KR20110051018A - A carrier member for manufacturing a substrate and a method of manufacturing a substrate using the same - Google Patents

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KR20110051018A KR1020090107660A KR20090107660A KR20110051018A KR 20110051018 A KR20110051018 A KR 20110051018A KR 1020090107660 A KR1020090107660 A KR 1020090107660A KR 20090107660 A KR20090107660 A KR 20090107660A KR 20110051018 A KR20110051018 A KR 20110051018A
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Abstract

PURPOSE: A carrier member for manufacturing a substrate and a method for manufacturing the substrate using the same are provided to prevent the generation of wrinkles on insulating material which is laminated on a metal layer. CONSTITUTION: A carrier member(100) for manufacturing a substrate comprises a base substrate(110), an insulating material(120), a release film(130), and a metal layer(140). The insulating material fixes the metal layer. The release film is mounted in the insulating material in order to separate a build up layer from the carrier member. The release film is formed using a polymer film. The metal layer is formed with a metallic material which is easily etched.

Description

기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판의 제조방법{A CARRIER MEMBER FOR MANUFACTURING A SUBSTRATE AND A METHOD OF MANUFACTURING A SUBSTRATE USING THE SAME}Carrier member for substrate manufacturing and substrate manufacturing method using same {A CARRIER MEMBER FOR MANUFACTURING A SUBSTRATE AND A METHOD OF MANUFACTURING A SUBSTRATE USING THE SAME}

본 발명은 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier member for manufacturing a substrate and a method of manufacturing a substrate using the same.

통상 인쇄회로기판은 각종 열경화성 합성수지로 이루어진 보드의 일면 또는 양면에 동박으로 배선을 형성하여 보드 상에 IC(integrated circuit) 또는 전자부품들을 배치 고정하고 이들 간의 전기적 배선을 구현한 후 절연체로 코팅한 것이다.In general, a printed circuit board is formed of copper foil on one or both sides of a board made of various thermosetting synthetic resins to arrange and fix integrated circuits (ICs) or electronic components on the board, and to implement electrical wiring therebetween and then coated with an insulator. .

최근, 전자산업의 발달로 인하여 전자부품의 고기능화, 경박단소화에 대한 요구가 급증하고 있고, 이에 따라 이러한 전자부품이 탑재되는 인쇄회로기판 또한 고밀도 배선화 및 박판화가 요구되고 있다.Recently, due to the development of the electronics industry, the demand for high functionalization and light weight reduction of electronic components is rapidly increasing. Accordingly, printed circuit boards on which such electronic components are mounted also require high density wiring and thinning.

특히, 인쇄회로기판의 박판화에 대응하기 위해서 코어기판을 제거하여 전체 적인 두께를 줄이고, 신호처리시간을 단축할 수 있는 코어리스 기판이 주목받고 있다. 그런데, 코어리스 기판의 경우 코어기판을 사용하지 않기 때문에 제조공정 중에 지지체 기능을 수행할 수 있는 캐리어 부재가 필요하다.In particular, in order to cope with the thinning of printed circuit boards, a coreless substrate that can reduce the overall thickness and shorten the signal processing time by removing the core substrate has been attracting attention. However, in the case of the coreless substrate, since the core substrate is not used, a carrier member capable of performing a support function during the manufacturing process is required.

도 1a 내지 도 1d는 종래의 캐리어 부재를 이용하여 기판을 제조하는 방식을 공정순서대로 도시하는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 제1 금속층과 제2 금속층의 요부확대도이며, 이를 참조하여 종래기술의 문제점을 살펴본다.1A to 1D are diagrams illustrating a method of manufacturing a substrate using a conventional carrier member in a process sequence, and FIG. 2 is an enlarged view of main parts of the first metal layer and the second metal layer shown in FIG. Look at the problems of the prior art.

우선, 도 1a에 도시된 바와 같이, 캐리어 부재(10)를 준비하는 단계이다. 캐리어 부재(10)는 동박적층판(11; CCL)을 중심에 두고 양면에 접착필름(12), 제1 금속층(13), 제2 금속층(14) 순으로 적층하여 형성한다. 이때, 프레스로 가열 및 가압을 가해줌으로써 접착필름(12)의 테두리는 동박적층판(11)과 제2 금속층(14)을 접합시킨다. 또한, 제1 금속층(13)과 제2 금속층(14)은 서로 진공 흡착된다.First, as shown in FIG. 1A, the carrier member 10 is prepared. The carrier member 10 is formed by stacking the adhesive film 12, the first metal layer 13, and the second metal layer 14 on both surfaces with the copper clad laminate 11 as the center. At this time, the edge of the adhesive film 12 bonds the copper-clad laminate 11 to the second metal layer 14 by applying heating and pressurization with a press. In addition, the first metal layer 13 and the second metal layer 14 are vacuum-adsorbed to each other.

다음, 도 1b에 도시된 바와 같이, 캐리어 부재(10)의 양면에 빌드업층(15)을 형성하는 단계이다. 이때, 빌드업층(15)은 일반적인 방식으로 형성되며 최외각층에는 빌드업층(15)의 휨을 방지하기 위한 별도의 제3 금속층(16)을 적층한다.Next, as shown in FIG. 1B, the build-up layer 15 is formed on both surfaces of the carrier member 10. In this case, the buildup layer 15 is formed in a general manner, and a separate third metal layer 16 is laminated on the outermost layer to prevent bending of the buildup layer 15.

다음, 도 1c에 도시된 바와 같이, 빌드업층(15)을 캐리어 부재(10)로부터 분리하는 단계이다. 이때, 동박적층판(11)과 제2 금속층(14)에 접합한 접착필름(12)의 테두리를 라우팅 공정을 통해서 제거하여 캐리어 부재(10)로부터 빌드업층(15)을 분리한다.Next, as shown in FIG. 1C, the buildup layer 15 is separated from the carrier member 10. At this time, the edge of the adhesive film 12 bonded to the copper-clad laminate 11 and the second metal layer 14 is removed through a routing process to separate the buildup layer 15 from the carrier member 10.

다음, 도 1d에 도시된 바와 같이, 빌드업층(15)의 최외각층에 형성된 제3 금 속층(16)을 제거하는 단계이다. 또한, 이후에도 최외각의 절연층에 비아를 포함한 회로층 및 회로층을 외부로부터 절연시키는 솔더레지스트층을 형성하여 인쇄회로기판을 완성할 수 있다.Next, as shown in FIG. 1D, the third metal layer 16 formed on the outermost layer of the buildup layer 15 is removed. In addition, a printed circuit board may be completed by forming a circuit layer including vias and a solder resist layer that insulates the circuit layer from the outside in the outermost insulating layer.

전술한 종래의 기판의 제조방법의 경우 제1 금속층(13) 및 제2 금속층(14)으로 통상 구리포일을 이용한다. 그런데, 구리포일의 경우 표면 조도를 높은 M 면(matte 면)과 표면 조도가 낮은 S 면(shiny 면)을 갖는다. 따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, M 면에 의해서 제1 금속층(13)과 제2 금속층(14) 사이에는 미세한 공간(S)이 생겨 완벽한 진공을 유지하기 어렵다. 결국, 제2 금속층(14)에 빌드업층(15)의 절연재를 적층했을 때 주름이 발생할 수 있는 문제점이 있다.In the conventional method for manufacturing a substrate, copper foil is usually used as the first metal layer 13 and the second metal layer 14. However, the copper foil has a high M surface (matte surface) and a low surface roughness S surface (shiny surface). Therefore, as shown in FIG. 2, a fine space S is formed between the first metal layer 13 and the second metal layer 14 by the M surface, and thus it is difficult to maintain a perfect vacuum. As a result, when the insulating material of the buildup layer 15 is laminated on the second metal layer 14, wrinkles may occur.

또한, 접착필름(12)의 테두리를 라우팅 공정을 통해서 제거하여 캐리어 부재(10)로부터 빌드업층(15)을 분리하면 제2 금속층(14)과 캐리어 부재(10)의 절연재 사이의 물성 차이로 인해서 휨(Warpage)이 심하게 발생할 수 있는 문제점이 있다.In addition, when the edge of the adhesive film 12 is removed through a routing process to separate the build-up layer 15 from the carrier member 10, due to the difference in physical properties between the second metal layer 14 and the insulating material of the carrier member 10. There is a problem that warpage may occur severely.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 이형필름을 채용하여 금속층과 완벽한 진공을 유지할 수 있고, 이형필름의 측면 모서리나 테두리를 가공하여 라우팅 공정시 발생하는 휨(Warpage)을 방지할 수 있는 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to employ a release film to maintain a complete vacuum with the metal layer, the side edges or edges of the release film generated during the routing process An object of the present invention is to provide a carrier member for manufacturing a substrate capable of preventing warpage and a method of manufacturing a substrate using the same.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재는 베이스 기판의 일면 또는 양면에 적층된 절연재, 상기 절연재보다 작은 면적으로 형성되어 상기 절연재의 일면에 매립된 이형필름 및 상기 이형필름의 일면에 적층되어 테두리가 상기 절연재로 접착된 금속층을 포함하여 구성된다.Carrier member for substrate manufacturing according to a preferred embodiment of the present invention is formed on an insulating material laminated on one or both sides of the base substrate, a smaller area than the insulating material buried in one surface of the insulating material and laminated on one surface of the release film The edge comprises a metal layer bonded with the insulating material.

여기서, 상기 이형필름의 측면 모서리는 소정 패턴으로 제거되고, 제거된 상기 소정 패턴을 통해서 상기 절연재와 상기 금속층이 접착하는 것을 특징으로 한다.The side edges of the release film may be removed in a predetermined pattern, and the insulating material and the metal layer may be adhered through the removed predetermined pattern.

또한, 상기 이형필름의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부가 형성되거나 상기 이형필름에 십자형의 개구부가 형성되고, 상기 개구부를 통해서 상기 절연재와 상기 금속층이 접착하는 것을 특징으로 한다.In addition, an opening of a predetermined pattern is formed along the edge of the release film or a cross opening is formed in the release film, and the insulating material and the metal layer are bonded through the opening.

또한, 상기 소정 패턴은 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 한다.In addition, the predetermined pattern is characterized in that the circular or oval.

또한, 상기 이형필름은 폴리머필름인 것을 특징으로 한다.In addition, the release film is characterized in that the polymer film.

또한, 상기 금속층은 구리, 니켈 또는 알루미늄으로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the metal layer is characterized in that formed of copper, nickel or aluminum.

또한, 상기 절연재는 프리프레그인 것을 특징으로 한다.In addition, the insulating material is characterized in that the prepreg.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법 (A) 베이스 기판의 일면 또는 양면에 절연재를 적층하는 단계, (B) 상기 절연재보다 작은 면적으로 형성된 이형필름을 상기 절연재의 일면에 적층하는 단계, (C) 상기 이형필름의 일면에 금속층을 적층하고 가압 및 가열 고정을 통해서 상기 이형필름을 상기 절연재의 일면에 매립시키고, 상기 금속층의 테두리를 상기 절연재로 접착시켜 기판 제조용 캐리어 부재를 제공하는 단계 및 (D) 상기 금속층의 일면에 빌드업층을 형성한 후 상기 절연재로 접착된 상기 금속층의 테두리를 제거하여 상기 기판 제조용 캐리어 부재로부터 상기 빌드업층을 분리하는 단계를 포함하여 구성된다.Method of manufacturing a substrate using a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention (A) laminating an insulating material on one or both sides of the base substrate, (B) a release film formed of a smaller area than the insulating material of the insulating material (C) laminating a metal layer on one surface of the release film, embedding the release film on one surface of the insulating material through pressure and heat fixing, and bonding the edge of the metal layer with the insulating material to a carrier for manufacturing a substrate. Providing a member and (D) forming a buildup layer on one surface of the metal layer, and then removing the edge of the metal layer bonded with the insulating material to separate the buildup layer from the carrier member for manufacturing the substrate. .

여기서, 상기 (B) 단계에서, 상기 이형필름의 측면 모서리를 소정 패턴으로 제거하고, 상기 (C) 단계에서, 제거한 상기 소정 패턴을 통해서 상기 절연재와 상기 금속층을 접착시키는 것을 특징으로 한다.Here, in step (B), the side edges of the release film is removed in a predetermined pattern, and in step (C), the insulating material and the metal layer are bonded through the removed predetermined pattern.

또한, 상기 (B) 단계에서, 상기 이형필름의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부를 형성하고, 상기 (C) 단계에서, 상기 개구부를 통해서 상기 절연재와 상기 금속층을 접착시키는 것을 특징으로 한다. In addition, in the step (B), the opening of the predetermined pattern is formed along the edge of the release film, and in the step (C), characterized in that the insulating material and the metal layer through the opening.

또한, 상기 (D) 단계는, (D1) 상기 금속층의 테두리를 제거할 때 상기 소정 패턴의 일부만 제거하는 단계 및 (D2) 잔존하는 상기 소정 패턴을 통해서 접착된 상기 절연재와 상기 금속층을 물리력으로 분리하여 상기 기판 제조용 캐리어 부재로부터 상기 빌드업층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step (D), (D1) removing only a part of the predetermined pattern when removing the edge of the metal layer and (D2) separating the insulating material and the metal layer bonded through the remaining predetermined pattern by physical force. By separating the build-up layer from the carrier member for manufacturing the substrate characterized in that it comprises.

또한, 상기 (D) 단계는, (D1) 상기 금속층의 테두리를 제거할 때 상기 개구부의 일부만 제거하는 단계 및 (D2) 잔존하는 상기 개구부를 통해서 접착된 상기 절연재와 상기 금속층을 물리력으로 분리하여 상기 기판 제조용 캐리어 부재로부터 상기 빌드업층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step (D), (D1) removing only a part of the opening when removing the edge of the metal layer and (D2) separating the insulating material and the metal layer bonded through the remaining opening by physical force to the And separating the build-up layer from the carrier member for substrate production.

또한, 상기 (D) 단계에서, 상기 금속층의 테두리는 라우팅 공정으로 통해서 제거하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the step (D), the edge of the metal layer is characterized in that removed through a routing process.

또한, 상기 (B) 단계에서, 상기 이형필름에 십자형의 개구부를 형성하고, 상기 (C) 단계에서, 상기 개구부를 통해서 상기 절연재와 상기 금속층을 접착시키는 것을 특징으로 한다.In the step (B), the cross-shaped opening is formed in the release film, and in the step (C), the insulating material and the metal layer are bonded through the opening.

또한, 상기 소정 패턴은 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 한다.In addition, the predetermined pattern is characterized in that the circular or oval.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, the terms or words used in this specification and claims are not to be interpreted in a conventional and dictionary sense, and the inventors may appropriately define the concept of terms in order to best describe their own invention. It should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention based on the principle that the present invention.

본 발명에 따르면, 캐리어 부재에 이형필름을 채용하여 금속층과 이형필름을 완벽한 진공흡착시킴으로써 금속층에 적층되는 절연재의 주름을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by employing a release film in the carrier member by the perfect vacuum suction of the metal layer and the release film there is an effect that can prevent the wrinkles of the insulating material laminated on the metal layer.

또한, 본 발명에 따르면, 이형필름의 측면 모서리를 소정 패턴으로 제거하거나, 이형필름의 테두리에 소정 패턴의 개구부를 형성하여 라우팅 공정시 이형필름과 캐리어 부재의 절연재 사이의 물성 차이로 인해 발생하는 휨을 저감할 수 있는 장점이 있다.In addition, according to the present invention, by removing a side edge of the release film in a predetermined pattern, or by forming an opening of a predetermined pattern on the edge of the release film to prevent the warpage caused by the difference in physical properties between the release film and the insulation of the carrier member during the routing process. There is an advantage that can be reduced.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "일면", "측면" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 기준으로 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 그리고, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기 술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.The objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the preferred embodiments associated with the accompanying drawings. In adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components as much as possible, even if displayed on the other drawings. In addition, terms such as “one side” and “side” are used as a reference for distinguishing one component from another component, and the component is not limited by the terms. In describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재의 단면도이고, 도 3b는 도 3a에 도시된 절연재와 금속층의 요부확대도이며, 도 4a 내지 도 4f는 도 3a에 도시된 기판 제조용 캐리어 부재의 이형필름의 평면도이다.3A is a cross-sectional view of a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 3B is an enlarged view of main parts of the insulating material and the metal layer shown in FIG. 3A, and FIGS. 4A to 4F are carriers for manufacturing the substrate shown in FIG. 3A. It is a top view of the release film of a member.

도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재(100)는 베이스 기판(110)의 일면 또는 양면에 적층된 절연재(120), 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성되어 절연재(120)의 일면에 매립된 이형필름(130) 및 이형필름(130)의 일면에 적층되어 테두리가 절연재(120)로 접착된 금속층(140)을 포함하는 구성이다.As shown in FIGS. 3 to 4, the carrier member 100 for manufacturing a substrate according to the present embodiment is formed with an area smaller than the insulating material 120 and the insulating material 120 laminated on one or both surfaces of the base substrate 110. And a metal film 140 laminated on one surface of the insulating material 120 and laminated on one surface of the release film 130 and bonded to the edge by the insulating material 120.

상기 절연재(120)는 금속층(140)을 접착하여 고정시키는 역할을 하는 것으로, 베이스 기판(110)에 적층된다. 도면상에 절연재(120)는 베이스 기판(110)의 양면에 형성되었지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 베이스 기판(110)의 일면에만 선택적으로 적층될 수도 있다. 절연재(120)는 금속층(140)과 접착해야 하므로 접착력이 뛰어난 프리프레그(prepreg)를 채용하는 것이 바람직하다. 한편, 베이스 기판(110)은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 도 3a에 도시된 바와 같이 절연소재 양면에 동박을 적층한 동박적층판(CCL)을 활용할 수 있다.The insulating material 120 serves to adhere and fix the metal layer 140 and is laminated on the base substrate 110. Although the insulating material 120 is formed on both sides of the base substrate 110 in the drawings, it is not necessarily limited thereto, and may be selectively stacked only on one surface of the base substrate 110. Since the insulating material 120 must adhere to the metal layer 140, it is preferable to employ a prepreg having excellent adhesive strength. Meanwhile, the base substrate 110 is not particularly limited, but as shown in FIG. 3A, a copper clad laminate (CCL) having copper foil laminated on both surfaces of an insulating material may be used.

상기 이형필름(130)은 금속층(140)과 함께 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150; 도 8 내지 도 9참조)을 분리시키는 이형층 역할을 하는 것으로, 절연재(120)에 매립된다. 이형필름(130)은 절연재(120)의 전면에 대해 매립되어서는 않되고, 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성되어 절연재(120)가 금속층(140)의 테두리와 접착할 수 있도록 해야한다. 또한, 도 3b에 도시된 바와 같이, 이형필름(130)은 금속층(140)과 진공흡착되는데, 이형필름(130)이 금속층(140)으로 통상 이용되는 구리포일의 M 면(matte 면)에 대한 표면 조도를 흡수함으로써 완벽한 진공을 유지할 수 있다. 여기서, 이형필름(130)은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 폴리머필름(Polymer Film)을 채용하는 것이 바람직하다.The release film 130 serves as a release layer to separate the build-up layer 150 (see FIGS. 8 to 9) from the carrier member 100 together with the metal layer 140, and is embedded in the insulating material 120. The release film 130 should not be embedded with respect to the entire surface of the insulating material 120, it should be formed in a smaller area than the insulating material 120 so that the insulating material 120 can be bonded to the edge of the metal layer 140. In addition, as shown in Figure 3b, the release film 130 is vacuum-absorbed with the metal layer 140, the release film 130 for the M surface (matte surface) of the copper foil commonly used as the metal layer 140. By absorbing surface roughness, a perfect vacuum can be maintained. Here, the release film 130 is not particularly limited, but it is preferable to employ a polymer film.

한편, 이형필름(130)의 측면 모서리는 소정 패턴(133)으로 제거될 수 있고(도 4b 참조), 제거된 소정 패턴(133)을 통해서 절연재(120)와 금속층(140)이 접착한다. 캐리어 부재(100)의 구조적 안정성을 고려할 때 이형필름(130)의 4 측면 모서리를 동일한 패턴(133)으로 제거하는 것이 바람직하다. 또한, 이형필름(130)의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부(135)가 형성되거나(도 4c 내지 도 4e 참조) 십자형으로 개구부(135)가 형성될 수 있고(도 4d 내지 도 4f 참조), 이때 개구부(135)를 통해서 절연재(120)와 금속층(140)이 접착한다. 캐리어 부재(100)의 구조적 안정성을 고려할 때 테두리를 따라서 형성된 개구부(135)는 이형필름(130)의 측면으로부터 동일거리가 이격된 가상선을 따라서 형성하는 것이 바람직하다. 또 한, 소정 패턴은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 이형필름(130)의 크랙(Crack) 발생을 미연에 방지하기 위해서 원형(도 4c 내지 도 4e 참조) 또는 타원형(도 4d 내지 도 4f 참조)인 것이 바람직하다.Meanwhile, the side edges of the release film 130 may be removed by the predetermined pattern 133 (see FIG. 4B), and the insulating material 120 and the metal layer 140 adhere through the removed predetermined pattern 133. In consideration of the structural stability of the carrier member 100, it is preferable to remove the four side edges of the release film 130 in the same pattern 133. In addition, an opening 135 having a predetermined pattern may be formed along the edge of the release film 130 (see FIGS. 4C to 4E), or the opening 135 may be formed crosswise (see FIGS. 4D to 4F). The insulating material 120 and the metal layer 140 adhere to each other through the opening 135. In consideration of the structural stability of the carrier member 100, the opening 135 formed along the edge is preferably formed along an imaginary line spaced apart from the side surface of the release film 130. In addition, the predetermined pattern is not particularly limited, but in order to prevent cracking of the release film 130 in advance, it may be circular (see FIGS. 4C to 4E) or elliptical (see FIGS. 4D to 4F). desirable.

측면 모서리가 제거된 소정 패턴(133) 또는 테두리에 형성되거나 십자혀으로 형성된 개구부(135)를 채용함으로써 절연재(120)와 금속층(140)의 접착을 강화하여 캐리어 부재(100)를 이용한 안정적인 인쇄회로기판의 제조공정을 수행할 수 있을 뿐만 아니라 라우팅 공정시 금속층(140)과 빌드업층(150)의 절연소재 사이의 물성 차이로 인해 발생하는 휨을 저감할 수 있는 장점이 있다. 라우팅 공정시의 휨을 저감할 수 있는 효과에 대한 자세한 설명은 후술하도록 한다.Stable printed circuit using the carrier member 100 by reinforcing adhesion between the insulating material 120 and the metal layer 140 by employing the predetermined pattern 133 having the side edges removed or the opening 135 formed at the edge or crosswise. Not only can the substrate manufacturing process be performed, but there is an advantage that the warpage caused by the difference in physical properties between the insulating material of the metal layer 140 and the build-up layer 150 can be reduced during the routing process. A detailed description of the effects of reducing the warpage during the routing process will be given later.

상기 금속층(140)은 이형필름(130)과 함께 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)을 분리시키는 이형층 역할을 하는 것으로, 이형필름(130)의 일면에 적층된다. 전술한 바와 같이, 이형필름(130)은 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성되어 절연재(120)의 테두리가 노출되므로, 금속층(140)을 이형필름(130)의 일면에 적층한 후 가열 및 가압하면 절연재(120)의 테두리에 금속층(140)의 테두리가 접착된다. 이때, 금속층(140)과 이형필름(130)은 진공 흡착되고, 이형필름(130)이 금속층(140)의 표면 조도를 흡수함으로써 완벽한 진공을 유지할 수 있음은 전술한 바와 같다.The metal layer 140 serves as a release layer that separates the buildup layer 150 from the carrier member 100 together with the release film 130, and is stacked on one surface of the release film 130. As described above, since the release film 130 is formed with a smaller area than the insulating material 120 to expose the edge of the insulating material 120, the metal layer 140 is laminated on one surface of the release film 130, and then heated and pressed. The edge of the metal layer 140 is bonded to the edge of the lower surface insulating material 120. In this case, the metal layer 140 and the release film 130 are vacuum-adsorbed, and the release film 130 may maintain a perfect vacuum by absorbing the surface roughness of the metal layer 140.

한편, 금속층(140)의 재질은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 빌드업층(150)과 함께 캐리어 부재(100)로부터 분리된 후, 빌드업층(150)으로부터 에칭으로 제거 될 수 있으므로 에칭이 용이한 구리, 니켈 또는 알루미늄으로 형성되는 것이 바람직하고, 예를 들어 구리 포일을 이용할 수 있다.On the other hand, the material of the metal layer 140 is not particularly limited, but after being separated from the carrier member 100 together with the build-up layer 150, can be removed by etching from the build-up layer 150, copper, which is easy to etch, It is preferable to form with nickel or aluminum, for example, a copper foil can be used.

본 실시예에 따른 캐리어 부재(100)는 종래의 캐리어 부재와 달리 이형필름(130)을 채용하여 금속층(140)에 완벽히 진공흡착시킴으로써 금속층(140)에 적층될 빌드업층(150)의 절연소재가 주름지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이형필름(130)의 측면 모서리나 테두리 등을 가공하여 캐리어 부재(100)를 이용한 기판의 제조공정 중 구조적 안정성을 확보함으로써 더욱 얇은 금속층(140)을 이용할 수 있고, 라우팅 공정 시 발생할 수 있는 휨을 저감할 수 있다. 이하, 본 실시예에 따른 캐리어 부재(100)를 이용한 기판의 제조방법에 대해서 기술하기로 한다.Unlike the conventional carrier member, the carrier member 100 according to the present exemplary embodiment employs a release film 130 to completely vacuum-absorb the metal layer 140 to form an insulating material of the build-up layer 150 to be stacked on the metal layer 140. Wrinkles can be prevented. In addition, by processing side edges or edges of the release film 130 to ensure structural stability during the manufacturing process of the substrate using the carrier member 100, a thinner metal layer 140 can be used, which may occur during the routing process. The warpage can be reduced. Hereinafter, a method of manufacturing a substrate using the carrier member 100 according to the present embodiment will be described.

도 5 내지 도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법을 공정순서대로 도시하는 도면이다.5 to 11 are diagrams showing a method of manufacturing a substrate using a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention in the order of process.

도 5 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재(100)를 이용한 기판의 제조방법은 (A) 베이스 기판(110)의 일면 또는 양면에 절연재(120)를 적층하는 단계, (B) 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성된 이형필름(130)을 절연재(120)의 일면에 적층하는 단계, (C) 이형필름(130)의 일면에 금속층(140)을 적층하고 가압 및 가열 공정을 통해서 이형필름(130)을 절연재(120)의 일면에 매립시키고, 금속층(140)의 테두리를 절연재(120)로 접착시켜 기판 제조용 캐리어 부재(100)를 제공하는 단계, (D) 금속층(140)의 일면에 빌드업층(150)을 형 성한 후 절연재(120)로 접착된 금속층(140)의 테두리를 제거하여 기판 제조용 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)을 분리하는 단계를 포함하는 구성이다.5 to 11, in the method of manufacturing a substrate using the carrier member 100 for manufacturing a substrate according to the present embodiment, (A) the insulating material 120 is laminated on one or both surfaces of the base substrate 110. Step, (B) laminating the release film 130 formed of a smaller area than the insulating material 120 on one surface of the insulating material 120, (C) laminating and pressing the metal layer 140 on one surface of the release film 130 And embedding the release film 130 on one surface of the insulating material 120 through a heating process, and bonding the edge of the metal layer 140 with the insulating material 120 to provide a carrier member 100 for manufacturing a substrate, (D) After the build-up layer 150 is formed on one surface of the metal layer 140, the edge of the metal layer 140 adhered to the insulating material 120 is removed to separate the build-up layer 150 from the carrier member 100 for manufacturing a substrate. It is a configuration to include.

우선, 도 5에 도시된 바와 같이, 베이스 기판(110)에 절연재(120)를 적층하는 단계이다. 여기서, 절연재(120)는 금속층(140)과 접착하여 고정하는 역할을 하는 것이므로 접착력이 뛰어난 프리프레그를 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 도면상에 절연재(120)는 베이스 기판(110)의 양면에 적층되었지만, 반드시 이에 한정되는 것은 베이스 기판(110)의 일면에만 선택적으로 적층될 수도 있다.First, as shown in FIG. 5, the insulating material 120 is laminated on the base substrate 110. Here, since the insulating material 120 serves to adhere and fix the metal layer 140, it is preferable to use a prepreg having excellent adhesive strength. In addition, although the insulating material 120 is laminated on both surfaces of the base substrate 110 in the drawing, the material limited thereto may be selectively stacked only on one surface of the base substrate 110.

다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 절연재(120)의 일면에 이형필름(130)을 적층하는 단계이다. 여기서, 이형필름(130)은 후술할 단계에서 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)을 분리시키는 이형층 역할을 하는 것으로 절연재(120)의 테두리가 금속층(140)의 테두리와 접착할 수 있도록 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성된 것이 바람직하다. 이형필름(130)은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 폴리머필름을 채용할 수 있다. 또한, 이형필름(130)의 측면 모서리를 소정 패턴(133)으로 제거하거나(도 4b 참조), 이형필름(130)의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부(135)를 형성하거나(도 4c 내지 도 4d 참조), 이형필름(130)에 십자형의 개구부(135)를 형성할 수 있다. 이때, 테두리를 따라서 형성된 소정패턴의 개구부(135) 또는 십자형의 개구부(135)는 이형필름(130)의 크랙 발생을 방지하기 위해서 원형(도 4c 내지 도4e 참조) 또는 타원형(도 4d 내지 도 4f 참조)인 것이 바람직하나 이에 한정 되는 것은 아니다. 측면 모서리를 제거한 소정 패턴(133), 테두리를 따라서 형성한 개구부(135) 또는 십자형의 개구부(135)를 통해 후술할 단계에서 절연재(120)와 금속층(140)가 접착된다.Next, as shown in FIG. 6, the release film 130 is stacked on one surface of the insulating material 120. Here, the release film 130 serves as a release layer to separate the build-up layer 150 from the carrier member 100 in a step to be described later so that the edge of the insulating material 120 can be bonded to the edge of the metal layer 140. It is preferable to form an area smaller than the insulating material 120. The release film 130 is not particularly limited, but a polymer film may be employed. In addition, the side edges of the release film 130 may be removed with a predetermined pattern 133 (see FIG. 4B), or an opening 135 having a predetermined pattern may be formed along the edge of the release film 130 (FIGS. 4C to 4D). The cross-shaped opening 135 may be formed in the release film 130. At this time, the opening 135 or the cross-shaped opening 135 of the predetermined pattern formed along the edge is circular (see FIGS. 4C to 4E) or elliptical (FIGS. 4D to 4F) in order to prevent cracking of the release film 130. Reference), but is not limited thereto. The insulating material 120 and the metal layer 140 are bonded to each other through the predetermined pattern 133 having the side edges removed, the opening 135 formed along the edge, or the cross opening 135.

다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 금속층(140)을 적층하고 금속층(140)을 절연재(120)로 접착시켜 기판 제조용 캐리어 부재(100)를 제공하는 단계이다. 여기서, 금속층(140)은 이형필름(130)의 일면에 적층하고, 가압 및 가열 공정을 통해서 이형필름(130)을 절연재(120)의 일면에 매립시키는 동시에, 금속층(140)의 테두리는 상기 절연재(120)와 접착되어 캐리어 부재(100)가 제공된다.Next, as shown in FIG. 7, the metal layer 140 is laminated and the metal layer 140 is bonded to the insulating material 120 to provide a carrier member 100 for manufacturing a substrate. Here, the metal layer 140 is laminated on one surface of the release film 130, and the release film 130 is embedded in one surface of the insulating material 120 through a pressing and heating process, and at the same time the edge of the metal layer 140 is the insulating material. A carrier member 100 is provided in adherence with 120.

한편, 전술한 단계에서 이형필름(130)의 측면 모서리를 소정 패턴(133)으로 제거한 경우 소정 패턴(133)을 통해서 절연재(120)와 금속층(140)이 접착되고, 전술한 단계에서 이형필름(130)의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부(135)를 형성하거나 십자형의 개구부(135)를 형성한 경우 개구부(135)를 통해서 절연재(120)와 금속층(140)이 접착된다. 따라서, 기본적인 구조의 이형필름(130; 도 4a 참조)보다 접착면적이 더 넓어져 더욱 안정적인 구조를 구현할 수 있다.On the other hand, when the side edge of the release film 130 is removed in a predetermined pattern 133 in the above-described step, the insulating material 120 and the metal layer 140 is bonded through the predetermined pattern 133, the release film ( When the opening 135 of a predetermined pattern is formed along the edge of the 130 or the cross opening 135 is formed, the insulating material 120 and the metal layer 140 are bonded through the opening 135. Therefore, the adhesion area is wider than that of the release film 130 having a basic structure (see FIG. 4A), thereby achieving a more stable structure.

다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 금속층(140)의 일면에 빌드업층(150)을 형성하는 단계이다. 빌드업층(150)은 별도의 절연소재를 적층하고 YAG 레이저 또는 CO2 레이저를 이용하여 비아홀을 형성한 후, SAP(Semi-Additive Process) 또는 MSAP(Modified Semi-Additive Process) 등을 수행하여 비아(151)를 포함한 회로층(153)을 형성함으로써 완성할 수 있다.Next, as shown in FIG. 8, the build-up layer 150 is formed on one surface of the metal layer 140. The build-up layer 150 is formed by stacking a separate insulating material and forming a via hole using a YAG laser or a CO 2 laser, and then performing a via (Semi-Additive Process) or a modified semi-additive process (MSAP). This can be completed by forming the circuit layer 153 including the 151.

다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 절연재(120)로 접착된 금속층(140)의 테두리를 제거하여 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)을 분리하는 단계이다. 금속층(140)의 테두리가 절연재(120)에 의해 접착되어 있고, 금속층(140)과 이형필름(130)은 서로 접착력이 작용하지 않으므로 절연재(120)로 접착된 금속층(140)의 테두리를 제거하면 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)은 분리된다. 이때, 금속층(140) 테두리의 제거는 통상 라우팅 공정을 통해 수행할 수 있다.Next, as shown in FIG. 9, the edge of the metal layer 140 adhered to the insulating material 120 is removed to separate the build-up layer 150 from the carrier member 100. When the edge of the metal layer 140 is bonded by the insulating material 120, the metal layer 140 and the release film 130 does not have an adhesive force to each other, so if the edge of the metal layer 140 bonded by the insulating material 120 is removed The buildup layer 150 is separated from the carrier member 100. In this case, the removal of the edge of the metal layer 140 may be generally performed through a routing process.

다만, 전술한 단계에서 이형필름(130)의 측면 모서리나 테두리를 가공한 경우 금속층(140)의 테두리를 제거할 때 고려할 점이 있는데, 이하, 도면을 참조하여 설명한다.However, when the side edges or edges of the release film 130 are processed in the above-described steps, there are points to be considered when removing the edges of the metal layer 140, which will be described below with reference to the drawings.

도 12는 도 8에 도시된 기판 제조용 금속층의 테두리를 제거하는 기준선을 나타내는 도면이고, 도 13a 내지 도 13d는 도 12에 도시된 기준선을 이형필름에 나타내는 평면도이다.FIG. 12 is a view illustrating a reference line for removing an edge of the metal layer for manufacturing a substrate illustrated in FIG. 8, and FIGS. 13A to 13D are plan views illustrating the reference line illustrated in FIG. 12 on a release film.

전술한 단계에서 이형필름(130)의 측면 모서리를 소정 패턴(133)으로 제거하여 소정 패턴(133)을 통해서 절연재(120)와 금속층(140)을 접착시킨 경우(도 4b 참조), 본 단계에서 우선 금속층(140)의 테두리를 제거할 때 소정 패턴(133)의 일부만 제거하여 잔존하는 부분(137)을 통해 절연재(120)와 금속층(140)의 접착이 유지시킨다(도 13b 참조). 그 후, 물리력을 가하여 상대적으로 약한 접합을 하고 있는 절연재(120)와 금속층(140)을 분리함으로써 빌드업층(150)을 캐리어 부재(100)로부터 분리할 수 있다.When the side edge of the release film 130 is removed in a predetermined pattern 133 in the above-described step to bond the insulating material 120 and the metal layer 140 through the predetermined pattern 133 (see FIG. 4B), in this step First, when the edge of the metal layer 140 is removed, only a portion of the predetermined pattern 133 is removed to maintain adhesion between the insulating material 120 and the metal layer 140 through the remaining portion 137 (see FIG. 13B). Thereafter, the buildup layer 150 can be separated from the carrier member 100 by separating the insulating material 120 and the metal layer 140 which are relatively weakly bonded by applying a physical force.

또한, 전술한 단계에서 이형필름(130)의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부(135)를 형성하여 개구부(135)를 통해서 절연재(120)와 금속층(140)을 접착시킨 경우(도 4c 내지 도 4d 참조), 본 단계에서 우선 금속층(140)의 테두리를 제거할 때 개구부(135)의 일부만 제거하여 잔존하는 부분(139)을 통해 절연재(120)와 금속층(140)의 접착이 유지시킨다(도 12c 내지 도 12d 참조). 그 후, 물리력을 가하여 상대적으로 약한 접합을 하고 있는 절연재(120)와 금속층(140)을 분리함으로써 빌드업층(150)을 캐리어 부재(100)로부터 분리할 수 있다.In addition, in the above-described step, when the opening 135 of the predetermined pattern is formed along the edge of the release film 130 to bond the insulating material 120 and the metal layer 140 through the opening 135 (FIGS. 4C to 4D). In this step, when the edge of the metal layer 140 is first removed, only a part of the opening 135 is removed to maintain adhesion between the insulating material 120 and the metal layer 140 through the remaining portion 139 (FIG. 12C). To FIG. 12D). Thereafter, the buildup layer 150 can be separated from the carrier member 100 by separating the insulating material 120 and the metal layer 140 which are relatively weakly bonded by applying a physical force.

전술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재(100)를 이용한 기판의 제조방법에서는 종래기술과 달리 라우팅 공정을 통해서 한번에 빌드업층(150)을 캐리어 부재(100)로부터 분리하는 것이 아니라 2 단계를 걸쳐 분리하므로 종래기술에 비해 분리과정에서 금속층(140)과 캐리어 부재(100)의 절연소재 사이의 물성 차이로 인해 발생할 수 있는 휨을 저감할 수 있다.As described above, in the method of manufacturing a substrate using the carrier member 100 for manufacturing a substrate according to the present embodiment, unlike the prior art, the build-up layer 150 is not separated from the carrier member 100 at a time through a routing process. Since the separation through the step can be reduced compared to the prior art due to the difference in physical properties between the insulating material of the metal layer 140 and the carrier member 100 in the separation process can be reduced.

다음, 도 10 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 금속층(140)을 빌드업층(150)으로부터 제거한 후, 솔더레지스트층(155)에 홀(157)을 형성하는 단계이다. 여기서, 금속층(140)은 에칭을 이용하여 제거할 수 있고, 외부회로와 전기적 연결을 위하여 솔더레지스트층(155)에 홀(157)을 형성할 수 있다. 다만, 본 단계는 추가적인 공정으로 반드시 수행되어야 하는 것은 아니다.Next, as shown in FIGS. 10 to 11, after the metal layer 140 is removed from the buildup layer 150, a hole 157 is formed in the solder resist layer 155. Here, the metal layer 140 may be removed by etching, and the hole 157 may be formed in the solder resist layer 155 for electrical connection with an external circuit. However, this step is not necessarily performed as an additional process.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판의 제조방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. Although the present invention has been described in detail through specific examples, this is for describing the present invention in detail, and the carrier member for manufacturing the substrate and the method for manufacturing the substrate using the same according to the present invention are not limited thereto. It will be apparent that modifications and improvements are possible by those skilled in the art.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.

도 1a 내지 도 1d는 종래의 캐리어 부재를 이용하여 기판을 제조하는 방식을 공정순서대로 도시하는 도면;1A to 1D are diagrams showing a method of manufacturing a substrate using a conventional carrier member in a process order;

도 2는 도 1에 도시된 제1 금속층과 제2 금속층의 요부확대도;FIG. 2 is an enlarged view of main parts of the first metal layer and the second metal layer shown in FIG. 1; FIG.

도 3a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재의 단면도;3A is a cross-sectional view of a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention;

도 3b는 도 3a에 도시된 절연재와 금속층의 요부확대도;3B is an enlarged view illustrating main parts of the insulating material and the metal layer shown in FIG. 3A;

도 4a 내지 도 4f는 도 3a에 도시된 기판 제조용 캐리어 부재의 이형필름의 평면도;4A to 4F are plan views of a release film of a carrier member for manufacturing a substrate shown in FIG. 3A;

도 5 내지 도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법을 공정순서대로 도시하는 도면;5 to 11 are diagrams showing a method of manufacturing a substrate using a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention in the order of a process;

도 12는 도 8에 도시된 기판 제조용 금속층의 테두리를 제거하는 기준선을 나타내는 도면; 및FIG. 12 is a view illustrating a reference line for removing an edge of the metal layer for manufacturing a substrate shown in FIG. 8; FIG. And

도 13a 내지 도 13d는 도 12에 도시된 기준선을 이형필름에 나타내는 평면도이다.13A to 13D are plan views illustrating the reference line illustrated in FIG. 12 on the release film.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100: 캐리어 부재 110: 베이스 기판100: carrier member 110: base substrate

120: 절연재 130: 이형필름120: insulation material 130: release film

133: 패턴 135: 개구부133: pattern 135: opening

137, 139: 잔존하는 부분 140: 금속층137 and 139: remaining portion 140: metal layer

150: 빌드업층 151: 비아150: buildup layer 151: via

153: 회로층 155: 솔더레지스트층153: circuit layer 155: solder resist layer

157: 홀157: hall

Claims (15)

베이스 기판의 일면 또는 양면에 적층된 절연재;An insulating material laminated on one or both surfaces of the base substrate; 상기 절연재보다 작은 면적으로 형성되어 상기 절연재의 일면에 매립된 이형필름; 및A release film formed with a smaller area than the insulating material and embedded in one surface of the insulating material; And 상기 이형필름의 일면에 적층되어 테두리가 상기 절연재로 접착된 금속층;A metal layer laminated on one surface of the release film and having an edge bonded to the insulating material; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재.Carrier member for substrate production comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 이형필름의 측면 모서리는 소정 패턴으로 제거되고, 제거된 상기 소정 패턴을 통해서 상기 절연재와 상기 금속층이 접착하는 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재.Side edges of the release film is removed in a predetermined pattern, the carrier member for substrate manufacturing, characterized in that the insulating material and the metal layer is bonded through the removed predetermined pattern. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 이형필름의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부가 형성되거나 상기 이형필름에 십자형의 개구부가 형성되고, 상기 개구부를 통해서 상기 절연재와 상기 금속층이 접착하는 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재.An opening having a predetermined pattern is formed along the edge of the release film or a cross opening is formed in the release film, and the insulating member and the metal layer are adhered through the opening. 청구항 3에 있어서,The method of claim 3, 상기 소정 패턴은 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재.The predetermined pattern is a carrier member for manufacturing a substrate, characterized in that the circular or oval. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 이형필름은 폴리머필름인 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재.The release film is a carrier member for manufacturing a substrate, characterized in that the polymer film. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 금속층은 구리, 니켈 또는 알루미늄으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재.The metal layer is a carrier member for manufacturing a substrate, characterized in that formed of copper, nickel or aluminum. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 절연재는 프리프레그인 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재.The insulation member is a carrier member for manufacturing a substrate, characterized in that the prepreg. (A) 베이스 기판의 일면 또는 양면에 절연재를 적층하는 단계;(A) stacking an insulating material on one or both sides of the base substrate; (B) 상기 절연재보다 작은 면적으로 형성된 이형필름을 상기 절연재의 일면에 적층하는 단계;(B) stacking a release film formed on a smaller surface than the insulating material on one surface of the insulating material; (C) 상기 이형필름의 일면에 금속층을 적층하고 가압 및 가열 고정을 통해서 상기 이형필름을 상기 절연재의 일면에 매립시키고, 상기 금속층의 테두리를 상기 절연재로 접착시켜 기판 제조용 캐리어 부재를 제공하는 단계; 및(C) laminating a metal layer on one surface of the release film, embedding the release film on one surface of the insulating material through pressure and heat fixing, and bonding the edge of the metal layer with the insulating material to provide a carrier member for manufacturing a substrate; And (D) 상기 금속층의 일면에 빌드업층을 형성한 후 상기 절연재로 접착된 상기 금속층의 테두리를 제거하여 상기 기판 제조용 캐리어 부재로부터 상기 빌드업층을 분리하는 단계;(D) forming a buildup layer on one surface of the metal layer, and then removing the edge of the metal layer bonded with the insulating material to separate the buildup layer from the carrier member for manufacturing the substrate; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법.Method of manufacturing a substrate using a carrier member for substrate production comprising a. 청구항 8에 있어서,The method according to claim 8, 상기 (B) 단계에서,In the step (B), 상기 이형필름의 측면 모서리를 소정 패턴으로 제거하고,Side edges of the release film is removed in a predetermined pattern, 상기 (C) 단계에서,In the step (C), 제거한 상기 소정 패턴을 통해서 상기 절연재와 상기 금속층을 접착시키는 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법.A method of manufacturing a substrate using a carrier member for manufacturing a substrate, characterized in that the insulating material and the metal layer are bonded through the removed predetermined pattern. 청구항 8에 있어서,The method according to claim 8, 상기 (B) 단계에서,In the step (B), 상기 이형필름의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부를 형성하고,An opening of a predetermined pattern is formed along an edge of the release film, 상기 (C) 단계에서,In the step (C), 상기 개구부를 통해서 상기 절연재와 상기 금속층을 접착시키는 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법.A method of manufacturing a substrate using a carrier member for manufacturing a substrate, characterized in that the insulating material and the metal layer are bonded through the opening. 청구항 9에 있어서,The method according to claim 9, 상기 (D) 단계는,Step (D), (D1) 상기 금속층의 테두리를 제거할 때 상기 소정 패턴의 일부만 제거하는 단계; 및(D1) removing only a part of the predetermined pattern when removing the edge of the metal layer; And (D2) 잔존하는 상기 소정 패턴을 통해서 접착된 상기 절연재와 상기 금속층을 물리력으로 분리하여 상기 기판 제조용 캐리어 부재로부터 상기 빌드업층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법.(D2) separating the build-up layer from the carrier member for manufacturing a substrate by separating the insulating material and the metal layer bonded through the predetermined pattern remaining with the physical force. Manufacturing method. 청구항 10에 있어서,The method according to claim 10, 상기 (D) 단계는,Step (D), (D1) 상기 금속층의 테두리를 제거할 때 상기 개구부의 일부만 제거하는 단계; 및(D1) removing only a part of the opening when removing the edge of the metal layer; And (D2) 잔존하는 상기 개구부를 통해서 접착된 상기 절연재와 상기 금속층을 물리력으로 분리하여 상기 기판 제조용 캐리어 부재로부터 상기 빌드업층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법.(D2) separating the build-up layer from the carrier member for manufacturing the substrate by separating the insulating material and the metal layer bonded through the remaining openings with a physical force, and manufacturing the substrate using the carrier member for manufacturing the substrate. Way. 청구항 8에 있어서,The method according to claim 8, 상기 (D) 단계에서,In the step (D), 상기 금속층의 테두리는 라우팅 공정으로 통해서 제거하는 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법.The edge of the metal layer is removed by a routing process, the method of manufacturing a substrate using a carrier member for manufacturing a substrate. 청구항 8에 있어서,The method according to claim 8, 상기 (B) 단계에서,In the step (B), 상기 이형필름에 십자형의 개구부를 형성하고,A cross-shaped opening is formed in the release film, 상기 (C) 단계에서,In the step (C), 상기 개구부를 통해서 상기 절연재와 상기 금속층을 접착시키는 것을 특징으 로 하는 기판 제조용 캐리어 부재의 제조방법.A method of manufacturing a carrier member for manufacturing a substrate, characterized in that the insulating material and the metal layer are bonded through the opening. 청구항 10에 있어서,The method according to claim 10, 상기 소정 패턴은 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 하는 기판 제조용 캐리어 부재의 제조방법.The predetermined pattern is a manufacturing method of the carrier member for producing a substrate, characterized in that the circular or oval.
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