KR20110069208A - 화학기상증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 화학기상증착장치는 소스가스를 공급하기 위한 샤워헤드 및 기판이 지지되는 서셉터가 설치되는 챔버, 기판의 제1영역을 소스가스로부터 차단하기 위한 차단면을 포함하는 섀도우 프레임, 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 차단면에 접촉되거나 상기 차단면으로부터 이격되게 상기 서셉터를 승하강시키는 승하강기구를 포함하는 화학기상증착장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 기판이 다른 두께를 가지는 것으로 바뀌는 경우에도 섀도우 프레임과 상기 기판 사이로 소스가스가 누설되는 것을 차단할 수 있고, 다양한 두께를 갖는 기판에 대한 대응력을 향상시킬 수 있다.
화학기상증착, 챔버, 샤워헤드, 서셉터, 기판, 소스가스

Description

화학기상증착장치{Chemical Vapor Deposition Apparatus}
본 발명은 화학적 증착방식에 의해 기판에 박막을 형성시키기 위한 화학기상증착장치에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), ELD(Electro Luminescence Display) 등의 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)는 여러 가지 공정을 거쳐 제조되는데, 이러한 제조 공정에는 기판에 소정의 박막을 형성시키는 박막증착공정이 포함된다.
화학기상증착장치는 상기 박막증착공정에 사용되는 장치로, 화학적 증착 방식에 의해 기판에 박막을 형성시키는 장치이다.
도 1은 종래 기술에 따른 화학기상증착장치의 개략적인 측단면도이고, 도 2는 박막이 형성된 기판의 일례를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 종래 기술에 따른 화학기상증착장치(10)는 챔버(11), 서셉터(12), 샤워헤드(13), 및 섀도우 프레임(Shadow frame, 14)을 포함하다.
상기 챔버(11)에서는 기판(100)에 박막을 형성시키는 공정이 이루어진다. 상 기 챔버(11)에는 상기 서셉터(12) 및 상기 샤워헤드(13)가 설치된다.
상기 서셉터(12)에는 상기 기판(100)이 지지된다. 상기 서셉터(12)는 상기 샤워헤드(13) 아래에 위치되게 상기 챔버(11)에 설치된다.
상기 샤워헤드(13)는 상기 기판(100)에 박막을 형성시키기 위한 소스가스를 상기 챔버(11) 내측에 공급한다. 상기 샤워헤드(13)는 상기 서셉터(12) 위에 위치되게 상기 챔버(11)에 설치된다.
상기 섀도우 프레임(14)은 상기 서셉터(12)에 설치된다. 상기 섀도우 프레임(14)은 상기 기판(100)의 테두리 부분인 제1영역(A, 도 2에 도시됨)에 접촉됨으로써, 상기 섀도우 프레임(14)과 상기 기판(100) 사이로 소스가스가 누설되는 것을 방지할 수 있고, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 기판(100)에 상기 제1영역(A)을 제외한 제2영역(B)에만 박막이 형성되도록 한다.
여기서, 도 1의 확대도에 도시된 바와 같이 상기 기판(100)이 상대적으로 얇은 두께로 이루어진 것으로 바뀌는 경우, 종래 기술에 따른 화학기상증착장치(10)는 상기 섀도우 프레임(14)이 상기 기판(100)에 접촉되지 못하게 된다. 이에 따라, 상기 섀도우 프레임(14)과 상기 기판(100) 사이로 소스가스가 누설될 수 있는 문제가 있다.
상기 섀도우 프레임(14)과 상기 기판(100) 사이로 소스가스가 누설되면, 누설된 소스가스가 상기 기판(100)의 제1영역(A)에 증착될 수 있고, 이로 인해 상기 기판(100)에 대한 증착 공정이 정상적으로 이루어지지 않는 문제가 있다. 또한, 누설된 소스가스가 상기 서셉터(12) 일부 영역에 증착될 수 있고, 이로 인해 증착 공 정 후 상기 챔버(11) 내부에 소스가스가 잔류하게 됨으로써 상기 챔버(11)에 대한 세정 주기가 단축되는 문제가 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 기판(100)이 상대적으로 두꺼운 두께로 이루어진 것으로 바뀌는 경우, 종래 기술에 따른 화학기상증착장치(10)는 바뀐 기판(100)에 대응하여 상기 섀도우 프레임(14)의 설치위치를 변경해야 하는 등 추가 작업이 요구되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 기판이 다른 두께를 가지는 것으로 바뀌는 경우에도 바뀐 기판에 용이하게 대응할 수 있는 화학기상증착장치를 제공하는 것이다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 화학기상증착장치는 소스가스를 공급하기 위한 샤워헤드 및 기판이 지지되는 서셉터가 설치되고, 기판에 박막을 형성시키기 위한 공정이 이루어지는 챔버; 기판의 제1영역을 소스가스로부터 차단하기 위한 차단면을 포함하고, 상기 챔버에 설치되는 섀도우 프레임; 상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 차단면에 접촉되거나 상기 차단면으로부터 이격되게 상기 서셉터를 승하강시키는 승하강기구를 포함할 수 있다. 상기 승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판의 두께에 따라 상기 서셉터를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다.
본 발명은 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.
본 발명은 기판이 다른 두께를 가지는 것으로 바뀌는 경우에도 섀도우 프레임과 상기 기판 사이로 소스가스가 누설되는 것을 차단할 수 있고, 다양한 두께를 갖는 기판에 대한 대응력을 향상시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 화학기상증착장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 화학기상증착장치의 개략적인 측단면도, 도 4는 본 발명에 따른 섀도우 프레임과 기판의 상대적인 위치관계를 개략적으로 나타낸 사시도, 도 5는 도 3에서 기판이 섀도우 프레임에 접촉된 상태를 나타낸 개략적인 측단면도, 도 6은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 화학기상증착장치의 개략적인 측단면도, 도 7 및 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 감지유닛의 개략적인 작동상태도, 도 9 및 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 감지유닛의 작동상태도, 도 11 및 도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감지유닛의 작동상태도이다. 도 9 내지 도 12는 도 6 내지 도 8의 확대도를 기준으로 하여 감지유닛의 작동상태를 나타낸 것이다.
도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 화학기상증착장치(1)는 챔버(2), 섀도우 프레임(3), 및 승하강기구(4)를 포함한다.
상기 챔버(2)에서는 기판(100)에 박막을 형성시키기 위한 공정이 이루어진다. 상기 챔버(2)에는 샤워헤드(21) 및 서셉터(22)가 설치될 수 있다.
상기 샤워헤드(21)는 상기 서셉터(22) 위에 위치되게 상기 챔버(2)에 설치될 수 있다. 상기 샤워헤드(21)는 상기 기판(100)에 박막을 형성시키기 위한 소스가스를 상기 챔버(2) 내측에 공급할 수 있다.
상기 서셉터(22)는 상기 기판(100)을 지지할 수 있다. 상기 기판(100)은 진 공흡착 또는 정전흡착에 의해 상기 서셉터(22)에 흡착될 수 있다. 상기 서셉터(22)는 상기 샤워헤드(21) 아래에 위치되게 상기 챔버(2)에 설치될 수 있다. 상기 서셉터(22)는 상기 승하강기구(4)에 의해 승하강될 수 있고, 상기 기판(100)에 박막을 형성시키기 위한 공정이 이루어질 때 상기 기판(100)이 상기 샤워헤드(21)로부터 소정 거리 이격된 거리에 위치되게 상승될 수 있다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 섀도우 프레임(3)은 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100) 위에 위치되게 상기 챔버(2)에 설치될 수 있다. 상기 챔버(2)는 상기 섀도우 프레임(3)을 지지하는 절연부재(23)를 포함할 수 있다. 상기 절연부재(23)는 상기 섀도우 프레임(3)이 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100) 위에 위치되게 상기 섀도우 프레임(3)의 저면을 지지할 수 있고, 세라믹 등 절연 재질로 형성될 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 섀도우 프레임(3)은 차단면(31) 및 관통공(32)을 포함할 수 있다.
상기 차단면(31)은 상기 기판(100)의 제1영역(A, 도 4에 도시됨)을 소스가스로부터 차단할 수 있다. 상기 기판(100)에 박막을 형성시키기 위한 공정이 이루어질 때, 상기 차단면(31)은 상기 기판(100)의 제1영역(A)에 접촉될 수 있고, 이에 따라 상기 섀도우 프레임(3)과 상기 기판(100) 사이로 소스가스가 누설되는 것을 차단할 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판(100)에는 상기 제1영역(A)을 제외한 제2영역(B)에 박막이 형성될 수 있다. 상기 제1영역(A)은 상기 기판(100)의 테두리 부분일 수 있고, 상기 차단면(31)은 상기 제1영역(A)에 대응되는 형태로 형 성될 수 있다. 예컨대, 상기 차단면(31)은 전체적으로 사각 고리 형태로 형성될 수 있다.
상기 관통공(32)은 상기 섀도우 프레임(3)을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 차단면(31)이 상기 기판(100)에 접촉되더라도, 상기 기판(100)의 제2영역(B)은 상기 관통공(32)을 통해 상기 섀도우 프레임(3)에 가려지지 않을 수 있다. 이에 따라, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 기판(100)에는 상기 제2영역(B)에 박막이 형성될 수 있다. 상기 제2영역(A)은 상기 기판(100)에서 상기 제1영역(A)의 내측에 위치되는 부분일 수 있고, 상기 관통공(32)은 상기 제2영역(B)에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 관통공(32)은 전체적으로 사각 형태로 형성될 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)를 승하강시킬 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)이 상기 섀도우 프레임(3)에 가까워지거나 멀어지게 상기 서셉터(22)를 승하강시킬 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되게 상기 서셉터(22)를 상승시킬 수 있고, 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)으로부터 이격되게 상기 서셉터(22)를 하강시킬 수 있다. 상기 차단면(31)에는 상기 기판(100)의 제1영역(A)이 접촉될 수 있다.
상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)의 두께에 따라 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되게 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다.
예컨대, 도 3의 확대도에 도시된 바와 같이, 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)과 상기 차단면(31)이 이격된 제1거리(H1)만큼 상기 서셉터(22)를 상승시킴으로써, 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되게 할 수 있다. 상기 기판(100)이 상대적으로 얇은 두께를 가진 것으로 바뀌는 경우, 상기 승하강기구(4)는 상기 기판(100)의 두께가 감소된 만큼 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 늘림으로써 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되게 할 수 있다. 이 경우, 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)과 상기 차단면(31)이 이격된 제2거리(H2)만큼 상기 서셉터(22)를 상승시킬 수 있다. 상기 기판(100)이 상대적으로 두꺼운 것으로 바뀌는 경우, 상기 승하강기구(4)는 상기 기판(100)의 두께가 증가된 만큼 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 줄일 수 있다. 이 경우, 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)과 상기 차단면(31)이 이격된 제3거리(H3)만큼 상기 서셉터(22)를 상승시킬 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 화학기상증착장치(1)는 상기 기판(100)이 다른 두께를 가지는 것으로 바뀌는 경우에도, 상기 승하강기구(4)가 상기 기판(100)을 상승시키는 거리를 조절함으로써 상기 기판(100)에 박막을 형성시키는 공정이 이루어질 때 상기 섀도우 프레임(3)과 상기 기판(100) 사이로 소스가스가 누설되는 것을 차단할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 화학기상증착장치(1)는 바뀐 기판(100)에 대한 증착 공정이 정상적으로 이루어지도록 할 수 있고, 증착 공정 후 상기 챔버(2) 내부에 소스가스가 잔류하게 되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에 따 른 화학기상증착장치(1)는 상기 기판(100)이 다른 두께를 가지는 것으로 바뀌는 경우에도, 상기 승하강기구(4)가 상기 기판(100)을 상승시키는 거리를 조절함으로써 바뀐 기판(100)에 용이하게 대응할 수 있다.
상기 승하강기구(4)는 모터(미도시), 상기 모터와 상기 서셉터(22)를 연결하는 연결기구(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 연결기구는 볼스크류, 풀리 및 벨트, 랙·피니언기어 등일 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 사용자에 의해 입력된 기판의 두께 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다.
도 6을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 화학기상증착장치(1)는 감지유닛(5)을 포함할 수 있다.
상기 감지유닛(5)은 상기 차단면(31)에 기판(100)이 접촉되는지를 감지할 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 감지유닛(5)이 획득한 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 화학기상증착장치(1)는 기판(100)의 두께에 따라 자동으로 상기 서셉터(22)가 상승되는 거리가 조절되도록 할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 감지유닛(5)은 상기 차단면(31)에 결합되는 압력센서를 포함할 수 있고, 상기 승하강기구(4)는 상기 압력센서가 획득한 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)이 상기 압력센서에 힘을 가하게 되면 상기 서셉터(22)를 정지시킬 수 있다. 이 경우, 상기 기판(100)은 상기 차단면(31)에 접촉될 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 감지유닛(5)으로부터 상기 압력센서에 기판(100)이 접촉되었는지에 관한 정보를 제공받을 수 있고, 제공된 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 화학기상증착장치(1)는 제어부(미도시)를 포함할 수도 있다. 상기 제어부는 상기 감지유닛(5)으로부터 상기 압력센서에 기판(100)이 접촉되었는지에 관한 정보를 제공받을 수 있고, 해당 정보를 상기 승하강기구(4)에 제공할 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 제어부로부터 제공된 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다.
도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 감지유닛(5)은 이동부재(51), 제1도전체(52), 및 제2도전체(53)를 포함할 수 있다.
상기 이동부재(51)는 상기 섀도우 프레임(3)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 이동부재(51)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)에 밀려서 상승될 수 있고, 자중(自重)에 의해 하강될 수 있다.
상기 이동부재(51)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)에 접촉되기 위한 접촉면(511)을 포함할 수 있다. 상기 이동부재(51)는 상기 접촉면(511)이 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 돌출되는 제1위치(도 6에 도시됨) 및 상기 접촉면(511)이 상기 섀도우 프레임(3)에 삽입되는 제2위치(도 8에 도시됨) 간에 이동될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치될 때, 상기 차단면(31)에는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)이 접촉될 수 있다.
상기 제1도전체(52)는 상기 이동부재(51)에 결합될 수 있다. 상기 이동부 재(51)가 이동됨에 따라, 상기 제1도전체(52)는 상기 제2도전체(53)에 가까워지거나 멀어지게 이동될 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)를 승하강시킴으로써 상기 이동부재(51)를 이동시킬 수 있고, 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 가까워지거나 멀어지게 이동시킬 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)를 상승시킴으로써 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 가까워지게 이동시킬 수 있고, 상기 서셉터(22)를 하강시킴으로써 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)로부터 멀어지게 이동시킬 수 있다.
상기 제2도전체(53)는 상기 섀도우 프레임(3)에 결합될 수 있다. 상기 제2도전체(53)에 상기 제1도전체(52)가 접촉되면, 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)를 정지시킬 수 있고, 상기 차단면(31)에는 상기 기판(100)이 접촉될 수 있다.
상기 제2도전체(53) 및 상기 제1도전체(52)는 서로 접촉되면 전기적인 신호를 발생시킬 수 있는 도전성 재질로 형성될 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 감지유닛(5)으로부터 상기 제2도전체(53) 및 상기 제1도전체(52)가 접촉됨으로써 발생된 전기적 신호를 제공받을 수 있고, 제공된 신호에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제어부가 상기 감지유닛(5)으로부터 상기 제2도전체(53) 및 상기 제1도전체(52)가 접촉됨으로써 발생된 전기적 신호를 제공받을 수 있고, 상기 승하강기구(4)는 상기 제어부로부터 제공되는 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수도 있다.
여기서, 본 발명의 일실시예에 따른 감지유닛(5)은 다음과 같은 이동부재(51), 제1도전체(52), 및 제2도전체(53)를 포함할 수 있다.
상기 이동부재(51)는 돌출부재(512) 및 이동몸체(513)를 포함할 수 있다.
상기 돌출부재(512)는 상기 이동부재(51)가 상기 새도우 프레임(3)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 상기 돌출부재(512)는 상기 이동몸체(513)의 상측에 형성될 수 있고, 상기 이동몸체(513) 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.
상기 이동몸체(513)는 일측에 상기 돌출부재(512)가 형성될 수 있고, 타측에 상기 접촉면(511)이 형성될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제1위치에 위치될 때 상기 이동몸체(513)는 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 돌출될 수 있고, 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치될 때 상기 이동몸체(513)는 상기 섀도우 프레임(3)에 삽입될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치될 때, 상기 접촉면(511)과 상기 차단면(31)은 하나의 수평면을 이룰 수 있고, 상기 기판(100)은 상기 접촉면(511)과 상기 차단면(31) 모두에 접촉될 수 있다.
상기 섀도우 프레임(3)은 상기 돌출부재(512)가 삽입되는 안내홈(33) 및 상기 돌출부재(512)를 지지하기 위한 지지부재(34)를 포함할 수 있다.
상기 안내홈(33)은 상기 돌출부재(512)와 대략 일치하는 크기로 형성될 수 있고, 상기 돌출부재(512)는 상기 안내홈(33)을 따라 이동될 수 있다. 즉, 상기 섀도우 프레임(3)은 상기 이동부재(51)가 이동되는 것을 안내하는 가이드 기능을 할 수 있다. 상기 안내홈(33)은 상기 돌출부재(512)와 대략 일치하는 형태로 형성될 수 있다. 상기 안내홈(33)은 전체적으로 원통 형태로 형성될 수 있고, 상기 돌출부 재(512)는 상기 안내홈(33)이 갖는 직경과 대략 일치하는 직경을 갖는 원반 형태로 형성될 수 있다. 상기 이동몸체(513)는 상기 돌출부재(512) 및 상기 안내홈(33) 보다 작은 직경을 갖는 원통 형태로 형성될 수 있다.
상기 지지부재(34)는, 상기 이동부재(51)가 상기 제1위치에 위치될 때, 상기 돌출부재(512)를 지지할 수 있다. 이에 따라, 상기 이동부재(51)는 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제1위치에 위치될 때 상기 이동몸체(513)는 상기 지지부재(34)를 관통하여 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 돌출될 수 있다.
상기 제1도전체(52)는 상기 돌출부재(512)에 결합될 수 있고, 상기 제2도전체(53)는 상기 안내홈(33)에 위치되게 상기 섀도우 프레임(3)에 결합될 수 있다. 상기 제1도전체(52)는 상기 돌출부재(512)의 상면에 결합될 수 있고, 상기 제2도전체(53)는 상기 안내홈(33)의 상측에 위치되게 상기 섀도우 프레임(3)에 결합될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치될 때, 상기 제1도전체(52)는 상기 제2도전체(53)에 접촉될 수 있다.
상기 승하강기구(4)는 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 가까워지거나 멀어지게 상기 서셉터(22)를 상승시키되, 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 접촉되면 상기 서셉터(22)를 정지시킬 수 있다. 즉, 상기 승하강기구(4)는 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 접촉되게 상기 서셉터(22)를 상승시킴으로써, 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되게 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 6을 참고하면, 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)은 상기 이동부재(51) 및 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 이격되게 하강된 상태이다. 이 경우, 상기 이동부재(51)는 자중(自重)에 의해 하강되어 상기 제1위치에 위치되고, 상기 돌출부재(512)가 상기 지지부재(34)에 지지된 상태이다. 상기 접촉면(511)은 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 소정 거리(D1)로 이격되게 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 돌출된 상태이고, 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)은 상기 접촉면(511)으로부터 소정 거리로 이격된 거리에 위치된 상태이다.
이 상태에서 상기 승하강기구(4)가 상기 서셉터(22)를 상승시키면, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)은 상기 접촉면(511)에 접촉된다. 상기 기판(100)이 상기 접촉면(511)에 접촉되게 상기 서셉터(22)가 상승되는 거리는, 상기 기판(100)의 두께에 따라 달라질 수 있다.
예컨대, 도 6의 확대도에 도시된 바와 같이, 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)이 상기 접촉면(511)으로부터 제1거리(H1)만큼 이격되는 두께인 경우, 상기 서셉터(100)가 상기 제1거리(H1)만큼 상승됨으로써 상기 기판(100)이 상기 접촉면(511)에 접촉될 수 있다. 상기 기판(100)이 상대적으로 얇은 두께를 가진 것으로 바뀌는 경우, 상기 기판(100)의 두께가 감소된 만큼 상기 서셉터(100)가 증가된 거리로 상승됨으로써 상기 기판(100)이 상기 접촉면(511)에 접촉될 수 있다. 이 경우, 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)은 상기 접촉면(511)으로부터 제2거리(H2)만큼 이격되는 두께일 수 있고, 상기 서셉터(22)가 상기 제2거리(H2)만큼 상승됨으로써 상기 기판(100)이 상기 접촉면(511)에 접촉될 수 있다. 상기 기판(100)이 상 대적으로 두꺼운 두께를 가진 것으로 바뀌는 경우, 상기 기판(100)의 두께가 증가된 만큼 상기 서셉터(100)가 감소된 거리로 상승됨으로써 상기 기판(100)이 상기 접촉면(511)에 접촉될 수 있다. 이 경우, 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)은 상기 접촉면(511)으로부터 제3거리(H3)만큼 이격되는 두께일 수 있고, 상기 서셉터(22)가 상기 제3거리(H3)만큼 상승됨으로써 상기 기판(100)이 상기 접촉면(511)에 접촉될 수 있다.
상기 접촉면(511)에 상기 기판(100)이 접촉된 이후, 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)를 계속하여 상승시키고, 이에 따라 상기 이동부재(51)가 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)에 밀려서 이동된다. 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 승하강기구(4)는 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 접촉될 때까지 상기 서셉터(22)를 계속하여 상승시키고, 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 접촉되면 상기 서셉터(22)를 정지시킨다. 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)가 접촉되면, 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉된다.
상기 승하강기구(4)는 상기 감지유닛(5)으로부터 상기 제2도전체(53) 및 상기 제1도전체(52)가 접촉됨으로써 발생된 전기적 신호를 제공받을 수 있고, 제공된 신호에 기초하여 상기 서셉터(22)를 정지시킬 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제어부가 상기 감지유닛(5)으로부터 상기 제2도전체(53) 및 상기 제1도전체(52)가 접촉됨으로써 발생된 전기적 신호를 제공받을 수도 있고, 상기 승하강기구(4)는 상기 제어부로부터 제공되는 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 정지시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기 판(100)과 상기 접촉면(511)이 이격된 거리(H1, H2, H3) 및 상기 접촉면(511)이 상기 차단면(31)으로부터 돌출된 거리(D1)를 합한 거리만큼 상기 서셉터(22)를 상승시킴으로써, 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되게 상승시킬 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제1위치에 위치될 때, 상기 접촉면(511)이 상기 차단면(31)으로부터 돌출된 거리(D1)는 상기 제1도전체(52)와 상기 제2도전체(53)가 이격된 거리(D2)와 대략 일치할 수 있다.
여기서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 감지유닛(5)은 다음과 같은 이동부재(51), 제1도전체(52), 및 제2도전체(53)를 포함할 수 있다.
도 3, 도 9 및 도 10을 참고하면, 상기 이동부재(51)는 돌출부재(512) 및 이동몸체(513)를 포함할 수 있다.
상기 돌출부재(512)는 상기 이동부재(51)가 상기 새도우 프레임(3)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 상기 돌출부재(512)는 상기 이동몸체(513)의 상측에 형성될 수 있고, 상기 이동몸체(513) 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.
상기 이동몸체(513)는 일측에 상기 돌출부재(512)가 형성될 수 있고, 타측에 상기 접촉면(511)이 형성될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제1위치에 위치될 때 상기 접촉면(511)은 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 돌출될 수 있고, 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치될 때 상기 접촉면(511)은 상기 섀도우 프레임(3)에 삽입될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치될 때, 상기 접촉면(511)과 상기 차단면(31)은 하나의 수평면을 이룰 수 있고, 상기 기판(100)은 상기 접촉면(511)과 상기 차단면(31) 모두에 접촉될 수 있다.
상기 섀도우 프레임(3)은 상기 이동부재(51)가 이동 가능하게 결합되는 안내공(35)을 포함할 수 있다. 상기 안내공(35)은 상기 이동부재(51)가 이동되는 방향으로 상기 섀도우 프레임(3)을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 안내공(35)은 상기 이동몸체(513)와 대략 일치하는 크기로 형성될 수 있고, 상기 돌출부재(512)는 상기 안내공(35)보다 큰 크기로 형성될 수 있다. 상기 이동몸체(513)는 상기 안내공(35)을 따라 이동될 수 있다. 즉, 상기 섀도우 프레임(3)은 상기 이동부재(51)가 이동되는 것을 안내하는 가이드 기능을 할 수 있다.
상기 안내공(35)은 상기 이동몸체(513)와 대략 일치하는 형태로 형성될 수 있다. 상기 이동몸체(513)와 상기 안내공(35)은 전체적으로 원통 형태로 형성될 수 있고, 대략 일치하는 직경을 갖는 원통 형태로 형성될 수 있다. 상기 돌출부재(512)는 상기 이동몸체(513) 및 상기 안내공(35) 보다 큰 직경을 갖는 원반 형태로 형성될 수 있다.
상기 이동부재(51)는 상기 돌출부재(512)와 상기 접촉면(511) 사이에 상기 섀도우 프레임(3)이 위치되게 상기 섀도우 프레임(3)에 결합될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제1위치에 위치될 때, 상기 돌출부재(512)는 상기 섀도우 프레임(3)의 상면에 지지되어 상기 이동부재(51)가 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1도전체(52)는 상기 이동부재(51)에 결합될 수 있다. 상기 이동부재(51)는 상기 서셉터(22)가 승하강되는 방향에 수직한 방향으로 돌출되게 형성되는 돌기(514)를 포함할 수 있다. 상기 제1도전체(52)는 상기 돌기(514)의 상면에 결합될 수 있다.
상기 제2도전체(53)는 상기 섀도우 프레임(3)에 결합될 수 있다. 상기 섀도우 프레임(3)은 상기 돌기(514)가 삽입되기 위한 삽입홈(36)을 포함할 수 있고, 상기 제2도전체(53)는 상기 삽입홈(36)에 위치되게 상기 섀도우 프레임(3)에 결합될 수 있다. 상기 제2도전체(53)는 상기 삽입홈(36)의 상측에 위치되게 상기 섀도우 프레임(3)에 결합될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치될 때, 상기 제1도전체(52)는 상기 제2도전체(53)에 접촉될 수 있다.
상기 승하강기구(4)는 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 가까워지거나 멀어지게 상기 서셉터(22)를 상승시키되, 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 접촉되면 상기 서셉터(22)를 정지시킬 수 있다. 즉, 상기 승하강기구(4)는 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 접촉되게 상기 서셉터(22)를 상승시킴으로써, 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되게 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 3 및 도 9를 참고하면, 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)은 상기 이동부재(51) 및 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 이격되게 하강된 상태이다. 이 경우, 상기 이동부재(51)는 자중(自重)에 의해 하강되어 상기 제1위치에 위치되고, 상기 돌출부재(512)가 상기 섀도우 프레임(3)의 상면에 지지된 상태이다. 상기 접촉면(511)은 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 소정 거리로 이격되게 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 돌출된 상태이고, 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)은 상기 접촉면(511)으로부터 소정 거리로 이격된 거리에 위치된 상태이다.
이 상태에서 상기 승하강기구(4)가 상기 서셉터(22)를 상승시키면, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 이동부재(51)가 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)에 밀려서 이동된다. 상기 승하강기구(4)는 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 접촉될 때까지 상기 서셉터(22)를 계속하여 상승시키고, 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)에 접촉되면 상기 서셉터(22)를 정지시킨다. 상기 제1도전체(52)가 상기 제2도전체(53)가 접촉되면, 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉된다. 이 경우, 상기 돌기(514)는 상기 삽입홈(36)에 삽입될 수 있다.
상기 승하강기구(4)는 상기 감지유닛(5)으로부터 상기 제2도전체(53) 및 상기 제1도전체(52)가 접촉됨으로써 발생된 전기적 신호를 제공받을 수 있고, 제공된 신호에 기초하여 상기 서셉터(22)를 정지시킬 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제어부가 상기 감지유닛(5)으로부터 상기 제2도전체(53) 및 상기 제1도전체(52)가 접촉됨으로써 발생된 전기적 신호를 제공받을 수도 있고, 상기 승하강기구(4)는 상기 제어부로부터 제공되는 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 정지시킬 수 있다.
상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)과 상기 접촉면(511)이 이격된 거리 및 상기 접촉면(511)이 상기 차단면(31)으로부터 돌출된 거리를 합한 거리만큼 상기 서셉터(22)를 상승시킴으로써, 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되게 상승시킬 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제1위치에 위치될 때, 상기 접촉면(511)이 상기 차단면(31)으로부터 돌출된 거리는 상기 제1도전체(52)와 상기 제2도전체(53)가 이격된 거리와 대략 일치할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 감지유닛(5)은 상술한 일실시예에 따른 감지 유닛(5)과 비교할 때, 상대적으로 얇은 두께로 이루어진 섀도우 프레임(3)에 적용되는 것이 가능하다.
여기서, 도 3, 도 11, 및 도 12를 참고하면 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감지유닛(5)은 이동부재(51) 및 광센서(54)를 포함할 수 있다.
상기 이동부재(51)는 돌출부재(512) 및 이동몸체(513)를 포함할 수 있다.
상기 돌출부재(512)는 상기 이동부재(51)가 상기 새도우 프레임(3)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 상기 돌출부재(512)는 상기 이동몸체(513)의 상측에 형성될 수 있고, 상기 이동몸체(513) 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.
상기 이동몸체(513)는 일측에 상기 돌출부재(512)가 형성될 수 있고, 타측에 상기 접촉면(511)이 형성될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제1위치에 위치될 때 상기 접촉면(511)은 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 돌출될 수 있고, 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치될 때 상기 접촉면(511)은 상기 섀도우 프레임(3)에 삽입될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치될 때, 상기 접촉면(511)과 상기 차단면(31)은 하나의 수평면을 이룰 수 있고, 상기 기판(100)은 상기 접촉면(511)과 상기 차단면(31) 모두에 접촉될 수 있다.
상기 섀도우 프레임(3)은 상기 이동부재(51)가 이동 가능하게 결합되는 안내공(35)을 포함할 수 있다. 상기 안내공(35)은 상기 이동부재(51)가 이동되는 방향으로 상기 섀도우 프레임(3)을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 안내공(35)은 상기 이동몸체(513)와 대략 일치하는 크기로 형성될 수 있고, 상기 돌출부재(512)는 상기 안내공(35)보다 큰 크기로 형성될 수 있다. 상기 이동몸체(513)는 상기 안내 공(35)을 따라 이동될 수 있다. 즉, 상기 섀도우 프레임(3)은 상기 이동부재(51)가 이동되는 것을 안내하는 가이드 기능을 할 수 있다.
상기 안내공(35)은 상기 이동몸체(513)와 대략 일치하는 형태로 형성될 수 있다. 상기 이동몸체(513)와 상기 안내공(35)은 전체적으로 원통 형태로 형성될 수 있고, 대략 일치하는 직경을 갖는 원통 형태로 형성될 수 있다. 상기 돌출부재(512)는 상기 이동몸체(513) 및 상기 안내공(35) 보다 큰 직경을 갖는 원반 형태로 형성될 수 있다.
상기 이동부재(51)는 상기 돌출부재(512)와 상기 접촉면(511) 사이에 상기 섀도우 프레임(3)이 위치되게 상기 섀도우 프레임(3)에 결합될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제1위치에 위치될 때, 상기 돌출부재(512)는 상기 섀도우 프레임(3)의 상면에 지지되어 상기 이동부재(51)가 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
상기 이동부재(51)는 감지공(515)을 포함할 수 있다. 상기 감지공(515)은 상기 이동부재(51)가 이동되는 방향에 대해 수직한 방향으로 형성될 수 있고, 상기 이동몸체(513)를 관통하여 형성될 수 있다.
상기 광센서(54)는 상기 섀도우 프레임(3)에 결합된다. 상기 섀도우 프레임(3)은 상기 이동부재(51)가 이동되는 방향에 대해 수직한 방향으로 형성된 설치홈(37)을 포함할 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 상기 광센서(54)가 획득한 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다.
상기 광센서(54)는 상기 설치홈(37)에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 광센 서(54)는 발광센서(541) 및 수광센서(542)를 포함할 수 있고, 상기 섀도우 프레임(3)은 상기 발광센서(541)가 설치되는 제1설치홈(371) 및 상기 수광센서(542)가 설치되는 제2설치홈(372)을 포함할 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치되는 경우, 상기 발광센서(541)로부터 방출된 광은 상기 감지공(515)을 통해 상기 수광센서(542)로 전달될 수 있다. 상기 이동부재(51)가 상기 제2위치에 위치되지 않은 경우, 상기 발광센서(541)로부터 방출된 광은 상기 이동몸체(513)에 차단되어 상기 수광센서(542)로 전달될 수 없다.
상기 감지유닛(5)은 상기 수광센서(542)에 상기 발광센서(541)로부터 방출된 광이 입사되는지에 관한 정보를 상기 승하강기구(4)에 제공할 수 있고, 상기 승하강기구(4)는 상기 감지유닛(5)으로부터 제공된 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다. 상기 수광센서(542)에 상기 발광센서(541)로부터 방출된 광이 입사된 정보가 상기 감지유닛(5)으로부터 제공되면, 상기 승하강기구(4)는 상기 서셉터(22)를 정지시킬 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 감지유닛(5)은 상기 수광센서(542)에 상기 발광센서(541)로부터 방출된 광이 입사되는지에 관한 정보를 상기 제어부에 제공할 수 있고, 상기 승하강기구(4)는 상기 제어부로부터 제공되는 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 3 및 도 11을 참고하면, 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)은 상기 이동부재(51) 및 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 이격되게 하강된 상태이다. 이 경우, 상기 이동부재(51)는 자중(自重)에 의해 하강되어 상기 제1위치에 위치되고, 상기 돌출부재(512)가 상기 섀도우 프레임(3)의 상면에 지지된 상태이다. 상기 접촉면(511)은 상기 차단면(31)으로부터 소정 거리로 이격되게 상기 섀도우 프레임(3)으로부터 돌출된 상태이고, 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)은 상기 접촉면(511)으로부터 소정 거리로 이격된 거리에 위치된 상태이다. 이 경우, 상기 발광센서(541)로부터 방출된 광은 상기 이동몸체(513)에 차단되어 상기 수광센서(542)로 전달될 수 없는 상태이다.
이 상태에서 상기 승하강기구(4)가 상기 서셉터(22)를 상승시키면, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 이동부재(51)가 상기 서셉터(22)에 지지된 기판(100)에 밀려서 이동된다. 상기 승하강기구(4)는 상기 발광센서(541)로부터 방출된 광이 상기 감지공(515)을 통해 상기 수광센서(542)에 전달될 때까지 상기 서셉터(22)를 계속하여 상승시키고, 상기 발광센서(541)로부터 방출된 광이 상기 감지공(515)을 통해 상기 수광센서(542)에 입사되면 상기 서셉터(22)를 정지시킨다. 이에 따라, 상기 기판(100)은 상기 차단면(31)에 접촉될 수 있다.
본 발명에 따른 화학기상증착장치(1)는 상기 감지유닛(5)을 복수개 포함할 수 있다. 상기 승하강기구(4)는 모든 감지유닛(5)들로부터 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되었는지에 관한 정보를 제공받을 수 있고, 제공된 신호에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 기판(100)이 전체적으로 상기 차단면(31)에 접촉된 상태에서 상기 기판(100)에 박막을 형성시키는 공정이 이루어지도록 할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제어부가 모든 감지유닛(5)들로부터 상기 기판(100)이 상기 차단면(31)에 접촉되었는지 에 관한 정보를 제공받을 수도 있고, 상기 승하강기구(4)는 상기 제어부로부터 제공되는 정보에 기초하여 상기 서셉터(22)를 상승시키는 거리를 조절할 수도 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 화학기상증착장치의 개략적인 측단면도
도 2는 박막이 형성된 기판의 일례를 개략적으로 나타낸 평면도
도 3은 본 발명에 따른 화학기상증착장치의 개략적인 측단면도
도 4는 본 발명에 따른 섀도우 프레임과 기판의 상대적인 위치관계를 개략적으로 나타낸 사시도
도 5는 도 3에서 기판이 섀도우 프레임에 접촉된 상태를 나타낸 개략적인 측단면도
도 6은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 화학기상증착장치의 개략적인 측단면도
도 7 및 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 감지유닛의 개략적인 작동상태도
도 9 및 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 감지유닛의 작동상태도
도 11 및 도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 감지유닛의 작동상태도

Claims (10)

  1. 소스가스를 공급하기 위한 샤워헤드 및 기판이 지지되는 서셉터가 설치되고, 기판에 박막을 형성시키기 위한 공정이 이루어지는 챔버;
    기판의 제1영역을 소스가스로부터 차단하기 위한 차단면을 포함하고, 상기 챔버에 설치되는 섀도우 프레임;
    상기 서셉터에 지지된 기판이 상기 차단면에 접촉되거나 상기 차단면으로부터 이격되게 상기 서셉터를 승하강시키는 승하강기구를 포함하고,
    상기 승하강기구는 상기 서셉터에 지지된 기판의 두께에 따라 상기 서셉터를 상승시키는 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 차단면에 기판이 접촉되는지를 감지하기 위한 감지유닛을 포함하고,
    상기 승하강기구는 상기 감지유닛이 획득한 정보에 기초하여 상기 서셉터를 상승시키는 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 감지유닛은 상기 섀도우 프레임에 이동 가능하게 결합되는 이동부재, 상기 이동부재에 결합되는 제1도전체, 및 상기 섀도우 프레임에 결합되는 제2도전체를 포함하고;
    상기 승하강기구는 상기 제1도전체가 상기 제2도전체에 가까워지거나 멀어지게 상기 서셉터를 승하강시키되, 상기 제1도전체가 상기 제2도전체에 접촉되면 상기 서셉터를 정지시키는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 감지유닛은 상기 섀도우 프레임에 이동 가능하게 결합되는 이동부재, 및 상기 섀도우 프레임에 결합되고 상기 이동부재에 형성된 감지공을 감지하기 위한 광센서를 포함하고;
    상기 승하강기구는 상기 광센서가 획득한 정보에 기초하여 상기 서셉터를 상승시키는 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 이동부재는 상기 서셉터에 지지된 기판에 접촉되기 위한 접촉면을 포함하되, 상기 접촉면이 상기 섀도우 프레임으로부터 돌출되는 제1위치 및 상기 접촉면이 상기 섀도우 프레임에 삽입되는 제2위치 간에 이동되고;
    상기 이동부재가 상기 제2위치에 위치될 때, 상기 차단면에는 상기 서셉터에 지지된 기판이 접촉되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 감지유닛은 상기 섀도우 프레임에 이동 가능하게 결합되는 이동부재를 포함하되, 상기 이동부재는 상기 섀도우 프레임으로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 돌출부재를 포함하고;
    상기 섀도우 프레임은 상기 돌출부재가 삽입되는 안내홈 및 상기 돌출부재를 지지하기 위한 지지부재를 포함하며,
    상기 돌출부재는 상기 안내홈을 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 감지유닛은 상기 돌출부재에 결합되는 제1도전체 및 상기 안내홈에 위치되게 상기 섀도우 프레임에 결합되는 제2도전체를 포함하고;
    상기 승하강기구는 상기 제1도전체가 상기 제2도전체에 가까워지거나 멀어지게 상기 서셉터를 승하강시키되, 상기 제1도전체가 상기 제2도전체에 접촉되면 상기 서셉터를 정지시키는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 감지유닛은 상기 섀도우 프레임에 이동 가능하게 결합되는 이동부재를 포함하고;
    상기 이동부재는 돌출부재를 포함하되, 상기 돌출부재와 상기 접촉면 사이에 상기 섀도우 프레임이 위치되게 상기 섀도우 프레임에 결합되고;
    상기 섀도우 프레임은 상기 이동부재가 이동 가능하게 결합되는 안내공을 포 함하며;
    상기 돌출부재는 상기 안내공보다 큰 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 이동부재는 상기 서셉터가 승하강되는 방향에 수직한 방향으로 돌출되게 형성되는 돌기를 포함하고;
    상기 섀도우 프레임은 상기 돌기가 삽입되기 위한 삽입홈을 포함하며;
    상기 감지유닛은 상기 돌기에 결합되는 제1도전체 및 상기 삽입홈에 위치되게 상기 섀도우 프레임에 결합되는 제2도전체를 포함하고;
    상기 승하강기구는 상기 제1도전체가 상기 제2도전체에 가까워지거나 멀어지게 상기 서셉터를 승하강시키되, 상기 제1도전체가 상기 제2도전체에 접촉되면 상기 서셉터를 정지시키는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 감지유닛은 상기 차단면에 결합되는 압력센서를 포함하고;
    상기 승하강기구는 상기 압력센서가 획득한 정보에 기초하여 상기 서셉터를 상승시키는 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치.
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