KR20110050869A

KR20110050869A - 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치

Info

Publication number: KR20110050869A
Application number: KR1020090107434A
Authority: KR
Inventors: 채창근
Original assignee: 주식회사 케이피엠테크
Priority date: 2009-11-09
Filing date: 2009-11-09
Publication date: 2011-05-17

Abstract

본 발명은 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전해액에 전류를 인가하여 기판을 도금하는 도금장치로서, 상기 전해액이 충진되며 상측에 접지부가 구비된 도금탱크와 상기 도금탱크의 상부에 서로 마주보게 설치되는 중공된 구조의 분기관과 상기 분기관에 설치되는 다수의 프레임과 상기 프레임에 설치되는 통전망으로 구성되어, 상기 통전망을 통해 상기 전해액에 전류를 인가하는 전류인가장치와 상기 전류인가장치의 분기관을 통해 상기 통전망에 양극전류를 공급하고 상기 접지부에 음극전류를 공급하는 정류장치와 상기 도금탱크의 상측에 승강되게 설치되되 하강시 상기 접지부에 접촉지지되는 기판이송장치로 구성되어, 공급되는 전류세기에 따른 편차나 지역적 편차가 발생되지 않아 도금층이 균일한 두께로 형성되는 효과가 있다.

인쇄회로기판, 전해액, 정류장치, 도금장치

Description

개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치{SUBSTRATE PLATING DEVICE}

본 발명은 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전해액이 충진된 도금탱크에 전류인가 장치와 정류장치를 구비시켜 외부의 전류를 정류하여 전해액에 전달함으로써, 공급되는 전류세기에 따른 편차나 지역적 편차가 발생되지 않아 도금층이 균일한 두께로 형성되는 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 관한 것이다.

종래의 기판도금장치는 도금액을 수용한 도금 처리조내에 양극 전극을 대향되게 배치하고, 양극 전극 사이에 반도체웨이퍼 등의 피도금기판을 배치한 후 양극 전극에 외부의 전원으로부터 소정의 전류을 인가하여 피도금기판의 표면에 전해도금하여 도금막을 형성하도록 구성된다.

이러한 종래의 기판도금장치는 외부와 전기적으로 연결된 다수의 통전망을 통해 전류를 도금액에 전달하게 된다.

그러나, 종래에는 외부의 전류가 각각의 통전망에 균일하게 전달되지 않아, 도금액에 전달되는 전류가 지역적으로 편차가 발생되어 인쇄회로기판에 도금층의 두께가 불균일하게 형성되거나, 도금이 이루어지지 않아 불량이 발생되는 문제점이 상존하게 된다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 전해액이 충진된 도금탱크에 전류인가 장치와 정류장치를 구비시켜 외부의 전류를 정류하여 전해액에 전달함으로써, 전류의 세기에 따른 편차나 지역적 편차가 발생되지 않아 도금층이 균일한 두께로 형성되는 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 전해액에 전류를 인가하여 기판을 도금하는 도금장치로서, 상기 전해액이 충진되며 상측에 접지부가 구비된 도금탱크와 상기 도금탱크의 상부에 서로 마주보게 설치되는 중공된 구조의 분기관과 상기 분기관에 설치되는 다수의 프레임과 상기 프레임에 설치되는 통전망으로 구성되어, 상기 통전망을 통해 상기 전해액에 전류를 인가하는 전류인가장치와 상기 전류인가장치의 분기관을 통해 상기 통전망에 양극전류를 공급하고 상기 접지부에 음극전류를 공급하는 정류장치와 상기 도금탱크의 상측에 승강되게 설치되되 하강시 상기 접지부에 접촉지지되는 기판 이송장치로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 정류장치에는 상기 통전망과 대응되는 수의 정류기가 구비되되 상기 정류기들은 상기 통전망들과 1:1로 연결되어, 외부의 전류가 상기 정류기를 통해 정류되어 균일하게 통전망을 통해 상기 전해액으로 공급전달되게 하는 것을 특징으로 하는 한다.

본 발명인 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치는 전해액이 충진된 도금탱크에 전류인가 장치와 정류장치를 구비시켜 외부의 전류를 정류하여 전해액에 전달함으로써, 공급되는 전류세기에 따른 편차나 지역적 편차가 발생되지 않아 도금층이 균일한 두께로 형성되는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

또한, 하기 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 단지 예시로 제시하는 것이며, 본 기술 사상을 통해 구현되는 다양한 실시예가 있을 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치를 나타낸 정면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 있어, 전류인가장치를 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 있어, 기판이송장치를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치를 나타낸 평면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 있어, 정류흐름을 나타낸 도면이다.

도면에 도시된 바와 같이 본 발명인 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치(1)(이하 도금장치)는 전해액에 전류를 인가하여 기판을 도금하는 장치로서, 이에 이와 같은 도금장치(1)는 도금탱크(2)와 전류인가장치(3)와 정류장치(4)와 기판이송장치(5)로 구성된다.

상기 도금탱크(2)는 상면이 개방되고 내부에 전해액이 충진되도록 충진공간을 가진 수조용 탱크구조로서, 이러한 도금탱크에는 일정높이로 전해액이 충진되며, 상부에는 외측으로 돌출되게 접지부(21)가 마련된다.

이러한 도금탱크(2)에는 상기 전해액의 이물질을 걸러주기 위해 순환라인(순환배관)과 펌프와 여과기로 구성된 전해액 순환장치(도시생략)를 설치하는 것이 바람직하다.

상기 전류인가장치(3)는 상기 도금액에 양극전류를 인가하는 장치로서, 이러 한 전류인가장치(3)는 상기 도금탱크(2)의 상부에 서로 마주보게 설치되는 중공된 파이프 구조의 분기관(31)과 상기 분기관(31)에 설치되는 다수의 프레임(32)과 상기 프레임(32)에 설치되는 통전망(33)으로 구성되어, 상기 통전망(33)을 통해 상기 전해액에 전류를 인가하게 된다.

상기 분기관(31)은 도 3에 도시된 바와 같이 상기 도금탱크(2)의 상부 양측에 마련된 지기대에 서로마주보게 용접 또는 나사체결되어 고정되며, 상기 프레임(32)은 사각의 틀 상부에 돌출되게 연결부(321)가 구비되어 상기 분기관(31)에 일정간격을 유지하며 끼움설치된다.

여기서, 상기 프레임(32)은 도면에 도시된 바와 같이 상기 분기관(31)에 4개가 일정간격을 이루며 설치되고, 상기 도금탱크(2)의 크기에 따라 4개 이하 또는 4개 이상의 프레임(32)을 설치하는 것도 가능하다.

이때, 상기 분기관(31)에는 상기 프레임(32)에 대응되게 체결공(311)이 형성되어, 후술될 정류기의 전선을 상기 분기관(31)에 인입시킨 후 상기 체결공(311)을 통해 상기 통전망(33)에 연결시켜 정류된 양극전류를 전달하게 된다.

상기 통전망(33)은 전류가 통하는 금속재질의 망으로서, 상기 통전망(33)의 사방모서리는 전류가 통하는 상기 프레임(32)에 접하도록 설치되며 교체가능하게 끼움 또는 나사체결된다. 다르게는 용접고정시키는 것도 가능하다.

상기 정류장치(4)는 외부의 전류를 정류하여 상기 통전망(33)에 전달하는 것으로서, 이에 이와같은 정류장치(4)는 상기 통전망(33)과 대응되는 수의 정류기가 구비되되 상기 정류기(41) 들은 상기 통전망들과 1:1로 연결되어, 외부의 전류가 상기 정류기를 통해 정류되어 균일하게 통전망(33)을 통해 상기 전해액으로 공급전달하게 된다.

또한, 상기 정류장치(33)는 상기 전류인가장치(4)의 분기관(31)을 통해 상기 통전망(33)에 양극전류를 공급하고 상기 접지부(21)에 음극전류를 공급하게 된다.

이러한, 정류장치(4)는 각각의 정류기(41)가 각각의 통전망(33)에 연결되어, 정류된 전류를 전해액에 전달함으로써, 전류의 세기가 틀려 발생되는 편차 및 전해액 내부에서 지역적으로 전류의 세기가 틀려 도금층의 두께가 불균일하게 발생되는 것을 방지하여 인쇄회로기판에 균일한 두께 도금층을 형성시키게 된다.

상기 기판이송장치(5)는 도금될 인쇄회로기판을 상기 도금탱크(2)에 담가 도금시킨 후 인출하는 것으로서, 이러한 기판이송장치(5)는 상기 접지부(21)에 지지되어 상기 정류기(41)로부터 전달되는 음극전류를 상기 인쇄회로기판에 전달하게 된다.

상기한 기판이송장치(5)는 상기 도금탱크의 상측에 설치되는 지지프레임(도시생략)의 실린더에 연결되어 승강되며 양단부가 상기 접지부(21)에 지지접촉되며 전류가 통전되는 수평바(51)와 상기 수평바(51)에 설치되는 인쇄회로기판이 체결되는 연결프레임(52)으로 구성되어, 상기 접지부(21)에서 전달되는 음극전류를 순차적으로 상기 수평바(51)와 상기 연결프레임(52)과 상기 인쇄회로기판(53)에 전달하여, 음극을 띠는 인쇄회로기판(53)에 양극의 전해액에 용해된 금이나 구리등의 도금물질이 도금된다.

상기한 인쇄회로기판(53)은 제작과정에서 일부가 도금되어 전류가 전달되는 인쇄회로기판이 사용되며, 상기한 도금장치는 제작과정에서 도금된 부분은 덮는 도금공정에 적용된다.

도 1은 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치를 나타낸 정면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 있어, 전류인가장치를 나타낸 도면이다.

도 3은 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 있어, 기판이송장치를 나타낸 도면이다.

도 4는 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치를 나타낸 평면도이다.

도 5은 본 발명에 따른 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치에 있어, 정류흐름을 나타낸 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 설명>

1 : 도금장치 2 : 도금탱크

3 : 전류인가장치 4 : 정류장치

5 : 기판이송장치 21 : 접지부

31 : 분기관 311 : 체결공

32 : 프레임 321 : 연결부

33 : 통전망 41 : 정류기

51 : 수평바 52 : 연결프레임

53 : 인쇄회로기판

Claims

전해액에 전류를 인가하여 기판을 도금하는 도금장치로서,

상기 전해액이 충진되며 상측에 접지부가 구비된 도금탱크;

상기 도금탱크의 상부에 서로 마주보게 설치되는 중공된 구조의 분기관과 상기 분기관에 설치되는 다수의 프레임과 상기 프레임에 설치되는 통전망으로 구성되어, 상기 통전망을 통해 상기 전해액에 전류를 인가하는 전류인가장치;

상기 전류인가장치의 분기관을 통해 상기 통전망에 양극전류를 공급하고 상기 접지부에 음극전류를 공급하는 정류장치; 및

상기 도금탱크의 상측에 승강되게 설치되되 하강시 상기 접지부에 접촉지지되는 기판이송장치로 구성된 것을 특징으로 하는 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치.
제 1 항에 있어서,

상기 정류장치에는 상기 통전망과 대응되는 수의 정류기가 구비되되 상기 정류기들은 상기 통전망들과 1:1로 연결되어, 외부의 전류가 상기 정류기를 통해 정류되어 균일하게 통전망을 통해 상기 전해액으로 공급전달되게 하는 것을 특징으로 하는 개별 정류기를 갖는 기판용 도금장치.