JP2006264253A - Lens forming method and lens forming apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lens forming method which can form a lens of a desired shape on a substrate surface without increasing a cost and the tact time, and further without lowering lens characteristics. <P>SOLUTION: A first curable light transparent material 19a, which is a lens mold forming material, is coated in a dropping form on a surface of the transparent substrate 11, and after the curing of the material 19a and the formation of a concave-shaped lens mold 19b, a second curable light transparent material 20a which is a lens forming material is filled in a dropping form into the lens mold 19b. By curing the material, a lens 20b of the arbitrary shape where the lens mold 19b is used as a template is formed. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、レンズ形成方法およびレンズ形成装置に関するものであり、さらに詳しくは、基板表面に複数の微小レンズを形成するためのレンズ形成方法、およびこのレンズ形成方法を実施するためのレンズ形成装置に関するものである。   The present invention relates to a lens forming method and a lens forming apparatus. More specifically, the present invention relates to a lens forming method for forming a plurality of minute lenses on a substrate surface, and a lens forming apparatus for carrying out the lens forming method. Is.

従来、基板表面に微小レンズを形成する技術としては、金型法やフォトリソグラフィ法が知られている。   Conventionally, as a technique for forming a microlens on a substrate surface, a mold method and a photolithography method are known.

しかしながら、金型法では金型が必要であるため、形成するレンズの形状やパターンを変更する毎に新しい金型が必要となりコストの増大を招くという問題点がある。また、フォトリソグラフィ法でも同様に、パターンを変更することにより新たなマスクが必要となることからコストが増大するという問題点がある。   However, since the mold method requires a mold, a new mold is required every time the shape or pattern of the lens to be formed is changed, resulting in an increase in cost. Similarly, the photolithography method has a problem that the cost increases because a new mask is required by changing the pattern.

このような問題を解決する方法として、基板表面に液状のレンズ形成材料をインクジェット法により滴下して付着、硬化させることで基板表面にレンズ形成を行なう方法(例えば特許文献1)が提案されている。このインクジェット法では金型やマスクが必要ないという利点があるものの、レンズ形成材料が所望のレンズ形状に応じたレンズ曲率を形成するように、あらかじめ基板の下地処理(洗浄や表面改質などの処理)をすることが必要であり、タクトタイム(tact time)の増大を招く。   As a method for solving such a problem, a method of forming a lens on a substrate surface by dropping and adhering a liquid lens forming material onto the substrate surface by an ink jet method and curing the material is proposed (for example, Patent Document 1). . Although this inkjet method has the advantage of not requiring a mold or a mask, the substrate is pretreated (such as cleaning and surface modification) so that the lens forming material forms a lens curvature corresponding to the desired lens shape. ) To increase the tact time.

そこで、レンズ形状を簡単に制御する方法として、基板表面に第1樹脂からなる樹脂吸収層を形成し、インクジェット法により、第1樹脂とは屈折率の異なる第2樹脂を含有する溶液を滴下して樹脂吸収層内に浸透させ、基板表面にレンズ形成を行なう方法(例えば特許文献2)が提案されている。しかしながら、このような方法には、樹脂吸収層のためにレンズ表面の滑らかさが失われ、レンズ特性が低下するという問題点がある。   Therefore, as a method for easily controlling the lens shape, a resin absorption layer made of a first resin is formed on the substrate surface, and a solution containing a second resin having a refractive index different from that of the first resin is dropped by an inkjet method. A method of forming a lens on the surface of the substrate by allowing it to penetrate into the resin absorption layer (for example, Patent Document 2) has been proposed. However, such a method has a problem in that the lens surface becomes unsmooth due to the resin absorption layer, and the lens characteristics deteriorate.

また、これらの方法には、液体であるレンズ形成材料の表面張力を利用するため球面レンズは形成することができるが、球面収差のない短焦点の非球面レンズを形成することはできないという問題点もある。   In addition, these methods can form a spherical lens because the surface tension of the lens forming material, which is a liquid, is used, but it is not possible to form a short focal aspherical lens without spherical aberration. There is also.

さらに、これらの方法で着色レンズを形成した場合には、そのレンズ形状が球面であるため、光が入射した箇所により光の経路長が異なり、その経路長の違いにより色ムラが発生するという問題点がある。   Furthermore, when a colored lens is formed by these methods, the lens shape is spherical, so that the path length of the light differs depending on the location where the light is incident, and color unevenness occurs due to the difference in the path length. There is a point.

この発明の課題は、コストやタクトタイムを増大させることなく、しかもレンズ特性を低下させることなく、基板表面に任意形状のレンズを形成することのできるレンズ形成方法およびこのレンズ形成方法を実施するためのレンズ形成装置を提供することにある。   An object of the present invention is to implement a lens forming method capable of forming a lens of an arbitrary shape on a substrate surface without increasing the cost and tact time and without deteriorating lens characteristics, and to implement the lens forming method An object of the present invention is to provide a lens forming apparatus.

特開平11−142608号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-142608 特開平11−142611号公報JP-A-11-142611

この発明の1つの観点によれば、透光性基板の表面に硬化性透光第1材料を塗布して塗布部を形成し、硬化条件を制御しながらこの塗布部を硬化させることにより凹型形状のレンズ型を形成し、このレンズ型に硬化性透光第2材料を充填して硬化させることによりレンズを形成するレンズ形成方法が提供される。   According to one aspect of the present invention, a curable translucent first material is applied to the surface of a translucent substrate to form an application portion, and the application portion is cured while controlling the curing conditions, thereby forming a concave shape. There is provided a lens forming method for forming a lens mold by filling the lens mold with a curable translucent second material and curing it.

ここで、透光性基板としては、ガラス基板の他に例えば、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエチレンテレフタレートなどのプラスチックからなる基板が用いられる。硬化性透光第1材料は、レンズ型を形成するための材料(レンズ型形成材料)であり、例えば、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂やポリカーボネートなどのアリル系樹脂などの熱硬化性樹脂を溶媒に分散させたインクなどが用いられる。硬化性透光第2材料は、レンズを形成するための材料(レンズ形成材料)であり、これらの熱硬化性樹脂の他に、例えば、ラジカル重合型紫外線硬化性樹脂などの電子線硬化性樹脂を溶媒に分散させたインクなどが用いられる。レンズ型の屈折率n1とレンズの屈折率n2とは、例えばn1<n2の関係を満たすように選択される。   Here, as the translucent substrate, for example, a substrate made of plastic such as polycarbonate, polyarylate, polyethylene terephthalate is used in addition to the glass substrate. The curable translucent first material is a material for forming a lens mold (lens mold forming material). For example, a thermosetting resin such as an acrylic resin such as polymethyl methacrylate or an allyl resin such as polycarbonate is used. Ink dispersed in a solvent is used. The curable translucent second material is a material for forming a lens (lens forming material). In addition to these thermosetting resins, for example, an electron beam curable resin such as a radical polymerization type ultraviolet curable resin. Ink dispersed in a solvent is used. The refractive index n1 of the lens mold and the refractive index n2 of the lens are selected so as to satisfy the relationship n1 <n2, for example.

第1材料が塗布されてなる塗布部を凹型形状に硬化させてレンズ型を形成するには例えば次のようにする。すなわち、第1材料としては電子線硬化性材料または熱硬化性材料を含有するものから選択し、この第1材料が塗布されてなる塗布部の中心部分への電子線照射量または加熱量を外周部分への電子線照射量または加熱量よりも小さくすることで、中心部分における第1材料の流動性を外周部分におけるそれよりも大きく維持するとともに、流動性がより大きい中心部分における第1材料を、電子線照射または加熱による硬化がより速くしたがって体積収縮もより速く進行する外周部分へ移動させる。   In order to form the lens mold by curing the application portion formed by applying the first material into a concave shape, for example, the following is performed. That is, the first material is selected from those containing an electron beam curable material or a thermosetting material, and the amount of electron beam irradiation or the amount of heat applied to the central portion of the coating portion formed by applying the first material is set to the outer periphery. The flow rate of the first material in the central portion is maintained larger than that in the outer peripheral portion by making the electron beam irradiation amount or heating amount to the portion smaller, and the first material in the central portion having higher flowability is maintained. , It is moved to the outer peripheral portion where curing by electron beam irradiation or heating is faster, and therefore volume shrinkage also proceeds faster.

この発明の別の観点によれば、透光性基板を保持するためのステージと、基板の表面にレンズ型を形成するための硬化性透光第1材料を供給するための第1材料供給機構と、基板の表面に形成されたレンズ型にレンズを形成するための硬化性透光第2材料を供給するための第2材料供給機構とを備えてなることを特徴とするレンズ形成装置が提供される。   According to another aspect of the present invention, a stage for holding a translucent substrate and a first material supply mechanism for supplying a curable translucent first material for forming a lens mold on the surface of the substrate And a second material supply mechanism for supplying a curable translucent second material for forming a lens on a lens mold formed on the surface of the substrate. Is done.

この発明に係るレンズ形成方法によれば、レンズを形成する基板の種類や表面状態にかかわらず、レンズ形成材料である第2材料は、第1材料により形成された凹型形状のレンズ型の中に充填される。つまり、第1材料により形成された凹型形状のレンズ型をレンズ用テンプレートとして、第2材料の充填によりレンズを任意の形状に形成することができる。このように、レンズの形状はレンズ型の形状によって決定されるため、球面レンズに限らず、任意の非球面レンズも形成することができる。   According to the lens forming method of the present invention, the second material, which is the lens forming material, is included in the concave lens mold formed of the first material regardless of the type of the substrate on which the lens is formed and the surface state. Filled. That is, the lens can be formed into an arbitrary shape by filling the second material using the concave lens shape formed of the first material as a lens template. Thus, since the shape of the lens is determined by the shape of the lens mold, not only a spherical lens but also an arbitrary aspherical lens can be formed.

また、レンズ型を凸型形状にすると、形成するレンズが位置ずれを起こすため所定位置にレンズを形成できないことがあり、位置精度が低くなるが、この発明のレンズ形成方法によれば、レンズ型を凹型形状にすることにより、第1材料および第2材料のいずれの材料も変更することなく、任意形状のレンズを所定位置に精度よく形成することができる。   Further, if the lens mold is a convex shape, the lens to be formed may be displaced so that the lens cannot be formed at a predetermined position, resulting in low positional accuracy. According to the lens forming method of the present invention, the lens mold By forming a concave shape, a lens having an arbitrary shape can be accurately formed at a predetermined position without changing any of the first material and the second material.

これにより、レンズの設計変更によって金型やフォトリソグラフィのマスクを変更する必要がなく、コストを削減することが可能である。また、レンズを形成する箇所のみにレンズ型を形成するだけでよく、基板全面を表面処理する必要がなくタクトタイムやコストの増大を防ぐことができる。さらに、吸収層を形成した場合に生じるレンズ表面の滑らかさが失われるという課題も発生しないことから、レンズ特性が低下するおそれもない。   Thereby, it is not necessary to change the mold or the photolithography mask by changing the design of the lens, and the cost can be reduced. In addition, it is only necessary to form a lens mold only at a location where a lens is to be formed, and it is not necessary to surface-treat the entire surface of the substrate, thereby preventing an increase in tact time and cost. Furthermore, since the problem of losing the smoothness of the lens surface that occurs when the absorption layer is formed does not occur, there is no possibility that the lens characteristics deteriorate.

この発明に係るレンズ形成装置によれば、この発明に係るレンズ形成方法を確実かつ容易に実施することができる。   According to the lens forming apparatus according to the present invention, the lens forming method according to the present invention can be carried out reliably and easily.

この発明の好ましい実施態様では、第1材料および第2材料の少なくとも一方は、電子線硬化性材料を含有し、レンズ型およびレンズの少なくとも一方は、第1材料および第2材料の少なくとも一方を電子線の照射により硬化させることで形成される。このレンズ形成方法によれば、電子線の照射条件を変えることによりレンズ型の凹型形状を制御することで、任意形状のレンズのテンプレートを形成することができる。また、着色したレンズを形成する場合、従来の方法では、レンズに入射する光の経路長による差によって色ムラが発生していたが、この発明では、レンズ型も同様に着色することで経路長の差によって生じる色ムラを補正することが可能となり、優れた着色レンズを形成することができる。   In a preferred embodiment of the present invention, at least one of the first material and the second material contains an electron beam curable material, and at least one of the lens mold and the lens has at least one of the first material and the second material as an electron. It is formed by curing by irradiation of a line. According to this lens forming method, a lens template having an arbitrary shape can be formed by controlling the concave shape of the lens mold by changing the irradiation condition of the electron beam. In addition, when forming a colored lens, in the conventional method, color unevenness has occurred due to the difference in the path length of light incident on the lens. It is possible to correct color unevenness caused by the difference between the two, and an excellent colored lens can be formed.

この発明の好ましい実施態様では、レンズ型は、塗布部の外周部分への照射量を塗布部の中心部分への照射量よりも大きくすることにより形成される。これにより、塗布部の中心部分における第1材料の流動性を外周部分におけるそれよりも大きく維持するとともに、流動性がより大きい中心部分における第1材料を電子線照射または加熱による硬化がより速くしたがって体積収縮もより速く進行する外周部分へ移動させることができる。   In a preferred embodiment of the present invention, the lens mold is formed by making the irradiation amount to the outer peripheral portion of the application portion larger than the irradiation amount to the central portion of the application portion. Accordingly, the fluidity of the first material in the central portion of the application portion is maintained larger than that in the outer peripheral portion, and the first material in the central portion having higher fluidity is faster to cure by electron beam irradiation or heating. Volumetric shrinkage can also be moved to the outer periphery where it proceeds faster.

この発明の好ましい実施態様では、電子線の照射は、塗布部が形成された基板の面とは反対側の面から行なわれる。これにより、電子線照射量を制御することが容易になり、第1材料の照射量の特定分布状態を作り出してレンズ型の凹型形状を制御することが可能になる。   In a preferred embodiment of the present invention, the electron beam irradiation is performed from a surface opposite to the surface of the substrate on which the coating portion is formed. Thereby, it becomes easy to control the electron beam irradiation amount, and it becomes possible to control the concave shape of the lens mold by creating a specific distribution state of the irradiation amount of the first material.

この発明の好ましい実施態様では、第1材料および第2材料の少なくとも一方は、熱硬化性材料を含有し、レンズ型およびレンズの少なくとも一方は、第1材料および第2材料の少なくとも一方を所定温度以上の加熱により硬化させることで形成される。このようにすれば、第1材料および第2材料の少なくとも一方の加熱条件を変えることで、レンズ型の凹型形状およびレンズの形状の少なくとも一方を制御することができる。つまり、複雑な工程を行なうことなく、任意形状のレンズ用テンプレート、ひいてはレンズを確実に形成することができる。   In a preferred embodiment of the present invention, at least one of the first material and the second material contains a thermosetting material, and at least one of the lens mold and the lens has at least one of the first material and the second material at a predetermined temperature. It is formed by curing by the above heating. If it does in this way, at least one of the concave shape of a lens type | mold and the shape of a lens can be controlled by changing the heating conditions of at least one of a 1st material and a 2nd material. That is, it is possible to reliably form a lens template having an arbitrary shape and thus a lens without performing a complicated process.

この発明のレンズ形成装置は、ステージを水平面内で移動させるための水平移動機構と、ステージを水平面内で回転させるための水平回転機構とをさらに備えているのが好ましい。この場合には、ステージを水平面内で移動、回転させることにより基板の任意位置にレンズを形成することが可能である。また、基板を次の工程に搬送することも可能である。   The lens forming apparatus according to the present invention preferably further includes a horizontal movement mechanism for moving the stage in the horizontal plane and a horizontal rotation mechanism for rotating the stage in the horizontal plane. In this case, it is possible to form a lens at an arbitrary position on the substrate by moving and rotating the stage in a horizontal plane. It is also possible to transport the substrate to the next step.

この発明の好ましい実施態様では、第1材料および第2材料の少なくとも一方を硬化させるための電子線照射機構および加熱機構の少なくとも一方をさらに備えている。このようなレンズ形成装置においては、電子線照射機構および加熱機構の少なくとも一方により電子線硬化性材料または熱硬化性材料を含む第1材料および第2材料の少なくとも一方を硬化させることで、レンズ型やレンズを簡単かつ確実に形成することが可能になる。特に、同一装置内に材料供給機構、電子線照射機構および加熱機構の少なくとも1つを有することで材料の塗布あるいは充填から硬化までの工程を効率よく行なうことができ、連続的に動作させることが可能であることから、タクトタイムを短縮することができる。   In a preferred embodiment of the present invention, the electronic device further includes at least one of an electron beam irradiation mechanism and a heating mechanism for curing at least one of the first material and the second material. In such a lens forming apparatus, at least one of the first material and the second material including the electron beam curable material or the thermosetting material is cured by at least one of the electron beam irradiation mechanism and the heating mechanism, so that a lens mold is obtained. And a lens can be formed easily and reliably. In particular, by having at least one of a material supply mechanism, an electron beam irradiation mechanism, and a heating mechanism in the same apparatus, it is possible to efficiently perform the steps from application or filling of materials to curing, and to operate continuously. Since it is possible, the tact time can be shortened.

この発明の好ましい実施態様では、ステージは、電子線が透過するものであり、電子線照射機構は、基板のレンズ型を形成する面とは反対側に配置されている。このようなレンズ形成装置においては、電子線照射機構が基板のレンズ型形成面とは反対側の面に配置されていることにより、装置の寸法をより小さくすることができる。また、ステージを電子線照射機構へ移動させる必要がないので、タクトタイムを短縮することができる。   In a preferred embodiment of the present invention, the stage transmits an electron beam, and the electron beam irradiation mechanism is disposed on the opposite side of the surface of the substrate forming the lens mold. In such a lens forming apparatus, since the electron beam irradiation mechanism is disposed on the surface of the substrate opposite to the lens mold forming surface, the size of the apparatus can be further reduced. Further, since it is not necessary to move the stage to the electron beam irradiation mechanism, the tact time can be shortened.

この発明の好ましい実施態様によれば、ステージが電子線の照射量を制御するための遮光パターンを備えている。このようなレンズ形成装置においては、ステージに形成されたドットパターンやラインパターンなどの遮光パターンにより、基板の裏側から照射される電子線を遮ることで電子線照射の特定の分布状態を作り出し、レンズ型を容易に凹型形状に制御することができる。   According to a preferred embodiment of the present invention, the stage includes a light shielding pattern for controlling the amount of electron beam irradiation. In such a lens forming apparatus, a specific distribution state of the electron beam irradiation is created by blocking the electron beam irradiated from the back side of the substrate by a light shielding pattern such as a dot pattern or a line pattern formed on the stage. The mold can be easily controlled to a concave shape.

この発明の好ましい実施態様では、電子線照射機構が赤外線照射ランプおよび紫外線照射ランプの少なくとも一方からなる。このようなレンズ形成装置においては、レンズを形成する箇所に対して遮光する部分と遮光しない部分とを選択することが可能であり、硬化条件の分布を容易に作り出すことができる。   In a preferred embodiment of the present invention, the electron beam irradiation mechanism comprises at least one of an infrared irradiation lamp and an ultraviolet irradiation lamp. In such a lens forming apparatus, it is possible to select a light-shielding portion and a non-light-shielding portion with respect to a portion where a lens is to be formed, and a distribution of curing conditions can be easily created.

この発明の好ましい実施態様では、加熱機構がホットプレート、ロッド型ヒータ、プレート型ヒータの少なくとも1つからなる。このようなレンズ形成装置においては、加熱領域を均一に加熱することができ、未乾燥や不均一な熱硬化を防ぐことができる。   In a preferred embodiment of the present invention, the heating mechanism comprises at least one of a hot plate, a rod type heater, and a plate type heater. In such a lens forming apparatus, the heating region can be heated uniformly, and undried and non-uniform thermosetting can be prevented.

この発明の好ましい実施態様では、電子線照射機構または加熱機構と基板とのギャップを調整するためのギャップ調整機構をさらに備えている。このレンズ形成装置においては、電子線照射機構または加熱機構と基板とのギャップを調整することにより、目的とするレンズ形状のテンプレートとなるレンズ型の形状を変更することができる。また、照射領域を変更することにより、広い面積に対して一度に照射することができるので、タクトタイムを短縮することができる。   In a preferred embodiment of the present invention, a gap adjusting mechanism for adjusting a gap between the electron beam irradiation mechanism or the heating mechanism and the substrate is further provided. In this lens forming apparatus, by adjusting the gap between the electron beam irradiation mechanism or the heating mechanism and the substrate, it is possible to change the shape of the lens mold that becomes the target lens shape template. Further, by changing the irradiation region, it is possible to irradiate a large area at a time, so that the tact time can be shortened.

この発明の好ましい実施態様では、第1材料供給機構および第2材料供給機構がインクジェット機構およびディスペンサ機構のうち少なくとも一方からなる。このようなレンズ形成装置においては、インクジェット機構やディスペンサ機構を用いることにより微少量の材料を滴下することが可能であり、微少サイズのマイクロレンズを形成することが可能である。   In a preferred embodiment of the present invention, the first material supply mechanism and the second material supply mechanism comprise at least one of an ink jet mechanism and a dispenser mechanism. In such a lens forming apparatus, it is possible to drop a minute amount of material by using an ink jet mechanism or a dispenser mechanism, and it is possible to form a micro lens of a minute size.

[発明の実施の形態1]
この発明に係る1つの実施の形態について説明すれば、以下のとおりである。まず、この発明のレンズ形成方法を実施するためのレンズ形成装置について、以下に説明する。
Embodiment 1 of the Invention
An embodiment according to the present invention will be described as follows. First, a lens forming apparatus for carrying out the lens forming method of the present invention will be described below.

図1は、この発明のレンズ形成方法を実施するためのレンズ形成装置を示す概略斜視図である。本実施の形態に係るレンズ形成装置は、レンズを形成する透光性基板11と、基板11を載置して保持するステージ12と、ステージ12を水平面内で互いに直交するX軸方向、Y軸方向(図1の矢印参照)に移動させる水平移動機構としてのXY方向駆動部13aと、ステージ12を水平面内で回転させる水平回転機構としてのθ回転駆動部13bと、基板11にレンズ型形成材料である硬化性透光第1材料を滴下状に塗布する第1材料供給機構14aと、基板11にレンズ形成材料である硬化性透光第2材料を滴下状に充填する第2材料供給機構14bとを備えてなる。   FIG. 1 is a schematic perspective view showing a lens forming apparatus for carrying out the lens forming method of the present invention. The lens forming apparatus according to the present embodiment includes a translucent substrate 11 that forms a lens, a stage 12 on which the substrate 11 is placed and held, and an X axis direction and a Y axis that are orthogonal to each other in a horizontal plane. XY direction drive unit 13a as a horizontal movement mechanism that moves in a direction (see the arrow in FIG. 1), θ rotation drive unit 13b as a horizontal rotation mechanism that rotates the stage 12 in a horizontal plane, and a lens mold forming material on the substrate 11 A first material supply mechanism 14a for applying a curable light-transmitting first material in a drop shape, and a second material supply mechanism 14b for filling the substrate 11 with a curable light-transmitting second material as a lens forming material in a drop shape. And comprising.

レンズ形成装置はさらに、材料供給機構14a・14bを水平面に対して垂直なZ軸方向(図1の矢印参照)へ移動させるZ軸方向駆動部15と、電子線照射機構部16aまたは加熱機構16bと、ギャップ調整機構17とを備えている。ギャップ調整機構17は、基板11と電子線照射機構部16aまたは加熱機構16bとの間のギャップを調整するためのものである。   The lens forming apparatus further includes a Z-axis direction drive unit 15 that moves the material supply mechanisms 14a and 14b in the Z-axis direction perpendicular to the horizontal plane (see the arrow in FIG. 1), and an electron beam irradiation mechanism unit 16a or a heating mechanism 16b. And a gap adjusting mechanism 17. The gap adjusting mechanism 17 is for adjusting the gap between the substrate 11 and the electron beam irradiation mechanism 16a or the heating mechanism 16b.

本実施の形態では、材料供給機構14a・14bとしてインクジェット方式を用いている。図1における第1材料供給機構14aと第2材料供給機構14bとは、いずれもインクジェットヘッドであり、それぞれ独立して設置されている。電子線照射機構16aは、赤外線照射ランプまたは紫外線照射ランプを用途に応じて適宜交換して使用するように構成されている。加熱機構16bは、ホットプレート、ロッド型ヒータ、プレート型ヒータを用途に応じて交換し使用するように構成されている。ステージ12は、基板11の載置時に基板11を真空引きすることで、基板11を固定状に保持することができる(図示しない)。   In the present embodiment, an ink jet method is used as the material supply mechanisms 14a and 14b. Each of the first material supply mechanism 14a and the second material supply mechanism 14b in FIG. 1 is an ink jet head and is installed independently. The electron beam irradiation mechanism 16a is configured such that an infrared irradiation lamp or an ultraviolet irradiation lamp is appropriately replaced depending on the application. The heating mechanism 16b is configured to replace and use a hot plate, a rod type heater, and a plate type heater according to the application. The stage 12 can hold the substrate 11 in a fixed state by evacuating the substrate 11 when the substrate 11 is placed (not shown).

また、このレンズ形成装置は、XY方向駆動部13a、θ回転駆動部13b、第1材料供給機構14a、第2材料供給機構14b、Z軸方向駆動部15、電子線照射機構16a、加熱機構16bおよびギャップ調整機構17の駆動制御などを行なうための装置コントロールユニット18を備えている。XY方向駆動部13a、θ回転駆動部13b、第1材料供給機構14a、第2材料供給機構14b、Z軸方向駆動部15、電子線照射機構16a、加熱機構16bおよびギャップ調整機構17はそれぞれ、装置コントロールユニット18との間で信号ケーブル(図示しない)により接続されており、装置コントロールユニット18によって、XY方向駆動部13a〜ギャップ調整機構17の駆動制御が行なわれる。   The lens forming apparatus includes an XY direction driving unit 13a, a θ rotation driving unit 13b, a first material supply mechanism 14a, a second material supply mechanism 14b, a Z-axis direction driving unit 15, an electron beam irradiation mechanism 16a, and a heating mechanism 16b. And a device control unit 18 for performing drive control of the gap adjusting mechanism 17 and the like. The XY direction drive unit 13a, the θ rotation drive unit 13b, the first material supply mechanism 14a, the second material supply mechanism 14b, the Z-axis direction drive unit 15, the electron beam irradiation mechanism 16a, the heating mechanism 16b, and the gap adjustment mechanism 17 are respectively The device control unit 18 is connected by a signal cable (not shown), and the device control unit 18 performs drive control of the XY direction drive unit 13a to the gap adjusting mechanism 17.

本実施の形態では、第1材料供給機構14aおよび第2材料供給機構14bとしてインクジェット方式によるものを採用した。すなわち、このレンズ形成装置は、インクジェットヘッドに液体材料を供給するための供給チューブ(図示しない)と液体材料を充填したタンク(図示しない)とを備え、供給チューブによりインクジェットヘッドとタンクが連結されている。   In the present embodiment, the first material supply mechanism 14a and the second material supply mechanism 14b employ an inkjet system. That is, the lens forming apparatus includes a supply tube (not shown) for supplying a liquid material to the inkjet head and a tank (not shown) filled with the liquid material, and the inkjet head and the tank are connected by the supply tube. Yes.

次に、上記レンズ形成装置により基板11上にレンズを形成する方法について、図2を用いてその概略を説明する。まず、用意した基板11にレンズ型形成材料である硬化性透光第1材料19aを滴下状に塗布して、後述する実施の形態2のようにして、基板11に対して直交する中心軸を有する凹型形状のレンズ型19bを形成する。その後、レンズ型19bの中に第2材料20aを滴下状に充填し、硬化させて、レンズ20bを形成する。   Next, an outline of a method for forming a lens on the substrate 11 by the lens forming apparatus will be described with reference to FIG. First, a curable translucent first material 19a, which is a lens mold forming material, is applied dropwise to the prepared substrate 11, and the central axis orthogonal to the substrate 11 is set as in the second embodiment to be described later. A concave lens mold 19b is formed. Thereafter, the lens material 19b is filled with the second material 20a dropwise and cured to form the lens 20b.

具体的にはまず、ステージ12の上にレンズを形成する基板11を載置する。本実施の形態では、基板11としてガラス基板を用いた。次に、装置コントロールユニット18によりXY方向駆動部13aおよびθ回転駆動部13bを制御してステージ12を目的位置に移動させる。この際、目的位置は、レンズ形成を行なう部分が第1材料供給機構14aの下になるように決定する。すなわち、ステージ12を移動および回転させることにより、基板11の任意の箇所からレンズ形成位置を決定することが可能となる。   Specifically, first, the substrate 11 on which a lens is formed is placed on the stage 12. In this embodiment, a glass substrate is used as the substrate 11. Next, the apparatus control unit 18 controls the XY direction driving unit 13a and the θ rotation driving unit 13b to move the stage 12 to the target position. At this time, the target position is determined so that the portion where the lens is formed is below the first material supply mechanism 14a. That is, by moving and rotating the stage 12, it is possible to determine the lens formation position from an arbitrary location on the substrate 11.

次に、第1材料供給機構14aを用いて基板11に第1材料19aを滴下状に塗布して塗布部を形成する。続いて、塗布部の第1材料19aを硬化させてレンズ型19bを形成する。このとき、第1材料19aが溶媒を含有する場合や熱硬化性材料を含有する場合には、ステージ12を制御して加熱機構16bの加熱領域に移動させ、加熱して第1材料19aの乾燥や硬化を行い、レンズ型19bを作成する。   Next, the first material 19a is applied dropwise to the substrate 11 using the first material supply mechanism 14a to form an application part. Subsequently, the first material 19a of the application part is cured to form the lens mold 19b. At this time, when the first material 19a contains a solvent or a thermosetting material, the stage 12 is controlled to move to the heating region of the heating mechanism 16b and heated to dry the first material 19a. Then, the lens mold 19b is formed.

一方、第1材料19aが電子線硬化性材料を含有する場合には、ステージ12を制御して電子線照射機構16aの電子線照射領域に移動させ、電子線硬化性材料が硬化する波長の電子線を照射することにより第1材料19aを硬化させて、レンズ型19bを形成する。   On the other hand, when the first material 19a contains an electron beam curable material, the stage 12 is controlled to be moved to the electron beam irradiation region of the electron beam irradiation mechanism 16a, and electrons having a wavelength at which the electron beam curable material is cured. The first material 19a is cured by irradiating a line to form the lens mold 19b.

次に、再びステージ12を移動させ、第2材料供給機構14bを用いて、第1材料19aで形成した凹型形状のレンズ型19bの中に第2材料20aを滴下状に充填する。第2材料20aを充填した後に、ステージ12を再び電子線照射機構16aの電子線照射領域に、または加熱機構16bの加熱領域に移動させ、第2材料20aを硬化させて、所望のレンズ20bを形成する。   Next, the stage 12 is moved again, and the second material 20a is dropped into the concave lens mold 19b formed of the first material 19a by using the second material supply mechanism 14b. After filling the second material 20a, the stage 12 is moved again to the electron beam irradiation region of the electron beam irradiation mechanism 16a or to the heating region of the heating mechanism 16b, the second material 20a is cured, and the desired lens 20b is formed. Form.

ここで、第2材料20aが溶媒を含有する場合や熱硬化性材料を含有する場合には、加熱機構16bにより第2材料20aを乾燥または硬化させる。第2材料20aが紫外線硬化樹脂を含有する場合には電子線照射機構16bで電子線を照射することにより、第2材料20aを硬化させる。   Here, when the second material 20a contains a solvent or a thermosetting material, the second material 20a is dried or cured by the heating mechanism 16b. When the second material 20a contains an ultraviolet curable resin, the second material 20a is cured by irradiating the electron beam with the electron beam irradiation mechanism 16b.

このように、基板11に第1材料19aを塗布して形成したレンズ型19bに、レンズ形成材料である第2材料20aを充填して硬化させることにより、レンズ20bを形成する。   Thus, the lens 20b is formed by filling the lens mold 19b formed by applying the first material 19a on the substrate 11 with the second material 20a as the lens forming material and curing it.

さらに、ギャップ調整機構17により基板11と電子線照射機構16aまたは加熱機構16bとのギャップ(距離)を調整することにより、硬化条件を変えることができる。   Furthermore, the curing conditions can be changed by adjusting the gap (distance) between the substrate 11 and the electron beam irradiation mechanism 16a or the heating mechanism 16b by the gap adjusting mechanism 17.

本実施の形態では、電子線照射機構16aまたは加熱機構16bにギャップ調整機構17が備え付けられているが、ギャップ調整機構17は、ステージ12側など他の部分に備え付けられている機構でもよい。   In the present embodiment, the gap adjusting mechanism 17 is provided in the electron beam irradiation mechanism 16a or the heating mechanism 16b. However, the gap adjusting mechanism 17 may be a mechanism provided in another part such as the stage 12 side.

このように、この発明を用いてレンズを形成することにより、レンズ特性が低下することなく、レンズ形状を任意の形状に制御することができる。   Thus, by forming a lens using the present invention, the lens shape can be controlled to an arbitrary shape without deteriorating lens characteristics.

ここで、レンズ形成方法についての具体例を以下に説明する。本実施の形態では、電子線照射機構16aとして高圧水銀紫外線照射ランプを用いた。さらに、加熱機構16bとしてロッド型ヒータを用い、基板(ガラス基板、屈折率1.46)11の上方に設置した。第1材料19aとして、熱硬化性樹脂(JSR社製のJN7217、屈折率1.40)を溶媒に分散させたインクを用意した。また、第2材料20aとして、ラジカル重合型紫外線硬化性樹脂(大日本インキ社製のSD2407、屈折率1.474)のUVインクを用いた。このとき、紫外線照射ランプは、基板11とのギャップが2.5cmとなるように、ギャップ調整機構17により配置した。同様に、ロッド型ヒータと基板11とのギャップは1.0cmとした。   Here, a specific example of the lens forming method will be described below. In the present embodiment, a high-pressure mercury ultraviolet irradiation lamp is used as the electron beam irradiation mechanism 16a. Further, a rod-type heater was used as the heating mechanism 16b, and was installed above the substrate (glass substrate, refractive index 1.46) 11. As the first material 19a, an ink in which a thermosetting resin (JN7217 manufactured by JSR Corporation, refractive index 1.40) was dispersed in a solvent was prepared. Further, as the second material 20a, a UV ink of radical polymerization type ultraviolet curable resin (SD2407 manufactured by Dainippon Ink and Refractive Index 1.474) was used. At this time, the ultraviolet irradiation lamp was arranged by the gap adjusting mechanism 17 so that the gap with the substrate 11 was 2.5 cm. Similarly, the gap between the rod heater and the substrate 11 was 1.0 cm.

次に、基板11をステージ12の上に載置し、基板11のレンズを形成する箇所に、本実施の形態ではインクジェット方式により、第1材料19aを滴下状に塗布した。その後、装置コントロールユニット18からXY方向駆動部13aとθ回転駆動部13bとを制御して、第1材料19aを塗布した領域(塗布部)がロッド型ヒータの真下になるようにステージ12を移動させた。基板11に第1材料19aを配置してから上記位置にステージ12を移動させるまでの必要な時間は、15秒程度である。   Next, the substrate 11 was placed on the stage 12, and the first material 19 a was applied dropwise onto the portion of the substrate 11 where the lens was to be formed by the inkjet method in the present embodiment. After that, the apparatus control unit 18 controls the XY direction drive unit 13a and the θ rotation drive unit 13b to move the stage 12 so that the region (application unit) where the first material 19a is applied is directly below the rod heater. I let you. The time required from the placement of the first material 19a on the substrate 11 to the movement of the stage 12 to the above position is about 15 seconds.

ステージ12の移動完了後に、ロッド型ヒータにより第1材料19aの溶媒の乾燥と熱硬化を行った。ロッド型ヒータにより加熱される基板11の表面の温度範囲を50℃〜150℃とし、10分間加熱を行ってレンズ型19bを形成した。   After the movement of the stage 12 was completed, the solvent of the first material 19a was dried and thermally cured by a rod heater. The temperature range of the surface of the substrate 11 heated by the rod-type heater was set to 50 ° C. to 150 ° C., and heating was performed for 10 minutes to form the lens mold 19b.

この方法によって得られたレンズ型19bの形状と平坦性を表1に示す。   Table 1 shows the shape and flatness of the lens mold 19b obtained by this method.

Figure 2006264253
Figure 2006264253

また、レンズ型の凸型形状を図3(a)に、レンズ型の凹型形状を図3(b)にそれぞれ示す。凹型中心部分24と凹型外周部分25とについて図3(b)を用いて説明する。凹型中心部分24とは、基板11との接触面の円の中心部分付近であり、凹型形状における窪んだ部分を指す。凹型外周部分25とは、基板11との接触面の円の外周部分付近であり、凹型形状における隆起した部分を指す。   Further, FIG. 3A shows the convex shape of the lens mold, and FIG. 3B shows the concave shape of the lens mold. The concave center portion 24 and the concave outer peripheral portion 25 will be described with reference to FIG. The concave center portion 24 is near the center portion of the circle of the contact surface with the substrate 11 and indicates a recessed portion in the concave shape. The concave outer peripheral portion 25 is in the vicinity of the outer peripheral portion of the circle of the contact surface with the substrate 11 and indicates a raised portion in the concave shape.

50℃で加熱した場合、レンズ型19bの形状は凸型形状であるため、表1には記載しない。70℃から150℃で加熱した場合、レンズ型19bは凹型形状であった。このとき、平均膜厚を100%とした場合の凹型外周部分25の膜厚と凹型中心部分24の膜厚とを測定した。   When heated at 50 ° C., the shape of the lens mold 19b is a convex shape and is not described in Table 1. When heated at 70 ° C. to 150 ° C., the lens mold 19b had a concave shape. At this time, the film thickness of the concave outer peripheral portion 25 and the film thickness of the concave central portion 24 when the average film thickness was 100% were measured.

表1から分かるように、加熱温度が高いほど、凹型形状が顕著になり、凹型外周部分25の膜厚と凹型中心部分24の膜厚との膜厚差は大きくなる。これは、凹型外周部分25と凹型中心部分24では乾燥速度が異なるため、乾燥速度分布が生じて凹型外周部分25の乾燥が凹型中心部分24よりも速く進行することによる。このように加熱条件を変えることにより、任意の凹型形状のレンズ型19bを形成できることが分かった。   As can be seen from Table 1, the higher the heating temperature, the more conspicuous the concave shape, and the greater the difference in film thickness between the film thickness of the concave outer peripheral portion 25 and the film thickness of the concave central portion 24. This is because the drying speed is different between the concave outer peripheral portion 25 and the concave central portion 24, so that a drying speed distribution is generated and the drying of the concave outer peripheral portion 25 proceeds faster than the concave central portion 24. It was found that the lens mold 19b having an arbitrary concave shape can be formed by changing the heating conditions in this way.

次に、ステージ12を移動させ、レンズ型19bが第2材料供給機構14bの真下に来るように配置させ、凹型形状であるレンズ型19bの凹型中心部分24に第2材料20aを滴下状に充填した。充填後にステージ12を移動させて紫外線照射ランプの照射領域内にレンズ形成部を配置させ、2分間紫外線照射を行なうことにより硬化させて、レンズ20bを形成した。   Next, the stage 12 is moved so that the lens mold 19b is positioned directly below the second material supply mechanism 14b, and the concave material center portion 24 of the concave lens mold 19b is filled with the second material 20a dropwise. did. After filling, the stage 12 was moved to place the lens forming portion in the irradiation region of the ultraviolet irradiation lamp, and cured by performing ultraviolet irradiation for 2 minutes to form the lens 20b.

このように形成したレンズ20bの形状は、レンズ型19bの凹型形状をテンプレートとして成型されたレンズ形状であることを確認した。また、レンズ20bの表面は滑らかであり、レンズ性能の低下は見られなかった。これらのことから、第1材料19aの加熱条件を制御することによりレンズ型19bの形状を任意の凹型形状に制御することが可能であり、レンズ型19bに第2材料20aを充填することで任意の形状のレンズ20bを形成できることが分かった。さらに、レンズ20bは、レンズ型19bの凹型形状の窪んだ中心部分に形成されており、高い位置精度でレンズ形成できることが分かった。   It was confirmed that the shape of the lens 20b formed in this way was a lens shape molded using the concave shape of the lens mold 19b as a template. Further, the surface of the lens 20b was smooth, and no deterioration in lens performance was observed. From these, it is possible to control the shape of the lens mold 19b to an arbitrary concave shape by controlling the heating condition of the first material 19a, and it is optional by filling the second material 20a in the lens mold 19b. It has been found that the lens 20b having the shape can be formed. Furthermore, it was found that the lens 20b is formed in the concave center portion of the concave shape of the lens mold 19b, and the lens can be formed with high positional accuracy.

以上のように、この発明を用いてレンズを形成することにより、レンズの設計変更に伴う基板の下地処理を行なうことなく、任意の形状のレンズを形成することができる。また、あらかじめレンズ形成材料の接触角を測定し、適した接触角を有するレンズ形成材料を選択する必要はなく、開発時間を短縮することができる。   As described above, by forming a lens using the present invention, it is possible to form a lens having an arbitrary shape without performing a base treatment of a substrate accompanying a design change of the lens. In addition, it is not necessary to measure the contact angle of the lens forming material in advance and select a lens forming material having an appropriate contact angle, and the development time can be shortened.

本実施の形態では、加熱機構16bとしてロッド型ヒータを用いたが、ホットプレートやプレート型ヒータ、赤外線照射ランプなどの別の加熱機構を用いても同様の効果があることが分かった。また、電子線照射機構16aとして高圧水銀紫外線照射ランプを用いたが、紫外線を照射できる機構であれば他のランプでもよいことを確認した。さらに、第1材料供給機構14aおよび第2材料供給機構14bはインクジェット方式としたが、ディスペンサ方式を用いても同様の効果を得られることを確認した。   In the present embodiment, a rod-type heater is used as the heating mechanism 16b. However, it has been found that the same effect can be obtained by using another heating mechanism such as a hot plate, a plate-type heater, or an infrared irradiation lamp. Moreover, although the high pressure mercury ultraviolet irradiation lamp was used as the electron beam irradiation mechanism 16a, it was confirmed that other lamps may be used as long as the mechanism can irradiate ultraviolet rays. Furthermore, although the first material supply mechanism 14a and the second material supply mechanism 14b are of the ink jet system, it has been confirmed that the same effect can be obtained even if the dispenser system is used.

[発明の実施の形態2]
この発明に係る別の実施の形態について説明すれば以下のとおりである。本実施の形態では、第1材料19aとして、実施の形態1の第2材料とは異なる組成のラジカル重合型紫外線硬化性樹脂(JSR社製のJM5010、屈折率1.41)のUVインクを用いるとともに、第2材料20aとして、実施の形態1の第2材料と同じ組成のラジカル重合型紫外線硬化性樹脂(大日本インキ社製のSD2407、屈折率1.474)のUVインクを用いた。基板11としてはガラス基板(屈折率1.46)を用いた。この基板11に第1材料19aを塗布してレンズ型19bを形成するレンズ形成方法について、次に説明する。
[Embodiment 2 of the Invention]
Another embodiment according to the present invention will be described as follows. In the present embodiment, as the first material 19a, a UV ink of a radical polymerization type ultraviolet curable resin (JM5010, refractive index 1.41 manufactured by JSR) having a composition different from that of the second material of the first embodiment is used. In addition, as the second material 20a, a UV ink of a radical polymerization type ultraviolet curable resin (SD2407 manufactured by Dainippon Ink, Inc., refractive index 1.474) having the same composition as the second material of Embodiment 1 was used. As the substrate 11, a glass substrate (refractive index: 1.46) was used. Next, a lens forming method for forming the lens mold 19b by applying the first material 19a to the substrate 11 will be described.

レンズ形成装置の構成およびレンズ形成方法については、実施の形態1と同じであるため詳細な説明を省略する。本実施の形態では、電子線照射機構16aとして、ステージ12に内蔵した紫外線照射ランプと、基板11の上方に設置した、該紫外線照射ランプに対向して設置された2種類の紫外線照射ランプとを用いた。   Since the configuration of the lens forming apparatus and the lens forming method are the same as those in the first embodiment, detailed description thereof is omitted. In the present embodiment, as the electron beam irradiation mechanism 16a, an ultraviolet irradiation lamp built in the stage 12 and two types of ultraviolet irradiation lamps installed above the substrate 11 and facing the ultraviolet irradiation lamp are provided. Using.

図4に、本実施の形態に用いた紫外線照射ランプを内蔵したステージ12の概略平面図を示す。また、図5に図4のA−A’線に沿う断面図を示す。基板11が載置されたステージ12の裏面側には、電子線を照射するための電子線照射機構(紫外線照射ランプ)16aが配置されている。さらに、ステージ12と電子線照射機構16aの間には紫外線を拡散させるための拡散板21が配置され、ステージ12の裏面には遮光パターン22が配置されている。   FIG. 4 shows a schematic plan view of the stage 12 incorporating the ultraviolet irradiation lamp used in the present embodiment. FIG. 5 is a sectional view taken along the line A-A ′ of FIG. 4. An electron beam irradiation mechanism (ultraviolet irradiation lamp) 16a for irradiating an electron beam is disposed on the back side of the stage 12 on which the substrate 11 is placed. Further, a diffusion plate 21 for diffusing ultraviolet rays is disposed between the stage 12 and the electron beam irradiation mechanism 16a, and a light shielding pattern 22 is disposed on the back surface of the stage 12.

本実施の形態では、遮光パターン22は図4に示すようなドット形状パターンを用いた。また、拡散板21により基板11の全領域を均一に紫外線照射することができる。さらに、ステージ12に装備したギャップ調整機構17により、基板11と電子線照射機構16aとの距離を調整することができる。本実施の形態では、電子線照射機構16aにより電子線を照射し、拡散板21により、基板11の上に塗布された第1材料19aの硬化を行なうことができる。   In the present embodiment, a dot shape pattern as shown in FIG. Further, the entire region of the substrate 11 can be uniformly irradiated with ultraviolet rays by the diffusion plate 21. Furthermore, the distance between the substrate 11 and the electron beam irradiation mechanism 16a can be adjusted by the gap adjusting mechanism 17 provided in the stage 12. In the present embodiment, the electron beam irradiation mechanism 16 a can irradiate an electron beam, and the diffusion plate 21 can cure the first material 19 a applied on the substrate 11.

次に、第1材料19aとしての紫外線硬化性樹脂のUVインクを、基板11として新たに用意したガラス基板に塗布した。このとき、レンズを形成する位置となる第1材料19aの滴下状塗布位置が遮光パターン22に重なる位置になるように、基板11を設置した。次に、ステージ12の下側に配置した紫外線照射ランプ(電子線照射機構16a)により紫外線を照射した。このとき、紫外線照射ランプとステージ12との距離である照射距離は2.5cmとし、2分間の照射を行い、レンズ型19bを形成した。遮光パターン22は、半径が5μm〜30μmのドットパターンを用いた。このように形成したレンズ型19bの基板11と接触している断面の直径は60μm程度である。   Next, UV ink of an ultraviolet curable resin as the first material 19 a was applied to a newly prepared glass substrate as the substrate 11. At this time, the substrate 11 was placed so that the dropping application position of the first material 19a, which is the position where the lens is formed, overlaps the light shielding pattern 22. Next, ultraviolet rays were irradiated by an ultraviolet irradiation lamp (electron beam irradiation mechanism 16a) arranged on the lower side of the stage 12. At this time, the irradiation distance, which is the distance between the ultraviolet irradiation lamp and the stage 12, was 2.5 cm, and irradiation was performed for 2 minutes to form the lens mold 19b. As the light shielding pattern 22, a dot pattern having a radius of 5 μm to 30 μm was used. The diameter of the cross section in contact with the substrate 11 of the lens mold 19b formed in this way is about 60 μm.

これらの条件により形成したレンズ型19bの形状と平坦性について表2に示す。表2の凹型中心部分24と凹型外周部分25との膜厚は、硬化前の平均膜厚を100%として算出した値である。   Table 2 shows the shape and flatness of the lens mold 19b formed under these conditions. The film thicknesses of the concave central portion 24 and the concave outer peripheral portion 25 in Table 2 are values calculated with the average film thickness before curing as 100%.

Figure 2006264253
Figure 2006264253

表2から、遮光パターン22のドット形状の径を大きくするほど、レンズ型19bの形状は中心部分の膜厚が小さく外周部分の膜厚が大きい凹型形状となることが分かった。   From Table 2, it was found that the larger the dot-shaped diameter of the light-shielding pattern 22 is, the more the lens mold 19b has a concave shape with a smaller film thickness at the central portion and a larger film thickness at the outer peripheral portion.

このときの凹型形状レンズ型19bの形成過程について、図6の(a)(b)(c)を用いて説明する。なお、図6(c)における実線で示される形状は硬化前の第1材料19aの形状であり、点線で示される形状は硬化後のレンズ型19bの形状である。図6(a)(b)から分かるように、遮光パターン22のドット形状の径が大きくなるほど、ドットパターンにより遮光される遮光領域23が大きくなる。このため、遮光領域23に含まれる第1材料19aは紫外線照射により硬化することなく流動性を保っている。しかしながら、遮光領域23に含まれない第1材料19aは紫外線照射により硬化と収縮が進行していく。   The process of forming the concave lens mold 19b at this time will be described with reference to FIGS. 6 (a), 6 (b), and 6 (c). In addition, the shape shown with the continuous line in FIG.6 (c) is the shape of the 1st material 19a before hardening, and the shape shown with a dotted line is the shape of the lens type | mold 19b after hardening. As can be seen from FIGS. 6A and 6B, as the diameter of the dot shape of the light shielding pattern 22 increases, the light shielding region 23 shielded by the dot pattern increases. For this reason, the 1st material 19a contained in the light-shielding area | region 23 is maintaining fluidity, without hardening | curing by ultraviolet irradiation. However, the first material 19a not included in the light-shielding region 23 is cured and contracted by irradiation with ultraviolet rays.

その結果、遮光領域23に含まれている流動性を有する第1材料19aは外側に引っ張られて、レンズ型19bは中央が窪んだ凹型形状となる。一方、遮光領域23に含まれない領域の第1材料19aは、硬化が始まっているために粘度が上昇して流動性が低くなり、遮光領域23に含まれる第1材料19aが収縮によって外側に引き寄せられても、外側に広がることはない。そして、遮光領域23の第1材料19aは、上方(Z軸方向)へ堆積されるように流動し、遮光領域23から出ることにより電子線が照射されて硬化する。   As a result, the fluid first material 19a included in the light shielding region 23 is pulled outward, and the lens mold 19b has a concave shape with a depressed center. On the other hand, since the first material 19a in the region not included in the light shielding region 23 has been cured, the viscosity is increased and the fluidity is lowered, and the first material 19a included in the light shielding region 23 is outside due to the contraction. Even if it is attracted, it does not spread outward. Then, the first material 19a in the light shielding region 23 flows so as to be deposited upward (in the Z-axis direction), and is cured by being irradiated with an electron beam by exiting the light shielding region 23.

このようにして、電子線硬化材料を含有する第1材料19aの中心部分への照射量を外周部分への照射量よりも小さくすることにより、凹型形状のレンズ型19bを形成することができる。   In this way, the concave lens mold 19b can be formed by making the irradiation amount to the central portion of the first material 19a containing the electron beam curable material smaller than the irradiation amount to the outer peripheral portion.

次いで、ステージ12を第2材料供給機構14bの下に移動させ、凹型形状のレンズ型19bの中に第2材料20aを滴下状に充填し、紫外線照射ランプにより紫外線を照射することにより第2材料20aを硬化させて、レンズ20bを形成した。このようにして形成したレンズ20bは、滑らかな表面を有し、レンズ型19bの形状をテンプレートとしたレンズ形状であった。また、凹型形状のレンズ型19bの凹型中心部分24を中心として高い位置精度で形成することができた。   Next, the stage 12 is moved under the second material supply mechanism 14b, the second material 20a is filled into the concave lens mold 19b in a drop shape, and the second material is irradiated with ultraviolet rays from an ultraviolet irradiation lamp. 20a was cured to form a lens 20b. The lens 20b thus formed had a smooth surface and had a lens shape using the shape of the lens mold 19b as a template. Further, the concave lens mold 19b could be formed with high positional accuracy around the concave central portion 24.

このように、この発明を用いてレンズを形成することにより、レンズの設計変更に伴う基板の下地処理を行なうことなく、任意の形状のレンズを形成することができる。特に、遮光パターン22を形成したステージ12と、ステージ12に内蔵した電子線照射機構16aとにより、基板11における第1材料19aを塗布した面とは反対側の面から紫外線を照射することで、レンズ型19bの形状を容易に任意の凹型形状に形成することができる。   As described above, by forming a lens using the present invention, a lens having an arbitrary shape can be formed without performing a substrate surface treatment associated with a change in lens design. In particular, by irradiating ultraviolet rays from the surface opposite to the surface on which the first material 19a is applied on the substrate 11 by the stage 12 on which the light shielding pattern 22 is formed and the electron beam irradiation mechanism 16a built in the stage 12, The shape of the lens mold 19b can be easily formed into an arbitrary concave shape.

このように形成した凹型形状のレンズ型19bにおける凹型中心部分24の中心位置に第2材料20aを滴下状に充填することにより、レンズ20bを高い位置精度で形成することができることが分かった。このとき、電子線照射機構16aをステージ12に内蔵する必要はなく、第1材料19aを塗布した面とは反対側の面から電子線を照射することで同じ結果が得られた。   It was found that the lens 20b can be formed with high positional accuracy by filling the second material 20a in a drop shape at the center position of the concave center portion 24 of the concave lens mold 19b formed in this way. At this time, it is not necessary to incorporate the electron beam irradiation mechanism 16a in the stage 12, and the same result was obtained by irradiating the electron beam from the surface opposite to the surface coated with the first material 19a.

つまり、基板11をステージ12から一度取り外し、第1材料19aの塗布面とは反対側の面から電子線を照射し、再びステージ12に設置しても、同様に凹型形状のレンズ型19aを形成することができ、このように形成したレンズ型19bに、第2材料20aを塗布することにより、優れたレンズ特性を有するレンズ20bを高い位置精度で形成できることが分かった。   That is, even if the substrate 11 is removed from the stage 12 once, the electron beam is irradiated from the surface opposite to the application surface of the first material 19a, and it is placed on the stage 12 again, the concave lens mold 19a is similarly formed. It was found that the lens 20b having excellent lens characteristics can be formed with high positional accuracy by applying the second material 20a to the lens mold 19b thus formed.

[発明の実施の形態3]
この発明に係るさらに別の実施の形態について説明すれば以下のとおりである。なお、本実施の形態でも、実施の形態2の第1材料19aと同じラジカル重合型紫外線硬化性樹脂(JSR社製のJM5010、屈折率1.41)のUVインクを用いた。第1材料19aを塗布して形成したレンズ型19bをテンプレートとして形成するレンズ形成方法について説明する。本実施の形態でも第2材料20aは実施の形態1と同じ材料(大日本インキ社製のSD2407、屈折率1.474)を用いた。
Embodiment 3 of the Invention
The following will describe still another embodiment according to the present invention. In the present embodiment, the same radical polymerization type ultraviolet curable resin (JM5010, refractive index 1.41 made by JSR) as the first material 19a of the second embodiment is used. A lens forming method for forming a lens mold 19b formed by applying the first material 19a as a template will be described. Also in the present embodiment, the second material 20a is the same as that of the first embodiment (SD2407 manufactured by Dainippon Ink, Inc., refractive index 1.474).

各装置の構成およびレンズ形成方法については実施の形態1と同じであるため説明を省略する。本実施の形態では、電子線照射機構16aとして紫外線照射ランプを用い、この紫外線照射ランプにドットパターンである遮光パターン22を設置した。このとき、ドットパターンは円形であり、その直径は5〜30μmとした。また、紫外線照射ランプと基板表面との距離は1.0cmとした。   Since the configuration of each device and the lens forming method are the same as those in the first embodiment, description thereof is omitted. In the present embodiment, an ultraviolet irradiation lamp is used as the electron beam irradiation mechanism 16a, and the light shielding pattern 22 which is a dot pattern is installed on the ultraviolet irradiation lamp. At this time, the dot pattern was circular and the diameter was 5-30 micrometers. The distance between the ultraviolet irradiation lamp and the substrate surface was 1.0 cm.

紫外線照射ランプにより照射された紫外線は、遮光性パターン22により照射量に分布ができる。図7に、本実施の形態に用いた紫外線照射ランプによる照射量分布の概略説明図を示す。   The ultraviolet rays irradiated by the ultraviolet irradiation lamp can be distributed in the irradiation amount by the light shielding pattern 22. FIG. 7 is a schematic explanatory diagram of the irradiation amount distribution by the ultraviolet irradiation lamp used in the present embodiment.

まず、本実施の形態においても基板11としてガラス基板を用いた。すなわち、基板11として新たにガラス基板(屈折率1.46)を用意し、ステージ12の上に載置した。基板11を載置したステージ12を移動させて第1材料供給機構14aにより第1材料19aを基板11に滴下状に塗布する。次に、紫外線照射ランプにより紫外線を照射するが、紫外線照射ランプに形成した遮光パターン22により、第1材料19aには、第1材料の中心部分に遮光領域23が形成される。   First, also in this embodiment, a glass substrate is used as the substrate 11. That is, a new glass substrate (refractive index 1.46) was prepared as the substrate 11 and placed on the stage 12. The stage 12 on which the substrate 11 is placed is moved, and the first material 19a is applied to the substrate 11 dropwise by the first material supply mechanism 14a. Next, ultraviolet rays are irradiated by an ultraviolet irradiation lamp, and a light shielding region 23 is formed in the central portion of the first material in the first material 19a by the light shielding pattern 22 formed in the ultraviolet irradiation lamp.

この遮光領域23に含まれる領域の第1材料19aは硬化しないため流動性が失われないが、遮光領域23に含まれない第1材料19aは紫外線照射により硬化が始まり、収縮する。このため、遮光領域23に含まれる流動性を有する第1材料19aが、遮光領域23に含まれず硬化が始まっている外側へ収縮により引っ張られるため、硬化後のレンズ型19bは凹型形状となる。   The fluidity is not lost because the first material 19a in the region included in the light-shielding region 23 is not cured, but the first material 19a not included in the light-shielding region 23 begins to cure and contracts due to ultraviolet irradiation. For this reason, the first material 19a having fluidity contained in the light shielding region 23 is pulled outside by being contracted without being contained in the light shielding region 23, and thus the cured lens die 19b has a concave shape.

このように形成したレンズ型19bの形状と平坦性について表3に示す。   Table 3 shows the shape and flatness of the lens mold 19b thus formed.

Figure 2006264253
Figure 2006264253

いずれの条件でも、塗布した第1材料19aの中心部分への紫外線照射量よりも外周部分への紫外線照射量を多くすることにより凹型形状のレンズ型19bを形成できることが分かった。   Under either condition, it was found that the concave lens mold 19b can be formed by increasing the amount of ultraviolet irradiation to the outer peripheral portion rather than the amount of ultraviolet irradiation to the central portion of the applied first material 19a.

次いで、ステージ12を第2材料供給機構14bの下に移動させ、第2材料供給機構14bにより第2材料20aを凹型形状のレンズ型19bの凹型中心部分24に滴下状に充填した。その後、紫外線を照射することにより第2材料20aを硬化させて、レンズ20bを形成した。   Next, the stage 12 was moved below the second material supply mechanism 14b, and the second material 20a was dropped into the concave center portion 24 of the concave lens mold 19b by the second material supply mechanism 14b. Thereafter, the second material 20a was cured by irradiating ultraviolet rays to form a lens 20b.

このようにして形成したレンズ20bは、滑らかな表面を有し、レンズ型19bの形状をテンプレートとしたレンズ形状であり、また、凹型形状のレンズ型19bの凹型中心部分を中心として高い位置精度で形成することができた。   The lens 20b thus formed has a smooth surface, has a lens shape with the shape of the lens mold 19b as a template, and has a high positional accuracy around the concave center portion of the concave lens mold 19b. Could be formed.

このように、この発明を用いてレンズを形成することにより、レンズの設計変更に伴う基板の下地処理を行なうことなく、任意の形状のレンズを形成することができることが分かった。特に、遮光パターン22を形成した電子線照射機構14aにより、塗布した第1材料19aの中心部分への照射量が、外周部分への照射量より多くなるように紫外線を照射することにより、レンズ型19bの形状を容易に任意の凹型形状に形成することができる。このように形成した凹型形状のレンズ型19bの凹型中心部分24を第2材料20aの塗布位置として第2材料20aを充填することにより、レンズ20bを高い位置精度で形成することができることが分かった。   Thus, it has been found that by forming a lens using the present invention, it is possible to form a lens having an arbitrary shape without performing a substrate surface treatment associated with a lens design change. In particular, the electron beam irradiation mechanism 14a in which the light shielding pattern 22 is formed irradiates ultraviolet rays so that the irradiation amount to the central portion of the applied first material 19a is larger than the irradiation amount to the outer peripheral portion. The shape of 19b can be easily formed into an arbitrary concave shape. It was found that the lens 20b can be formed with high positional accuracy by filling the second material 20a with the concave center portion 24 of the concave lens mold 19b formed in this way as the application position of the second material 20a. .

[発明の実施の形態4]
この発明に係るさらに他の実施の形態について説明すれば以下のとおりである。なお、本実施の形態で用いた第1材料19aおよび第2材料20aは、実施の形態2で用いた第1材料19a(JSR社製のJM5010、屈折率1.41)および第2材料20a(大日本インキ社製のSD2407、屈折率1.474)にそれぞれ赤色、青色、緑色の顔料を分散させて着色した材料を用いた。第1材料19aおよび第2材料20aに分散させた顔料の割合はそれぞれ体積比で10%である。また、本実施の形態における装置の構成は、実施の形態3と同じである。
[Embodiment 4 of the Invention]
The following will describe still another embodiment according to the present invention. The first material 19a and the second material 20a used in the present embodiment are the same as the first material 19a used in the second embodiment (JM5010 manufactured by JSR Corporation, refractive index 1.41) and the second material 20a ( A material obtained by dispersing red, blue, and green pigments in SD2407 manufactured by Dainippon Ink and a refractive index of 1.474) was used. The ratio of the pigment dispersed in the first material 19a and the second material 20a is 10% by volume. The configuration of the apparatus in the present embodiment is the same as that in the third embodiment.

本実施の形態においても、紫外線照射ランプにより照射された紫外線は、遮光性パターン22により照射量に分布ができる。このとき、紫外線照射ランプと基板11の表面との距離は1.0cmとし、遮光パターン22として直径20μmのドットパターンを用いた。また、本実施の形態では、基板11として、格子状遮光パターン28が形成されたガラス基板(屈折率1.46)を用いた。このとき用いた格子状遮光パターン28は図8(a)に示されるパターンである。   Also in the present embodiment, the ultraviolet rays irradiated by the ultraviolet irradiation lamp can be distributed in the irradiation amount by the light shielding pattern 22. At this time, the distance between the ultraviolet irradiation lamp and the surface of the substrate 11 was 1.0 cm, and a dot pattern having a diameter of 20 μm was used as the light shielding pattern 22. In the present embodiment, a glass substrate (refractive index: 1.46) on which a lattice-shaped light shielding pattern 28 is formed is used as the substrate 11. The lattice-shaped light shielding pattern 28 used at this time is the pattern shown in FIG.

まず、格子状遮光パターン28を形成した基板11をステージ12の上に載置し、ステージ12を第1材料供給機構14aの下に移動させ、第1材料供給機構14aにより第1材料19aを基板11に滴下状に塗布した。このとき、第1材料19aを塗布する位置について図8(b)を用いて説明する。図8(b)は図8(a)に示した格子状遮光パターン28の拡大図である。   First, the substrate 11 on which the lattice-shaped light-shielding pattern 28 is formed is placed on the stage 12, the stage 12 is moved below the first material supply mechanism 14a, and the first material 19a is transferred to the substrate by the first material supply mechanism 14a. 11 was applied dropwise. At this time, the position where the first material 19a is applied will be described with reference to FIG. FIG. 8B is an enlarged view of the grid-like light shielding pattern 28 shown in FIG.

格子状の遮光パターン22の中心位置と塗布した第1材料19aの中心位置とが重なり、かつ、隣の格子にまで広がらないように塗布した。次に、紫外線照射ランプにより紫外線を照射して第1材料19aを硬化させ、凹型のレンズ型19bを形成した。このように形成したレンズ型19bの形状と平坦性について表4に示す。   Application was performed so that the center position of the grid-shaped light-shielding pattern 22 and the center position of the applied first material 19a overlap and do not spread to the adjacent grid. Next, the first material 19a was cured by irradiating ultraviolet rays with an ultraviolet irradiation lamp to form a concave lens mold 19b. Table 4 shows the shape and flatness of the lens mold 19b thus formed.

Figure 2006264253
Figure 2006264253

表4から、着色した第1材料19aを塗布し、中心部分への紫外線照射量よりも外周部分への紫外線照射量を多くすることにより、凹型形状のレンズ型19bを形成できることが分かった。   From Table 4, it was found that the concave lens mold 19b can be formed by applying the colored first material 19a and increasing the amount of ultraviolet irradiation to the outer peripheral portion rather than the amount of ultraviolet irradiation to the central portion.

次いで、ステージ12を第2材料供給機構14bの下に移動させて、第2材料供給機構14bにより第2材料20aを凹型形状のレンズ型19bの凹型中心部分24に滴下状に充填した。その後、充填した第2材料20aに再び紫外線照射ランプで紫外線を照射することにより第2材料20aを硬化させて、レンズ20bを形成した。   Next, the stage 12 was moved below the second material supply mechanism 14b, and the second material 20a was dropped into the concave center portion 24 of the concave lens mold 19b by the second material supply mechanism 14b. Thereafter, the filled second material 20a was again irradiated with ultraviolet rays with an ultraviolet irradiation lamp to cure the second material 20a, thereby forming a lens 20b.

このようにして形成したレンズは、滑らかな表面を有し、レンズ型19bの形状をテンプレートとしたレンズ形状であった。また、凹型形状のレンズ型19bの凹型中心部分24を第2材料20aの滴下充填位置としてレンズ20bを形成することにより、高い位置精度で形成することができた。   The lens thus formed had a smooth surface and a lens shape using the shape of the lens mold 19b as a template. Further, by forming the lens 20b with the concave center portion 24 of the concave lens mold 19b as the dropping filling position of the second material 20a, the lens 20b can be formed with high positional accuracy.

このように、この発明を用いてレンズを形成することにより、レンズの設計変更に伴う基板の下地処理を行なうことなく、任意の形状の着色レンズを形成することができることが分かった。また凹型形状のレンズ型19bの凹型中心部分24を第2材料20aの滴下充填位置としてレンズ20bを形成することにより高い位置精度で形成できることが分かった。   Thus, it has been found that by forming a lens using the present invention, a colored lens having an arbitrary shape can be formed without subjecting the substrate to a base treatment accompanying a lens design change. Further, it was found that the lens 20b can be formed with high positional accuracy by using the concave center portion 24 of the concave lens mold 19b as the dropping filling position of the second material 20a.

次に、図9に示すように、このようにして形成したレンズ20bの中から、赤色に着色したレンズ20bを形成した基板11をステージ12から取り外し、面光源を用いて平行光27を入射させた。このとき、面光源から照射された平行光27は、レンズ20bから基板11に向かう方向に入射した。また、比較のために、従来技術であるフォトリソグラフィ法により作成したカラーフィルタ基板と、同じく従来技術であるインクジェット方式で基板11に第2材料20aのみを塗布して紫外線を照射して形成したレンズとについても、同様に平行光27を入射させた。   Next, as shown in FIG. 9, the substrate 11 on which the red colored lens 20b is formed is removed from the stage 12 out of the lenses 20b formed in this way, and parallel light 27 is incident using a surface light source. It was. At this time, the parallel light 27 emitted from the surface light source was incident in the direction from the lens 20b toward the substrate 11. For comparison, a lens formed by applying a second material 20a to the substrate 11 and irradiating it with ultraviolet rays by the inkjet method which is also a conventional technique, and a color filter substrate prepared by the conventional photolithography method. Similarly, the parallel light 27 was also incident on the.

図9に示すように、カラーフィルタ基板には、有色部26と格子状遮光パターン28があり、有色部26が面光源からの平行光27を透過する有効画素領域30となる。このカラーフィルタ基板に平行光27を透過させた場合、格子状遮光パターン28によって遮光されて輝度が低下することが分かった。格子状遮光パターン28の占める面積が大きくなるほど光量は低下した。このため、輝度を上げるためには出力の大きい面光源が必要となる。   As shown in FIG. 9, the color filter substrate has a colored portion 26 and a grid-like light shielding pattern 28, and the colored portion 26 becomes an effective pixel region 30 that transmits parallel light 27 from a surface light source. It has been found that when the parallel light 27 is transmitted through the color filter substrate, the light is shielded by the lattice-shaped light shielding pattern 28 and the luminance is lowered. The amount of light decreased as the area occupied by the lattice-shaped light shielding pattern 28 increased. For this reason, a surface light source with a large output is required to increase the luminance.

この距離は、この発明により形成したレンズ型19bの厚さと、格子状遮光パターン28を形成したガラス基板11の厚さとを加えた距離にほぼ同じ距離になる。また、格子状遮光パターン28の大きさは、凸レンズにおける半径の3分の1の大きさであり、その一端が凸レンズの端部と重なるように配置されている。つまり、凸レンズに入射した平行光27は、すべて有効画素領域30に集光される。   This distance is substantially the same as the distance obtained by adding the thickness of the lens mold 19b formed according to the present invention and the thickness of the glass substrate 11 on which the lattice-shaped light shielding pattern 28 is formed. Further, the size of the lattice-shaped light shielding pattern 28 is one third of the radius of the convex lens, and one end thereof is arranged so as to overlap the end portion of the convex lens. That is, all the parallel light 27 incident on the convex lens is condensed on the effective pixel region 30.

インクジェット方式により基板11に第2材料20aのみを滴下状に塗布して着色レンズを形成した場合には、格子状遮光パターン28に入射する平行光27がレンズにより有効画素領域30に集光されるために、有効画素領域30において輝度低下を防ぐことができた。しかしながら、有効画素領域30には、レンズを光が通過する距離が異なることにより色ムラが発生した。   When a colored lens is formed by applying only the second material 20a to the substrate 11 in a drop shape by the inkjet method, the parallel light 27 incident on the lattice-shaped light shielding pattern 28 is condensed on the effective pixel region 30 by the lens. Therefore, it was possible to prevent a decrease in luminance in the effective pixel region 30. However, color unevenness occurred in the effective pixel region 30 due to different distances through which light passes through the lens.

図10に、インクジェット方式で基板11に第2材料20aのみを塗布して形成した凸レンズにおける色ムラと、本実施の形態によって形成したレンズ20bにおける色ムラとを示す。   FIG. 10 shows color unevenness in a convex lens formed by applying only the second material 20a to the substrate 11 by the inkjet method, and color unevenness in the lens 20b formed by the present embodiment.

図10に示される三角印は、インクジェット方式により第2材料20aを塗布して形成した基板11に平行光27を透過させた場合における色ムラであり、丸印は、この発明により形成したレンズ20bに平行光27を透過させた場合の色ムラである。縦軸は、有効画素領域30の中心位置、つまりレンズの中心位置を透過した光が基板11に照射される位置の色純度を100%とした場合の各位置での色純度分布を表し、横軸は、色純度を測定した位置を表す。   The triangle mark shown in FIG. 10 is the color unevenness when the parallel light 27 is transmitted through the substrate 11 formed by applying the second material 20a by the ink jet method, and the circle mark is the lens 20b formed by the present invention. This is the color unevenness when the parallel light 27 is transmitted. The vertical axis represents the color purity distribution at each position when the color purity at the center position of the effective pixel region 30, that is, the position where the light transmitted through the center position of the lens is irradiated onto the substrate 11 is 100%. The axis represents the position where the color purity was measured.

色純度を測定した位置について図11により説明する。図11に示されるB−B’断面図の測定位置を図10の横軸とし、各位置での色純度を図10の縦軸とした。凸型レンズはレンズの中心部分がもっとも厚さがある。このため、平行光27が凸型レンズの中心を通過する距離が最も長くなり、色純度が最も濃くなった。反対に、凸型レンズの端部では、凸型レンズを通過する平行光27の距離が最も短いため、色純度は最も薄くなった。この結果、有効画素領域30の中心から同心円状にレンズの色の分布が発生し、色ムラとなった。つまり、このような凸レンズを例えば輝度上昇機能付きカラーフィルタとして用いた場合には、色ムラが発生するため、形成したパネルの表示性能は低下する。   The position where the color purity is measured will be described with reference to FIG. The measurement position in the B-B ′ sectional view shown in FIG. 11 is the horizontal axis in FIG. 10, and the color purity at each position is the vertical axis in FIG. 10. The convex lens has the thickest center part of the lens. For this reason, the distance that the parallel light 27 passes through the center of the convex lens is the longest, and the color purity is the darkest. On the other hand, at the end of the convex lens, since the distance of the parallel light 27 passing through the convex lens is the shortest, the color purity is the thinnest. As a result, the color distribution of the lens is generated concentrically from the center of the effective pixel region 30, and color unevenness occurs. That is, when such a convex lens is used as, for example, a color filter with a brightness enhancement function, color unevenness occurs, and the display performance of the formed panel is degraded.

一方、本実施の形態によって着色レンズ20bを形成した場合にも、レンズ20bにより平行光27は有効画素領域30に集光されるため、格子状遮光パターン28による輝度の低下を防止できることが分かった。また、図10の丸印に示されるように、色ムラが小さくて優れたレンズ特性を有する着色レンズを形成できることが分かった。   On the other hand, even when the colored lens 20b is formed according to the present embodiment, since the parallel light 27 is condensed on the effective pixel region 30 by the lens 20b, it has been found that luminance reduction due to the lattice-shaped light shielding pattern 28 can be prevented. . Further, as shown by the circles in FIG. 10, it was found that a colored lens having excellent lens characteristics with small color unevenness can be formed.

レンズ20bの端部に入射した平行光27はレンズ型19bを通過する。このとき光がレンズ20b内を通過する距離の差が発生するが、レンズ20bによる集光により、レンズ20bの端部に入射した平行光27は、レンズ20bの中心部分に入射した平行光27と比較して、レンズ型19bを透過する距離が長くなる。つまり、レンズ20b内を通過する距離が短い光ほど、レンズ型19bを通過する距離が長い。   The parallel light 27 incident on the end of the lens 20b passes through the lens mold 19b. At this time, there is a difference in the distance that the light passes through the lens 20b. However, the parallel light 27 incident on the end of the lens 20b due to the condensing by the lens 20b is different from the parallel light 27 incident on the central portion of the lens 20b. In comparison, the distance transmitted through the lens mold 19b becomes longer. That is, the shorter the distance that passes through the lens 20b, the longer the distance that passes through the lens mold 19b.

この発明では、レンズ型19bもレンズ20bと同じ色が同じ濃度で着色されているため、着色されたレンズ型19bが、レンズ20b内を通過する光の距離の差を補正して、有効画素領域30の色ムラを低減できることが分かった。また、青色や緑色の顔料を分散させた第1材料19aおよび第2材料20aを用いた場合にも同様の結果であった。   In the present invention, since the lens mold 19b is also colored with the same density as the lens 20b, the colored lens mold 19b corrects the difference in the distance of the light passing through the lens 20b to thereby obtain an effective pixel region. It was found that 30 color unevenness can be reduced. The same result was obtained when the first material 19a and the second material 20a in which a blue or green pigment was dispersed were used.

このように、この発明により形成した着色レンズを用いてパネルを形成した場合には、入射した光を集光して輝度上昇の効果を有することが分かった。さらに、着色レンズに光を通過させる場合に発生する光の通過距離の差を、同じ色に着色したレンズ型19bを通過する距離の差により補正することにより、色ムラを低減できることが分かった。このようなレンズを輝度向上機能付きカラーフィルタとして用いた場合には、パネルの表示性能は上昇する。   Thus, it has been found that when a panel is formed using the colored lens formed according to the present invention, the incident light is condensed and the luminance is increased. Furthermore, it has been found that color unevenness can be reduced by correcting the difference in the light passing distance generated when light passes through the colored lens by the difference in the distance passing through the lens mold 19b colored in the same color. When such a lens is used as a color filter with a brightness enhancement function, the display performance of the panel increases.

また、本実施の形態では、ラジカル重合型紫外線硬化樹脂のUVインクを用いたが、電子線硬化性材料または熱硬化性材料を含有していれば、他の材料を用いてもよい。紫外線硬化樹脂であればラジカル重合型材料でもカチオン重合性材料でもそれらの混合でもよい。このような硬化性材料には、硬化性モノマーまたは硬化性オリゴマー、重合開始剤などが含まれる。また、電子線硬化性材料や熱硬化性材料のほかに溶媒や顔料、染料などの他の成分が含まれていてもよい。   In this embodiment, the radical polymerization type UV curable resin UV ink is used. However, other materials may be used as long as they contain an electron beam curable material or a thermosetting material. As long as it is an ultraviolet curable resin, a radical polymerizable material, a cationic polymerizable material, or a mixture thereof may be used. Such curable materials include curable monomers or curable oligomers, polymerization initiators, and the like. In addition to the electron beam curable material and the thermosetting material, other components such as a solvent, a pigment, and a dye may be included.

本実施の形態では、遮光パターン22としてドットパターンを使用したが、硬化に要する波長の光を遮光する機能を有すれば、どのような材料でも形状でもよい。また、ステージ12や電子線照射機構14aに直接遮光パターン22を形成せずに、それぞれ別に配置してもよい。レンズ20bを形成する基板11に直接形成してもよい。また、拡散板21はなくてもよい。さらに、遮光パターン22は、完全に照射光を遮光する必要はなく、照射量に分布を形成するものであればよい。   In the present embodiment, a dot pattern is used as the light shielding pattern 22, but any material or shape may be used as long as it has a function of shielding light having a wavelength required for curing. Further, the light shielding pattern 22 may not be directly formed on the stage 12 or the electron beam irradiation mechanism 14a but may be arranged separately. You may form directly on the board | substrate 11 which forms the lens 20b. Further, the diffusion plate 21 may not be provided. Furthermore, the light shielding pattern 22 does not need to completely shield the irradiation light, and may be any pattern that forms a distribution in the irradiation amount.

本実施の形態ではレンズ20bを形成する基板11としてガラス基板を用いたが、どのような基板でもよい。プラスチック基板やフィルム基板でもよい。また、基板11の表面に凹凸があったり、パターンが形成されていたりしていてもよい。また、塗布側とは反対側の面から電子線を照射する場合には、照射する電子線を完全に遮光しない基板を用いればよい。   In the present embodiment, a glass substrate is used as the substrate 11 on which the lens 20b is formed, but any substrate may be used. A plastic substrate or a film substrate may be used. Further, the surface of the substrate 11 may be uneven or a pattern may be formed. Further, when the electron beam is irradiated from the surface opposite to the coating side, a substrate that does not completely block the electron beam to be irradiated may be used.

また、本実施の形態では、インクジェット方式を用いたが、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたバブルジェット(登録商標)タイプや、圧電素子を用いたピエゾジェットタイプでもよい。第1材料供給機構14aと第2材料供給機構14bとは同じ機構である必要はない。   In this embodiment, the ink jet method is used. However, a bubble jet (registered trademark) type using an electrothermal transducer as an energy generating element or a piezo jet type using a piezoelectric element may be used. The first material supply mechanism 14a and the second material supply mechanism 14b do not have to be the same mechanism.

レンズ型19bの屈折率n1とレンズ20bの屈折率n2とは、n1<n2の関係を満たしていればよい。つまり、屈折率の高いレンズ20bから屈折率の低いレンズ型19aに光が入射することにより、界面の法線から離れるように屈折して集光することができる。   It is sufficient that the refractive index n1 of the lens mold 19b and the refractive index n2 of the lens 20b satisfy the relationship n1 <n2. That is, when light enters the lens mold 19a having a low refractive index from the lens 20b having a high refractive index, the light can be refracted and condensed away from the normal line of the interface.

本実施の形態では、第1材料19aおよび第2材料20aは無色または赤色、緑色、青色としたが、何色でもよい。顔料に限らず、染料を用いてもよい。また、第1材料19aと第2材料20aとに分散させた顔料濃度を同濃度としたが、これは同濃度でなくてもよい。レンズ20bの屈折率や格子状遮光パターン28の大きさ、格子状遮光パターン28を形成したガラス基板厚さなどにより、レンズ型19bの形状に合わせて変化させることができる。   In the present embodiment, the first material 19a and the second material 20a are colorless, red, green, or blue, but may be any color. Not only pigments but also dyes may be used. Moreover, although the pigment density | concentration disperse | distributed to the 1st material 19a and the 2nd material 20a was made into the same density | concentration, this may not be the same density | concentration. Depending on the refractive index of the lens 20b, the size of the lattice-shaped light-shielding pattern 28, the thickness of the glass substrate on which the lattice-shaped light-shielding pattern 28 is formed, etc., it can be changed according to the shape of the lens mold 19b.

さらに、この発明は、上述した各実施形態に限らず、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。   Furthermore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims.

以上説明したように、この発明のレンズ形成方法によれば、基板11に第1材料19aを塗布して凹型形状のレンズ型19bを形成し、そのレンズ型19bに第2材料20aを充填することにより、任意の形状のレンズ20bを形成することができる。さらに、レンズ型19bの凹型中心部分24の窪んだ部分を中心に高い位置精度でレンズ20bを形成することができる。   As described above, according to the lens forming method of the present invention, the first material 19a is applied to the substrate 11 to form the concave lens mold 19b, and the lens mold 19b is filled with the second material 20a. Thus, the lens 20b having an arbitrary shape can be formed. Furthermore, the lens 20b can be formed with high positional accuracy around the recessed portion of the concave central portion 24 of the lens mold 19b.

この発明によれば、従来技術に見られる、吸収層をあらかじめ形成する場合にレンズ表面の滑らかさが失われることによるレンズ特性の低下はなく、優れたレンズ特性を有するレンズを形成することができる。また、この発明によるレンズ形成方法では、優れた特性を有するレンズを任意の場所に高い位置精度で形成することができる。   According to the present invention, a lens having excellent lens characteristics can be formed without causing deterioration of lens characteristics due to loss of smoothness of the lens surface when an absorption layer is formed in advance as seen in the prior art. . Also, with the lens forming method according to the present invention, a lens having excellent characteristics can be formed at an arbitrary location with high positional accuracy.

また、着色レンズを形成する場合には、レンズ型19bをレンズ20bと同じ色に着色することにより、入射した光がレンズ20b内を通過する距離の差を補正して色ムラを低減することができる。   In the case of forming a colored lens, the lens mold 19b is colored in the same color as the lens 20b, thereby correcting the difference in the distance that incident light passes through the lens 20b and reducing color unevenness. it can.

また、この発明のレンズ形成方法によれば、レンズ形状を変更する場合にあらかじめ基板に下地処理を施す必要がないので、タクトタイムの短縮やコストの削減をすることができる。また、任意のレンズ形状となるようにあらかじめレンズ形成材料と基板の接触角を測定してレンズ形状を変更することでレンズ形成材料を変更する必要がないので、開発期間の短縮化が可能である。   In addition, according to the lens forming method of the present invention, it is not necessary to perform a base treatment on the substrate in advance when changing the lens shape, so that the tact time can be shortened and the cost can be reduced. In addition, it is not necessary to change the lens forming material by measuring the contact angle between the lens forming material and the substrate in advance so as to obtain an arbitrary lens shape, so that the development period can be shortened. .

この発明の実施の形態1に係るレンズ形成装置を示す概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing a lens forming apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. この発明の実施の形態1に係るレンズ形成方法の概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing of the lens formation method which concerns on Embodiment 1 of this invention. (a)レンズの凸型形状の概略断面図である。 (b)レンズの凹型形状の概略断面図である。(A) It is a schematic sectional drawing of the convex shape of a lens. (B) It is a schematic sectional drawing of the concave shape of a lens. この発明の実施の形態2に係る、紫外線照射ランプを内蔵したステージの平面図である。It is a top view of the stage which built in the ultraviolet irradiation lamp based on Embodiment 2 of this invention. 図4のA−A’線に沿う断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 4. (a)この発明の実施の形態2に係る遮光パターンによる遮光領域を示す断面図である。 (b)この発明の実施の形態2に係る遮光パターンによる遮光領域を示す断面図である。 (c)この発明の実施の形態2に係る遮光領域に含まれる第1材料の流動性を示す説明図である。(A) It is sectional drawing which shows the light-shielding area | region by the light-shielding pattern which concerns on Embodiment 2 of this invention. (B) It is sectional drawing which shows the light-shielding area | region by the light-shielding pattern which concerns on Embodiment 2 of this invention. (C) It is explanatory drawing which shows the fluidity | liquidity of the 1st material contained in the light-shielding area | region which concerns on Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態3に係る紫外線照射ランプと遮光パターンによる遮光領域を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the light-shielding area | region by the ultraviolet irradiation lamp which concerns on Embodiment 3 of this invention, and a light-shielding pattern. (a)この発明の実施の形態4に係る格子状遮光パターンを有する基板を示す平面図である。 (b)同格子状遮光パターンに対し、第1材料を塗布する位置を表す説明図である。(A) It is a top view which shows the board | substrate which has the grid | lattice-like light shielding pattern which concerns on Embodiment 4 of this invention. (B) It is explanatory drawing showing the position which apply | coats 1st material with respect to the lattice-shaped light shielding pattern. (a)カラーフィルタ基板に入射した平行光がレンズ内を通過する距離を表す説明図である。 (b)インクジェット法により基板に第2材料を塗布して形成した凸レンズ内を通過する平行光の距離を表す説明図である。 (c)この発明により形成したレンズ内を通過する平行光の距離を表す説明図である。(A) It is explanatory drawing showing the distance which the parallel light which injected into the color filter substrate passes the inside of a lens. (B) It is explanatory drawing showing the distance of the parallel light which passes the inside of the convex lens formed by apply | coating a 2nd material to a board | substrate by the inkjet method. (C) It is explanatory drawing showing the distance of the parallel light which passes the inside of the lens formed by this invention. 着色レンズに平行光を入射させたときに発生する有効画素領域の色純度分布を表す図である。It is a figure showing the color purity distribution of the effective pixel area | region which generate | occur | produces when parallel light injects into a colored lens. 図10における色純度分布を測定した断面を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the cross section which measured the color purity distribution in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

11 基板
12 ステージ
13a XY方向駆動部
13b θ回転駆動部
14a 第1材料供給機構
14b 第2材料供給機構
15 Z軸方向駆動部
16a 電子線照射機構
16b 加熱機構
17 ギャップ調整機構
18 装置コントロールユニット
19a 第1材料
19b レンズ型
20a 第2材料
20b レンズ
21 拡散板
22 遮光パターン
23 遮光領域
24 凹型中心部分
25 凹型外周部分
26 有色部
27 平行光
28 格子状遮光パターン
29 焦点位置
30 有効画素領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Board | substrate 12 Stage 13a XY direction drive part 13b (theta) rotation drive part 14a 1st material supply mechanism 14b 2nd material supply mechanism 15 Z-axis direction drive part 16a Electron beam irradiation mechanism 16b Heating mechanism 17 Gap adjustment mechanism 18 Apparatus control unit 19a 1st 1 material 19b lens type 20a second material 20b lens 21 diffuser plate 22 light shielding pattern 23 light shielding area 24 concave center part 25 concave outer peripheral part 26 colored part 27 parallel light 28 grid light shielding pattern 29 focal position 30 effective pixel area

Claims (15)

透光性基板の表面に硬化性透光第1材料を塗布して塗布部を形成し、硬化条件を制御しながらこの塗布部を硬化させることにより凹型形状のレンズ型を形成し、このレンズ型に硬化性透光第2材料を充填して硬化させることによりレンズを形成するレンズ形成方法。   A curable translucent first material is applied to the surface of the translucent substrate to form an application portion, and the application portion is cured while controlling the curing conditions to form a concave lens mold. A lens forming method of forming a lens by filling a curable translucent second material and curing it. 第1材料は、電子線硬化性材料を含有し、レンズ型は、第1材料を電子線の照射により硬化させることで形成される請求項1に記載のレンズ形成方法。   The lens forming method according to claim 1, wherein the first material contains an electron beam curable material, and the lens mold is formed by curing the first material by electron beam irradiation. レンズ型は、塗布部の外周部分への照射量を塗布部の中心部分への照射量よりも大きくすることにより形成される請求項2に記載のレンズ形成方法。   The lens forming method according to claim 2, wherein the lens mold is formed by making the irradiation amount to the outer peripheral portion of the application portion larger than the irradiation amount to the central portion of the application portion. 電子線の照射は、塗布部が形成された基板の面とは反対側の面から行なわれる請求項2または請求項3に記載のレンズ形成方法。   4. The lens forming method according to claim 2, wherein the electron beam irradiation is performed from a surface opposite to the surface of the substrate on which the coating portion is formed. 第1材料は、熱硬化性材料を含有し、レンズ型は、第1材料を所定温度以上の加熱により硬化させることで形成される請求項1に記載のレンズ形成方法。   The lens forming method according to claim 1, wherein the first material contains a thermosetting material, and the lens mold is formed by curing the first material by heating at a predetermined temperature or higher. 透光性基板を保持するためのステージと、基板の表面にレンズ型を形成するための硬化性透光第1材料を供給するための第1材料供給機構と、基板の表面に形成されたレンズ型にレンズを形成するための硬化性透光第2材料を供給するための第2材料供給機構とを備えてなることを特徴とするレンズ形成装置。   A stage for holding a translucent substrate, a first material supply mechanism for supplying a curable translucent first material for forming a lens mold on the surface of the substrate, and a lens formed on the surface of the substrate A lens forming apparatus comprising: a second material supply mechanism for supplying a curable translucent second material for forming a lens on a mold. ステージを水平面内で移動させるための水平移動機構と、ステージを水平面内で回転させるための水平回転機構とをさらに備えている請求項6に記載のレンズ形成装置。   The lens forming apparatus according to claim 6, further comprising a horizontal movement mechanism for moving the stage in a horizontal plane and a horizontal rotation mechanism for rotating the stage in the horizontal plane. 第1材料および第2材料の少なくとも一方を硬化させるための電子線照射機構および加熱機構の少なくとも一方をさらに備えている請求項6または請求項7に記載のレンズ形成装置。   The lens forming apparatus according to claim 6 or 7, further comprising at least one of an electron beam irradiation mechanism and a heating mechanism for curing at least one of the first material and the second material. ステージは、電子線が透過するものであり、電子線照射機構は、基板のレンズ型を形成する面とは反対側に配置されている請求項8に記載のレンズ形成装置。   The lens forming apparatus according to claim 8, wherein the stage transmits an electron beam, and the electron beam irradiation mechanism is disposed on a side opposite to a surface of the substrate forming the lens mold. ステージは、電子線の照射量を制御するための遮光パターンを備えている請求項9に記載のレンズ形成装置。   The lens forming apparatus according to claim 9, wherein the stage includes a light shielding pattern for controlling an electron beam irradiation amount. 電子線照射機構は、赤外線照射ランプおよび紫外線照射ランプの少なくとも一方からなる請求項8〜請求項10のいずれか1つに記載のレンズ形成装置。   The lens forming apparatus according to any one of claims 8 to 10, wherein the electron beam irradiation mechanism includes at least one of an infrared irradiation lamp and an ultraviolet irradiation lamp. 加熱機構は、ホットプレート、ロッド型ヒータおよびプレート型ヒータの少なくとも1つからなる請求項8に記載のレンズ形成装置。   The lens forming apparatus according to claim 8, wherein the heating mechanism includes at least one of a hot plate, a rod type heater, and a plate type heater. 電子線照射機構または加熱機構と基板とのギャップを調整するためのギャップ調整機構をさらに備えている請求項8〜請求項12のいずれか1つに記載のレンズ形成装置。   The lens forming apparatus according to any one of claims 8 to 12, further comprising a gap adjusting mechanism for adjusting a gap between the electron beam irradiation mechanism or the heating mechanism and the substrate. 第1材料供給機構および第2材料供給機構は、インクジェット機構およびディスペンサ機構の少なくとも一方からなる請求項6〜請求項13のいずれか1つに記載のレンズ形成装置。   The lens forming apparatus according to claim 6, wherein the first material supply mechanism and the second material supply mechanism include at least one of an ink jet mechanism and a dispenser mechanism. レンズ型の屈折率n1とレンズの屈折率n2とは、n1<n2の関係を満たしている請求項1〜請求項5のいずれか1つに記載のレンズ形成方法。   The lens forming method according to claim 1, wherein the refractive index n1 of the lens mold and the refractive index n2 of the lens satisfy a relationship of n1 <n2.
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