는다. In the positioning of the pellicle frame, the XY plane information is preferably processed as image information. Then, three-dimensional positional information is obtained by adding positional information in the Z-axis direction.
펠리클 프레임의 위치 확인은 제 1차적으로는 펠리클 프레임의 전체 형상을 대비해서 행하여지지만, 도포 개시 위치를 포함하는 펠리클 프레임의 특정 점을 체크하는 것이 바람직하다. 보정을 가하기 위한 확인을 행하는 특정 점은 몇 개라도 되지만, 정확하게 보정하기 위해서는 적어도 2점 이상, 바람직하게는 4점 이상이 바람직하다. Although the positioning of the pellicle frame is primarily performed against the overall shape of the pellicle frame, it is preferable to check a specific point of the pellicle frame including the application start position. Any number of specific points for confirming for correction may be any number, but at least two or more, preferably four or more points are preferable for correcting correctly.
펠리클 프레임의 위치 확인에 의거하여 접착제 도포를 실시한다. The adhesive is applied based on the positioning of the pellicle frame.
접착제의 도포는 접착제가 채워진 시린지(23)를 디스펜서(도시 생략)에 접속하고, 3축 로봇(22)의 제어부에 의해 로봇 동작과 도포액 토출 양쪽을 제어한다. 그리고 상기 위치 확인에 따라 구성된 자동 도포 장치에 의해 펠리클 프레임 끝면 상에 접착제를 유하하면서 이동시킴으로써 펠리클 프레임 끝면 상에 접착제를 도포한다.Application of the adhesive connects the
접착제의 공급 수단(도시 생략)은 공기 가압, 질소 가압 등의 기체 가압에 의한 것에 한정되지 않고, 기어 펌프, 시린지 펌프, 플런저 펌프, 튜브 펌프에 의한 것 등 공급량 및 토출·정지를 제어할 수 있는 각종 공급 수단을 이용할 수 있다.The supply means (not shown) of the adhesive is not limited to gas pressurization such as air pressurization, nitrogen pressurization, etc., and it is possible to control the supply amount and discharge / stop, such as by a gear pump, a syringe pump, a plunger pump, and a tube pump. Various supply means can be used.
실시예Example
이하, 실시예를 나타내서 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 하기 실시예에 제한되는 것은 아니다. 또한, 접착제를 도포하는 경우에 대한 실시예를 설명하지만, 점착제를 도포할 경우에 있어서도 마찬가지이다. Hereinafter, although an Example is shown and this invention is demonstrated concretely, this invention is not limited to a following example. Moreover, although the Example regarding the case of apply | coating an adhesive agent is described, it is the same also when applying an adhesive.
[실시예] [Example]
먼저 외치수 782㎜×474㎜, 내치수 768㎜×456㎜, 높이 5.0㎜, 코너부의 내치수 R2.0㎜, 외치수 R6.0㎜의 장방형의 알루미늄 합금제 펠리클 프레임을 기계 가공에 의해 제작하고, SUS 비드로 블라스트 처리를 행하여 Ra0.5~1.0 정도의 표면 거칠기로 한 후, 표면에 흑색 알루마이트 처리를 실시했다. 이 펠리클 프레임을 클린룸에 반입하고, 중성 세제와 순수에 의해 잘 세정·건조시켰다. First, a rectangular aluminum alloy pellicle frame with an outer dimension of 782 mm x 474 mm, an inner dimension of 768 mm x 456 mm, a height of 5.0 mm, an inner dimension of R2.0 mm and an outer dimension of R6.0 mm is manufactured by machining. After performing blasting with SUS beads and making the surface roughness of about Ra0.5-1.0, black anodization process was given to the surface. This pellicle frame was carried in the clean room, and it wash | cleaned and dried well with neutral detergent and pure water.
도 2에 나타낸 접착제 도포 장치를 사용해서 도포를 행했다. Application | coating was performed using the adhesive agent application device shown in FIG.
PP제 시린지(23)는 공기 가압식 디스펜서(이와시타 엔지니어링제, 도시 생략)에 접속되고, 3축 로봇(22)의 제어부에 의해 로봇 동작과 도포액 토출 양쪽이 제어된다. 그리고, 이 장치 상에 상기한 사양의 펠리클 프레임(24)을 접착제 도포 끝면이 위를 향하게 고정했다. The
또한, 펠리클 프레임(24)의 자중에 의한 휘어짐을 방지하고, 점착면을 평면으로 유지하기 위해서 펠리클 프레임 아래에는 각 변 모두 약 200㎜ 간격으로 POM 수지제의 서포트를 설치했다. Moreover, in order to prevent the curvature by the self-weight of the
그리고, 접착제로서 톨루엔으로 10%로 희석한 실리콘 점착제 X-40-3122[신에쓰 가가꾸 고교(주)제 : 제품명]를 시린지(23)에 충전했다. 시린지(23)의 선단에 장착된 니들(25)의 선단으로부터 접착제를 토출하여 펠리클 프레임(24)에 도포했다.The
펠리클 프레임 위치의 확인은 CCD 카메라(31)(XC-56; 상품명, 가부시키가이샤키엔스제)와 레이저 변위계(32)(LK-G80; 상품명, 가부시키가이샤 키엔스제)에 의해 행하여진다. 시린지(23)와 CCD 카메라(31), 레이저 변위계(32)는 플레이트(33)에 고정되고, 같은 제어부에 의해 제어된다. 또한, 시린지(23)와 CCD 카메라(31)간의 오프셋값, 시린지(23)와 레이저 변위계(32)간의 오프셋값은 미리 계측되어 있고, 도포 프로그램 패턴에 반영되어 있다. Confirmation of the position of the pellicle frame is performed by the CCD camera 31 (XC-56; trade name, manufactured by KK Corporation) and the laser displacement meter 32 (LK-G80; trade name, manufactured by KienK Corporation). The
CCD 카메라(31)를 기본 프로그램을 따라 동작시켜 미리 내장되어 있는 펠리클 프레임의 기준 끝면의 화상과 실제 펠리클 프레임의 도포 끝면의 화상을 비교하여 실제 펠리클 프레임의 도포 끝면이 얼마나 XY축의 각 방향으로 변위하고 있는지, 또한 얼마나 회전하고 있는지를 산출하고, 그 변위량에 의거하여 기본 프로그램을 보정한다. The
이어서, 레이저 변위계(32)를 도포 프로그램 패턴을 따라 동작시킴으로써 정점(定点)에 있어서의 미리 프로그램된 펠리클 프레임의 높이와 실제 펠리클 프레임이 놓여 있는 높이를 비교하고, 도포 프로그램 패턴에 대하여 실제 펠리클 프레임이 얼마나 Z축 방향으로 어긋나 있는지를 산출하여 도포 프로그램에 보정을 가한다. Then, by operating the
상기와 같이 도포 프로그램 패턴에 XY축 방향의 보정, 회전의 보정, Z축 방향의 보정을 가한 후에 접착제를 도포했다. The adhesive agent was apply | coated after adding correction | amendment of the XY-axis direction, correction | amendment of rotation, and correction of the Z-axis direction to the application program pattern as mentioned above.
상기 방법에 의해 도포 위치를 확인 수단으로 확인한 후에 도포 프로그램 패턴을 보정하고 나서 접착제를 도포한 결과, 펠리클 프레임의 셋팅 위치가 도포 프로그램 패턴과 약간 어긋나 있었음에도 불구하고 접착제가 넘쳐 흐르거나, 미도포 부분이 남거나 하지 않고 도포할 수 있었다. After the application position was confirmed by the checking means by the above method, the application program was corrected, and then the adhesive was applied. As a result, even though the setting position of the pellicle frame was slightly shifted from the application program pattern, the adhesive overflowed or the uncoated portion It could apply without remaining.
또한, 상기 실시예에서는 우선 평면 방향의 변위량을 구해서 기본 프로그램을 보정하고, 이어서 상하 방향의 변위량을 구해서 기본 프로그램을 더 보정했지만, 이들 순서는 역전되어도 된다. 즉, 우선 상하 방향의 변위량을 구해서 기본 프로그램을 보정하고, 이어서 평면 방향의 변위량을 구해서 기본 프로그램을 더 보정해도 된다. 또한, 평면 방향과 상하 방향의 변위량을 각각 취득한 후에 기본 프로그램을 한 번에 보정해도 된다. Further, in the above embodiment, the basic program is first corrected by calculating the displacement amount in the planar direction, and then the basic program is further corrected by calculating the displacement amount in the vertical direction, but these procedures may be reversed. That is, first, the displacement amount in the up-down direction may be calculated to correct the basic program, and then the displacement amount in the plane direction may be calculated to further correct the basic program. In addition, after acquiring the displacement amount of a plane direction and an up-down direction, respectively, you may correct a basic program at once.
본 발명은 펠리클의 제조 방법에 관한 것이고, 이것은 펠리클 프레임에 접착제, 점착제를 도포하는 공정에 있어서 도포 조작 개시 전에 도포 위치를 확인한 후 도포 위치를 화상 정보를 이용하여 보정해서 도포하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 것이지만, 이것에 의해 펠리클 프레임에 접착제, 점착제를 도포할 때 펠리클 프레임의 접착제, 점착제 도포 위치로부터 접착제, 점착제가 넘쳐 흐르거나, 미도포가 되거나 하지 않고 정확하게 도포할 수 있으므로, 위치를 도포 조작 전에 보정을 하지 않는 종래의 장치(도포 방법)와 비교하여 펠리클 제조의 수율을 현격히 향상시킬 수 있다고 하는 유리성이 부여된다. The present invention relates to a method for producing a pellicle, which is provided with a means for correcting and applying a coating position using image information after confirming the coating position before the start of the coating operation in the step of applying the adhesive and the adhesive to the pellicle frame. Although it is characterized by this, when apply | coating an adhesive agent and an adhesive agent to a pellicle frame by this, an adhesive agent and an adhesive agent are overflowed from the adhesive agent and the adhesive application position of a pellicle frame, and it can apply correctly, without being uncoated, and apply | coating a position, Compared with the conventional apparatus (application method) which does not correct before operation, the advantage that the yield of pellicle manufacture can be improved significantly is imparted.
1 : 펠리클 11 : 펠리클 막
12 : 접착제 13 : 펠리클 프레임
14 : 점착제 15 : 세퍼레이터
21 : 가대 22 : (문형 XYZ 직교)3축 로봇
23 : 시린지 24 : 펠리클 프레임
25 : 니들 31 : 카메라
32 : 심도계(레이저 변위계) 33 : 플레이트1
12: adhesive 13: pellicle frame
14 adhesive 15 separator
21: mount 22: (stationary XYZ orthogonal) 3-axis robot
23
25: needle 31: camera
32: depth meter (laser displacement meter) 33: plate
Claims (5)
상기 접착제 또는 점착제를 도포하는 공정에 있어서,
도포 조작을 받는 펠리클 프레임 끝면의 위치 정보를 취득하고,
취득한 위치 정보에 의해 도포 개시 위치와 도포 방향을 도포 프로그램에 도입하여,
상기 펠리클 프레임의 끝면에 접착제 또는 점착제를 도포하는 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법. A method for producing a pellicle, comprising the step of applying an adhesive or pressure-sensitive adhesive to an end surface of a pellicle frame using an automatic application device:
In the process of apply | coating the said adhesive agent or an adhesive,
Acquire position information of the end face of the pellicle frame subjected to the application operation,
The application starting position and application direction are introduced into the application program by the acquired position information.
Method of producing a pellicle, characterized in that for applying an adhesive or adhesive to the end surface of the pellicle frame.
상기 취득한 위치 정보는 3차원의 위치 정보인 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법. The method of claim 1,
And the acquired positional information is three-dimensional positional information.
상기 3차원의 위치 정보 중 평면(XY) 방향의 위치 정보를 화상으로부터 취득하고, 상하(Z) 방향의 위치 정보를 전자파 또는 음파에 의해 취득하는 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법. The method of claim 2,
The position information in the plane (XY) direction of the said three-dimensional position information is acquired from an image, and the position information of the up-down (Z) direction is acquired by an electromagnetic wave or a sound wave, The manufacturing method of the pellicle characterized by the above-mentioned.
상기 화상 정보는 카메라에 의해 취득하는 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법. The method of claim 3, wherein
The image information is obtained by a camera.
상기 상하(Z) 방향의 위치 정보는 전자파 또는 음파에 의해 취득하는 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법.
The method of claim 3, wherein
The positional information in the up-and-down (Z) direction is obtained by electromagnetic waves or sound waves.
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