KR20110051018A - A carrier member for manufacturing a substrate and a method of manufacturing a substrate using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier member for manufacturing a substrate and a method of manufacturing a substrate using the same.
통상 인쇄회로기판은 각종 열경화성 합성수지로 이루어진 보드의 일면 또는 양면에 동박으로 배선을 형성하여 보드 상에 IC(integrated circuit) 또는 전자부품들을 배치 고정하고 이들 간의 전기적 배선을 구현한 후 절연체로 코팅한 것이다.In general, a printed circuit board is formed of copper foil on one or both sides of a board made of various thermosetting synthetic resins to arrange and fix integrated circuits (ICs) or electronic components on the board, and to implement electrical wiring therebetween and then coated with an insulator. .
최근, 전자산업의 발달로 인하여 전자부품의 고기능화, 경박단소화에 대한 요구가 급증하고 있고, 이에 따라 이러한 전자부품이 탑재되는 인쇄회로기판 또한 고밀도 배선화 및 박판화가 요구되고 있다.Recently, due to the development of the electronics industry, the demand for high functionalization and light weight reduction of electronic components is rapidly increasing. Accordingly, printed circuit boards on which such electronic components are mounted also require high density wiring and thinning.
특히, 인쇄회로기판의 박판화에 대응하기 위해서 코어기판을 제거하여 전체 적인 두께를 줄이고, 신호처리시간을 단축할 수 있는 코어리스 기판이 주목받고 있다. 그런데, 코어리스 기판의 경우 코어기판을 사용하지 않기 때문에 제조공정 중에 지지체 기능을 수행할 수 있는 캐리어 부재가 필요하다.In particular, in order to cope with the thinning of printed circuit boards, a coreless substrate that can reduce the overall thickness and shorten the signal processing time by removing the core substrate has been attracting attention. However, in the case of the coreless substrate, since the core substrate is not used, a carrier member capable of performing a support function during the manufacturing process is required.
도 1a 내지 도 1d는 종래의 캐리어 부재를 이용하여 기판을 제조하는 방식을 공정순서대로 도시하는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 제1 금속층과 제2 금속층의 요부확대도이며, 이를 참조하여 종래기술의 문제점을 살펴본다.1A to 1D are diagrams illustrating a method of manufacturing a substrate using a conventional carrier member in a process sequence, and FIG. 2 is an enlarged view of main parts of the first metal layer and the second metal layer shown in FIG. Look at the problems of the prior art.
우선, 도 1a에 도시된 바와 같이, 캐리어 부재(10)를 준비하는 단계이다. 캐리어 부재(10)는 동박적층판(11; CCL)을 중심에 두고 양면에 접착필름(12), 제1 금속층(13), 제2 금속층(14) 순으로 적층하여 형성한다. 이때, 프레스로 가열 및 가압을 가해줌으로써 접착필름(12)의 테두리는 동박적층판(11)과 제2 금속층(14)을 접합시킨다. 또한, 제1 금속층(13)과 제2 금속층(14)은 서로 진공 흡착된다.First, as shown in FIG. 1A, the
다음, 도 1b에 도시된 바와 같이, 캐리어 부재(10)의 양면에 빌드업층(15)을 형성하는 단계이다. 이때, 빌드업층(15)은 일반적인 방식으로 형성되며 최외각층에는 빌드업층(15)의 휨을 방지하기 위한 별도의 제3 금속층(16)을 적층한다.Next, as shown in FIG. 1B, the build-up
다음, 도 1c에 도시된 바와 같이, 빌드업층(15)을 캐리어 부재(10)로부터 분리하는 단계이다. 이때, 동박적층판(11)과 제2 금속층(14)에 접합한 접착필름(12)의 테두리를 라우팅 공정을 통해서 제거하여 캐리어 부재(10)로부터 빌드업층(15)을 분리한다.Next, as shown in FIG. 1C, the
다음, 도 1d에 도시된 바와 같이, 빌드업층(15)의 최외각층에 형성된 제3 금 속층(16)을 제거하는 단계이다. 또한, 이후에도 최외각의 절연층에 비아를 포함한 회로층 및 회로층을 외부로부터 절연시키는 솔더레지스트층을 형성하여 인쇄회로기판을 완성할 수 있다.Next, as shown in FIG. 1D, the
전술한 종래의 기판의 제조방법의 경우 제1 금속층(13) 및 제2 금속층(14)으로 통상 구리포일을 이용한다. 그런데, 구리포일의 경우 표면 조도를 높은 M 면(matte 면)과 표면 조도가 낮은 S 면(shiny 면)을 갖는다. 따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, M 면에 의해서 제1 금속층(13)과 제2 금속층(14) 사이에는 미세한 공간(S)이 생겨 완벽한 진공을 유지하기 어렵다. 결국, 제2 금속층(14)에 빌드업층(15)의 절연재를 적층했을 때 주름이 발생할 수 있는 문제점이 있다.In the conventional method for manufacturing a substrate, copper foil is usually used as the
또한, 접착필름(12)의 테두리를 라우팅 공정을 통해서 제거하여 캐리어 부재(10)로부터 빌드업층(15)을 분리하면 제2 금속층(14)과 캐리어 부재(10)의 절연재 사이의 물성 차이로 인해서 휨(Warpage)이 심하게 발생할 수 있는 문제점이 있다.In addition, when the edge of the
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 이형필름을 채용하여 금속층과 완벽한 진공을 유지할 수 있고, 이형필름의 측면 모서리나 테두리를 가공하여 라우팅 공정시 발생하는 휨(Warpage)을 방지할 수 있는 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to employ a release film to maintain a complete vacuum with the metal layer, the side edges or edges of the release film generated during the routing process An object of the present invention is to provide a carrier member for manufacturing a substrate capable of preventing warpage and a method of manufacturing a substrate using the same.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재는 베이스 기판의 일면 또는 양면에 적층된 절연재, 상기 절연재보다 작은 면적으로 형성되어 상기 절연재의 일면에 매립된 이형필름 및 상기 이형필름의 일면에 적층되어 테두리가 상기 절연재로 접착된 금속층을 포함하여 구성된다.Carrier member for substrate manufacturing according to a preferred embodiment of the present invention is formed on an insulating material laminated on one or both sides of the base substrate, a smaller area than the insulating material buried in one surface of the insulating material and laminated on one surface of the release film The edge comprises a metal layer bonded with the insulating material.
여기서, 상기 이형필름의 측면 모서리는 소정 패턴으로 제거되고, 제거된 상기 소정 패턴을 통해서 상기 절연재와 상기 금속층이 접착하는 것을 특징으로 한다.The side edges of the release film may be removed in a predetermined pattern, and the insulating material and the metal layer may be adhered through the removed predetermined pattern.
또한, 상기 이형필름의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부가 형성되거나 상기 이형필름에 십자형의 개구부가 형성되고, 상기 개구부를 통해서 상기 절연재와 상기 금속층이 접착하는 것을 특징으로 한다.In addition, an opening of a predetermined pattern is formed along the edge of the release film or a cross opening is formed in the release film, and the insulating material and the metal layer are bonded through the opening.
또한, 상기 소정 패턴은 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 한다.In addition, the predetermined pattern is characterized in that the circular or oval.
또한, 상기 이형필름은 폴리머필름인 것을 특징으로 한다.In addition, the release film is characterized in that the polymer film.
또한, 상기 금속층은 구리, 니켈 또는 알루미늄으로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the metal layer is characterized in that formed of copper, nickel or aluminum.
또한, 상기 절연재는 프리프레그인 것을 특징으로 한다.In addition, the insulating material is characterized in that the prepreg.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법 (A) 베이스 기판의 일면 또는 양면에 절연재를 적층하는 단계, (B) 상기 절연재보다 작은 면적으로 형성된 이형필름을 상기 절연재의 일면에 적층하는 단계, (C) 상기 이형필름의 일면에 금속층을 적층하고 가압 및 가열 고정을 통해서 상기 이형필름을 상기 절연재의 일면에 매립시키고, 상기 금속층의 테두리를 상기 절연재로 접착시켜 기판 제조용 캐리어 부재를 제공하는 단계 및 (D) 상기 금속층의 일면에 빌드업층을 형성한 후 상기 절연재로 접착된 상기 금속층의 테두리를 제거하여 상기 기판 제조용 캐리어 부재로부터 상기 빌드업층을 분리하는 단계를 포함하여 구성된다.Method of manufacturing a substrate using a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention (A) laminating an insulating material on one or both sides of the base substrate, (B) a release film formed of a smaller area than the insulating material of the insulating material (C) laminating a metal layer on one surface of the release film, embedding the release film on one surface of the insulating material through pressure and heat fixing, and bonding the edge of the metal layer with the insulating material to a carrier for manufacturing a substrate. Providing a member and (D) forming a buildup layer on one surface of the metal layer, and then removing the edge of the metal layer bonded with the insulating material to separate the buildup layer from the carrier member for manufacturing the substrate. .
여기서, 상기 (B) 단계에서, 상기 이형필름의 측면 모서리를 소정 패턴으로 제거하고, 상기 (C) 단계에서, 제거한 상기 소정 패턴을 통해서 상기 절연재와 상기 금속층을 접착시키는 것을 특징으로 한다.Here, in step (B), the side edges of the release film is removed in a predetermined pattern, and in step (C), the insulating material and the metal layer are bonded through the removed predetermined pattern.
또한, 상기 (B) 단계에서, 상기 이형필름의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부를 형성하고, 상기 (C) 단계에서, 상기 개구부를 통해서 상기 절연재와 상기 금속층을 접착시키는 것을 특징으로 한다. In addition, in the step (B), the opening of the predetermined pattern is formed along the edge of the release film, and in the step (C), characterized in that the insulating material and the metal layer through the opening.
또한, 상기 (D) 단계는, (D1) 상기 금속층의 테두리를 제거할 때 상기 소정 패턴의 일부만 제거하는 단계 및 (D2) 잔존하는 상기 소정 패턴을 통해서 접착된 상기 절연재와 상기 금속층을 물리력으로 분리하여 상기 기판 제조용 캐리어 부재로부터 상기 빌드업층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step (D), (D1) removing only a part of the predetermined pattern when removing the edge of the metal layer and (D2) separating the insulating material and the metal layer bonded through the remaining predetermined pattern by physical force. By separating the build-up layer from the carrier member for manufacturing the substrate characterized in that it comprises.
또한, 상기 (D) 단계는, (D1) 상기 금속층의 테두리를 제거할 때 상기 개구부의 일부만 제거하는 단계 및 (D2) 잔존하는 상기 개구부를 통해서 접착된 상기 절연재와 상기 금속층을 물리력으로 분리하여 상기 기판 제조용 캐리어 부재로부터 상기 빌드업층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step (D), (D1) removing only a part of the opening when removing the edge of the metal layer and (D2) separating the insulating material and the metal layer bonded through the remaining opening by physical force to the And separating the build-up layer from the carrier member for substrate production.
또한, 상기 (D) 단계에서, 상기 금속층의 테두리는 라우팅 공정으로 통해서 제거하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the step (D), the edge of the metal layer is characterized in that removed through a routing process.
또한, 상기 (B) 단계에서, 상기 이형필름에 십자형의 개구부를 형성하고, 상기 (C) 단계에서, 상기 개구부를 통해서 상기 절연재와 상기 금속층을 접착시키는 것을 특징으로 한다.In the step (B), the cross-shaped opening is formed in the release film, and in the step (C), the insulating material and the metal layer are bonded through the opening.
또한, 상기 소정 패턴은 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 한다.In addition, the predetermined pattern is characterized in that the circular or oval.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, the terms or words used in this specification and claims are not to be interpreted in a conventional and dictionary sense, and the inventors may appropriately define the concept of terms in order to best describe their own invention. It should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention based on the principle that the present invention.
본 발명에 따르면, 캐리어 부재에 이형필름을 채용하여 금속층과 이형필름을 완벽한 진공흡착시킴으로써 금속층에 적층되는 절연재의 주름을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by employing a release film in the carrier member by the perfect vacuum suction of the metal layer and the release film there is an effect that can prevent the wrinkles of the insulating material laminated on the metal layer.
또한, 본 발명에 따르면, 이형필름의 측면 모서리를 소정 패턴으로 제거하거나, 이형필름의 테두리에 소정 패턴의 개구부를 형성하여 라우팅 공정시 이형필름과 캐리어 부재의 절연재 사이의 물성 차이로 인해 발생하는 휨을 저감할 수 있는 장점이 있다.In addition, according to the present invention, by removing a side edge of the release film in a predetermined pattern, or by forming an opening of a predetermined pattern on the edge of the release film to prevent the warpage caused by the difference in physical properties between the release film and the insulation of the carrier member during the routing process. There is an advantage that can be reduced.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "일면", "측면" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 기준으로 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 그리고, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기 술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.The objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the preferred embodiments associated with the accompanying drawings. In adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components as much as possible, even if displayed on the other drawings. In addition, terms such as “one side” and “side” are used as a reference for distinguishing one component from another component, and the component is not limited by the terms. In describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재의 단면도이고, 도 3b는 도 3a에 도시된 절연재와 금속층의 요부확대도이며, 도 4a 내지 도 4f는 도 3a에 도시된 기판 제조용 캐리어 부재의 이형필름의 평면도이다.3A is a cross-sectional view of a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 3B is an enlarged view of main parts of the insulating material and the metal layer shown in FIG. 3A, and FIGS. 4A to 4F are carriers for manufacturing the substrate shown in FIG. 3A. It is a top view of the release film of a member.
도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재(100)는 베이스 기판(110)의 일면 또는 양면에 적층된 절연재(120), 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성되어 절연재(120)의 일면에 매립된 이형필름(130) 및 이형필름(130)의 일면에 적층되어 테두리가 절연재(120)로 접착된 금속층(140)을 포함하는 구성이다.As shown in FIGS. 3 to 4, the
상기 절연재(120)는 금속층(140)을 접착하여 고정시키는 역할을 하는 것으로, 베이스 기판(110)에 적층된다. 도면상에 절연재(120)는 베이스 기판(110)의 양면에 형성되었지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 베이스 기판(110)의 일면에만 선택적으로 적층될 수도 있다. 절연재(120)는 금속층(140)과 접착해야 하므로 접착력이 뛰어난 프리프레그(prepreg)를 채용하는 것이 바람직하다. 한편, 베이스 기판(110)은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 도 3a에 도시된 바와 같이 절연소재 양면에 동박을 적층한 동박적층판(CCL)을 활용할 수 있다.The insulating
상기 이형필름(130)은 금속층(140)과 함께 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150; 도 8 내지 도 9참조)을 분리시키는 이형층 역할을 하는 것으로, 절연재(120)에 매립된다. 이형필름(130)은 절연재(120)의 전면에 대해 매립되어서는 않되고, 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성되어 절연재(120)가 금속층(140)의 테두리와 접착할 수 있도록 해야한다. 또한, 도 3b에 도시된 바와 같이, 이형필름(130)은 금속층(140)과 진공흡착되는데, 이형필름(130)이 금속층(140)으로 통상 이용되는 구리포일의 M 면(matte 면)에 대한 표면 조도를 흡수함으로써 완벽한 진공을 유지할 수 있다. 여기서, 이형필름(130)은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 폴리머필름(Polymer Film)을 채용하는 것이 바람직하다.The
한편, 이형필름(130)의 측면 모서리는 소정 패턴(133)으로 제거될 수 있고(도 4b 참조), 제거된 소정 패턴(133)을 통해서 절연재(120)와 금속층(140)이 접착한다. 캐리어 부재(100)의 구조적 안정성을 고려할 때 이형필름(130)의 4 측면 모서리를 동일한 패턴(133)으로 제거하는 것이 바람직하다. 또한, 이형필름(130)의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부(135)가 형성되거나(도 4c 내지 도 4e 참조) 십자형으로 개구부(135)가 형성될 수 있고(도 4d 내지 도 4f 참조), 이때 개구부(135)를 통해서 절연재(120)와 금속층(140)이 접착한다. 캐리어 부재(100)의 구조적 안정성을 고려할 때 테두리를 따라서 형성된 개구부(135)는 이형필름(130)의 측면으로부터 동일거리가 이격된 가상선을 따라서 형성하는 것이 바람직하다. 또 한, 소정 패턴은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 이형필름(130)의 크랙(Crack) 발생을 미연에 방지하기 위해서 원형(도 4c 내지 도 4e 참조) 또는 타원형(도 4d 내지 도 4f 참조)인 것이 바람직하다.Meanwhile, the side edges of the
측면 모서리가 제거된 소정 패턴(133) 또는 테두리에 형성되거나 십자혀으로 형성된 개구부(135)를 채용함으로써 절연재(120)와 금속층(140)의 접착을 강화하여 캐리어 부재(100)를 이용한 안정적인 인쇄회로기판의 제조공정을 수행할 수 있을 뿐만 아니라 라우팅 공정시 금속층(140)과 빌드업층(150)의 절연소재 사이의 물성 차이로 인해 발생하는 휨을 저감할 수 있는 장점이 있다. 라우팅 공정시의 휨을 저감할 수 있는 효과에 대한 자세한 설명은 후술하도록 한다.Stable printed circuit using the
상기 금속층(140)은 이형필름(130)과 함께 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)을 분리시키는 이형층 역할을 하는 것으로, 이형필름(130)의 일면에 적층된다. 전술한 바와 같이, 이형필름(130)은 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성되어 절연재(120)의 테두리가 노출되므로, 금속층(140)을 이형필름(130)의 일면에 적층한 후 가열 및 가압하면 절연재(120)의 테두리에 금속층(140)의 테두리가 접착된다. 이때, 금속층(140)과 이형필름(130)은 진공 흡착되고, 이형필름(130)이 금속층(140)의 표면 조도를 흡수함으로써 완벽한 진공을 유지할 수 있음은 전술한 바와 같다.The
한편, 금속층(140)의 재질은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 빌드업층(150)과 함께 캐리어 부재(100)로부터 분리된 후, 빌드업층(150)으로부터 에칭으로 제거 될 수 있으므로 에칭이 용이한 구리, 니켈 또는 알루미늄으로 형성되는 것이 바람직하고, 예를 들어 구리 포일을 이용할 수 있다.On the other hand, the material of the
본 실시예에 따른 캐리어 부재(100)는 종래의 캐리어 부재와 달리 이형필름(130)을 채용하여 금속층(140)에 완벽히 진공흡착시킴으로써 금속층(140)에 적층될 빌드업층(150)의 절연소재가 주름지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이형필름(130)의 측면 모서리나 테두리 등을 가공하여 캐리어 부재(100)를 이용한 기판의 제조공정 중 구조적 안정성을 확보함으로써 더욱 얇은 금속층(140)을 이용할 수 있고, 라우팅 공정 시 발생할 수 있는 휨을 저감할 수 있다. 이하, 본 실시예에 따른 캐리어 부재(100)를 이용한 기판의 제조방법에 대해서 기술하기로 한다.Unlike the conventional carrier member, the
도 5 내지 도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법을 공정순서대로 도시하는 도면이다.5 to 11 are diagrams showing a method of manufacturing a substrate using a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention in the order of process.
도 5 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재(100)를 이용한 기판의 제조방법은 (A) 베이스 기판(110)의 일면 또는 양면에 절연재(120)를 적층하는 단계, (B) 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성된 이형필름(130)을 절연재(120)의 일면에 적층하는 단계, (C) 이형필름(130)의 일면에 금속층(140)을 적층하고 가압 및 가열 공정을 통해서 이형필름(130)을 절연재(120)의 일면에 매립시키고, 금속층(140)의 테두리를 절연재(120)로 접착시켜 기판 제조용 캐리어 부재(100)를 제공하는 단계, (D) 금속층(140)의 일면에 빌드업층(150)을 형 성한 후 절연재(120)로 접착된 금속층(140)의 테두리를 제거하여 기판 제조용 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)을 분리하는 단계를 포함하는 구성이다.5 to 11, in the method of manufacturing a substrate using the
우선, 도 5에 도시된 바와 같이, 베이스 기판(110)에 절연재(120)를 적층하는 단계이다. 여기서, 절연재(120)는 금속층(140)과 접착하여 고정하는 역할을 하는 것이므로 접착력이 뛰어난 프리프레그를 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 도면상에 절연재(120)는 베이스 기판(110)의 양면에 적층되었지만, 반드시 이에 한정되는 것은 베이스 기판(110)의 일면에만 선택적으로 적층될 수도 있다.First, as shown in FIG. 5, the insulating
다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 절연재(120)의 일면에 이형필름(130)을 적층하는 단계이다. 여기서, 이형필름(130)은 후술할 단계에서 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)을 분리시키는 이형층 역할을 하는 것으로 절연재(120)의 테두리가 금속층(140)의 테두리와 접착할 수 있도록 절연재(120)보다 작은 면적으로 형성된 것이 바람직하다. 이형필름(130)은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 폴리머필름을 채용할 수 있다. 또한, 이형필름(130)의 측면 모서리를 소정 패턴(133)으로 제거하거나(도 4b 참조), 이형필름(130)의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부(135)를 형성하거나(도 4c 내지 도 4d 참조), 이형필름(130)에 십자형의 개구부(135)를 형성할 수 있다. 이때, 테두리를 따라서 형성된 소정패턴의 개구부(135) 또는 십자형의 개구부(135)는 이형필름(130)의 크랙 발생을 방지하기 위해서 원형(도 4c 내지 도4e 참조) 또는 타원형(도 4d 내지 도 4f 참조)인 것이 바람직하나 이에 한정 되는 것은 아니다. 측면 모서리를 제거한 소정 패턴(133), 테두리를 따라서 형성한 개구부(135) 또는 십자형의 개구부(135)를 통해 후술할 단계에서 절연재(120)와 금속층(140)가 접착된다.Next, as shown in FIG. 6, the
다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 금속층(140)을 적층하고 금속층(140)을 절연재(120)로 접착시켜 기판 제조용 캐리어 부재(100)를 제공하는 단계이다. 여기서, 금속층(140)은 이형필름(130)의 일면에 적층하고, 가압 및 가열 공정을 통해서 이형필름(130)을 절연재(120)의 일면에 매립시키는 동시에, 금속층(140)의 테두리는 상기 절연재(120)와 접착되어 캐리어 부재(100)가 제공된다.Next, as shown in FIG. 7, the
한편, 전술한 단계에서 이형필름(130)의 측면 모서리를 소정 패턴(133)으로 제거한 경우 소정 패턴(133)을 통해서 절연재(120)와 금속층(140)이 접착되고, 전술한 단계에서 이형필름(130)의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부(135)를 형성하거나 십자형의 개구부(135)를 형성한 경우 개구부(135)를 통해서 절연재(120)와 금속층(140)이 접착된다. 따라서, 기본적인 구조의 이형필름(130; 도 4a 참조)보다 접착면적이 더 넓어져 더욱 안정적인 구조를 구현할 수 있다.On the other hand, when the side edge of the
다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 금속층(140)의 일면에 빌드업층(150)을 형성하는 단계이다. 빌드업층(150)은 별도의 절연소재를 적층하고 YAG 레이저 또는 CO2 레이저를 이용하여 비아홀을 형성한 후, SAP(Semi-Additive Process) 또는 MSAP(Modified Semi-Additive Process) 등을 수행하여 비아(151)를 포함한 회로층(153)을 형성함으로써 완성할 수 있다.Next, as shown in FIG. 8, the build-
다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 절연재(120)로 접착된 금속층(140)의 테두리를 제거하여 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)을 분리하는 단계이다. 금속층(140)의 테두리가 절연재(120)에 의해 접착되어 있고, 금속층(140)과 이형필름(130)은 서로 접착력이 작용하지 않으므로 절연재(120)로 접착된 금속층(140)의 테두리를 제거하면 캐리어 부재(100)로부터 빌드업층(150)은 분리된다. 이때, 금속층(140) 테두리의 제거는 통상 라우팅 공정을 통해 수행할 수 있다.Next, as shown in FIG. 9, the edge of the
다만, 전술한 단계에서 이형필름(130)의 측면 모서리나 테두리를 가공한 경우 금속층(140)의 테두리를 제거할 때 고려할 점이 있는데, 이하, 도면을 참조하여 설명한다.However, when the side edges or edges of the
도 12는 도 8에 도시된 기판 제조용 금속층의 테두리를 제거하는 기준선을 나타내는 도면이고, 도 13a 내지 도 13d는 도 12에 도시된 기준선을 이형필름에 나타내는 평면도이다.FIG. 12 is a view illustrating a reference line for removing an edge of the metal layer for manufacturing a substrate illustrated in FIG. 8, and FIGS. 13A to 13D are plan views illustrating the reference line illustrated in FIG. 12 on a release film.
전술한 단계에서 이형필름(130)의 측면 모서리를 소정 패턴(133)으로 제거하여 소정 패턴(133)을 통해서 절연재(120)와 금속층(140)을 접착시킨 경우(도 4b 참조), 본 단계에서 우선 금속층(140)의 테두리를 제거할 때 소정 패턴(133)의 일부만 제거하여 잔존하는 부분(137)을 통해 절연재(120)와 금속층(140)의 접착이 유지시킨다(도 13b 참조). 그 후, 물리력을 가하여 상대적으로 약한 접합을 하고 있는 절연재(120)와 금속층(140)을 분리함으로써 빌드업층(150)을 캐리어 부재(100)로부터 분리할 수 있다.When the side edge of the
또한, 전술한 단계에서 이형필름(130)의 테두리를 따라서 소정 패턴의 개구부(135)를 형성하여 개구부(135)를 통해서 절연재(120)와 금속층(140)을 접착시킨 경우(도 4c 내지 도 4d 참조), 본 단계에서 우선 금속층(140)의 테두리를 제거할 때 개구부(135)의 일부만 제거하여 잔존하는 부분(139)을 통해 절연재(120)와 금속층(140)의 접착이 유지시킨다(도 12c 내지 도 12d 참조). 그 후, 물리력을 가하여 상대적으로 약한 접합을 하고 있는 절연재(120)와 금속층(140)을 분리함으로써 빌드업층(150)을 캐리어 부재(100)로부터 분리할 수 있다.In addition, in the above-described step, when the
전술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재(100)를 이용한 기판의 제조방법에서는 종래기술과 달리 라우팅 공정을 통해서 한번에 빌드업층(150)을 캐리어 부재(100)로부터 분리하는 것이 아니라 2 단계를 걸쳐 분리하므로 종래기술에 비해 분리과정에서 금속층(140)과 캐리어 부재(100)의 절연소재 사이의 물성 차이로 인해 발생할 수 있는 휨을 저감할 수 있다.As described above, in the method of manufacturing a substrate using the
다음, 도 10 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 금속층(140)을 빌드업층(150)으로부터 제거한 후, 솔더레지스트층(155)에 홀(157)을 형성하는 단계이다. 여기서, 금속층(140)은 에칭을 이용하여 제거할 수 있고, 외부회로와 전기적 연결을 위하여 솔더레지스트층(155)에 홀(157)을 형성할 수 있다. 다만, 본 단계는 추가적인 공정으로 반드시 수행되어야 하는 것은 아니다.Next, as shown in FIGS. 10 to 11, after the
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판의 제조방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. Although the present invention has been described in detail through specific examples, this is for describing the present invention in detail, and the carrier member for manufacturing the substrate and the method for manufacturing the substrate using the same according to the present invention are not limited thereto. It will be apparent that modifications and improvements are possible by those skilled in the art.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.
도 1a 내지 도 1d는 종래의 캐리어 부재를 이용하여 기판을 제조하는 방식을 공정순서대로 도시하는 도면;1A to 1D are diagrams showing a method of manufacturing a substrate using a conventional carrier member in a process order;
도 2는 도 1에 도시된 제1 금속층과 제2 금속층의 요부확대도;FIG. 2 is an enlarged view of main parts of the first metal layer and the second metal layer shown in FIG. 1; FIG.
도 3a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재의 단면도;3A is a cross-sectional view of a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention;
도 3b는 도 3a에 도시된 절연재와 금속층의 요부확대도;3B is an enlarged view illustrating main parts of the insulating material and the metal layer shown in FIG. 3A;
도 4a 내지 도 4f는 도 3a에 도시된 기판 제조용 캐리어 부재의 이형필름의 평면도;4A to 4F are plan views of a release film of a carrier member for manufacturing a substrate shown in FIG. 3A;
도 5 내지 도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 제조용 캐리어 부재를 이용한 기판의 제조방법을 공정순서대로 도시하는 도면;5 to 11 are diagrams showing a method of manufacturing a substrate using a carrier member for manufacturing a substrate according to a preferred embodiment of the present invention in the order of a process;
도 12는 도 8에 도시된 기판 제조용 금속층의 테두리를 제거하는 기준선을 나타내는 도면; 및FIG. 12 is a view illustrating a reference line for removing an edge of the metal layer for manufacturing a substrate shown in FIG. 8; FIG. And
도 13a 내지 도 13d는 도 12에 도시된 기준선을 이형필름에 나타내는 평면도이다.13A to 13D are plan views illustrating the reference line illustrated in FIG. 12 on the release film.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
100: 캐리어 부재 110: 베이스 기판100: carrier member 110: base substrate
120: 절연재 130: 이형필름120: insulation material 130: release film
133: 패턴 135: 개구부133: pattern 135: opening
137, 139: 잔존하는 부분 140: 금속층137 and 139: remaining portion 140: metal layer
150: 빌드업층 151: 비아150: buildup layer 151: via
153: 회로층 155: 솔더레지스트층153: circuit layer 155: solder resist layer
157: 홀157: hall
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