KR101491901B1 - Apparatus and method for continuously separating glasses - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따라, 글래스를 이 글래스를 지지하는 캐리어로부터 분리하는 글래스 박리 방법에 있어서, 일련의 캐리어들을 글래스 박리 장치 내로 공급하는 단계; 및 제1 흡착부를 갖는 제1 헤드 유닛과 제2 흡착부를 갖는 제2 헤드 유닛이 상기 캐리어들로부터 글래스를 하나씩 교대로 흡착 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 방법 및 이를 사용하는 글래스 박리 장치가 개시된다. According to an embodiment of the present invention, there is provided a glass peeling method for separating a glass from a carrier supporting the glass, the method comprising: supplying a series of carriers into a glass peeling apparatus; And a second head unit having a first suction unit and a second suction unit alternately adsorbing and separating glass one by one from the carriers, and a glass using method therefor A peeling apparatus is disclosed.

Description

글래스 연속 박리 장치 및 방법 {Apparatus and method for continuously separating glasses} BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a glass continuous-

본 발명은 글래스 박리 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 글래스 가공 후 글래스를 캐리어로부터 연속적으로 박리(분리)할 수 있는 글래스 박리 장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a glass peeling apparatus and method, and more particularly, to a glass peeling apparatus and method capable of continuously peeling (separating) glass from a carrier after glass processing.

일반적으로 디스플레이어 장치중 하나인 LCD(Liquid Crystal Display) 장치에는 화면의 전면에 평판형 글래스(유리 기판)를 포함하고 있다. 이러한 평판형 글래스를 생산하는 과정에서 글래스는 캐리어와 같은 지지수단에 의해 지지 및 고정되어 소정의 가공 공정을 거치며, 글래스를 다음 공정으로 이송하기 위해 글래스를 캐리어에서 박리(분리)하는 박리 공정을 거칠 수 있다. In general, a liquid crystal display (LCD) device, which is one of the display apparatuses, includes a flat glass (glass substrate) on the front surface of the screen. In the process of producing such a flat glass, the glass is supported and fixed by a supporting means such as a carrier, undergoes a predetermined processing, and is subjected to a peeling process for peeling (separating) the glass from the carrier to transfer the glass to the next process .

일반적으로 캐리어는 상부에 백 패드(Back Pad)라는 PU재질의 부재를 포함하고, 글래스는 캐리어의 백 패드 위에 흡착된 채로 글래스 가공 공정을 거친다. 기존의 박리 공정에서는, 글래스를 캐리어의 백 패드에서 분리하기 위해 글래스와 백 패드 사이에 물과 공기를 분사하여 글래스를 백 패드에서 약간 띄워 주고 그 후 흡착부를 이용하여 글래스 상부에서 글래스를 흡착하여 다음 공정으로 이송한다. Generally, the carrier includes a PU material, called a back pad, on the upper side, and the glass is subjected to a glass working process while being adsorbed on the back pad of the carrier. In the conventional peeling process, in order to separate the glass from the back pad of the carrier, water and air are sprayed between the glass and the back pad to slightly float the glass on the back pad, and then the glass is adsorbed on the glass To the process.

그런데 이 때 글래스와 백 패드 사이에 침투되는 물과 공기량이 많지 않아 잔류시간이 부족하고 대면적의 글래스 기판인 경우 물과 공기가 글래스와 백 패드 사이에 고루 분포되지 않는 문제점이 있고, 이에 의해 흡착부를 이용한 글래스 흡착시 글래스의 가장자리에 크랙이 발생하는 경우가 종종 있다. However, in this case, there is a problem that the water and the air amount penetrating between the glass and the back pad are insufficient and the residence time is short, and in the case of a large-sized glass substrate, water and air are not uniformly distributed between the glass and the back pad. Cracks are often generated at the edges of the glass when the glass is adsorbed by the glass.

또한 종래 박리 공정에서는 물과 공기를 분사하는 단계 및 글래스를 흡착하는 단계 동안 캐리어의 이동을 일시 정지시킨 채 작업을 수행하고 있으나 이로 인해 박리 공정이 지연되는 문제점도 있다. Also, in the conventional peeling process, while the work is performed while the movement of the carrier is temporarily stopped during the step of spraying water and air and the step of adsorbing glass, there is a problem that the peeling process is delayed.

그러므로 백 패드에서 글래스를 보다 연속적이고 효율적으로 분리할 수 있는 글래스 박리 장치 및 이를 이용한 방법에 대한 필요성이 제기되고 있다. Therefore, there is a need for a glass peeling apparatus and a method using the glass peeling apparatus which can more continuously and efficiently separate the glass from the back pad.

본 발명의 개념의 예시적 실시예에 따르면 글래스 박리에 따른 시간 지연이 없는 글래스 박리 장치 및 방법이 제공된다. According to an exemplary embodiment of the concept of the present invention, there is provided a glass peeling apparatus and method without time delay due to glass peeling.

본 발명적 개념의 예시적 실시예에 따르면 글래스의 크랙이나 균열 없이 글래스를 캐리어(백 패드)로부터 안전하게 분리할 수 있는 글래스 박리 장치 및 방법이 제공된다. According to an exemplary embodiment of the present inventive concept, there is provided a glass peeling apparatus and method capable of safely separating a glass from a carrier (back pad) without cracking or cracking of the glass.

본 발명적 개념의 예시적인 실시예에 따르면, 글래스를 이 글래스를 지지하는 캐리어(백 패드)로부터 분리하는 글래스 박리 방법에 있어서, 일련의 캐리어들을 글래스 박리 장치 내로 공급하는 단계; 및 제1 흡착부를 갖는 제1 헤드 유닛과 제2 흡착부를 갖는 제2 헤드 유닛이 상기 캐리어들로부터 글래스를 하나씩 교대로 흡착 분리하는 단계;를 포함하는 글래스 박리 방법이 제공될 수 있다. According to an exemplary embodiment of the present inventive concept, there is provided a glass peeling method for separating a glass from a carrier (back pad) supporting the glass, the method comprising: supplying a series of carriers into a glass peeling apparatus; And a second head unit having a first attracting unit and a second head unit having a second attracting unit alternately adsorbing and separating glass from the carriers one by one.

본 발명적 개념의 예시적인 실시예에 따르면, 제1 흡착부를 갖는 제1 헤드 유닛 및 제2 흡착부를 갖는 제2 헤드 유닛을 포함하는 글래스 박리 장치에 의해 글래스를 캐리어(백 패드)로부터 박리하는 방법으로서, 제1 글래스를 지지하는 제1 캐리어를 글래스 박리 장치 내로 공급함과 동시에, 상기 제2 헤드 유닛이 제2 글래스를 제2 캐리어(백 패드)로부터 흡착 분리하는 제1 단계; 상기 제1 캐리어를 이송하면서 제1 캐리어(백 패드)로부터 제1 글래스를 박리함과 동시에, 상기 제2 헤드 유닛을 미리 설정된 원점으로 복귀시키는 제2 단계; 상기 제1 헤드 유닛이 상기 제1 글래스를 제1 캐리어(백 패드)로부터 흡착 분리함과 동시에, 제3 글래스를 지지하는 제3 캐리어를 글래스 박리 장치 내로 공급하는 제3 단계; 및 상기 제1 헤드 유닛을 상기 미리 설정된 원점으로 복귀시킴과 동시에, 상기 제3 캐리어를 이송하면서 제3 캐리어(백 패드)로부터 제3 글래스를 박리하는 제4 단계;를 포함하는 글래스 박리 방법이 제공될 수 있다. According to an exemplary embodiment of the present inventive concept, there is provided a method of peeling a glass from a carrier (back pad) by a glass peeling apparatus including a first head unit having a first adsorption unit and a second head unit having a second adsorption unit A first step of supplying a first carrier for supporting a first glass into a glass peeling apparatus and a second step for the second head unit to adsorb and separate a second glass from a second carrier (back pad); A second step of peeling off the first glass from the first carrier (back pad) while transferring the first carrier and returning the second head unit to a preset home position; A third step in which the first head unit sucks and separates the first glass from the first carrier (back pad) and supplies a third carrier for supporting the third glass into the glass peeling apparatus; And a fourth step of returning the first head unit to the predetermined origin and peeling off the third glass from the third carrier (back pad) while transferring the third carrier. .

본 발명적 개념의 예시적인 실시예에 따르면, 글래스를 이 글래스를 지지하는 캐리어(백 패드)로부터 분리하는 글래스 박리 장치에 있어서 상기 글래스 박리 장치 내로 공급되는 일련의 캐리어를 이송하는 컨베이어; 글래스를 흡착하는 제1 흡착부를 갖는 제1 헤드 유닛; 글래스를 흡착하는 제2 흡착부를 갖는 제2 헤드 유닛; 상기 제1 헤드 유닛을 상하 방향 및 캐리어의 이동방향(이하 "길이방향")으로 이송할 수 있는 제1 헤드 이송부; 및 상기 제2 헤드 유닛을 상하 방향 및 길이 방향으로 이송할 수 있는 제2 헤드 이송부;를 포함하고, 상기 제1 헤드 유닛과 제2 헤드 유닛이 상기 캐리어(백 패드)로부터 글래스를 하나씩 교대로 흡착 분리할 수 있는 글래스 박리 장치가 제공될 수 있다. According to an exemplary embodiment of the present inventive concept, there is provided a glass peeling apparatus for separating a glass from a carrier (back pad) supporting the glass, the conveyor for conveying a series of carriers fed into the glass peeling apparatus; A first head unit having a first adsorbing portion for adsorbing glass; A second head unit having a second adsorption section for adsorbing glass; A first head transporting unit capable of transporting the first head unit in a vertical direction and a moving direction of a carrier (hereinafter referred to as "longitudinal direction"); And a second head transfer unit capable of transferring the second head unit in the up-and-down direction and the longitudinal direction, wherein the first head unit and the second head unit alternately adsorb the glass one by one from the carrier (back pad) A detachable glass peeling apparatus can be provided.

본 발명적 개념의 예시적 실시예에 의하면, 적어도 2개의 헤드 유닛이 캐리어(백 패드)로부터 글래스를 하나씩 분리할 수 있으므로 시간지연을 제거할 수 있는 이점을 제공한다. According to an exemplary embodiment of the inventive concept, at least two head units can separate the glass one by one from the carrier (back pad), providing the advantage of being able to eliminate the time delay.

본 발명적 개념의 예시적 실시예에 의하면, 미세기포수를 글래스와 캐리어(백 패드) 사이에 분사하여 미세기포층을 형성한 상태에서 글래스를 분리함으로써 글래스의 크랙이나 균열 없이 글래스를 캐리어로부터 안전하게 분리할 수 있는 이점을 제공한다.According to the exemplary embodiment of the present invention concept, glass is separated in a state in which a fine bubble layer is formed by spraying a fine particle catcher between a glass and a carrier (back pad) to securely separate the glass from the carrier without cracking or cracking the glass It provides an advantage that can be done.

도1은 일 실시예에 따른 글래스 박리 공정의 흐름을 설명하기 위한 도면,
도2는 일 실시예에 따른 글래스 박리 장치의 사시도,
도3은 일 실시예에 따른 글래스 박리 장치의 정면도,
도4는 도2의 글래스 박리 장치를 사용하여 글래스를 캐리어(백 패드)로부터 분리하는 예시적인 박리 공정을 나타내는 타임 차트,
도5a 내지 도5d는 도4의 소정 시점에서의 글래스 박리 장치를 나타내는 도면,
도6은 일 실시예에 따른 글래스 박리 장치의 이송 컨베이어부의 사시도,
도7은 도6의 이송 컨베이어부의 평면도,
도8은 도6의 이송 컨베이어부에서 노즐부의 확대도,
도9 내지 도12는 제2 실시예에 따른 글래스 박리 장치의 사시도, 평면도, 정면도, 및 측면도를 각각 나타내는 도면이다. 1 is a view for explaining a flow of a glass peeling process according to an embodiment,
2 is a perspective view of a glass peeling apparatus according to an embodiment,
3 is a front view of a glass peeling apparatus according to an embodiment,
4 is a time chart showing an exemplary peeling process for separating the glass from the carrier (back pad) using the glass peeling apparatus of Fig. 2,
5A to 5D are diagrams showing a glass peeling apparatus at a predetermined point in FIG. 4,
6 is a perspective view of a conveying conveyor portion of a glass peeling apparatus according to an embodiment,
Figure 7 is a top view of the conveying conveyor portion of Figure 6,
Figure 8 is an enlarged view of the nozzle section in the conveying conveyor section of Figure 6,
Figs. 9 to 12 are respectively a perspective view, a plan view, a front view, and a side view of the glass peeling apparatus according to the second embodiment.

이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시 예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above and other objects, features, and advantages of the present invention will become more readily apparent from the following description of preferred embodiments with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art.

본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 게재될 수도 있다는 것을 의미한다.In this specification, when an element is referred to as being on another element, it means that it can be formed directly on the other element, or a third element may be placed therebetween.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및 또는 '포함하는'은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used in the specification, " comprises " and / or " comprising " do not exclude the presence or addition of one or more other elements in addition to the stated element.

본 명세서에서 하나의 구성요소가 다른 구성요소와 '연결된다' 또는 '결합된다'는 표현은 상기 구성요소들 간의 직접적 연결을 의미할 뿐 아니라 다른 제3의 구성요소를 매개로 한 간접적 연결도 포함한다. The expression "connected" or "coupled" to another element in this specification means not only a direct connection between the elements but also an indirect connection via another third element do.

또한 엄밀히 말하면 글래스가 캐리어 상부의 백 패드에 지지되어 있다가 이 백 패드로부터 분리(박리)되지만, 백 패드가 캐리어의 일 구성요소에 해당한다고 볼 수 있으므로, 본 명세서에서는 "글래스가 캐리어로부터 분리(박리)된다"라는 표현을 "글래스가 백 패드로부터 분리(박리)된다"는 표현과 동일한 의미로 사용하기로 한다. Also, strictly speaking, the glass is supported on the back pad on the carrier and is separated (peeled) from the back pad. However, since the back pad corresponds to one component of the carrier, Peel) "is used in the same meaning as" glass is separated (peeled off) from the back pad ".

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다. 아래의 특정 실시 예들을 기술하는데 있어서, 여러 가지의 특정적인 내용들은 발명을 더 구체적으로 설명하고 이해를 돕기 위해 작성되었다. 하지만 본 발명을 이해할 수 있을 정도로 이 분야의 지식을 갖고 있는 독자는 이러한 여러 가지의 특정적인 내용들이 없어도 사용될 수 있다는 것을 인지할 수 있다. 어떤 경우에는, 발명을 기술하는 데 있어서 흔히 알려졌으면서 발명과 크게 관련 없는 부분들은 본 발명을 설명하는 데 있어 혼돈이 오는 것을 막기 위해 기술하지 않음을 미리 언급해 둔다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In describing the specific embodiments below, various specific details have been set forth in order to explain the invention in greater detail and to assist in understanding it. However, it will be appreciated by those skilled in the art that the present invention may be understood by those skilled in the art without departing from such specific details. In some instances, it should be noted that portions of the invention that are well known in the description of the invention and not significantly related to the invention do not describe confusion in describing the present invention.

도1은 일 실시예에 따른 글래스 박리 공정의 흐름을 설명하기 위한 도면이다. 1 is a view for explaining a flow of a glass peeling process according to an embodiment.

도1을 참조하면, 일 실시예에 따른 글래스 박리 공정은 글래스를 공급하는 단계(10), .글래스를 이송하면서 글래스를 박리하는 단계(20), 및 글래스를 배출하는 단계(30)를 포함할 수 있다. 1, a glass peeling process according to an embodiment includes a step 10 of supplying a glass, a step 20 of peeling a glass while transferring the glass, and a step 30 of discharging the glass .

여기서, 글래스는 예컨대 LCD 장치에 사용되는 유리 기판일 수 있으니 이에 한정되지 않는다. 즉 캐리어에 지지되고 고정될 수 있는 다양한 형태의 평판형 부품 중 임의의 부품을 캐리어로부터 분리할 때에도 본 발명적 개념이 적용될 수 있음은 물론이다. Here, the glass may be, for example, a glass substrate used in an LCD device, but is not limited thereto. It is needless to say that the present invention concept can also be applied when separating any one of various types of flat plate-like parts that can be supported and fixed to the carrier from the carrier.

글래스 공급 단계(10)는 글래스를 캐리어로부터 박리하기 위해 박리 장치 내로 글래스를 공급하는 단계이다. 글래스는 캐리어의 백 패드 위에 고정되어 캐리어와 함께 공급되며 된다. 일 실시예에서 글래스를 지지하고 고정하는 캐리어가 이송 벨트 또는 이송 롤러와 같은 이송수단에 의해 박리 장치내로 공급될 수 있다. The glass feeding step 10 is a step of feeding the glass into the peeling apparatus to peel the glass from the carrier. The glass is fixed on the back pad of the carrier and supplied with the carrier. In one embodiment, the carrier for supporting and securing the glass may be fed into the stripping device by means of transport means, such as a transport belt or a transport roller.

글래스 이송 및 박리 단계(20)는 글래스와 캐리어 사이에 공간을 형성하여 글래스를 캐리어로부터 박리하는 단계이다. 본 발명적 개념의 일 실시예에서, 글래스와 캐리어 사이에 공간을 형성하기 위해 글래스와 캐리어 사이의 틈으로 공기 및 물(일반수)을 주입할 수 있다. The glass transfer and peeling step 20 is a step of forming a space between the glass and the carrier to peel the glass from the carrier. In one embodiment of the inventive concept, air and water (common water) can be injected into the gap between the glass and the carrier to form a space between the glass and the carrier.

다른 바람직한 실시예에서, 글래스와 캐리어 사이에 공기 및 미세기포수(水)를 주입할 수 있다. 이 때의 미세기포는 예컨대 기포의 지름이 마이크로미터 단위인 마이크로 버블 또는 나노 단위인 나노 버블일 수 있고, 미세기포수는 상기 마이크로 버블 및/또는 나노 버블이 소정 단위만큼 함유하고 있는 유체일 수 있다. 이와 같이 일반수가 아닌 미세기포수를 사용함으로써, 대면적의 글래스 제품인 경우에도 글래스와 캐리어 사이의 전면적에 물과 공기가 고르게 분포될 수 있고 이에 따라 글래스를 캐리어로부터 쉽게 분리할 수 있다. In another preferred embodiment, air and micro-catcher (water) can be injected between the glass and the carrier. The fine bubbles at this time may be, for example, microbubbles having a diameter of the bubbles in the micrometer range or nanobubbles in the nanometer range, and the microbubbles may be fluids containing the microbubbles and / or nano bubbles in a predetermined unit. By using a non-ordinary fine particle collector in this way, even in the case of a large-sized glass product, water and air can be evenly distributed over the entire area between the glass and the carrier, and therefore the glass can be easily separated from the carrier.

한편 바람직한 일 실시예에 따르면 글래스 이송 및 박리 단계(20)에서 캐리어는 멈추어 있지 않고 이송벨트를 따라 계속하여 이동하고 있을 수 있다. 즉 글래스 박리 장치 내에서 캐리어와 그 위의 글래스가 계속하여 이송되는 것과 동시에 공기 및 일반수(또는 미세기포수)가 글래스와 캐리어 사이에 주입될 수 있다. According to a preferred embodiment, in the glass transfer and peeling step 20, the carrier may not be stopped but may continue to move along the transfer belt. That is, air and common water (or fine grains) can be injected between the glass and the carrier at the same time as the carrier and the glass thereon are continuously conveyed in the glass peeling apparatus.

또한 바람직한 일 실시예에서, 글래스가 글래스 이송 및 박리 단계(20)의 시작시 흡착부가 글래스를 흡착할 수 있다. 이 실시예에서, 글래스를 지지하는 캐리어가 이송벨트를 따라 움직임과 동시에, 흡착부가 글래스의 윗면을 흡착한 상태로 이송벨트와 동기화된 속도로 움직일 수 있다. 이 단계(20)에서, 이송벨트를 따라 움직이는 글래스와 캐리어 사이에 공기 및 미세기포수가 주입되면서 글래스와 캐리어 사이에 분리가 일어나는 동안, 상기 흡착부가 글래스를 상부로 들어올리기 시작함으로써 글래스를 캐리어로부터 박리하는 동작을 개시할 수 있다. Also in a preferred embodiment, the glass can adsorb the glass at the beginning of the glass transfer and peeling step 20. In this embodiment, at the same time as the carrier supporting the glass moves along the conveyance belt, the attracting portion can move at a speed synchronized with the conveyance belt in a state of adsorbing the upper surface of the glass. In this step 20, as the air and the fine grabber are injected between the glass and the carrier moving along the conveyance belt, while the separation between the glass and the carrier takes place, the attracting portion starts lifting the glass upwards so that the glass is peeled off from the carrier Can be started.

글래스 배출 단계(30)는 캐리어로부터 글래스를 완전히 박리하는 단계이다. 일 실시예에서, 글래스 이송 및 박리 단계(20)와 글래스 배출 단계(30)를 거치면서 흡착부는 캐리어가 움직이는 동안 글래스를 캐리어로부터 분리할 수 있다. 따라서 글래스 흡착을 위해 캐리어 이송을 멈추지 않아도 되므로 글래스 박리 공정의 시간을 줄일 수 있다. The glass discharge step 30 is a step of completely peeling off the glass from the carrier. In one embodiment, through the glass transfer and peeling step 20 and the glass discharge step 30, the adsorption part can separate the glass from the carrier while the carrier is moving. Therefore, since the carrier transfer does not have to be stopped for the glass adsorption, the time for the glass peeling process can be shortened.

도2는 일 실시예에 따른 글래스 박리 장치의 사시도이고, 도3은 일 실시예에 따른 글래스 박리 장치의 정면도이다. FIG. 2 is a perspective view of a glass peeling apparatus according to an embodiment, and FIG. 3 is a front view of a glass peeling apparatus according to an embodiment.

도2 및 도3을 참조하면, 일 실시예에 따른 글래스 박리 장치(100)는 하나 이상의 컨베이어(110), 하나 이상의 헤드 유닛(120,130), 헤드유닛 지지 프레임(140), 및 하나 이상의 헤드 이송부(150,160)를 포함할 수 있다. 2 and 3, a glass peeling apparatus 100 according to an embodiment includes at least one conveyor 110, at least one head unit 120, 130, a head unit support frame 140, 150,160).

컨베이어(110)는 글래스(300)를 지지하고 고정하는 캐리어(200)를 박리 장치(100) 내에서 이송하는 장치이고, 예를 들어 컨베이어 벨트나 롤러 등으로 구현될 수 있다. 컨베이어(110)는 둘 이상의 연속되는 컨베이어들로 구성될 수 있다. 도시된 실시예에서 컨베이어(110)는 공급 컨베이어(111), 트랙(track) 컨베이어(113), 및 배출 컨베이어(115)를 포함할 수 있다. 이에 따라 캐리어(200)는 공급 컨베이어(111), 트랙 컨베이어(113), 및 배출 컨베이어(115)에 의해 순차적으로 이송되어 박리 장치(100)를 통과할 수 있다. The conveyor 110 is a device for conveying the carrier 200 supporting and fixing the glass 300 in the peeling apparatus 100 and may be realized by a conveyor belt or a roller, for example. The conveyor 110 may be comprised of two or more successive conveyors. In the illustrated embodiment, the conveyor 110 may include a feed conveyor 111, a track conveyor 113, and a discharge conveyor 115. The carrier 200 can be sequentially transported by the feed conveyor 111, the track conveyor 113 and the discharge conveyor 115 to pass through the peeling apparatus 100.

대안적으로, 컨베이어(110)는 공급 컨베이어(111), 트랙 컨베이어(113), 및 배출 컨베이어(115) 중 적어도 두 개가 서로 일체로 연결된 컨베이어로 구현될 수 있다. 예컨대 트랙 컨베이어(113)와 배출 컨베이어(115)가 하나의 이송벨트로 연결되어 있을 수 있고, 다른 예로서, 세 개의 컨베이어(111,113,115)가 모두 하나의 이송벨트로 연결되어 있을 수도 있다. Alternatively, the conveyor 110 may be embodied as a conveyor in which at least two of the supply conveyor 111, the track conveyor 113, and the discharge conveyor 115 are integrally connected to each other. For example, the track conveyor 113 and the discharge conveyor 115 may be connected by a single conveyor belt, and as another example, the three conveyors 111, 113, and 115 may all be connected by a single conveyor belt.

헤드 유닛(120,130)은 글래스(300)를 흡착하는 흡착부(121,131)를 구비하며, 헤드 이송부(150,160)에 의해 박리 장치(100)의 일단에서 타단까지 이동할 수 있다. The head units 120 and 130 have suction units 121 and 131 for suctioning the glass 300 and can move from one end to the other end of the peeling apparatus 100 by the head transfer units 150 and 160.

실시 형태에 따라 박리 장치(100)가 헤드 유닛을 하나 이상 구비할 수 있다. 도시된 바람직한 실시예에서 박리 장치(100)는 두 개의 헤드 유닛, 즉 제1 헤드 유닛(120) 및 제2 헤드 유닛(130)을 포함한다. 각각의 헤드 유닛(120,130)은 흡착부(121,131)를 하나씩 포함하며, 흡착부(121,131)를 작동시켜 글래스(300)를 흡착한 상태에서 헤드 유닛(120,130)이 움직일 수 있다. According to the embodiment, the peeling apparatus 100 may have one or more head units. In the illustrated preferred embodiment, the peeling apparatus 100 comprises two head units, namely a first head unit 120 and a second head unit 130. Each of the head units 120 and 130 includes one suction unit 121 and one suction unit 131. The head units 120 and 130 can be moved while the suction units 121 and 131 are operated to suction the glass 300. [

후술하겠지만, 제1 헤드 유닛(120)과 제2 헤드 유닛(130)은 박리 장치(100)로 유입되는 일련의 글래스(300)를 서로 교대로 하나씩 흡착하여 배출하도록 동작되고, 이에 의해, 하나의 헤드 유닛만 가지는 기존 박리 장치에 비해 택타임(takt time)을 현저히 줄일 수 있다. As will be described later, the first head unit 120 and the second head unit 130 are operated to suck and discharge a series of glass 300, which are introduced into the peeling apparatus 100, alternately one by the other, The takt time can be remarkably reduced as compared with the conventional peeling apparatus having only the head unit.

헤드유닛 지지 프레임(140)은 박리 장치(100)의 컨베이어(110) 상부에 설치되어 제1 및 제2 헤드 유닛(120,130)을 지지한다. 도시된 실시예에서 헤드유닛 지지 프레임(140)의 좌우측에는 각각 제1 헤드 이송부(150) 및 제2 헤드 이송부(160)가 설치되어 있다. The head unit support frame 140 is installed on the conveyor 110 of the peeling apparatus 100 to support the first and second head units 120 and 130. In the illustrated embodiment, the first head transfer unit 150 and the second head transfer unit 160 are provided on the right and left sides of the head unit support frame 140, respectively.

제1 헤드 이송부(150)는 상하 이송부(151) 및 수평 이송부(153)를 포함하며, 상하 이송부(151)에 제1 헤드 유닛(120)이 결합되어 있다. 따라서 제1 헤드 유닛(120)은 제1 헤드 이송부(150)에 의해 상하방향 및 캐리어(200)의 이동방향(이하에서 "캐리어의 이동방향"을 "길이방향"이라고도 칭함)으로 움직일 수 있다. The first head conveyance unit 150 includes a vertical conveyance unit 151 and a horizontal conveyance unit 153. The first head unit 120 is coupled to the upper and lower conveyance units 151. [ The first head unit 120 can be moved up and down by the first head conveyance unit 150 and the moving direction of the carrier 200 (hereinafter, the "moving direction of the carrier"

마찬가지로, 제2 헤드 이송부(160)는 상하 이송부(161) 및 수평 이송부(163)를 포함하며, 상하 이송부(161)에 제2 헤드 유닛(130)이 결합되어 있다. 따라서 제2 헤드 유닛(130)은 제2 헤드 이송부(150)에 의해 상하방향 및 길이방향으로 움직일 수 있다. Similarly, the second head conveying unit 160 includes a vertical conveying unit 161 and a horizontal conveying unit 163, and the second head unit 130 is coupled to the upper and lower conveying units 161. Accordingly, the second head unit 130 can be moved up and down and in the longitudinal direction by the second head transfer unit 150. [

바람직한 일 실시예에서 제1 헤드 이송부(150)를 구성하는 상하 이송부(151)와 수평 이송부(153), 그리고 제2 헤드 이송부(160)를 구성하는 상하 이송부(161)와 수평 이송부(163)의 각각은 예컨대 호이스트(hoist)와 같은 이송장치로 구현될 수 있다. 그러나 이에 제한되지 않고, 헤드 이송부(150,160)를 상하방향과 길이방향으로 움직이게 하는 임의의 장치로 구현될 수 있음은 물론이다. The upper and lower conveyance units 151 and the horizontal conveyance unit 153 constituting the first head conveyance unit 150 and the vertical conveyance unit 161 and the horizontal conveyance unit 163 constituting the second head conveyance unit 160, Each of which may be implemented as a transport device, such as a hoist. However, it is needless to say that the present invention is not limited thereto and can be implemented by any device that moves the head transferring portions 150 and 160 in the up-and-down direction and in the longitudinal direction.

도2나 도3에 도시되지는 않았지만 박리 장치(100)의 길이방향으로 컨베이어(110)의 좌우 측면에 각각 소정 개수의 공기 노즐 및 워터 노즐이 설치되어 있다.Although not shown in FIGS. 2 and 3, a predetermined number of air nozzles and water nozzles are provided on the left and right sides of the conveyor 110 in the longitudinal direction of the peeling apparatus 100, respectively.

일 실시예에서 컨베이어(110) 중에서 트랙 컨베이어(113)의 좌우 측면에만 공기 노즐 및 워터 노즐이 설치될 수 있다. 대안적인 일 실시예의 경우 트랙 컨베이어(113) 뿐만 아니라 공급 컨베이어(111)의 좌우 측면의 일부 및/또는 배출 컨베이어(115)의 좌우 측면의 일부에도 공기 노즐 및/또는 워터 노즐이 설치될 수 있다. 즉,컨베이어(110)의 길이방향을 따라 공기 노즐 및/또는 워터 노즐이 설치되는 범위는 실시 형태에 따라 달라질 수 있다. In one embodiment, air nozzles and water nozzles may be installed only on the left and right sides of the track conveyor 113 in the conveyor 110. In an alternative embodiment, air nozzles and / or water nozzles may be installed in not only the track conveyor 113, but also portions of the left and right sides of the supply conveyor 111 and / or portions of the left and right sides of the discharge conveyor 115. That is, the range in which the air nozzle and / or the water nozzle are installed along the longitudinal direction of the conveyor 110 may vary according to the embodiment.

바람직한 실시예에서, 트랙 컨베이어(113)의 전체 길이에 걸친 좌우 측면에, 및 배출 컨베이어(115)의 일부분의 길이에 걸친 좌우 측면에 공기 노즐과 워터 노즐이 설치된다. In the preferred embodiment, air nozzles and water nozzles are installed on the left and right sides over the entire length of the track conveyor 113 and on the left and right sides over the length of a portion of the discharge conveyor 115.

바람직한 실시예에서 공기 노즐은 캐리어(200)와 글래스(300) 사이에 압축 공기를 분사할 수 있다. 압축 공기는 예컨대 공기탱크(미도시)에 저장된 공기가 컴프레서(미도시)에서 압축된 후 파이프를 통해 공기 노즐에 공급됨으로써 공기 노즐에서 분사될 수 있다. 공기 노즐을 통해 압축 공기를 분사하는 공기 탱크, 컴프레서 등의 구체적 장치나 방법은 공지되어 있으므로 설명을 생략하기로 한다. In the preferred embodiment, the air nozzle is capable of injecting compressed air between the carrier 200 and the glass 300. The compressed air can be ejected from the air nozzle by, for example, air stored in an air tank (not shown) compressed in a compressor (not shown), and then supplied to an air nozzle through a pipe. A concrete apparatus or method of an air tank for injecting compressed air through an air nozzle, a compressor, and the like are well known and will not be described.

바람직한 실시예에서 워터 노즐은 캐리어(200)와 글래스(300) 사이에 물을 분사할 수 있다. 일 실시예에서 일반적인 물(일반수)을 분사할 수 있다. 보다 바람직한 실시예에서 워터 노즐은 캐리어(200)와 글래스(300) 사이에 미세기포수를 분사할 수 있다. 이 경우 미세기포수는 미세기포수 발생기(미도시)에 의해 생성될 수 있다. 미세기포수 발생기는 마이크로 버블 및/또는 나노 버블 등의 미세 기포가 포함된 미세기포수를 생성하고 이를 박리 장치(100)에 공급한다. 예를 들어 미세기포 발생기에서 생성된 미세기포수는 파이프를 통해 복수개의 워터 노즐에 공급됨으로써 워터 노즐에서 분사될 수 있다. 미세기포수를 생성하고 노즐을 통해 분사하기 위한 구체적 장치나 방법은 공지되어 있으므로 설명을 생략하기로 한다. In a preferred embodiment, the water nozzle is capable of jetting water between the carrier 200 and the glass 300. In one embodiment, normal water (normal water) can be sprayed. In a more preferred embodiment, the water nozzle can inject a fine particle catcher between the carrier 200 and the glass 300. In this case, the fine particle catcher can be generated by a fine particle catcher (not shown). The fine particle catcher generates microbubbles containing microbubbles such as microbubbles and / or nano bubbles and supplies the microbubbles to the peeling device 100. For example, the fine particle gun generated in the micro bubble generator may be injected from the water nozzle by being supplied to the plurality of water nozzles through the pipe. A detailed apparatus and method for generating a fine particle catcher and jetting through a nozzle are well known and will not be described.

이제 글래스 박리 장치(100)를 사용하여 글래스(300)를 캐리어(200)로부터 분리하는 예시적 방법을 도4 내지 도6을 참조하여 설명하기로 한다. An exemplary method of separating the glass 300 from the carrier 200 using the glass peeling apparatus 100 will now be described with reference to Figs.

도4는 글래스 박리 장치(100)를 사용하여 글래스를 캐리어로부터 분리하는 예시적인 박리 공정을 나타내는 타임 차트이다. 도4의 실시예는 도2 및 도3에 도시한 바와 같이 박리 장치(100)가 제1 및 제2 헤드 유닛(120,130)을 포함한다고 가정한다.4 is a time chart showing an exemplary peeling process of separating the glass from the carrier using the glass peeling apparatus 100. Fig. The embodiment of FIG. 4 assumes that the peeling apparatus 100 includes the first and second head units 120 and 130 as shown in FIGS.

우선 제1 헤드 유닛(120)의 동작을 보면, 제1 헤드 유닛(120)은 글래스 공급 단계(10), 글래스 이송 및 박리 단계(20), 글래스 배출 단계(30), 및 복귀 단계(40)를 한 주기(P1)로 하는 동작을 수행한다. 여기서 공급 단계(10), 이송 및 박리 단계(20), 및 배출 단계(30)는 도1을 참조하여 설명한 각 단계와 동일하다.The first head unit 120 includes a glass feeding step 10, a glass feeding and peeling step 20, a glass discharging step 30, and a returning step 40. In the first head unit 120, To the period P1. Here, the feeding step 10, the feeding and peeling step 20, and the discharging step 30 are the same as those described with reference to Fig.

즉 글래스 공급 단계(10)에서, 글래스(300)를 포함한 캐리어(200)가 박리 장치(100) 내로 공급되어 공급 컨베이어(111)에 놓여진다. 이 때 제1 헤드 유닛(120)은, 제1 헤드 유닛(120)의 흡착부(121)가 캐리어(200)의 상부에서 캐리어(200) 위의 글래스(300)에 근접하여 위치할 때까지 상하 이송부(151) 및 수평 이송부(153)의 작동에 의해 하강한다. 다른 실시예에서 제1 헤드 유닛(120)의 흡착부(121)가 글래스(300)의 상부 표면에 완전히 접할 때까지 하강할 수도 있다. 단 흡착부(121)가 글래스(300)에 접하더라도 흡착 동작을 행하지 않을 수도 있다. That is, in the glass feeding step 10, the carrier 200 including the glass 300 is fed into the peeling apparatus 100 and placed in the feed conveyor 111. [ The first head unit 120 is moved up and down until the sucking portion 121 of the first head unit 120 is positioned close to the glass 300 on the carrier 200 from the top of the carrier 200 And is lowered by the operation of the transfer unit 151 and the horizontal transfer unit 153. The suction portion 121 of the first head unit 120 may be lowered until the suction portion 121 of the first head unit 120 is completely in contact with the upper surface of the glass 300 in another embodiment. The adsorption operation may not be performed even when the adsorption unit 121 is in contact with the glass 300.

공급 컨베이어(111)에 놓여진 캐리어(200)는 컨베이어(111)의 동작에 의해 트랙 컨베이어(113)로 전달되고, 캐리어(200)가 이 트랙 컨베이어(113)에 의해 움직이면서 글래스의 이송 및 박리 단계(20)가 진행될 수 있다. 즉 캐리어(200)가 트랙 컨베이어(113)를 따라 움직이는 동안, 트랙 컨베이어(113)의 좌우 측면에 설치된 공기 노즐과 워터 노즐에서 각각 분사되는 압축 공기 및 일반수(또는 미세기포수)가 캐리어(200)와 글래스(300) 사이로 분사되고, 이에 따라 캐리어(200)와 글래스(300) 사이에 공기 및 일반수(또는 미세기포수)로 이루어진 층이 형성되면서 글래스(300)가 캐리어(200)에서 박리되기 시작한다. The carrier 200 placed on the supply conveyor 111 is transferred to the track conveyor 113 by the operation of the conveyor 111 and the carrier 200 is moved by the track conveyor 113, 20) can be performed. That is, while the carrier 200 moves along the track conveyor 113, the compressed air and the general water (or the fine catcher) injected from the air nozzles and the water nozzles provided on the left and right sides of the track conveyor 113, The glass 300 is ejected between the carrier 200 and the glass 300 so that the glass 300 is peeled off from the carrier 200 while air and the water (or fine particles) are formed between the carrier 200 and the glass 300. do.

그리고 이 때 캐리어(200) 위의 글래스(300) 상부에 근접 또는 접촉하여 있는 제1 헤드 유닛(120)은 캐리어(200)의 이동 속도와 동일하게 움직일 수 있다. 즉 캐리어(200)와 제1 헤드 유닛(120)의 상대 속도가 0인 상태로 캐리어(200)와 제1 헤드 유닛(120)이 움직일 수 있으며, 이것은 수평 이송부(153)와 컨베이어(110)의 속도를 동기화함으로써 달성할 수 있다. At this time, the first head unit 120 which is in proximity to or in contact with the upper portion of the glass 300 on the carrier 200 can move at the same speed as the movement speed of the carrier 200. That is, the carrier 200 and the first head unit 120 can move with the relative speed of the carrier 200 and the first head unit 120 being zero. This is because the horizontal transfer unit 153 and the conveyor 110 Speed synchronization.

그 후 상술한 바와 같이 글래스(300)가 박리되고 있는 캐리어(200)는 트랙 컨베이어(113)의 동작에 의해 배출 컨베이어(115)로 전달된다. 글래스 배출 단계(30)에서, 배출 컨베이어(115)에 의해 캐리어(200)가 계속 움직이는 동안, 제1 헤드 유닛(120)의 흡착부(121)가 글래스(300)를 흡착한다. 글래스(300)의 흡착이 완료되면 상하 이송부(151)가 제1 헤드 유닛(120)을 상승시키고, 이에 따라 글래스(300)를 캐리어(200)에서 완전히 분리한다. 흡착부(121)에 흡착된 글래스(300)는 소정의 이송장치에 옮겨져서 다음 공정을 위해 이동하게 된다. The carrier 200 on which the glass 300 is peeled off is transferred to the discharge conveyor 115 by the operation of the track conveyor 113 as described above. In the glass discharge step 30, while the carrier 200 continues to move by the discharge conveyor 115, the suction part 121 of the first head unit 120 adsorbs the glass 300. When the suction of the glass 300 is completed, the upper and lower transfer unit 151 lifts up the first head unit 120, thereby completely separating the glass 300 from the carrier 200. The glass 300 adsorbed by the adsorption unit 121 is transferred to a predetermined transfer device and moved for the next process.

상술한 실시예에서, 배출 컨베이어(115)상의 캐리어(200)와 제1 헤드 유닛(120)의 상대 속도도 0으로 동기화될 수 있다. 따라서 캐리어(200)가 배출 컨베이어(115)위를 움직이는 동안 흡착부(121)가 글래스(300)를 흡착하여 글래스를 캐리어로부터 분리할 수 있고, 글래스(300)의 흡착을 위해 캐리어(200) 이송을 멈추지 않아도 되므로 글래스 박리 공정의 택타임을 크게 감소시킬 수 있다. In the above-described embodiment, the relative speed of the carrier 200 on the discharge conveyor 115 and the first head unit 120 can also be synchronized to zero. Therefore, while the carrier 200 moves on the discharge conveyor 115, the suction part 121 can adsorb the glass 300 to separate the glass from the carrier, and the carrier 200 is transported for adsorption of the glass 300 It is possible to greatly reduce the tack time of the glass peeling process.

흡착한 글래스(300)를 소정의 이송장치에 내려놓은 제1 헤드 유닛(120)은 그 후 복귀 단계(40)에서 공급 컨베이어(111)측으로 다시 복귀한다. 예컨대 일 실시예에서 제1 헤드 유닛(120)은 상하 이송부(151)에 의해 상승한 뒤 수평 이송부(153)에 의해 공급 컨베이어(111)측으로 이동할 수 있다. The first head unit 120 which has lowered the adsorbed glass 300 to a predetermined conveying device then returns to the feed conveyor 111 side in the returning step 40 thereafter. For example, in one embodiment, the first head unit 120 may be moved up by the upper and lower conveyance unit 151 and then moved to the feed conveyor 111 side by the horizontal conveyance unit 153.

그 후 제1 헤드 유닛(120)은 박리 장치(100)로 새로 진입한 캐리어(200) 및 그 상부의 글래스(300)에 대해 상술한 공급 단계(10), 이송 및 박리 단계(20), 및 배출 단계(30)의 동작을 반복하여 수행할 수 있다.Thereafter, the first head unit 120 is moved in the feeding step 10, the feeding and stripping step 20, and the feeding step 10 described above with respect to the carrier 200 newly entering the peeling apparatus 100 and the glass 300 thereon, The discharging step 30 can be repeatedly performed.

한편 제2 헤드 유닛(130)도 상술한 제1 헤드 유닛(120)이 수행하는 단계들, 즉 공급, 이송 및 박리, 배출, 및 복귀 단계(10,20,30,40)로 이루어진 한 주기(P2)의 동작을 수행할 수 있다. 그러나 제1 헤드 유닛(120)과 제2 헤드 유닛(130)은 동일 시점에 서로 상이한 단계를 수행함으로써 제1 및 제2 헤드 유닛(120,130) 사이에 물리적 충돌이 일어나는 것을 방지할 수 있다. Meanwhile, the second head unit 130 may also include one cycle (e.g., one cycle) consisting of the steps performed by the first head unit 120 described above, i.e., feeding, transferring and stripping, discharging and returning steps 10, 20, 30, P2. ≪ / RTI > However, the first head unit 120 and the second head unit 130 can prevent physical collisions between the first and second head units 120 and 130 by performing different steps at the same time.

즉 도4에 도시한 실시예에서, 제1 헤드 유닛(120)이 공급 단계(10)에 있는 동안 제2 헤드 유닛(130)은 배출 단계(30)를 수행한다. 그리고 제1 헤드 유닛(120)이 이송 및 박리 단계(20)를 수행하는 동안 제2 헤드 유닛(130)은 복귀 단계(40)에 있다. 마찬가지로, 제1 헤드 유닛(120)이 각각 배출 단계(30) 및 복귀 단계(40)에 있을 때 제2 헤드 유닛(130)은 각각 공급 단계(10) 및 이송 및 박리 단계(20)를 수행하고 있다. 따라서 본 발명의 상술한 일 실시예에 의하면, 하나의 헤드 유닛으로 글래스를 박리하는 기존 박리 장치에 비해 단위 시간당 두 배의 글래스를 박리할 수 있으므로 글래스 박리 공정의 택타임을 크게 감소시킬 수 있다. 4, the second head unit 130 performs the evacuation step 30 while the first head unit 120 is in the supply step 10. In other words, in the embodiment shown in Fig. And the second head unit 130 is in the return step 40 while the first head unit 120 performs the transfer and peeling step 20. [ Similarly, when the first head unit 120 is in the discharging step 30 and the returning step 40, respectively, the second head unit 130 performs the feeding step 10 and the feeding and peeling step 20, respectively have. Therefore, according to the above-described embodiment of the present invention, glass can be peeled twice per unit time as compared with the conventional peeling apparatus which peels the glass with one head unit, so that the glass peeling process can be greatly reduced in the tack time.

한편, 도4에 도시한 각 단계들(10,20,30,40)마다의 수행 시간은 서로 상이할 수 있다. 예컨대 일 예시적인 실시예에서, 공급 단계(10)에서 헤드 유닛(120,130)이 하강하여 글래스(300)에 근접하거나 접촉하는데 걸리는 시간이 대략 5초이고, 이송 및 박리 단계(20)에서 캐리어(200)가 트랙 컨베이어(113)를 따라 이송되면서 글래스(300)가 캐리어(200)로부터 박리되는 과정이 대략 26초이고, 배출 단계(30)에서 글래스(300)가 흡착되어 캐리어(200)로부터 분리되어 소정 이송장치 위에 놓이는데 걸리는 시간이 대략 13초이고, 그리고 헤드 유닛(120,130)이 공급 단계(10)를 위해 원점(공급 컨베이어(111)의 상부 지점)으로 복귀하는데 걸리는 시간이 대략 22초로 설정될 수 있다. 물론 이러한 각 소요 시간은 예시적인 것이고, 실제 실시 형태에 따라서는 박리될 글래스의 크기, 단위 시간당 박리해야 할 글래스의 개수 등의 요소에 기초하여 컨베이어(110)의 속도 및 헤드 유닛(120,130)의 이송 속도를 조정함으로써 다르게 설정될 수 있음은 물론이다. On the other hand, the execution time for each of the steps 10, 20, 30, and 40 shown in FIG. 4 may be different from each other. For example, in one exemplary embodiment, the time taken for the head units 120, 130 to descend and approach or contact the glass 300 in the feeding step 10 is approximately 5 seconds, and in the feeding and peeling step 20, ) Is transferred along the track conveyor 113 and the glass 300 is peeled from the carrier 200 for about 26 seconds and the glass 300 is adsorbed and separated from the carrier 200 in the discharging step 30 The time it takes for the head units 120 and 130 to rest on the predetermined conveying apparatus is about 13 seconds and the time it takes for the head units 120 and 130 to return to the origin (upper point of the feeding conveyor 111) for the feeding step 10 is set to about 22 seconds . Of course, each of these required times is an exemplary one, and depending on the actual embodiment, the speed of the conveyor 110 and the speed of conveyance of the head units 120 and 130, based on factors such as the size of the glass to be peeled, the number of glasses to be peeled per unit time, Of course, can be set differently by adjusting the speed.

도5a 내지 도5d는 도4의 각 시점에서의 글래스 박리 장치를 나타내는 도면이다. Figs. 5A to 5D are views showing a glass peeling apparatus at each time point of Fig. 4. Fig.

도5a는 도4의 T1 시각에서의 글래스 박리 장치(100)의 상태를 나타낸다. 도5a를 참조하면, 제1 헤드 유닛(120)은 원점(즉, 공급 컨베이어(111)의 상부 지점)으로 복귀하여 제1 글래스(300-1)를 포함한 제1 캐리어(200)를 향해 하강하고 있고, 제2 헤드 유닛(130)은 제2 캐리어로부터 제2 글래스(300-2)를 흡착 분리한 후 배출을 위해 제2 글래스(300-2)를 이송하고 있다. Fig. 5A shows the state of the glass peeling apparatus 100 at time T1 in Fig. Referring to FIG. 5A, the first head unit 120 returns to the origin (that is, the upper point of the supply conveyor 111) and descends toward the first carrier 200 including the first glass 300-1 The second head unit 130 adsorbs and separates the second glass 300-2 from the second carrier, and then transfers the second glass 300-2 for discharging.

도5b는 도4의 T2 시각에서의 글래스 박리 장치(100)의 상태를 나타낸다. 캐리어(200) 위의 제1 글래스(300-1)는 컨베이어(110)를 따라 길이방향으로 이송되면서 캐리어(200)로부터 박리되고 있고, 제1 헤드 유닛(120)은 제1 글래스(300-1)에 근접하거나 또는 접촉한 채로 제1 글래스(300-1)와 함께 이동하고 있다. Fig. 5B shows the state of the glass peeling apparatus 100 at time T2 in Fig. The first glass 300-1 on the carrier 200 is peeled from the carrier 200 while being conveyed in the longitudinal direction along the conveyor 110 and the first head unit 120 is separated from the first glass 300-1 Or moves with the first glass 300-1 while being in contact with the first glass 300-1.

그리고 이와 동시에, 제2 헤드 유닛(130)은 제2 글래스(300-2)를 소정의 이송수단에 내려놓은 뒤 원점으로 복귀하고 있다.At the same time, the second head unit 130 returns to the origin after lowering the second glass 300-2 onto the predetermined conveying means.

도5c는 도4의 T3 시각에서의 글래스 박리 장치(100)의 상태를 나타낸다. 제1 헤드 유닛(120)은 제1 글래스(300-1)를 흡착하여 캐리어(200)로부터 분리한 뒤 배출을 위해 이송하고 있다. 이와 동시에, 제2 헤드 유닛(130)은 원점으로 복귀하여 제3 글래스(300-3)를 향해 하강하고 있다. Fig. 5C shows the state of the glass peeling apparatus 100 at the time T3 in Fig. The first head unit 120 sucks the first glass 300-1 and separates the first glass 300-1 from the carrier 200, and then transports the first glass 300-1 for discharging. At the same time, the second head unit 130 returns to the origin and descends toward the third glass 300-3.

도5d는 도4의 T4 시각에서의 글래스 박리 장치(100)의 상태를 나타낸다. 제1 글래스(300-1)를 배출한 제1 헤드 유닛(120)은 원점으로 복귀하고 있고 이 때 박리 장치(100)의 공급 컨베이어(111)를 통해 새로운 제4 글래스(300-4)가 진입하고 있다. 한편 제3 글래스(300-3) 및 이에 근접하거나 접촉하고 있는 제2 헤드 유닛(130)은 컨베이어(110)를 따라 길이방향으로 함께 이동하고 있고, 이 과정에서 제3 글래스(300-3)가 캐리어(200)로부터 박리되고 있다. FIG. 5D shows the state of the glass peeling apparatus 100 at time T4 in FIG. The first head unit 120 that has discharged the first glass 300-1 returns to the origin and a new fourth glass 300-4 enters through the supply conveyor 111 of the peeling apparatus 100 . Meanwhile, the third glass 300-3 and the second head unit 130 coming in contact with or in contact with the third glass 300-3 move along the conveyor 110 in the longitudinal direction. In this process, the third glass 300-3 And is peeled off from the carrier 200.

이상과 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면 두 대의 헤드 유닛(120,130)이 박리 장치(100)로 진입하는 글래스(300)를 서로 교대로 하나씩 흡착하고 배출함으로써 글래스 박리의 연속성을 확보할 수 있게 되고 택타임을 단축하는 효과를 가질 수 있다. As described above, according to the embodiment of the present invention, the glass heads 300 entering the peeling apparatus 100 are alternately attracted and discharged one by one by the two head units 120 and 130, thereby ensuring the continuity of the peeling of the glass It can have the effect of shortening the tack time.

이하 도6 내지 도8을 참조하여 노즐부의 구성을 설명하기로 한다. Hereinafter, the configuration of the nozzle unit will be described with reference to FIGS. 6 to 8. FIG.

도6은 일 실시예에 따른 글래스 박리 장치의 이송 컨베이어부의 사시도이고, 도7은 도6의 이송 컨베이어부의 평면도이다. 도6 및 도7은 도2의 글래스 박리 장치(100)에서 헤드 유닛(120,130), 헤드유닛 지지 프레임(140), 및 헤드 이송부(150,160)를 제거한 상태를 나타낸다. 도시된 것처럼 컨베이어(110)는 공급 컨베이어(111), 트랙 컨베이어(113), 및 배출 컨베이어(115)를 포함한다. 각각의 컨베이어(111,113,115)에 대해서는 도2 및 도3을 참조하여 설명하였으므로 여기서는 설명을 생략한다. 6 is a perspective view of a conveying conveyor portion of the glass peeling apparatus according to one embodiment, and Fig. 7 is a plan view of the conveying conveyor portion of Fig. 6 and 7 show a state in which the head units 120 and 130, the head unit support frame 140, and the head conveyance units 150 and 160 are removed from the glass peeling apparatus 100 of FIG. As shown, the conveyor 110 includes a feed conveyor 111, a track conveyor 113, and a discharge conveyor 115. The conveyors 111, 113, and 115 have been described with reference to FIGS. 2 and 3, and a description thereof will be omitted.

도6을 참고하면, 트랙 컨베이어(113)의 양쪽 측면을 따라 복수개의 노즐부(170)가 설치될 수 있다. 일 실시예에서 복수개의 노즐부(170)는 소정 거리 이격되어 트랙 컨베이어(113)의 양측면에 각각 설치되고 공기 및/또는 물을 이송수단(117)을 향해 분사할 수 있도록 배치된다. Referring to FIG. 6, a plurality of nozzle units 170 may be installed along both sides of the track conveyor 113. In an embodiment, the plurality of nozzle units 170 are disposed at both sides of the track conveyor 113 and spaced apart from each other by a predetermined distance so as to be able to jet air and / or water toward the conveying unit 117.

또한 바람직한 일 실시예에서, 배출 컨베이어(115)의 양쪽 측면의 일부분에도 하나 이상의 노즐부(170)가 설치될 수 있다. 이 때 노즐부(170)는 도6에 도시한 것처럼 배출 컨베이어(115)의 길이방향의 대략 절반의 길이에 걸쳐 설치될 수 있다. 그러나 실시 형태에 따라 이 길이방향의 1/3 또는 2/3의 길이에 걸쳐 설치될 수도 있음은 물론이다. Also in one preferred embodiment, one or more nozzle portions 170 may be provided on a portion of both sides of the discharge conveyor 115. [ At this time, the nozzle unit 170 may be installed over a length of approximately half of the lengthwise direction of the discharge conveyor 115 as shown in FIG. However, it goes without saying that it may be installed over 1/3 or 2/3 of the longitudinal direction according to the embodiment.

이와 같이 도6의 구성에 의해, 이송수단(117)을 통해 이송되는 캐리어(200)가 트랙 컨베이어(113)에 진입할 때부터 공기 및/또는 물을 캐리어(200)에 분사하기 시작하여 캐리어(200)가 배출 컨베이어(115)의 대략 절반 길이를 빠져나갈때까지 계속하여 공기 및/또는 물을 분사할 수 있다. 6, it is possible to start jetting air and / or water onto the carrier 200 from the time when the carrier 200 conveyed through the conveying means 117 enters the track conveyor 113, 200 can continue to blow air and / or water until they exit approximately half the length of the discharge conveyor 115.

도8은 도6의 이송 컨베이어부에서 노즐부의 확대도이다. 도8을 참고하면, 노즐부(170)는 공기 노즐(171) 및 워터 노즐(173)을 포함할 수 있다. 공기 노즐(171)은 공기를 분사할 수 있고 워터 노즐(173)은 물을 분사할 수 있다. 바람직한 일 실시예에서 워터 노즐(173)은 미세기포수를 분사할 수 있다. 8 is an enlarged view of the nozzle section in the conveying conveyor section of Fig. Referring to FIG. 8, the nozzle unit 170 may include an air nozzle 171 and a water nozzle 173. The air nozzle 171 can jet air and the water nozzle 173 can jet water. In one preferred embodiment, the water nozzle 173 is capable of jetting a fine particle catcher.

공기 노즐(171)과 워터 노즐(173)이 공기와 미세기포수를 각각 분사하는 경우, 캐리어(200)와 글래스(300) 사이에 미세기포층이 형성될 수 있고, 그 후 헤드 유닛(120,130)의 흡착부(121,131)에 의해 글래스(300)를 패드(200)로부터 흡착하여 분리할 수 있다. A fine bubble layer may be formed between the carrier 200 and the glass 300 when the air nozzle 171 and the water nozzle 173 respectively inject air and a fine particle catcher, The glass 300 can be separated from the pad 200 by the suction units 121 and 131 and separated.

즉, 분사된 공기에 의해 캐리어(200)와 글래스(300) 사이에 틈이 발생하기 시작하면 이 틈으로 미세기포수가 진입한다. 미세기포수가 계속 분사됨에 따라 캐리어(200)와 글래스(300) 사이의 틈으로 미세기포수가 더 흘러들어 캐리어와 글래스 사이에 미세기포층이 형성되기 시작한다. 캐리어(200)가 트랙 컨베이어(113)와 배출 컨베이어(115)를 이동하는 동안 이 미세기포층은 글래스(300)의 전체 면적에 걸쳐 형성되고 글래스(300)가 캐리어(200)로부터 쉽게 분리될 수 있는 상태가 된다. 이 상태에서 헤드 유닛(120,130)의 흡착부(121,131)가 글래스(200)를 상방으로 들어올림에 따라 글래스(300)가 패드(200)로부터 분리될 수 있다. That is, when a gap is generated between the carrier 200 and the glass 300 by the injected air, the micro-catcher enters the gap. As the fine particle catcher continues to be injected, the fine particle catcher flows further into the gap between the carrier 200 and the glass 300, and a fine bubble layer starts to be formed between the carrier and the glass. While the carrier 200 moves the track conveyor 113 and the discharge conveyor 115, the microbubble layer is formed over the entire area of the glass 300 and the glass 300 can be easily separated from the carrier 200 . In this state, as the suction units 121 and 131 of the head units 120 and 130 lift the glass 200 upward, the glass 300 can be separated from the pad 200.

이상과 같이 미세기포수를 이용하는 상술한 실시예에 의해, 크랙의 발생없이 글래스(300)를 캐리어(200)로부터 안전하게 분리할 수 있다. 또한 상기 실시예에서 글래스와 캐리어 사이에 미세기포층을 형성하는 동안 캐리어(200)가 트랙 컨베이어(113)와 배출 컨베이어(115) 위를 계속 이동하고 있으므로, 물 및/또는 공기의 분사 공정과 글래스 박리 공정 사이에 컨베이어를 중지하는 일 없이 연속적으로 작업을 수행할 수 있다. As described above, the glass 300 can be safely separated from the carrier 200 without causing cracks, by using the above-described embodiment using the fine particle catcher. Also, in the above embodiment, since the carrier 200 continues to move on the track conveyor 113 and the discharge conveyor 115 while forming a fine bubble layer between the glass and the carrier, the water and / The work can be continuously performed without stopping the conveyor between the peeling process.

도9 내지 도12는 제2 실시예에 따른 글래스 박리 장치(400)의 사시도, 평면도, 정면도, 및 측면도를 각각 나타내는 도면이다. 9 to 12 are respectively a perspective view, a plan view, a front view, and a side view of the glass peeling apparatus 400 according to the second embodiment.

이 제2 실시예를 도2 및 도3의 글래스 박리 장치(100)와 비교할 때, 제2 실시예에 따른 글래스 박리 장치(400)의 지지 프레임(440)의 형상 및 글래스 이송부(480)의 높이가 글래스 박리 장치(100)의 구성과 상이할 뿐 대부분의 구성요소가 동일 내지 유사함을 알 수 있다. 즉, 도9의 글래스 박리 장치(400)의 컨베이어(411,413,415), 헤드 유닛(420,430), 헤드 이송부(450,460)는 도2의 글래스 박리 장치(100)의 컨베이어(111,113,115), 헤드 유닛(120,130), 헤드 이송부(150,160)와 동일 내지 유사한 구성과 기능을 가진다. When the second embodiment is compared with the glass peeling apparatus 100 of Figs. 2 and 3, the shape of the support frame 440 of the glass peeling apparatus 400 according to the second embodiment and the height of the glass conveyance section 480 It is understood that most of the constituent elements are the same or similar to each other, although they are different from the constitution of the glass peeling apparatus 100. The conveyors 411, 413 and 415 of the glass peeling apparatus 400 of FIG. 9, the head units 420 and 430 and the head conveyance units 450 and 460 are connected to the conveyors 111, 113 and 115 of the glass peeling apparatus 100 of FIG. 2, the head units 120 and 130, And has the same or similar structure and function as the head conveyance units 150 and 160. [

또한 도면에 나타나 있지는 않지만 글래스 박리 장치(400)의 트랙 컨베이어(413)의 길이 전체에 걸쳐 좌우 양측에 공기와 미세기포수 분사를 위한 복수개의 노즐이 배치되고 또한 배출 컨베이어(415)의 일부 길이의 양측에도 이러한 노즐이 적어도 하나 이상씩 배치되어 있다. 따라서 이러한 글래스 박리 장치(400)의 구성에 의해, 두 대의 헤드 유닛(420,430)이 박리 장치(400)의 컨베이어(410)로 이송되는 글래스(300)를 서로 교대로 하나씩 흡착하여 글래스 이송부(480)로 배출함으로써, 헤드 유닛의 정지없이 글래스 박리의 연속성을 확보할 수 있어 택타임을 단축하는 효과를 가질 수 있다. Although not shown in the drawing, a plurality of nozzles for ejecting air and fine-grained catches are disposed on both sides of the entire length of the track conveyor 413 of the glass peeling apparatus 400, At least one or more of these nozzles are arranged. Therefore, by the configuration of the glass peeling apparatus 400, the two head units 420 and 430 can adsorb the glass 300, which is conveyed to the conveyor 410 of the peeling apparatus 400, alternately one by one, The continuity of the peeling of the glass can be ensured without stopping the head unit, and the effect of shortening the tack time can be obtained.

상기와 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위 뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.While the present invention has been described with reference to the particular embodiments and drawings, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. This is possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined by the equivalents of the claims, as well as the claims.

100, 400: 글래스 박리 장치
110, 410: 컨베이어
120, 420: 제1 헤드 유닛
130, 430: 제2 헤드 유닛
140, 440: 헤드유닛 지지 프레임
150, 450: 제1 헤드 이송부
160, 460: 제2 헤드 이송부
170: 노즐부
171: 공기 노즐
173: 워터 노즐 100, 400: Glass peeling device
110, 410: Conveyor
120, 420: first head unit
130, 430: a second head unit
140, 440: Head unit support frame
150, 450: first head conveyance section
160, 460: a second head conveyance section
170:
171: Air nozzle
173: Water nozzle

Claims (16)

삭제delete 삭제delete 제1 흡착부를 갖는 제1 헤드 유닛 및 제2 흡착부를 갖는 제2 헤드 유닛을 포함하는 글래스 박리 장치에 의해 글래스를 캐리어로부터 박리하는 방법으로서,
제1 글래스를 지지하는 제1 캐리어를 글래스 박리 장치 내로 공급함과 동시에, 상기 제2 헤드 유닛이 제2 글래스를 제2 캐리어로부터 흡착 분리하는 제1 단계;
상기 제1 캐리어를 이송하면서 제1 캐리어로부터 제1 글래스를 박리함과 동시에, 상기 제2 헤드 유닛을 미리 설정된 원점으로 복귀시키는 제2 단계;
상기 제1 헤드 유닛이 상기 제1 글래스를 제1 캐리어로부터 흡착 분리함과 동시에, 제3 글래스를 지지하는 제3 캐리어를 글래스 박리 장치 내로 공급하는 제3 단계; 및
상기 제1 헤드 유닛을 상기 미리 설정된 원점으로 복귀시킴과 동시에, 상기 제3 캐리어를 이송하면서 제3 캐리어로부터 제3 글래스를 박리하는 제4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 방법. A method for peeling a glass from a carrier by a glass peeling apparatus comprising a first head unit having a first adsorption unit and a second head unit having a second adsorption unit,
A first step of supplying a first carrier for supporting a first glass into a glass peeling device and a second step for causing the second head unit to adsorb and separate the second glass from the second carrier;
A second step of peeling off the first glass from the first carrier while returning the first carrier and returning the second head unit to a preset home position;
A third step in which the first head unit adsorbs and separates the first glass from the first carrier and supplies a third carrier for supporting the third glass into the glass peeling apparatus; And
And returning the first head unit to the predetermined origin and peeling off the third glass from the third carrier while transferring the third carrier. 제 3 항에 있어서,
상기 제1 헤드 유닛과 상기 제2 헤드 유닛 각각은 상기 글래스 박리 장치 내에서 상하 방향 및 상기 캐리어의 이동방향(이하 "길이방향")으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 글래스 박리 방법. The method of claim 3,
Wherein the first head unit and the second head unit are movable in the vertical direction and the moving direction of the carrier (hereinafter referred to as "longitudinal direction") in the glass peeling apparatus. 제 3 항에 있어서,
상기 제1 단계에서, 상기 제1 헤드 유닛은 상기 공급된 제1 캐리어로 하강하여 상기 제1 글래스와 근접하거나 또는 접촉할 수 있고,
상기 제3 단계에서, 상기 제2 헤드 유닛은 상기 공급된 제3 캐리어로 하강하여 상기 제3 글래스와 근접하거나 또는 접촉할 수 있는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 방법. The method of claim 3,
In the first step, the first head unit descends to the supplied first carrier and can come into contact with or come into contact with the first glass,
Wherein in the third step, the second head unit is lowered to the supplied third carrier and can be brought into or out of contact with the third glass. 제 3 항에 있어서,
상기 제1 글래스에 근접 또는 접촉한 상기 제1 헤드 유닛은 상기 제1 캐리어와 동일한 속도로 제1 캐리어와 함께 이동 가능하고,
상기 제3 글래스에 근접 또는 접촉한 상기 제2 헤드 유닛은 상기 제3 캐리어와 동일한 속도로 제3 캐리어와 함께 이동가능한 것을 특징으로 하는 글래스 박리 방법. The method of claim 3,
Wherein the first head unit that is in proximity to or in contact with the first glass is movable with the first carrier at the same speed as the first carrier,
Wherein the second head unit in proximity to or in contact with the third glass is movable with the third carrier at the same speed as the third carrier. 제 3 항에 있어서,
상기 제1 또는 제3 캐리어를 이송하면서 이 캐리어로부터 제1 또는 제3 글래스를 박리하는 것은, 이 캐리어와 글래스 사이에 압축 공기 및 미세기포수를 분사하는 단계에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 방법.The method of claim 3,
Characterized in that peeling off the first or third glass from the carrier while transferring the first or third carrier is carried out by spraying compressed air and a fine particle gun between the carrier and the glass . 제 7 항에 있어서,
캐리어와 글래스 사이에 압축 공기 및 미세기포수를 분사함으로써 캐리어와 글래스 사이에 미세기포층이 형성되는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 방법. 8. The method of claim 7,
Characterized in that a fine bubble layer is formed between the carrier and the glass by jetting compressed air and fine particles between the carrier and the glass. 글래스를 이 글래스를 지지하는 캐리어로부터 분리하는 글래스 박리 장치에 있어서,
상기 글래스 박리 장치 내로 공급되는 일련의 캐리어를 이송하는 컨베이어;
글래스를 흡착하는 제1 흡착부를 갖는 제1 헤드 유닛;
글래스를 흡착하는 제2 흡착부를 갖는 제2 헤드 유닛;
상기 제1 헤드 유닛을 상하 방향 및 캐리어의 이동방향(이하 "길이방향")으로 이송할 수 있는 제1 헤드 이송부; 및
상기 제2 헤드 유닛을 상하 방향 및 길이 방향으로 이송할 수 있는 제2 헤드 이송부;를 포함하고,
상기 제1 헤드 유닛과 제2 헤드 유닛이 상기 캐리어로부터 글래스를 하나씩 교대로 흡착하여 분리할 수 있고,
상기 제1 헤드 유닛이 글래스를 캐리어로부터 흡착하여 분리할 때 상기 제2 헤드 유닛은 미리 설정된 소정 지점에 위치하고, 상기 제1 헤드 유닛이 글래스를 흡착 분리하여 배출한 후 상기 소정 지점으로 복귀할 수 있는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 장치. A glass peeling apparatus for separating a glass from a carrier for supporting the glass,
A conveyor for conveying a series of carriers supplied into the glass peeling apparatus;
A first head unit having a first adsorbing portion for adsorbing glass;
A second head unit having a second adsorption section for adsorbing glass;
A first head transporting unit capable of transporting the first head unit in a vertical direction and a moving direction of a carrier (hereinafter referred to as "longitudinal direction"); And
And a second head transfer unit capable of transferring the second head unit in the vertical direction and in the longitudinal direction,
The first head unit and the second head unit are capable of picking up and separating glass one by one alternately from the carrier,
Wherein the second head unit is located at a predetermined position when the first head unit sucks and separates the glass from the carrier and is capable of returning to the predetermined position after the first head unit sucks and separates the glass, And the glass peeling device. 삭제delete 삭제delete 제 9 항에 있어서,
상기 제1 헤드 유닛이 복귀하는 동안, 상기 제2 헤드 유닛은 박리되어야 할 글래스가 상기 컨베이어에 의해 이송될 때 이 글래스와 함께 이동하는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 장치. 10. The method of claim 9,
Wherein the second head unit moves together with the glass when the glass to be peeled is conveyed by the conveyor while the first head unit returns. 제 12 항에 있어서,
상기 제2 헤드 유닛이 글래스와 함께 이동할 때, 상기 제2 헤드 유닛이 상기 박리되어야 할 글래스에 근접하거나 접촉하여 있는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 장치. 13. The method of claim 12,
Wherein when the second head unit moves together with the glass, the second head unit is in proximity to or in contact with the glass to be peeled off. 제 9 항에 있어서, 상기 글래스 박리 장치가,
상기 캐리어 및 글래스 사이에 압축공기를 분사할 수 있는 복수개의 공기 노즐; 및
상기 캐리어 및 글래스 사이에 물 또는 미세기포수를 분사할 수 있는 복수개의 워터 노즐;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 장치.The apparatus according to claim 9,
A plurality of air nozzles capable of jetting compressed air between the carrier and the glass; And
And a plurality of water nozzles capable of spraying water or a fine particle catcher between the carrier and the glass. 제 14 항에 있어서,
상기 박리되어야 할 글래스가 상기 컨베이어에 의해 이송될 때, 이 글래스와 캐리어 사이에 압축 공기, 및 물 또는 미세기포수를 분사함으로써 글래스를 박리하는 것을 특징으로 하는 글래스 박리 장치. 15. The method of claim 14,
Wherein when the glass to be peeled off is conveyed by the conveyor, the glass is peeled off by spraying compressed air and water or a fine grab catcher between the glass and the carrier. 제 14 항에 있어서,
상기 공기 노즐과 워터 노즐이 상기 캐리어와 글래스 사이에 압축 공기 및 미세기포수를 각각 분사함으로써 상기 캐리어와 글래스 사이에 미세기포층이 형성되는 것을 특징으로 하는 박리 장치. 15. The method of claim 14,
Wherein a fine bubble layer is formed between the carrier and the glass by ejecting compressed air and a fine particle catcher between the air nozzle and the water nozzle between the carrier and the glass.
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