KR20110022256A - 검사용 시트 및 그 검사용 시트의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사용 시트 및 그 검사용 시트의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사기판의 단자와 검사장치의 단자를 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트에 있어서, 상기 피검사기판의 단자와 대응되는 위치에 상하방향으로 연장된 형태로 다수개가 배치되며, 각각에는 탄성물질 내에 다수의 전도성 입자가 함유된 형태로 구성된 도전부; 및 상기 피검사기판의 단자 이외의 부분에 배치되며 상기 도전부와 결합되어 각각을 지지하면서 상기 도전부를 서로 절연시키는 절연성 지지부;를 포함하되, 상기 절연성 지지부는 탄성물질 내에 다수의 기공이 함유되어 있는 검사용 시트에 대한 것이다.

본 발명에 따른 검사용 시트에 의하면, 피검사기판이 시트를 가압하는 경우에 시트의 내부에 포함된 기공이 눌림에 의하여 시트가 좌우로 팽창하지 않아 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.

도전부, 절연성 지지부, 기공

Description

검사용 시트 및 그 검사용 시트의 제조방법{Sheet for electrical test and fabrication method therefor}

본 발명은 검사용 시트 및 그 검사용 시트의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 내부에 기공이 마련되어 있어 피검사기핀의 가압에 의하여 기공만이 눌릴 뿐 시트가 전체적으로 좌우팽창 하지 않도록 하여 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 검사용 시트 및 그 검사용 시트의 제조방법에 대한 것이다.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 디바이스와 같은 피검사기판의 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시한다. 구체적으로는 검사장치로부터 소정의 테스트신호를 피검사기판으로 흘려보내 그 기판의 단락여부를 판정하게 된다. 이러한 검사장치와 피검사기판은 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 테스트 소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 그 이유는 검사장치의 단자에 피검사기판의 단자가 직접 접촉하는 경우에는 반복적인 테스트과정에서 검사장치의 단자가 마모 또는 파손이 발생하게 되며 이러한 검사장치의 단자가 파손되면 전체적인 검사장치를 교체해야 하여 전체적으로 많은 비용이 발생될 요인이 되기 때문이다. 따라서, 테스트 소켓을 사용하게 되면 피검사기판은 검사장치에 장착된 테스트소켓에 접촉하게 되고 이에 따라 테스트 소켓이 반복적인 접촉에 의하여 마모 또는 파손되며 그 테스트 소켓만을 교체하여 주면 되어 전체적인 교체비용을 절약할 수 있게 된다.

한편, 이러한 테스트소켓으로는 스프링이 포함된 포고핀 등 다양한 것이 사용될 수 있으나, 최근에는 내부에 전도성 입자가 포함되고 탄성을 가지는 검사용 시트가 주로 사용되어 오고 있다.

이러한 검사용 시트의 일예는 도 1에 도시된다. 상기 검사용 시트(100)는, 탄성 물질 내에 다수의 전도성 입자(121)가 함유되어 있는 형태로 이루어진다. 이러한 다수의 전도성 입자(121)는 두께방향으로 배향되어 하나의 도전부(120)를 이루며 이러한 도전부(120)가 상기 피검사기판(140)의 단자(141)와 대응되도록 면방향으로 다수개가 배열되어 있게 된다. 이러한 도전부(121)는 피검사기판(140)의 단자(141) 이외의 부분에 배치되며 상기 도전부(121)와 결합되어 각각을 지지하면서 상기 도전부(121)를 서로 절연시키는 절연성 지지부(110)에 의하여 절연 및 지지된다.

이러한 검사용 시트(100)는 검사장치(150)에 탑재된 상태에서 그 각각의 도전부(120)가 검사장치(150)의 패드(151)와 접촉되어 있게 된다. 이후에 도 2에 도시한 바와 같이 피검사기판(140)이 하강하면 그 피검사기판(140)의 단자(141)가 각각의 도전부(120)와 접촉하면서 검사용 시트(100)를 하측으로 가압하게 되며, 이에 따라 도전부(120) 내의 전도성 입자(121)들은 서로 밀착되면서 통전이 가능한 상태를 형성한다. 이후, 검사장치(150)로부터 소정의 테스트신호가 인가되면 그 테스트 신호가 검사용 시트(100)를 거쳐 피검사기판(140)으로 전달되고, 그 반사신호는 반대로 검사용 시트(100)를 거쳐 검사장치(150)로 들어오게 된다.

이러한 검사용 시트는 두께방향으로 가압되었을 때 그 두께방향으로만 전도성을 나타내는 특성을 가지며, 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있는 장점이 있다. 또한 기계적인 충격이나 변형을 흡수할 수 있기 때문에, 부드러운 접속이 가능한 장점이 있어 각종 전기적 회로장치 등과 검사장치와의 전기적 접속을 위하여 널리 사용된다.

그러나, 이러한 종래기술에 따른 검사용 시트는 다음과 같은 문제점을 가진다.

최근에는 피검사기판의 소형화등으로 인하여 단자들의 크기 및 거리가 점차로 작아지게 되고 있다. 이에 맞추어 상기 검사용 시트의 크기 및 도전부의 폭 및 그 도전부들 사이의 거리도 점차 작아지고 있는 경향이 있다. 그러나, 종래기술에 따른 검사용 시트의 도전부들 사이를 줄이게 되는 경우에는 피검사기판이 상기 시트를 가압하는 과정에서 정렬된 도전부의 위치가 좌우방향으로 이탈되는 경우가 발생하게 된다.

이러한 현상은 피검사기판이 도전부를 가압하게 되면 그 도전부가 상하방향으로 압축되어 중앙부가 불룩하게 되거나 그 도전부의 중앙부위가 좌우방향으로 휘어지면서 주변의 절연성 지지부를 좌우방향으로 밀면서 발생하게 되는 것이다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이 시트가 거리 "A"만큼 좌우방향으로 팽창되는 경우에는 시 트 내의 도전부의 정렬상태가 불량해지는데 특히 시트의 중앙으로부터 가장 먼 가장자리측에 위치한 도전부의 경우에는 가장 멀리 위치이탈되는 경우가 발생하게 된다. 이와 같이 도전부의 위치가 원래 위치에서 이탈되는 경우에는 도 2의 확대도에서 볼 수 있는 바와 같이 도전부가 피검사기판의 단자와 접촉하지 못하게 되거나 또는 불량하게 접촉되게 되어 올바른 전기적 연결이 어려워지고 이에 따라 전체적인 검사의 신뢰성이 불량해지는 원인이 될 수 있다.

특히, 종래에는 시트의 내부에 소정의 기공이 발생하는 것이 전체적인 시트의 품질 및 전기적 신뢰성에 악영향을 미친다는 고려하에 이러한 기공를 억제하는 데에 초점을 맞추어서 기공 등의 발생을 억제하는 다양한 방식을 강구해서 검사용 시트를 제작하였다. 그러나, 과거와 같이 단자들 사이의 간격이 넓은 경우를 별론으로 하더라도 최근과 같이 단자들 사이의 거리가 좁아지는 환경에서는 기공을 이용하는 것이 이러한 시트의 좌우팽창을 억제할 수 있다는 발명자의 인식하에 본 발명이 탄생하게 되었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 보다 상세하게는 검사용 시트가 검사과정에서 상하방향으로 압축되더라도 좌우로 팽창하지 않으며, 이에 따라 도전부가 원래의 위치에서 이탈되지 않고 원하는 위치에 배치될 수 있도록 하는 검사용 시트 및 그러한 검사용 시트의 제조방법을 제공하는 것을 본 발명의 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 시트는, 피검사기판의 단자와 검사장치의 단자를 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트에 있어서, 상기 피검사기판의 단자와 대응되는 위치에 상하방향으로 연장된 형태로 다수개가 배치되며, 각각에는 탄성물질 내에 다수의 전도성 입자가 함유된 형태로 구성된 도전부; 및 상기 피검사기판의 단자 이외의 부분에 배치되며 상기 도전부와 결합되어 각각을 지지하면서 상기 도전부를 서로 절연시키는 절연성 지지부;를 포함하되, 상기 절연성 지지부는 탄성물질 내에 다수의 기공이 함유되어 있다.

상기 검사용 시트에서, 상기 기공은 1 ~ 50% 부피분율로서 상기 탄성물질 내에 함유된 것이 바람직하다.

상기 검사용 시트에서, 상기 기공의 평균입경은 1 ~ 100㎛ 인 것이 바람직하다.

상기 검사용 시트에서, 상기 기공들 간의 평균거리는 1 ~ 50㎛ 인 것이 바람 직하다.

상기 검사용 시트에서, 상기 도전부는 절연성 지지부에 대해서 돌출되어 있는 것이 바람직하다.

상기 검사용 시트에서, 상기 전도성 입자 중에서 도전부의 상하단측에 위치한 입자 중 적어도 하나는 그 일부가 외부로 노출되어 있는 것이 바람직하다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 검사용 시트의 제조방법은, 전도성 입자가 함유된 액상의 탄성물질의 내부에 발포제가 첨가된 시트성형용 재료를 제작하는 단계;

상기 시트성형용 재료를 금형내에 삽입하여 상기 탄성물질 내부에 기공이 형성되도록 하는 단계;

상기 금형 내에서 상하방향으로 자기장을 가함으로서, 상기 전도성 입자가 탄성물질 내에서 일렬로 배치되도록 하는 단계; 및

상기 시트성형용 재료를 경화시키는 단계;를 포함한다.

상술한 제조방법에서, 상기 발포제는 탄산수소나트륨을 포함하는 것이 바람직하다.

상술한 제조방법에서, 상기 발포제는 탄성물질 100 질량부에 대해서 1.0 ~ 20 질량부인 것이 바람직하다.

상술한 제조방법에서, 상기 탄성물질은 실리콘 고무인 것이 바람직하다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 검사용 시트는, 피검사기판의 단자와 검사장치의 단자를 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트에 있어서,

상기 피검사기판의 단자 이외의 부분에 배치되며 상기 피검사기판의 단자와 대응되는 부분에는 상하방향으로 연장된 관통홀이 형성되어 있으며 절연성을 가지는 소재로 이루어지는 절연성 지지부; 및

각각의 관통홀 내부에 다수의 전도성 입자가 채워진 형태로 구성되며 상단은 상기 검사기판의 단자와 접촉될 수 있고 하단은 상기 검사장치의 단자와 접촉될 수 있는 도전부;를 포함하되,

상기 절연성 지지부는 탄성물질 내에 다수의 기공이 함유되어 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 검사용 시트의 제조방법은, 액상의 탄성물질의 내부에 발포제가 첨가된 시트성형용 재료를 제작하는 단계;

상기 시트성형용 재료를 금형내에 삽입하여 상기 탄성물질 내부에 기공이 형성되도록 하는 단계;

상기 시트성형용 재료를 경화시켜 검사용 시트를 제조하는 단계;

상기 검사용 시트에 피검사기판의 단자와 대응되는 위치에 상하방향으로 관통홀을 형성하는 단계;및

상기 관통홀 내에 전도성 입자를 삽입하여 도전부를 형성하는 단계;를 포함한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 검사용 시트의 제조방법은, 액상의 탄성물질의 내부에 발포제가 첨가된 시트성형용 재료를 제작하는 단계;

그 내부에 상기 피검사기판의 단자와 대응되는 위치마다 상하방향으로 연장된 핀이 형성되어 있는 금형을 준비하는 단계;

상기 시트성형용 재료를 금형내에 삽입하여 상기 탄성물질 내부에 기공이 형성되도록 하는 단계;

상기 시트성형용 재료를 경화시켜 핀과 대응되는 위치에 관통홀이 형성되어 있는 검사용 시트를 제조하는 단계; 및

상기 관통홀 내에 전도성 입자를 삽입하여 도전부를 형성하는 단계;를 포함한다.

상기 제조방법에서, 상기 발포제는 탄산수소나트륨을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 제조방법에서, 상기 발포제는 탄성물질 100 질량부에 대해서 1.0 ~ 20 질량부인 것이 바람직하다.

상기 제조방법에서, 상기 탄성물질은 실리콘 고무인 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 검사용 시트에 의하면, 시트의 내부에 기공이 마련되어 있어 피검사기판이 그 시트를 가압하는 경우에 시트는 상하방향으로 압축되고 이와 함께 기공도 압축됨으로서, 상기 시트가 좌우방향으로 팽창하는 것을 억제한다.

이에 따라 도전부의 위치가 원래의 위치상태를 유지할 수 있게 되어 피검사기판의 단자와 도전부가 확실하게 접촉될 수 있으며 이는 전체적인 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 장점이 있다.

이하, 본 발명에 바람직한 실시예에 따른 검사용 시트를 첨부된 도면을 참고 하면서 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 시트의 단면도이고, 도 4는 도 3의 작동도이다.

본 발명에 따른 바람직한 실시예에 따른 검사용 시트(10)는, 도전부(20) 및 절연성 지지부(30)로 이루어진다.

상기 도전부(20)는 다수개가 배치되며 탄성을 가지는 전도성 부분이다. 각각의 도전부(20)는 피검사기판(140)의 단자(141)와 대응되는 위치에 정렬되어 배치되는 것으로서, 서로 이격되어 배치되며 상하방향으로 연장된 형태를 가지게 된다. 이때 각각의 도전부(20)는 탄성물질 내에 다수의 전도성 입자(21)가 함유된 형태로 구성된다.

상기 탄성물질은 탄성 고분자 물질로서는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 가교 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 이용할 수 있지만, 액상 실리콘 고무가 바람직하다.

액상 실리콘 고무는 부가형의 것이라도 축합형의 것이라도 좋지만, 부가형 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 이 부가형 액상 실리콘 고무는 비닐기와 Si-H 결합의 반응에 의해 경화되는 것이며, 비닐기 및 Si-H 결합의 양쪽을 함유하는 폴리실록산으로 이루어지는 1액형(1성분형)의 것과, 비닐기를 함유하는 폴리실록산 및 Si-H 결합을 함유하는 폴리실록산으로 이루어지는 2액형(2성분형)의 것이 있지만, 본 발명에 있어서는 2액형의 부가형 액상 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하 다.

부가형 액상 실리콘으로서는 그 23 ℃에 있어서의 점도가 100 내지 1,250 ㎩ㆍs의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 150 내지 800 ㎩ㆍs, 특히 바람직하게는 250 내지 500 ㎩ㆍs의 것이다. 이 점도가 100 ㎩ㆍs 미만인 경우에는 상기 부가형 액상 실리콘 고무 중에 있어서의 전도성 입자의 침강이 생기기 쉽고, 양호한 보존 안정성을 얻을 수 없고, 또한 성형 재료층에 평행 자장을 작용시켰을 때에 전도성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향하지 않고, 균일한 상태에서 전도성 입자의 연쇄를 형성하는 것이 곤란해지는 일이 있다. 한편, 이 점도가 1250 ㎩ㆍs를 넘는 경우에는 얻을 수 있는 성형 재료가, 점도가 높은 것이 되므로, 금형 내에 성형 재료층을 형성하기 어려운 것이 되는 일이 있고, 또한 성형 재료층에 평행 자장을 작용시켜도 전도성 입자가 충분히 이동하지 않고, 그로 인해 전도성 입자를 두께 방향으로 늘어서도록 배향시키는 것이 어려워지는 일이 있다.

또한, 도전부(20)를 구성하는 전도성 입자(21)는 금속소재의 코어 입자(이하,「자성 코어 입자」라고도 함)의 표면에 고전도성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 여기서,「고전도성 금속」이라 함은, 0 ℃에 있어서의 도전율이 5 × 10⁶ Ω1m^-1 이상인 것을 말한다. 전도성 입자(13)(P)를 얻기 위한 코어 입자는 그 수평균 입자 직경이 3 내지 40 ㎛인 것이 바람직하다. 여기서, 코어 입자의 수평균 입자 직경은 레이저 회절 산란법에 의해 측정된 것을 말한다.

상기 수평균 입자 직경이 3 ㎛ 이상이면 가압 변형이 용이하고, 저항치가 낮 고 접속 신뢰성이 높은 도전부(20)를 얻기 쉬워 바람직하다. 한편, 상기 수평균 입자 직경이 40 ㎛ 이하이면 미세한 접속용 도전부(20)를 쉽게 형성할 수 있고, 또한 얻게 되는 접속용 도전부(20)는 안정된 전도성을 갖는 것이 되기 쉽다.

이러한 코어 입자를 구성하는 재료로서는 철, 니켈, 코발트, 이들 금속을 구리, 수지에 코팅한 것 등을 이용할 수 있으며, 이외에도 자성을 띄고 있는 것이 바람직하다. 자성 코어 입자의 표면에 피복되는 고전도성 금속으로서는 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등을 이용할 수 있고, 이들 중에서는 화학적으로 안정되고 또한 높은 도전율을 갖는 점에서 금을 이용하는 것이 바람직하다.

상기 절연성 지지부(30)는 상기 피검사기판(140)의 단자(141) 이외의 부분에 배치되는 것으로서, 각각의 도전부(20)와 결합되어 그 각각이 도전부(20)를 지지 및 절연시키는 것이다. 구체적으로는 상기 절연성 지지부(30)는 상기 도전부(20)의 탄성물질과 동일한 소재로 이루어지게 되는 것이 바람직하며, 구체적으로는 실리콘 고무로 이루어지는 것이 좋다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 도전부(20)의 탄성물질과 다른 소재로 구성되는 것도 가능하다.

이러한 절연성 지지부(30)는 그 내부에 다수의 기공(31)이 함유되어 있게 된다. 기공(31)은 그 내부에 공기가 채워지는 것으로서 공기의 종류는 이산화탄소, 산소등 다양한 성분으로 구성될 수 있다.

이때, 기공(31)은 절연성 지지부(30) 내에서 탄성물질에 대해서 1 ~ 50% 부피분율을 가지도록 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 기공(31)은 절연성 지지부(30)가 압축되었을 때 그 기공(31)의 체적이 줄어들면서 절연성 지지부(30)의 좌 우팽창을 억제하는 기능을 수행하게 된다. 이러한 기공(31)은 탄성물질 내에 1 ~ 50% 부피분율로서 함유되는데, 이때 1% 이하의 부피분율로 함유되는 경우에는 기공(31)의 양이 지나치게 적어서 절연성 지지부(30)의 좌우팽창을 막는데 바람직하지 못하고, 50% 이상의 부피분율로 함유되는 경우에는 절연성 지지부(30)의 탄성이 지나치게 약화되어서 반복적인 피검사기판(140)의 압축에 장기간 대응할 수 없고 도전부(20)의 전기적 흐름에 방해를 주는 경우가 생긴다.

또한, 상기 기공(31)의 평균입경은 1 ~ 100㎛ 인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 5 ~ 50㎛가 좋다. 이때 기공(31)의 평균입경이 1㎛ 이하인 경우에는 기공의 입자가 지나치게 적어서 전체적인 절연성 지지부의 탄성압축에 도움을 주지 못하게 되고, 기공(31)의 평균입경이 100㎛ 이상인 경우에는 절연성 지지부의 강도가 약화되어 바람직하지 못하다.

또한, 기공(31)들간의 평균거리는 1 ~ 50㎛ 인 것이 바람직하다. 이때 기공(31)들간의 평균거리가 1 ㎛ 이하인 경우에는 기공(31)들 사이의 간격이 지나치게 좁아서 빈번한 피검사기판의 가압에 대해서 그 기공들이 쉽게 파손되어 원래 위치로 복귀되지 못하게 되는 경우가 발생할 수 있어 바람직하지 못하고, 50㎛ 이상이 되는 경우에는 충분한 압축력의 흡수가 이루어지지 못하게 되는 경우가 있게 된다.

이러한 본 발명에 따른 바람직한 실시예의 검사용 시트는 다음과 같이 제조될 수 있다.

전도성 입자(21)가 함유된 액상의 탄성물질(22)의 내부에 발포제가 첨가된 시트성형용 재료(10a)를 제작하는 단계(A); 상기 시트성형용 재료(10a)를 금형(40)내에 삽입하여 상기 탄성물질(22) 내부에 기공(31)이 형성되도록 하는 단계(B); 상기 금형(40) 내에서 상하방향으로 자기장을 가함으로서, 상기 전도성 입자(21)가 탄성물질 내에서 일렬로 배치되도록 하는 단계(C); 및 상기 시트성형용 재료(10a)를 경화시키는 단계(D)를 포함하여 이루어진다.

구체적으로 살펴보면, A 단계에서는 전도성 입자(21)가 함유된 액상의 탄성물질(22), 구체적으로는 액상의 실리콘 고무 내부에 발포제를 첨가시켜 시트성형용 재료(10a)를 제작하게 된다. 이때 균일한 기공(31)이 성형되기 위한 발포 성형은 액상 실리콘 고무가 액체를 만나면 반응하여 CO₂ 가스를 방출하는 화합물을 첨가함으로써 달성된다. 액체와 접촉하면 반응하여 CO₂ 가스를 방출하는 발포제의 일 예로는 탄산 수소 나트륨, 중탄성 수소 나트륨 및 탄산칼슘이 있으며 이중에서 탄산 수소 나트륨이 바람직하다. 이들 발포제는 탄산기를 함유하고 있어 액체와 접촉하면 CO₂를 방출한다. 이때, 액상 실리콘 고무에 액체를 만나면 반응하여 CO₂ 가스를 방출하는 화합물은 탄성물질인 액상 실리콘 고무 100 중량 대비 1 ~ 20 중량만큼 첨가하는 것이 좋다. 이 범위를 벗어나는 경우 기공 형성량이 너무 작거나, 너무 커 발포 성형품으로서 제품성이 떨어지기 때문이다.

한편, 본 발명에 따른 발포 방법은 산성제를 추가로 포함하는 것이 좋은데, 산성제가 첨가됨으로써 가스가 발생되는 시간을 조절할 수 있기 때문이다. 이때, 산성제는 액체 실리콘에 혼합되어 산성을 나타내는 것이라면 분말상 또는 액상에 국한되지 않고 어느 것을 사용하여도 무방하나, 바람직하게는 가하는 것이 좋다. 액상으로 제조된 산성제는 pH를 미리 알고 있어 실리콘에 혼합시 pH의 변화로 인한 시행착오를 줄일 수 있기 때문이다. 이때, 액상의 산성제로는 대표적으로 초산수용액, 황산수용액 및 과산화수소수 중 선택되는 어느 하나를 사용할 수 있다. 이때 바람직하게 액상의 산성제는 5 ~ 10%(v/v)의 산성제가 용해되어 있는 액상 산성제를 액상 실리콘 100 중량 대비 0.1 ~ 1.0 중량만큼 첨가하는 것이 좋은데, 상기 첨가량에 의해 가스의 발생에 적절한 시간을 유도할 수 있기 때문이다. 한편, 본 발명의 액상 실리콘 고무의 발포 방법은 분산제를 추가로 포함하는 것이 좋은데, 분산제가 첨가됨으로 써 발포를 균일하게 형성시킬 수 있기 때문이다. 분산제로는 화학업계에서 통상적으로 사용되는 것이라면 특정의 것에 국한되지 않고 어느 것을 사용하여도 무방하다.

또한, B단계에서는 도 5에 도시한 바와 같이 캐비티가 마련된 한 쌍의 금형(40) 내에 상기 시트성형용 재료(10a)를 삽입한다. 이후에 삽입된 시트성형용 재료(10a)는 소정시간이 지남에 따라 기공이 형성된다. 이때 기공이 형성된 모습은 도 6에 도시되어 있다.

또한, C단계에서는 도 7에 도시된 바와 같이 금형(40) 내에 상하방향으로 자기장을 가하게 된다. 구체적으로는 한 쌍의 금형(40)에서는 캐비티와 인접한 부분이 소정간격을 두고 배치되는 자성체층(41)이 형성되고 그 자성체 층의 사이에는 비자성체층(42)이 배치된다. 이때 자성체층(41)은 피검사기판(140)의 단자(141)와 대응되는 위치에 배치될 수 있다. 한편, 자성체층(41)과 비자성체층(42)의 배면측 에는 자성체기판(43)이 형성되고 그 자성체기판(43)의 배면측에는 전자석(미도시)등이 배치되어 있다. 이때, 전자석을 가동시키게 되면 그 자기장이 상측에서부터 하측으로 이동하게 되어 이때 액상의 실리콘 고무 내의 전도성 입자는 그 액상의 실리콘 고무 내에서 상하방향으로 일렬 배치될 수 있게 된다. 다만, 이때 기공(31)은 자기장에 의한 위치이동이 이루어지지 않게 된다.

또한, D단계에서는 금형 내에서 100℃, 1.5 시간의 조건으로 시트 성형용 재로(10a)경화 처리를 하여 검사용 시트의 제조를 완료한다. 제조가 완료된 시트는 금형으로부터 제거하여 원하는 성형가공등을 한 후에 기판 검사용으로 사용될 수 있게 된다.

이러한 본 발명에 따른 기판 검사용 시트는 다음과 같은 작용 및 효과를 가진다.

먼저, 검사용 시트를 검사장치에 탑재한다. 그 후에 도 4에 도시한 바와 같이 피검사기판(140)을 하강시켜 상기 검사용 시트(10)를 가압하게 된다. 이때 도전부(20) 내의 전도성입자(21)는 서로 간의 접촉이 이루어지면서 전기적인 연결상태를 이루게 되고, 절연성 지지부(30)에 함유된 기공(31)은 찌그러지면서 탄성력을 흡수하게 된다. 이러한 기공(31)의 변형에 따라서 시트(10)는 좌우방향으로 팽창되는 것이 억제될 수 있다. 한편, 도전부(20)와 피검사기판(140)의 단자(141) 및 검사기판(150)의 단자(151)가 서로 전기적으로 연결된 상태에서 검사장치로부터 소정의 전기적 신호를 가함에 의하여 검사가 진행된다.

이러한 본 발명에 따른 검사장치는, 기공이 탄성력을 흡수함에 의하여 시트 가 좌우팽창되는 것을 억제함에 따라서 도전부들이 좌우방향으로 위치이동하는 것을 억제한다. 즉, 최초에 설정된 위치에 그대로 도전부들이 위치함에 따라서 피검사기판의 단자와 확실한 접촉이 가능하게 되는 것이다. 즉, 종래기술과 같이 도전부가 좌우방향으로 위치이동되는 것이 억제될 수 있게 되는 것이다.

특히 본 발명은 시트가 길이가 긴 경우에 더욱 효과적일 수 있다. 즉, 길이가 긴 시트의 경우에는 압축에 의하여 좌우방향으로 팽창되는 정도가 늘어날수 있는데, 본 발명과 같이 기공을 형성하는 경우에는 그러한 예상치 못한 위치이동이 억제될 수 있기 때문이다.

또한, 본 발명에 따른 검사장치는 기공의 분포율, 평균입경, 평균거리를 적절하게 조합함에 따라서 최적의 효과를 얻을 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는 발포제로서 탄성수소나트륨을 이용함에 따라서 기존의 다른 제품에 비해서 확실한 기공형성을 가능하게 하고, 그 발포제의 질량을 적절히 조절함에 따라서 적절한 수의 기공이 형성될 수 있게 한다.

이러한 본 발명에 바람직한 실시예에 따른 검사용 시트는 다음과 같이 변형되는 것이 가능하다.

도 8에 도시한 바와 같이 도전부(20)가 절연성 지지부(30)에 대해서 돌출되도록 구성하는 것도 가능하다. 이와 같이 도전부(20)가 절연성 지지부(30)에 대해서 돌출되는 경우에는 피검사기판(140)의 단자(141)와 확실한 접촉이 가능하게 되는 것이다. 한편, 상기 도 8에서는 도전부(20)의 상하단(201)이 모두 절연성 지지부(30)에 대해서 돌출되도록 구성하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상단 또는 하단만 돌출되는 것도 가능하다. 이와 같이 도전부를 돌출시키기 위해서는 금형의 설계시에 자성체층을 비자성체층에 비해서 내측으로 함몰시킴에 의하여 달성될 수 있다.

또한, 도 9에 도시된 바와 같이 전도성 입자(21)의 일부를 외부로 노출시키는 것도 가능하다. 즉, 도전부(20)의 상하단측에 위치한 입자(21) 중 적어도 어느 하나는 그 일부가 외부로 노출된다. 이와 같이 전도성 입자(21)의 일부가 외부로 노출됨에 따라서 그 입자(21)는 탄성물질 내에서 단자와 접촉하는 경우에 비해서 보다 확실한 전기적 접속을 가능하게 할 수 있다. 이러한 구성을 제작하게 위해서 금형 내에 액상 실리콘 고무는 침투할 수 없고 다만 전도성 입자만이 침투할 수 있는 얇은 저항물질을 금형 내의 표면에 발라놓고 그 상태에서 시트성형용 재료를 금형에 삽입하게 된다. 이때 자기장이 가해지면 상기 전도성 입자는 정렬이 되는 과정에서 상기 저항물질에 일부침투하게 되고 탄성물질은 그 저항물질에 침투하지 못하게 된다. 제작이 완료된 후에 시트의 표면에 뭍어있는 저항물질을 제거하게 되면 외부로 노출된 전도성 입자가 포함된 시트를 얻을 수 있게 된다.

또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 검사용 시트(10)는, 상기 피검사기판의 단자 이외의 부분에 배치되며 상기 피검사기판의 단자와 대응되는 부분에는 상하방향으로 연장된 관통홀(22)이 형성되어 있으며 절연성을 가지는 소재로 이루어지는 절연성 지지부(30); 및 각각의 관통홀(22) 내부에 다수의 전도성 입자(21)가 채워진 형태로 구성되며 상단은 상기 검사기판의 단자와 접촉될 수 있고 하단은 상기 검사장치의 단자와 접촉될 수 있는 도전부(20);를 포함하되, 상기 절연성 지지부(30)는 탄성물질 내에 다수의 기공(31)이 함유되는 것도 가능하다.

즉, 도 3에 도시된 실시예에서는 도전부가 탄성물질 내에 전도성 입자가 함유된 형태를 가지고 있는 것을 특징으로 하지만, 도 10에 도시된 기술은 절연성 지지부에 관통홀이 형성되어 있으며 그 관통홀의 내부에 분말형태의 도전성 물질이 채워지도록 구성되어 있어, 도 3에 도시된 실시예와는 차이가 있다.

이러한 도 10에 도시된 실시예를 제조하는 방법은 도 11 내지 도 16에 도시된다. 우선, 도 11 내지 도 13에 도시된 방법에 따르면, 액상의 탄성물질의 내부에 발포제가 첨가된 시트성형용 재료를 제작하는 단계; 상기 시트성형용 재료를 금형내에 삽입하여 상기 탄성물질 내부에 기공이 형성되도록 하는 단계; 상기 시트성형용 재료를 경화시켜 검사용 시트를 제조하는 단계; 상기 검사용 시트에 피검사기판의 단자와 대응되는 위치에 상하방향으로 관통홀을 형성하는 단계;및 상기 관통홀 내에 전도성 입자를 삽입하여 도전부를 형성하는 단계로 이루어진다.

구체적으로는 도 11에서는 발포제가 첨가된 시트성형용 재료(10a)가 상하금형(44) 및 스페이서(45)로 이루어진 공간의 내부에 삽입된 상태를 나타내고 있으며, 도 12에서는 소정시간 지남에 따라 상기 탄성물질 내부에 기공이 형성되도록 하는 모습이 도시된다. 이후에, 상기 100℃ 이상의 온도에서 시트성형용 재료(10a)를 경화시키고 경화가 완료되면 상기 시트를 그 금형으로부터 제거한다. 이후에, 도 13에 도시된 바와 같이 피검사기판의 단자와 대응되는 위치에 관통홀(22)을 형성되며 내부에 기공(31)이 형성된 시트(10)를 제조하게 된다. 이후에 분말형태의 전도성 입자를 그 관통홀(22)에 채워넣음으로서 도 10에 도시된 바와 같은 시트가 제작될 수 있게 된다.

또한, 도 14 내지 도 16에 개시된 방법에 따르면, 액상의 탄성물질의 내부에 발포제가 첨가된 시트성형용 재료를 제작하는 단계; 그 내부에 상기 피검사기판의 단자와 대응되는 위치마다 상하방향으로 연장된 핀이 형성되어 있는 금형을 준비하는 단계; 상기 시트성형용 재료를 금형내에 삽입하여 상기 탄성물질 내부에 기공이 형성되도록 하는 단계; 상기 시트성형용 재료를 경화시켜 핀과 대응되는 위치에 관통홀이 형성되어 있는 검사용 시트를 제조하는 단계; 및 상기 관통홀 내에 도전성 파우더를 삽입하여 도전부를 형성하는 단계;를 포함한다.

구체적으로는 발포제가 첨가된 시트성형용 재료(10a)를 준비한 이후에, 금형을 준비한다. 이때 금형은 상,하금형(44), 스페이서(45)로 이루어지되, 그 상금형 및 하금형의 사이 공간에는 상하방향으로 연장된 핀(46)이 형성된다. 이러한 핀(46)은 상술한 도전부를 이루는 전도성 입자가 삽입된 관통홀을 제작하기 위한 것으로서, 피검사기판의 단자와 대응되는 위치마다 설치된다. 이후에, 도 14에 도시된 바와 같이 금형 내에 상기 시트성형용 재료(10a)를 삽입한다. 이후에, 도 15에 도시된 바와 같이 시트성형용 재료(10a)는 소정시간이 지난 후에 상기 탄성물질 내에 기공(31)이 형성된다. 이후에, 상기 시트성형용 재료(10a)를 경화시켜 관통홀(22)이 형성된 검사용 시트(10)를 제작하게 된다. 금형으로부터 제거된 모습은 도 16에 도시된 바와 같다. 이후에 상기 관통공 내에 분말형태의 전도성 입자를 채워넣음으로서 도 10에 도시된 바와 같은 검사용 시트의 제작이 완료된다.

이상에서 실시예 및 변형예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발 명은 반드시 이러한 실시예 및 변형예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 검사용 시트를 나타내는 도면.

도 2는 도 1의 작동도.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 시트의 도면.

도 4는 도 3의 작동도.

도 5 내지 7은 도 3에 따른 검사용 시트를 제작하는 과정을 나타내는 도면.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 시트의 도면.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 시트의 도면.

도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 시트의 도면.

도 11 내지 13은 도 10에 따른 검사용 시트를 제조하는 일실시예를 나타내는 도면.

도 14 내지 16은 도 10에 따른 검사용 시트를 제조하는 다른 실시예를 나타내는 도면.

<도면부호의 상세한 설명>

10...검사용 시트 20...도전부

21...전도성 입자 22...탄성물질

30...절연성 지지부 31...기공

40...금형 41...자성체층

42...비자성체층 43...자성체기판

140...피검사기판 141...단자

150...검사장치 151...단자

Claims (16)

1. 피검사기판의 단자와 검사장치의 단자를 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트에 있어서,

   상기 피검사기판의 단자와 대응되는 위치에 상하방향으로 연장된 형태로 다수개가 배치되며, 각각에는 탄성물질 내에 다수의 전도성 입자가 함유된 형태로 구성된 도전부; 및

   상기 피검사기판의 단자 이외의 부분에 배치되며 상기 도전부와 결합되어 각각을 지지하면서 상기 도전부를 서로 절연시키는 절연성 지지부;를 포함하되,

   상기 절연성 지지부는 탄성물질 내에 다수의 기공이 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 기공이 포함된 검사용 시트.
2. 제1항에 있어서,

   상기 기공은 1 ~ 50% 부피분율로서 상기 탄성물질 내에 함유된 것을 특징으로 하는 기공이 포함된 검사용 시트.
3. 제1항에 있어서,

   상기 기공의 평균입경은 1 ~ 100㎛ 인 것을 특징으로 하는 기공이 포함된 검사용 시트.
4. 제1항에 있어서,

   상기 기공들 간의 평균거리는 1 ~ 50㎛ 인 것을 특징으로 하는 기공이 포함된 검사용 시트.
5. 제1항에 있어서,

   상기 도전부는 절연성 지지부에 대해서 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 기공이 포함된 검사용 시트.
6. 제1항에 있어서,

   상기 전도성 입자 중에서 도전부의 상하단측에 위치한 입자 중 적어도 하나는 그 일부가 외부로 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 기공이 포함된 검사용 시트.
7. 제1항에 따른 검사용 시트의 제조방법에 있어서,

   전도성 입자가 함유된 액상의 탄성물질의 내부에 발포제가 첨가된 시트성형용 재료를 제작하는 단계;

   상기 시트성형용 재료를 금형내에 삽입하여 상기 탄성물질 내부에 기공이 형성되도록 하는 단계;

   상기 금형 내에서 상하방향으로 자기장을 가함으로서, 상기 전도성 입자가 탄성물질 내에서 일렬로 배치되도록 하는 단계; 및

   상기 시트성형용 재료를 경화시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
8. 제7항에 있어서,

   상기 발포제는 탄산수소나트륨을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
9. 제7항에 있어서,

   상기 발포제는 탄성물질 100 질량부에 대해서 1.0 ~ 20 질량부인 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
10. 제1항에 있어서,

    상기 탄성물질은 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
11. 피검사기판의 단자와 검사장치의 단자를 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트에 있어서,

    상기 피검사기판의 단자 이외의 부분에 배치되며 상기 피검사기판의 단자와 대응되는 부분에는 상하방향으로 연장된 관통홀이 형성되어 있으며 절연성을 가지는 소재로 이루어지는 절연성 지지부; 및

    각각의 관통홀 내부에 다수의 전도성 입자가 채워진 형태로 구성되며 상단은 상기 검사기판의 단자와 접촉될 수 있고 하단은 상기 검사장치의 단자와 접촉될 수 있는 도전부;를 포함하되,

    상기 절연성 지지부는 탄성물질 내에 다수의 기공이 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 기공이 포함된 검사용 시트.
12. 제11항에 따른 검사용 시트의 제조방법에 있어서,

    액상의 탄성물질의 내부에 발포제가 첨가된 시트성형용 재료를 제작하는 단계;

    상기 시트성형용 재료를 금형내에 삽입하여 탄성물질 내부에 기공이 형성되도록 하는 단계;

    상기 시트성형용 재료를 경화시켜 검사용 시트를 제조하는 단계;

    상기 검사용 시트에 피검사기판의 단자와 대응되는 위치에 상하방향으로 관통홀을 형성하는 단계; 및

    상기 관통홀 내에 전도성 입자를 삽입하여 도전부를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
13. 제11항에 따른 검사용 시트의 제조방법에 있어서,

    액상의 탄성물질의 내부에 발포제가 첨가된 시트성형용 재료를 제작하는 단계;

    그 내부에 상기 피검사기판의 단자와 대응되는 위치마다 상하방향으로 연장된 핀이 형성되어 있는 금형을 준비하는 단계;

    상기 시트성형용 재료를 금형내에 삽입하여 상기 탄성물질 내부에 기공이 형성되도록 하는 단계;

    상기 시트성형용 재료를 경화시켜 핀과 대응되는 위치에 관통홀이 형성되어 있는 검사용 시트를 제조하는 단계; 및

    상기 관통홀 내에 전도성 입자를 삽입하여 도전부를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
14. 제11항 또는 제12항에 있어서,

    상기 발포제는 탄산수소나트륨을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
15. 제14항에 있어서,

    상기 발포제는 탄성물질 100 질량부에 대해서 1.0 ~ 20 질량부인 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
16. 제11항 또는 제12항에 있어서,

    상기 탄성물질은 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.

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