KR20110052439A - 무화 장치 - Google Patents

Abstract

표면 탄성파의 진행면에서 무화에 적합한 막형상으로 액체를 공급하는 무화 장치를 제공한다.
압전 재료로 이루어지는 기체(1)와, 이 기체의 표면에 배치된 표면 탄성파 발생부와, 표면 탄성파 발생부와 나란히 배치되어 기체의 표면에 액체를 공급하는 보수 부재와, 보수 부재와 접속된 액체 저장부에 의해 무화 장치는 구성되며, 표면 탄성파 발생부에 의해 기체의 표면에 발생한 표면 탄성파에 의해 보수 부재로부터 공급되는 액체가 무화된다. 이것에 의해 액체의 무화면을 상면에 한정하지 않고, 옆 혹은 하방향 등 자유롭게 설정이 가능해진다. 또, 보수 부재에 의해 액체가 기체의 표면에 공급되기 때문에, 기체의 방향에 상관없이 적당량의 액체를 공급할 수 있다.

Description

무화 장치{MISTING DEVICE}

본 발명은 표면 탄성파를 이용하여 액체를 무화(霧化)하는 무화 장치에 관한 것이다.

종래부터, 표면 탄성파를 전파하는 압전 재료를 이용하여 소정의 액체를 무화하는 무화 장치가 개발되어 있다. 이 무화 장치에 의한 무화 프로세스에 있어서는 안정적인 무화를 행하기 위해서 액체를 막형상으로 얇게 펼쳐서 액체를 안정적으로 공급하는 것이 중요하다. 이 때문에, 예를 들어 표면 탄성파의 전파면에 미세한 간극을 가지는 부품을 설치하고, 이 간극에 액체를 공급함으로써 무화시키는 경우도 있다.

그러나, 액체를 막형상으로 공급하기 위해서 미세한 간극을 설치할 필요가 있기 때문에, 치밀한 정밀도가 요구되는 부품이나 세공이 필요하며, 무화면의 배치 방향에 따라서는 액체를 안정적으로 공급할 수 없다는 문제도 있다.

한편, 미세한 간극을 다수의 관통공으로 한 다공 박판에 의한 무화 장치도 존재한다. 이러한 무화 장치의 예로서 특허문헌 1을 나타낸다. 이 기술에 의하면, 표면 탄성파를 발생하는 진동자(11)와, 다수의 관통공을 가지는 다공 박판(12a)을 구비하고, 표면 탄성파의 진동은 미소 간극부내의 액을 통하여 다공 박판(12a)에 전달되고, 이 박판의 구멍내에 침투한 미량의 액은 진동에 의해 무화되어 외부로 분무되는 것이 기재되어 있다.

WO97/05960호

그러나 상기 서술한 특허문헌 1에 의하면 안정적으로 액체를 다공 박판에 의해 유지할 수 있지만, 이하에 나타내는 과제가 존재하고 있었다. 즉 특허문헌 1에 기재된 기술에 있어서는, 도 4에 도시한 바와 같이 액 용기에 다공 박판의 일부를 직접 담구어 액체를 공급하고 있기 때문에, 무화된 액체(이하, 「미스트」라고도 함)의 분무 방향이 액 용기의 배치에 의해 제한되어 버린다.

후술하는 바와 같이 미스트에는 다양한 기능성 재료를 함유시킬 수도 있고, 이러한 미스트의 이용 형태는 다방면에 걸치며, 예를 들어 무화 장치를 설치하는 방의 형태에 따라서는 소정 시간마다 그 분무 방향을 변화시킬 필요가 생기기도 한다. 이러한 경우, 미스트의 분무 방향에 따라서는 상기 기술을 적용하는 것은 곤란하며, 또한 미스트의 분무 방향을 도중에 다양한 방향으로 전환하고자 하는 경우 등에도 적절하게 대응할 수 없을 우려가 있다.

또, 상기 특허문헌 1에 있어서는, 애초부터 무화 장치의 응용으로서 미스트에 어떠한 기능적인 성분을 함유시키는 것에 대해서도 특별히 기재는 없다.

본 발명은 이러한 종래의 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 간단한 구조로, 소자의 무화면을 자유롭게 배치하면서, 안정적인 액 공급을 행할 수 있는 무화 장치를 제공하는 것이다.

또, 본 발명의 다른 목적으로서, 무화시에 특정의 기능을 가지는 성분을 함께 비산시킬 수 있도록 하는 것이다.

또한, 종래의 무화 장치는 무화부, 또는 압전 소자 에지에 있어서, 표면 탄성파에 의해 발생한 에너지의 손실 등에 의해 발열이 생길 가능성이 있었지만, 본 발명에서는 이들 문제를 해결하는 것도 목적으로 한다.

(1) 본 발명의 무화 장치는 평면형상의 표면을 가지는 압전 재료로 이루어지는 기체(基體)와, 상기 기체의 표면에 배치된 표면 탄성파 발생부와, 상기 표면 탄성파 발생부와 나란히 상기 기체의 표면에 배치되고, 당해 기체의 표면에 액체를 공급하는 다공질의 보수(保水) 부재와, 상기 보수 부재와 직접 또는 간접적으로 접속되고, 당해 보수 부재에 상기 액체를 공급하는 액체 저장부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

(2) 또한 상기 (1)에 기재된 무화 장치에 있어서, 상기 보수 부재는 상기 기체의 표면에 있어서 복수개 병렬하여 배치되어 있는 것이 바람직하다.

(3) 또 상기 (1) 또는 (2)에 기재된 무화 장치에 있어서, 상기 기체의 표면 중, 상기 보수 부재로부터 상기 액체가 공급되는 부위에는 친액 처리가 행해져 있는 것이 바람직하다.

(4) 또 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 무화 장치에 있어서, 상기 다공질의 보수 부재에는 물에 용해 가능 또는 콜로이드 상태로 분산 가능한 기능성 성분이 미리 함침되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 액체를 흡수시킬 수 있는 보수 부재를 사용하여 이것에 액체를 흡수시켜 기체의 표면에 접촉하여 배치시킴으로써, 액체의 무화면을 자유롭게 설정하는 것이 가능해진다.

또, 액체를 보수 부재에 유지시켜 둘 수 있기 때문에, 기체의 방향에 상관없이, 종방향이나 하방향으로 매우 미세한 미스트를 무화할 수 있다.

또한, 미스트의 분무 방향을 도중에 다양한 방향으로 전환하고자 하는 경우 등에도 적절하게 대응할 수 있다.

도 1은 본 발명에 있어서의 무화 장치의 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명의 무화 장치에 적용되는 보수 부재의 단면형상을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 무화 장치에 따른 제1 변형예를 설명하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 무화 장치에 따른 제2 변형예를 설명하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 무화 장치에 따른 제3 변형예를 설명하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 무화 장치에 따른 제4 변형예를 설명하는 도면이다.
도 7은 본 발명의 무화 장치에 따른 제4 변형예의 발열 상태 측정 결과이다.
도 8은 본 발명의 무화 장치에 따른 제5 변형예를 설명하는 도면이다.

본 발명의 적합한 실시형태에서는, 압전 재료로 이루어지는 기체와, 이 기체의 표면에 배치된 표면 탄성파 발생부와, 표면 탄성파 발생부와 나란히 배치되어 기체의 표면에 액체를 공급하는 보수 부재와, 보수 부재와 접속된 액체 저장부에 의해 무화 장치는 구성되며, 표면 탄성파 발생부에 의해 기체의 표면에 발생한 표면 탄성파에 의해 보수 부재로부터 공급되는 액체가 무화된다.

무화되는 「액체」는 목적에 따라 여러가지를 들 수 있고, 특별히 제한은 없다. 예를 들어 증류수나, 후술하는 기능성 성분이 미리 함유된 용액 등을 들 수 있다.

「기체」는 적어도 일면이 평면형상으로 되어 있는 압전 재료 등으로 이루어지는 부재이며, 적합하게는 직사각형의 표면을 구비한 평판재가 사용된다. 또, 표면형상은 표면 탄성파의 전파 방향에 교차하는 2변이 표면 탄성파에 직교하지 않도록 10 내지 30°정도의 각도를 둔 평행사변형으로 하는 평판재여도 된다. 평행사변형으로 함으로써 탄성 표면파가 기체의 한쪽 단(에지)에 도달했을 때에 반사 방향을 바꿈과 아울러 표면 탄성파의 도달 시간차를 만들 수 있고, 에너지의 손실 등에 의한 발열을 억제할 수 있다.

또한, 압전 재료의 재질은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 니오브산리튬(LiNbO₃)이나 탄탈산리튬(LiTaO₃), BaTiO₃계 세라믹스나 피에조(PZT), 폴리불화비닐리덴(PVDF) 등의 각종 공지 재료가 적용 가능하다.

또, 기체의 표면 중, 보수 부재로부터 액체가 공급되는 부위에는 친액 처리가 행해져 있는 것이 또한 바람직하다. 이것에 의하면, 보수 부재에 의해 공급한 액체를 기체의 표면에서 보다 얇게 배어들기 쉽게 할 수 있고, 보다 안정적인 무화를 행할 수 있다. 친액 처리로서는 불화탄소 수지계 코팅이나, 유리섬유(피막)계 코팅 등 공지된 친액 코팅을 적용할 수 있다.

「표면 탄성파 발생부」는 기체의 표면에 배치되어 이 기체의 표면을 전파하는 표면 탄성파를 발생시키는 부재이며, 압전 재료 등으로 이루어지는 기체에 표면 탄성파를 발생시키는 기능을 구비한다. 예를 들어 고주파 전원과 이 고주파 전원에 접속되는 빗살 전극 등의 전극이 예시되는데, 후술하는 보수 부재를 진동시키는 기능을 구비한 것이면, 다른 공지된 SAW 소자(Surface Acoustic Wave 소자)의 구성을 적용해도 된다.

「보수 부재」는 흡수성(吸水性) 및 보수성을 가지는 다공질의 재료로 구성되는 부재이며, 그 소재로서는 세라믹스 재료, 합성 수지 재료, 금속 재료 등의 다공체 또는 섬유 성형체의 1종류 또는 2종류 이상을 복합화하여 형성된 것을 들 수 있다. 또, 그 재질이나 단면적을 바꿈으로써 액체의 공급량을 바꿀 수 있고, 이것에 의해 무화량을 컨트롤할 수도 있다.

보수 부재는 예를 들어 기체의 표면의 어느 하나의 개소 또는 표면 탄성파의 진행 방향에 교차하는 소자 한쪽 단(에지)에 접촉시켜 배치된다. 또, 보수 부재는 표면 탄성파의 진행 방향에 대해서 직교하지 않도록 10 내지 30°정도의 각도를 두고 배치하는 것도 가능하다. 이 경우, 무화의 타이밍에 시간차를 만들 수 있고, 무화부 또는 압전 소자 에지에 있어서 에너지의 손실 등에 의한 발열을 억제할 수 있기 때문에 바람직하다.

다공체나 섬유 성형체의 보수 부재를 구성하는 세라믹스 재료로서는 실리카, 알루미나, 마그네시아, 티타니아, 지르코니아와 같은 단일 산화물, 또는 멀라이트, 제올라이트, 벤토나이트, 세피올라이트, 아타팔자이트, 실리마나이트, 카올린, 세리사이트, 규조토, 장석, 와목 점토, 규산염 화합물(퍼라이트, 버미큘라이트, 세리사이트 등)을 들 수 있고, 천연 섬유 재료로서는 펄프섬유, 면, 울섬유, 마섬유 등을 들 수 있으며, 합성 수지 재료로서는 폴리에스테르, 나일론이나 레이온, 우레탄(폴리우레탄을 포함함), 아크릴, 폴리프로필렌 등을 들 수 있고, 금속 재료로서는 스테인레스, 구리, 티탄, 주석, 플라티나, 금, 은 등을 들 수 있다.

다공체나 섬유 성형체의 형상 외에도 벌집 구조나 콜게이트 구조를 들 수 있고, 파이프형상, 시트형상, 플리츠형상 등도 들 수 있다. 필요 조건은 우수한 흡수력(吸水力) 및 보수력을 가지는 것이다.

또한, 보수 부재의 형상은 그 단면이 원형 또는 반원형, 또는 사각형, 삼각형 등의 다각형이 생각되며, 특별히 제한되지는 않는다. 바람직하게는 그 단면이 원형인 원기둥형상의 부재이면 된다.

또, 보수 부재는 기체의 표면에 있어서 복수개 병렬하여 배치되어 있으면 더욱 좋다. 예를 들어 보수 부재를 표면 탄성파의 전파 방향에 대하여 2개 늘어놓아 배치시킴으로써, 일방의 보수 부재로부터 기체의 표면에 공급된 액체 중 무화할 수 없었던 액체를 타방의 보수 부재가 받아들여, 다시 무화용의 액체로서 이용할 수 있다.

또, 보수 부재에 물에 용해할 수 있는 기능성 성분이나 콜로이드 상태로 분산할 수 있는 기능성 성분을 미리 함침시켜 놓으면 더욱 좋다. 후술하는 액체 저장부에 미리 이들 기능성 성분을 함유시켜도 되지만, 이것에 의해 함침시킨 재료의 성분을 포함하는 미스트로서 무화할 수 있는 것에 더해, 공급하는 액체에는 다양한 성분을 포함시킬 필요가 없기 때문에 보수 부재만을 바꿈으로써 비산시키는 성분을 용이하게 바꿀 수 있다. 또, 보수 부재에 부가하는 기능성 성분의 양을 가변시킴으로써, 무화할 때에 비산하는 기능성 성분의 양을 컨트롤할 수 있다.

또한, 액체에 미리 함유시키거나, 또는 보수 부재에 함침시키는 기능성 성분으로서는 각종 비타민, 아미노산, 다과 추출물(카테킨, 탄닌, 사포닌, 테아닌, 카페인 등), 히알루론산, 콜라겐, 아로마 정유, 커피두, 다과, 고추냉이, 히노키티올, 키틴, 키토산, 프로폴리스 등과 같은 유기계 가용성 성분을 들 수 있고, 그 밖에 무기물(무기계 가용성 성분)에서는 은 또는 식염이, 콜로이드 상태로 분산할 수 있는 기능성 성분으로서는 백금 나노입자 등을 들 수 있다.

여기서, 「기능성」은 생활 환경을 쾌적하게 하여, 건강하게 개선할 수 있는 성질을 말하고, 소취성(탈취, 분해 등), 항미생물성(항균성, 살균성, 정균성, 항곰팡이성, 항바이러스성 등), 릴랙세이션성(아로마 테라피성), 보습성, 항산화성, 유해 소생물 기피성, 정전기 억제성, 방진성 등 중, 적어도 1종류의 성질을 가지는 것을 의미한다.

「액체 저장부」는 무화시키는 액체를 수용함과 아울러, 모세관 현상 등을 이용하여, 상시, 보수 부재에 액체를 직접 또는 간접적으로 공급하는 수용 용기로 구성된다. 또한 수용 용기내의 바닥부에 액량 센서를 부착 설치해도 된다. 이것에 의해, 예를 들어 액량 센서는 수용 용기내의 액체가 없어지면 신호를 발생시켜 액체의 보충을 재촉하도록 할 수 있다.

또한, 액체 저장부와 보수 부재는 직접 접속되어 있어도 되고, 수액(輸液) 부재를 통하여 간접적으로 접속되어 있어도 된다.

「수액부」는 보수 부재나 액체 저장부와 마찬가지로 모세관 현상에 의한 액체의 흡수, 수액이 가능한 재료로 구성되어 있다. 그리고 보수 부재와 마찬가지로 섬유, 수지, 세라믹스 등으로 이루어지는 부품으로 구성해도 되고, 그 재질이나 단면적을 바꿈으로써 액의 공급량을 바꿀 수 있다.

또한, 수액부나 액체 저장부의 내부에도 상기 서술한 물에 용해할 수 있는 기능성 성분이나 콜로이드 상태로 분산할 수 있는 기능성 성분을 미리 함침시켜 놓아도 된다. 이것에 의해 기능성 성분을 고농도로, 또는 비교적 장기간에 걸쳐 기능성 성분을 산포할 수 있다.

(실시예)

이하에 본 발명을 적용한 무화 장치에 따른 실시예에 대해서, 도면을 참조하여 상세히 서술한다. 도 1은 본 발명에 있어서의 무화 장치의 전체 구성도이며, 도 2는 무화 장치에 적용되는 보수 부재의 단면형상을 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 무화 장치에 따른 제1 변형예를 설명하는 도면이며, 도 4는 본 발명의 무화 장치에 따른 제2 변형예를 설명하는 도면이며, 도 5는 본 발명의 무화 장치에 따른 제3 변형예를 설명하는 도면이다.

도 1에 도시한 무화 장치에 있어서는, 압전 재료로 이루어지는 기체(1)의 표면에는 표면 탄성파 발생 수단으로서의 빗살 전극(2)이 배치되어 있다. 빗살 전극(2)은 고주파 전원(21)에 배선되고 있고, 조작자가 도시하지 않는 입력 수단을 조작함으로써 이 고주파 전원(21)으로부터 빗살 전극(2)에 전류가 흘러 빗살 전극간에 소정의 전압이 생기고, 이것에 의해 기체(1)가 미소 진동한다. 또한, 본 실시예에 있어서는, 기체(1)는 LiNbO₃로 구성되어 있다.

또, 빗살 전극(2)과 나란히 보수 부재(3)가 기체(1)의 표면과 접촉하도록 배치되어 있다. 원기둥형상의 보수 부재(3)에 있어서의 일방의 단부는 수액 부재(4)와 접속되고, 당해 수액 부재(4)를 통하여 간접적으로 액체 저장부(5)로부터 액체의 공급을 받는다.

본 실시예에 있어서 수액 부재(4)는 세라믹스 재료로 구성되어 있고, 보수 부재(3)는 다공질의 섬유로 구성되어 있다. 또 액체 저장부(5)에는 증류수가 저장되어 있고, 모세혈관 현상 등에 의해, 상시, 보수 부재(3)에 증류수가 공급된다. 또한 보수 부재(3)에는 미리 기능성 성분이 함침되어 있다.

기체(1)의 표면 중, 보수 부재(3)가 접촉하는 영역을 중심으로 소정의 범위에서 친액 영역(7)이 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 친액 처리로서 폴리테트라플루오로에틸렌이 친액 영역(7)에 코팅되어 있다. 이와 같이 기체(1)의 표면 중 보수 부재(3)가 접촉하는 주변이 친액 처리되어 있기 때문에, 보수 부재(3)로부터 공급된 액체가 보다 얇게 퍼진다. 그 때문에, 보다 효율적으로 액체를 보수 부재(3)로부터 기체(1)의 표면에 공급할 수 있다. 한편, 보수 부재(3)에 계면활성제를 포함시키거나 하여 친액성을 갖게 하는 것도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

도 2에 보수 부재(3)의 단면형상의 예를 도시한다. 본 실시예에서는 단면이 원인 보수 부재(3)를 사용하고 있지만, 도면에 도시하는 바와 같이 단면이 사각, 삼각 또는 반원형상을 사용해도 된다.

도 3에 본 실시예의 제1 변형예를 도시한다. 본 변형예에서는 보수 부재가 복수 배치되어 있고, 도시하는 바와 같이, 보수 부품(3)보다 더욱 표면 탄성파의 진행 방향에는 제2 보수 부품(6)이 보수 부재(3)와 나란히 배치되어 있다. 또, 제2 보수 부재(6)는 수액 부재(4)를 통하여 액체 저장부(5)와 접속되어 있다. 제2 보수 부재(6)는 기체(1)의 표면에 공급되는 액체 중 보수 부품(3)에서 무화할 수 없었던 액체를 흡수하는 기능을 구비하고 있다. 이 제2 보수 부재(6)에서 흡수된 액체는 무화에 사용하는 액체로서 재사용할 수 있다.

도 4에 본 실시예의 제2 변형예를 도시한다. 본 변형예에 있어서는, 제2 보수 부재(6)는 보수 부재(3)와 교차하는 방향을 따라 배치되어 있다. 제1 변형예와 마찬가지로, 제2 보수 부재(6)는 기체(1)의 표면에 공급되는 액체 중 보수 부품(3)에서 무화할 수 없었던 액체를 흡수하는 기능을 구비하고 있다. 그리고 이 제2 보수 부재(6)에 의해 흡수된 액체는 무화에 사용하는 액체로서 재사용할 수 있다.

도 5에 본 실시예의 제3 변형예를 도시한다. 본 변형예에 있어서는, 기체(1) 및 보수 부재(3)는 도시하지 않는 공지된 회전 기구 및 보조 부재 등으로 회전 가능하게 고정되어, PC 등의 회전 제어 수단에 의한 제어에 의해 회전 제어된다. 또 수액 부재(4)가 개재하는 경우에는, 당해 수액 부재(4)는 신축 가능한 구조로 되어 있다. 또한 수동으로 회전 기구를 조작하는 경우는 회전 제어 수단(9)는 생략해도 되고, 본 변형예에 한정되지 않고 다른 공지된 회전 제어 기구를 사용해도 된다.

이것에 의해 보수 부재(3)와 기체(1)로 구성되는 무화면을 이동시키는 것이 가능하게 되어, 미스트의 분무 방향을 자유롭게 설정할 수 있다.

도 6에 본 실시예의 제4 변형예를 도시한다. 도 6(a)에 도시한 본 변형예에 있어서는, 기체(1)의 한쪽 단(에지)이 탄성 표면파의 전파 방향과 직교하지 않도록, 기체(1)를 평행사변형으로 하고 있는 것을 특징으로 한다.

이 경우, 탄성 표면파는 도 6(b)에 도시한 화살표 방향으로 진행하기 때문에, 기체의 한쪽 단(에지)에 도달했을 때에 반사 방향이 변화되어, 표면 탄성파의 도달 시간차를 만들 수 있고, 에너지의 손실 등에 의한 발열을 억제할 수 있다.

또한, 이 변형예에 있어서의 발열 상태를 측정한 결과를 도 7에 도시한다.

도 7에 도시한 바와 같이, 기체(1)의 형상이 직사각형인 것(a)과, 한쪽 단(에지)을 비스듬히 커트한 것(b)의 2종류를 준비하고, 물 공급이 없는 조건에 있어서 무화를 행하여, 압전 소자 부분의 온도 분포를 서모그래피에 의해 확인했다. 또한, 인가 전압은 45Vp-p로 하고, 디바이스 표면(SAW 소자 노출측)측으로부터 측정을 행했다.

그 결과, 이하와 같은 점을 확인할 수 있었다.

·소자를 비스듬히 커트함으로써 발열의 억제, 분산의 효과가 보였다.

·기체(1)로서 알루미늄 기판을 사용한 경우의 방열 효과를 확인할 수 있었다.

도 8에 본 실시예의 제5 변형예를 도시한다. 도 8에 도시한 변형예에서는 보수 부재(3)가 표면 탄성파의 진행 방향에 대해서 직교하지 않도록 10 내지 30°정도의 각도를 두고 배치되는 것을 특징으로 하고 있다.

이 경우, 표면 탄성파가 빨리 도달한 쪽부터 무화되고, 표면 탄성파의 도달이 늦은 부분은 늦게 무화되기 때문에, 무화의 타이밍에 시간차를 만들 수 있고, 무화부 또는 압전 소자 에지에 있어서 에너지의 손실 등에 의한 발열을 억제할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예 및 변형예에 의하면, 액체의 무화면을 상면에 한정하지 않고, 옆 또는 하방향 등 자유롭게 설정이 가능해진다. 또, 보수 부재에 의해 액체가 기체의 표면에 공급되기 때문에, 기체의 방향에 상관없이, 적당량의 액체를 공급할 수 있다. 또한, 미스트의 분무 방향을 도중에 다양한 방향으로 전환하고자 하는 경우 등에도 적절하게 대응할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기에 나타내는 실시예 및 변형예에 한정되지 않으며, 추가적인 변형이 가능한 것은 말할 필요도 없다.

본 발명의 무화 장치는 액체를 흡수시킬 수 있는 보수 부재를 사용하여 이것에 액체를 흡수시켜 기체의 표면에 접촉하여 배치시킴으로써, 액체의 무화면을 자유롭게 설정하는 것이 가능해지고, 미스트 발생 장치, 공기 정화 장치, 에어컨 등의 산업상의 기기에 적용할 수 있어, 산업상의 이용가능성이 매우 높다.

1…기체
2…빗살 전극(표면 탄성파 발생부)
3…보수 부재
4…수액 부재
5…액체 저장부
6…제2 보수 부재
7…친액 영역
8…회전 기구
9…회전 제어 수단
21…고주파 전원

Claims (4)

1. 평면형상의 표면을 가지는 압전 재료로 이루어지는 기체(基體)와,
   상기 기체의 표면에 배치된 표면 탄성파 발생부와,
   상기 표면 탄성파 발생부와 나란히 상기 기체의 표면에 배치되고, 당해 기체의 표면에 액체를 공급하는 다공질의 보수(保水) 부재와,
   상기 보수 부재와 직접 또는 간접적으로 접속되고, 당해 보수 부재에 상기 액체를 공급하는 액체 저장부를 구비하는 것을 특징으로 하는 무화 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 보수 부재는, 상기 기체의 표면에 있어서 복수개 병렬하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 무화 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 기체의 표면 중, 상기 보수 부재로부터 상기 액체가 공급되는 부위에는 친액 처리가 시행되어 있는 것을 특징으로 하는 무화 장치.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질의 보수 부재에는, 물에 용해 가능 또는 콜로이드 상태로 분산 가능한 기능성 성분이 미리 함침되어 있는 것을 특징으로 하는 무화 장치.

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