KR20110048092A - 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법 - Google Patents

탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20110048092A
KR20110048092A KR1020090104757A KR20090104757A KR20110048092A KR 20110048092 A KR20110048092 A KR 20110048092A KR 1020090104757 A KR1020090104757 A KR 1020090104757A KR 20090104757 A KR20090104757 A KR 20090104757A KR 20110048092 A KR20110048092 A KR 20110048092A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transparent tube
sample
chamber
main chamber
measuring
Prior art date
Application number
KR1020090104757A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101063089B1 (ko
Inventor
임인태
성대진
편승철
신용현
Original Assignee
한국표준과학연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국표준과학연구원 filed Critical 한국표준과학연구원
Priority to KR1020090104757A priority Critical patent/KR101063089B1/ko
Publication of KR20110048092A publication Critical patent/KR20110048092A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101063089B1 publication Critical patent/KR101063089B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/44—Sample treatment involving radiation, e.g. heat
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N2035/00346—Heating or cooling arrangements

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

본 발명은 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법을 제공한다. 이 탈기체 측정 장치는 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브, 투명 튜브를 감싸도록 배치되고 튜명 튜브 내부에 배치된 시료에 적외선을 방출하여 가열하는 적외선 가열부, 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버, 메인 챔버에 연결된 보조 챔버, 보조 챔버와 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스(conductance)를 조절하는 조리개(orifice), 보조 챔버에 연결되어 보조 챔버 내부를 배기하는 배기부, 보조 챔버내부의 압력을 측정하는 보조 진공계, 및 메인 챔버의 압력을 측정하는 메인 진공계를 포함한다.
탈기체, 열탈착, 질량분석, 적외선 가열, 튜명 튜브

Description

탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법{OUTGASSING MEASUREMENT APPARATUS AND MEASURING METHOD OF THE SAME}
본 발명은 탈기체 측정 장치에 관한 것이며, 더 구체적으로 적외선 가열부를 가지는 탈기체 측정 장치에 관한 것이다.
종래의 탈기체 측정 장치는 금속 진공 용기 내부에 가열 수단으로 쿼츠봉을 통하여 시료의 일부면을 가열하였다. 이에 따라, 노이즈가 심하게 발생하고 넓은 면적으로 시료의 탈기체 측정이 어려웠다. 따라서, 다양한 크기와 재료 형상에 관계없이 측정 가능한 탈기체 측정 장치가 필요하다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 노이즈가 적고 다양한 시료를 장착 가능한 탈기체 측정장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 노이즈가 적고 다양한 시료를 장착 가능한 탈기체 측정방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정 장치는 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브, 상기 투명 튜브를 감싸도록 배치되고 상기 튜명 튜브 내부에 배치된 시료에 적외선을 방출하여 가열하는 적외선 가열부, 상기 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버, 상기 메인 챔버에 연결된 보조 챔버, 상기 보조 챔버와 상기 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스를 조절하는 조리개, 상기 보조 챔버에 연결되어 상기 보조 챔버의 배부를 배기하는 배기부, 상기 보조 챔버의 압력을 측정하는 보조 진공계, 및 상기 메인 챔버의 압력을 측정하는 메인 진공계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 메인 챔버 또는 상기 튜명 튜브에 연결된 질량 분석기(mass spectrometer)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 시료를 장착하는 시료 지지대, 및 상기 시료 또는 상기 시료 지지대의 온도를 측정하는 온도 측정부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 메인 챔버에 연결된 저진공 펌프, 상기 메인 챔버와 상기 저진공 펌프 사이에 배치된 진공 밸브, 상기 보조 챔버와 상기 배기부 사이에 배치된 게이트 밸브 중에서 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 튜명 튜브의 타단에 연결된 도어를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정 방법은 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브 내부에 시료를 장착하는 단계, 상기 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버, 상기 메인 챔버에 연결된 보조 챔버, 및 상기 보조 챔버와 상기 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스를 조절하는 조리개를 포함하는 챔버부를 배기하는 단계, 상기 투명 튜브를 감싸도록 배치된 적외선 가열부를 이용하여 상기 튜명 튜브 내부에 배치된 상기 시료를 적외선을 방출하여 가열하는 단계, 및 상기 보조 챔버의 압력 및 상기 메인 챔버의 압력을 측정하여 상기 시료의 탈기체 특성을 측정하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 메인 챔버 또는 상기 튜명 튜브 내의 탈기체를 질량에 따라 분석하는 단계를 더 포함하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정장치는 비교적 큰 시료를 장착하기 위한 직경이 큰 석영튜브를 포함하고, 적외선 가열부는 시료를 가열하기 위한 열조절 프로그램(thermal control program)으로 동작한다. 조리개(orifice)의 양측의 압력을 측정하여, 탈기체의 양을 측정할 수 있다. 또한 질량 분석기는 시료의 온도 상승에 따라 기체 종류별 탈기체(outgassing)의 양을 측정할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다. 본 발명에서 각주파수와 주파수는 혼용될 수 있다.
반도체 생산 기술이 발전하고, 초순수 또는 극청정 등의 극한 환경 수요가 늘어나면서, 극청정 공정 환경이 요구되고 있다. 극고진공을 실현시키는 것은 펌프의 성능과 리크(leak) 억제만으로는 한계가 있다. 사용되는 재질의 탈기체(outgassing) 등의 진공특성이 중요하게 된다. 따라서 낮은 탈기체 특성을 갖는 재질에서 탈리되는 기체의 스펙트럼을 분석하는 기술이 많이 사용되고 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 측정 샘플의 크기나 가공에 제한을 받아 장착이 어려운 샘플 측정의 탈기체 특성을 측정할 수 있는 탈기체 측정 장치를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정장치를 설명하는 도면이다.
도 1을 참조하면, 상기 탈기체 측정 장치는 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브(120), 상기 투명 튜브(120)를 감싸도록 배치되고 상기 튜명 튜브 내부에 배치된 시료(170)를 적외선을 방출하여 가열하는 적외선 가열부(110), 상기 튜명 튜브(120)의 일단에 연결된 메인 챔버(130), 상기 메인 챔버(130)에 연결된 보조 챔버(140), 상기 보조 챔버(140)와 상기 메인 챔버(130) 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스를 조절하는 조리개(150,orifice), 상기 보조 챔버(140)에 연결되어 상기 메인 챔버(130)와 상기 보조 챔버(140)를 배기하는 배기부(145), 상기 보조 챔버(140)의 압력을 측정하는 보조 진공계(142), 및 상기 메인 챔버(130)의 압력을 측정하는 메인 진공계(132)를 포함한다.
상기 투명 튜브(120)는 유리, 또는 쿼츠(Quartz)일 수 있다. 상기 투명 튜브(120)는 적당한 압력에 견딜 수 있도록 고형일 수 있다. 상기 튜명 튜브(120)는 실리더 형태가 바람직할 수 있다. 상기 튜명 튜브(120)는 상기 적외선 가열부(110)에 의하여 탈기체(outgassing)의 발생이 적은 물질일 수 있다. 시료 지지대(172)는 상기 튜명 튜브(120)의 내부에 배치될 수 있다. 상기 시료 지지대(172)는 상기 시료(170)를 장착할 수 있다. 상기 시료 지지대(172)는 적외선을 투과하도록 퀴츠로 제작될 수 있다. 온도 측정부(174)는 상기 시료(170) 또는 상기 시료 지지대(172)의 온도를 측정할 수 있다. 상기 온도 측정부(174)는 열전대(thermo couple)일 수 있다. 상기 튜명 튜브(120)의 일단은 상기 메인 챔버(130)에 연결되어 고정될 수 있다. 상기 튜명 튜브(120)의 타단은 도어(122)에 연결될 수 있다. 상기 도어(122)는 개방되어, 상기 시료(170)는 상기 시료 지지대(172)에 장착될 수 있다. 상기 투명 튜브(120)는 직경이 50 mm 내지 200 mm 일 수 있다.
상기 적외선 가열부(110)는 상기 튜명 튜브(120)를 감싸도록 배치되어 적외선을 상기 시료(170)에 조사할 수 있다. 상기 적외선 가열부(110)는 열선 또는 적 외선 램프를 포함할 수 있다. 상기 적외선 가열부(110)는 전력 공급부(미도시)의 공급 전류에 의하여 제어될 수 있다. 상기 적외선 가열부(110)는 온도 조절 프로그램에 의하여 제어될 수 있다. 상기 적외선 가열부(110)는 상기 시료(170)를 섭씨 40 도 내지 650 도까지 가열할 수 있다. 상기 시료(170)의 승온율은 0.3 ℃/sec가 바람직할 수 있다.
상기 적외선 가열부(110)의 길이는 상기 시료 지지대(172)의 길이의 수 배일 수 있다. 이에 따라, 상기 적외선 가열부(110)의 중심에서 상기 시료(170) 또는 상기 시료 지지대(174)의 온도 분포는 균일할 수 있다. 상기 적외선 가열부(110)는 상기 시료(170)에 탈기체(outgassing) 또는 열탈착(thermal desorption)을 제공할 수 있다. 상기 공급 전류와 상기 시료(170) 또는 상기 시료 지지부(172)의 온도와의 관계는 미리 조사될 수 있다. 상기 튜명 튜브(120) 및 상기 적외선 가열부(110)는 상기 시료(170)의 크기 및 형태에 제약을 받지 않고 상기 시료(170)의 탈기체 특성을 제공할 수 있다. 또한, 상기 적외선 가열부(110)는 상기 시료(170)의 일면에서만 가열하지 않고, 상기 시료(170)의 둘레를 가열하여 균일한 가열 특성을 얻을 수 있다. 즉, 상기 적외선 가열부(110)는 상기 시료(170)를 전체적으로 가열하여 노이즈에 강한 특성을 가진다. 상기 적외선 가열부(110)는 상기 튜명 튜브(120)의 가운데 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 튜명 튜브(120)가 상기 적외선 가열부(110)에 의하여 가열된 경우, 상기 튜명 튜브(120)의 일단 및 타단의 온도는 상온에 근접할 수 있다. 이에 따라, 상기 튜명 튜브(120)의 일단 및 타단에 배치된 진공 유지 재료(예를 들면, 오링)는 상기 적외선 가열부(120)의 열에 의한 영향에 서 받지 않을 수 있다.
상기 메인 챔버(130)는 진공을 유지하면서 상기 튜명 튜브(120)의 일단에 연결된다. 상기 시료(170)가 상기 적외선 가열부(110)에 의하여 탈기체를 발생하는 경우, 상기 탈기체는 상기 메인 챔버(130)로 이동할 수 있다. 상기 메인 챔버(130)는 금속 재질로 구성될 수 있다. 상기 메인 진공계(132) 또는 질량 분석기(138)는 상기 메인 챔버(130)에 장착될 수 있다. 상기 메인 챔버(130)는 포트를 포함하고, 상기 열전대는 상기 포트를 통하여 전기적으로 절연되면서 배선될 수 있다. 상기 온도 계산부(175)는 상기 열전대에 연결되어 상기 열전대의 온도를 측정할 수 있다.
보조 챔버(140)는 상기 메인 챔버(130)와 연결될 수 있다. 상기 메인 챔버(130)와 상기 보조 챔버(140)는 분리형으로 제작될 수 있다. 상기 보조 챔버(140)는 금속 재질일 수 있다. 상기 보조 챔버(140)에는 보조 진공계(142)가 장착될 수 있다.
상기 조리개(orifice,150)는 상기 보조 챔버(140)와 상기 메인 챔버(130) 사이에 배치될 수 있다. 상기 조리개(150)는 상기 탈기체의 컨덕턴스(conductance)를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 메인 챔버(130)와 상기 보조 챔버(140)는 압력차가 발생할 수 있다. 상기 조리개(150)의 직경은 10 mm 내외일 수 있다.
상기 배기부(145)는 상기 보조 챔버(140)에 연결될 수 있다. 상기 배기부(140)는 상기 메인 챔버(130) 및/또는 보조 챔버(140)를 10-5 토르(Torr)이하 로 배기시킬 수 있다. 상기 배기부(145)는 고진공 펌프(146)와 상기 고진공 펌프(146)와 직렬 연결된 저진공 펌프(148)를 포함할 수 있다. 상기 고진공 펌프(146)는 터보분자펌프(turbo molecular pump)일 수 있다. 상기 저진공 펌프(148)는 로터리 펌프(rotary pump)일 수 있다. 게이트 밸브(144)는 상기 보조 챔버(140)와 상기 배기부(145) 사이에 배치될 수 있다. 상기 게이트 밸브(144)는 상기 배기부(145)와 상기 보조 챔버(140)를 격리시킬 수 있다.
저진공 펌프(136)는 상기 메인 챔버(130)에 연결될 수 있다. 진공 밸브(134)는 상기 메인 챔버(130)와 상기 저진공 펌프(136) 사이에 배치될 수 있다. 상기 시료(170)를 교체하는 경우, 상기 배기부(145)는 계속 동작되는 상태에서, 상기 게이트 밸브(144)는 폐쇄되고, 상기 진공 밸브(134)는 폐쇄될 수 있다. 이어서, 상기 시료(170)를 교체하고, 상기 진공 밸브(134)는 개방되어 상기 메인 챔버(130) 및 상기 보조 챔버(140)는 저진공 상태로 상기 저진공 펌프(136)에 의하여 배기될 수 있다. 이어서, 상기 진공 밸브(134)를 폐쇄하고, 상기 게이트 밸브(144)를 개방하여, 상기 메인 챔버(130) 및 상기 보조 챔버(140)는 고진공 상태로 조속히 도달할 수 있다.
상기 보조 진공계(142) 및 메인 진공계(132)는 고진공에서 정밀한 압력을 측정할 수 있는 진공계가 바람직할 수 있다. 상기 보조 진공계(142) 또는 메인 진공계(132)는 이온 게이지(ionization gauge) 또는 페닝 게이지(Penning Gauge) 중에서 어느 하나일 수 있다.
상기 질량 분석기(138, mass spectrometer)는 상기 메인 챔버(130) 또는 상 기 튜명 튜브(120)에 연결될 수 있다. 상기 질량 분석기(138)는 4중극 질량분석기(quadropole mass spectrometer:QMS) 또는 RGA(regidual gas analyzer)일 수 있다. 상기 질량 분석기(138)는 상기 탈기체를 이온화하여 질량에 따라 상기 탈기체의 성분을 분석할 수 있다. 상기 질량 분석기(138)는 절대값으로 보정될 수 있다.
제어부(160)는 상기 적외선 가열부(110), 상기 질량 분석기(138), 상기 보조 진공계(142), 상기 메인 진공계(132), 및 상기 온도 계산부(175) 중에서 적어도 하나와 통신하여 할 수 있다. 상기 제어부(160)는 통신 수단을 포함하는 컴퓨터일 수 있다.
이하에서, 본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정 장치의 동작원리를 설명한다.
상기 튜명 튜브(120)의 둘레에 배치된 상기 적외선 가열부(110)의 출력을 상승시키면서, 상기 시료(170)의 온도와 상기 적외선 가열부(110)의 공급 전류 사이의 관계를 구한다. 시간별 온도 상승률을 고려하여, 상기 적외선 가열부(110)의 공급 전류를 제어하는 프로그램이 제공될 수 있다.
이어서, 상기 시료(170)를 상기 시료 지지대(172)에 장착하고, 상기 튜명 튜브(170) 내에 삽입하고, 상기 도어(122)를 닫고, 상기 진공밸브(134)를 열고, 저진공 펌프(136)로 상기 튜명 튜브(170), 상기 메인 챔버(130), 및 보조 챔버(140)를 초벌 배기한다. 이어서, 상기 진공밸브(134)를 닫고, 상기 게이트 밸브(144)를 열고, 상기 배기부(145)로 상기 튜명 튜브(170), 상기 메인 챔버(130), 및 보조 챔 버(140)를 배기하여, 기초 압력(통상 10-5 토르) 이하로 배기한다.
이어서, 상기 적외선 가열부(110)의 공급 전류를 제어하는 프로그램을 이용하여, 상기 적외선 가열부(110)를 동작시키어, 상기 시료(170)를 가열한다. 상기 시료(170)의 온도에 따른, 상기 메인 챔버의 압력(P1) 및 상기 보조 챔버의 압력(P2)을 측정한다.
상기 시료(170)의 탈기체량(Q)은 다음과 같은 관계를 만족한다.
Figure 112009067078517-PAT00001
여기서, Se는 유효 배기 속도(effective pumping speed)이고, C는 상기 조리개의 컨덕턴스(conductance)이다. 상기 유효 배기 속도 및 상기 컨덕턴스는 질소를 기준으로 계산 또는 측정될 수 있다. 상기 시료의 탈기체량(Q)은 상기 시료의 온도(T) 및 시간(t)의 함수일 수 있다.
즉, 상기 메인 챔버의 압력(P1)과 상기 보조 챔버의 압력(P2)의 차이(ΔP)는 상기 시료의 탈기체량(Q)에 비례한다. 따라서, 시간에 따른 상기 압력 차이(ΔP)를 측정하면, 상기 시료의 탈기체량(Q)을 측정할 수 있다.
또한, 상기 질량 분석기(138)는 상기 시료(170)의 탈기체량(Q)의 성분을 분석할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정 방법을 설명하는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 탈기체 측정 방법은 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브 내부에 시료를 장착하는 단계(S100), 상기 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버, 상기 메인 챔버에 연결된 보조 챔버, 및 상기 보조 챔버와 상기 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스를 조절하는 조리개(orifice)를 포함하는 챔버부를 배기하는 단계(S110), 상기 투명 튜브를 감싸도록 배치된 적외선 가열부를 이용하여 상기 튜명 튜브 내부에 배치된 상기 시료를 적외선을 방출하여 가열하는 단계(S120), 및 상기 보조 챔버의 압력 및 상기 메인 챔버의 압력을 측정하여 상기 시료의 탈기체 특성을 측정하는 단계(S130)를 포함한다. 상기 메인 챔버 또는 상기 튜명 튜브 내의 탈기체를 질량수에 따라 분석하는 단계(S140)를 더 포함하는 단계를 포함할 수 있다.
도 3 내지 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정 장치에 의하여 측정된 측정 결과들이다.
도 3을 참조하면, 상기 시료는 섭씨 80도에 일정하게 유지되면서, 상기 시료의 탈기체량(Q)를 측정하였다. 상기 탈기체량(Q)는 시간에 따라 지수함수적으로 감소하는 특성을 보였다. 상기 시료는 폴리이미드 필름(polyimide film)이었다. 상기 시료의 탈기체 양은 탈기체 실험 전의 상기 빈 챔버 상태의 탈기체 양과 시료를 넣은 상태의 탈기체 실험의 후의 탈기체 양과의 차이에 의하여 계산될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 시료의 온도별 탈기체량(Q)의 기체 종류별 분석 결과이다. 온도가 상승함에 따라, 상기 탈기체량(Q)의 피크 크기가 증가함을 알 수 있다.
도 5을 참조하면, 상기 시료는 섭씨 80도에 일정하게 유지되면서, 상기 시료의 탈기체량(Q)의 기체 종류별 질량 분석 결과이다. 상기 탈기체량(Q)는 시간에 따라 지수 함수적으로 감소하는 특성을 보였다. 상기 시료는 폴리이미드 필름(polyimide film)이었다. 상기 튜명 튜브 및 금속 성분은 발견되지 않았다.
도 6을 참조하면, 상기 시료의 온도가 계단 형상으로 변하는 경우의 질량 분석기의 결과이다. 상기 탈기체량(Q)는 온도가 증가함에 따라 증가하는 특성을 보였다. 상기 시료는 폴리이미드 필름(polyimide film)이었다. 상기 탈기체량(Q)의 기체 종류별 분석결과는 기체별 감도가 교정되지 않았으므로 절대값을 알 수 없지만 기체별로 상대적인 탈기체의 양을 알 수 있다.
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시 예들를 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정장치를 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정 방법을 설명하는 도면이다.
도 3 내지 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 탈기체 측정 장치에 의하여 측정된 측정 결과들이다.

Claims (7)

  1. 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브;
    상기 투명 튜브를 감싸도록 배치되고 상기 튜명 튜브 내부에 배치된 시료에 적외선을 방출하여 가열하는 적외선 가열부;
    상기 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버;
    상기 메인 챔버에 연결된 보조 챔버;
    상기 보조 챔버와 상기 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스를 조절하는 조리개;
    상기 보조 챔버에 연결되어 상기 보조 챔버를 배기하는 배기부;
    상기 보조 챔버의 압력을 측정하는 보조 진공계; 및
    상기 메인 챔버의 압력을 측정하는 메인 진공계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인 챔버 또는 상기 튜명 튜브에 연결된 질량 분석기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 시료를 장착하는 시료 지지대; 및
    상기 시료 또는 상기 시료 지지대의 온도를 측정하는 온도 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인 챔버에 연결된 저진공 펌프;
    상기 메인 챔버와 상기 저진공 펌프 사이에 배치된 진공 밸브;
    상기 보조 챔버와 상기 배기부 사이에 배치된 게이트 밸브 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 튜명 튜브의 타단에 연결된 도어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 장치.
  6. 적외선을 투과하는 재질로 구성된 투명 튜브 내부에 시료를 장착하는 단계;
    상기 튜명 튜브의 일단에 연결된 메인 챔버, 상기 메인 챔버에 연결된 보조 챔버, 및 상기 보조 챔버와 상기 메인 챔버 사이에 배치되어 유량 컨덕턴스를 조절하는 조리개를 포함하는 챔버부를 배기하는 단계;
    상기 투명 튜브를 감싸도록 배치된 적외선 가열부를 이용하여 상기 튜명 튜브 내부에 배치된 상기 시료를 적외선을 방출하여 가열하는 단계; 및
    상기 보조 챔버의 압력 및 상기 메인 챔버의 압력을 측정하여 상기 시료의 탈기체 특성을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 메인 챔버 또는 상기 튜명 튜브 내의 탈기체를 질량수(atomic mass number)에 따라 분석하는 단계를 더 포함하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈기체 측정 방법.
KR1020090104757A 2009-11-02 2009-11-02 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법 KR101063089B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090104757A KR101063089B1 (ko) 2009-11-02 2009-11-02 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090104757A KR101063089B1 (ko) 2009-11-02 2009-11-02 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110048092A true KR20110048092A (ko) 2011-05-11
KR101063089B1 KR101063089B1 (ko) 2011-09-07

Family

ID=44239303

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090104757A KR101063089B1 (ko) 2009-11-02 2009-11-02 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101063089B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101358865B1 (ko) * 2011-12-14 2014-02-06 주성엔지니어링(주) 모니터링 장치 및 이를 이용한 모니터링 방법
WO2015083957A1 (ko) * 2013-12-02 2015-06-11 한국표준과학연구원 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법
US20210215599A1 (en) * 2020-01-09 2021-07-15 Government of the United States of America, as represented bythe Secretary of Commerce Infrared thermal desorber and performing infrared thermal desorption

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004061135A (ja) 2002-07-24 2004-02-26 Fuji Electric Holdings Co Ltd ガス分析方法およびその装置
JP3909706B2 (ja) 2003-09-08 2007-04-25 株式会社リガク 昇温脱離分析装置とその方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101358865B1 (ko) * 2011-12-14 2014-02-06 주성엔지니어링(주) 모니터링 장치 및 이를 이용한 모니터링 방법
WO2015083957A1 (ko) * 2013-12-02 2015-06-11 한국표준과학연구원 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법
US20210215599A1 (en) * 2020-01-09 2021-07-15 Government of the United States of America, as represented bythe Secretary of Commerce Infrared thermal desorber and performing infrared thermal desorption
US11761888B2 (en) * 2020-01-09 2023-09-19 Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce Infrared thermal desorber and performing infrared thermal desorption

Also Published As

Publication number Publication date
KR101063089B1 (ko) 2011-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Naidis Positive and negative streamers in air: Velocity-diameter relation
JP5491311B2 (ja) 昇温脱離ガス分析装置およびその方法
US20130032711A1 (en) Mass Spectrometer
JP2007506974A5 (ko)
KR101063089B1 (ko) 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법
JP6919630B2 (ja) ガス分析装置およびガス分析方法
CN106814125B (zh) 一种材料辐射致放气的在线测试装置和测试方法
JP6337293B2 (ja) ガス透過度測定装置
WO2013157217A1 (ja) 水分量変動検知装置、水分量変動検知方法、真空計及び真空度変動検知方法
JP6934239B2 (ja) 高感度昇温脱離ガス分析装置
KR20080017929A (ko) 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력측정장치 및 그 측정방법
CN112781786B (zh) 一种利用超冷原子测量超高或极高真空的装置及检测方法
Bernatskiy et al. Dynamics of the water molecule density in a discharge chamber filled with a low-pressure humid gas
WO2017104053A1 (ja) イオン分析装置
JP2008151590A (ja) ガス分析装置
CN116413404B (zh) 试验系统和试验方法
JP2005353604A (ja) 質量分析装置における気体導入装置
JP6583412B2 (ja) 真空装置、及び、これを備えた分析装置
CN108962716B (zh) 一种质谱检出限的检测装置及其检测方法
CN110987718A (zh) 一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统
US5170057A (en) Method and apparatus for measuring the partial pressure of a gas in a vacuum
KR101871398B1 (ko) 공정 챔버 진공 제어 시스템 및 방법
JP6933655B2 (ja) サンプルの水分を測定する装置及び方法
JP2008241533A (ja) 試料導入装置および試料導入方法
JP5901142B2 (ja) 水素またはヘリウム用の検出計及び水素またはヘリウムの検出方法並びにリークディテクタ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140708

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150803

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160722

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee