KR20110027070A - An apparatus can transfer goods cross the conveyor system - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A cross transfer device is provided to improve productivity by crossing a mounting unit of a transfer member and loading a product to reduce transfer time. CONSTITUTION: A pair of transfer guide members(100) include at least two transfer tracks(101,102). A first transfer member(200) is combined with any one track and transfers a product. The first transfer member includes one or more mounting units. The first transfer member vertically moves on the opposite surface to the track combination surface. A second transfer member(300) is combined with the track except for the track on which the first transfer member is loaded and transfers the product.

Description

교차 이송 장치{AN APPARATUS CAN TRANSFER GOODS CROSS THE CONVEYOR SYSTEM}Cross transfer device {AN APPARATUS CAN TRANSFER GOODS CROSS THE CONVEYOR SYSTEM}

본 발명은 물건을 이송하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 엘씨디(LCD)와 같은 대형 평판 제품의 제조 공정 등에서 한 쌍의 이송 가이드 부재에 두 개 이상의 운송 트랙을 구비하여 이들 운송 트랙 사이에서 위 대형 판재의 교환이 이루어질 수 있도록 한 교차이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for conveying an object, and more particularly, having two or more transport tracks in a pair of transport guide members in a manufacturing process of a large flat plate product such as LCD (LCD), and the like. The present invention relates to a cross-feeding device capable of exchanging large plates.

일반적으로 제품의 제조공정은 생산라인을 따라 여러 개의 공정이 이루어지도록 되어있다. 위 공정은 제품의 특성에 따라 다양하게 설정되어 진행되지만 하나의 이송라인 위에 제품을 일정 방향으로 흘려 보내어 진행되는 것이 일반적이다. In general, the manufacturing process of the product is to be carried out several processes along the production line. The above process is variously set according to the characteristics of the product, but it is common to proceed by sending the product in a certain direction on one transfer line.

위 각각의 공정은 그 공정에서 작업이 진행되는 동안 이송 라인을 멈춘 상태로 작업을 진행하거나 또는 이송 라인을 계속 움직이도록 하고 제품만 이송라인으로부터 분리한 후 별도로 그 공정에서 필요한 작업을 마친 후 제품을 다시 이송라인에 올려지도록 하는 방식으로 진행된다.Each of the above processes can be carried out with the stop of the transfer line during the operation of the process, or keep the transfer line moving, separate only the product from the transfer line, and then finish the work separately after completing the necessary work in the process. It is carried out in such a way that it is put on the transfer line again.

위와 같은 생산라인은 공정 중간에 여러 단계의 작업 등을 하여야 하는 경우 이송시간이 늘어나게 되므로 생산능률 측면에서 문제점이 있다.The production line as described above has a problem in terms of production efficiency because the transfer time increases when it is necessary to perform several steps in the middle of the process.

이에 본 발명은 생산라인이 멈추지 않고 계속 움직이는 상태에서 제품의 검사 등 제조공정을 진행할 수 있도록 하여 전체적인 이송시간을 줄이고, 구조 면에서도 간단한 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a simple transfer device in terms of structure by reducing the overall transfer time by allowing a manufacturing process such as inspection of a product to be carried out in a state where the production line is not stopped and moving continuously.

위 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 교차이송용 장치는, 적어도 두 개의 운송 트랙을 구비하는 한 쌍의 이송 가이드 부재, 상기 트랙 중 어느 하나의 트랙과 결합하여 상기 트랙 위를 움직이며 물건을 이송하는 제1 이송 부재 및 상기 제1 이송 부재가 놓이는 트랙 외의 트랙과 결합하여 그 위를 움직이며 물건을 이송하는 제2 이송 부재를 포함한다. In order to achieve the above object, the cross-conveying apparatus according to the present invention, a pair of transport guide member having at least two transport tracks, in combination with any one of the tracks to move the goods while moving on the tracks It comprises a first conveying member and a second conveying member which is coupled to the track other than the track on which the first conveying member is placed and moving thereon and conveying the object.

바람직하게는, 상기 제1 이송 부재는, 트랙과 결합하는 반대 면 위에 그 면에 수직으로 움직일 수 있는 하나 이상의 탑재부를 포함한다.  Preferably, the first conveying member comprises at least one mount that is movable perpendicular to the face above the mating face that engages the track.

바람직하게는, 상기 제2 이송 부재 역시 트랙과 결합하는 반대 면 위에 그 면에 대해 수직으로 움직일 수 있는 하나 이상의 탑재부를 포함한다.Preferably, the second conveying member also includes one or more mounts that are movable perpendicular to the face on the opposite face that engages the track.

상기 제2 이송 부재는, 상기 제2 이송 부재의 본체 상에 진행방향과 수직으로 형성된 레일을 구비하고, 상기 탑재부에 결합 홈을 형성하여 상기 레일과 결합하여 상기 탑재부를 진행방향과 수직으로 왕복운동을 시키는 작동부를 포함한다.The second conveying member has a rail formed perpendicularly to the traveling direction on the main body of the second conveying member, and forms a coupling groove in the mounting portion to engage with the rail to reciprocate the mounting portion perpendicularly to the traveling direction. It includes an operating unit for letting.

바람직하게는, 상기 탑재부는, 탑재되는 판형 물건과 밀착할 수 있도록 형성 된 흡착부; 상기 흡착부와 연결되며, 상기 흡착부에 놓이는 물건의 하중을 지탱하는 지지부; 상기 지지부의 높이조절장치를 포함한다.Preferably, the mounting portion, the adsorption portion formed to be in close contact with the plate-like thing to be mounted; A support part connected to the adsorption part and supporting a load of an object placed on the adsorption part; It includes a height adjustment device of the support.

상기 지지대는, 상기 안쪽 트랙에 놓이는 이송 부재의 탑재부 상의 흡착부와 바깥 트랙에 놓이는 이송 부재의 탑재부 상의 흡착부의 위치가 일치하도록 하기 위해, 상기 트랙 중 안쪽 트랙에 놓이는 이송 부재의 지지대 길이를 짧게 형성한다.The support is formed so that the length of the support of the transport member placed on the inner track of the track is short so that the positions of the adsorption portion on the mount of the transport member placed on the inner track and the adsorption portion on the mount of the transport member placed on the outer track coincide. do.

상기 높이 조절 장치는, 공압에 의해 구동되는 왕복 운동 장치로써, 상기 왕복 운동 장치의 끝단과 상기 지지대를 일체로 연결하여 상기 왕복 운동 장치를 위아래로 움직임으로써 상기 흡착부의 높낮이를 조절하여 상기 제1 및 제2 이송 부재의 양 탑재부를 교차하도록 형성한다.The height adjusting device is a reciprocating device driven by pneumatic pressure, by connecting the end of the reciprocating device and the support integrally to move the reciprocating device up and down to adjust the height of the adsorption part to the first and It is formed to intersect both mounting portions of the second transfer member.

상기 흡착부는, 물건과 접촉하는 부위에 일정 간격마다 홈을 형성한 패드를 포함한다.The adsorption part includes a pad having grooves formed at regular intervals in a portion in contact with the object.

바람직하게는, 상기 흡착부는, 상기 패드에 적어도 하나 이상의 공기 출입구를 형성하고, 상기 흡착부 하단에는 상기 공기 출입구를 통해 공기를 주입하거나 빼내는 연결 통로를 형성하여 외부 펌프와 연결함으로써 상기 흡착부와 판형 부재 사이를 준 진공상태로 만들 수 있도록 형성한다.Preferably, the adsorption unit, at least one air inlet to form the pad, the adsorption unit and the plate-shaped by connecting the external pump by forming a connection passage for injecting or extracting air through the air inlet at the bottom It is formed to make the vacuum between the members.

더욱 바람직하게는, 상기 흡착부는, 상기 연결 통로 내부에 탄성체를 포함하여, 외부 펌프를 이용하여 준 진공상태를 만들었을 때는 복원력에 의해 지지하고 위 복원력에 의해 상기 흡착부가 전후좌우로 기울어질 수 있고, 상기 외부 펌프의 작동을 멈추었을 때는 상기 흡착부가 탄성력에 의해 원위치 되도록 한다.More preferably, the adsorption part includes an elastic body inside the connection passage, and when the quasi-vacuum state is made by using an external pump, the adsorption part can be supported by restoring force and the adsorption part can be inclined back, front, left, and right by the restoring force. When the operation of the external pump is stopped, the adsorption unit is returned to its original position by the elastic force.

바람직하게는, 상기 흡착부는, 상기 흡착부 하단에 구형 또는 원통형 받침대 를 형성하고, 상기 탄성체와 결합하여 상기 흡착부가 전후좌우로 기울어져 흡착되도록 형성한다.Preferably, the adsorption portion is formed at the lower end of the adsorption portion to form a spherical or cylindrical pedestal, combined with the elastic body is formed so that the adsorption portion is inclined to the front, rear, left and right to adsorb.

바람직하게는, 상기 교차 이송용 장치는, 평판 디스플레이 기판을 이송하기 위한 것으로서, 상기 이송 가이드 부재 상에 하나 이상의 검사기를 설치하여 상기 평판 디스플레이 기판의 불량 여부를 검사할 수 있도록 형성한다.Preferably, the cross-feeding device is for transporting a flat panel display substrate, and at least one inspector is installed on the transport guide member so as to inspect whether the flat panel display substrate is defective.

본 발명에 의한 교차 이송 장치는 다음과 같은 효과가 있다.The cross feed apparatus according to the present invention has the following effects.

제품생산이 여러 공정으로 이루어지는 경우, 생산라인을 멈추지 않고 각각의 공정을 계속 진행할 수 있어 제품의 이송시간을 줄일 수 있다는 장점이 있다. 또한, 위와 같이 이송시간이 줄어듦에 따라 생산능률이 향상되는 이점이 있다.When the production of the product is made of several processes, each process can be continued without stopping the production line has the advantage of reducing the transfer time of the product. In addition, there is an advantage that the production efficiency is improved as the transfer time is reduced as described above.

이에 더해 기존 생산라인 설비에 비해 간결한 구조로 되어 있어 공간활용도를 높일 수 있다는 장점도 있다.In addition, it has a concise structure compared to the existing production line equipment, which can increase space utilization.

이하 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the configuration of the present invention for achieving the above object with reference to the accompanying drawings as follows.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 교차 이송 장치의 구성요소들의 전체적인 결합관계를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시한 교차 이송 장치의 결합관계를 도시한 평면도이다. 1 is a perspective view showing the overall coupling relationship of the components of the cross-feeding apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view showing a coupling relationship of the cross-feeding apparatus shown in FIG.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 교차 이송 장치는 한 쌍의 이송가이드 부재(100), 제1 이송 부재(200), 제2 이송 부재(300)를 포함한다.Cross-conveying apparatus according to a preferred embodiment of the present invention includes a pair of transfer guide member 100, the first transfer member 200, the second transfer member 300.

위 한 쌍의 이송가이드 부재(100)를 도 1, 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다. The pair of transfer guide members 100 will be described with reference to FIGS. 1 and 2 as follows.

위 이송가이드 부재(100)는 제품의 생산공정을 따라 제품 조립 시작점에서부터 완제품이 나오는 지점까지 놓이게 된다.The transfer guide member 100 is placed from the starting point of the product assembly to the point of the finished product along the production process of the product.

바람직하게는 위 한 쌍의 이송가이드 부재(100)는 하나 이상의 이송 트랙(101, 102)을 포함한다. 위 이송 트랙(101, 102)은 이송가이드 부재(100) 상에 설치된다. 도시된 실시예에서는 두 개의 이송트랙(101, 102)으로 구성되도록 설치한다.Preferably, the pair of transfer guide members 100 include one or more transfer tracks 101 and 102. The transfer tracks 101 and 102 are installed on the transfer guide member 100. In the illustrated embodiment it is installed to be composed of two transfer tracks (101, 102).

위 제1 이송 부재(200)를 도 3, 도 4, 도 5, 도 6 및 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 교차 이송 장치의 주 구성요소 가운데 하나인 제1 이송 부재(200)의 구성요소들의 전체적인 결합관계를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시한 제1 이송 부재(200)의 평면도이고, 도 5는 도 3에 도시한 제1 이송 부재(200)의 정면도, 도 6은 도 3에 도시한 제1 이송 부재(200)의 배면도, 도 7은 도 3에 도시한 제1 이송 부재(200)의 측면도이다. The first transfer member 200 will be described with reference to FIGS. 3, 4, 5, 6 and 7 as follows. 3 is a perspective view showing the overall coupling relationship of the components of the first conveying member 200 which is one of the main components of the cross-transfer device according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 4 is a third 1 is a plan view of the transfer member 200, FIG. 5 is a front view of the first transfer member 200 shown in FIG. 3, FIG. 6 is a rear view of the first transfer member 200 shown in FIG. Is a side view of the first conveying member 200 shown in FIG. 3.

위 제1 이송 부재(200)는 한 면이 위 이송가이드 부재(100)의 어느 하나의 트랙과 결합할 수 있도록 형성되고, 다른 면에는 제품을 탑재할 수 있도록 형성된 다. The first conveying member 200 is formed so that one surface can be combined with any one track of the conveying guide member 100, the other surface is formed to mount the product.

바람직하게는, 위 제1 이송 부재(200)는 제품을 탑재하는 탑재부(400a)를 포함한다. 위 탑재부(400a)를 포함하는 제1 이송 부재(200)는 위 이송 트랙(101, 102) 중 어느 하나에 놓이며, 제품을 탑재부(400a)에 탑재하여 제품의 제작공정에 따라 이송하는 기능을 수행한다. 도 1 및 도 2에 도시된 실시예에는 제1 이송 부재(200)는 안쪽에 놓인 트랙(101)에 놓인다.Preferably, the first transfer member 200 includes a mounting portion 400a for mounting the product. The first conveying member 200 including the upper mounting part 400a is placed on any one of the upper conveying tracks 101 and 102, and mounts the product on the mounting part 400a to convey the function according to the manufacturing process of the product. To perform. In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the first transport member 200 rests on an inner track 101.

바람직한 실시예에 따른 위 탑재부(400a)는 흡착부(410a), 지지부(420a) 및 높이 조절 장치(430a)를 포함한다.The upper mounting part 400a according to the preferred embodiment includes an adsorption part 410a, a support part 420a, and a height adjusting device 430a.

도 12 내지 도 15는 제2 이송 부재(300)의 탑재부(400b)를 표현한 것이지만 이는 제1 이송 부재(200)의 탑재부(400a)와 구송요소를 같이하고 다만, 지지부(420a, 420b)의 길이를 달리한다는 차이만 있으므로 이를 참조하여 위 흡착부(410a)를 상세히 설명하면 아래와 같다. 위 흡착부(410a)에는 제품이 놓이게 된다. 아래에 설명할 제2 이송 부재(300)의 흡착부(410b)에 실려 이송되던 제품은 위 제1 이송 부재(200)가 있는 곳에 도착하여 제1 및 제2 이송 부재(200, 300)의 흡착부(410a, 410b)가 서로 교차하여 제품을 제2 이송 부재(300)에서 제1 이송 부재(200)로 옮기게 된다. 따라서, 이런 방식으로 제품을 옮길 수 있도록 위 흡착부(410a)는 일정한 간격을 두고 형성되게 된다. 12 to 15 illustrate the mounting portion 400b of the second conveying member 300, which is the same as the conveying element with the mounting portion 400a of the first conveying member 200, but the lengths of the supporting portions 420a and 420b. Since there is only a difference in that it will be described in detail with respect to the above adsorption portion (410a) as follows. The product is placed on the adsorption unit 410a. The product carried in the adsorption part 410b of the second transport member 300 to be described below arrives where the first transport member 200 is located and adsorbs the first and second transport members 200 and 300. The parts 410a and 410b cross each other to move the product from the second transfer member 300 to the first transfer member 200. Therefore, the upper adsorption part 410a is formed at regular intervals so as to move the product in this way.

바람직하게는, 흡착부(410a)의 제품이 놓이는 면에는 일정한 간격마다 요철이 형성된 패드(411a)가 마련된다. 위 패드(411a)는 제품이 흡착부(410a)로부터 제품이 미끄러지는 것을 방지하는 기능을 수행한다. 따라서, 일반적으로 생각할 수 있는 큰 마찰력을 갖는 물질로 대체할 수 있다.Preferably, a pad 411a having irregularities formed at regular intervals is provided on a surface on which the product of the adsorption unit 410a is placed. The pad 411a serves to prevent the product from slipping the product from the adsorption part 410a. Therefore, it is possible to substitute a material having a large friction force that can be generally considered.

바람직하게는, 위 흡착부(410a)의 패드(411a)에 적어도 하나 이상의 공기 출입구(412a)를 형성하여 공기가 들고 날수 있도록 한다. 그리고 흡착부(410a) 하단에는 연결 통로(413a)를 형성하여 외부 펌프와 연결되고 위 외부 펌프를 작동함으로써 위 공기 출입구(412a)를 통해 공기를 주입하거나 빼내 위 흡착부(410a)와 제품 사이를 준진공상태를 만들 수 있도록 한다.Preferably, at least one air inlet 412a is formed at the pad 411a of the upper adsorption unit 410a to allow air to be carried. In addition, a connection passage 413a is formed at the bottom of the adsorption part 410a to be connected to the external pump and operate the external pump to inject or extract air through the air air inlet 412a to connect the product between the adsorption part 410a and the product. Allow to create a semi-vacuum state.

바람직하게는 위 흡착부(410a) 하부에 탄성체(414)를 포함한다. 위 탄성체(414)는 일반적으로 생각할 수 있는 탄성을 갖는 물질로서, 도시된 실시예에서는용수철을 사용하였다. 위 탄성체(414)를 위 흡착부(410a) 하부에 구비함으로써, 도면에 도시되지 않은 외부 펌프를 가동하여 위 연결 통로(413a) 내부를 준진공상태를 만들었을 때 위 탄성체(414)의 복원력과 외부 펌프의 흡입력이 평판 제품에 동시에 작용하여 제품이 위 흡착부(410a)에 흡착된 상태에서 탄성체(414)에 의해 지지가 된다. 이와 같은 구조로 형성됨으로써 제품의 면의 상태에 따라 흡입력과 복원력이 균형을 이루게 되어 위 흡착부(410a)가 전후좌우로 기울어질 수 있다. 그리고 위 외부 펌프 작동을 멈추었을 때는 흡입력이 사라져 탄성력만 받으므로 위 흡착부(410a)가 제품을 위로 밀어올리게 되어 지지만 한다.Preferably, the elastic body 414 is included under the upper adsorption part 410a. The elastic body 414 is a material having elasticity generally thought of, in the illustrated embodiment used a spring. By providing the upper elastic body 414 in the lower part of the upper suction part 410a, when the external pump (not shown in the figure) is operated to create a quasi-vacuum state inside the connecting passage 413a, The suction force of the external pump acts on the flat product at the same time and is supported by the elastic body 414 in a state where the product is adsorbed by the upper adsorption unit 410a. By forming the structure as described above, the suction force and the restoring force are balanced according to the state of the surface of the product, and the upper adsorption part 410a may be tilted forward, backward, left, and right. When the external pump stops operating, the suction force disappears and only the elastic force is applied, so that the upper suction part 410a pushes the product upward.

바람직하게는, 위 흡착부(410a)는, 하단에 구형 또는 원통형으로 형성된 받침대(415)를 포함한다. 위 받침대(415)는 위에 언급한 탄성체(414)와 결합하여 위 흡착부(410a)가 전후좌우로 기울어지는 것을 좀더 자유롭게 하여 흡착부가 제품의 면 상태에 따라 평판 제품을 흡착시키는 것을 향상시킨다.Preferably, the adsorption portion 410a includes a pedestal 415 formed in a spherical or cylindrical shape at the bottom. The pedestal 415 is combined with the above-mentioned elastic body 414 to more freely tilt the upper adsorption portion 410a front, rear, left and right to improve the adsorption portion to adsorb the flat product according to the surface state of the product.

위 제1 이송 부재(200)는 안쪽 트랙(101)에 설치되므로 그 지지부(420a)를 제2 이송 부재(300)의 지지부(420b)에 비해 짧게 형성한다. 따라서, 길게 형성된 제2 이송 부재(300)의 지지부(420b) 위에 있는 흡착부(410b)와 제1 이송 부재(200)의 지지부(420a)위에 있는 흡착부(410a)가 서로 교차할 수 있게 한다. Since the first transfer member 200 is installed on the inner track 101, the support portion 420a is shorter than the support portion 420b of the second transfer member 300. Therefore, the adsorption part 410b on the support part 420b of the second conveying member 300 formed long and the adsorption part 410a on the support part 420a of the first transport member 200 can cross each other. .

도 3, 도 4를 참조하여 높이 조절 장치(430a)를 설명하면 아래와 같다. 위 높이 조절 장치(430a)는, 피스톤 왕복 운동을 하도록 동력에 의해 구동되는 장치다. 바람직하게는 위 동력은 공압인 것을 특징으로 한다. 위 피스톤 왕복 운동을 하는 높이 조절 장치(430a)의 끝단과 위에 언급한 지지부(420a)를 연결함으로써, 상기 왕복 운동 장치를 위아래로 움직임에 따라 상기 흡착부(410a)의 높낮이를 조절한다. 이러한 높낮이의 조절로 상기 제1 및 제2 이송 부재(200, 300)의 양 탑재부(400a, 400b)가 교차할 수 있다. The height adjusting device 430a will be described with reference to FIGS. 3 and 4 as follows. The height adjustment device 430a is a device driven by power to reciprocate the piston. Preferably the power is characterized in that the pneumatic. By connecting the end of the height adjusting device 430a to the above piston reciprocating motion and the supporting part 420a mentioned above, the height of the adsorption part 410a is adjusted as the reciprocating device moves up and down. By adjusting the height, both mounting portions 400a and 400b of the first and second transfer members 200 and 300 may cross each other.

도 8, 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12를 참조하여 제2 이송 부재(300)를 설명하면 다음과 같다. 도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 교차 이송 장치의 주 구성요소 가운데 하나인 제2 이송 부재(300)의 구성요소들의 결합관계를 도시한 사시도이고, 도 9는 도 8에 도시한 제2 이송 부재(300)의 평면도, 도 10은 도 8에 도시한 제2 이송 부재(300)의 배면도, 도 11은 도 8에 도시한 제2 이송 부재(300)의 측면도이다.Referring to FIGS. 8, 9, 10, 11, and 12, the second transfer member 300 will be described below. FIG. 8 is a perspective view illustrating a coupling relationship between the components of the second conveying member 300 which is one of the main components of the cross conveying apparatus according to the preferred embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a second view shown in FIG. A plan view of the transfer member 300, FIG. 10 is a rear view of the second transfer member 300 shown in FIG. 8, and FIG. 11 is a side view of the second transfer member 300 shown in FIG.

제2 이송 부재(300)는 한 면이 위 이송가이드 부재(100)의 트랙과 결합할 수 있도록 형성되고, 다른 면에는 제품을 탑재할 수 있도록 형성한다. 위와 같이 형성된 제2 이송 부재(300)는 위 제1 이송 부재(200)가 놓이는 트랙(101) 이외의 트랙(102) 중 어느 하나에 놓인다. 도시된 실시예에서는, 위 트랙은 두 개로 구성되므로 위 제2 이송 부재(300)는 위 제1 이송 부재(200)가 놓이는 트랙(101)의 바깥에 있는 트랙(102)에 위치하도록 한다.The second conveying member 300 is formed so that one surface can be combined with the track of the upper conveying guide member 100, and the other surface is formed to mount the product. The second transfer member 300 formed as above is placed on any one of the tracks 102 other than the track 101 on which the first transfer member 200 is placed. In the illustrated embodiment, since the track consists of two, the second transport member 300 is positioned on the track 102 outside of the track 101 on which the first transport member 200 is placed.

도 8, 도 9를 참조하여 제2 이송 부재(300)를 설명하면 아래와 같다.8 and 9, the second transfer member 300 will be described below.

위 제2 이송 부재(300)는, 제2 이송 부재(300)의 본체 상에 진행방향과 수직으로 형성된 하나 이상의 레일(311)을 구비하고, 탑재부(400b)에 결합 홈(401)을 형성하여 위 레일(311)과 결합함으로써 위 탑재부(400b)를 진행방향과 수직으로 왕복운동을 시키는 작동부(310)를 포함한다.The second conveying member 300 has one or more rails 311 formed on the main body of the second conveying member 300 in a direction perpendicular to the traveling direction, and forms a coupling groove 401 in the mounting portion 400b. By combining with the upper rail 311 includes an operating unit 310 for reciprocating the upper mounting portion (400b) perpendicular to the traveling direction.

위 레일(311)은 제2 이송 부재(300) 상에 트랙(102)과 수직이 되도록 형성된다. 도시된 실시예에서는, 위 레일(311)은 위 제2 이송 부재(300)의 진행 방향 앞과 뒤에 평행하게 한 쌍으로 설치한다. The upper rail 311 is formed to be perpendicular to the track 102 on the second conveying member 300. In the illustrated embodiment, the upper rails 311 are installed in pairs parallel to the front and rear of the advancing direction of the second transfer member 300.

위 탑재부(400b)는 하단에 위 레일(311)과 체결할 수 있는 결합 홈(401)이 형성된다. 또한 위 탑재부(400b)는 피스톤 왕복 운동을 하는 구동부(310)와 연결된다. 위 구동부(310)를 이용하여 위 탑재부(400b)를 진행방향과 수직으로 슬라이딩 운동시킴으로써, 위 제2 이송 부재(300)의 흡착부(410b)를 제1 이송 부재(200)의 흡착부(410b)와 교차시킨다. The mounting portion 400b has a coupling groove 401 that can be fastened to the upper rail 311 at the bottom thereof. In addition, the mounting unit 400b is connected to the driving unit 310 for the piston reciprocating motion. By sliding the upper mounting portion 400b perpendicularly to the travel direction using the upper driving portion 310, the suction portion 410b of the second transfer member 300 is moved to the suction portion 410b of the first transfer member 200. Cross).

위 제2 이송 부재(300) 위에 위치하는 탑재부(400b)의 기본 구조는 위에 상 술한 제1 이송 부재(200)의 탑재부(400b)와 그 구조 및 기능을 같이한다. 따라서, 위 탑재부(400b)는 흡착부(410b), 지지부(420b) 및 높이 조절 장치(430b)를 포함한다.The basic structure of the mounting portion 400b positioned on the second transfer member 300 has the same structure and function as the mounting portion 400b of the first transfer member 200 described above. Therefore, the mounting part 400b includes an adsorption part 410b, a support part 420b, and a height adjusting device 430b.

도 12 내지 15를 참조하여 위 흡착부(410b)를 설명하면 아래와 같다. 도 12는 제2 이송 부재(300)에 배치된 탑재부(400b)의 각 구성요소들을 분해한 상태를 도시한 사시도, 도 13은 제2 이송 부재(300)의 탑재부(400b)의 각 구성요소들이 전체적으로 결합한 상태를 나타내는 사시도, 도 14는 도 13에서 도시한 탑재부(400b)의 평면도, 도 15는 도 13에서 도시한 탑재부(400b)의 측면도이다.Referring to FIGS. 12 to 15, the adsorption unit 410b will be described below. 12 is a perspective view showing an exploded state of the components of the mounting portion 400b disposed on the second conveying member 300, and FIG. 13 shows each component of the mounting portion 400b of the second conveying member 300. 14 is a plan view of the mounting portion 400b shown in FIG. 13, and FIG. 15 is a side view of the mounting portion 400b shown in FIG. 13.

위 흡착부(410b)는 제품이 놓이는 면에 일정한 간격마다 요철이 형성된 패드(411b)를 포함한다. 위 패드(411b)는 제품이 흡착부(410b)로부터 제품이 미끄러지는 것을 방지하는 기능을 수행한다. 따라서, 일반적으로 생각할 수 있는 큰 마찰력을 갖는 물질로 대체할 수 있다.The adsorption unit 410b includes a pad 411b having irregularities formed at regular intervals on a surface on which the product is placed. The pad 411b serves to prevent the product from slipping the product from the adsorption part 410b. Therefore, it is possible to substitute a material having a large friction force that can be generally considered.

바람직하게는, 위 흡착부(410b)의 패드(411b)에 적어도 하나 이상의 공기 출입구(412b)를 형성하여 공기가 들고 날수 있도록 한다. 그리고 흡착부(410b) 하단에는 연결 통로(413b)를 형성하여 외부 펌프와 연결되고 위 외부 펌프를 작동함으로써 위 공기 출입구(412b)를 통해 공기를 주입하거나 빼내 위 흡착부(410b)와 제품 사이를 준 진공상태를 만들 수 있도록 한다.Preferably, at least one air inlet 412b is formed in the pad 411b of the upper adsorption part 410b so that the air can be lifted and fly. In addition, a connection passage 413b is formed at the bottom of the adsorption unit 410b to be connected to the external pump and operate the external pump to inject or extract air through the upper air inlet 412b to between the adsorption unit 410b and the product. Make a vacuum.

바람직하게는 위 흡착부(410b)는, 위 흡착부(410b) 하부에 탄성체(414)를 포함한다. 위 탄성체(414)는 일반적으로 생각할 수 있는 탄성을 갖는 물질로서, 용수철인 것을 특징으로 한다. 위 탄성체(414)를 위 흡착부(410b) 하부에 구비함으로 써, 외부 펌프를 가동하여 위 연결 통로(413b) 내부를 준 진공상태를 만들었을 때 위 탄성체(414)의 복원력과 외부 펌프의 흡입력이 평판 제품에 동시에 작용하여 제품이 위 흡착부(410a)에 흡착된 상태에서 탄성체(414)에 의해 지지 된다. 이로 인해 제품의 면의 상태에 따라 흡입력과 복원력이 균형을 이루도록 위 흡착부(410a)가 전후좌우로 기울어질 수 있다. 그리고 위 외부 펌프 작동을 멈추었을 때는 흡입력이 사라져 탄성력만 받으므로 위 흡착부(410a)가 제품을 위로 밀어올리게 되어 지지만 한다.Preferably, the stomach adsorption unit 410b includes an elastic body 414 under the stomach adsorption unit 410b. The elastic body 414 is a material having elasticity generally thought of, it is characterized in that the spring. By providing the upper elastic body 414 in the lower part of the upper suction part 410b, the restoring force of the upper elastic body 414 and the suction force of the outer pump when the external pump is operated to create a vacuum state to the inside of the upper connecting passage 413b. Simultaneously acting on the flat product, the product is supported by the elastic body 414 in a state where the product is adsorbed by the upper adsorption unit 410a. As a result, the upper suction part 410a may be tilted forward, backward, left, and right to balance the suction force and the restoring force according to the state of the surface of the product. When the external pump stops operating, the suction force disappears and only the elastic force is applied, so that the upper suction part 410a pushes the product upward.

바람직하게는, 위 흡착부(410b)는, 하단에 구형 또는 원통형으로 형성된 받침대(415b)를 구비한다. 위 받침대(415b)는 위에 언급한 탄성체(414)와 결합하여 위 흡착부(410b)가 전후좌우로 기울어지는 것을 도와 제품의 면 상태에 따라 흡착능력을 향상시킨다.Preferably, the adsorption portion 410b has a pedestal 415b formed in a spherical or cylindrical shape at the bottom. The pedestal 415b is coupled to the above-mentioned elastic body 414 to help the upper adsorption portion 410b to tilt back, front, left and right to improve the adsorption capacity according to the surface state of the product.

위 높이 조절 장치(430b)는, 공압에 의해 구동되는 왕복 운동 장치로서, 위 왕복 운동 장치의 끝단과 위에 언급한 지지부(420b)를 일체로 연결하여 상기 왕복 운동 장치를 위아래로 움직임으로써 상기 흡착부(410b)의 높낮이를 조절하여 상기 제1 및 제2 이송 부재(200, 300)의 양 탑재부(400b)를 교차하도록 형성한다.The stomach height adjusting device 430b is a reciprocating device driven by pneumatic pressure, and the suction part is moved by moving the reciprocating device up and down by integrally connecting the end of the stomach reciprocating device and the above-mentioned support part 420b. The height of 410b is adjusted to cross both mounting portions 400b of the first and second transfer members 200 and 300.

본 발명에 따른 교차 이송용 장치(1)는 평판 디스플레이 기판을 이송하기 위한 것으로서, 상기 이송 가이드 부재 상에 하나 이상의 검사기를 설치하여 상기 평판 디스플레이 기판의 불량 여부를 검사할 수 있도록 형성한다.The cross-feeding apparatus 1 according to the present invention is for transporting a flat panel display substrate, and is formed so as to inspect whether the flat panel display substrate is defective by installing at least one inspector on the transport guide member.

이하 위와 같은 구성을 갖는 본 발명의 작동예를 첨부한 도면과 연계하여 설 명하면 다음과 같다.Hereinafter, described in conjunction with the accompanying drawings, the operation example of the present invention having the above configuration as follows.

이송가이드 부재(100)의 안쪽 트랙(101) 일정 지점에 제1 이송 부재(200)를 위치시킨다. 이때 제1 이송 부재(200)의 높이 조절 장치(430a)를 이용하여 흡착부(410a)의 높이를 낮게 설정하여 둔다. 이는 제2 이송 부재(300)로 제품을 운반할 때 간섭이 발생하지 않게 하기 위해서다.The first transfer member 200 is positioned at a predetermined point of the inner track 101 of the transfer guide member 100. At this time, the height of the adsorption part 410a is set low by using the height adjusting device 430a of the first transfer member 200. This is to prevent interference from occurring when transporting the product to the second transfer member 300.

위 안쪽 트랙(101)이 아닌 바깥 트랙(102)에 제2 이송 부재(300)를 위치시킨다. 그 다음 탑재부(400b) 상의 흡착부(410b)에 제품을 올린 후 외부 펌프를 이용하여 위 흡착부(410b)에 제품을 흡착시킨다. 이때 제품의 표면에 굴곡이 있다고 하더라도 흡착부(410b) 하단에 있는 탄성체(414)의 복원력과 외부 펌프로 인한 흡입력으로 인해 흡착부(410b)가 면의 상태에 따라 상하좌우로 움직여서 제품을 강력하게 흡착하여 지지한다.Position the second conveying member 300 on the outer track 102 rather than the upper inner track 101. Then, after placing the product on the adsorption unit 410b on the mounting unit 400b, the product is adsorbed onto the upper adsorption unit 410b using an external pump. At this time, even if there is a curvature on the surface of the product, due to the restoring force of the elastic body 414 at the bottom of the adsorption unit 410b and the suction force caused by the external pump, the adsorption unit 410b moves up, down, left, and right according to the state of the surface to strongly move the product. Adsorbed and supported.

위와 같이 제2 이송 부재(300)의 흡착부(410b)에 제품을 흡착시킨 후 이송가이드 부재(100)내의 바깥 트랙(102)를 따라 제2 이송 부재(300)를 제1 이송 부재(100)가 있는 곳까지 옮긴다. After adsorbing the product to the adsorption portion 410b of the second transfer member 300 as described above, the second transfer member 300 is moved along the outer track 102 in the transfer guide member 100 to the first transfer member 100. Move to where there is.

이때 제2 이송 부재(300) 상에 있는 작동부(310)를 작동하여 제2 이송 부재(300)의 탑재부(400b)를 제1 이송 부재(200) 방향으로 밀어준다. 이때 제1 이송 부재(200)의 흡착부(410a)와 제2 이송 부재(300)의 흡착부(410b)는 서로 교차가 가능한 상태여야 한다.At this time, the operating part 310 on the second conveying member 300 is operated to push the mounting part 400b of the second conveying member 300 toward the first conveying member 200. At this time, the adsorption part 410a of the first transport member 200 and the adsorption part 410b of the second transport member 300 should be in a state where they can cross each other.

위와 같은 상태가 되면, 제1 이송 부재(200) 상의 높이 조절 장치(430a)를 작동하여 제1 이송 부재(200) 상의 탑재부(410a)의 높이를 올린다. 제1 이송 부재(200)의 탑재부(410a)를 상승시켜 제1 및 제2 이송 부재(200, 300)의 흡착부(410b)가 상호 교차하게 한다. When the above state, the height adjusting device 430a on the first conveying member 200 is operated to raise the height of the mounting portion 410a on the first conveying member 200. The mounting portion 410a of the first transfer member 200 is raised to allow the adsorption portions 410b of the first and second transfer members 200 and 300 to cross each other.

위와 같이 양 흡착부(410a, 410b)가 교차하면 제2 이송 부재(300)의 외부 펌프의 가동을 중지하여 흡착부(410b)와 제품 사이의 흡착력을 제거하고, 동시에 제1 이송 부재(200)의 외부 펌프를 가동하여 위 제품을 제1 이송 부재(200)의 흡착부(410a)에 흡착시킨다. 이러한 작동에 의해 제품이 제2 이송 부재(300)에서 제1 이송 부재(200)로 옮겨진다.When both adsorption parts 410a and 410b intersect as described above, the operation of the external pump of the second transport member 300 is stopped to remove the adsorption force between the adsorption part 410b and the product, and at the same time, the first transport member 200. The external pump is operated to adsorb the above product to the adsorption part 410a of the first transfer member 200. By this operation, the product is transferred from the second transfer member 300 to the first transfer member 200.

제품이 옮겨진 후 교차 되었었던 양 흡착부(410a, 410b)를 분리시키기 위해 제2 이송 부재(200)의 구동장치(313)를 역방향으로 가동하여 탑재부(400b)를 끌어들인다.In order to separate the two adsorption parts 410a and 410b which were crossed after the product was moved, the driving unit 313 of the second transfer member 200 is moved in the reverse direction to draw the mounting part 400b.

흡착부(410b)가 분리된 제2 이송 부재(300)는 처음 제품을 적재하였던 장소로 이송시킨 후 다음 제품의 이송을 준비한다. 이때 제2 이송 부재(300)로부터 제품을 옮겨받은 제1 이송 부재(200)는 다음 단계의 공정으로 이동한다.The second conveying member 300 having the adsorption part 410b separated is prepared to transfer the next product after transferring to the place where the first product was loaded. At this time, the first transfer member 200 which has received the product from the second transfer member 300 moves to the next step.

위 제품이 엘시디(LCD) 패널인 경우, 위 제1 이송 부재(200)가 대기하는 곳에 엘시디 패널의 불량 여부를 판단할 수 있도록 검사장비를 두어 미시적 또는 거시적인 검사를 실행한다.If the product is an LCD panel, the inspection equipment is placed in a place where the first transfer member 200 is waiting to determine whether the LCD panel is defective or not, and then microscopic or macroscopic inspection is performed.

이상과 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As described above, the technical configuration of the present invention described above will be understood by those skilled in the art that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변경된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the exemplary embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all respects, and the scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than the foregoing detailed description, and the meaning and scope of the claims are as follows. And it should be construed that all changes or modified forms derived from the equivalent concept are included in the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 교차 이송 장치(1)의 구성요소들의 전체적인 결합관계를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing the overall coupling relationship of the components of the cross-transfer device 1 according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시한 교차 이송 장치(1)의 결합관계를 도시한 평면도이다. FIG. 2 is a plan view showing a coupling relationship of the cross feed device 1 shown in FIG.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제2 이송 부재(300)의 구성요소들의 결합관계를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a coupling relationship between components of the second transfer member 300 according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제2 이송 부재(300)의 평면도이다.4 is a plan view of the second transfer member 300 according to the preferred embodiment of the present invention shown in FIG. 3.

도 5는 도 3에 도시한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제2 이송 부재(300)의 배면도이다.5 is a rear view of the second transfer member 300 according to the preferred embodiment of the present invention shown in FIG. 3.

도 6은 도 3에 도시한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제2 이송 부재(300)의 측면도이다. FIG. 6 is a side view of the second transfer member 300 according to the preferred embodiment of the present invention shown in FIG. 3.

도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제1 이송 부재(300)의 구성요소들의 전체적인 결합관계를 도시한 사시도이다.7 is a perspective view showing the overall coupling relationship of the components of the first transfer member 300 according to an embodiment of the present invention.

도 8은 도 7에 도시한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제1 이송 부재(200)의 평면도이다.FIG. 8 is a plan view of the first transfer member 200 according to the preferred embodiment of the present invention shown in FIG. 7.

도 9는 도 7에 도시한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제1 이송 부재(200)의 정면도이다.9 is a front view of the first transfer member 200 according to the preferred embodiment of the present invention shown in FIG. 7.

도 10은 도 7에 도시한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제1 이송 부재(200)의 배면도이다.10 is a rear view of the first transfer member 200 according to the preferred embodiment of the present invention shown in FIG. 7.

도 11은 도 7에 도시한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제1 이송 부재(200)의 측면도이다. FIG. 11 is a side view of the first transfer member 200 according to the exemplary embodiment of the present invention shown in FIG. 7.

도 12는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제2 이송 부재(300)의 탑재부(400b)의 각 구성요소들을 분해한 상태를 도시한 사시도이다.12 is a perspective view illustrating an exploded state of components of the mounting part 400b of the second transfer member 300 according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 13은 제2 이송 부재(300)의 탑재부(400b)의 각 구성요소들이 전체적으로 결합한 상태를 나타내는 사시도이다.FIG. 13 is a perspective view illustrating a state in which respective components of the mounting unit 400b of the second transfer member 300 are combined as a whole.

도 14는 도 13에서 도시한 탑재부(400b)의 평면도이다.FIG. 14 is a plan view of the mounting unit 400b illustrated in FIG. 13.

도 15는 도 13에서 도시한 탑재부(400b)의 측면도이다.FIG. 15 is a side view of the mounting part 400b shown in FIG. 13.

Claims (14)

적어도 두 개의 운송 트랙을 구비하는 한 쌍의 이송 가이드 부재;A pair of transfer guide members having at least two transport tracks; 상기 트랙 중 어느 하나의 트랙과 결합하여 상기 트랙 위를 움직이며 물건을 이송하는 제1 이송 부재; 및A first transfer member coupled to any one of the tracks to move and move an object on the track; And 상기 제1 이송 부재가 놓이는 트랙 외의 트랙과 결합하여 그 위를 움직이며 물건을 이송하는 제2 이송 부재A second conveying member which is coupled to a track other than the track on which the first conveying member is placed and moves thereon and conveys the object; 를 포함하며 상기 제1 이송 부재와 제2 이송 부재 사이에 물건을 교차시켜 이송할 수 있는 교차 이송 장치.Cross-conveying device comprising a and can be transported by crossing the object between the first conveying member and the second conveying member. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 이송 부재는,The first transfer member, 트랙과 결합하는 반대 면 위에 그 면에 대해 수직으로 움직일 수 있는 하나 이상의 탑재부를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.And at least one mount that is movable perpendicular to the face on the opposite face that engages the track. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 이송 부재는,The second transfer member, 트랙과 결합하는 반대 면 위에 그 면에 대해 수직으로 움직일 수 있는 하나 이상의 탑재부를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.And at least one mount that is movable perpendicular to the face on the opposite face that engages the track. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제2 이송 부재는,The second transfer member, 상기 제2 이송 부재의 본체 상에 진행방향과 수직으로 형성된 하나 이상의 레일을 구비하고, 상기 탑재부에 결합 홈을 형성하여 상기 레일과 결합하여 상기 탑재부를 진행방향과 수직으로 왕복운동을 시키는 작동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.At least one rail formed on the main body of the second conveying member perpendicular to the traveling direction, and the engaging portion to form a coupling groove in the mounting portion coupled to the rail to the reciprocating movement of the mounting portion perpendicular to the traveling direction Cross feed device, characterized in that. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 탑재부는, The mounting portion, 탑재되는 판형 물건과 밀착할 수 있도록 형성된 흡착부;Adsorption unit formed to be in close contact with the plate-like thing to be mounted; 상기 흡착부와 연결되며, 상기 흡착부에 놓이는 물건의 하중을 지탱하는 지지부; 및A support part connected to the adsorption part and supporting a load of an object placed on the adsorption part; And 상기 지지부의 높이조절장치Height adjustment device of the support 를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.Cross feed device comprising a. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 지지부는,The support portion 상기 안쪽 트랙에 놓이는 이송 부재의 탑재부 상의 흡착부와 바깥 트랙에 놓이는 이송 부재의 탑재부 상의 흡착부의 위치가 일치하도록 하기 위해, 상기 트랙 중 안쪽 트랙에 놓이는 이송 부재의 지지대 길이를 짧게 형성한 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.In order to ensure that the positions of the adsorption portion on the mounting portion of the conveying member placed on the inner track and the adsorption portion on the mounting portion of the conveying member placed on the outer track coincide, the length of the support of the conveying member placed on the inner track is short. Cross feed device. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 높이 조절 장치는,The height adjustment device, 공압에 의해 구동되는 왕복 운동 장치로써, 상기 왕복 운동 장치의 끝단과 상기 지지대를 일체로 연결하여 상기 왕복 운동 장치를 위아래로 움직임으로써 상기 흡착부의 높낮이를 조절하여 상기 제1 및 제2 이송 부재의 양 탑재부를 교차하도록 형성한 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.A reciprocating device driven by pneumatic pressure, by connecting the end of the reciprocating device and the support integrally to move the reciprocating device up and down to adjust the height of the suction unit to adjust the amount of the first and second transfer member Cross feed device, characterized in that formed to cross the mounting portion. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 흡착부는,The adsorption unit, 물건과 접촉하는 부위에 일정 간격마다 요철이 형성된 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.Cross-conveying device comprising a pad formed with irregularities at regular intervals in the area in contact with the object. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 흡착부는,The adsorption unit, 상기 패드에 적어도 하나 이상의 공기 출입구를 형성하고, 상기 흡착부 하단에는 상기 공기 출입구를 통해 공기를 주입하거나 빼내는 연결 통로를 형성하여 외부 펌프와 연결함으로써 상기 흡착부와 판형 부재 사이를 준 진공상태로 만들 수 있도록 형성한 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.At least one air inlet is formed in the pad, and at the bottom of the adsorption unit, a connection passage for injecting or extracting air through the air inlet is formed and connected to an external pump to make the vacuum between the adsorption unit and the plate member. Cross feed device, characterized in that formed so that. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 흡착부는,The adsorption unit, 상기 연결 통로 내부에 탄성체를 포함하여, 외부 펌프를 이용하여 준 진공상태를 만들었을 때는 복원력에 의해 지지하고 위 복원력에 의해 상기 흡착부가 전후좌우로 기울어질 수 있고, 상기 외부 펌프의 작동을 멈추었을 때는 상기 흡착부가 탄성력에 의해 원위치 되는 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.When the quasi-vacuum state is created by using an external pump including an elastic body inside the connection passage, the adsorption unit may be tilted back and forth, left and right by the restoring force, and the operation of the external pump may be stopped. And the adsorption portion is returned to its original position by an elastic force. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 흡착부는,The adsorption unit, 상기 흡착부 하단에 구형 또는 원통형 받침대를 형성하고, 상기 탄성체와 결합하여 상기 흡착부가 전후좌우로 기울어져 흡착되도록 형성한 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.And a spherical or cylindrical pedestal formed at the lower end of the adsorption unit, and combined with the elastic body so that the adsorption unit is inclined back and forth and left and right to be adsorbed. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 9, 상기 교차 이송용 장치는,The cross feed device, 평판 디스플레이 기판을 이송하기 위한 것으로서, 상기 이송 가이드 부재 상에 하나 이상의 검사기를 설치하여 상기 평판 디스플레이 기판의 불량 여부를 검사할 수 있도록 형성된 것을 특징으로 하는 교차 이송 장치.A cross-transfer device for transferring a flat panel display substrate, wherein at least one inspector is installed on the transfer guide member to inspect whether the flat panel display substrate is defective. 이송 가이드 부재의 어느 한 트랙의 시작점에 놓인 제2 이송 부재의 탑재부에 실린 물건을 상기 제2 이송 부재의 탑재부가 제1 이송 부재의 탑재부보다 높게 설정한 상태에서 상기 제1 이송 부재가 있는 위치까지 운반하는 단계;The object loaded on the mounting portion of the second conveying member placed at the start of one track of the conveying guide member is placed to the position of the first conveying member in a state where the mounting portion of the second conveying member is set higher than that of the first conveying member. Conveying; 제2 이송 부재 상에 있는 구동부를 이용하여 제2 이송 부재의 탑재부를 제1 이송 부재 방향으로 이동시키는 단계;Moving the mounting portion of the second conveying member in the direction of the first conveying member using a drive on the second conveying member; 높이 조절 장치를 이용하여 상기 양 이송 부재의 탑재부의 흡착부 높이를 맞추어 교차하는 단계;Intersecting and adjusting the height of the adsorption part of the mounting part of the both conveying members by using a height adjusting device; 상기 제1 및 제2 이송 부재의 흡착부를 교차하였을 때 제2 이송 부재로부터 제1 이송 부재로 물건을 옮기는 단계; Moving an object from the second transfer member to the first transfer member when the adsorption portion of the first and second transfer members crosses; 상기 제2 이송 부재 상에 있는 구동부를 이용하여 상기 탑재부를 상기 제1 이송 부재의 운동선상에서 이탈시키는 단계; 및Separating the mounting portion on the line of motion of the first conveying member by using a drive part on the second conveying member; And 상기 제2 이송 부재는 처음의 위치로 돌아가며 상기 제1 이송 부재가 다음 장소로 물건을 운반하는 단계The second conveying member is returned to an initial position and the first conveying member carries the object to the next place 로 구성된 교차이송 장치를 이용하여 물건을 이송하는 방법.Method of conveying the object using the cross-conveying device consisting of. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 제1 및 제2 이송 부재의 흡착부를 교차하였을 때 제2 이송 부재로부터 제1 이송 부재로 물건을 옮기는 단계는,Moving the article from the second conveying member to the first conveying member when the adsorption portion of the first and second conveying members crosses, 제2 이송 부재와 연결된 외부 펌프의 작동을 멈춰 제2 이송 부재의 흡착부와 제품 사이의 흡착력을 제거하는 단계; 및Stopping the operation of the external pump connected to the second transfer member to remove the suction force between the suction portion of the second transfer member and the product; And 제1 이송 부재와 연결된 외부 펌프를 작동하여 제1 이송 부재의 흡착부와 제품 사이를 준 진공상태로 만드는 단계;Operating an external pump connected with the first conveying member to make the vacuum between the suction part of the first conveying member and the product; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 교차이송 장치를 이용하여 물건을 이송하는 방법.Method for transferring the object using the cross-transfer device, characterized in that consisting of.
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