KR20100125805A - Heat-dissipating substrate and fabricating method of the same - Google Patents

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KR20100125805A
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최석문
박성근
이영기
장범식
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Abstract

PURPOSE: A heat dissipating substrate and a manufacturing method thereof are provided to form a circuit layer by forming an anode oxidation insulating layer in a metal core. CONSTITUTION: A first core substrate(112a) is formed by laminating a first circuit layer(110a) on a first metal core(102a) which has a first anode oxidation insulating layer(108a). A second core substrate(112b) is electrically connected to the first core substrate. The second core substrate is formed by laminating a second circuit layer(110b) on a second metal core(102b) which has a second anode oxidation insulating layer(108b). A front layer penetration hole is formed by eliminating an insulating member(114) between a first penetration hole and a second penetration hole. A conductive material(120) is inserted into the front layer penetration hole.

Description

방열기판 및 그 제조방법{HEAT-DISSIPATING SUBSTRATE AND FABRICATING METHOD OF THE SAME}Heat dissipation substrate and its manufacturing method {HEAT-DISSIPATING SUBSTRATE AND FABRICATING METHOD OF THE SAME}

본 발명은 방열성능이 향상된 방열기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a heat dissipation substrate having improved heat dissipation performance and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 인쇄회로기판은 각종 열경화성 합성수지로 이루어진 보드의 일면 또는 양면에 동선으로 배선한 후 보드 상에 IC 또는 전자부품들을 배치 고정하고 이들 간의 전기적 배선을 구현하여 절연체로 코팅한 것이다. In general, a printed circuit board is wired to one side or both sides of a board made of various thermosetting synthetic resins, and then ICs and electronic components are disposed and fixed on the boards, and electrical wiring therebetween is coated with an insulator.

이러한 인쇄회로기판 상에 IC 또는 전자부품을 사용하여 전자회로를 구성할 때 가장 문제가 되는 분야 중의 하나가 열이 발생되는 부품의 열에 대한 대책이다. 즉, 전자부품에 정해진 전압이 가해지면 전류가 흐르게 되고, 이것은 필연적으로 저항손실에 의한 열이 발생하게 된다. 이때 열의 발생이 미약해 자연공냉으로 동작에 지장이 없는 전자부품도 있지만, 열이 많이 발생되어 자연 공냉만으로는 한계가 있어 계속적으로 전자부품의 온도가 올라가는 발열부품들의 경우에는 온도상승으로 인한 전자부품의 오동작 및 파손이 문제되는 경우가 있고, 이러한 발열은 전체 전자제품의 신뢰성에 문제를 야기한다. One of the most problematic areas when configuring an electronic circuit using an IC or an electronic component on such a printed circuit board is a countermeasure against heat of a component in which heat is generated. That is, when a predetermined voltage is applied to the electronic component, a current flows, which inevitably generates heat due to resistance loss. At this time, there are some electronic parts that do not interfere with operation due to natural air cooling due to the low heat generation.However, in the case of heat generating parts in which the temperature of the electronic parts continuously rises due to the high heat generation, there is a limit to the natural air cooling alone. And breakage is sometimes a problem, such heat generation causes a problem in the reliability of the entire electronics.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 발생된 열을 방열 및 냉각시키기 위한 다 양한 구조가 제안되고 있다. 예를 들어, 대한민국 실용신안공보 제20-1991-0005748호에는 방열판을 구비한 인쇄회로기판이 개시되어 있다.In order to solve this problem, various structures for heat dissipation and cooling have been proposed. For example, Korean Utility Model Publication No. 20-1991-0005748 discloses a printed circuit board having a heat sink.

그러나, 이는 방열을 위하여 별도의 추가적인 구조체를 포함하여야 하기 때문에 각종 전자제품의 슬림/미세화 추세에 적절히 대응할 수 없는 문제점이 있다. 더구나, 추가적인 구조체를 포함하기 때문에 제품의 단가가 상승하고 고장의 원인이 되는 문제점을 안고 있다.However, this requires a separate additional structure for heat dissipation, so there is a problem in that it cannot adequately cope with the slim / miniaturization trend of various electronic products. Moreover, since the additional structure is included, there is a problem that the unit cost of the product rises and causes a failure.

따라서, 이러한 문제점 없이 방열효율을 높이기 위하여 추가적인 구조체를 부가하는 대신에 인쇄회로기판 내부에 열전도도가 높은 금속을 삽입하여 방열효율을 개선하는 방법이 제안되고 있다. Therefore, a method of improving heat dissipation efficiency by inserting a metal having high thermal conductivity into a printed circuit board instead of adding an additional structure to increase heat dissipation efficiency without such a problem has been proposed.

도 1 내지 도 6은 종래의 이러한 방열금속을 구비한 다층 인쇄회로기판의 제조공정을 나타낸 것으로서, 이를 참조하여 그 제조공정을 설명하면 다음과 같다. 1 to 6 illustrate a conventional manufacturing process of a multilayer printed circuit board having such a heat dissipating metal, and the manufacturing process thereof will be described with reference to the following.

먼저, 도 1에 도시한 바와 같이, 열전도도가 높은 메탈코어(1)에 CNC 드릴을 이용하여 관통홀(2)을 가공한다.First, as shown in FIG. 1, the through-hole 2 is processed to the metal core 1 with high thermal conductivity using a CNC drill.

다음, 도 2에 도시한 바와 같이, 메탈코어(1)에 절연재(3) 및 동박층(4)을 적층한다. Next, as shown in FIG. 2, the insulating material 3 and the copper foil layer 4 are laminated on the metal core 1.

다음, 도 3에 도시한 바와 같이, 층간 연결을 위하여 메탈코어(1)의 관통홀(2)에 기계적 가공을 통하여 비아홀(5)을 형성한다. 여기서, 비아홀(5)은 이후 동도금에 의한 비아홀(5) 내벽의 동도금층과의 절연을 위하여 메탈코어(1)의 관통홀(2)보다 작은 크기로 가공되어야 한다.Next, as shown in FIG. 3, via holes 5 are formed in the through-holes 2 of the metal core 1 through mechanical processing for interlayer connection. Here, the via hole 5 should be processed to a size smaller than the through hole 2 of the metal core 1 in order to insulate the copper plating layer of the inner wall of the via hole 5 by copper plating.

다음, 도 4에 도시한 바와 같이, 화학 동도금 즉, 무전해 동도금 공정과 전해 동도금 공정으로 층간 연결이 되도록 비아홀(5) 내벽에 동도금층을 형성함과 아울러 노광, 현상 및 에칭에 의해 내층 회로패턴(6)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4, a copper plating layer is formed on the inner wall of the via hole 5 so as to be interlayer connected by chemical copper plating, that is, an electroless copper plating process and an electrolytic copper plating process, and an inner circuit pattern by exposure, development, and etching. (6) is formed.

다음, 도 5에 도시한 바와 같이, 일반적인 빌드-업(Build-Up) 공법으로 절연층(7a, 7b)과 회로층(8)을 형성하여 원하는 층수만큼 외층을 형성한다.Next, as shown in FIG. 5, the insulating layers 7a and 7b and the circuit layer 8 are formed by a general build-up method to form outer layers as many as desired layers.

마지막으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 외층표면 보호와 절연성을 보호하기 위하여 외층 표면에 오픈부를 갖는 솔더레지스트층(9)을 형성하여, 다층 인쇄회로기판을 제조한다. Finally, as shown in Fig. 6, in order to protect the outer surface protection and insulation, a solder resist layer 9 having an open portion is formed on the outer layer surface to manufacture a multilayer printed circuit board.

이러한 종래 다층 인쇄회로기판은 내층 코어로 열전도성이 우수한 메탈코어를 삽입함으로써 방열효율을 개선하고 있다. The conventional multilayer printed circuit board improves heat dissipation efficiency by inserting a metal core having excellent thermal conductivity into an inner layer core.

그러나, 종래의 다층 인쇄회로기판은 그 내부에 메탈코어(1)을 삽입하여 방열을 시도하고 있으나, 하나의 메탈코어(1)만으로는 다층 인쇄회로기판에서 발생하는 열을 방출하는데에는 한계가 있었다.However, the conventional multilayer printed circuit board attempts to dissipate heat by inserting a metal core 1 therein, but only one metal core 1 has a limitation in dissipating heat generated from the multilayer printed circuit board.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 방열성능이 향상된 방열기판 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a heat dissipation substrate with improved heat dissipation performance and a method of manufacturing the same.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판은, 절연부재, 상기 절연부재의 상부에 부착된, 제1 비아홀 및 제1 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제1 양극산화 절연막이 형성된 제1 메탈코어에 제1 회로층이 형성된 제1 코어기판, 및 상기 제1 코어기판과 전기적으로 연결되되, 상기 절연부재의 하부에 부착된 제2 비아홀 및 제2 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막이 형성된 제2 메탈코어에 제2 회로층이 형성된 제2 코어기판을 포함하여 구성된다.According to a preferred embodiment of the present invention, a heat radiating substrate may include an insulating member, an inner wall of a first via hole and a first through hole attached to an upper portion of the insulating member, on a first metal core having a first anodized insulating film formed on a surface thereof. A second anodization insulating layer formed on a surface of the first core substrate having a first circuit layer and an inner wall of the second via hole and the second through hole attached to a lower portion of the insulating member, the first core substrate being electrically connected to the first core substrate; And a second core substrate having a second circuit layer formed on the formed second metal core.

여기서, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀 사이의 상기 절연부재는 제거되어, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀과 연결되는 전층 관통홀을 형성하고, 상기 전층 관통홀은 도전성 재료가 개재됨으로써 상기 제1 코어기판의 상기 제1 회로층 및 상기 제2 코어기판의 상기 제2 회로층은 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.Here, the insulating member between the first through hole and the second through hole is removed to form a full layer through hole connected to the first through hole and the second through hole, wherein the full layer through hole is a conductive material. The intervening circuit is characterized in that the first circuit layer of the first core substrate and the second circuit layer of the second core substrate are electrically connected.

또한, 상기 도전성 재료는 상기 전층 관통홀의 내벽 또는 내부에 형성된 도금층이거나 도전성 페이스트인 것을 특징으로 하는 한다.In addition, the conductive material is a plating layer formed on the inner wall or the inside of the full-layer through-holes or characterized in that the conductive paste.

또한, 상기 메탈코어는 알루미늄 또는 알루미늄 합금인 것을 특징으로 한다.In addition, the metal core is characterized in that the aluminum or aluminum alloy.

또한, 상기 양극산화 절연막은 알루미늄 양극산화막(Al2O3)인 것을 특징으로 한다.In addition, the anodization insulating film is characterized in that the aluminum anodization film (Al 2 O 3 ).

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 제조방법은, (A) 제1 비아홀 및 제1 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제1 양극산화 절연막이 형성된 제1 메탈코어에 제1 회로층이 형성된 제1 코어기판을 제조하는 단계, (B) 제2 비아홀 및 제2 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막이 형성된 제2 메탈코어에 제2 회로층이 형성된 제2 코어기판을 제조하는 단계, (C) 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀이 상하 일치하도록 상기 제1 코어기판 및 상기 제2 코어기판을 배치한 후, 절연부재를 이용하여 상기 제1 코어기판 및 상기 제2 코어기판을 부착하는 단계, (D) 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀에 충진된 상기 절연부재를 제거하고, 상기 제1 관통홀과 상기 제2 관통홀 사이의 상기 절연부재를 제거하여 전층 관통홀을 형성하는 단계, 및 (E) 상기 전층 관통홀에 도전성 재료를 도금하거나 충진함으로써 상기 제1 코어기판의 제1 회로층과 상기 제2 코어기판의 제2 회로층을 연결하는 단계를 포함하여 구성된다.In the method of manufacturing a heat dissipation substrate according to a preferred embodiment of the present invention, (A) a first circuit layer is formed on a first metal core including a first via hole and an inner wall of a first through hole, on which a first anodization insulating film is formed; Manufacturing a first core substrate, (B) manufacturing a second core substrate having a second circuit layer formed on a second metal core having a second anodization insulating film formed on a surface thereof including an inner wall of a second via hole and a second through hole; (C) arranging the first core substrate and the second core substrate so that the first through hole and the second through hole coincide with each other up and down, and then using the insulating member to form the first core substrate and the second core substrate. Attaching the two core substrates, (D) removing the insulating member filled in the first through hole and the second through hole, and removing the insulating member between the first through hole and the second through hole. Forming a full layer through hole, and (E) the And connecting the first circuit layer of the first core substrate and the second circuit layer of the second core substrate by plating or filling a conductive material in the entire layer through hole.

이때, 상기 메탈코어는 알루미늄 또는 알루미늄 합금인 것을 특징으로 한다.At this time, the metal core is characterized in that the aluminum or aluminum alloy.

또한, 상기 양극산화 절연막은 알루미늄 양극산화막(Al2O3)인 것을 특징으로 한다.In addition, the anodization insulating film is characterized in that the aluminum anodization film (Al 2 O 3 ).

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다. The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may appropriately define the concept of a term in order to best describe its invention The present invention should be construed in accordance with the spirit and scope of the present invention.

본 발명에 따르면, 메탈코어를 포함하는 2층 구조의 코어기판을 적층하여 4층 구조의 방열기판을 제조하되, 4층 구조에 2개의 메탈코어가 포함됨으로써 방열성능이 향상되게 된다.According to the present invention, a four-layer heat dissipation substrate is manufactured by stacking a core substrate having a two-layer structure including a metal core, and the heat dissipation performance is improved by including two metal cores in the four-layer structure.

또한, 본 발명에 따르면, 메탈코어에 양극산화 절연막을 형성하여 회로층을 형성함으로써 방열기판의 박형화를 도모하는 동시에 일반적인 절연재에 비해 열전도도가 우수한 양극산화 절연막에 의해 방열성능이 향상되게 된다.In addition, according to the present invention, by forming an anodized insulating film on the metal core to form a circuit layer, the heat dissipation performance is improved by an anodizing insulating film having a higher thermal conductivity than a general insulating material while reducing the thickness of the heat radiating substrate.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판 단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. The objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the preferred embodiments associated with the accompanying drawings. In the present specification, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components as possible, even if displayed on different drawings have the same number as possible. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.  Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

방열기판의 구조Heat sink board structure

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 단면도이다. 이하, 이를 참조하여 본 실시예에 따른 방열기판(100)에 대해 설명하기로 한다.7 is a cross-sectional view of a heat radiation board according to a preferred embodiment of the present invention. Hereinafter, the heat dissipation substrate 100 according to the present embodiment will be described with reference to this.

도 7에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 방열기판(100)은 절연부재(114)를 사이에 두고 메탈코어를 갖는 2개의 코어기판(112a, 112b)이 적층된 구조를 갖는다.As shown in FIG. 7, the heat dissipation substrate 100 according to the present exemplary embodiment has a structure in which two core substrates 112a and 112b having a metal core are stacked with the insulating member 114 interposed therebetween.

여기서, 코어기판(112a, 112b)은 제1 비아홀(104a) 및 제1 관통홀(106a)의 내벽을 포함하여 표면에 제1 양극산화 절연막(108a)이 형성된 제1 메탈코어(102a)에 제1 회로층(110a)이 형성된 제1 코어기판(112a)과 상기 제1 코어기판(112a)과 전기적으로 연결되되, 절연부재(114)의 하부에 부착된 제2 비아홀(104b) 및 제2 관통홀(106b)의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막(108b)이 형성된 제2 메탈코어(102b)에 제2 회로층(110b)이 형성된 제2 코어기판(112b)을 포함한다.The core substrates 112a and 112b may be formed on the first metal core 102a including the first via hole 104a and the inner wall of the first through hole 106a and having the first anodized insulating film 108a formed thereon. The first core substrate 112a having the first circuit layer 110a and the second core hole 112b electrically connected to the first core substrate 112a and attached to the lower portion of the insulating member 114, and the second through The second core substrate 112b includes the second circuit layer 110b formed on the second metal core 102b including the inner wall of the hole 106b and the second anodized insulating film 108b formed on the surface thereof.

이때, 제1 코어기판(112a) 및 제2 코어기판(112b)은 제1 관통홀(106a) 및 제2 관통홀(106b) 사이의 절연부재(114)를 제거하여 제1 관통홀(106a) 및 제2 관통홀(106b)과 연결되는 전층 관통홀(118)을 형성하고, 전층 관통홀(118)은 도전성 재료(120)가 개재함으로써 서로 전기적으로 연결되게 된다. 여기서, 도전성 재 료(120)는 전층 관통홀(118)의 내벽 또는 내부에 형성된 도금층이거나 도전성 페이스트가 될 수 있다. At this time, the first core substrate 112a and the second core substrate 112b remove the insulating member 114 between the first through hole 106a and the second through hole 106b to remove the first through hole 106a. And a full-layer through-hole 118 connected to the second through-hole 106b, and the full-layer through-hole 118 is electrically connected to each other by interposing the conductive material 120. Here, the conductive material 120 may be a plating layer formed on the inner wall or the inside of the full-wall through hole 118 or may be a conductive paste.

또한, 제1 메탈코어(102a) 및 제2 메탈코어(102b)는 비교적 저가로 손쉽게 입수가 가능하며, 열전달 특성이 매우 우수하고, 양극산화 가능한(anodisable)한 금속으로 이루어지며, 예를 들어 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금이 사용될 수 있다. In addition, the first metal core 102a and the second metal core 102b are easily available at a relatively low cost, have excellent heat transfer properties, and are made of an anodizable metal, for example, aluminum. (Al) or aluminum alloy can be used.

또한, 제1 양극산화 절연막(108a) 및 제2 양극산화 절연막(108b)은, 예를 들어 약 10 내지 30 W/mK의 비교적 높은 열 전달 특성을 갖는 알루미늄 양극산화 절연막(Al2O3)이 사용되는 것이 바람직하다. In addition, the first anodized insulating film 108a and the second anodized insulating film 108b include, for example, an aluminum anodized insulating film (Al 2 O 3 ) having a relatively high heat transfer property of about 10 to 30 W / mK. It is preferred to be used.

방열기판의 제조방법Manufacturing method of heat radiation board

도 8 내지 도 15는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 제조방법을 공정 순서대로 도시한 공정단면도이다. 본 발명에 따른 방열기판의 제조방법은 메탈코어에 양극산화 절연막이 형성된 2층 구조의 코어기판을 2개 제조하고, 2개의 코어기판을 절연부재를 통해 부착한 후 서로 연결함으로써 2개의 메탈코어를 구비한 4층 구조의 방열기판을 제조하는 것을 특징으로 한다. 비록, 이하에서는 4층 구조의 방열기판을 제조하는 것을 중심으로 기술되나, 동일한 원리에 의해 6층, 8층 등의 다층 구조를 갖는 방열기판을 제조할 수 있음은 당연하다 할 것이다. 이하, 도 8 내지 도 15를 참조하여 구체적으로 본 실시예에 따른 방열기판의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.8 to 15 are process cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a heat dissipation substrate according to a preferred embodiment of the present invention in order of process. In the method for manufacturing a heat dissipation substrate according to the present invention, two core substrates having a two-layer structure in which anodized insulating film is formed on a metal core are manufactured, and two metal cores are connected by attaching two core substrates through an insulating member and then connecting them. It is characterized by manufacturing a heat radiation board having a four-layer structure provided. Although the following description focuses on manufacturing a four-layer heat dissipation substrate, it will be obvious that a heat dissipation substrate having a multi-layer structure such as six layers and eight layers can be manufactured by the same principle. Hereinafter, a method of manufacturing the heat radiation board according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 8 to 15.

먼저, 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 메탈코어(102a)에 제1 비아홀(104a) 및 제1 관통홀(106a)을 형성한다.First, as shown in FIG. 8, the first via hole 104a and the first through hole 106a are formed in the first metal core 102a.

여기서, 제1 비아홀(104a)은 제1 코어기판(112a)의 층간 회로층 연결을 위한 것이고, 제1 관통홀(106a)은 제1 코어기판(112a)과 제2 코어기판(112b)의 층간 연결을 위한 것이다.Here, the first via hole 104a is for connecting the interlayer circuit layer of the first core substrate 112a, and the first through hole 106a is for interlayer between the first core substrate 112a and the second core substrate 112b. It is for connection.

이러한 제1 비아홀(104a) 및 제1 관통홀(106a)은 CNC 드릴(Computer Numerial Control drill)과 같은 기계적 드릴링 또는 레이저(예를 들어, CO2 레이저, Yag 레이저)에 의해 가공된다. The first via hole 104a and the first through hole 106a are processed by a mechanical drilling or laser (eg, a CO 2 laser, a Yag laser) such as a Computer Numerial Control drill.

이때, 사용되는 제1 메탈코어(102a)는 비교적 저가로 손쉽게 입수가 가능하며, 열전달 특성이 매우 우수하고, 양극산화 가능한(anodisable)한 금속으로 이루어지며, 예를 들어 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금이 사용될 수 있다. In this case, the first metal core 102a to be used is easily available at a relatively low cost, has excellent heat transfer characteristics, and is made of an anodizable metal, for example, aluminum (Al) or an aluminum alloy. This can be used.

다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 메탈코어(102a)의 표면 전체에 제1 양극산화 절연막(108a)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 9, the first anodization insulating film 108a is formed on the entire surface of the first metal core 102a.

여기서, 제1 양극산화 절연막(108a)은 양극산화(Anodizing) 공정에 의해 형성된다. 구체적으로, 제1 양극산화 절연막(108a)은 제1 메탈코어(102a)를 붕산, 인산, 황산, 크롬산 등의 전해액에 담은 후, 제1 메탈코어(102a)에 양극을 인가하고 전해액에 음극을 인가함으로써 형성된다.Here, the first anodization insulating film 108a is formed by an anodizing process. Specifically, the first anodization insulating film 108a contains the first metal core 102a in an electrolyte such as boric acid, phosphoric acid, sulfuric acid, and chromic acid, and then applies an anode to the first metal core 102a, and applies a cathode to the electrolyte. It is formed by applying.

이때, 제1 양극산화 절연막(108a)은, 예를 들어 약 10 내지 30 W/mK의 비교적 높은 열 전달 특성을 갖는 알루미늄 양극산화 절연막(Al2O3)이 사용되는 것이 바람직하다. In this case, the first anodization insulating film 108a is preferably an aluminum anodization insulating film (Al 2 O 3 ) having a relatively high heat transfer property of, for example, about 10 to 30 W / mK.

본 발명에서는 종래의 절연층에 비해 두께가 얇고, 열전달 특성이 우수한 제1 양극산화 절연막(108a)을 채용함으로써 방열기판의 박형화 및 방열효율 증대를 도모할 수 있게 된다. In the present invention, the thickness of the heat dissipation substrate can be reduced and heat dissipation efficiency can be achieved by adopting the first anodization insulating film 108a which is thinner than the conventional insulating layer and has excellent heat transfer characteristics.

다음, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 양극산화 절연막(108a)이 형성된 제1 메탈코어(102a)에 도금공정(무전해 동도금 공정 및 전해 동도금 공정)에 의해 도금층을 형성한 후, 패터닝 공정을 수행하여 제1 회로층(110a)을 형성한다. 이에 따라, 제1 코어기판(112a)이 제조된다.Next, as shown in FIG. 10, a plating layer is formed on the first metal core 102a on which the first anodization insulating film 108a is formed by a plating process (electroless copper plating process and electrolytic copper plating process), and then patterning process. Is performed to form the first circuit layer 110a. As a result, the first core substrate 112a is manufactured.

이때, 제1 회로층(110a)은 예를 들어, 도금층에 드라이 필름을 적층하고, 노광, 현상 공정에 의해 드라이 필름에 오픈부를 형성한 후, 상기 오픈부에 의해 노출된 도금층을 에칭으로 제거함으로써 형성된다. At this time, the first circuit layer 110a may, for example, laminate a dry film on the plating layer, form an open portion in the dry film by an exposure and development process, and then remove the plating layer exposed by the open portion by etching. Is formed.

다음, 도 11에 도시한 바와 같이, 제2 비아홀(104b) 및 제2 관통홀(106b)의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막(108b)이 형성된 제2 메탈코어(102b)에 제2 회로층(110b)이 형성된 제2 코어기판(112b)을 제조한다. Next, as illustrated in FIG. 11, the second metal core 102b including the inner walls of the second via hole 104b and the second through hole 106b has a second anodized insulating film 108b formed thereon. The second core substrate 112b on which the second circuit layer 110b is formed is manufactured.

이때, 제2 코어기판(112b)은 도 8 내지 도 10에 도시된 제1 코어기판(112a) 을 형성하는 방법과 동일하게 제조가능하므로 중복되는 설명은 생략하기로 한다.In this case, since the second core substrate 112b may be manufactured in the same manner as the method of forming the first core substrate 112a shown in FIGS. 8 to 10, the description thereof will be omitted.

다음, 도 12에 도시한 바와 같이, 절연부재(114)를 사이에 두고 제1 코어기판(112a)의 제1 관통홀(106a)과 제2 코어기판(112b)의 제2 관통홀(106b)이 상하로 일치되도록 배치한 후, 가압하여 제1 코어기판(112a)과 제2 코어기판(112b)을 부착한다. Next, as shown in FIG. 12, the first through hole 106a of the first core board 112a and the second through hole 106b of the second core board 112b with the insulating member 114 interposed therebetween. After the upper and lower sides are disposed so as to coincide with each other, the first core substrate 112a and the second core substrate 112b are attached by pressing.

이때, 제1 코어기판(112a)과 제2 코어기판(112b)을 가압하는 경우 반경화 상태의 절연부재(114)는 제1 및 제2 코어기판(112a, 112b)의 제1 및 제2 비아홀(104a, 104b)과 제1 및 제2 관통홀(106a, 106b)에 삽입 충진되게 된다. 특히, 제1 및 제2 비아홀(104a, 104b)에 삽입 충진된 절연부재(114)는 플러깅 잉크의 역할을 수행할 수 있기 때문에 이후 공정에서 제1 및 제2 비아홀(104a, 104b)의 내부에 신뢰성 향상을 위해 별도의 충진제를 충진할 필요가 없게 된다. 하지만, 제1 및 제2 비아홀(104a, 104b)에 절연부재(114)가 완전히 채워지지 않은 경우 이후 공정에서 추가의 플러깅 잉크를 충진할 수 있을 것이다. At this time, when the first core substrate 112a and the second core substrate 112b are pressed, the insulating member 114 in the semi-cured state is formed in the first and second via holes of the first and second core substrates 112a and 112b. It is inserted and filled into the 104a, 104b and the first and second through holes 106a, 106b. In particular, since the insulating member 114 inserted and filled in the first and second via holes 104a and 104b may serve as plugging ink, the insulating member 114 may be inserted into the first and second via holes 104a and 104b in a subsequent process. There is no need to fill additional fillers for improved reliability. However, when the insulating member 114 is not completely filled in the first and second via holes 104a and 104b, additional plugging ink may be filled in a subsequent process.

다음, 도 13에 도시한 바와 같이, 제1 관통홀(106a) 및 제2 관통홀(106b)에 충진된 절연부재(114)를 포함하여 제1 관통홀(106a)과 제2 관통홀(106b)에 존재하는 상기 절연부재(114)를 제거한다.Next, as shown in FIG. 13, the first through hole 106a and the second through hole 106b including the insulating member 114 filled in the first through hole 106a and the second through hole 106b. Remove the insulating member 114 present in the).

여기서, 절연부재(114)는 드릴링 작업 등에 의해 제거가능하며, 본 단계에 의해 제1 관통홀(106a)과 제2 관통홀(106b)을 전체적으로 관통하는 전층 관통 홀(118)이 형성되게 된다. Here, the insulating member 114 can be removed by a drilling operation or the like, and the full-layer through-hole 118 penetrating the first through-hole 106a and the second through-hole 106b as a whole is formed by this step.

한편, 이하에서는 설명의 편의를 위해 전층 관통홀(118) 중에 제1 관통홀(106a)과 제2 관통홀(106b) 사이의 절연부재(114)를 제거하여 형성된 관통홀 영역을 제3 관통홀(116)이라 지칭하기로 한다.Meanwhile, hereinafter, the through-hole region formed by removing the insulating member 114 between the first through hole 106a and the second through hole 106b from the entire through hole 118 for the convenience of description will be described as a third through hole. Referred to as (116).

다음, 도 14에 도시한 바와 같이, 전층 관통홀(118)의 내벽 또는 내부에 도금층 또는 도전성 페이스트와 같은 도전성 재료(120)를 도금 또는 충진함으로써 제1 코어기판(112a)의 제1 회로층(110a)과 제2 코어기판(112b)의 제2 회로층(110b)이 연결시킨다.Next, as shown in FIG. 14, the first circuit layer of the first core substrate 112a may be plated or filled with a conductive material 120 such as a plating layer or a conductive paste on the inner wall or the inside of the full-layer through hole 118. 110a and the second circuit layer 110b of the second core substrate 112b are connected to each other.

예를 들어, 도전성 재료(120)를 전층 관통홀(118)의 내벽에 스퍼터링 공정에 의해 형성함으로써 제1 코어기판(112a)의 제1 회로층(110a)과 제2 코어기판(112b)의 제2 회로층(110b)이 연결될 있다. For example, the conductive material 120 is formed on the inner wall of the full-layer through-hole 118 by a sputtering process to form the first circuit layer 110a and the second core substrate 112b of the first core substrate 112a. Two circuit layers 110b may be connected.

그러나, 도 14에 도시된 방법은 하나의 일례에 불과하다 할 것이며, 도금공정을 수행하여 전층 관통홀(118)에 전층 관통비아를 형성하거나, 도전성 페이스트를 내부에 충진하는 것 등 다양한 방법이 적용될 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 범주 내에 포함된다 할 것이다. 이때, 전층 관통홀(118) 내부에는 플러깅 잉크(122)가 주입될 수 있다.However, the method shown in FIG. 14 is just one example, and various methods such as forming a full-layer through via in the full-layer through-hole 118 or filling a conductive paste therein may be applied by performing a plating process. It will be understood that this will also be included within the scope of the invention. In this case, the plugging ink 122 may be injected into the entire layer through hole 118.

마지막으로, 도 15에 도시한 바와 같이, 제1 코어기판(112a)의 외층에 형성된 제1 회로층(110a) 및 제2 코어기판(112b)의 외층에 형성된 제2 회로층(110b)에 패드부를 노출시키는 오픈부를 갖는 솔더 레지스트층(124)를 형성한다.Finally, as shown in FIG. 15, the pads are formed on the second circuit layer 110b formed on the outer layers of the first core layer 112a and the second core substrate 112b formed on the outer layer of the first core substrate 112a. A solder resist layer 124 having an open portion exposing portions is formed.

이와 같은 제조 공정에 의해 2개의 메탈코어(102a, 102b)를 가지는 4층 구조의 방열기판(100)이 제조된다. By this manufacturing process, the heat radiation substrate 100 having a four-layer structure having two metal cores 102a and 102b is manufactured.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 방열기판 및 그 제조방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. Although the present invention has been described in detail through specific embodiments, this is for explaining the present invention in detail, and the heat dissipation substrate and its manufacturing method according to the present invention are not limited thereto, and the technical features of the present invention It will be apparent that modifications and improvements are possible by those skilled in the art.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다. All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.

도 1 내지 도 6은 종래의 방열금속을 구비한 다층 인쇄회로기판의 제조방법을 공정 순서대로 도시한 공정단면도이다. 1 to 6 are process cross-sectional views showing a conventional manufacturing method of a multilayer printed circuit board having a heat-radiating metal in the order of process.

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 단면도이다. 7 is a cross-sectional view of a heat radiation board according to a preferred embodiment of the present invention.

도 8 내지 도 15는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 제조방법을 공정 순서대로 도시한 공정단면도이다. 8 to 15 are process cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a heat dissipation substrate according to a preferred embodiment of the present invention in order of process.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

102a, 102b : 메탈코어 104a, 104b : 비아홀102a and 102b: Metal core 104a and 104b: Via hole

106a, 106b : 관통홀 108a, 108b : 양극산화 절연막106a, 106b: Through hole 108a, 108b: Anodized insulating film

110a, 110b : 회로층 112a, 112b : 코어기판110a, 110b: circuit layer 112a, 112b: core substrate

114 : 절연부재 116 : 제3 관통홀114: insulating member 116: third through hole

118 : 전층 관통홀 120 : 도전성 재료118: all-layer through hole 120: conductive material

Claims (8)

절연부재;Insulation member; 상기 절연부재의 상부에 부착된, 제1 비아홀 및 제1 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제1 양극산화 절연막이 형성된 제1 메탈코어에 제1 회로층이 형성된 제1 코어기판; 및A first core substrate having a first circuit layer formed on a first metal core having a first anodization insulating film formed on a surface thereof, including an inner wall of a first via hole and a first through hole attached to an upper portion of the insulating member; And 상기 제1 코어기판과 전기적으로 연결되되, 상기 절연부재의 하부에 부착된 제2 비아홀 및 제2 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막이 형성된 제2 메탈코어에 제2 회로층이 형성된 제2 코어기판A second circuit layer is formed on a second metal core electrically connected to the first core substrate, the second metal core having a second anodization insulating layer formed on a surface thereof, including an inner wall of a second via hole and a second through hole attached to a lower portion of the insulating member. Formed second core substrate 을 포함하는 방열기판. Heat dissipation substrate comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀 사이의 상기 절연부재는 제거되어, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀과 연결되는 전층 관통홀을 형성하고,The insulating member between the first through hole and the second through hole is removed to form a full-layer through hole connected to the first through hole and the second through hole, 상기 전층 관통홀은 도전성 재료가 개재됨으로써 상기 제1 코어기판의 상기 제1 회로층 및 상기 제2 코어기판의 상기 제2 회로층은 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 방열기판. And the conductive layer is interposed between the first layer through hole and the first circuit layer of the first core substrate and the second circuit layer of the second core substrate are electrically connected to each other. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 도전성 재료는 상기 전층 관통홀의 내벽 또는 내부에 형성된 도금층이 거나 도전성 페이스트인 것을 특징으로 하는 방열기판. And the conductive material is a plating layer formed on the inner wall or inside of the full-layer through hole or a conductive paste. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 메탈코어는 알루미늄 또는 알루미늄 합금인 것을 특징으로 하는 방열기판.The metal core is a heat sink, characterized in that the aluminum or aluminum alloy. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 양극산화 절연막은 알루미늄 양극산화막(Al2O3)인 것을 특징으로 하는 방열기판.The anodization insulating film is a heat dissipation substrate, characterized in that the aluminum anodized film (Al 2 O 3 ). (A) 제1 비아홀 및 제1 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제1 양극산화 절연막이 형성된 제1 메탈코어에 제1 회로층이 형성된 제1 코어기판을 제조하는 단계;(A) manufacturing a first core substrate including a first via hole and an inner wall of the first through hole, the first core substrate having a first circuit layer formed on a first metal core having a first anodization insulating film formed on a surface thereof; (B) 제2 비아홀 및 제2 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막이 형성된 제2 메탈코어에 제2 회로층이 형성된 제2 코어기판을 제조하는 단계;(B) manufacturing a second core substrate including a second via hole and an inner wall of the second through hole, the second core substrate having a second circuit layer formed on a second metal core having a second anodization insulating film formed on a surface thereof; (C) 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀이 상하 일치하도록 상기 제1 코어기판 및 상기 제2 코어기판을 배치한 후, 절연부재를 이용하여 상기 제1 코어기판 및 상기 제2 코어기판을 부착하는 단계;(C) After disposing the first core substrate and the second core substrate so that the first through hole and the second through hole coincide with each other, the first core substrate and the second core substrate using an insulating member. Attaching; (D) 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀에 충진된 상기 절연부재를 제거하고, 상기 제1 관통홀과 상기 제2 관통홀 사이의 상기 절연부재를 제거하여 전층 관 통홀을 형성하는 단계; 및 (D) removing the insulating member filled in the first through hole and the second through hole, and removing the insulating member between the first through hole and the second through hole to form a full layer through hole; ; And (E) 상기 전층 관통홀에 도전성 재료를 도금하거나 충진함으로써 상기 제1 코어기판의 제1 회로층과 상기 제2 코어기판의 제2 회로층을 연결하는 단계(E) connecting the first circuit layer of the first core substrate and the second circuit layer of the second core substrate by plating or filling a conductive material in the entire layer through hole. 를 포함하는 방열기판의 제조방법.Method of manufacturing a heat radiation board comprising a. 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6, 상기 메탈코어는 알루미늄 또는 알루미늄 합금인 것을 특징으로 하는 방열기판의 제조방법.The metal core is a manufacturing method of the heat-radiating substrate, characterized in that the aluminum or aluminum alloy. 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6, 상기 양극산화 절연막은 알루미늄 양극산화막(Al2O3)인 것을 특징으로 하는 방열기판의 제조방법.The anodization insulating film is a method of manufacturing a heat sink substrate, characterized in that the aluminum anodized film (Al 2 O 3 ).
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