KR20110036665A - Light irradiation apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 액정 패널 등의 디스플레이 패널의 제조 공정에 있어서, 2장의 투광성 기판을 광경화형의 시일링제에 의해 접합하기 위한 디스플레이 패널의 접합 장치의 광원으로서 이용되는 광조사 장치에 관한 것이다.This invention relates to the light irradiation apparatus used as a light source of the bonding apparatus of the display panel for bonding two translucent board | substrates with the photocuring sealing agent in manufacturing processes of display panels, such as a liquid crystal panel.
근래, 액정 패널에 있어서는, 콘트라스트의 향상이나 응답 속도의 개선을 목적으로 하여, 셀 내부에 형성된 리브 구조 대신에 폴리머 구조물에 의해 액정 분자의 배향 방향을 규제하는 PSA(Polmer Sustained Aligment) 방식 또는 PSVA 방식이 개발되어 있다.Recently, in the liquid crystal panel, a PSA (Polmer Sustained Aligment) method or a PSVA method for regulating the orientation direction of liquid crystal molecules by a polymer structure instead of a rib structure formed inside a cell for the purpose of improving contrast and improving response speed. Is developed.
이 PSA 방식의 액정 패널의 제조 프로세스에 있어서는, 광중합성 성분을 함유하는 액정 재료를 셀 내에 주입하고, 주입된 액정 재료에 전압을 인가하면서 자외선을 조사함으로써, 셀 내에 폴리머 구조물을 형성하는 것이 행해진다. 이 액정 재료를 액정 패널에 고정시키는 방법의 하나인 액정 적하 공법(One Drop Fill, 줄여 ODF)에 있어서는, 셀을 구성하는 한 쪽의 투광성 기판의 표면에, 광경화형 시일링제를 도포함으로써, 틀형상의 시일링제층을 형성하고, 당해 한쪽의 투광성 기판의 표면에 있어서의 시일링제층에 포위된 영역에, 모노머를 함유하는 액정 재료를 도포한 후, 다른 쪽의 투광성 기판을 포개어 맞춘 상태로, 디스플레이 패널의 접합 장치에 의해 시일링제층에 광을 조사하고, 당해 시일링제를 경화시켜 2장의 투광성 기판을 접합시킨다. 그 후, 액정 재료에 포함되는 모노머를 자외선을 조사함으로써 폴리머 구조물을 형성하고, 액정 재료가 주입된 셀이 형성된다.In the manufacturing process of this PSA system liquid crystal panel, a polymer structure is formed in a cell by inject | pouring the liquid crystal material containing a photopolymerizable component in a cell, and irradiating an ultraviolet-ray, applying a voltage to the injected liquid crystal material. . In the liquid crystal dropping method (One Drop Fill, ODF) which is one of the methods of fixing this liquid crystal material to a liquid crystal panel, it forms a frame shape by apply | coating a photocuring sealing agent to the surface of one translucent board which comprises a cell. After forming the sealing agent layer of this, and apply | coating the liquid crystal material containing a monomer to the area | region enclosed by the sealing agent layer in the surface of the said one translucent board | substrate, the other translucent board | substrate was overlaid, and the display Light is irradiated to the sealing agent layer by the bonding apparatus of a panel, the said sealing agent is hardened, and two light-transmissive substrates are bonded together. Then, the polymer structure is formed by irradiating an ultraviolet-ray with the monomer contained in a liquid crystal material, and the cell in which the liquid crystal material was inject | poured is formed.
그리고, 광경화형 시일링제로서는, 광이 조사될 때에 액정 재료 중에 함유되는 광중합성 성분의 중합 반응이 진행하지 않도록, 그 감도 파장역이 액정 재료 중의 광중합성 성분의 감도 파장역보다 장파장측으로 이동한 것이 이용된다. And as a photocuring sealing agent, what shifted the sensitivity wavelength range toward the longer wavelength side rather than the sensitivity wavelength range of the photopolymerizable component in a liquid crystal material so that the polymerization reaction of the photopolymerizable component contained in a liquid crystal material may not progress when light is irradiated. Is used.
한편, 디스플레이 패널의 접합 장치에 있어서는, 시일링제층에 광을 조사하기 위한 광원으로서, 광경화형 시일링제의 감도 파장역의 광을 방사하는 램프와, 단파장측의 광을 차폐하는 필터를 구비하여 이루어지는 광조사 장치가 이용되고 있다(특허 문헌 1 참조).On the other hand, in the bonding apparatus of a display panel, as a light source for irradiating light to a sealing agent layer, it is provided with the lamp which radiates the light of the sensitivity wavelength range of a photocurable sealing agent, and the filter which shields the light of a short wavelength side. The light irradiation apparatus is used (refer patent document 1).
그러나, 이러한 광조사 장치에 있어서는, 이하와 같은 문제가 있다.However, such a light irradiation apparatus has the following problems.
(1)일반적으로, 램프는, 점등을 개시하고 나서 정상 점등 상태에 이를 때까지 상당한 시간을 요하는, 즉 순간 점등이 곤란하기 때문에, 광조사 장치에 있어서는, 셔터 기구를 설치함으로써, 램프를 연속 점등한 상태로, 셔터 기구의 셔터의 개폐에 의해 필요한 때에 조사 대상물에 대해서 광이 조사된다. 이 때문에, 에너지 효율이 낮고, 또한, 셔터 기구에 있어서의 가동 부품은 고장의 원인이 되기 쉽고, 장치의 신뢰성이 낮아진다는 문제가 있다.(1) In general, since the lamp requires a considerable time from the start of the lighting to the normal lighting state, i.e., the instantaneous lighting is difficult, in the light irradiation apparatus, the lamp is continuous by providing a shutter mechanism. In the lit state, light is irradiated to the irradiation object when necessary by opening and closing the shutter of the shutter mechanism. For this reason, there is a problem that the energy efficiency is low, and the movable parts in the shutter mechanism tend to be a cause of failure and the reliability of the device is low.
(2)램프의 발광 스펙트럼은, 그 파장역이 예를 들면 파장 200∼600㎚(특허 문헌 1의 단락 0238 참조.)에서, 광경화형 시일링제의 감도 파장인 200∼450㎚(특허 문헌 1의 단락 0244 참조.)에 비교하여 장파장측이 상당히 넓고, 또한, 단파장측의 파장역의 광이 필터에 의해 차폐되기 때문에, 광의 이용 효율이 매우 낮다는 문제가 있다.(2) The emission spectrum of the lamp has a wavelength range of 200 to 450 nm, which is a sensitivity wavelength of the photocurable sealing agent at a wavelength of 200 to 600 nm (see paragraph 0238 of Patent Document 1). Compared with paragraph 0244.), since the long wavelength side is considerably wider and light in the wavelength region on the short wavelength side is shielded by the filter, there is a problem that the utilization efficiency of light is very low.
(3)필터로서는, 일반적으로, 유전체 다층막을 가지는 필터가 이용되지만, 이와 같은 필터에 있어서는, 입사각 의존성이 현저한, 즉 광의 입사각도에 따라서는, 소기의 파장역의 광을 충분히 차폐하는 것이 곤란하다. 그 때문에, 액정 재료에 광이 조사되는 것을 방지하는 것을 목적으로 하여, 통상, 마스크가 이용되지만, 이 마스크는, 제조해야 할 디스플레이 패널의 형태나 치수 등에 응해 준비할 필요가 있기 때문에, 제조 비용이 증대한다는 문제가 있다.(3) As a filter, a filter having a dielectric multilayer film is generally used, but in such a filter, it is difficult to sufficiently shield light of a desired wavelength range depending on the incident angle dependence, that is, depending on the incident angle of light. . Therefore, although the mask is normally used for the purpose of preventing light from irradiating to a liquid crystal material, since this mask needs to be prepared according to the form, dimensions, etc. of the display panel to manufacture, manufacturing cost is There is a problem of increasing.
본 발명은, 이상과 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로써, 그 목적은, PSA 방식의 디스플레이 패널의 접합 장치에 이용되는 광조사 장치로서, 예를 들면 액정 재료에 함유되는 광중합성 성분의 중합 반응을 진행시키지 않고, 높은 광의 이용 효율로, 시일링제층에 광을 조사하여 경화할 수 있는 광조사 장치를 제공하는 것에 있다.This invention is made | formed in view of the above circumstances, The objective is the light irradiation apparatus used for the bonding apparatus of the PSA system display panel, For example, it is the polymerization reaction of the photopolymerizable component contained in a liquid crystal material. It is providing the light irradiation apparatus which can irradiate and harden | cure a sealing agent layer by high light utilization efficiency, without advancing.
본 발명의 광조사 장치는, 감도 파장역이 일정한 범위에 있는 광중합성 성분을 함유하는 광중합성 재료층과, 이 광중합성 재료층을 포위하는, 감도 파장역이 상기 광중합성 성분의 감도 파장역보다도 장파장측에 있는 광경화형 시일링제로 이루어지는 시일링제층이, 2장의 투광성 기판의 사이에 형성된 상태로, 당해 시일링제층에 광을 조사함으로써 상기 2장의 투광성 기판을 접합하는 디스플레이 패널의 접합 장치에 이용되는 광조사 장치에 있어서,The light irradiation apparatus of the present invention has a photopolymerizable material layer containing a photopolymerizable component having a sensitivity wavelength range in a constant range, and a sensitivity wavelength region surrounding the photopolymerizable material layer is higher than the sensitivity wavelength region of the photopolymerizable component. It is used for the bonding apparatus of the display panel which joins the said two transparent substrates by irradiating light to the said sealing agent layer in the state in which the sealing agent layer which consists of a photocurable sealing agent in the long wavelength side was formed between two light-transmissive substrates. In the light irradiation apparatus,
LED 소자와, 이 LED 소자의 발광 피크 파장보다도 단파장측이며, 당해 LED 소자의 발광 스펙트럼의 최단 파장보다도 장파장측에 컷오프 파장을 가지는 단파장측의 광을 차폐하는 필터를 가지고 이루어지며, 상기 LED 소자로부터 발하는 광이 상기 필터를 통해 상기 시일링제층에 조사되는 것을 특징으로 한다.And a filter for shielding light on the short wavelength side that is shorter than the emission peak wavelength of the LED element and that has a cutoff wavelength on the longer wavelength side than the shortest wavelength of the emission spectrum of the LED element. Light emitted is irradiated to the sealing agent layer through the filter.
본 발명의 광조사 장치에 있어서는, 상기 필터의 컷오프 파장은, 상기 광중합성 성분의 감도 파장역의 장파장측단보다도 장파장측에 있는 것이 바람직하다.In the light irradiation apparatus of this invention, it is preferable that the cutoff wavelength of the said filter is in a longer wavelength side rather than the long wavelength side end of the sensitivity wavelength range of the said photopolymerizable component.
또, 상기 LED 소자의 복수가 동일한 기판상에 배치되어 이루어지는 복수의 광원 세그먼트가, 당해 기판의 면방향을 따라 늘어서도록 배치되어 구성되어 있는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the some light source segment in which several of the said LED element is arrange | positioned on the same board | substrate is arrange | positioned so that it may be lined up along the surface direction of the said board | substrate.
또, 상기 LED 소자가 수납되어 이루어지는 LED 패키지를 가지며, 당해 LED 패키지에 상기 필터가 설치되어 있어도 된다.Moreover, it has a LED package in which the said LED element is accommodated, and the said filter may be provided in the said LED package.
본 발명의 광조사 장치에 의하면, 발광 스펙트럼의 파장역이 좁은 LED 소자로부터의 광을, 이 LED 소자의 발광 피크 파장보다 단파장측이며, 당해 LED 소자의 발광 스펙트럼의 최단 파장보다도 장파장측에 컷오프 파장을 가지는 필터를 통해 조사하기 때문에, 조사되는 광의 파장 분포가 매우 좁은 것이 된다. 따라서, 시일링제층을 구성하는 광경화형 시일링제의 감도 파장역 및 광중합성 재료층 중의 광중합성 성분의 감도 파장역에 따라 LED 소자를 선택함으로써, 광중합성 재료층 중의 광중합성 성분의 중합 반응을 진행시키지 않고, 높은 광의 이용 효율로, 시일링제층에 광을 조사하여 경화할 수 있다.According to the light irradiation apparatus of this invention, the light from the LED element whose wavelength range of a light emission spectrum is narrow is short wavelength side rather than the emission peak wavelength of this LED element, and is cut-off wavelength to the longer wavelength side than the shortest wavelength of the light emission spectrum of this LED element. Since the light is irradiated through a filter having a wavelength, the wavelength distribution of the irradiated light becomes very narrow. Therefore, the LED element is selected according to the sensitivity wavelength range of the photocurable sealing agent constituting the sealing agent layer and the sensitivity wavelength range of the photopolymerizable component in the photopolymerizable material layer to thereby advance the polymerization reaction of the photopolymerizable component in the photopolymerizable material layer. It can irradiate and harden | cure a sealing compound layer with high utilization efficiency of light, without making it make it impossible.
또, LED 소자는, 점등을 개시하고 나서 정상 점등 상태에 이를 때까지의 시간이 매우 짧은, 즉 순간 점등이 가능하기 때문에, 연속 점등하는 것 및 셔터 기구를 설치하는 것이 불필요하고, 따라서, 높은 에너지 효율을 얻을 수 있음과 더불어, 높은 신뢰성을 얻을 수 있다.In addition, since the LED element has a very short time from the start of the lighting to the normal lighting state, i.e., the instantaneous lighting can be performed, it is unnecessary to provide continuous lighting and to provide a shutter mechanism, and therefore high energy. In addition to obtaining efficiency, high reliability can be obtained.
또, 필터로서, 컷오프 파장이, 광중합성 재료층 중의 광중합성 성분의 감도 파장역의 장파장측단보다도 장파장측에 있는 것을 이용하는 구성에 의하면, 시일링제에 광을 조사했을 때에, 광중합성 재료층 중의 광중합성 성분의 중합 반응이 진행하는 것을 확실히 방지할 수 있다.Moreover, according to the structure which uses a cut-off wavelength which is longer in the longer wavelength side than the longer wavelength side end of the sensitivity wavelength range of the photopolymerizable component in a photopolymerizable material layer, when light is irradiated to the sealing agent, the light in a photopolymerizable material layer It is possible to reliably prevent the polymerization reaction of the synthetic components from proceeding.
LED 소자의 복수가 동일한 기판 상에 배치되어 이루어지는 복수의 광원 세크먼트가, 당해 기판의 면방향을 따라서 늘어서도록 배치된 구성에 의하면, 점등하는 광원 세그먼트를 시일링제층의 형태에 따라서 선택함으로써, 시일링제층에 대해서 선택적으로 광을 조사할 수 있으므로, 한층 높은 에너지 효율을 얻을 수 있음과 더불어, 시일링제층에 선택적으로 광을 조사하기 위해 마스크를 설치하는 것이 불필요해지기 때문에, 제조 비용의 저감화를 도모할 수 있다. 또, 광원 세그먼트에 있어서의 하나의 LED 소자가 열화했을 때에는, 다른 LED 소자의 조사 강도를 올림으로써, 광원 세그먼트 전체적으로 안정된 광량의 광을 조사할 수 있다.According to the configuration in which a plurality of light source segments in which a plurality of LED elements are arranged on the same substrate are arranged along the plane direction of the substrate, the seal is selected by selecting a light source segment to be lit depending on the shape of the sealing agent layer. Since light can be selectively irradiated to the ring agent layer, higher energy efficiency can be obtained and a mask is not required to selectively irradiate light to the sealing agent layer, thereby reducing manufacturing costs. We can plan. Moreover, when one LED element in a light source segment deteriorates, the intensity | strength of the light quantity stabilized on the whole light source segment can be irradiated by raising the irradiation intensity of another LED element.
또, LED 소자가 수납되어 이루어지는 LED 패키지를 가지며, 당해 LED 패키지에 필터가 설치된 구성에 의하면, 대면적의 필터를 설치하는 것이 불필요해지기 때문에, 필터의 비용의 저감화 및 생산성의 향상을 도모할 수 있다.In addition, the LED package has an LED element housed therein, and according to the configuration in which the filter is installed in the LED package, it becomes unnecessary to install a large-area filter, so that the cost of the filter can be reduced and the productivity can be improved. have.
도 1은 본 발명에 관련되는 광조사 장치를 구비한 디스플레이 패널의 접합 장치의 일례에 있어서의 구성의 개략을 나타내는 설명도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 디스플레이 패널의 접합 장치의 처리 대상물을 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명에 관련되는 광조사 장치의 일례에 있어서의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 3에 나타내는 광조사 장치에 있어서의 광원 세그먼트의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 5는 LED 소자의 발광 스펙트럼과 필터의 분광 특성의 관계를 모식적으로 나타내는 곡선도이다.
도 6은 본 발명의 광조사 장치의 다른 예에 있어서의 광원 세그먼트의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 7은 도 6에 나타내는 광원 세그먼트에 있어서의 LED 패키지의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 8은 광원 세그먼트의 변형예의 요부의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 9는 광원 세그먼트의 다른 변형예의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 10은 LED 패키지의 변형예의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 11은 실시예 1 및 비교예 1에 관련되는 광조사 장치에 있어서의 광원 세그먼트에 관련되는 발광 스펙트럼도이다.
도 12는 대표적인 광경화형 시일링제의 감도 곡선을 나타내는 도면이다.
도 13은 실시예에 있어서의 광조사 장치의 발광 스펙트럼과 광경화형 시일링제의 감도 곡선을 곱한 합성 곡선도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing which shows the outline of the structure in an example of the bonding apparatus of the display panel provided with the light irradiation apparatus which concerns on this invention.
It is a top view which shows the process target of the bonding apparatus of the display panel shown in FIG.
It is a top view which shows the structure in an example of the light irradiation apparatus which concerns on this invention.
It is explanatory drawing which shows the structure of the light source segment in the light irradiation apparatus shown in FIG.
5 is a curve diagram schematically showing the relationship between the emission spectrum of the LED element and the spectral characteristics of the filter.
It is explanatory drawing which shows the structure of the light source segment in the other example of the light irradiation apparatus of this invention.
FIG. 7: is explanatory drawing which shows the structure of the LED package in the light source segment shown in FIG.
It is explanatory drawing which shows the structure of the principal part of the modification of a light source segment.
9 is an explanatory diagram showing a configuration of another modified example of the light source segment.
It is explanatory drawing which shows the structure of the modification of an LED package.
11 is a luminescence spectrum diagram relating to a light source segment in the light irradiation apparatus according to Example 1 and Comparative Example 1. FIG.
It is a figure which shows the sensitivity curve of a typical photocurable sealing agent.
It is a synthetic | combination curve figure which multiplied the emission spectrum of the light irradiation apparatus in the Example with the sensitivity curve of a photocurable sealing agent.
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described.
도 1은, 본 발명에 관련되는 광조사 장치를 구비한 디스플레이 패널의 접합 장치의 일례에 있어서의 구성의 개략을 나타내는 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing which shows the outline of the structure in an example of the bonding apparatus of the display panel provided with the light irradiation apparatus which concerns on this invention.
이 디스플레이 패널의 접합 장치(이하, 단지 「접합 장치」라고 한다.)에 있어서는, 기대(11)상에, 지지대(12)를 통해, 처리 대상물이 올려지는 스테이지(10)가 설치되고, 이 스테이지(10)의 상방에는, 본 발명에 관련되는 광조사 장치(15)가 배치되어 있다.In the bonding apparatus (hereinafter only referred to as "bonding apparatus") of this display panel, a
이 접합 장치의 처리 대상물(1)는, 광중합성 재료층(2)과, 이 광중합성 재료층(2)의 주위를 둘러싸도록 포위하는 시일링제층(3)이, 2장의 투광성 기판(4)의 사이에 형성되어 이루어지는 것이다. 이 예의 처리 대상물(1)은, 합계 4개의 디스플레이 패널을 제조하기 위한의 것이며, 당해 처리 대상물(1)에 있어서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 서로 이간하여 종횡으로 늘어서는 4개의 광중합성 재료층(2)과, 각각 하나의 광중합성 재료층(2)을 포위하는 4개의 시일링제층(3)이 형성되어 있다.In the
광중합성 재료층(2)은, 감도 파장역이 일정한 범위에 있는 광중합성 성분과, 액정 성분을 포함하여 이루어지는 액정 재료에 의해 구성되어 있다. 광중합성 재료층(2) 내의 광중합성 성분은, 모노머와, 자외선을 받음으로써 래디컬 또는 양이온 등의 활성종을 발생하는 광중합 개시제를 함유하여 이루어진다. 이 광중합성 성분의 감도 파장역은, 광중합 개시의 종류를 선택함으로써 정해진다.The
또, 시일링제층(3)은 광경화형 시일링제로 이루어지고, 이 광경화형 시일링제는, 경화성 수지와 자외선을 받음으로써 래디컬 또는 양이온 등의 활성종을 발생하는 광중합 개시제를 함유하여 이루어진다. 광경화형 시일링제는, 그 감도 파장역의 장파장측단이 광중합성 재료층(2) 중의 광중합성 성분의 감도 파장역의 장파장측단보다도 장파장측에 있는 것이다. 광경화형 시일링제의 감도 파장역은, 광중합 개시제의 종류를 선택함으로써 정해진다.Moreover, the sealing
또, 투광성 기판(4)은, 유리 등에 의해 구성되어 있다.In addition, the light transmissive substrate 4 is made of glass or the like.
이러한 처리 대상물(1)은, 한쪽의 투광성 기판(4)의 표면에, 광경화형 시일링제를 도포함으로써, 각각 틀형상의 4개의 시일링제층(3)을 형성하고, 당해 한쪽의 투광성 기판(4)의 표면에 있어서의 시일링제층(3)의 각각에 포위된 영역에, 광중합성 성분과 액정 성분을 함유하여 이루어지는 액정 재료를 도포함으로써, 4개의 광중합성 재료층(2)을 형성한 후, 한쪽의 투광성 기판(4)에 대해서, 다른쪽의 투광성 기판을 소정의 간격으로 이간한 상태로 포개어 맞춤으로써 얻어진다.The
도시의 예의 광조사 장치(15)는, 도 3에도 나타내는 바와 같이, 적절한 지지체(도시생략) 상에 복수의 광원 세그먼트(20)가 종횡으로 늘어서도록 배치되어 구성되어 있다.As shown in FIG. 3, the
광원 세그먼트(20)의 각각에 있어서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 동일한 직사각형의 기판(21)의 표면에 복수의 LED 소자(25)가 배치되고, 이들 LED 소자(35)의 각각의 표면에는, 필터(30)가 당해 LED 소자(25)를 덮도록 설치되어 있다.In each of the
또, 기판(21)의 표면에 있어서의 주연부에는, 내면이 광반사면으로 된 직사각형의 통형상의 도광 부재(26)가 배치되고, 당해 기판(21)의 이면에는, LED 소자(25)가 발하는 열을 방열하는 방열용 핀(27)이 설치되어 있다.Moreover, the rectangular cylindrical
LED 소자(25)로서는, 인듐(In), 알루미늄(Al)을 포함하는 질화 갈륨(GaN)계 LED를 이용할 수 있다. LED 소자(25)의 발광 스펙트럼은, 광중합성 재료층을 구성하는 광중합성 성분의 감도 파장역 및 시일링제층을 구성하는 광경화형 시일링제의 감도 파장역에 따라 선택되고, LED 중의 In, AlGa, N의 조성비를 조정함으로써, 피크 파장이 예를 들면 200㎚로부터 적외역까지의 LED 소자(25)를 얻을 수 있지만, 구체적으로는, 피크 파장이 360∼420㎚로부터 선택된다.As the
또, LED 소자(25)의 발광 스펙트럼에 있어서의 피크 파장의 반값폭은, 예를 들면 10∼30㎚이다.Moreover, the half value width of the peak wavelength in the emission spectrum of the
또, 광원 세그먼트(20)의 각각에 있어서의 LED 소자(25)의 수는, 예를 들면 5∼16개이다.In addition, the number of
필터(30)는, 단파장측의 광을 차폐하는 롱패스필터이며, 그 컷오프 파장(광투과율이 50%가 되는 파장)이, LED 소자(25)의 발광 피크 파장보다도 단파장측에 있으며, 또한, 당해 LED 소자(25)의 발광 스펙트럼의 최단 파장보다도 장파장측에 있는 것이다. 이러한 필터(30)로서는, 유전체 다층막을 가지는 것을 이용할 수 있다.The
또, 필터(30)는 그 컷오프 파장이 광중합성 재료층(2) 중의 광중합성 성분의 감도 파장역의 장파장측단보다도 장파장측에 있는 것이 바람직하고, 이로 인해, 시일링제층(3)에 광을 조사했을 때에, 광중합성 재료층(2) 중의 광중합성 성분의 중합 반응이 진행하는 것을 확실히 방지할 수 있다.Moreover, it is preferable that the cut-off wavelength of the
상기 광조사 장치(15)에 있어서는, 모든 광원 세그먼트(20) 중, 처리대상물(1)에 있어서의 시일링제층(3)의 형상에 따라서 선택된 광원 세그먼트(20)가 작동함으로써, 당해 광원 세그먼트(20)에 있어서의 LED 소자(25)로부터의 광이, 필터(30)를 통해 도광 부재(26)의 광출사부(28)로부터 출사되고, 접합 장치의 스테이지(10) 상에 배치된 처리 대상물(1)에 있어서의 시일링제층(3)에 조사되고, 이로 인해, 시일링제층(3)이 경화된다.In the
이상에 있어서, LED 소자(25)는, 도 5에 모식적으로 나타내는 바와 같이, 곡선(L)에 나타내는 발광 스펙트럼을 가지는 것이지만, 필터(30)가, 곡선(F)에 나타내는 분광 특성을 가지는 것, 즉, LED 소자(25)의 발광 피크 파장보다도 단파장측이며, 당해 LED 소자(25)의 발광 스펙트럼의 최단 파장보다도 장파장측인 컷오프 파장을 가지는 롱패스 필터이기 때문에, LED 소자(25)가 발하는 광 중, 필터(30)의 컷오프 파장보다 단파장측의 파장의 광(도 5에 있어서 사선 부분의 광)이, 당해 필터(30)에 의해 차폐된다.In the above, the
이러한 광조사 장치(15)에 의하면, 발광 스펙트럼의 파장역이 좁은 LED 소자(25)로부터의 광을, 이 LED 소자(25)의 발광 피크 파장보다 단파장측이며, 당해 LED 소자(25)의 발광 스펙트럼의 최단 파장보다도 장파장측에 컷오프 파장을 가지는 필터(30)를 통해 조사하기 때문에, 조사되는 광의 파장 분포가 매우 좁은 것이 된다. 시일링제층(3)의 감도 파장역은 단파장측의 쪽이 더 높지만, 디스플레이 패널 접합 장치의 광원으로서는 광중합성 재료층(2) 중의 광중합 성분의 감도 파장역의 광을 조사할 수 없다. 따라서, LED 소자로부터의 광의 발광 피크 파장보다 단파장측의 광을 필터에 의해 차폐함으로써, 광중합성 재료층(2) 중의 광중합성 성분의 감도 파장역을 제외한 파장 영역이며, 시일링제층(3)을 구성하는 광경화형 시일링제의 감도가 높은 단파장 영역의 광을 더 강하게 조사할 수 있다. 이로 인해, 광중합성 재료층(2) 중의 광중합성 성분의 중합 반응을 진행시키지 않고, 높은 광의 이용 효율로, 시일링제층(3)에 광을 조사하여 경화할 수 있다.According to such a
또, LED 소자(25)는, 점등을 개시하고 나서 정상 점등 상태에 이를 때까지의 시간이 매우 짧고, 즉 순간 점등이 가능하기 때문에, 연속 점등하는 것 및 셔터 기구를 설치하는 것이 불필요하고, 따라서, 높은 에너지 효율을 얻을 수 있음과 더불어, 높은 신뢰성을 얻을 수 있다.In addition, since the
복수의 LED 소자(25)가 동일한 기판(21) 상에 배치되어 이루어지는 복수의 광원 세그먼트(20)를 가지며, 이들 광원 세그먼트(20)가, 기판(21)의 면방향을 따라 늘어서도록 배치되어 있기 때문에, 점등하는 광원 세그먼트(20)를 시일링제층(3)의 형태에 따라 선택함으로써, 시일링제층(3)에 대해서 선택적으로 광을 조사할 수 있으므로, 한층 높은 에너지 효율을 얻을 수 있음과 더불어, 시일링제층(3)에 선택적으로 광을 조사하기 위해서 마스크를 설치하는 것이 불필요해지기 때문에, 제조 비용의 저감화를 도모할 수 있다. 또, 광원 세그먼트(20)에 있어서의 하나의 LEID 소자(25)가 열화했을 때에는, 다른 LED 소자(25)의 조사 강도를 올림으로써, 광원 세그먼트(20) 전체적으로 안정된 광량의 광을 조사할 수 있다.The plurality of
도 6은 본 발명의 광조사 장치의 다른 예에 있어서의 광원 세그먼트의 구성을 나타내는 설명도이다.It is explanatory drawing which shows the structure of the light source segment in the other example of the light irradiation apparatus of this invention.
이 광원 세그먼트(20)에 있어서는, 동일한 직사각형의 기판(21)의 표면에 복수의 LED 패키지(35)가 배치되고, 당해 기판(21)의 표면에 있어서의 주연부에는, 내면이 광반사면으로 이루어진 직사각형의 통형상의 도광 부재(26)가 배치되고, 당해 기판(21)의 이면에는, LED 패키지(35)가 발하는 열을 방열하는 방열용 핀(27)이 설치되어 있다.In this
LED 패키지(35)의 각각은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 중앙에 직사각형의 오목부(37)가 형성된 패키지 기판(36)을 가지며, 이 패키지 기판(36)의 오목부(37) 내에는, LED 소자(25)가 배치되고, 당해 패키지 기판(36)의 오목부(37)를 막도록 판형상의 필터(30)가 설치되어 있다. 또, 28은, 도광 부재(26)의 광출사부이다. LED 소자(25) 및 필터(30)의 특성은, 도 4에 나타내는 광원 세그먼트(20)에 있어서의 것과 같다.As shown in FIG. 7, each of the LED packages 35 has a
이와 같은 광조사 장치에 의하면, 도 3 및 도 4에 나타내는 광조사 장치와 같은 효과를 얻을 수 있음과 더불어, LED 소자(25)가 수납되어 이루어지는 LDE 패키지(35)를 가지며, 이 LED 패키지(35)에 필터(30)가 설치되어 있기 때문에, 대면적의 필터(30)를 설치하는 것이 불필요해지고, 이 결과, 필터의 비용의 저감화 및 생산성의 향향을 도모할 수 있다.According to such a light irradiation apparatus, the same effect as the light irradiation apparatus shown to FIG. 3 and FIG. 4 is acquired, and it has the
본 발명의 광조사 장치는, 상기의 실시의 형태로 한정되지 않고, 여러 가지의 변경을 더하는 것이 가능하다.The light irradiation apparatus of this invention is not limited to said embodiment, It is possible to add various changes.
(1)도 4에 나타내는 광원 세그먼트(20)에 있어서, 필터(30)는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 렌즈 기능을 가지는 반구형상의 것이어도 된다.(1) In the
또, 필터(30)가 LED 소자(25)의 각각에 설치되는 대신에, 도 9에 나타내는 바와 같이, 도광 부재(26)의 통 구멍 내에 있어서의 중앙 위치에, 1개의 필터(30)가 설치된 구성이어도 된다.Moreover, instead of providing the
또, 도 9에 나타내는 바와 같이, 도광 부재(26)의 통 구멍 내에 있어서의 선단측 위치에, 인티그레이터 랜즈(29)가 배치되어 있어도 된다.Moreover, as shown in FIG. 9, the
(2)도 6에 나타내는 광원 세그먼트(20)에 있어서, LED 패키지(35)에 설치된 필터(30)는, 도 10(a)에 나타내는 바와 같이, 렌즈 기능을 가지는 반구형상의 것이어도 된다.(2) In the
또, LED 패키지(35)에는, 도 10(b)에 나타내는 바와 같이, 판형상의 필터(30)의 표면에 렌즈(31)가 설치되어 있어도 된다.Moreover, the
(실시예 1)(Example 1)
〈실시예 1〉<Example 1>
도 3 및 도 4에 나타내는 구성에 따라, 130개의 광원 세그먼트가 종횡으로 늘어서도록 배치되어 이루어지는 광조사 장치를 제작했다. 광원 세그먼트의 사양은 이하와 같다.According to the structure shown in FIG. 3 and FIG. 4, the light irradiation apparatus which has arrange | positioned so that 130 light source segments may be lined vertically and horizontally was produced. The specification of the light source segment is as follows.
기판(21)의 종횡의 치수는 50㎜×50㎜이며, 도광 부재(26)의 전체 길이는 45㎜이다.The longitudinal and horizontal dimensions of the
LED 소자(25)는, 발광 스펙트럼의 피크 파장이 385㎚이며, 반값폭이 ±5㎚인 것이며, 1개의 광원 세그먼트에 9개 설치되어 있다.The
필터(30)는, 유전체 다층막을 가지는 롱 패스 필터이며, 그 컷오프 파장이 380㎚인 것이다.The
이 광조사 장치에 있어서의 광원 세그먼트에 관련되는 발광 스펙트럼도를 도 11(a)에 나타낸다.Fig. 11A shows a light emission spectrum diagram relating to the light source segment in this light irradiation apparatus.
〈비교예 1〉<Comparative Example 1>
LED 소자(25)로서, 발광 스펙트럼의 피크 파장이 405㎚이고, 반값폭이 ±8㎚인 것을 이용하며, 필터(30)를 설치하지 않은 것 이외는, 실시예 1과 같은 구성의 광조사 장치를 제작했다.As the
이 광조사 장치에 있어서의 광원 세그먼트에 관련되는 발광 스펙트럼도를 도 11(b)에 나타낸다.The emission spectral diagram which concerns on the light source segment in this light irradiation apparatus is shown in FIG.
《시일링제의 경화 시험》<< hardening test of sealing agent >>
실시예 1 및 비교예 1에 관련되는 광조사 장치를 이용하고, 이하와 같이 하여 시일링제의 경화 시험을 행했다.Using the light irradiation apparatus which concerns on Example 1 and the comparative example 1, the hardening test of the sealing agent was done as follows.
각각 도 12에 대표되는 감도 곡선을 가지는 2종류의 광경화형 시일링제(이것들을 「시일링제 A」 및 「시일링제 B」로 한다)를 이용하고, 2장의 투광성 기판의 사이에 두께가 수㎛인 시일링제층을 형성했다. 이것의 시일링제층에, 조사면에 있어서의 강도가 155㎽/㎠가 되는 조건으로, 광조사 장치에 의해 광을 조사하고, 적산 조사광량이 500mJ/㎠, 750mJ/㎠, 1000mJ/㎠ 및 2000mJ/㎠가 되었을 때의 시일링제층의 경화율을 측정했다.Two types of photocurable sealing agents each having a sensitivity curve as shown in FIG. 12 (these are referred to as "sealing agent A" and "sealing agent B"), each having a thickness of several micrometers between two light-transmissive substrates The sealing agent layer was formed. Light is irradiated to this sealing agent layer with the light irradiation apparatus on the conditions that the intensity | strength on an irradiation surface will be 155 ㎽ / cm <2>, and accumulated irradiation light quantity 500mJ / cm <2>, 750mJ / cm <2>, 1000mJ / cm <2> and 2000mJ The hardening rate of the sealing agent layer when it became / cm <2> was measured.
이상에 있어서, 시일링제층의 경화율은, FT-IR(푸리에 변환 적외 흡수 분광)법에 의해 경화 반응에 의해 변화하는 화학 구조 변화에 따라서 변화하는 적외 흡수 스펙트럼의 해석에 의해 측정햇다. 구체적으로는 중합에 의해 소멸하는 화학 결합의 소비량을 그 적외 흡수 피크의 면적 또는 높이에 기초하여 정량하고, 그 값을 바탕으로 경화율을 산출했다.As mentioned above, the hardening rate of the sealing agent layer was measured by the analysis of the infrared absorption spectrum which changes according to the chemical structure change which changes with hardening reaction by FT-IR (Fourier Transform Infrared Absorption Spectroscopy) method. Specifically, the consumption amount of the chemical bond which disappears by polymerization was quantified based on the area or height of the infrared absorption peak, and the curing rate was calculated based on the value.
또, 실용상, 경화율이 80% 이상이면, 시일링제층이 경화되었다고 판단된다.Moreover, in practical use, it is judged that the sealing agent layer was hardened as the hardening rate is 80% or more.
이상, 결과를 표 1에 나타낸다.The results are shown in Table 1 above.
표 1의 결과로부터 분명한 바와 같이, 실시예 1에 관련되는 광조사 장치에 있어서는, 시일링제 A 및 시일링제 B의 어느 것에 대해서도, 적산 조사광량이 500mJ/㎠ 이상이 되는 조건으로 광을 조사하면 경화할 수 있는 것이 확인되었다.As is apparent from the results in Table 1, in the light irradiation apparatus according to Example 1, curing is performed when the light is irradiated under a condition that the amount of accumulated irradiation light is 500 mJ /
이에 대해서, 비교예 1에 관련되는 광조사 장치에 있어서는, 시일링제층을 경화하기 위해서는, 시일링제 A에 대해서는 적산 조사광량이 2000mJ/㎠ 이상, 시일링제 B에 대해서는 적산 조사 광량이 1000mJ/㎠ 이상이 되는 조건으로 광을 조사하는 것이 필요했다.On the other hand, in the light irradiation apparatus which concerns on the comparative example 1, in order to harden a sealing agent layer, accumulated irradiation light quantity is 2000 mJ / cm <2> or more about sealing agent A, and integrated irradiation light quantity is 1000 mJ / cm <2> or more with respect to sealing agent B It was necessary to irradiate light on these conditions.
도 13은, 광조사 장치의 발광 스펙트럼과 광경화형 시일링제의 감도 곡선을 곱한 합성 곡선도이며, (A1)은, 실시예 1에 관련되는 광조사 장치의 발광 스펙트럼과 시일링제 A의 감도 곡선을 곱한 합성 곡선, (A2)는, 비교예 1에 관련되는 광조사 장치의 발광 스펙트럼과 시일링제 A의 감도 곡선을 곱한 합성 곡선이다.13 is a synthetic curve diagram obtained by multiplying the emission spectrum of the light irradiation apparatus by the sensitivity curve of the photocurable sealing agent, and (A1) shows the emission curve of the light irradiation apparatus according to Example 1 and the sensitivity curve of the sealing agent A. FIG. The synthetic curve multiplied by (A2) is a synthetic curve obtained by multiplying the emission spectrum of the light irradiation apparatus according to Comparative Example 1 by the sensitivity curve of the sealing agent A.
이들 합성 곡선에 있어서는, 각각의 적분치가 단위 조사 시간당 광경화형 시일링제의 반응량으로 간주될 수 있고, (A1)의 합성 곡선의 적분치는, (A2)의 합성 곡선의 적분치의 1.6배였다.In these synthesis curves, each integral value can be regarded as the reaction amount of the photocurable sealing agent per unit irradiation time, and the integral value of the synthesis curve of (A1) was 1.6 times the integral value of the synthesis curve of (A2).
이와 같이, 실시예 1에 관련되는 광조사 장치에 의하면, 비교예 1에 관련되는 광조사 장치와 비교하여, 높은 광의 이용 효율을 얻을 수 있는 것이 이해된다.Thus, according to the light irradiation apparatus which concerns on Example 1, it is understood that high light utilization efficiency can be acquired compared with the light irradiation apparatus which concerns on the comparative example 1. As shown in FIG.
1 : 처리 대상물 2 : 광중합성 재료층
3 : 시일링제층 4 : 투광성 기판
10 : 스테이지 11 : 기대
12 : 지지대 15 : 광조사 장치
20 : 광원 세그먼트 21 : 기판
25 : LED 소자 26 : 도광 부재
27 : 방열용 핀 28 : 광출사부
29 : 인티그레이터 렌즈 30 : 필터
31 : 렌즈 35 : LED 패키지
36 : 패키지 기판 37 : 오목부1: object to be treated 2: photopolymerizable material layer
3: sealing agent layer 4: translucent board | substrate
10: stage 11: expectation
12: support 15: light irradiation device
20: light source segment 21: substrate
25
27: heat radiation fin 28: light output unit
29: integrator lens 30: filter
31
36: package substrate 37: recess
Claims (4)
LED 소자와, 이 LED 소자의 발광 피크 파장보다도 단파장측이며, 당해 LED 소자의 발광 스펙트럼의 최단파장보다도 장파장측에 컷오프 파장을 가지는 단파장측의 광을 차폐하는 필터를 가지고 이루어지며, 상기 LED 소자로부터 발하는 광이 상기 필터를 통해 상기 시일링제층에 조사되는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.A photocurable material layer containing a photopolymerizable component having a sensitivity wavelength range in a constant range, and a photocurable sealing ring having a sensitivity wavelength range surrounding the photopolymerizable material layer on a longer wavelength side than the sensitivity wavelength range of the photopolymerizable component. In the light irradiation apparatus used for the bonding apparatus of the display panel which bonds the said two transparent substrates by irradiating light to the said sealing agent layer in the state in which the sealing agent layer which consists of two is formed between two transparent substrates,
And a filter for shielding light on the short wavelength side that is shorter than the emission peak wavelength of the LED element, and which has a cutoff wavelength on the longer wavelength side than the shortest wavelength of the emission spectrum of the LED element. Light emitted is irradiated to the said sealing agent layer through the said filter, The light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned.
상기 필터의 컷오프 파장은, 상기 광중합성 성분의 감도 파장역의 장파장측단보다도 장파장측에 있는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.The method according to claim 1,
The cutoff wavelength of the said filter is a longer wavelength side than the longer wavelength side edge part of the sensitivity wavelength range of the said photopolymerizable component, The light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned.
상기 LED 소자의 복수가 동일한 기판상에 배치되어 이루어지는 복수의 광원 세그먼트가, 당해 기판의 면방향을 따라 늘어서도록 배치되어 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.The method according to claim 1 or 2,
A plurality of light source segments in which a plurality of the LED elements are arranged on the same substrate are arranged so as to be arranged along the plane direction of the substrate.
상기 LED 소자가 수납되어 이루어지는 LED 패키지를 가지며, 당해 LED 패키지에 상기 필터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 광조사 장치.The method according to claim 1 or 2,
The LED irradiation element which has the said LED element accommodated, The said LED package is provided with the said filter, The light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned.
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