KR20110093242A - Probe block assembly - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A probe block assembly is provided to stably align probes without disconnection by preventing a contact between adjacent probes. CONSTITUTION: A lower block(41) includes a central groove and a plurality of insertion holes. An upper block(42) is located on the lower block and has a central groove corresponding to the central groove of the lower block and a plurality of insertion holes. A support member(44) is located between the upper block and the lower block. An alignment member(45) is attached to the support member and has a plurality of insertion holes. A plurality of probes is inserted to the insertion holes of the upper block, the alignment member, and the lower block.

Description

프로브 블록 조립체 {Probe block assembly} Probe block assembly

본 발명의 일실시예는 프로브 블록 조립체에 관한 것이다. 보다 상세하게는 프로브 카드에 사용되는 프로브 블록 조립체에서, 프로브의 정렬위치를 보유지지하기 위한 정렬부재 및 이를 위한 지지부재를 추가함으로써, 인접한 프로브들 사이의 접촉을 방지하여 프로브들을 단락 없이 안정되게 정렬시킬 수 있게 하여서, 고집적화된 반도체 장치의 검사에 적용할 수 있는 프로브 블록 조립체에 관한 것이다. One embodiment of the invention relates to a probe block assembly. More specifically, in the probe block assembly used for the probe card, by adding an alignment member for holding the alignment position of the probe and a support member therefor, it prevents contact between adjacent probes to align the probes stably without a short circuit. The present invention relates to a probe block assembly which can be applied to inspection of highly integrated semiconductor devices.

일반적으로, 반도체 장치는 반도체 기판 상에 패턴을 형성하는 공정과, 패턴이 형성된 반도체 기판을 복수개의 칩들로 형성하는 공정으로 제조된다. 한편, 이러한 공정들 사이에는 각 칩들의 전기적 특성을 검사하기 위한 공정(Electrical Die Sorting : 이하 EDS 공정)을 수행하게 된다.In general, a semiconductor device is manufactured by a process of forming a pattern on a semiconductor substrate and a process of forming a semiconductor substrate on which the pattern is formed into a plurality of chips. Meanwhile, a process for inspecting electrical characteristics of each chip is performed between these processes (hereinafter referred to as an EDS process).

EDS 공정은 불량 칩을 판별하기 위한 공정으로서, 각 칩들에 검사 전류를 공급하여 각 칩들로부터 출력되는 전기적 신호를 검사하여 칩들의 불량 여부를 판별한다. 이를 위해, 각 칩에 프로브(probe)를 직접 접촉시켜 전기적으로 그 성능을 검사하는 자동화된 프로빙 검사장치를 사용한다. The EDS process is a process for determining a defective chip, by supplying a test current to each chip to examine the electrical signal output from each chip to determine whether the chip is defective. To do this, an automated probing tester is used that directly probes each chip and electrically checks its performance.

프로빙 검사장치는, 검사 신호를 발생하고 그 결과로 수신되는 응답 신호를 검출 및 분석하여 칩의 정상 여부를 판별하는 일종의 컴퓨터인 테스터(tester)와, 검사 대상물인 칩과 테스터를 프로브 카드(probe card)를 이용해 전기적으로 연결하게 하고 칩과 프로브 카드 사이에 적절한 접촉저항을 유지하게 하는 프로버(prober)로 구성된다. The probing inspection apparatus generates a test signal and detects and analyzes a response signal received as a result of the tester, which is a kind of computer that determines whether the chip is normal, and a chip and the tester that are the test object. It consists of a prober that makes an electrical connection with) and maintains proper contact resistance between the chip and the probe card.

여기서, 프로브 카드는 테스터와 칩 사이에서 전기적 신호를 전달하며, 그 구성은 검사시 노출되도록 형성된 칩의 접속단자에 접촉될 수 있도록 이들 접속단자에 대응되는 피치로 이격되게 구비되는 복수개의 미세한 프로브와, 이들 프로브를 물리적으로 고정하고 프로브들과 테스터 사이를 전기적으로 연결하는 기판 조립체 등으로 이루어진다.Here, the probe card transmits an electrical signal between the tester and the chip, and its configuration includes a plurality of fine probes spaced apart at a pitch corresponding to the connection terminals so as to contact the connection terminals of the chip formed to be exposed during inspection. And a substrate assembly for physically fixing these probes and electrically connecting the probes and the tester.

도 1은 종래기술에 따른 프로브 카드의 한 예를 개략적으로 나타낸 단면도이며, 도 2는 종래기술에 따른 프로브 카드 중 프로브 블록 조립체의 일부를 확대하여 나타낸 사시도이다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 종래의 프로브 카드는 인쇄회로기판(10), 보강부재(20), 인터포저(30), 프로브 블록 조립체(40), 프로브(50), 와이어(60) 등으로 구성되어 있다. 1 is a cross-sectional view schematically showing an example of a probe card according to the prior art, Figure 2 is an enlarged perspective view of a portion of the probe block assembly of the probe card according to the prior art. As shown in these figures, the conventional probe card is a printed circuit board 10, the reinforcing member 20, the interposer 30, the probe block assembly 40, the probe 50, the wire 60, etc. Consists of.

프로브 블록 조립체(40)는 전체적으로 대략 평판 형상을 하고 있으며, 일정한 간격으로 칩의 접속단자와 접촉 가능하게 된 다수의 프로브(50)가 삽입되어 있다. 프로브 블록 조립체(40)는 하부블록(41)과, 이 하부블록(41)의 위에 배치되는 상부블록(42)을 구비하고 있으며, 이들 하부블록(41)과 상부블록(42)이 대칭되게 서로 마주보며 나사체결에 의해 결합될 때 프로브 블록 조립체(40)의 중앙에 중공부(43)가 생성되게 된다. 프로브 블록 조립체(40)는 인터포저(30)의 일면에 부착된다. The probe block assembly 40 generally has a substantially flat plate shape, and a plurality of probes 50 are inserted into contact with the connection terminals of the chip at regular intervals. The probe block assembly 40 includes a lower block 41 and an upper block 42 disposed above the lower block 41, and the lower block 41 and the upper block 42 are symmetrically to each other. When coupled by screwing facing each other, the hollow portion 43 is generated in the center of the probe block assembly 40. The probe block assembly 40 is attached to one surface of the interposer 30.

각 프로브(50)의 상부에는 와이어(60)의 일단이 접촉하게 되고, 와이어(60)의 타단은 인쇄회로기판(10)을 관통하여 인쇄회로기판(10) 상에 있는 회로패턴(미도시)에 접속된다. 즉, 와이어(60)는 인쇄회로기판(10)과 프로브(50)를 전기적으로 연결하는 역할을 수행한다. One end of the wire 60 comes into contact with the upper portion of each probe 50, and the other end of the wire 60 penetrates the printed circuit board 10 to form a circuit pattern (not shown) on the printed circuit board 10. Is connected to. That is, the wire 60 serves to electrically connect the printed circuit board 10 and the probe 50.

이때, 와이어(60)의 일단은 인터포저(30)의 관통구멍(31)에서 에폭시 등과 같은 접착제를 이용하여 고정되고, 타단은 인쇄회로기판(10)의 중앙홀(12)을 관통한 후 다시 인쇄회로기판(10)의 관통구멍(11)에 관통 삽입되어 인터포저(30)가 부착된 측면 쪽에서 납땜에 의해 안정되게 고정된다. At this time, one end of the wire 60 is fixed in the through hole 31 of the interposer 30 using an adhesive such as epoxy, and the other end passes through the central hole 12 of the printed circuit board 10 again. It is inserted through the through hole 11 of the printed circuit board 10 and is stably fixed by soldering on the side surface to which the interposer 30 is attached.

보강부재(20)는 인쇄회로기판(10)의 일면에 밀착되어 인쇄회로기판(10)의 열변형을 방지하도록 되어 있다. The reinforcing member 20 is in close contact with one surface of the printed circuit board 10 to prevent thermal deformation of the printed circuit board 10.

미설명부호 70은 저항이나 캐패시터와 같은 전자부품을 표시한다.Reference numeral 70 denotes an electronic component such as a resistor or a capacitor.

하지만, 전술한 것과 같은 프로브 카드의 프로브 블록 조립체(40)에서는 도 2에 도시된 바와 같이 각 프로브(50)가 측방으로 또는 선회하여 움직일 수 있게 되어서 본래의 정렬위치를 벗어나 인접한 프로브(50)끼리 접촉하여 단락되어 버리고, 이에 따라 프로브 카드의 기능을 제대로 수행하지 못하게 되는 문제점이 있었다. However, in the probe block assembly 40 of the probe card as described above, as shown in FIG. 2, each probe 50 can move laterally or pivotally so that adjacent probes 50 are separated from their original alignment positions. There is a problem that the contact is short-circuited, thereby failing to properly perform the function of the probe card.

또한, 종래기술에 따른 프로브 카드의 프로브 블록 조립체(40)는 반도체 장치의 고집적화 추세에 적절하게 대응할 수 없다는 문제점이 있었다. 즉, 고집적화 반도체 장치를 검사하기 위한 프로브 카드에서는 검사해야 할 웨이퍼의 영역이 증가함에 따라 프로브(50)의 밀도가 증가할 수밖에 없는데, 이 경우 프로브(50) 사이의 간격(pitch)이 미세해지면서 인접한 프로브(50)끼리 접촉하여 단락되어 버린다. 결국, 단락이 방지될 수 있도록 프로브 블록 조립체(40)를 조립하는 것 자체가 불가능하게 되는 한계가 있었다.In addition, the probe block assembly 40 of the probe card according to the related art has a problem that it cannot adequately cope with the trend of high integration of semiconductor devices. That is, in the probe card for inspecting the highly integrated semiconductor device, the density of the probe 50 is inevitably increased as the area of the wafer to be inspected increases. In this case, the pitch between the probes 50 becomes minute. Adjacent probes 50 are in contact with each other and short-circuited. As a result, there was a limitation that it was impossible to assemble the probe block assembly 40 itself so that a short circuit could be prevented.

이에 본 발명의 일실시예는 프로브의 정렬위치를 보유지지하기 위한 정렬부재 및 이를 위한 지지부재를 추가함으로써, 인접한 프로브들 사이의 접촉이 방지되어 프로브들을 단락 없이 안정되게 정렬시킬 수 있게 됨과 더불어, 고집적화된 반도체 장치의 검사에 적용할 수 있는 프로브 블록 조립체를 제공하는 데 그 목적이 있다. Accordingly, one embodiment of the present invention, by adding an alignment member and a support member for holding the alignment position of the probe, it is possible to prevent contact between adjacent probes to align the probes stably without a short circuit, It is an object of the present invention to provide a probe block assembly applicable to the inspection of highly integrated semiconductor devices.

이러한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 블록 조립체는, 상면에 중앙홈이 형성되어 있고 상기 중앙홈의 바닥에서 하면까지 관통하는 다수의 삽입구멍을 갖춘 하부블록; 상기 하부블록의 위에 위치하되 상기 하부블록의 중앙홈에 상응하게 하면에 중앙홈이 형성되어 있고 상면에서 상기 중앙홈까지 관통하는 다수의 삽입구멍을 갖춘 상부블록; 상기 상부블록과 상기 하부블록 사이에 위치되는 지지부재; 상기 지지부재에 부착되어 지지되면서 다수의 삽입구멍을 갖춘 적어도 하나의 정렬부재; 및 상기 상부블록의 삽입구멍과 상기 정렬부재의 삽입구멍 및 상기 하부블록의 삽입구멍에 삽입 관통하여 위치되는 다수의 프로브를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve this object, a probe block assembly according to an embodiment of the present invention, the lower surface is provided with a central groove formed on the upper surface and a plurality of insertion holes penetrating from the bottom to the lower surface of the central groove; An upper block positioned above the lower block, the upper block having a plurality of insertion holes formed therein and having a central groove formed in a lower surface corresponding to the central groove of the lower block and penetrating from the upper surface to the central groove; A support member positioned between the upper block and the lower block; At least one alignment member attached to the support member and having a plurality of insertion holes; And a plurality of probes inserted through the insertion hole of the upper block, the insertion hole of the alignment member, and the insertion hole of the lower block.

이상과 같이 본 발명의 일실시예에 의하면, 프로브 카드에 사용되는 프로브 블록 조립체에서, 프로브의 정렬위치를 보유지지하기 위한 정렬부재 및 이를 위한 지지부재를 추가함으로써, 인접한 프로브들 사이의 접촉이 방지되어 프로브들을 단락 없이 안정되게 정렬시킬 수 있게 됨과 더불어, 프로브들 사이의 간격이 미세하게 되더라도 단락을 방지할 수 있도록 조립하는 것이 가능하게 되어 고집적화된 반도체 장치의 검사에도 적용될 수 있게 되어서, 검사의 신뢰성 및 효율성이 크게 증대되는 효과가 있게 된다. According to one embodiment of the present invention as described above, in the probe block assembly used for the probe card, by adding the alignment member and the support member for holding the alignment position of the probe, the contact between adjacent probes is prevented As a result, the probes can be stably aligned without a short circuit, and the assembly can be assembled to prevent a short circuit even when the spacing between the probes becomes minute, thereby being applicable to the inspection of highly integrated semiconductor devices. And the efficiency is greatly increased.

도 1은 종래기술에 따른 프로브 카드의 한 예를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 2는 종래기술에 따른 프로브 카드 중 프로브 블록 조립체의 일부를 확대하여 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제5실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록 조립체 중 상부블록을 생략한 상태에서 도시한 평면도 및 그 일부를 확대하여 나타낸 사시도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an example of a probe card according to the prior art.
Figure 2 is an enlarged perspective view of a portion of the probe block assembly of the probe card according to the prior art.
3 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a first exemplary embodiment of the present invention.
4 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a second exemplary embodiment of the present invention.
5 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a third exemplary embodiment of the present invention.
6 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a fourth exemplary embodiment of the present invention.
7 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a fifth exemplary embodiment of the present invention.
8 is an enlarged perspective view of a plan view and a part of the probe block assembly according to the first embodiment of the present invention in a state where the upper block is omitted.

이하, 본 발명의 실시예들을 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 당업자에게 자명하거나 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are used as much as possible even if displayed on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention unclear.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 3 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a first exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록 조립체는, 상면에 중앙홈(411)이 형성되어 있고 이 중앙홈(411)의 바닥에서 하면까지 관통하도록 된 다수의 삽입구멍(412)을 갖춘 하부블록(41), 하부블록(41)의 위에 위치하되 하부블록(41)의 중앙홈(411)에 상응하게 하면에 중앙홈(421)이 형성되어 있고 상면에서 이 중앙홈(421)까지 관통하도록 된 다수의 삽입구멍(422)을 갖춘 상부블록(42), 하부블록(41)과 상부블록(42) 사이에 위치되는 지지부재(44), 지지부재(44)에 부착되어 지지되면서 다수의 삽입구멍(452)을 갖춘 적어도 하나의 정렬부재(45), 및 상부블록(42)의 삽입구멍(422)과 정렬부재(45)의 삽입구멍(452) 및 하부블록(41)의 삽입구멍(412)을 삽입 관통하여 위치되는 다수의 프로브(50)를 포함한다. In the probe block assembly according to the first embodiment of the present invention, a lower block having a plurality of insertion holes 412 through which a central groove 411 is formed on an upper surface thereof and penetrates from a bottom to a lower surface of the central groove 411. (41), which is located above the lower block 41, the center groove 421 is formed on the lower surface corresponding to the center groove 411 of the lower block 41 and is to penetrate through the center groove 421 from the upper surface The upper block 42 having a plurality of insertion holes 422, the support member 44 positioned between the lower block 41 and the upper block 42, the plurality of insertion holes while being attached to and supported by the support member 44 At least one alignment member 45 having a 452 and an insertion hole 422 of the upper block 42 and the insertion hole 452 of the alignment member 45 and the insertion hole 412 of the lower block 41. It includes a plurality of probes 50 are placed through the insertion.

상부블록(42)과 하부블록(41)은 각각 플라스틱 또는 세라믹 등과 같은 재료로 만들어지고, 대략 평판 형상을 하고 있다. 이들 상부블록(42)과 하부블록(41)은 대칭되게 서로 마주보되, 상부블록(42)과 하부블록(41) 사이에 후술하는 지지부재(44) 및 정렬부재(45)가 위치하게 된다. The upper block 42 and the lower block 41 are each made of a material such as plastic or ceramic and have a substantially flat plate shape. The upper block 42 and the lower block 41 face each other symmetrically, and the support member 44 and the alignment member 45 to be described later are located between the upper block 42 and the lower block 41.

본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록 조립체에 구비된 지지부재(44)는 전체적으로 그 외관 및 크기가 상부블록(42) 또는 하부블록(41)과 동일하거나 유사하되, 중앙에 관통홀(441)이 형성되고 이 관통홀(441)의 내주면에서 중심을 향해 수평으로 돌출된 단차부(442)를 가진 일종의 프레임 형상의 스페이서(spacer)이다. 이러한 지지부재(44) 역시 플라스틱 또는 세라믹 등의 재료로 만들어지는 것이 바람직하다. The support member 44 provided in the probe block assembly according to the first embodiment of the present invention has the same appearance and size as that of the upper block 42 or the lower block 41, but has a through hole 441 at the center thereof. ) Is a kind of frame-shaped spacer with a stepped portion 442 protruding horizontally toward the center from the inner circumferential surface of the through hole 441. The support member 44 is also preferably made of a material such as plastic or ceramic.

상부블록(42)과 지지부재(44) 및 하부블록(41)은 다수의 체결나사(48)에 의해 함께 결합되는데, 이들이 결합하면 상부블록(42)과 하부블록(41)에 형성된 중앙홈(421, 411)들과 지지부재(44)의 관통홀(441)에 의해 프로브 블록 조립체의 중앙에 중공부(43)가 생성되게 된다. The upper block 42 and the support member 44 and the lower block 41 are coupled together by a plurality of fastening screws 48, and when they are combined, a central groove formed in the upper block 42 and the lower block 41 The hollow part 43 is formed at the center of the probe block assembly by the through holes 441 of the support members 44 and 421 and 411.

정렬부재(45)는 지지부재(44)에 의해 지지되는데, 이 정렬부재(44)는 다수의 삽입구멍(452)이 형성된 필름 형태의 부재로서, 접착제(49)를 매개로 하여 지지부재(44)의 단차부(442)에 부착되어 전술한 중공부(43)를 수평으로 가로지르게 된다. 정렬부재(45)는 실리콘이나, 플라스틱, 세라믹 등으로 만들어지되, 약 50 ㎛ 정도의 두께를 갖는 것이 좋다. The alignment member 45 is supported by the support member 44. The alignment member 44 is a member in the form of a film in which a plurality of insertion holes 452 are formed, and is supported by the adhesive member 49. It is attached to the stepped portion 442 of the) to cross the above-described hollow portion 43 horizontally. The alignment member 45 is made of silicon, plastic, ceramics, or the like, but preferably has a thickness of about 50 μm.

이러한 정렬부재(45)는 프로브 블록 조립체의 중앙에 있는 중공부(43) 내에 하나 이상 설치될 수 있는데, 도 3에서는 지지부재(44)의 수평으로 돌출된 단차부(442)의 상하로 부착되는 한 쌍의 정렬부재(45)를 볼 수 있다. 정렬부재(45)의 개수를 더 증대시키기 위해서는 지지부재(44)의 개수를 증대시켜 즉 상부블록(42)과 하부블록(41) 사이에 지지부재(44)를 상하로 적층할 수도 있다. One or more such alignment members 45 may be installed in the hollow portion 43 in the center of the probe block assembly. In FIG. 3, the alignment members 45 may be attached to the vertically protruding stepped portion 442 of the support member 44. A pair of alignment members 45 can be seen. In order to further increase the number of alignment members 45, the number of support members 44 may be increased, that is, the support members 44 may be stacked up and down between the upper block 42 and the lower block 41.

이에 덧붙여 상이한 두께의 지지부재(44)를 적절히 채택하여 프로브 블록 조립체의 전체 두께 또는 높이를 조절할 수 있고, 이에 따라 프로브(50)의 이동 또는 장력을 조정할 수 있다. In addition, by adopting a support member 44 of a different thickness as appropriate, it is possible to adjust the overall thickness or height of the probe block assembly, thereby adjusting the movement or tension of the probe 50.

정렬부재(45)에 형성된 삽입구멍(452)들 사이의 간격은, 예컨대 도 8에서 볼 수 있는 바와 같이 아주 조밀하게 되어 있으며, 이러한 간격은 검사될 칩의 접속단자들의 간격과 대응됨은 물론, 상부블록(42)과 하부블록(41)에 있는 삽입구멍(422, 412)들의 간격과 대응되는 것이다. The spacing between the insertion holes 452 formed in the alignment member 45 is very dense, as can be seen in FIG. 8, for example, which corresponds to the spacing of the connection terminals of the chip to be inspected, Corresponds to the gap between the insertion holes 422 and 412 in the block 42 and the lower block 41.

이러한 정렬부재(45)에 삽입된 다수의 프로브(50)는 상하로 이동될 수는 있지만, 정렬부재(45)의 삽입구멍(452)들로 인해 측방으로 움직이거나 선회하지 못하게 되어 인접한 프로브(50)끼리 접촉할 수 없게 되고, 이에 따라 단락이 방지되는 장점이 있게 되는 것이다. 프로브(50)는 그 일단이 검사되는 칩의 접속단자에 접촉되는 한편, 타단은 와이어(60: 도 1 참조)를 매개로 하여 인쇄회로기판(10: 도 1 참조)에 있는 회로패턴에 접속됨으로써, 검사 신호 및 응답 신호와 같은 전기적 신호를 전달하게 된다. The plurality of probes 50 inserted into the alignment member 45 may be moved up and down, but the insertion holes 452 of the alignment member 45 may not move laterally or pivot, and thus the adjacent probes 50 may not move. ) Will not be able to contact each other, and thus there is an advantage that the short circuit is prevented. The probe 50 is connected to the connection terminal of the chip whose one end is to be inspected, while the other end is connected to the circuit pattern on the printed circuit board 10 (see FIG. 1) via the wire 60 (see FIG. 1). In addition, it transmits electrical signals such as test signals and response signals.

이상과 같이 본 발명의 제1실시예에 따르면, 프로브(50)들 사이의 간격이 미세하게 되더라도 단락을 방지할 수 있도록 조립하는 것이 가능하게 되어, 고집적화된 반도체 장치의 검사에 적용할 수 있게 된다. As described above, according to the first embodiment of the present invention, even if the interval between the probes 50 becomes minute, it is possible to assemble so as to prevent a short circuit, so that it can be applied to the inspection of highly integrated semiconductor devices. .

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 4 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a second exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록 조립체는, 제1실시예의 프로브 블록 조립체에서 정렬부재(45)의 위 또는 아래로 소정의 간격을 두고 프로브(50)들에 걸쳐 있어 이들 프로브(50)의 일정한 정렬에 도움이 되는 보조정렬부재(47)가 설치된 것을 특징으로 하고 있다. 이 보조정렬부재(47)는 별도의 지지수단으로 지지되어 있지 않고 프로브(50)들에 걸쳐 있다. 하지만, 지지수단 또는 부착수단을 이용하여 고정하는 것도 가능함은 물론이다. The probe block assembly according to the second embodiment of the present invention spans the probes 50 at predetermined intervals above or below the alignment member 45 in the probe block assembly of the first embodiment so that these probes 50 It is characterized in that the auxiliary alignment member 47 is installed to help the constant alignment of. This auxiliary alignment member 47 is not supported by separate supporting means but spans the probes 50. However, it is also possible to fix using a support means or an attachment means.

보조정렬부재(47)도 정렬부재(45)와 마찬가지로 다수의 프로브(50)가 삽입될 수 있는 다수의 삽입구멍(472)이 형성된 필름 형태의 부재로서, 실리콘, 플라스틱, 세라믹 등으로 만들어지며, 약 50 ㎛ 정도의 두께를 갖는다. Like the alignment member 45, the auxiliary alignment member 47 is a member in the form of a film having a plurality of insertion holes 472 into which a plurality of probes 50 can be inserted, and is made of silicon, plastic, ceramic, or the like. It has a thickness of about 50 μm.

도 4에서는 상부블록(42)의 중앙홈(421) 내부에 위치한 하나의 보조정렬부재(47)를 볼 수 있지만, 이에 한정되지 않고 보조정렬부재(47)는 프로브 블록 조립체의 중앙에 있는 중공부(43) 내에 하나 이상 설치될 수 있다. 예를 들어 2개의 보조정렬부재(47)가 중공부(43)의 위 또는 아래에 각각 나뉘어 위치되거나, 2개의 보조정렬부재(47)가 겹쳐서 중공부(43)의 위 또는 아래 중 어느 한쪽에 위치될 수 있다. In FIG. 4, one auxiliary alignment member 47 located inside the center groove 421 of the upper block 42 can be seen, but the present invention is not limited thereto. The auxiliary alignment member 47 may be a hollow portion at the center of the probe block assembly. One or more may be installed in (43). For example, the two auxiliary alignment members 47 are located above or below the hollow portion 43, respectively, or the two auxiliary alignment members 47 overlap each other, above or below the hollow portion 43. Can be located.

보조정렬부재(47)에 형성된 삽입구멍(472)들 사이의 간격은, 검사될 칩의 접속단자들의 간격과 대응됨은 물론, 상부블록(42)과 하부블록(41) 및 정렬부재(45)에 있는 삽입구멍(422, 412, 452)들의 간격과 대응되는 것이다. The spacing between the insertion holes 472 formed in the auxiliary alignment member 47 corresponds to the spacing of the connection terminals of the chip to be inspected, as well as the upper block 42 and the lower block 41 and the alignment member 45. Corresponding to the spacing of the insertion holes (422, 412, 452).

보조정렬부재(47)는 프로브(50)가 상하로 이동될 수는 있게 하지만, 프로브(50)들이 보조정렬부재(47)의 삽입구멍(472)에 의해 측방으로 움직이거나 선회하지 못하게 하여 인접한 프로브(50)끼리 접촉할 수 없게 한다. The auxiliary alignment member 47 allows the probe 50 to be moved up and down, but prevents the probes 50 from moving laterally or turning by the insertion hole 472 of the auxiliary alignment member 47 so that the adjacent probes (50) We do not let you touch each other.

제2실시예의 나머지 구성 및 이들의 작용은 전술한 제1실시예와 유사하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. Since the rest of the configuration of the second embodiment and the operation thereof are similar to the first embodiment described above, a detailed description thereof will be omitted.

도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 5 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a third exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 제3실시예에 따른 프로브 블록 조립체는 제2실시예와 달리 중간에 개재되는 부재 없이 상부블록(42)과 하부블록(41)이 직접 맞닿아 있다. 이 프로브 블록 조립체는, 상면에 중앙홈(411)이 형성되어 있고 이 중앙홈(411)의 바닥에서 하면까지 관통하는 다수의 삽입구멍(412)을 갖춘 하부블록(41), 하부블록(41)의 위에 위치하되 하부블록(41)의 중앙홈(411)에 상응하게 하면에 중앙홈(421)이 형성되어 있고 상면에서 이 중앙홈(421)까지 관통하도록 된 다수의 삽입구멍(422)을 갖춘 상부블록(42), 하부블록(41)의 중앙홈(411)과 상부블록(42)의 중앙홈(421)이 형성하는 중공부(43) 내에 위치되는 지지부재(46), 지지부재(46)에 부착되어 지지되면서 다수의 삽입구멍(452)을 갖춘 정렬부재(45), 및 상부블록(42)의 삽입구멍(422)과 정렬부재(45)의 삽입구멍(452) 및 하부블록(41)의 삽입구멍(412)을 삽입 관통하여 위치되는 다수의 프로브(50)를 포함하고 있다. In the probe block assembly according to the third embodiment of the present invention, unlike the second embodiment, the upper block 42 and the lower block 41 directly contact each other without intervening members. The probe block assembly includes a lower block 41 and a lower block 41 having a plurality of insertion holes 412 formed therein with a central groove 411 formed on an upper surface thereof and penetrating from the bottom to the lower surface of the central groove 411. Is located above the center groove 421 is formed on the bottom surface corresponding to the center groove 411 of the lower block 41 and has a plurality of insertion holes 422 through the upper surface to the center groove 421 Support member 46 and support member 46 located in the hollow portion 43 formed by the central groove 411 of the upper block 42, lower block 41 and the central groove 421 of the upper block 42, 46 Aligning member 45 having a plurality of insertion holes 452 and being attached to and supported), the insertion hole 422 of the upper block 42 and the insertion hole 452 and the lower block 41 of the alignment member 45; It includes a plurality of probes 50 are placed through the insertion hole 412 of the ().

상부블록(42)과 하부블록(41)은 각각 플라스틱 또는 세라믹 등과 같은 재료로 만들어지고, 대략 평판 형상을 하고 있다. 이들 상부블록(42)과 하부블록(41)은 대칭되게 서로 마주보고 다수의 체결나사(48)에 의해 함께 결합되게 되는데, 이들이 결합하면 상부블록(42)과 하부블록(41)에 형성된 중앙홈(421, 411)들에 의해 프로브 블록 조립체의 중앙에 중공부(43)가 형성되게 된다. The upper block 42 and the lower block 41 are each made of a material such as plastic or ceramic and have a substantially flat plate shape. The upper block 42 and the lower block 41 are symmetrically facing each other and are coupled together by a plurality of fastening screws 48. When they are combined, a central groove formed in the upper block 42 and the lower block 41 is combined. The hollow parts 43 are formed at the center of the probe block assembly by the 421 and 411.

본 발명의 제3실시예에 따른 프로브 블록 조립체에 구비된 지지부재(46)는 중앙에 관통홀(461)이 형성된 것으로, 플라스틱 또는 세라믹 등의 재료로 만들어지는 것이 바람직하다. 이러한 지지부재(46)는 중공부(43) 즉 하부블록(41)의 중앙홈(411) 내에 위치되어 중앙홈(411)의 바닥에 접착제(49)로 부착 고정된다. The support member 46 provided in the probe block assembly according to the third embodiment of the present invention has a through hole 461 formed at the center thereof, and is preferably made of a material such as plastic or ceramic. The support member 46 is positioned in the central groove 411 of the hollow part 43, that is, the lower block 41, and is attached and fixed to the bottom of the central groove 411 by an adhesive 49.

지지부재(46)에 의해 지지되는 정렬부재(45)는 다수의 삽입구멍(452)이 형성된 필름 형태의 부재로서, 접착제(49)를 매개로 하여 지지부재(46) 상에 부착되어 전술한 중공부(43) 내에서 수평으로 위치한다. 정렬부재(45)는 실리콘, 플라스틱, 세라믹 등으로 만들어지되, 약 50 ㎛ 정도의 두께를 갖는 것이 좋다. The alignment member 45 supported by the support member 46 is a member in the form of a film in which a plurality of insertion holes 452 are formed. The alignment member 45 is attached to the support member 46 through the adhesive 49 to form the hollow described above. It is located horizontally in the portion 43. Alignment member 45 is made of silicon, plastic, ceramics, etc., it is good to have a thickness of about 50 ㎛.

이러한 지지부재(46) 및 정렬부재(45)는 프로브 블록 조립체의 중앙에 있는 중공부(43) 내에 하나 이상이 설치될 수 있는데, 도 5에서는 하나의 지지부재(46) 및 정렬부재(45) 상에 다른 지지부재(46) 및 정렬부재(45)가 한층 더 적층되어 부착됨으로써 상부블록(42)의 중앙홈(421) 내로 뻗어 있는 것을 볼 수 있다. One or more of the support member 46 and the alignment member 45 may be installed in the hollow portion 43 at the center of the probe block assembly. In FIG. 5, one support member 46 and the alignment member 45 may be provided. It can be seen that the other supporting member 46 and the alignment member 45 are further stacked and attached to the center groove 421 of the upper block 42.

정렬부재(45)에 형성된 삽입구멍(452)들 사이의 간격은, 검사될 칩의 접속단자들의 간격과 대응됨은 물론, 상부블록(42)과 하부블록(41)에 있는 삽입구멍(422, 412)들의 간격과 대응되는 것이다. The spacing between the insertion holes 452 formed in the alignment member 45 corresponds to the spacing of the connection terminals of the chip to be inspected, as well as the insertion holes 422 and 412 in the upper block 42 and the lower block 41. ) Corresponds to the spacing.

이러한 정렬부재(45)에 삽입된 다수의 프로브(50)가 상하로 이동될 수는 있지만, 정렬부재(45)의 삽입구멍(452)들에 의해 측방으로 움직이거나 선회하지 못하게 되어 인접한 프로브(50)끼리 접촉할 수 없게 되고, 이에 따라 단락이 방지되는 장점이 있게 되는 것이다. Although a plurality of probes 50 inserted into the alignment member 45 may be moved up and down, the adjacent probes 50 may not move or rotate laterally by the insertion holes 452 of the alignment member 45. ) Will not be able to contact each other, and thus there is an advantage that the short circuit is prevented.

이상과 같이 본 발명의 제3실시예에 따르면, 프로브(50)들 사이의 간격이 미세하게 되더라도 단락을 방지할 수 있도록 조립하는 것이 가능하게 되어, 고집적화된 반도체 장치의 검사에 적용할 수 있게 된다. As described above, according to the third embodiment of the present invention, even if the interval between the probes 50 becomes minute, it is possible to assemble so as to prevent a short circuit, so that it can be applied to the inspection of the highly integrated semiconductor device. .

도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 6 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a fourth exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 제4실시예에 따른 프로브 블록 조립체는, 제3실시예의 프로브 블록 조립체에서 정렬부재(45)의 위로 소정의 간격을 두고 프로브(50)들에 걸쳐 있어 이들 프로브(50)의 일정한 정렬에 도움이 되는 보조정렬부재(47)가 하나 이상 설치된 것을 특징으로 하고 있다. 이 보조정렬부재(47)는 별도의 지지수단으로 지지되어 있지 않고 프로브(50)들에 걸쳐 있다. The probe block assembly according to the fourth embodiment of the present invention spans the probes 50 at predetermined intervals above the alignment member 45 in the probe block assembly of the third embodiment so as to uniformly align these probes 50. It is characterized in that at least one auxiliary alignment member 47 is installed. This auxiliary alignment member 47 is not supported by separate supporting means but spans the probes 50.

여기서, 제4실시예의 특징을 이루는 보조정렬부재(47)의 구성 및 작용은 제2실시예의 설명부분에서 이미 상세히 기술되어 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또, 제4실시예의 나머지 구성 및 이들의 작용은 전술한 제3실시예와 유사하므로, 이에 대한 상세한 설명도 생략하기로 한다. Here, since the configuration and operation of the auxiliary alignment member 47 constituting the fourth embodiment has already been described in detail in the description of the second embodiment, a detailed description thereof will be omitted. In addition, since the rest of the configuration and the operation of the fourth embodiment is similar to the above-described third embodiment, a detailed description thereof will be omitted.

도 7은 본 발명의 제5실시예에 따른 프로브 블록 조립체를 개략적으로 나타낸 단면도이다. 7 is a schematic cross-sectional view of a probe block assembly according to a fifth exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 제5실시예에 따른 프로브 블록 조립체는, 상면에 중앙홈(411)이 형성되어 있고 이 중앙홈(411)의 바닥에서 하면까지 관통하도록 된 다수의 삽입구멍(412)을 갖춘 하부블록(41), 하부블록(41)의 위에 위치하되 하부블록(41)의 중앙홈(411)에 상응하게 하면에 중앙홈(421)이 형성되어 있고 상면에서 이 중앙홈(421)까지 관통하도록 된 다수의 삽입구멍(422)을 갖춘 상부블록(42), 상부블록(42)과 하부블록(41) 사이에 위치되는 제1지지부재(44'), 하부블록(41)의 중앙홈(411) 내에 위치되는 제2지지부재(46'), 제1 및 제2지지부재(44', 46')에 각각 부착되어 지지되면서 다수의 삽입구멍(452)을 갖춘 적어도 하나의 정렬부재(45), 및 상부블록(42)의 삽입구멍(422)과 정렬부재(45)의 삽입구멍(452) 및 하부블록(41)의 삽입구멍(412)을 삽입 관통하여 위치되는 다수의 프로브(50)를 포함하고 있다. In the probe block assembly according to the fifth embodiment of the present invention, a lower block having a plurality of insertion holes 412 through which a central groove 411 is formed on an upper surface thereof and penetrates from a bottom to a lower surface of the central groove 411. (41), which is located above the lower block 41, the center groove 421 is formed on the lower surface corresponding to the center groove 411 of the lower block 41 and is to penetrate through the center groove 421 from the upper surface Upper block 42 having a plurality of insertion holes 422, the first support member 44 'positioned between the upper block 42 and the lower block 41, the central groove 411 of the lower block 41 At least one alignment member 45 having a plurality of insertion holes 452 attached to and supported by the second support member 46 'and the first and second support members 44' and 46 'positioned therein, And a plurality of probes 50 positioned through the insertion hole 422 of the upper block 42, the insertion hole 452 of the alignment member 45, and the insertion hole 412 of the lower block 41. Doing.

상부블록(42)과 하부블록(41)은 각각 플라스틱 또는 세라믹 등과 같은 재료로 만들어지고, 대략 평판 형상을 하고 있다. 이들 상부블록(42)과 하부블록(41)은 대칭되게 서로 마주보되, 상부블록(42)과 하부블록(41) 사이에 후술하는 제1지지부재(44') 및 정렬부재(45)가 위치하게 된다. The upper block 42 and the lower block 41 are each made of a material such as plastic or ceramic and have a substantially flat plate shape. The upper block 42 and the lower block 41 face each other symmetrically, and the first support member 44 'and the alignment member 45, which will be described later, are positioned between the upper block 42 and the lower block 41. Done.

본 발명의 제5실시예에 따른 프로브 블록 조립체에 구비된 제1지지부재(44')는 제1실시예 또는 제2실시예의 지지부재(44)와 동일하다. 마찬가지로, 상부블록(42)과 제1지지부재(44') 및 하부블록(41)이 다수의 체결나사(48)로 함께 결합하게 되면 상부블록(42)과 하부블록(41)에 형성된 중앙홈(421, 411)들과 제1지지부재(44')의 관통홀(441)에 의해 프로브 블록 조립체의 중앙에 중공부(43)가 생성되게 된다. The first support member 44 'provided in the probe block assembly according to the fifth embodiment of the present invention is the same as the support member 44 of the first or second embodiment. Similarly, when the upper block 42, the first support member 44 'and the lower block 41 are coupled together by a plurality of fastening screws 48, a central groove formed in the upper block 42 and the lower block 41 is formed. The hollow parts 43 are formed in the center of the probe block assembly by the through holes 441 of the first and second supporting members 44, 421 and 411.

본 발명의 제5실시예에 따른 프로브 블록 조립체에 구비된 제2지지부재(46')는 제3실시예 또는 제4실시예의 지지부재(46)와 동일하다. 제2지지부재(46')는 하부블록(41)의 중앙홈(411) 내에 위치되어 중앙홈(411)의 바닥에 접착제로 부착 고정된다. The second support member 46 ′ provided in the probe block assembly according to the fifth embodiment of the present invention is the same as the support member 46 of the third or fourth embodiment. The second support member 46 ′ is positioned in the center groove 411 of the lower block 41 and fixed to the bottom of the center groove 411 by adhesive.

제1 및 제2지지부재(44', 46')에 의해 각각 지지되는 정렬부재(45)는 다수의 삽입구멍(452)이 형성된 필름 형태의 부재로서, 이에 대해서는 이미 제1실시예 내지 제4실시예에서 상세히 기술하였으므로 그 상세한 설명은 생략하기로 한다. 다만, 도 7에서와 같이 한 쌍의 정렬부재(45)가 제1지지부재(44')의 수평으로 돌출된 단차부(442)의 상하로 부착됨과 더불어, 다른 하나의 정렬부재(45)가 제2지지부재(46') 상에도 부착될 수 있음을 밝혀두고자 한다. The alignment member 45 supported by the first and second support members 44 'and 46', respectively, is a member in the form of a film having a plurality of insertion holes 452, which are already described in the first to fourth embodiments. Since the embodiment has been described in detail, a detailed description thereof will be omitted. However, as shown in FIG. 7, the pair of alignment members 45 are attached to the top and bottom of the horizontally protruding step portion 442 of the first support member 44 ′, and the other alignment member 45 is disposed. It will be appreciated that it may also be attached on the second support member 46 '.

더욱이, 본 발명의 제5실시예에 따른 프로브 블록 조립체에서는 제2실시예 및 제4실시예에서 포함된 보조정렬부재(47)를 추가로 구비할 수 있다. Furthermore, the probe block assembly according to the fifth embodiment of the present invention may further include an auxiliary alignment member 47 included in the second and fourth embodiments.

정렬부재(45) 및 보조정렬부재(47)에 형성된 삽입구멍(452, 472)들 사이의 간격은, 검사될 칩의 접속단자들의 간격과 대응됨은 물론, 상부블록(42)과 하부블록(41)에 있는 삽입구멍(422, 412)들의 간격과 대응되는 것이다. The spacing between the insertion holes 452 and 472 formed in the alignment member 45 and the auxiliary alignment member 47 corresponds to the spacing of the connection terminals of the chip to be inspected, as well as the upper block 42 and the lower block 41. This corresponds to the spacing of the insertion holes (422, 412).

이러한 정렬부재(45) 및 보조정렬부재(47)에 삽입된 다수의 프로브(50)는 상하로 이동될 수는 있지만, 정렬부재(45) 및 보조정렬부재(47)의 삽입구멍(422, 412)들에 의해 측방으로 움직이거나 선회하지 못하게 되어 인접한 프로브(50)끼리 접촉할 수 없게 되고, 이에 따라 단락이 방지되는 장점이 있게 되는 것이다. Although the plurality of probes 50 inserted into the alignment member 45 and the auxiliary alignment member 47 may be moved up and down, the insertion holes 422 and 412 of the alignment member 45 and the auxiliary alignment member 47 are provided. It is not possible to move sideways or turn by the) so that adjacent probes 50 are not able to contact each other, and thus there is an advantage that the short circuit is prevented.

이상과 같이 본 발명의 제5실시예에 따르면, 프로브(50)들 사이의 간격이 미세하게 되더라도 단락을 방지할 수 있도록 조립하는 것이 가능하게 되어, 고집적화된 반도체 장치의 검사에 적용할 수 있는 효과가 있게 된다. As described above, according to the fifth embodiment of the present invention, even if the interval between the probes 50 becomes minute, it is possible to assemble so as to prevent a short circuit, which can be applied to the inspection of highly integrated semiconductor devices. Will be.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예들에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

Claims (14)

상면에 중앙홈이 형성되어 있고, 상기 중앙홈의 바닥에서 하면까지 관통하는 다수의 삽입구멍을 갖춘 하부블록;
상기 하부블록의 위에 위치하되, 상기 하부블록의 중앙홈에 상응하게 하면에 중앙홈이 형성되어 있고, 상면에서 상기 중앙홈까지 관통하는 다수의 삽입구멍을 갖춘 상부블록;
상기 상부블록과 상기 하부블록 사이에 위치되는 지지부재;
상기 지지부재에 부착되어 지지되면서 다수의 삽입구멍을 갖춘 적어도 하나의 정렬부재; 및
상기 상부블록의 삽입구멍과 상기 정렬부재의 삽입구멍 및 상기 하부블록의 삽입구멍에 삽입 관통하여 위치되는 다수의 프로브
를 포함하는 프로브 블록 조립체.A lower block having a central groove formed on an upper surface thereof and having a plurality of insertion holes penetrating from a bottom of the central groove to a lower surface thereof;
An upper block positioned above the lower block and having a central groove formed on a lower surface corresponding to the central groove of the lower block and having a plurality of insertion holes penetrating from the upper surface to the central groove;
A support member positioned between the upper block and the lower block;
At least one alignment member attached to the support member and having a plurality of insertion holes; And
A plurality of probes are inserted through the insertion hole of the upper block, the insertion hole of the alignment member and the insertion hole of the lower block.
Probe block assembly comprising a. 제1항에 있어서, 상기 지지부재는 중앙에 관통홀이 형성되어 있고, 상기 관통홀의 내주면에서 중심을 향해 수평으로 돌출된 단차부를 구비하며,
상기 정렬부재는 상기 지지부재의 단차부에 부착되어 지지되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체.According to claim 1, The support member has a through hole formed in the center, and has a stepped portion protruding horizontally toward the center from the inner peripheral surface of the through hole,
And the alignment member is attached to and supported by the stepped portion of the support member. 제1항에 있어서, 상기 상부블록과 상기 지지부재 및 상기 하부블록은 하나 이상의 체결나사에 의해 함께 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체.The probe block assembly of claim 1, wherein the upper block, the support member, and the lower block are joined together by one or more fastening screws. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 정렬부재의 위 또는 아래로 간격을 두고 위치하되, 상기 다수의 프로브가 삽입될 수 있는 다수의 삽입구멍이 형성된 적어도 하나의 보조정렬부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체. The at least one auxiliary alignment member of claim 1, wherein the at least one sub-alignment member is positioned at an interval above or below the alignment member and has a plurality of insertion holes into which the plurality of probes can be inserted. Probe block assembly, characterized in that it further comprises. 상면에 중앙홈이 형성되어 있고, 상기 중앙홈의 바닥에서 하면까지 관통하는 다수의 삽입구멍을 갖춘 하부블록;
상기 하부블록의 위에 위치하되, 하부블록의 중앙홈에 상응하게 하면에 중앙홈이 형성되어 있고, 상면에서 상기 중앙홈까지 관통하는 다수의 삽입구멍을 갖춘 상부블록;
상기 하부블록의 중앙홈과 상기 상부블록의 중앙홈이 형성하는 중공부 내에 위치되는 지지부재;
상기 지지부재에 부착되어 지지되면서 다수의 삽입구멍을 갖춘 정렬부재; 및
상기 상부블록의 삽입구멍과 상기 정렬부재의 삽입구멍 및 상기 하부블록의 삽입구멍에 삽입 관통하여 위치되는 다수의 프로브
를 포함하는 프로브 블록 조립체. A lower block having a central groove formed on an upper surface thereof and having a plurality of insertion holes penetrating from a bottom of the central groove to a lower surface thereof;
An upper block positioned above the lower block, the center block being formed on a lower surface corresponding to the center groove of the lower block, the upper block having a plurality of insertion holes penetrating from the upper surface to the center groove;
A support member positioned in a hollow formed by a central groove of the lower block and a central groove of the upper block;
An alignment member having a plurality of insertion holes while being attached to and supported by the support member; And
A plurality of probes are inserted through the insertion hole of the upper block, the insertion hole of the alignment member and the insertion hole of the lower block.
Probe block assembly comprising a. 제5항에 있어서, 상기 지지부재는 중앙에 관통홀이 형성되어 있고, 상기 중공부의 바닥에 부착 고정되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체. The probe block assembly according to claim 5, wherein the support member has a through hole formed at a center thereof and fixedly attached to the bottom of the hollow part. 제6항에 있어서, 상기 지지부재 및 상기 정렬부재 상에 다른 지지부재 및 정렬부재를 추가로 적층하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체.7. The probe block assembly of claim 6, further comprising stacking other support members and alignment members on the support member and the alignment member. 제5항에 있어서, 상기 상부블록과 상기 하부블록은 하나 이상의 체결나사에 의해 함께 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체.The probe block assembly of claim 5, wherein the upper block and the lower block are joined together by one or more fastening screws. 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 정렬부재와 간격을 두고 위치하되, 상기 다수의 프로브가 삽입할 수 있는 다수의 삽입구멍이 형성된 적어도 하나의 보조정렬부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체. 9. The apparatus of claim 5, further comprising at least one auxiliary alignment member positioned at a distance from the alignment member and having a plurality of insertion holes into which the plurality of probes can be inserted. Probe block assembly, characterized in that. 상면에 중앙홈이 형성되어 있고, 상기 중앙홈의 바닥에서 하면까지 관통하는 다수의 삽입구멍을 갖춘 하부블록;
상기 하부블록의 위에 위치하되, 상기 하부블록의 중앙홈에 상응하게 하면에 중앙홈이 형성되어 있고, 상면에서 상기 중앙홈까지 관통하는 다수의 삽입구멍을 갖춘 상부블록;
상기 상부블록과 상기 하부블록 사이에 위치되는 제1지지부재;
상기 하부블록의 중앙홈 내에 위치되는 제2지지부재;
상기 제1지지부재 및 상기 제2지지부재에 각각 부착되어 지지되면서 다수의 삽입구멍을 갖춘 적어도 하나의 정렬부재; 및
상기 상부블록의 삽입구멍과 상기 정렬부재의 삽입구멍 및 상기 하부블록의 삽입구멍에 삽입 관통하여 위치되는 다수의 프로브
를 포함하는 프로브 블록 조립체. A lower block having a central groove formed on an upper surface thereof and having a plurality of insertion holes penetrating from a bottom of the central groove to a lower surface thereof;
An upper block positioned above the lower block and having a central groove formed on a lower surface corresponding to the central groove of the lower block and having a plurality of insertion holes penetrating from the upper surface to the central groove;
A first support member positioned between the upper block and the lower block;
A second support member located in the central groove of the lower block;
At least one alignment member attached to and supported by the first support member and the second support member, the alignment member having a plurality of insertion holes; And
A plurality of probes are inserted through the insertion hole of the upper block, the insertion hole of the alignment member and the insertion hole of the lower block.
Probe block assembly comprising a. 제10항에 있어서, 상기 제1지지부재는 중앙에 관통홀이 형성되어 있고, 상기 관통홀의 내주면에서 중심을 향해 수평으로 돌출된 단차부를 구비하며,
상기 정렬부재는 상기 지지부재의 단차부에 부착되어 지지되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체.The method of claim 10, wherein the first support member has a through hole formed in the center, and has a stepped portion protruding horizontally toward the center from the inner peripheral surface of the through hole,
And the alignment member is attached to and supported by the stepped portion of the support member. 제10항에 있어서, 상기 제2지지부재는 중앙에 관통홀이 형성되어 있고, 상기 중앙홈의 바닥에 부착 고정되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체.The probe block assembly of claim 10, wherein the second support member has a through hole formed at a center thereof and is fixedly attached to a bottom of the central groove. 제10항에 있어서, 상기 상부블록과 상기 제1지지부재 및 상기 하부블록은 하나 이상의 체결나사에 의해 함께 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체.The probe block assembly of claim 10, wherein the upper block, the first support member, and the lower block are joined together by one or more fastening screws. 제10항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 정렬부재와 간격을 두고 위치하되, 상기 다수의 프로브가 삽입될 수 있는 다수의 삽입구멍이 형성된 적어도 하나의 보조정렬부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 조립체. 15. The method of any one of claims 10 to 14, further comprising at least one auxiliary alignment member positioned at intervals with the alignment member and having a plurality of insertion holes into which the plurality of probes can be inserted. Probe block assembly, characterized in that.
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