KR20100137322A - Jig for inspecting a substrate - Google Patents

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김현준
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Abstract

PURPOSE: A jig for the inspection of a substrate is provided to reduce the number of substrate contact parts which are contacted with the inspection point of a substrate by applying a terminal combining part. CONSTITUTION: A terminal part is connected to the four terminal of a substrate inspection device. A terminal combing part(215) combines a first terminal part with a second terminal part. A substrate contact part(270) is connected to the terminal combining part.

Description

기판 검사용 지그{JIG FOR INSPECTING A SUBSTRATE}JIG FOR INSPECTING A SUBSTRATE}

본 발명은 기판 검사장치로 기판을 검사하는데 이용되는 기판 검사용 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inspection jig used for inspecting a substrate with a substrate inspection apparatus.

인쇄회로기판은 인쇄회로기판에 실장되는 전자부품에 전원을 인가하거나 전기신호를 인출하기 위한 배선패턴을 포함하는 구성으로서, 절연층과 회로층을 포함하여 형성된다. 최근 전자부품이 소형화 고기능화 됨에 따라 인쇄회로기판 역시 고밀도의 배선패턴을 구비할 것이 요구되어 소형 다층화되고 있다.The printed circuit board includes a wiring pattern for applying power to or drawing out an electrical signal to an electronic component mounted on the printed circuit board. The printed circuit board includes an insulating layer and a circuit layer. Recently, as electronic components have been miniaturized and highly functionalized, printed circuit boards have also been required to have high-density wiring patterns, thereby miniaturizing multiple layers.

이에 따라 인쇄회로기판의 제조 후에 인쇄회로기판에 형성된 배선패턴이 양호하게 형성되었는지 측정하는 검사 방식 역시 복잡해 지고 있다. 종래에는 인쇄회로기판에 형성된 두 개의 검사점 사이의 단선, 및 단락을 판정하는 전기적인 특성 검사 방식이 이용되고 있었다.Accordingly, the inspection method for measuring whether the wiring pattern formed on the printed circuit board is well formed after manufacturing the printed circuit board is also complicated. Conventionally, an electrical characteristic inspection method for determining disconnection and short circuit between two inspection points formed on a printed circuit board has been used.

이러한 단선 및 단락의 검사는 2개의 검사점에 각각 측정단자를 연결하고, 측정 전류를 인가하여 단자 사이의 전압을 측정하고, 이 전압 값을 기준값과 비교하여 양호 정도를 판정하는 방식이다.The inspection of disconnection and short circuit is a method of connecting the measurement terminals to two inspection points, applying a measurement current to measure the voltage between the terminals, and comparing the voltage value with a reference value to determine the degree of goodness.

그러나, 상술한 바와 같은 2단자 검사법은 패턴 저항값을 측정할 수 없다는 단점이 있었으며, 이에 따라 2개의 검사점 각각에 2개의 단자를 연결하는 4단자 검사법이 이용되고 있다.However, the two-terminal inspection method as described above has a disadvantage in that the pattern resistance value cannot be measured. Accordingly, a four-terminal inspection method for connecting two terminals to each of two inspection points is used.

도 1은 종래의 4단자 검사장치 및 이에 사용되는 지그를 도시하는 도면이다.이에 나타낸 바와 같이, 4단자 검사 장치(30)는 각각 기판(10)의 제1 검사점(11)에 연결될 제1 및 제2 단자(31a, 31b)와 기판(10)의 제2 검사점(13)에 연결될 제3 및 제4 단자(33a, 33b)를 포함하기 때문에, 이에 사용되는 지그(20) 역시 제1 및 제2 접촉부(21a, 21b)와 제3 및 제4 접촉부(23a, 23b)를 포함하여 구성되어야 한다.1 is a diagram illustrating a conventional four-terminal inspection device and a jig used therein. As shown in the drawing, each of the four-terminal inspection devices 30 is connected to a first inspection point 11 of the substrate 10. And third and fourth terminals 33a and 33b to be connected to the second terminals 31a and 31b and the second inspection point 13 of the substrate 10, so that the jig 20 used therein is also the first. And second contact portions 21a and 21b and third and fourth contact portions 23a and 23b.

이에 따라 4단자 지그(20) 핀 개수가 2배로 증가되고 그로 인한 전기검사 지그(20) 제작 가격이 2배 이상 증가하는 문제점이 있었으며, 동일한 검사점에 두 개의 접촉부가 접촉하여야 하기 때문에 검사점의 면적이 작거나 검사점 사이의 간격이 가까운 경우 접촉부와 검사점의 접촉이 어렵다는 문제점이 있었다.Accordingly, the number of pins of the 4-terminal jig 20 is doubled, and thus, the manufacturing cost of the electrical test jig 20 is increased by more than twice. As a result, two contact parts must contact the same inspection point. If the area is small or the distance between the inspection points is close, there is a problem that the contact between the contact point and the inspection point is difficult.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 창출된 것으로서, 지그 센터 조정이 간편해질 뿐만 아니라, 기판 검사점 간의 거리가 짧더라도 전기 검사가 가능한 4단자 기판 검사 장치용 지그의 구조를 제안한다.The present invention was created to solve the problems of the prior art as described above, and proposes a structure of a jig for a four-terminal substrate inspection device that not only facilitates jig center adjustment but also enables electrical inspection even if the distance between the substrate inspection points is short. do.

본 발명에 따른 기판 검사용 지그는, 4단자 기판 검사 장치를 이용하여 검사 대상물인 기판의 특성을 검사하기 위한 지그에 있어서, 상기 지그는, 상기 기판 검사 장치의 4개의 단자와 각각 연결되는 단자부; 상기 단자부 중 어느 하나의 제1 단자부와 다른 하나의 제2 단자부를 결합하는 단자 결합부; 및 상기 단자결합부와 연결된 기판 접촉부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, a jig for inspecting a jig includes: a jig for inspecting characteristics of a substrate, which is a test target, using a 4-terminal board test apparatus, wherein the jig includes: a terminal portion connected to each of four terminals of the board test apparatus; A terminal coupling part for coupling one of the first terminal parts of the terminal part to the other second terminal part; And a substrate contact part connected to the terminal coupling part.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 지그는 상부지그, 하부지그, 및 상부지그와 하부지그를 결합하는 지지부재를 포함하여 구성되고, 상기 단자부 및 상기 단자결합부는 상부지그에 배치되고, 상기 기판 접촉부는 하부지그에 배치되는 것에 있다.As a preferred feature of the invention, the jig comprises an upper jig, a lower jig, and a support member for coupling the upper jig and the lower jig, the terminal portion and the terminal coupling portion is disposed in the upper jig, the substrate contact portion It is located in the lower jig.

본 발명의 바람직한 다른 특징으로서, 상기 기판 접촉부와 상기 단자 결합부를 연결하는 통전부를 더 포함하는 것에 있다.Another desirable feature of the present invention is to further include an energizing portion connecting the substrate contact portion and the terminal coupling portion.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 상부지그와 상기 하부지그 사이의 간격이 조절 가능한 것에 있다.Another preferred feature of the present invention is that the gap between the upper jig and the lower jig is adjustable.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

본 발명에 따른 기판 검사용 지그에 의하면, 단자결합부를 포함하기 때문에 2개의 기판 접촉부 만으로 4단자 검사(단선,단락,패턴 저항) 방식을 수행할 수 있는 장점이 있다.According to the substrate inspection jig according to the present invention, there is an advantage that can perform a four-terminal inspection (single line, short circuit, pattern resistance) method with only two substrate contacts because it includes a terminal coupling portion.

또한 단자 결합부를 채용함으로써 기판의 검사점에 접촉하는 기판 접촉부의 수가 반으로 줄기 때문에 지그 센터 조정이 간편해질 뿐만 아니라, 기판 검사점 간의 거리가 짧더라도 전기 검사가 가능하다는 장점이 있다.In addition, by adopting the terminal coupling portion, the number of substrate contact portions contacting the inspection points of the substrate is cut in half, so that the jig center adjustment is easy and the electrical inspection is possible even if the distance between the substrate inspection points is short.

또한 단자결합부에 의해 통전부 및 기판 접촉부의 수를 반으로 줄일 수 있기 때문에, 지그 제작 가격을 반으로 줄일 수 있다.In addition, since the number of the energizing portion and the substrate contact portion can be reduced by half by the terminal coupling portion, the production cost of the jig can be reduced by half.

이하, 본 발명에 따른 기판 검사용 지그의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 첨부된 도면의 전체에 걸쳐, 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 도면부호로 지칭되며, 중복되는 설명은 생략한다. 본 명세서에서, 상부, 하부 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별 하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the jig for testing a substrate according to the present invention will be described in detail. Throughout the accompanying drawings, the same or corresponding components are referred to by the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted. In this specification, terms such as top and bottom are used to distinguish one component from another component, and a component is not limited by the terms.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 검사용 지그(200)의 사용상태를 도시하는 개략적인 구성도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 검사용 지그(200)의 측면도이다. 본 명세서에서 기판(100)은 연성 인쇄회로기판, 경성 인쇄회로기판 등의 인쇄회로기판과 반도체 기판을 모두 포함하는 용어로 사용됨을 미리 밝혀둔다.2 is a schematic configuration diagram showing a state of use of the substrate inspection jig 200 according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a side view of the substrate inspection jig 200 according to a preferred embodiment of the present invention. to be. In the present specification, the substrate 100 is used in advance to be used as a term including both a printed circuit board and a semiconductor substrate such as a flexible printed circuit board and a rigid printed circuit board.

도 2 및 도 3에 나타내 보인 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 검사용 지그(200)는 4단자 기판 검사 장치(300)를 이용하여 검사 대상물인 기판(100)의 특성을 검사하기 위한 것으로서, 기판 검사 장치(300)의 4개의 단자(와 각각 연결되는 단자부와, 단자부 중 어느 하나의 제1 단자부와 다른 하나의 제2 단자부를 결합하는 단자결합부(215) 및 단자결합부(215)와 연결된 기판 접촉부(270)를 포함하는 구성이다.As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the jig 200 for inspecting a substrate according to the present exemplary embodiment is for inspecting characteristics of the substrate 100 as an inspection object using the 4-terminal substrate inspecting apparatus 300. A terminal portion connected to each of the four terminals of the substrate inspection apparatus 300 (the terminal portion and the terminal coupling portion 215 and the terminal coupling portion 215 coupling the first terminal portion of the terminal portion and the other second terminal portion; And a substrate contact 270 connected thereto.

단자부는 기판 검사 장치(300)로부터 제공된 단자와 연결되는 구성으로서, 본 실시예는 4단자 기판 검사 장치(300)에 사용되는 기판 검사용 지그(200)에 관한 것이므로 4개가 하나의 단자부 세트를 이룬다. 즉, 기판 검사 장치(300)에서 나온 제1 단자 내지 제4 단자(310a, 310b, 330a, 330b)로 이루어진 단자 세트는 기판 검사용 지그(200)의 이들과 각각 결합하는 제1 단자부 내지 제4 단자부(210a, 210b, 230a, 230b)로 이루어진 하나의 단자부 세트에 연결된다. 기판 검사용 지그(200)는 이러한 단자부 세트를 복수개 포함할 수 있다.The terminal portion is connected to the terminal provided from the substrate inspection apparatus 300. Since the present embodiment relates to the substrate inspection jig 200 used in the four-terminal substrate inspection apparatus 300, four pieces constitute one terminal portion set. . That is, the terminal sets including the first to fourth terminals 310a, 310b, 330a, and 330b from the substrate inspection apparatus 300 may be coupled to the first to fourth terminals, respectively, of the substrate inspection jig 200. It is connected to one set of terminal portions consisting of terminal portions 210a, 210b, 230a, 230b. The board inspection jig 200 may include a plurality of such terminal sets.

단자결합부(215)는 동일한 표적에 접촉하는 2 이상의 단자를 결합하는 구성이다. 예를 들면 제1 단자결합부(215)는 결과적으로, 기판(100)의 제1 검사점(110)에 접촉될 제1 단자와 제2 단자(310a, 310b)가 결합한 형상이 되도록 제1 단자부(210a) 및 제2 단자부(210b)를 결합한다. 유사하게 기판(100)의 제2 검사점(130)에 접촉될 제3 단자와 제4 단자(330a, 330b)가 결합한 형상이 되도록 제3 단자부(230a)와 제4 단자부(230b)를 결합한다.The terminal coupling portion 215 combines two or more terminals in contact with the same target. For example, the first terminal coupling part 215 may have a first terminal part such that the first terminal to be in contact with the first inspection point 110 of the substrate 100 and the second terminal 310a and 310b are combined. Combine the 210a and the second terminal portion 210b. Similarly, the third terminal portion 230a and the fourth terminal portion 230b are coupled such that the third terminal and the fourth terminal 330a and 330b to be in contact with the second inspection point 130 of the substrate 100 are combined. .

이러한 단자결합부(215)를 구비함에 따라 기판(100)의 검사점과 직접 접촉하는 기판 접촉부(270)의 수를 반으로 줄일 수 있다. 즉, 제1 단자(310a) 및 제2 단자(310b)는 지그(200)를 거쳐 하나의 접촉부(270)로 기판(100)에 접촉되므로서 기판 접촉부(270)의 수를 반으로 줄일 수 있는 것이다.As the terminal coupling part 215 is provided, the number of the substrate contact parts 270 directly contacting the inspection point of the substrate 100 can be reduced by half. That is, the first terminal 310a and the second terminal 310b are contacted to the substrate 100 by one contact portion 270 via the jig 200, thereby reducing the number of substrate contact portions 270 in half. will be.

상술한 바와 같은 기판 검사용 지그(200)는, 상부지그(200a), 하부지그(200b), 및 상부지그(200a)와 하부지그(200b)를 결합하는 지지부재(250)를 포함하도록 구성할 수 있다.The substrate inspection jig 200 as described above may be configured to include an upper jig 200a, a lower jig 200b, and a support member 250 for coupling the upper jig 200a and the lower jig 200b. Can be.

상부지그(200a)와 하부지그(200b)는 복수개의 판형부재가 중첩된 구조로 이루어질 수 있으며 이때 상부지그(200a) 및 하부지그(200b)를 이루는 판형부재의 수는 제한적이지 않다. 상부지그(200a)와 하부지그(200b)는 별도의 지지부재(250)에 의해 간격 조절 가능하도록 이격된 상태로 유지된다. 이에 제한되는 것은 아니지만, 도 3에 도시된 바와 같이, 단자부, 및 단자결합부(215)는 상부지그(200a)에 배치되고, 기판 접촉부(270)는 하부지그(200b)에 배치되는 것이 바람직하다.The upper jig 200a and the lower jig 200b may have a structure in which a plurality of plate members overlap each other, and the number of plate members forming the upper jig 200a and the lower jig 200b is not limited. The upper jig 200a and the lower jig 200b are kept spaced apart from each other so as to be adjustable by a separate support member 250. Although not limited thereto, as shown in FIG. 3, the terminal portion and the terminal coupling portion 215 may be disposed on the upper jig 200a and the substrate contact portion 270 may be disposed on the lower jig 200b. .

이때, 기판 접촉부(270)와 단자결합부(215)는 별도의 통전부(220)를 통해 전기적으로 접속되며, 통전부(220)는 플렉서블(flexible)한 전선 등으로 이루어진 것이 바람직하다.In this case, the substrate contacting part 270 and the terminal coupling part 215 are electrically connected to each other through a separate conducting part 220, and the conducting part 220 is preferably made of a flexible wire or the like.

상술한 바와 같은 기판 검사용 지그(200)에 의하면, 단자결합부(215)를 포함하기 때문에 2개의 기판 접촉부(270) 만으로 4단자 검사(단선,단락,패턴 저항) 방식을 수행할 수 있는 장점이 있다.According to the substrate inspection jig 200 as described above, since the terminal coupling portion 215 is included, the four-terminal inspection (single line, short circuit, pattern resistance) can be performed using only two substrate contact portions 270. There is this.

또한 단자결합부(215)를 채용함으로써 기판(100)의 검사점에 접촉하는 기판 접촉부(270)의 수가 반으로 줄기 때문에 지그(200) 센터 조정이 간편해질 뿐만 아니라, 기판(100) 검사점 간의 거리가 짧더라도 전기 검사가 가능하다는 장점이 있다.In addition, by adopting the terminal coupling portion 215, the number of the substrate contact portions 270 in contact with the inspection points of the substrate 100 is cut in half, thereby simplifying the centering of the jig 200, and also between the inspection points of the substrate 100. Even if the distance is short, there is an advantage that the electrical inspection is possible.

또한 단자결합부(215)에 의해 통전부(220) 및 기판 접촉부(270)의 수를 반으로 줄일 수 있기 때문에, 지그(200) 제작 가격을 반으로 줄일 수 있다.In addition, since the number of the energization part 220 and the substrate contact part 270 can be reduced by half by the terminal coupling part 215, the manufacturing cost of the jig 200 can be reduced by half.

한편 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention. Therefore, such modifications or variations will have to belong to the claims of the present invention.

도 1은 종래의 4단자 검사장치 및 이에 사용되는 지그를 도시하는 도면이다.1 is a view showing a conventional 4-terminal inspection apparatus and a jig used therein.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 검사용 지그의 사용상태를 도시하는 개략적인 구성도이다.2 is a schematic diagram illustrating a state of use of a substrate inspection jig according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 검사용 지그의 측면도이다. 3 is a side view of a jig for inspecting a substrate according to a preferred embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부호에 대한 설명 ><Description of Major Symbols in Drawing>

100 기판 110 제1 검사점100 substrate 110 1st inspection point

130 제2 검사점 200 지그130 2nd inspection point 200 jig

200a 상부지그 200b 하부지그200a Upper jig 200b Lower jig

210a 제1 단자부 210b 제2 단자부210a first terminal portion 210b second terminal portion

230a 제3 단자부 230b 제4 단자부230a third terminal section 230b fourth terminal section

300 기판 검사 장치 310a 제1 단자300 board inspection apparatus 310a first terminal

310b 제2 단자 330a 제3 단자310b second terminal 330a third terminal

330b 제4 단자330b fourth terminal

Claims (4)

4단자 기판 검사 장치를 이용하여 검사 대상물인 기판의 특성을 검사하기 위한 지그에 있어서, 상기 지그는,In the jig for inspecting the characteristic of the board | substrate which is a test object using a 4-terminal board | substrate inspection apparatus, the said jig | 상기 기판 검사 장치의 4개의 단자와 각각 연결되는 단자부;A terminal portion connected to each of the four terminals of the substrate inspection device; 상기 단자부 중 어느 하나의 제1 단자부와 다른 하나의 제2 단자부를 결합하는 단자 결합부; 및A terminal coupling part for coupling one of the first terminal parts of the terminal part to the other second terminal part; And 상기 단자결합부와 연결된 기판 접촉부;A substrate contact part connected to the terminal coupling part; 를 포함하는 기판 검사용 지그.Jig for inspection the substrate comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지그는 상부지그, 하부지그, 및 상부지그와 하부지그를 결합하는 지지부재를 포함하여 구성되고,The jig includes an upper jig, a lower jig, and a supporting member for coupling the upper jig and the lower jig, 상기 단자부 및 상기 단자결합부는 상부지그에 배치되고, 상기 기판 접촉부는 하부지그에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사용 지그.And the terminal portion and the terminal coupling portion are disposed in an upper jig, and the substrate contact portion is disposed in a lower jig. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 기판 접촉부와 상기 단자 결합부를 연결하는 통전부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사용 지그.And a conductive part connecting the substrate contact part and the terminal coupling part. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 상부지그와 상기 하부지그 사이의 간격이 조절 가능한 것을 특징으로 하는 기판 검사용 지그.Jig for substrate inspection, characterized in that the gap between the upper jig and the lower jig is adjustable.
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