KR20100125805A - Heat-dissipating substrate and fabricating method of the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 방열성능이 향상된 방열기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a heat dissipation substrate having improved heat dissipation performance and a method of manufacturing the same.
일반적으로, 인쇄회로기판은 각종 열경화성 합성수지로 이루어진 보드의 일면 또는 양면에 동선으로 배선한 후 보드 상에 IC 또는 전자부품들을 배치 고정하고 이들 간의 전기적 배선을 구현하여 절연체로 코팅한 것이다. In general, a printed circuit board is wired to one side or both sides of a board made of various thermosetting synthetic resins, and then ICs and electronic components are disposed and fixed on the boards, and electrical wiring therebetween is coated with an insulator.
이러한 인쇄회로기판 상에 IC 또는 전자부품을 사용하여 전자회로를 구성할 때 가장 문제가 되는 분야 중의 하나가 열이 발생되는 부품의 열에 대한 대책이다. 즉, 전자부품에 정해진 전압이 가해지면 전류가 흐르게 되고, 이것은 필연적으로 저항손실에 의한 열이 발생하게 된다. 이때 열의 발생이 미약해 자연공냉으로 동작에 지장이 없는 전자부품도 있지만, 열이 많이 발생되어 자연 공냉만으로는 한계가 있어 계속적으로 전자부품의 온도가 올라가는 발열부품들의 경우에는 온도상승으로 인한 전자부품의 오동작 및 파손이 문제되는 경우가 있고, 이러한 발열은 전체 전자제품의 신뢰성에 문제를 야기한다. One of the most problematic areas when configuring an electronic circuit using an IC or an electronic component on such a printed circuit board is a countermeasure against heat of a component in which heat is generated. That is, when a predetermined voltage is applied to the electronic component, a current flows, which inevitably generates heat due to resistance loss. At this time, there are some electronic parts that do not interfere with operation due to natural air cooling due to the low heat generation.However, in the case of heat generating parts in which the temperature of the electronic parts continuously rises due to the high heat generation, there is a limit to the natural air cooling alone. And breakage is sometimes a problem, such heat generation causes a problem in the reliability of the entire electronics.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 발생된 열을 방열 및 냉각시키기 위한 다 양한 구조가 제안되고 있다. 예를 들어, 대한민국 실용신안공보 제20-1991-0005748호에는 방열판을 구비한 인쇄회로기판이 개시되어 있다.In order to solve this problem, various structures for heat dissipation and cooling have been proposed. For example, Korean Utility Model Publication No. 20-1991-0005748 discloses a printed circuit board having a heat sink.
그러나, 이는 방열을 위하여 별도의 추가적인 구조체를 포함하여야 하기 때문에 각종 전자제품의 슬림/미세화 추세에 적절히 대응할 수 없는 문제점이 있다. 더구나, 추가적인 구조체를 포함하기 때문에 제품의 단가가 상승하고 고장의 원인이 되는 문제점을 안고 있다.However, this requires a separate additional structure for heat dissipation, so there is a problem in that it cannot adequately cope with the slim / miniaturization trend of various electronic products. Moreover, since the additional structure is included, there is a problem that the unit cost of the product rises and causes a failure.
따라서, 이러한 문제점 없이 방열효율을 높이기 위하여 추가적인 구조체를 부가하는 대신에 인쇄회로기판 내부에 열전도도가 높은 금속을 삽입하여 방열효율을 개선하는 방법이 제안되고 있다. Therefore, a method of improving heat dissipation efficiency by inserting a metal having high thermal conductivity into a printed circuit board instead of adding an additional structure to increase heat dissipation efficiency without such a problem has been proposed.
도 1 내지 도 6은 종래의 이러한 방열금속을 구비한 다층 인쇄회로기판의 제조공정을 나타낸 것으로서, 이를 참조하여 그 제조공정을 설명하면 다음과 같다. 1 to 6 illustrate a conventional manufacturing process of a multilayer printed circuit board having such a heat dissipating metal, and the manufacturing process thereof will be described with reference to the following.
먼저, 도 1에 도시한 바와 같이, 열전도도가 높은 메탈코어(1)에 CNC 드릴을 이용하여 관통홀(2)을 가공한다.First, as shown in FIG. 1, the through-
다음, 도 2에 도시한 바와 같이, 메탈코어(1)에 절연재(3) 및 동박층(4)을 적층한다. Next, as shown in FIG. 2, the
다음, 도 3에 도시한 바와 같이, 층간 연결을 위하여 메탈코어(1)의 관통홀(2)에 기계적 가공을 통하여 비아홀(5)을 형성한다. 여기서, 비아홀(5)은 이후 동도금에 의한 비아홀(5) 내벽의 동도금층과의 절연을 위하여 메탈코어(1)의 관통홀(2)보다 작은 크기로 가공되어야 한다.Next, as shown in FIG. 3, via
다음, 도 4에 도시한 바와 같이, 화학 동도금 즉, 무전해 동도금 공정과 전해 동도금 공정으로 층간 연결이 되도록 비아홀(5) 내벽에 동도금층을 형성함과 아울러 노광, 현상 및 에칭에 의해 내층 회로패턴(6)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4, a copper plating layer is formed on the inner wall of the
다음, 도 5에 도시한 바와 같이, 일반적인 빌드-업(Build-Up) 공법으로 절연층(7a, 7b)과 회로층(8)을 형성하여 원하는 층수만큼 외층을 형성한다.Next, as shown in FIG. 5, the
마지막으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 외층표면 보호와 절연성을 보호하기 위하여 외층 표면에 오픈부를 갖는 솔더레지스트층(9)을 형성하여, 다층 인쇄회로기판을 제조한다. Finally, as shown in Fig. 6, in order to protect the outer surface protection and insulation, a
이러한 종래 다층 인쇄회로기판은 내층 코어로 열전도성이 우수한 메탈코어를 삽입함으로써 방열효율을 개선하고 있다. The conventional multilayer printed circuit board improves heat dissipation efficiency by inserting a metal core having excellent thermal conductivity into an inner layer core.
그러나, 종래의 다층 인쇄회로기판은 그 내부에 메탈코어(1)을 삽입하여 방열을 시도하고 있으나, 하나의 메탈코어(1)만으로는 다층 인쇄회로기판에서 발생하는 열을 방출하는데에는 한계가 있었다.However, the conventional multilayer printed circuit board attempts to dissipate heat by inserting a
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 방열성능이 향상된 방열기판 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a heat dissipation substrate with improved heat dissipation performance and a method of manufacturing the same.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판은, 절연부재, 상기 절연부재의 상부에 부착된, 제1 비아홀 및 제1 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제1 양극산화 절연막이 형성된 제1 메탈코어에 제1 회로층이 형성된 제1 코어기판, 및 상기 제1 코어기판과 전기적으로 연결되되, 상기 절연부재의 하부에 부착된 제2 비아홀 및 제2 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막이 형성된 제2 메탈코어에 제2 회로층이 형성된 제2 코어기판을 포함하여 구성된다.According to a preferred embodiment of the present invention, a heat radiating substrate may include an insulating member, an inner wall of a first via hole and a first through hole attached to an upper portion of the insulating member, on a first metal core having a first anodized insulating film formed on a surface thereof. A second anodization insulating layer formed on a surface of the first core substrate having a first circuit layer and an inner wall of the second via hole and the second through hole attached to a lower portion of the insulating member, the first core substrate being electrically connected to the first core substrate; And a second core substrate having a second circuit layer formed on the formed second metal core.
여기서, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀 사이의 상기 절연부재는 제거되어, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀과 연결되는 전층 관통홀을 형성하고, 상기 전층 관통홀은 도전성 재료가 개재됨으로써 상기 제1 코어기판의 상기 제1 회로층 및 상기 제2 코어기판의 상기 제2 회로층은 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.Here, the insulating member between the first through hole and the second through hole is removed to form a full layer through hole connected to the first through hole and the second through hole, wherein the full layer through hole is a conductive material. The intervening circuit is characterized in that the first circuit layer of the first core substrate and the second circuit layer of the second core substrate are electrically connected.
또한, 상기 도전성 재료는 상기 전층 관통홀의 내벽 또는 내부에 형성된 도금층이거나 도전성 페이스트인 것을 특징으로 하는 한다.In addition, the conductive material is a plating layer formed on the inner wall or the inside of the full-layer through-holes or characterized in that the conductive paste.
또한, 상기 메탈코어는 알루미늄 또는 알루미늄 합금인 것을 특징으로 한다.In addition, the metal core is characterized in that the aluminum or aluminum alloy.
또한, 상기 양극산화 절연막은 알루미늄 양극산화막(Al2O3)인 것을 특징으로 한다.In addition, the anodization insulating film is characterized in that the aluminum anodization film (Al 2 O 3 ).
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 제조방법은, (A) 제1 비아홀 및 제1 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제1 양극산화 절연막이 형성된 제1 메탈코어에 제1 회로층이 형성된 제1 코어기판을 제조하는 단계, (B) 제2 비아홀 및 제2 관통홀의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막이 형성된 제2 메탈코어에 제2 회로층이 형성된 제2 코어기판을 제조하는 단계, (C) 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀이 상하 일치하도록 상기 제1 코어기판 및 상기 제2 코어기판을 배치한 후, 절연부재를 이용하여 상기 제1 코어기판 및 상기 제2 코어기판을 부착하는 단계, (D) 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀에 충진된 상기 절연부재를 제거하고, 상기 제1 관통홀과 상기 제2 관통홀 사이의 상기 절연부재를 제거하여 전층 관통홀을 형성하는 단계, 및 (E) 상기 전층 관통홀에 도전성 재료를 도금하거나 충진함으로써 상기 제1 코어기판의 제1 회로층과 상기 제2 코어기판의 제2 회로층을 연결하는 단계를 포함하여 구성된다.In the method of manufacturing a heat dissipation substrate according to a preferred embodiment of the present invention, (A) a first circuit layer is formed on a first metal core including a first via hole and an inner wall of a first through hole, on which a first anodization insulating film is formed; Manufacturing a first core substrate, (B) manufacturing a second core substrate having a second circuit layer formed on a second metal core having a second anodization insulating film formed on a surface thereof including an inner wall of a second via hole and a second through hole; (C) arranging the first core substrate and the second core substrate so that the first through hole and the second through hole coincide with each other up and down, and then using the insulating member to form the first core substrate and the second core substrate. Attaching the two core substrates, (D) removing the insulating member filled in the first through hole and the second through hole, and removing the insulating member between the first through hole and the second through hole. Forming a full layer through hole, and (E) the And connecting the first circuit layer of the first core substrate and the second circuit layer of the second core substrate by plating or filling a conductive material in the entire layer through hole.
이때, 상기 메탈코어는 알루미늄 또는 알루미늄 합금인 것을 특징으로 한다.At this time, the metal core is characterized in that the aluminum or aluminum alloy.
또한, 상기 양극산화 절연막은 알루미늄 양극산화막(Al2O3)인 것을 특징으로 한다.In addition, the anodization insulating film is characterized in that the aluminum anodization film (Al 2 O 3 ).
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다. The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may appropriately define the concept of a term in order to best describe its invention The present invention should be construed in accordance with the spirit and scope of the present invention.
본 발명에 따르면, 메탈코어를 포함하는 2층 구조의 코어기판을 적층하여 4층 구조의 방열기판을 제조하되, 4층 구조에 2개의 메탈코어가 포함됨으로써 방열성능이 향상되게 된다.According to the present invention, a four-layer heat dissipation substrate is manufactured by stacking a core substrate having a two-layer structure including a metal core, and the heat dissipation performance is improved by including two metal cores in the four-layer structure.
또한, 본 발명에 따르면, 메탈코어에 양극산화 절연막을 형성하여 회로층을 형성함으로써 방열기판의 박형화를 도모하는 동시에 일반적인 절연재에 비해 열전도도가 우수한 양극산화 절연막에 의해 방열성능이 향상되게 된다.In addition, according to the present invention, by forming an anodized insulating film on the metal core to form a circuit layer, the heat dissipation performance is improved by an anodizing insulating film having a higher thermal conductivity than a general insulating material while reducing the thickness of the heat radiating substrate.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판 단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. The objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the preferred embodiments associated with the accompanying drawings. In the present specification, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components as possible, even if displayed on different drawings have the same number as possible. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
방열기판의 구조Heat sink board structure
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 단면도이다. 이하, 이를 참조하여 본 실시예에 따른 방열기판(100)에 대해 설명하기로 한다.7 is a cross-sectional view of a heat radiation board according to a preferred embodiment of the present invention. Hereinafter, the
도 7에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 방열기판(100)은 절연부재(114)를 사이에 두고 메탈코어를 갖는 2개의 코어기판(112a, 112b)이 적층된 구조를 갖는다.As shown in FIG. 7, the
여기서, 코어기판(112a, 112b)은 제1 비아홀(104a) 및 제1 관통홀(106a)의 내벽을 포함하여 표면에 제1 양극산화 절연막(108a)이 형성된 제1 메탈코어(102a)에 제1 회로층(110a)이 형성된 제1 코어기판(112a)과 상기 제1 코어기판(112a)과 전기적으로 연결되되, 절연부재(114)의 하부에 부착된 제2 비아홀(104b) 및 제2 관통홀(106b)의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막(108b)이 형성된 제2 메탈코어(102b)에 제2 회로층(110b)이 형성된 제2 코어기판(112b)을 포함한다.The
이때, 제1 코어기판(112a) 및 제2 코어기판(112b)은 제1 관통홀(106a) 및 제2 관통홀(106b) 사이의 절연부재(114)를 제거하여 제1 관통홀(106a) 및 제2 관통홀(106b)과 연결되는 전층 관통홀(118)을 형성하고, 전층 관통홀(118)은 도전성 재료(120)가 개재함으로써 서로 전기적으로 연결되게 된다. 여기서, 도전성 재 료(120)는 전층 관통홀(118)의 내벽 또는 내부에 형성된 도금층이거나 도전성 페이스트가 될 수 있다. At this time, the
또한, 제1 메탈코어(102a) 및 제2 메탈코어(102b)는 비교적 저가로 손쉽게 입수가 가능하며, 열전달 특성이 매우 우수하고, 양극산화 가능한(anodisable)한 금속으로 이루어지며, 예를 들어 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금이 사용될 수 있다. In addition, the
또한, 제1 양극산화 절연막(108a) 및 제2 양극산화 절연막(108b)은, 예를 들어 약 10 내지 30 W/mK의 비교적 높은 열 전달 특성을 갖는 알루미늄 양극산화 절연막(Al2O3)이 사용되는 것이 바람직하다. In addition, the first anodized
방열기판의 제조방법Manufacturing method of heat radiation board
도 8 내지 도 15는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 제조방법을 공정 순서대로 도시한 공정단면도이다. 본 발명에 따른 방열기판의 제조방법은 메탈코어에 양극산화 절연막이 형성된 2층 구조의 코어기판을 2개 제조하고, 2개의 코어기판을 절연부재를 통해 부착한 후 서로 연결함으로써 2개의 메탈코어를 구비한 4층 구조의 방열기판을 제조하는 것을 특징으로 한다. 비록, 이하에서는 4층 구조의 방열기판을 제조하는 것을 중심으로 기술되나, 동일한 원리에 의해 6층, 8층 등의 다층 구조를 갖는 방열기판을 제조할 수 있음은 당연하다 할 것이다. 이하, 도 8 내지 도 15를 참조하여 구체적으로 본 실시예에 따른 방열기판의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.8 to 15 are process cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a heat dissipation substrate according to a preferred embodiment of the present invention in order of process. In the method for manufacturing a heat dissipation substrate according to the present invention, two core substrates having a two-layer structure in which anodized insulating film is formed on a metal core are manufactured, and two metal cores are connected by attaching two core substrates through an insulating member and then connecting them. It is characterized by manufacturing a heat radiation board having a four-layer structure provided. Although the following description focuses on manufacturing a four-layer heat dissipation substrate, it will be obvious that a heat dissipation substrate having a multi-layer structure such as six layers and eight layers can be manufactured by the same principle. Hereinafter, a method of manufacturing the heat radiation board according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 8 to 15.
먼저, 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 메탈코어(102a)에 제1 비아홀(104a) 및 제1 관통홀(106a)을 형성한다.First, as shown in FIG. 8, the
여기서, 제1 비아홀(104a)은 제1 코어기판(112a)의 층간 회로층 연결을 위한 것이고, 제1 관통홀(106a)은 제1 코어기판(112a)과 제2 코어기판(112b)의 층간 연결을 위한 것이다.Here, the
이러한 제1 비아홀(104a) 및 제1 관통홀(106a)은 CNC 드릴(Computer Numerial Control drill)과 같은 기계적 드릴링 또는 레이저(예를 들어, CO2 레이저, Yag 레이저)에 의해 가공된다. The first via
이때, 사용되는 제1 메탈코어(102a)는 비교적 저가로 손쉽게 입수가 가능하며, 열전달 특성이 매우 우수하고, 양극산화 가능한(anodisable)한 금속으로 이루어지며, 예를 들어 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금이 사용될 수 있다. In this case, the
다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 메탈코어(102a)의 표면 전체에 제1 양극산화 절연막(108a)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 9, the first
여기서, 제1 양극산화 절연막(108a)은 양극산화(Anodizing) 공정에 의해 형성된다. 구체적으로, 제1 양극산화 절연막(108a)은 제1 메탈코어(102a)를 붕산, 인산, 황산, 크롬산 등의 전해액에 담은 후, 제1 메탈코어(102a)에 양극을 인가하고 전해액에 음극을 인가함으로써 형성된다.Here, the first
이때, 제1 양극산화 절연막(108a)은, 예를 들어 약 10 내지 30 W/mK의 비교적 높은 열 전달 특성을 갖는 알루미늄 양극산화 절연막(Al2O3)이 사용되는 것이 바람직하다. In this case, the first
본 발명에서는 종래의 절연층에 비해 두께가 얇고, 열전달 특성이 우수한 제1 양극산화 절연막(108a)을 채용함으로써 방열기판의 박형화 및 방열효율 증대를 도모할 수 있게 된다. In the present invention, the thickness of the heat dissipation substrate can be reduced and heat dissipation efficiency can be achieved by adopting the first
다음, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 양극산화 절연막(108a)이 형성된 제1 메탈코어(102a)에 도금공정(무전해 동도금 공정 및 전해 동도금 공정)에 의해 도금층을 형성한 후, 패터닝 공정을 수행하여 제1 회로층(110a)을 형성한다. 이에 따라, 제1 코어기판(112a)이 제조된다.Next, as shown in FIG. 10, a plating layer is formed on the
이때, 제1 회로층(110a)은 예를 들어, 도금층에 드라이 필름을 적층하고, 노광, 현상 공정에 의해 드라이 필름에 오픈부를 형성한 후, 상기 오픈부에 의해 노출된 도금층을 에칭으로 제거함으로써 형성된다. At this time, the
다음, 도 11에 도시한 바와 같이, 제2 비아홀(104b) 및 제2 관통홀(106b)의 내벽을 포함하여 표면에 제2 양극산화 절연막(108b)이 형성된 제2 메탈코어(102b)에 제2 회로층(110b)이 형성된 제2 코어기판(112b)을 제조한다. Next, as illustrated in FIG. 11, the
이때, 제2 코어기판(112b)은 도 8 내지 도 10에 도시된 제1 코어기판(112a) 을 형성하는 방법과 동일하게 제조가능하므로 중복되는 설명은 생략하기로 한다.In this case, since the
다음, 도 12에 도시한 바와 같이, 절연부재(114)를 사이에 두고 제1 코어기판(112a)의 제1 관통홀(106a)과 제2 코어기판(112b)의 제2 관통홀(106b)이 상하로 일치되도록 배치한 후, 가압하여 제1 코어기판(112a)과 제2 코어기판(112b)을 부착한다. Next, as shown in FIG. 12, the first through
이때, 제1 코어기판(112a)과 제2 코어기판(112b)을 가압하는 경우 반경화 상태의 절연부재(114)는 제1 및 제2 코어기판(112a, 112b)의 제1 및 제2 비아홀(104a, 104b)과 제1 및 제2 관통홀(106a, 106b)에 삽입 충진되게 된다. 특히, 제1 및 제2 비아홀(104a, 104b)에 삽입 충진된 절연부재(114)는 플러깅 잉크의 역할을 수행할 수 있기 때문에 이후 공정에서 제1 및 제2 비아홀(104a, 104b)의 내부에 신뢰성 향상을 위해 별도의 충진제를 충진할 필요가 없게 된다. 하지만, 제1 및 제2 비아홀(104a, 104b)에 절연부재(114)가 완전히 채워지지 않은 경우 이후 공정에서 추가의 플러깅 잉크를 충진할 수 있을 것이다. At this time, when the
다음, 도 13에 도시한 바와 같이, 제1 관통홀(106a) 및 제2 관통홀(106b)에 충진된 절연부재(114)를 포함하여 제1 관통홀(106a)과 제2 관통홀(106b)에 존재하는 상기 절연부재(114)를 제거한다.Next, as shown in FIG. 13, the first through
여기서, 절연부재(114)는 드릴링 작업 등에 의해 제거가능하며, 본 단계에 의해 제1 관통홀(106a)과 제2 관통홀(106b)을 전체적으로 관통하는 전층 관통 홀(118)이 형성되게 된다. Here, the insulating
한편, 이하에서는 설명의 편의를 위해 전층 관통홀(118) 중에 제1 관통홀(106a)과 제2 관통홀(106b) 사이의 절연부재(114)를 제거하여 형성된 관통홀 영역을 제3 관통홀(116)이라 지칭하기로 한다.Meanwhile, hereinafter, the through-hole region formed by removing the insulating
다음, 도 14에 도시한 바와 같이, 전층 관통홀(118)의 내벽 또는 내부에 도금층 또는 도전성 페이스트와 같은 도전성 재료(120)를 도금 또는 충진함으로써 제1 코어기판(112a)의 제1 회로층(110a)과 제2 코어기판(112b)의 제2 회로층(110b)이 연결시킨다.Next, as shown in FIG. 14, the first circuit layer of the
예를 들어, 도전성 재료(120)를 전층 관통홀(118)의 내벽에 스퍼터링 공정에 의해 형성함으로써 제1 코어기판(112a)의 제1 회로층(110a)과 제2 코어기판(112b)의 제2 회로층(110b)이 연결될 있다. For example, the
그러나, 도 14에 도시된 방법은 하나의 일례에 불과하다 할 것이며, 도금공정을 수행하여 전층 관통홀(118)에 전층 관통비아를 형성하거나, 도전성 페이스트를 내부에 충진하는 것 등 다양한 방법이 적용될 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 범주 내에 포함된다 할 것이다. 이때, 전층 관통홀(118) 내부에는 플러깅 잉크(122)가 주입될 수 있다.However, the method shown in FIG. 14 is just one example, and various methods such as forming a full-layer through via in the full-layer through-
마지막으로, 도 15에 도시한 바와 같이, 제1 코어기판(112a)의 외층에 형성된 제1 회로층(110a) 및 제2 코어기판(112b)의 외층에 형성된 제2 회로층(110b)에 패드부를 노출시키는 오픈부를 갖는 솔더 레지스트층(124)를 형성한다.Finally, as shown in FIG. 15, the pads are formed on the
이와 같은 제조 공정에 의해 2개의 메탈코어(102a, 102b)를 가지는 4층 구조의 방열기판(100)이 제조된다. By this manufacturing process, the
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 방열기판 및 그 제조방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. Although the present invention has been described in detail through specific embodiments, this is for explaining the present invention in detail, and the heat dissipation substrate and its manufacturing method according to the present invention are not limited thereto, and the technical features of the present invention It will be apparent that modifications and improvements are possible by those skilled in the art.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다. All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.
도 1 내지 도 6은 종래의 방열금속을 구비한 다층 인쇄회로기판의 제조방법을 공정 순서대로 도시한 공정단면도이다. 1 to 6 are process cross-sectional views showing a conventional manufacturing method of a multilayer printed circuit board having a heat-radiating metal in the order of process.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 단면도이다. 7 is a cross-sectional view of a heat radiation board according to a preferred embodiment of the present invention.
도 8 내지 도 15는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열기판의 제조방법을 공정 순서대로 도시한 공정단면도이다. 8 to 15 are process cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a heat dissipation substrate according to a preferred embodiment of the present invention in order of process.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
102a, 102b : 메탈코어 104a, 104b : 비아홀102a and 102b:
106a, 106b : 관통홀 108a, 108b : 양극산화 절연막106a, 106b: Through
110a, 110b : 회로층 112a, 112b : 코어기판110a, 110b:
114 : 절연부재 116 : 제3 관통홀114: insulating member 116: third through hole
118 : 전층 관통홀 120 : 도전성 재료118: all-layer through hole 120: conductive material
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