KR20110079975A - Apparatus of transferring substrate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate transporting apparatus is provided to reduce a movement path of a worker by reducing an unstable process like a fall of a tray. CONSTITUTION: A moving body(110) moves to a location where a tray is loaded. A substrate adsorption part, installed at the moving body, adsorbs the substrate. A mounting unit(120), installed at the moving body, can move to left or right so that the tray is hooked or freely deviated. The mounting unit includes a moving part and an extended part. The moving part can move to left or right. The extended part is extended to a lower part.

Description

기판이송장치 {APPARATUS OF TRANSFERRING SUBSTRATE}Board Transfer Equipment {APPARATUS OF TRANSFERRING SUBSTRATE}

본 발명은 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer device.

인쇄회로기판 등의 기판을 제조하는 공정은, 기판의 박팍화 및 경량화의 요구에 의해 기판을 지그클램프(jig clamp)하여 무접촉(non contact)으로 기판을 수평 및 수직이송하는 과정이 필요하다. 특히, 인쇄회로기판을 제조하는 공정 중에는, 기판에 적층되는 드라이필름을 현상하기 위해 기판을 현상장치로 이동시키는 기판이송장치가 이용된다. 기판이송장치는 기판을 흡착하는 구성과 트레이를 흡착하는 구성으로 이루어진다. 이러한 기판이송장치는 기판을 트레이로 개별적으로 이동시키고 기판이 안착된 트레이를 일정장소로 이동시킨다. 기판이송장치를 이용하여 진공흡착으로 트레이를 이동시킬 때, 트레이를 흡착하는 구성에 진공에러가 발생할 우려가 있다. 진공에러 발생시, 트레이 낙하 등의 불안정적인 공정작업이 발생될 우려가 있다. 이에 따라, 작업자의 이동경로가 증가할 우려가 있다. 또한, 진공에러에 의해 트레이의 눌림편차가 발생될 우려가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION A process for manufacturing a substrate such as a printed circuit board requires a process of horizontally and vertically transferring a substrate in a non-contact manner by jig clamping the substrate in response to the demand for thinning and lightening the substrate. In particular, during the process of manufacturing a printed circuit board, a substrate transfer device for moving a substrate to a developing apparatus for developing a dry film laminated on the substrate is used. The substrate transfer device has a structure for adsorbing a substrate and a structure for adsorbing a tray. Such a substrate transfer device moves the substrate to the tray individually and moves the tray on which the substrate is seated to a certain place. When the tray is moved by vacuum adsorption using the substrate transfer device, there is a possibility that a vacuum error occurs in the configuration that adsorbs the tray. When a vacuum error occurs, there is a possibility that unstable process operations such as falling of a tray may occur. Accordingly, there is a fear that the worker's movement path increases. Moreover, there exists a possibility that the press deviation of a tray may generate | occur | produce by a vacuum error.

본 발명은 트레이 낙하 등의 불안정적인 공정작업의 발생을 줄일 수 있고, 트레이의 눌림편차가 발생되는 것을 방지할 수 있는 기판이송장치를 제공하는 것이다.The present invention is to provide a substrate transfer apparatus that can reduce the occurrence of unstable process operations such as falling of the tray, and can prevent the pressing deviation of the tray.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 안착되는 트레이를 이송시키는 기판이송장치에 있어서, 트레이가 적재되는 위치로 이동하는 이동체; 상기 이동체에 설치되며 기판을 흡착하는 기판흡착부; 및 상기 이동체에 설치되며 트레이가 걸림 또는 이탈되도록 좌우측으로 이동가능한 장착부를 포함하는 기판이송장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, a substrate transfer apparatus for transferring a tray on which a substrate is seated, comprising: a moving body moving to a position where the tray is loaded; A substrate adsorption unit installed on the moving body and adsorbing the substrate; And a mounting part installed on the movable body and configured to move left and right so that the tray is locked or separated.

여기서, 상기 장착부는 상기 이동체에 설치되며 좌우 이동가능한 이동부와, 상기 이동부에 장착되며 하부로 연장형성되는 연장부를 포함할 수 있다.The mounting part may include a moving part installed on the moving body and movable left and right, and an extension part mounted on the moving part and extending downward.

여기서, 상기 장착부는, 상기 이동체 측으로 돌출되도록 상기 연장부의 단부에 설치되며, 트레이가 걸리도록 회동가능한 걸림부를 더 포함할 수 있다.The mounting part may further include a locking part installed at an end of the extension part so as to protrude toward the movable body, and rotatable to hook the tray.

여기서, 상기 걸림부는 트레이가 이탈되지 않도록 회동되는 각이 제한될 수 있다.Here, the locking portion may be limited to the angle rotated so that the tray is not separated.

여기서, 상기 걸림부의 상단부에 트레이가 걸릴 수 있도록 상기 걸림부는 상부로 회동할 수 있다.Here, the locking portion can be rotated upward so that the tray can be caught in the upper end of the locking portion.

여기서, 상기 이동부의 단부에서 하부로 연장된 상기 연장부의 길이는, 하나의 트레이가 걸림부로 걸리는 길이 이상으로 형성되고, 두 개의 트레이가 걸림부로 걸리는 길이 미만으로 형성될 수 있다.Here, the length of the extension part extending downward from the end of the moving part, may be formed more than the length of the one tray is caught by the locking portion, and may be formed less than the length of the two trays are caught by the locking portion.

여기서, 상기 장착부는 적어도 한 쌍으로 형성되고, 상기 장착부가 노즐부측으로 근접된 위치에서, 상기 걸림부에 기판이 걸리도록 상기 걸림부의 단부 간의 이격거리는 기판의 가로길이보다 작게 형성될 수 있다.Here, the mounting portion may be formed in at least one pair, and the separation distance between the end portions of the locking portion may be formed to be smaller than the horizontal length of the substrate so that the substrate is caught by the locking portion at a position where the mounting portion is close to the nozzle portion.

본 발명의 실시예에 따르면, 걸림부가 트레이를 걸어 이동시키므로, 진공에러에 의해 발생되는 트레이 낙하 등의 불안정적인 공정작업이 감소될 수 있다. 이로써, 작업자의 이동경로가 줄어들 수 있다. According to the embodiment of the present invention, since the engaging portion moves the tray, the unstable process operation such as the tray drop caused by the vacuum error can be reduced. As a result, the movement path of the worker can be reduced.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 진공에러에 의해 발생될 수 있는 트레이 눌림편차를 줄일 수 있다.
In addition, according to the embodiment of the present invention, it is possible to reduce the tray pressing deviation that may be generated by the vacuum error.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 도면.
도 2 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 작동 모습을 도시한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 기판이송장치 110: 이동체
120: 장착부 121: 이동부
123: 연장부 125: 걸림부
130: 노즐 140: 이동수단1 is a view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 to 8 are views showing the operation of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
<Description of the symbols for the main parts of the drawings>
100: substrate transfer device 110: moving body
120: mounting portion 121: moving part
123: extension portion 125: locking portion
130: nozzle 140: moving means

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. As the invention allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.

이하, 본 발명에 따른 기판이송장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
Hereinafter, an embodiment of a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals and are duplicated thereto. The description will be omitted.

본 실시예에 따른 기판이송장치는 인쇄회로기판을 제조하기 위해, 기판에 적층되는 드라이필름을 현상하도록 현상장치로 기판을 이동시킬 수 있다. 이는, 일 실시예에 불과하며 현상장치로 기판을 이동시키는 것에 한정되지는 않는다.The substrate transfer apparatus according to the present exemplary embodiment may move the substrate to a developing apparatus to develop a dry film laminated on the substrate in order to manufacture a printed circuit board. This is only one embodiment and is not limited to moving the substrate to the developing apparatus.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치를 도시한 도면이다. 아래에서 도 1을 참조하여 설명하도록 한다.1 is a view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. A description with reference to FIG. 1 below.

기판이송장치(100)는 기판(60)을 트레이(70)로 이동시키고, 기판(60)이 안착된 트레이(70)를 이송시킨다. 즉, 기판이송장치(100)는 적재리프트(80)에 적재된 트레이(70)에 기판(60)을 안착시킨 후, 기판(60)이 안착된 트레이(70)를 배출리프트(90)로 이동시킬 수 있다. 여기서, 적재리프트(80)는 기판이 안착될 트레이(70)가 적재된 장소를 의미할 수 있고, 배출리프트(90)는 기판이 안착된 트레이(70)가 적재되고 적재될 장소를 의미할 수 있다.The substrate transfer apparatus 100 moves the substrate 60 to the tray 70 and transfers the tray 70 on which the substrate 60 is seated. That is, the substrate transfer device 100 moves the tray 70 on which the substrate 60 is seated to the discharge lift 90 after seating the substrate 60 on the tray 70 loaded on the stack lift 80. You can. Here, the loading lift 80 may mean a place where the tray 70 on which the substrate is to be mounted is loaded, and the discharge lift 90 may mean a place where the tray 70 on which the substrate is mounted is loaded and loaded. have.

기판이송장치(100)는 이동체(110)와, 기판흡착부 및 장착부(120)를 포함한다.The substrate transfer device 100 includes a moving body 110, a substrate adsorption unit and a mounting unit 120.

이동체(110)는 기판(60)과 트레이(70)가 적재되는 위치로 이동할 수 있다. 일 예로, 기판이송장치(100)는 이동체(110)를 수평방향 및 수직방향으로 이동시킬 수 있도록 이동수단(140)을 더 포함할 수 있다. 이동수단(140)은 수평이동수단과 수직이동수단을 포함할 수 있으며, 이동체(110)는 수평이동수단에 의해 수평방향으로 이동할 수 있고, 수직이동수단에 의해 수직방향으로 이동될 수 있다.The movable body 110 may move to a position where the substrate 60 and the tray 70 are stacked. For example, the substrate transfer apparatus 100 may further include a moving unit 140 to move the moving body 110 in a horizontal direction and a vertical direction. The moving unit 140 may include a horizontal moving unit and a vertical moving unit, and the moving body 110 may move in the horizontal direction by the horizontal moving unit, and may be moved in the vertical direction by the vertical moving unit.

기판(60)을 트레이(70)로 안착시키기 위해, 먼저 기판(60)을 흡착시킬 수 있다. 기판(60)의 흡착은 기판흡착부를 통해 수행될 수 있다. 기판흡착부는 이동체(110)의 하부에 설치될 수 있으며, 다수의 노즐(130)일 수 있다. 노즐(130)은 이동체(110)의 하단에 수직으로 결합될 수 있으며, 외부 흡입력의 전달경로인 흡입관(미도시)과 연통하여 흡입관의 흡입력을 이용하여 기판(60)을 흡착시킬 수 있다.In order to seat the substrate 60 into the tray 70, the substrate 60 may first be adsorbed. Adsorption of the substrate 60 may be performed through the substrate adsorption unit. The substrate adsorption unit may be installed under the moving body 110 and may be a plurality of nozzles 130. The nozzle 130 may be vertically coupled to the lower end of the movable body 110, and may communicate with a suction tube (not shown), which is a transmission path of the external suction force, to adsorb the substrate 60 using the suction force of the suction tube.

기판(60)이 흡착된 이동체(110)는 트레이(70)에 기판(60)을 안착시키도록 적재리프트(80)로 이동할 수 있다. 이동체(110)가 이동하여, 적재리프트(80)에 적재된 트레이(70)의 상측에 기판(60)을 위치시킬 수 있고, 이동체(110)가 하강하여 기판(60)을 트레이(70)의 상부에 안착시킬 수 있다. 그리고 나서, 이동체(110)는 기판(60)이 안착된 트레이(70)를 배출리프트(90)로 이동시킬 수 있다.The movable body 110 on which the substrate 60 is adsorbed may move to the stack lift 80 to seat the substrate 60 on the tray 70. The movable body 110 moves to position the substrate 60 on the upper side of the tray 70 loaded on the stacking lift 80. The movable body 110 descends to move the substrate 60 to the tray 70. Can be seated on top. Then, the movable body 110 may move the tray 70 on which the substrate 60 is mounted to the discharge lift 90.

일반적인 기판이송장치는 진공흡착으로 트레이(70)를 이동시키므로, 진공에러에 의해 트레이(70)가 낙하되거나 트레이(70)의 눌림편차가 발생될 우려가 있다. 이를 방지하기 위해, 장착부(120)가 이동체(110)에 설치된다. Since the general substrate transfer device moves the tray 70 by vacuum suction, there is a fear that the tray 70 may fall or the pressing deviation of the tray 70 may occur due to a vacuum error. In order to prevent this, the mounting unit 120 is installed on the movable body 110.

장착부(120)는 적어도 한 쌍으로 이동체(110)에 설치될 수 있으며 트레이(70)가 걸림 또는 이탈되도록 좌우측으로 이동가능하다. 장착부(120)는 이동부(121)와 연장부(123) 및 걸림부(125)를 포함할 수 있다. The mounting unit 120 may be installed on the movable body 110 in at least one pair, and may be moved left and right so that the tray 70 is locked or detached. The mounting part 120 may include a moving part 121, an extension part 123, and a locking part 125.

이동부(121)는 이동체(110)의 상단부에 설치될 수 있으며 좌우 이동할 수 있다. 연장부(123)는 이동부(121)의 단부에 장착되며 하부로 연장 형성될 수 있다. 그리고 트레이(70)가 걸리도록 회동가능한 걸림부(125)가 이동체(110)측으로 돌출되도록 연장부(123)의 단부에 설치될 수 있다. 걸림부(125)의 상단부에는 트레이(70)가 걸릴 수 있으며, 걸림부(125)의 일단부와 연장부(123)의 하단부가 힌지결합할 수 있다.The moving part 121 may be installed at the upper end of the moving body 110 and may move left and right. The extension part 123 may be mounted at the end of the moving part 121 and extend downward. In addition, the locking part 125 rotatable to engage the tray 70 may be installed at an end of the extension part 123 so as to protrude toward the movable body 110. The upper end of the locking portion 125 may be caught by the tray 70, and one end of the locking portion 125 and the lower end of the extension 123 may be hinged.

일 예로, 이동부(121)는 모터(미도시)와 연결되어 모터에서 발생되는 구동력에 의해 좌우 이동할 수 있다. 그리고 이동부(121)와 이동체(110) 사이에는 레일(미도시)이 설치될 수 있으며, 레일 상에서 이동부(121)가 슬라이딩하여 이동될 수 있다. 이와 달리, 유압으로 작동되는 피스톤 실린더 잭 혹은 유압 모터와 체인으로 구성될 수도 있는 등 그 변형예는 다양하다.For example, the moving unit 121 may be connected to a motor (not shown) to move left and right by a driving force generated from the motor. In addition, a rail (not shown) may be installed between the moving part 121 and the moving body 110, and the moving part 121 may move by sliding on the rail. Alternatively, the modifications may be various, such as a piston cylinder jack that is hydraulically actuated or a hydraulic motor and a chain.

이동부(121)는 판 형상 또는 막대 형상으로 형성될 수 있고, 이동체(110)의 상단에서 좌우 이동하여 연장부(123)가 이동체(110)와 근접하거나 멀어질 수 있도록 한다. 이러한 이동부(121)는 연장부(123)가 이동체(110)와 근접하거나 멀어질 수 있도록 하기 위한 구성으로서 이동부(121)의 작동관계와 형상은 이에 한정되지 않는다.The moving part 121 may be formed in a plate shape or a bar shape, and the extension part 123 may move closer to or away from the moving body 110 by moving left and right at the upper end of the moving body 110. The moving part 121 is configured to allow the extension part 123 to move closer to or farther from the moving part 110. The operation relationship and shape of the moving part 121 are not limited thereto.

연장부(123)는 이동체(110)와 이격되게 이동부(121)의 단부에 결합될 수 있다. 연장부(123)는 하측으로 연장되게 형성되며, 이동부(121)가 노즐(130) 측으로 이동하여 연장부(123)가 트레이(70)에 근접할 수 있다. 연장부(123)의 길이는, 이동부(121)의 단부에서 하나의 트레이(70)가 걸림부(125)로 걸리는 길이(a) 이상으로 형성되고, 두 개의 트레이(70)가 걸림부(125)로 걸리는 길이(b) 미만으로 형성될 수 있다. 일 예로, 연장부(123)의 길이는 길이조절부(미도시)에 의해 조정될 수 있다. 연장부(123)는 실린더와 피스톤을 포함할 수 있으며, 길이조절부는 피스톤을 상하로 이동시켜 길이를 조정할 수 있다. 여기서 길이조절부는 유압모터 등이 적용될 수 있다.The extension part 123 may be coupled to an end of the moving part 121 to be spaced apart from the moving part 110. The extension part 123 is formed to extend downward, and the moving part 121 moves to the nozzle 130 side so that the extension part 123 may approach the tray 70. The length of the extension part 123 is formed more than the length (a) which the one tray 70 catches by the latching part 125 in the edge part of the moving part 121, and the two trays 70 are hooked ( 125) can be formed to less than the length (b). As an example, the length of the extension part 123 may be adjusted by a length adjusting part (not shown). The extension part 123 may include a cylinder and a piston, and the length adjusting part may adjust the length by moving the piston up and down. Here, the length adjustment unit may be applied to the hydraulic motor.

장착부(120)가 이동되어 노즐(130) 측으로 모이면, 걸림부(125)에 기판(60)이 걸리도록 걸림부(125)의 단부 간의 이격거리는 기판(60)의 가로길이보다 작게 형성될 수 있다.When the mounting unit 120 is moved and collected toward the nozzle 130, the separation distance between the ends of the locking unit 125 may be formed to be smaller than the horizontal length of the substrate 60 so that the substrate 60 is caught by the locking unit 125. have.

트레이(70)가 위치되는 하부로 이동체(110)가 하강하면, 걸림부(125)의 상단부에 트레이(70)가 걸릴 수 있도록 걸림부(125)는 상부로 회동할 수 있다. 그리고 자중에 의해 원위치될 수 있으며, 원위치된 걸림부(125)의 상단부에 트레이(70)가 걸릴 수 있다.When the movable body 110 descends to the lower portion where the tray 70 is located, the locking portion 125 may rotate upward so that the tray 70 may be caught on the upper end of the locking portion 125. And it can be repositioned by its own weight, the tray 70 may be caught on the upper end of the retracted engaging portion 125.

그리고 걸림부(125)는 걸림부(125)에 걸리는 트레이(70)가 이탈되지 않도록 회동되는 각이 제한될 수 있다. 일 예로, 걸림부(125) 또는 연장부(123)에 스토퍼(미도시)가 구비되어 걸림부(125)를 간섭함으로써 걸림부(125)의 회동을 제한할 수 있다.In addition, the locking portion 125 may be limited in rotation angle so that the tray 70 caught by the locking portion 125 is not separated. For example, a stopper (not shown) may be provided at the catching part 125 or the extension part 123 to restrict the rotation of the catching part 125 by interfering with the catching part 125.

일 예로, 이동부(121)와 수직하게 연장부(123)가 설치되고, 연장부(123)와 수직하게 걸림부(125)가 설치될 수 있다. 스토퍼는 걸림부(125)가 하부로 회동되지 않도록 제한시킬 수 있으며, 걸림부(125)는 스토퍼에 의해 연장부(123)와 둔각으로 형성되는 것이 차단될 수 있다. 그러나 이는 일 예에 불과하고, 트레이(70)가 이탈되지 않는 범위로 걸림부(125)가 하부로 회동될 수 있어, 연장부(123)와 걸림부(125)가 둔각으로 형성될 수도 있음은 물론이다. 이는 걸림부(125)의 이격거리와 트레이(70)의 가로길이에 따라 그 설정각이 달라 질 수 있는 등 그 변형예는 다양하다. For example, the extension part 123 may be installed to be perpendicular to the moving part 121, and the locking part 125 may be installed to be perpendicular to the extension part 123. The stopper may restrict the locking portion 125 from being rotated downward, and the locking portion 125 may be blocked from being formed at an obtuse angle with the extension portion 123 by the stopper. However, this is only an example, and the locking part 125 may be rotated downward in a range in which the tray 70 is not separated, so that the extension part 123 and the locking part 125 may be formed at an obtuse angle. Of course. This may vary depending on the separation distance of the locking portion 125 and the horizontal length of the tray 70, the modification examples thereof may vary.

본 발명의 실시예에서는 이해 및 설명의 편의를 위해 이동체(110)의 좌우양단에 장착부(120)가 한 쌍으로 구비됨을 예시로 하였으나, 이와 달리 앞뒤 및 좌우 각각에 한 쌍 이상으로 구비될 수 있으며, 그 변형예는 다양하다.
In the exemplary embodiment of the present invention, for convenience of understanding and explanation, the mounting portions 120 are provided in pairs on the left and right ends of the movable body 110, but alternatively, the front and rear sides may be provided in one or more pairs, respectively. The variation is various.

도 2 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 작동 모습을 도시한 도면이다. 2 to 8 are views showing the operation of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

이러한 기판이송장치(100)의 동작에 대하여 도 2 내지 도 8을 참조하여 아래에서 설명하도록 한다. 기판이송장치(100)는 적재리프트(80)에 적재된 트레이(70)에 기판(60)을 안착시킨 후, 기판(60)이 안착된 트레이(70)를 배출리프트(90)로 이동시킨다. The operation of the substrate transfer device 100 will be described below with reference to FIGS. 2 to 8. The substrate transfer apparatus 100 seats the substrate 60 on the tray 70 loaded on the stack lift 80, and then moves the tray 70 on which the substrate 60 is seated to the discharge lift 90.

도 1의 좌측에는 이동체(110)의 양단에서 외측으로 멀어진 이동부(121)가 도시되어 있다. 이동체(110)는 노즐(130)에 흡착된 기판(60)을 적재리프트(80)에 적재된 트레이(70)에 안착시키도록 적재리프트(80)로 이동한다. On the left side of FIG. 1, the moving part 121 is moved away from both ends of the moving body 110. The moving body 110 moves to the stacking lift 80 to seat the substrate 60 adsorbed on the nozzle 130 on the tray 70 loaded on the stacking lift 80.

그리고 나서, 도 2에 도시된 바와 같이 이동부(121)가 노즐(130) 측으로 이동되어 모이고 난 뒤, 도 3에 도시된 바와 같이 이동체(110)가 하강한다.Then, as shown in FIG. 2, the moving part 121 moves to the nozzle 130 and collects, and then the moving body 110 descends as shown in FIG. 3.

이동부(121)의 단부에서 하부로 연장된 연장부(123)의 길이는, 하나의 트레이(70)가 걸림부(125)로 걸리는 길이(a) 이상으로 형성되고, 두 개의 트레이(70)가 걸림부(125)로 걸리는 길이(b) 미만으로 형성될 수 있음에 따라, 걸림부(125)에 한 개의 트레이(70)가 장착될 수 있다.  The length of the extension part 123 extending downward from the end of the moving part 121 is formed more than the length (a) of the one tray 70 is caught by the locking portion 125, the two trays 70 Since it may be formed to less than the length (b) of the engaging portion 125, one tray 70 may be mounted on the engaging portion 125.

이동체(110)가 하강되면 걸림부(125)는 트레이(70)의 외측에 닿아 슬라이드되어 상부로 회동된다. 이동체(110)가 하강되다가 노즐(130)과 기판(60)이 트레이(70)에 맞닿게 되면 이동체(110)의 하강이 멈추고, 적재리프트(80)의 최상단에 있는 한 개의 트레이(70)가 걸림부(125)의 상단부로 위치된다. 이로써 걸림부(125)가 상단에 있는 첫 번째 트레이(71)의 하단과 상단의 두 번째 트레이(72) 사이의 높이에 위치될 수 있다. When the movable body 110 is lowered, the locking part 125 contacts the outside of the tray 70 and slides upward. When the movable body 110 is lowered and the nozzle 130 and the substrate 60 come into contact with the tray 70, the lowering of the movable body 110 is stopped and one tray 70 at the top of the stacking lift 80 is stopped. The upper end of the locking portion 125 is located. As a result, the engaging portion 125 may be positioned at a height between the bottom of the first tray 71 at the top and the second tray 72 at the top.

도 4에 도시된 바와 같이, 걸림부(125)에 트레이(70)가 걸리고, 배출리프트(90)로 이동체(110)가 이동될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이 이동체(110)가 배출리프트(90)의 상부로 이동된 뒤, 도 6에 도시된 바와 같이 이동체(110)가 배출리프트(90) 측으로 하강한다. 그리고나서, 기판(60)이 안착된 트레이(70)를 걸림부(125)에서 이탈되도록, 도 7에 도시된 바와 같이 연장부(123)가 이동체(110)로부터 멀어지도록 이동부(121)가 양측으로 이동된다.As shown in FIG. 4, the tray 70 may be caught by the catching part 125, and the movable body 110 may be moved to the discharge lift 90. After the movable body 110 is moved to the top of the discharge lift 90 as shown in FIG. 5, the movable body 110 is lowered to the discharge lift 90 side as shown in FIG. 6. Then, as shown in FIG. 7, the moving part 121 is moved away from the moving object 110 so that the extension part 123 is separated from the moving part 110 so that the tray 70 on which the substrate 60 is seated is separated from the locking part 125. Are moved to both sides.

배출리프트(90)에 트레이(70)가 안착된 뒤, 도 8에 도시된 바와 같이 이동체(110)는 상부로 이동된다. After the tray 70 is seated on the discharge lift 90, the movable body 110 is moved upward as shown in FIG. 8.

그리고 다시 기판(60)을 흡착하여 이동체(110)에 기판(60)을 장착하고 적재리프트(80)로 이동될 수 있다. 일 예로, 걸림부(125)에 트레이(70)가 걸리면 노즐(130)의 흡착은 해제될 수 있다. 이와 달리, 걸림부(125)에 트레이(70)가 걸릴 때에도 노즐(130)의 흡착은 트레이(70)를 걸림부(125)에서 이탈시키기 전까지 계속적으로 이루어질 수도 있다. In addition, the substrate 60 may be absorbed again to mount the substrate 60 to the moving body 110 and move to the loading lift 80. For example, when the tray 70 is caught by the locking portion 125, the suction of the nozzle 130 may be released. On the contrary, even when the tray 70 is caught by the catching part 125, the suction of the nozzle 130 may be continuously performed until the tray 70 is separated from the catching part 125.

이와 같은 실시예에 따른 기판이송장치는 트레이를 진공흡착에 의해 이동시키지 않고 걸림부에 건 상태로 이동시킨다. 이에 따라, 진공에러에 의해 발생되는 트레이 낙하 등의 불안정적인 공정작업이 감소될 수 있다. 이로써, 작업자의 이동경로가 줄어들 수 있다. 또한, 진공에러에 의해 발생될 수 있는 트레이 눌림편차를 줄일 수 있다.The substrate transfer apparatus according to this embodiment does not move the tray by vacuum suction, but moves the tray to the latched state. As a result, unstable process operations such as tray drop caused by vacuum error can be reduced. As a result, the movement path of the worker can be reduced. In addition, it is possible to reduce the tray pressing deviation that may be generated by the vacuum error.

상기에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.Although the above has been described with reference to embodiments of the present invention, those skilled in the art may variously modify the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. And can be changed. Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

Claims (7)

기판이 안착되는 트레이를 이송시키는 기판이송장치에 있어서,
트레이가 적재되는 위치로 이동하는 이동체;
상기 이동체에 설치되며 기판을 흡착하는 기판흡착부; 및
상기 이동체에 설치되며 트레이가 걸림 또는 이탈되도록 좌우측으로 이동가능한 장착부를 포함하는 기판이송장치.
In the substrate transfer apparatus for transferring the tray on which the substrate is seated,
A moving body moving to a position where the tray is loaded;
A substrate adsorption unit installed on the moving body and adsorbing the substrate; And
And a mounting part installed on the moving body and movable to the left and right sides so that the tray is locked or separated.
제1항에 있어서,
상기 장착부는 상기 이동체에 설치되며 좌우 이동가능한 이동부와, 상기 이동부에 장착되며 하부로 연장형성되는 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
The method of claim 1,
The mounting portion is a substrate transfer apparatus, characterized in that the moving portion is installed on the movable body and includes a movable portion and the extension portion is mounted to the moving portion extending downward.
제2항에 있어서,
상기 장착부는, 상기 이동체 측으로 돌출되도록 상기 연장부의 단부에 설치되며, 트레이가 걸리도록 회동가능한 걸림부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
The method of claim 2,
The mounting portion is a substrate transfer device, characterized in that provided on the end of the extended portion so as to project toward the movable body, the engaging portion rotatable to catch the tray.
제3항에 있어서,
상기 걸림부는 트레이가 이탈되지 않도록 회동되는 각이 제한되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
The method of claim 3,
The engaging portion is a substrate transfer apparatus, characterized in that the angle of rotation so that the tray is not separated.
제3항에 있어서,
상기 걸림부의 상단부에 트레이가 걸릴 수 있도록 상기 걸림부는 상부로 회동하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
The method of claim 3,
And the locking portion pivots upward so that the tray is caught by an upper end of the locking portion.
제5항에 있어서,
상기 이동부의 단부에서 하부로 연장된 상기 연장부의 길이는, 하나의 트레이가 걸림부로 걸리는 길이 이상으로 형성되고, 두 개의 트레이가 걸림부로 걸리는 길이 미만으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
The method of claim 5,
The length of the extension portion extending from the end of the moving portion to the lower portion, the length of the one tray is caught by the engaging portion or more, the substrate transfer apparatus, characterized in that less than the length of the two trays are caught by the engaging portion.
제6항에 있어서,
상기 장착부는 적어도 한 쌍으로 형성되고,
상기 장착부가 노즐부측으로 근접된 위치에서, 상기 걸림부에 기판이 걸리도록 상기 걸림부의 단부 간의 이격거리는 기판의 가로길이보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치. The method of claim 6,
The mounting portion is formed in at least one pair,
And the separation distance between the end portions of the locking portion is smaller than the horizontal length of the substrate so that the substrate is caught by the locking portion at a position close to the mounting portion.
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