KR20110040447A - 필터 클리너 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 필터클리너에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조장비에 사용되는 필터를 고압의 DIW, IPA, KOH로 세정하고, 압축공기를 이용하여 건조하여 재사용함으로써 필터 세정공정에 소요되는 비용을 절감하고 자원을 재활용할 수 있는 필터 클리너에 관한 것이다.
본 발명의 목적을 달성하기 위한 기술적 사상으로서의 본 발명은, 필터(250)를 고정하는 고정지그(210, 215)와, 상기 고정지그(210, 215)가 필터(250)를 고정할 수 있도록 동력을 부여하는 필터척킹부(270)와, 상기 필터(250)의 외부에 고압의 압축공기를 분사하는 에어분사부(260)와, 상기 고정지그(210, 215)를 필요에 따라 회전하는 지그구동부(230), 및 상기 고정지그(210, 215)와 상기 필터척킹부(270)와 상기 에어분사부(260) 및 상기 지그구동부(230)를 보호하고 필터(250)를 세정하는 동안 세정제의 비산을 방지하는 케이스부(240)로 구성되는 필터세정부(200)와; 상기 필터(250)를 세정하는데 필요한 탈이온수(DIW)를 저장하며, 배관라인을 통하여 상기 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210)에 연결되는 탈이온수공급부(100)와; 상기 필터(250)에 침적되어 있는 유기물을 제거하는 이소프로필 알코올(IPA)을 저장하며, 배관라인을 통하여 상기 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210)에 연결되는 IPA공급부(160)와; 상기 필터(250)를 건조하기 위한 압축공기를 저장하며, 배관라인을 통하여 상기 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210)에 연결되는 공기공급부(130); 및 상기 케이스부(240)에 연결되어 상기 필터(250)를 세 정하고 난 세정제를 자연배관하는 드레인부(300);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
필터세정부, 고정지그, 에어분사부, 지그구동부, 필터척킹부
Description
본 발명은 필터클리너에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조장비에 사용되는 필터를 고압의 DIW, IPA, KOH로 세정하고, 압축공기를 이용하여 건조하여 재사용함으로써 필터 세정공정에 소요되는 비용을 절감하고 자원을 재활용할 수 있는 필터 클리너에 관한 것이다.
반도체 장치를 제조하기 위한 각 단위 공정들을 수행하기 전 또는 수행 후에 웨이퍼는 일련의 표면 세정공정을 거쳐야 한다. 이러한 표면 세정공정은 일반적으로 세정액을 사용하여 웨이퍼를 세정하는 습식클리닝장치를 사용하여 수행한다.
상기 습식클리닝장치는 세정액에 잔재 되어 있는 오염물질들을 필터링하기 위한 케미컬필터가 장착되어 있는데, 상기 습식클리닝 장치에 장착되어 있는 케미컬필터는 일정 기간 동안 계속하여 사용할 경우 오염물이 침적되어 필터의 눈막힘 현상이 발생하게 되고, 이 때문에 상기 세정액 내의 오염물을 정상적으로 필터링하지 못하게 된다.
따라서 상기 습식클리닝장치에 장착되어 있는 케미컬필터는 주기적으로 새로운 필터로 교체하여 주거나 세정을 수행하여야 한다.
도 1은 종래의 케미컬필터 세정장치의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.
도 1을 참조하며, 이소프로필 알코올(IPA)을 공급하는 제1 공급부(10)와 탈이온수(D.I Water)를 공급하는 제2 공급부(12) 및 상기 제1 공급부(10) 및 제2 공급부(12)와 각각 연결되는 순환라인(14)이 구비된다.
상기 순환라인(14) 내의 소정 부위에는 세정을 수행하기 위한 대상필터(16a)를 탈·부착할 수 있도록 지지하는 필터지지부(16)가 구비된다. 그리고 상기 순환라인(14)에서 상기 필터지지부(16)의 후단에 연결되고, 상기 순환라인(14) 내의 용액을 외부로 배출하는 드레인부(18)가 구비된다.
상기 제1 공급부(10)는 이소프로필 알코올의 공급을 제어하는 제1 밸브(10a)를 포함하고, 상기 제2 공급부(12)는 탈이온수의 공급을 제어하는 제2 밸브(12a)를 포함한다. 그리고, 상기 필터지지부(16)는 필터(16a)를 장착하였을 때, 상기 순환라인(14)을 통과하는 용액이 상기 필터(16a)를 반드시 경유할 수 있도록 구비한다.
상기의 구성을 갖는 필터세정장치를 사용하여 필터를 세정하는 방법을 설명하며, 먼저 필터지지부(16)에 세정을 수행하기 위한 케미컬필터(16a)를 장착한다.
이어서, 상기 순환라인(14) 내에 이소프로필 알코올을 채워넣어 상기 필터(16a)를 상기 이소프로필 용액 내에 침지한다. 일정 시간 동안 상기 필터(16a)를 이소프로필 알코올에 침지한 다음, 상기 이소프로필 알코올을 드레인하고, 탈이온수를 상기 순환라인(14) 내로 주입하여 필터(16a) 내에 남아있는 이소프로필 알코올 용액을 완전히 제거한다.
그러나 상기와 같이 이소프로필 알코올에 상기 필터를 침지하는 방식으로 필터를 세정하더라도 필터 내의 오염물들이 완전히 제거되지 않는다는 문제점이 있다. 특히, 필터 내에 부착되어 있는 유기 성분의 오염물질은 비교적 잘 제거되지만, 금속 성분의 오염물질은 거의 제거되지 않고 필터 내에 남아있게 된다.
때문에, 상기의 방법에 의해 세정된 케미컬필터를 습식 클리닝 장치에 장착할 경우 케미컬필터에 남아있는 금속 성분의 오염물질에 의하여 웨이퍼 상에 공정 불량이 유발되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 오염된 필터를 고정지그에 고정하여 고압의 탈이온수(DIW), 이소프로필 알코올(IPA), 수산화 칼륨(KOH) 등을 이용하여 순차적으로 세정한 다음, 내·외부에서 압축공기(AIR)를 투입하여 건조함으로써 오염물질의 제거효율을 향상시키고 필터 세정에 소요되는 시간을 단축할 수 있을 뿐만 아니라 필터 세정이 완료되는 동시에 필터를 재사용할 수 있는 필터 클리너를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위한 기술적 사상으로서의 본 발명은, 필터(250)를 고정하는 고정지그(210, 215)와, 상기 고정지그(210, 215)가 필터(250)를 고정할 수 있도록 동력을 부여하는 필터척킹부(270)와, 상기 필터(250)의 외부에 고압의 압축공기를 분사하는 에어분사부(260)와, 상기 고정지그(210, 215)를 필요에 따라 회전하는 지그구동부(230), 및 상기 고정지그(210, 215)와 상기 필터척킹부(270)와 상기 에어분사부(260) 및 상기 지그구동부(230)를 보호하고 필터(250)를 세정하는 동안 세정제의 비산을 방지하는 케이스부(240)로 구성되는 필터세정부(200)와; 상기 필터(250)를 세정하는데 필요한 탈이온수(DIW)를 저장하며, 배관라인을 통하여 상기 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210)에 연결되는 탈이온수공급부(100)와; 상기 필터(250)에 침적되어 있는 유기물을 제거하는 이소프로필 알코올(IPA)을 저장하며, 배관라인을 통하여 상기 필터세정부(200)의 제1 고정지 그(210)에 연결되는 IPA공급부(160)와; 상기 필터(250)를 건조하기 위한 압축공기를 저장하며, 배관라인을 통하여 상기 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210)에 연결되는 공기공급부(130); 및 상기 케이스부(240)에 연결되어 상기 필터(250)를 세정하고 난 세정제를 자연배관하는 드레인부(300);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 특징으로, 상기 고정지그(210, 215)는, 상기 필터(250)의 일측을 지지하는 제1 고정지그(210)와 상기 필터(250)의 타측을 지지하는 제2 고정지그(215)로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 특징으로, 상기 제1 고정지그(210)는, 중공의 원통형으로, 일측 끝단에는 제1 집지부(211)가 구비되고, 타측에는 지그구동부(230)가 구비되며, 타측 끝단으로서 상기 제1 고정지그(210)의 중공부에는 탈이온수공급부(100)와 공기공급부(130) 및 IPA공급부(160)를 연결하는 배관이 결합하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 특징으로, 상기 제1 고정지그(210)는, 제1 지그고정수단(400)에 의하여 필터세정부(200)의 내부에 지지 및 고정되며, 상기 제1 지그고정수단(400)과 상기 제1 고정지그(210)의 결합부에는 베어링장치가 구비되어 상기 지그구동부(230)에 의하여 전달되는 동력에 의하여 제1 고정지그(210)가 회전할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 특징으로, 상기 제2 고정지그(215)는, 속이 찬 원통으로, 일측 끝단에는 제2 집지부(216)가 구비되고, 타측 끝단에는 필터척킹부(270)가 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 특징으로, 상기 제2 고정지그(215)는, 제2 지그고정수단(450)에 의하여 필터세정부(200) 내에 지지 및 고정되며, 상기 제2 지그고정수단(450)과 상기 제2 고정지그(215)는 왕복운동이 가능한 구조로 결합하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 특징으로, 상기 제2 고정지그(215)는, 일측 끝단 또는 제2 고정지그(215)와 제2 지그고정수단(450)의 결합부 중 선택된 어느 한 부분에 베어링 장치가 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 특징으로, 상기 IPA공급부(160)에는, 이소프로필 알코올 대신에 수산화칼륨(KOH)을 저장하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 필터 클리너에 의하며, 종래에 유동하는 탈이온수, 이소프로필 알코올에 필터를 단순히 침지하는 것에 비하여 세정효과가 현저히 좋아지는 효과가 있다. 또한 본 발명에 따른 필터 클리너에 의하면, 필터를 세정하는 단계에서 필터의 건조공정이 포함되므로 필터 세정이 완료된 즉시 필터를 사용할 수 있다는 장점이 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로 인해 본 발명의 기술적 인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.
도 2는 본 발명에 따른 필터 클리너의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 필터 클리너는 탈이온수공급부(100), 공기공급부(130), 이소프로필 알코올 공급부(이하 'IPA공급부'라 한다)(160), 필터세정부(200) 및 드레인부(300)를 포함하여 구성된다.
탈이온수공급부(100)는 필터(250)를 세정하는데 필요한 탈이온수(DIW)를 저장하며, 상기 탈이온수공급부(100)는 배관라인을 통하여 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210)에 연결되고, 상기 배관라인에는 공지의 차폐밸브가 필요에 따라 선택적으로 구비되어 탈이온수의 공급량 또는 압력을 자동으로 조절할 수 있다.
공기공급부(130)는 세정이 끝난 필터(250)를 건조하기 위한 압축공기를 저장하며, 상기 공기공급부(130)는 배관라인을 통하여 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210) 및 에어분사부(260)에 연결되고, 상기 배관라인에는 공지의 차폐밸브 또는 압력조절밸브 등이 필요에 따라 선택적으로 구비되어 압축공기를 원하는 압력으로 공급하거나 차단할 수 있다.
IPA공급부(160)는 필터(250)에 침적되어 있는 유기물 성분의 오염물을 제거하기 위한 이소프로필 알코올(IPA)이 저장되며, 상기 IPA공급부(160)는 배관라인을 통하여 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210)에 연결되고, 상기 배관라인에는 공지의 차폐밸브가 구비되어 이소프로필 알코올을 필요에 따라 자동으로 공급하거나 차단할 수 있다.
필터세정부(200)는 세정이 요구되는 필터(250)를 탈이온수 또는 이소프로필 알코올 등과 같은 세정제를 이용하여 세정하고, 압축공기를 이용하여 건조하는 수단으로서 필터세정부(200)의 상세한 구성 및 동작에 관하여는 후술하여 상세하게 설명한다.
드레인부(300)는 필터세정부(200)에 연결되어 필터(250)를 세정하고 난 세정제를 자연배관하는 파이프로서, 상기 드레인부(300) 상에는 세정제의 배수를 조절할 수 있는 차폐밸브가 구비되어 있다.
도 3은 도 2에 도시된 필터세정부의 개략적인 구성을 보여주는 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 필터세정부에 고정된 필터의 내·외부에서 에어 및 세정제의 흐름을 보여주는 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 필터세정부(200)는 세정이 요구되는 필터(250)를 고정하는 고정지그(210, 215)와, 고정지그(210, 215)가 필터(250)를 고정할 수 있도록 동력을 부여하는 하는 필터척킹부(270)와, 필터(250)의 외부에 고압의 공기를 분사하는 에어분사부(260)와, 필터(250)를 고정한 고정지그(210, 215)를 필요에 따라 회전하는 지그구동부(230) 및 필터(250)를 세정하는 동안 세정액이 비산(飛散)되는 것을 방지하는 케이스부(240)로 구성된다.
고정지그(210, 215)는 필터(250)의 일측을 지지하는 제1 고정지그(210)와 필터(250)의 타측을 지지하는 제2 고정지그(215)로 구성된다.
제1 고정지그(210)는 중공의 원통형으로, 일측 끝단에는 필터(250)의 중심을 관통하는 필터중공부(255)에 대응하는 단턱이 형성되거나 필터중공부(255)의 지름보다 큰 지름의 원통이 바깥쪽으로 연장되면서 점진적으로 작아져서 필터중공부(255)의 지름보다 작은 지름의 끝단을 형성하는 제1 집지부(211)가 구비되어 필터중공부(255)에 일부 삽입되면서 필터(250)를 고정 및 지지한다.
제1 고정지그(210)의 타측에는 고정지그(210, 215)의 회전운동에 필요한 동력을 전달하는 지그구동부(230)가 연결된다. 상기 지그구동부(230)는 도면에 도시된 바와 같이 베벨기어로 연결되어 제1 고정지그(210)에 동력을 전달할 수도 있으나, 필요에 따라서는 벨트를 통하여 동력을 전달할 수도 있음은 물론 공지의 다양한 동력전달장치를 통하여 제1 고정지그(210)에 회전력을 전달할 수 있다.
또한, 제1 고정지그(210)의 타측으로서, 상기 제1 고정지그(210)의 중공부(미도시)에는 탈이온수공급부(100), 공기공급부(130) 및 IPA공급부(160) 등과 연결되는 배관이 결합한다.
상기와 같이 구성된 제1 고정지그(210)는 제1 지그고정수단(400)에 의하여 필터세정부(200) 내에 지지 및 고정되며, 상기 제1 지그고정수단(400)과 제1 고정지그(210)의 결합부에는 베어링장치가 구비되어 지그구동부(230)에 의하여 전달되는 동력에 의하여 제1 고정지그(210)가 원활하게 회전할 수 있다.
제2 고정지그(215)는 속이 찬 원통으로서 일측 끝단은 필터(250)의 중심을 관통하는 필터중공부(255)에 대응하는 단턱이 형성되거나 필터중공부(255)의 지름보다 큰 지름의 원통이 바깥쪽으로 연장되면서 점진적으로 작아져서 필터중공부(255)의 지름보다 작은 지름의 끝단을 형성하는 제2 집지부(216)가 구비되어 필 터중공부(255)에 일부 삽입되면서 필터(250)를 지지 및 고정한다.
제2 고정지그(215)는 제2 지그고정수단(450)에 의하여 필터세정부(200) 내에 지지 및 고정된다. 이때 제2 고정지그(215)와 제2 지그고정수단(450)은 공지의 왕복운동이 가능한 구조로 결합된다.
한편, 제2 고정지그(215)는 필터(250)가 회전하는 경우에 수동적으로 회전하여야 함으로, 제2 고정지그(215)의 일측 끝단 또는 제2 고정지그(215)와 제2 지그고정수단(450)의 결합부 중 선택된 어느 한 부분이 베어링 장치로 구성된다.
제2 고정지그(215)의 타측에는 제2 고정지그(215)가 왕복 운동하는데 필요한 동력을 전달하는 필터척킹부(270)가 구비되며, 상기 필터척킹부(270)는 바람직하게는 유압장치를 사용한다.
상기와 같이 구성된 고정지그(210, 215)의 동작과정을 살펴보면, 먼저 고정지그(210, 215)에 세정이 요구되는 필터(250)를 고정하기 위하여 필터척킹부(270)를 이용하여 제2 고정지그(215)를 후퇴시켜서 제1 고정지그(210)와 제2 고정지그(215) 사이의 간격이 필터(250)의 길이보다 크게 한다.
그런 다음, 제1 고정지그(210)와 제2 고정지그(215)의 중심부에 일치하도록 필터(250)를 위치시킨 다음, 필터척킹부(270)를 구동시켜 제2 고정지그(215)를 전진한다.
제2 고정지그(215)가 전진하면서 제1 고정지그(210)와 제2 고정지그(215) 사이의 간격이 좁아지면, 필터중공부(255)에 상기 제1 고정지그(210) 및 제2 고정지그(215)의 집지부(211, 216)가 일부 삽입되면서 필터(250)가 고정된다.
고정지그(210, 215)에 필터(250)가 고정되면, 제1 고정지그(210)의 타측 끝단에 연결된 배관을 통하여 세정제를 공급한다. 이때 필요에 따라서는 지그구동부(230)를 통하여 제1 고정지그(210)를 회전시키면서 세정제를 주입할 수도 있다.
필터의 세정공정에 관하여는 후술하여 상세하게 설명한다.
에어분사부(260)는 고정지그(210, 215)에 고정된 필터(250)의 상부에 위치하며, 필터(250)의 길이방향에 대응하는 얇은 판형으로 구성된다.
에어분사부(260)의 하부로서 필터(250)와 인접하는 부분은 압축공기를 분사하는 틈이 형성되며, 상부에는 압축공기를 공급하는 배관이 연결된다.
케이스부(240)는 세정제가 비산하는 것을 방지하여 작업자의 건강이나 작업장 주변의 오염을 방지하기 위한 것으로서, 상부에는 개폐가 가능한 덮개부(미도시)가 형성된다.
도 5는 본 발명에 따른 필터 클리너의 작동순서를 보여주는 순서도이다.
도 5를 참조하여 본 발명에 따른 필터 클리너를 이용하여 오염된 필터를 세정하는 공정을 살펴보면, 오염된 필터를 세정하기 위하여 먼저 필터(250)를 필터세정부(200)에 체결하여 고정한다(S100). 필터세정부(200)에 필터(250)를 고정하는 방법에 관하여는 상기 설명한 바와 같다.
필터세정부(200)에 필터(250)가 고정되면, 탈이온수공급부(100)로부터 제1 고정지그(210)의 타측에 연결된 배관을 통하여 제1 고정지그(210)에 탈이온수를 공급한다(S200).
필터세정부(200)에서 공급된 탈이온수는 제1 고정지그(210)를 지나 필터중공부(255) 내로 유동하고, 상기 필터중공부(255) 내로 유입된 탈이온수는 필터(250)의 미세 틈새를 통하여 외부로 유출되면서 1차적으로 오염물질을 세척한다. 이때 탈이온수의 공급압력 및 시간은 필터의 상태에 따라 적절하게 조절할 수 있다.
탈이온수에 의한 1차 세정이 완료되면, 탈이온수의 공급을 차단하고 이소프로필 알코올을 필터중공부(255)로 공급한다(S300).
상기 필터중공부(255)로 공급된 이소프로필 알코올(IPA)은 필터(250)의 미세 틈세를 통과하면서 탈이온수에 의하여 잘 세척되지 않는 유기물 성분의 오염물을 2차적으로 세척한다. 이때 2차 세정의 경우에는 필터(250)의 오염상태 및 오염물질에 따라 이소프로필 알코올 대신에 수산화칼륨(KOH)을 사용할 수도 있다.
이소프로필 알코올에 의한 2차 세정이 완료되며, 이소프로필 알코올을 차단하고 다시 탈이온수를 필터 내로 주입하여 3차적으로 잔류성분을 세척한다(S400).
탈이온수에 의한 3차 세정이 완료되면, 모든 세정제의 공급을 중단하고, 공기공급부(130)로부터 필터(250) 내로 압축공기를 주입하고, 동시에 에어분사부(260)를 통하여서도 압축공기를 주입하여 필터(250)를 건조한다(S500).
또한, 필터(250)를 건조하는 동안에는 지그구동부(230)를 통하여 제1 고정지그(210)를 일정한 속도로 회전시켜 줌으로써 에어분사부(260)를 통하여 공급되는 압축공기가 필터(250)의 표면에 골고루 분사되어 건조 효율을 향상시킨다. 한편, 상기 지그구동부(230)는 반드시 건조공정에서만 사용하는 것은 아니며, 필요에 따라서는 세정공정에서도 필터를 일정하게 회전시켜주어 세정효과를 향상시킬 수 있 다.
필터(250) 내로 유입된 압축공기는 필터(250)의 미세 틈새를 빠르게 통과하면서 필터(250)의 틈새에 잔류하는 탈이온수를 건조하고, 에어분사부(260)를 통하여 공급된 압축공기는 필터(250)의 외부를 건조한다.
상기 과정을 통하여 필터가 건조되며, 필터세정부(250)에서 필터를 제거하여 재사용할 수 있다(S600).
도 1은 종래의 케미컬필터 세정장치의 개략적인 구성을 보여주는 도면.
도 2는 본 발명에 따른 필터 클리너의 개략적인 구성을 보여주는 도면.
도 3은 도 2에 도시된 필터세정부의 개략적인 구성을 보여주는 도면.
도 4는 도 3에 도시된 필터세정부에 고정된 필터의 내·외부에서 에어 및 세정제의 흐름을 보여주는 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 필터 클리너의 작동순서를 보여주는 순서도.
<도면의 주요부에 대한 설명>
100: 탈이온수공급부 130: 공기공급부
160: IPA공급부 200: 필터세정부
210, 215: 고정지그 230: 지그구동부
240: 케이스부 250: 필터
260: 에어분사부 270: 필터척킹부
300: 드레인부 400: 제1 지그고정수단
450: 제2 지그고정수단
Claims (8)
- 필터(250)를 고정하는 고정지그(210, 215)와, 상기 고정지그(210, 215)가 필터(250)를 고정할 수 있도록 동력을 부여하는 필터척킹부(270)와, 상기 필터(250)의 외부에 압축공기를 분사하는 에어분사부(260)와, 상기 고정지그(210, 215)를 필요에 따라 회전하는 지그구동부(230), 및 상기 고정지그(210, 215)와 상기 필터척킹부(270)와 상기 에어분사부(260) 및 상기 지그구동부(230)를 보호하고 필터(250)를 세정하는 동안 세정제의 비산을 방지하는 케이스부(240)로 구성되는 필터세정부(200)와;상기 필터(250)를 세정하는데 필요한 탈이온수(DIW)를 저장하며, 배관라인을 통하여 상기 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210)에 연결되는 탈이온수공급부(100)와;상기 필터(250)에 침적되어 있는 유기물을 제거하는 이소프로필 알코올(IPA)을 저장하며, 배관라인을 통하여 상기 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210)에 연결되는 IPA공급부(160)와;상기 필터(250)를 건조하기 위한 압축공기를 저장하며, 배관라인을 통하여 상기 필터세정부(200)의 제1 고정지그(210) 및 상기 에어분사부(260)에 연결되는 공기공급부(130); 및상기 케이스부(240)에 연결되어 상기 필터(250)를 세정하고 난 세정제를 자연배관하는 드레인부(300);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 필터 클리너.
- 제 1 항에 있어서,상기 고정지그(210, 215)는,상기 필터(250)의 일측을 지지하는 제1 고정지그(210)와 상기 필터(250)의 타측을 지지하는 제2 고정지그(215)로 구성되는 것을 특징으로 하는 필터 클리너.
- 제 2 항에 있어서,상기 제1 고정지그(210)는,중공의 원통형으로, 일측 끝단에는 제1 집지부(211)가 구비되고, 타측에는 지그구동부(230)가 구비되며, 타측 끝단으로서 상기 제1 고정지그(210)의 중공부에는 탈이온수공급부(100)와 공기공급부(130) 및 IPA공급부(160)를 연결하는 배관이 결합하는 것을 특징으로 하는 필터 클리너.
- 제 2 항에 있어서,상기 제1 고정지그(210)는,제1 지그고정수단(400)에 의하여 필터세정부(200)의 내부에 지지 및 고정되며, 상기 제1 지그고정수단(400)과 상기 제1 고정지그(210)의 결합부에는 베어링장치가 구비되어 상기 지그구동부(230)에 의하여 전달되는 동력에 의하여 제1 고정지그(210)가 회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 필터 클리너.
- 제 2 항에 있어서,상기 제2 고정지그(215)는, 속이 찬 원통으로, 일측 끝단에는 제2 집지부(216)가 구비되고, 타측 끝단에는 필터척킹부(270)가 구비되는 것을 특징으로 하는 필터 클리너.
- 제 2 항에 있어서,상기 제2 고정지그(215)는,제2 지그고정수단(450)에 의하여 필터세정부(200) 내에 지지 및 고정되며, 상기 제2 지그고정수단(450)과 상기 제2 고정지그(215)는 왕복운동이 가능한 구조로 결합하는 것을 특징으로 하는 필터 클리너.
- 제 2 항에 있어서,상기 제2 고정지그(215)는,일측 끝단 또는 제2 고정지그(215)와 제2 지그고정수단(450)의 결합부 중 선택된 어느 한 부분에 베어링 장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 필터 클리너.
- 제 1 항에 있어서,상기 IPA공급부(160)에는, 이소프로필 알코올 대신에 수산화칼륨(KOH)을 저장하는 것을 특징으로 하는 필터 클리너.
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